TWI302991B - - Google Patents

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1302991 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於附色要素基板、成膜方法、光電裝置及電 子機器。 【先前技術】 例如關於製造使用於液晶顯示裝置之彩色濾光器（color filter)基板與有機場致發光（electro-luminescence)顯示裝置 之附色要素基板之方法，為人所知者係對於藉由形成於基 ^ 板上之堤岸所包圍之各個之色要素區域，經由使用喷墨（ink jet)描繪裝置喷出液滴狀之色要素膜形成用液狀材料而賦 予液狀材料，並使此賦予之液狀材料固化或硬化而形成色 要素膜之方法（例如參照專利文獻丨）。 關於此種方法，若液狀材料超越堤岸，進入鄰接之不同 色之色要素區域’會發生混色。 另一方面，於色要素區域内，有使液狀材料沾濕擴展至 . 其之每個角洛之必要。若非如此，會產生未形成色要素膜 之部分’該部份會變成所謂之脫色。 此外，若未於附色要素基板之全體使色要素膜之膜厚均 勻，於顯示圖案時會發生色彩不均勻。 因此，關於利用上述之方法所製造之附色要素基板，有 防止混色與脫色，而且，使色要素膜之膜厚均勻之必要， 但是’過去，滿足此等要求並不容易。 [專利文獻1]美國專利第6022647號說明書 發明所欲解決之問題 107089.doc 1302991 本發明之目的在於提供一種色要素膜之膜厚均勻，而 且，能夠使混色與脫色變少之高品質之附色要素基板、成 膜方法、光電裝置及電子機器。 【發明内容】 此種目的得利用以下所述之本發明以達成之。 本發明之附色要素基板，其特徵為：其係對於以特定之 排列圖案排列之多數個色要素區域由堤岸劃分所形成的附 堤岸基板之前述色要素區域賦予色要素膜形成用之液狀材 料，並使該賦予之液狀材料固化或硬化而形成色要素膜而 成者；其中，前述堤岸包含位於不同色之色要素間之異色 間堤岸與位於同色之色要素間之同色間堤岸，且前述異色 間堤岸之高度高於同色間堤岸之高度。 若根據此種之本發明，因對於色要素區域賦予液狀材料 之際液狀材料不會超越異色間堤岸，故能夠確實地防止由 於液狀材料與不同色之液狀材料混合而產生之混色。此 》 外，由於對於色要素區域所賦予之液狀材料可能超越同色 間埏岸，與對於鄰接之同色之色要素區域所賦予之液狀材 料連結而相互地來回流動，故即使於對於各色要素區域所 賦予之液狀材料之數量有所不同之情形，對於每一個之色 要素區域所賦予之液狀材料之數量亦將被平均化。因此， 旎夠使所形成之色要素膜之膜厚變得均勻。再者，因液狀 材料超越同色間堤岸而擴大，㈣夠錢狀材料沾濕擴展 至各色要素區域之每個角落，而能夠確實地防止未形成色 要素膜之部分與膜厚過薄之部分之發生，亦即脫色之發 107089.doc 1302991 生。因此，能夠作成色要素膜之膜厚均句，而且，少有混 色與脫色之兩品質之附色要素基板。 於本發明之附色要素基板中，將前述異色間堤岸之高度 訂為H!、前述同色間堤岸之高度H2時，以滿足〇〇i$H2/Hi $ 〇·99之關係較為理想。 藉此，將能夠使上述效果更加確實地發揮。 本發明之附色要素基板，其特徵為：其係對於以特定之 #列圖案排列之多數個色要素區域由堤岸劃分所形成㈣ 堤厗基板之前述色要素區域賦予色要素膜形成用之液狀材 料，並使該賦予之液狀材料固化或硬化而形成色要素膜而 成者，其中，前述堤岸包含位於不同色之色要素間之異色 間堤岸與位於同色之色要素間之同色間堤岸；且對於前述 液狀材料之前述異色間堤岸之最頂面之斥液性大於前述同 色間堤岸之最頂面之斥液性。 若根據此種之本發明，因對於色要素區域賦予液狀材料 _ 之際液狀材料不會超越異色間堤岸，故能夠確實地防止由 於液狀材料與不同色之液狀材料混合而產生之混色。此 外，由於對於色要素區域所賦予之液狀材料可能超越同色 間堤岸，與對於鄰接之同色之色要素區域所賦予之液狀材 、料連結而相互地來回流動，故即使於對於各色要素區域所 賦予之液狀材料之數量有所不同之情形，對於每一個之色 要素區域所賦予之液狀材料之數量亦將被平均化。因此， 能夠使所形成之色要素膜之膜厚變得均勻。再者，因液狀 材料超越同色間堤岸而擴大，故能夠使液狀材料沾濕擴展 107089.doc 1302991 至各色要素區域之每個角落，而能夠確實地防止未形成色 要素膜之部分與膜厚過薄之部分之發生，亦即脫色之發 生。因此，能夠作成色要素膜之膜厚均勻，而且，少有混 色與脫色之高品質之附色要素基板。 於本發明之附色要素基板中，將構成前述異色間堤岸之 最頂面之材料與前述液狀材料之接觸角訂為α、構成前述同 色間堤岸之最頂面之材料與前述液狀材料之接觸角訂為召 時’以滿足〇·〇1$β/α$〇·99之關係較為理想。 藉此’將能夠使上述效果更加確實地發揮。 本發明之附色要素基板，其特徵為：其係對於以特定之 排列圖案排列之多數個色要素區域由堤岸劃分所形成的附 堤岸基板之前述色要素區域賦予色要素膜形成用之液狀材 料，並使該賦予之液狀材料固化或硬化而形成色要素膜而 成者；其中’前述堤岸包含位於不同色之色要素間之異色 間％岸、與位於同色之色要素間之同色間堤岸；前述異色 間堤岸及前述同色間堤岸分別包含基部、與形成於前述基 部上之對於前述液狀材料之斥液性大於前述基部之表面之 斥液部；且前述異色間堤岸之斥液部之寬度大於前述同色 間堤岸之斥液部之寬度。 若根據此種之本發明，因對於色要素區域賦予液狀材料 之際液狀材料不會超越異色間堤岸，故能夠確實地防止由 於液狀材料與不同色之液狀材料混合而產生之混色。此 外’由於對於色要素區域所賦予之液狀材料可能超越同色 間堤岸’與對於鄰接之同色之色要素區域所賦予之液狀材 107089.doc 1302991 料連結而相互地來回流動，故即使於對於各色要素區域所 賦予之液狀材料之數量有所不同之情形，對於每一個之色 要素區域所賦予之液狀材料之數量亦將被平均化。因此， 能夠使所形成之色要素膜之膜厚變得均勻。再者，因液狀 材料超越同色間堤岸而擴大，故能夠使液狀材料沾濕擴展 至各色要素區域之每個角落，而能夠確實地防止未形成色 要素膜之部分與膜厚過薄之部分之發生，亦即脫色之發 生。因此，能夠作成色要素膜之膜厚均勻，而且，少有混 色與脫色之高品質之附色要素基板。 於本發明之附色要素基板中，將前述異色間堤岸之斥液 部之寬度訂為w!、前述同色間堤岸之斥液部之寬度訂為W2 時’以滿足WVWj 0.99之關係較為理想。 猎此，將能夠使上述效果更加確實地發揮。 於本發明之附色要素基板中，前述排列圖案以條（strip) 狀排列較為理想。 藉此，因對於色要素區域所賦予之液狀材料係於各色之 每一行形成魚板狀而沾溼擴展，故能夠使上述效果更加顯 著地發揮。 本發明之成膜方法，其特徵為：包含以使多數個前述色 要素區域以特定之排列圖案排列之方式形成劃分色要素區 域之彡疋厗之堤岸形成步驟、對於前述色要素區域賦予色要 素膜形成用之液狀材料之液狀材料賦予步驟、以及使被賦 予岫述色要素區域之液狀材料固化或硬化而形成色要素膜 之成膜步驟；其中，於前述堤岸形成步驟中，形成位於不 107089.doc -9- Ϊ302991 同色之色要素間之異色間堤岸、與位於同色之色要素間之 同色間堤岸’而且，使前述異色間堤岸之高度高於前述同 色間堤岸之高度。 右根據此種之本發明，因對於色要素區域賦予液狀材料 之際液狀材料不會超越異色間堤岸，故能夠確實地防止由 於液狀材料與不同色之液狀材料混合而產生之混色。此 外，由於對於色要素區域所賦予之液狀材料可能超越同色 間堤岸，與對於鄰接之同色之色要素區域所賦予之液狀材 料連結而相互地來回流動，故即使於對於各色要素區域所 賦予之液狀材料之數量有所不同之情形，對於每一個之色 要素區域所賦予之液狀材料之數量亦將被平均化。因此， 能夠使所形成之色要素膜之膜厚變得均勻。再者，因液狀 材料超越同色間堤岸而擴大，故能夠使液狀材料沾濕擴展 至各色要素區域之每個角》，而能夠_實地防止未形成色 要素膜之部分與膜厚過薄之部分之發生，亦即脫色之發 生。因此，能夠以高良率製造色要素膜之膜厚均勻，而且， 少有混色與脫色之高品質之附色要素基板。 本發明之成膜方法，其特徵為：包含以使多數個前述色 要素區域以特定之排列圖案排列之方式形成劃分色要素區 域之堤岸之堤岸形成步驟、對於前述色要素區域賦予色要 素膜形成用之液狀材料之液狀材料賦予步驟、以及使被賦 予前述色要素區域之液狀材料固化或硬化而形成色要素膜 之成膜步驟，·其令，於前述堤岸形成步驟中，形成位於不 同色之色要素間之異色間堤岸、與位於同色之色要素間之 107089.doc -10- 1302991 同色間堤岸，而且，使對於前述液狀材料之前述異色間堤 岸之最頂面之斥液性大於前述同色間堤岸之最頂面之斥液 性。 若根據此種之本發明，因對於色要素區域賦予液狀材料 之際液狀材料不會超越異色間堤岸，故能夠確實地防止由 於液狀材料與不同色之液狀材料混合而產生之混色。此 外’由於對於色要素區域所賦予之液狀材料可能超越同色 間堤岸’與對於鄰接之同色之色要素區域所料之液狀材 料連結而相互地來回流動，故即使於對於各色要素區域所 賦予之液狀材料之數量有所不同之情形，對於每一個之色 要素區域所賦予之液狀材料之數量亦將被平均化。因此， 能夠使所形成之色要素模之臈厚變得均句。再者，因液狀 材料超越同色間堤岸而擴大，故能夠使液狀材料沾濕擴展 至各色要素區域之每個角落’而能夠確實地防止未形成色 要素膜之部分與媒厚㈣之部分之發生，亦即脫色之發 生。因此’能夠以高良率製造色要素膜之膜厚均勻，而且， 少有混色與脫色之高品質之附色要素基板。 本心明之成膜方法’其特徵為：包含以使多數個前述色 要素區域以特定之排列圖案排列之方式形成劃分色要素區 域之堤岸之堤岸形成步驟、對於前述色要素區域賦予色要 素膜形成用之液狀材料之液狀材料賦付驟、以及使被賦 予如述色要素區域之液狀士士车止m /從狀材枓固化或硬化而形成色要素膜 之成膜步驟；其中，於前述堤岸形成步驟中，形成含有基 ^、與形成於w述基部上之對於前述液狀材料之斥液性大 107089.doc -11- 1302991 於前述基部之表面之斥液部之堤岸，而且，使位於不同色 之之色要素間之異色間堤岸之斥液部之寬度大於位於同色 之色要素間之同色間堤岸之斥液部之寬度。 若根據此種之本發明，因對於色要素區域賦予液狀材料 之際液狀材料不會超越異色間堤岸，故能夠確實地防止由 於液狀材料與不同色之液狀材料混合而產生之混色。此 外’由於對於色要素區域所賦予之液狀材料可能超越同色 間土疋岸，與對於鄰接之同色之色要素區域所賦予之液狀材 料連結而相互地來回流動，故即使於對於各色要素區域所 賦予之液狀材料之數量有所不同之情形，對於每一個之色 要素區域所賦予之液狀材料之數量亦將被平均化。因此， 能夠使所形成之色要素膜之膜厚變得均勻。再者，因液狀 材料超越同色間堤岸而擴大，故能夠使液狀材料沾濕擴展 至各色要素區域之每個角落，而能夠確實地防止未形成色 要素膜之部分與膜厚過薄之部分之發生，亦即脫色之發 生。因此，能夠以高良率製造色要素膜之膜厚均勻，而且x， ;有混色與脫色之高品質之附色要素基板。 若根據本發明之成膜方法，於前述液狀材料賦予步驟 中，以從液滴噴出頭之喷嘴喷出液滴狀之前述液狀材料， 而對於刖述色要素區域賦予該液滴較為理想。 藉此，能夠於正確之位置以正確之量賦予液狀材料。 本發明之成膜方法，於前述液狀材料賦予步驟 、“ ::接之前述同色之色素區域之液狀材料超越前述同= 疋序而相連結之方式賦予液狀材料較為理想。 107089.doc •12- 1302991 藉此，將能夠使色要素膜之膜厚更為均勻，而且，能狗 更加確實地防止混色與脫色之發生。 本發明之光電裝置，其特徵為包含本發明之附色要素基 板0 藉此，得以低價提供能夠獲得無色彩不均勻等之高全質 之光電裝置。 本發明之電子機器，其特徵為包含本發明之光電裝置。 藉此，得以低價提供包含能夠獲得無色彩不均勻等之高 晝質之光電裝置之電子機器。 【實施方式】 以下，基於附圖所示之合適之實施型態詳細地說明本發 明之附色要素基板、成膜方法、光電裝置及電子機器。 本發明之成膜方法係形成附色要素基板之色要素膜之方 法。於本實施型態中，關於附色要素基板之一實例，係代 表於液晶顯示裝置之構成要素之彩色濾光器基板1〇適用本 發明之情形而說明之。 首先，基於m圖6說明於本發明之成膜方法中所使 用描繪裝置。 如圖1所示，描繪裝置（噴墨描繪裝置）1包含：於托架 (urriage)105搭載複數之液滴噴出頭2而形成之頭單元 1〇3、使頭單元1()3往水平之單—方向（以下稱「X轴方向」） 移動之托木移動機構（移動機構）丨〇4、保持後述之附堤岸基 板10A之載置台（stage)1〇6、使載置台往與X轴方向垂直 而水平之方向(以下稱Γγ軸方向」）移動之載置台移動機構 107089.doc -13· 1302991 (移動設備）108與控制設備112。 此外，於描繪裝置1之附近，設置有分別蓄積紅（R)、綠 (G)孤（B)之3色之液狀材料hi之3個之儲槽（tank) 1 〇 1。各 儲槽101與頭單元1〇3係介由成為輸送液狀材料lu之流動 路徑之官（tube) 110而被連接。蓄積於各儲槽1〇1之液狀材料 111係藉由例如壓縮空氣之力量而被輸送（供應）至頭單元 103之各液滴喷出頭2。 本發明中，「液狀材料」係包含用於形成附色要素基板之 色要素膜之材料，且具有可從液滴喷出頭2之喷嘴25喷出之 黏度者。此情形，不問材料係水性或油性。此外，若具備 可k喷嘴25喷出之流動性（黏度）即已足夠，即使固體物質分 政，右全體為流動體即可。亦即，液狀材料係色要素膜之 構成材料經溶解或分散於溶媒中而成者，亦得為溶液，亦 知為分散液（懸浮液（suspensi〇n)與乳劑（emiUsi〇n》。 本貫施型態之液狀材料丨丨丨，係用以於彩色濾光器基板1〇 之色要素區域形成色要素膜之過濾（filter)膜之顏料溶解或 分散於有機溶劑中而成之有機溶劑墨水。 再者，於以下之說明中，將紅、綠、藍之液狀材料ln加 以區別而提及時，係附M111R、1UG、111B之符號，於不 區別顏色加以總稱而提及時，則僅稱為「液狀材料ui」。 拖木移動機構1〇4之運作係藉由控制設備丨12加以控制。 本實鉍型怨之拖架移動機構1〇4係使頭單元1〇3沿著z軸方 向（垂直方向）移動，亦具有調整高度之機能。此外，拖架移 動機構104亦具有藉由與Z軸平行之軸之旋轉而使頭單元 107089.doc -14· 1302991 103旋轉之機能，藉此，能夠將頭單元1〇3之z軸旋轉之角度

進行微調。 X 載置台106包含與X軸方向及丫軸方向之兩者平行之平 面。此外’載置台Η)6係為了能夠將用於製造彩色攄光器基 板10之附堤岸基板ΙΟΑϋ定、或保持於該平面上而構成。 載置台移動機構108係使載置台1〇6沿著與χ軸方向及2 軸方向之兩者正交之γ軸方向移動，而其運作，係藉由控制 設備112加以控制。再者，本實施型態之載置台移動機構⑽ 亦具有藉由與ζ軸平行之軸之旋轉而使載置台1〇6旋轉之機 能，藉此，能夠進行補正以便將載置於載置台1〇6之附堤岸 基板10Α之Ζ轴旋轉之傾斜加以微調而變成挺直。 如上述，頭單元1 〇3係藉由拖架移動機構丨〇4而沿著χ軸方 向移動。另一方面，載置台106係藉由載置台移動機構1〇8 而沿著Υ軸方向移動。亦即，藉由拖架移動機構1〇4及載置 台移動機構108,對於載置台106之頭單元1〇3之相對位置會 改變。 再者，控制設備112之構造及機能詳述於後。 圖2係揭示圖厂所示之描繪裝置1中之頭單元1〇3及附堤岸 基板10Α之平面圖。 圖2所示之頭單元ι〇3係複數之液滴喷出頭2經搭載於托 架105上所構成。於圖2中係以虛擬線（二點鏈線）表示托架 105 °此外’表示液滴噴出頭2之實線係揭示液滴喷出頭2 之噴嘴面（噴嘴板128)之位置。 於頭單元103，設置有噴出紅色之液狀材料iiir之第1頭 107089.doc -15- 1302991 21R、第2頭22R、第3頭23R、第4頭24R之4個之液滴喷出頭 2，噴出綠色之液狀材料111G之第1頭21G、第2頭22G、第3 頭23G、第4頭24G之4個之液滴喷出頭2，以及喷出藍色之 液狀材料111B之第1頭21B、第2頭22B、第3頭23B、第4頭 24B之4個之液滴噴出頭2之共計12個之液滴喷出頭2。 再者，如圖2所示之液滴喷出頭2之排列之方法係一實 例，並不以此為限，無庸贅言。 此外，於以下之說明中，於總稱此等之液滴喷出頭2之情 形’稱為「液滴喷出頭2」，於有將各個加以區別而說明之 必要之情形，則稱為「第1頭21R、第2頭22R、· · ·」。 附堤岸基板10A係用於製造條狀排列之彩色濾光器基板 10者。於此附堤岸基板10A，分別設置有多數個紅色之色要 素區域（次像素sub pixel) 18R、綠色之色要素區域（次像 素）18G、以及藍色之色要素區域（次像素）188。各色要素區 域18R、18G、18B大約係形成長方形。 附堤岸基板10A係以色要素區k18r、18G、18B之長軸方 向變成與X軸方向平行，短軸方向變成與γ軸方向平行之姿 勢而保持於載置台106上。於附堤岸基板10A上，沿著γ軸 方向’ 3色之色要素區域1811' 18G、ι8Β係依此順序重複排 列’而沿著X軸方向，色要素區域丨8R、丨8G、丨8B則係每個 顏色連續而排列。.排列於γ軸方向之一組之色要素區域 18R、18G、18Β係相當於所製造之之彩色濾光器基板1〇之 一像素分。 再者’關於附堤岸基板1 〇 A，進一步詳述於後。 107089.doc 1302991 ”㈣液滴噴出頭2之噴嘴面(输 W基板Μ之色要素區域_„加以擴大而揭示 平面圖#者，液滴噴出頭2之噴嘴面雖係朝向與附堤岸 基板1〇A相對向之方向，亦即垂直方向而S置，但於圖3中， 為易於觀看，以實現表示液滴噴出頭2之喷嘴面。

於液滴喷出頭2之噴嘴面，多數個喷嘴（喷嘴孔）25係沿著 X車:方广等間隔地排列成直線狀所形成，而形成噴嘴列。於 本貝^型恶中’於-個之液滴噴出頭2，雖然2列之噴嘴列 久1隔半個間距（pitch)並行而形成，但一個之液滴喷出頭2 所具有之噴嘴列之數量，亦得為⑼，亦得為3列以上。此 ^，形成於一個之液滴噴出頭2之噴嘴25之數量雖未特別地 又到限疋’但通常訂為數十〜數百個程度。 描繪裝置1係以藉由載置台移動機構108之運作，一邊使 保持於載置台106上之附堤岸基板l〇A往γ軸方向移動，通 過頭單兀103之下方，一邊從頭單元1〇3之各液滴喷出頭2 之噴實25噴出液狀材料i i i之液滴’使之彈著於附堤岸基板 1〇A上之各色要素區域18R、18G、18B之方式而運作。此動 作稱為「主掃描」。 、藉此例如，如圖3所示，能夠使之對於紅色之色要素區 域18R，彈著紅色之液狀材料111R之液滴91、92。尤其，依 據圖不之構造，每一個之色要素區域丨8R，能夠使之彈著從 兩個之液滴噴出頭2所喷出之液滴，例如從第1頭2丨r之喷嘴 斤喷出之液滴91與從第3頭2 3 R之喷嘴2 5所喷出之液滴 92 〇 107089.doc 1302991 同樣地，描繪裝置1係以於色要素區域1 8G使之彈著綠色 之液狀材料111G之液滴、於色要素區域1 8B使之彈著藍色 之液狀材料111B之液滴之方式而運作。 再者，關於頭單元103全體，於附堤岸基板i〇A之X軸方 向之寬度小於可對於附堤岸基板10A喷出液狀材料ill之X 軸方向之長度（以下稱「全噴出寬度」）之情形，藉由進行一 次頭單元103與附堤岸基板l〇A之主掃描，能夠對於附堤岸 基板10A之全體賦予液狀材料。 > 與此相對地，於附堤岸基板10A之X軸方向之寬度大於頭 單元103之全噴出寬度之情形，藉由交互地重複進行頭單元 1〇3與附堤岸基板10A之主掃描、以及基於拖架移動機構1〇4 之運作之頭單元1 03之往X軸方向之移動（此稱為「副掃 描」）’肖b夠對於附堤厗基板1 0 A之全面賦予液狀材料1 1 1。 如圖4(a)及（b)所示，液滴喷出頭2係噴墨頭（ink _ head)。更具體言之，液滴喷出頭2包含振動板126與喷嘴板 . 12 8。經雨填充有從儲槽1 〇 1介由孔丨3 1而供應之液狀材料 111之液體聚積處12 9係位於振動板12 6與喷嘴板12 8之間。 此外’複數之隔板122係位於振動板126與喷嘴板128之 間。而且，由振動板126、喷嘴板128與一對之隔板122所包 圍之部分為空腔（cavity) 120。因空腔120係對應於喷嘴25所 設置，故空腔120之數量與噴嘴25之數量相同。液狀材料lu 係介由位於一對之隔板122間之供應口 13〇，從液體聚積處 129供應至空腔12〇。 與各個空腔120相對應，做為使填充於空腔内之液狀 107089.doc .18- 1302991 材料111之壓力產生變化之驅動元件之振i器係位於振 動板126上。振盪器124包含壓電…元件124C與將壓電 元件124C夾在中間之一對之電極124八、i24B。藉由於此一 對之電極124A、124B之間給與驅動電壓，液狀材料lu會 從對應之噴嘴25噴出。再者，為使液狀材料iu從喷嘴乃往 Z軸方向噴出，噴嘴25之形狀經過調整。 牷制叹備112亦得以對於複數之振盪器124之每一個相互 獨立地提供信號之方式而構成之。亦即，從喷嘴乃所噴出 之材料hi之體積，亦得按照來自控制設備112之信號就每 一個噴嘴25而為控制。 再者液滴喷出頭2並不限於如圖示之以壓電引動器 (piezo actuator)當作驅動元件者，使用靜電引動器者、與使 用電熱轉換元件利用液狀材料111之膨脹而噴出液滴之構 造者亦可。 其次，說明控制設備112之構造。如圖5所示，控制設備 112包含輸入緩衝記憶體200、記憶設備202、處理部204、 掃榼驅動部206、頭驅動部208、托架位置檢測設備3〇2與載 置台位置檢測設備303。 輸入緩衝記憶體200與處理部204係連接成可相互地通 信。處理部204與記憶設備202係連接成可相互地通信。處 理部204與掃描驅動部206係連接成可相互地通信。處理部 204與頭驅動部208係連接成可相互地通信。此外，掃描驅 動部206與托架移動機構1〇4及載置台移動機構1〇8被連接 成可相互地通信。同樣地，頭驅動部208與複數之液滴噴出 107089.doc -19- 1302991 頭2之每一個係連接成可相互地通信。 輸入緩衝記憶體2 0 0係從外部資訊處理裝置接收關於喷 出液狀材料111之液滴之位置之資料，亦即描繪圖案資料: 輸入緩衝3己憶體2 0 0將此描繪圖案賢料提供予處理部2 〇 * 處理部204則將描繪圖案資料儲存於記憶設備2〇2。記憶設 備 202 係由 RAM(i*andom-access memory ;隨機存取記憒 體）、磁記錄媒體、光磁記錄媒體等所構成。 托架位置檢測設備裝置302係檢測托架丨05，亦即頭單元 103之X軸方向之位置（移動距離），而將該檢測信號往處理 部204輸入。 載置台位置檢測設備303係載置台1 〇6，亦即檢測附堤岸 基板10A之Y軸方向之位置（移動距離），而將該檢測信號往 處理部204輸入。 托架位置檢測設備302、載置台位置檢測設備3〇3係由例 如線形編碼器、雷射測長器等所構成。 處理部204係基於托架位置檢測設備3〇2及載置台位置檢 ’則没備303之檢測信號，介由掃描驅動部2〇6，控制（閉迴路 (el〇Sed b〇P)控制）托架移動機構104及載置台移動機構108 之運作，而控制頭單元1 〇3之位置與附堤岸基板1 〇A之位置。 再者’處理部204係藉由控制載置台移動機構ι〇8之運 作，而控制載置台1〇6 ,亦即附堤岸基板1〇A之移動速度。 +此外’處理部204係基於前述描繪圖案資料，將指定每個 ' t序之噴嘴25之開啟•關閉（〇n · 〇打)之選擇信號sc提 七、予頭驅動部208。頭驅動部2〇8係基於選擇信號％，將液 107089.doc -20· 1302991 狀材料111之喷出必要之噴出信號ES提供予液滴喷出頭2。 其結果，液狀材料111會從液滴喷出頭2之對應之喷嘴25喷 出成液滴狀。 控制設備112得為包含CPU(central processing unit ;中央 處器）、ROM(read_only memory ;唯讀記憶體）、RAM之電 腦。於此情形，控制設備112之上述機能係利用藉由電腦所 執行之軟體程式而實現。當然，控制設備112亦得利用專用 之電路（硬體）而實現。 其次，說明控制設備112之頭驅動部208之構造與機能。 如圖6(a)所示，頭驅動部208包含一個之驅動信號產生部 203與複數之類比開關AS。如圖6(b)所示，驅動信號產生部 2 0 3係產生驅動信號D S。驅動信號D S之電位乃對於基準電 位L依時地變化。具體言之，驅動信號ds包含以喷出週期 EP而重複之複數之喷出波形p。於此處，噴出波形p，為從 嘴嘴2 5贺出一滴之液滴’係對應於應施加於相對應之振盈 器124之一對之電極間之驅動電壓波形。 驅動信號DS係提供予每一個之類比開關AS之每一個之 輸入端子。每一個之類比開關AS係設置成對應於每一個之 噴嘴25。亦即，類比開關AS之數量與喷嘴25之數量相同。 處理部204係將表示喷嘴25之On · Off之選擇信號sc提供 予類比開關AS之每一個。於此處，選擇信號SC係就每一個 類比開關AS獨立地取得高位準及低位準之任一者之狀態。 另一方面，類比開關AS係按照驅動信號DS與選擇信號SC， 將噴出信號ES提供予振盪器124之電極124A。具體言之， 107089.doc -21 - 1302991 號sc樹準之情形，類tt„As將驅動信號ds = 當作嘴出信細。另-方面，於選擇信號 备、位準之情形，類比開關AS所輸出之喷出信號ES之電 曰變成基準電位L。若將驅動信號⑽提供予㈣器124之 屯圣以八’則液狀材料lu會從對應於該振盪器⑶之喷嘴 噴出再者’基準電位L被提供予每一個之振盪器124之 電極124B 〇

;圖（b)所示之實例中，為於兩個之噴出信號圮§之每一 们喷出波形p係以噴出週期即之2倍之週期2Ep出現，於 兩個之選㈣號SC之每—個設定有高位準之期間與低位準 之』間。藉此，液狀材料i丨丨會從對應之兩個之喷嘴乃以週 期2EP噴出。此外，來自共用之驅動信號產生部203之共用 之驅動信號DS係提供予對應於此等兩個之喷嘴以之振盈器 124之每個。因此液狀材料111會從兩個之喷嘴25於大致 相同之時序噴出。

圖7係將附堤岸基板1〇A之一部分擴大揭示之平面圖，圖8 及圖9係揭示使用圖7所示之附堤岸基板1〇八製造彩色濾光 器基板10之方法之剖面圖，係於相當於圖7中之νιπ-VIII線 之位置之剖面圖。 再者’於圖7中，附堤岸基板1〇A之方向，與圖2及圖3相 比’係以差異90。之方向描繪。 如此等之圖式所示，附堤岸基板1〇A包含具有光透過性之 玻璃基板12、與形成於此玻璃基板12上之堤岸13。於玻璃 基板12上’形成有藉由堤岸13而劃分之排列成行列狀之 107089.doc -22- 1302991 紅、綠、藍之各色之多數個色要素區域18R、18(}、18B。 再者’於以下之說明中，將紅、綠、藍之色要素區域加 以區別而提及時，係附加18R、18G、18B之符號，不區別 顏色時，則總稱為「色要素區域18」。 色要素£域18 R係應形成有僅透過紅色之波長帶 (wavelength band)之光線之色要素膜之過濾膜丨丨1FR之區 域，色要素區域1 8G係應形成有僅透過綠色之波長帶之光線 之色要素膜之過濾膜111FG之區域，色要素區域18B係應形 成有僅透過藍色之波長帶之光線之色要素膜之過濾膜 111F B之區域。 如圖7所示，堤岸13係由位於不同色之色要素間之異色間 堤岸14與位於同色之色要素間之同色間堤岸15所構成。亦 即，與色要素區域18R、18G、18B之長軸方向平行之堤岸 13變成異色間堤岸14 ,與色要素區域18R、18(}、i8B之長 軸方向垂直之方向之堤岸13變成同色間堤岸丨5。 如圖8所示，異色間堤岸14係由基部141與形成於基部i4i 上之斥液部142所構成。斥液部142之表面，其對於液狀材 料111之斥液性變得比基部141之表面更大。此外，斥液部 142之寬度變得比基部141更狹窄。 異色間％岸14之高度，雖未特別限定，但通常係以 0.5〜3 μηι程度者較為理想。 同色間i疋岸15與異色間堤岸14之基部141相連結，變成相 同之高度。同色間堤岸15與基部141具有遮光性，發會當作 黑色矩陣之機能。 107089.doc -23- 1302991 同色間堤岸1 5之高度Hz，雖未特別限定，但通常係以 〇·1〜1·5 μπι程度者較為理想。 異色間堤岸14之高度比係比同色間堤岸15之高度％高出 斥液部142之部分之程度。異色間堤岸14之高度^與同色間 堤岸15之高度Η:之比率以〇·01 $ Ηζ/Η! $ 〇·99程度者較為理 想，0.01SH2/IK0.5程度者則更為理想。 此外，對於液狀材料111之異色間堤岸14之最頂面，亦即 斥液部142之頂面之斥液性變得比同色間堤岸丨5之最頂面 •之斥液性更大。 斥液性，其與液狀材料1U之接觸角變成指標。構成異色 間土疋岸14之最頂面之材料與液狀材料111之接觸角α，雖未 特別限定，但通常係以40〜8〇。程度者較為理想。此外，構 成同色間堤岸15之最頂面之材料與液狀材料U1之接觸角 β，雖未特別限定，但通常係以1〇〜4〇。程度者較為理想。前 述接觸角α與前述接觸角β之比率#〇·〇1$β/α$〇·99程度者 Φ 較為理想，0·01^Ρ/α^0·3程度者則更為理想。 以下，就附堤岸基板10Α之製造方法之一實例加以說明。 首先，利用濺射法或蒸鍍法於玻璃基板12上形成金屬薄 膜。關於此金屬材料，得舉出鉻金屬、氧化鉻等為例。然 後’精由利用光微影照相步驟使此金屬薄膜殘留成格子 狀，能夠作成基部141與同色間堤岸15。 、接，’塗佈含有負型之感光性樹脂組成物之抗#劑層， =覆盖玻璃基板12、基部141及同色間堤岸15。而且，於該 抗餘劑層之上，一邊使於對應於斥液部M2之條狀圖案所形 107089.doc -24- 1302991 成之光罩膜密著，一邊將此抗餘劑層進行曝光。然後，藉 由利用蝕刻處理去除抗蝕劑層之未曝光部分，能夠作成斥 液部142。利用以上之步驟，能夠作成附堤岸基板i〇A。 關於斥液部142之構成材料，雖未特別限定，但基於獲得 優良之斥液性之觀點，以使用氟素系樹脂者較為理想。 再者，基部141及同色間堤岸15亦得以例如黑色之樹脂材 料（resin black)取代金屬材料而構成之。 此外，於本實施型態中，雖係以基部141及斥液部142之2 層（2段）構成異色間堤岸14，但亦得為1層，亦得為3層。與 同色間堤岸15相同地以1層構成異色間堤岸14之情形，藉由 使光微影照相步驟之曝光量具有差異而改變殘膜率，能夠 使兩者之南度不同。 此外，亦得以調整異色間堤岸14表面之斥液性、同色間 堤岸15表面之斥液性、玻璃基板12表面之斥液性為目的， 實施斥液化處理與親液化處理。關於斥液化處理，得舉出 使用四氟甲烷之電漿處理為例，關於親液化處理，得舉出 大氣壓下之氧氣電漿處理為例。 本實施型態之成膜方法，包含如同上述於玻璃基板12上 形成異色間堤岸14及同色間堤岸15而作成附堤岸基板1〇A 之堤岸形成步驟，此外，包含對於附堤岸基板1〇A上之色要 素區域18R、18G、18B賦予液狀材料（彩色濾光器材料） 111R、111 G、111B之液狀材料賦予步驟，以及使賦予色要 素區域18R、18G、18B之液狀材料111R、lnG、niB固化 或硬化而形成色要素膜之過濾臈111FR、111FG、1111?8之 107089.doc -25- 1302991 成膜步驟。 液狀材料111R、111G、u1B，如前述，係過濾膜111FR、 111FG、111FB之構成材料之顏料溶解或分散於有機溶劑中 而成之有機溶劑墨水。關於液狀材料丨丨丨中之溶劑，以使用 例如 BCTAC、二伸乙甘醇二丁醚（diethylene glyc〇1 di-n-butyl ether)、四伸乙甘醇二甲醚（tetraethylene glyc〇1 dimethyl ether)、五伸乙甘醇二甲鱗（pentaethyiene giyC〇i dimethyl ether)、六伸乙甘醇二甲醚（hexaethylene glyc〇1 dimethyl ether)、丙二醇二丁醚（pr〇pylene glyc〇1 di-n -butyl ether)專之夕"i 貝乙醇（polyvalent alcohol)之乙謎（ether)等較 為理想。此外，於液狀材料1丨i R、1丨丨G、111B中包含有例 如丙烯酸樹脂（acrylic resin)等之樹脂亦可。 以下，依序詳細地說明液狀材料賦予步驟、成膜步驟。 -液狀材料賦予步驟一 形成有色要素區域18R、18G、18B之附堤岸基板l〇A係於 描繪裝置1之載置台106上運送，而保持於載置台1〇6。描繪 裝置1係一邊使載置台移動機構108運作使附堤岸基板1〇A 往Y軸方向移動而通過頭單元1〇3之下方，一邊從液滴噴出 頭2分別喷出液狀材料111R、mG、111B之液滴，而賦予 色要素區域18R、18G、18B。 此時，從各液滴噴出頭2之各噴嘴25之液滴之噴出時序 (timing)，係以對於色要素區域丨8R使之彈著紅色之液狀材 料111R之液滴、對於色要素區域18G使之彈著綠色之液狀 材料111G之液滴、對於色要素區域18B使之彈著藍色之液 107089.doc -26- 1302991 狀材料111B之液滴之時序而控制（圖8(a)〜(c)參照）。

於各個之色要素區域18R、18G、18B，分別被賦予複數 之液滴。每一個色要素區域18R、18G、18B被賦予之液狀 材料111之總量係按照應形成之過濾膜之膜厚預先設定，其 數量變成比每一個色要素區域1811、18(}、18B之容積更多。 因此，如圖9(d)所示，賦予各色要素區域18R ' 18〇、18B 之液狀材料111R、111G、1ΠΒ變成超出堤岸13之頂面而隆 起之狀態。 於本發明中，異色間堤岸14係以做為隔開液狀材料lu之 堤防之機能變成高於同色間堤岸15之方式而構成。亦即， 於本實施型態中，由於異色間堤岸14之高度Ηι變成比同色 間堤岸15之高度Hz更高、與異色間堤岸14之最頂面之斥液 性變成比同色間堤岸15之最頂面之斥液性更大之原因，異 色間堤岸14其做為隔開液狀材料U1之堤防之機能變成比 同色間堤岸15更高。 因此’賦予色要素區域18之液狀材料111雖不會超越異色 間堤岸14，但會超越同色間堤岸15。因此，如圖8(b)所示， 賦予紅色之色要素區域18R之液狀材料mR超越同色間堤 岸15’而與賦予相鄰接之同色之色要素區域丨8R之液狀材料 111R連結。亦即，賦予紅色之色要素區域18R之液狀材料 111R係每一行連結而形成魚板狀。同樣地，賦予綠色之色 要素區域18G之液狀材料111G及賦予藍色之色要素區域 1 8B之液狀材料u 1β亦係每一行連結而形成魚板狀（圖 8(c)、9(d)參照）。 107089.doc -27- 1302991 -成膜步驟- 對於色要素區域18R、18G、18B賦予液狀材料iiir、 111G、111B後，將附堤岸基板10A搬運至圖中未揭示之乾 燥裝置，使色要素區域18R、18G、18B内之液狀材料iiir、 111G、111B乾燥。藉此，如圖9(e)所示，能夠於各色要素 區域 18R、18G、18B上作成過濾膜 111FR、111FG、111FB。

再者，亦得藉由重複進行於描繪裝置1之液狀材料U1R、 111G、111B之賦予、與於乾燥裝置之乾燥，並進行層疊， 而形成最終之過濾膜111FR、111FG、111FB。 然後，將附堤岸基板10A搬運至圖中未揭示之烤爐（〇ven) 内，利用此烤箱，將過濾膜111FR、111FG、111FB再加熱（事 後烘烤 post bake)。 其次，將附堤岸基板1 〇 A搬運至圖中未揭示之保護膜形成 凌置，利用此保護膜形成裝置，如圖9(£)所示，形成覆蓋過 濾膜 111FR、U1FG、111FB 及堤岸 13之保護膜（〇verc〇at)2〇。 覆蓋過濾膜111FR、111FG、111FB及堤岸13之保護膜2〇 形成後，利用乾燥裝置，使保護膜2〇完全地乾燥。此外， 藉由利用圖中未揭示之硬化裝置將保護膜2〇加熱而完全地 硬化，附堤岸基板1〇A變成彩色濾光器基板1〇。 於本發明中，如同前述，於液狀材料賦予步驟，雖賦予 色要素區域1 8之液狀材料丨丨丨不會超越異色間堤岸14，但會 超越同色間堤岸15，而與料鄰接之同色之色要素區域^ 之同色之液狀材料U1連結’賦予色要素區域以之液狀材料 1U係依各色之每一行形成魚板狀。藉此，有如下之優點。 107089.doc -28· 1302991 關於第1之優點，因異色間堤岸14之堤防機能比較高，故 液狀材料111不會超越異色間堤岸14，從而，能夠確實地防 止液狀材料111與賦予鄰接之不同色之色要素區域18之不 同色之液狀材料111混合而引起混色。 關於第2之優點，因液狀材料1丨丨可能超越同色間堤岸 15 ’與賦予鄰接之同色之色要素區域18之同色之液狀材料 111連結而相互地來回流動，故即使於賦予各色要素區域j 8 之液狀材料111之數量有所不同之情形，賦予每一個之色要 素區域18之液狀材料111之數量亦將被平均化。從而，能夠 使所形成之過濾膜111FR、FG、FB之膜厚變得均勻。 關於第3之優點，因液狀材料U1會超越同色間堤岸15而 擴大’故能狗使液狀材料1 i丨沾濕擴展至各色要素區域丨8之 每個角落。從而，能夠確實地防止於色要素區域丨8内發生 未形成過濾膜之部分與膜厚過薄之部分之現象，即所謂脫 色之發生。 關於第4之優點，於使用描繪裝置1賦予液狀材料U1之液 滴之際’因關於附堤岸基板1〇A之條（strip)方向之調正（對準 alignment)之精度要求變得不嚴袼，故能夠輕易地進行描 繪’有助於良率之提高。 再者’與本發明不同，僅形成異色間堤岸14而不形成同 色間堤岸15之情形，無法獲得上述之各效果。若無同色間 埏厗15 ’賦予色要素區域18之液狀材料111會變得過於容易 /σ著附堤岸基板10A之條方向移動，液狀材料111變得容易 因表面張力而凝集於一行之色要素區域18之中之一個地 107089.doc -29- 1302991 方’反而變成損及均勻性之結果。 與此相對地，於本發明中，藉由設置同色間堤岸Μ，一 方面能夠適度地實現使液狀材料lu停留於各個之色要素 區域18内之效果’一方面能夠以使於同色之色要素區域18 間之液狀材料111之料量均勾化之程度容許液狀材料⑴ 之流動，因此，能夠實現如同上述之各效果。 於本發明中，異色間堤岸14若係、以其做為隔開液狀材料 ill之堤防之機能變成高於同色間堤岸15之方式所構成即 可:因此，若異色間堤岸14之高度變成高於同色間堤岸15 之向度’即使於該等之最頂面之斥液性相同之情形，亦能 夠實現與上述同樣之效果。或者，若異色間堤岸14之最頂 面之斥液性變成大於同色間堤岸15之最頂面之斥液性，即 使於異色間堤岸14之高度與同色間堤岸15相同之情形，亦 能夠實現與上述同樣之效果。 圖10係揭示本發明之附堤岸基板之其他之構成實例之平 面圖。 圖10所示之附堤岸基板10B，除同色間堤岸15之構造不同 以外’與前述附堤岸基板i 0 A相同。 附堤岸基板10B之同色間堤岸15，與異色間堤岸14同樣 地’係以基部1 5 1與形成於此基部1 5 1上之斥液部1 52所構 成’基部151之高度及構成材料變成與基部ι41相同，斥液 部U2之高度及構成材料則變成與斥液部ι42相同。 但是’異色間堤岸14之斥液部142之寬度W!變成大於同 色間堤岸15之斥液部152之寬度W2。藉此，異色間堤岸14 107089.doc 1302991 會變成其做為隔開液狀材料1 1 1之堤防之機能高於同色間 堤岸15者。因此，即使於使用此種附堤岸基板1〇]8之情形， 亦能夠獲得與使用前述附堤岸基板1 〇 A之情形同樣之效果。 如上述，於本發明中，異色間堤岸14與同色間堤岸15， 即使於該等之總高度及最頂面之斥液性係相互相等之情 形’若異色間堤岸14之斥液部142之寬度\\^變成大於同色間 玉疋厍1 5之斥液部1 5 2之寬度W2即可。此情形，異色間堤岸14 之斥液部142之寬度冒丨、與同色間堤岸15之斥液部152之寬 度W2之比率，以程度者較為理想，WVW^O.5 程度者則更為理想。 如以上說明之本發明，不限於彩色濾光器基板10之製 造’亦能夠適用於例如場致發光顯示裝置等之其他方式之 圖像顯示裝置之製造。 圖11及圖12係揭示將本發明之附色要素基板適用於有機 場致發光顯示裝置30之情形之成膜方法之剖面圖。以下， 雖係就利用本發明製造有機場致發光顯示裝置3〇之情形之 情形加以說明，但係以與製造前述之彩色濾光器基板丨〇之 情形之不同點為中心加以說明，關於同樣之事項則省略其 說明。 圖11及圖12所示之附堤岸基板3〇A係用於製造有機場致 發光顯不裝置30之基板。於此附堤岸基板3〇八上，設置有條 狀排列之排列成行列狀之紅、綠、藍之各色之多數個色要 素區域38R、38G、38B，各色要素區域38R、38G、38B係 藉由堤岸40所包圍。色要素區域38R係應形成有發射紅色之 107089.doc -31 - 1302991 波長帶之光線之色要素膜之發光膜2UFR之區域，色要素區 域38G係應形成有發射綠色之波長帶之光線之色要素膜之 發光膜211FG之區域，色要素區域38B係應形成有發射藍色 之波長帶之光線之色要素膜之發光膜2UFB之區域。

具體吕之’附堤岸基板30A包含玻璃基板32、形成於玻璃 基板32上之電路元件層34、形成於電路元件層34上之複數 之像素電極36與形成於複數之像素電極36之間之堤岸4〇。 玻璃基板32對於可見光具有光透過性。複數之像素電極％ 之每一個係對於可見光具有光透過性之電極，例如，氧化 銦錫ITO (indium_Tin 0xide)電極。此外，複數之像素電極 36係配置於電路元件層34上呈矩陣狀，各個規定色要素區 域 38R、38G、38B。 堤岸40係由位於不同色之色要素間之異色間堤岸401與 位於同色之色要素間之同色間堤岸402所構《。亦即，於與 圖η及圖12之紙面垂直之方向形成有異色間堤岸4〇1，於與 圖11及圖12之紙面平行之方向形成有同色間堤岸4〇2，且由 異色間堤岸401與同色間堤岸4〇2形成格子狀。異色間堤岸 401及同色間;t疋岸402係分別由形成於電路元件層34上之無 機物層、與位於該無機物層上之有機物層所構成。 … 異色間堤岸401之高度變成比同色間堤岸402之古产 高。此外，異色間堤岸術之最頂面之斥液性變成比= 堤岸402之最頂面之斥液性更大者較為理想。 電路元件層34係包含於玻璃基板32上往特定之方向延 之複數之掃描電極、為覆蓋複數之掃描電極所形成之絕; 107089.doc -32 · 1302991

膜42、位於絕緣膜42上且往對於複數之掃描電極延伸之方 向正交之方向延伸之複數之信號電極、位於掃描電極及信 號電極之交點附近之複數之開關元件44與為覆蓋複數之開 關元件44所形成之聚醯胺（p〇lymide)等之層間絕緣膜45之 層。每一個之開關元件44之閘極電極44G及源極電極44S係 以電性方式與每一個對應之掃描電極及對應之信號電極相 連接。複數之像素電極36係位於層間絕緣膜45上。於層間 絕緣膜45，於與開關元件44之源極電極44D相對應之部位設 置有通孔44V，介由此通孔44V，形成有開關元件44與對應 之像素電極3 6之間之電性連接。此外，每一個之開關元件 44係位於對應於堤岸4〇之位置。 此種附丨疋岸基板3 0 A能夠使用周知之製膜技術與圖案化 技術加以製造。再者，於各像素電極36之每一個之上，形 成對應之電洞輸送層37R、37G、37B亦可。若電洞輸送層 3 7R、3 7G、3 7B係位於像素電極36與後述之發光膜2Ufr、 FG 2 11FB之間，場致發光顯示裝置之發光效率會變高。 -液狀材料賦予步驟- 如上述對於形成有色要素區域38R、38(}、3犯之附堤岸 基板30A，如圖u⑷〜⑷所示，與前述之彩色遽光器基板⑺ 之If形同樣地’使用本發明之描繪裝置i，對於各色要素區 域R 38G 38B，分別賦予液狀材料211R、211G、211B。 设，予、X色之色要素區域38r之液狀材料川&超越同色間 疋厗402❿與賦予相鄰接之同色之色要素區域徽之液狀 ;斗1R連、、σ 亦即’賦予紅色之色要素區域3811之液狀材 107089.doc • 33 - 1302991 料211R係母一行連結而形成魚板狀。同樣地，賦予綠色之 色要素區域38G之液狀材料211G、及賦予藍色之色要素區 域38B之液狀材料211B亦係每一行連結而形成魚板狀（圖 11(c)、12(d)參照）。 液狀材料211R係包含紅色之有機發光材料者，液狀材料 211G係包含綠色之有機發光材料者，液狀材料2ub係包含 藍色之有機發光材料者。液狀材料211R、211G、211B係有 機場致發光顯示裝置30之劃分之發光膜211FR、211FG、 • 2 11FB之構成材料之發光材料溶解或分散於有機溶劑中而 成者。 -成膜步驟- 然後，將附堤岸基板30A搬運至乾燥裝置，藉由使賦予各 色要素區域3 8R、3 8G、3 8B之液狀材料211R、211G、211B 乾燥’如圖12(e)所示，能夠於各色要素區域38R、38G、38B 上作成發光膜211FR、FG、FB。 其次’為覆蓋發光膜211FR、211FG、211FB及堤岸40而 設置對向電極46。對向電極46係發揮做為陰極之機能。 然後，藉由將密封基板48與附堤岸基板30A於相互之周邊 部加以接著，能夠獲得如圖12(f)所示之有機場致發光顯示 裝置30。再者，於密封基板48與附堤岸基板3〇A之間封入有 惰性氣體49。 於有機場致發光顯示裝置30中，從發光膜211FR、 211FG、211FB發射之光線係介由像素電極36、電路元件層 34與破璃基板32而射出。如此地介由電路元件層34射出光 107089.doc -34- 1302991 線之場致發光顯示裝置稱為底部發光型之顯示裝置。 於如上述之有機場致發光顯示裝置30中，基於與前述彩 色濾光器基板10同樣之理由，因能夠一方面確實地防止於 不同色之色要素間之混色與脫色，一方面使發光膜2 11 fr、 2 11FG、211FB之膜厚變得均勻，故能夠獲得無色彩不均勻 等之高畫質。

以上，雖係就於液晶顯示裝置（彩色濾光器基板）、與場 致發光顯示裝置適用本發明之情形加以說明，但本發明並 不以此等為限，例如，亦能夠適用於電漿顯示裝置之背面 基板、與包含電子發射元件之圖像顯示裝置（或稱為SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display ;表面傳導電 子發射顯示器）或FED (Field Emission Display ;場發射顯示 器)）。 <本發明之電子機器之實施型態> 包含根據前述之方法所製造之彩色濾光器基板1〇之液晶 顯示裝置、與根據前述之方法所製造之場致發光顯示裝置 4之圖像顯示裝置1 〇〇〇能夠使用於各種電子機器之顯示 部。 圖13係揭示適用本發明之電子機器之移動（m〇bil)型（或 筆記型）之個人電腦之構造之立體圖。 於此圖中，個人電腦1100係由包含鍵盤11〇2之本體部 1104與顯示單元1106所構成，顯示單元11〇6對於本體部 1104係介由叙合（hinge)構造部而被支撐成可轉動的。 於此個人電腦1100中，顯示單元1106包含圖像顯示裝置 107089.doc -35 - 1302991 1000 〇 圖14係揭不適用本發明之電子機器之行動電話機（亦包 含PHS)之構造之立體圖。 於此圖中’行動電話機1200包含複數之操作按鈕12〇2、 受話口 1204及收話口 12〇6，且於顯示部包含圖像顯示裝置 1000 〇 圖15係揭示適用本發明之電子機器之數位靜物攝影機 (digital still camera)之構造之立體圖。再者，關於與外部機 器之連接亦簡易地表示之。 於此處，通常之相機係藉由被拍攝體之光像而使銀鹽照 相軟片感光，相對地，數位靜物攝影機13〇〇係藉由電荷耦 合裝置（CCD ; Charge Coupled Device)等之成像元件 (imaging device)將被拍攝體之光像進行光電轉換而產生成 像#就（圖像信號）。 於數位靜物攝影機1300之外殼（本體）1302之背面，圖像 顯示裝置1000被設置於顯示部，變成基於藉由CCd所產生 之成像信號而進行顯示之構造，發揮將被拍攝體當作電子 圖像而顯示之取景器（finder)之機能。 於外殼之内部設置有電路基板1308。此電路基板1308設 置有得儲存（記憶）成像信號之記憶體。 此外，於外殼1302之正面側（依圖示之構造為背面側）設 置有包含光學透鏡（成像光學系統）與CCD等之受光單元 1304 〇 攝影者若確認顯示於顯示部之被拍攝體像，按下快門按 107089.doc -36- 1302991 鈕1306，該時點之CCD之成像信號將被傳送•儲存於電路 基板1308之記憶體。

此外，於此數位靜物攝影機1300中，於外殼1302之側面 設置有視頻信號輸出端子13 12與資料通信用之輸出入端子 13 14。而且，如圖示，分別地按照需要於視頻信號輸出端 子1312連接有電視監視器1430，而於資料通信用之輸出入 端子1314連接有個人電腦1440。此外，變成儲存於電路某 板1308之記憶體之成像信號係藉由特定之操作而輸出至電 視監視器1430與個人電腦1440之構造。 再者，本發明之電子機器，除上述之個人電腦（移動型個 人電腦）、行動電話機、數位靜物攝影機之外，亦能夠適用 於例如電視、攝影機（video camera)、取景器（view finder) 型、監視器直視型磁帶攝影機（vide〇 tape rec〇rder)、膝上 型個人電腦、車用導航裝置、呼叫器、個人數位助理(亦包 含附通信機能）、電子辭典、電子計算機、電子遊戲機器、 文字處理機、工作站、視訊電話、防範犯罪用電視監視器、 t ^ ft § (binocular) . ^ Ιέ ^ f ^ ^ ^ 〇f terminal)、包含觸碰式面板之機ϋ(例如金融機構之自動提 款機(cash dispenser)、自動售票機)、醫療機器(例如電子體 溫計、血壓計、血糖計、心雷 一 、 不裝置、超音波診斷裝置、 内視鏡用顯示裝置）、魚群摄、丨 則機、各種測定機器、測量儀 器類（例如車輛、航空機、船舶 舶之，則罝儀器類）、飛行模擬器、 其他各種之監視器類、投影機 、 ^荨之投射型顯示裝置等。 以上，雖就圖示之實施刮 t心况明本發明之附色要素基 107089.doc -37- 1302991 板、成膜方法、光電裝置及電子機器，但本發明並非限定 於此者。構成本發明之附色要素基板、光電裝置及電子機 器之各部分，能夠與得發揮同樣之機能之任意之構造者進 订置換。此外，亦得附加任意之構成物。 此外，本發明不限於條狀排列之附色要素基板，亦能夠 適用於三角形（delta)排列、鑲嵌（mosaic)排列等之其他之排 列圖案之附色要素基板。 【圖式簡單說明】 圖1係揭示使用本發明之成膜方法之描繪裝置之立體圖。 圖2係揭示圖丨所示之描繪裝置之頭單元、與附堤岸基板 之平面圖。 圖3係將液滴噴出頭之喷嘴面（喷嘴板）之一部、與附堤岸 基板之色要素區域加以擴大揭示之平面圖。 、圖4係揭示圖1所示之描繪裝置之液滴f出頭之圖式，⑷ 為立體圖，（b)為剖面側視圖。 圖5係揭示圖1所示之描繪裝置之控制設備之構造之區塊 (block)圖。 圖6⑷係揭示頭驅動部之模型圖，⑻係揭示頭驅動部之 驅動信號、選擇信號及噴出信號之計時圖(timing chart)。 圖7係將附堤岸基板加以擴大揭示之平面圖》 圖’He)係揭示製造使用圖7所示之附堤岸基板之彩色 濾、光器基板之方法之剖面圖。 圖9⑷-(f)係揭示製造使用圖7所示之附堤岸基板之彩色 渡光器基板之方法之剖面圖。 107089.doc -38- 1302991 圖1 〇係揭示本蘇日日 天月之附堤岸基板之其他之構造實例 面圖。 、4〜卞 圖11(a) (c)係揭示將本發明之附色要素基板適用於有機 場致發光顯示裝置之情形之成膜方法之剖面圖。 圖12(d)-(f)係揭示將本發明之附色要素基板適用於有機 場致發光顯示裝置之情形之成膜方法之剖面圖。 圖13係揭示適用本發明之電子機器之移動型（或筆記型） 之個人電腦之構造之立體圖。 圖14係揭示適用本發明之電子機器之行動電話機（亦包 含PHS)之構造之立體圖。 圖15係揭示適用本發明之電子機器之數位靜物攝影機之 構造之立體圖。 【主要元件符號說明】 1 描繪裝置 2 液滴喷出頭 21R、21G、21B 第1頭 22R、22G、22B 第2頭 23R、23G、23B 第3頭 24R、24G、24B 第4頭 25 喷嘴 91、92 液滴 101 儲槽 103 頭單元 104 托架移動機構 107089.doc *39* 1302991

105 托架 106 載置台 108 載置台移動機構 110 管 111、111R、111G、 液狀材料 111B、211R、211G、211B 112 控制設備 120 空腔 122 隔板 124 振盪器 124A 、 124B 電極 124C 壓電元件 126 振動板 128 喷嘴板 129 液體聚積處 130 供應口 131 子L 200 緩衝記憶體 202 記憶設備 203 驅動信號產生部 204 處理部 206 掃描驅動部 208 頭驅動部 AS 類比開關 107089.doc -40- 1302991

DS 驅動信號 SC 選擇信號 ES 喷出信號 10A 、10B 、30A 附堤岸基板 10 彩色遽光器基板 12、 32 玻璃基板 13 堤岸 14 異色間堤岸 141 基部 142 斥液部 15 同色間堤岸 151 基部 152 斥液部 18 > 18R、 18G、18B、 色要素區域 38R 、38G 、38B 20 保護膜 111FR、111FG、111FB 過濾膜 30 有機場致發光顯示裝置 34 電路元件層 36 像素電極 37R 、37G 、37B 電洞輸送層 40 堤岸 401 異色間堤岸 402 同色間堤岸 107089.doc -41 - 1302991

42

44 44G 44S 44D 44V 45 46 48 49

211FR、211FG、211FB 302 303 1000 1100 1102 1104 1106 1200 1202 1204 1206 1300 1302 絕緣膜 開關元件 閘極電極 源極電極 沒極電極 通孔 層間絕緣膜 對向電極 密封基板 惰性氣體 發光（emission)膜 托架位置檢測設備 載置台位置檢測設備 圖像顯示裝置 個人電腦 鍵盤 本體部 顯示單元 行動電話 操作按紐 受話口 送話口 數位靜物攝影機 外殼（本體） 107089.doc -42- 1302991 1304 受光單元 1306 快門按鈕 1308 電路基板 1312 視頻信號輸出端子 1314 資料通信用輸出入端子 1430 電視監視器 1440 個人電腦 107089.doc -43 -

Claims (1)

1302轉41〇19〇1 2號專利申請案 Θ年^ 修(更)正本 中文申請專利範圍替換本(97年7月） 十、申請專利範圍·· 夕種附色要素基板’其係對於以特定之排列圖案排列之 、夕數個色要素區域由堤岸劃分所形成的附堤岸基板之前 述色要素區域’賦予色要素膜形成用之液狀材料，並使 該賦予之液狀材料固化或硬化而形成色要素膜而成者； 其特徵為： 丽述堤岸包含位於不同色之色要素間之異色間堤岸、 /、位於同色之色要素間之同色間堤岸·且 :j述異色間堤岸之高度高於前述同色間堤岸之高度。 士 ：求項1之附色要素基板’其中，將前述異色間堤岸 之尚度訂為Η丨、前述同色間堤岸之高度h2 α2/Ηθ〇.99 之關係。 < ^ 3. ^種附色要素基板’其係對於以特定之排列圖案排列之 '夕數個色要素區域由堤岸劃分所形成的附堤岸基板之前 述色要素區域，賦予色要素膜形成用之液狀材料，並使 液狀材料固化或硬化而形成色要素膜而成者； 前述堤岸包含位於不同色之色要素間之異色間堤岸、 與位於同色之色要素間之同色間堤岸；且 對於則述液狀材料之前述異色間堤岸之最頂面之 性大於前述同色間堤岸之最頂面之斥液性。 / 107089-970717.doc 1 Π:::之附色要素基板，其中，將構成前述異色間 構成^ 材料與前述液狀材料之接觸角訂為α、 2 構成别迷同色間堤岸之最頂面之材料與前述液狀材料之 1302991 $接觸角叮為万時，滿足0·〇1^β/α $0.99之關係。 夕種附色要素基板，其係對於以特定之排列圖案排列之 夕數個色要素區域由堤岸劃分所形成的附堤岸基板之前 述色要素區域，賦予色要素膜形成用之液狀材料，並使 4賦予之液狀材料固化或硬化而形成色要素膜而成者，· 其特徵為： 前述堤岸包含位於不同色之色要素間之異色間堤岸、 與位於同色之色要素間之同色間堤岸； /刖述異色間堤岸及前述同色間堤岸分別包含基部、與 形成於丽述基部上之對於前述液狀材料之斥液性大於前 述基部之表面之斥液部；且 、）述異色間i疋岸之斥液部之寬度大於前述同色間堤岸 之斥液部之寬度。 6.

月東員5之附色要素基板，其中，將前述異色間堤岸 之斥液部之寬度訂為Wl、前述同色間堤岸之斥液部之寬 度訂為w2時，滿足W2/Wi以·99之關係。 ％ 如请求項1至6中任一項之附色要素基板，， 排列圖案係條（strip)狀排列。 ’、則’L 以使多數之色要素區域以特定 形成劃分色要素區域之堤岸之 一種成膜方法，其包含： 之排列圖案排列之方式， 堤岸形成步驟， 用液狀材料之 對於$述色要素區域賦予色要素膜形成 液狀材料蛾予步驟，與 使被賦予前述色要素區域之液狀材料固化或硬化而形 107089-970717.doc 1302991 成色要素膜之成膜步驟；立特徵為. 於前述堤岸形成步驟中：形成位於不同色 之異色間堤岸、與位於同色之色要音二：色要素間 而且，使前述異色間乂 t 色間堤岸’ 言产 疋厗之咼度向於前述同色間堤岸之 以使多數之色要素區域以特定 形成劃分色要素區域之堤岸之 9· 一種成膜方法，其包含： 之排列圖案排列之方式， 堤岸形成步驟，

對於前述色要音ρ 、 巴要素£域賦予色要素膜形成用液狀材料之 液狀材料賦予步驟，與 、使被賦予前述色要素區域之液狀材料固化或硬化而形 成色要素膜之成膜步驟；其特徵為： 於刖述堤岸形成步騍中，形成位於不同色之色要素間 之異色間堤岸、與位於同色之色要素間之[S]色間堤岸， 而且，使對於前述液狀材料之前述異色間堤岸之最頂面 之斥液性大於前述同色間堤岸之最頂面之 斥液性。 10·種成膜方法，其包含：以使多數之色要素區域以特定 之排列圖案排列之方式，形成劃分色要素區域之堤岸之 堤岸形成步驟， 對於W述色要素區域賦予色要素膜形成用之液狀材料 之液狀材料賦予步驟，與 使被賦予前述色要素區域之液狀材料固化或硬化而形 成色要素膜之成膜步驟；其特徵為： 於前述堤岸形成步驟中，形成含有基部、與形成於前 107089-970717.doc 1302991 述基部上之Iμ & 表 ；别述液狀材料之斥液性大於前述基部之 之異斥液。卩的堤岸，而且，使位於不同色之色要素間 之異色間堤岸的斥液部之寬度大於位於同色之色要素間 11之同色間堤岸的斥液部之寬度。 狀2項8至1G中任—項之成膜方法，其中，於前述液 狀之=予步驟中’從液滴喷出頭（head)之噴嘴喷出液滴 12.如往液狀材料，而將該液滴賦予前述色要素區域。 狀料項8至10中任—項之成膜方法，其中，於前述液 同!中:賦予液狀材料，以使賦予相鄰接之 並連結。卜要素£域之液狀材料超越前述同色間堤岸 m11之成膜方法’其中，於前述液狀材料賦予步 賦予液狀材料，以使賦予相鄰接之同色之 要素區域之液狀材料超越前述同色間堤岸並連社。… •一種光衫置，其特徵為包含如請、° 之附色要素基板。 貞1至7中任一項 15. 一種電子機器’其特徵為包含如請求項U之光電裝置。 107089-970717.doc