TWI301471B - Facility for hanging and transporting a substrate - Google Patents

Description

1301471 九、發明説明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種吊掛式基板運輸裝置，特別是有關 於一種利用基板運輸裝置於斜面執道上運輸基板之吊掛式 基板運輸装置。 【先前技術】 現今各家液晶顯示器（LCD)業者，莫不以發展下一世代 面板生產線為其主要目標。尺寸愈大之玻璃基板代表可以為 業者T來咼產能、低成本及大尺寸面板顯示器等產業效益。 仁大5L基板同時亦會對量產技術及設備帶來許多困難，例如 基板之搬運即係項令業者頭痛的技術瓶頸。 目則大型基板之長行程運輸方法，主要係使基板盛裝於 ^型基板卡E内，再利用—種自動導引載具（agv)於單一循 ¥路線中運輸卡g，而各單_循環路線之間的搬運傳遞，則 需利用機械手臂來搬運卡£至各自動導引載具上，藉以形成 長行程的大型基板運輸。 /然而’此種基板運輪方式仍存有若干問題，當大型基板 係平置在載具上運輸時，若基板之尺寸愈大時，運輸裝置之 設置空間亦會相對增加，因而增加設置成本。另外，基 置式運輸容易增加落塵量，故導 仅,,,A , 故v致無塵室之潔淨度難以確 運幹基板係採用直立式運輸時，則可解決平置式 Π二大:目：基板直立式運輸裝置設計尚無法因應承 又…加大之大型基板的垂直重量，例如第五代生產線之 1301471 後的基板。另外，基板在長距離運輪時，由於基板具有限定 之撓性與特定之硬定，因此如何在有限空間内，使大尺寸基 板可順暢的進行直立式的面轉.彎運動，且不致使玻璃基板有 任何損害’亦係目前極需克服之問題。 有鑑於此’故而發展一種基板運輸設備來用以順暢地長 距離運輸各種尺寸之基板。 【發明内容】 因此本發明之一方面係在於提供一種吊掛式基板運， 設備’藉由基板運輸裝置於斜面軌道上運輸基板，以使大； 基板可在直立狀n下平穩的進行運輸。因而解決大型基板: 運輸空間過大，導致無法穩固地進行夾持運輸的問題。 備―：月之另方面係在於提供-種吊掛式基板運輸， 吉基板運輸裝置於斜面軌道上運輸基板，以使大型』 立下平穩地進行運輸，且基板運輸裝置可於4 輸==!轉彎和換執動作。因而解決習用直立式基… 彎之問題。早仃&長距離運輸，及無法在運輸大型基板時_ 根據本發明之一奮大ju 用以垂直運輸基板，此吊掛式基板運輸設備仓 二連接構株、…'、吊掛式基板運輸設備至少包括至二 動農置至小二數個支私傳動裝置及斜面軌道。此些支撑{ 傳動裝置二二1連接構件依序樞接在-起之第… -個支擇傳動—/置撑呈置和第三支撐傳動裝置，其中4 、置/、有主體部、傳動部、滾輪及支撐部。{ 1301471 動部係位於主卹 動部，其以輪與主體:之=動基板’滾輪係連接於傳 斜面執道具有支主體部的下方，用以支撑基板。 方式設計而成，:二，^支撐斜面係以對應預設角度的 以斜向支丄支4之動Γ係垂直延伸… 置掛置於斜面軌道H置之滾輪’而使每—支撐傳動裝 k上，並沿著斜面軌道移動。 主體據本發明之又—實施例，每—個支撐傳動裝置之 上二凹陷部，而前述之斜面軌道係設置於此凹陷部 又’根據本發明之真_每> 之再貝施例，母一個支撐傳動裝置之 主體部設置有一强料样认 弹丨生ν輪，用以彈性抵撐前述之斜面執道之 底部。 本毛明可直立式的對應夾持各種尺寸大小之基 板即使係大型基板也可穩固地對應進行運輸，並可使基板 運輸裝置在運輸基板時平穩地沿著斜面執道上轉彎行進。另 外，斜面軌道可進行換軌動作，因而減少運輸過程中之不必 要的停頓錢械手臂搬運步驟，故增進整體運輸效率和運輸 路徑設計裕度 【實施方式】 請參照第1圖，其繪示根據本發明之一較佳實施例之吊 掛式基板運輸設備在進行基板運輸時之立體視意圖。本實施 例之吊掛式基板運輸設備’至少包括：基板運輸裝置、100 7 1301471 和斜面軌道200。基板運輪裝置 I·，以運鈐其缸2ΛΛ « 係6又置於斜面軌道200 上以運輸基板300,基板3〇〇例 J又1尔屬穴型溥形玻域其祐 基板300在直立狀態時形 乂坡离基板， 〇2〇 , ^ Λ ^ ^ . 土板頁緣3 1 〇和基板底緣 320，畜基板運輸裝置ι〇〇造 100 t . 0進仃基板運輸時，基板運輸裝置 100係刀別夾持住基板1〇〇之 .90, ,,,, Α 土板頁緣310和基板底緣

3 2 0，U使基板3 0 〇形成亩古肚妒 ^ L 立狀恶。基板運輸裝置100至少 包括有第一支撐傳動裝置11〇笼― 罝UU弟一支撐傳動裝置120、第 三支撐傳動裝置130、及丄卓桩媸Α 1/1Λ ^ 及連接構件140。連接構件14〇係用 以依序連接第-支樓傳動裝置11G、第二支撐傳動裝置⑵ 及第三支撐傳動裝置13()成〜整體。基板運輸裝置⑽係屬 吊掛式^運輸裝置’其係使基板3⑽在運輸過程中保持吊掛 直立狀態，以避免整體運輸設備空間過大，並確保無塵室之 潔淨度。另外，基板運輸裝置1〇〇可選擇連接又一支撐傳動 裝置或更多组支撐傳動裝置，以進一步增加機構設計裕度和 運輸彈性。 請參閱第1圖至第4圖，第2圖係繪示吊掛式基板運輸 設備之立體示意圖，第3圖係繪示基板運輸裝置之構件爆炸 圖，第4圖係繪示吊掛式基板運輸設備在運輸基板時之剖面 示意圖。本實施例之基板運輸裝置1〇〇之第一支撐傳動裝置 110、 第二支撐傳動裝置120和第三支撐傳動裝置13〇分別 具有主體部、121和131、傳動部112、122和132、滾 輪113、123和133及支撐部114、124和134。此些主體部 111、 121和131分別具有凹陷部nla、i2u及nu和彈 性惰輪111 b、12 1 b及1 3 1 b。凹陷部111 a、1 2 1 a及1 3 1 a係 1301471 用以容納斜面軌道20()(如第4圖所示），而彈性惰輪⑴b、 121b和131b係分別設置於此些凹陷部ma、12“和η。 上’並分別對應彈性抵標斜面軌道2〇〇之底部(如第：a 示），以加強基板運輸裝置100在行料掛置於斜面軌道· 上的穩定性。此些傳動部112、122 些主體部m、121和131之上方，以徂係刀別設置於此 之上方，以供連接構件140進行 ，組設(如第i圖所示)，且第一支撐傳動裝置"Ο之傳動 部U2和第三支撐傳動裝置13〇之傳動部m中之一 驅動引擎（未繪示），以選擇性的驅動第—支撐傳動裝置又ιι〇 之滾輪113或第三支樓傳動裝置no之滾輪133。此 "3、12…33皆係斜向對應於斜面軌道。 ：： 此些主體部111、121釦^ 夾有預5免角度β (如第4圖所 不），此預设角度0係介於3 〇。 ⑴、123和U3可产著钭… 間1使此些滾輪 产立 〇耆斜面執道200上轉動移動。此些支

樓部11 4、1 24和1 34将把 < 认，L 係柩叹於此些主體部111、1 2 1和1 3 1 並對應於基板300之尺寸大小和厚度設計。第-支 撐傳動裝置110之支撐部U4 和弟二支撐傳動裝置之支撐部 1 34較佳係L-型托盤，以分 緣320之兩端位置（如第1 2固；^撐基板300於基板底 1弟1圖所不）。第二支撐傳動裝置U0 之支撐部12 4設有类括分彼 ，.30Π ^^4 夺兀件，以124a，以穩固地夾持住基 板300於基板頂、緣310位置。此些支標部m、124和134 可對應對應基板30〇之尺汁士 | ^ .. ^ α 之尺寸大小而調整支撐位置，並在進行 運輸基板300時隨時對庫鳇 _之運輸行進順楊動 向’以使基板 、 D而七加本發明之吊掛式基板運輸設 1301471 備的運輸適用性和順暢性。 、請參閱第2圖和第4圖，本實施例之基板運輸裝置ι〇〇 之連接構件14〇設有至少—接頭141，接頭例如 接，：以使第—支摟傳動裝置11Q、第二支撐傳動裝置1^0 和第三支撐傳動裝4 13G在相互連接後可活動地對相對轉 =，藉以使基板運輸裝置100在夾持運輸基板3〇〇時可沿 著斜面執道200上進行轉彎動作。 請參閱第4圖和第5圖，第5圖料示吊掛式基板運輸 設備進行換軌動作時之立體視意圖。本實施例之斜面軌^ 綱設有支撐斜面21G和至少—轉向斜面執道22()。支撐斜 面210係對應於此預設角度θ設置’以形成斜向的執道=， 而二供此些第一支撐傳動裝置11〇、第二支撐傳動裝置a。 矛第一支撐傳動叙置13〇斜向支撐力。藉以使基板運輸裝置 100可掛置於斜面軌道200上，並沿斜面軌道200行進運輸 基板300。第-支擇傳動裝置UG、第二支撐傳動裝置 和第三支撐傳動裝置130之滾輪113、123、 133分別在輪 面邊緣形成有導角（未標示），斜面執道200之支撐斜面210 可進一步對應此些滾輪113、123、 133之導角而形成有導 角凹面（未標示），以使此些滾輪113、123、 133之輪面進 一步貼合於支撐斜面210，因而基板運輸裝置1〇〇可更穩固 。當進行夾持運輸基板300 的掛置和行進於斜面軌道200上 時，基板300之重心係垂直延伸於該支撐斜面上（如第*圖 所示）’以使支撐斜面210提供的正向分力可與基板3〇〇之 重量相抵，而達成垂直方向的力平衡。因此，當基板運輸裝 1301471 置H)〇在斜面軌道200上進行運輸基板3〇〇時 200可充分的斜向支撐住基板運輸裝置1〇〇。 、 請㈣第5 Η ’本實_之斜面軌道· 係形成於斜面軌道之特定區段中，並對應於斜面 軌道200,設置’斜面執道扇，之執道行向或路線係不同於 斜面執道，藉以提供基板運輸裝置1〇〇不同的運輸行進 方向或路徑。轉向斜面軌道22〇形成有執冑221和

222 ’軌道221和執道222係利用連接桿（未標示㈣成相 互連接’軌道221係設置於斜面軌道中（如帛5圖所示 軌道222係對應於斜面軌道2G()’設置。如帛$圖所示，者 基板運輸裝置1〇〇在變更行進路徑時，軌道222係向斜面： 道200,移動，此時，軌道221順勢離開斜面軌道細，接著 使執道222對應連接至斜面軌道·，，因而完成換執動作。 因此，基板運輸裝置100可利用轉向斜面軌道22〇，而由原 本之斜面軌道200行進至斜面軌道2〇〇，，以達到變換運輸 行進路徑之功效。 ^ 睛參閱第1圖和第5圖，t本實施例之吊掛式基板運輸 設備在進行基板300運輸時，先利用吸盤（未繪示）吸起基板 3〇〇，再使基板運輸裝置1〇〇夾持住基板3〇〇。基板運輸裝 置100係利用第一支撐傳動裝置110和第三支撐傳動裝置 130來支撐基板3〇〇於基板底緣32〇之兩端位置，並使第二 支撐傳動裝置120固定夾持住基板3〇〇於基板頂緣31〇位置 (如第1圖所示）。故當基板運輸裝置1〇〇在斜面軌道2〇〇上 以特定速度進行運輸基板3〇〇時，主要由第一支撐傳動裝置 1301471 no和第三支撐傳動裝置130分擔基板300之重量，以提供 基板運輸裝置100對於基板300之支撐力。另外，此些支撐 部114、124和134皆可相對於基板運輸裝置100對應轉動 和調整夾持位置’藉以使基板3〇〇可順暢的沿著斜面轨道 • 2〇〇運輸。且基板運輸裝置1〇〇係可對應夾持固定各種尺寸 大小之基板300，因而進一步增加基板運輸裝置1〇〇之運輸 適用性。當基板運輸裝置100在斜面軌道2〇〇上行進時，基 _板運輸裝置1〇0可選擇由第一支撐傳動裝置110或第三支撐 、傳動裝置130來進行驅動，以帶動基板運輸裝置100朝第一 支撐傳動裝置110或第三支撐傳動裝置13〇之方向來行進。 當基板運輸裝置100在斜面軌道2〇〇上進行轉彎動作時，斜 面執道200之支撐斜面21〇可提供一水平支撐分力，以抵消 .基板運輸裝置100在轉彎時所受離心力之影響，因而穩定基 板運輸裝置1GG在斜面軌道2GG上之運行，並防止脫轨現象 發生。當基板運輸裝置100變更運輸路徑時，基板運輸裝置 • 1〇〇:利用斜面軌道200之轉向斜面執冑22〇來進行換執動 作，猎以使基板運輸U 1〇〇變換行進方向路線，進一㈣ 現長距離單行程運給夕a ^ Ά 平丁枉運輸之目的，而無需使用機械手臂在 之間輔助搬運。因此，太恭日日+故』安 口此，本發明之基板運輸裝置1〇〇可 ί = 定速度直立式的運輸基板3°°，且基板運輸裝 置100可在斜面軌道200上進行轉彎或換執動作。 由上述本教明較佳實施例， 備，其優點在於可直立應用本㈣之運輸設 J1立式的對應夹持各種尺寸大 即使係大型基板也可耩 t α地斜面執道上進行運輸，因而辦 12 1301471 “月之運輸設備的適用性。且 於斜面軌道上轉弯行進，因 4置可平順穩定的 計裕度。再者，斜面運輸平穩性和運輪路徑設 丹有斜面軌道可進行換 :輸路徑設計裕度，及減少運輸過程中之不 體運輸效率和降低運輸成本。 pp ^ , ^ nR 只轭例揭露如上，然其並非用以 限疋本务日月，任何熟習此技藝者，在不 Μ以 ， 各種之更動與潤飾，因此本發明之保嗜 虽視後附之中請專利範圍所界定者為準。 …耗圍 【圖式簡單說明】 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和 易懂，下文特舉一較佳竇施初4^人 ^ ^ 1土貝施例，並配合所附圖式，作田 明如下： 第1圖係緣示根據本發明之一較佳實施例之吊掛式基 板運輸設備在進行基板運輸時之立體視意圖； 第2圖係繪示根據本發明之一較佳實施例之吊掛式基 板運輸設備之立體示意圖； 第3圖係繪示根據本發明之一較佳實施例之吊掛式基 板運輸設備之基板運輸裝置之構件爆炸圖； 第4圖係繪示根據本發明之一較佳實施例之吊掛式基 板運輸設備在運輸基板時之剖面示意圖；以及 第5圖係繪示根據本發明之一較佳實施例之吊掛式基 板運輸設備在進行換執動作時之立體視意圖； 13 1301471 主要元件符號說明】 0 :預設角度 110 :第一支撐傳動裝置 100 :基板運輸裝置 111 :主體部 111 a :凹陷部 111 b :彈性惰輪 1 12 :傳動部 113 :滾輪 114 :支撐部 120 :第二支撐傳動裝置 12 1 :主體部 12 1 a :凹陷部 1 2 1 b :彈性惰輪 122 :傳動部 123 :滾輪 124a :夾持元件 124 :支撐部 130 :第三支撐傳動裝置 1 3 1 :主體部 1 3 1 a :凹陷部 121b :彈性惰輪 132 :傳動部 133 :滾輪 134 :支撐部 140 :連接構件 141 :接頭 200、200’ ··斜面軌道 21 0 ·•支撐斜面 220:轉向斜面執道 221、222 :執道 300 :基板 3 2 0 :基板底緣 3 1 0 :基板頂緣 14

Claims (1)

1301471 十、申睛專利範圍 .板種吊掛式基板運輸設備，用以垂直地運榦一其 ，板，，、中该吊掛式基板運輸設備至少包括： w基 〜 至少二連接構件； ' 減個支撐傳動裝置，至少 ，在-起之-第一支撐傳動裝置、 …弟二支撑傳動裝置’其中每一該些支搏 ；. φ 一主體部； 罝/、有· ::部’位於該主體部的上方’用以帶動該基板; 之門2輪’連接於該傳動部，其中該滾輪與該主體部 之間夹有—預設角度，該預㈣度係小於9〇度.以及 一支撐部，位於哕φ ^ 板；以及 …體部的下方，用以支撐該基 斜面軌道具有一支撐斜 該預設角度的方式設計^ 對應 ^ ^ ^ ^ , 成，且该基板之重心係垂直延伸於 •[二’藉以斜向支樓每一該些支稽傳動裝置之該滾 =面I:該些支樓傳動袭置掛置於該斜面軌道上，並沿 者該斜面軌道移動。 2.如申請專利範 # . ^ ^ 轭Ν弟1項所述之吊掛式基板運輸設 備’其中母一該4b φ #信心# 二支按傳動裝置之該主體部具有一凹陷部， 而該斜面轨道係設置於該凹陷部上。 3々申明專利範圍第1項所述之吊掛式基板運輸設 15 1301471 備，其中該第二支撐傳動裝置之該 用以夾持固定該基板。 > 部具有一夾持凡件， 4·如申蜎專利乾圍第3 版甘占—够—+ & 巧所迷之吊掛式基板運輸設 備，其中该弟一支#傳動裝置之古 置之支撐部的該夾持元件係夾持 固定該基板於垂直狀態時的頂緣位置。 1項所述之吊掛式朞板運輸設 置之該支撐部和該第三支撐傳動 5.如申請專利範圍第 備，其中該第一支撐傳動裝 用以支撐該基板。 裝置之該支撐部為一組L -型托盤 6.如申請專利範圍第！項所述之吊掛式基板運輸設 備，其中該第一支撐傳動裝置之支撐部和該第三支撐傳動裝 置之支撐部係支撐該基板於垂直狀態時的底緣位置。 7·如申請專利範圍第丨項所述之吊掛式基板運輸設 備，更至少包括： 一第四支撐傳動裝置，樞接於該第三支撐傳動裝置。 8 ·如申請專利範圍第1項所述之吊掛式基板運輸設 備，其中該預設角度係介於3〇。至6〇°之間。 9 ·如申請專利範圍第1項所述之吊掛式基板運輸設 備，其中該第一支撐傳動裝置和該第三支撐傳動裝置其中一 16 1301471 者之δ亥傳動部具有一驅動引 道移動。 擎以f動該基板沿著該斜面執 10·如申請專利範圍第1 備，其申該些支撐傳動裝置之支撐部係：：式基板運輸設 之尺寸大小而調整支揮位置，且該 ：：：於：基板 係對應於該基板之運輸方向而轉。切傳W置之支撐部

設 π ·如申請專利範圍第J 備’其中该連接構件係屬萬向 項所述之吊掛式基板運輸 接頭。 備，二：：請專利範圍第1項所述之吊掛式基板運輸設 /、…、:面軌道另設有-轉向斜面軌道，該轉向斜面執 t對應於另—斜面執道設置，藉以使該基板運輸裳置由該 斜面執道行進移動至該另—斜面軌道，而形成換執動作。

13·如中請專利範圍帛1項所述之吊掛式基板運輸設 備，其中每一該些支撐傳動裝置之該主體部設置有一彈性惰 輪用以彈性抵標該斜面執道之底部。 14· 一種吊掛式基板運輸設備，用以垂直地運輸一基 板’其中邊吊掛式基板運輸設備至少包括·· 至少二連接構件； 複數個支撐傳動纟置，至少包括：II由該些連接構件依 17 1301471 =在：起之一第一支樓傳動裝置、一第二支撐傳動裝置 和-第二支撐傳動裝置’其中每—該些支撐傳動裝置且有. —主體部，具有-凹陷邹和-彈性惰輪，其中該彈 性惰輪係設置於該凹陷部上’用以彈性抵擇該斜 - 之底部； % -傳動部’位於該主體部的上方，用以帶動該基板； 一滾輪，連接於該傳動部，其中該滾輪與該主體部 φ 之間夾有一預設角度，該預設角度係介於30度至60 度之間；以及 一支撐部，位於該主體部的下方，用以支撐該基 板；以及 一斜面轨道，設置於該凹陷部上，其中該斜面軌道具有 一支撐斜面，該支撐斜面係以對應該預設角度的方式設計而 成，且該基板之重心係垂直延伸於該支撐斜面上，藉以斜向 支撐每一該些支撐傳動裝置之該滚輪，而使每一該些支撐傳 動裝置掛置於該斜面執道上，並沿著該斜面執道移動。 15·如申請專利範圍第14項所述之吊掛式基板運輸設 備，其中該第二支撐傳動裝置之該支撐部具有一夹持元件， 用以夾持固定該基板。 1 6.如申請專利範圍第丨5項所述之吊掛式基板運輸設 備，其中該第二支撐傳動裝置之支撐部的夾持元件夾持元件 係夾持固定該基板於垂直狀態時的頂緣位置。 18 1301471 1 7.如申請專利範圍第14項所述之吊掛式基板運輸設 備，其中該第—古，你4 叉蘇傳動袭置之該支撐部和該第三支撐傳動 装置之該支撐邱或—> 又保4為一組L-型托盤，用以支撐該基板。 18’如申請專利範圍第14項所述之吊掛式基板運輸設 備〃中°亥第一支撐傳動裝置之支撐部和該第三支撐傳動裝 置之支撐口 ΙΜ系支撐該基板於垂直狀態時的底緣位置。 19·如申請專利範圍帛14J員所述之吊掛式基板運輸設 備’更至少包括： 置 第四支撐傳動裝置，樞接於該第三支撐傳動裝 20.如中請專利範圍第14項所述之吊掛式基板運輸設 備八中^亥第-支撐傳動裝置和該第三支撐傳動裝置其中一 ^之該傳動部具有-驅動引擎，以帶動該基板沿著該斜面執 道移動。 備，二如利耗圍第14項所述之爷掛式基板運輸設 之尺：該“專動裝置之支撐部係活動地對應於該基板 .^ 位置且该些支撐傳動裝置之支撐部 係對應於該基板之運輸方向而轉動。 22·如申請專利範圍笫u 關弟14項所述之吊掛式基板運輸設 19 l3〇l47i 備’其中該連接構件係屬萬向接頭。 23·如申請專利範圍第14項所述之吊掛式基板運輸設 、、’/其中該斜面軌道另設有一轉向斜面軌道，該轉向斜面轨 ^係對應於另一斜面執道設置，藉以使該基板運輸裝置由該 、面執道行進移動至該另一斜面軌道，而形成換軌動作