TWI354185B - - Google Patents

Description

1354185 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】

本發明係關於一種例如形成有機電致發光元件之間隔 壁用光阻組成物、有機電致發光顯示元件之間隔壁、及有 機電致發光顯示元件。更具體地’關於—種光阻組成物， 可形成剖面形狀從順錐形到倒錐形的任意傾斜角度之有機 電致發光顯示元件等的間隔壁，由該光阻組成物形成的間 隔壁，及具有該間隔壁之有機電致發光顯示元件（有機 EL顯示元件）。 【先前技術】 眾所周知有機電致發光顯示元件係例如以下方式形 成。

亦即，首先於玻璃基板上以濺鍍形成ITO等的透明電 極層。於該透明電極層上塗佈正型光阻，進行預烤。隔著 遮罩將光阻曝光，然後顯像圖型化。圖型化的光阻膜作爲 遮罩，以蝕刻液蝕刻上述ITO膜，形成ITO構成圖型之透 明電極。將該圖型化透明電極上殘留的光阻膜除去後，在 形成圖型化透明電極的玻璃基板上，塗佈形成間隔壁用光 阻。乾燥該塗佈膜後，進行圖型曝光、顯像，形成間隔 壁。然後，在上述透明電極上，利用上述間隔壁，依序層 合電洞傳輸層、有機電致媒介層、陰極層。作爲電洞傳輸 層，使用例如酞青系材料、或芳香族胺。作爲有機電致媒 介，使用基材中摻雜喹吖啶酮、香豆素之材料。再者，作 -4- (2) 1354185 爲陰極材料，使用例如Mg-A丨' Al-Li、Al-Li2〇、 等。接著’中空構造的不鏽鋼罐構件以及上述基相 劑封裝後，組裝爲模組，成爲有機電致發光顯示元 根據利用該間隔壁以形成層合的電洞傳輸層、 致媒介層等的有機EL各層之有機EL材料的分子 間隔壁必須改變其形狀。 作爲有機EL·材料’當然由低分子量朝高分 發’但是從成膜的觀點，分子量iOOO以下的低分 料與10000以上的高分子量材料分類使用。使用 1 〇〇〇以下的低分子量材料的情況’成爲溶液時， 低’難以使用塗佈法塗膜’變成必須以蒸鑛法成膜 方面’使用分子量超過1 0000的高分子材料的情況 溶液時黏度局’無法以蒸鍍法成膜，必須使用塗 膜。 使用低分子量E L材料形成E L層的情況，如| 不’從基板1的透明電極2的上部，在透明電極2 地堆積材料，因爲在成膜的尺寸精度上較佳，但是 3成形爲附有刀刃的剖面之倒錐形（反台階形狀） 要。關於適合形成倒錐形間隔壁之光阻組成物， 個提案（專利文獻1、2 )。 另一方面’使用高分子EL材料形成EL層的 使用旋轉塗佈法、印刷法、噴墨法等塗佈法，由 2、圖3所示溶液流入基板上的透明電極2上，溶 如圖2的間隔壁4般剖面爲順錐形（台階狀），或

Al-LiF 〖以密封 件。 有機電 量，該 子量開 子量材 分子量 黏度太 〇另― ，成爲 佈法塗 圖1所 上垂直 間隔壁 變得重 已有數 情況， 於如圖 液成形 成形如 (3) (3)1354185 圖3的間隔壁5般剖面拱形，變得重要。 上述專利文獻1、2揭露使用光阻組成物的情況，可 形成剖面爲倒錐形的間隔壁，可期待控制其傾斜角在某種 程度。但是’不可能控制使其傾斜角變大，間隔壁剖面成 爲順錐形的情形。亦即，適合低分子量E L材料形成間隔 壁用先阻組成物’不論如何調整組成成分比例，無法並用 於適合高分子EL·材料形成間隔壁用光阻組成物。 此係適合商分子EL材料形成間隔壁用光阻組成物， 不論如何調整組成成分比例，無法並用於適合低分子量 EL材料形成間隔壁用光阻組成物。若先決定主要組成成 分，只改變組成成分比例’可形成從倒錐形的間隔壁至順 錐形的間隔壁之任意傾斜角度的間隔壁，光阻組成物的品 質管理、庫存管理、再者包含品質改良的各種管理變得容 易’在製造上非常有利。但是，直至現在，可對應形成順 錐形至倒錐形的間隔壁’可廣泛用於各種有機電致發光顯 示元件的製造之間隔壁形成用光阻組成物，不爲人所知。 〔專利文獻1〕日本公開專利特開2002-83687號公報 〔專利文獻2〕日本公開專利特開2002-83 68 8號公報 【發明內容】 發明所欲解決之課題 本發明有鑑於上述之情事，其課題爲提供可對應形成 順錐形至倒錐形的間隔壁，可廣泛用於各種有機電致發光 顯示元件的製造之間隔壁形成用光阻組成物，而且提供由 -6 - (4) (4)1354185 該光阻組成物所得間隔壁’於是提供具該間隔壁之有機電 致發光顯示元件。 解決課題之手段 爲解決上述課題’關於本發明之「間隔壁形成用光阻 組成物j ’係在有機EL顯示元件等形成錐形間隔壁之適 合的間隔壁形成用光阻組成物，其特徵爲包含：鹼可溶性 樹脂、酸產生劑、交聯劑、以及間隔壁圖型形狀控制劑。 該間隔壁形狀控制劑’係由順錐形控制劑以及倒錐形 控制劑構成較佳。作爲該倒錐形控制劑，以胺較佳，作爲 該順錐形控制劑，以有機酸較佳。而且，所謂順錐形控制 劑係指間隔壁的側面傾斜角較小，所謂倒錐形控制劑係指 間隔壁的側面傾斜角較大。 本發明的光阻組成物’係藉由調整作爲其成分之順錐 形控制劑以及倒錐形控制劑，形成之間隔壁以其側面傾斜 角表示時’可設定在至少5度〜130度的範圍之任意角度。 而且’本發明的電致發光顯示元件之間隔壁，其特徵 爲：由上述構成的光阻組成物形成者。再者，本發明的電 致發光顯示元件，其特徵爲：具備上述固有之間隔壁。而 且’本發明的電致發光顯示元件，包含有機電致發光顯示 元件以及無機電致發光顯示元件中任一者。 上述構成的光阻組成物，所得圖型形狀係藉由增加胺 的添加量，成爲更倒錐形的形狀，藉由增加有機酸的添加 量’成爲更順錐形的形狀。於該情況胺的添加量，比紫外 (5) 1354185 線阻礙劑、染料少的量較佳。而且，一 劑、染料的情況’其光阻組成物的感度 光阻組成物之組成’具有不造成感度降 本發明的光阻組成物，後段烘烤時昇華 的形狀變化 '逸出氣體少，適用於EL 的光阻組成物藉由旋轉塗佈機、無旋轉 機等的塗佈裝置，可容易地成膜。 若調整本發明的光阻組成物之組成 間隔壁，因低分子量EL材料可精度良 的透明電極上，可適合使用。而且，若 錐形的間隔壁，因高分子量EL材料成 的透明電極上，可適合使用。使用高分 況，該溶液以噴墨方式流入透明電極上 件，由於間隔壁爲順錐形，即使流入間 沿錐形面，自動流入透明電極上，可在 好品質的塗膜。而且，於該情況，間隔 傾斜平坦面也可，只要朝透明電極傾斜 面、曲面皆可。 上述胺的添加量，對鹼可溶性樹脂 從接近0的微量至1重量％較佳’ 〇.1〜1 使用量若超過1重量％，間隔壁的倒錐 變得難以維持形狀。 作爲所使用的胺’例如脂肪族、芳 1、第2、第3級胺。 般使用紫外線阻礙 降低’於本發明的 低的優點。再者， 物質少’加熱造成 顯示元件。本發明 塗佈機 '滾筒塗佈 比，形成倒錐形的 好地蒸鍍於基板上 調整組成比形成順 爲溶液流入基板上 子量EL材料的情 ，製造EL顯示元 隔壁的側面，溶液 透明電極上形成良 壁的側面即使不是 即可。傾斜面爲平 (固體成分量）， 重量％更好。胺的 形角度過分嚴苛， 香族、或雜環的第 -8- (6) (6)1354185 作爲上述脂肪族胺，例如三甲胺、二乙胺、三乙胺、 —正丙胺、三正丙胺、三異丙胺、二丁胺、三丁胺、三戊 胺 '二乙醇胺、三乙醇胺、二異丙醇胺 '三異丙醇胺等的 低級脂肪族胺。 而且’作爲上述芳香族胺，例如苄胺、苯胺、N_甲基 本胺、N，N’-二甲基苯胺、〇 -甲基苯胺、m_甲基苯胺、p—甲 基苯胺、N，N’-二乙基苯胺、二苯胺、二-p_甲苯胺等。 作爲上述雜環胺’例如啦U定、〇 -甲基卩仕卩定、〇 -乙基耻 U定、2,3·二甲基卩比D定、4 -乙基-2-甲基吡D定、3 -乙基-4-甲基 吡啶等。 上述有機酸的添加量’對鹼可溶性樹脂（固體成分 量）’從接近0的微量〜0.6重量％較佳，0.06〜0.6重量％ 更好。 作爲如此的有機酸，例如有機羧酸 '有機膦酸、有機 磺酸等。作爲上述有機羧酸，例如蟻酸、醋酸、丙酸、丁 酸、月桂酸 '十六烷酸、硬酯酸等的脂肪族單羧酸類；油 酸、次亞麻仁油酸等的不飽和脂肪族單羧酸類；草酸、琥 班酸、己二酸' 順丁烯二酸等的脂肪族二羧酸類；乳酸、 葡萄糖酸、蘋果酸、酒石酸、檸檬酸等的氧羧酸類；苯甲 酸、苦杏仁酸' 水楊酸、酞酸等的芳香族羧酸類。 交聯劑的添加量，對鹼可溶性樹脂（固體成分量）， 1〜30重量％較佳，5〜20重量％更好。 作爲如此的交聯劑，只要因酸引發交鏈反應之化合 物’可使用任何如此之化合物。作爲這些交聯劑，除三聚 -9- (7) (7)1354185 氰胺類、苯胍胺類（benzoguanamine)外，烷氧烷化三聚 氰胺樹脂、烷氧烷化尿素樹脂等的烷氧烷化胺樹脂等較 佳。作爲這些烷氧烷化胺樹脂的具體例，例如甲氧基甲基 化三聚氰胺樹脂、丁氧基甲基化三聚氰胺樹脂、甲氧基甲 基化尿素樹脂、乙基甲基化尿素樹脂、丙氧基甲基化尿素 樹脂、丁氧基甲基化尿素樹脂等。 作爲鹼可溶性樹脂’例如酚酚醛樹脂（nov〇lak resin )、甲酚酚醛樹脂、聚丙烯酸、聚乙烯醇、苯乙烯以 及無水順丁烯二酸的共聚合物、聚羥基苯乙烯以及其衍生 物等。作爲聚經基苯乙烯以及其衍生物，例如乙烯基酚的 單聚合物、乙烯基酚與丙烯酸衍生物、丙烯酸基腈、甲基 丙烯酸衍生物、甲基丙烯酸基腈、苯乙烯、α -甲基苯乙 烯、Ρ -甲基苯乙烯、〇 -甲基苯乙烯、ρ -甲氧基苯乙烯、ρ_ 氯苯乙烯等苯乙烯衍生物的共聚合物、乙烯基酚的單獨聚 合物的氫化樹脂以及乙烯基酚與上述丙烯酸衍生物、甲基 丙烯酸衍生物、苯乙烯衍生物的共聚合物之氫化樹脂等。 作爲較佳的鹼可溶性樹脂，例如酚醛樹脂、羥基苯乙 烯樹脂、以及酚醛樹脂/羥基苯乙烯樹脂的混合物。上述 酚醛樹脂/羥基苯乙烯樹脂的比雖無特別限制，以 0/100〜70/30較佳。而且酚醛樹脂的比在70以上，光阻組 成物的耐熱性降低。 上述酸產生劑，可使用三（哄）類、肟磺酸鹽 (oxime sulfonate )類等，雖無特別限制，以肟磺酸鹽類 較佳。該光阻組成物係在EL顯示元件形成後（使用作爲 -10- (8) (8)1354185 間隔壁的情況）成爲永久膜存在於EL顯示元件內。因 此，考慮EL顯示元件之A1電極的腐蝕的情況，以難產 生未反應的酸之肟磺酸鹽類較佳。酸產生劑的量若不到3 重量％時，感度降低，膜毛邊變大。 作爲上述肟磺酸鹽類之酸產生劑，例如α-(甲基磺酸 基氧亞胺基）-苯基乙腈、α-(甲基磺酸基氧亞胺基）-4-甲氧基苯基乙腈、α-(三氟甲基磺酸基氧亞胺基）-苯基 乙腈、α-(甲基磺酸基氧亞胺基）-4-甲氧基苯基乙腈、（X-(乙基磺酸基氧亞胺基）甲氧基苯基乙腈、α·(丙基磺 酸基氧亞胺基）-4-甲氧基苯基乙腈、α-(甲基磺酸基氧亞 胺基）-4-溴苯基乙腈等。 作爲上述三（哄）類之酸產生劑，例如2,4 -雙（三氯 甲基）-6-〔 2-(2-呋喃基）乙醯基〕-s-三（畊）、2,4-雙 (二氣甲基）-6·〔2- (5 -甲基-2-咲喃基）乙釀基〕-s -三 (哄）' 2,4-雙（三氯甲基）-6-〔 2-(5-乙基-2-呋喃基） 乙醯基〕-s-三（畊）、2,4-雙（三氯甲基）-6-〔2-(5·丙 基-2 -呋喃基）乙醯基〕-s-三（畊）、2,4 -雙（三氯甲 基）-6-〔2-(3,5-二甲氧基苯基）乙醯基〕-S·三（哄）、 2.4- 雙（三氯甲基）-6-〔 2-(3,5-二乙氧基苯基）乙醯 基〕-s-三（哄）、2,4-雙（三氯甲基）-6-〔2-(3,5-二丙 氧基苯基）乙醯基〕-s-三（哄）、2,4 -雙（三氯甲基）-6- 〔2-(3-甲氧基-5_乙氧基苯基）乙醯基〕-5_三（哄）、 2.4- 雙（三氯甲基）-6-〔 2-(3-甲氧基-5-丙氧基苯基）乙 醯基〕-s-三（哄）、2,4-雙（三氯甲基）-6-〔2-(3,4-亞 -11 - 1354185 Ο) 甲基二氧苯基）乙醯基〕_s·三（哄）、2,4-雙（三氯甲 基）-6- (3,4-亞甲基二氧苯基）-s•三（畊）、2,4·雙（三 氯甲基）-6-(3-溴-4 -甲氧基）苯基-s-三（畊）' 2,4-雙 (三氯甲基）·6·(2-溴-4 -甲氧基）苯基-s-三（畊）' 2,4-雙（三氯甲基）-6-(2-溴-4-甲氧基）苯乙烯基苯基-s-三（畊）'2,4-雙（三氯甲基）-6·(3_溴-4-甲氧基）苯 乙烧基苯基-s-三（哄）等三（哄）化合物。

〔發明的效果〕 本發明之間隔壁形成用光阻組成物，係可對應形成關 於順錐形至倒錐形的間隔壁，可廣泛用於各種有機電致發 光顯示元件的製造，由該光阻組成物可有效率地形成對應 各種EL材料之多樣間隔壁，可有效率地製造各種EL顯 示元件。

【實施方式】 以下說明本發明的實施例，以下的實施例只是適合說 明本發明的例子，並不限定本發明。 〔實施例〕 說明本發明的實施例以及比較例前，這些例子所使用 的組成成分如以下列舉。 (Α)酚醛樹脂：群榮化學公司製、商品名；GTR-G8/G9 、m/p=100/〇、G8 的 Mw = 8000、G9 的 Mw = 9000 -12- (10) (10)1354185 (B)羥基苯乙烯樹脂：日本曹達公司製、商品名； VPS-25 1 5 ' 羥基苯乙烯/苯乙烯= 85/15、Mw = 2500 (C ) PAG (酸產生劑）：千葉特殊化學公司製. 商品名；C GI -1 3 9 7 ((5-丙基磺酸基氧亞胺基）- (2-甲基苯酚）乙腈）

(D ) PAG (酸產生劑）：純正化學公司製、商品 名；BU-84J (α5α’_雙（丁基磺酸基氧亞胺基）-m-亞苯基二乙 腈） (E )交聯劑：三和化學公司製、商品名；Mw-100LM (F )胺：東京化成公司製、三正戊胺 (G)有機酸：純正化學公司製' 水楊酸 (Η )活性劑：大日本公司製、F-Si系活性劑、 商品名；MAGAFACE R-80

(I)染料：大日本製藥公司製、商品名；GARO KB-H (實施例1 ) 酚醛樹脂（A) 70g以及羥基苯乙烯樹脂（B) 30g構 成的固體成分，溶解於4 00g的 PGMEA(乙酸甲氧基丙 醋；propylene glycol monomethyl ether acetate )，製作 樹脂液。於該樹脂液，添加肟磺酸鹽類酸產生劑（C ) 7g 以及交聯劑（E ) 1 5 g。再添加胺（F ) 1 g、有機酸（G ) -13 - (11) (11)1354185 〇 · 〇 6 g、活性劑（Η ) 〇 · 1 g，攪拌之。然後，以孔徑〇. 〇 5 μ m (Milipore )過濾器過濾，得到塗佈液（負型光阻組成 物）。 (實施例2 ) 羥基苯乙烯樹脂（B) 100 g構成的固體成分，溶解於 400g的PGMEA，製作樹脂液。於該樹脂液，添加肟磺酸 鹽類酸產生劑（C ) 5 g以及交聯劑（E ) 1 5 g。再添加胺 (F) 0.75g、有機酸（g) 0.05g、活性劑（H) O.lg，攪 拌之。然後，以孔徑Ο.05μιη ( Mi 1 ipore )過濾器過濾， 得到塗佈液（負型光阻組成物）。 (實施例3 ) 酚醛樹脂（A ) 30g以及羥基苯乙烯樹脂（B ) 70g構 成的固體成分，溶解於4 0 0g的PGMEA，製作樹脂液。於 該樹脂液，添加肟磺酸鹽類酸產生劑（C ) 7g以及交聯劑 (E ) 15g。再添加胺（F ) O.lg '有機酸（G ) 0.06g、活 性劑（H ) O.lg，攪拌之。然後，以孔徑 〇·〇5μπι (Milipore )過濾器過濾，得到塗佈液（負型光阻組成 物）。 (實施例4) 羥基苯乙烯樹脂（B) 100 g構成的固體成分，溶解於 400g的PGMEA，製作樹脂液。於該樹脂液，添加酸產生 -14- (12) (12)1354185 劑（D) 3g取代肟磺酸鹽類酸產生劑（c)以及添加交聯 劑（E) 10g»再添加胺（F) O.lg、有機酸（G) 0.3g、活 性劑（H ) O.lg，攪拌之。然後，以孔徑 〇.〇5μηι (Milipore )過濾器過濾，得到塗佈液（負型光阻組成 物）。 (比較例1 ) 羥基苯乙烯樹脂（B) 100 g構成的固體成分，溶解於 400g的PGMEA ’製作樹月旨液。於該樹月旨液，添力口月弓擴酸 鹽類酸產生劑（C) 7g以及交聯劑（E) 15g。再添加染料 (I ) 3 g取代胺（F )以及有機酸（G )、添加活性劑 (H) O.lg，攪拌之。然後，以孔徑 〇_〇5μιη (Mil ipore ) 過濾器過濾，得到塗佈液（負型光阻組成物）。 將上述實施例1~4以及比較例1的各塗佈液，以旋轉 塗佈法塗佈於蒸鍍ITO的玻璃基板上，在110 °C、90秒鐘 使其乾燥，形成膜厚4μιη的各塗佈膜。這些塗佈膜使用 ORC公司製曝光機（ΕΧΜ- 1 066 Ε-1)，隔著光罩，以波 長365nm (照度35 mW/cm2)曝光，11〇。(：、90秒鐘後段 烘烤（P.E.B)後，以2.3 8%四甲基氫氧化銨水溶液（東京 應化公司製、商品名NMD-3 ) 90秒鐘顯影，以純水30秒 鐘進行洗淨，於玻璃基板上形成圖型。該圖型以200 °C烘 箱，熱處理30分鐘，使其硬化。 觀察如上述所得各圖型的剖面形狀，測定對基板側面 的傾斜角度（圖型的內角）。而且，測定各圖型的感度以 -15- (13) 1354185 及膜厚。其結果表示如下（表1)。 (表1 ) 側面傾斜角度 感度（mJ ) 膜厚（β m ) 實施例 1 130° (倒錐形） 40 3.8 實施例2 120° (倒錐形） 40 3.8 實施例 3 90° (剖面矩形） 30 3.8 實施例 4 50° (順錐形） 20 3.8 比較例1 130° (倒錐形） 60 3.6

由（表1)可見，實施例4與實施例1、2、3比較， 增加對胺之有機酸的添加量，因此所得圖型的剖面，實施 例1、2、3爲倒錐形（矩形）而實施例4爲順錐形。其差 異，並非構成成分的差異，而是其胺與有機酸的比例的差 異。相對地，於比較例1 (習知例），不包含胺與有機酸 中任一構成要素，即使改變組成成分的比例，無法如本實 施例組成物，使圖型形狀有大變化。 而且，於比較例1，由於添加染料感度變低。再者， 後段烘烤時產生昇華物，耐熱性也降低。 (實施例5 ) 酚醛樹脂（A) 30g以及羥基苯乙烯樹脂（B) 70g構 成的固體成分，溶解於4 00g的PGMEA ’製作樹脂液。於 該樹脂液，添加肟磺酸鹽類酸產生劑（C ) 7g以及交聯劑 -16- (14) 1354185 (E) 15g。再添加胺（F) lg、活性劑（η) 〇.lg，攪拌 之。然後’以孔徑〇·〇5μηι ( MiliP〇re)過濾器過濾，得 到塗佈液（負型光阻組成物）。 (實施例6)

東邦化學公司製商品名 PHC LC 8〇-15(經基苯乙 烯：苯乙烯= 85: 15、Mw = 8000) 50g以及東邦化學公司製 商品名 PHC LC 80-05 (羥基苯乙烯：苯乙烯=95 : 5、 Mw = 8000 ) 50g，作爲趕基苯乙烧樹脂構成的固體成分， 溶解於400g的PGMEA，製作樹脂液。於該樹脂液，添加 肟磺酸鹽類酸產生劑（D) 3g以及交聯劑（E) 10g。再添 加有機酸（G) 0.06g、活性劑（H) O.lg，攪拌之。然 後，以孔徑〇·〇5 μΐΒ ( Milipore )過濾器過濾’得到塗佈 液（負型光阻組成物）。

(實施例7 ) 酚醛樹脂（A ) 30g以及羥基苯乙烯樹脂（B ) 70g構 成的固體成分，溶解於40〇g的PGMEA ’製作樹脂液。於 該樹脂液，添加肟磺酸鹽類酸產生劑（C ) 7g以及交聯劑 (E) 15g。再添加三癸胺lg作爲胺、有機酸（G) 0.0 6 g、活性劑（Η ) 〇 · 1 g，攪拌之。然後’以孔徑0 _ 0 5 l·1 m (Milipore )過濾器過濾’得到塗佈液（負型光阻組成

-17- (15) 1354185 (實施例8) 東邦化學公司製商品名LC81015C羥基苯Z 烯= 85: 15) 5 Og以及日本曹達公司製LC 8005 烯：苯乙烯=85: 15) 50g，作爲羥基苯乙烯樹月丨 體成分，溶解於400g的PGMEA，製作樹脂液' 液，添加肟磺酸鹽類酸產生劑（D) 3g以及交 l〇g。再添加胺（F) 0_lg以及琥珀酸0.3g取十 C G )，攪拌之。然後，以孔徑0·05μιη (Mi 濾器過濾，得到塗佈液（負型光阻組成物）。 (實施例9 ) 酚醛樹脂（A) 30g以及羥基苯乙烯樹脂（ 成的固體成分，溶解於400g的PGMEA，製作捐 該樹脂液，添加三（哄）類酸產生劑之對甲氧_ S三（畊）3g以及交聯劑（E ) 15g。再添加胺 有機酸（G ) 0.06g、活性劑（H) O.lg，攪拌之 以孔徑 〇.〇5μηι ( Milipore )過濾器過濾，得 (負型光阻組成物）。 (比較例2 ) 於比較例1中作爲固體成分，以羥基苯 (B) 100g取代酚醛樹脂（A) 30g以及羥基薄 (B ) 70g ’得到塗佈液（負型光阻組成物）。 由上述實施例5〜9、比較例2的各塗佈液， :烯：苯乙 :羥基苯乙 i構成的固 於該樹脂 聯劑（E ) ζ胺有機酸 1 i ρ 〇 r e )過 B) 70g 構 社脂液。於 g苯乙烯基 (F ) lg、 L。然後， 到塗佈液 乙烯樹脂 乙烯樹脂 與實施例 -18- (16) 1354185 1 ~4以及比較例1同樣的方法，形成圖型，測定其傾斜角 度。亦測定各圖型之感度以及膜厚。其結果表示如下（表 2)。各實施例之圖型形狀，實施例5、7、9以及比較例2 成爲倒錐形’實施例6、8成爲順錐形。 (表2 ) 側面傾斜角度 感度（mJ ) 膜厚（A m) 實 施 例 5 130° (倒錐形） 50 3.9 實 施 例 6 80° (順錐形） 20 3.8 實 施 例 7 120° (倒錐形） 50 3.8 實 施 例 8 50° (順錐形） 20 3 . 8 實 施 例 9 130° (倒錐形） 40 3.7 比 較 例 2 105° (倒錐形） 60 3.6

於實施例5，間隔壁圖型形狀控制劑單獨爲胺，成爲 倒錐形。此外，於實施例6，間隔壁圖型形狀控制劑單獨 爲有機酸，成爲順錐形。所以，得知添加胺成爲倒錐形， 添加有機酸成爲順錐形。 而且，於比較例2，由於與比較例1同樣使用染料， 感度變低。再者，後段烘烤時產生昇華物，耐熱性降低。 〔產業上利用可能性〕 如以上說明，本發明的負型光阻組成物，只要改變其 組成成分互相的比例，可對應形成順錐形至倒錐形的間隔 -19- (17) 1354185 壁’可廣泛使用於各種有機EL顯示元件的 阻組成物可有效率地形成對應各種有機EL 隔壁’可有效率地製造各種有機EL顯示元f 【圖式簡單說明】 圖1表不用以說明EL顯示元件的el 量的情況形成EL顯示元件用的間隔壁所需 圖。 圖2表不用以說明EL顯示元件的el 量的情況形成EL顯示元件用的間隔壁所需 圖。 圖3表不用以說明EL顯示元件的el 量的情況形成E L·顯示元件用的間隔壁所需 狀的圖。 【主要元件符號說明】 1 :基板 2 :透明電極 3 :剖面倒錐形的間隔壁 4 :剖面順錐形的間隔壁 5 :剖面末端寬廣狀的間隔壁 製造，由該光 材料之多種間 材料爲低分子 的剖面形狀的 材料爲高分子 的剖面形狀的 材料爲高分子 的其他剖面形 -20 -

Claims (1)

1354185 十、申請專利範圍 第93 1 3 4 1 5 7號專利申請案 中文申請專利範圍修正本…·· - _ I * 民國97年士月：1 7日修正 泰. 1 · 一種形成間隔壁用光阻組成物，其賓遍‘’合私成錐形 間隔壁之形成間隔壁用光阻組成物，其特徵爲含有：鹼可 溶性樹脂、酸產生劑、交聯劑及作爲間隔壁圖型形狀控制 • 劑之有機酸與胺，藉由調整前述間隔壁圖型形狀控制劑之 胺與有機酸之調配比例，可將前述間隔壁的側面傾斜角度 設定爲5度〜130度之任意角度。 2. 如申請專利範圍第1項之形成間隔壁用光阻組成 物，其中相對於鹼可溶性樹脂（固形分量）而言，含有胺 0.1〜1重量％，有機酸0.06〜0.6重量％。 3. —種有機電致發光顯示元件的間隔壁，其特徵爲使 用申請專利範圍第1或2項之形成間隔壁用光阻組成物藉 Φ 由將側面傾斜角度以內角表示，設定爲5度〜130度之任 意角度的方法所形成。