TWI352170B - Motion guiding device for use in vacuum environmen - Google Patents

Description

!352170 ，九、發明說明： *【發明所屬之技術領域】 移動構件之間介設 滾珠栓槽、滾珠螺絲等= 境中所使用的真空環境用 本發明係關於在執道構件與 珠、滾柱等滾動體的線性滑執、 動導引裝置；特別係關於真空環 運動導引裝置。 【先前技術】 在執行直線運動的移動物體之導引部分介設著滾珠、衷 ϊ主等滾動體’已有使用利用滾動體的滾動運動而達 能的運動導引裝置。此種運動導引裝置近年已演變成大多力 使用於諸如半導體/液晶製造裝置、醫療關料I塵環境 下的狀況。隨半導體的高積體化等狀況，半導體製造生產 線中就真空環境下的製程亦屬不可或缺。 衣 若將滑脂在真空環境下使用般上滑脂將因滑脂中的 油成份蒸發而喪失潤滑性。在普通使用條件能毫無問題使 》用的運動導引裝置，在真空環境下不僅内部的滑脂將很快 的喪失潤滑性’且將因滑脂蒸發所釋放出的氣體，亦恐將 對外部環境造成污染。 因而’在真空壞境下所使用運動導引裝置的潤滑劑，相 .較於大氣中所使用以礦油為基油的滑脂之下，一般均使用 ♦.蒸氣壓較低且以非活性I系油為基油的真空滑脂。在更高 • ^空環境下，因為即便使用真空滑脂仍無法避免油成份的 蒸發’因而便使用固態潤滑劑。 【發明内容】 312XP/發明說明書(補件)/95_03/9414〇396 6 (發明所欲解決之問題） 點。Γ且 '等真空滑脂與固態潤滑劑存在有高單價的缺 :: 即便使用真空滑脂，在真空環境中仍铁合有此 微基油將氣化’巩將4、、£ …、曰 二 内部密封，便可部。若將運動導引裝置的 為能施行密露出於外部。但是， 私動構件中所設置的橡膠 而將隨密封構件與軌道構件間:拖動，導致 產粉塵。因為在真空 益法安真空用運動導引裝置中便 …、套女裝接觸於執道構件的密封。 因明之目的在於提供一種在真空環境下能抑制 =化而^漏出於外部，且不致發生粉塵的直 工衣士兄用運動導引裝置。 八 (解決問題之手段） 發明下便：::：明進行説明。另外，為能較容易理解本 >此而蔣太义^式的元件符號附記於括號中’惟並非依 此而將本發明侷限於圖示的形態。 产述問題的申請專利範圍第1項發明的真空環 J兄用運動導引裝置，係在直办 具工衣 置，且備有.軌m 所使用的運動㈣裝 及間隙二構:⑴：構件⑵，^^^ 動體滚動部叫；該移=二;係具有滾 滾動部（la)呈相對^ a )係，，、有與上述滾動體 對上述軌道構件⑴進行相對性移動，·該複 312XP/發明說明書(補件)/95侧】40396 7 1352170 •數滾動體（3)係排列於上述滾動體循環路徑中. -封（5、6、31、33)係設置於上述移動構件（2)中乂力、在 :::上述轨道構件⑴的情況下，將上述執道構： ==件⑵間之間㈣塞。藉由該真空環境用運 力較低…述問題。此處所謂「真空」係指壓 之===項發明係在申請專利範圍第1項所述 •目對向於上述==)置之中’上述間Κ密封(5、31、如 申請專利範圍第;=:二形專成利^ 二之…境用運 I =)轨^ 在〇.25職以；·)^近上述軌道滑軌⑴的部分'且設定 产=空：發明的真空環境用運動㈣ 道構件⑴、移動:=用的運動導51裝置，具備有'•軌 封⑸；該軌道構件⑴係且^教相體（3)及尾端間隙密 構件（2)係具有盘上过動體滾動部（la) ·該移動 動體滾動部叫的向負荷滚 #,：：：：： 件（2 )的移動方 向浐Λ B:隙 '封(5)係設置於上述‘動構 ⑴截面形狀的開口成有：配合上述執道構件 ,/、令，上述尾端間隙密封 3】2幻>/發明說明書(補件)/95〇3/94】4_ 8 1352170 ‘⑸係在未接觸及上述執道構件⑴的情況下， 密封⑸與上述執道構件⑴間的間隙，設定為2 心::：:2),與上述執道構件(1)間的間隙。藉由該真 工料用㈣導引裝置便可解決上述問題。 ::專利範圍第5項發明係在申請專利範圍第4項之直 工核楗用運動導引裝置中，上述 ” 於μ、+、乱、* i 工1尾^間隙孩、封（5)相對向 、述執道h執（υ之一面將形成凹凸形狀。 申請專利範圍第6項發明係在申 %空環境用運動導引裝置中二圍弟5項所述 有交叉積層的複數片薄板狀第7 =qwb1隙密封⑸係具 第2板陳在上板狀 第成::二執道構件⑴形狀的開口 (― 第板（9)與上述第2板（1〇)積 :間隙密封⑸相對向於上述軌道構件⑴之一= 凸，而將上诚楚现凹 ，設為較大於上述第道構件⑴間的間隙 ’間隙(α )。 以1板(9)與上述軌道構件⑴間的 申請專利範圍第7項發 置，俜在直办护# 士 士 s乃的具工銥3兄用運動導引裝 糸在真工W中使用的運動導引裝置； 構件⑴、移動構件⑵、複數 、備有.執道 …Λ 構件⑴係具有上面與側面，且π 成有朝長邊方向延伸的乎私 ^ 技β # 動體滾動部（la);該移動構件m 二有:與上述執道構件⑴的上面呈相 ：:) (4a) >以及與侧面2 4日料人 τ ^ σ| 壬相對向的腳部（4b)，整體將形成鞍 312XP/發明說明書(補件)/95-03/94140396 g 比 2170 體、與上述滾動體滾動部（la)呈相對向之負荷滾動 = DP(2a)的滾動體循環路徑，且可對上述軌道構件⑴ 移動；該複數滚動體⑶係排列於上述滾動體循 構件Γ二該侧間隙密封(6、31、33)係設置於上述移動 的上述腳部（4b)，且從上述移動構件（3)移動方向 —端部延伸至另一端部；其中，上述側間隙密封（6、31、 ):未接觸及上述轨道構件⑴’且上述側間隙密封(6、 與上述轨道構件⑴間之㈣，將小於上述執道構 2與上述移動構件⑶間之間隙。藉由該真空環境用運 動V引裝置便可解決上述問題。 申睛專利範圍第8項發明係在ψ請專利範圍第？項所述 J空環境用運動導引裝置中，上述真空環境用運動導引裝 ::更進一步具備有尾端間隙密封⑸’該尾端間隙密封 /係&置於上述移動構件（2)移動方向的端部，並形成有 形狀配合上述執道構件（1；)截面形狀的開口（9a、i〇a);其 #中，上述尾端間隙密封（5)係未接觸及上述執道構件（If 且上述尾端間隙密封（5)與上述軌道構件（1)間之間隙，將 小於上述執道構件（1)與上述移動構件（2)間之間隙。 申凊專利範圍第9項發明係在申請專利^圍第7或8項 所述真空孩境用運動導引裝置中，上述側間隙密封⑶、 33)相對向於上述軌道構件之一面（313、33a)，將複數形 成朝上述移動構件移動方向延伸的溝槽（32、34)。 (發明效果） 根據申請專利範㈣〗項發明，因為在移動構件中將設 3 UXP/發明說明書(補件)/95-03/94140396 10 生氣化導弓1裝置内部的潤滑劑發 使用壽命：=外部的狀況。所以’將可延長潤滑劑的 隙密封盘執首^防止外部環境遭受污染。此外，因為間 粉塵/、 件並未接觸，因而亦將不致因磨損而發生 根據中睛專利範圍第2項發明 執道構件之—面脏π Λ、 勹間隙松封相對向於 密封間出現潤形狀，因此當執道構件與間隙 w況時，：：1= ί動時’相較於形成平面形 動導弓I穿置内的阻力。所以’將可更加抑制運 生導^置内部的潤滑劑氣化而“出於外部的狀= 根據申請專利範圍第3項 -〇· 25mm以·ρ，# α1 稭由將間隙設定在 根據申：車有效的減少茂漏出於外部的量。 據申h專利範圍第4項發明 端間隙密封，將抑制運動導引裝置内：：:::斤設㈣尾 籲而浅漏出於外部的狀況。 、μ π劑發生氣化 根據申請專利範圍第5項發明， 向於執道構件之一面將形成^凸形狀密封相對 面形狀的情況下，當在軌道構件盘車父於形成平 滑油所蒸發氣體流_，㈣封間發生潤 可更加抑制運動導Μ 且力而:斤以，將 部的狀況發生。 剎軋化而洩漏於外 根據申請專利範圍第6項發明， — 2板重疊便可形成凹凸形狀、。m :父薄的第i與第 3]2XP/發明說明書(補件)/95-03/94140396 11 丄乃2170 ，根據:請專利範圍第7項發明，在移動構件上所設置著 J門隙密封’將可抑制運動導引裝置内部的潤滑劑氣化而 洩漏於外部的狀況發生。 ^艮據申請專利範圍第8項發明，尾端間隙密封與侧間隙 ’將可包圍著在鞍狀移動構件與執道構件間所產 間隙。 利範圍第9項發明，因為可將側間隙密封相 軌道構件之—面形成凹凸形狀，因此純於平面形 發氣二：：時當執道構件與側間隙密封間發生潤滑油所蒸 置便::產生更大的阻力。所以，將可更加抑 發^¥引裳置内部的潤滑劑氣化m於外部的狀況 【實施方式】 m 1 μ. m 3 ^^-1 ^^ g ^ A ^ 導引裝置（以下簡稱壯μ、 ^兄用運動 f在真空環境(且體而上=厂引裳置」)。運動導引裝置係 1用。此、體而卜係在壓力較低於大氣的空間）中使 、圖1所示係運動導引裝置的立體示意圖，圖 視圖，® 3所示係俯視圖（包含部分剖 = 的運動導引)本貫知形態 軌道構件的勒.[丁 #有：通稱線性滑執且直線狀延伸之 :袞動1;以及魏㈣滑ΙΛ1上隔著多數 的滚珠3而移動自如組裝的移動構件2。田者夕數 在轨道滑轨1的左右側面上，將形成 滚動體滾動部之滚珠滚動溝槽13。滚珠;：= 3】2XfV發明說明書(補件购侧娜 j2 1352170 •呈圓弧狀，且具有若干大於滾珠3半經心 声形態中’在軌道滑軌i左右側面分別上下各：置：本 二=滚珠滚動溝槽la，當然其條數、配;均二: 負何何重荨而採取各種設定。 、 =件2係由移動區塊4與衰減構件5、6 ， 區塊4係形成包含與滾珠滾動溝槽u呈 負溝槽2a在内之滾珠循環路徑。 白的 塊4上。間隙密封係區分為:安裝於移 ::塊移動方向二端面上的尾端間隙密封5,以及 移動區塊側面的側間隙密封6。 、； :二示’移動區塊4係整體形成鞍狀，具備有.相 =於軌道滑軌！上面的t央部4a;以及從中央部^目 二::Γ方延伸’且與軌道滑軌1左右側面呈相對向 在軌道滑執1的滚珠滾動溝槽la、與移 齡荷滾珠滾動溝槽2a之間’介設著複數滾珠3。在該滚珠 滾動溝槽la與負荷滾珠滾動溝槽2a之間，對於負荷滾' 滾動路徑中進行滾動的滾珠3施加預壓。 、 在移動區塊4的移動方向二端部將安袭著形 轉換路徑的尾板7(參照圖υ。—邊承受荷重—邊進行= —動至移動區塊4之負荷㈣㈣路徑—端之滚珠^，將進、 •入尾板7上所設置的U狀方向轉換路徑卜滾珠在… 狀方向轉換路徑之後，便進入平行於負荷滾珠滾動路徑延 伸的無負荷滚珠返回路經δ(參照圖3)中。通過益負 3 ] 2XJV發明說明書(補件)/95-03/94】40396 珠返回路徑8 μ、、奋iiL 〇 i 徑之後，再戶對向側尾板7的方向轉換路 滾珠滾動‘、隸直線狀負荷 返回路徑8形成迴圈狀滾珠循環路徑。…、負何滚珠 =執道滑軌卜移動區塊4、尾板7 :工核境較難發生氣體、 在 屬（具體而言為不錄鋼）。標準的運動導^大置兄择便使用金 :體(水蒸氣)。藉由使用不鎊鋼便可解決::題尾板另:生 亦可取代不銹鋼，改為❹仍屬樹脂 氟樹脂、PEEK材等❶ 益難保持水分的 如圖1所示，在移動區塊4移動方 著間隙密封的尾端間隙密封5。尾端間隙；= 又積層的溥板狀複數片第i與第 ，、.乂 ，第1與第2板9,的按押板：所構：，；，裝該 密封5中將形成配合軌道滑軌】外形=成；在口尾端間隙 如圖3所示，從移動區塊4的移動方向觀：，在 塊4與執道滑軌間將隔開相當間隔的夕品 板7,但是尾板7與軌道滑執 B<、°P更安裝上尾 間隙密封5便係為將尾端間隙密封=2間隙。尾端 隙儘可能地縮小而所設置的。 〃執1間之間 圖4所示係安裝著尾端間隙密 3】2XP/發明說明書(補件)/95-03/94140396 14 Ϊ352170 -的開口 9a、10a。該開d 9a、从丄 ‘ 1的外形形狀，並在尾端間執道滑執 道滑軌1隔開些微的間隙丨所、、、⑺執1間沿軌 在不致接觸及執道滑軌丨的 / ^間隙密封5便 -邊沿執道滑軌i進㈣保持著些微間隙 .•容後述。 進订㈣。相關間隙12的詳細内容， .圖5所示係尾端間隙密封5的分解立體 9係將金屬製（例如不銹鋼^圖第1板 利料壓施行打穿便可 ，大於—的截面形狀。二 ='通孔9b’俾供將第⑻與第2板1〇安裝於按 Π 絲13等貫穿。此外，在第1板之開口 9a 上食而的貝通孔9b二側形成貫诵$ q .. ^ 5 ^ , 、孔9c，俾（、將尾端間隙密 5女裝於移動£塊4上的螺絲14(參照圖u等貫穿。在 #第1板9的側面將形成三角形狀缺口 9^。 ^板1G亦形成略矩形狀，且在其下端中央部分處形 成有形狀配合軌道滑軌1截面形狀的開口 10a。雖後有詳 述’第2板1〇的開口 1〇a形狀係僅稍微大於第^反9的 開口 9a形狀。所以’若將第1板9與第2板1 〇積層，開 口部分便將形成凹凸形狀。在第2板1〇的開口 10a周圍 亦將形成螺、絲13等貫穿用的貫通孔1〇b。第2板1〇亦是 例如不銹鋼製等金屬製薄板利用沖壓施行打穿便可 衣知。此外，在第2板10側面將形成與第1板g上下方 312XP/發明說明書(補件账〇細剛卯 15 ^52170 向錯開位置的二角形狀缺口 1 〇e，藉此將第工拓 板/〇組裝之後，便可從外側區分出該等。若對第;、第^

及第2板10，取代利用沖歷施行打穿的方 板S 雷射加工或線切割加工進行製作，便可提古& 引用 2板Π)的尺寸精度。 便了“幻板9與第 為能在尾端間隙密封5 t形成多數凹凸形狀， 板9與第2板10為較薄狀態。另外，為使 ^ 1 進杆碟雜η士 τ P a 』用螺絲1 3 丁:_不易發生變形狀況，最好第"反 取好具有某程度的厚度。就從該等的要求觀之 ::二與f 2板10的厚度將設定在例如左右十， 、亦可配“多動區塊4的大小等設定為其他的任 :’、 按押板11係形成較第丨與第2板9、l0 U子^ • 亦是有形成配合執道滑執丨形狀的開口二 在：第二广螺合於螺絲13的母螺絲部llb。 ::第1板9 '第2板】。及按押板n突抵於組 #態下，便利用螺絲13將該等結合。 -圖6所示係積層狀態的尾端間隙密封5 不’第2板H)的開口 1〇a H 6(A)所 口 ％形狀。所以，如圖6(。二干大於弟1板9的開 相蚪& 4 口 與（D)所不，尾端間隙密封5 在將：之一面將形成凹凸形狀(參照圖7)。 2 板9與第2板1〇積層的狀態下，第2板10盘軌 道滑執1間之間隙沒將夫#楚，α 极H、軌 隙〇。 沒將大於第1板9與執道滑執1間之間 即便未將複數片第1與第2板交又積層，而是在一體構 312χΐ>/發明說明書(補件)/95-03/94140396 16 1352170 •造的構件上形成複數溝槽，仍可將尾端間隙密封5形成凹 •凸形狀。但是，此情況下，凹凸重複次數越多，加工將越 趨困難。若能解決加工上的問題，亦可在一體構造的 上形成複數溝槽。 在此，在將尾端間隙密封5安裝於移動區塊4的狀態 下，第1板9與軌道滑軌〗間之間隙α將設定為第丨板g 最靠近執道滑執1位置的〇.25mm以下。因為該間隙〇越 小’通路中有氣體流動時的阻力將越大（即， ，爲出於外部），因此最好將間隙《目標値：定難二 〇. 05〜0. 06mm左右或其以下。但是，因為執道滑軌！將存 在有加工上的公差，因此若設定為過小，尾端間隙密封5 與轨道滑執1恐將發生接觸狀況。所以，在本實施形態 中，便假設轨道滑轨！公差為±〇 lmm、間隙密封i公差= ±曰0· 05mm、及因對運動導引裝置所施加荷重的間隙“變化 篁為0.02〜0.03mm之情況下，將間隙“設定為 鲁〇·〇2〜0.25mm左右，最好為〇.〇5〜〇 15mm左右。° 第1板9與第2板1〇的高度差r (梯度） ^，丨與第2板9，的厚度,，例如設= 動日士 ^差7 ^，表面積將越大，通路中的氣體流 動广阻力將增加。當然，厚度士與高度差…於 0.2酬，亦可適當決定為〇 lmm、〇.3題等。 在將尾端間隙密封5安裝於移動區塊4上之前，便 動區塊4供應滑脂等潤滑油。潤滑油係經由如供 ， 潤滑油供給路徑等而塗佈於移動區塊的滚珠3上。在滾B珠 312χρ/發明說明書(補件)/95-03/94140396 17 溝样〜i》途中將供應給滾珠3整體、滾珠滾動 空琿产及負啊滾珠滾動溝槽2a。若將潤滑油放置於真 —兄中，潤'骨油的基油便將蒸發而成為氣體。 移動而，隙松封5係在未接觸及軌道滑執1的情況下進行 儘可二：端間隙密封5内側與軌道滑執1間之間隙12係 面將小’且尾端間隙密封5相對向於執道滑執1之一 道m'凹凸祕。所以’當流體在尾端間隙密封5與軌 > :軌i間之通路流料，便將產生較大的阻力。 d由設置尾端間隙密封5,氣體將頗㈣漏於外 冑延長潤滑劑的使料命，a亦可 • :r:r卜’滑脂的種類亦可使用最難氣爾= 人一級滑脂。 數：：：t r阻力係可認為略如同電氣電f且。將阻力的倒 ，為傳—（c_uctanee)，表示氣體流動的容易度 •所不係將真空容器21與真空122利用通路23(傳導c) •連結時的流動示意圖。當將傳導c(m3· s，的節流孔、盥 其間二端的壓力設為p、 ^ 机 ^ 體流量Q便為下式：P°(Pa)時’通過此其間流動的氣 (數學式1) Q=C(Pi-P〇)(Pa · in3 · s'1) ^ 9所示係將通路23側面形狀設為直條形㈣ ::的！：差異。9(A)所示係計算時所使用的通一路/3 ，意圖’圖9⑻與9(c)所示係沿通路23的通： 截面圖。圖9⑻所示係通路23側面所形成凹 3 ΠΧΡ/發明說明書(補件)/95-03/94140396 18 複出現三角形狀的 條形狀的情況。圖中 ' (C)所不係通路23側面為直 寸，L係深度方向^5 e係指通路截面形狀的長、寬尺 Ώ 9(B)所示通路 一 學式2所示。 為二角形狀時的傳導係依下示數 (數學式2) C~ClxK=11· 6abxl〇'2xK=1 R 數學式中的k係^ . 幻 ’面積汕的節流孔。凹凸所產生的補正係數，Π係指截 再者，圖9 (C )所示通路开^狀 下示數學式3所示： 狀為直條形狀時的傳導，如 (數學式3) C^aV/^(a+b)L=4.〇5xi〇-3[1/s] 若將數學式2與數學式3進行比較 形狀為三角形狀時脾^ 于α通路2 3截面 …：路=條形狀時的傳導降低至4U。 1 時為j F 1形狀為二角形狀時的傳導將較直停形狀 日等為小。本貫施形態中， 1汆^狀 2板積層而形成凹凸形狀=、·！沖塵成形的第i板與第 狀。在此’雖未計算出四角形狀時的傳導 四角形 同三角形狀的情況般的變小。 -疋推測將如 另外，上述數學式2與數學式 ㈡的前提下，說明當通路23為三角= 的狀況。但是’因為本實施形態的尾端間隙密封5，:門 隙形狀將不同於圖9所示通路㈡，因此其傳導亦將；= 312XP/發明說明書(補件)/95-03/94】40396 19 1352170 .於數學式2與數學式3。針對尾端間隙密封5的傳導試算 利用下述實施例進行説明。 本實施形態中，將板厚〇. 2mm的板重疊4〇片左右，嘗 忒製造冰度方向長度為8mm的尾端間隙密封5，當然尺寸 並不僅限於此。尾端間隙密封5的深度方向長度[越長， 傳導將越小。但是’若長度L拉長，此料將造成移動區 塊4的滑動縮短。經兼顧該等因素之後再決定長度卜 再者’凹凸的重複次數越多，傳導將料。藉由設置凹 凸，便可將深度方向的長度L縮短。 圖10與圖11所示係移動區塊4上所安裝的側間隙密封 6 1動區塊4整體將形成鞍狀’且具備有：與執道滑軌！ 2呈相對向的中央部4a，以及與執道滑轨i側面呈相 對向的腳部4b。在腳部45下端將安裝著側間隙 湘隙密封6係朝移動區塊4移動方向細長延伸，側間隙 =封6 :端將接觸及移動區塊上所Μ的 ^所以，移動區塊4與軌道滑軌i間之間隙周圍便由二 紅塊4 一端所設置的一對尾端間隙密封5、與移動區^ 側面之一對側間隙密封覆蓋著。 。。鬼 側間隙密封6係具有：供將湘隙密封 塊4上的平板部6b，以及朝執道滑軌“Π私動區 隙密封6與軌道滑執1間之間隙變狹窄的突出部’:吏側間 平板部6b中整設有孔6c，該孔6c ° a。在 照圖3)結合手段將側間隙密封6結合絲^等（參 ψ邮β^移動區塊上。空 …係配合軌道滑轨i側面形狀’在轨道滑轨^與突 312XP/^a^l^0^§(^>|；)/95.〇3/94140396 20 1352170 .出部6a間形成些微間隙2〇。 ， 若更詳細說明，如圖1 0所示’在軌道滑執1側面將形 成由底部24c與側壁24a、24b所構成的溝槽。在其中一 側壁24b上將形成下側滾珠滾動溝槽1 a ^突出部6a係靠 近溝槽的底部24c與側壁部24a。如圖12所示，突出部 6a與底部24c間之間隙S1係較小於突出部^與側壁部 24a間之間隙S2。此現象係軌道滑執1底部24c的公差較 小於側壁部24a的公差之緣故所致。依此便可將軌道滑軌 ”公差較小部分的間隙，設定為較小於公差較大部分的間 隙。間隙SI、S2的大小係如同上述尾端間隙密封5的情 況，例如設定為〇.02〜〇 25_，最好〇 〇5〜15_。 側間隙密封6可為氟樹脂或PEEK材等樹脂製，亦可為 不錄鋼等金屬製。本實施形態中，突出部6a相對向於執 道β執1的面6f並非為凹凸，而是形成平面。當將側間 隙密封6利用樹脂製造時，便如圖u所示，突出部^相 參對向於執道π執1之—面6 f以外的部分，將形成使各部 份的樹脂厚度大概n厚部6d。若樹脂厚度出現較 厚部分與較薄部分，將因樹脂的拉扯而偏離側間隙密封6 尺寸。藉由削厚部6d的設置，便可防止側間隙密封6發 生尺寸偏離狀況。 在移動區塊4上所安裝的側 道滑執1的情況下進行移動。 間之間隙20將儘可能的縮小 與轨道滑執1間之通路23中 間隙密封6係在未接觸及軌 側間隙密封6與轨道滑軌1 。所以，當在側間隙密封6 ’氣體沿執道滑軌1朝向下 312χρ/發明說明書(補件)/95·03/94140396 21 方向進行流動時便將發生較大的阻力。 側間隙密封6係亦具有當從執道滑執1±拆下移動區塊 之際’％止滾珠3從移動區塊4上料的功能。為能且 !=能，便如圖10所示’將側間隙密封6上端6e盘負、 ::衰珠滾動溝槽2a上端25間之距離，縮為較小於滾珠3 持Li::匕移動區塊4中央部&的下面亦設有滾珠保 :、卑防止在上側的負荷滚珠滚動溝槽2a中進行 /動的滚珠3從移動區塊4上掉落。 圖！ 5所示係側間隙密封之另—例。此例的側間 “、封3 i係在側間隙密封3 i相對向於執道滑執i之一面 3二上：成溝槽32，藉此便使面…形成凹凸形狀。溝槽 =糸:。圖i4所示，將平行於侧間隙密封31延伸方向(移 Η ^移動方向）延伸。溝槽32的截面形狀係如圖u 不將呈三角形狀。就側間隙密封31具有平板部與 、及具有滾珠保持功能 ，密封6。 匕之事項，均如同圖12所示側間 =的側間隙密封藉由形成凹凸形狀’在相較於形成平 下，當氣體在側間隙密封31與轨道滑 通路進行流動時，便將發生更大的阻力。 的 隙隙密封再另一例。此例的側間 „ T'則間隙控封33相對向於軌道滑軌1之一面 =形成截面四角形狀的溝槽34。溝槽34的截面形狀 亦可為此例所示的四角形狀。 卜本U在未皮更本發明纟旨的範嘴内將可進行各 312ΧΡ/發明麵書(補件)/95-03/94 丨 40396 22 ^更尚:動，_係除適用於卿 滚珠拾槽的情況時，件絲等方面。當適用於 使用==軌道構件則使用螺絲轴，移動構件則 用滾桎。 另卜，滾動體亦可取代滾珠改 (實施例） 安裝時中二3著尾端間隙密封時的傳導、與未 用的間SI 所示係試算時所使 算-果4 厚度。表1所示係傳導的比較。由計

將尾端間隙密封安裝於移動區塊中，便可 將傳導降低至約1/15〇。 τ 1更J

[表1 ] 未安裝尾端間 隙密封的情況 有安裝尾端間 隙密封的情況 厚度L 1 1. 58 ~~ 長度a 1 1.02 寬度b ------ .〇. 074 傳導C Κ/2ΤΓ 6. 59χ1〇'3 . ι/2π ..... …&丈初守W哀置在真空環移 使用，必須將傳導的値降低至3 〇x1〇-2(l/幻以下 312XP/發明說明書(補件)/95-03/94140396 23 1352170 - 製造上述實施形態的運動導引裝置，： •然後，施行有多少量的滑脂將蒸發成為S入:空室内。 Π低至何種程度的試驗。圖19所示係將直 空時的壓力試驗結果。縱軸為室内 /、二至抽取真 圖中實線係指真空室内未置入運；力，二軸為時間。 化，即真空室本身的性能。得知隨直空抽取1二的壓力變 壓力將TP条，最後終將達平衡狀，態。 h間經過， 圖中虛、㈣指將未供m的運料彳丨 的塵力變化。此情況下，得知將接近 低値。之所以些微提高的原因係從運動導引；j .孟屬製零件僅發生些微氣體的緣故所致。 、置的 _ =二點虛、㈣將供應滑脂的運動導 …時的廢力變化。此運動導引褒置並未安裝間二 運動導引裝置内部的滑脂將氣化並呈容、、，’ 狀態。相較於未供應滑脂的虛線情況下，隨严夕部的 隹p於外部的程度整體壓力將提升。 m曰乳化並洩 圖中單點虛線係指將有安裝間隙密封的運動導 置放入真空室内時的麼力變化。對此運動導、 :骨月旨，且安裝著間隙密封的尾端間隙密封;=應 密封的安裝，將可防止滑脂氣化，漏於二 =’結果得知將略等於如虛線情況之未供應滑： 點虛線所示係將運動導引裝置的標準品（非屬真 工衣兄用，且尾板由樹脂所構成的通用品），放入真空室 312XP/發明說明書(補件)/95-03/94140396 24 1352170 内時的壓力變化。因為將大量產生從滑脂所發生的氣體、 以及從樹脂製尾板所發生的氣體，因此壓力將較其他運動 導引裝置高出一位數。 本說明書係根據2004年u月22日申請的日本專利特 願2004-337045號、及2〇〇5年1〇月28日申請的日本專 利特願2005-315300號。其内容將全部涵蓋於本發明中。 【圖式簡單說明】 厂圖1為本發明—實施形態的運動導引裝置之立體示意 ’圖。 ^ 圖2為上述運動導引裝置的側視圖。 :=上述運動導引裳置的俯視圖（包含部分剖視圖）。 安裝著尾端間隙密封的運動導引褒置俯視圖。 圖5為尾端μ隙密封的分解立體示意圖。 .圖6(A)〜⑻為所積層的尾端間隙密封圖(圖％ 視圖’圖6 (Β)為圖6 (A)中之r r綠+ 、、f 6⑷中之C 線切剖圖’圖6(C)為圖 T之K線切剖 詳細圖）。 口 為圖6(C)中之D部分的 圓7為尾端間隙密封相對向於軌 形狀圖。 月軌之一面的截面 圖8為將真空容器盥真★ 示意圖。 m㈣用通路相連結時的流動 圓9(A)〜（〇為將通路的側面 形狀時的傳導差里圖（圖…以炎、形成直條形狀與三角 9(B)^ 9(C) Λ vl 2 .，，、通路的立體示意圖，圖 八㈧為沿通路的通路剖視圖）。 口 25 3】2XP/發明說明書_5-。3/94丨侧 1352170 圖10為安裝著移動區塊的側間隙密封俯視圖。 圖11為側間隙密封的立體示意圖。 圖12為側間隙密封與轨道滑軌間之間隙大小圖。 圖丨3為側間隙密封另一例圖（安裝著移動區塊的狀 態）。 圖14為側間隙密封另一例的立體示意圖。 • 為側間隙在、封另一例的俯視圖（包含部分放大 圖）。 圖16為側間隙1密封再另一例的立體示意圖。 圖1 7為側間隙密封再另一例的俯視圖。 圖18為傳導試算時所使用的間隙形狀。 『圖19為將真空室内抽真空時的壓力試驗結果。 k主要元件符號說明、 執道滑軌（軌道構件） 滾硃滾動溝槽（滾動體滾動部） 移動構件 負何滾珠滾動溝槽（負荷 滾硃（滾動體） 衰珠，袞動部） 移動區塊 中央部 1 a 2a 3 4 4a 4b 5 腳部 尾端間隙密封（間隙密封） 9 、3卜33側間隙密封(間隙密封） 第1板 312XP/發明說明書(補件)/95〇3/知的视 26 1352170 ο ΊΧ a 板 2 口 開 IX 2 器容泵 隙空空路 間真真通 31a ' 33a 側間隙密封相對向於執道滑執之一面 溝槽 間隙 32 ' 34 φμ ' β 3 ] 2XP/發明說明書(補件)/95-03/94140396 27

Claims (1)

1. JUN 1 7 2011 替換本 年•月日修(更)正本 申請專利範圍 用的、軍ίΐ 境用運動導引裝置，係在真空環境中所使 用的運動導fl裝置，具備有： 執道構件，其具有滾動體滾動部； 2構件’其具有包含與上述滾動體滾動部呈相對向之 件t動體滾動部的滾動體循環路徑，並可對上 1千進仃相對性移動； 複數滾動體’其排列於上述滾動體循環路徑中.以及 .二二=於=動㈣，並在不接觸及上 之間隙阻矣ρΓ主 述軌道構件與上述移動構件間 外部:、Α ’同時’防止經氣化的潤滑油或滑脂茂漏出於 龙2由如申請專利範圍第1項之真空環境用運動導衫置， i凹二封相對向於上㈣道滑執之一面係形成 •置3.ϊ中申請或2項之真空環境用運動導引裝 4間隙雄封與上述執道滑執間之間隙，係上 ::隙密封最靠近上述軌道滑執的部分，並設定在。25_ ^ -種真空環境用運動導引裝置，係在真空環境 用的運動導引裝置，具備有： 厅使 軌道構件，其具有滾動體滾動部； 負其具有包含與上述滾動體滾動部呈相對向之 負何浪動體滾動部的滾動體循環路徑，並可對上述執道構 94140396 28 .m 6. it - · 件進行相對性移動； -------------------- 设=滚動體，其排列於上述滚動體循環路徑中；以及 Λ ^門隙在、封，其设置於上述移動構件的移動方向端 • 並形成有形狀配合上述軌道構件截面形狀的開口，且 防止經氣化的潤滑油或滑脂洩漏出於外部； - 而上述尾端間隙密封係在未接觸及上述軌道構件的情 況下， 鲁、且將上述尾端間隙密封與上述執道構件間的間隙，設定 為小於上述移動構件與上述執道構件間之間隙。 '复5.如申凊專利範圍第4項之真空環境用運動導引裝置， 其中，上述尾端間隙密封相對向於上述執道滑執之一面係 形成為凹凸形狀。 ’、 复6.如申請專利範圍第5項之真空環境用運動導引裝置， 其中，上述尾端間隙密封係具有交又積層的複數片薄板狀 第1板、與複數片薄板狀第2板； φ在上述第1板與上述第2板中形成配合上述軌道構 狀的開口； ^ 在將上述第1板與上述第2板積層的狀態下，為使上述 尾端間隙密封相對向於上述轨道構件之一面形成為凹 -凸，而將上述第2板與上述軌道構件間的間隙，設為較大 ，於上述第1板與上述執道構件間的間隙。 7. —種真空環境用運動導引裝置，係在真空環境中所使 用的運動導引裝置；具備有： 執道構件，其具有上面與側面，並形成有沿長邊方向延 94140396 29 U52170 6月17曰修(更)正本 伸的滾動體滾動部；-一- 移動構件’其具有：與上述轨道構件的上面呈相對向的 中央部、以及與側面呈相對向的腳部，整體形成為鞍狀， 亚具有包含與上述滾動體滾動部呈相對向之負荷滾動體 滾動部的滾動體循環路徑，可對上述轨道構件進行相對移 動； 複數滾動體，其排列於上述滾動體循環路徑中； 隙途封，其s又置於上述移動構件的上述腳部，並從 上述移動構件移動方向之—端部延伸至另一端部； $側間隙密封係未接觸及上述軌道構件，且上述側間 上1^、上述轨道構件間之間隙，為小於上述執道構件與 漏出件間之間隙，並防止經氣化的潤滑油或滑脂茂 4如利範圍第7項之真空環境用運動導引裝置， 、尾環境用運動導引裝置係更進一步具備有. 部，1設置於上述移動構件移動方向的端 而上：ί狀配合上述執道構件截面形狀的開口； 尾端間隙I 密封係未接觸及上述執道構件，且上述 構件與上間之間隙，為小於上述軌道 置，其圍第7或8項之真空環境用運動導引妒 面，係複數=:_封相對向於上述執道構件之二 /成朝上达移動構件移動方向延伸的溝槽。 94140396