TWI343354B - Substrate transport apparatus - Google Patents

Description

13/3354 九、發明說明： : 【發明所屬之技術領域】 ^ 本發明係關於一種基板搬送機，詳言之，係關於適用 .於使用在液晶電視等之玻璃基板之搬送的基板搬送機。 【先前技術】 在例如液晶電視之製造過程中’玻璃基板係經由各種 之步驟而被加工成液晶面板。在玻璃基板之步驟間的移動 係使用被稱為匣盒（cassette)之容器，容器係能夠將複數個 玻璃基板朝上下方向隔著間隔而以水平狀態予以收容者。 v 基板拣1送機係在各步驟中，配置在匣盒與處理裝置之 間，並從匣盒接收玻璃基板，將所接收之玻璃基板交付給 處理裝置。然後，以處理裝置結束玻璃基板之處理時，從 處理裝置接收玻璃基板，再將所接收之玻璃基板交付給匣 盒（參照例如專利文獻1)。 具體而言，日本特開2006-335518號公報所掲示之基 鲁板搬送機（基板搬送裝置）係具有手部、授受用輸送帶 (conveyor)及中間輸送帶。手部係可朝上下方向及水平方向 移動，在其與處理裝置之間施行玻璃基板之授受。授受用 輸送帶及中間輸送帶係在其與£盒之間施行玻璃基板之授 文，玻璃基板係在搬送過程中從手部及輸送帶中之一方移 至另一方。 在上述後方之基板搬送機中。基板搬送機與匣盒之間 隔為一定》該間隔較廣時，由於被接收交付之玻螭基板的 翹曲’目此會有在基板搬送機與£盒之間無法順暢^以輸 319819 5 13,43354 Λ ==行麵基板之授受之虞。㈣是，可移動地設置i :㈣㈣送機’並使用在複數個^與玻縣板之授受 基板移送裝置與各£盒之間隔設定成較 .形，而更有上述疑虞。 ，手邻再：：在上述公報之基板搬送機中，中間輸送帶係愈 設置’且構成複雜。特別是，中間輸送帶由空 【發明内容】 m給官的配管複雜。 :::之目的在於以簡單之構成提供—種可順 灯基板之授受的基板搬送機。 、 為達成上述目的，本發明蓀 n ,, 以將在相互隔開之-側及相反種送機，係用 以搬送並交付至另一方側者， =收之基板予 水平方向移動之方式配置於底Μ，且，係以可朝 述基板時位於前述—側;支持裝置，j二二崎前 上，且具有用於以可朝前述水平方;在别述移動台 基板之支持區域；移動裝置’係為^ :式支持前述 基板，而橫切前述一側之前姓、則M —側授受前述 .+ ,s 則迷支持區域的前端而祐 持區域上之基板朝前述水 心而使别述支 述底座；及手部，係乂 H支桎’係立設在前 使搬送過程之前述基板:述相反側授受前述基板並且 以可朝前述水平方=其舆前述支持裝置之間轉換，而 支持區域而昇降之方式，^ 乂上下方向觀之可橫切前述 係在前述一側具有從:安装至剛述支柱；前述支持區域 有攸則述移動台突出之延伸部。 319819 6 丄:^54 根據本發明之基板搬送機，當與相對向之機器（相對向 ，器側授受基板時，移動台係位於一側，伴隨於此從 矛夕動〇大出之支持區域的延伸部係接近相對向機器。因 此，相對向機器與支持區域之間隔會縮短，而防止2支 區域與相對向機器之間進行授受之基板的輕曲。結果，根 據該基板搬送機，可順暢地在與相對向機器之間進行基板 之授受。 土

此外，該基板搬送機由於將支持裝置僅配置在移 上，故具有簡單之構成。 D .&鲛佺為，則述移動裝置係設置在前述支持裝置。在 佳恕樣之基板搬送機中，由於移動裝置係設置在支 置，因此構成簡單。 > 裝 朝_4= ’前述支料置具有：相互平行地排列且分別 j述水平方向延伸之複數個導管；及形成在前述導管之 上面的壓縮空氣的喷出口。 ►根據較佳態樣之基板搬送機，支持裝置係利用從喷出 二出之壓縮空氣，以非接觸方式支持基板 管

，有用以供給I縮空氣之氣管，但導管係僅配置在移= 上，因此氣管之配管簡單。 D 1佳4 W述移動裝置係包含：沿著前述支持區域朝 道之滑軌道。= 可滑動地安裝在前述主軌 主轨：二：態樣之基板搬送機，移動装置係由 =構成，且能以簡單之構成使基板移動。 為，基板搬送機係具備相互朝上下隔開之2個前 319819 7 U43354 述手部。 *·。。較佳態樣之基板搬送機係即使具有2個手部亦具備簡 “單一構成S方面，由於具有2個手部，因此在另一侧 •授受基板時’利用-方之手部接收基板後，可立即對預先 ，載置之基板於另-方之手部進行交付。結果’根據該基板 搬送機’將大幅縮短基板之搬送時間。 【實施方式】 第1圖係概略顯示適用一實施形態之基板搬送機之液 晶電視（液晶面板）之生產系統之一部分。該生產系統之一 部分係具備：設置在無塵室内且在圖中右側排成一行之複 數個匣盒CS ;及在左側排成一行之複數個處理裝置PM。 基板搬送機係以可行進之方式配置在延伸於度盒GS之行 與處理裝置PM之列之間的底座軌道丨〇上。 更詳細5之，如第2圖至第4圖所示，基板搬送機係 在底座執道ίο具有隔著底座滑件12而配置之底座14。底 _座14係具有四角形之俯視形狀，且在底座14之上面豎立 有支柱16。 在支柱16安裝有昇降滑件18，昇降滑件18係可相對 於支柱16朝上下方向昇降。在昇降滑件18安裝有2個橫 構件（cross member)2〇。橫構件2〇係相互朝上下隔開，且 分別朝與底座軌道1〇正交之水平方向、亦即連結成對之處 理裝置PM與！盒Gs之水平方向（搬送方向）延伸。 從搬送方向觀之，匣盒GS側之橫構件20的端部2〇a 係比底座14之端部更突出。另一方面，處理裝置pM側之 319819 8

橫構件20的〜A 位置。”鳥係位在與底座U之端部大致相同之 在各h構件2〇安 係可從橫構件20之一端22之根部，連結板22 方向移動。連結极22係:^跨另一端部鳥而朝搬送 底座軌道1。之轴線方:較長。达方向正交之水平方向 '即 持棒24係相互朝5根支持棒24之基端部。支 送方向延伸，身？度方向隔開而平行，並分別朝搬 向之支持棒24的m棒24係排列成梳齒狀。在搬送方 座Μ之長度長度雖係'比橫構件2。之長度短，但比底 支持棒24係從連結板22朝 結板22位於掃墙々 裝置PM延伸，當連 搬送方向觀之端部2〇3侧的昇降位置時，以 支持棒24之前端部係位在盥橫槿侔20夕 另一端部20b大致相同之位置 =構件20之 2。之另-端部_側的授受位置時連:::2位於橫構件 件：之另一端部鳥及底座“之端部突 毒 之刖端部係進入處理裝置PM内。 、 可相互作用而從下方域1個玻璃基板 G，者#降滑件18之昇降及連結板u之水 搬达玻璃基板G。因此，亦將支持棒^及缸心 為手部H。此外，在平面圖中 、° : %

之冰络,.^ ^ 只線表不玻璃基板G 、’，但亦穿透玻璃基板G而描繪其下之構成。 再者，在底座Μ上配置有固定台、％。固定台％係位 319819 9 1343354 於支柱16之前方，固定台26及手部H係位在相對於支杈 16之相同側。以搬送方向觀之，固定台％之頂板^之 長度係比底座14之長度長，匣盒GS側之頂板26a的端部 •係從底座14之端部突出。然而，頂板26a之突出長度係比 .橫構件20之突出長度更短。 > ★在固疋台26之頂板26a上，配置有2根台轨道28， 忒等D軌道28係橫跨頂板26a之大致全長分別朝搬送方向 瞻I伸且相互朝底座軌道1〇之軸線方向分隔開。在台轨道 、上FWI 。滑件30配置有移動台32，移動台32係可朝 搬送方向移動。 私動σ 32係、具有四角形之底板34，以搬送方向觀之， Sr二，度係比底座“之長度短。當移動台32位於處 端料位在：之移轉位置時，處理裝置心側之底板34的 ^係位在與頂板26a之端部大略 32位於移轉位晉拄庙人^ ^田矛夕勤〇 fc執道28之中、’丑^則之底板34的端部係位在台 θ但伴隨移動台2在搬送方向之移動，越過 底座14之端部而移動。 砂切题0 在移動台32之底板34的端 有例如各6個支m“ 隔者預定之間隔賢立 向延伸，並支撐支持裝置s。 宁刀别朝上下方 ^持裝置3係例如空氣浮上式的 V官（due⑽。導# 38 置具有6根 送方向延伸。各導总、 田幵而平行，並分別朝搬 r谷導官38係由2個支擋 管38之個數係對庫 支撐構件％所支撐’導 應在底板34之各端的支擇構件36之數 319819 10 1343354 H管38之横剖面形狀係呈中空之長方形，且 38之上面係平坦。續耸墓其L工〆 水平之基準面。° 糸以同-面定位在 .端，ίΐΓΓ38之例如其下面，連接有氣管(未圖示)之前 ，乱g之根部係連接在送風裝置40。送風裝置4〇係與 過慮裝置42排列配置在底座14上。， ' 在，導管38之上面，遍及全域地形成有複數個喷出口 ，出口 44係排列在導管％之長度方向。當使送 風裝置4G動作時，由過濾裝置42所淨化之&縮空氣係經 由軋官供給至導管38内，壓縮空氣係從各喷出口 44朝大 致上方喷出。藉由該喷出之壓縮空氣，即能以非接觸之方 式將玻璃基板G支持在導管38上。亦即，導管％之上面 係被規定為㈣接狀^支持玻縣板g的支持區域。 再者，移動台32係且有A + u ^ ^ , . '、 上之玻璃基板G朝 “方向移動之移動裝置（手段）τ，移動袭置τ係具有2 :主軌道46。主軌道46係分別經由支架支持在6組支撐 ，件36中兩側的2組支撐構件36，各主軌道則朝搬送 =向延伸。主軌道46之長度係比移動台32之底板^的長 二略長。ϋ盒GS侧之主軌道46的端部係與隸34之端 。山卜致，處理裝fPM之主軌道46的端部係從底板“之 鸲部略突出。 在主軌道46上配置有比主執道46短之副軌道48。副 道4 8係沿著主執道4 6延伸，且可相對於主轨 迗方向移動。 319819 11 吸如t副執道48上安裳有可朝搬送方向移動之吸盤50。 0係可吸著在玻璃基板G之背面，在維持吸著於玻 :基板G之狀態下’可移動於副執道48之兩端部間。 ‘在^各導管38之長度係比移動台K之底板Μ的長 -二’從搬送方向觀之’處理裝置pM側之導管％的端部 势^板34之端部的位置大致—致。因此，匡盒仍側之導 的端礼越過底板34之端部朝匿盒⑺側突出，隨 鲁而^動。32朝匣盒GS側移動，可越過橫構件20之端部 :出。換言之，由導管38之上面㈣定之支持區域係具 =移動台32更㈣盒仍側突出之延伸部，該延伸部係 4動口 32之移動’可越過橫構件2〇之端部而突出。 関於田執道48之可動範圍，處理裝置pM㈣之副軌道 之端4並不會越過主軌道46之端部而突出。另一方面， 盒⑵側之職道48的端部係伴隨副軌道48之移動， 可越過主軌道46之端部而突出’且亦可越過支持裝置S 鲁之導管38的端部而突出。 吸盤5〇之可動範圍係相對於副軌道48遍及其大致全 二口此，吸盤50係藉由吸盤5〇本身、副執道48及移動 ° 32产之移動的組合，從搬送方向觀之，可越過ϋ盒GS側 之導官38的端部及橫構件20之端部而突出。 以下，針對上述基板搬送機之動作（使用方法），以將 坡=基板G從處理裝置ΡΜ搬送至昆盒⑵之情形為例加 以說明。 . 基板搬送機係移動於底座轨道10上，而被定位在欲搬 319819 12 1343354 送玻璃基板G之匣盒Gs與處理裝置PM之間。之後，如 第5圖及第6圖所示’比支持裝置s之導管38位於更上 方的手部Η係移動至處理裝置應側之接收位置。藉此， 手部Η、即支持棒24即進入處理裝£ pM m。然後，藉由 使昇降滑件18上昇，而將破璃基板G載置在支持棒上。 亦即，基板搬运機之手部H係在處理裝置pM内接收玻璃 基板G。 接收玻璃基板〇後，手部Η係如先前之第2圖至第4 圖所不’移動至Et Gs側之昇降位置。然後，昇降滑 18係如第7圖所示，使手部H下降至比支持裝置$之 區域更位於下方為止’當支持棒24横切支持區域時掊 棒24上之玻璃基板G即移動至支持區域上。亦即殖 基板G從手部Η轉移至支持裝置s。 再者，在轉移時，移動台32、副執道48及吸盤5〇 分別位在相對於固定台26、主執道46及副軌道4 = 處理裝置PM侧之位置（轉移位置），手部H之連結 = 會與導㈣或副執道48碰撞。此外，由平面觀 ： 持棒24係位在導管38彼此之間隙或導管38與副執 之間隙，支持棒24係可_由從1方、η Α 道48

4〜上方進人料間隙而橫W 在轉移時，從導管38之喷出口44 礼，被轉移至支縣置s之玻縣板G係藉 ^ :接觸方式被支持。另一方面，吸盤5〇係相對於:3以 玻璃基板6，從下方吸著於其處料置雨側之；^夕之 319819 13 1343354 將玻璃基板G轉移至支持裝置5後，如第8圖及第9 圖所示，移動台32係移動至岐台26上之最靠㈣盒⑺ ?側之位置，支持裝置S之導管38的端部係配置在匣盒QS .之附近。此外，隨著移動台32之移動，破璃基板係盘 •支持區域-同移動至£盒叫則’玻璃基板g之端部亦配 置在匣盒GS之附近。 之後，如第10圖及第丨丨圖所示，副執道48係移動至 •主執道46上之最靠近更盒GS側之位置。隨著副執道料 之移動，玻璃基板G係一面相對於支持區域相對地移動， 面朝匣盒GS側移動，然後玻璃基板G之一部分越過支 持區域之端部（前端）而進入匣盒GS内。 在匣盒GS内，配置有用以授受玻璃基板〇之匣盒用 基板支持裝置60，匣盒用基板支持裝置6〇係支持進入匣 盒GS内之玻璃基板G的一部分。匣盒用基板支持裝置 係由例如空氣浮上裝置所構成。 馨接著，如第12圖及第13圖所示，吸盤5〇係移動至副 執道判上之最靠近匣盒GS側之位置。隨著吸盤％之移 動，玻璃基板G係一面相對於支持區域進一步相對地移 動，一面朝匣盒GS側移動，最後玻璃基板G整體進入匣 左G S内並由S盒用基板支持裝置6 0所支持。然後，藉 由使匣i GS稍微上昇，吸盤50即從玻璃基板g脱離，而 將玻璃基板G交付至匣盒GS。 以上係說明將玻璃基板G從處理裝置PM側搬送至g 盒GS側之情形。將收容在匣盒Gs内之玻璃基板g予以 319819 14 1343354 .4 接收並搬送，並交付給處理裝置PM時，使上述順序朝反 方向進行即可。 根據上述基板搬送機，在其與匣盒GS之間授受玻璃 基板G時，移動台32係位在匣盒仍側，伴隨於此，比移 動台32更突出之支持區域的延伸部係接近匣盒gs。因 此’匣盒GS與支持區域的間隔會縮短，而防止在支持區 域與E盒GS之間被接收交付之玻璃基板G的魅曲。结果， 根據該基板搬送機，可順暢地在其魅盒Gs之間進^ 璃基板G之授受。 :者’在上述基板搬送機中，支持裝置s僅配 果，該基板㈣卿具㈣單之構成。特別 二在該基板搬送機中，用以將壓縮空氣供 之氣管的配管係簡單的。 等g 本發明並非限定在上述承 變形。 Λ鈀形癌，可進行各種之 置，實施形態中，支持裝置$雖為空氣浮上穿 亦可為稭由超音波以非接觸方美' 超音波浮上裝置。或者，*姓壯 符破璃基板G之 構成之滾輪列。滾輪列係由可為由複數個滾輪 支持破璃基板G，且由童f妾觸於破璃基板G之背面而 亦可使滾輪成為可旋轉I固=來規定支持區域。此時， 丁。 使滾輪列兼作為移動裝置 在一實施形態令，基板搬 之2個手部，但手 ，〃有相互地上下隔開 于。P Η亦可僅為！個。 319819 15 1343354 然而，若具有21 固手部H，利用-方之手部Η從處理 裝置ΡΜ側接收玻璃基板G後’亦可將預先載置於另— 之手部Η的玻璃基板G交付給處理裝置⑽。亦即，以户 理裝置ΡΜ處理玻璃基板G期間，可㈣盒gs接收接^ 要處理之玻璃基板G，iU㈣破縣板G預先載置於 Η。藉此，縮減玻璃基板G之搬送時間，使液晶電視之二 產性提升。 此外’即使具有2個手部η，由於支持裝置s僅配置 在移動台32上，因此氣管等之構成不會變得複雜。 最後，本發明之基板搬送機亦可適用在t聚電視等之 生產系統，當然亦可適用在玻璃基板G以外之基板。亦即， 基板搬送機相互授受基板之對向機器並未限定在處理裝 或厘·盒。 【圖式簡單說明】 第1圖係液晶面板之生產系統之一部分的概略圖。 第2圖係從處理裝置側觀看適用於第]圖之系統的— 實施形態之基板搬送機的側面圖。 第3圖係從上方觀看第2圖之基板搬送機的平面圖。 第4圖係以第2圖之IV-IV線將，一部分切開之正面圖。 第5圖係從上方觀看第2圖之基板搬送機在其與處理 裝置之間授受玻璃基板時之狀態的平面圖。 第6圖係將第5圖之狀態的基板搬送機局部切開之正 面圖。 第7圖係在第2圖之基板搬送機中，以沿著底座軌道 319819 16 ^43354 之方向觀看玻螭基板從手部轉移至支持裝置後之狀態的平 面圖。 第8圖係在第2圖之基板搬送機中，從上方觀看移動 台移動至E盒側之狀態的平面圖。 第9圖係將第8圖之狀態的基板搬送機局部切開之正 面圖。 第10圖係在第2圖之基板搬送機中，從上方觀看副執 道移動至匣盒側之狀態的平面圖。 第11圖係將第10圖之狀態的基板搬送機局部切開之 正面圖。 第12圖係從上方觀看第2圖之基板搬送機在其與匿各 之間授受玻璃基板時之狀態的平面圖。 第13圖係將第12圖之狀態的基板搬送機局部切開之 正面圖。 【主要元件符號說明】 10 底座軌道 12 底座滑件 14 底座 16 支柱 18 昇降滑件 20 橫構件 20a 端部 20b 另一端部 22 連結板 24 支持棒 26 固定台 26a 頂板 28 台執道 30 台滑件 32 移動台 34 底板 36 支撐構件 38 導管 319819 17 1343354 40 送風裝置 42 過濾裝置 44 喷出口 46 主軌道 48 副軌道 50 吸盤 60 匣盒用基板支持裝置 GS 匣盒 Η 手部 PM 處理裝置 S 支持裝置 T 移動裝置 18 319819

Claims (1)

1343354 十、申請專利範圍： 1種基板搬送機，係用以將在相互隔開之一側及相反側 中之一方側接收之基板予以搬送並交付至另一方側 者，該基板搬送機之特徵為具備： 移動台，係以可朝水平方向移動之方式配置於底座 且在4述一側授受前述基板時位於前述一側； 。 支持裝置，係配置在前述移動台上，且具有用於以 可朝前述水平方向移動之方式支持前述基板之支持區 移動裝置，係為了在前述一側授受前述基板 义、 -—人入那必签极，而柄 刀刖述-側之前述支持區域的前端而使前述支持區起 上之基板朝前述水平方向移動； 支柱，係立設在前述底座；及 手部，係為了在前述相反側授受前述基板並且 送過f之前述基板在其與前述支持裝置之間轉換，而以 可朝則述水平方向移動、且以上下方向觀之可橫也 支持：域而昇降之方式，安裝至前述支柱；、，乂 月1j述支持區域係在前述一側具有從前述“ 出之延伸部。 % 口尺 2.如申請專利範圍第！項之基板搬送機，1中， 裝置係設置在前述支持裝置。 則处移動 3·如申請專利範圍第2項之基板搬送機， 裝置具有：相互平件从祕μ η ν , 士 八 別迷支持 々日立十仃地排列且分別朝前述 之複數個導管；及 石向延伸 319819 19 1343354 形成在前述導管上面的壓縮空氣之吹出 前述移動 向延伸的 4. 如申請專利範圍第3項之基板搬送機，其中 裝置係包g .沿著則述支持區域朝前述水平 主執道；及 可滑動地安裝在前述主軌道之滑軌道。 係具備相 5. 如申請專利範圍第4項之基板搬送機，其中 互朝上下隔開之2個前述手部。

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