TWI236013B - Fabrication method of parent template for information medium, fabrication method of child template for information medium, fabrication device of parent template for information medium, and fabrication device of child template for information medium - Google Patents
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Description
1236013 修正 曰 案號 91134806 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明，係關於藉由乾式蝕刻形成凹凸圖案之資訊媒 體用母模板之製造方法以及製造裝置’與使用該資訊媒體 用母模板而製造資訊媒體用子模板之製造方法以及製造裝 置。 【先前技術】 在製造作為資訊媒體之光記錄媒體（⑶及DVD等） 時，首先，製造為了將軌道控制用之指示溝與凹部等複寫 於光記錄媒體用碟片基材之形成了凹凸圖案之光記錄媒體 1子模板（以下，也稱為子模板）。在製造此子模板之 .首先，製作與碟片基材幾乎同形狀之具有凹凸圖案之 =錄媒體=母模& (以下’也稱為母模板），接著，將 '作之母杈板之凹凸圖案複寫於子模板形成材上。在此 作*母模板之製造方& ’以▲作為支持部材之基材 /:ί阻’照射曝光用光束來形成潛影後，冑由顯影而 之ί 厚度内形成凹凸圖案之母模板（光阻母模板） 纪從以往即為人所知。另-方面，、了順應光 〇與凹^之大小而開發了各種母模板之製造方法。 了與二f二在日本專利特開平10—241213號公報中，揭示 來在玻璃母模板（1。、相當於上述基材之 舍於上、求^成凹部之形成了凹凸圖案之玻璃基板（2〇、相 田；’l §己錄媒體用母模板）之製造方法，以及使用玻
1236013 修正
案號 9113480R 五、發明說明（2) 璃基板之製造金屬子模板（丨5、相當於上述光記錄媒體用 子杈板）之製造方法。在此製造方法中，首先，在玻璃母 模板上塗布光阻（1 1 )後照射曝光用光束來曝光記錄凹凸 圖案。接著’將光阻顯影使玻璃母模板之表面之一部份 (曝光記錄之部位）露出。接著，藉由用玻璃母模板上光 阻作為光罩而蝕刻，在玻璃母模板上形成凹部。接著，除 去殘留於玻璃母模板上之光阻。藉由此，製作形成凹凸圖 案之玻璃基板。接著，在所製作之玻璃基板之表面上形成 f電膜（13) ’以此導電膜作為電極來將金屬材料電鍍。
，由此’在玻璃基板上形成金屬子模板。之後，將金屬子 权板從玻璃基板上剝離，將此金屬子模板之凹凸圖案複寫 於例如樹脂材料，而形成碟片基材。
另一方面，在特開2〇〇〇 一4〇26 7號公報中，揭示了藉 辦由乾式蚀刻成膜於玻璃基板（1)表面之下層膜之形成了 _凹凸圖案之母模板之製造方法，以及使用此母模板來製造 光碟子模板（6 )之製造方法。在此製造方法中，首先， 在玻璃基板之表面上將^藉由電鍍來形成下層膜。接著， 在下層膜上旋轉塗布光阻而形成薄膜（3 )，對該薄膜照 射曝光用光束，曝光記錄凹凸圖案後顯影。接著，藉由在 下層膜上用光阻作為光罩來乾式I虫刻，而在下層膜形成如 部。接著，除去殘留於下層膜之光阻。藉由此，而製作形 成了凹凸圖案之母模板（由玻璃基板與下層膜之積層體形 成母，板）。然後，在所製作之母模板表面上藉由Ni濺鑪 或電鑄來形成金屬材料層。藉由此，在母模板上形成了由
1236013 五、發明說明（3) 金屬材料組成之光碟子模板。之 板剝離，藉由將此光碟子模板之：：模板從母模 材料，而形成碟片美材。 ㈤凸圖案複寫於例如樹脂 曰 一修JL· 【發明内容】 發明者，檢 方法之結果，發 開平10 —2 4 121 3 蝕刻而在 成凹凸圖 率（使用 可能之厚 之凹部之 璃基板（ 光阻一般 故，會在 此，必須 形成了充 板之製造 另一 造方法中 式蝕刻形 名虫刻較石 形成凹部 玻璃母 案。在 既定功 度）一 乾式姓 資訊媒 而言， 將石英 將局阻 分之光 成本之 方面， ，藉由 成凹部 英母模 之製造 討上述之以往之I印甜μ 貝Λ媒體用母模板之製造 現如以下之問題點。食知 ^ ^ J % ·、、、占。亦即，在曰本專利特 ϊ虎公報中所§己载之激#古秘上丄方法中，藉由乾式 模板\ 5成石英母模板）上形成凹部來形 ，清幵y中已知合成石英母模板之蝕刻速 率之蝕刻用光束時，平均既定時間之蝕刻 般而言很低。因此，為形成所希望之深度 刻需要的時間比較長之故，有很難降低玻 體用母模板）之製造成本之問題點。又， 與合成石英母模板相較，其蝕刻速率高之 母模板餘刻到所希望之深度以前消失。因 形成到某種程度以上之厚度。在此情況， 阻厚度時，光阻材被大量的消費，玻璃基 降低變得很困難。 在特開2 0 0 0 —4 0 2 6 7號公報中所記載之製 在玻璃基板之表面上濺鍍Cr之下層膜後乾 來形成凹凸圖案。在此製造方法中，由於 板還柔軟之Cr之故，與上述在石英母模板 方法相比，可以短時間形成凹部。然而，
1236013 五、發明說明（4) 為了錢鑛Cr， 此，存在著要 問題點。又， 氣糸之餘刻氣 體之故’對於 蝕刻氣體之處 由於使用氯系 刻，作為光罩 要塗布作為光 需要的時間内 示著顯影後之 旨。關於此藉 可能，並沒有 即使上物光阻 烘烤處理解決 私’結果，有 題點。 而且，在 曝光記錄潛影 面上，曝光用 光潛影崩壞。 是溝形狀帶有 明顯之凹凸圖 訊媒體用子模 91134806 之大型真 體用母模 刻由C r形 況，由於 須嚴重的 處理變的 雖然由C r 較短的時 下層膜形 度。在此 阻強度而 理而使光 故，所以 間被餘刻 再烘烤處 訊媒體用 必須要高價 減低資訊媒 為了乾式蝕 體。在此情 其處理也必 理而有蝕刻 I虫刻氣體， 之光阻在比 罩之光阻在 可殘留之厚 為了提高光 由再烘烤處 具體記載之 在較短的時 ，光是增加 很難減低資 上述兩公報 時，在光阻 光束被反射 在此情況中 圓形之故， 案之問題點 板之凹凸圖 —修正— 空成膜裝置 板之製造成 成之下層膜 氯系钱刻氣 注思。因此 煩雜之問題 形成之下層 間内被蝕刻 成希望之深 情況，在同 需要再烘烤 阻之飯刻速 不明確。然 之不佳的情 理之不必要 母模板之製 之故，由於 本為困難之 ’必須使用 體為有毒氣 ’起因於於 點。而且， 膜谷易蚀 。因此，需 度之凹部所 公報中，揭 處理之要 率變小是否 而，假設， 況可藉由再 之作業製 造成本之問 中所揭示之製造方法中，在光阻 與玻璃母模板（或下層膜）之界 ，會由於此反射光，光阻多重曝 ’凹部（潛影）淺淺的形成，或 在之後乾式蝕刻之際有難以形成 。又，使用此母模板而形成之資 案也帶有圓形之故，有很難製造
^236013 修正 曰 案號 91134806 五、發明說明（5) 可為正確之執道之碟片基材之問題點。 本發明，應可解決如上述之問題點，其主目 J供··製造得到不會造成製造成本之高騰之形成明 凸圖案之資訊媒體用母模板以及資訊媒體用子模凹 ，體用母模板之製造方法以及製造裝置，與資訊。： 枳板之製造方法以及製造裝置。 、體用子 有關於本發明之資訊媒體用母模板之製造方法， 破蝕刻體上形成光阻層，對該光阻層照射曝光用 係在 :影後顯影，使該前述被蚀刻體之一部份從該&阻=成 出’使用前述光阻層作為光罩乾蝕刻前述被蝕刻體：： ，蝕刻體上形成凹部，藉由除去殘留於該蝕刻體上士， ，阻層而製造形成了凹凸圖案之資訊媒體用母模板之 、體用母模板之製造方法’作為前述被蝕刻體，相對‘： 虫刻速率，使用前述光阻層之蝕刻速率之選擇比能在〇'5、 以上之樹脂材料所形成之被蝕刻體。又，在本發明中^ 對於被蝕刻體之蝕刻速率之光阻層之蝕刻速率之選擇比 係指被蝕刻體之蝕刻速率除以光阻層之蝕刻速率之值。」 ^ 又，與本發明有關之資訊媒體用母模板之製造裝置， f包括：在被蝕刻體上形成光阻層之光阻層形成裝置、對 蝻^光阻層照射曝光用光束形成潛影之曝光裝置、顯影形 成别述潛影之前述光阻層使前述被触刻體之一部份露出之 f影裝置、將前述顯影之前述光阻層作為光罩來乾式蝕刻 ^述被姓刻體在該被蝕刻體型成凹部之蝕刻裝置、除去殘 留於雨述被钱刻體上之前述光阻層之光阻除去裝置，而製 第9頁 2186-5346-PFl(Nl).ptc 1236013 五、發明說明（6) ，形成了凹凸圖案之資訊媒體用母模板之製造裝置，前述 光阻層形成裝置，係使用相對於其蝕刻速率前述光阻層之 ΐί之選擇比在〇.5以上之樹脂材料所形成之被敍曰刻 體作為前述被#刻體而構成的。 —在此資訊媒體用母模板之製造方法以及製造裝置中， 藉由以相對於被蝕刻體之蝕刻速率，光阻層之蝕刻速率之 選擇比在0.5以上之樹脂材料來形成被蝕刻體，即使在已 ，成形成希望深度之凹部之時點，也可使作為光罩之光阻 層殘留。因此，可有效避免在凹部形成結束前起因於光阻 層之消失而使溝形狀帶圓形或是其深度變淺之不佳之情 =。因此，使用此資訊媒體用母模板來製造資訊媒體^子 :可形成能可製得正確軌道之碟片基材之資訊媒體用 模板又，相較於使用濺鍍Cr而形成被蝕刻體之以往之 製造方法，使用以樹脂材料可容易的形成之被蝕刻體之 故，> 汛媒體用母模板之製造成本可充分的降低。 、 在此情況，關於本發明之資訊媒體用母模板之製造方 法中，作為前述被蝕刻體，以使用前述選擇比在丨.〇以上 3· 0以下」之樹脂材料所形成之被蝕刻體為佳。又，關於 發明之貧訊媒體用母模板之製造裝置中，前述光阻 裝以使用前述選擇比在u以上3. 〇以下之樹脂材料： 形成之被蝕刻體為佳。藉由此，即使在已完成形成希望 度之凹邛之時點，也可使作為光罩之光阻層殘留之故，因 此，可有效避免在凹部形成結束前起因於光阻層之 使溝形狀帶圓形或是其深度變淺之不佳之情況。 失而 第10頁 2186-5346-PFl(Nl).ptc 1236013 Θ 修正 案號 91134806 五、發明說明（7) φ又你本發明之資訊媒體用母模板之製造方法 = = 前述曝光用光束之光束吸收素材或防 = ί光束反射防止素材所形成…刻 骽作為刖述被>1虫刻體為佳。又，關仏 母掇妬夕制”罢士 g本發明之資訊媒體用 母拉板之“裝置中，前述光阻層形成裝置，以使用包含 光束之光束吸收素材或防止該曝光用光束 ΪΓί 所形成之被钱刻體作為前述被钱 刻體為佳。猎由此，可有效防止光阻層 士 :美：：很窄的節距形成明顯之潛影（凹部）：因此： 媒體用母模板所製造之資訊媒體用子模 j來“碟片基材，可使記錄資料之記錄密度充分的提 *於本發明之資訊媒體用母模板之製造方法 ;，前述光阻層形資模板之製造裝置 為前述光束吸收素材之4,4，—雙(：：：=:二胺樹脂與作 混合物所形成之被蝕刻體作為& 土一本甲酮之 此，光阻層曝光時，皮：刻體為佳。藉由 之大部分由光吸收層；；影）之雷射光束 :二=來ΐ =:防=法到達光阻層而被* 2186-5346-PFl(Nl).ptc 第11頁 1236013 修正 案號 9113480R 五、發明說明（8) /。、因此’使用此光阻層作為光罩來乾式蝕刻，可明顯的 形成母模板之凹部。
又’在關於本發明之資訊媒體用母模板之製造方法 中，、f前述被餘刻體在基材上層狀形成，在該被蝕刻體上 ^成W述凹部為佳。在此情況中，在前述基材上旋轉塗布 則述樹脂材料來形成前述被蝕刻體為佳。又，在關於本發 明^資訊媒體用母模板之製造裝製中，在基材上，以包含 S 4述被#刻體以前述樹脂材料層狀形成之被蝕刻體形成 ^置而構成者為佳。在此情況中，前述被蝕刻體形成裝 置、，係在，述基材上將前述旋轉塗布來形成前述被蝕刻體 者為佳。藉由此，可比較容易形成所希望之厚度之被蝕刻 體（光吸收層）。又，相異於例如給形成之下層膜作為 被，刻，之以往之製造方法，可不需要高價的大型真空成 膜裝置等之結果，可充分的降低母模才反（資訊媒體用母模 板）之製造成本。又，相異於使用Cr之情況，$需使用氣 糸餘刻氣體之故，可安全且容易的製造母模板。
又’在關於本發明之資訊媒體用母模板之製造方法 :、，、使用前述蝕刻速率較前述被蝕刻體低的材料所形成之 =述基材，=為了形成前述凹部深度之厚度來形成被蝕刻 體，藉由在前述乾式蝕刻時使前述基材之一部份從前述被 蝕刻體露出而形成前述凹部來形成前述凹凸圖案為佳。 又，在關於本發明之資訊媒體用母模板之製造裝置中，前 述被姓刻體形成裝置，係使用前述_速率較前述被餘刻 體低的材料所形成之基材作為前述基材之同時，以應形成
iS__9U34806 五、發明說明（9) 前述凹部深声 藉由在前述：式：二T f被飯刻體，前述餘刻裝置，以 體露出而形成前述^ ^則述，材之一部份從前述被银刻 :，以較光吸收層之钱 :。藉由 基材之同#，形成以為了形成凹；匕(：；；：）形成 吸收層，且在乾式蝕刻時_ 卩^冰度之厚度來形成光 露出來形成凹邻，γ :使基材之一部份從光吸收層 吸收層之部分，可容易的形c面露出於光 況中，蝕刻處理之時間即蚀希/木度之凹。卩。在此情 A U yc ^ ^ λχ ' P使略為過長，由於低颠刻速率之 基材不會被蝕刻的太嚴重， *到迷羊之 之過度的深度，並社果，蝕引J免形成比凹邛之深度還深 容易。 八、，、°果蝕刻處理時之時間管理變的極為 昭t ϋ ΐ f ΐ明之資訊媒體用子模板之製造方法中，係依 :丹二體用母模板之製造方法，使用前述資訊媒體 媒體用子模板之製造方法，在前夂 n: 形成材去除作為該資訊媒體用母模板 之前述被蝕刻體。 #俠低 次却i辦ΐ訊媒體用子模板之製造裝置，係使用藉由上述 =^次母模板之製造裝置所製造之資訊媒體用母模板 來衣以貝訊媒體用子模板之資訊媒體用子模板之製造裝 置，係包括··在前述資訊媒體用母模板中在前述凹凸圖案 之形成面上形成子模板形成材之形成裝置、與從該子模板 形成材去除作為該資訊媒體用母模板之前述被蝕刻體之除 險 第13頁 2186-5346-PFl(Nl).ptc 1236013 __案號91134S0R__年月日 修正__ 五、發明說明（10) 去裝置來構成。 又，關於本發明之資訊媒體用子模板之製造方法，係 使用依照上述之資訊媒體用母模板之製造方法所製造之資 訊媒體用母模板來製造資訊媒體用子模板之資訊媒體用子 模板之製造裝置，在前述資訊媒體用母模板中在前述凹凸 圖案之形成面上形成子模板形成材，在將前述基材從該資 訊媒體用母模板剝離後，將前述被蝕刻體從該子模板形成 材除去。
又’關於本發明之資訊媒體用子模板之製造裝置，係 使用藉由上述資訊媒體用母模板之製造裝置所製造之資訊 媒體用母模板來製造資訊媒體用子模板之資訊媒體用子模 板之製造裝置’係包括：在前述資訊媒體用母模板中在前 述凹2圖案之形成面上形成子模板形成材之形成裝置、以 及將前^被餘刻體從被剝離前述基材之前述資訊媒體用母 模板與則述子模板形成材之積層體除去之除去裝置來構 成0
f k些=訊媒體用子模板之製造方法以及製造裝置 中从藉ί將貪訊媒體用母模板之凹凸圖案複寫於子模板形 成 f *製造資訊媒體用子模板，由於資訊媒體用母模板 之，圖案形成的非常明顯，因此複寫於此資訊媒體用子 :t Γ凸圖案亦可非常明顯的形成。因&，使用此資訊 媒=:模板來製造資訊媒體用碟片基材，可形成能形成 又在關於本發明之資訊媒體用子模板之製造方法
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、十、次％甘使作為刚述子杈板形成材之金屬材料析出於二 述貝汛媒體用母模板，來製造該資訊；刖 藉由此，相較於使用樹γ蓉作兔不伊/用子板板為佳。 、 仲平又孓便用树月日專作為子模板形成材之製土生古 法’可正確的複寫母模板之凹凸圖案。
又，關於本發明之資訊媒體用子模板之製造方法， 使用依照上述資訊媒體用子模板之製造方法而製造之該次、 訊媒體用子模板作為主子模板，藉由將該主子模板之^ 凹凸圖案複寫而製造為了複寫前述凹凸圖案於前述資訊媒 體之第1子模板。藉由此，在量產資訊媒體用碟片基材 時，可依序以新的資訊媒體用子模板來交換使用過之資訊 媒體用子模板之故，所以可量產指示溝之溝形狀更明顯^ 碟片基材。 【實施方式】
以下，參照附圖，說明關於本發明之資訊媒體用母模 板以及資訊媒體用子模板之各製造方法以及各製造裝置之 適當之實施形態。 最初，參照圖面說明關於在相當於本發明中作為資訊 媒體用母模板之光記錄媒體用母模板之母模板1。 圖1所示母模板1，係作為為了製造子模板20 (參照圖 6)等之模子而被使用，在基層11上積層光吸收層12全體
2186-5346-PFl(Nl).ptc 第15頁 1236013
以平板狀構成。又，在母模板丨之表面上，本發明中凹凸 圖案之凹部2、2…以螺旋狀形成。在此情況中，凹部2、 2…之形成節距係對應於在碟片基材3〇中（或母盤中 之指示溝30a (或指示溝形成用之凹部）之節距现豆 之深度使其對應於指示溝3 〇 a等之深度。 又 基材11係塗布了如後述之樹脂…（成為光吸收声 樹脂。參照圖2 )之支持體’舉例而言，係以蝕刻速曰率 60nm/分左右之石英以平板狀形成。又，此蝕刻速率係在 本發明中用以下較佳之蝕刻條件中的值所表示者，之 #刻速率值也相同。
(蝕刻條件） 餘刻氣體·· cf4、C2F6、（:3F8、（: 添加氣體·· 〇2、Ar、H2 氣體壓力：l.〇Pa RF蝕刻功率：5〇〇w 氣體流量：lOOcc/min
又’在母模板1之製造時所使用之基材丨丨，並不限定 於玻璃基材，也可使用金屬基材、半金屬基材以及陶瓷基 材等各種基材。在此情況中，如後述，為了藉由本發明而 知到顯著之效果，基材1丨之蝕刻速率以較光吸收層丨2之蝕 刻速率小為佳（舉例而言，6〇nm//分以下之餘刻速率。在 30nm/分以下之蝕刻速率更佳）。光吸收層12，相當於本 發明中作為被蝕刻體之被蝕刻層，舉例而言，使用硬化後
1236013 窟號 911348flfi_年 月 日 五、發明說明（13) 之餘刻速率為30〇nm/分左右之樹脂材料，其厚度τ (參照 圖2 )以能成為i5〇nm左右層狀的形成。又，光吸收層12之 蝕刻速率並不限定於上述之值，可對應前述基材丨丨之蝕刻 速率與後述製程中所形成之光阻層丨3 (參照圖3 )之蝕刻 速率來適當的變更。具體而言，相對於此光吸收層12之钱 刻速率，光阻層1 3之蝕刻速率之選擇比在〇 · 5以上為佳， ，1·〇以上更加。在此情況，選擇比在15以上3 〇以下之 範圍内愈大，如後述藉由本發明所得之顯著的功效便能愈 充分的得到。又，以蝕刻速率過高之素材形成光吸收層& 之情況中，由於此光吸收層丨2在短時間被蝕刻之故，蝕刻 處理之時間管理變的困難之結果，形成希望深度之凹部 2、2…有變的困難之傾向。相反的，以蝕刻速率低之素材 來形成光吸收層12之情況中，即使蝕刻時間稍微有誤差發 生，由於此時間之誤差造成之蝕刻量少之故，蝕刻處理^ 時間管理變的容易。此結果，即使選擇比較3· 〇還大，也 可形成所希望深度之凹部2、2…。 又，光吸收層12之厚度並沒有特別限定，但在光阻層 13曝光時，形成能充分吸收曝光用雷射光束[之程度的厚曰 度。具體來說，光吸收層12係使用相對於雷射光束L之吸 收係數k在0.01以上之材料，而以〇·〗&上之材料為佳，以 能充分吸收曝光用雷射光束L之厚度來形成為佳。在此情 況，在光吸收層12之厚度不充分時，無法充分吸收雷射光 束L而使光阻層13多重曝光而使潛影有崩壞的傾向。另一 方面’在形成了超過300 nm之厚度時’對於雷射光束L之光 2186-5346-PFl(Nl).ptc 第17頁 1236013 曰 修正 I 號 9113480R_年月 五、發明說明（14) 吸收性也並非顯著的增加，而是不必要的消費為了形成光 吸收層12之材料。又，在形成了超過3〇〇11111之厚度之情況 時，照射雷射光束L時，光吸收層丨2積蓄過剩的熱，由於 =’光阻層1 3熱分解之結果，安定的曝光有變的困難之傾 ^。，此，光吸收層12之厚度規定於lnm以上3〇〇nm以下為 以在1〇nm以上200nm以下之厚度來形成為佳。在此 情況，起因於上述光吸收層12之蓄熱之光阻層13之埶分解 ^程度，對應於照射之雷射光束L之照射功率而變化。因 ^使用比較小功率之雷射光束L來曝光時，光吸收戶j 2 之厚度也可超過300ηιη而在5〇〇nm以下。 曰 又丄為了使凹部2、2…之形成製程（蝕刻處理）容 ί之Lt述ΐ光吸收層12之_速率叫基材11之㈣速率 ΐΪΠ，ί厚度…目等於之後形成之凹部2之深度D來 此’如後述，只要進行將基材η之表面露 吸收;之，即可形成所希望之深度〇 (亦即光 收層12之厚度τ)之凹部2、2…。此光吸收声 έ對於曝光時所昭射之雷 9 、 有機介人你,/雷射先束之波長具有光吸收性之 r"(相备於本發明中之光束吸收素材。以下，亦 %為光吸收劑），也丨上 ，士 Λ r ^ Μ Μ ΒΛ π Γ 例如，使用光開始助劑、染料，或是弁 開始助劑與染料之混合物。 了叶次疋光 先之有機化合物所構成。採用4, 4，—雙(二 )，脾士 -— 万％為一本甲酮系化合物| 之三聚氰二:酮系化合物與合成三聚氰胺以及福馬林等 人 ①曰（熱硬化型樹脂）之混合物作為在本發明 2186-5346-PFl(Nl).ptc 第18頁 * 1236013
中之樹脂材料。 接著，參照圖1 7 板之製造裝置（以下 100 。 ’說明關於本發明之資訊媒體用母模 ’亦稱為「母模板製造裝置」） ' 此母杈板製造裝置1 0 〇，係包括光吸收層形成裝置 101、光阻層形成裝置1〇2、曝光裝置1〇3、顯影裝置丨、 蝕刻裝置1 0 5以及光阻除去裝置】〇 6，以可使用基 造母模板1來構成。 ^ ^製作母模板1之時，首先，在三聚氰胺樹脂中溶融二 苯甲酮系化合物，製作為了形成光吸收層丨2之塗布液（以 下、’亦稱為「樹脂R1」）。又，將所製作之樹脂R1，貯藏 於光形成裝置1 〇 1内。此時，也可使用紫外線硬化型樹脂 取代三聚氰胺樹脂。又，為了使之後形成之光阻層丨3之間 之接著性增加，也可添加接著劑、吸光劑、界面活性劑等 各種添加物來製作塗布液。又，也可使用將各種光吸收材 混合於熱硬化型樹脂或光硬化型樹脂等之混合物來代替二 苯甲酮系化合物與三聚氰胺樹脂之合成物。 在母模板製造裝置100 ’首先’光吸收層形成裝置 101 ’在表面平坦的研磨過後之基材11上形成耦合劑層 (無圖示）後，如圖2所示，藉由旋轉塗布法將樹脂R1層 狀塗布於基材11上。接著，光吸收層形成裝置丨〇 i，對二 此狀態之基材11，施以1 5 0 °C〜2 0 0 °C，舉例而言2 〇 〇 ^左右 之加熱處理使樹脂R1硬化。又，在使用紫外線硬化樹脂作 為塗布液之情況時’塗布塗布液後照射硬化用紫外、線使塗
1236013 t號 9113480B 五、發明說明（16) 膜硬化。藉由此，在基材11上形成光吸收層12。 接著，光阻層形成裝置102，在光吸收層12上以旋轉 =f使光阻之厚度為3〇nm左右之後，使其乾燥來使殘留溶 诏蒸發。藉由此，如圖3所示，光吸收層12上形成光阻層 1 3。此光阻層丨3係在之後乾式蝕刻光吸曰 單之機能之層，使用乾燥後之蚀刻速率為2曰〇〇== 感光性材料。因此，相對於前述樹脂R1之蝕刻速率（在此 情況，30〇nm/分左右），光阻層13之蝕刻速率之選擇比為 1.5。又’在本發明之實施形態中，作為感光性材料之一‘、、、 例，使用光阻（日本ΖΕΟΝ股份有限公司製DVR1〇〇 )。 接著，曝光裝置103 (即所謂切割機）在應形成凹部 2、2…之部位（碟片基材30之指示溝3〇a應形成之部位） 上，例如經由數值孔徑（NA) 0.9，照射波長（又）35inm 之圖案形成用雷射光束L (曝光用光束，舉例而言，以高 峰強^ (Ι/e2)之狀態切片時之點徑為〇32/^之°雷射^束 )。藉由此，在光阻層1 3上以例如〇. 30 # m左右之形成節 距來形成寬度0. 1 5 // m左右之螺旋狀潛影。在此情況，由 於在基材11與光阻層13之間形成光吸收層12之故，從曝光 裝置103射出，透過光阻層13 (形成潛影）之雷射光束t之 大部分不會到達基材11，而被光吸收層i 2吸收。另一方 面，無法藉由光吸收層12完全吸收而到達基材11後=反射 的微量雷射光束L，不會到達光阻層13，而被光吸收層12 吸收。因此，藉由基材11反射被阻止而防止光阻層13曰之多 重曝光之故，所以可以很窄（很細）的節距來形&明顯的
1236013 月 曰
------91imnR 五、發明說明（17) 如 =〜。接著，顯影裝置藉由將 3圖4所示，形成去除了雷射光束心顯影 於翻。旦在此情況，*吸收層12為非感光性材料部3二 ;”、、衫液之故，所以光吸收層1 2之表面虑盔 且不溶融 所 口，由於照射雷射光束L時形成表二=，之底部 错由顯影形成之凹部3、3…亦 吊明顯 接著，姓刻裝置m，藉由以形成月了=成。 二層 1 3 :::罩，使用 a、μ、μ、 3:，上 體或疋在其中添加添加氣體（0 Ar 3次疋，、軋δ軋 餘刻氣體來進行反應性離子敍刻，如圖5二2)_之氣體作為 2、2".。此時，如前述，由於形成於光阻^ ’形成二部 3...非常明顯之故，所以使用形成了曰之凹丨、 層13作為光罩，可形成非常明顯之凹部2、2」..·之光阻 使光吸，層12之厚度τ對應凹部2之深度D之又’規定 材11，藉纟使用it比光吸收層12之钮刻速率小、列”、土 (在此情況，6〇nm/分左右）隻石英玻璃 飯4速率 時，藉由敍刻光吸收層12直到基材u之/面板露出在;^ f到凹部2之底面2a為基材u之表面），可形成所(希望：’ :JD之凹部2、2...。在此情況，即使蝕刻處 過長，由於低㈣速率之基材ni^會錢刻的f ]略為 所以可避免凹部2形成的較深度D過深。因此，蝕 時間管理變的非常容易。 乂 ^ 之 ^ 、又，異於以往之在玻璃母模板（合成石英母模板）上 形成凹部之光記錄媒體用母模板之製造方法，藉由以蝕刻 η 2186-5346-PFl(Nl).ptc 第21頁 1236013 月 曰 i號91】?!4只加 五、發明說明（18) 速率較大之樹脂材料（光 式蝕刻，可在短時間12 )作為被蝕刻體進行乾 在此情況，由於作之深❹之凹部2、2.‘.。 光吸收層1 2之蝕刻速率小 ^ =阻層1 3之蝕刻速率較 完所希望之深度D之凹羊部]2之2故^ 層13仍殘留於光吸收層12 才二’作為光罩之光阻 2·..之形成結束以前作為Λ Λ 有效避免凹部2、 部2、2…之、二二η罩光阻層13消失所引起之凹 ^ 溝形狀▼圓形，或是其深度D變淺等不佳之_ 收ί/Γ去裝置106,藉由將餘刻結束之基： 中光阻層13之積層體浸於光阻剝離液 中，除去殘留於光吸收層12上之光阻。 1所示，製作母模板1。 糟由此如圖 糾用iL，參L圖面，說明關於本發明中相當於光記錄媒 體用子模板之子楔板2 〇之製造方法。 所示之子模板20 ’係為了光記錄媒體用碟片基材 30 (參照圖11)之射出成形時與為了製造母盤4〇 (參昭圖 12 )之模具，使用依照上述製造方法所製造之母模板】來 製造。此子模板20係在無電解鎳層21 (導電層）上積層電 解鎳層22而構成，全體以平板狀形成。又，為了在碟^基 材30上面形成凹凸圖案之塗布2〇a以螺旋狀形成在子模板 20下面。在此情況，相鄰之凸部2〇a、2〇a之節距（凸部 20a之形成節距），對應在碟片基材3〇中指示溝3〇&之形成 節距，例如規定為0. 3 2 // m。 接者’參照圖1 7說明關於本發明中之資訊媒體用子模 2186-5346-PFl(Nl).ptc 第22頁 1236013
亦稱為「子模板製造裝置」 “此子模板製造裝置2〇〇，係包括導電層付與裝置2〇1、 ^杈板形成材形成裝置2〇2以及除去裝置2〇3，可使用母模 板1來製造子模板2 〇來構成。 “在製造此子模板20時，導電層付與裝置2〇1，首先， 错由例如無電解電鍍（析出），如圖7所示，沿著母模板工 ^凹凸圖案形成由金屬材料鎳所形成之無電解鎳層21 (導 。'層）。藉由此，母模板丨之表面（基材n之表面以及光 :收層12之表面）變成具有導電性。在此情況，形成為了 對母模板1之表面付與導電性之層（導電層）之素材並不 限於鎳’可使用各種金屬材料。&，導電層之形成方法也 :限定於無電解電冑，也可藉由蒸鍍法或濺鍍法等各種成 ::法來形成金屬材料層（例如，鎳層）。接$，子模板 ^材形成裝置202 ’藉由使用無電解錄層21作為電極施 二、解電鍍處理（藉由析出），如圖8所示’在無電解錄 層）電解錄層以。在此情況…模板形 f材形成裝置202所形成之電解鎳層22，係本發明中之子 ^板形成材’而無電解層21與電解層22之積層冑（， ’、稱為j子模板側積層體」）之後構成子模板2〇。 接著，如圖9所示，以人手或專用之剝離裝 :)將基材Η從積層了子模板侧積層體之母模板】剝離3 後，除去裝置203，將光吸收層12從剝離了基材u之 板1與子模板側積層體之積層體去除。具體而言，除去= 麵 第23頁 2186-5346-PFl(Nl).ptc 1236013 曰 修正 ^號9m伽ft 五、發明說明（20) 置203，藉由對剝離基材n之面進行〇 附於子模板側積層體之光吸收層1 2。2葬:广化，來除去貼 示，母模板1之凹部2、2…複窝 /由此，如圖6所 21以及電解鎳層22)，形成凸部2〇a a钭（無電解鎳層 J20;在此情況，前述子模板2。 母模二製作子模 礎’该凹凸圖案複寫於金屬材料而 ：^1為基 由於基礎之母模板丨之凹凸圖案非 凸圖案。因此， 寫於此：模板2。之凹凸圖案也以非常明顯、:形成狀:以複 此，如後述，使用此子模板20來製造光記錄 =成。因 材，可形成軌道可為正確之碟片基材。々、 〃片基 挤據i照圖面來說明關於使用子模板20來製作光記 錄媒體用之碟片基材。 衣作尤口己 =使用：模板20製造光記錄媒體時，舉一例而言，如 圖10所不，精由在設置好子模板2〇之金 =射出成形碟片基材3〇。藉由此，如圖η所η 溝ΠΓ之凸：l°a、20a…複寫於樹脂R2，而形成指示 m，來製作碟片基材30。又，在量產碟片基材 30之時’、舉-例而言’如圖17所示，在子模板製造裝置 200上再追加複寫裝置2〇4，藉由複寫裝置2〇4來使複數之 次子模板（本發明中第丨子模板之一例）A、A…製作可能 來構成為佳。在此情況，複寫裝置2〇4，如圖12所示，首 先，使用子模板20作為主子模板，將其凹凸圖案複寫於例 如金屬材料來製作母盤4〇。接著，複寫裝置2〇4，將此母 盤40之凹凸圖案複寫製作複數之次子模板a、a ···。在製造 2186-5346-PFl(Nl).ptc 第24頁 1236013
_ 案號 91134806 五、發明說明（21) 碟片基材3 0時，使用此次子模板A、A ···。藉由此，次子模 板A在摩耗前便可依序與新的次子模板a交換之故，所以可 量產碟片基材30。 在此情況’根據不同用途’亦可將上述之母盤4 〇作為 子模板（本發明中第1子模板之另一例）來使用。在此' 時，如圖1 3所示，使用母盤40作為子模板，在設置好子模 板之金屬模内注入樹脂R2。藉由此，如同圖所示，相對於 碟片基材30，形成了凹凸圖案反轉之碟片基材5〇。如此， 使用母盤40作為子模板來製造碟片基材5〇之方法，可有效 適用在製造近年來檢討中之高密度光記錄媒體用之碟片^ 材。在此情況，在此高密度光記錄媒體中，由於使用藍^ 雷射光作為播放用雷射光束以及記錄用雷射光束之故:在 記錄播放時，需使讀取頭接近記錄層。因此，雷射光之入 射方向與既存之光記錄媒體方向相反，由於從比碟片基材 柏之光透過層側來使雷射光入射之故，相對於通常之碟片 基材’系使凹凸圖案反轉來製造碟片基材。因此，相^於 子模板20 ’使用凹凸圖案反轉之母盤4〇作為子模板來使用 可容易的製造高密度光記錄媒體用之碟片基材。 如此’根據與本發明之實施形態有關之母模板1以及 母模板製造裝置1 0 0，相對於光吸收層i 2之#刻速率 ( 30 0nm/秒），就由光阻層13之蝕刻速率（2〇〇nm/秒）之選 擇比在1 · 0以上3 · 0以下（在此例為1. 5 )之樹脂材料（樹、 脂R1)來形成光吸收層12，在希望深度之d之凹部2、2 ... 形成結束之時點，也可使作為光罩之光阻層丨3殘留之故，
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修正__ 而可在凹部2、2…之形成結束前，有效的避免起因作為光 罩之光阻層1 3之消失而使凹部2、2…之溝形狀帶圓形、其 深度D變淺之不佳的情況。因此，可形成能製得軌道正確 之碟片基材之子模板2 〇。在此情況，藉由使用較合成石英 盤之钱刻速率還大之樹脂材料（光吸收層丨2 )來作為被蝕 刻體，可在短時間内形成所希望之深度D之凹部2、2…，
其t果，可充分降低母模板丨之製造成本。右，不同於蝕 刻以往=製造方法中由Cr形成之下層膜之方法，由於不需 要使用氣系氣體之故，可安全且容易的製造母模板1 C 又，根據此母模板1之製造方法以及母模板製造裝置 100，、藉由以含有三聚氰胺與4, 4，—雙（二乙胺基）二苯甲 止t混合物作為樹脂材料來形成光吸收層i 2，光阻層工3曝 I ，通過光阻層1 3 (形成潛影）之雷射光束L之大部分 收：^ 1 f材11而被光吸收層12吸收，且即使是沒有被吸 材"而被反射之極微量之雷射光束[也二^ 13之多；被層12吸收之故，可有效防止光阻層 明顯之漱二Ϊ ;、、、。果，可以狹窄的節距在光阻層13形成 先罜决二=(凹、3 ··· ) °因& ’使用此光阻層1 3作為 又，僅二二Ϊ刻，可明顯的形成母模板1之凹部2、2…。、 碑片了此母模板1之凹凸圖案之子模板20來製造 來形成潛影，也可y由以光比/收射;之點徑還狹小之節距 也了糟由先吸收層12之吸收而避免多重曝光
2186-5346-PFl(Nl).ptc 第26頁 1236013 案號 91134806 年 月一 曰 修正 五、發明說明（23) 之故，所以形成比較明顯之潛影。因此，使用以此母模板 1為基礎而製造之子模板2〇來製造碟片基材30。可充分的 使記錄資料之記錄密度增加。 而且，根據此母模板1之製造方法以及母模板製造裝 置1 〇〇，藉由在作為支持元件之基材11上旋轉塗布樹脂R1 (樹脂材料）來形成光吸收層丨2，可比較容易形成所希望 厚度之被蝕刻體（光吸收層1 2 )。又，例如，異於cr所組 成之下層膜作為被餘刻體之以往之製造方法，可不需要高 價之大型真空成膜裝置等，其結果，能充分的降低母模板 1 (u資訊媒體用母模板）之製造成本。又，根據此母模板1 之製^方法’在以較光吸收層丨2還低之蝕刻速率低之材料 (石英玻璃）來形成基材丨丨之同時，以應形成之凹部2、 2主··之+深度D之厚度τ來形成光吸收層12，且，在乾式蝕刻 日、’藉由使基材11之一部份從光吸收層丨2露出來形成凹部 ^ .山’在蝕刻時，只要蝕刻到基材11從光吸收層12之表 ::出’即可容易的形成所希望深度D之凹部2、2...。在 處理之時間略為過長，由於低姓刻速率 凹部2之深度D還過深而形因：可避免被姓刻的較 之時間管理變的極為容易。月/ ，八結果，蝕刻處理中 又，根據與本實施形態右 及子模板製造裝置200，藉由有 子模板2Q之製造方法以 子模板形成材（無電解鎳声2、母^板1之凹凸圖案複寫於 模板2〇，可將母模板i之凹解鎳層22)來製造子 圖案非常明顯的形成之故，
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寫於此子模板20之凹凸圖案也可以非常明顯之形狀形 因此，使用此子模板2 〇來製造光記錄用媒體，可形成 &之執道為可能之碟片基材。又，根據此子模板2〇之製 =方，，藉由進行％電漿灰化來除去光吸收層12，可容易 確具的去除貼付於子模板2 〇之光吸收層丨2。 又，根據與本貫施形態有關之母盤4 〇 (本發明中之第 立子扠板）之製造方法以及子模板製造裝置2〇〇，藉由以凸 42〇a、20a…以狹小的節距形成之子模板別作為主子模 ^將該凹凸圖案複寫於母盤40來製造，可明顯的形成母 二40之各凹部（藉由凸部2〇a、2〇a…而形成於母盤4〇之凹 邛）+。因此’藉由使用此母盤4 〇來製造複數之子模板（次 子模板），可依序交換新的子模板之故，可量產指示溝之 溝形狀明顯之碟片基材3〇。又，藉由使用此母盤4〇來製造 f i基材50，可在碟片基材50上形成可得到良好之執道錯 誤仏就等之指示溝。此結果，可使記錄資料之記錄密度充 分的增加。 又’本發明並不限於上述發明之實施形態，可適當的 變更。例如，在本發明之實施形態中，舉例說明了包含作 為被银刻體之光吸收層1 2之製程之母模板之製造方法，與 包含光吸收層形成裝置101之之母模板製造裝置100，但亦 可藉由使用預先形成了光吸收層12之基材η，而省略光吸 收層1 2之製程來製造母模板，也可省略光吸收層形成裝置 1 〇 1來構成母模板製造裝置1 0 0。又，在本發明之實施形態 中’以在本發明中作為基材（支持體）之石英玻璃板上
案號 91134806
1236013 五、發明說明（25) (基材1 1 )形成光吸收層1 2之母模板1為例來說明，但本 發明中之光記錄媒體用之母模板之製造方法並不限定—於 此，舉例來說，如圖14所示母模板1A，也可只在由光吸收 層1 2 (樹脂材料）形成之被蝕刻體上形成凹部來製造光記 錄媒體用母模板。在製造此母模板丨A時，首先，由例如母 模板1之製造時使用之樹脂R1 (本發明中之樹脂材料）來 I成平板狀之光吸收層1 2 (樹脂板），如圖1 5所示，在此 光吸收層12上形成光阻層13。接著，藉由對光阻層13照 雷射光束L後顯影，如圖1 6所示，在光阻層丨3上形成凹部 3、3 ··、·。之後，以此光阻層13作為光罩，進行希望時間份 之乾式韻刻後’藉由除去光阻層1 3，如圖1 4所示，在光吸 收層12上形成深度D之凹部2、2…。藉由此，完成母模板 1。使用此母模板1製造子模板2〇時，在上述之發明之實施 形態中所說明之藉由％電漿灰化之光吸收層12之除去^需^ 要之時間會些微變長，但在子模板2〇之製造方法中可不1 要基材11之剝離製程。 而 又，在本發明中之凹凸圖案（形成於母模板丨之凹凸 ^案與複寫於子模板20之凹凸圖案），並不限定於本發明 實施形態舉例所示之螺旋狀凹凸圖案，也可是同心圓^之 凹凸圖案以及其他各種形狀之凹凸圖案。又，本發明，並 不/、限疋於為了形成指示溝之子模板之製造以及為了製造 =子模板之母模板之製造，例如在為了形成資訊凹部之子 杈板以及形成母模板之情況中也可有效的適用。再加上， 在本發明中之被蝕刻層，並不限定於包含吸收曝光用光束 1236013
案號 91134806 五、發明說明（26) (雷射光束L )之光束吸收素材之光吸收層丨2，也可以 止曝光用光束反射之光束反射素材來形成被蝕刻層。防 雖以作為資訊媒體之光記錄媒體為例來說明，伸姐 (不連續媒體等）本發明也當然可適用。 ' &碟 【產業上之利用可能性】 如上述，根據此資訊情報用母模板之製造方 以相對於被蝕刻體之蝕刻速率光阻層之蝕刻速率之^ 為0· 5以上之樹脂材料來形成被蝕刻體，即使在所希$详 深度之凹部已形成終了時，也可使作為光罩之光阻声 留。因此，可有效的避免由於凹部之形成終了前之&阻声 之消失所引起之凹部之溝形狀帶圓形、其深度變淺等不^ 的情況，而實現凹凸圖案明顯形成之資訊媒體用 製造方法。 h槪心
2186-5346-PFl(Nl).ptc 第30頁 1236013 —— _案號 91134806_年月曰__修正__ 圖式簡單說明 圖1係與本發明之實施形態有關之母模板1之剖面 圖。 圖2係在母模板1之製程中在基材11上形成光吸收層1 2 之狀態之剖面圖。 圖3係在母模板1之製程中對在光吸收層丨2上之光阻層 1 3照射曝光用雷射光束l之狀態之剖面圖。 圖4係在母模板1之製程中光阻層丨3之顯影結束之狀態 之剖面圖。 圖5係在母模板1之製程中對光吸收層丨2蝕刻結束之狀 態之剖面圖。 圖6係與本發明之實施形態有關之子模板2〇之剖面 圖。 圖7係在子模板20之製程 層2 1之狀態之剖面圖。 圖8係在子模板20之製程 解鎳層2 2之狀態之剖面圖。 圖9係在子模板20之製程 圖。 中在母模板1上形成無電解鎳 中在無電解鎳層21上形成電 中剝離基材11之狀態之剖面 圖10係在碟片基材30之製程中，將子模板2〇之 案複寫於樹脂R2之狀態之剖面圖。 凸圖 圖11係使用子模板20而製造之碟片基材3〇之 圖12係將子模板20之凹凸圖案複寫於金屬材;=。 母盤4 0時之剖面圖。 料朿製作 圖13係在碟片基材50之製程 中將母盤40之凹凸 圖案複
2186-5346-PFl(Nl).ptc 第31頁 1236013 __案號91134806 _年月曰 修正__ 圖式簡單說明 寫於樹脂R2之狀態之剖面圖。 圖1 4係與本發明之另一實施形態有關之母模板1 A之剖 面圖。 圖1 5係在母模板1 A之製程中對在光吸收層1 2上之光阻 層1 3照射曝光用雷射光束L之狀態之剖面圖。 圖1 6係在母模板1 A之製程中光阻層1 3之顯影結束之狀 態之剖面圖。 圖17係母模板製造裝置1〇〇以及子模板製造裝置2〇〇之 構成圖。 符號說明】 1〜母模板； 2〜凹部； 3〜凹部； 1卜基材； 1 3〜光阻層； 2 0 a〜凸部； 22〜電解鎳層； 30a〜指示溝； 50〜碟片基材； R2〜樹脂； 101〜光吸收層形成骏 1 0 2〜光阻層形成裴^ 103〜曝光裝置； 1A〜母模板； 2a〜凹部2之底面； 3a〜凹部3之底面； 1 2〜光吸收層； 2 0〜子模板； 21〜無電解鎳層； 3〇〜碟片基材； 40〜母盤； R1〜樹脂； 1〇〇〜母模板製造裝置 置； 1 〇4〜顯影裝置；
第32頁 1236013 _案號91134806_年月日 修正 圖式簡單說明 1 0 5〜蝕刻裝置； 1 0 6〜光阻除去裝置； 2 0 0〜子模板製造裝置； 201〜導電層付與裝置； 2 0 2〜子模板形成材形成裝置； 2 03〜除去裝置； 204〜複寫裝置； L〜雷射光束； A〜次子模板； D〜凹部之深度； T〜樹脂材料之厚度。
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Claims (1)
1236013 修正本 -- 案號 9ii:usnfi 六、申請專利範圍 1 · 一種資訊媒體用母模板之製造方法，在被餘刻體上 =成^阻層，對該光阻層照射曝光用光束形成潛影後，顯 影使前述被蝕刻體從該光阻層之一部份露出，使用前述光 阻層作為光罩乾式蝕刻前述被蝕刻體，在該被蝕刻體上形 成凹°卩’藉由除去殘留在該敍刻體上之前述光阻層，來擎 造形成了凹凸圖案之資訊媒體用母模板， 又 其特徵在於： 採用以樹脂材料形成前述被蝕刻體，前述光阻層之餘 刻速率其相對於以樹脂材料形成之前述被触刻體之飯 率的選擇比係在〇 · 5以上。 、 、2 ·如申請專利範圍第1項之資訊媒體用母模板之製造 方法，其中，萷述光阻層之蝕刻速率其相對於以樹脂材料 形成之W述被蝕刻體之蝕刻速率的選擇比係在丨· 〇以上3 〇 以下 ° * 3 ·如申請專利範 方法’其中，使用含 材或防止該曝光用光 料所形成之被蝕刻體 4 ·如申請專利範 方法，其中，使用含 材或防止該曝光用光 料所形成之被蝕刻體 5 ·如申請專利範 方法，其中，前述樹
圍第1項之資訊媒體用母模板之製造 有吸收前述曝光用光束之光束吸收素 束反射之光束反射防止素材之樹脂材 作為前述被蝕刻體。 圍第2項之資訊媒體用母模板之製造 有吸收前述曝光用光束之光束吸收素 束反射之光束反射防止素材之樹脂材 作為前述被蝕刻體。 圍第3項之資訊媒體用母模板之製造 脂材料’係三聚氰胺樹脂斑你或
1236013 年 月 修正 曰 -----案號 91134Rnp 六、申請專利範圍 光束吸收材之4，4’ 一雙（二乙胺基）二苯甲酮之混合物。 6 ·=申清土利範圍第4項之資訊媒體用母模板之製造 〃中别述樹脂材料，係三聚氰胺樹脂與作為前述 一吸收材之4，4 —雙（二乙胺基）二苯甲酮之混合物。 7·=申凊專利範圍第丨項之資訊媒體用母模板之製造 ^ L ^二中，將前述被蝕刻體以層狀形成在基材上，在該 被韻刻體上形成前述凹部。 方法8: ϊ m: 項之資訊媒體用母模板之製造 前述被钱：體在别述基材上旋轉塗布前述樹脂材來形成 方法，1^7严之資訊媒體用母模板之製造 料所形成之前述基材，形成應成為 前述基材之-部份從前述被敍刻體韻刻時，藉由使 形成前述凹凸圖案。 出而形成前述凹部來 10· 一種資訊媒體用子模板之製 請專利範圍第1〜6項中之任一項所記 =’使用依照申 板之製造方法所製造之前述資訊 之貝戒媒體用母模 媒體用子模板， ’、用母模板來製造資訊 其特徵在於： 在前述資訊媒體用母模板中前述凹 形成子模板形成材，將作為該資訊媒 圖案之形成面上 蝕刻體從該子模板形成材除去。、-用母模板之前述被
2186-5346-PFl(Nl).ptc 第35頁 i 1236013
MM 9li^snfi 六、申請專利範圍 往^一種貧訊媒體用子模板之製造方法，使用依照申 ‘之制2圍第7〜9項中之任一項所記載之資訊媒體用母模 媒^Ϊ ^法所製造之前述資訊媒體用母模板來製造資訊 螺體用子模板， 其特徵在於： 二f貝汛媒體用母模板中前述凹凸圖案之形成面上 飾=形成材’將作為該資訊媒體用母模板之前述被 蝕刻體從該子模板形成材除去。 傲 1 12.如申請專利範圍第1 0項之資訊媒體用子模板之製 =方法，其中，藉由進行02電漿灰化來除去前述被蝕刻 體。 ^ 13·如申請專利範圍第n項之資訊媒體用子模板之製 造方法，其中，藉由進行〇2電漿灰化來除去前述被蝕刻 體。 生1 4 ·如申請專利範圍第1 0項之資訊媒體用子模板之製 造方法，其中，使作為前述子模板形成材之金屬材料析出 在箣述 > 汛媒體用母模板上來製造該資訊媒體用子模板。 1 5 ·如申請專利範圍第11項之資訊媒體用子模板之製 造f法’其中，使作為前述子模板形成材之金屬材料析出 在别述資訊媒體用母模板上來製造該資訊媒體用子模板。 1 6· —種資訊媒體用子模板之製造方法，其特徵在 於·使用依照申請專利範圍第1 〇項之資訊媒體用子模板之 製造方法所製造之該資訊媒體用子模板作為主子模板，藉 由複寫該主子模板之前述凹凸圖案來製造為了在資訊媒4
1236013 六、申請專利範圍 上複寫前述凹凸圖案之第1子模板。 於用—/Λ訊Λ體用子模板之製造方法，其特徵在 製造方法；項之資訊媒體用子模板之 由複寫該主子模板：：：媒體用子模板作為主子模板，藉 ^•媸宜乂 杈板别述凹凸圖案來製造為了在資訊婼髀 上稷寫珂述凹凸圖案之第1子模板。 、-某體 lj.—種資訊媒體用母模板之製造裝置， 痕2層形成裝置，在該被蝕刻體上形成光阻； ：前述光阻層照射曝光用光束形成潛影； 前述被钮；體之一述潛影之前述光阻層顯影，使 蝕刻裝置，使用前述顯影之前述光 式，述被蚀刻體在該被银刻體二乾 層除去阻除去裝置’將殘留於前述被蝕刻體上之前述光阻 :製造形成了凹凸圖案之資訊媒體 其特徵在於： β π π 2 =阻層形成裝置係採用樹脂材料形成前述被餘刻 if姑：^阻層之餘刻速率其相對於以樹脂材料形成之前 述被蝕刻體之蝕刻速率的選擇比係在0.5以上。。 、止班1番9 .如甘中^專>利範圍第1 8項之資訊媒體用母模板之製 :: ’、，刖述光阻層形成裴置係採用樹脂材料形成 刖、？蝕^體，础述光阻層之蝕刻速率其相對於以樹脂材 料形成之前述被蝕刻體之蝕刻速率的選擇比係在h 〇以上 1236013 -1^ 91134806
六、申請專利範圍 3· 0以下。 20·如申請專利範圍第18項欠“ 造裝置，其中，前述光阻層成貝訊媒體用母模板之製 曝光用光束之光束吸收素材或^破置係使用含有吸收前述 束反射防止素材之樹脂材料光用光束反：之光 I虫刻體。 成之被姓刻體作為前述被 造如丄請專Λ?第2°項之資訊媒體用母模板之製 前ί光阻層形成裝置係使用包含三聚氰胺 述光束吸收材之4,4，-雙(二乙胺基)二苯 甲w之此合物所形成之被蝕刻體。 、生狀2f2.如/^專利範圍第18項之資訊媒體用母模板之製 ，， 將前述被#刻體以層狀形成在基材上，在 該被蝕刻體上形成前述凹部。 何上社 23.如申請專利範圍第22項之資訊媒體用母模板之製 ，前述被蝕刻體形成裝置係使用#前述被蝕 亥J ft别述蝕刻速率低之材料所形成之基材作為前述基材 鞅以應形成前述形成凹部之深度之厚度來形成前述 被蚀刻體； 刖述被蝕刻裝置係藉由在前述乾式蝕刻時使前述基材 之一部份從前述被蝕刻體露出而形成前述凹部而 凹凸圖案。 取引4 24· —種資訊媒體用子模板之製造裝置，使用藉由申 請專利範圍第18〜21項中之任一項所記載之資訊媒^用母 模板之製造裝置所製造之前述資訊媒體用母模板來製造資
2186-5346-PFl(Nl).ptc 六、申請專利範圍 訊媒體用子模板， 其特徵在於包括： 子模板形成材形成裴f， 二 前述凹凸圖案之形成面上 f别述資訊媒體用母模板中 除去襄置，將作為該形成材；以及 體從前述子模板形成材除去。” _用母杈板之前述被蝕刻 25· —種資訊媒體用子 請專利範圍第22或第23項所^ Λ ’使用藉由申 造裝置所製造之前述資訊媒= 媒體用#模板之製 子模板， 、^、體用母模板來製造資訊媒體用 其特徵在於包括： 前述資訊媒體用母模板中 模板形成材；以及 體用母模板之前述被姓刻 子模板形成材形成裝置，在 前述凹凸圖案之形成面上形成子 除去裝置，將作為該資訊媒 體從前述子模板形成材除去。
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