TWI228018B

TWI228018B - Display apparatus and electric device

Info

Publication number: TWI228018B
Application number: TW091135740A
Authority: TW
Inventors: Shunichi Seki
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-12-18
Filing date: 2002-12-10
Publication date: 2005-02-11
Also published as: KR20030051326A; CN1225149C; JP3705264B2; JP2003249376A; US7791269B2; KR100574260B1; US20030146695A1; US20050264182A1; CN1429051A; TW200301670A; US7012367B2

Description

1228018 A7 五、發明説明（1 【技術領域】本發明是關於顯示裝置及電子機器 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 【先前技術】近年採用將有機螢光材料等的發光材料墨水化，利用將該墨水（組成物）噴到基材上之噴墨法進行發光材料的圖案處理之方法，而在陽極與陰極之間夾入由該發光材料所形成的發光層之構造的彩色顯示器，特別是使用有機發先材料作爲發光材料之有機EL ( electrolu-minescence ) 顯示裝置正在開發中（日本專利特開平1 0- 1 2377號公報）因此參照圖面說明過去的顯示裝置（有機EL顯示裝置）。第31圖爲顯過去顯示裝置的重要部位之剖面模式圖第31所示的顯示裝置爲在基板802上依序層疊元件部8 1 1、陰極所構成。另外元件部8 1 1與基板802之間備有電路元件部8 1 4。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製此過去的顯示裝置中，從元件部8 1 1內具備之發光元件9 1 0向基板802側所發出的.光，透過電路元件部8 1 4及基板802往基板802的下側（觀測者側）射出，並且從發光元件9 1 0向基板802的相反側所發出的光利用陰極8 1 2 反射，透過電路元件部814及基板2往基板802的下側（觀測者側）射出。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 - 1228018 A7 _ _B7___ 五、發明説明（2 ) 電路元件部814是在基板802上依序層疊透明的基底膜804及透明的閘極絕緣膜942及透明的第1層間絕緣膜 944及第2層間絕緣膜947，在基底膜814上設置島狀的矽膜941，在閘極絕緣膜942上設置閘極電極943 (掃描線）。在矽膜94 1設置通道領域及夾隔此通道領域的汲極領域及源極領域，閘極電極943設置在與矽膜941的通道領域相對應的位置。另外在第2層間絕緣膜947上層疊平面上大致成矩形的像素電極9 1 1 (陽極）。然後形成貫穿第1 、第2層間絕緣膜844、847之接觸孔945、946，一者的接觸孔945連接矽膜941的源極領域（未圖示）與像素電極9 1 1，另一者的接觸孔1 46連接到電源線948。用此方式而在電路元件部814形成連接到各像素電極911之驅動用的薄膜電晶體9 1 3。元件部8 1 1是以層疊在複數個的各個像素電極91 1… 上之發光元件910、及各像素電極911和設在各發光元件 9 1 0之間區隔各發光元件9 1 0之間隔壁部9 1 2爲主體所構成。間隔壁部9 1 2由於是形成爲載置在像素電極9 1 1的周緣部上，因而設有與像素電極9 1 1的形成位置相對應之孔徑部912c，。間隔壁部912例用含氟樹脂等的撥墨性樹脂或是經C F 4電漿處理等使表面含氟的樹脂所形成後施予撥墨性，當以墨水滴從噴墨頭噴出含有有機EL的材料之間隔壁物墨水（組成物）之際，利用間隔壁部9 1 2的撥墨性使滴液形成孔徑部9 1 2c的圖案。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 B7 -. 3 五、發明説明（）發光元件910由形成在像素電極911上之電洞注入/ 輸送層910a、及與電洞注入/輸送層910a相鄰配置之發光層910b所構成。電洞注入/輸送層910a爲將含有電洞注入/輸送層形成材料之組成物噴到像素電極9 1 1上後經乾燥而形成。另外陰極8 1 2形成在像素部8 1 1的全面，具有與像素電極9 1 1成組將電子注入到發光元件9 1 0之功能。此陰極 9 1 2由複數層所形成，例如一般使用氟化鋰、鉀、M g、A g 、Ba等功率函數較低的金屬。 .但是在於過去的顯示裝置，從發光層所發出的著色光，不只是擴散到觀測者側，也擴散到發光層的周圍，因而夾隔此非形成領域所相鄰之發光層所發出的著色光彼此間混色化而顏色發生滲開，會有顯示裝置的對比度降低的可能性。本發明鑑於上述問題點，提供防止發光元件減低壽命，並且對比度優良之顯示裝置。 · 【發明之內容】本發明爲了達成上述目的，本發明採用以下的構成。本發明的顯示裝置其特徵爲：基板面內形成有複數個發光元件，平面上在前述各發光元件之間的領域設有遮光層。此遮光形成在比發光元件接近觀察者的位置（即是接近顯示面的位置）。例如將發出光射向基板側之底部發射本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -Ί - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 _____B7 五、發明説明（4 ) @之顯示裝置則是遮光層設置在比發光元件的發光層所形成的位置還基板側。另外將發出光射向與基板相反側之頂部射出型之顯示裝置則是遮光層設置在將各發光元件隔開之隔壁（間隔壁部）的上部或覆蓋基板面之封合基板的內 ® (與基板面對向之面）側等，面對基板面配置在比發光層還上層側。或是本發明的顯示裝置爲基板上形成有複數個發光元件’在各前述發光元件之間備有間隔壁部而形成之顯示裝 ® ’其特徵爲：前述間隔壁部由位於前述基板側之第1間隔壁層及形成在前述第1間隔壁層上面之第2間隔壁層所形成’前述第1間隔壁層與前述第2間隔壁層之間備有遮光層。然而在於本發明，發光元件至少含有形成在基板上之 '電極，、及與該電極相鄰所形成之功能層、及與該功能層相鄰所形成之對向電極。另外功能層至少含有電洞注入/輸送層及發光層。另外本發明的顯示裝置爲基板上形成有複數個發光元件’各前述發光元件之間備有間隔壁部而形成之顯示裝置 ’其特徵爲：前述基板與前述間隔壁部之間備有遮光層。依據上述的顯示裝置，經由設置遮光層，能將發光元件的非形成領域的外部之入射光及發光元件的射出光阻隔 ’而能提高顯示裝置的對比度使淸晰度提升。特別是用發光元件的非形成領域來阻隔發光元件的光 ’能防止過去的顯示裝置所發生之著色光彼此間所造成的本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - 裝----Ί--訂------_線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 1228018 Α7 Β7 五、發明説明（）顏色滲開，而能提高顯示裝置的對比度。另外遮光層設在第1間隔壁層與第2間隔壁層之間能提高第1間隔壁層與第2間隔壁層的密合性。另外本發明的顯示裝置，在前述遮光層設置與前述發光元件相對應之遮光孔徑部較爲理想。另外本發明的顯示裝置，前述遮光層由黑色樹脂所形成較爲理想。另外本發明的顯示裝置，前述遮光層由位於前述基板側之第1遮光膜，及位於遠離前述基板側之第2遮光膜所形成較爲理想。另外本發明的顯示裝置，前述第1遮光膜爲金屬銘膜並且前述第2遮光膜爲氧化鉻較爲理想。依據此顯示裝置，在基板側配置金屬鉻膜，.在遠離基板側配且氧化鉻膜，所以能利用金屬鉻膜反射外部的入射光，並且利用氧化鉻膜阻隔發光元件的非形成領域其發射元件的射出光，能更提高顯示裝置的對比度而能更加提高視認性。另外本發明的顯示裝置，前述第1間隔壁層由S i〇2 或ΤΊ〇2所形成，並且第2間隔壁層由丙烯酸樹脂或聚醯亞胺樹脂所形成較爲理想。本發明的顯示裝置爲基板上形成有複數個發光元件’ 各前述發光元件之間備有間隔壁部所形成之顯示裝置，其特徵爲前述間隔壁部由黑色樹脂所構成而形成爲遮光層〇 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ^ 1¾本-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -i't» 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 B7_ 五、發明説明（6 ) 另外本發明的顯示裝置，前述間隔壁部形成有前述第 1間隔壁層及前述遮光層。 -------------裝—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 依據此顯示裝置，間隔壁部由黑色樹脂所構成而兼作爲遮光層，能用此間隔壁部阻隔發光元件的非形成領域其從外部的入射光及從發光元件的射出光，而能提高顯示裝置的對比度使淸晰度提升。特別是利用發光元件的非形成領域阻隔從發光元件的光，能防止過去的顯示裝置所發生之著色光彼此間所造成的顏色滲開，而能提高顯示裝置的對比度。另外本發明的顯示裝置，前述第1間隔壁層由Si〇2 或Ti〇2所形成，並且構成前述有機物間隔壁層之前述樹脂爲丙烯酸樹脂或聚醯亞胺樹脂較理想。另外本發明的顯示裝置，至少前述第1間隔壁層的一部分施予具有親液性的加工較爲理想。線其次本發明的電子機器是具有顯示裝置，及用來驅動前述顯示裝置的驅動電路之電子機器，其特徵爲：前述顯示裝置在基板面內形成有複數個發光元件，平面上在前述各發光元件之間的領域設置遮光層。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製另外本發明的電子機器爲具有顯示裝置、及用來驅動前述顯示裝置的驅動電路之電子機器，其特徵爲：前述顯示裝置在基板上形成有複數個發光元件，在各前述發光元件之間備有間隔壁部，前述間隔壁部由位於前述基板側之第1間隔壁層，及形成在前述第1間隔壁層上之第2間隔壁層所形成，在前述第1間隔壁層與前述第2間隔壁層之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -1〇 - 1228018 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（7 ) 間備有遮光層。另外本發明的電子機器爲具有顯示裝置、及用來驅動前述顯示裝置的驅動電路之電子機器，其特徵爲：前述顯示裝置在基板上形成有複數個發光元件，各發光元件之間備有間隔壁部，前述基板與前述間隔壁部之間備有遮光層〇進而本發明的電子機器爲具有顯示裝置、及用來驅動前述顯示裝置的驅動電路之電子機器，其特徵爲：前述顯示裝置在基板上形成有複數個發光元件，各前述發光元件之間備有間隔壁部，前述間隔壁部由黑色樹脂所構成而形成爲遮光層。依據此電子機器，能構成具有長壽命且對比度優良的顯示部之電子機器。如以上所說明過，依據本發明的顯示裝置，經由設置遮光層就能阻隔能發光元件所非形成領域其外部的入射光以及從發光元件的射出光，提高顯示裝置的對比度而能使淸晰度提高。特別是用發光元件的非形成領域來阻隔從發光元件的光’能防止過去的顯示裝置所發生之著色光彼此間的顏色滲開，而能提高顯示裝置的對比度。另外’遮光層設在第1間隔壁層與第2間隔壁層之間能提高第1間隔壁層與第2間隔壁層的密合性。【圖式之簡單說明】 I---------裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 、11 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210x297公楚） -11 - 1228018 A7 _ ___B7_ 五、發明説明（8 ) 第1圖爲本發明第1實施形態的顯示裝置其配線構造之平面模式圖。 ----------批衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第2A及2B圖爲表示本發明第1實施形態的顯示裝置之圖，其中第2A圖爲顯示裝置之平面模式圖，第2B 圖爲順沿第2 A圖中的A B線之剖面模式圖。第3圖爲表示本發明第1實施形態的顯示裝置其重要部位之圖。第4圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製程圖。第5圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製程圖。第6圖爲表示本發明第1實施形態的顯示裝置其製造上使用之電漿處理裝置的一例之平面模式圖。 ·線第7圖爲表示第6圖所示之電漿處理裝置其第1電漿處理室的內部構造之模式圖。第8圖爲明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製程圖。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製第9圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製造圖。第1 0圖爲表示本發明第1實施形態的顯示裝置其製造上使用之電漿處理裝置的另外例之平面模式圖。第1 1圖爲說明本發明第1實施形態其顯示裝置的製造方法之製程圖。第1 2圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12 - 1228018 A7 B7 五、發明説明（9 ) 造方法之製造圖。第1 3圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝鬣其製造方法之說明圖。第14圖爲表示當製造本發明第1實施形態的顯示裝置之際所使用的噴墨頭之平面圖。第15圖爲表不當製造本發明第1實施形態的顯示裝置之際所使用的噴墨裝置之平面圖。第1 6圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製程圖。第1 7圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製程圖。第1 8圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製程圖。第1 9圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製程圖。第2 0圖爲說明本發明第1實施形態的顯示裝置其製造方法之製程圖。第2 1圖爲表示本發明第2實施形態的顯示裝置其重要部位之圖。第22圖爲表示本發明第3實施形態的顯示裝置其重要部位之圖。第23圖爲表示本發明第4實施形態的顯示裝置其重要部位之圖。第24圖爲表示本發明第5實施形態的顯示裝置其重本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公釐)7^, ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. '訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 Α? Β7 五、發明説明（）要部位之圖。弟25圖爲表不本發明第6實施形態的顯不裝置之剖面圖，也是與第2B圖相對應之圖。弟26圖爲表不本發明第6實施形態的顯不裝置其重要部位之圖，也是與第3圖相對應之圖。第27A〜27C圖爲表示本發明第7實施形態的電子機器之斜視圖。第2 8圖爲表示本發明其他例子的顯示裝置之剖面模式圖。第29圖爲表示本發明另外例子的顯示裝置之剖面模式圖。第 30A〜30C圖爲表示發光層的配置之平面模式圖，其中第30 A圖爲表示直列式配置之圖，第30B .圖爲馬賽克式配置之圖，第30C爲表示△式配置之圖。第3 1圖爲表示過去的顯示裝置其重要部位之剖面模式圖。主要元件對照表 1 顯示裝置 2 基板 2C 基底保護膜 3 封合部 5 可撓性基板

6 驅動IC 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -Μ -裝—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 11 1228018 A7 B7 五、發明説明（）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 10 顯示元件 11 發光元件部 12 陰極 14 電路元件部 50 電漿處理裝置 51 預熱處理室 52 第1電漿處理室 53 第2電漿處理室 54 冷卻處理室 55 運送裝置 56 座台 57 電漿放電電極 101 掃描線 102 訊號線 103 電源線 104 資料側驅動電路 105 掃描側驅動電路 106 檢查電路 1 10 功能部 110a 電洞注入/輸送 1 10al 平坦部 1 10a2 周緣部 1 10b 發光層 1 lObl 發光層 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 15 - 1228018 A 7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（1弓 1 10b2 發光層 I 10b3 發光層 111 像素電極 111a 電極面 112 間隔壁部 112a 無機物間隔壁層 112b 有機物間隔壁層 112c 下部孔徑部 II 2d 上部孔徑部 1 1 2 e 第1層疊部 112f 有機物間隔壁層的上面 Η 2 g 孔徑部 113 遮光孔徑部 113a 第1遮光膜 I 13b 第2遮光膜 114 層間絕緣膜 123 薄膜電晶體 14 1 半導體膜 142 閘極絕緣膜 143 閘極電極 146 接觸孔 213 遮光層 311 發光元件部 312 間隔壁部批衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) "· 、訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 ___B7 五、發明説明（13) 312a 無機物間隔壁層 312b 有機物間隔壁層 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A 像素領域 Η1 噴墨頭 Η 2 噴嘴 Η3 噴墨頭 Η4 噴嘴 Η5 噴墨頭 Η6 噴嘴【實施形態】以下參照圖面說明本發明的實施形態。然而第1〜26 f 圖中，由於將各層或各構件設成圖面上能辨識程度的大小 ’因而對於各層或各構件，縮小尺寸與實際的情況並不相同。 [第1實施形態] 以下參照圖面說明本發明的第1實施形態。經濟部一曰慧財產局員工消費合作社印製第1圖中表示本實施形態的顯示裝置其配線構造之平面模式圖。第2圖中表示本實施形態的顯示裝置之平面模式圖及剖面模式圖。如第1圖所示，本實施形態的顯示裝置具有分別配置有複數條掃描線1 0 1、及往與掃描線1 〇 1交叉的方向延伸之複數條訊號線1 02、及與訊號線1 02並排延伸之複數條 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) 1228018 A7 B7 五、發明説明（電源線1 03的構成，並且在掃描線1 0 1與訊號線1 〇2的各交點附近設置像素領域A。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訊號線1 02連接具備有移位暫存器、電平移向器、視訊線及類比開關之資料側驅動電路1 04。另外掃描線1 0 1 連接具備有移位暫存器及電平移向器之掃描側驅動電路 105 ° 進而在各個像素領域A設有介由掃描線101將掃描訊號供應到閘極電極之開關用的薄膜電晶體1 1 2、及保持介由此開關用的薄膜電晶體1 1 2而共用訊號線1 02的像素訊號之保持容量cap、及以該保持容量cap所保持的像素訊號供應到閘極電極的驅動用之薄膜電晶體1 23、及介由此驅動用薄膜電晶體1 23電性連到電源線時從該電源線; 1 0 3流入驅動電流之像素電極111、及夾隔在此像素電極 1 1 1與陰極（對向電極12)之間之功能層1 10。利用電極 1 1 1及對向電極1 2及功能層1 1 0構成發光元件。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製依據此構成，掃描線101被驅動而開關用的薄膜電晶體導通，則該時訊號線1 〇 2的電位保持在保持容量c a p，該保持容量cap依狀態決定驅動用薄膜電晶體1 23的導通 /非導通。然後介由驅動用薄膜電晶體123的通道，電流從電源線1 03流到像素電極1 1 1，進而介由功能層將電流流到陰極1 2。功能層1 1 〇依電流量發光。其次如第2A及2B圖所示，本實施形態的顯示裝置1 具備由玻璃等所形成之透明基板2、及備有呈矩陣狀配置的發光元件而形成在基板2上之發光元件部1 1、及形成 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（1弓在發光元件部11上之陰極1 2 °利用發光元件部π及陰極1 2構成顯示元件1 〇 ° 基板2例如爲玻璃等的透明基板’區隔成位於基板2 的中央之顯示領域2 A及位於基板2周緣包圍顯示領域2 a 之非顯示領域2b。顯示領域2 A爲用呈矩陣狀配置的發光元件所形成之領域，在顯示領域的外側形成非顯示領域2b。然後在非顯示領域2b形成與顯示領域2a相鄰的無效顯示領域2d 〇另外如第2B圖所示，在發光元件部1 1與基板2之間備有電路元件部’1 4。在此電路元件部1 4具備前述的掃描線、訊號線、保持容量、開關用之薄膜電晶體、驅動用之; 薄膜電晶體123。另外陰極1 2其一端從發光元件部1 1上連接到形成在基板2上之陰極用配線1 2a，此配線的一端部1 2b連接到可撓性基板5上的配線5 a。另外配線5 a連接到可撓性基板5上所備有的驅動IC6 (驅動電路）。另外如第2A及2B圖所示，在電路元件部14的非顯示領域2 b配置前述的電源線（1 0 3 R、1 0 3 G、1 0 3 B)。另外在顯示領域2a的兩側（第2A圖）配置前述的掃描側驅動電路1 05、1 05。此掃描側驅動電路1 05、1 05 設置在無效領域2d的下側之電路元件部1 4內。進而在電路元件部1 4內設置連接到掃描側驅動電路1 05、1 05之驅動電路用控制訊號配線105a及驅動電路用電源配線105b (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7五、發明説明（16) ο 進而在顯示領域2a的第2Α圖中上側配置檢查用電路 106。利用此檢查電路 1〇6，製造中途或出廠時檢查顯示裝置的品質或瑕疵。另外如第2B圖所示，在發光元件部1 1上具備封合部 3此封合部3由塗在基板2上之封合樹脂2a及封合筒蓋 604所構成。封合樹脂603由熱硬化樹脂或是紫外線硬化樹脂所形成，特別是以熱硬化樹脂的1種之環氧樹脂所形成則較爲理想。此封合樹脂603呈環狀塗在基板2的周圍，例如用微型噴射器等加以塗敷。此封合樹脂603將基板2與封合筒蓋604接合，防止水或氧從基板2與封合筒蓋604之間侵入到封合筒蓋604內部，而防止陰極1 2或是發光元件部 1 1內的發光層被氧化。封合筒蓋604由玻璃或金屬所形成，用樹脂603與基板2相接合，在其內側設有容納顯示元件1 〇的凹部604a 。另外在凹部604a貼有吸收水或氧等的吸收劑605，能吸收入侵到封合筒蓋604內部的水或氧。然而此吸收劑 605可以省略。第3圖中表示擴大顯示裝置其顯示領域的剖面構造之圖。此第3圖中圖示3個像素領域A。此顯示裝置1是由形成TFT等的電路之電路元件部、形成功能層1 1 0之發光元件部1 1以及陰極1 2依序層疊在基板2上所構成。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· -訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 B7 五、發明説明（17) 此顯示裝置1中，從功能層11 0向基板2側發出之光透過電路元件部14及基板2射出到基板2的下側（觀測者側），並且從功能層1 10向基板2的相反側所發出之光利用陰極1 2反射，透過電路元件部1 4及基板射出到基板 2的下側（觀測者側）。然而陰極1 2能夠用透明的材料使陰極側所發出的光射出。透明材料能使用IT〇、pt、Ir、Ni或Pd。膜厚爲 75nm程度的膜厚較理想，比此膜厚更薄則更理想。電路元件部1 4在基板2上形成有由矽氧化膜所形成基底保護膜2C，在此基底保護膜2C上形成有由多晶矽所形成之島狀的半導體膜141。然而在半導體膜141中經由注入高濃度 P離子而形成有源極領域1 4 1 a及汲極領域 1 4 1 b。然而未導入P離子的部分則成爲通道領域1 4 1 C。進而在電路元件部1 4形成覆蓋基底保護膜2C及半導體膜1 4 1之透明閘極絕緣膜142，在閘極絕緣膜142上形成由A卜Mo、Ta、T卜W等所形成之閘極電極143 (掃描線1 0 1)，在閘極電極1 43及閘極絕緣膜1 42上形成透明的第1層間絕緣膜144a及第2層間絕緣膜144b。閘極電極143設在與半導體膜141的通道領域141c相對應的位置。另外貫穿第1、第2層間絕緣膜144a、144b而形成分別連接到半導體膜1 4 1的源極、汲極領域1 4 1 a、1 4 1 b之接觸孔1 4 5、1 4 6。然後在第2層間絕緣膜1 44b上，以一定形狀的圖案一成由ITO等所形成之透明像素電極111，一者的接觸孔 ----------^------- 訂------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29*7公釐） -21 - 1228018 A7 B7 五、發明説明（18) 145連接到此像素電極111。另外，另一者的接觸孔1 46連接到電源線1 〇3。經此方式，在電路元件部1 4形成連接到各像素電極 1 1 1的驅動用之薄膜電晶體1 23。然而在電路元件部1 4也形成有前述過的保持容量 cap及開關用的薄膜電晶體142，不過第3圖中將這些的圖不省略。其次如第3圖所示，發光元件部1 1爲以層疊在複數個的各個像素電極1 1 1上之功能層1 1 0、及各像素電極 111與功能層1 1 0之間所具備用來區隔各功能層1 1 0之間隔壁部112、及遮光層113爲主體所構成。在功能層110 上配置陰極12。用這些的像素電極m、功能層1 1〇以及陰極1 2構成發光元件。此處像素電極1 1 1例如·由ITO所形成，平面上爲大致成矩形的圖案所形成。此像素電極 111的厚度爲50〜200nm的範圍較理想，特別是150nm程度較佳。在此各像素電極1 1 1…之間備有間隔壁部1 1 2。間隔壁部1 1 2如第3圖所示，由位於基板2側之無機物間隔壁層1 1 2a (第1間隔壁層）與遠離基板2的位置之有機物間隔壁層1 1 2b (第2間隔壁層）經層疊所構成。另外在無機物間隔壁層1 1 2a與有機物間隔壁層1 1 2b之間配置遮光層1 1 3。無機物、有機物間隔壁層1 12a、1 12b載置於像素電極1 1 1的周緣部上。平面上形成像素電極u丨的周圍與無機物間隔壁層1 1 2a平面上爲重疊配置的構造。另外有機本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----------^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 1228018 A7 B7 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製五、發明説明（19) 物間隔壁層1 1 2 b也是同樣，與像素電極1 1 1的一部分平面上爲重疊配置。另外無機物間隔壁層1 1 2 a形成在比有機物間隔壁層1 1 2 b還接近像素電路π1的中央側。經此方式，無機物間隔壁層1 1 2a的各第1層疊部1 1 2e形成在像素電極1 1 1的內側，因而設置與像素電極1 1 1的形成位置相對應的下部孔徑部112c。另外在有機物間隔壁層112b形成上部孔徑部112d。此上部孔徑部1 1 2 d設成與像素電極1 1 1的形成位置及下部孔徑部1 1 2c相對應。上部孔徑部1 1 2d如第3圖所示，形成爲比下部孔徑部1 1 2 C寬而比像素電極1 1 1窄。另外也會有形成爲上部孔徑部1 1 2 d的上部位置與像素電極 1 1 1的端部幾乎相同位置的情況。此情況如第3圖所示，形成爲有機物間隔壁層1 1 2b其上部孔徑部1 1 2d的剖面爲傾斜的形狀。然後間隔壁部1 1 2與下部孔徑部1 1 2c及上部孔徑部 1 1 2 d相連通’因而形成貫穿無機物間隔壁層1 1 2 a及有機物間隔壁層1 1 2b之孔徑部1 1 2g。另外無機物間隔壁層1 1 2 a，例如由S i 0 2、T i 0 2等的無機材料所形成較理想。此無機物間隔壁層1 1 2 a的膜厚爲50〜200nm的範圍較理想，特別是150nm較佳。膜厚未滿50nm則無機物間隔壁層112a比後述的電洞注入/輸送層更薄，無法確保電洞注入/輸送層的平坦性所以不具理性。另外膜厚超過200nm則下部孔徑部1 1 2c的高低差變大，層疊在電洞注入/輸送層上之後述的發光層無法確保 .潘 ---------參-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 I·線本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 ___B7 五、發明説明（2() 平坦性所以不具理想性。進而有機物間隔壁層1 1 2b由丙烯酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等一般的抗蝕劑所形成。此有機物間隔壁層1 1 2b的厚度爲0.1〜3·5 μιη的範圍較理想，特別是2μιη程度較佳。厚度未滿1 μιη則有機物間隔壁層1 1 2b比後述的電洞注入/ 輸送層及發光層的合計厚度更薄，會有發光層比上部孔徑部1 1 2d面積還大的可能性所以不具理想性。另外厚度超過3.5 μπι則上部孔徑部1 I2d的高低差變大，形成在有機物間隔壁層1 1 2b上之陰極1 2的高低差到達範圍無法確保所以不具理想性。另外若是有機物間隔壁層1丨2b的厚度爲2 μιη以上，則能提高與驅動用薄膜電晶體123的絕緣，此點則較爲理想。另外，間隔壁部形成有親液性的領域及排液性的領域〇呈現親液性的領域爲無機物間隔壁層1 1 2a的第1層疊部1 1 2e及像素電極1 1 1的電極面1 1 1 a，經由以氧爲處理氣體的電漿處理進行親液性的表面處理。另外呈現排液性的領域爲上部孔徑部1 1 2d的壁面及有機物間隔壁層 1 1 2的上面1 1 2f，這些領域經由以4氟化甲烷、四氟代甲烷、或是四氟化碳爲處理氣體的電漿處理，表面進行氟化處理（排液性處理）。其次如第3圖所示，功能層110由層疊在像電極111 上之電洞注入/輸入層1 l〇a、及與電洞注入/輸送層1 10a 上相鄰所形成之發光層ll〇b所構成。然而與發光層110b ---------^------1T----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） -24 - 1228018 A7 __B7_ 五、發明説明（21) 相鄰進而形成具有其他功能的其他功能層亦可。‘例如也能形成電子輸送層。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 電洞注入/輸送層110a具有將電洞注入到發光層110b 的功能並且具有在於電洞注入/輸送層1 1 0a內部輸送電洞的功能。將此電洞注入/輸送層1 1 0a設置在像素電極11 1 與發光層110b之間，因而提高發光層110b的發光效率、壽命等的元件特性。另外發光層1 1 Ob則是用發光層使電洞注入/輸送層ll〇a所注入的電洞與陰極12所注入的電子再結合，進行發光。電洞注入/輸送層110a由位於下部開口部112c內形成在像素電極面111 a上之平坦部1 1 0a 1、及位於上部開口部1 1 2d內形成在無機物間隔壁層的第1層疊部1 1 2e上之周緣部1 10a2所構成。另外電洞注入/輸送層1 10a依構造爲形成在像素電極1 1 1上，且只形成在無機物間隔壁層 1 10a之間（下部開口部1 10c)(也有只形成在前述所記載的平坦部之形態）。此平坦部1 l〇al其厚度爲一定例如爲50〜70nm的範圍〇經濟部智慧財產局員工消費合作社印製形成有周緣部1 10a2時，周緣部1 10a2位於第1層疊部1 1 2e上並且密接於上部孔徑部1 1 2d的壁面，即是密接於有機物間隔壁層112b。另外周緣部110a2的厚度，在接近電極面111 a側較薄，沿著遠離電極面1 1 1 a的方面逐漸增厚，在下部孔徑部1 1 2d的壁面附近最厚。周緣部110a2爲上述的形狀之理由是電洞注入/輸送 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 B7 五、發明説明（層1 1 0 a爲將含有電洞注入/輸送層形成材料及極性溶媒之第1組成物排出到孔徑部11 2g內後除去極性熔媒而被形成。極性ί谷媒的揮發主要是在無機物間隔壁層的第1層疊部1 1 2 e上引起，電洞注入/輸送層形成材料集中濃縮析出到第1層疊部1 12e上之故。另外發光層110b橫跨電洞注入/輸送層ii〇a的平坦部1 10al及周緣部1 10a2上而形成，在平坦部1 I2al上的厚度設成50〜80nm的範圍。發光層110b具有發出紅色（R)之紅色發光層ii〇bl 、發出綠色（G)之綠色發光層110b2以及發光藍色（B) 之藍色發光層11(^3的3種類，各發光層11〇131〜11(^3爲直列配置。如上述，因電洞注入/輸送層1 1 0 a的周緣部1 1 〇 a 2密接於上部孔徑部1 10d的壁面（有機物間隔壁層1 12b)，所以發光層1 1 Ob沒有直接接觸到有機物間隔壁層.1 1 2b。因此可以利用周緣部1 1 0a2來阻止含在有機物間隔壁層中成爲雜質的水移往發光層1 1 〇b側，而能防止水所造成發光層1 1 0 b的氧化。另外由於在無機物間隔壁層的第1層疊部1 1 2e上形成不等厚度的周緣部110a2，因而形成爲周緣部110a2利用第1層疊部1 1 2e而與像素電極1 1 1成絕緣的狀態，電洞不會從周緣部110a2注入到發光層110b。由於此因從像素電極1 1 1的電流只流到平坦部1 1 2a 1，能使電洞均等從平坦部1 12al輸送到發光層1 l〇b，能夠只使發光層1 l〇b (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝- 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） - 26- 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7_五、發明説明（23) 的中央部分發光，並且能使發光層ll〇b的發光量一定。另外因無機物間隔壁層1 1 2a比有機物間隔壁層1 1 2b 還延伸到像素電極1 1 1的中央側，所以可以利用此無機物間隔壁層112a微調像素電極111與平坦部11.〇al之接合部位的形狀，而能抑制各發光層1丨0b間其發光強度的不均等。進而因像素電極111的電極面Ula及無機物間隔壁層的第1層疊部112e呈現親液性，所以功能層11〇均等密接於像素電極1 1 1及無機物間隔壁層丨丨2a，在無機物間隔壁層1 1 2a上功能層1 〇不致於極端變薄，可以防止像素電極1 1 1與陰極1 2的短路。另外因有機物間隔壁層1 1 2b的上面1 1 2f及上部孔徑部1 1 2d的壁面呈現排液性，所以功能層丨丨〇與有機物間隔壁層1 1 2b的密接性變低，功能層丨丨〇不會超出孔徑部 1 1 2 g形成。然而電洞注入/輸送層形成材料，能使用聚對苯二羥基噻吩等的聚噻吩衍生物及磺化聚苯乙烯酸等的混合物。另外發光層1 1 Ob的材料可以使用下述化學式的化合物1〜化合物5之（聚）對苯乙烯基衍生物，、聚苯基衍生物、聚勿衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、紫蘇烯類色素、香_a素類色素、碱性蕊香紅類色素或是在這些個高分子材料中摻入紅熒烯、紫蘇烯、9，1 〇 -聯苯蒽酮、四苯基丁一細、尼維紅、香丑素6、卩奎（3 丫酮等後使用。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297^^7 -27- 1228018 A7 B7 五、發明説明（3

化合物

化合物2

化合物3 \ / η ---------^------^玎----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製化合物5 其次如第3圖所示，遮光層1 1 3形成在無機物間隔壁層1 1 2a與有機物間隔壁層1 1 2b之間。遮光層η 3在與功能層相對應的位置設置遮光孔徑部11 3 c。因此遮光層1 1 3 形成爲配置在功能層1 1 0彼此間之間，而成爲位於功能層 1 1 〇的非形成領域。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -28- 1228018 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 A7 ___B7_五、發明説明（25) 遮光層1 13阻隔從發光層1 l〇b發出經由陰極12反射之光’防止從像素領域以外的反射光射出，提高顯示裝置的淸晰度。另外此遮光層1 1 3抑制陰極所造成外部光的反射而使顯示裝置的淸晰度提升。此遮光層1 1 3由形成在無機物間隔壁層1 1 2a上之第 1遮光膜113a、及積疊在第1遮光膜U3a上之第2遮光膜113b所形成。第1遮光膜113a例如由厚度l〇〇nm的金屬Cr膜所形成，第2遮光膜1 13b例如由厚度50nm的氧化鉻（Cr2〇5)膜所形成。經設置此遮光層1 1 3，能利用非形成領域阻隔從功能層1 1 〇的非形成領域之外部的入射光及從功能層1 1 〇的射出光，提高顯示裝置的對比度而能使淸晰度提升。特別是利用功能層1 1 0的非形成領域阻隔從功能層 1 1 0的光，就能防止過去的顯示裝置所發生著色彼此間所造成的混色光，而能提高顯示裝置的對比度。另外由於將遮光層1 1 3設置在無機物間隔壁層1 1 2a 與有機物間隔壁層1 1 2b之間，因而能提高無機物間隔壁層1 1 2a與有機物間隔壁層1 1 2b的密合性。進而在基板側配置金屬鉻膜（113a)，在遠離基板側配置氧化鉻膜（113b)，所以能利用金屬鉻膜（113a)反射從外部的入射光，並且能利用氧化鉻膜（1 1 3b)阻隔功能層1 1 0的非形成領域中功能層1 1 0的射出光，能更提高顯示裝置的對比度而使淸晰度提升。然而第3圖則是例示2層構造的遮光層1 1 3，不過本 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 1228018 A7 B7 五、發明説明（3 發明並不侷限於此，使用將碳黑等的黑色顏料混合在樹脂中而形成之黑色樹脂作爲遮光層，採用由此黑色樹脂層的卓層構造所形成的遮光層亦可。其次陰極形成在發光元件部11的全面，具有與像素電極成對將電流流到功能層1 1 〇功能。此陰極1 2例如爲層疊鈣層與鋁層所構成。此時，接近發光層側設置功率函數較低的陰極較爲理想，特別是此形態具有直接接觸到發光層1 1 Ob將電子注入到發光層1丨〇b的功能。另外氟化鋰利用發層的材料有效率使其發光，因而也有在發光層11 〇與陰極之間形成LiF的情況。然而對於紅色及綠色的發光層1 10bl、1 10b2並不侷限於氟化鋰，使用其他的材料亦可。因此，此情況只在藍色（B)發光層1 10b3形成由氟化鋰所形成之層，在其他的紅色及綠色的發光層丨丨0b j、 1 1 0b2層疊氟化鋰以外的材料亦可。另外在紅色及綠色的發光層1 10bl、1 10b2上不形成氟化鋰，而只形成鈣亦可〇然而氟化鋰的厚度爲 2〜5nm的範圍較理想，特別是 2nm程度較佳。另外鈣的厚度爲2〜5Onm的範圍較理想，特別是20nm程度較佳。另外形成陰極1 2的鋁爲使發光層1 1 〇b所發出的光反射到基板2側，由A1膜、Ag膜、A1與Ag的層疊膜等所形成較爲理想。另外其厚度爲1〇〇〜l〇〇〇nm的範圍較理想，特別是200nm程度較佳。進而在鋁上設置由S i〇、S i 0 2、S1N等所形成的防止本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公着） I---------餐-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -30- 1228018 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（27) 氧化用之保護層亦可。然而在如上述所形成的發光元件上配置封合筒蓋604 。如第2B圖所示，用封合樹脂603來接合封合筒蓋604 ，而形成顯示裝置1。其次參照圖面說明本實施形態的顯示裝置之製造方法，〇本實施形態的顯示裝置1之製造方法例如包括有（1 ：) 間隔壁部形成過程、（2)電漿處理過程、（3)電洞注入 /輸送層形成過程、（4)發光層形成過程、（5)對向電極形成過程以及（6)封合過程。然而製造方法並不侷限於此，也會有依狀況省略一些過程或是追加一些過程的情況。 (1)間隔壁部形成過程間隔壁部形成過程爲在基板2的一定位置形成間隔壁部之過程。間隔壁部1 1 2爲形成無機物間隔壁層1 1 2a作爲第1間隔壁層而形成有機物間隔壁層1 1 2b作爲第2間隔壁層之構造。以下說明形成方法。 (1) -1無機物間隔壁層的形成首先如第4圖所不在基板上的一定位置形成無機物間隔壁層1 1 2a。形成無機物間隔壁層1 1 2a的位置爲第2層間絕緣膜1 4 4 b上及電極（此處爲像素電極）1 1 1上。然而第2層間絕緣膜1 44b形成在配置在薄膜電晶體、掃描線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} •裝訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） -31 - 1228018 A 7 B7 五、發明説明（、訊號線等的電路元件部1 4上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 無機間隔壁層1 12a例如以SiCh、Τι〇2等的無機物膜作爲材料使用。這些材料例如爲利用CVD法、塗敷法、機射法、蒸鍍法加以形成。進而無機物間隔壁層1 12a的膜厚爲50〜200nm的範圍較理想，特別是1 5 0 n m較佳。無機物間隔壁層1 1 2爲經由在層間絕緣膜1 1 4及像素電極1 1 1的全面形成無機物膜，其後以光蝕刻法等將無機物膜形成圖案，因而形成具有孔徑部的無機物間隔壁層 1 1 2。孔徑部與像素電極11 1其電極面1 11 a的形成位置相對應’如第4圖所示，設置作爲下部孔徑部1 1 2 C。此時無機物間隔壁層1 1 2 a形成爲與像素電極1 1 1的周緣部相重疊。如第4圖所示，像素電極1 1 1的周緣部與無機物間隔壁層1 1 2a相重疊而形成有機物間隔壁層1 1 2a ，能控制發光層1 1 〇的發光領域。 (1) -2遮光層113及有機物間隔壁層112b的形成經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其次形成遮光層1 1 3及當作第2間隔壁層之有機物間隔壁層1 12b。如第5圖所示，在無機物間隔壁層U2a上形成遮光層113及有機物間隔壁層ii2b。首先將第1遮光膜113a及第2遮光膜113b (遮光層 113)層疊在無機物間隔壁層n2a及電極面ilia的全面 -32- 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 ____ B7_ 五、發明説明（第1遮光膜1 1 3a例如經由以濺射法、蒸鍍法等形成金屬鉻膜而形成，第2遮光膜11 3b例如經由以蒸鍍法等形成氧化鉻（Cr2〇5)膜而形成。其次使用丙烯酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等具有耐熱性、耐溶劑性之材料作爲有機物間隔壁層1 1 2b，利用光鈾刻技術等將有機物間隔壁層11 2b形成圖案。然而形成圖案之際，在有機物間隔壁層1 1 2b形成上部孔徑部1 1 2d，並且在遮光層11 3形成遮光孔徑部1 1 3c。上部孔徑部1 1 2d 設置在與電極面111 a及下部孔徑部1 1 2c相對應的位置。上部孔徑部1 1 2d及遮光孔徑部1 1 3c，如第5圖所示 ’形成爲比形成在有機物間隔壁層1 1 2a的下部孔徑部 112c更寬較爲理想。進而有機物間隔壁層U2b具有錐形的形狀較爲理想，有機物間隔壁層11 2b的最上面形成爲與像素電極1 11的寬度幾乎相同的寬度則較爲理想。由於此因形成爲包圍無機物間隔壁層1 1 2 a的下部孔徑部1 1 2 c 之第1層疊部1 1 2e比有機物間隔壁層1 1 2b更往像素電極 1 1 1的中央側延伸之形狀。經此過程，使上部孔徑部1 1 2d、遮光孔徑部1 1 3c以及下部孔徑部1 1 2c連通，而形成貫穿無機物間隔壁層 112a及有機物間隔壁層112b之孔徑部ll2g。第1遮光層1 13a的膜厚例如爲Γ〇〇nm較佳。另外第 2遮光膜113b例如爲50nm較佳。另外有機物間隔壁層112b的厚度爲0.1〜3.5 μιη的範圍較堙想，特別是2 μ m程度較佳。設成此範圍的理由如本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

- 33- 1228018 A7 _B7_ 五、發明説明（3() 下述。 ----------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 即是厚度未滿〇·1 μιη則有機物間隔壁層n2b比後述的電洞注入/輸入層及發光層的合計厚度更薄，會有發光 1 1 〇b從上部孔徑部1 1 2d溢出的可能性所以不具理想性。另外厚度超過3 · 5 μιη則上部孔徑部1 1 2 d所形成的高低差變大，無法確保上部孔徑部1 1 2 d其陰極1 2的高低差可達範圍所以不具理想性。另外若是有機間隔壁層U 2b的厚度爲2μιη以上，則能提高陰極12與驅動用薄膜電晶體 1 23的絕緣，此點則較爲理想。 (2)電漿處理過程 ·線· 其次電漿處理過程其目皂爲使像素電極ill的表面活性化’進而將間隔壁部1 1 2的表面施予表面處理。特別是活性化過程其主要目的爲像素電極1 1 1 (ιτ〇）上的洗淨進而調整功率函數。再而進行像素電極1 1 1表面的親液處理、間隔壁部1 1 2表面的排液處理。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製此電漿處理過程大體上有（2) -1預熱過程、(2) -2 活性化處理過程（施予親液性之親液化過程）、（2) -3 排液化處理過程以及（2) -4冷卻過程。然而並不侷限於這些過程，依狀況能削減過程或追加過程。首先第6圖表示電漿處理過程所使用的電漿處理裝置〇第6圖所示的電槳處理裝置50由預熱處理室51、第 1電漿處理室5 2、第2電漿處理室5 3、冷卻處理室5 4、 -34- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 1228018 A7 B7 五、發明説明（” 將基板2運送到上述各處理室51〜54之運送裝置55所構成。各處理室51〜54以運送裝置55爲中心呈放射狀配置〇首先說明使用這些裝置之槪略過程。預熱過程在於第6圖所示的預熱處理室5 1中進行。然後利用此處理室51將從間隔壁部形成過程所運送來的基板2加熱到一定的溫度。預熱過程之後，進行親液化過程及排液化過程。即是其板依序運送到第1、第2電漿處理室5 2、5 3，在於各別的處理室5 3對間隔壁部1 1 2進行電漿處理使其親液化。此親液化處理之後進行排液化處理。排液化處理之後將基板運送到冷卻處理室，在於冷卻處理室54中將基板冷卻到室溫爲止。此冷卻過程之後，利用運送裝將基板運送到下一個過程之電洞注入/輸送層形成過程。以下詳細說明各個的過程。 (2) -1預熱過程預熱過程利用預熱處理室5 1進行。在於此處理室51 中將包含間隔壁部1 1 2的基板2加熱到一定的溫度爲止。基板2的加熱方法是採取例如在於處理室5 1內將加熱器安裝在載置基板2的座台上，利用此加熱器，每個座台將基板2加熱之手段。然而也能採用除此之外的方法。在於預熱處理室51，例如將基板2加熱到70t〜80t 的範圍。此溫度爲下一個過程的電漿處理的處理溫度，其目的爲配合下一個過程而在事前將基板2加熱，解決基板 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 1228018 A7 B7 五、發明説明（32) 2的溫度不均勻。如果沒有預熱過溫度，而形成從過程中溫度一面變動經濟部智慧財產局員工消費合作社印製面進行電將處理條理。然則 2電漿處液化過程過程或排想。因此所上升的，因而即理開始之。由於此部112的質的顯示另外之處理時程則基板2直接從室溫加熱到上述的開始到過程結束爲止的電漿處理過程進行處理。因此一面變化基板溫度一漿處理會有造成特性不均等的可能性。因此爲了達到均等的特性，因而進行預熱處件保持一定在於電漿處理裝置5 2、或是排液化液化過程之，.：：第1、第2 溫度，例如使對多數片後及處理結因基板2間組成物之潤裝置。經由預先將間。理過程，當在基板2載置到第1、第 53內的試料座台上的狀態下進行親過程時，使預熱溫度與連續進親液化試料座台5 6的溫度幾乎一致較爲理電漿處理裝置52、53內的試料座台直到70〜80°C爲止預先將基板2預熱基板連續進行電漿處理時，仍能使處束之前的電漿處理條件幾乎保持一定的表面處理條件爲相同，對於間隔壁濕性能均等化，而能製造具有一定品基板2預熱，能縮短其後的電漿處理 (2) -2活性化處理接著第1電漿處理室52進行活性化處理。活性化處 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 、p Γ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇x297公釐） -36- 1228018 A7 B7 五、發明説明（33) 理包括像素電極111之功率函數的調整、控制及像素電極表面的洗淨及像素電極表面的親液化處理。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 親液化處理爲在大氣氣相中以氧爲處理氣體進行電漿處理（〇2電漿處理）。第7圖中爲以模式表示第1電漿處理之圖。如第7圖所示，包含間隔壁部1 1 2的基板2載置到設有加熱器的試料座台56上，在基板2的上側，電漿放電電極57隔著間隙間隔0.5〜2mm程度的距離與基板 2相對向配置。基板2經由試料座台56逐漸加熱，試料座台56朝向圖示箭頭方向以一定的運送速度運送，在其間對基板2照射電漿狀態的氧氣。〇2電漿處理的條件例如爲電漿電力100〜800Kw，氧氣流量50〜100ml/min，基板運送速度0.5〜10mm/sec，基板溫度7 0〜90°C的條件。然而試料座台56所形成的加熱主要是用來保持已被預熱過基板2的溫度。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經由此〇2電漿處理，如第8圖所示，像素電極1 1 1 的電極面1 1 1 a、無機物間隔壁層1 1 2a的第1層疊部1 1 2e 及有機間隔壁層1 1 2b其上部孔徑部1 1 2d的壁面以及上面被親液處理。經由此親液處理，在這些的各面導入羥基而施加親液性。第9圖則是以虛線表示已被親液處理過的部分。然而此〇2電漿處理不只是施加親液性，如上述過也兼作爲像素電極之ITO上的洗淨、功率函數的調整。 (2) -3排液處理過程本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） " 1228018 A7 B7 五、發明説明（34) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著，第2電漿處理室53，在大氣氣相中以四氟合甲烷作爲處理氣體進行電漿處理（CF4電漿處理），作爲排液化過程。第2電漿處理室53的內部構造與第7圖所示之第1電漿處理室5 2的內部構造相同。即是基板2經由試料座台被逐漸加熱，以一定的運送速度運送到每一個試料座台，在其間對基板2照射電漿狀態的四氟合甲烷（四氟化碳）。 CF4電漿處理的條件例如爲電漿電力1〇〇〜800Kw，4 氟化甲院氣體流量 50〜100ml/min，基板運送速度 0.5〜10mm/sec，基板溫度70〜90°C的條件。然而加熱座台所形成的加熱，與第1電漿處理室5 2的情況相同，主要是用來保持已被預熱過基板2的溫度。然而處理氣體不限於使用四氟合甲烷（四氟化碳），也能使用其他氟代烴類的氣體。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經由CF4電漿處理，如第9圖所示，上部孔徑部1 12d 的壁面及有機物間隔壁層的上面1 1 2f被排液處理。經由此排液處理，在這些的各面導入氟基而施加排液性。第9 圖則是以二點虛線表示排液性的領域。構成有機機物間隔壁層11 2b之丙烯酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等的有機物經由照射電漿狀態的氟代烴就能容易使其排液化。另外具有經過〇 2電漿所前處理過的容易被氟化的特徵點，對於本實施形態特別有效。然而像素電極1 1 1的電極面1 1 1 a及無機物間隔壁層 1 12a的第1層疊部1 i2e也多少會受到CF4電漿處理的影 -38- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7______五、發明説明（35) 響，不過對潤濕性則較少造成影響。 (2) -4冷卻過程其次冷卻過程爲利用冷卻處理室54將電漿處理所經加熱過的基板2冷卻到管理溫度爲止。此過程爲直到之後過程之噴墨過程（液滴噴出過程）的管理溫度爲止用來進行冷卻之過程。此冷卻處理室54爲具有用來配置基板2的平板，該平板內藏有水冷裝置將基板2冷卻之構造。另外經電漿處理後的基板2冷卻到室溫或一定溫度（例如進行噴墨過程之管理溫度）爲止，在於下一個電洞注入/輸送層形成過程，基板2的溫度就會一定，因而能在基板2的溫度不會變化且是均等的溫度下進行下一個過程。因此加上此冷卻過程，就能均等形成噴墨法的噴出手段所噴出的材料。例如使含有用來形成電洞注入/輸送層的材料之第i 組成物噴出之際，能夠在一定容積內連續噴出第1組成物 ’而能均等形成電洞注入/輸送層。上述的電漿處理過程，由於對材質不同的有機物間隔壁層1 12b及無機物間隔壁層1 12a依序進行〇2電漿處理及CF4電漿處理，因而能容易在間隔壁部丨丨2設置親液性的領域及排液性的領域。然而用於電漿處理過程之電漿處理裝置，並不侷限於使用桌6圖所不的裝置，例如使用第1 〇圖所示的電漿處 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 .»線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -39- 1228018 A7 B7____ 五、發明説明（36> 理裝置60亦可。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第‘10圖所示的電漿處理裝置60由預熱處理室61、及第1電漿處理室62、及第2電漿處理室63 '及冷卻處理室64、及將基板2運送到各處理室6卜64之運送裝置 65所構成，各處理室61〜64配置在運送裝置65的運送方向兩側（圖中箭頭方向兩側）。此電漿處理裝置60則是與第6圖所示的電漿處理裝置50相同，將間隔壁部形成過程所送來的基板依序運送到預熱處理室6 1及第1和第2電處理室62、63及冷卻處理室64，在於各處理室中進行與上述相同的處理後，將基板2運送到下一個的電洞注入/輸送層形成過程。另外上述電漿處理裝置不侷限於使用大氣壓下的裝置，使用真空下的電漿處理裝置亦可。 (3)電洞注入/輸送層形成過程其次，發光元件形成過程爲在電極（此處爲像素電極 1 1 1)上形成電洞注入/輸送層。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製電洞注入/輸送層形成過程，液滴噴出例如使用噴墨裝置’將含有電洞注入/輸送層形成材料之第1組成物噴出到電極面1 1 1 a上。之後進行乾燥處理及熱處理，在像素電極1 Π上及無機物間隔壁層1 1 2a上形成電洞注入/輸送層1 1 0 a。然而將形成有電洞注入/輸送層Π 〇 a之無機物間隔壁層1 1 2a處則是稱爲第1層疊部1 1 2e。包括此電洞注入/輸送層形成過程之以後的過程最好 -40- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 B7 五、發明説明（在於沒有水、氧的氣相中進行。例如在氮氣氣相、氬氣氣相等的不活性氣體氣相中進行較爲理想。然而電洞注入/輸送層ll〇a也有不形成在第1層疊部 1 1 2e上的情形。即是也有只在像素電極1丨丨上形成電洞注入/輸送層的形態。用噴墨的製造方法如以下所述。如第1 1圖所示，從形成在噴墨頭Η1之複數個噴嘴噴出含有電洞注入/輸送層形成材料的第1組成物。此處則是經掃描噴墨頭將組成物充塡到各像素，不過也能經由掃描基板進行充塡。進而即使使噴墨頭與基板相對性移動也能使其充塡組成物。然而自此以後用噴墨頭進行充塡的過程，上述之點都是相同。用噴墨頭噴出如以下所述。即是將形成在噴墨頭H i 之噴嘴Η 2與電極面1 1 1 a相對向配置，從噴嘴η 2噴出第 1組成物。在像素電極1 1 1的周圍形成區隔下部孔徑部 112c之間隔壁部112，使噴墨頭Η1與位於下部孔徑部 1 1 2 c內之像素電極面1 1 1 a相對向，一面使噴墨頭Η 1與基板2相對移動，一面從噴嘴Η2將每1滴被液量控制的第1組成物滴1 1 0c噴出到電極面1 1 0上。此處所用的第1組成物，例如能使用將聚對苯二經基噻吩（PED0T)等的聚噻吩衍生物及聚對苯乙烯（pss) 等的混合物溶解到極性溶媒中之組成物。極性溶媒列舉有異丙醇（IPA)、正丁醛、r -丁內酯、N-甲基吡咯烷酮 (NMP) 、1，3-二甲基-2-乙硫脲（DMI)及其衍生物、乙本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、^1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -41 - 1228018 A7 B7 ---- ----------- - 五、發明説明（酸卡必醇酯、丁基乙酸卡必醇酯等的乙二醇醚類等。更具體上，第1組成物的組成列舉有PED〇T/PSS ^ 合物（PED〇T/PSS = 1:20) :1 2.5 2 重量％，pss:144 重量％， C請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁j ΙΡΑ··10 重量％，ΝΜΡ:27·48 重量％，DM1:50 重量％。然而弟1組成物的粘度爲2〜2 0 P S程度較理想，特別是 4〜1 5cps程度則較佳。使用上述的第1組成物’噴嘴Η 2不會發生阻塞而能順暢噴出。然而電洞注入/輸送層形成材料，則是紅（R)、綠 (G)、藍（Β)的各發光層110Μ〜;n0b3使用相同材料或是各每個發層改變材料皆可。如第1 1圖所示’所噴出的第1組成物滴；t i 0c，s 被親液處理過的電極面1 1 1 a及第1層疊部1 1 2 e上擴散，充塡到下部、上部孔徑部1 1 2 c、1 1 2 d內。如果第1 組成物滴 Π 0 c從一定的噴出位置，即使偏移而噴到上面1 1 2 f上，上面1 1 2 f也不會因第1組物滴1 1 〇 c而潤濕，所被撥開的第1組成物滴 Π 0 c滾到上部孔徑部 112c、1 1 2d 內 ° 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製噴出到電極面1 ‘1 1 a上之第1組成物量，依據下部和上部孔徑部1 1 2 c和1 1 2 d的大小、所形成之電洞注入 /輸送層的厚度、第1組成物中電洞注入/輸送層形成材料的濃度等而被決定。另外第1組成物滴Π 〇c不只1次而是分成數次噴出到相同的電極面1 1 1 a上亦可。此情況，每次第1組 •42- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7___五、發明説明（成物的量爲相同亦可，每次改變第1組成物量亦可。進而不只是在電極面 nia的相同處所，每次在電極面 1 1 1 a內不相同的處所噴出第1組成物亦可。關於噴墨頭的構造，能夠使用如同第1 4圖的噴墨頭Η。進而關於基板與噴墨頭的配置，配置成如同第1 5 圖的樣子較爲理想。第1 4圖中，圖號Η 7爲支撐前述的噴墨頭Η1之支撐基板，在此支撐基板Η7上備有複數個噴墨頭Η1。在噴墨頭 Η1的墨水噴出面（與基板的對向面），沿著噴墨頭的長度方向呈列狀且噴墨頭的寬度方向隔著間隔成2列設置複數個噴嘴（例如1列有1 8 0個噴嘴， 2列合計有3 60個噴嘴）。另外此噴墨頭Η 1，噴嘴面對基板側，並且對X軸（或Υ軸）傾斜一定角度的狀態下大致沿著X軸方向呈列狀且在Υ方向隔著一定間隔配置成2列的狀態下複數個（第14圖）爲i列6個，2 列合計1 2個）被定位支撐在平面上大致成矩形狀的支撐板2 0。另外針對第1 5圖所示的噴墨裝置，圖號n i 5爲載置基板2的座台，圖號116爲將座台1115往圖中乂軸方向（主掃描方向）引導之引導軌道。另外噴墨頭H介由支撐構件11 1 1利用導引軌道1 1 1 3能往圖中y軸方向 (副掃描方向）移動，進而噴墨頭Η能往圖中0軸方向旋轉，而能使噴墨頭Η 1朝向主掃描方向傾斜—定的胃度。此樣朝掃描方向傾斜配置噴墨，能使噴嘴間距與像本紙張尺度適用中i國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐) TI ------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂線- 1228018 A7 ________B7_ 五、發明説明（4() 素間距相對應。另外經調整傾斜角度，對於任何的像數間距都能使其相對應。第15圖所示的基板2爲將複個晶片配置在母基板上之構造。即是1個晶片的領域相當於1個顯示裝置。此處形成有3個顯示裝置2 a，不過並不侷限於此。例如基板2上其左側的顯示領域2 a塗上組成物時，介由導引軌道1 1 3使噴墨頭Η往圖中左側移動，並且介由導引軌道1 1 6使基板2住圖中右側移動，一面掃描基板一面進塗敷。其次，使噴墨頭Η往圖中右側移動而對基板中央的顯示領域2 a塗上組成物。對於在右端的顯示領域2 a 也是同樣。然而第14圖所示的噴墨頭Η及第15圖所示的噴墨裝置不只是用於電洞注入/輸送層形成過程，用於發光層形成過程亦可。其次進行第1 2圖所示的乾燥過程。經由進乾燥過程，將噴出後的第1組成物乾燥處理，使含在第1組成物中的極性溶媒蒸發，而形成電洞注入/輸送層1 1 0 a。進行乾燥處理，則含在第1組成物滴1 1 中之極性溶媒主要是在接近無機物間隔壁層1 1 2a及有機物間隔壁層1 1 2b處引起蒸發，隨著極性溶媒的蒸發一倂濃縮析出電洞注入/輸送層形成材料。由於此因如第1 3圖所示，在第1層疊部U 2 e上形成由電洞注入/輸送層形成材料所形成的周緣部1 1 0 a2。此周緣部1 10a2密接於上部開口部1 12d的壁面（有機本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -44- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 __ B7___ 五、發明説明（41) 物間隔壁層1 1 2 b ) ’其厚度在接近電極面1 1 1 a側較薄，在遠離電極面1 Π a側，即是在接近有機物間隔壁層 1 12b側變厚。另外與此同時，經由乾燥處理即使電極面1 1 1 a上引起極性溶媒蒸發，也因此在電極面 Π 1 a上形成由電洞注入/輸送層形成材料所形成的平坦部11 〇al。電極面 1 1 1 a上由於極性溶媒的蒸發速度幾乎相同，因而電極面 i i〗a上均等濃縮電洞注入/輸送層的形成材料，因此形成均等厚度的平坦部1 l〇a。經此方式而形成由周緣部1 1 0a2及平坦部1 1 〇a 1所形成的電洞注入/輸送層ll〇a。然而若爲不形成周緣部110a2而只在電極面111a上形成電洞注入/輸送層的形態亦可。上述的乾燥處理例如在氮氣氣相中，在室溫下壓力爲 133.3Pa (lTorr)程度的狀態下進行。壓力過低則第1組成物滴1 1 0c就會沸騰所以不具理想性。另外溫度爲室溫以上則極性溶媒的蒸發速度加快，而無法形成平坦的膜。乾燥處理後，在氮氣中，最好是在真空中以200 °C加熱10分鐘進行熱處理，除去殘存在電洞注入/輸送層1 l〇a 內的極性溶媒或水則較爲理想。上述的電洞注入/輸送層形成過程，所被噴出的第i 組成物滴110c充滿下部、上部孔徑部112c、U2d內，此外利用已被排液處理過的有機物間隔壁層丨丨2b撥開第1 組成物而滾入到下部、上部孔徑部丨丨2c、n 2(1內。由於本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐）裝 I 訂—— 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -45- 1228018 A7 B7 五、發明説明（4¾ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此因所噴出的第1組成物滴一定會充塡在上部孔徑部 112c、11 2d內，而能在電極面111a上形成電洞注入/輸送層 1 1 0 a 〇 (4)發光層形成過程其次發光層形成過程由表面改質過程、發光層形成材料噴出過程以及乾燥過程所形成。首先爲了將電洞注入/輸送層1 1 0a的表面改質而進行表面改質過程。至於此過程詳述如下。其次與前述的電洞注入/輸送層形成過程同樣，利用噴墨法將第2組成物噴出到電洞注入/輸送層110a上。其後所噴出的第2組成物經乾燥處理（及熱處理），而在電洞注入/輸送層11 〇a上形成發光層1 10 b。發光層形成過程，爲了防止電洞注入/輸送層ll〇a的再溶解，用於形成發光層之際所用的第2組成物之溶媒，使用不溶解電洞注入/輸送層1 1 0a的非極性溶媒。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製但是電洞注入/輸送層1 1 0a，由於對非極性溶媒的親和性較低，因而即使將含有非極性溶媒的第2組成物噴出到電洞注入/輸送層1 1 0 a上’也無法使電洞注入/輸送層 110a與發光層110b密合，或是會有無法均等塗上發光層 1 10b的可能性。因此爲了提高非極性溶媒以及電洞注入輸送層丨丨0a 表面對發光層形成材料的親和性，而在發光層形成之前進行表面改質過程較爲理想。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格{ 210X297公釐） -46- 1228018 A7 B7 五、發明説明（43) 因此說明表面改質過程。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 表面改質過程是以噴墨法（液滴噴出法）、旋轉塗敷法或浸漬法將表面改質材塗在電洞注入/輸送層ll〇a上後加以乾燥。表面改質材爲與形成發光層之際所使用之第1 組成物的非極性溶媒相同的溶媒或是與此類似的溶媒。噴墨法的塗敷是如第1 3圖所示將表面改質材充塡到噴墨頭H3，能形成在噴墨頭H3之噴嘴H4噴出表面改質材。與前述的電洞注入/輸送形成過程同樣，使基板2 (即是形成有電洞注入/輸送層110a之基板2)與噴嘴H4相對向，一面使噴墨頭H3與基板2相對性移動，一面從噴嘴H4將表面改質材1 l〇d噴出到電洞注入/輸送層1 l〇a上〇另外旋轉法的塗敷是將基板2例如載置在旋轉座台上 ’從上方將表面改質材滴到基板2上後，使基板2旋轉將表面改質材擴散到基板2上之電洞注入/輸送層1 1 〇 a的全體。然而表面改質材也一時性擴散到已被排液處理過的上面11 2f ’不過因旋轉所造成的離心力而飛濺表面改質，只塗到電洞注入/輸送層1 1 0 a上。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製進而浸漬法的塗敷是將基板2浸漬在表面改質材中後取出，將表面改質材擴散到電洞注入/輸送層11 〇a的全體。此情況也是表面改質材一時性擴散到已被排液處理過的上面1 12f，不過取出之際表面改質材從上面1 i2f撥開而只塗在電洞注入/輸送層1 10a。此處所示的表示改材質中，與第2組成物的非極性溶 -47- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（” 媒相同的溶媒，例如有乙基苯、二氫基苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯。與第2組成物的非極性溶媒類似的溶媒，例如有甲苯、二甲苯等。特別是用噴墨法塗敷時使用二氫基苯并D夫喃、三甲基苯、四甲基苯、環己基苯或是這些的混合物，特別是使用與第2組成物相同溶媒混合物等較爲理想；用旋轉塗敷法或是浸漬法塗敷時使用甲苯、二甲苯等較爲理想。其次如第1 6圖所示使塗敷領域乾燥。乾燥過程當用噴墨法塗敷時，將基板2載置到熱板上例如以200 °C以下的溫度加熱使其乾燥較爲理想；用旋轉法或是浸漬法塗敷時，對基板2噴吹氮氣或是使基板旋轉而使基板2表面發生氣流後使其乾燥較爲理想。然而在電洞注入/輸送層形成過程的乾燥處理之後進行表面改質材的塗敷’塗敷後使表面改質材乾燥後，進行電洞注入/輸送層形成過程的熱處理亦可。經進行此類的表面改質過程，電洞注入/輸送層1 1 0a 的表面變爲容易與非極性溶媒親和，在此後的過程，能夠將含有發光層形成材料的第2組成物均等塗在電洞注入/ 輸送層110a上。然而將一般當作電洞輸送材料使用之前述化合物2等溶解在上述表面改質中而成爲組成物，將此組成物利用噴墨化塗在電洞注入/輸送層上後使其乾燥，而在電洞注入/ 輸送層上形成極薄的電洞輸送層亦可。電洞注入/輸入層的大部分都溶入到之後過程所塗敷本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -48- 裝------訂-----_線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1228018 A7 B7 五、發明説明（45) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的發光層1 10b，不過一部分呈薄膜狀殘存在電洞注入/輸送層ll〇a與發光層110b之間，因此電洞注入/輸送層 110a與發光層ll〇b之的能量壁障變薄而電洞容易移動，能使發光效率提升。其次發光層形成過程爲利用噴墨法（液滴噴出法），將含有發光層形成材料的第2組成物噴出到電洞注入/輸送層110a上後進行乾燥處理，而在電洞注入/輸送層π 〇a 上形成發光層110b。第17圖中表示噴墨的噴出方法。如第17圖所示，噴墨頭H5與基板2相對性移動，從形成在噴墨頭的噴出噴嘴H6噴出含有各色（例如爲藍色（B))發光層形成材料的第2組成物。1 噴出之際，使噴嘴與位於下部、上部孔徑部112c、 1 1 2d內之電洞注入/輸送層1 10a相對向，一面使噴墨頭 H5與基板2相對性移動，一面噴出第2組成物。從噴頭 H6所噴出的液量爲被控制每一滴的液量。經被控制液量的液滴（第2組成物滴110e)從噴嘴噴出，此第2組成物滴1 10e噴出到電洞注入/輸送層1 10a上。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製發光層形成材料可以使用上述化學式的化合物1〜化合物5所示的聚芴類高分子衍生物或（聚）對苯乙烯基衍生物、聚對苯衍生物、聚乙嫌昨哇、聚噻吩衍生物、紫蘇烯類色素、香豆素類色素、碱性蕊香紅類色素或是在上述高分子中摻入有機EL材後使用。例如可以摻入紅焚稀、紫蘇烯、9，1 0-聯苯蒽酮、四苯基丁二烯、尼羅紅、香百 -49- 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 B7 五、發明説明（4e) 素6、喹吖酮等後使用。非極性溶媒爲不與電洞注入/輸送層11 〇a相溶的溶媒較爲理想，例如能夠使用環己基苯、二强基苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。將此非極性溶媒用於發光層1 1 〇b的第2組成物，就能不使電洞注入/輸送層11 Oa再溶而塗上第2組成物。如第1 7圖所示，所噴出的第2組成物1 1 0e擴散到電洞注入/輸送層110a上而充滿到下部、上部孔徑部112c、 1 12d內。此外，已被排液處理過的上面1 12f，即使第1 組成物滴1 1 0e偏離一定的噴出位置而噴出到上面1 1 2f，上面1 12f也不會因第2組成物滴110e而潤濕，第2組成物滴1 1 0e會翻滾到上部孔徑部1 1 2c、1 1 2d內。噴出到各電洞注入/輸送層110a上之第2組成物量是依據下部、上部孔徑部1 1 2 c、1 1 2 d的大小，所欲形成發光層1 1 Ob的厚度、第2組成物中發光層材料的濃度等而被決定。另外第2組成物110e不單是1次而是分成數次噴出到相同的電洞注入/輸送層1 1 0 a上亦可。此情況，各次中第2組成物的量爲相同亦可，每次改變第2組成物的液量亦可。進而只對電洞注入/輸送層1 1 0 a的相同處所或是每次對電洞注入/輸送層的不同處所噴出第2組成物皆可。其次完成將第2組成物噴出到一定的位置後，噴出後的弟2組成物滴經乾燥處理而形成發光層。即是經由乾燥而蒸發含在第2組成物中的非極性溶液，形成如第1 8圖本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格< 210X29*7公釐） ---------赛II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 •_線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -50- 1228018 A7 B7 五、發明説明（47) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 所不的藍色（B)發光層ii〇b3。然而第18圖中發出藍色光的發光層只圖示1個，不過從第1圖或其他圖中能明白 ’原本發光元件形成爲矩陣狀’形成有多數的發光層（未圖示）（與藍色相對應）。接著如第19圖所示，經由與前述正藍色（B)發光層1 10b3的情況相同的過程，形成紅色（R)發光層 llObl，最後形成綠色（G)發光層11〇b2。然而發光層1 1 Ob的形成順序並不偈限於前述的順序 ’任何的形成順序皆可。例如也能依照發光層形成材料決定形成的順序。另外發光層之第2組成物的乾燥條件，以藍色1 1 〇b3 爲例時’例如爲氮氣氣相中，室溫下壓力爲133.3 Pa (1Τ〇η·)程度進行5〜10分鐘的條件。壓力過低.則第2組成物會沸騰所以不具理想性。另外溫度爲室溫以上則非極性溶媒的蒸發速度加快，發光層形成材料多數附著在上部孔徑部1 1 2d的壁面所以不具理想性。經.濟部智慧財產局員工消費合作社印製另外以綠色發光層1 10b2及紅色發光層1 l〇bl爲例時 ’發光層形成材料的成分數量較多因而快速使其乾燥較爲理想，例如設成以4CTC噴吹氮氣5〜10分鐘的條件較佳。其他的乾燥手段例如有遠紅外線照射法、高溫氮氣噴吹法等。經此方式而在像素電極1 1 1上形成電洞注入/輸送層 UOa及發光層ll〇b。 -51 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇X297公釐） 1228018 A7 B7 五、發明説明（ (5) .對向電極（陰極）形成過程其次對向電極形成過程則是如第20圖所示在發光層 1 l〇b及有機物間隔壁層丨12b的全面形成陰極12 (對向電極）。然而電極1 2爲層疊複數種材料所形成亦可，例如能用Ca、Ba等，或是依材料也有在下層形成薄的LiF等較佳的情形。另外也能夠使用功率函數爲上部側（封合側）比下部側更高的材料，例如使用A1。這些的陰極12例如用蒸鍍法、濺射法、CVD法等來形成較爲理想，特別是用蒸鍍法形成，對於防止因熱而損壞發光層1 1 Ob之點則較爲理想。另外氟化鋰只形成在發光層1 1 Ob上亦可，進而能夠與一定的顏色相對應形成。例如只形成在藍色（B)發光層1 10b3上亦可。此情況，在其他的紅色（R).發光層及綠色（G)發光層llObl、110b2接合由鈣所形成的上部陰極層1 2 b。另外陰極1 2的上部用蒸鍍法、濺射法、C V D法等所形成的 A1膜、Ag 膜較爲理想。另外其厚度爲 100〜lOOOnm的範圍較爲理想，特別是200〜500nm程度較佳。另外在陰極12上設置Si〇2 · SiN等的保護層亦可，該保護層爲用來防止氧化。 (6) 封合過程最後封合過程爲用封合樹脂3 a將形成有發光元件的本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） M.-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 ___B7_ 五、發明説明（4弓基板2與封合基板3 b封合之過程。例如將由熱硬化樹脂或是紫外線硬化樹脂所形成的封合樹脂3a塗在基板2的全面’在封合樹脂3 a上層璺封合用基板3 b。經由此過程 5在基板2上形成封合部3。封合過程在氮氣、氟氣、氦氣等的不活性氣體氣相中進行較爲理想。大氣中進行則會有陰極發生針孔等的瑕疵之情況，而會有水或氧等從該瑕疵部位侵入到陰極1 2內造成陰極1 2被氧化的可能性所以不具理想性。進而，第2圖所示基板5的配線5 a連接陰極12，並且電路兀件部1 4的配線連接到驅動IC 6，因而形成本實施形態的顯示裝置1。 [第2實施形態] 其次參照圖面說明本發明的第2實施形態。第21圖爲表示第2實施形態之顯示裝置釣重要部位之剖面圖。如第2 1圖所示，本實施形態的顯示裝置是在基板2 上依序層疊形成有TFT等的電路之電路元件部14、形成有發光層之發光元件部211、陰極12所構成。本實施形態的顯示裝置，與第1實施形態的情況相同，從功能層1 1 〇往基板2側所發出的光透過電路元件部 14及基板2而射出到基板2的下側（觀測者側），並且從功能層1 1 0往基板2的相反側所發出的光經由陰極1 2 被反射，透過電路元件部14及基板2而射出到基板2的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝·

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2Ι0Χ297公釐） -53- 1228018 A7 B7 五、發明説明（50) 下側（觀測者側）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本實施形態的顯示裝置與第1實施形態的顯示裝置不同之點爲將遮光層配置在基板的電路元件部1 4與間隔壁部1 1 2之間。因此以後的說明則是第21圖所示的構成要件當中，與第3圖的第1實施形態之顯示裝置的構成要件相同的構成要件附註相同的圖號，其說明則省略。即是第21圖中表不電路兀件部14、像素電極111、間隔壁部112 (無機物間隔壁層U2a及有機物間隔壁層 112b)、功能層1 10 (電洞注入/輸送層1 l〇a及發光層 110b)、陰極12的各構成要件，不過這些的搆成元件與第1實施形態中已說明過的構成要件相同，所以其說明省略。第21圖所示的發光元件211是以層疊複數個的各個像素電極1 1 1…上之功能層1 1 0、存在於各像素電極111 及各功能層11 0之間而區隔各功能層之間隔壁部1 1 2、及遮光層213爲主體所構成。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製遮光層21 3配置在電路元件部1 4的第2層間絕緣膜 144b及像素電極111與無機物間隔壁層112a之間。此遮光層2 1 3爲將碳黑等的黑色顏料混合在丙烯酸樹脂或聚醯亞胺樹脂等中而形成的黑色樹脂層之單層構造。另外遮光層2 1 3在與功能層1 1 〇相對應的位置設置遮光開口部2 1 3 c。經此方法，遮光層2 1 3配置在功能層1 1 0 彼此之間且是位於功能層1 1 0的非形成領域。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -54- 1228018 A7 B7 五、發明説明（51) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此遮光層2 1 3與第1實施形態的遮光層1 1 3相同，阻隔從發光層1 1 〇b所發出而經由陰極1 2反射之光，防止從像素領域A以外的反射光射出，而提顯示裝置淸晰度。另外此遮光層2 1 3抑制陰極1 2所造成外部光的反射而使顯示裝置的淸晰度提升。經設置此遮光層2 1 3，能利用非形成領域阻隔功能層 1 10的非形成領域之外部的入射光及從功能層1 10的射出光，且能提高顯示裝置的對比度而使淸晰度提升。特別是利用功能層11 0的非形成領域阻隔從功能層 1 1 0的光，能阻隔過去的顯示裝置所發生之著色光彼此間所造成的混色光，且可以提高顯示裝置的對比度。然而遮光層2 1 3並不侷限於黑色樹脂層的單層構造，若爲在第1層間絕緣膜144b上依序層疊金屬鉻膜及氧化鉻（C r 2 ◦ 5)膜之層疊構造亦可。此情況，金屬鉻膜的厚度設成lOOnm程度，氧化鉻膜的厚度設成50nm程度較佳〇經濟部智慧財產局員工消費合作社印製然而本實施形態的顯示裝置之製造方法與第1實施形態的顯示裝置之製造方法幾乎相同，不同之點只有在第2層間絕緣膜144b及像素電極111上依序層疊遮光層 2 1 3及無機物間隔壁層1 1 2 a，並且經由蝕刻設置下部孔徑部112c以及遮光孔徑部213a，且又在無機物間隔壁層 112a上層疊有機物間隔壁層112b之點。因此本實施形態的顯示裝置，除了上述的不同點之外，依據與第1實施形態的顯示裝置相同的順序進行製造。 -55- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 Α7 Β7 五、發明説明（5弓 [第3實施形態] 其次參照圖面說明本發明的第3實施形態。第22圖爲表示第3實施形態之顯示裝置的重要部位之剖面圖。如第22圖所示，本實施形態的顯示裝置是在基板2 上，依序層疊形成有TFT等的電路之電路元件部14，及形成有發光層之發光元件部3 1 1、陰極1 2所構成。本實施形態的顯示裝置與第1和第2實施形態的情況相同，從功能層1 10向基板2側所發出的光，透過電路元件部14及基板2射出到基板2的下側（觀測者側），並且從功能層1 1 〇向基板2的相反側所發出的光利用陰極 1 2反射，透過電路元件部1 4及基板2射出到基板2的下側。本實施形態的顯示裝置與第1實施形態的顯示裝置不同之點爲用黑色樹脂來形成有機物間隔壁層，而有機物間隔壁層成爲遮光層之點。因此以後的說明中，第22圖所示的構成當中，與第 3圖所示第1實施形態的顯示裝置之構成要件相同的構成要件附註相同圖號，其說明則省略。即是第22圖中表示電路元件部1 4、像素電極1 11、有機物間隔壁層112a、功能層1 10 (電洞注入/輸送層1 l〇a 及發光層110b)、陰極12的各構成要件，不過這些構成要件與第1實施形態所說明過的構成要件相同，所以_ Μ 装-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -56- 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（53) 省略。第22圖所示的發光元件部311是以層疊在複數個的各個像素電極1 1 1…上之功能層11 0、及存在於各像素電極1 1 1及各功能層1 1 0之間而區隔各功能層1 1 0之間隔壁部3 1 2爲主體所構成。間隔壁部3 1 2如第22圖所示，層疊位於基板2側之無機物間隔壁層3 1 2a與位於遠離基板之有機物間隔壁層 3 12b所構成。無機物、有機物間隔壁層3 1 2a、3 1 2b形成爲載置在像素電極1 1 1的周緣部上。平面上形成爲像素電極1 1 1的周圍與無機物間隔壁層312a爲平面重疊配置。另外有機物間隔壁層3 1 2b也是相同，與像素電極1 1 1的一部分成平面重疊配置。另外無機物間隔壁層3 1 2a形成在比有機物間隔壁層3 1 2b更往像素電極1 1 1的中央側。由於經此方式而無機物間隔壁層312a的各第1層疊部1 12e形成在像素電極1 1 1的內側，因而設置與像素電極1 1 1的形成位置相對應的下部孔徑部112c。另外在有機物間隔壁層312b設有上部孔徑部312d。上部孔徑部3 1 2 d如第2 2圖所示，形成爲比下部孔徑部 112c寬而比像素電極111窄。另外在間隔壁部312設有連通下部孔徑部112c及上部孔徑部3 1 2d而貫穿無機物間隔壁層1 1 2c及有機物間隔壁層312d之孔徑部312g。有機物間隔壁層3 1 2b兼作爲遮光層，由碳黑等的黑色顏本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）裝------訂-----_線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1228018 A7 ____B7_ 五、發明説明（51 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 料混合在丙烯酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等通常的抗蝕劑中而形成的黑色樹脂所形成。此有機物間隔壁層3 1 2b的厚度爲0 · 1〜3 · 5 μ m的範圍較理想，特別是2 μ m程度較佳。厚度未滿0 · 1 μιη則有機物間隔壁層3 1 2b比後述的電洞注入 /輸送層及發光層的合計厚度更薄，會有發光層從上部孔徑部1 1 2 d溢出的可能性，並且由於兼作爲遮光層之有機物間隔壁層3 1 3b變薄因而遮光性降低所以不具理想性。另外厚度超過3.5 μιτι則上部孔徑部2d的高低差變大，而無法確保形成在有機物間隔壁層3 1 2b上之陰極1 2及反射層1 3的高低差到達率所以.不具理想性。另外若是有機物間隔壁層312b的厚度爲2μιη以上則能提高與驅動用薄膜電晶體1 23的絕緣，此點則更加理想。另外有機物間隔壁層3 1 2b的上部孔徑部3 1 2d壁面及上面3 1 2 f爲顯示排液性的領域，在這些面，經由以4氟化甲烷當作反應氣體的電漿處理，導入氟等的排液基。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製而本實施形態的有機物間隔壁層3 1 2b，除了材料爲由黑色樹脂所形成之點以外，都與第1實施形態的有機物間隔壁層1 1 2b相同，此有機物間隔壁層3 1 2b與發光元件 1 1 0及陰極1 2的位置關係與第1實施形態的情況相同。依據上述的顯示裝置，因有機物間隔壁層312b兼作爲遮光層，所以能利用此有機物間隔壁層3 1 2b阻隔從功能層1 1 0的非形成領域之外部的入射光及從功能層1 1 0的射出光，且能提高顯示裝置的對比度而使淸晰度提升。另外因有機物間隔壁層312b兼作爲遮光層，所以不 -58- 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 B7 五、發明説明（55) 必另外設置遮光層，能使顯示裝置的構成簡單化。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 然而本實施形態的顯示裝置之製造方法與第1實施形態的顯示裝置之製造方法幾乎相同，不同之點爲用黑色樹脂形成有機物間隔壁層3 1 2b之點及形成在有機物間隔壁層與無機物間隔壁層之間的遮光層省略掉之點。因此本實施形態的顯示裝置，除上述的不同點以外，都是依照與第1實施形態的顯示裝置相同的順序進行製造。 [第4實施形態] 其次，參照圖面說明本發明的第4實施形態。第23圖爲表示第4實施形態之顯示裝置的重要部位之剖面圖。如第2 3圖所示，本實施形態的顯示裝置是在基板2 上，依據層疊形成有TFT等的電路之電路元件部414、及形成有發光層之發光元件部4 1 1、陰極1 2所構成。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本實施形態的顯示裝置與第1實施形態的情況相同，從發光元件部4 1 1的功能層Π 0向基板2側所發出的光，透過電路元件部4 1 4及基板2射出到基板2的下側（觀測者側），並且從功能層1 1 〇向基板2的相反側所發出的光利用陰極1 2反射，透過電路元件部4 14及基板2而射出到基板2的下側（觀測者側）。本實施形態的顯示裝置與第1實施形態的顯不裝置不同之點爲遮光層配置在電路元件部314內之點。因此以後的說明中，第2 3圖所示的構成要件當中， -59- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 ____B7_ 五、發明説明（56> 在與第3圖所示第1實施形態之顯示裝置的構成要件相同的構成要件附註相同的圖號，其說明則省略。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 即是第23圖中表示像素電極1 1 1、間隔壁部（無機物間隔壁層1 1 2a及有機物間隔壁層1 1 2b)、功能層1 1 0 ( 電洞注入/輸送層1 l〇a及發光層n0b)、陰極12的各構成要件’不過這些的構成要件因與第丨形態已說明過的構成要件相同，所以說明省略。第23圖的發光元件部4 1 1是以層疊在複數個的各個像素電極111…上之功能層1 10、及存在各像素電極111 及各功能層1 1 0之間而區隔功能層1 1 〇之間隔壁層部1 1 2 爲主體所構成。本實施形態的發光元件部4丨i，除了第i 實施形態的發光元件部到遮光層1 1 3以外，與第1實施形態的發光元件1 1幾乎同樣。電路兀件部4 1 4 ’在基板上形成由砂氧化膜所形成之基底保護膜2c，在此基底保護膜2c上形成由多晶矽所形成之島狀的半導體膜1 4 1。然而經由注入高濃度的p離子，在半導體膜1 4 1形成源極域1 4 1 a及汲極領域1 4 1 b。然而未被注入p離子的部分成爲通道領域1 4 1 c。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製進而，在電路元件部414形成覆蓋基底保護膜2c及半導體膜141的透明閘極絕緣膜142，在閘極絕緣膜142 上形成由Al、Mo ' Ta、Ti、W等所形成之閘極電極143 ( 掃描線101)，在閘極電極143及閘極絕緣膜142上形成透明的第1層間絕緣膜144a及第2層間絕緣膜144b。閘極亟143設置在與半導體膜141的通道領域141c的位置 -60· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 B7 五、發明説明（57) 。另外在閘極絕緣膜142與層間絕緣膜143之間形成有遮光層413 。另外，貫穿第1、第2層間絕緣膜l44a、144b，形成分別連接到半導體膜1 4 1的源極、汲極領域1 4 1 a、1 4 1 b 之接觸孔145、146。然後，在第2層間絕緣膜144b上，以一定形狀的圖案形成由ITO等所形成之透明像素電極丨丨！，一者的接觸孔145連接到此像素電極111。遮光層4 1 3爲使碳黑等的黑色顏料混合到丙烯酸樹脂或聚醯亞胺樹脂等中而形成的黑色樹脂層之單層構造。此遮光層4 1 3，在與功能層1 1 〇相對應的位置設有遮光孔徑部4 1 3 c。經此方式，遮光層4 1 3配置在功能層1 1 〇彼此之間，位於功能層1 1 0的非形成領域。此遮光層4 1 3與第1實施形態的遮光層1 1 3相同，阻隔從發光層1 1 Ob發出而利用陰極1 2反射之光，防止從像素領域A以外的反射光射出，而提高顯示裝置的淸晰度。另外此遮光層2 1 3抑制陰極1 2所形成外部光的反射而使顯示裝置的淸晰度提升。由於將遮光層4 1 3設在電路元件部4 1 4內，因而能用非形成領域阻隔從發光元件1 1 0的非形成領域之外部的入射光及從發光元件1 1 0的射出光，且能提高顯示裝置的對比度而使淸晰度提升。特別是用功能層11 0的非形成領域阻隔從功能層1 1 〇的光，能防止過去的顯示裝置發生的著色光彼此間的顏本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -61 - 1228018 A7 B7 五、發明説明（’ 色滲開，，且能提高顯示裝置的對比度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 然而，本實施形態的顯示裝置之製造方法與第1實施形態的顯示裝置之製造方法幾乎相同，不同點爲當形成電路元件部4 1 4時在閘極絕緣膜1 4 2與第1層間絕緣膜 1 4 3 a之間形成遮光層4 1 3之點、及形成在有機物間隔壁層與無機物間隔壁層之間的遮光層被省略掉之點。因此，本實施形態的顯示裝置，除了上述的不同點以外，依照與第1實施形態的顯示裝置相同的順序進行製造。 [第5實施形態] 其次，參照圖面說明本發明的第5實施形態。第24圖爲表示第5實施形態之顯示裝置的要部之斷面圖。如第24圖所示，本實施形態的顯示裝置爲具備顯示元件部5 1 0所構成。顯示元件部5 1 0爲在由金屬所形成的基板5 02上依序層疊發光元件部1 1、陰極512、保護層5 1 3所形成。另外在發光元件部1 1與基板5 0 2之間備有電路元件部1 4。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本實施形態之矩陣型顯示元件5 1 0形成爲從功能層 1 1 〇向基板5 02側所發出的光利用金屬製的基板反射，透過陰極1 2及保護層5 1 3而射出到基板2的上側（觀測者側），並且從功能層1 1 0向基板5 02的相反側所發出之光直接透過陰極5 1 2及保護層 5 1 3而射出到基板 5 0 2的上側（觀測者側）。因此本實施形態的顯示裝置 -62- 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 _B7_ 五、發明説明（59) 構成爲光射出到基板5 0 2的上側，光的射出方向爲第1〜第4實施形態之矩陣型顯示裝置的相反方向。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本實施形態的顯示裝置與第1實施形態的顯示裝置不同之點爲取代反射層改而形成保護層5 1 3之點及形成較薄的陰極5 1 2之點。因此之後的說明中，第24圖所示的構成要件當中，與第3圖所示第1實施形態的構成要件相同的構成要件附註相同的圖號，其說明則省略。即是第24圖中表示電路元件部1 4、像素電極1 1 1、間隔壁部1 1 2 ·(無機物間隔壁層1 1 2 a及有機物間隔壁層 ll〇b)、發光層1 13 (第1遮光膜1 13a及第2遮光膜層 113b)的各構成要件，不過這些構成要件因與第丨實施形態已說明過的構成要件相同，所以說明省略。第2 4圖所示的顯示元件部5 1 0爲在由金屬所形成的基板5 0 2上依序層疊發光元件1 1、陰極5 1 2、保護層 5 13所形成。基板2例如是由A1等所形成之金屬基板，反射從功能層1 1 0所發出之光，而能射出到基板5 02的上側。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製另外，陰極5 1 2形成在發光元件部1 1的全面，具有與像素電極1 1 1成對而將電流注入到功能層1 1 〇之功能。此陰極5 1 2例如爲層疊鈣層與鋁層所構成。此時，接近發光層側設置率函數較低的陰極較爲理想，特別是此形態具有直接接合發光層1 1 Ob而將電子注入到發光層Π 〇b之功能。另外，氟化鋁作爲發光層的材料其發 -63- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228018 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（60) 光效率良好，因而也有在發光層110與陰極12之間形成LiF的情況。然而，紅色及綠色的發光層llObl、110b2並不偏限於使用氟化鋰，使用其他的材料亦可。因此，此情況只在藍色（B)發光層110b3形成由氟化鋁所形成之層，其他紅色及綠色的發光層則層疊氟化鋁以外的層亦可。另外紅色及綠色的發光層llObl、li〇b2上未形成氟化鋰而只形成鉀亦可。另外’本實施形態的陰極5 1 2形成爲比第1〜第4實施形態的陰極更薄，能夠透過從功能層1 1 〇所發出之光〇其次，保護層5 1 3形成在陰極5 1 2上，防止水或氧侵入到陰極5 1 2及發光元件部內，而防止形成在陰極 512或發光元件部內之發光層〗i 〇b被氧化。此保護層5 1 3例如爲由A g膜等所形成較爲理想。本實施形態的保護層5 1 3形成爲較薄，而能夠透過從發光元件1 1 0所發色之光。依據上述的顯示裝置，因從功能層1 1 0所發出的光透過陰極5 1 2及保護層5 1 3射出，所以比光透過基板及電路元件部的情況更能減少光量的損失，而能達到顯示裝置的高輝度化。 [第6實施形態] 其次，參照圖面說明本發明的第6實施形態。然而以 I---------^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -64· 1228018 A7 _B7 明説明（61) 下的說明則是在與上述第3實施形態相同的部位附註相同圖號，其說明則省略。第25圖爲表示第6實施形態的顯示裝置之剖面圖。本實施形態的顯示裝置，如第25圖所示，具備基板 2,、及備有呈矩陣狀配置之發光元件而形成在基板2’上之發光元件部3 1 1、及形成在發光元件部3 11上之陰極 1 2 ’。利用發光元件部3 1 1及陰極1 2 ’構成顯示元件3 1 (Γ 〇本實施形態的顯示裝置具有封合部3 ’側設成顯示面所構成之所謂頂部放射的構造，基板2 ’也能使用透明基板（或半透明基板）或不透明基板。透明或半透明的基板例如有玻璃、石英、樹脂（塑膠、塑膠薄膜）等，特別是使用低價的蘇打石灰玻璃基板。不透明的基板例如有對氧化鋁等的陶瓷或不銹鋼等的金屬薄片施予表面氧化等的絕緣處理之基板，其他.還有熱硬化樹脂基板、熱可塑性基板。另外基板2 ’區分成位於中央之顯示領域2 a、及位於基板2 ’的周緣而圍成顯示領域2 a之非顯示領域2b。顯示領域2a爲利用呈矩陣狀配置的發光元件所形成之領域，在顯示領域的外側形成有非顯示領域2b。然後，在非顯示領域2b中形成有與顯示領域2a相鄰的無效顯示領域2 d。另外’在發光兀件部3 1 1與基板2 ’之間備有電路元件部1 4，在此電路元件部1 4中，與上述實施形態相本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -65- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228018 A7 B7 五、發明説明（62) 同，備有掃描線、訊號線、保持容量、開關用的薄膜電晶體、驅動用的薄膜電晶體1 23等。另外，陰極1 2 ’其一端從發光元件部3 1 1上連接到形成在基板2 ’上的陰極用配線，此配線的一端部連接到可撓性基板（未圖示）上的配線。另外，配線連接到可撓性基板上所具備的驅動1C (驅動電路，未圖示）。另外，在電路元件部1 4的非顯示領域2b，配置前述的第1實施形態中已說明過的電源線1 〇 3 (； 1 〇 3 R、 1 03 G、103B)。另外，在顯示領域2a的兩側配置前述的掃描側驅動電路1 〇 5、1 0 5。此掃描側驅動電路1 〇 5、1 〇 5設在無效領域2 d下側的電路元件部1 4內。電路元件部1 4內設有連接到掃描側驅動電路1 0 5、1 〇 5之驅動電路用控制訊號配線l〇5a及驅動電路用電源配線105b。另外，在發光元件部3 1 1上備有封合部3，。此封合部3 ’由塗在基板2，上之封合樹脂6 〇 3、及封合筒蓋 6 0 4 ’所構成。封合樹脂6 0 3由熱硬化樹脂或紫外線硬化樹脂等所形成，特別是由熱硬化樹脂1種的環氧樹脂所形成較爲理想。此封合樹脂603呈環狀塗在基板2，上的周圍，例如用微型噴射器等進行塗布。此封合樹脂6〇3爲用來將基板2 ’與封合筒蓋6 0 4，接合，防止水或氧從基板2，與封合筒蓋604，之間浸入到封合筒蓋6〇4，內部，而防止陰極1 2，或形成在發光元件部3丨〗內的發光層 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1228018 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（未圖示）被氧化。封合筒蓋604，由玻璃或樹脂等的透光性構件所形成’介由封合樹脂60 3接合到基板2，，其內側設有容納顯不兀件310,之凹部604a。然而若爲必要’凹部 6〇4a內設置吸收水或氧等的吸收劑亦可。此吸收劑例如設在凹部6 0 4 a內的非顯示領城9 h ^ ^ 丨J 口」开顯不頑硬2 b，而能使其不影響到顯示。第26圖中表示顯示裝置之顯示領域的剖面構造之擴大圖。此第26圖中圖示3個像素領域。此顯示裝置爲在基板2，上依序層疊形成有TFT等的電路之電路元件部1 4、形成有功能層丨丨〇之發光元件部3 i丨以及陰極1 2所構成。，此顯示裝置形成爲從功能層1 1 〇向封合部3，側所發出之光射出到封合筒蓋604，的上側（觀察者側），並且從功能層1 1 0向基板2 ’側所發出的光利用像電極 1 1 1 ’反射而射出到封合部3，側（觀察者側）。因而陰極1 2 ’例如採用IT 0、P t、I r、N i或P d等透明的材料。膜厚爲7 n m程度的厚度較爲理想，比此膜厚更薄則更理想。另外像素電極1 1 1 ’例如採用A1或A g等高反射率的金屬材料較爲理想，因能有效使向基板2 ’側所發出的光射出到封合部3 ’側。發光元件部3 1 1是以層疊在複數的各個像素電極 111，…上之功能層1 1 〇、及在於各像素電極1 1 1 ’及功能層1 1 0之間用來區隔各功能層1 1 〇之間隔壁部3 1 2爲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} .裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS )A4規格（210 x 297公釐） -67 - 1228018 Α7 Β7 五、發明説明（61 主體所構成。在功能層1 1 〇上配置陰極1 2 ’ 。利用這些像素電極111’ 、功能層110及陰極12’構成發光元件。此處像素電極1 1 1 ’例如用ITO所形成，以平面上大致呈矩形狀的圖案所形成。此像素電極1 η ’的厚度例如爲50〜20 Onm的範圍較爲理想，特別是1 5〇nm程度較佳。在此各像素電極111’…之間備有間隔壁部3 1 2 〇間隔壁部3 1 2是層疊位於基板2側之無機物間隔壁層3 12a (第1間隔壁層）及遠離基板2的位置上之有機物間隔壁層3 1 2b (第2間隔壁層）所構成。無機物、有機物間隔壁層312a、312b是由載置在像素電極111 ’的周緣部上所形成。平面上形成爲像素電極 1 1 Γ的周圍與無機物間隔壁層3 1 2 a平面成重疊配置之構造。另外有機物間隔壁層312 b也是同樣，與像素電極 111，的一部分平面上成重疊配置。另外無機物間隔壁層 3 1 2 a形成在比有機物間隔壁層3 1 2 b更向像素電極1 11，的中央側，經此方式，由於無機物間隔壁層3 1 2a的各第 1層疊部1 1 2 e形成在像素電極1 1 1的內側，因而設有與像素電極1 1 1的形成位置相對應的下部孔徑部1 1 2c。另外，在有機物間隔壁層3 1 2b形成有上部孔徑部 3 1 2 d。此上部孔徑部3 1 2 d設置成與像素電極1丨i的形成位置及下部孔徑部1 1 2c相對應。上部孔徑部3丨2 d形成爲比下部孔徑部1 1 2 c寬而比像素電極11 1，窄。另外也有形成爲上部孔徑部3 1 2 d上部的位置與像素電極1 η，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -----------—裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 I·線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -68- 1228018 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（65) 的端部幾乎是相同位置的情況。此情況如第26圖所示，有機物間隔壁層3 1 2b的上部孔徑部3 1 2d其剖面成爲傾斜的形狀。然後在間隔壁部3 1 2形成有經連通下部孔徑部丨丨2c 及上部孔徑部3 1 2d而貫穿無機物間隔壁層3 1 2a及有機物間隔壁層312b之孔徑部312g。有機物間隔壁層3 1 2 b兼作爲遮光層，由使碳黑等的黑色顏料混合在丙烯酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等通常的抗蝕材料而形成之黑色樹脂所形成。此有機物間隔壁層3 1 2 b 的厚度爲0.1〜3·5 μιη的範圍較爲理想，特別是2μιη程度較佳。厚度未滿0 · 1 μπι則有機物間隔壁層3 1 2b比後述的電洞注入/輸送層以及發光層更薄，會有發光層溢出上部孔徑部3 1 2d的可能性，並且由於兼作爲遮光層之有機物間隔壁層3 1 3b變薄而降低遮光性，所以不具理想性。另外厚度超過3 · 5 μπι則上部孔徑部3 1 2d所形成的高低差變大 ’形成在有機物間隔壁層312b上之陰極12及反射層13 無法確保高低差的到達率，所以不具理想性。另外若是有機物間隔壁層3 1 2b的厚度爲2 μιη以上，則能提高與驅動用薄膜電晶體1 23的絕緣，此點則更加理想。另外，無機物間隔壁層312a例如由Si〇、Si〇2、Ti〇2 等的無機材料所形成較爲理想。此無機物間隔壁層3 1 2 a 的膜厚例如爲50〜200nm的範圍較爲理想，特別是150nm 較佳。膜厚未滿50nm則無機物間隔壁層312a比後述的電洞注入/輸送層更薄，無法確保電洞注入/輸送層的平坦性襄-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -69- 1228018 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（％ ’所以不具理想性。另外膜厚超過200nm則下部孔徑部 1 12c所形成的高低差變大，層疊在電洞注入/輸送層上之後述的發光層無法確保平坦性，所以不具理想性。另外，在間隔壁部3 1 2形成有呈現親液性的領域及呈現發液性的領域。呈現親液性的領域爲無機物間隔壁層3 1 2a的第1層疊部1 1 2 e及像素電極1 1 Γ的電極面1 1 1 a，這些個領域經由以氧氣作爲處理氣體之電漿處理而表面被處理成親液性。另外呈現撥性的領域爲上部孔徑部3 1 2 d的壁面及有機物間隔壁層3 1 2b的上面3 1 2f，這些個領域經由以4氟化甲院作爲處理氣體之電漿處理而表面被氟化處理（處理成排液性）。功能層110由層疊在像素電極111’上之電洞注入/ 輸送層1 10a及與電洞注入/輸送層1 l〇a上相鄰所形成之發光層1 10b所構成。然後與發光層i i〇b相鄰又形成具有其他功能之其他功能層亦可。例如也能形成電子輸送層。電洞注入/輸送層1 1 〇a具有將電洞注入到發光層 ll〇b之功能，並且具有在於電洞注入/輸送層u〇a內部輸送電洞之功能。由於將此電洞注入/輸送層1 1 〇a設置在像素電極111’與發光層110b之間，因而提高發光層 n 〇b的發光效率、壽命等的元件特性。另外發光層 1 1 Ob則是從電洞注入/輸送層1 1 〇a所注入的電洞與從陰極1 2 ’所注入的電子在發光層再結合，而進行發光。 ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格{ 210X29*7公釐） -70- 1228018 A7 B7 五、發明説明（67) 電洞注入/輸送層ll〇a由位於下部孔徑部112c內而形成在無機物間隔壁層的第1層疊部1 1 2e上之周緣部 1 10a2所構成。另外電洞注入/輸送層1 l〇a，依構造爲形成在像素電極111’上，且是只形成在無機物間隔壁層 1 1 0a之間（也有只形成在前述已載述過的平坦部之形態）〇此平坦部 ll〇al其厚度幾乎是一定，例如形成在 50〜70nm的範圍。形成有周緣部1 10a2的情況，周緣部1 i〇a2位於無機物間隔壁層的第1層疊部1 1 2e上並且接觸到上部孔徑部 31 2d的壁面，即是接觸到有機物間隔壁層312b。另外周緣部1 1 0 a 2的厚度爲接近電極面1 1 1 a側較薄，沿著遠離電極面1 1 1 a的方向增厚，在下部孔徑部3 1 2 d的壁面附近最厚。周緣部110a2爲上述的形狀之理由爲電洞注入/輸送層1 1 〇a經由將含有電洞注入/輸送層形成材料及極性溶媒的第1組成物噴到孔徑部3 1 2內後除去極性溶媒所形成，極性溶媒主要是在無機物間隔壁層的第丨層疊部n 2e上引起揮發，電洞注入/輸送層形成材料集中濃縮析出到此第1層疊部112e上之故。另外發光層110b是橫跨電洞注入/輸送層ii〇a的平坦部1 1 0 a 1及周緣部1 1 〇 a 2所形成，在平坦部1 1 2 a 1上的厚度例如設成50〜80nm的範圍。發光層110b具有發出紅色（R)之紅色發光層n0bl 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------參-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -71 - 1228018 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（6δ) 、發出綠色（G)的綠色發光層110b2以及發出藍色（Β) 之藍色發光層11 0b3的3種，各發光層11 Obi〜11 0b3爲直列配置。然而電路元件部1 4的構成，由於與上述第1實施形態相同所以其說明省略。因此，本實施形態的顯示裝置也是與上述第3實施形態相同，由於有機物間隔壁層312b兼作爲遮光層，因而能利用此有機物間隔壁層3 1 2b阻隔從功能層1 1 0的非形成領域之外部的入射光以及從功能層1 1 0的射出光，且能提高顯示裝置的對比度而使淸晰度提升。另外，第2 5 圖爲表示將TFT 123配置在間隔壁部312的下層側（即是相鄰發光層之間的領域）之構造，不過如同本實施形態從封合部3 ’側取出從發光層1 1 Ob的光時，像素的數値孔徑由於不會影響到配置在像素電極111’的下層側之電路構造，因而電路元件部1 4的配線或TF T 1 2 3與像素電極1 1 1 ’也能配置成平面上重疊。由於此因最大限度加寬像素電極111’並且充分加粗配線就能實現高輝度且是大畫面的顯示。然而，本實施形態的顯示裝置之製造方法與第3胃施形態的顯示裝置之製造方法大致相同，不同點只有{象素電極111，、陰極I2’ 、封合筒蓋6〇4，的材料。因此，本實施形態的顯示裝置，除上述不同點以外，依g 與第3實施形態的製造方法相同的順序進行製造。 ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -72- 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製訊態資形式施帶實。攜的更、述變話上的霄 y 種式。限種帶造侷予攜製不施到行並能入進圍都裝中範點 1 器術重置機技的裝子的明示¾明發顯錶發本此手本離將、，脫，置而不 1裝然要置理只裝處， A7 B7 五、發明説明（9 [第7實施形態] 其次，說明備第1〜第6實施形態的顯示裝置的其中1 個裝置之電子機器的具體例。第27A圖爲表示攜帶式電話的一例之斜視圖。第27A 圖中，圖號600表示攜帶式電話本體，圖號601表示用前述其中1種顯示裝置之顯示部。第27B圖爲表示電腦等攜帶式資訊處理裝置的一例之斜視圖。第27B圖中，圖號700表示資訊處理裝置，圖號701表示鍵盤等的輸入部，圖號703表示資訊處理裝置本體，圖號702表示用前述的一種顯示裝置之顯示咅&。第27C圖爲表示手錶型電子機器的一例之斜視圖。第27C圖中，圖號800表示手錶本體，圖號801表示用前述的一種顯不裝置之液晶顯不部。第27A〜27C圖所示的各個電子機器爲具備應用前述第1〜第5實施形態的其中一種顯示裝置之顯示部，因其特徵點爲具有第1〜5實施形態的顯示裝置，所以即使應用其中1種顯示裝置仍能具有高輝度且顯示品質優良的效果之電子機器。至於製造這些電子機器則是與第1〜5實施形態相同，構成具備如同第2圖所示的驅動IC6a (驅動電路）之顯示本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格{ 210X297公釐） -73- 裝------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _____ B7五、發明説明（7〇) 第28圖中表示本發明其他的顯示裝置之剖面模式圖。第28圖所示的顯示裝置是備有基板2、及形成在基板2 上之顯示元件1 〇、及呈環狀塗在基板之周圍之封合樹脂 603、及存在於顯示元件1〇上之封合筒蓋604所構成。基板2及顯示元件1 〇與第1實施形態的基板2及顯示元件10相同。顯示元件1 〇是以發光元件部1 1、及形成在該發光元件部11上之陰極12爲主體所構成。另夕f如第2 8圖所示，在發光元件部1 1上備有封合部 3。此封合部3由塗在陰極1 2上之熱硬化樹脂或紫外線硬化樹脂所形成之封合樹脂所形成之封合樹脂3a、及配置在封合樹脂3a上之封合基板3b所形成。然而，封合樹脂 3 a爲硬化時不會產生氣體、溶媒等的樹脂較理想。此封合部3形成爲至少幾乎覆蓋發光元件部丨丨上的陰極1 2 ’防止水或氧氣侵入到陰極1 2及發光元件部1 1 中’而防止陰極1 2或形成在發光元件部丨丨內之後述的發光層被氧化。然而’封合基板3b爲接合在封合樹脂3a用來保護封合樹脂3 a，若爲玻璃板、金屬板或樹脂板較理想。另外’第31圖中表示本發明其他例的顯示裝置之剖面模式圖。第3 1圖所示的顯示裝置是備有基板2、及形成在基板2上之顯示元件10、及塗在顯示元件全面之封合樹脂3a，、及存在於封合樹脂3a上之封合用基板3b 所構成。基板2、顯示元件10、封合樹脂3及封合用基板3b (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝- *11 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公着） -74 - 1228018 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7____五、發明説明（71) 與第1實施形態的基板2、顯示元件1 〇、封合材3以及封合用基板4相同。顯示元件1 0是以發光元件部1 1、及形成在該發光元件部11上之陰極12爲主體所構成。另外，如第31圖所示，在封合材3與陰極12之間形成有保護層713。保護層713由Si〇2、SiN等所形成’厚度爲100〜200nm的範圍。此保護層713用來防止氧氣或水侵入到陰極1 2及發光元件部1 1內，而防止陰極12或形成在發光元件部內之發光層（未圖示）被氧化。依據上述的顯示裝置，有效防止水或氧氣的侵入而防止陰極1 2或發光層被氧化，因而能達到顯示裝置的高輝度化及長壽命化。另外，第1〜第6實施形態中，已說明過直列配置R 、G、B的各發光層1 1 Ob之情況，不過本發明並不侷限於此，也可以採用各樣的配置構造。例如第30A圖所示的直列式配置，其他尙能設成第30B圖所示馬賽克式配置或第30C圖所示△式配置。另外，第6實施形態，採行將由黑色樹脂所形成之有機物間隔壁層3 1 2b作爲遮光層使用，不過將遮光層形成在透明有機物間隔壁層3 1 2b的上面3 1 2f，用來防止從相鄰發光層的著色光彼此間混色亦可。或者是在於封合筒蓋 604’的內面（與陰極12’相對向之面），將遮光層形成在與間隔壁部相對向的位置也能獲得同樣的效果。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 訂 Λ 雌 ¥ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） * 75 -

Claims

ABCD 1228018 申請專利範圍第9 1 1 3 5 740號專利申請案中文申請專利範圍修正本民國9 3年8月20日修正請先閲讀背 & 之注意事項再 1. 一種顯示裝置，其特徵爲：包含複數個發光元件及連接於前述複數之發光元件之電路元件部，在各發光元件之間備有間隔壁部、該間隔壁部由位於基板側之第1間隔壁層及形成在第1間隔壁層上之第2間隔壁層所形成，前述電路元件部乃具備薄膜電晶體 ’平面上在前述各發光元件之間的領域，重疊於前述薄膜電晶體之位置，設有遮光層。 2. —種顯示裝置，是基板上形成有複數個發光元件，在各前述發光元件之間備有間隔壁部之顯示裝置，其特徵爲 · 前述間隔壁部由位於前述基板側之第1間隔壁層、及形成在前述第1間隔壁層上之第2間隔壁層所形成，在前述第1間隔壁層與前述第2間隔壁層之間備有遮光層。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 · —種顯示裝置，是基板上形成具備畫素電極、對向電極及挾於此等之機能層之複數個發光元件，在各前述發光元件之間備有間隔壁層之顯示裝置，於構成各前述發光元件之前述畫素電極間，設有遮光層5 則述間隔壁部乃設於前述遮光層上。本紙張尺度適财酬家縣（CNS )姆姚（21()x 297公着） 1228018 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製六、申請專利範圍 4 ·如申請專利範圍第2項之顯示裝置，其中在前述遮光層設有與前述發光元件相對應之遮光孔徑部。 5 ·如申請專利範圍第3項之顯示裝置，其中在前述遮光層設有與前述發光元件相對應的遮光孔徑部。 6·如申請專利範圍第2項之顯示裝置，其中前述遮光層由黑色樹脂所形成。 7 ·如申請專利範圍第3項之顯示裝置，其中前述遮光層由黑色樹脂所形成。 8 .如申請專利範圍第2項之顯示裝置，其中前述遮光層由位於前述基板側之第1遮光膜、及位於遠離前述基板側之第2遮光膜所形成。 9. 如申請專利範圍第3項之顯示裝置，其中前述遮光層由位於前述基板側之第1遮光膜、及位於遠離前述基板側之第2遮光膜所形成。 10. 如申請專利範圍第8項之顯示裝置，其中前述第1 遮光膜爲金屬鉻膜並且前述第2遮光膜爲氧化鉻。 1 1.如申請專利範圍第9項之顯示裝置，其中前述第1 遮光膜爲金屬鉻膜並且前述第2遮光膜爲氧化鉻。 1 2.如申請專利範圍第2項之顯示裝置，其中前述第1 間隔壁層由Si〇2或Ti〇2所形成。 1 3.如申請專利範圍第2項之顯示裝置，其中前述第 2間隔壁層由丙烯酸樹脂或聚醯亞胺樹脂所形成。 1 4.如申請專利範圍第2項之顯示裝置，其中至少對前述第1間隔壁層的一部分施予具親液性的加工。本纸張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210X 297公董） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1228018 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 5. —種顯示裝置，是基板上形成有複數個發光元件，在各前述發光元件之間備有間隔壁部之顯示裝置，其特徵爲：前述間隔壁部以第1間隔壁層，和形成於前述第1間隔壁層上之黑色樹脂所構成而形成有遮光層。 1 6 .如申請專利範圍第1 5項之顯示裝置，其中前述第 1間隔壁層由以〇2或ΊΊ〇2所形成。 17.如申請專利範圍第15項之顯示裝置，其中前述遮光層由丙烯酸樹脂或聚醯亞胺樹脂所形成。 1 8 .如申請專利範圍第1 5項之顯示裝置，其中至少對前述第1間隔壁層的一部分施予具親液性的加工。 1 9. 一種電子機器，是具有顯示裝置、及用來驅動前述顯示裝置的驅動電路之電子機器，其特徵爲：在各發光元件之間備有間隔壁部、該間隔壁部由位於基板側之第1間隔壁層及形成在第1間隔壁層上之第2間隔壁層所形成，前述顯示裝置，在基板面內形成有複數個發光元件，平面上在前述各發光元件之間的領域設有遮光層。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20·—種電子機器，是具有顯示裝置，及用來驅動前述顯示裝置的驅動電路之電子機器，其特徵爲：前述顯示裝置，在基板上形成有複數個發光元件，在各前述發光元件之間備有間隔壁部，前述間隔壁部由位於前述基板側之第丨間隔壁層、及形成在前述第]間隔壁層上之第2間隔壁層所形成，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297· )— 1228018 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍在前述第1間隔壁層與前述第2間隔壁層之間備有遮光層。 21·—種電子機器，是具有顯示裝置、及用來驅動前述顯不裝置的驅動電路之電子機器，其特徵爲：前述顯示裝置，在基板上形成具備畫素電極、對向電極及挾於此等之機能層之複數個發光元件，在各前述發光元件之間備有間隔壁部，於構成各前述發光元件之前述畫素電極間，設有遮光層，前述間隔壁部乃設於前述遮光層上。 22. —種電子機器，是具有顯示裝置，、及用來驅動前述顯不裝置的驅動電路之電子機器，其特徵爲：前述顯示裝置，在基板上形成有複數個發光元件部，在各前述發光元件之間備有間隔壁部，前述間隔壁部由第1間隔壁層、和形成於前述第1間隔壁層上之黑色樹脂所構成而形成爲遮光層。 23. 如申請專利範圍第2項之顯示裝置，其中前述第1 間隔壁層乃由無機物所成，前述第2間隔壁層乃由有機物所成。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-4 - (請先閱讀背面之注意事項再 -- 本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製