TWI224715B

TWI224715B - Photosensitive resin derived from saponified poly(vinyl acetate)

Info

Publication number: TWI224715B
Application number: TW088113214A
Authority: TW
Inventors: Noriaki Tochizawa; Takaho Ito; Mitsuharu Miyazaki
Original assignee: Toyo Gosei Kogyo Kk
Priority date: 1998-08-05
Filing date: 1999-08-03
Publication date: 2004-12-01
Also published as: EP0978764A1; EP0978764B1; DE69909195D1; KR20000017053A; US6140018A; DE69909195T2; CN1248729A; CN1166985C

Description

1224715 五、發明說明（1 ) 發明之發明—之 -本^月是關於自皂化聚乙烯醋酸酯衍生之感光性樹脂，含$樹脂之感光性樹脂組成物，以及利用此組成物之圖案成开y方法’特別疋關於這樣的樹脂和樹脂組成物，可以用水5 Ϊ衫劑來顯影，而且當硬化後，展現出優良的抗水性和回^特徵；以及關於利用此組成物之圖案成形方法。技術背景 ^皂化聚乙烯醋酸酯所衍生之習知的水溶性感光性樹脂 (f下文中，參照為，，皂化PVA感光性樹脂|，），包括有一附屬基，是由具有四級芳香族含氮雜環的苯乙烯基衍生物 m，/揭露在’舉例來說’日本專利公告（k〇k〇ku) ’ 5^5 762J和2-27680 6號中，以及公開的日本口月（kokai )第56一119〇6 ，59一 1 75 5 〇，2 — 1 1 8575 ，和6-4 3 64 5號中。儘管這些感光性樹脂具有高的感光性， f 2 2產口口則有不良的抗水性，在顯影時會脹開來；因此在圖木成形上，造成解析度不足的缺點。揭=I袁it。的1本專利申請（k〇kai )第2一 1 6 080 7號中作為皂化PVA仏生物所衍：ί附屬Ϊ:級：香族含氮雜環的苯乙稀基衍二^ ^ ?八附屬基為一内銨鹽（betaine )結構。缺 nt樹脂有缺點，μ相當差的感光性，和歸因於低的水溶解度之不良的顯影度。 #知因像上面所描述的，習知的皂化PVA感光性樹脂有缺點，

c:\專利案件總檔案\88\88]]32]4\88113214(替換ptd^^ 弟b頁 1224715 五、發明說明（2) 像是當它們硬化後不良的抗水性，不良的抗熱性，不足的水溶解度和不良的顯影度。由前文看來，本發明的一個目的疋提供一種感光性樹脂，在硬化後具有優良的抗水性，優良的顯影度，和優良的圖案特徵。本發明的另一個目的是提供一種含此樹脂之感光性樹脂組成物。本發明的又一個目的是提供一種利用此組成物之圖案成形方法。、發明之概沭 / 本發明人認真地指導研究來發展一種呈光性樹脂，來消除上面缺點；而〃、仏良特徵的感

一種特殊的皂化PVA聚合物消除。丄叙現那樣的缺點被包含有預定含量（以莫耳計）的〜卜特殊的皂化pVA聚合物芳香族含氮雜環的苯乙烯基化合物附屬基’是由具有四級的陰離子被轉換為由具有ρΚι為3 . 5，形成的；其中小部份的陰離子部分，其多元酸有二或夕或更小的多元酸所衍生是根據此發現而完成的。夕個質子釋放基。本發明因此，本發明的第一個方向，是曰性樹脂，其包含以化學式（I )和^提供一種皂化PVA感光元： U )所表示的結構單

C: \專利案件總檔案\88\881]3214\88113214(替換)-1 .ptd

(II)1224715

其中R!代表-烧基’芳烧基，或是低碳院氧徵基 nxyc，bonyl)，其中任—基可以有經基 (carbam〇yl)，乙喊連結，或是未飽和基；R2代表—;基原子’或是低碳烷氧基；m是0或1 風個整數；分子的某部份以下列化學二J括1和6之間的- 五、發明說明（3)

Ο 代表一個四級芳香族偶氮雜環基的陽離具有PK〗為3· 5或更小的多元酸所衍，X〗代表由元酸有二或多個質子釋放基離子’其多子，在樹脂中以化學式（"和2 (^不^於的一個陰離之含量，相對於此PVA皂化產。ft示的結構單元〇·5-1〇%莫耳分率。正個的結構單元，為在本發明的第一個方向中，以（I ) 一元，對α (11 )所表示的結構單、不的結構單多較佳。之冥耳比，以0.05或更本發明的第二個方向，是提供一種感光性樹脂組成物

Ϊ224715 五、發明說明（4) 其包含了根本發明的的步驟為：物，應用於化暴露此層較佳的是適用於彩色較佳的是上述的基板才对脂組成物 ΙΑ具體例據第一第三個將根據一基板 ;然後，上述陰極射 ’在根上形成，而形式詳細本發明中良的抗水性特別是，所表示的結之莫耳比，優良的感光些性質則不勒新的，優良一種皂構單元為〇· 05 性，和利地變 :二向？1光性樹脂。本發明ί =:種圖案成形方法，包含上，使得形成一向的感光性樹脂組成顯影。7 層感光性樹脂；再圖案應用於根據第二線管的面祐Μ — 向的方法之基板， W面板的内表面。據弟三個方向的方，而且以使用上/ ，…色的母質在成磷光圖案。述的將磷納入之感光性

MlM η感光性樹脂，在硬化後具有優的感光性，和優良的解析度。化PVA感光性樹脂，其中以化學式（工） ’對以化學式（1 1 )所表示的結構單元或更多；在硬化後具有優良的抗水性，優良的解析度。當此比例小於〇 · 〇 5，這質。 a在化學式（1 )和（I I )中以X厂和所表示的陰離子，疋由多種的來源所提供。來源的例子，包括用來合成此感光性樹脂的催化劑和原料，以及合成之後的添加劑。總之’對Xr沒有強制特別的限制，只要為具有ρΚι為3· 5或更小的多元陰離子，其多元酸有二或多個質子釋放基來作為

C:\專利案件總檔案\88\88113214\88113214(替換H.ptd第9頁 1224715 五、發明說明（5) 作為本發明的感光性樹脂之皂化PVA聚合物，可以容易地被得到，經由皂化PVA的反應；或是乙烯醇，和另一個乙稀化合物的水性共聚物，其乙稀化合物具有以下列化學式（I I I )所表示的醛類化合物：

(I工工）或是具有以下列化學式（I V )所表示的縮醛類化合物：

(IV) 其中Y-代表一陰離子，像是氣離子，溴離子，碘離子，單烷基硫酸根，或是對-曱苯磺酸根；&和上述相同含意；r2 和上述相同含意；r3和r4個別代表低碳烷基；r3和r4可以被限定形成一伸烷基；m是0或1 ; η是包括1和6之間的一個整數；下列化學式表示之部分：

C:\專利案件總檔案\88\88113214\88113214(替換)-l.ptd 第 1〇頁 1224715 五、發明說明（6) 代表一個四級芳香族偶氮雜環基的包括以此四級芳香族偶氮雜環基的％離子邓刀。下列化學式所表示的這些·、離子部分的例子

JJ _R1

其中代表一烧基’芳烧基扁矣ft ― 1 或是低碳烷氧羰基烷基；Ζ 代表虱，硫，硒，或是Ml ; ρ Α 士达7人 h代表低碳烷基。為了合成息化PVA聚合物竹炎^ 七v “ 彳乍為本發明的感光性樹脂，具有Pl為3. 5或更小的多元酸’其多元酸有二或多個質子釋方土，在合成反應中被應用為酸催化劑。對可以被用於本發明的多元酸沒有強制特別的限制，只要該酸具有ρΚι為 3. 5或更小。該多元酸的例子包括有草酸（〇xaHc aci(i )，酒石酸（tartaric acid )，二羥基酒石酸 (dihydroxytartaric acid)，順丁烯二酸（maleic acid) ’ 亞胺二醋酸（imin〇diacetic acid)，和氮三乙酸（nitrilotriacetic acid)。除此之外，慣例上酸的催化劑，像是磷酸，氫氣酸，硫酸，對—甲苯磺酸，曱基磺酸，和酸性的離子交換樹脂，可以被合併使用。這樣的多元酸作為酸催化劑的應用，使得-陰離子由多元酸衍生出來。在這情形下，Χ2-是上述化學式（丨丨I )和

C:\專利案件總檔案\88\881]3214\881]32]4(替換M.ptd第11頁 1224715

1224715 五、發明說明（8) 當平均的聚合度低於2 0 0時，所形成的樹脂具有不良的感光性；然而，當平均的聚合度超過5 〇〇〇時，該合成的感光性樹脂組成物對塗料溶液提供非常高的黏度，而且此溶液的塗佈度和該組成物的水顯影度則不利地變質。因此，平均的聚合度為2 0 0 - 5 0 0 0。皂化度為6 0 - 1 0 0 % 。當皂化度低於6 〇 % ，所形成樹脂的水溶解度和該組成物的水顯影度則不足。一種修正過的皂化PVA也可以被使用作為上面反應的起始化合物之皂化PVA。此修正產物的例子，包括以活性官能基，像是親水性官能基，親油性官能基，陰離子，陽離子，或是乙醯乙醯基，來修正的皂化PVA。當這樣的皂化PVA，上述以化學式（I I I )所表示的化合物，和/或其乙醯基；和上述以化學式（I V )所表示的化合物，在酸催化劑的存在下反應，另外的醛基或是乙醯基亦同時反應。此酿基的例子，包括有曱酸（formaldehyde )’乙酸酸（acetoaldehyde)，丙酸（propionaldehyde )，丁醛（butylaldehyde)，苯甲醛（benzaldehyde )，經基苯甲酸（hydroxybenzaldehyde)，鄰-苯甲石黃酉曼（〇—benzaldehydesulfonic acid)或其鹽類，和苯曱酿-2,4 -二績酸（benzaldehyde-2，4-disulfonic acid) 或其鹽類。上述以化學式（I I I )所表示的化合物，和/或其乙醯基，以相對於整個單體單元為0 · 5 - 1 0 %莫耳分率的量，被納入皂化p V A中，而以0 · 8 - 7 %莫耳分率為佳。當此比例小

C:\專利案件總檔案\88\88113214\88113214(替換)-l.ptd 第 13 頁 1224715 五、發明說明（9) 於0· 5 %莫耳分率時：是不利地低；然而，到樹脂的水溶解度則莫耳分率。一般而言具有低感光性也可以對製制。並上述方元酸可在下被種方法情形那較，此法可以正的樹本發的感光溶解或雖然劑可以例子包四氫口夫的聚合的樹脂得到充造本發且，納法，其以在修力口入，中，本麼強。另一種被應用脂合成明的感性樹脂散佈此水被象以5 0 % 括水溶口南，二度時， ;然而足感光明的感入由多中多元正的樹因而納發明的然而，方法的，其中後，再光性樹中加入混合物徵性地重量百性溶劑氧陸圜所得到樹脂的感光性，對實際使用當此比例超過丨〇 %莫耳分率時，所得不足。因此，納入的比例為〇. 5 -1 〇 % ’當可以被應用於本發明的皂化PVA 上面納入的比例應該增加來得到充足 ’當聚合度高時，即使低的納入比例性的樹脂。光性樹脂的方法沒有強制特別的限元酸衍生的陰離子的方法，並不限於酸作為酸催化劑。簡言之，上述的多脂合成後，在像是磷酸的酸催化劑存入由多元酸衍生的陰離子。在此另一效果並不如當多元酸作為酸催化劑：和沒有加入多元酸的習知的情形效果則顯著地優良。當^， ^ 一、有 ί香古' 夕元酸被使用為酸催化劑加入多元酸。而且在修脂組成物，可以依照需要，添加物’然後在以水為主的溶劑：明而製得。 d Τ ，應用為上面的溶劑，另外从，、+ 卜的水溶性湓分率或更少的量被加入。另，庐曰田於 7 f 另外溶劑的，像疋曱酉子，乙醇，異^醇 “ 』0子，丙酉同，，二甲基曱醯胺〜

C: \專利案件總檔案\88\88]13214\88113214(替換)-l.ptd第14頁 1224715 五、發明說明（ίο) (dimethylformamide ) ，N-曱基口比口各口定酮 (N-methylpyrrolidinone )，乙二醇單曱基醚 (ethylene glycol monomethy 1 ether)，牙口乙二酉含置 -予早乙基 _ (ethylene glycol monoethy1 ether ) ° 而且，當本發明的感光性樹脂組成物，進一步包含至少一種可以光聚合的未飽和化合物和光聚合反應的起始系统時；此組成物的特徵可以更加增強。上述可以光聚合的未飽和化合物可以是疏水性或是親水性；此化合物的例子，包括未飽和的單體或預聚物，具有至少一個可以聚合的未飽和官能基，像是丙烯基，甲基丙細基’炸丙基’乙坤鱗基’乙細基，或是丙稀酿胺基。對光聚合反應的起始系統沒有強制特別的限制，只要該系統製造自由基，經由光的暴露作為光聚合反應的活化劑。例子包括α -均勻分解起始物，像是安息香醚 (benzoin ether)，羥基烷基鋼（hydroxyalkyl ketone )’二烧氧乙醯苯（dialkoxyacetophenone)，苯曱酸基膦氧化物（benzoyl phosphine oxide)，和安息香月亏酮 (benzoinoxime ketone )；芳香族酮像是二苯曱酮 (benzophenone )，苯曱基（benzyl )，硫代二苯并咄口南酉同(th i oxan thone )，牙口 _基苯并π比口南g同 (ketocoumarin);這些酮類和像是胺類的氫提供者的系統·’有機過氧化物；為鹽類（〇 n i u m s a 11 s );三苯基烧基硼酸鹽（triphenylalkyl borate)，或是鐵-芳香烴類 (iron-arene )錯合物和電子提供者的系統，像是硫代

1224715 五、發明說明（11) ^查(^h1〇xanthene)色素，和同基苯并^比喃_ ;包括方香基甘胺酸（N-arylgiycine)，和電子接受者的系統，和多鹵素化合物。 μ / -般而f ’熱聚合反應的抑制劑被加入上述光聚合反應系統較佳。示了上述的成刀之外，此感光性樹脂組成物包含本發明白^感光性樹脂，可能含其他添㈣，像是非離子疏水性聚 &物礼膠，表面活性劑，色素，顏料，無機填料 (filler)，乳f穩定劑，塑化劑，均染劑，矽烷偶合劑，和消泡劑。儘管非離子表面活性劑作為表面活性劑較佳，陰離子的表面活性劑也可以被使用。為了形成磷光圖案， !ΪΓί可：f加入該組成物、然而像是有機或是無機黑色顏料的吸光物質可以被加入，而形成黑色的母質。因此所得㈣本發明的喜化PVA《光性樹脂和含此樹脂之組成物，被應用到像是金屬板的多種的基板上；例如，銘和=銹鋼；f帛網；紙；玻璃板；或半導體基板，然後乾综使彳具有塗層厚度，例如〇. 5 -1 〇〇〇 # m。上面的塗層薄膜以UV射線輻射；例如活化且有波長 3 0 0 - 5 0 Onm的射線，因此使暴露於光的部份硬化。/之^，以像是水的塗層-移除劑來除去未暴露的部份，來得到圖案影像。如此加工的塗層薄膜，可以被應用到孔版印刷 (screen print ing)板’彩色陰極射線管的黑色母質或是碗光圖案的成形，CCD和LCD的彩色濾光器，’印刷用的彩色防護，和抗蝕刻劑。 1224715 五、發明說明（12) 特別是當本發明的皂化PVA感光性樹脂和含此樹脂之組成物’被應用到彩色陰極射線管的磷光圖案時，和習知技術的相似樹脂及其組成物的情形來比較，此鱗光圖案的解析度和黏附性都較優良。除此之外，既然本發明的樹脂和其組成物，忽略使用含重鉻酸鹽的高解析度的感光性樹脂組成物’容易了解這是無—鉻的應用。實施例本發明將會以實施例的方式來描述。合成例：息化PVA (此後簡單參照為” PVA” ； GH—17，The Nippon 〇 Synthetic Chemical Industry Co·， Ltd·的產品；聚合度1 70 0 ;皂化度88% ) (l〇〇g)，被溶解於純水（9〇〇g )，而形成一溶液。N-甲基-4_曱醯基苯乙烯基咄啶密妥硫酸鹽（N-methyl - 4-formylstyrylpyridinium met〇sulfate)(在下文中，參照為sbQ(MeS)) (9.90g， 1 · 45 %莫耳分率，相對於PVA整個的結構單元），和草酸二水合物（4g ) ’被溶解於溶液中；此合成的溶液在30。〇下攪拌20小時。Amberlite IR-45 (離子交換樹脂，R0hD1 & Haas Co·的產品）（30g )被加入此反應混合物，然後此合成的混合物再進一步攪拌二小時。當此混合物的pH值着顯被證實為中性時，使用網孔4〇〇的平坦金屬網經由過滤來移除人1^61^七611?-45，因而得到一聚合物的淡黃色水溶液。 '

SbQ-附屬單元相對於整個的結構單元的比例，經由ϋν光 11 111 Η C:\專利案件總檔案\88\88]13214\881〗32]4(替換)-l.ptd第17頁 1224715 五、發明說明（13) 譜儀得到是1.30%莫耳分率。由SbQ(MeS)衍生， COOH-COO—對CH3S(V的莫耳比例，經由離子色層分析得到 18/82 。比較合成例： PVA (GH-17 ’The Nippon Synthetic Chemical

Industry Co·， Ltd·的產品；聚合度1 70 0 ;皂化度88% ) (1 0 0 g ) ’被溶解於純水（9 〇〇 g )，而形成一溶液。

SbQ(MeS) ( 9· 9 0g，1 · 45 %莫耳分率，相對於此pva整個的結構單元）’和磷酸（2 · 5 g )，被溶解於溶液中；此合成的浴液在30C下攪拌20小時。Amberlite IR-45 (離子交換樹脂，Rohm & Haas Co_的產品）（20g )被加入此反應混合物’然後此合成的混合物再進一步攪拌二小時。當此混合物的pH值被證實為中性時，使用網孔4 〇〇的平坦金屬網經由過濾來移除Amber 1 i te IR-45，因而得到一聚合物的淡黃色水溶液。

SbQ-附屬單元相對於整個的結構單元的比例，經由uv光譜儀得到是1.30%莫耳分率。由SbQ(MeS)衍生，Η2Ρ04-對 CH3S04_的莫耳比例，經由離子色層分析得到3 7/ 63。實施例1 : 感光性組成物的配方在上面合成例中製造的感光性聚合物6 %重量百分率的水溶液： 2 0 g 丙烯乳膠（AC-140，T〇yo Gosei Kogyo的產品，固體含量 4 0 % ) 1 · 5 g

C:\專利案件總檔案\88\881]32】4\88]〗3214(替換)]._第18頁 U247l5 五、發明說明（14) 具有上面配方的感光性組成物被應用到一玻璃板上，使獲得乾燥後的厚度為5. 0 // m，因而得到一測試板。此塗層被暴露於具有亮度在350nm為5.0 (mW/cm2)的極端高壓的水銀燈下3 0秒。接著，此測試板被浸泡在純水中1分鐘。在塗層表面殘餘的水經由空氣吹而移除。塗層薄膜的膨脹比例，是依照方程式來評估：（w / W ) 10 〇 ;其中％代表（塗層後測試板的重量）—（玻璃2板的重量），W2代表（空氣吹過後測試板的重量）一（玻璃板的重量）。膨脹比例實測值為2 3 5 % 。

比較例1 ·· 進行相似的測對比較合成例中製造的感光性聚合物試；膨脹比例實測值為2 3 5 % 。比較例2 : 在玻璃基板上，以〇· 1 %的PVA溶液漿被應用和乾燥，一磷光圖案則在下碟泥漿的組成經由慣例的方法所預塗，然後乾燥。而得到具有厚度j 2 列敘述的條件下形形成一黑色的母質，具有下列組成的磷泥 1 3 // m的塗層薄膜。成0 綠的磷（平均顆粒大小6 5 " m、純水 .#m) : 5〇g :56. 7g 分率的水溶液 :4 5. 67g :〇· 9g

含比較合成例中感光性聚合物6%重量百 10%重量百分率L-62 (BASF Co ) 圖案成形的條件

C. \專利案件總檔案\從\88] ]3214\881132]4(替換)-1 第19頁 1224715 五、發明說明（15) 蔭罩陰罩一玻璃基板的距離光源一陰罩的距離光源：極端高壓的水銀燈在玻璃基板的亮度暴露時間楔形過濾器（透射比）顯影：以熱水噴射顯影所得到的>5粦光圖案對美節距0· 25mm 9mm 2 7 Omm 〇. 2mW/cm2 2 0秒〇 -1 ο ο % f &板展現低的點彳4 α 洛部份；即使在圖案的直徑為150心或i i ’形成大量剝的直徑為1 50 // m的解析度是不良的， =的情形。圖案紋。且伴隨著許多邊實施例2 : 比較例2的步驟被重覆，除了具應用和乾燥，而得到具有厚度12-13二Λ碟泥激被光圖案則在比較例2的條件下形成。的塗層缚膜。一磷填泥聚的組成綠的碟（平均顆粒大小6·

純水 · 5〇S ❿ 含合成例中感光性聚合_ 5 6 · 物6%重®百分率的水溶液 W 重量百分率L —62 (BASF。。· ) ；；59^ 所得到的破光圖案完全蚰 § 為1 45 μ m或更多的情形。二；：為二使在圖案的直名案的直住為1 5 0 // m的解析度j

1224715 五、發明說明（16) 優良的，而且和比較例1的情形相較，伴隨較少的邊紋。實施例3 : 比較例2的步驟被重覆，除了具有下列組成的磷泥漿被應用和乾燥，而得到具有厚度1 2 - 1 3 // m的塗層薄膜。一磷光圖案則在比較例2的條件下形成。磷泥漿的組成綠的鱗（平均顆粒大小6 · 5 // m ) : 5 0 g 純水：5 5. 9 g 含合成例中感光性聚合物6 %重量百分率的水溶液 :45· 67g ψ 含草酸10%重量百分率的水溶液：0.86g 10 % 重量百分率L-62 (BASF Co· ) ： 0. 9g 所得到的磷光圖案完全地黏附基板，即使在圖案的直徑為1 3 5 // m或更多的情形。圖案的直徑為1 5 0 // m的解析度是優良的；和使用習知的PVA-ADC (重鉻酸銨）所得到的相同，而且此圖案實質上沒有伴隨邊紋。實施例4 : 比較例2的步驟被重覆，除了具有下列組成的磷泥漿被應用和乾燥，而得到具有厚度1 2 - 1 3 // m的塗層薄膜。一磷光圖案則在比較例2的條件下形成。磷泥漿的組成綠的ί粦（平均顆粒大小6· 5 // m ) · 5 0g 純水：5 5. 9 g 含比較合成例中感光性聚合物6 %重量百分率的水溶液

C:\專利案件總檔案\88\88]13214\88]]32]4(替換)-l.ptd 第 21 頁 1224715 五、發明說明（17) ：4 5. 6 7g 含草酸1 0 %重量百分率的水溶液：0 . 8 6 g 10 % 重量百分率L-62 (BASF Co. ) ： 0. 9g 所得到的磷光圖案完全地黏附基板，即使在圖案的直徑為1 4 5 // m或更多的情形。圖案的直徑為1 5 0 // m的解析度是優良的，而且和比較例1的情形相較，伴隨較少的邊紋。氺氺氺如前文所敘述的，本發明是提供一種感光性樹脂，和一種感光性樹脂組成物，在硬化後具有優良的抗水性，優良的顯影度，和優良的圖案特徵；以及利用此組成物之圖案 + 成形方法。

C:\專利案件總檔案\88\88113214\881]3214(替換)-].ptd 第 22 頁 1224715 圖式簡單說明 C:\專利案件總檔案\88\88113214\881]3214(替換)-l.ptd 第 23 頁

年月曰修正 ---- h 1 案號：88113214 街n ...—」 ?舞1匕.' _________ 1----d -—ιη κ: 發明專利說明書 1224715 稱名、明發

名姓文中姓脂樹性光感之生衍酯酸醋烯 n3 一聚化 to 明晴穗哲光隆澤崎藤栃宮伊

ny • 1 y 1 -Apod e IX I 1 npo a s m o Fr d 6 V • 1 r De n si I e R te) ta 人明發英名文 /籍/國 Η居住名| 名 g幻3,¾ ½名中/iri名英lj 、料人三、請申 05 380原荻村 _ 旛公印 ί限 I本郡 C 旙份 0.印内 f股縣所 Μ葉究 I工千研成 △國材}}合 I本本光(1(1洋日感同同東 X 成I合

Claims

1224715

C: \總檔\88\881 13214\88113214(替換）-2.ptc 第24頁 1224715 _案號88Π3214_年月曰修正_ 六、申請專利範圍 X「代表草酸；x2-代表ch3so4-或h2po4-，在樹脂中以化學式（I )和（I I )所表示的結構單元之含量，相對於此P V A 皂化產品整個的結構單元，為0. 5 - 1 0 %莫耳。 2.如申請專利範圍第1項之皂化聚乙烯醋酸酯之感光性樹脂，其中以（I )所表示的結構單元，對以（11 )所表示的結構單元之莫耳比，為0. 0 5或更多。

C: \總檔\88\881 132M\881 13214(替換）-2.ptc 第25頁