1295660 16094twf.doc/i 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種運送台車，且特別是有關於一種 裝載晶圓的運送車。 【先前技術】 在半導體產業中，由晶圓廠所生產的8忖、12忖晶圓 (wafer)上，可配置上百個積體電路所構成的微晶片，且 這些晶片在封裝廠進行封裝作業之後，可應用在電子產品 與通訊產品上，成為高科技產業中關鍵的零組件之一。由 於晶圓的主要原料為容易脆化的石夕化物、石申化鎵等，因此 微晶片在未封裝保護之前，尤其在運送的過程中，必須 ，選擇晶IB運送的方式及運送的工具，才能確保晶圓保^ 亓.答〇 -叙而吕，在運送的過程中，操作人員係將多個 二t fr日個_的晶舟’而晶舟内具 夕數個晶圓插槽（slot)，以防止晶圓 ^ 面=等情形。除此之外，到達封裝廠之後，晶 运台車送在生產線進行封裝作業。 運 ”的是，習知所選用的運送工 之台車，除了有方便接作人g 疋叙用途 特殊的防震、避震系統等，操^ 把手以外’並無 車的底板上，因而當台車被拉將晶舟放置於台 直接傳到晶舟上，造成 f 輪胎的震動报容易 曰®之如展率過高。此外，若不小 • 1295660 16094twf.doc/g 心台車脫離操作人員手中，此時亦無輔助的煞車系統停止 台車’容易造成撞車或翻車而損壞晶圓。 【發明内容】 本啦明的目的就是在提供一種裝載晶圓之運送車，其 配置有避震系統，以避免晶圓在運送過程中造成損壞。 本發明的另一目的是提供一種裝載晶圓之運送車，其 配置有煞車系統，以避免晶圓在運送過程中造成損壞。 本發明的再一目的是提供一種裝載晶圓之運送車，其 配置有限速系統，以避免晶圓在運送過程中造成損壞。 本發明提出一種裝載晶圓之運送車，包括一底板、一 ΪΪ、一活動把手、多數個車輪、一置晶室以及至少一避 ，器二其中，底板具有一上表面以及一下表面，而框架固 定於該底板之上表面，且活動把手配置於該框架上。此外， 車輪配置於底板之下表面，而置晶室位於框架中，用以放 f至少一晶舟，該晶舟内可存放多數個晶圓。另外，避震 裔配置於置晶室之底部，且該置晶室藉由避震器而平置於 该底板之上表面。 依本發明的較佳實施例所述，避震器例如選自彈 簧、阻尼器以及吸震墊其中之一。 依照本發明的較佳實施例所述，運送車更可包括至少 懸吊為’配置於置晶室的頂部，且該置晶室藉由懸吊器 =吊至框*。其巾，该懸吊器例如選自彈簧以及阻尼器 中之一。 依照本發明的較佳實施例所述，運送車更可包括一煞 1295660 16094twf.doc/g 車器 s己置於這些車輪的鄰側’該煞車器藉由活 =控而作動，以使賴車器接觸車輪，相 的。其中，該活動把手適於受力而下壓，並藉由 一煞車線而連接至煞車器。 連杯或 依照本發明的較佳實施例所述，運送車更可包括一 =起上’該限速器藉由感測這些車輪的轉‘ =? 作動’並以一連桿或-煞車線連接至 本發明因採用避震系統以使晶圓在運送的m 降低晶圓因車輪震動而造成破片之可能性。此外^ 配煞車祕及/或限速純之獅，使觀車的操控: 順、穩定。因此，本發明之裝載晶_運$: 在運送過程中的損壞率。 降低曰曰固 為讓本發明之上述和其他目的、舰和伽能更明顯 a日Ϊ ’下謂舉較佳實關，並配合所關式，作詳細說 明如下。 【實施方式】 〔第一實施例〕 一 f1繪示本發明第一實施例之一種裝載晶圓之運送車 的不意圖。此裝载晶圓之運送車100具有一車體部分，其 係由底板1丨〇以及一框架120等剛性材質所組裝而成 的。其中，底板110具有一上表面112以及一下表面114， 而框架120部分顯示於圖1中，其由多個桿件122、124、 126或頂板128横登相連成一四方立體結構，且桿件122、 1295660 16094twf.doc/g 124可固定於於底板110上，以構成一整體。此外，置晶 至130配置於框架120中，而置晶室13〇可以是具有獨立 開口的密閉空間或開放空間，其内部例如具有一夾層 132，以方便操作人員放置一個或多個晶舟1〇，而晶舟内 可放置多數個晶圓（未繪示）。 另外，多數個車輪140配置於底板11〇之下表面114， =把手150固定於框架12〇上，且把手15〇的位置以方便 _ 知作人員推拉的高度為宜。在本實施例中，把手150可為 一活動把手，或具有連動結構之手煞車（未繪示），這些 辅助功能將於第二實施例中一併說明。 值得注意的是，一個或多個避震器16〇可配置於置晶 室130之底部，以使置晶室13〇藉由避震器16〇而平置於 底板110之上表面112。其中，避震器16〇不限定其種類 為何，只要能吸收外來的震動波即可。在本實施例中，可 選用的避震$ 16G例如是麼縮彈簧、阻尼器或避震墊等 等，特別是阻尼值較高的彈簧或阻尼器、或是具有低回彈 • 性之避震墊或吸震材質為宜，以避免產生共振。 同樣，請參考圖1，在適當的辅助避震下，可加穿一 個或多個懸吊器Π0於置晶室130之頂部，以使置晶室m 藉由懸吊器170而懸吊於框架120上。在未實施例中，可 選用的懸吊H 170例如是拉伸彈篑、阻尼器等等，特別是 阻尼值較高的彈簧或阻尼器為宜。 由上述的說明可知，本發明第一實施例藉由加裝避震 器160及/或懸吊器170等避震系統於置晶冑13〇之底部與 1295660 16094twf.doc/g 頂4以使a曰圓在運送的過程中，能降低晶圓因車輪⑽ 震動而造成破片之可能性。此外，車體之底板、框架以及 置晶室的材質可為剛性材質，例如是金屬。除此之外，任 何可作為車體之材質均為實現本發明之範圍，故不因此而 限制本發明。 〔第二實施例〕 —圖2、、、3示本發明第二貫施例之—種裝載晶圓之運送車 • ’而圖3纟會示圖2之裝載晶圓之運送車的作動示 思圖。此裝載晶圓之運送車100除了具有第一實施例之底 板110、框架120、置晶室130、車輪14〇、把手15〇以及 ，震器160及/或懸吊器17〇之外，更可包括一煞車器⑽， 其配置於底板110上，且位於車輪14〇之鄰側。其中，敦 車15 180可藉由手動或電控的方式使其致能，使得行進中 的車輪140文到煞車$⑽之摩擦力接觸而停止。 如圖2所示，當使用者未握持把手150時，把手150 ❺位置始終保持在鎖_車的位置上，即煞車H 180與車 輪140相互接觸而產生煞車的效果。因此，當運送車卿 經過斜面或不小心脫離操作人員手中時，此運送車廟不 .會繼續前進’而是緩慢地由煞車H 180控制而停止。接著， 士圖3所示，當操作人員推動運送車1⑻時，只要將把手 150下壓即可解除煞車。其中，把手—例如藉由一連桿 或-煞車線m而連接至煞車器18〇，以使煞車器⑽脫 離車輪140而解除煞車。 由此可知，本發明第二實施例藉由加裝煞車系統於車 9 1295660 16094twf.doc/g 亚藉由雜把手MG之操控而作動，以使煞車器180 接觸或脫離車輪140，制煞車或解除煞車之目的。 〔第三實施例〕 圖4緣示本發明第三實施例之一種裝載晶圓之運送車 的不意圖’關5㈣圖4之限速系統的作動示意圖。此 裝載晶圓之運送車1GG _具有第—實施例之底板11〇、 框架120、置晶室13〇、車輪14〇、把手15〇以及避震器16〇 及/或懸吊态170等構件，且更包括一限速器19〇，其配置 ，底板11〇上，而限速器190可藉由感測車輪14〇的轉速 是否超過一預設值而作動，以使煞車器18〇接觸車輪14〇 而產生煞車的效果。 如圖4所示’當操作人貝握持把手，推動運送車 100以一速度前進時，若速度未超過限速器19〇的預設值 時，限速器190可保持煞車器180在解除煞車的位置。接 著，如圖5所示，當操作人員推動運送車1〇〇的速度太快 時，限速器190可藉由訊號回饋得知車輪14〇的轉速超過 其預設值時，再以一連桿或一煞車線192連接至煞車器 180，以使煞車器180作動來缓慢地降低車速，直到低於限 速益190的預設值為止。 由此可知，本發明第三實施例藉由加裝限速系統於車 體上，以偵測車輪140的轉速是否超過一預定值，達到減 速的目的。當然’此限速系統亦可利用齒輪比方式來減速， 或以普利盤離心原理來減速，以避免車速過快而震動，或 造成撞車或翻車而損壞晶圓。 1295660 16094twf.doc/g 綜上所述，本發明之裝載晶圓之運送車具有下列優 r占： (1)採用避震系統以使晶圓在運送的過程中，能降低晶圓 因車輪震動而造成破片之可能性，以保持晶圓^二 整。 (2)除了避震系統之外，更可搭配煞車系統及/或限速系 統之輔助，使運送車的操控更為平順、穩定。因此，
本發明之装載晶圓的運送車能降低晶圓在運送過程 中的損壞率，以保持晶圓的完整。 〇)本發明之魏車亦可應时鍊其他胃碎物，其效果 如上所述，且操作方便。 p 2 ΐ發明已以較佳實施例揭露如上，财並非用t 二任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精參 =1;作些許之更動與潤舞，因此本發明之俩 ，圍虽視後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】
的示本發實關之—種輯晶圓之運送車 的示本發明第二實施例之—種裝載晶圓之運送車 圓之運送車 ^4二2之裝载晶圓之運送車的作動示意圖。 的示㈣第三實施例之—種裝載晶 圖 圖5緣示圖4之限速系統的作動示意 11 i29m.-/g 【主要元件符號說明】 1 〇:晶舟 100 :裝載晶圓之運送車 110 :底板 112 :上表面 114 :下表面 120 :框架 122、124、126、128 ·•桿件 ⑩ 130 :置晶室 132 :夾層 140 :車輪 150 :把手 * 160 :避震器 170 :懸吊器 180 :煞車器 182 :煞車線 • 19〇 :限速器 192 :煞車線 12