TWI279299B - Holding device for a screen - Google Patents

Description

1279299 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種夾持裝置，用以將一螢幕板設於一 鍍膜腔體之中，該鍍膜腔體用以對一基板進行鍍膜，特別是 一玻璃基板。藉由移動該該夹持裝置，可使該螢幕板於該鍍 膜腔體中的一第一位置以及一第二位置之間移動。 【先前技術】 在習知之將螢幕板設於鍍膜線（例如，玻璃鍍膜線）上之 鍍膜腔體中的方法中，螢幕板遮蔽腔體中特定區域而產生死 角，造成玻璃基板的鍍膜效果不均勻。螢幕板特別用於玻璃 鍍膜線的陰極區之中，其應用於具有平面陰極電極的鍍膜線 以及旋轉陰極電極的鍍膜線之中。 為了可以將該螢幕從該鍍膜腔體内移出以進行維護與清 潔，一取放口設於該鍍膜腔體之中，特別是設於陰極電極= 上方。該陰極電極可藉由該取放口替換。談取放口通常提供 額外的功能以取放鍍膜線上的其他元件，特別是該螢幕板。 然而，從該取放口的角度觀察，該螢幕板通常有一部份 位於陰極電極的下方，意即，位於該基板與該陰極電極之間 的空間之中。此部分會與其上方的電極形成一干涉邊緣。^ 此螢幕板係長久的設於框體之上，其缺點在於，螢幕板僅有 在陰極電極移出之後方能被移出。換言之，取放部分=繞陰 極電極之螢幕板的時機僅有在陰極電極移出鍍膜腔體了 如此會降低鍍膜線的生產效率、需要額外的拆卸動作並^告成 3055-7116-PF 5 1279299 時間的浪費。 當使用所謂的懸臂式陰極電極其問題尤其嚴重，由於此 類型的電極設於腔體的側壁，在鍍膜腔體開啟時，該陰極電 極仍然設置於腔體之中。因此特別需要更多的時間拆卸陰極 電極以更換螢幕板。 【發明内容】 本發明之一目的在於使螢幕板更容易移出鍍膜線。特別 _應用於當螢幕板部分環繞陰極電極的情況。 上述目的可透過申請專利範圍第丨項螢幕板夾持裝置而 達成。 本發明係有關於一種夾持裝置，用於將至少一螢幕板設 置於一鍍膜腔體之中，該鍍膜腔體用於對一基板進行鍍膜， 特別是一玻璃基板，該夾持裝置可將該螢幕板移離該鍍膜腔 體，特別是從該鍍膜腔體中的至少一運作位置（第一位置）， 透過該夾持裝置的移動而移至該鍍膜腔體之外的一外部位置 (第一位置）。该夾持裝置具有一裝置，可使該螢幕板在移出 鍍膜腔體的過程中避免受到阻礙。 5亥可動夾持裝置可使連結於其上的螢幕板移離鍍膜腔 體該夹持I置被没計為其一部分延伸進入該取放口的區 域，並不一定連接用於關閉取放口的遮蓋凸緣。在接下來的 例子中，在泫凸緣向上移離該取放口時，該螢幕板從該運作 位置移離。 因為該螢幕板通常需要在基板側面上提供微粒遮罩的功

3055-7116-PF 1279299 月& ，意即，在面向遠離取放口之方向的侧面上，誃 一部分’從該取放口的角度觀察，位於陰極電極的下方= 該螢幕板位於該運作位置時而傳統的夹持裝置欲沿直線^ 於該鍍膜腔體時，此部分為受阻於，意即，碰撞設於其上 的陰極電極。 使用本發明的夹持裝置可防止，當該營幕板從該腔體移 離時，螢幕板與陰極電極、腔》辟々甘 由^ i體壁或其他鍍膜腔體中的鍍膜 線請之間的碰撞。因此可麵在#幕板的移離過程中，在 不將陰極電極移離鍍膜腔體的情況下，螢幕板與陰極電極均 到傷害。該夾持裝置可防止該螢幕板在移動的過程中 阻礙物。 "避過其他在移動路徑上的 之4f!板從鑛膜腔體移離之後，該勞幕板在保養與清潔 拆卸吟極雷朽^ 件上拆卸。而不需要耗時的先 率^ …1^此可縮短組裝時間並提高鑛膜線的生產效 ’该裝置被設計為當該螢幕板從 位置時，該螢幕板呈右. 以弟位置移動至該第二 幕板具有一相對於該央持裝置的運動。 是：運=::f持…運動可…旋轉運動或 放。的過程尹，避免榮:::：幕板在從該運作位置至該取 件的阻礙。 勺干涉邊緣受到陰極電極等元 特別是，該裝置被# 至該第二位置0士 又.、、、田該螢幕板從該第一位置移動 置日”該營幕板可改變其於該鑛膜腔體中的角度

3〇^5-7U6~PF 7 1279299 方位。意即，該螢幕板可相對於盆；你A $ 少 T於/、運作位置而相對傾斜。因 此，當該螢幕板經過阻礙物時， ^ 丁 J還過控制螢幕板方位的方 式避免與阻礙物之間的接觸。 該裝置被設計為容許該螢幕板相對該央持裝置擺動，藉 ^可讓螢幕板的-凸出部在上升經過該陰極電極時，會因^ 螢幕板的傾斜而不會與陰極電極發生碰撞。 该裝置可包括’例如’一樞轉接頭以擺動該螢幕板。 該螢幕板可連接於該夹持裝置的的擺動部。意即，該央 持裝置包括二柩轉部分。1中一 /、Τ 邛分可連接該遮蓋凸緣以關 閉該取放Π ’而另—部分連接該螢幕板。 該裝置被設計為當該螢幕板從該第—位置㈣至該第二 位置％ ’可使該螢幕板相對該夾持裝置產生側向位移，藉此 避免碰撞腔體中的元件。 該裝置被設計為為當該螢幕板從該第一位置移動至該第 二位置時’可使該螢幕板相對該夾持裝置產生旋轉以及/或侧 鲁向位移。猎由螢幕板的位置，特別是勞幕板與取放口之間的 位置（即’螢幕板的咼度），控制螢幕板的擺動或是侧向位移。 藉此可避免螢幕板在移動過程中遭受碰撞。 。亥赏幕板的方位以及/或側向位移可透過機械的方式調 ^例如重力或彈黃力的作用。例如，將該螢幕板移離一支 撐表面，例如一冷卻單元的表面，可使該螢幕板擺動而離開 該陰極電極。在此需要選擇螢幕板的重心位置，以使得當該 夾持裝置上升時，一適當的力矩將作用於該螢幕板之上，並 使該赏幕板相對於該樞軸旋轉一預定角度。此設計無論是在

3055-7116-PF 1279299 並不需要額外的人力 製造上或是操作上都是簡單而經濟的 或是控制。 整 該螢幕板的方位以及/或側向位移可透過電動的方式調 當該螢幕板從該第—位置移動至該第二位置時， 板可自動的相對該夹持奘 冥幕 ri、“去 又持衣置產生紅轉以及/或側向位移。1可 自動啟動開關的方式…孰==的方式、 式。 、飞八他热白此技藝人士所能推及的方 當該螢幕板從該第一位置移動至該第二位置時 持裝置所產生的旋轉以及/或側向位移，係相關於 限：。反6、位置。當該螢幕板經過障礙物時，其自由度是受 當該螢幕板從該第-位置移動至該第二位置時，該榮幕 板可自動的相對該夹持裝置產生旋轉以及/或側向位移。不需 #要操作者進行操作，因此可避免人為的疏失。 *該第—位置為麵膜腔體中的—運作位置，其係為進行 鍍膜時’該螢幕板的預定位置。 該第二位置為一維護位置，可接近該螢幕板。該維護位 置可位於該_腔體之内或是之外。該維護位置可靠近該鐘 膜腔體的該取放口以及/或位於鍍膜腔體之外的位置。 當該螢幕板從該第一位置移動至該第二位置時，該夾持 衣置進行直線運動。如果該夹持裝置連接該用於關閉取放口 的凸、’水則，垂直上升凸緣以開啟取放口的同時，將造成支

3055-7116-PF 9 1279299 姜兀件的直線運動。該干涉邊緣因此可清楚的定義，而 板可自動相對於夹持裝置移動而避免碰撞。京皋 、/當位於該第一位置時，該螢幕板部分環繞該陰極電極， 二Q此/、有干涉邊緣。而由於螢幕板相對於夾持裝置/ 乍使得干涉邊緣在螢幕板的移離過程中得以消除。、 ^當位於該第一位置時，該螢幕板接觸一冷卻單元。 腾製程中所產生的熱量可透過冷卻單元消除。該冷卻單-鐘 1為水冷早兀。該螢幕板的一部分可以由該冷卻單元可 輪’以同時達成良好的熱接觸。該接觸可以藉由遮蓋的重旦之 或透過鍍膜線的真空壓力。為了得到均勻的向下壓力里’ 時增設彈簧。 『同 二位置時，該螢幕 以永久的固定於鸯 。在此例子中，營 ，並且不需要透過 當該螢幕板從該第一位置移動至該第 板脫離該冷卻單元。或者，冷卻單元亦可 幕板之上，而隨螢幕板一起移離鍍膜腔體 幕板可更快速的透過拆卸樞軸鏍栓而更換 大量的鏍栓而連接該冷卻單元。 下 為使本發明之上述目的、 文特舉較佳貫施例並配合所附 特徵和優點能更明顯易懂 圖式做詳細說明。 【實施方式】 對本發明揭 示之形態内容加以詳 以下以具體之實施例 細說明。 矛丄0顯不ί鍍膘線1的部分蛀 ^ Α ^ 構。其具有一鍍膜腔體 ，该鍍fe腔體具有一側壁3以及一 μ既 上土區4。該上壁區4被

3055-7116-PF 10 1219299 取放口 5牙過’以在鑛膜腔， 放口㈡认“ 规胰月工體2進仃取放。特別是，該取 5用於更換陰極電極δ，並利於該 .的維護工作，特別是該螢幕板9。 （、他兀件 =1圖所顯示的，t該鐘膜線丨運作時，該取放口 5 由遮盖凸緣關閉。密封元件7(例如，宓扭 沾吉介—0日 1干如1封裱）確保鍍膜線2 的真空岔閉，其設置於溝槽之中。 在h &例中’二陰極電極8被設計 於艘膜腔體2之中。該陰 =桎又置 •腔體2中的該旋轉…μ 為函同狀。同時，該鑛膜 — 疋^ U極電極亦可以為平面電極。 ㈣剖面圖所顯示的’該螢幕板9位於該 面之上。該榮幕板的—部分9a以平行y轴的方向延伸，一連 ^部此朝該目標物（陰極電極）δ傾斜，而—部分9。平行於 °哀X軸並向中心線Μ延伸。 母一個陰極電極8始姑烛 — -破踅幕板9的部分9a以及9b延平 ^方向側向遮蔽。此外，該陰極電極8在向下朝基 向(y方向)小部分的被榮幕板9的部分9c所遮蔽。從 從f幕板5的角度觀之，當在該運作狀態下，該營 = =9c位於陰極電極8的後方，造成一凸出端1〇 ;u包極8的一干涉邊緣π。該干涉邊緣11以平行 於y軸的方向延伸。 … W狀心、下。亥螢幕板9透過一凸緣9d接觸一水冷 Ρ^Ί14。在链膜製程中所產生的熱量該冷卻單元 早兀月,，、、。藉由穩定的向下壓力，螢幕板9以及冷卻單元 有良好的熱接觸。此接觸可透過，例如，凸緣6本

3055-7116-PF 11 1279299 身的重量或是，當鍍膜腔體為真空時，壓力差而提供。 第2圖係顯示㈣膜線！於移離遮蓋凸緣6而開啟鑛膜 腔體2的狀態。該遮蓋凸緣6可以在箭頭B所指示的方向上 上下移動。 支撐元件（夹持裝置）12連接於該遮蓋凸緣6。因此，當 該遮蓋凸緣6垂直上升時，該等支撐元件12亦隨之垂直向： 移動。 且Γ7上 當该遮蓋凸緣6以及該支擇元件12向上移動時，該榮幕 板9，處於其運作狀態，脫離與冷卻單元14的接觸面 上朝該取放口 5移動。 、、該凸出端1G，如第1圖所顯示的，凸出於陰極電極8的 干涉邊緣11 朝向中心始m 、“… ㈣中、線M’若凸緣6與該螢幕板9之間的 連、、，口疋完全固定的，則凸出患 出而1 〇在上升的過程中將與陰極電 極8碰撞。此碰撞吱异置 戈疋早純的接觸將會影響螢幕板9從該鍍 膑脸體2脫離，並亦可能會產生損傷。 ^忒支撐凡件（夾持裝置）12搭配有一接頭，例如一 ^由該支撐元件12的一部分以其頂端連接該凸緣6，支 撐兀件1 2的另'一部八1。 α ϊ ^ σ刀2a則牛固的連接該螢幕板g。該部分 128連接於登幕板9的部分9咖之間的夹角位置。 相針持衣置η的兩部分由一樞轉接頭所連接，並因此可 相對樞轉。一樞軸n 4, 釉13可以於支撐元件12的下端柩轉，苴可 搭配一軸襯（未圖示） ’、 如^ )而紋轉於支撐元件12的部分12a之中。 在圖中，該樞軸的樞轉方向垂直於x_y平面。 當該遮蓋凸緣6升起時，如前所述，該螢幕板9上升離

3055-7116-PF 12 1279299 開f =單元u的接觸面。其中，螢幕板9以及支樓元件12 =刀i2a之組合的重心隨著榛軸13而移動靠近中心線Μ。 當該f幕板升起時’施加於榮幕板9以及部分^的重力相 對於fe軸侧向移動，並產生—力矩。因此，螢幕板9以及部 分12:向下擺動。在第2圖中，該擺動方向係由箭頭S所標 不。该螢幕板9因此充分的向外擺動，並遠離中心線m以及 陰極電極8,避免與陰極電極8之間的干涉。因此，該榮幕 :::通過陰極電極8而不會與其碰撞。其旋轉量可更精密 =’以使該營幕板9以及部分12a可順利通過取放口 6 而不會碰撞上壁區4的纟套縿j # 離鍍膜。猎此可安全的㈣幕板9移 ㈣啟體2,而不需要先移除陰極電極8。 並夫2貫施例中，該部分…係透過重力轉動。然而，其 以產生-力量，而择… ’力或其他機械或電動手段 移動，以防自動相對支擇元件12的上端而 勒U防止螢幕板9碰撞陰 可控制擺動動你Q 電極8。例如，一控制系統 制‘動動作S以及移動動作 放口 5而不會碰撞陰極電極 料==可接近取 控制系統可以，例如，根據拖軸8在=的其他元件。該 制擺動動作S的角度。支擇元件】2的 的座標位置來控 9繞樞軸13旋轉。換 、夕動動作B造成螢幕板 二而動作。意即，當將螢幕板9移離鍍膜艮據移動動作 决而造成鍍膜線i元件損傷的機會將：：： -2時’人為錯 及振動動作均可透過機械或是電動：：。控制系統以 螢幕板9名 &運成。 9在㈣程中所產生的熱量可藉由冷卻元件14

3055-7116-PF 13 1279299 所消除。如帛2圖所顯示的，該水冷單元14在螢幕板9移除 Γί仍f留在鍍膜腔體之中。在此實施例中，該螢幕板9脫 •離二部單兀14的接觸表面而從冷卻元件脫離。冷卻單元j 4 ”螢幕板9之間良好的熱接觸，特別是冷卻單元14與部分 9d之間的熱接觸係透過均勾的下塵力而達成。該支撐元件u 的長度可以5周整。為了產生該均句的下壓力，該支撐元件U 可具有彈簧，以對部分9d提供均勻的壓力。 水冷單元14亦可以固定於螢幕板9之上，而隨螢幕板g φ —起移離該鍍膜腔體2。 4本發明之鍍膜線可快速的更換螢幕板9以進行清潔以及 維護，在拆卸的同時並不需要移除陰極電極8。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以阳 定本發明，何熟f此項技藝者，在不脫離本發明之精神^ 範圍内，仍可作些許的更動與潤飾，因此本發明之保護口 當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 &

【圖式簡單說明】 置時的 第1圖係顯示一鍍膜線中之各元件位於該運作位 垂直剖面圖；以及 第2圖係顯示鍍膜腔體開啟時的鐘膜線。 【主要元件符號說明】 1 鍍膜線 3055-7116-PF 14 1279299 鍍膜腔體 側壁 上壁區 取放口 凸緣 密封元件 陰極電極 螢幕板 部分 連接部 部分 部分 凸出端 干涉邊緣 支撐元件 部分 極轴 冷卻單元

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Claims (1)

127纖 6734'號申請專利範圍修正本、申請專利範圍： 修正曰期卜5年 12分6曰吵 1 · 一種夾持裝置（1 2 )，用於將至少一螢幕板（9)設置 於一鍍膜腔體（2)之中，該鍍膜腔體（2)用於對一基板進行 鍍膜，特別是一玻璃基板，該夾持裝置（12)可將該螢幕板 (9)移離该鍍膜腔體（2)，特別是從該鍍膜腔體（2 )中的至少 一運作位置，透過該夾持裝置（12)的移動而移至該鍍膜腔 體（2)之外的一外部位置， 其特徵在於： 該夾持裝置（12)具有一裝置（1 3)，可使該螢幕板（9)在 移出鍍膜腔體的過程中避免受到阻礙。 2.如申睛專利範圍第1項所述之夾持裝置（1 2 )，其中 該扁置（1 3 )被ex计為當該螢幕板（9 )從該鍍膜腔體（2 )中的 4運作位置移至该鑛膜腔體（2 )外的該外部位置時，該螢幕 板（9)具有一相對於該夾持裝置（12)的運動。 3·如申請專利範圍第}項所述之夾持裝置（12)，其中 4裝置（13)被設計.為當該螢幕板（9)從該鍍膜腔體（？）中的 該運作位置移至該鍍膜腔體（2)外的該外部位置時，該螢幕 板（9)在該鍍膜腔體（2)中的方位產生改變。 人 4·如申請專利範圍第i項所述之夾持襄置（12)，其中 該裝置（13)被設計為容許該螢幕板（9)相對於該夾持裝置 (12)而擺動。 、 5.如申請專利範圍第4項所述之夾持裝置（12),盆中 該裝置⑴)包括-樞轉接頭(13) ’以容許該榮幕板⑻擺 3055-7116-PF1 16 1279299 …6.如申請專利範圍第5項所述之夹持農置⑴），其中 邊勞幕板⑻連接於該夾持裝置〇2)的—可擺動部（心）。 ▲ 7.如申請專利範圍第3項所述之夾持襄置（⑺，其中 該裝置（12a)被設計為當該螢幕板（9)從該鍵膜腔體⑵中 ^亥運作位置移至該鑛膜腔體⑵外的該外部位置時，該榮 幕板（9)可相對於該夾持裝置（12)側向移動。 古壯8.如巾請專利範圍第6項所述之夹持裝置（⑴，其中 被戎汁為當該螢幕板(9)從該鍍膜腔體(2)中的 = 至該㈣腔體（2)外的料部位置時，該螢幕 板⑻的轉動以及/或側向移動係相 鍍膜腔體⑺之中的位置。 愛幕板⑼在5亥 9.如巾請專利範圍第丨項所述之挾持以（12)，盆中 的 1 = 3)被設計為當該榮幕板（9)從該鍵膜腔體⑵中 幕置移至該鑛膜腔體（2)外的該外部位置時，該螢 或側向移動係相關於該螢幕板⑻在 锻膜腔體（2)之中的位置。 10·如申請專利範圍第3至8頊φ紅一 s乙、、 裝置（12)，其中該螢幕板⑻的轉動以及、1，之夾持 機械的方式達成，特別是透過重 ^ °移動係以 里刀或疋弹黃力的作用。 裝置12)==料以3i8項中任—項所述之夾持 電動的方式達成。 動以及/或侧向移動係以 中二2·:申:"利範圍第10項所述之夾持裝置(12)，立 幕板(9)從該鑛膜腔體⑺中的該運作位置移至該 3055-7116-PF1 1279299 鍍膜腔體（2)外的該外 或側向移動係以自動：式置動日;’。梅 1 3 ·如申請專利範 中當該榮幕板⑻從該二广刪之夹持裝置⑽，其 鍍膜腔體(2)外的該外邛、：『⑵中的該運作位置移至該 或側向移動係同步動作時，該榮幕板⑻的轉動以及/ 中當V二:::專利乾圍第13項所述之夹持裝置(12)，且 ^亥榮幕板⑻從該鍍膜腔體⑺中 ）/、 鑛膜腔體⑵外的該外部位置時，該榮幕°板乍位置移至該 或側向移動係同步動作。 的轉動以及/ K如申請專利範圍第14項所述之夹 中當該螢幕板（9)從該鍍膜胪體 "(12)’其 视胰腔體（2)中的該運作 鍍膜腔體（2)外的該外部位置時 以 或側向移動係以自動的方式動：/榮幕板⑻的轉動以及，

16.如申請專利範圍第 中該鍍膜腔體（2)中的該運作 膜動作時的預定位置。 1項所述之夾持裝置（1 2 )，其 位置為當鍍膜腔體（2)進行鍍 1 7 ·如申請專利範圍第1 中該鍍膜腔體（2)外的該外部位 接接近螢幕板（9)。 項所述之夾持裝置（1 2 )，其 置為一維護位置，在此可直 18. 如申請專利範圍第17項所述之夹持裝置（⑵，其 中該維護位置靠近該鍍膜腔體（2)的該取放口（5)以及/或 位於鍍膜腔體（2 )之外的位置。 19. 如申請專利範圍第1項所述之夾持裝置（12)，其 3055-7116-PF1 18 ‘1279299 中當該螢幕板（9)從該鍍膜腔體（2)中的該運作 鑛膜腔體⑺外的該外部位„，該夾持裝置（12)進^^ 單的直線移動。 T 間 /0.如申請專利範圍第〗項所述之夹持裝置（⑵，其 中當該螢幕板(9)位於該運作位置時，該螢幕板⑼至少部 分環繞陰極電極⑻，該陰極電極⑻設於該鎮膜腔體⑵之 中〇 項所述之夾持裝置（1 2 )，其 置時’該螢幕板（9 )接觸一

21 ·如申請專利範圍第1 中當该螢幕板（9 )位於該運作位 冷卻單元。 22.如申請專利範圍帛21項所述之爽持|置（⑵，其 中當該榮幕板(9)從該鍍膜腔體⑵中的該運作位置移至該 鐘膜腔體（2)外的该維護位晉日卑 m 1呀，该螢幕板（9 )脫離該冷卻 單元（14)。 3055-7116-PF1 19