TWI279022B - A direct methanol fuel cell (DMFC) and manufacturing method therefor - Google Patents
A direct methanol fuel cell (DMFC) and manufacturing method therefor Download PDFInfo
- Publication number
- TWI279022B TWI279022B TW094136723A TW94136723A TWI279022B TW I279022 B TWI279022 B TW I279022B TW 094136723 A TW094136723 A TW 094136723A TW 94136723 A TW94136723 A TW 94136723A TW I279022 B TWI279022 B TW I279022B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- layer
- fuel cell
- carbon nanotube
- exchange membrane
- proton exchange
- Prior art date
Links
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 63
- 239000000446 fuel Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 32
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 41
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 41
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims abstract description 40
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 15
- 229930182558 Sterol Natural products 0.000 claims description 13
- 150000003432 sterols Chemical class 0.000 claims description 13
- 235000003702 sterols Nutrition 0.000 claims description 13
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920001486 SU-8 photoresist Polymers 0.000 claims description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 3
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 3
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 claims 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 claims 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 claims 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims 1
- 229910021392 nanocarbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000282320 Panthera leo Species 0.000 description 1
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N methane;hydrate Chemical compound C.O VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Fuel Cell (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Description
•1279022 _ 九、發明說明·· 【發明所屬之技術領域】 ·· 、本&明係關於—種直接甲賴料f池構造及其製造 ‘ 方法制疋關於利用—奈米碳管層作為-觸媒層之載體 的直接甲醇簡電池構造及其製造方法。 【先前技術】 f用直接甲醇㈣電池構造及其製造方法，如中華 • 民國公告1232608號「薄型化之平板式直接甲醇燃料電池 結構及其製造方法」發明專利所述，其包含一整合式陰極 電極板、-質子交換膜件單元、—巾間接合層、一整合式 陽極電極板及-流道底板。祕合式陰極電極板設有一第 基材、數個陰極電極區域及數個第一導電通孔，該陰極 、電極區域係以電鍍之方式形成於該第一基材之二侧，且該 陰極電極區域内密佈數個穿孔，而該第一導電通孔係設於 該陰極電極區域以外並以導線連接至該陰極電極區域。該 • 質子交換膜件單元設有數個質子交換膜件，該質子交換膜 件係相對於該陰極電極區域而配置。該中間接合層係由至 少一層接合片〔Bonding Sheet〕所構成，且該中間接合層 設有數個開孔及數個第二導電通孔，該開孔係分別用以容 v 設該質子交換膜件，該第二導電通孔係相對於該第一導電 . 通孔而配置。該整合式陽極電極板設有一第二基材、數個 陽極電極區域及數個第三導電接點，該陽極電極區域係相 對於該陰極電極區域而配置，該第三導電接點儀相對於該 第一導電通孔而配置。 * 1279022 然而，在實際製造上，由 =猶之基材係先進 Γ密佈之該數個穿孔，因而相對增加 構足複雜度、製程困難度，以致降低製程效率。此外，由 於該穿孔之尺寸及密度亦相對受限於鑽孔製程 相對限制電池供電效能。因此，其確實有^要進一丁步改^ 上述直接T醇燃料電池構造及其製造方法。 又 有鑑於此，本發日狀良上述之缺點，其係在一夺米 ，管層之至少-侧形成至少—觸媒層，以分別製成一第一 單元及一第二單元。接著，將該第-單元、第二單无及一 流場板依序結合於一質子交換膜之二侧’以共同組成-ί 、料電池。該奈米碳管層確實可相對提升電化學反應接觸面 積及相對提升該燃料電池之供電能力。 【發明内容】 本發明主要目的係提供一種直接甲醇燃料電池構造 及其製造方法’其係在-奈米碳管層之至少_侧形成一觸 媒層’使得本發明具有提升燃料電池之電化學反應接觸面 積的功效。 本發明次要目的係提供一種直接甲醇燃料電池構造 及其製造方法，其係在一基板上形成一奈米碳管層，並利 用至少一蚀刻液洗除該基板，如此該奈米碳管層之二側用 以分別形成一觸媒層，使得本發明具有減少燃料電池厚度 的功效。 本發明另一目的係提供一種直接、曱醇燃料電池構造
CiNLindeNPK Pat\PI99I7. doc ~ 6 ~ 05/10/20/12:04 V* -1279022 及其製造方法’其係在一奈米碳管層之至少一侧形成至少 一觸媒層，以分別製成一第一單元及一第二單元，及將該 第一單元、第二單元及二流場板結合於一質子交換膜之二 侧，以共同組成一燃料電池，使得本發明具有提升該燃料 電池供電能力之功效。 根據本發明之直接曱醇燃料電池構造及其製造方法 ，其包含步驟：在一基板上形成一奈米碳管層，並利用至 少一蝕刻液洗除該基板；在該奈米碳管層之至少一侧形成 至少一觸媒層，以分別製成一第一單元及一第二單元；及 將5亥第一及第^一早元分別結合於一質子交換膜之二側，再 將二流場板分別結合於該第一及第二單元遠離該質子交換 膜之一侧，以共同組成一燃料電池。 f【實施方式】 為讓本發明之上述及其他目的、特徵、優點能更明 顯易懂’下文特舉本發明之較佳實施例，並配合所附圖式 ’作詳細說明如下： 請參照第2A至2D圖所示，本發明較佳實施例之直 接甲醇燃料電池構造及其製造方法之第一步驟，其係在一 基板10上形成一奈米碳管層丨，並利用至少一蝕刻液〔 未‘示〕洗除該基板1〇。如第2A圖所示，該基板1〇較 佳係選自石夕晶圓〔Si wafer〕。如第2B圖所示，其較佳係 學氣相沉積法在該基板1G上長成適當長度之該奈 米石反官層卜如2C圖所示，該奈米碳管層〗遠離該基板 1〇之一侧係選擇結合一支撐架π，以供後續支撐該奈米 1279022 碳管層卜言亥支撲架u較佳係選自抗腐騎f〔例如塑 勝，材質〕’以避免在後續侧製程中發生腐餘之情形。 接著，如第2C圖所示’利用該蝕刻液蝕刻該基板1〇，該 ^刻液較佳係選自氫氧倾〔咖〕溶液，以便洗除該 土杈10，如此有利於減少燃料電池整體厚度。如第2D圖 处八^元成钮刻之後’该奈米碳管層1之另一侧可選擇 結合另一支撐架11，。 甲拉請參照第ZE及3圖所示’本發明較佳實施例之直接 電池構造及其製造方法之第二步驟，其係在該奈 二至少一側形成至Γ觸媒層21'22，以分 該觸拔爲Μ早70二及第一單70 b〔如第3圖所示〕。 ^屏、9、22触係獅以雜之枝軸於該奈米 二&曰1之至少’表面或二侧表面竭 2，直接《料辟„、„，；或鄉^鍵前 ==架u、lr。再者，位於該燃料電池〔未標 白&齡_第-單元a之觸媒層2卜η較佳係選 金WU〕朗；位於該燃料電池之陰極側的 2Γ ' Uu 照Ϊ 3圖所示’本發明較佳實施例之直接甲醇 池構造^其製造方法之第三步驟，其係將該第-及 a、Γί別結合於一質子交換膜4之二侧，再將 二=3、3分別結合於該第一及第Μ 、子父換膜4之—側，以共同組成—軸電池〔未標示〕
c:、Lindn、W 加、_7.細 —8 — 1279022 。藉此，該質子交換膜4、第-單元a、第二單元b及二 流場板3、3’係共同組成該燃料電池。 請參照第4A至4E圖所示，其揭示本發明較佳實施 例之流場板3之製造方法，其包含步驟··⑴、如第4A 圖所示’其係利用丙酮清洗一石夕晶圓3〇〔即晶圓板〕，再 利用異丙醇清洗丙酮，並適當去水烘烤一段時間；〔2〕、 如第4B圖所示，在該石夕晶圓3〇表面機錄一銅金屬薄_ ’以作為金屬犧牲層；〔3〕、如第4C圖所示，利用一阳_ 8光阻32〔即高分子正光阻或稱為第―高分子光阻〕塗佈 於該銅金屬薄膜之表面，該购光阻％先塗佈約· /zrn之厚度’再依序進行旋轉句化、烘烤等處理；〔叫、
如第，圖所示’對該SU-8光阻32進行曝光及利用顯影 液進行顯影，以形成數個微孔32〇 ;〔5〕、如第犯圖所示 ，利用-AZ光阻33〔即高分子負光阻或稱為第二高分子 光阻〕塗佈於該⑽光阻32之表面，藉此該仏光阻33 填入該微孔3則及部分覆蓋於該_紘32表面；〔 ==4F _示’ _ AZ光阻33進行曝光及利用顯 ,衫液進行顯影，以除去覆蓋於該_雜32表面之該Μ 光阻33，但仍保留該微孔32〇内之az光阻33部份π =第4G圖所示’在該ΑΖ光阻33之表面鍍一純金金 屬薄膜34〔即金屬電極層〕；〔8〕、如第4Η圖所示，利用 =〔即第-溶液〕侧該ΑΖ光阻33，由於該純金金屬 =34僅與該SU_8植η形錢_結，且該純金金 屬薄膜34與該AZ核33未形成共價鍵結，藉此丙嗣可 —9 C:\Liwta\PK P»t\PK9fll7. doc 05/10/20/1¾.〇4 p 1279022 洗除該純金金屬薄膜34對應於該微孔320之部位，同時 進一步洗除該微孔320内之該AZ光阻33 ;及〔 9〕、如第 41圖所示’利用氣化鐵溶液〔即第二溶液〕蝕刻該銅金屬 薄膜31，藉此可洗除該銅金屬薄膜31及矽晶圓3〇，並保 留該SU-8光阻32及純金金屬薄膜34共同形成該流場板 3。同時，可利用相同之製造方法形成另一該流場板3,〔 如第3圖所示〕。
請參照第5圖所示，當本發明較佳實施例之直接甲 醇燃料電池構造進行電化學反應時，其係將一曱醇〔 CHsOH〕水溶液經由位於陽極之該流場板3的微孔320 流入該燃料電池〔未標示〕内部。接著，該曱醇水溶液係 依序經由該觸媒層22及奈米碳管層丨均勻擴散至該觸媒 丨層21。此時，至少該觸媒層21之部位係產生電化學反應 ’例如1莫耳〔mole〕曱醇與Λ莫耳水〔Η"〕混合，將 產生6個氫離子〔 H+〕、6個電子〔e·〕及i莫耳二氧化碳 〔ccy〕。接著，由於氫離子受到陽極及陰極之間所形成 =電場及該質子交換膜4之孔璧〔未標示〕狀負電荷的 〜響’使彳于氫離子經過該質子交換膜4移動至陰極。位於 陽極之該觸媒層21所產生之電子係依序經由該奈米碳管 層1、觸媒層22、流場板3及一外接電路〔未標示〕到達 位於陰極之該流場板3,、觸媒層22，、奈米碳管層1，及 觸媒層21’。此時，陰極則進行氧氣〔02〕之還原反應， 亦即該燃料電池外部之氧氣進入該燃料電池内並與氫離子 反應，以產生水分子排出該燃料電池外。藉由提供充足之 C:\Linda\PK PHINPK99I7.4«
05/10/20/12:04 I»M —— 10 — .1279022 且整 該曱醇水溶液及氧氣，該燃料電池可持續產生電# 體僅產生無害環境之二氧化碳及水分子。 如上賴，減於制直接甲醇燃料電池構盆 製造方法係預先在該基材上進行鑽孔作業，因而相對^ 製程困難度及降低製概率。此外，藉由·作業所开^ 之該穿孔的尺寸及密度亦姆受限，_降低_料㈣ 之電化學反應面積，進而造成降低該燃料電池之处 _ 特點，第2圖之本翻該奈米碳管層ι作為該^ 反應接觸 層21、22之-载體，其確實可相對增加電化學 、 面積及相對縮小該燃料電池之整體尺寸。
雖然本發明已則上述較佳實施觸示，然 „發明’任何熟習此技藝者，在不脫離本發J 以二當可作各種更動與修改，因此本發明之 保錄圍請補範_界定者為準。 1279022 【囷式簡單說明】 第1圖：本發明較佳實施例之直接曱醇燃料電池構造 及其製造方法之流程方塊圖。 第2A至2E圖：本發明較佳實施例之直接曱醇燃料電 池構造的奈米碳管層及觸媒層之製造方法的側視圖。 第3圖：本發明較佳實施例之直接甲醇燃料電池構造 之組合剖視圖。 第4A至41圖：本發明較佳實施例之直接曱醇燃料電 池構造的流場板之製造方法的側視圖。 第5圖：本發明較佳實施例之直接曱醇燃料電池構造 進行電化學反應之示意圖。
【主要元件符號說明】
1 奈米碳管層 V 奈米碳管層 10 基板 11 支撐架 11， 支撐架 21 觸媒層 22 觸媒層 21’觸媒層 22’觸媒層 3 流場板 3， 流場板 30 矽晶圓 31 銅金屬薄膜 32 SU-8光阻 320 微孔 33 AZ光阻 34 純金金屬薄膜 4 質子交換膜 a 第一單元 b 唆一四一 弟一早7L C:\Linda\PK Pat\PK99l7.doc —12 —
Claims (1)
- 笫94136723號申請專利範圍修正本、中請專利範圍： 鮮" 8曰修(£)正本 i、，種直接曱醇燃料電池之製造方法，其包含步驟： 在一基板上形成一第一奈米碳管層，並利用至少一蚀 刻液洗除該基板； 在該第一奈米碳管層之至少一側形成至少一第一觸媒 層，且該第一奈米碳管層及第一觸媒層分別製成一第 ，單元及一第二單元；將該第一單元及第二單元分別結合於一質子交換膜之 二側；及 ' ' 將二流場板分別結合於該第一單元及第二單元遠離該 質子交換膜之一侧，以共同组成一燃料電池。 2、 依申請專利範圍第1項所述之直接曱醇燃料電池之製 5^方法’其中該苐一及第二單元選擇在該奈米礙管層 之一側分別形成一觸媒層。 3、 依申晴專利範圍第1項所述之直接曱醇燃料電池之製 造方法，其中在該基板形成該第一奈米碳管層之後， 其係在該第一奈米碳管層遠離該基板之一侧選擇結合 一第一支撐架。 4、 依申請專利範圍第3項所述之直接甲醇燃料電池之製 造方法’其中在利用該|虫刻液洗除該基板之後，其係 在該第一奈米碳管層遠離該第一支撐架之一側選擇結 合一第二支撐架。 5、 依申請專利範圍第3或4項所述之直接甲醇燃料電池 之製造方法，其中該支撐架係選自抗腐姓材質。 C：NL>nda\pK ―叫 d〇c 06/11/23/11:41 AN —13 — 1279^^^23笫94136723號申請專利範圍修正本 * 6、依巾請專利範圍第1項所述之直接曱醇燃料電池之製 - 造方法，其中該基板係選自石夕晶圓。 - 7、依申請專利範圍第1項所述之直接甲賴料電池之製 造方法’其中該_液係選自氫氧化鉀溶液。 8、 依申請專利範圍第1項所述之直接f醇燃料電池之製 造方法，其中該第-單元之第一觸媒層係選自麵金合 金。 9、 依申請專利範圍第1項所述之直接甲醇燃料電池之製 • 造方法’其中該第二單元之第二觸媒層係選自純金金 10、依中請專利範圍第1項所述之直接f醇燃料電池之製 爾 造方法，其中該燃料電池之燃料係選自甲醇水溶液。 η、依申請專利範圍第i項所述之直接甲魏料電池之製 造方法，其中該流場板之製造方法包含步驟·· 在一晶圓板表面鍍一金屬犧牲層； 蠢將一高分子正光阻塗佈於該金屬犧牲層之表面，並對 該高分子正光阻進行曝光及顯影，以形成數個微孔； ^一，分子負光阻塗佈於該高分子正光阻之表面，同 化該南分子負光阻係部分填人該微孔内，並對該高分 子負光阻進行曝光及顯影’以除去覆蓋於該高^子: 光阻表面之該高分子負光阻； 在該高分子負光阻表面鍍一金屬電極層； -第-溶液洗_金屬電極層對應 位及微孔内之該高分子負光阻； ？之ρ C:\Linda\PK Pat\PK9917.doc 一 14—— 1279022 、 肫·11.23第941邪723號申請專利範圍修正本 利用一第二溶液洗除該金屬犧牲層及晶圓板，以由該 高分子正光阻層及金屬電極層形成該流場板。 12、依申請專利範圍第U項所述之直接甲醇燃料電池之製 造方法，其中該晶圓板選自矽晶圓，該金屬犧牲層選 自銅金屬薄膜，該第一高分子光阻選自su_8光阻， 該第二高分子光阻選自AZ光阻，該金屬電極層選自 純金金屬薄膜，該第一溶液選自丙酮，該第二溶液選自氯化鐵溶液。 13、一種直接曱醇燃料電池構造，其包含： 一質子交換膜，其係用以傳遞離子； 一第一觸媒層，其係結合於該質子交換膜之一侧； 一第一奈米碳管層，其係結合於該第一觸媒層遠離該 質子交換膜之一侧； 一第二觸媒層，其係結合於該質子交換膜之另一側； 一第二奈米碳管層，其係結合於該第二觸媒層遠離該 質子交換膜之一側；及 二流場板，其係分別結合於該第一及第二奈米碳管層 遠離該質子交換膜之一側，且該流場板係設有一高分 子光阻層及一金屬電極層。 14、依申請專利範㈣13項所述之直接f醇燃料電池構造 ，其中該第一奈米碳管層及流場板之間係夾設另一第 一觸媒。 15、依申請專利顧第13項所狀直接f醇_電池構造 ’其中該第二奈米碳管層及流場板之間係失設另一第 C:\Linda\PK Pat\PK9917.doc 06/11/23/11:41 A»· —15—— 1279022 ，95.U.23第嶋卿號中請專利範圍修正本 -觸媒 16、 依=範圍第13項所述之直接甲醇燃料電池構造 /、中該弟一觸媒層係選自鉑金合金鍍層。 17、 依專利範圍第13項所述之直接甲醇燃料電池構造 、該第二觸媒層係選自純金金屬錢層。申明專彻Ιΐξ第1；3項所述之直接甲_树電池構造 ，其中該高分子光阻層選自SU_8光阻層，及該金屬 電極層選自純金金屬薄膜。 19、 依申請專=範圍第13項所述之直接甲醇燃料電池構造 其中該鬲分子光阻層及金屬電極層具有數個微孔。 20、 一種直接甲醇燃料電池構造，其包含： 一質子交換膜，其係用以傳遞離子； 一第一觸媒層’其係結合於該質子交換膜之一側； 一第一奈米碳管層，其係結合於該第一觸媒層遠離該 質子交換膜之一侧，且該第一奈米碳管層的至少一側 另設有一支撐架，以供支撐該第一奈米碳管層； 一第二觸媒層，其係結合於該質子交換膜之另一側； 一第二奈米碳管層，其係結合於該第二觸媒層遠離該 質子交換膜之一側；及 二流場板’其係分別結合於該第一及第二奈米碳管層 遠離該質子交換膜之一側。 21、一種直接甲醇燃料電池構造，其包含： 一質子交換膜，其係用以傳遞離子； 一第一觸媒層，其係結合於該質子交換膜之一侧； 1279022 95.11.23第94136723號申請專利範圍修正本 • ’22、 觀 一第一奈米碳管層，其係結合於該第一觸媒層遠離該 質子交換膜之一側； 一第二觸媒層，其係結合於該質子交換膜之另一側； 一第二奈米碳管層，其係結合於該第二觸媒層遠離該 質子交換膜之一側，且該第二奈米碳管層的至少一側 另設有一支撐架，以供支撐該第二奈米碳管層；及 二流場板，其係分別結合於該第一及第二奈米碳管層 遠離該質子交換膜之一侧。 *依申請專利範圍第20或21項所述之直接曱醇燃料電 池構造，其中該支撐架係選自抗腐蝕支撐架。 C:\Linda\PK Pat\PK9917.doc —17 — 06/11/23/11:41 AN
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW094136723A TWI279022B (en) | 2005-10-20 | 2005-10-20 | A direct methanol fuel cell (DMFC) and manufacturing method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW094136723A TWI279022B (en) | 2005-10-20 | 2005-10-20 | A direct methanol fuel cell (DMFC) and manufacturing method therefor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWI279022B true TWI279022B (en) | 2007-04-11 |
| TW200717911A TW200717911A (en) | 2007-05-01 |
Family
ID=38645266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW094136723A TWI279022B (en) | 2005-10-20 | 2005-10-20 | A direct methanol fuel cell (DMFC) and manufacturing method therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWI279022B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9112224B2 (en) | 2010-06-30 | 2015-08-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Energy storage device and method for manufacturing the same |
-
2005
- 2005-10-20 TW TW094136723A patent/TWI279022B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9112224B2 (en) | 2010-06-30 | 2015-08-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Energy storage device and method for manufacturing the same |
| TWI514652B (zh) * | 2010-06-30 | 2015-12-21 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 蓄電裝置及其製造方法 |
| US10283765B2 (en) | 2010-06-30 | 2019-05-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Energy storage device and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW200717911A (en) | 2007-05-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1817421B (zh) | 用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法 | |
| Pichonat et al. | A new proton-conducting porous silicon membrane for small fuel cells | |
| TWI243505B (en) | Method of manufacturing a flat panel direct methanol fuel cell | |
| JP2014029864A (ja) | 電極−膜−電極の積層体中に集積された集電体を備える燃料電池 | |
| Pichonat et al. | Realization of porous silicon based miniature fuel cells | |
| CN1591949B (zh) | 集电器支承的燃料电池 | |
| KR20080111695A (ko) | 연료전지용 세퍼레이터 및 그 제조방법과 그 세퍼레이터를채용한 연료전지 스택 | |
| US7776386B2 (en) | Method for forming a micro fuel cell | |
| JP2006031963A (ja) | 膜電極複合体モジュール、燃料電池および電子機器並びに膜電極複合体モジュールの製造方法 | |
| TW200406080A (en) | Process for the preparation of a solid oxide fuel cell | |
| TW200532979A (en) | Flat panel direct methanol fuel cell and method of making the same | |
| KR100999092B1 (ko) | 전류 집전체, 그 제조방법과 스택 및 연료전지 시스템 | |
| KR20120107397A (ko) | 고분자 전해질막 연료전지용 촉매층 일체형 전극의 제조방법 | |
| JP2014096375A (ja) | 燃料電池用高分子電解質膜の製造方法、膜電極接合体及び高分子電解質型燃料電池 | |
| JP2003346867A (ja) | 燃料電池及びその製造方法 | |
| TWI279022B (en) | A direct methanol fuel cell (DMFC) and manufacturing method therefor | |
| Pichonat et al. | A new process for the manufacturing of reproducible mesoporous silicon membranes | |
| JP2004134362A (ja) | 相互接続部支持燃料電池アセンブリ、プレフォーム及び製造方法 | |
| JP4224272B2 (ja) | 水素製造用フィルタに用いる薄膜支持基板および水素製造用フィルタの製造方法 | |
| US20030021890A1 (en) | Process for making a fuel cell with cylindrical geometry | |
| CA2577047A1 (en) | Fuel cell production method and fuel cell | |
| JP4681201B2 (ja) | 水素製造用フィルタおよびその製造方法 | |
| JP2005166531A (ja) | 燃料電池 | |
| CN101337166B (zh) | 用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法 | |
| JP5234878B2 (ja) | 燃料電池 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |