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TWI276210B - Electronic component package and joined assembly - Google Patents

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Publication number
TWI276210B
TWI276210B TW094131820A TW94131820A TWI276210B TW I276210 B TWI276210 B TW I276210B TW 094131820 A TW094131820 A TW 094131820A TW 94131820 A TW94131820 A TW 94131820A TW I276210 B TWI276210 B TW I276210B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
bonding material
electronic component
circuit board
printed circuit
heat sink
Prior art date
Application number
TW094131820A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200701419A (en
Inventor
Naoaki Nakamura
Hideaki Yoshimura
Kenji Fukuzono
Toshihisa Sato
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Publication of TW200701419A publication Critical patent/TW200701419A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI276210B publication Critical patent/TWI276210B/zh

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Description

1276210 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 發明背景 發明領域 5 树明係有關於—種電子組件封裝體,該電子組件封 衣體b括印刷電路板、一安裝在該印刷電路板上表面上 之如LSI(大型積體電路)晶#的電子組件、及一收納在該印 刷電路板上之電子組件之上表面上的導熱構件。 10 先前技術之說明 包子組件封裝體通常包括一安裝在一印刷電路板上 之LSI曰曰片且如散熱器之導熱構件則收納在該LSI晶片 之上表面上例如,一聯結材料設置在該181晶片與該散熱 器之間,如同揭露在日本專利申請公報第2〇〇〇_〇12748中 15者。該聯結材料係由例如一焊接材料構成,且該焊接材料 係使用,例如,Sn-Pb。
一如助熔劑之活化劑可添加於如Sn_Pb之焊接材料以 改善該焊接材料之濕潤性,但是,將助熔劑加入該焊接材 料會沿著該聯結材料與該散熱器及該LSI晶片的接觸表面 20產生空洞。該等空洞使該聯結材料與該散熱器之間以及該 聯結材料與該LSI晶片之間的表面積較小,且這些較小之表X 面積會阻礙熱由該LSI晶片透過該聯結材料有效地傳送^ 該散熱器。 【明内 1276210 發明概要 二口此本發明之目的係提供一種有助於有效率熱傳導 之笔子組件封裝體。此外,本發明之目的係提供一種對實 見以電子組件封I體極有助之聯結總成。 5 树明之電子組件封裝體包含··一印刷電路板;-安 衣在該印刷電路板上表面上之電子組件;一收納在該印刷 電路板上之電子組件之上表面上的導熱構件;及一設置在 該電子組件與該導熱構件之間的聯結材料。又,該聯結材 料係由含置範圍超過3wt%2Ag&in之材料製成。 1〇 該电子組件封裝體可使用由含量範圍超過3wt。/。之Ag 及In之材料製成之聯結材料,且本發明人已發現當在該聯 結材料之總重中的Ag含量增加時,在該聯結材料與該電子 組件之間的邊界處以及該聯結材料與該導熱構件之間的邊 界處的夕數空洞會減少。此外,與一 WSn_pb之習知焊接材 15料相較,含量範圍超過3wt%之Ag及In之材料具有較低之熱 阻抗,且與習知聯結材料相較,該聯結材料可具有較高之 熱傳導性。因此,本發明之聯結材料使該導熱構件可有效 地接受來自該電子組件之熱。 特別地,In具有低於Pb之彈性係數。即使因在該導熱 20構件與該電子組件之間的熱膨脹係數差而使一應力施加在 該導熱構件與該聯結材料之間的邊界處以及該聯結材料與 該電子組件之間的邊界處’該聯結材料亦可以充分之方式 可靠地吸收該應力。又,可以可靠地避免在該導熱構件與 該聯結材料之間以及在該聯結材料與該電子組件之間產生 1276210 分離。 。該聯結材料之熔點可低於一連接該電子組件與該印刷 :—之、子的炼點,且該電子組件係藉由該電子組件封 =體,總成中之端子而安裝在該印刷電路板上。該端子會 5因所知加之熱而溶化,且在該電子組件已安農在該印刷電 板上後,該導熱構件係藉由該聯結材料而安裝在該電子 2件上。該聯結材料會因所施加之熱而熔化,且只要該聯 、"材料之_係設定成低於該端子,則該端子可以可靠地 防止所謂二次熔化的缺點。 10 該聯結材料可使該熔點低於在該電子組件封裝體中之 f熱溫度,如前所述,當該導熱構件安裝在該電子組件上 ^該如…材料會因所施加之熱而熔化。只要該聯結材料 之炼點低於該電子組件之耐熱溫度,斷使在加熱使該聯 結材料炼化時亦可避免該電子組件被破壞。該聯結材料之 15熔點亦可設定成低於,例如,該印刷電路板之耐熱溫度, 因此即使在加熱使該聯結材料熔化時亦可依此方式避免該 電子組件被破壞。 含量範圍超過3wt%之Ag及In之材料可在該聯結材料 之總重中之Ag含量增加時具有更高之液相與固相溫度,且 20在該聯結材料中之含量可以依據連接該電子組件與該印 刷電路板之端子熔點、該電子組件之耐熱溫度、該印刷電 路板之耐熱溫度等來控制。該Ag含量可設定成,例如,在 一等於或小於該聯結材料之總重2〇wt%之範圍中。 一聯結總成可用來實現該電子組件封裴體,且該聯結 1276210 總成可包含:一第一構件,具有一至少部份地暴露在該第 一構件之表面上第一金屬;一第二構件,具有一至少部份 地暴露在該第二構件之表面上第二金屬,且該第二構件係 在該第二金屬處收納在該第一金屬上;及一聯結材料,設 5 置在該等弟一與第二金屬之間’且該聯結材料係由含量範 圍超過3wt%之Ag及In之材料製成。 圖式簡單說明 不赞明之以上與其他目的矜贯點可配合 10 15 式而由以下較佳實施例之詳細說明更加了解,其中 第1圖是示意地顯示一主機板之結構的立體圖; 一第2圖是沿第!圖之線2_2所戴取之截面圖,且示意地顯 示一電子組件封裝體之結構; 弟3圖是-表,顯讀々含量㈣之液相與固相溫度; 第4圖是一射線照片,顯 盥料您 ㈣中之-聯結材料 與一散熱器之間的接觸面; 第5圖是一射線照片,顯示 ..L., 仕第特疋例中之一聯结 材料與一散熱器之間的接觸面; 、 第6圖是一射線照片,顯示在一 材料與-散熱ϋ之間的接觸面; 、&种之一聯結 第7圖是一射線照片,顯示 材料與-散熱器之間的接觸面;—、(例中之-聯結 第8圖是一射線照片,顯示 # 材料與一散熱器之間的接觸面·及第四特定例中之一聯結 第9圖是顯示在該聯結松 /之厚度與該聯結材料之熱 20 1276210 阻抗之間之相關性的圖。 L實施方式3 較佳實施例之說明 第1圖示意地顯示一主機板11之結構,且該主機板η包 5 括一大尺寸之印刷電路板12。一或多個電子組件封裝體 安裝在該印刷電路板12之前方表面上,且各個電子組件封 裝體13包括一安裝在該印刷電路板12上之小尺寸印刷電路 板14。又,該印刷電路板14可使用,何如,一樹脂或陶瓷 基板。 10 一導熱構件或散熱器15係被收納在該印刷電路板14 上,且該散熱器15包括一板狀主體或熱接受器15a及多數由 該熱接受器15a朝垂直方向向上直立之翼片ub。該等翼片 15b互相平行地延伸,且因此在各相鄰對翼片15b之間形成 多數空氣通道16。這種電子組件封裝體使熱可在空氣流 15藉助於,例如,一送風單元(圖未示)經過該等空氣通道16 時,由該等翼片15b有效地輻射出來。該散熱器15可由Cu、 A卜一主要由Cu及/或A1構成之複合材料、一如碳複合材料 之咼導熱材料等製成。又,該散熱器15亦可使用鑄造法製 成。 20 如第2圖所示,一球格柵陣列17形成在該印刷電路板14 之月面上,且$亥球格栅陣列17被用來將該印刷電路板μ安 裝在該印刷電路板12之前方表面上。該球格柵陣列丨?包括 多數依一預定圖案配置之球狀導電端子18,且各導電端子 18係被收納在多數在該印刷電路板12上之對應端子墊或導 1276210 電墊19上。依此方式可在該印刷電路板14與該印刷電路板 12之間建立電氣連接,在此,該等導電端子18可由,例如, Sn_37Pb(wt%)製成。 一電子組件或LSI晶片21係安裝在該印刷電路板14 5 上,且一球格柵陣列22形成在該LSI晶片21之背面。該球格 樹陣列22係用來將該LSI晶片21安裝在該印刷電路板μ 上’且該球格桃陣列22包括多數以與該球格拇陣列I?相同 之方式以一預定圖案配置之球形導電端子23。各導電端子 23係被收納在多數在該印刷電路板14上之對應端子塾或導 10電墊24上。依此方式可在該LSI晶片21舆該印刷電路板14之 間建立電氣連接,在此,該等導電端子23可由,例如, Sn-37Pb(wt%)製成。 舉例來說’除了該LSI晶片21以外,如兩者均未顯示之 電谷器與晶片電阻器的電子元件可安裝在該印刷電路板14 15上。該等電子元件可安裝在該印刷電路板14之背面,且一 未填滿材料膜25設置在該LSI晶片21與該印刷電路板14之 間。該未填滿材料膜25填充在該等導電端子23四週的空 間’且該等導電端子23可以依此方式可靠地互相絕緣。該 未填滿材料膜25可由主要由,例如,環氧樹脂構成之樹脂 2〇材料製成。 前述散熱器15係被收納在該LSI晶片21之前方表面 上,且一聯結材料26設置在該散熱器15與該LSI晶片21之 間。該聯結材料26可由含量範圍超過3wt%之Ag&In之材料 製成’在此,該聯結材料26係由一In-Ag合金製成。該Ag 1276210 含量可設定為,例如,在該聯結材料26之總重中等於或小 於20wt%之範圍内。 如第3圖所示,該In-3Ag(wt%)合金具有攝氏141度之液 相與固相溫度,且這溫度對應於共熔溫度。在材料中之Ag 5 含量增加會造成超過攝氏141度之液相溫度,另一方面,即 使在材料中之Ag含量增加,該固相溫度仍保持攝氏141度。 因此,當在材料中之Ag含量增加時,在液相與固相溫之間 的差會變大。 請再參閱第2圖,一第一金屬或第一金屬膜27形成在該 10 LSI晶片21之前方表面。作為本發明第一構件之lsj晶片21 至少部份地暴露出在該前方表面上之該第一金屬膜27,在 此,該第一金屬膜27可形成在該LSI晶片21之整個前方表面 上。該弟一金屬膜27可由,例如,一丁丨膜與一八11膜之多層 膜、一Ti膜與一Cu膜之多層膜等製成。依此方式,該lSI 15晶片21將該聯結材料%收納在該第一金屬膜27處。 該散熱器15之底面與該LSI晶片21相對,且一第二金屬 或第二金屬膜28形成在該散熱器15之底面或相對表面上。 作為本發明第二構件之散熱器15至少部份地暴露出在該相 對表面上之該第二金屬膜28。該第二金屬膜28可由,例如, 2〇 一抓膜與一八"膜之多層膜製成。依此方式,該聯結材料26 將該第二金屬膜28收納在該散熱器15上。 依此方式,該聯結材料26係設置在該等第一與第一金 屬膜27、28之間。換言之,該散熱器15使該第二金屬膜以 可以與在該LSI晶片21上之第—金屬膜27接觸。如此,該聯 11 1276210 結材料26可用以結合該散熱器15與該LSI晶片21。在此,作 為一第一構件之LSI晶片21、作為一第二構件之散熱器15、 及該聯結材料26共同形成本發明之聯結總成。 多數支持構件29被用來將該散熱器15固定於該印刷電 5路板14上,且該等支持構件29可由一,例如,具有膨脹性 接近於該印刷電路板14之材料製成。這種材料可為(^11、不 鏽鋼等。黏著片(圖未示)設置在該散熱器15與該等支持構件 29之間且在該等支持構件29與該印刷電路板14之間,以將 該散熱器15固定在該印刷電路板14上。例如,一環氧樹脂 10黏著片可用來作為該黏著片,且該黏著片中亦可包括如破 璃纖維或無機填充劑等,而該玻璃纖維或無機填充劑係用 來保持該黏著片之厚度均一。 這種主機板11之缺點是在操作會於該LSI晶片21處產 生熱,且該LSI晶片21之熱會經由該第一金屬膜27、該聯結 I5材料26及該第二金屬膜28傳送至該散熱器15之熱接受器 15a。接著,該熱會由該熱接受器15a傳導至該等翼片15b, 而該等翼片15b係用來產生用以將熱輻射出去之較大表面 積,而該送風單元操作並產生通過如該等空氣通道16之空 氣流。依此方式,該LSI晶片21可有效地避免溫度上升。 20 以下將簡短地說明一製造該電子組件封裝體13之方 法。首先,製備該印刷電路板14,再將一陶瓷或有機基板 附著在該印刷電路板14上。該陶瓷或有機基板可具有如由 0.4mm至0.7mm之範圍内的厚度,且該陶瓷基板中可包含如 Al2〇3、A1N或玻璃等。然後,將該等支持構件29固定在該 12 1276210 印刷電路板14之前方表面,且將該等黏著片設置在該印刷 電路板14與該等支持構件29之間,以將該等支持構件29固 定於該印刷電路板14上。接著,將該等支持構件29壓抵於 該印刷電路板14之前方表面,而該壓力可設定為如等於或 5 小於 1.96x10_3[Pa]。 其次,將該LSI晶片21安裝在該印刷電路板14之前方表 面,且可使用如Sn-37Pb之焊接材料作為該等導電端子23。 該等導電端子23係事先連接在該LSI晶片21之底面上,再將 各個導電端子23放置在該導電墊24上。接著對該等導電端 1〇子23加熱,且溫度之最大值係設定為如等於或小於攝氏230 度。因此,該等導電端子23將會熔化,然後該等導電端子 23會變硬或硬化。依此方式,可將該LSI晶片21安裝在該印 刷電路板14上。 接著,將該未填滿材料膜25放置在該LSI晶片21與該印 15刷電路板14之間,且可製備一液態之熱固性樹脂材料以填 充該LSI晶片21與該印刷電路板14之間的空間,以產生該未 真滿材料膜25。該樹脂材料主要含有環氧樹脂,且當對該 樹脂材料施加如攝氏150度之熱時,該樹脂材料會變硬。依 此方式,該未填滿材料膜25可藉由該硬化樹脂材料而形成 20在該LSI晶片21與該印刷電路板14之間。 然後,將該第二金屬膜28疊置在該散熱器15之相對表 面的一預定範圍上,且在該散熱器15之相對表面上形成一 厚度大約為3μιη之Ni膜。接著,在該Ni膜之表面上形成_ 厚度大約為3μπι之Au膜。此時使用如電鍍法形成該等妬及 13 1276210
Au膜,如此,該等Ni及Au膜可提供前述第二金屬膜28。 接著,將該第一金屬膜27疊置在該LSI晶片21之前方表 面上,且在該LSI晶片21之前方表面上形成一厚度大約為 500nm之Ti膜。接著,在該Ti膜之表面上形成一厚度大約為 5 之Au膜。此時使用如濺鍍法形成該等丁丨及八口膜,如此, 該專Ti及Au膜可提供前述第二金屬膜μ。 在此,該散熱器15可由如無氧銅製成,且由該等见及 Au膜製成之第二金屬膜28係用以避免該散熱器15之相對表 面氧化’而該等第一與第二金屬膜27、28係用以改善該聯 10 結材料26之濕潤性。 然後’將該散熱器15安裝在該LSI晶片21之前方表面, 且將該聯結材料26放置在該等第一與第二金屬膜27、28之 間’以將該散熱器15安裝在該LSI晶片21上。該聯結材料26 係形成為’例如,片狀。在此,該聯結材料26可由如In-10Ag 15製成。接著,將多數黏著片同時設置在該散熱器15與該等 支持構件29之間,且將該等支持構件29壓抵於該印刷電路 板14之前方表面,而該壓力可等於或小於如丨96xl〇-3[pa]。 然後對該散熱器15與該LSI晶片21加熱,使該聯結材料26熔 化而該聯結材料會在冷卻之後變硬或硬化。依此方式, 20該散熱器15可安裝在該LSI晶片21之前方表面上。 然後’將該等導電端子18連接在該印刷電路板14之背 面上’且該等導電端子18係由一如Sn-37Pb之焊接材料製 成°此時對該等導電端子18加熱,且該溫度之最大值係設 定為如大約攝氏230度,而該等導電端子18會因此熔化。當 14 1276210 冷卻後,該等導電端子18變硬或硬化。依此方式,該等導 電端子18可連接於該印刷電路板14之背面。至此完成了該 電子組件封裝體13之製造。接著,將該電子組件封裝體13 安裝在該印刷電路板12之前方表面上。 5 這種電子組件封裝體13以前述方式使用由Ιη-lOAg製 成之聯結材料26,因此,該聯結材料26可具有攝氏230度之 液相溫度,如第3圖所示。由Sn-;37Pb製成之導電端子18、 23通常會在等於或小於如攝氏230度之溫度範圍内熔化。因 此,即使加熱熔化該等導電端子18、23,該聯結材料26亦 10 可以可靠地防止二次熔化。只要該聯結材料26之液相溫度 或熔點設定成高於該等導電端子18、23之熔點,則可在該 第一金屬膜27中省略一Ni膜。該第一金屬膜27之結構可以 較以往更加簡化。 另一方面,如果使用In-5Ag或In-7Ag作為該聯結材料 15 26,則該聯結材料26可具有攝氏160或200度之液相溫度, 如第3圖所示。換言之,該聯結材料26之溶點係設定成低於 該等導電端子18、23之熔點。即使使用一有機基板作為該 印刷電路板14,該聯結材料26可在該印刷電路板14之耐熱 溫度之範圍内熔化。該聯結材料26亦可在該電子組件,即 20 該LSI晶片21之耐熱溫度之範圍内熔化。只要該聯結材料26 之熔點依此方式設定成低於該等導電端子18、23之熔點及 該印刷電路板14與該LSI晶片21之耐熱溫度,則可避免該等 導電端子18、23之二次熔化與該印刷電路板14與該LSI晶片 21之毁壞。 15 1276210 特別地,In具有低於Pb之彈性係數,且In具有由Pb之 彈性係數四分之一至二分之一的彈性係數。即使因為在該 散熱器15與該LSI晶片21之間的熱膨脹係數差而在該散熱 器15與該聯結材料26之間的界面處以及在該聯結材料26與 5 該1^1晶片21之間的邊界處施加應力,該聯結材料26亦可以 可罪地以一充分之方式吸收該應力。此外,在該散熱器15 與該聯結材料26之間以及在該聯結材料26與該LSI晶片21 之間的分離亦可避免。 其次,本發明人已觀察到相對於該聯結材料26之組成 10成分產生空洞之情形。本發明人在該觀察中準備了本發明 之第一至第四例以及一比較例,且在第一例中係使用 In-5Ag來形成該聯結材料26,而在第二例中係使用In_7Ag 來形成該聯結材料26。又,在在第三例中係使用111_10八§來 形成該聯結材料26,且在第四例中係使用迅-丨5Ag來形成該 15聯結材料26,而在該比較例中係使用In-3Ag來形成該聯結 材料26。在該第一至第四例與該比較例中之聯結材料係設 置在該散熱器15與該LSI晶片21之間,且該等接觸表面係可 在該等聯結材料26與該散熱器15之間以肉眼觀察。 如第4圖所示,在該比較例中,於該聯結材料之接觸表 20面中產生了大量的空洞。如第5圖所示,與該比較例相較, 在第一例中’接觸表面中產生較少的空洞,而在第二例中 空洞之數目比第一例更少,如第6圖所示。在第三例中,空 洞之數目再次減少,如第7圖示,而在第四例中的接觸表面 上幾乎看不到空洞,如第8圖所示。 16 1276210 由前述觀察可發現空洞會隨著在該聯結材料26總重中 之Ag含量增加而減少,換言之,該聯結材料26之濕潤性會 隨著在該聯結材料26中之Ag含量增加而改善。由第3圖可確 認空洞隨著在該等固相與液相溫度間之差變大而減少,且 5 較少之空洞使該散熱器15與該聯結材料26之間以及該LSI 晶片21與該聯結材料26之間可以可靠地接觸而不需要添加 如助熔劑之活化劑。如此,該散熱器15可以有效地接受來 自該LSI晶片21之熱。 其次,本發明人已測量出該聯結材料26之熱阻抗。本 10 發明人為該測量準備了本發明之一特定例與第一至第三比 較例。在該特定例中使用的是In-1 〇Ag,且在第一比較例中 使用的是In-48Sn。又,在第二比較例中使用的是In_2〇pb, 且在第三比較例中使用的是Sn-2〇Pb、Sn-95Pb與Sn-20Pb之 多層膜。接著,對該特定例與該等第一至第三比較例進行 15 熱阻抗[°c/w]之測量。 該特定例出現之熱阻抗等於〇 · 03 83 [ l / w ],且第一比較 例所得到之熱阻抗為〇.〇696[°C/W]。又,第二比較例所得到 之熱阻抗為〇.〇543[。(:/|],且該第三比較例出現之熱阻抗為 0.0545[X:/W]。該特定例具有一小於該等第一至第三比較例 20之熱阻抗,因此該特定例之聯結材料26具有一優於一由習 知烊接材料製成之聯結材料的熱傳導性。由該測量可知這 種聯結材料26使熱可由該LSI晶片21有效地傳送至該散熱 器 15。 “、 其次,本發明已觀察到在該聯結材料26之厚度與熱阻 17 1276210 抗之間的關係,且本發明人為該觀察準備了一特定例及第 一至第三比較例。在該特定例中使用的是In-10Ag,且在該 第一比較例中使用的是Sn-37Pb、Sn-95Pb與Sn37Pb之多層 膜。又’在該第二比較例中使用的是Sn-2〇pb,且在該第三 5比較例中使用的是In_52Sn。本發明人為特定例與第一至第 二比較例各準備了三個厚度分別為1〇〇μπι、2〇〇μηι與250μηι 之樣本。接著,對該等例之各樣本進行熱阻抗pc/W]之測 量。 如第9圖所示,不論是任何的樣本,該特定例均具有小 10 於第一至第三比較例之熱阻抗。這證明了該特定例之聯結 材料26具有優於一由習知焊接材料製成之聯結材料的熱傳 導性。因此,該散熱器15可有效地接受來自該LSI晶片21之 熱。 I:圖式簡單説明]j 15 第1圖是示意地顯示一主機板之結構的立體圖; 第2圖是沿第1圖之線2·2所截取之截面圖,且示意地顯 示一電子組件封裝體之結構; 第3圖是一表,顯示與Ag含量有關之液相與固相溫度, 第4圖是一射線照片,顯示在一比較例中之一聯結材料 20與一散熱器之間的接觸面; 第5圖是一射線照片,顯示在一第一特定例中之一聯結 材料與一散熱器之間的接觸面; 第6圖是一射線照片,顯示在一第二特定例中之一聯結 材料與一散熱器之間的接觸面; 18 1276210 第7圖是一射線照片,顯示在一第三特定例中之一聯結 材料與一散熱器之間的接觸面; 第8圖是一射線照片,顯示在一第四特定例中之一聯結 材料與一散熱器之間的接觸面;及 5 第9圖是顯示在該聯結材料之厚度與該聯結材料之熱 阻抗之間之相關性的圖。 【主要元件符號說明】 11...主機板 19...導電墊 12···印刷電路板 21...LSI 晶片 13...電子組件封裝體 22...球格柵陣列 14···印刷電路板 23...導電端子 15...散熱器 24···導電墊 15a...熱接受器 25...未填滿材料膜 15b···翼片 26...聯結材料 16...空氣通道 27...第一金屬膜 17...球格柵陣列 28...第二金屬膜 18...導電端子 29...支持構件 19

Claims (1)

1276210 十、申請專利範圍: L 一種電子組件封裝體,包含: 一印刷電路板; 一電子組件,係安裝在該印刷電路板上表面上; 一導熱構件’係被收納在該印刷電路板上之電子組 件之上表面上;及 聯結材料,係没置在該電子組件與該導熱構件之 ® 間’且該聯結材料係由含量範圍超過3wt%之Ag及In之 材料製成。 10 2 1 •如申請專利範圍第1項之電子組件封裝體,其中該聯結 材料之熔點低於一連接該電子組件與該印刷電路板之 端子的熔點。 3·如申睛專利範圍第1項之電子組件封裝體,其中該聯結 材料之熔點低於該電子組件之耐熱溫度。 15 4· 一種聯結總成,包含·· % 一第一構件,具有一至少部份地暴露在該第一構件 之表面上第一金屬; 一第二構件,具有一至少部份地暴露在該第二構件 之表面上第二金屬,且該第二構件係在該第二金屬處收 2〇 納在該第一金屬上;及 一聯結材料,設置在該等第一與第二金屬之間,且 該聯結材料係由含量範圍超過3wt%之Ag及In之材料製 成0 20
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5211457B2 (ja) * 2006-09-19 2013-06-12 富士通セミコンダクター株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP4553032B2 (ja) * 2008-05-12 2010-09-29 株式会社デンソー 負荷駆動装置
JP5447175B2 (ja) 2010-05-17 2014-03-19 富士通セミコンダクター株式会社 半導体装置
US20120126387A1 (en) * 2010-11-24 2012-05-24 Lsi Corporation Enhanced heat spreader for use in an electronic device and method of manufacturing the same
JP5983032B2 (ja) * 2012-05-28 2016-08-31 富士通株式会社 半導体パッケージ及び配線基板ユニット
JP6036083B2 (ja) * 2012-09-21 2016-11-30 株式会社ソシオネクスト 半導体装置及びその製造方法並びに電子装置及びその製造方法
JP6056490B2 (ja) * 2013-01-15 2017-01-11 株式会社ソシオネクスト 半導体装置とその製造方法
JP5796627B2 (ja) * 2013-12-27 2015-10-21 株式会社ソシオネクスト 半導体装置とその製造方法
US9401590B2 (en) * 2014-01-06 2016-07-26 Hamilton Sundstrand Corporation Heat sink for contactor in power distribution assembly
CN108260273A (zh) * 2016-12-29 2018-07-06 盟创科技股份有限公司 网络通讯装置及其电子模组与散热基板结构

Family Cites Families (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4034469A (en) * 1976-09-03 1977-07-12 Ibm Corporation Method of making conduction-cooled circuit package
US4265775A (en) * 1979-08-16 1981-05-05 International Business Machines Corporation Non-bleeding thixotropic thermally conductive material
JPS6332956A (ja) * 1986-07-26 1988-02-12 Nec Corp パツケ−ジ
JPS63192250A (ja) * 1987-02-04 1988-08-09 Hitachi Ltd 熱伝導冷却モジユ−ル装置
US4869954A (en) * 1987-09-10 1989-09-26 Chomerics, Inc. Thermally conductive materials
US4914551A (en) * 1988-07-13 1990-04-03 International Business Machines Corporation Electronic package with heat spreader member
US5213715A (en) * 1989-04-17 1993-05-25 Western Digital Corporation Directionally conductive polymer
US5538789A (en) * 1990-02-09 1996-07-23 Toranaga Technologies, Inc. Composite substrates for preparation of printed circuits
US5213868A (en) * 1991-08-13 1993-05-25 Chomerics, Inc. Thermally conductive interface materials and methods of using the same
KR960003764B1 (ko) * 1992-03-06 1996-03-22 신꼬오 덴기 고오교오 가부시끼가이샤 전자부품용 패키지의 메탈벽 형성방법
JP3039584B2 (ja) * 1992-07-03 2000-05-08 株式会社日立製作所 半導体集積回路モジュールの組立方法
US5527998A (en) * 1993-10-22 1996-06-18 Sheldahl, Inc. Flexible multilayer printed circuit boards and methods of manufacture
US5551627A (en) * 1994-09-29 1996-09-03 Motorola, Inc. Alloy solder connect assembly and method of connection
JPH08130267A (ja) * 1994-11-01 1996-05-21 Mitsubishi Electric Corp 樹脂封止型半導体パッケージ、それを用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
JPH0970687A (ja) * 1995-07-04 1997-03-18 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 無鉛はんだ合金
US5736790A (en) * 1995-09-21 1998-04-07 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor chip, package and semiconductor device
US5730932A (en) * 1996-03-06 1998-03-24 International Business Machines Corporation Lead-free, tin-based multi-component solder alloys
KR980006783A (ko) * 1996-05-13 1998-03-30 이. 힐러 윌리엄 저가의 위상 고정 모터 제어 방법 및 구조
JPH09306954A (ja) * 1996-05-20 1997-11-28 Hitachi Ltd 半導体装置及びその実装方法並びに実装構造体
AU6279296A (en) * 1996-06-12 1998-01-07 International Business Machines Corporation Lead-free, high tin ternary solder alloy of tin, silver, and indium
US20010002982A1 (en) * 1996-06-12 2001-06-07 Sarkhel Amit Kumar Lead-free, high tin ternary solder alloy of tin, silver, and bismuth
US5738936A (en) * 1996-06-27 1998-04-14 W. L. Gore & Associates, Inc. Thermally conductive polytetrafluoroethylene article
US5786635A (en) * 1996-12-16 1998-07-28 International Business Machines Corporation Electronic package with compressible heatsink structure
US6114413A (en) * 1997-07-10 2000-09-05 International Business Machines Corporation Thermally conducting materials and applications for microelectronic packaging
JP2000012748A (ja) * 1998-06-22 2000-01-14 Hitachi Ltd 電子回路装置
KR100315023B1 (ko) * 1998-12-26 2002-04-24 박종섭 스택패키지의리드프레임접합장치및이를이용한접합방법
US6176947B1 (en) * 1998-12-31 2001-01-23 H-Technologies Group, Incorporated Lead-free solders
US6706219B2 (en) * 1999-09-17 2004-03-16 Honeywell International Inc. Interface materials and methods of production and use thereof
JP2001127074A (ja) * 1999-10-29 2001-05-11 Hitachi Ltd 半導体装置及びそれを用いた全波整流装置
US6365973B1 (en) * 1999-12-07 2002-04-02 Intel Corporation Filled solder
JP2001308215A (ja) * 2000-04-24 2001-11-02 Ngk Spark Plug Co Ltd 半導体装置
US6724078B1 (en) * 2000-08-31 2004-04-20 Intel Corporation Electronic assembly comprising solderable thermal interface
JP2003112288A (ja) * 2001-10-03 2003-04-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 銀鑞材料
US7311967B2 (en) * 2001-10-18 2007-12-25 Intel Corporation Thermal interface material and electronic assembly having such a thermal interface material
US6504242B1 (en) * 2001-11-15 2003-01-07 Intel Corporation Electronic assembly having a wetting layer on a thermally conductive heat spreader
US7036573B2 (en) * 2002-02-08 2006-05-02 Intel Corporation Polymer with solder pre-coated fillers for thermal interface materials
US7436058B2 (en) * 2002-05-09 2008-10-14 Intel Corporation Reactive solder material
US7029358B2 (en) * 2002-06-28 2006-04-18 Canon Kabushiki Kaisha Hermetic container and image display apparatus using the same
JP3761846B2 (ja) * 2002-07-11 2006-03-29 内橋エステック株式会社 合金型温度ヒューズ及び温度ヒューズエレメント用線材
US20060151580A1 (en) * 2002-11-18 2006-07-13 James Flint Coating compositions for solder spheres, powders and preforms, methods of production and uses thereof
US7210227B2 (en) * 2002-11-26 2007-05-01 Intel Corporation Decreasing thermal contact resistance at a material interface
US6841867B2 (en) * 2002-12-30 2005-01-11 Intel Corporation Gel thermal interface materials comprising fillers having low melting point and electronic packages comprising these gel thermal interface materials
CN1799107A (zh) * 2003-04-02 2006-07-05 霍尼韦尔国际公司 热互连和界面系统,其制备方法和应用
US7030485B2 (en) * 2003-06-26 2006-04-18 Intel Corporation Thermal interface structure with integrated liquid cooling and methods
US7218000B2 (en) * 2003-06-27 2007-05-15 Intel Corporation Liquid solder thermal interface material contained within a cold-formed barrier and methods of making same
US20060113683A1 (en) * 2004-09-07 2006-06-01 Nancy Dean Doped alloys for electrical interconnects, methods of production and uses thereof

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