TWI267029B - Systems and methods for manufacturing control using radio frequency identification - Google Patents

Description

1267029 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於用於半導體製造環境之生產控制，特別是有關於使用 射頻識別感應操作來進行生產控制的系統與方法。 【先前技術】 在晶圓廢裡，每-晶圓批次上都有標示晶圓批次編號，而各個加工機 台就依據晶圓批次編號，選擇對應之製程加工程式（recipe)，來進行曰圓 的加工。晶圓批次編號的確認，在自動化的晶圓加工機台更是至關^^ 晶圓批次編號辨識或輸入的錯誤，將使得機台使用不適當的製程加工程 來進行晶圓加王，驗過錯誤製餘碎式處理過的細產品，^ 成了機台產能以及成本的耗費。 n 在傳統的晶圓廠中，載具上通常貼附_智慧標蕺㈣ 戴中储存賴料包含：載具龍（例域«職訊及鮮清_間等= 鮮的知=广Ϊ式貝科）。在每—個晶職具上，財载有晶圓批次 ®载具運_機台载卸部時，上述儲存轉慧㈣ 中的貧料，需藉由裝設於處理機台之 、…、不戴 讀取的資料，傳送至—控制裝置取機來讀取。並將 指令，處理該晶圓載具中的晶圓片。通據該控制裝置發出的 外，還必難設―顯示絲，使得_人料知有智慧標籤之 近來出現崎賴識⑽來_物件的；^ 帽存的内容。 _’其 _取_:::==:

0503-A30848TWF

5 1267029 此日守會自動啟動-自動運輸裝置，將對應的晶圓送至該機台載卸部。當晶 圓盒經過射賴观應n時’婦賴观魅常常就自動讀取其射頻識 別標射的資訊，並自動啟_自動運輸裝置，而不論該晶中所裝載 的晶圓是轉預定送至該勤進行處理的。此觀作方式，f會造成錯誤， 亚可能因為自動啟動如顧手料運輸裝置畴致工作人貞的危險。 【發明内容】 有鑑於此’本發明的主要目的就是提供—種使用射賴別（_ 峋建yide疏如，娜）之製造控制魏，其可以以鋪控制的方式， 使用射頻識別感應操作來進行生產控制。 為達上述目的，本發明提供了—種使祕頻制（Mi。 identic . 1«,,. 控織、及指示器。其中該觸發器，當其藉由使用者接觸而被啟動時，發 出-觸發訊號’其中該觸發器包含—按紐及/或—觸控面板。該射頻識別感 應益’當其被啟動時，讀取-射賴別標籤中儲存的資訊，例如產品識別 貧料。該控制器，其係用以啟動該射頻識別减 " 忒應為，亚依據該觸發訊號發 出-控制訊號。該指示器，其接收該控制訊號，並據以動作，其 射頻識別感應器之操作狀態及/或該控制訊號内容之指示气 ^ ^ 器包含一指示燈及/或液晶顯示幕。 化/、中該扣不 本發明提供之製造控幅統係可以進_步包含_機台，1 附有該射頻識別標籤的一物品，其中該機台呈 ^ ’、巧初im載卸部。而兮撼a 所處理的物品係為轉體產品。該機台及/或該鱗部之操作雜 品之最新資訊可以由上述指示訊號表示之。 心 本發明提供之製造控制系統係可以進_步一主 ^ 結，用以依據該鋪H提供之資訊控繼機台之運作。私舆雜制器連 為達上述目的，本發明亦提供了-種用於射頻識別的方法。該方法首 0503-A30848TWF 6 1267029 級供-物品，其_有_射賴顺籤，該物品為半導·品。繼之， 藉由使用者接觸而啟動—類似如按_觸控面板之觸發器，並由該觸發器 發出-觸發訊號。依據_發訊號，讀取—射頻識別標籤帽存的資訊， 例如產品識職料。提供-指示訊號，其制以顯示-射頻識別感應器之 #作《及/或該射頻識別標籤帽存师訊。該指示訊號係可以由一指示 燈及/或液晶顯不幕所提供。 t本發明提供之祕軸酬的方法並進—步將賴職籤中儲存 的貝訊傳达至-主機，其係肋依據該控彻提供之資訊控觸機台之運 【實施方式】 為了讓本發明之目的、特徵、及優點能更明顯易懂，下文特舉較佳 :例’並配合所關示第1 第2圖’做詳細之綱。本發明說明書提 漱例來制本發明不同實施方式的技娜徵。其中，實施例中 ^ 7L件之配置係為_之用，並義以關本發明。且實_中圖式標 5儿之:分^复’係為了簡化說明，並非意指不同實施例之間的關聯性。 主，首照第1圖，其顯示依據本發明實施例之製造系統的示意圖。兹以 半V體製造系統1〇〇為例，$ 传用以n η制 貫施。上述半導體製造系統100 知用以執仃晶圓製程，以處理至少一晶圓。 嬙κ半導體衣以系統1〇0包含一處理機纟10、一射賴別讀取機13、-主 機15、及一運輸裝置12。 土 胸㈣製程轉，轉理至少—晶圓。處理機台 ^ μ载卸邛101裝有射頻識別標籤（RFID)讀取機13。 批二運2用以將待處理的晶圓批次載入處理機台10，並將處理過的晶圓 ^答配運彳^；：雜賊手f (圖絲及運輪裝置 于由曰曰®運輪裝置12運送到處理機台10的晶圓批次，

0503-A30848TWF 1267029 可以藉由機械手臂將晶圓批次載入處理機台10進行處理。 射頻識別讀取機13包含-觸發器13卜射頻識別感應器133、指示器 出、及控制器137。觸發器131包含一按叙、觸控面板、或其他可以藉由D 使用者接觸而啟動的觸發裝置。當觸發器m藉由使用者接觸而被啟動I 其開始一特定操作’並發出一紐訊號。例如，觸發器131包含按鈕13la， 其發出之職域係使得物品藉域卸部1G1載人。觸發器ΐ3ι包含按金 131b其發出之觸發訊號係使得物品藉由載卸部1⑴運出。觸發器η丨包 含按鈕13lc，»出之觸發訊號係使得射頻識別感應器]% 二 別標籤中的資訊。 、 指示器135提供載卸部101及/或透過控制器137取得之其他關連系统 之相關資訊。指示器135包含指示燈135a、顯示幕挪、以及其他能 示從控制器U7傳來之資訊的指示裝置。例如，指·挪係發出呈林 同閃爍型態的燈號及/或不嶋色的燈光訊號，以依據該觸發訊號，提供用 以提不載却部101的操作狀態及/或射賴別感應器133的操作狀態的指示 訊號。顯示幕⑽醜示文字資訊細表資訊，簡示從控繼137送來 的各種資訊。 ' 控制态137係依據觸發器131傳來的該肖_ 丨子+日7為觸毛汛旒，啟動射頻 器133，並控制指示器135的操作。 取刎以應 當欲將晶圓批次165送至處理機台1〇進行處理時，一操作人 晶圓批次165的晶圓盒16放置於载卸部1〇1。其中，上述晶圓盒= 一開放式晶圓盒。該操作人員按壓按鈕131&吏兑 I … 出觸發訊號，以傕得 射頻識別感應器133讀取晶圓盒16上一射頻嗜|庐 义忖 工耵別铽織161中 識別標籤⑹中儲存的資訊包括晶圓批次識別碼、產品識別碼及其他 相關資訊。從射頻識別標籤161中讀取的資^L祐值 /' 、0貝汛被傳迗到控制器137，以及主 機15。主機15接收該資訊，並針對晶圓批次165 序（cheek-in)，鎌傳送-操作指令到處理機台丨★、的確$登入程 乂控制處理機台1〇

0503-A30848TWF 8 1267029 ,的^作。主機15亦可以發出-運作訊號到控制器137。控制器137接收該 P1 K號並啟動指示斋135，以顯示處理機台1〇的操作狀態。當處理機 口 10凡成晶圓批次165的處理程序時，即產生另一操作訊號，並將該操作 蝴專送耻機15以及控織137。繼之，指示器135被啟動，以顯示處 理機口 ίο的操作狀態。因此，操作人員可以從指示器135的顯示中，得知 處理機u 10的插作狀態。3外，操作人員可以在晶圓處理前、處理中、以 t處^後’按難紹31e，使其發出職職，贿得射賴碱應器⑶ :取曰曰圓盒16上-射賴別標籤161中的資訊。例如，在晶圓處理前，當 Φ #作"^員按壓按紐131c時’控制器137觸發射賴別感應器I33，使其讀 取曰曰圓盒16上-射賴別標籤161中的資訊，並將該讀取之資訊傳送到主 ^ 15。主機15執行預先設定的詢問功能，並提供回復資訊給控制器137， !之使^不為1;35顯不其結果資料。因此，在執行處理程序前，操作人員 σ、在載卸^期旁’依據指示為出顯示的該結果資料，確認該晶圓批 次的狀態。 ^第2圖顯示本發明提供之用於射頻識別的方法。第2圖所示的方法， 係可以於第1圖中的半導體製造系統1〇〇中實施。 ，據本發明方法，首先於步驟S2G中提供_物品，其係附有—射賴 攀繼籤，該物品為半導體產品。例如，裝在晶圓盒16中的晶圓批次165， =中晶圓盒丨6上附有射頻識別標籤161。當欲將晶圓批次i6s送至處理機 口 〇進行處理B寸，-插作人員將裝有晶圓批次165的晶圓盒16放 卸部101。 '執 繼之，藉由使用者接觸而啟動一類似如按鈕或觸控面板之觸發器（步 驟S2i)。並由該觸發器發出—觸發訊號，並將該觸發訊號傳送至控制二 137(步驟 S22)。 制杰137接收該觸發訊號，並據以啟動射頻識別感應器，使其讀 取晶圓盒16上-射賴別標籤⑹中的資訊。射頻識別標籤i6i中儲存=

0503-A30848TWF 9 1267029 .資訊包括晶ai批次識別碼、產品識別碼、以及其他與晶難次ί65相關的 資訊。 Ρ 從射頻識別標藏161中讀取的資訊被傳送到控制器137 (步驟則， 以及傳送至主機15(步驟S24)。 主機15接收該資訊，並針對晶圓批次165執行—必須的確認登入程序 (如触）、確認登出程序（如成刪）、或資料詢問程序（步驟則， 然後傳送-操作指令到處理機台1G，以控制處理機台Μ的運作（步驟 測，或將該資料詢問程序得到的結果資料傳回控制器π，並使得指示 益出顯示該結果資料的内容。當執行確認登入程序時，處理機㈣接收 谢呆作指令’並依據該操作指令執行其操作程序（步驟防）。並且，主機 操倾號137(步驟叫_ _收該操作訊號， ^曰:135 ’以使得指示器135顯示處理機台10的操作狀態（步驟 T产胳機台10完成晶圓批次165的處理程序時，即產生另-操作 ^亚將該操作訊號傳送到主機15以及控制器137。繼 :動以^示處理機台1G的操_ (步_)。操作人綱按紐 l«31b，以執仃一確認登出程序。 何孰已以較佳實施例揭露如上’然其並非用以限定本發明，任 潤飾因#可綱之更動與 月之保她圍當視_之”專鄕圍所界定者為準。

0503-A30848TWF 10 1267〇29 3式簡單說明】 第1圖顯示依據本發明實施例之製造系統的示音囷 第2圖顯示依據本發明實施例之躲射軸別^法的流程圖 【主要元件符號說明】 半導體製造系統〜100; 射頻識別讀取機〜13; 運輪裝置〜12 ; 射頻識別標籤（RFID)讀 運輪裝置〜12 ; 射頻識別感應器〜133 ; 控制器〜137 ; 指示燈〜135a ; 晶圓批次〜165 ; 射頻識別標籤〜161。 處理機台〜10 ; 主機〜15 ; 載卸部〜101 ; 機〜13 ; 觸發器〜131 ; 指不器〜135 ; 按紐〜131a、131b、131c ; 顯不幕〜135b ; 晶圓盒〜16 ;

0503-A30848TWF

Claims (1)

1267029 十、申請專利範圍： 1.―種使職賴別（radiGfreq職eyidentifieatiQn,mD)之制 制系統，其包括： 衣k徑 觸發器，當其藉由使用者接觸而被啟動時，發出一觸發訊號； …射賴碱應ϋ，當其被啟糾，讀取_射賴別賊巾儲存的資 afL y 、 —控制器’其侧以啟動該射賴观應器，並依據該觸發訊 一控制訊號；以及 "

〜一指不H，其接收驗制訊號，並細動作，其並提供該軸識別感 應器之操作狀態及/或該控制訊號内容之指示訊號。 2·如申請專繼圍第1項所述之使祕頻識別之製造控制系統，進一 步包含-機台，其仙以處卿有該射頻朗標籤的_物品，其中該機台 具有一物品載卸部。 3·如申請專利翻第2項所述之使用射頻識別之製造控制系統，其中 該物品為半導體產品。 4·如申明專利範圍第2項所述之使用射頻識別之製造控制系統，進一 步包含-主機，其係與該控繼賴，用贿據該㈣器提供之資訊控制 該機台之運作。 5·如申請專利範圍第2項所述之使用射頻識別之製造控制系統，其中 該指示器提供該機台及/或該載卸部之操作狀態及/或該物品之最新資訊的 指示訊號。 6·如申請專利範圍第1項所述之使用射頻識別之製造控制系統，其中 该射頻識別標籤中儲存的資訊包含產品識別資料。 7·如申請專利範圍第1項所述之使用射頻識別之製造控制系統，其中 該觸發器包含一按鈕。 8·如申請專利範圍第1項所述之使用射頻識別之製造控制系統，其中 0503-A30848TWF 12 1267029 該觸發器包含一觸控面板。 9.如申請專利範圍第1項所述之使用射頻識別之製造控制系統，其中 该指示器包含一指示燈。 10·如申請專利範圍第1項所述之使用射頻識別之製造控制系統，其中 該指示器包含一液晶顯示幕。 11· 一種用於射頻識別的方法，其包括： 提供一物品，其係附有一射頻識別標籤； 藉由使用者接觸而啟動一觸發器，並由該觸發器發出一觸發訊號· 依據該觸發訊號，讀取一射頻識別標籤中儲存的資訊；以及 提供-指示峨，其制靖示-射賴观魅之操作麟及/或該 射頻識別標籤中儲存的資訊。 〜 人 丄丄如T睛寻利乾b丄上π厂川am」 供一半導體產品，其係附有一射頻識別標籤。 13·如申請專利範n η項所述之麟射賴別的方法，進—牛將刻 頻識別減帽存的資轉鞋—域，其制贿據該控_祕= 訊控制該機台之運作。 σσ '、 進一步包含讀 m·如申請專利範圍n項所述之用於射頻識別的方法 取該射頻識別標籤中儲存的產品識別資料。 進一步包含藉 15. 如申請專利範圍^項所述之用於射頻識別的方法 由使用者接觸而啟動-按紐，以發出該觸發訊號。 進一步包含藉 16. 如申請專利範圍u項所述之用於射賴別的方法 由使用者制祕動-赌面板，贿岭觸發訊號。 2如巾請專卿u項所述之_賴職方 ==:以顯示-射頻識別感應器之操作編或‘ 18·如申請專利範圍u頊所十 辑34之用於射頻識別的方法，進-步包含隹 0503-A30848TWF 13 1267029 , 動一液晶顯示幕，以顯示一射頻識別感應器之操作狀態及/或該射頻識別標 籤中儲存的資訊。

0503-A30848TWF 14