TWI264535B - Acceleration sensor - Google Patents

Description

1264535 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是一種關於是用來檢測出彼此互相垂直的3軸 的加速度之加速度感測器。 【先前技術】 提案有各種關於用來檢測出3軸方向亦即三次方的所 Φ 謂X軸、γ軸、z軸3軸方向的加速度之加速度感測器。 例如，在專利文獻1揭示有依據彼此相對面的固定電極和 可動電極之間的靜電容量變化，檢測出加速度之加速度感 測器的速度。據此，在與固定電極或可動電極任一方的電 極與另一方的電極相對面的面上設置駐極體膜，在加速度 的施加時，以供給變位至可動電極的方式，在與固定電極 相對向側的面上具備重物並且與重物的重心之投影位置作 爲交點，沿著彼此垂直的垂直軸分割沒有設置駐極體膜的 • 另一方電極而構成。如此，藉由分割設計一方的電極，並 依據已經被分割之電極的靜電容量變化，檢測出複數軸的 加速度。 [專利文獻1 ]日本特開平10-10150號公報（第1至3 圖，第7至22段落） 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 如上述的駐極體電容式麥克風（Electret Condenser -4 - 1264535 • (2) ' Microphone)(以下稱爲「ECM」）型的加速度感測器或 振動感測器是使用在計步器或振動器等各種用途。然後， 期望與一般的感測器相同，具有感測器之感度高。但是， 例如，在計步器等用途中，由於以電池驅動較多，而不期 待豐沛的電源。因此，使用消耗電流較多的放大用1C (積 體電路）等來使電性感度提升較不理想。因此，如果想要 提升機械性感度時，就必須增加慣性力。但是，當增加慣 φ 性力而且放大可動電極的振幅時，將損害落下時等的耐衝 擊性。因而，僅在專利文獻1所表示的基本構造中，無法 充分因應上述的課題，而需要新的構成。 本發明是有鑑於上述課題而硏創著，目的在於提供一 種以簡單的構成，而不會使感測器感度降低且提升耐衝擊 性的3軸加速度感測器。 [用以解決課題之手段] Φ 爲了達成該目的，與本發明有關之加速度感測器的特 徵構成’係於具有導電性的筐體內，具備有：在一方的面 具有固定電極的電極基板；介由用來在與該電極基板之間 設置特定的間隔之間隔件，以與前述固定電極相對向的一 方的面作爲可動電極的振動板；以及設置於該振動板的另 一方的面之中央部的重物，依據前述固定電極與前述可動 電極之間的靜電電容的變化，檢測出彼此互相垂直的3軸 方向之加速度的加速度感測器，其特徵在於：前述固定電 極係由··以通過前述重物的重心且與前述電極基板垂直的 -5- (3) 1264535 第一軸作爲中心的環狀之第一固定電極；以及在前述電極 基板與前述第一軸的交點上互相垂直之同時，藉由與前述 第一軸垂直的第二軸及第三軸相對，構成45度的角度之 分割軸，各自分割爲二的第二固定電極及第三固定電極所 構成’覆蓋前述固定電極的表面，於前述電極基板設置駐 極體層之點。 根據該特徵構成，與本發明有關的加速度感測器，係 # 由於設爲利用駐極體的駐極體電容式麥克風（Electret Condenser Microphone )(以下，ECM )型的構造，因此 可以直接電壓輸出靜電容量。因而，不需藉由高價的靜電 容量一電壓電換電路（CV變換電路），而可直接將ECM 的輸出電壓直接輸出到價格低廉的通用的運算放大器等。 C V變換電路係以專用的ic (積體電路）等所構成的較 多，雖然提供以一個1C可以處理3軸份量的信號，但是 消耗電流大於數毫安培。因此，在將該加速度感測器組裝 # 到電池驅動裝置時，將使電池的消耗快速，較不理想。若 爲一般通用的運算放大器，則消耗電流少於數毫安培，較 爲理想。又，ECM型在振動板（可動電極）與固定電極之 間，不需要用來施加偏壓電壓的偏壓電路，由於使電路簡 潔化，也可以降低成本，因此較爲理想。 在此，不須從前述電極基板的表面突出及陷入，而形 成前述固定電極。 駐極體層，例如，藉由塗敷燒成成爲駐極體的氟樹脂 的水性分散液或黏貼氟氣薄膜等，形成於電極基板的表 -6- (4) 1264535 面。在電極基板雖藉由銅箔等設置有固定電極，但這是因 爲一般藉由蝕刻等在絕緣物即玻璃環氧製的基材上，設置 銅箔的導電圖案之緣故。因而，雖然非常薄，但在基板的 基材上成爲突出銅箔的圖案之形狀。因此，將導致形成於 其上的駐極體層的層厚不均勻。如此一來，將對於所檢測 出的靜電能量、及其結果所輸出的電壓造成影響較不理 想。因此，如本發明，不會發生從基板的基材表面突出及 φ 陷入的狀況，使表面平坦地設置電極圖案的銅箔，而可以 使駐極體層的層壓均勻，較爲理想。 再者，除了以鎳或金電鍍處理以銅箔形成的前述固定 電極之外，另藉由塗敷、燒成氟樹脂的水性分散液，或黏 貼氟系薄膜，形成前述駐極體層較爲理想。- 由於銅的電傳性優良，因此如上述般，一般使用作爲 設置在基板的電極。但較多使用在電極圖案的銅箔’由於 容易氧化、變色，因此將使駐極體的功能降低。特別是在 • 塗敷、燒成駐極體層的氟樹脂的水性分散液時’非常常見 有氧化發黑的現象。又，由於銅箔容易氧化、變色’因此 在黏貼氟矽薄膜之際，銅箔將變色。因此，在進行黏貼氟 矽薄膜或塗敷燒成氟樹脂的水性分散液，進行駐極體的塗 敷之前，以鎳或金等電鍍處理銅箔，較爲理想。 前述振動板係由：位於周邊部，並介由前述間隔件加 以固定的固定部；位於中央部，具備前述重物的振動部； 以及使前述固定部與前述振動部連結的彈性支持部所構 成，前述彈性支持部係由：橢圓形狀的環；在前述橢圓形 (5) 1264535 狀的長軸上連接前述振動部與前述環的桌i樑；以及在 述橢圓形狀的短軸上連接前述固定部與前述環的第2樑 構成。 例如，振動板分割形成爲固定部、振動部與彈性支 部，連結固定部和振動部的彈性支持部’可以藉由具有 桿錨功能的第一樑與第二樑、及連結此等梁的彈性支持 的基部來構成。爲了獲得ECM更多靜電容量之變化， φ 必須採用使振動部的面積變大。因此，將導致彈性支持 特別是在基部所佔有的面積增大較不理想。但是，當縮 基部的面積，也就是使基部變細而形成時，該基部爲了 揮彈簧的作用，而在加速度感測器所檢測出的3軸方向 的第二軸加振時、與第三軸加振時之所謂的XY方向上 在輸出時產生差。因此，如上所述將基部設爲橢圓形狀 環，藉由該環、在該環的橢圓形狀的長軸上連接振動部 環的二個第一樑、在橢圓形狀的短軸上，連結固定部與 # 的二個第二樑，構成彈性支持部，而可將振動部形成 形。結果，不需要藉由電路來修正，使電路構成簡潔較 理想。 再者，前述振動板係於外周部具備用來電性導通前 筐體與前述振動板的突起部，並且在前述突起部的內側 備有在前述突起部與前述筐體的接線垂直的線上具有 口，與前述接線並列之狹幅的狹縫。 在本構成中，雖然必須電性導通筐體與振動板，但 了提升安裝性而在該振動板設置突起部，藉由該突起部 刖 所 持 扭 部 而 部 小 發 內 ， 的 和 環 圓 爲 述 具 缺 爲 接 -8 - 1264535 -(6) 觸於筐體’在安裝的同時，可以導通的方式構成較爲理 想。但是’突起部因爲接受來自筐體的反作用力，對於振 動板施加過度的力，例如使振動板歪斜時，將導致振動板 與固定電極之間的距離不均勻，對於正確的靜電容量變化 的檢測，也就是加速度的檢測，較不理想。因此，緩和來 自筐體的反作用並且確保與筐體之導通的按壓力，在突起 部的內側也就是振動板的中心側具備：在突起部與筐體的 φ 接線垂直的線上具有缺口，且與接線並行的寬度窄的狹 縫。以此方法構成時，狹縫部分形成緩衝部，且具有彈 性，在將振動板按壓到振動板筐體之同時，吸收來自筐體 的反作用較佳。因而，在確保振動板與筐體的導通的同 時，不產生振動板的歪斜較佳。 又，前述重物係形成由圓駐狀的柄部、及以直徑大於 該柄部的大直徑構成圓盤狀之本體部的傘狀，前述柄部的 前端部安裝於前述振動板的中心部，於前述筐體內具備至 • 少與前述柄部或前述本體部中任一個接觸，用來限制前述 重物的過度變位之限制構件的加速度感測器亦可。 再者，前述振動板係由S K材、不鏽鋼、磷青銅、Been 、 T i - C u 中 任一個 所構成 較佳。 在加速度感測器中，雖然利用所施加的加速度使振動 板的振幅較大，但對於輸出時較爲有利，相反地，將施加 落下等過度的衝擊時，具有所謂產生破損的問題。因而， 藉由具備用來限制安裝於振動板的重物之過度變位的限制 構件，可以防止因爲撞擊引起重物之過度變位使振動板破 -9- (7) 1264535 '。又’不僅可以使用PET (聚乙烯對苯二甲酸酯）或 PPS (聚次苯基硫化物）等薄膜作爲振動板，也可以使用 SK材、不鏽鋼、磷青銅、Be_Cu、Ti-Cu等彎曲強度強的 材料’更可提高振動板本身的強度，較爲理想。此外，振 動板與重物的安裝，藉由黏接、電氣溶接、雷射點融接、 鉚接等來進行較佳。 • 【實施方式】 U T依據圖面，說明本發明的加速度感測器之最佳實 方桓形態、°第1圖是表示本發明的實施形態之加速度感測器 的構成例之第2圖的A-A線剖面圖。第2圖是表示第1圖 的振動板2的形狀以及筐體1 〇和振動板2的接觸形態 圖。第3圖是表示第丨圖的振動板2安裝重物1的狀態 圖。第4圖是表示設置在第1圖的加速度感測器的電極基 板之固定電極的配線圖。（a )是上面圖，（b )爲（a ) • 的B_B線剖面圖，第5圖是表示間隔件3的形狀圖。如第 1圖所示，本發明的實施形態之加速度感測器，係在剖面 爲C字型，一方爲底部，另一方具有開口部的導電性筐體 10中，具有：於一方的面具有固定電極的電極基板5、藉 由在該電極基板5之間設置特定間隔的間隔件3，並以與 固定電極相對向之一方的面做爲可動電極的振動板2、以 及設置在該振動板2的另一方的面之中央部的重物1所構 成。然後，依據固定電極（電極基板5 )和可動電極（振 動板2 )之間的靜電容量變化，檢測出彼此垂直的3軸方 -10- (8) 1264535 向的加速度。 在本實施形態中，筐體10如第2圖所示，是與底部 平行的方向之剖面爲方形。又，如第2圖至第5圖所示， 振動板2、電極基板5、間隔件3亦與該方形的筐體丨〇相 合，爲方形。 振動板2不僅可以使用PET (聚乙烯對苯二甲酸酯） 或PPS (聚次苯基硫化物）等薄膜來構成，也可以使用 鲁 SK材、不鏽鋼、鱗青銅、Be-Cu、Ti-Cu等彎曲強度強的 導電性金屬材料所形成。藉由使用強度特性佳的材料，可 以形成如第2圖所示的最佳形狀的振動板2，亦即振動板 2分割形成有：位於周邊部而且介於間隔件3與位置定位 插銷7所固定的固定部2e，位於中央部，且在該中央據具 備重物1 (參照第3圖）的振動部2 a，以及使固定部2 e 與振動部2a連結的彈性支持部2b至2d。彈性支持部2b 至2d是由具有扭桿錨之功能的第一樑2b與第二樑2c以 # 及連結這些粱2b、2c的彈性支持部的基部2d所構成。 又，基部2d是形成橢圓形狀的環狀，第一樑2b是在該橢 圓形狀的長軸上，連接振動部2a與環狀基部2d。第二樑 2c在橢圓形狀的短軸上連接固定部2e與環狀基部2d。此 等長軸與第二軸（X軸）相當，短軸與第三軸（Y軸）相 當。此外，第一軸（Z軸）是與振動板2垂直的方向，也 就是與第一軸及第二軸垂直的方向之軸。 爲了獲得更多振動板2 (可動電極）與電極基板5 (固定電極）之間的靜電容量之變化，而以使振動部2a -11- (9) 1264535 的面積較寬較爲理想。又，由於振動板2以彎曲強度強的 金屬材料所形成，因此爲了獲得充分的振幅，若梁2b、2c 過短，較不理想。必須具有某程度的長度。爲了確保振動 部2 a的面積，以及確保梁2 b、2 c的長度，因此例如以正 圓形狀之非常狹窄的環狀大致形成正圓形的振動部2a、樑 2b、2c及振動部2a連結的基部2d。但是，包含該基部2d 的彈性支持部2b至2d，爲了達成彈簧的作用，因此如上 φ 所述，形成非常細的基部2d而欠缺彈性運動的穩定性， 使在加速度感測器所測出的3軸方向內的第二軸（X軸） 的加振時、和第三軸（Y軸）的加振時之所謂的XY方向 上，在輸出時產生差的可能性提高。 因此，在本實施形態中，如第2圖所示，將基部2d 設爲橢圓形狀的環狀，藉由該環狀的基部2d、在橢圓形狀 的長軸上，連接振動部2a與環狀基部2d的兩個第一樑 2b ;以及在橢圓形狀的短軸上連接固定部2e與環狀基部 φ 2a之兩個第二樑2c構成彈性支持部2b至2d。如此，藉 著如此構成，在使振動部2a加寬，可形成圓形的同時， 可以確保樑2b、2c的長度及基部2d的寬度。結果’可以 獲得多的靜電容量之變化，也可以增加彈性支持部2b至 2d之運動的穩定性。因而’在獲得充分之輸出的同時’在 XY方向也不容易產生輸出的差。在輸出低的時候’需要 放大電路等，在χγ方向上輸出產生差時’需要修正電路 等，但是在振動板2的構造本身’由於以可控制此等課程 的方式構成，因此使電路構成簡潔。 12- (10) 1264535 如第1圖以及第2圖所示，筐體〗0和振動板2是以 振動板2的外周部之突起（符號2f )接觸，形成電性導 通。第2圖是使用角形的筐體1 〇之例子。振動板2之振 動部2 a雖形成環狀，但振動板2全體在本例中形成方 形。在周邊部上每9 0度保有間隔，並且具有使電極基板5 與間隔件3和振動板2固定的位置定位插銷7通過的連接 孔2h。再者，連接孔2h與45度不同，在外周部每90度 Φ 保有間隔，具有使角型的筐體10的四邊和振動板2電性 導通的導通用爪2f (突起部）。當如此構成時，在安裝加 速度感測器時，可以使該導通用爪2 f (突起部）與筐體接 觸，可以在安裝的同時確保導通。因而，可提升安裝性。 此外，在本例中，由於使接觸的力均等，或使接觸電阻並 列化來減低合成阻抗。因此具有不依存於安裝方向的對象 性，故雖然在四邊安裝導通用爪2f，但是不一定需要設置 在4邊全部，也可以只具有一個以上的接觸點。 • 再者，導通用爪2f (突起部）與筐體1 0的接線，亦 即筐體1 0若爲如第2圖所示的角形，則與其邊垂直朝向 振動板2的中心方向上，具備有與接線並列的狹縫2 g (筐 體1 〇如本例所示，若爲角形，則其邊一致）。藉由導通 用爪2f與筐體1 〇接觸來提升組裝性，但是亦有導通用爪 2f受到來自筐體1 0的反作用，而對於振動板2施加過度 的力。例如當振動板2歪斜的時候，將導致振動板2與電 極基板5之間的距離不均勻，而使振動產生偏差分佈，對 於正確地檢測出靜電的容量變化’也就是檢測出加速度較 -13- (11) 1264535 不理想。因此，在緩和來自該筐體10的反作用之同時， 爲了確保對於筐體1 〇的導通之按壓力，而具備狹縫2 g。 如此構成時，使狹縫2g部分成爲緩衝部，具有彈性，對 於將振動板2按壓到筐體1 〇之同時，吸收來自筐體1 〇的 反作用。因而，在確保振動板2與筐體10的導通之同 時，不產生振動板2的歪斜。 此外，在本例中，如第2圖所示，在使狹縫2 g與導 φ 通用爪2f (突起部）和筐體10的接線垂直的線上，具往 與導通用爪2f相同方向膨脹的半圓形狀的缺口，以與接 線並列的狹寬度狀者所構成。導通用爪2f和筐體1 〇接 觸，當接受到來自筐體1 〇的反作用時，受到來自筐體10 的反作用時，狹縫2g可以緩衝此一反作用。當狹縫2g爲 單純的狹縫線狀時，爲了達到緩衝的作用，而使施加到狹 縫2g的力量大時，將導致狹縫2g本身的破損，而有無法 吸收力且使振動板2歪斜的可能性。但是，若具有半圓形 # 狀的缺口，在該部分上，於接線方向使狹縫的長度增長可 緩和上述問題點。 第3圖是表示在第1圖及第2圖所示的振動板2安裝 重物1的狀態之斜視圖。如第3圖所示，重物1是由圓駐 狀的柄部1 a、直徑大於該柄部i a的圓盤狀本體部1 b所構 成的傘狀所形成。柄部1 a在與本體部1 b相反側的前端部 上，具有與大於柄部1 a的直徑之大直徑，且具有比本體 部1 b小的直徑之圓盤狀安裝部，使該安裝部的中心和振 動板2的振動部2 a的中心一致，安裝在振動板2。換言 •14· (12) 1264535 之’使重物1的重心與振動板2的中心一致並且 過該重物1的重心與振動板2垂直的軸爲第一軸 所謂的Z軸。利用重物丨將施加在加速度感測器 振在 XYZ方向，檢測出加速度。重物1雖然^ 製’但是爲了加大振幅，而使用比不繡鋼比重還 例如：鎢（與金有相同的比重）等較爲理想。此 板即振動板2與重物1之安裝，是以黏接、電性 # 射點融接、鉚接等來進行。 挾住間隔件3與振動板2相對向的電極基板 有第4圖（a )所示的第一到第三固定電極5 a至 固定電極5 c是以通過重物1的重心與電極基板 第一軸（Z軸）作爲中心的環狀電極。第二固淀 及弟二固疋電極5b在電極基板5與第一軸的交| 垂直，並且與第一軸垂直的第二軸與第三軸相對 成4 5度的角度之分割軸，分別分割成2個電極 # 極基板5如第1圖所示，覆蓋固定電極5a至5c 設置有駐極體層4，藉由連接孔5d的位置定位插 位置定位時，同樣地，具有連接孔而且被位置定 件3 (參照第5圖），與振動板2保持特定的距 裝到筐體1 〇。然後，依據固定電極（電極基板5 電極（振動板2 )之間的靜電容量的變化，檢測 直的3軸方向之加速度。 駐極體層 4 是藉由 FEP(Fluorinated Propylene，四氟乙烯一六氟丙烯共聚物）

安裝。通 ，也就是 的撞擊加 是不繡鋼 要重者， 外，金屬 融接、雷 5，具備 5c。第一 5垂直的 [電極 5a 丨占〇彼此 ，藉由構 。又，電 的表面， 銷7加以 位的間隔 離，並組 )和可動 出彼此垂 Ethylene 、PTFE -15- (13) 1264535 (Polytetrafluoroethylene，四氟乙烯樹脂）、 乙烯-全氟乙烯醚共聚物）所形成。該形成方法 貼上述所組成的氟矽薄膜或如專利第3 3 87〇12 示’在塗敷後燒成上述組成的氟樹脂的水性 成。以這種方法獲得的駐極體層4在融接以 F E P薄膜日寸成爲1 2 // m以上。另外，利用燒成 5.0 // m左右，可以形成非常薄的駐極體層4。 Φ 此外，在電極基板5設置有上述的固定電 作爲銅箔等導電圖案。該導電圖案，一般與印 相同，藉由蝕刻等在絕緣物即玻璃環氧製的基 的導電圖案，而具有大約3 5 // m的厚度，即使 薄型者時，也具有 5//m的厚度。因而，在 上，形成銅箔的圖案突出的形狀，特別是如本 形成較薄的駐極體層4時，有駐極體層4的層 的情況。如此，對於所檢測出的靜電容量及其 ^ 的電壓造成影響，較不佳。因此，如第4圖 不需要從基板的基材表面突出及陷入，即表面 將電極圖案的銅箔埋入到基材內時，可以使駐 層壓均勻較佳。 如此，以覆蓋銅箔所形成的固定電極5 a 式，形成駐極體層4。但是，因爲銅箔容易氧 此將導致駐極體的功能降低。特別是在電極基 塗敷後燒成氟樹脂的水性分散液，形成駐極體 常可見銅箔部分氧化或變黑。因此，對於固定 PFA (四氟 ，是藉由黏 號公報所揭 分散液而形 往的方法之 的厚度大約 極 5a至 5 c 刷配線基板 材設置銅箔 在特別形成 基板的基材 實施形態， 厚度不均勻 結果所輸出 (b )所示， 成爲平緩’ 極體層4的 至5c的方 化變色，藉 板5的表面 層4時，經 電極5 a至 -16- 1264535 * (14) 5c的銅箔，以鎳或金等電鍍處理之後，進行駐極體的塗敷 較佳。 在一方的面上，形成駐極體層4的電極基板5的另一 方之面上，因應需要，安裝用來信號處理的電容器或阻抗 器、運算放大器等，藉由穿孔傳達來自形成駐極體層4之 面的固定電極5 a至5 c的信號。又，在該電極基板5的另 一方之面上，如第1圖所示，接觸或焊接端子6。端子6 φ 貫通用來關閉筐體1 〇之開口部的底蓋9，傳達來自固定電 極5a至5c的信號，或一次處理此等信號的信號、電源 等。 如上所述，由於振動板2藉由強度特性佳的材料所形 成，因此形成對強烈的撞擊具有某程度的耐性之構成。但 是在施加落下等之過度加速度時，振動板2與重物1之連 接部份、或彈性支持部2b至2d也有破損的可能性。因 此，如第1圖所示，筐體1 〇的內部至少具備與柄部1 a或 # 本體部1 b的任一方接觸，用來限制重物1的過度變位的 限制構件8。如此，當具備限制構件8時，在振動板2破 損之前，由於重物1與限制構件8接觸，因此可獲得耐撞 擊性優良的加速度感測器。 以上，根據本發明，提供一種以簡單的構成，不會使 感測器感度降低，而提升耐撞擊性的3軸加速度感測器。 [產業上利用的可能性] 本發明雖可檢測出3軸方向的加速度之加速度感測 -17- (15) 1264535 器，但若彙整該3軸的方向而使用，則即使任一個方向有 振動，則亦可使用作爲可檢測出其之振動感測器。又’可 利用於使用該振動的振動計或計步器。 【圖式簡單說明】 第1圖係與本發明之實施形態有關的加速度感測器之 構成例的第2圖之A - A線剖面圖。 B 第2圖係第1圖之加速度感測器的振動板的形狀及筐 体與振動板的接觸形態圖。 第3圖係在第1圖之加速度感測器的振動板安裝重物 的狀態之斜視圖。 第4圖係設置於第1圖之加速度感測器的振動板的固 定電極的配線，（a )爲上面圖，（b )爲（a )的B — B線 剖面圖。 第5圖係顯示第1圖之加速度感測器的間隔件之形 • 狀。 【主要元件符號說明】 1 :重物 2 :振動板 3 z間隔件 4 :駐極體層 5 :電極基板 10 :筐體 -18-

Claims (1)

1. (1) 1264535 十、申請專利範圍 1. 一種加速度感測器，係於具有導電性的筐體內 備有：在一方的面具有固定電極的電極基板；介由用 與該電極基板之間設置特定的間隔之間隔件，以與前 定電極相對向的一方的面作爲可動電極的振動板；以 置於該振動板的另一方的面之中央部的重物，依據前 定電極與前述可動電極之間的靜電電容的變化，檢測 φ 此互相垂直的3軸方向之加速度的加速度感測器，其 在於： 前述固定電極係由：以通過前述重物的重心且與 電極基板垂直的第一軸作爲中心的環狀之第一固定電 以及在前述電極基板與前述第一軸的交點上互相垂直 時，藉由與前述第一軸垂直的第二軸及第三軸相對， 45度的角度之分割軸，各自分割爲二的第二固定電極 三固定電極所構成， • 覆蓋前述固定電極的表面，於前述電極基板設置 體層。 2. 如申請專利範圍第1項之加速度感測器，其中 須從前述電極基板的表面突出及陷入，而形成前述固 極。 3. 如申請專利範圍第1或2項之加速度感測器 中，除了以鎳或金電鍍處理以銅箔形成的前述固定電 外，另藉由塗敷、燒成氟樹脂的水性分散液，或黏貼 薄膜，形成前述駐極體層。 ，具 來在 述固 及設 述固 出彼 特徵 前述 極； 之同 構成 及第 駐極 ，不 定電 ，其 極之 氟系 -19- (2) 1264535 4 ·如申請專利範圍第1或2項之加速度感測器’其 中，前述振動板係由：位於周邊部，並介由前述間隔件加 以固定的固定部；位於中央部，具備前述重物的振動部； 以及使前述固定部與前述振動部連結的彈性支持部所構 成， 前述彈性支持部係由： 橢圓形狀的環； # 在前述橢圓形狀的長軸上連接前述振動部與前述環的 第1樑；以及 在前述橢圓形狀的短軸上連接前述固定部與前述環的 第2樑所構成。 5 ·如申請專利範圍第1或2項之加速度感測器’其 中，前述振動板係於外周部具備用來電性導通前述筐體與 前述振動板的突起部，並且在前述突起部的內側具備有在 前述突起部與前述筐體的接線垂直的線上具有缺口，與前 # 述接線並列之狹幅的狹縫。 6 ·如申請專利範圍第1或2項之加速度感測器，其 中，前述重物係形成由圓駐狀的柄部、及以直徑大於該柄 部的大直徑構成圓盤狀之本體部的傘狀，前述柄部的前端 部安裝於前述振動板的中心部，於前述筐體內具備至少與 前述柄部或前述本體部中任一個接觸，用來限制前述重物 的過度變位之限制構件。 7 ·如申請專利範圍第1或2項之加速度感測器，其 中，前述振動板係由SK材、不鏽鋼、磷青銅、Be-Cu、 -20- (3)1264535 Ti-Cii中任一個所構成