TWI249011B - Suck back valve - Google Patents

Description

1249011 九、發明說明： 、 [發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種回吸閥，可藉由吸取流經流體通道 之預定里的壓力流體來避免液體例如從壓力流體供應孔滴 落。 【先前技術】 . ^迄目前為止，在用以生產半導體晶圓或類似裝置的步、 ，中已有使用回吸閥者。該回吸間具有避免液體滴落的功 月匕，其中當塗覆液體被停止供應至半導體晶圓時，小量的春 塗覆液體會從供應孔滴落至半導體晶圓。 此種傳統的回吸閥係顯示在第5圖中（例如，可參考曰 本專利公告案第6-47092號）。 回吸閥1包括本體5,該本體形成有用以在流入孔2 /、/爪出孔3之間形成連通的流體腔室4，以及連接至該本 體5之上方部分的罩蓋6。該流入孔2經由與該回吸閥1 =別建構之開/關⑽/_)闊18而連接至排放流體供應源 二在另-方面’該流出孔3係連接至用以將塗覆液體朝· 向半導體晶圓滴落之喷嘴1 ga。 有向上延伸之開口 7係大致形成在流體腔室4之中 央部分。以氣密方式靠抵該流體腔室4之上表面的第一隔 板8係延伸於該開口 7上方。以下緣端靠抵該第—隔板8

可垂直私動構件！ 〇係配置在形成於該第 容置腔室9中。 L 插置在該本體5與罩蓋6之間的第二隔板⑴系配置在 315996 5 1249011 該第二隔板11藉助於 1 〇 —起移動，其中該 10之端部且被牢固至 S可垂直移動構件1 〇的上方部分。 -突出部12而與該可垂直移動構件 突出部係塞填於該可垂直移動構件 吕玄弟二隔板11。 用以將该乐二隔板11向上推笼 笼一^此δ A t i耳13係被安裝在該 弟 ^板8與該第二隔板11之門 ,^ 1苗…… 在該第二隔板11與該 罩息6之間形成壓力腔室15，經由 ^ ^ + ·、 田无—空乳孔14將先導 =^t air)供應至該壓力腔室中。偵測單元η係設 二 上’該偵測單元具有—偵測針16用以抵接該 可垂直移動構件1 〇之突出部12。 此傳統的回吸閥！之操作將簡要說明如下。當獨立建 構之開/關閥18處在開啟⑽）狀態而從該排放液體供應源 19供應液料，則該從—未圖示之電力氣動比例閥至該先 導空氣孔14進行供應之壓力腔室15係具有—高壓。該第 二隔板11係定位在如第5圖中之雙點線所標示之下方位置 且同時彈性地壓縮該盤簧13。與該可垂直移動構件1〇整 體操作之第-隔板8转位在該下方位置，且該流體腔室 4之體積很小。 從上述的狀態開始，當該開/關閥18被切換至關閉 (OFF)狀悲以停止液體之供應時，從該先導空氣孔〗4所供 應之先導壓力便會降低，且在壓力腔室15中之壓力亦會降 低。因此，該第一隔板8便會與該第二隔板u及該可垂直 移動構件10 —起向上移動而處在如第5圖中之實線所示之 狀態。如此一來，該第一隔板8便會變形，且會增加該流 315996 6 1249011 體腔室4的體積。因此，餘留為哈皆 u % 符、g隹貝為19β中之液體便會被 吸回。 Λ、、:而在上述傳統回吸閥的例子中，與該回吸閥1分 開建構之開/_ 18剌以使液體沿著流體腔室4來流動 及/或停止該液體的流動。由於此緣故，這會造成該安裝空 間增加’且需要執行複雜的接管操作來連接該開/關閥Μ 及該回吸閥1。 【發明内容】 本毛月之主要目的係要提供一種回吸閥，其可藉由 實現小尺寸及輕重量來減少安裳空間j其可免除有關曰開/ 關閥之任何接管操作。 依照本發明，構成開/關閥機構之第一活塞及閥構件係 可以在供應至第一汽缸腔室之壓力流體的作用下而—起移 動’以關閉-流體通道。此外，構成與該開/關閥機構整^ 地且同軸地組裝在一起之回吸機構之第二活塞及抽吸構件 (suction member)，係可在供應至第二汽缸腔室之壓力流 體的作用下而一起移動。可與該第二活塞一起移動之該2 吸構件係可變形而增加流體腔室之體積。因此，便可產生 該抽吸動作而避免任何液體滴落。 因此，該開/關閥機構及該回吸機構係藉由使用同軸配 置之第一活塞及第二活塞而同軸地且整體地組裝在一起。 如此一來’便可以實現小尺寸及輕重量，並且可以減少6 裝空間。 ^ 再者，不像習知技術，本發明並不需要對該開/關閥之 315996 7 1249011 任何接管操作。 可以配合後 其中在圖式 本發明上述及其他的目 (I科斗、二丄、 ♦试及優點 :圖式而由以上的說明中獲得更深入之睁解 =本發明較佳實施例僅作為例示。 【貫施方式】 扩例’考第1圖考標號20係標示依照本發明之-實 鈿例之回吸閥。該回吸 乂 m Ά 部分30,該接頭部分24可拆卸Wff部分24以及闊驅動 且該對管體彼此分開也連接一對管體22a、22b 3。係形成在該接頭部二：:二離’：該閥驅動部分 ^ , 且‘由一體式組合配置在 其中HI閥機構26及回吸機構28而形成。 在 固螺η頭部分24包括接頭本體36、内部構件38以及鎖 固螺帽40,該接頭本體36在—端形成有第—孔口32」 =-端形成有第二孔口 32b，且其具有流體通道％以在 =-孔π 32a與第二孔口 32b之間形成連通，該内部構 牛38係分別與該第一孔口他及第二孔u32b相銜接 插入至該管體22a、22b的開口中，而該鎖固螺帽利卿 由螺合至刻在該接頭本體36之末端處的螺紋凹溝中來保 持該管體22a、22b之連接部分的液密性或氣密 、 該閥驅動部分30包括罩蓋構件44及第一本體42&與 第二本體42b，皆係由樹脂製成之塊狀構件所構成。該第 一本體42a、第二本體42b及罩蓋構件44係藉由未圖^之 軸桿而一體地連接至該接頭本體36。第一腔室46係形成 在該第一本體42a中。用以構成該開/關閥機構26^閥構 315996 8 1249011 件50及第一活塞48係設置在該第一腔室46中而可以一起 移動。 第本體42a、弟一本體42b、罩蓋構件44以及接頭 本體3 6係組裝成一體，而產生主體部之功能。 如第2圖所示，該第一活塞48包括一設置在上方側邊 之徑向擴展部分48a、設置在下方側邊之圓筒狀部分48b 以及設置在徑向擴展部分48a與圓筒狀部分4肋之間的環 :大階部48c。具有u形截面形狀之第一活塞墊片似係安 裝至一形成在該徑向擴展部分48a之外側圓周表面上之環 狀凹溝磨耗環圈56a及具有u形截面形狀之墊片54a係 分別安裝至環狀階部48c之外側圓周表面上的環狀凹溝:、 向軸長方向延伸之貫孔58係針對該第—活塞48而形 ^此外’閥構件50係沿著該第一活塞48之軸長方向而 ^至一端部（在了方側邊上），該閥構件5〇係用以 封閉該流體通道34。 部分!8=:室60係形成在該第一活塞48之徑向擴展 、 側邊上。該第一汽缸腔室60係用以經由— 通道而與第-先導孔62相連通。 、·二由 第尼構件64係配置在該第一本體_ =第==8 Γ壁表面上，該第—阻尼構件可以防止 之仏向擴展部分48a抵接該第一本體42 且吸收向下運動之任何振動。 版42a 50a、罪抵部分5〇b、薄壁 其中该圓甸構件具有母螺 該閥構件50包含圓筒構件 部分50c及厚壁插置部分5〇d， 3】5996 9 1249011 :==面二可套合;形成在該第-活… 件50a ^底二^ 設置在該圓筒構 本-36上、面。Ρ刀’以猎由將其安置在形成在該接頭 =二部:…在該第-孔，與第二孔口 声八卜通’ 5亥涛壁部分係自該圓筒構件50a之底部 插置二：向朝外突：而出並且形成可f曲的，而該厚壁 伟插置：‘Γ成在該薄壁部分50c之圓周邊緣部分，且其 係插置在轉頭本體36與該第—本體❿之間。 在」=置中，該用以建構該閥構件5()之圓筒構件 # 5〇b ' ^ ^ ^ 5〇C ^# ^^ ^ ^ ^ ^Od 成型。牛本例如由諸如聚四氣乙稀（pTFE)之樹脂材料一體 7。係Γ置腔在：係 定至該苐一活亢端係固 -太麟另鳊如被固定至該第 一本“2b之環狀凹溝。該第一活塞48係藉由 般笼 :之彈：動作而經常保持被向下壓。該第—活塞心 壓而使得該閥構件5〇之抵接部分坐落在該座部 上0 第二活塞74係配置在該第二腔室68中，該第二活夷 74係構成該回吸機構28。該第二活塞?4包含第體ς 为74a、第二桿體部分74b及大直徑部分⑺其 桿體：分74a具有沿著該第—活塞48之貫孔5δ、而二 小直1，且該第二桿體部分7仆具有中直經，且其係連接 315996 10 1249011 該第一桿體部分74a而形成，日甘θ 士 〜成且其具有環狀階部76以與該 第一活塞48之凹口 72相输桩，η斗 、丁接且该大直徑部分74c係接 續該第二桿體部分74b而形成。 一 基48之從向擴展部分48a係在 經由第一先導孔6 2而被供摩5兮锿 … 仏愿至5玄乐一汽缸腔室60的先導 壓力的作用下被向下壓，俾克服該第_盤簧7G及第二盤菩 78(稍後將說明）的總和彈性力。心匕，該第一活塞48及第 二活塞7 4可以一起向上方移動。 換言之，該第一活塞4 8之徑向擴展部& 4 8 a係在被導 入至該第一汽缸腔室60之先導壓力的作用下被向上壓，且 ，第二活塞7 4亦藉由與該第—活塞4 8之凹口 7 2相銜接之 第二活塞74之環狀階部76的輔助下被向上壓，而克服該 分別被固定至該第一活塞48及第二活塞74之第一盤簧7〇 與第二盤簧78的總和彈性力。因此’該第一活塞48及第 二活塞74便可分別向上移動。 具有U形截面之第二活塞墊片52b係被安裝至該大直 k邛为74c之外側圓周表面上的環狀凹溝。磨耗環圈5此 及具有ϋ形截面形狀之墊片54b係分別被安裝至該第二桿 體部分74b之外側圓周表面上的環狀凹溝。 第二汽缸腔室80係形成在該大直徑部分74c的下方。 δ亥弟一 ά缸腔室8 0係用以經由一通道來與第二先導孔8 2 相連通。在此配置中’該大直徑部分74c係在從該第二先 導孔82所供應之先導壓力的作用下被向上壓。該包括大直 徑部分74c之第二活塞74便可一起在垂直方向上移動。 315996 11 1249011 環狀第二阻尼構件84係配置在該第二本體伽面向該 第二汽缸腔室8G之内壁表面上，該第二阻尼構件係用以防 止該第二活塞74之大直徑部分74c抵接該第二本體4仏 之内壁表面並且吸收向下運動♦之任何振動。 第三腔室86係設置在該第二活塞74與罩蓋構件料 之間。該第二盤簧78係配置在該第三腔室86中。該第二 盤簧78之一端係被固定至該第二活塞74之一凹口 且 另:端被固定至該罩蓋構件44之一凹口 9〇。在此配置中， 該第二活塞74係在該第二盤簧78之彈性力的作用下而恒 保持被向下壓。該第二活塞74係被推壓而使得該第二桿體 部分74b抵接該第一活塞48之凹口 72。 在此配置中，邊大直徑部分74c係在從該第二先孔 =斤=應之先導壓力的作用下而被向上壓，以克服該第二 =:78之—彈性作用力。因此，僅有包括該大直徑部分W 弟一活基74可以在向上方向上移動。 由例如可撓性材料所形成之抽吸構件92係被螺合固 一桿體m4a之下緣端部。該抽吸構件92包含設 f辟i央之厚壁部分…、環設在該厚壁部> …周圍之 缚壁部分92b及插置在該第一爷宾“夕^加* 阗之 件50之产壯八絡 / 土 48之螭邛表面與該閥構 ^狀凸、，彖之間的插置部分92c。保護環圈％係設 置在该薄壁部分q 9 h 、 材料所制成 、面’該保護環圈係由例如橡膠 衣成且其用以保護該薄壁部分92fc) 0 部八中，該抽吸構件92係可以藉由該第—桿體 。刀w之輔助而與該第二活塞74—起在垂直方向上移 315996 12 1249011 動。該抽吸構件9 2可向上移動來產生變形，且因此在該厚 壁部分9 2 a及該抽吸構件9 2之底部表面及該第一活塞4 8 之圓筒狀部分48b之内壁表面之間形成流體腔室⑽。 依照本發明此實施例之回吸閥2〇基本上係依照上述 方式建構而成。以下將說明其操作方式、功能及效果。 ^第4圖顯示包括依照本發明實施例之回吸閥20之回吸 糸統11 〇。 該回吸系統110包含第一及第二電子氣動比例闊 112a、112b，此兩閥具有相同結構，並且可相應於所輸入 之電子信號來輸出壓力信號。 邊第一及第二電子氣動比例閥丨丨％、丨丨2b包含第一及 第二控制單元（控制構件）1Ua、U4b以及通常為閉路型之 供應電磁操作閥116及排放電磁操作閥118，兩電磁操作 閥係分別根據由該第—及第二控制單元i⑷、i⑽所輸出 之命令信號（開啟（〇N)信號/關閉（〇FF)信號）來加以供能/ 失能。 用以將設定信號導入至該第一及第二控制單元 & 11仆之第一及第一資料設定構件i2〇a、i20b係分 別連接至第一及第二電子氣動比例閥丨丨2a、丨丨2b。 卜在此配置中，通道1 22係連接至該開/關閥機構26之 第一先導孔62,其中該通道122係從介於該供應電磁操作 閥116與該排放電磁操作閥丨丨8之間的連通通道分歧而出 以建構該第一電子氣動比例閥112a。另一方面，通道124 係被連接至該回吸機構28之第二先導孔82，其中該通道 315996 13 1249011 124係從介於該供應電磁操作閥116與排放電磁操作閥118 之間之連通通道分歧而出以建構該第二電子氣動比例閥 112b。 圖上未示出之MPU(微處理器）係針對每一該第一及第 二控制單元114a、114b來設置，其中該MPU係用以作為控 制、判斷、處理、計算及儲存之各別構件。自該MPU導出 之控制#唬係用以供能/失能該供應電磁操作閥116及/或 邊排放電磁操作閥11卜因此，被供應至該開/關閥機構26 之第一汽缸腔室60及回吸機構28之第二汽缸腔室8〇的先 導壓力便可獲得控制。 第一位置偵測感測器1 28a係電性連接至該第一控制 早凡\14a，該第一位置偵測感測器係針對該開/關閥機構 26而提供。藉由該第一位置偵測感測器所獲得之位 置偵測信號係被引入至該第一控制單元U4a。在另一方 面，第二位置偵、測感測器128b係電性連接至該第二控制單 =11=，該第二位置偵測感測器係針對該回吸機構28而 ，仏藉由"亥第二位置偵測感測器128b所獲得之位置偵測 信號係被引入至該第二控制單元U4b。 、 总2其中儲存有塗覆液體之塗覆液體供應源130係連接 =吕脱22，该官體係與該回吸閥20之第一孔口 32a相連 =#在另一方面，塗覆液體滴落裝置132係事先被連接至 ，第=孔口 32b相連通之管體22b，其中該塗覆液體滴落 丁 〃、有噴嘴來將塗覆液體滴落至圖上未顯示之半導 體晶圓。 315996 14 1249011 ^在執行完上述之預備操作之後，便可供能給該壓力流 月豆供應源126，以將壓力流體（例如，空氣）導入至第一及 弟二電子氣動比例閥112a、112b。經由供應電磁操作閥116 而被引入至該開/關閥機構26的先導壓力係經由該第一先 '匕6 2而被供應至该弟一汽缸腔室6 〇。該第一活塞4 8、 閥構件50及第二活塞74克服該第一及第二盤簧7〇、78 之總和彈性力並且一起向上移動。因此，該閥構件之抵 接部分50b係會與該座部66分開而呈現開啟（〇N)狀態，其 中忒第一孔口 32a及第二孔口 32b便可相互連通（參考第2 圖）。 在上述該開/關閥機構26之開啟狀態中自該塗覆液體 七、應源130所供應的塗覆液體係沿著該流體通道34而流 動，且藉助於該塗覆液體滴落裝置132來將該塗覆液體滴 落至半導體晶圓上。因此，具有適當之薄膜厚度之塗覆薄 膜（未圖示）便可形成在該半導體晶圓上。 預定量的塗覆液體係藉助於該塗覆液體滴落裝置132 而被施加至圖上未顯示之半導體晶圓上。在此之後，該供 應電磁操作閥116及/或排放電磁操作閥118便可藉由自該 第一控制單元Π 4a之圖上未顯示之mpu所導出之控制信號 來加以適當地供能/失能。因此，被供應至該開/關閥機構 26之第一汽缸腔室6〇的先導壓力便會減少，使得該開/關 閥機構26處在關閉狀態。 亦即’被供應至§玄開/關閥機構2 6之第一汽缸腔室6 〇 的先導壓力會被減少至零。因此，在第一盤簧7〇及第二盤 315996 15 1249011 簧78之彈性力作用下，該第一活塞48及第二活塞μ係會 ::沿向下方向來移動。該閥構件50之靠抵部分50b會靠 3二座部66上(參考第1圖）。該第-活塞48之位移會 立置偵測感測器128續偵測到，且該位置偵測信號 會被引入至該第一控制罝 乐匕制早兀丨1“。因此，該第一控制單元 3會確認該開/關閥機構26處在關閉狀態。 因此’该開/關閥機構26處在關閉狀態，該流體通道 、^到阻擋’因此會停止將塗覆液體供應至半導體晶圓， 以=止將5亥塗覆液體自該塗覆液體滴落裝置⑶之喷嘴來 2落至該半導體晶圓。在此情況中，正要被滴落在該半導 :晶圓上之塗覆液體會餘留在該塗覆液體滴落裝置132之 '备_ 口此，這恐怕會造成任何滴體的滴落。 /是，該第二控制單元U4b發出供能信號至該第二電 子氣動比例閥112b之供應電磁操作閥116，使得該供應電 义“作閥116處在開啟狀態。同時’該第二控制單元11仆 發出失能信號至該排放電磁操作閥118，使得該排放電磁 知作閥118處在關閉狀態。 因此，當先導壓力被供應至該回吸機構28之第二汽缸 月二至80時’該第二活塞74會克服該第二盤簧之彈性力 :產生向上運動。在此情況中’該第二活塞74之上表面會 靠抵該罩蓋構件44之内壁表面，且因此該第二活塞74: 向也移得以被調整。該第一活塞48係處在該第一活塞 48藉由該第一盤簣7〇之彈性力而被向下壓的狀態。該第 一活塞48便處在靜止不動的狀態。 315996 16 1249011 因此’如第3圖所示，該連接至該第二活塞74之一端 的抽吸構件92係與該第二活塞74 —起向上移動而產生變 形。於是，在流體腔室9β中所形成之體積係會增加而造成 負壓作用。由於此一程序，内含在該流體通道34中之預定 i的变復液體會依照該流體腔室9 6的膨脹而被抽吸。 因此’餘留在該塗覆液體滴落裝置13 2之噴嘴中的預 定量值的塗覆液體會被吸向該回吸閥20。藉此，便可防止 任何液體滴落至半導體晶圓。 當被供應至該第二汽缸腔室8〇中之先導壓力的壓力 被增加而將該第二活塞74向上移動時，則該第二位置偵測 感測器128b便會偵測該第二活塞74之位移量，且由該第 二位置偵測感測器128b所發出之位置偵測信號會被引入 至5亥第一控制草元114 b中。 供能信號自該第-控制單元114a發出而使得該開/關 閥，構26處在開啟狀態，在此同日夺，失能信號自該第二控 f單元114b發出以使該供應電磁操作閥116處在關閉狀 怨，且同日守發出供能信號至該排放電磁操作閥118以使其 處在開啟狀態。_，便給定該初始㈣，並㈣始料 覆液體滴落至半導體晶圓。 土 #在本發明之此一實施例中，構成該開7關閥機構以之 弟-活塞48及閥構件5G係在被供應至該第—汽紅腔室⑽ 之先‘塵力的作用下-起移動以開啟/ _該流體通道 34。再者，構成該回吸機構28之第二活塞74的一部 一桿體部分74a)係、相對於形成在該第-活塞48中之貫孔 315996 17 1249011 Μ而安裝在内部。該第二活塞74及該抽吸構件g2係可在 被供應至該第二汽缸腔室8〇之先導壓力的作用下而一起 移動。 在此情況下，該第一活塞29及第二活塞74可以在被 供應至該第一汽缸腔室6〇之先導壓力的作用下而一起向 上移動，同時克服該第一及第二盤簧7〇、78之總和彈性 力。此外，僅有該第二活塞74在該被供應至第二汽缸腔室 80之先導壓力的作用下向上移動。被連接至該第二活塞74 之端。卩的抽吸構件92係會變形而增加該流體腔室μ之體 積’藉此展現抽吸動作。 一在本發明之實施例中，同軸配置之第一活塞“及第二 係用以同軸地且整體地組合該開/關閥機構2 6及回 吸機構28。因此，便可實現小尺寸及輕重量，且其亦可以 減少該安裝空間。 此外，在本發明之實施例中，該開/關閥機構26及回 吸機構28係同軸地且整體地組合且配置在由該第一本體 42a、第二本體42b及罩蓋構件44所形成的空間中。因此， 不像士第5圖所示之習知技術，本發明並不需要對該開/ 關閥18之任何接管操作。其可以很方便地進行安裝。 雖然本發明已參考較佳實施例而詳細圖示及說明如 上丄然而應瞭解，在不違背本發明如後附申請專利範圍所 界定之主旨及範田壽的情況下，熟習此項技藝者可對該等實 施例進行修飾及變更。 、、 【圖式簡單說明】 315996 18 1249011 第1圖顯7F縱向截面視圖，其中閣釋依照本發 — 實施例之回吸閥； < — …第，部分省略的放大裁面視圖，其中闡釋在第— 活塞及第二活塞一起向上移動時該開/關閥機 ⑽)狀態； 開啟 第3圖係部分省略的放大截面視圖，其中闡釋當該開/ 關閥機構處在關閉（OFF)狀態時，回吸機構處在開啟狀態且 抽吸構件向上移動之狀態； 弟4圖顯示一電路圖， 回吸閥之回吸系統；以及 弟5圖係一縱向截面圖 【主要元件符號說明】 其中闡釋一併入第1圖所示之 ’其中闡釋一習知的回吸闕。 20 回吸閥 26 開/關閥機構 30 閱驅動部分 32b 孔口 48 活塞 48b 圓筒狀部分 50 閥構件 5〇b 罪抵部分 5〇d 厚壁插置部分 60 汽缸腔室 66 座部 74 活塞 24 接頭部分 28 回吸機構 32a 孑L 口 34 流體通道 48a 徑向擴展部分 48c 環狀階部 50a 圓筒構件 50c 薄壁部分 58 貫孔 62 先導孔 70 盤簧 74a 桿體部分 315996 19 1249011 74b 桿體部分 74c 大直徑部分 78 盤簧 80 汽缸腔室 82 先導孔 92 抽吸構件 94 保護環圈 96 流體腔室 20 315996

Claims (1)

1249011 十、申請專利範圍·· 1 · 一種回吸閥，包括： 主體部分’具有流體通道（34)以在形成在一端之第 一孔口（32a)與形成在另一端之第二孔口（32b)之間形 成連通； 開/關閥機構（26)，在經由第一先導孔（62)而被供 應至第一汽缸腔室（60)之壓力流體的作用下藉由一起 移動閥構件（50)與第一活塞（48)來開啟/關閉該流體通 道；及 回吸機構（28)，具有可變形的抽吸構件（92)及流體 腔室（96)形成於其中，俾在經由第二先導孔（82)而供應 至第二汽缸腔室（8〇)之壓力流體的作用下一起移動該 抽吸構件（92)及第二活塞（74)而將含在該流體通道中 之壓力流體予以抽吸，其中·· 該開/關閥機構（26)及該回吸機構（28)係同軸地且 整體地組褒在一起。 2·如申請專利範圍第1項之回吸閥，其中，有一向軸長方 向延伸之貫孔（58)形成在該第一活塞（48)中，該第二活 塞（74)之一部分係被内裝在該貫孔中，且該第一活塞及 泫第二活塞係在該被供應至第一汽缸腔室中之壓力流 體的作用下而一起向上移動，且在該被供應至第二汽缸 腔室中之壓力流體的作用下僅有該第二活塞被向上移 動。 3·如申請專利範圍第2項之回吸閥，其中該第一活塞包括 315996 21 1249011 設置在上方側邊之徑向擴展部分（48a)、配置在下方側 邊之圓同狀部分（48b)以及形成在該徑向擴展部分與該 圓筒狀部分之間的環狀階部（48c)。 4·如申請專利範圍第3項之回吸閥，其中該第一汽缸腔室 (60)係形成在該主體部分之内壁及該徑向擴展部分 (48a)之間而位在該第一活塞（48)之徑向擴展部分（48&) 下方。 5·如申請專利範圍第1項之回吸閥，其中該閥構件（50) 包括裝設至該第一活塞之外側圓周之圓筒構件（5〇a)、 «又置在该圓肩構件之底部表面部分且可被安置在該本 體部分之座部（66)上的抵接部分（5〇b)、自該圓筒構件 之該底部表面部分向外徑向突伸而出且形成可彎曲的 ’專壁部分（5〇c)，以及形成在該薄壁部分之圓周邊緣之 插置部分（50d)。 6 ·如申叫專利範圍第5項之回吸閥，其中該圓筒構件 (5〇a)、該抵接部分（5〇b)、該薄壁部分（5〇^及該插置 部分（50d)皆由樹脂材料一體成型而構成閥構件（5〇)。 7·如申請專利範圍第1項之回吸閥，其進一步包括第一彈 簧構件（70)，推壓該第一活塞及該閥構件，其中該閥構 件由該第一彈簧構件之彈性力所推壓而被安置在形成 在該主體部分上之座部上。 8·如申請專利範圍第2項之回吸閥，其中該第二活塞（74) 包括沿著該第一活塞之貫孔而延伸之第一桿體部分 (74a)、具有環狀階部（76)以與該第一活塞之凹口（72) 315996 22 1249011 銜接之第二桿體部分（74b)，以及接續該第二桿體部分 、 而形成之大直徑部分（74c)。 、 9·如申請專利範圍第1項之回吸閥，其中有一腔室（86) 没置在該第二活塞及該主體部分之内壁之間，且有第二 彈簧構件（78)配置在該腔室中。 1 〇·如申請專利範圍第8項之回吸閥，其中該抽吸構件係連 接至該第一桿體部分之末端。 11·如申請專利範圍第1項之回吸閥，其中該抽吸構件（92) 包括設置在中央的厚壁部分（92a)、環設在該厚壁部分鲁 之薄壁部分（92b)及插置在該第一活塞及該閥構件之間 的插置部分（92c)。 12·如申請專利範圍第1項之回吸閥，其中當該第一活塞及 該第二活塞移動時吸收振動之第一阻尼構件（64)及第 二阻尼構件（84)係分別設置在該第一汽缸腔室及該第 二汽缸腔室中。

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