TWI247311B - Circuit and method for preventing nonvolatile memory from over erasure - Google Patents

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1247311 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種記憶體防止過度移除（over-erase)之 電路及方法，特別是應用於非揮發性記憶體（nonvolatile memory) 〇 【先前技術】 在非揮發性記憶體中，尤其是NOR型式之快閃記憶體 (flash memory)常發生過度移除的問題。通常一個晶片係由 晶胞陣列（cell array)組成，而晶胞間則由複數個字元線 (word line)及位元線（bit line)分別以列（row)及行（column) 之方式交織連接。例如一個位元線連接5 12個晶胞之汲極 (drain)端。當一個晶胞進行移除（erase)時，其他的晶胞亦 會同時進行移除；若某一位址的晶胞無法移除完全，則將 會持續重複的進行移除，直到移除完全為止。因此，易移 除晶胞可能會有過度移除的情況發生。發生過度移除之晶 胞將產生所屬位元線的漏電流，而累積過多的漏電流將使 得位元線於讀、寫或修正過度移除（over-erasing correction) 時發生錯誤，例如將晶胞已寫入（programmed)狀態誤認為 已移除（erased)狀態，或者於進行寫入及過度移除修正時需 要過高的供應電流。該等問題於供應電流降低或處於高溫 的環境下將更為嚴重。另，對正常晶胞移除時，其移除確 認係與移除參考晶胞比較；對正常晶胞寫入時，其寫入確 認係與寫入參考晶胞比較；對正常晶胞讀取時，其讀取確 認係與讀取參考晶胞比較；此參考晶胞可為一個且其字元 H:\Hu\tys\ 晶彖科中說\90553.doc 1247311 線電壓在各確認時係被調為不同，以此提供不同的參考晶 胞電流來比較。 一般而言’非揮發性記憶體之每個晶胞包含一控制閘 (control gate)及一浮動閘（fi〇ating gate)。若該晶胞之穿透 氧化層的電容為C〇x，浮動閘與控制閘間的介電質層（如 0N0 ’即氧化層/氮化層/氧化層組成之複層）之電容為 c0N0,則輕合率（coupling factor)等於c〇n〇/(c〇n〇+c〇x)。 耦合率越高表示加至控制閘之電壓具有越高的比例耦合 至浮動閘。 圖1顯不不同耦合率之晶胞進行移除時之臨界電壓 (threshold voltage)Vt與時間的關係，vt括號中之數值代表 搞合率。愈高的耦合率意謂著耦合至浮動閘之效率愈高， 故其對應之臨界電壓Vt的降幅愈快。舉例而言，假設耗合 率為0.56之晶胞之vt移除至降到3伏特（V)時，耦合率為 〇·68之晶胞之vt將降至僅約〇.4V，此時耦合率為0.68之晶 胞極可能因過低的臨界電壓而產生漏電流，或於源極 (source)和沒極（drain)間發生導通（punchthr〇ugh)。晶片因 設計及製程的關係，每個晶胞之耦合率並不相同，因而常 會發生上述之漏電流問題。 圖2及圖3分別代表於溫度為85°c及25。〇下單一晶胞之 電流一電壓特性圖，其中橫軸係為控制閘電壓，縱軸係為 汲極到源極的電流，且汲極之電壓為lv，而源極則接地。 請先參照圖2，其中包含三條不同臨界電壓Vt之曲線，在 25°C下其Vt分別為0.25V、當心為1(^且 H:\Hu\tys\晶豪科 t 說\90553.(1〇〇 1247311 字元線電壓為0.45V時，即A點，晶胞中將產生約20奈安培 (nA)之電流。若將A點水平橫移至電壓等於0之B點，即仍 維持約20nA之電流，該B點所對應之Vt值相當於約0.62V， 其意謂字元線在不施加任何電壓下，當晶胞之臨界電壓Vt 為0.62V時，將產生約20nA之漏電流。若該所屬之位元線 包含512個位元，即有512個晶胞，則該位元線將產生約10 微安培（μΑ)之漏電流（20nAx 512)。 參照圖3，在25°C的情況下，同樣於晶胞產生20nA漏電 流之D點，其相對應Vt約為0.42V。復參圖2，若Vt為0.42V 且於85°C下，即相當於C點，其對應之漏電流約116nA，而 整個字元線之漏電流為58μΑ。上述之結果整理如表一所 示0 表一

Vt 於 25〇C 溫度 字元線電壓 電流 位元線漏電流 (512個晶胞） 1.07V 85〇C 0.45V 20ηΑ ΙΟμΑ 0.62V 85〇C ον 20ηΑ ΙΟμΑ 0.42V 25〇C ον 20ηΑ ΙΟμΑ 0.42V 85〇C ον 116η A 5 8μΑ 由此可知，若有難移除之晶胞，縱使於低溫執行移除並 未發生問題，其仍可能因高溫時因漏電流增加而導致讀取 錯誤。不同的晶胞設計和可靠度及速度的考量會有不同的 Vt需求，目前大多以改良移除運算式（algorithm)的方式來 避免過度移除的發生，然而如果移除運算式設計不當，仍 H:\Hu\tys\ 晶彖科中說\90553.doc 1247311 有發生過度移除的疑慮。 美國專利 US 6，157,572、US 6,285,599、US 6，172,915、 US 5,414,664、US 5,856,945、US 6,529,413、US 6,314,027、 US 6，188,609、US 5,642,31 1、US 6,5 67,316、US 6,490,203、 US 5,544,116及US 4,875,188均提出解決非揮發性記憶體 過度移除之各種相關方法，但仍無法克服因製程變化導致 耦合率的變動所引發之過度移除的問題。 【發明内容】 本發明之目的係提供一種非揮發性記憶體防止過度移 除之方法及電路，以增加移除臨界電壓，進而避免因發生 過度移除而導致晶胞狀態之誤判。 為達到上述目的，本發明揭示一種非揮發性記憶體防止 過度移除之方法，其包含下列步驟：首先提供一定電流 (constant current)於該非揮發性記憶體之至少一正常晶胞 (normal cell)及與該至少一正常晶胞相應之至少一參考晶 胞（reference cell)。其次，設定該至少一正常晶胞之移除 臨界電壓。之後，移除該至少一正常晶胞至該移除臨界電 壓。藉由該定電流之加入，該移除臨界電壓之設定值可提 高，而可防止過度移除的發生。 此外，可另設定該至少一正常晶胞之寫入臨界電壓及該 至少一參考晶胞之讀取臨界電壓於適當值，藉以清楚判讀 該至少一正常晶胞之移除、寫入狀態。 該定電流一般約介於7_15μΑ之間，藉此約可提高 0.3-0.5V之移除臨界電壓。 H:\Hu\tys\ 晶豪科中說\90553.doc 1247311 上述方法可藉由以下電路加以實施。該電路包含一正常 晶胞電路、一參考晶胞電路、一訊號放大器（signal amplifier)及一定電流源。該正常晶胞電路可記錄該非揮發 性記憶體之移除、寫入狀態，其包含一正常晶胞及一第一 位元開關（bit switch)。該參考晶胞電路係用於讀取該非揮 發性記憶體之移除、寫入狀態，其包含一參考晶胞及一第 二位元開關，該第二位元開關之開、關狀態相同於該第一 位元開關。該第一及第二位元開關係作為位元線選擇之 用。該訊號放大器接收該正常晶胞電路及參考晶胞電路之 輸出並加以比較，用以判讀該正常晶胞之移除、寫入狀態。 在移除確認、寫入確認及讀取時，可用不同之參考晶胞， 該晶胞具有不同之Vt，以區分三種狀態；亦或參考晶胞利 用不同的字元線電壓提供各確認時不同的電流，可與正常 晶胞進行比較。該定電流源係、提供—定電流至該正常晶胞 及參考晶胞，且其輸入點分別介於該第一及第二位元開關 與該訊號放大器之間。㈣電流源可採用鏡射（mi_)原理 產生定電& ’且運作於飽和區（satumiGn邮㈣，以避免 溫度變化的影響。 【實施方式】 圖4及® 5分別表示晶胞於之電流-電壓特徵 曲線。請參照圖4,在25t下’曲線a、b、c分別係％ 為 3.46V、3.86V 及 4 76V 之待、,, & 4.76V之障况，此三％分別為移除參 考晶胞、讀取參考晶胞以及寫入參考 /可日日胞之Vt。若正常晶 胞之Vt被移至3.46V以下（曲蠄Q、 乂卜I曲線a)(即移除參考晶胞之 H:\Hu\tys\ 晶豪科中說\90553 d〇c -9- 1247311

Vt)，字元線之電壓為4.4V，其相對應之汲極電流為20μΑ。 作為讀取用之參考晶胞（曲線b)之字元線之電壓同樣為 4.4V，此時其相對應之汲極電流值為ΙΟμΑ。若正常晶胞於 寫入狀態時，其臨界電壓Vt係大於4.76V (曲線c)(即 寫入參考晶胞之Vt)，而字元線之電壓同樣為4.4V，此時 其相對應之位元線之電流值為ΟμΑ。如此一來，正常晶胞 於寫入及移除狀態之電流值相差約20μΑ。於讀取寫入正 常晶胞時，因讀取參考晶胞提供1 ΟμΑ的電流，因此即使 同一位元線上其餘晶胞總共具有小於1 ΟμΑ之漏電流（相 當於每個晶胞容許有20ηΑ之漏電流），仍可有效辨別出 寫入狀態，因為讀取時之容許漏電流等於讀取用參考晶胞 之電流減去寫入狀態用之參考晶胞電流。若字元線之電壓 提升至4.7V，該正常移除晶胞之電流為30μΑ，而讀取參 考晶胞之電流為20μΑ，而寫入晶胞之電流仍維持ΟμΑ。於 此狀態下，容許之漏電流相當於由ΙΟμΑ增加至20μΑ。如 此一來，正常晶胞於無施加字元線電壓下之移除臨界電壓 Vt可減小0.1V。例如，Vt可由前述之0.62V降至0.52V， 而仍不至於發生讀取錯誤的情況，也就是得到約0. IV的容 錯度（fault tolerance)。參考晶胞之電流與字元線電壓之關 係整理如表二所示。實務上，一般採用提高0.2-0.4V之字 元線電壓以減少過度移除。 表二 Vt 於 25°c 字元線電壓 溫度 電流 移除參考晶胞 3.46V 4.4V 90°C 20μΑ H:\Hu\tys\晶豪科中說\90553.doc • 10· 1247311 讀取參考晶胞 3.86V 4.4V 90°C ΙΟμΑ 寫入參考晶胞 4.76V 4.4V 90°C 0 μΑ 移除參考晶胞 3.46V 4.7V 90°C 30μΑ 讀取參考晶胞 3.86V 4.7V 90°C 20μΑ 寫入參考晶胞 4.76V 4.7V 90°C ΟμΑ 概括來說，為防止過度移除的問題發生，移除之臨界電 壓Vt不宜過小，且以大於0.7V (25°C下）為佳。最佳之 Vt仍依晶胞之設計而定，且縱使晶片通過低溫測試，其仍 有可能於高溫時讀取失敗。 假設參考晶胞針對移除、讀取及寫入之臨界電壓Vt於 25°C下分別設為3.86V、4.24V和5.0V，且額外加入一 ΙΟμΑ 之定電流。依照上述之條件下，其電壓-電流的關係分別以 曲線d、e、f表示，其中除了電流的啟始點不同之外，曲 線d約與曲線a吻合，曲線e約與曲線b吻合，曲線f約 與曲線c吻合。如此一來，若正常晶胞也加入此一定電流， 則相當於移除臨界電壓Vt增加0.4V，而仍維持同樣的位 元線電流，故於移除時#不需降至極低的電壓，而可大幅減 少過度移除發生的機率，其結果如表三所示。實務上，該 定電流一般約介於7-15μΑ之間，藉此約可提高0.3-0.5V 之移除臨界電壓。 表三

Vt 於 25〇C 字元線電壓 溫度 電流 移除參考晶胞 3.86V 4.7V 90°C 30μΑ 讀取參考晶胞 4.24V 4.7V 90°C 20μΑ H:\Hu\tys\& 豪科中說\90553.doc -11 - 1247311

本么月精由於項取或稱狀態確認（state verificati〇n)時加 入疋電流於晶胞電流中，但位元線的總電流仍可維持大 致不麦，藉以增加移除臨界電壓。故移除時不必執行至相 田低之電壓，而可防止過度移除的現象。該定電流不易因 溫度變化而改變。因為該定電流亦會增加位元線之漏電 流，故該定電流亦必須加至作為讀取及狀態確認之參考晶 胞’以免將來讀取時發生誤判。 圖5為〇。(：下之電壓_電流特徵曲線，其結果類似於圖4, 在此不再詳述。 ，為提昇正常晶胞移除狀態之臨界電壓來避免遇 度移除的發生，在藉訊號放大器做移除確認時，必須將正 常晶胞加上一定電流，可使晶胞具有較小之臨界電壓vt。 而移除參考晶胞亦可加上此—定電流，藉以獲得更好的最 小字元線電壓料界限。如圖4料，若移除參考晶胞之 Vt為3.46V(曲線a)，正常晶胞之移除vt$ 3 86V(曲線d) 且具有1〇μΑ之定電流’當字元線電壓位準為4V時，正 常晶胞在9代會比參考晶胞之電流高3μΑ，這意味著甚至 ^常晶胞的Vt稍大於3.86V ’其亦會被認定為處於移除狀 態。惟其目標係使晶胞之νί小於3.86V，故最好是於正常 晶胞以及移除參考晶胞均加上一定電流。 正常晶胞於讀取時亦可制此—定電流。若定電流未被 =與f上定Γ流比較時，字元線之電屡位準必須提高以 (、汛號放大态之目標電流或讀取電流。在讀取—vt為 H:\Hu\tys\ 晶荣科甲說 \9〇553 d〇c • 12 - 1247311 5 V之寫入狀態正常晶胞時，正常晶胞之電流（曲線f )會與 讀取參考晶胞之電流（加上定電流為曲線e，未加定電流 為曲線b)進行比較。當字元線電壓位準小於4.4V時，曲 線b之讀取參考晶胞電流比曲線f之寫入狀態正常晶胞電 流小；在此狀況下，寫入狀態之晶胞於讀取時會被誤認其 為移除狀態。但若於參考晶胞加上一定電流（曲線e)，則 可得到寫入狀態之適當界限來確認晶胞之狀態。 將此定電流運用於正常晶胞、讀取參考晶胞以及移除參 考晶胞上，可達到追蹤讀取操作以及移除確認之功效者。 又，於寫入確認時，此定電流加與不加均可，但最好還 是加上定電流以追蹤晶胞電流。 本發明之一較佳實施例之非揮發性記憶體防止過度移 除之電路60如圖6(a)所示，其主要係由一正常晶胞電路 61及一參考晶胞電路62所組成。該正常晶胞電路6 i包含 一正#日日胞611、傳輸電晶體（pass tr an si st or)612、一第一 電曰曰體613及一第一電晶體614。該參考晶胞電路62之電 路結構類似於δ亥正常晶胞電路611，但正常晶胞611係以 參考晶胞61 8替代’在移除確認、寫入確認及讀取時，可 以用不同的參考晶胞，各具有不同的¥1或用不同的位元 線電壓RWL。該正常晶胞61中之傳輸電晶體6丨2組成一 第一位元開關616，而該參考晶胞電路62中之傳輸電晶體 612則組成一第二位元開關617，作為位元線選擇之用。 該第一及第二位疋開關616、617之開、關狀態相同。該 正常晶胞電路61及參考晶胞電路62於傳輸電晶體612及 H:\Hu\tys\ 晶豪科中說\90553.doc -13 - 1247311 第一電晶體613間均連接一定電流源63，用以增加如上所 述之臨界電壓Vt，進而解決過度移除的問題。該正常晶胞 電路61及參考晶胞電路62之輸出電壓VN及VR送至一 訊號放大器615進行比較，以判讀該正常晶胞6丨丨之狀 態，且每個訊號放大器6丨5均至少設有一定電流源。該第 一電晶體613之作用為防止汲極端之位元線發生寫入，其 電壓V20大約維持於2V左右。 參照圖6(b) ’其電路實質相同於圖6(a)所示之電路，但 該定電流源63係以一 M0S型式之電晶體64加以實施。 圖7顯不該定電流源63之另一實施例，其係採用鏡射. 之原理。該定電流源63包含一快閃晶胞63丨、一 nm〇s 電晶體632、一 PMOS電晶體633和與上述元件鏡射之電 晶體634、63 5、636。該快閃晶胞631之閘極電壓可選用 參考電壓VR或其任意倍數nVR。而NMOS電晶體632、 635所組成之鏡射電晶體組637與圖6中之第一電晶體613 選用相同之電壓V20，且電晶體634之閘極線GN可對應 連接至電晶體64之閘極。依本實施例之定電流源63之設 汁，移除及寫入之臨界電壓Vt及定電流之大小可加以調 整。此外，該快閃晶胞63丨必須運作於飽和區（sat似此的 region) ’即電流並不隨汲極與源極間之電壓而改變，亦可 避免卜夬閃BB胞位於次臨界區，藉此減低溫度變化的影響。 該快閃晶胞63 1亦可由一 NM0S電晶體替代，但如此一來 定電流之大小將不易調整。 本發明之非揮發性記憶體防止過度移除之方法可應用 H:\Hu\tysMa 泵科中說\90553 d〇c 1247311 於絕大多數之移除運算式’可有效避免過度移除的問題發 生。 本發明之技術内容及技術特點巳揭示如上，然而熟悉本 項技術之人士仍可能基於本發明之教示及揭示而作種種 不背離本發明精神之替換及修飾。因此，本發明之保護範 圍應不限於實施例所揭示者，而應包括各種不背離本發明 之替換及修飾，並為以下之申請專利範圍所涵蓋。 【圖式簡單說明】 圖1至3係用以說明習知之非揮發性記憶體之過度移除 的問題； 圖4及5係用以說明本發明之非揮發性記憶體防止過度 移除之運作原理；以及 圖6(a)、6(b)及7例示本發明之非揮發性記憶體防止過 度移除之電路。 【元件符號說明】 60 非揮發性記憶體防止過度移除之電路 61 正常晶胞電路 62 參考晶胞電路 63 定電流源 64 電晶體 611 正常晶胞 612 傳輸電晶體 613 第一電晶體 614 第二電晶體 615 訊號放大器 616 第一位元開關 617 第二位元開關 618 參考晶胞 631 快閃晶胞 632 NMOS電晶體 633 PMOS電晶體 634 Λ 635 、 636 電 H:\Hu\tys\晶豪科中說汐0553.doc _ 15 _ 1247311 637 鏡射電晶體組

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Claims (1)

1247311 拾、申請專利範圍： h —種非揮發性記憶體防止過度移除之方法，包含下列步 驟： 提供一定電流於該非揮發性記憶體之至少一正常晶胞 及與該至少一正常晶胞相應之至少一參考晶胞； 設定該至少一正常晶胞之移除臨界電壓；以及 設定該定電流之加入，以提高該至少一正常晶胞之移 除臨界電壓。 2·如申凊專利範圍第1項之非揮發性記憶體防止過度移除之 方法，其另包含設定該至少一正常晶胞之寫入臨界電壓及 该至少一參考晶胞之讀取臨界電壓之步驟。 3·如申請專利範圍第1項之非揮發性記憶體防止過度移除之 方法’其中該正常晶胞於移除確認時可加入一定電流。 4·如申請專利範圍第1項之非揮發性記憶體防止過度移除之 方法’其中該正常晶胞於讀取時可加入一定電流。 5·如申請專利範圍第1項之非揮發性記憶體防止過度移除之 方法’其中該正常晶胞於寫入確認時可加入一定電流。 6·如申請專利範圍第1項之非揮發性記憶體防止過度移除之 方法，其中該參考晶胞可加入一定電流。 7·如申請專利範圍第1項之非揮發性記憶體防止過度移除 之方法’其中該定電流係介於7至15μΑ。 8·如申請專利範圍第1項之非揮發性記憶體防止過度移除之 方法’其中該移除臨界電壓可提高0.3至0.5V。 9 ·如中睛專利範圍第1項之非揮發性記憶體防止過度移除之 出⑽㈣晶豪科中說铷如如 1247311 方法，其中該定電流係由一利用鏡射原理之定電流源產 生。 I 〇· —種非揮發性記憶體防止過度移除之電路，包含： 一正常晶胞電路，係用於記錄該非揮發性記憶體之移 除確認’其包含一正常晶胞及一第一位元開關； 一參考晶胞電路，係用於確認移除該非揮發性記憶體 之狀態’其包含一參考晶胞及一第二位元開關； 一吼號放大器，係接收該正常晶胞電路及參考晶胞電 路之輸出並加以比較，用以判讀該正常晶胞之移除、寫入 狀態；以及 一定電流源，係提供一定電流至該正常晶胞，且其輸 入點分別介於該第一及第二位元開關與該訊號放大器之 間。 II ·如申请專利範圍第10項之非揮發性記憶體防止過度移除 之電路，其中該正常晶胞電路及參考晶胞電路分別包含一 第一電晶體，其係設於該第一及第二位元開關與訊號放大 器之間。 如申請專利範圍第10項之非揮發性記憶體防止過度移除 之電路，其中該定電流源係利用鏡射原理產生定電流。 13 ·如申μ專利範圍第1 〇項之非揮發性記憶體防止過度移除 之電路，其中該定電流源包含一快閃晶胞、一 金屬氧 化物半導體電晶體、一Ρ型金屬氧化物半導體電晶體和與 上述元件鏡射之電晶體。 14.如申睛專利範圍第1 〇項之非揮發性記憶體防止過度移除 ΗΛΗΐ_、晶豪科中說\90553.doc 1247311 之電路，其中該定電流源包含一鏡射電晶體組，且其閘極 電壓與該第一電晶體之閘極電壓相同。 15. 如申請專利範圍第10項之非揮發性記憶體防止過度移除 之電路，其中該參考晶胞可加入一定電流。 H:\Hu\tys\ 晶豪科 _ 1«A90553.doc