[go: up one dir, main page]

TWI246695B - Laminated ceramic capacitor and manufacturing method thereof - Google Patents

Laminated ceramic capacitor and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
TWI246695B
TWI246695B TW093104843A TW93104843A TWI246695B TW I246695 B TWI246695 B TW I246695B TW 093104843 A TW093104843 A TW 093104843A TW 93104843 A TW93104843 A TW 93104843A TW I246695 B TWI246695 B TW I246695B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
dielectric
layer
green sheet
ceramic capacitor
powder
Prior art date
Application number
TW093104843A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200421363A (en
Inventor
Koshiro Sugimoto
Osamu Toyama
Koji Ishimine
Yuichi Komoto
Manabu Maeda
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2003048234A external-priority patent/JP4129406B2/ja
Priority claimed from JP2003151139A external-priority patent/JP4349843B2/ja
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Publication of TW200421363A publication Critical patent/TW200421363A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI246695B publication Critical patent/TWI246695B/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

J246695 玫"發明說明 (發明說明應敘明:發明所屬之技術領域、先前技術、內容、實施方式及圖式簡單說明) 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及一種疊層陶瓷電容器及其製造方法,具體 涉及具有薄層化的電介質陶瓷層和内部電極層交替疊層構 成的有效電介質部及重疊在其上下面、保護上述有效電介 5 質部的外部防護電介質層的疊層陶瓷電容器及其製造方 法0 【先前技術】 近年來,隨著電子部件的小型化、多功能化,疊層陶 10 瓷電容器進一步小型高容量化。即,疊層陶瓷電容器的電 介質陶瓷層的厚度(内部電極間距離)薄層化到l〇//m以 下,此外,電介質陶瓷層及内部電極層的疊層數多達100 層以上。隨著電介質陶瓷層的如此薄層化,構成電介質陶 瓷層的主結晶相的平均粒徑也達到左右,也促進了其 15 所用電介質粉末及玻璃粉末的微粒化。作為相關的專利文 獻,有特開平10 — 241987號公報及特開平9—97733號公報。 但是,在採用如此微粒的電介質粉末及玻璃粉末,形 成的疊層陶瓷電容器中,由於電介質粉末的高燒結收縮 率,如第3圖所示,保護層即外部防護電介質層(107)與含有 20 電介質陶瓷層(101)和内部電極層(103)的有效電介質部 (105)相比,燒結收縮率高,結果,形成外部防護電介質層 (107)的尺寸變小的形狀(外部防護電介質層(107)的收縮前 的尺寸用(L1)表示,收縮後的尺寸用(L2)表示)。另外,在 如此的疊層陶瓷電容器中,由於因燒結收縮差造A的费 Ϋ1續次頁(發明說明頁不敷使用時,請註記並使用續頁)> -4- 1246695 發明說明續頁 形’在外部防護電介質層和有效電介質部之間或有效電介 質部相互之間產生裂紋或脫層。 【發明内容】 5 本發明的目的是提供一種疊層陶瓷電容器及其製造方 法’即使對採用的電介質粉末進行微細化,也能夠在外部 防護電介質層和有效電介質部之間或有效電介質部相互之 間’抑制因燒結收縮差而產生的裂紋或脫層。 本發明的疊層陶瓷電容器,由陶瓷(ceramics)構成, 10其中構成包括:有效電介質部,至少交替疊層含有以BaTi03 作為主成分的主結晶相和以形成晶界及3重點晶界的si〇2 為主成分的2次相的電介質陶瓷層和内部電極層;外部防護 電介質層,重疊在該有效電介質部的疊層方向上下面,含 有至少與上述電介質陶瓷層相同成分的主結晶相及2次 15相,外部電極,與在含有該外部防護電介質層的上述電介 質部的兩端面導出的内部電極層電連接;上述外部防護電 介質層具有比上述有效電介質部的電介質陶瓷層低的燒結 性。 。 具體是,在本發明的疊層陶瓷電容器中,使上述外部 20防護電介質層中的上述主結晶相的平均粒徑,大於上述電 介質陶瓷層中的上述主結晶相的平均粒徑,並且,上述外 防邊電介質層中的上述2次相量,比上述電介質陶曼層中 的上述2次相量多。由此,能夠減小外部防護電介質層和有 效電介質部的最終的燒結收縮差,同時,即使增大所用電 -5- .1246695 發明說明$賣胃 介質粉末的平均粒徑,收縮開始溫度向高溫側的偏移也減 小^夠降低發生在外部防護電介質層和有效電介質部之 間的内部應力(變形),能夠抑制發生在如此薄層、高疊 層化的疊層陶瓷電容器的裂紋或脫層。 5 或者,在本發明的疊層陶瓷電容器中,相對於上述外
部防護電介質層中的主結晶相的2次相的體積分率,也可以 小於相對於上述電介質陶瓷層的主結晶相的2次栢的體積 分率。由此,即使在構成電介質陶瓷層的主結晶相中採用 微粒子時,也能夠得到無脫層的疊層陶瓷電容器。 10 本發明的疊層陶瓷電容器的製造方法,包括:形成由
有效疊層體和外部防護層構成的疊層體的工序,所述有效 疊層體,在含有電介質粉末和玻璃粉末的疊層的多層第1 電介質生片之間,夾裝内部電極圖形,所述外部防護層, 重疊在該有效疊層體的疊層方向的上下面,由含有與上述 15 第1電介質生片相同的電介質粉末和玻璃粉末的第2電介質 生片構成;以及切斷後燒結該疊層體的工序,上述各生片 所含的電介質粉末和玻璃粉末的比例是使上述第2電介質 生片的燒結性低於上述第1電介質生片的燒結性的比例。 具體是,使上述第2電介質生片中的上述電介質粉末的 20 平均粒徑,大於上述第1電介質生片中的上述電介質粉末的 平均粒徑,並且,上述第2電介質生片中的上述玻璃粉末 量,大於上述第1電介質生片中的上述玻璃粉末量。 如果採用這種製造方法,外部防護電介質層的主結晶 相的平均粒徑能夠大於有效電介質部的主結晶相的平均粒 •6- 發明說明 1246695 徑,並且,在2次相量方面,外部防護電介質層側也能夠多 於有效電介質部側,如此,能夠容易形成減小外部防護電 介質層和有效電介質部的最終燒結收縮差的疊層陶瓷電容 器。即,即使增大所用電介質粉末的平均粒徑,也減小收 5 縮開始溫度向高溫側的偏移,能夠降低發生在外部防護電 介質層和有效電介質部之間的變形,可以製作即使薄層、 高疊層化也能夠抑制裂紋或脫層發生的疊層陶瓷電容器。 或者,上述第2電介質生片中的玻璃成分量,也可以低 於上述第1電介質生片中的玻璃成分量。 10 由此,例如,即使是薄層高疊層化的且採用微粒化的 原料粉末形成的疊層陶瓷電容器,形成外部防護電介質層 的陶曼組織中的晶界及3重點晶界的2次相的體積分率’也 能夠小於上述有效電介質部的2次相的體積分率。具體是, 通過將該外部防護電介質層的2次相的體積分率設定為構 15 成有效電介質部的電介質陶瓷層的60%〜95%,延遲外部防 護電介質層的收縮開始溫度,能夠靠近相對於有效電介質 部的燒結溫度的收縮曲線。如此能夠抑制因燒結收縮開始 溫度的差異產生在有效電介質部和外部防護電介質層之間 界面的應力,能夠防止界面的剝離及在其附近發生的内部 20 電極層和電介質陶瓷層之間的脫層。 【實施方式】 實施方式1 本實施方式的疊層陶瓷電容器,如第一圖所示,具有 1246695 發明說明續頁 有助於產生電容的有效電介質部卜配置在該有效電介質 部(1)的上下面的無助於產生電容的外部防護電介質層 (3)、形成在上述有效電介質部(1)及外部防護電介質層 的端部的外部電極5。有效電介質部⑴由電介質陶竞層⑺ 5和内部電極層(9)交替疊層構成。 有效電介質部(1)的厚度(tl)和外部防護電介質層(3) 的厚度02),優選滿st2/tl 〇·〇5的關係。特別是其比 率(t2/tl)在〇·1以上,在相對於有效電介質部(1),外部 防護電介質層(3)的影響增大時,優選採用本發明。 10 第二圖是有效電介質部(1)和外部防護電介質層(7)間 的放大剖面圖。即,電介質陶瓷層(7)由陶瓷粒子構成的主 結晶相(11)、形成在該主結晶相(11)的晶界(13)及3重點晶 界(15)構成。主結晶相(11)至少將BaTi〇3作為主成分。 另外,晶界(13)及3重點晶界(15),由以si〇2為主成 15分的2次相(16)構成。外部防護電介質層(3)也由與構成有 效電介質部(1)的電介質陶瓷層(7)相同的成分構成的主結 晶相(11)和由晶界(13)及3重點晶界(15)構成的2次相(6)構 此外,在本發明中,重要的是,外部防護電介質層(3) 20中的主結晶相(11)的平均粒徑(D2)大於上述電介質陶竟 層(7)的主結晶相(π)的平均粒徑(di),以及上述外部防 濩電介質層(3)中的2次相量M2大於上述電介質陶瓷層(7) 中的2次相量Ml。具體是,優選外部防護電介質層中 的主結晶相(Π)的平均粒徑(D2)是上述電介質陶瓷層(7) -8- 1246695 發明說明續頁 的主結晶相(U)的平均粒徑(D1)的1.1〜1·5倍,更優選 是1.2〜1.4倍。 此外,優選外部防護電介質層(3)中的2次相量(Μ2) 是上述電介質陶瓷層(7)中的2次相量(Ml)的l〇1〜L5 倍’更優選是1.05〜ι·4倍。 10 即’在本發明中,關於燒結前的電介質粉末的平均粒 徑,通過使外部防護電介質層(3)側的平均粒徑(DG2)大 於電介質陶竞層⑺側的平均粒徑(DG1),在燒結前的密 度變大,燒結收縮量變小同時,外部防護電介質層(3)的燒 結開始溫度向高溫侧移動。另外,通過增大外部防護電介 質層(3)側的電介質粉末的平均粒徑(DG2),使成為以氧 化石夕作為主成分的2次相量(M2)的玻璃粉末量⑺) 15 20 :於成為電介質陶兗層⑺侧的2次相量(M1)的玻璃粉末 量(MG1),能夠使收縮開始溫度低溫化,能夠接近相對 於有效電介質部⑴的燒結溫度的收縮曲線,因此,能夠抑 制因燒結收縮開始溫度的差異發生在有效電介質部⑴和外 部防護電介質層(3)之間界面的變形,能夠高成品率製造在 界面無剝離及在其附近發生的内部電極層⑼和電介質陶瓷 層(7)之間無裂紋或脫層的疊層陶瓷電容器。 通過在用電子顯微鏡觀察陶竟斷面後,能夠用遮取法 (nnercept)求出主結晶相⑴)的平均粒徑㈤、叫。且 =照二的—區域中的對角線方 除 以對角線上存在的粒子數。 此外,電介質陶究層⑺的厚度為7_以下,優選5 -9- 1246695 Π-— 發明說明f賈胃 //m以下,更優選3/zm以下。此外,疊層數在100層以 上,優選150層以上,更優選200層。這樣,通過使電介 質陶瓷層(7)的厚度薄層化並且增加疊層數,能夠提高疊層 陶瓷電容器的靜電電容量。 5 此外,構成電介質陶瓷層(7)及外部防護電介質層(3) 的主結晶相(11)的平均粒徑(D2、D1)為0.5//m以下,優 選0.3//m以下,結果,本發明正好合適如此構成電介質陶 瓷層(7)或外部防護電介質層(3)的主結晶相(11)的平均粒徑 (D2、D1)變小的疊層陶瓷電容器。 10 另外,内部電極層(9)的厚度,基於降低對於有效電介 質部(1)的内部電極層(9)的變形應力影響的理由,在5//m 以下,優選3/zm以下,更優選2//m以下。 内部電極層(9),從謀求小型高容量的疊層陶瓷電容器 的低成本化方面考慮,優選Ni、Cu、Ag、Ag—Pd等金屬 15 中的任何一種或它們的合金,從能夠與主成分BaTi03同時 燒結角度考慮,更優選Ni。 下面,詳細說明本發明的疊層陶瓷電容器的製造方法。 首先,在含有粘合劑的分散劑中分散,例如BaTi03系 的電介質粉末、至少含有規定量的Si02的玻璃粉末及各種 20 微量的添加劑,得到陶瓷粘合液。然後,採用已知的塗料 器如刮板等,塗佈得到的粘合液,進行片材成形,在燒結 後,得到成為電介質陶瓷層(7)的第1電介質生片。 此外,形成構成燒結前的疊層體的外部防護層,即, 也按與上述第1電介質生片相同的順序製作,在燒結後成 1246695 _ 發明說明續頁 為外部防護電介質層(3)的第2電介質生片。 此時,重要的是,第2電介質生片中的電介質粉末的平 均粒徑大於第1電介質生片的電介質粉末的平均粒徑,以及 第2電;|質生片中的玻璃粉末量(mg2)大於第1電介質生 5片中的玻璃粉末量(MG1)。具體是,優選第2電介質生片 中的電介質粉末的平均粒徑(DG2)是第1電介質生片中的
電介質粉末的平均粒徑(DG1)的1·1〜1.5倍,更優選是L2 〜1.4倍。 此外,優選第2電介質生片中的玻璃粉末量(Mg2)是 10第1電介質生片中的玻璃粉末量(MG1)的1.01〜1.5倍,更 優選是1.05〜1.4倍。
由此,通過增加玻璃粉末量,抵消採用平均粒徑大的 電介質粉末的第2電介質生片的收縮開始溫度的高溫化,能 夠接近相對於成為有效電介質部的第丨電介質生片的燒 15結溫度的收縮曲線,如此能夠抑制因燒結收縮開始溫度的 差異發生在有效電介質部和外部防護電介質層之間 的界面的變形,能夠防止界面的剝離及在其附近發生的内 部電極層9和電介質陶瓷層7之間的脫層。 此外,在本發明的製造方法中,構成上述第丨電介質 20生片和第2電介質生片的電介質粉末的平均粒徑(DG1、 DG2 )為0·5 // m以下,優選〇·4 " m以下。 另外’玻璃粉末的平均粒徑為〇 3〜1.2/zm,優選0·4 〜0.8"m的範圍。此外,本發明中的電介質粉末的平均粒 徑,指的是料漿調整後的平均粒徑。此外,本發明的電介 -11- 1246695 - 發明說明#賣胃 質粉末的平均粒徑是粒度分析中的50%累積值(D50)。 此外,本發明中的前期第1電介質生片的厚度在8//m 以下,優選6//m以下,更優選4/zm以下。此外,疊層數 為100層以上,優選150層以上,更優選200層以上。 5 下面,在上述第1電介質生片上面,印刷含有從Ni、
Cu、Ag、Ag—Pd等金屬中選擇的至少一種金屬粉末的導 電糊,通過乾燥,製作形成内部電極圖形的第1電介質生 片。内部電極圖形的厚度為5/zm以下,優選3/zm以下。 如此,使内部電極圖形薄層化的金屬粉末的平均粒徑優選 10 在 0.2〜0.5 a m。 此外,在疊層型電子部件的高疊層化中,沒有附設内 部電極圖形的部分,作為内部電極圖形的厚度形成的階梯 差,由於對疊層型電子部件有大的結構缺陷的影響,為避 免此影響,優選在去除上述第1電介質生片的内部電極圖 15 形的部分,印刷與該第1電介質生片相同組成的電介質陶 瓷糊,形成陶瓷圖形。 下面,疊層多片附設上述内部電極圖形的第1電介質 生片,燒結後形成發現靜電電容量的有效電介質體,然後, 在該有效電介質體的上下兩面,疊層多片成為外部防護層 20 的第2電介質生片,熱壓形成疊層體。之後,按要求的尺 寸對該疊層體進行切斷,得到各種未燒結的電容器主體用 成形體。其後,在規定的條件下,燒結上述未燒結的電容 器主體用成形體,得到電容器主體。 下面,如第一圖所示,在導出該電容器主體的内部電 -12- 1246695 ---- 發明說明$賣胃 極層(9)的端面,附著外部電極糊,燒結,得到附設外部電 極的疊層陶瓷電子部件。 實施方式2 本實施方式的疊層陶瓷電容器,基本上具有與第一 5 圖、第二圖所示的實施方式1相同的結構,但在本實施方 式中,重要的是,相對於外部防護電介質層(3)中的主結晶 相(主相)的2次相的體積分率,小於相對於上述電介質 陶瓷層(7)的主結晶相(主相)的2次相的體積分率。 具體是,優選上述相對於外部防護電介質層(3)中的主 10 結晶相(主相)的2次相的體積分率是相對於上述電介質 陶瓷層(7)的主結晶相(主相)的2次相的體積分率的60% 〜95%,更優選是70%〜90%。如此,能夠進一步抑制夾裝 在電介質陶瓷層(7)之間的内部電極層(9)的燒結收縮產生 的變形應力,能夠抑制脫層。 15 通過例如用電子顯微鏡觀察求出主結晶相及2次相的 各截面面積,能夠從以下公式求出上述體積分率。 體積分率(%) ={ (2次相的截面積)/ (主結晶相的 截面積)}x 100 本實施方式的疊層陶瓷電容器,基本上可以通過與第 20 一圖、第二圖所示的實施方式1的疊層陶瓷電容器相同的 工序進行製造,但在本實施方式中,重要的是,以第2電 介質生片中所含的以Si02為主成分的玻璃成分量小於第1 電介質生片中的玻璃成分量。具體是,優選第2電介質生 片中的玻璃成分量是第1電介質生片中的玻璃成分量的 -13- 1246695 [―— - 發明說明 60%〜95質量%,更優選在70%〜90質量%的範圍。由此, 延遲成為外部防護電介質層(3)的第2電介質生片的收縮開 始溫度,能夠靠近相對於成為有效電介質部(1)的第1電介 質生片的燒結溫度的收縮曲線,因此,能夠抑制因燒結收 5 縮開始溫度的差異發生在有效電介質部(1)和外部防護電介 質層(3)之間界面的應力,能夠抑制界面剝離及在其附近發 生的内部電極層(9)和電介質陶瓷層(7)之間的脫層。其他方 面與實施方式1相同。 另外,本發明可以在要求保護的範圍内進行種種改進 10 或修正。 以下,以實施例詳細說明本發明。
實施例I 首先,作為用於第1電介質生片用的陶瓷料漿的陶瓷 粉末,採用平均粒徑0.3/zm的BaTi〇3粉末,作為燒結助 15 劑,採用以平均粒徑0.6 μ m的Si〇2作為主成分的玻璃粉 末。作為陶瓷料漿的溶劑,按1 1的重量比,混合甲苯和 乙醇,在形成的混合溶劑中溶解聚乙烯醇縮丁醛及可塑 劑,得到粘合劑溶液,在該粘合劑溶液中,按規定的混合 比添加BaTi03粉末和玻璃粉末,利用球磨機分散,調製成 20 陶瓷料漿。採用刮刀法,在聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET) 等載體薄膜上塗佈該陶瓷料漿,製作厚3//m、6/zm、8/zm 的第1電介質生片。 另外,作為第2電介質生片用的陶瓷料漿,如表1所 示,除使用平均粒徑比上述第1電介質生片用的陶瓷料漿 -14- 1246695 發明說明 中的電介質粉末大的電介質粉末且增加玻璃粉末量外,其 餘的與上述製作方法相同地製作陶瓷料漿。然後,採用刮 刀法,將製作的陶瓷料漿塗佈在上述載體薄膜上,製作成 厚10/zm外部防護電介質層用的第2電介質生片。另外, 5 關於粉碎混合的料漿的調製條件,兩生片相同。調製的料 漿的内容見表1。 下面,在各厚度的第1電介質生片上,塗佈含有Ni的 導電糊,形成内部電極圖形,從載體薄膜上剝離形成有内 部電極圖形的第1電介質生片,如此疊層300層,在其上 10 下,在上下面各疊層20層各玻璃含量的外部防護薄膜,製 作本發明的疊層體。内部導體的厚度調整到為各生片厚度 的0.5倍的厚度。 然後,切斷該疊層體,製作電容器主體用成形體,在 脫脂處理後,在還原氣氛下進行燒結,得到電容器主體。 15 各第1電介質生片及第2電介質生片的組合如表1所示。 下面,在該電容器主體的兩端面,塗佈外部電極糊, 經過燒結,形成外部電極,製成長3.2mmx寬2.5mm尺寸 的疊層陶瓷電容器。 作為構成電介質陶瓷層及外部防護電介質層的陶瓷組 20 成的評價,進行陶瓷組成的電子顯微鏡觀察,求出含有主 結晶相即BaTi〇3的結晶相的平均粒徑和由晶界及3重點晶 界構成的2次量。在本發明中,即使在燒結後,也反映出 在採用的第1及第2電介質生片中各自所用的各電介質粉 末比和玻璃量比。 .1246695 發明說明續頁 此外’作為結構缺陷的評價,求出了在1〇〇個疊層陶 瓷電容器中的脫層發生率。此外,作為疊層陶瓷電容器的 可靠性的評價,進行了溫度差280°C的軟焊料耐熱衝擊試 驗’求出了 100個試樣中的裂紋發生率。 另外,作為比較例,採用在第1電介質生片及第2電 介質生片中所含的玻璃成分含量分別相等的電介質生片, 製作相同的疊層陶瓷電容器,進行了相同的評價,以上結 果見表1。 表1
均粒徑:質層/電介質陶竟層的關係中的主結晶相的平 率。外4防4電”質層/電介質陶竟層的關係中的2次相量的比 -16- 1246695 - 發明說明 由表1的結果可以看出,在構成外部防護電介質層的主 結晶相的平均粒徑大於構成有效電介質部的電介質陶瓷層 的、且2次相量大的試樣No I — 2〜14中,起因於發生在外 5 部防護電介質層和有效電介質部之間的燒結開始溫度的差 的變形造成的剝離或發生在有效電介質部之間的裂紋或脫 層,在燒結後為10%以下,在軟焊料耐熱衝擊試驗後為3% 以下。 特別是,在外部防護電介質層的主結晶相的平均粒徑 10 為電介質陶瓷層的主結晶相的平均粒徑的Μ〜1.5倍的,且 2次相量為1.01〜1.5倍的試樣No I— 3〜14中,燒結後的裂 紋、脫層的發生率在5%以下,軟焊料耐熱衝擊試驗後在1% 以下。 另外,作為比較例,在外部防護電介質層及電介質陶 15 瓷層的平均粒徑和玻璃量相同的,或外部防護電介質層或 電介質陶瓷層的任何一層的平均粒徑或玻璃量相同的試樣 No I— 1及15中,在燒結後,在全部的疊層陶瓷電容器的外 部防護電介質層和電介質陶瓷層的界面,都發生脫層。
實施例II 20 與實施例I同樣,在載體薄膜上製作厚3/zm、6//m、 8//m的第1電介質生片。 另外,厚10#m的外部防護層用第2電介質生片,如 表1所示,相對於上述第1電介質生片用的陶瓷料漿的玻 璃成分添加量,採用按60質量%〜95質量%的範圍調整的 -17-
,1246695 第2電介質生片用的陶瓷料漿,其他通過與上述製作方法 相同的方式製作。 下面,在各厚度的第1電介質生片上,塗佈含有Ni的 導電糊,形成内部電極圖形,從載體薄膜上剝離形成有内 5 部電極圖形的第1電介質生片,如此疊層300層,在其上 下,在上下面各疊層20層各玻璃含量的外部防護薄膜,製 作本發明的疊層體 然後,切斷該疊層體,製作電容器主體用成形體,在 脫脂處理後,在還原氣氛下進行燒結,得到電容器主體。 10 各第1電介質生片及第2電介質生片的組合如表1所示。 下面,在該電容器主體的兩端面,塗佈外部電極糊, 經過燒結,形成外部電極,製成長3.2mmx寬2.5mm尺寸 的疊層陶瓷電容器。 作為構成電介質陶瓷層及外部防護電介質層的陶瓷組 15 成的評價,進行陶瓷組成的電子顯微鏡觀察,求出主結晶 相即含BaTi03的粒子和2次相(晶界及3重點晶界)的體 積分率的差。此時,構成電介質陶瓷層及外部防護電介質 層的主結晶相的平均粒徑為0.5 // m。 此外,作為結構缺陷的評價,求出了在100個疊層陶 20 瓷電容器中產生脫層的發生率。此外,作為疊層陶瓷電容 器的可靠性的評價,進行了溫度差280°C的軟焊料耐熱衝 擊試驗,求出了 100個試樣中的裂紋發生率及85°C、64V 時的300個試樣的48小時後的故障率。 另外,作為比較例,採用在第1電介質生片及第2電 -18- 1246695 r---- 發明說明_胃 介質生片中所含的玻璃成分含量分別相等的電介質生片, 製作相同的疊層陶瓷電容器,進行了相同的評價,以上結 果與本發明的結果一同示於表2。 表2 試樣 No. 第1電介質 生片厚度 (//m) 2次相體積 分率(*4) (體積%) 脫層發生率 高溫負荷試驗 故障率(%) 燒結後 (%) 軟焊料耐熱衝 擊試驗後(%) II 一 1 3 70 0 0 0 II-2 3 80 0 0 0 II—3 3 90 0 0 0 II-4 5 60 1 2 0 II一 5 5 70 0 0 0 II一6 5 80 0 0 0 II 一 7 5 90 0 0 0 II-8 5 95 1 2 卜0 *11-9 5 100 100 6 0.3 II 一 10 * 8 70 0 0 0 表示本發明範圍以外的試樣。 *4:表示電介質陶瓷層中的2次相體積分率/外部防護電介質層 中的2次相體積分率。 由表2的結果可以看出,在試樣No Η— 、10中,以 10構成外部防護電介質層的陶瓷組成中的si〇2作為主成分的 2次相的體積分率,小於構成有效電介質部的電介質陶瓷層 的2次相的體積分率,因起因於發生在外部防護電介質層和 有效電介質部之間的燒結開始溫度的差的應力的剝離或發 生在有效電介質部之間的脫層,在燒結後為1%以下,在軟 15焊料耐熱衝擊試驗後為2%以下,高溫負荷試驗故障率為 -19- .1246695 -—— 發明說明_囊 0%。特別是在上述比率為60%〜90%的試樣No II -1〜3、5 〜7及10中,在燒結後及軟焊料耐熱衝擊試驗後的各階段均 未發生脫層。 另外,在用相同陶瓷組成製作外部防護電介質層及電 5 介質陶瓷層的試樣No II-9中,在燒結後,在全部疊層陶瓷 電容器的外部防護電介質層和電介質陶瓷層的界面,都發 生脫層,高溫負荷試驗故障率也為0.3%。 -20- 發明說明_胃 1246695 【圖式簡單說明】 第一圖是表示本發明的疊層陶瓷電容器的一實施方式 的概略剖面圖。 第二圖是有效電介質部和外部防護電介質層之間的放 5 大剖面圖。 第三圖是表示外部防護電介質層與有效電介質部相比 收縮後的疊層陶瓷電容器的概略剖面圖。 【圖式符號說明】 10 1有效電介質部 3外部防護電介質層 5外部電極 7電介質陶瓷層 9内部電極層 tl有效電介質部的厚度 t2外部防護電介質層的厚度 15 11主結晶相 13晶界 15重點晶界 16 2次相 D1電介質陶瓷層的主結晶相的平均粒徑 D2主結晶相11的平均粒徑 20 101電介質陶瓷層 103内部電極層 105有效電介質部 107外部防護電介質層 L1外部防護電介質層收縮前的尺寸 L2外部防護電介質層收縮後的尺寸 -21-

Claims (1)

1246695 拾、申請專利範圍 1·一種疊層陶瓷電容器,由陶瓷構成,其中構成包括; 有效電介質部,至少交替疊層含有以BaTi〇3作為主成 分的主結晶相和以形成晶界及3重點晶界的Si〇2為主成分 的2次相的電介質陶瓷層和内部電極層; 5 外部防護電介質層,重疊在該有效電介質部的疊層方 向上下面,含有至少與上述電介質陶瓷層相同成分的主結 晶相及2次相; 外部電極,與在含有該外部防護電介質層的上述電介 質部的兩端面導出的内部電極層電連接, 10 上述外部防護電介質層具有比上述有效電介質部的電 介質陶瓷層低的燒結性。 2·如申請專利範圍第1項所述的疊層陶瓷電容器,其 中,使上述外部防護電介質層中的上述主結晶相的平均粒 徑,大於上述電介質陶瓷層中的上述主結晶相的平均粒 15徑,並且,上述外部防護電介質層中的上述2次相量,比上 述電介質陶瓷層中的上述2次相量多。 3·如申請專利範圍第2項所述的疊層陶瓷電容器,其 中,外部防護電介質層t的主結晶相的平均粒徑(D2)和 電介質陶兗層中的主結晶相的平均粒徑(D1)的比即D2/ 20 D1在丨.1〜1.5的範圍。 4·如申凊專利範圍第2項所述的疊層陶瓷電容器,外部 防護電介質層巾的2次相量和電介質陶竞層中的2次相量的 比即在1·〇1〜1·5的範圍。 5·如申請專利範圍第1項所述的疊層陶瓷電容器,其 0續次頁(申諝專利範圍頁不敷使卿,請註記並使用續頁) -22- 1246695
中’相對於上述外部防護電介質層中的主結晶相的2次相的 體積分率,小於相對於上述電介質陶瓷層的主結晶相的2 次相的體積分率。 6·如申請專利範圍第5項所述的疊層陶瓷電容器,其 5中’相對於上述外部防護電介質層中的主結晶相的2次相的 體積分率’是相對於上述電介質陶瓷層中的主結晶相的2 次相的體積分率的60%〜95%。
7·如申請專利範圍第1項所述的疊層陶瓷電容器,其特 徵在於:有效電介質部的厚度(tl )和外部防護電介質層 10的厚度〇2)滿足t2/tl 0·05的關係。 8·如申請專利範圍第1項所述的疊層陶瓷電容器,電介 質陶竟層的厚度在7//m以下,且疊層數在1〇〇以上。 9. 如申請專利範圍第1項所述的疊層陶瓷電容器,其 中’構成電介質陶瓷層及外部防護電介質層的主結晶相的 15平均粒程在〇.5/zm以下。 10. —種疊層陶瓷電容器的製造方法,包括:
形成由有效疊層體和外部防護層構成的疊層體的工 序,所述有效疊層體,在含有電介質粉末和玻璃粉末的疊 層的多層第1電介質生片之間,夾裝内部電極圖形,所述外 2〇部防護層,重疊在該有效疊層體的疊層方向的上下面,由 含有與上述第1電介質生片相同的電介質粉末和玻璃粉末 的第2電介質生片構成; 對該疊層體切斷後進行燒結的工序, 上述各生片所含的電介質粉末和玻璃粉末的比例是使 -23- 1246695
上述第2電介質生片的燒結性低於上述第丨電介質生片的燒 結性的比例。 u·如申請專利範圍第10項所述的疊層陶瓷電容器的 製造方法,其中,使上述第2電介質生片中的上述電介質粉 5末的平均粒徑,大於上述第1電介質生片中的上述電介質粉 末的平均粒徑,並且,上述第2電介質生片中的上述玻璃粉 末量,大於上述第1電介質生片中的上述玻璃粉末量。 12·如申請專利範圍第丨丨項所述的疊層陶瓷電容器的 製造方法,其中,第2電介質生片中的上述電介質粉末的平 10均粒徑和第1電介質生片中的上述電介質粉末的平均粒徑 的比在1.1〜1·5的範圍内。 13·如申請專利範圍第U項所述的疊層陶瓷電容器的 製造方法,其中,第2電介質生片中的玻璃粉末量和第1電 介質生片中的玻璃粉末量的比在1.01〜1.5範圍内。 15 Μ·如申請專利範圍第10項所述的疊層陶瓷電容器的 製造方法’其中,上述第2電介質生片中的玻璃成分量低於 上述第1電介質生片中的玻璃成分量。 15·如申請專利範圍第14項所述的疊層陶瓷電容器的 製造方法’其中’上述第2電介質生片中的玻璃成分含量, 20相對於上述第1電介質生片中的玻璃成分含量,以質量比計 為 60%〜95%。 16·如申請專利範圍第10項所述的疊層陶瓷電容器的 製造方法’其中,構成上述第1電介質生片及上述第2電介 質生片的電介質粉末的平均粒徑在0.5 # m以下。 -24- 1246695
17.如申請專利範圍第10項所述的疊層陶瓷電容器的 製造方法,其中,上述第1電介質生片的厚度在8/zm以下, 且疊層數在100以上。 -25-
TW093104843A 2003-02-25 2004-02-25 Laminated ceramic capacitor and manufacturing method thereof TWI246695B (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003048234A JP4129406B2 (ja) 2003-02-25 2003-02-25 積層セラミックコンデンサの製法
JP2003151139A JP4349843B2 (ja) 2003-05-28 2003-05-28 積層セラミックコンデンサおよびその製法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200421363A TW200421363A (en) 2004-10-16
TWI246695B true TWI246695B (en) 2006-01-01

Family

ID=33455402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW093104843A TWI246695B (en) 2003-02-25 2004-02-25 Laminated ceramic capacitor and manufacturing method thereof

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6839221B2 (zh)
KR (1) KR101108958B1 (zh)
CN (1) CN100437848C (zh)
TW (1) TWI246695B (zh)

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005159224A (ja) * 2003-11-28 2005-06-16 Tdk Corp 積層セラミックコンデンサ
JP4182007B2 (ja) 2004-01-30 2008-11-19 Tdk株式会社 積層セラミックコンデンサ
JP4073416B2 (ja) * 2004-03-31 2008-04-09 Tdk株式会社 積層セラミックコンデンサ
US7365958B2 (en) * 2004-10-27 2008-04-29 Kyocera Corporation Dielectric ceramics, multilayer ceramic capacitor and method for manufacturing the same
JP4789449B2 (ja) * 2004-10-27 2011-10-12 京セラ株式会社 誘電体磁器およびそれを用いた積層セラミックコンデンサ
WO2006103954A1 (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Kyocera Corporation 積層セラミックコンデンサおよびその製法
JP4293553B2 (ja) * 2005-05-31 2009-07-08 Tdk株式会社 積層型電子部品及び積層セラミックコンデンサ
JP2009200168A (ja) * 2008-02-20 2009-09-03 Tdk Corp セラミック電子部品、セラミック電子部品の製造方法、及びセラミック電子部品の梱包方法
KR101070151B1 (ko) * 2009-12-15 2011-10-05 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터
KR101101612B1 (ko) * 2009-12-15 2012-01-02 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터
KR101141369B1 (ko) * 2010-12-13 2012-05-03 삼성전기주식회사 적층 세라믹 콘덴서 및 그 제조방법
JP2012142478A (ja) * 2011-01-05 2012-07-26 Murata Mfg Co Ltd 積層型電子部品およびその製造方法
CN103125006B (zh) * 2011-02-23 2016-04-20 株式会社村田制作所 层叠陶瓷电容器
JP5313289B2 (ja) * 2011-04-15 2013-10-09 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ
JP5648744B2 (ja) * 2011-06-22 2015-01-07 株式会社村田製作所 半導体セラミックコンデンサの製造方法
KR101952843B1 (ko) * 2011-07-07 2019-02-27 삼성전기주식회사 내부전극용 도전성 페이스트 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 전자부품
KR101548773B1 (ko) * 2011-08-22 2015-08-31 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터의 회로 기판 실장 구조
KR101580349B1 (ko) * 2012-01-31 2015-12-24 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법
GB2502971B (en) * 2012-06-11 2017-10-04 Knowles (Uk) Ltd A capacitive structure
KR101771728B1 (ko) * 2012-07-20 2017-08-25 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법
KR101422938B1 (ko) * 2012-12-04 2014-07-23 삼성전기주식회사 기판 내장용 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법, 기판 내장용 적층 세라믹 전자부품을 구비하는 인쇄회로기판
JP5462962B1 (ja) * 2013-01-31 2014-04-02 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ
KR101681358B1 (ko) 2013-04-08 2016-11-30 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터 및 그 제조방법
JP2015026837A (ja) * 2013-10-30 2015-02-05 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品の製造方法及び積層セラミック電子部品
JP6340576B2 (ja) * 2013-11-08 2018-06-13 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層部品の製造方法
KR102089700B1 (ko) * 2014-05-28 2020-04-14 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터, 적층 세라믹 커패시터의 제조 방법 및 적층 세라믹 커패시터의 실장 기판
JP2015008312A (ja) * 2014-08-13 2015-01-15 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ、これを含む積層セラミックコンデンサ連、および、積層セラミックコンデンサの実装体
JP2016040816A (ja) * 2014-08-13 2016-03-24 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ、これを含む積層セラミックコンデンサ連、および、積層セラミックコンデンサの実装体
JP6224853B2 (ja) * 2014-11-28 2017-11-01 京セラ株式会社 積層セラミックコンデンサ
DE102014118749A1 (de) * 2014-12-16 2016-06-16 Epcos Ag Verzugsarme keramische Trägerplatte und Verfahren zur Herstellung
JP6525669B2 (ja) * 2015-03-27 2019-06-05 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品
KR101808794B1 (ko) * 2015-05-07 2018-01-18 주식회사 모다이노칩 적층체 소자
KR102550172B1 (ko) * 2016-12-20 2023-07-03 삼성전기주식회사 전자부품
DE102017200503B4 (de) 2017-01-13 2023-02-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung eines dielektrischen Elements
JP6909011B2 (ja) * 2017-02-21 2021-07-28 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ
JP7131955B2 (ja) * 2017-08-08 2022-09-06 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
KR102587765B1 (ko) * 2017-08-10 2023-10-12 다이요 유덴 가부시키가이샤 적층 세라믹 콘덴서 및 그 제조 방법
JP7036430B2 (ja) 2018-05-09 2022-03-15 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法
KR102691312B1 (ko) * 2018-09-05 2024-08-05 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자부품
KR102523255B1 (ko) 2019-06-28 2023-04-19 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 적층형 전자부품
KR102603410B1 (ko) * 2019-06-28 2023-11-17 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 적층형 전자부품 및 적층형 전자부품의 제조 방법
KR102662852B1 (ko) 2019-07-24 2024-05-03 삼성전기주식회사 적층형 커패시터 및 그 실장 기판
KR102806846B1 (ko) * 2020-12-14 2025-05-13 삼성전기주식회사 적층형 커패시터 및 그 실장 기판
JP7535005B2 (ja) * 2021-03-31 2024-08-15 Tdk株式会社 積層電子部品
JP7681485B2 (ja) 2021-09-28 2025-05-22 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
KR102867857B1 (ko) * 2021-12-15 2025-10-01 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터의 제조 방법 및 적층 세라믹 커패시터
JP2023129774A (ja) * 2022-03-07 2023-09-20 太陽誘電株式会社 積層セラミック電子部品
KR20240133138A (ko) 2023-02-28 2024-09-04 삼성전기주식회사 적층형 전자 부품

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0739019B1 (en) * 1994-10-19 2003-12-03 TDK Corporation Multilayer ceramic chip capacitor
JPH0997733A (ja) 1995-09-29 1997-04-08 Taiyo Yuden Co Ltd 積層セラミック部品の製造方法
JP3024536B2 (ja) * 1995-12-20 2000-03-21 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
JP3255011B2 (ja) * 1996-05-23 2002-02-12 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品
JP3039417B2 (ja) * 1997-02-07 2000-05-08 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
JPH10241987A (ja) 1997-02-25 1998-09-11 Tokin Corp 積層セラミックコンデンサの製造方法
CN100378878C (zh) * 1997-11-24 2008-04-02 阿维科斯公司 端接多个表面安装元件的方法和制造多个表面安装元件的方法
JP3275818B2 (ja) * 1998-02-12 2002-04-22 株式会社村田製作所 積層コンデンサ
TW508600B (en) * 2000-03-30 2002-11-01 Taiyo Yuden Kk Laminated ceramic capacitor and its manufacturing method
JP4663141B2 (ja) * 2001-03-07 2011-03-30 京セラ株式会社 誘電体磁器および積層型電子部品

Also Published As

Publication number Publication date
US20040233612A1 (en) 2004-11-25
US6839221B2 (en) 2005-01-04
CN1525503A (zh) 2004-09-01
CN100437848C (zh) 2008-11-26
KR20040076596A (ko) 2004-09-01
TW200421363A (en) 2004-10-16
KR101108958B1 (ko) 2012-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI246695B (en) Laminated ceramic capacitor and manufacturing method thereof
US9129752B2 (en) Ceramic electronic component and method of manufacturing the same
JP3527899B2 (ja) 積層型電子部品およびその製法
JP4200792B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2022050693A (ja) 積層セラミックキャパシタ
CN103229260B (zh) 叠层陶瓷电子元件及其制造方法
JP5773445B2 (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP6493650B2 (ja) 積層セラミック電子部品
JP7460043B2 (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP4859593B2 (ja) 積層セラミックコンデンサおよびその製法
JP4359914B2 (ja) 積層型電子部品およびその製法
JP4349843B2 (ja) 積層セラミックコンデンサおよびその製法
JP2002289456A (ja) セラミック積層体およびその製法
JP2003234242A (ja) 積層セラミックコンデンサ
KR20170112381A (ko) 세라믹 조성물 및 이를 포함하는 적층형 커패시터
JP2004096010A (ja) 積層型セラミック電子部品の製造方法
JP7493322B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP4129406B2 (ja) 積層セラミックコンデンサの製法
JPH10335168A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP4175284B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2010212503A (ja) 積層セラミックコンデンサ
TWI333663B (zh)
JP2003115416A (ja) 導電性ペースト、積層セラミック電子部品の製造方法および積層セラミック電子部品
JP4549210B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法
JP2003317542A (ja) 導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees