TWI242031B - Printing ink resist composition, method of forming resist film thereof, and method of producing substrate using the same - Google Patents

Description

1242031 ~五、發明說明1 —--- 一、【發明所屬之技術領域】 及其光阻 二二明係關於一新的印刷油墨光阻組成物 之形成方法與利用這些之基板製造方法。 二、【先前技術】 之近^，印刷油墨廣泛地使用在各個領域。在印刷油墨 把由i:種印刷油墨光阻組成物已發展成為在膠版印刷技 H丁中具有特殊功能之油墨光阻材料之一。 關於此印刷油墨光阻組成物，例如已知有一方法，能 ^活性能量光硬化之負能量光感光阻組成物應用到金屬基 ^如銅疊層基板之表面上，然後組成物直接以活性能量光 或經由印刷遮罩照射，以得到期望印刷圖案，然後未硬化 之膜以一顯影處理去除，接著暴露出金屬層部分以蝕刻液 去除，而形成期望圖案。亦即，這是一種負圖案形成方法 (參閱日本公開專利公報第2 0 00- 6 34 5 1號）。 除了上述方法，近來也已知有一方法，以活性能量光 分解正能量光感光阻組成物’然後組成物以活性能量光照 射’然後照射部分之膜以顯影去除，接著暴露出金屬層部 分以蝕刻液去除，而形成期望圖案。亦即，這是一種正圖 案形成方法（參閱日本公開專利公報第2 〇 〇 1 - 2 2 0 6 7號）。 然而’上述藉活性能量光之正或負圖案形成方法有活 性能量光照射設備與附屬设備的必然問題，因為以活性能 量光照射而增加製程，增加製程管理的勞力。 此外，已知有作為習用印刷油墨的印刷油墨消失，例

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五、發明說明（2) 石油椒炉«,,,' 松香S曰树知、順丁烯二酸樹脂、 此印J t 作為樹脂所得之印刷油墨。秋而，這 =油墨使用在平版印刷等等，;二“ 如使用松香改質紛樹脂 為先阻組成物，印刷膜妳籂釗《々入4丨抓—丨剕/由β便用 此，$处π #…1膘、、工蝕刻疋兀王剝離或部分剝離，因 不月b形成元好的圖案。 二、【發明 本發明 ，骐之形成 單’製程管 本發明 問題可藉進 之印刷油墨 即本發 刷油墨光阻 此外， 網版印刷步 墨光阻組成 板表面上， 此外， 方法，包含 ⑴實 成分之印刷 有金屬層之 内容】 刷油墨光阻組 基板製造方法 完好圖案。 努力研讀，結 酚樹脂作為主 解決，然後完 脂作為主要樹 稠劑。 膜之形成方法 為主要樹脂成 實施在一具有 之一光阻膜。 金屬層圖案之 成物，一光 ，其製程簡 果發現習知 要樹脂成分 成本發明。 脂成分之印 ，包含實施 分之印刷油 金屬層之基 基板之製造 之一目的係提供一印 方法，與利用這些之 理容易’可以形成一 人為達成上述目的而 一步加增稠劑到包含 光阻組成物中而完全 明係關於一包含紛樹 組成物，更包含一增 本發明係關於一光阻 驟’以包含酚樹脂作 物（更包含一增稠劑） 而形成具有期望圖案 本發明係關於一具有 施網版印刷步驟，以包含酚樹脂作 油墨光阻組成物（更包含一增稠劑） 基板表面上，而形成具有期望圖案 為主要樹脂 實施在 '--具 之一光阻

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五、發明說明（3) 膜， (2) 去除金屬層步驟’以餘刻液去除 成之部分金屬層，以及 〃 ^光阻未顯影形 (3) 去除步驟（2)後之光阻膜步驟。 四 首先’本發明之光阻組成物在下面說 本發明之光阻組成物之特徵在於 1 。 樹脂成分之印刷油墨光阻組成物，以及3酚樹脂作為主要 作為包含酚樹脂為主要樹脂成八更包含一增稠劑。 物，那些習用印刷油墨能夠在沒 =印刷油墨光阻組成 而，具體地能使用溶解或散佈一酚限制下使用。然 >谷劑型光阻組成物）所得之組成物。①曰到有機溶劑（有機 ㈣較佳地使用例如合成酚醛樹 树知。 t乙烯酚樹脂作為酚 田士成酚醛樹脂的實例是如酚、 ’子甲本酚、2， 5 -二甲苯酚、3 :甲苯酚、鄰甲苯酚、 連苯三齡、雙紛、雙紛a、三笨〜二甲苯齡、間苯二齡、 本酚、對乙基苯酚、丙基苯酚、、鄰乙基苯酚、間乙基 紛1萘酴、2-萘紛之至少一 丁基本齡、三級丁基苯 下與如甲醛、乙醛、丙醛、苯族烴在酸性催化劑存在 乙基鲷、f基異丁基酮之_之：糠醛之醛以及丙酮、 树月曰。對甲醛與對醛可以分別用至少之一聚縮合所得之 以合成酚醛樹脂之膠滲層 ，替甲醛與乙醛。 /曰丟量測的聚苯乙烯之重量 1242031 五、發明說明（4) 平均分子ϊ較佳從3 0 0到3 0 0 0 0 0 ’更佳從5〇〇到2〇〇〇〇〇(於 此膠滲層析法簡寫為GPC，GPC量測之重量平均分子量簡寫 為Mw)。這些範圍的不限以蝕刻阻力來看是明顯的，上\艮” 以在驗去皮液蚀刻後之光阻膜溶解度來看是明顯的。 作為合成盼搭樹脂之芳香族烴，酚、鄰甲苯酚、間 苯齡、對曱苯盼、2, 5-二甲苯酚、3, 5_二甲苯酚、間笨 二酚在上述化合物之中是較佳的。較佳使用以這些酚至少 之一與選自甲醛、乙醛、丙醛之化合物至少之一聚縮合所 得之合成酚醛樹脂。在醛之中，甲醛是較佳的。 聚乙烯酚樹脂的實例是從鄰羧苯乙烯、間叛苯乙稀、 對羧苯乙稀、2-(鄰羧苯）丙烯、2-(間羧苯）丙烯、2 —(對 魏苯）丙烯之一或多所得之聚合物。羧苯乙烯在芳香環上 可以有取代基如鹵素原子（例如氯、溴、碘、氟）與^至[ 烷取代基。因此，聚乙烯酚樹脂在芳香環上可以有^素4原 子或G至匕烷取代基。然而，未取代聚乙烯酚樹脂較佳、。/、 聚乙稀紛樹脂通常在基聚合起始物與陽離子聚人起妒 物存在下以聚合一或多隨意有取代基之羧笨乙烯得二。^ 乙烯紛樹脂可以部分氫化。此外，聚乙烯酚上的_此⑽義 可以用三級丁氧羰基、吡喃基、呋喃基等等保護。一 土 聚乙烯酚樹脂之Mw較佳從1 0 0 〇到1 〇 〇 〇 〇 〇，更佳從1 5⑽ 到5 0 0 0 0。這些範圍的下限以蝕刻阻力來看是明顯^， 限以在鹼性去皮溶液蝕刻後之光阻膜溶解度來 的。 疋月顯 上述之合成酚醛樹脂與聚乙烯酚樹脂皆為商業上可巧

第11頁 1242031 五、發明說明（5) 物品。商品名稱例如是MER-7966、Mer MER-7980(皆為Meiwa Kasei κ κ 9 MER—7971 與 pn^rn7Q1 r ^ n k•生產），以及PR-HF-3 與 _ BakeUte C〇.，“d.生產）。 所得之组：I 0:當Ϊ用藉溶解或分散酚樹脂在有機溶劑中 物:夠r::::r:r能溶解或分㈣ r類溶劑，如己：用；:；有:;劑的以1 醚、乙基乙締基入二^”。丙基鍵、二丁基 二醇乙趟、甲基乙二醇乙趟：2丙烯、四氫呋喃、乙 醇、二甘醇單- 、 土乙一醇乙醚、甲基卡必 基異丁基酮、里：爾『類溶劑，如丙酮、甲基乙基嗣、甲 醋、乙基乙醋、、丙ϊ 7衣己嗣；醋類溶劑，如甲基乙 吡啶、甲醯胺、"酯、丁基乙酯；以及其他溶劑，如 . ’ N —甲基甲醯胺。 在本發明，承、曰 組成物包含紛樹月.=一增稱劑到如上述之組成物中，該 無機微粒或壤作^ ，.、、主要成分。具體來說，較佳使用一 鼠1下為增稠劑。 無機微粒的半仏 5nm到8 。從和句顆粒尺寸較佳從3題到1〇 ，更佳從 形成而改進印刷卩埃制組成物黏度低以便防止非應用部份的 從改進圖案表面5用〖生來看’上述範圍的下限是明顯的， 看，上述範圍的^側面的平滑性和線性以獲得完好圖案來 無機微粒的形C1的。 狀可以疋任何球狀、鱗狀、平板狀和非

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五、發明說明（6) 晶形^其是以球狀與鱗狀形成之無 們能造成特定黏度，如之後的詳細描述。 因為他 ，機微粒是商業上可得物品。較佳商 稱列在下面。球狀微細粉末石夕土的商 ^的商口口名 SROSPHERE C- 1 504 (平均顆粒尺寸：4 5 括

Silicia Chemical K.K.生產）。球狀氧化石夕的)/ 括ADMAFiNE S0-25R (平均顆粒尺寸：8〇〇 nm) = °由稱匕 ADMATECK Κ·Κ·生產）、AER〇SIL 2〇〇 (平均顆粒尺寸： nm)、AER0SIL 380 (平均顆粒尺寸：7 nm)、aer〇sil

R80 5 (平均顆粒尺寸：12 nm)和AEROSIL R812 (平均顆粒 尺寸：7 nm)(皆由Nipp〇n Aer〇sn K K•生產）。球狀丙 烯酸微粒的商品名稱包括GANZ pEARL GM-〇4〇1A (平均顆 粒尺寸：4 //m)，球狀pbma型交聯微粒GANZ PEARL GB_〇5S (平均顆粒尺寸：5 /ζιη)(皆由GANZ Kasei Κ· Κ· 生產）’球狀樹脂微粒TRARY FIL Ε-50 0 (平均顆粒尺寸·· 3 //m)(由丁 〇ray d〇w Corning Silicon Κ·Κ·生產），硫酸 鎖BF-10P (平均顆粒尺寸：6〇 nm)、硫酸鋇BF-20P (平均 顆粒尺寸：30 nm)、硫酸鋇bf-20F (平均顆粒尺寸：30 nm)(皆由Sakai Chemical Industry Κ· K.生產），鱗狀 微雲母MK —100 (平均顆粒尺寸·· 3到5 /zm)，有機處理雲 母SOMASIF ME-1〇〇 (平均顆粒尺寸：5到7 //m)(皆由Corp Chemical Κ. Κ·生產）。 作為曦’例如有1 2到4 4個碳原子的酿胺化合物與有1 2 到4 4個碳原子的雙醯胺化合物較佳。

第13頁 1242031 五、發明說明（7) 有1 2到4 4個碳原子的醯胺化合物的具體實例包括月桂 酸醯胺、棕櫚酸醯胺、硬脂酸醯胺、二十二酸醯胺、羧基 硬脂酸醯胺、芥子酸醯胺、蓖麻油酸醯胺、N—硬脂醯基硬 脂酸酿胺、N -油烯基油酸醯胺、N —硬脂油醯胺、N —硬脂醯 基芥子酸醯胺、N-油烯基棕櫚酸醯胺、羧甲基硬脂酸醯 有1 2到44個碳原子的雙醯胺化合物的具體例子包括 亞甲基二硬脂酸醯胺、乙稀二硬脂酸醯胺、乙浠雙二十二 酸醯胺、六亞曱基二硬脂酸醯胺、六亞甲基雙二十二酸醯 胺、Ν，Ν’ -二硬脂醯基己二酸醯胺、N，N，-二硬脂醯基葵 二酸醯胺、N，N ’ -亞甲基異十八烧醢胺、乙烯二油酸醯 胺、六亞甲基二油酸醯胺、N，N，-二油烯基己二酸醯胺、 N，N ’ -二油烯基葵二酸醯胺、間亞二甲苯基二硬脂酸醯 胺、N，N ’ -二硬脂醯基異醜酸醯胺。 這些蠟為商業上可得物品。商品名稱包括DISPER0N 6 940- 1 0X (脂肪醯胺蠟）、DISPER0N 6900-2 0X (脂肪醯胺 蠟）與DISPERON A6 50-20 X (脂肪醯胺蠟）（皆由Kusumoto Kasei Κ· K.生產）。增稠劑的混合比重量上較佳地是從10 到5 0 0份，更佳從20到3 0 0份，基於樹脂固體含量重量上為 1 0 0份。上述範圍的下限是明顯的，以獲得期望黏度和黏 膠特徵以改進印刷實用性來看。上述範圍的上限是明顯 的，以在光阻膜充足地獲取樹脂數量而改進I虫刻阻力來 看。 ， 在印刷油墨光阻組成物中，如果必要，能混合習知的

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的固體 。上述 膜滲流 阻溶液 性來看 的黏度 佳地是 的下限 精確度 流動性 1242031 五、發明說明（8) 添加劑。具體來說，能使 填料、抗氧化劑、抗排斥 劑、增稠劑。 印刷油墨光阻組成物 9Qwt% ’ 更佳從30 到 70wt% 抑制溶劑量而防止從光阻 明顯的，以適當地抑制光 早期乾燥而改進印刷實用 印刷油墨光阻組成物 rPm ’量測溫度：25 °C )較 2到200 pa .s。上述範圍 阻圖案的流動而改進圖案 明顯的，以給予光阻溶液 在基板上來看。 用染料、顏料 '上述實 劑、上述實例以外的樹 含量較佳 範圍的下 來看。上 的乾燥速 〇 由旋轉式 從1到30 0 是明顯的 來看。上 而使充足 地從2 0 限是明 述範圍 度而防 黏度計 Pa-s ，以抑 述範圍 的光阻 例以外的 脂、塑化 到 顯的，以 的上限是 止平板的 量測（6 ，更佳從 制印刷光 的上限是 溶液施加 印刷油墨光阻組成物的黏度指數較佳地是丨.〇或更 多，更佳從1· 1到1G· 0。上述範圍的下限是明顯的，以為 充足光阻溶液在基板上適當地減少光阻溶液印刷黏度 來看。黏度指數是具體地結構黏度指數R，由以下公式（1) R = Va/Vb (丄） 在么口式中，Va代表視黏度（mPa · sec)，由MR3〇〇流變計 (商品名稱，、由Rheology κ· κ•生產）在溫度2〇轉速 6/min.下i測仏代表黏度（mpa · sec)以相同方式在轉速 6 0/mi η.量測。

第15頁 1242031 五、發明說明（9) 本發明之印刷油墨光 如活版、冊版和網版。它' 犯適用於所有印刷板， 物。 〃、較佳使用在網版印刷的組成 如本發明之光阻膜形成方法之 屬層的基板表面上使用如本發明之印^ ;匕括在具有金 網版印刷實施步驟，而形成具有聿墨光阻組成物之 在表面有金屬層之圖案之光阻膜。 ::金屬如銅、金、銀、銘與鉻藉例如層：二广 璃基板或一樹腊表面基板上所得到。樹脂^ = f在1 酚树脂、％氧樹脂、聚醯胺樹脂、或這些桔;二：：：由 加強來製成。基板和金屬層可以由複‘ ’維 板可以有穿透或非穿透孔。 曰4禝數層組成。基 用來印刷的光阻組成物的黏度、固體含 較佳地滿足上述條件。 里#黏度扣數

在實施網版印刷之後，如果需要，實施一印刷 f乾燥步驟。乾燥條件可以根據使用有機溶液的種二 來適當地確定，而通常乾燥是在20。〇下1到3〇分鐘。當貝 燥在約8 0 °c附近溫度，乾燥時間可以從丨〇秒到丨〇分鐘胃。L 有金屬層圖案之基板生產方法之特徵在於它以下 步驟： (1)實施網版印刷步驟，以包含酚樹脂作為主要行 脂成分之印刷油墨光阻組成物（更包含一增稠劑）實施在j 具有金屬層之基板表面上，而形成具有期望圖案之一 膜， ’、 九阻 1242031

五、發明說明（10) (2)去除金屬層步驟，以蝕刻液去除該光阻 形成之部分金屬層，以及 .、、、員影 (3 )去除步驟（2 )後之光阻膜步驟。 步驟（1 )如上所述。 在步驟（2)，蝕刻液的實例包括氣化鐵水溶液、 銅水溶液、或硝酸、醋酸和磷酸之混合酸的水溶液。〜匕 方法由藉例如浸泡和噴洒在4〇χ下約5分鐘來蝕刻。刻 在步驟（3)，例如，溶解或分散酚樹脂之溶劑 去除光阻膜。 蜊此用來 在本發明’可獲得卓越的功效如下所述。 (& )用作為光阻樹脂成分之酚樹脂在有機溶劑中古 :可/合〖生，因此，獲得適合印刷光組物舰 特徵能夠實現。 和沒興黏膠 m )在有機溶液的蒸發之後的酚樹脂膜顯示對蝕M y 有極佳的抗化學腐為μ· 巧蚀刻液 現。柷化子腐蝕性，因此，形成-完好圖案能夠實

If I藉結合增稠劑與酚樹脂，獲得適合印刷光阻組& 物之黏度與黏膠特徵能夠實現。 九阻組成 輿I 如無機微粒與蠟之增稠劑對蝕刻液有極佳的抗化 子腐：性丄因此’形成一完好圖案能夠實現。，化 •心也說明本發明，但不限制本發明的範 量上的份」與；;：：」「份」與「%」分別代表「重 用在實例1至4與比較實例〇 i之盼樹脂之製作〉

第17頁 1242031 五、發明說明（11) 重量上7 5 0份的間甲苯酚、5〇〇份的對甲苯酚（pi二 1 250份）、93 8. 4份的37%曱醛液（a) (A/P1的莫耳比率= 1 · 0 )、與6 2. 5份的三乙胺加入到裝備有攪拌器、溫度計和 熱交換器的5升四頸燒瓶中，並且他們在pH 8. 5反應溫度 從6 8到72 °C反應4小時（主要反應）。在主要反應完成後， 包含三個或更多核之成分的比例是5 5%。之後，為了中和 加入35 0份10%草酸水（PH = 5· 2)，然後加入175份的間曱 苯盼、1 237· 5份的對甲苯酚（p2 = 1412. 5份；莫耳比率 A/(P1 +P2) = 0.47，P1 /P2 = 〇·88)與38·5 份草酸， 然後他們在pH 2· 0反應溫度從98到1〇2 ^反應4小時（次要 反應）。在完成次要反應之後，溶液冷卻到7 〇 t：，然後加 入1 2 5份的丙酮與1 2 5 0份的離子交換水，在7 〇 °C攪拌，然 後留置站立。在分離水去除之後，再次進行水洗滌的操 作，使用1 2 5份的丙酮與1 2 5 0份的離子交換水。然後，在 大氣壓下内部溫度1 6 0 °C進行水的去除，更進一步，在減 壓60 tor r溫度1 9 5 °C下進行水與單體的去除，而獲得1 300 份的酚樹脂。所得之樹脂有重量平均分子量11，〇 〇 〇。 〈用在比較實例2之丙烯酸樹脂之製作〉 由40份的異丁烯酸甲脂、40份的丙烯酸丁脂、1 5份的 苯乙烯、5份的丙烯酸、與2份的偶氮二異丁腈組成的混合 物在氮氣下滴加入到保留在11 〇 X：下3個小時的9 0份丙烯甘 醇單甲基醚中。在完全加入後，老化混合物1小時，然後 由1份的偶兔雙二甲基戊腈和1 〇份的丙烯甘醇單甲基鱗組 成的混合物滴加入其中超過1小時，所得的混合物更老化5

第18頁 124203i 立、發明說明（13) 表1

實例 比輕實例 I 2 3 4 I 2 驗樹脂(份） 100 100 100 100 100 两烯酸樹脂(份) 100 增稠劑'種類 a a b € a 增稠劑的混合 量(份） 30 70 10 50/10 30 攀魔(Pa ★ s) 10 m 20 no 0.5 120 圖素形成 0 0 0 0 X 0 #刻陳力 0 0 0 0 0 K 度男球狀乳化石夕（由Nippon Aerosil Κ.Κ·生產，商 品名稱：AEROSIL R812，平均顆粒尺寸：7 nm) 禮脂肪醯胺蠟（由Kusumoto Kasei Κ·Κ·生產，商 品名稱：DISPER0N 6900 ) . 度硫酸鋇（由Sakai Chemical Industry K.K.生 產，商品名稱：Barium sulfate BF_20P，平均顆粒尺寸： 3 0 nm) / 脂肪醯胺蠟（由Kusumoto Kasei K. K.生產，商 品名稱：DISPER0N 6 9 0 0 ) B型黏度計：在25°C、6 rpm下 星皇崖直:〇 :線形成在1 0 0 ± 5 // m之内。 X:線未形成在100 土 5 /zm之内。

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第21頁 1242031 圖式簡單說明 五、【圖式簡單說明】 無圖式 【符號之說明】 無符號 IHll 第22頁

Claims (1)

1242031 ___案號93102004 车 η 日 修1 .一 六、 申請專.利範圍 以一旋轉式黏度計（β r p m，量測溫度2 5 π )量測之該組 成物的黏度是從1至30 0 pa · s。 4· 一種具有一金屬層圖案之基板製造方法，包含： (1 )實施一網版印刷之步驟，利用包含酚樹脂作為主 要樹脂成分且更包含一增稠劑之有機溶劑型印刷油墨光阻 組成物’該酴樹脂由重量平均分子量3 〇 〇到3 〇 〇 〇 〇 〇之合成酚 酸樹脂與重量平均分子量丨〇 〇 〇到丨〇 〇 〇 〇 〇之聚乙烯酚樹脂的

其中之一或二者所組成，且該增稠劑由具有3ηιη至丨〇 # m之 顆粒尺寸的無機微粒與蠟的其中之一或二者所組成，實施 在具有一金屬層之基板表面上，而形成具有一期望圖案之 一光阻膜， (2 )以一蝕刻液去除金屬層之步驟，去除以一顯影未 形成該光阻之部分金屬層，以及 =)♦除步驟（2)後之光阻膜之步驟， 份，i I ί組成物中之增稠劑含量在重量上是從10至5 〇〇 基脂固體含量重量上是1〇〇份，且 成物黏度計（6 rpm，量測溫度25°C)量測之該組 风物的黏度是從1至3 0 0 Pa · s。

第24頁 1 1242031 案號 五、發明說明（12)' 小時’以獲得 〈實例1 > ，㊈诿正 ^02004 8 ;-·： J卜。尤 修正 附件:⑸ 5 0% 丙烯酸樹脂溶液。 如上述戶斤a a , 玍產的酚樹脂溶於環乙酮以使固體含量是 夕乳化矽（細微的矽土粉末，由Nippon Aerosii κ. iv a. p , 7 、王產，商品名稱：AEROSIL R812，平均顆粒 尺寸：7 nm)作炎以加μ ,, . 為日稠劑根據1 〇 〇份的樹脂固體含量加入5 0份的比例，所搵ώ/ι、B人，， 、的此a物以三滾輪分散，以獲得網版印刷 光阻溶液。 .此光阻〉谷液用5 0 0網眼的網版印刷而在蒸鍍在玻璃上的 一铜基板上。形成線寬/間隙=丨〇 〇 /丨〇 〇 # m圖案，並且以— 熱板在I 00 C加熱30分鐘。然後，以浸入4%氯化鐵水溶液 行蝕刻步驟。 〈貫例2至4與比較實例I和2 > 除了表I所不之組成物之外，以與實例I相同方法製 光阻溶液並且進行蝕刻步驟。 貫例與比較實例的測試結果顯示在下表I。

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其中該組成物中之增稠劑含量在重量上是從10至500 77基於樹脂固體含量重量上是1 0 0份，且 成二；；量測溫度25t)量測之該組 2你如曰申明專利範圍第1項之有機溶劑型印刷油墨光阻組成 物’是一網版印刷油墨光阻組成物。 、 3 ’ 種光阻膜的形成方法，包含實施一網版印刷之一步 驟，利用包含一酚樹脂作為主要樹脂成分且更包含一拎 =之有機溶劑型印刷油墨光阻組成物，該酚樹脂由重“ 均分子量3 0 0到30000 0之合成酚醛樹脂與重量平均分 100/到1 0 0 0 0 0之聚乙烯酚樹脂的其中之—或二者所組成， 二=稠劑自具有3nm至10鋒之顆粒尺寸的I機微粒斑虫鼠 中之一或二者所組成，實施在具有一金屬層之基板表 面上，而形成具有一期望圖案之一光阻膜， \其中該組成物中之增稠劑含量在重量上是從1 0至500 伤，基於樹脂固體含量重量上是1〇〇份，且

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