TW567359B - Apparatus and method for forming a combined substrate structure - Google Patents

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567359 五、發明說明（1) 【發明背景】 1 ·發明之領域 本發明係關於一種液晶顯示器的形成裝置，尤有關具 有彼此互相接合之第一與第二基板的組合基板結構之形成 裝置。 2 ·相關技術之描述 液晶顯示器具有兩玻璃基板與充填於兩玻璃基板之間 的間隙之液晶。兩玻璃基板例如為薄膜電晶體基板與彩色 濾波基板。圖1為液晶顯示器結構的概要立體圖。液晶顯 示器具有薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3。 薄膜電晶體基板2包含具有複數對之透明電極35與薄 膜電晶體28的點陣陣列之玻璃基板。薄膜電晶體28控制施 加至成對之透明電極35的電壓作用，俾能控制液晶的光傳 送性。彩色濾波基板3亦具有如紅、綠、藍等三原色之彩 色濾波器36的點陣陣列。彩色濾波器36與透明電極35係成 複數對。

液晶顯示器亦具有用以發光的背光源3〇及不僅藉由面 對彩色濾波基板3的第二偏光過濾器32、更藉由位於背光 源30與薄膜電晶體基板2之間的第一偏光過濾器31而使發 出光線偏光，俾能將成對之基板2與3介設於第一與第二偏 光濾光器31與32之間。偏光係傳輸過薄膜電晶體基板2與 透明電極3 5。接著偏光將射入液晶薄膜電晶體基板2與彩 色遽波基板3之中。 將液晶分子2 9排成與垂直於薄膜電晶體基板2與彩色

567359 五、發明說明（2) ---—- ^ ί Ϊ板3之表面的方向具有扭轉角度。液晶分子29的扭 曰八^9^'取決於作用在液晶分子29上的電場。而作用在液 :的電場則與作用在成對之透明電極35與彩色濾 之間的電壓成比例。冑彩色濾波器36固定為〇ν的參 位。將控制電壓施加至被薄膜電晶體28所控制的透明 =f 35。換言之，薄膜電晶體28的開、關切換操作係隨透 摔而*，藉以使薄膜電晶體28的開、關切換 ΐ，隨者作用在成對之透明電極35與彩色濾波器36之間的 電垄而異。故，薄膜電晶體28的開、關切換操作係隨液 分子29的扭轉角度而異。 光線係沿著液晶分子29的扭轉而傳輸。從背光源3〇 ，出的光線33係藉由第一偏光過濾器31而偏光。偏光將沿 著液晶分子29的扭轉順序而傳輸過液晶，其中偏光的偏^ 方白將著液曰曰分子29的扭轉角度而旋轉。偏光將進一步 傳輸，彩色濾波基板3與第二偏光過濾器32，藉以使液晶 顯示器發出輸出光線34。當作用在透明電極35的作用電壓 為ovb^，則第二偏光過濾器32係允許所有之光線傳輸。 若施加更高電壓至透明電極3 5時，則排序之液晶分子 29將變成配向在垂直於彩色濾波基板3之表面的方向上， 藉以在在傳輸過液晶的期間中使光線不會扭轉，而導致並 無光線傳輸過第二偏光過濾器3 2。 如上所述，作用在透明電極35上之電壓的變化將改變 輸出光線34的強度。將任一三原色分配給各點。各點的亮 度係藉由控制作用在透明電極35的電壓而加以控制。任$

第6頁 567359 五、發明說明（3) 影像皆可藉由各具有預先分配之色彩及可變亮度之點的組 合而顯示。 ' 液晶顯器的光線傳輸性為衡量顯示品質的一重要因 素參見圖2 A及圖2 B，俾說明光線傳輸性與薄膜電晶體美 板2與彩色濾波基板3之間的對正準確性之間的相互關係: 圖2A為傳輸過液晶顯示器之光線的局部橫剖面前視 中薄膜電晶體基板與彩色濾波基板係以較佳的準確、 齊。圖2B為傳輸過液晶顯示器之光線的局部橫剖面韻 :而i:薄膜電晶體基板與彩色濾波基板係因較差的準確 參見圖2 A，薄膜電晶體基板2與彩色滹 ，藉以使各成對之透明;= =36亦以較佳的準確性而對齊。傳輸過透明電所 送過：色滤波器36的整體。有效孔部直捏 參液晶顯示器的光線傳輸性亦較佳。 的準二；電晶體基板2與彩色滤波基板3因較差

的早確性而錯位，雜7 干乂 S ㈣亦因較差的準；性而錯位：僅與彩色滤波 部份之偏光可傳輸過彩色濾波二；。m, 3 5的 較差。 則穿過液曰曰顯示器的光線傳輸性亦 光傳送性係取決於薄膜電晶體基 之間的對正準確性。當薄膜 ^與I色濾波基板3 之間的對正準確性較佳時，、“ ς 與彩色渡波基板3 尤傳送性較佳。當薄膜電晶

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體基板2與彩色濾波基板3 傳送性較差。 之間的對正準確性較差時 則光 若薄膜電晶體基板2與彩色、清 性低於圖2B所示的程声砗、目，丨都…/ 土板之間的對正準石 中。此尸相：：3 則部份光線將經由相鄰點而》 出：攸相鄰點處的光線漏出將造成顯示不良。為了 ^ 此光線漏出，故設計锈昍雷托q ς 避3 ^ ^ ^ ^ 卞逯明電極35與彩色濾波器36，俾能j 由薄膜電晶體基板2與彩色遽波基板3之間的對正估= 而使尺寸縮小。 、2

若能克服上述薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之 的對準確性之問題，則不須如此設計透明電極35與彩色 濾波态36以縮小尺寸，藉以將有效孔徑設計成較大。薄膜 電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的對正準確性的改善、、 及不須縮小尺寸之透明電極35與彩色濾波器36的設計&導 致液晶顯示器之顯示品質大幅改善的相乘效果。 士上所述’液晶顯不斋的顯不品質係主要取決於薄膜 電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的對正準確性。 藉由受熱而固化的熱固黏合劑以接合薄膜電晶體基板 2與彩色濾波基板3。此處理係稱為密封熱固。 圖3為顯示用以接合薄膜電晶體基板與彩色濾波基板 之密封熱固裝置的概要視圖。密封熱固裝置具有入口η、 支撐器22、加熱器8、耐熱ΗΕΡΑ過濾器9、及鼓風機1〇。 具有薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3的組合基板結 構1係由支撐器22所支撐。加熱器8產生熱量，並同時由鼓 風機10將熱氣7吹過耐熱ΗΕΡΑ過濾器9。熱氣將加熱組合基

第8頁 567359 五、發明說明（5) --- 板結構1 ’藉以使薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間 的黏e劑亦雙熱而導致黏合劑的熱固。 抑 如圖3所示，係加熱組合基板結構丨，並同時藉由支撐 :2 2而支撐組合基板結構1的相對端緣，俾能使組合基板 〜構1略為、奢曲，且組合基板結構1的中央部在高度上將變 成，於相對端緣。組合基板結構1的略為彎曲將造成薄膜 =曰曰體基板2與彩色濾波基板3之間的位移或錯位。在此不 s的情況下，將出現誤放或錯位之基板2與3之間的黏合劑 熱固現象。故薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間具有 上述^錯位的產品將造成產品顯示品質上的降低。 Φ ^進步^咼加熱腔室的溫度時，則熱應變將出現在 ^撐器22上’藉以造成支撐器22之支撐位置的位移。組合 基板結構1的平坦性將因支撐器22之支撐位置的位移而降 日本公開專利公報第1 0-1 04564號揭露能以較佳準確 性=水平地支撐裝置的烤箱。用以支撐如基板之裝置的支 撐器，由如水晶玻璃等小熱膨脹係數的材料所製造，其中 2 $有水平的支撐器及竿部。即使將烤箱的溫度；高 的季父尚時，則可將支撐器的應變抑制成微小，俾藉以相合 而妥善地水平支撑裝置。因此，組合基板結： 在溥膜電曰Β體基板2與彩色濾波基板3之間係實質不具有位 述1知烤箱並無法確保支撐器在發生熱膨脹之後的 "L f生。故難以抑制熱膨脹。亦難以估計應變大小。

567359 五、發明說明（6) 即使烤箱溫度變成正常溫度時，將無法確定已熱膨脹的支 撐器是否能恢復成原始外形。溫度升降的頻率將造成支撐 器的永久應變。若疊加熱應變與永久應變，則將使裝置平 坦性降低，藉以造成裝置不良。而這將造成良率的降低。 當玻璃基板的尺寸變大時，則將由於支撐器的尺寸亦 與基板的尺寸成比例，故上述問題將變得更加嚴重。位移 或錯位的大小亦通常與基板的尺寸或支撐器的尺寸成比 例，故將降低裝置的平坦性。 曰本公開專利公報第9 —281513號揭露組合基板結構之 組裝方法、裝置及系統。各成對之對正記號係分別設置在 各基板上。測量各對正記號之間的位移，俾能補償各基板 之間的位移或錯位。對正記號之間的間隔所存在之位移或 錯位將因基板的變形而進一步減少。 ^即使將上述之習知方法應用在密封熱固裝置，但由於 習知方法並無法考慮密封熱固裝置與組合基板結構的埶膨 $，故難以獲得具有較佳之對正準確性的期望之組合基板 結構。 若出現組合基板之間的位移或錯位及造成對正記號的 ，則為了補償位移或錯位，亦提出將基板加以變形。 Ϊ:署Ϊ t時熱固反應已開*，則由於組合基板之間的相 奸供# ΐΓ合劑所^，故組合基板結構的變形將難以 錯位或位移。即使迫使組合基板變形而對齊對正記 ^，並使組合基板結構的變形外形變回原始 或錯位將再次發生。 1-仪秒

第10頁 五、發明說明（7) 在上述情況中，係期待盔 構之形成裝置的發展。‘，，、述間蟪之新穎組合基板結 【發明的綜合說明】 所以’本發明之一目的名 穎組合基板結構之形成裝置。、/、一種“，、上述問題的新 本發明之又一目的在於提供一 的熱固黏合劑之新穎組合基板結構之 要之基板之間 置係能維持組合基板結構之較：平坦性成\ ’其中此裝 本發明之再一目的在於提供一述 組合基板結構之形成方法。 …、上这問碭之新穎的 係此維持組合基板結構之較佳平坦性。 〃裝 f發明係提供一種組合基板結構 基板結構則具有組合之第一 :裝置而組合 之可調高度的支撐機構弟用3 其f裝置包含複數 度、-高度之支樓機構係能調整其-高 應之組合用以偵測底面之複數個支撐點所對 系統，用以接收高产s頂^的各1應點的高度、及一控制 測之高度而用以在^」測系統所偵測之各高度、並依據偵 之支撐機冑。 同度調整操作中控制複數之可調高度 本發明亦提供—種組合基板結構的支撐方法，而组合 567359

’及藉由複數之可調高度 構之一底面的複數個支撐 測底面之複數個支撐點所 各對應點的南度、依據偵 控制可調高度之支撐機 基板結構則具有第一及第二基板 之支撐機構而支撐在組合基板結 點上，此方法具有以下步驟：偵 對應之組合基板結構之一頂面的 測之高度而在各高度調整操作中 構。 " 中 本發明之其他目的及優點 請專利範圍當可更加明白。 由隨後之詳細說明及隨附之 【較佳實施例之詳細說明】 本發明之第一樣態為一種組合基板結構的支撐裝置， 而組合基板結構則具有組合之第一及第二基板，此裝置包 含複數之可調高度的支撐機構，用以支撐組合基板結構之 一ί面的複數個支撐點，可調高度之支撐機構係能調整其 问度、一岗度偵測系統，用以偵測底面之複數個支撐點 所對應之組合基板結構之一頂面的各對應點的高度、及一 控制系統丄用以接收高度偵測系統所偵測之各高度、並依 f偵測之高度而用以在各高度調整操作中控制複數之可調 高度之支樓機構。 較佳地控制糸統係在各高度調整操作中控制複數之 可調高度之支撐機構，俾能將組合基板結構之一彎曲量抑 制在一最大可接受的彎曲值之内，而最大可接受的彎曲值 =相當於第-μ二基板之間的—位移之—可接 中之最大值。

M7359 五、發明說明（9) 合基將複數之可調高度之支撐機構配置在組 W構之底面之下的二維陣列中。 數之ϊϊ系統係在各高度調整操作中控制複 次區域^:$曲、=，構’俾能將組合基板結構之分開的 又各1 s抑制在最大可接受的彎曲值之内。- 之支標機^ ί方向ΐ偵測系統具有位於複數之可調高度 :機構的上方之高度偵測感測器的一二維陣列。 數之可調=支；：高度調整操作中控制複 向的彎曲量，其相第：：ί組；；；=具有-反 係等於虛擬彎曲量而極性相^反向的号曲夏在絕對值上 之内又’較佳地’將反向的彎曲量控制在一預定之上限值 一 i值之二#孩二#位移、並用以將代表偵測之位移的 一移#號傳送至控制系統；及控制系統儀接收 來自位移偵測系統的位移信冑、並依據位移信號而在各言 度調整操作中控制複數之可調高度的支撐機構。儿 ^ 又’較佳地，位移偵測系統具有複數之影像辨蠘裝 一對。 位移而第一及第二對正記號係成 又，較佳地，複數之影像辨識裝置具有攝影機。 五、發明說明（10) 又，較佳地，可調高度之支撐摟 '播 標組合基板結構的一輸送器、及：”；有用以機械地支 來自控制系統的控制信號而調整輪；，用以依據 又，較佳地，高度調整器具有一二動二南二二 控制系統的控制信號而顯示具有一 w，八依據來自 又，較佳地，使輸送器機械地；的高度。· 能隨著第-及第二基板之位在下方：至兩度調整器’俾 動。 石者的任何熱膨脹而移 又，較佳地，使輸送器隨著第一 方者的任何熱膨脹而旋轉。 一土板之位在下 士又，較佳地，使輸送器隨著第一 方者的任何熱膨脹而滑動。 弟一基板之位在下 板4而更包含：一加熱系統，用以加熱組合基 二與第二基板之間的-黏性的密封層。 紫外線昭更包含：—紫外線照㈣統，用以將一 之p/Ια、、射在組合基板結構之上而UV固化第一盥第-美板 之間的-黏性的密封層。 U化％肖第一基板 而組二樣態為一種組合基板結構的支撐裝置， 含：；ίί;構則具有組合之第-及第二基板，此裝置包 板社構^=之支撐機構的一二維陣列，用以支撐組合基 各：ίί:;面的複數個支撐點，可調高度之支樓機構的 用以調整二機械地支撐組合基板結構的一輸送器、及 器的二二‘陣=之：南度的一，度調整器、高度债測感測 ' ，其位於可調高度之支撐機構的上方，而 567359 五、發明說明（11) 用以偵測底面之複數個支撐點所對應之組合基板結一 ，面的各對應點的高度、及一控制系統，用以接收 =測系統的相之高纟、並依據制 ^ 調整操作中控制高度調整器。 在各同度 數之011，地，控制系統係在各高度調整操作中控制複 ，之了调南度之支撐機構，俾能將組合基板結 ::制在-最大可接受的f曲值之内，而最大可接受^ m於第一與第二基板之間的一位移之-可接受的 耗圍中之最大值。 饮又w 數之0ΐ 土也’控制系統係在各高度調整操作中控制複 最：=組合基板結構之分開的 合弓曲里抑制在最大可接受的彎曲值之内。 數之可锢15地控制系統係在各高度調整操作中控制複 向的曾曲量，其相對於與第一盥第 有士 虽的了虛擬彎曲量，其中反向的彎曲量在絕對值上 係等於虛擬彎曲量而極性相反。 之内又，較佳地，將反向的彎曲量控制在一預定之上限值 又’較佳地，更包合· .... ,ηί. 一與第_美板之門ί —移偵測系統，用以偵測第 -數值之一位移信號傳=將=貞測之位移的 來自位移偵測系統的位移信系統編 呆作中控制複數之可調高度的支撐機構。 酾 Η 第15頁 567359 五、發明說明（12) 又，較佳地，位移偵測系統具 置，用以辨識第一基板的—第—對^ ，2像辨識裝 第二對正記號之間的一位移，而第—及= 第二基板的— 一對。 苐一對正記號係成 又，較佳地 又，較佳地 控制系統的控制 又，較佳地 能隨著第一及第 動。 又，較佳地 複數之影像辨識裝置罝 古痄％敫师曰Γ 具有攝影機0 间度调整态具有一驄說 ^ ^ i 騙動器，其依據來自 就而顯不具有一控舍丨A 从Μ , 彳工剌之仃程的高度。 使輸送器機械地連接^ ^ ^ 逆镬至鬲度調整器，俾 暴扳之位在下方去M h 1 々書的任何熱膨脹而移 使輸送器隨著第一及第二其 方者的任何熱膨脹而旋轉。 一土板之位在下 又，較佳地，使輸送器隨著第一 方者的任何熱膨脹而滑動。 第一基板之位在下 板-二2地，“含：一加熱系統，用以加熱組合基 板、1而二固化第一與第二基板之間的一黏性的密封層。 紫外線日:二ΐ :也，&包含：一紫外線照射系統，用以將-= 、· “、、射在組合基板結構之上而UV固化第一與第-Α & 之間的一黏性的密封層。 第/、第一基板 t么明之第三樣態為一種組合基板結構的支撐方 調基板結構則具有第一及第二基板，及藉由複數之可 機構而支撐在組合基板結構之一底面的複數 撐點ί對庳if方法具有以下步驟：谓測底面之複數個支 ‘·子，νω之組合基板結構之一頂面的各對應點的高度、 第16頁 1 567359 五、發明說明（13) 測之高度而在各高度調整操作中控制可調高度之 板結= =操作’俾能將組合基 移之-可接受的範圍中二：ί:與第二基板之間的-位 又’較佳地’執行各高度調整 =分開的次區域之各彎曲量抑制在最大;Ξ受:ί: 某板i構行該各高度調整操作，俾能使該組合 :的彎曲*’其相對於與該第-與第二 :的彎：量在當的一虛擬彎曲量，其中該反 1 係等於該虛擬彎曲量而極性相反。 之内。’較佳地’將反向的f曲量控制在一預定之上限值 又’較佳地，t包含：偵測第一與第二基板之間的一 位移、及依據偵測之位移而控制各高度調整操作。 又：較錢，偵測位移的步驟係、包含辨識 記ί與第二基板的一第二對正記號之間的-位 移，而第一及第二對正記號係成一對。 【第一實施例】 例 參見相關圖式，俾詳細說明依據本發明之第一實施 圖4為依據本發明之第一實施例的液晶顯示器之貝組合 第17頁 567359 五、發明說明（14) 基板結構之形成裝置的侧視方塊略圖。圖5為圖4之裝置的 平面方塊略圖。 組合基板結構1包含第一及第二基板2及3。第一基板2 為薄膜電晶體基板2。第二基板3為彩色濾波基板3。薄膜 電晶體基板2包含具有複數對之透明電極與薄膜電晶體的 點陣陣列之玻璃基板。彩色濾波基板3亦具有如紅、綠、 藍等三原色之彩色濾波器的點陣陣列。藉由用以熱固當作 薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的黏著劑之黏合劑 的密封熱固處理而將薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3加 以接合。藉由30至60分鐘的熱處理而實現密封熱固處理。 此裝置具有入口 11、加熱器8、耐熱HEPA過滤器9、及 鼓風機1 0。加熱器8係產生熱量，同時鼓風機1 〇使熱氣7沿 著第一水平方向而吹過耐熱HEPA過濾器9。熱氣係加熱組 合基板結構1，藉以使夾在薄膜電晶體基板2與彩色濾波基 板3之間的黏合劑亦受熱而使黏合劑熱固。此裝置亦具有 用以允許熱氣吹過組合基板結構並回到加熱器8的熱氣循 環系統。 此裝置亦具有下述支撐組合基板結構用的支撐機構。 此支撐機構包含複數對之輸送器4與高度調整器5的矩陣陣 列。將輸送器4设置在高度調整器5的頂部，俾允許高度調 整器5調整輸送器4的高度。換言之，各輸送器4在垂直或 高度方向上係可動。複數高度調整器5係可獨立操作，俾 用於複數輸送器4的各別高度調整。 各高度調整器5可任意地包含驅動器，其可藉由被控

第18頁 五、發明說明（15) 制的行程而升高輸送器4。 各輸送器4各包含環狀構件4a及支撐環狀構件4a用的 支撐構件4b。環狀構件切的頂部係與組合基板結構1的底 面直接接觸。 一 _ 此裝置亦具有複數高度感測器6的矩陣陣列，其位於 輸送f 4的上方，俾用以測量以組合基板結構1之各位置為 基準南度的相對高度。使各高度感測器6進一步地電性連 接至控制器12，俾用以將高度偵測之信號傳送至控制器 1 2，其中各高度偵測之信號代表組合基板結構丨之各測量 於基準高度的測量高度。控制器12分析接收自 美ί : ί t測器6之具有各高度資料的高度偵測信號，並 基於尚度f料的分析而產生各控制信號。 控制器5亦電性連接至控制器12 ’俾用以從 構1^ t H工制6號，藉以為了達成經常維持組合基板 i送器4 =古^坦性的目的而使各高度調整器5調整成對之 美板二槿〗=Γ。上述新穎的裝置係減少及/或消除组合 土板V、口構1之位移或錯位。 絰由入口而將組合基板結構〗運送至烤盆 Ϊ85//Λ#1 ^ ^ ^ /〇 Λ ^ ^ ^ ^ # 4 7 ^ ^ ^ ^HEPA ^ ,1 H 9 ^ ^ ^ …、氣係加熱組合基板έ士槿】，获以 使薄膜電晶體基板2與彩多 土孜、、口構1藉以 固現象，J:中έ且人其^ / 土板3之間的黏合劑產生熱 維持較佳的平坦性。而此，、曰由上述基板支撐機構而 許溥膜電晶體基板2與彩色濾 567359 五、發明說明（16) 波基板3 一之間具有極準確的對正。若使組合基板結構1用於 液晶顯示器時，則將獲得期望之較佳光傳送性及期望之鲈 佳顯示品質。 平乂 使薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的對正 移準確性降低的最大影響因素為組合基板結構1的彎曲。 j下再次參見圖3及圖4，俾說明組合基板結構丨之彎曲盥 =膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的對 關係。如上所述，圖3顯示組合基板結以 置。乂成裝置、同時圖4顯示組合基板結構丨的新穎形成裝 對端m’使組合基板結構1被支撐在支撐器22的相 膜ϊ=;2:/λ板結構1將具有極大的弯曲而使薄 此情況下Λ 板3之間出現位移或錯位。於 濟'发&^ ”、、口處理時，將使薄膜電晶體基板2與彩色 ;Ϊ2;Λ不，的錯位及彎曲而固定或接合在-起弋 降低薄膜呈/坦，但錯位仍將存在。因此，將 性。若將此=人ί f U色'波基板3之間的對正準確 良的顯示器:5基板結構1用於液晶顯示器時，則將為不 上的ίίΞ:之：ΐ設置在各成對之高度調整器5的頂部之 面區域，；中电人其陣,列而支撐住組合基板結構1的整個底 望之較佳平坦性。故不會 ' ::有期 波基板3之間的對正準確性降低4膜電曰曰體基板2與彩色濾 567359 五、發明說明（17) 依據本發明，係根據組合基板結構1的彎曲量「a」而 汁异溥膜電晶體基板2與彩色遽波基板3之間的位移或錯位 量。依據組合基板結構1之彎曲量「a」而產生複數高度調 整器5的高度調整，藉以依據組合基板結構1的彎曲量 「a」而產生組合基板結構1之複數位置上的高度調整。 圖6為顯示組合基板結構之彎曲量「&」與薄膜電晶體 基板及彩色濾波基板之間的位移或錯位之間的相互關係。 如圖6所示，藉由支撐點23而將組合基板結構1支撐在 其相對的端部，其中組合基板結構1在其中心處具有彎曲 量「a」。一般熟知地，若在樑的相對兩端支撐住樑時， 則樑在距離支撐點「$」的位置處將具有彎曲量「y (X)」’其中彎曲量ry(x)」為距離支撐點Γχ」之距 離的函數。換言之，彎曲量「y (χ)」已知係藉由以下方 程式表示： y (X ) = (wx/24EI ) (X3 —2Lx2 +L3 ) 厂其中，「W」為均勻分佈負載、「E」為楊氏模數、 「I」為幾何慣性矩、及「L」為樑的長度。具有彎曲量 「y (X)」之樑的外形係以四次曲線表示。為了方便計算 -已，故具有彎曲量「y (X )」之樑外形係實質以圓弧表 不。由於曲率半徑極大，故此近似表示並盔問題。 對實質f曲量、」及薄膜電晶體基板2 之間的位移量「ΛΡ」之間的相互關係。 杯且tj皮基板3係壓在薄膜電晶體基板2之上。彩色滤波基 板L有厚度「t」。彩色滤波基板3在其“處則具有變

第21頁 567359 五、發明說明（18) 曲量厂a」。倘若彩色濾波基板3無任何彎曲 波基板3具有「2P」的長度。若組合基板結構工罝=色濾 時，則薄膜電晶體基板2的頂面具有2p的長度/、有曲量 濾波基板3的底面將延長成2P，的長度，其大&彩色 2P。由於薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間^長度 為5微米，故可將此間隙實質當作零。 、間隙約 薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的位 「△ P」已知為： ΔΡ=Ρ, -p=t(；r -2C0S^ (a/P ) ) ... (1 } 參見圖7所顯示之組合基板結構之彎曲量「& ^ 電晶體基板及彩色濾波基板之間的位移或錯位之^ 薄膜 關係，俾說明以下獲得方程式（1 )的步驟。 θ的相互 與彩色 在第一步驟中，倘若區段「A—Β」實質為「ρ 度，故可由薄膜電晶體基板2之頂面的長度「2ρ」的長 滤波基板3之中心處的彎曲量「a」而決定角度「0 Pcosr=a—r=cos_1 ( a/P ) 2 r 由於三角形「OAB」為等邊三角形，0 = 在第二步驟中，將求出曲率的半徑「r」。 由於R 0 =Ρ，故R =Ρ/ 0。 在第三步驟中，倘若將薄膜電晶體基板2與彩色 基板3之間的5微米極小間隙實質當作零，則將求出為^ 濾波基板3之底面的長度「2Ρ，」之一半長度「ρ， 〜、彩色 Ρ’ = (R + t ) 0。 」。 在第四步驟中，倘若將薄膜電晶體基板2之了員面、 的長

第22頁 567359 五、發明說明（19) 度固定成基準值「P」，同時將彩色濾波基板3之底面的長 度從「P」延長成「P，」，而P，係大於P時，則將求出薄膜 電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的位移「A p.」。 ΔΡ=Ρ, -p = (R + t) θ -? = (Ρ/0+t) θ -? θ θ = π —2 r = 7Γ -2cos_1 (a/P) ΔΡ = t 0 = t ( 7Γ -2C0S-1 (a/P) )-(1) 藉由比較產品之樣品的檢查結果與在長度「2p」= 30 0mm、厚度「t」=0.7mm、及彎曲量「a」=1·3_的條 件下之方程式（1)的計算結果，而調查上述方程式（1 )0 表格1 一·—— 檢查結果 计算結果 ·—一1 長度（mm ) 300 <— _ —LJ 厚度（mm ) 0.7 <—— 彎曲量（nun ) 1· 3 <— —ilj 位移（iz m ) 10 11.7 將產品之樣品加以形成。並在檢查中確認位移△ρ = 10微米。計算之位移△!>則為u.7微米。故樣品與計算值 ^間的差異僅僅為丨.7微米。此意謂上述方程式（1 )係可 用於實質正確地產生位移AP。 ” 所計對利用，彎曲量「a」與上述方程式（" ^付立移△p之間的相互關係而控制缒人美板έ士 構之平坦性的控制方法。 叩役制、、且口基板結

567359 五、發明說明（20) 就彎曲量「a」而解出方程式（丨_)，俾獲得以下方 式（2 )。 a =Psin ( ΔΡ/2ΐ ) - (2 )。 將產品位移所用之標準值△ p q代入上述方程式（2 ) 中，俾獲得彎曲量「a〇」。 a0 =Psin ( AP0/2t )-(3)。 由方知式（3 )所獲得之彎曲量「a 0」係決定足以使 位移落在標準值△ p〇中的可接受之彎曲量。換言之，係加 以调整各輸送器4的高度，俾能使組合基板結構1的彎曲量 「a」落在可接受之彎曲量「a〇」之内。 倘若位移△ p〇 = ± 4微米為產品的標準值，則以下之 表格2顯示計算使位移Δρ落在位移= ± 4微米中的可 接文之彎曲量「a 〇」時的計算值之一例子。 表袼2

ΑΡ....0_L 位移（“ m )

,如表格2所示’若2p = 1 50mm及t =〇· 7mm時，則調整各 輸送器4的高度俾使ra〇」$〇· 21min。若2p =3〇〇_及七= 0. 7mm時，則調整各輸送器4的高度俾使

567359 五、發明說明（21) —— 若2P=680_及七=〇.7_時，則調整各輪送器4的高产 「aO」S 0· 97mm。 χ 便 已知當組合基板結構1的尺寸較大時，則生產 佳。370mmX 470mm之尺寸的組合玻璃基板數年 ^

之後，玻璃基板的尺寸已增大到68〇mmx 88〇_、甚=。 730mmX 920mm 。 吾至至J αί在目長i2P=68〇mni之組合基板結構的相對兩端將盆 支撐^ ’則考曲量係超過「a」=20職。表 夺八 係意謂，為了將具有長度2P= 680mm之組合^叶7二果 移抑制在± 4微米之中，則可接受之 ^板…構的位 〇.97_。此意謂僅用相對的兩端支撐里二」構T為 小，基本上必須不僅在相對的兩端工=:= 制成最 更要在相對兩端之間的複數位置上支浐，二基板結構， 圖8顯示藉由可依據感測器的牙^j基板結構。 高度值而以複數高度調整器調整1各車陣列所偵測之 矩陣陣列而進行組合基板結 =呵又的輪迗器之二維 圖9為圖8之擴大圖。 〇 同又调整的局部侧視圖。 -圓弧加以表示的複雜彎曲量' 反於:構二=有實質無法以單 結構1區分成具有各彎曲量、隋况下，將組合基板 係具有可實質以單一圓弧旻π局部’其中各分離局部 基板結構1的複雜、彎曲量視Ά早純彎曲量，藉以將組合 見為複數不同之單純外形的彎曲 第25頁 發明說明（22) ____ 之組合，而各彎曲係可實質以複數 局部「2P」而設定各可接受的彎曲表。就各分離的 若欲將此裝置應用於較大尺 ao」。 較佳地不僅增加對應之感測器6的數目、且合基板結構時，，則 與高度調整器5的對數。 更應增加輸送.器4 如圖9所示，組合基板結構丨係 的矩陣陣列，而各分部 —維上被區分成分部 及在垂直於第平方向上具有Px的尺寸 在垂直於苐-水平方向的第二水平 寸。各分部具有第—可接受的f -有Py的尺 受的彎曲量「ay〇」。第一\H 」及第二可接

Li:: ΐ的彎曲量並界定在第-水平方向上之兩相 著笫^ k】送态4之間。第二可接受的彎曲*「ay 0」為沿 相上的彎曲量並界定在第二水平方向上之兩 相4對齊的輸送器4之間。 依據本發明，將組合基板結構丨區分成分部的二維矩 「皁列，各分部則具有第一及第二可接受的彎曲量 敕X〇」及「ay 〇」，俾能就組合基板結構i的各分部而調 i或控制各第一及第二可接受的彎曲量「ax0及 「ay〇」。 」 吾人應注意到即使組合基板結構1的彎曲量「a」變成 零’但由於在密封熱固處理之前位移△ p並非零，故在薄 膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間已出現錯位、或在薄 膜電晶體基板2與彩色濾波基板3的圖案上已出現誤差。 然而，即使在密封熱固處理前，薄膜電晶體基板2與

第26頁 567359 五、發明說明（23) 彩色濾波基板3之間已出現錯位、或在薄膜電晶體美 f色滤波基板3的㈣上已出現誤差的情況下，本^的、 ^賴裝置仍能改善對正的準確性或減少 Λ 與彩色濾波基板3之間的位移。 阳體基板2 ^圖1 〇顯示依據本發明之改善對正的準確性或減少薄膜 g晶體基板與彩色滤波基板之的位移之新賴方法的視、 如圖10之左半區域所示，組合基板結構丨係具 的平坦性或具有零彎曲量r a = 〇 , ，n卩主山# 板3係較豆下方之薄膜雷曰俨其同時由於彩色滤波基 #罕乂，、卜万之潯膜電晶體基板2長2 ΔΡ1，故组人芙拓 結構1具有位移ΔΡ1。 又、、且。基板 若將ΔΡ1代人方程式（2)時，則獲得以下方程式（4 ral」=Psin ( ΔΡ1/21；)…⑷ 其中，「al」為虛擬的彎曲量而非實際彎曲量。換 平’，圖1 0之左半區域所示，組合基板結構1具有確實的 移2H且非任何實際彎曲，但由於組合基板結構1具有位 移卜因此將組合基板結構“見為具有虛擬的 α丄」 〇

虛擬曲區；：Γ Γ補償位移2ΔΡ1而減少 撐仕彡入* 」之目的，故操作高度調整器5而使支 低逵：二土板結構1之相對兩外側的側邊輸送器4之高度1 違反向的蠻曲吾「 又 的彎曲量「a1 -al」，俾使組合基板結構1具有虛^ al」，其中反向的彎曲量r_al」之絕對值等

567359 五、發明說明（24) 於虛擬的彎曲量「a 1」之絕對佶 _ 構1之中央的中央輸送器4係維持不支撐住組合基板結 合基板結構〗之中央與兩相對端高度、且支撐住組 輸送器4與兩相對侧邊輸送器4之門的θ 、位置之位在中央 4 <間的剩餘輪铥哭4之高唐 則降低至相等於中央輸送器4之高庚的盾从^ 心问度的原始高度盥達相對 兩側邊輸送器4之反向的彎曲量「〗 ,„ ^ ^ 门L ，人甘 里—al」之降下高度之間的 中間尚度。因此，、，且&基板結構}係變成具 :圓弧表示的實際管曲量，其中组合基板結構】之相對： :部的高度即變成低於其中央的高度，藉以使薄膜電晶體 基板2的頂面變成比彩色濾波基板3的底面長達Δρι， 消除組合基板結構1之虛擬的彎曲量「al」及其位移 此 ,換言之，係在高度調整器5的操作下完成高度調整 形成如組合基板結構1之實際彎曲量的反向彎曲量「―a工 俾能使位移ΔΡ1變成零，藉以消除薄膜電晶體基板2」 色濾波基板3之間的錯位或位移。 、乂 在上述圖1 0之左半區域所示的例子中，組合基士 1係具有無彎曲量之極平坦的原始外形。然而，組合義 結構1的原始外形可能具有彎曲量。於此情況下，則ς ，設定用以限制輪送器4之高度調整量的高度調整器5之土行 程（—al )上限，俾能預防組合基板結構1之外形改變而= 於使最終產品的品質降低。 向免 在2完成密封熱固處理之後，將由於密封熱固處理而 互相固定的薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間無相對

IIH 第28頁 五、發明說明（25) 位移’故難以使位銘Λ p # &雨 具有彎曲量移成為零。即使迫使組合基板結構1 一有弓曲里而使各對正記號互相 稱i 1回復成無彎曲量的屌妒κ % 仁在，，且δ基板結構 偏離而位移則仍然存原在始外形之後，則各對正記號將互相 器 4 /^ ^ ^ ^ I, ^ 要’而在密_處理期7、=^^ 的形態維持不變極重要。 备便、、且。基板結構 如上所述’新穎的組合基板結構之形 組if板結構之底面的輸送器之二維陣列 刀另，凋輸送态而與輸送器機械地連接的高度調整哭、 上^控制或调整組合基板結構之彎曲量而電性連接至 巧及高度感測器的控❹。此裝置不僅能 構的對正準確性 =、=:?曲！以補償薄膜電晶體基板與彩色纏 六述之薄膜電晶體基板與彩色濾波基板可藉由以下利 用上述之新穎裝置的方法而加以組合。圖丨丨Α至圖丨丨Ε為說 明依據本發明之薄膜電晶體基板與彩色濾波基板的第一新 穎組合方法中所具備之連續步驟的概要立體圖。 參見圖11A，藉由塗佈器4〇而將黏合劑丨3塗佈在薄膜 電晶體基板2的表面之上。將分隔物14散佈在彩色濾波基 板3的表面之上。使黏合劑13當作黏著劑。分隔物“則用 567359 五、發明說明（26) 以形成薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的間隙。分 隔物14係包含平均直徑約為5微米的.球狀微粒。 參見圖11 B ’將彩色濾波基板3放置在薄膜電晶體基板 2上俾此使薄膜電晶體基板2之四個角落上的四個對正記 號26之各個的中心皆對齊彩色濾波基板3之四個角落上的 四個對正圯號26之相對之一的中央。藉由四個攝影機丨5而 確認這些對正。對正的準確性則在± 2微米之内。 參見圖11C，來自紫外線源i 6的紫外線照射在黏合劑 13之整體的局部之上而暫時固化黏合劑13，俾能在隨之的 主要熱固處理期間内預防薄膜電晶體基板2與彩色滤波基 板3之間的任何差排。 ,參見圖11D，藉由各具有加熱源19的頂面平板17與底 面平板18之一組合而壓合包含薄膜電晶體基板2與色噫 J基板3的組合基板結構！，藉以完成黏合劑"的主要熱： 地理。底面平板17及底面平板18皆各具有極佳準確的平坦 性。此壓合機構係壓合組合基板結構i，俾能將薄膜十曰一 體基板2與彩色濾波基板3之間的間隙設定成約5微米。曰曰 爹見圖11E ’對黏合劑13進行的熱固處理係持 所示之藉由此裝置而完成熱固處理為止，同時在^圖4 $間’们且合基板結構!受到上述藉由具有‘整= 輸Π的二維陣列所進行之組合基板結構 ^ = 副整之作用，俾能減少或消除薄膜電晶體基=確的 色遽波基板3之間的位移或錯位。因此， /、毛 體基板2與彩色濾波基板3之間無任何眚、寸’膜電晶 任何實際位移或錯位的期

第30頁 567359 發明說明（27) 望組合基板結構1。接著將液晶注入薄膜電晶體基板2與彩 色濾、波基板3之間的微小間隙之中。 、亦可使用另一組合基板結構的形成方法。圖丨2A至圖 1 2E#為說明依據本發明之薄膜電晶體基板與彩色濾波基板 的第一新賴組合方法中所具備之連續步驟的概要立體圖。 ^曰參見圖12A ’藉由塗佈器40而將黏合劑13塗佈在薄膜 電晶體基板2的表面之上。將分隔物丨4散佈在彩色濾波基 板3的、表面之上。使黏合劑丨3當作黏著劑。分隔物1 4則用 以形成薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的間隙。分 隔物1 4係包含平均直徑約為5微米的球狀微粒。 參見圖12B，藉由塗佈器2〇而選擇性地將液晶塗佈在 薄膜電晶體基板2之上。 參見圖12C，將彩色濾波基板3放置在薄膜電晶體基板 2上，俾能使薄膜電晶體基板2之四個角落上的四個對正記 號26之各個的中心皆對齊彩色濾波基板3之四個角落上的 四個對正記號2 6之相對之一的中央。藉由四個攝影機1 5而 確遇這些對正。對正的準確性則在± 2微米之内。 參見圖1 2D，來自紫外線源〗6的紫外線照射在 U之整體的局部之上而暫時固化黏合劑丨3，俾能在隨之的 主要熱固處理期間内預防薄膜電晶體基板2與彩色據1皮基 板3之間的任何差排。 土 藉由各具有加熱源19的頂面平板17與底面平板18之一 組合而壓合包含薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3的組合 基板結構1，藉以完成黏合劑1 3的主要熱固處理。底面平"

第31頁 567359 五、發明說明（28) 板1 7及底面平板1 8皆且 構係壓合組合基板結構^圭準確的平坦性。此壓合機 濾波基板3之間的間隙設:^將薄膜電晶體基板2與彩色 參見圖1 2E，對勒二淹M Q、’、、5微米。 所示之藉由此裝置而：成：3固進/的熱固處理係持續至圖4 期間，使組合基板結構丨受到上&理為^，同時在熱固處理 輸送器4的二維陣列所進杆 ^曰具有尚度調整器5之 高度調整之作用，俾ΛI Λ基板結構1的極佳準確的 色濾' 波基板3之間的位y或·^除//電晶^基板2與彩 體基板2與彩色滤波基板3* ’將獲得薄膜電晶 望組合基板結構1。 L任何貝際位移或錯位的期 【第 參見 例。圖1 3 組合基板 在上 係對當作 的黏合劑 然而 則對薄膜 紫外線照 由第一實 防薄膜電 二實施例】 相關圖式，俾詳細說明依據本發明之第二實施 為依據本發明之第二實施例的液晶顯示器之另一 結構之形成裝置的側視方塊略圖。 述之第一 ^施例中，組合基板結構丨之形成裝置 黏著劑之薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3'"之 進行熱固處理。 曰 ，在第二實施例中，組合基板結構1的形成裝置 電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的黏合劑~進行 射固化處理而暫時固化黏合劑1 3，俾能在隨之藉 施例所述之裝置而進行主要熱固處理的期間内預 晶體基板2與彩色濾波基板3之間的任何差排。 第32頁 567359 五、發明說明（29) 紫外線照射固化處理係相當於圖11 c或圖1 2D所示之步 驟，其已完成用以預防在隨之藉由第一實施例所述之裝置 而進行主要熱固處理的期間内薄艨電晶體基板2與彩色濾 波基板3之間所產生之差排的暫時固化處理。 參見圖13，此裝置係具有入θ 11、及UV燈16。UV燈16 則發出照射在組合基板結構1之上而用以對薄膜電晶體基 板2與彩色濾波基板3之間黏合劑造成紫外線照射固化的紫 外線。在紫外線照射固化處理期間内，組合基板結構1則 由以下之支撐機構所支撐。 支撐機構包含複數對之輪送器4與高度調整器5的矩陣 陣列。將輸送器4設置在高度調整器5的頂部，俾允許高度 調整器5調整輸送器4的高度。換言之，各輸送器4在垂直 或高度方向上係可動。複數高度調整器5係可獨立操作， 俾用於複數輸送器4的各別高度調整。 各輸送器4更包含環狀構件4a及支撐構件“ 件4 a的頂部係與組合基板結構1的底面直接接觸 此裝置亦具有複數高度感測器6的矩陣陣列，其位於 輸送器4的上方，俾用以測量以組合基板結構丨之各位置 基準高度的相對高度。使各高度感測器6進一步地 …、 接至控制器12，俾用以將高度偵測之信號傳送至 1 2 ’其中各高度偵測之信號代表組合 ^ 位置上相對於基準高度的測量高度‘二之= 禝數=度感測器6之具有各高度資料的高度偵刀 收自

基於高度資料的分析而產生各控制信號。、“ Ρ〜，W

567359 五、發明說明（30) ____ 使各咼度調整器5亦電托 器接收控制信號，俾為了接至控制器而用以從控制 平坦性與減少及/或消广吊維持組合基板結構1的較佳 板3之間的位移或錯位之*目缚/電晶體基板2與彩色濾、波基 之輸送器4的高度。上述報^而由各高度調整器5調整成對 合基板結構i之位移或錯位:、的裝置係減少及/或消除組 組合二而Λ組Λ基板結構1運送至烤箱中，其中使 1 R # ^ φ ^ I在複數輪送器4的矩陣陣列上。UV燈 1 6係發出照射在組合基板杜 干力工UV ^ 綠W私m儿— 极、、口構1之上的紫外線，藉以紫外 膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的黏合 合基板結構1係藉由上述基板支撐機構而維持 @此允許薄膜電晶體基板2與彩色滤波基 ί Λ :、有極準確的對正。若使組合基板結構1用於液晶 ，.、不斋日守，則將獲得期望之較佳光傳送性及期望之較佳顯 示品質。 ▲依據第二實施例，此裝置亦對組合基板結構丨進行高 度凋整，俾能使組合基板結構丨具有足以補償薄膜電晶體 基板2與彩色遽波基板3之間的位移或錯位之彎曲量。 【第三實施例】 參見相關圖式，俾詳細說明依據本發明之第三實施 例。圖1 4為依據本發明之第三實施例的液晶顯示器之另一 組合基板結構之形成裝置的侧視方塊略圖。 第三實施例的裝置除了其中更具有影像監視裝置1 5之 567359 五、發明說明（31) 外’其結構係相# 監視裝置Η係位在組合基板裝置結構。影像 2va： it iitV ^ίε ^26 ^ ^ ===:2t表示的控制㈣。影i;: 制器12。控制器12則產生傳‘1 = h號傳送至控 U :度δ周整盗5即依據接收自控制器12的控制信 仃輸达器4的尚度調整。在黏合劑固化處理的期間内' 除了利用高度感測器6而進行高度調整處理之外 ::監，裝置15而進行上述的高度調整處理。相較於上述 之弟一貫轭例而言，利用影像監視裝置丨5將進一 膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的對正準確性H 其間之位移。· … 利用影像監視裝置15亦允許為了理解位移或錯位大小 的趨勢而根據如產品種類及基板材料等各種因素而就所有 之組合基板結構1收集或累積與位移或錯位大小有關的重 要資料。此允許就如產品種類及基板材料等不同因素而設 定不同之條件，藉以就各種產品種類而獲得薄膜電晶體基 板2與彩色滤波基板3之間的對正準確性上的改善。 一 【變化例】 如上所述’造成薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之 第35頁 567359 五、發明說明（32) 間位移的主要原因係在於組合基板結構1的彎曲量。而造 成薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板_3之間位移的次要原因 則在於薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之熱膨脹的差 異，其中熱膨脹間的差異不僅包括薄膜電晶體基板2與彩 色濾波基板3之溫度分佈的額外差異，更包括薄膜電晶體 基板2與彩色滤波基板3之熱容量的差異、及薄膜電晶體基 板2與彩色濾波基板3之熱膨脹係數間的另一差異。 上述說明之第一、第二及第三實施例中的三裝置之各 個係可承擔造成薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間位 移的次要原因。 圖1 5A為第一、第二、及第三實施例之各個中的具有 士輸送器之裝置的頂部之第一變化結構的局部侧視圖'。如 前述實施例所述，各輸送器4包含環狀構件4a及支撐環狀 構件4a用的支撐構件4b。環狀構件“的頂部係與組合基板 結構1的底面直接接觸。 在上述之第一至第三實施例中，將環狀構件4a固定在 支撐構件4b上，俾能使環狀構件4a無法旋轉。然而，可修 改輸送器4的結構，俾能使環狀構件粍機械地連接至支撐> 構件4b而允許環狀構件4&如圖丨5A所示般地繞著轴&旋 «ί i ΐ環狀構件4a繞著軸4c旋轉的結構係無法預防薄 板2的熱膨脹。換言之，環狀緣繞著轴L m將允許薄膜電晶體基板2顯現薄膜電晶體基板2與環 Γ冓牛a之間係無任何之摩擦的熱膨脹。$ 一方面，彩色 567359 發明說明（33) 滤波基板3並未與輪送器4接觸，因此彩色濾波基板3係顯 現與輸送器4 ^間無任何之摩擦的熱.膨脹。 所以，允許薄膜電晶體基板2及彩色濾波基板3兩者將 因為與輸送器4的環狀構件4 a的摩擦而皆顯現出無任何實 際預防的熱膨脹。薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間 的熱脉脹率並無貫際差異。例如，玻璃基板具有約4E — 6 / c的線性膨脹係數。若具有2P =68〇mm之長度的玻璃基板 的溫度從增加至200 °c時，則長度2P將增長〇. 48mm。

少又，薄膜電晶體基板2的底面與輸送器4的環狀構件4a 係^有微小的接觸區域。具有微小接觸區域的接觸將造成 從薄膜電晶體基板2經由微小接觸區域而至環狀構件“的 微小熱傳導。而這將造成組合基板結構丨之相當均勻的溫 度分佈。此相當均勻的溫度分佈將造成組合基板結構1上 之相當均勻的熱膨脹。而此組合基板結構丨上之相當均勻 的熱膨服則降低薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板f之間的 位移。 由於輸送器4與組合基板結構1間具有微小的接觸區 這將允許放置機械手臂在組合基板結構1的底面之 域，

下。若機械手臂舉起組合基板結構1而使組合基板結構1的 底面變成與輸送器4分離時，則組合基板結構丨將取決於輸 送器4與組合基板結構1之間的接觸區域而電性充電。'此輸 送器4與組合基板結構1之間的微小接觸區域將因為组合基 板結構i與輸送器4 =的分離而造成對組合基板結構Μ 微小充電。此微小充電係避免各層之間的任何型式之短路

第37頁 五、發明說明（34) 或避免對裝置的靜電破壞 圖15B為第—、第二、及 — 各輸送器之裝置的頂部之第二弟 '二貫施例之各個中的具有 環狀構件4a機械地連接至支^摇化結構的局部側視圖。使 圖1 5B所示般地沿著軸虹滑動牙。構件4b而允許環狀構件4a如 膜電晶體i板2的熱牛膨脹'者換轴，滑動的結構係無法預防薄 的滑動將允許薄膜電晶脹體4;;現一 之間係無任何之摩擦的熱膨脹、。二方基面板2與： 遽波基板3並未與輸送哭4技艇 m /色 银奸、矣哭^ ! 觸，因此彩色遽波基板3係顯 見人輸达时4之間無任何之摩擦的熱膨脹。 戶=，允許薄膜電晶體基板2及彩色遽波基板3兩者將 因為與輸送器4的環狀構件4a的摩擦而皆顯現出無任何實 際預防的熱膨脹。薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間 的熱私脹率並無貫際差異。例如，玻璃基板具有約4 E — 6 / C的線性膨脹係數。若具有2P =68 Omm之長度的玻璃基板 的溫度從25 °C增加至200 °C時，則長度2P將增長〇. 48mm。 又，薄膜電晶體基板2的底面與輸送器4的環狀構件4a 係具有微小的接觸區域。具有微小接觸區域的接觸將造成 從薄膜電晶體基板2經由微小接觸區域而至環狀構件4a的 微小熱傳導。而這將造成組合基板結構1之相當均勻的溫 度分佈。此相當均勻的溫度分佈將造成組合基板結構1上 之相當均勻的熱膨脹。而此組合基板結構1上之相當均勻 的熱膨脹則降低薄膜電晶體基板2與彩色濾波基板3之間的 567359 五、發明說明（35) 位移。 由於輸送器4與組合基板結構1間具有微小的接觸區 域，這將允許放置機械手臂在組合基板結構1的底面之 下。若機械手臂舉起組合基板結構1而使組合基板結構丨的 底面變成與輸送器4分離時，則組合基板結構1將取決於輸 送器4與組合基板結構1之間的接觸區域而電性充電。此輸 送器4與組合基板結構1之間的微小接觸區域將因為組合基 板結構1與輸送器4之間的分離而造成對組合基板結構1的 微小充電。此微小充電係避免各層之間的任何 或避免對裝置的#電破€。 飞之短路 例及變^:述者’ #為了用於方便說明本發明之較佳實施 及變化例。凡：if將本發明狹義地限制於該較佳實施例 專利之二依本發明所做的任何變[皆屬本發明申請 567359 圖式簡單說明 圖1為液晶顯示器处摇沾4b 国9A * *、…k 構的概要立 圖2A為穿過液晶顯示器之m體圖。 圖，其中以極佳準確性對齊薄臈J:=局部橫剖面前視 板。 日日體基板與彩色濾波基 圖2B為穿過液晶顯示器之 圖，其中以極差準確性而使薄膜電曰=局部橫剖面前視 板錯位。 日日體基板舆彩色濾波基 圖3顯示接合薄膜電晶體基板與 熱固裝置的概要視圖。 /色，慮波基板之密封 圖4為依據本發明之第一實施 的組合基板結構之形成裝置的\^見歹方塊的液晶顯*器所用 圖5為圖4所不之裝置的平面方塊略圖: 圖6為顯示組合基板結構的彎曲旦「" 基板及彩色濾波基板之間的位移咬a」與薄膜電晶體 視圖。 移或錯位之間的相互關係的 圖7為顯示組合基板結構的彎曲量「a」盥薄膜 基板及彩色濾波基板之間的位移或錯位之間的相互·;的 視圖。 圖8為顯示依據感測器之二維矩陣陣列所偵測之 值而藉由複數高度調整器將輪送器的二維矩陣陣列調整" 各高度所進行的組合基板結構之高度調整的局部侧視圖。 圖9為圖8之擴大圖。 圖1 〇為顯示依據本發明之改善對正準確性或減少薄膜 電晶體基板與彩色濾波基板之間的位移之新穎方法的視

^/359 圖式簡單說明 ^/359

奢备f'2A至圖12E為顯示依據本發明之薄膜電晶體基板與 /思波基板之第二新穎的組合方法具有之連續步驟 的概要立體圖。 圖1 3為依據本發明之第二實施例中的液晶顯示器所用 的另一組合基板結構之形成裝置的側視方塊略圖。 圖1 4為依據本發明之第三實施例中的液晶顯示器所用 的另一組合基板結構之形成裝置的側視方塊略圖。 圖15A為第一、第二、及第三實施例之各個中的具有 各輪送器之裝置的頂部之第一變化結構的局部側視圖。 圖1 5B為第一、第二、及第三實施例之各個中的具有 各輪送器之裝置的頂部之第二變化結構的局部側視圖、。 【符號說明】 I 組合基板結構 10鼓風機 II 入 U7 12控制器 13 黏合劑 14分隔物 15 影像監視裝置（攝影機）

第41頁 567359 圖式簡單說明 16 UV 燈 17 頂 面 平 板 18 底 面 平 板 19 加 熱 源 2、 3 基 板 20 塗 佈 器 22 支 撐 器 23 支 撐 點 26 、2Ί 對 正 記 28 薄 膜 電 晶 體 29 液 晶 分 子 30 背 光 源 31 > 32 偏 光 滤 33 光 線 34 m 出 光 線 35 透 明 電 極 36 彩 色 滤 波 器 4 輸送器 40 塗佈器 4a 環 狀 構件 4b 支 撐 構件 4c 軸 5 高度調整器 6 感測器

第42頁 567359

第43頁

Claims (1)

1. wrm-τ 公告本 六、申請專利範圍 — 1 · 一種組合基板結構的支撐裝置，而該組合基板結構則且 有組合之第一及第二基板，該裝置包含： /、 複數之可調高度的支撐機構，用以支撐該組合基板社 構之一底面的複數個支撐點，該可調高度之支撐機構係倉1 調整其一高度； 一高度偵測系統，用以偵測該底面之該複數個支撐點 所對應之該組合基板結構之一頂面的各對應點的高度·，及 了控制系統，用以接收該高度偵測系統所偵測之各高 度、並依據該偵測之高度而用以在各高度調整操作中 該複數之可調高度之支撐機構。 卫π 2·如申4專利範圍第丨項之組合基板結構的支撐裝置，盆 中該控制系統係在各高度調整操作中控 度之支撐機構，俾能將嗲細人其祐社姓 ^ J ^ ^ 口乂、、且a基板、、、口構之一，脊曲量抑岳丨尤 一最大可接受的彎曲值之肉，而兮畀Μ， 里ί卩制在 很 < 円，而該最大可接受的蠻曲佶日，丨 相當於該第一與第二基板之門M j接又的4曲值則 中之最大值。 基板之間的-位移之-可接受的範圍 其 結構 3.如申明專利辄圍第2項之組合基板結 中將該複數之可調高声$古0 1再扪文保衮3 々叶尨而々π认q度之支撐機構配置在該組合基 之該底面之下的二維陣中。 土 4.如申請專利範圍第3項之組合基板結 中該控制系統係在各离 霉的支撐裝置，其 1"度調整刼作中控制該複數之可調高

   567359 六、申請專利範圍 一 =支撐機構’俾能將該組合基板結構之分開的次區域 各幫曲量抑制在該最大可接受的彎曲值之内。 3之 5 ·，.申請專利範圍第3項之組合基板結構的支撐裝置，其 :該高度偵測系統具有位於該複數之可調高度之1撐撫、 、上方之高度偵測感測器的一二維陣列。 6中如申請專利範圍第1項之組合基板結構的支撐裝置，发 該控制系統係在各高度調整操作中控制該複數 _、古 2之$撐機構，俾能使該組合基板結構具有一反向的5 = 里，其相對於與該第一與第二基板之間的一位曲 當的_ 丄 移员質上相 虛擬；曲s，其中該反向的彎曲量在絕 於该虛擬彎曲量而極性相反。 阻上係4 其 7·如申請專利範圍第6項之組合基板結構 中將該反向的f曲量控制在一預定之上：值支二裝置， 8包i申請專利範圍第1項之組合基板結構的支樓裝置，更 一位移偵測系統，用以偵測該第一與第二 一位移、並用以將代表該偵測之位移的一:反之間的 號傳送至該控制系統；及 一位移信 該控制系統係接收來自該位移偵測系 號、並依據該位移信號而在各高度調整操二：移信 「k制該複數

   第45頁 567359 六、申請專利範圍 之可調高度的支撐機構。 9·如申請專利範圍第8項之組合基板結構的支撐裝置，其 ^該位移偵測系統具有複數之影像辨識裝置，用以辨識該 第一基板的一第一對正記號與該第二基板的一第二對正記 號之間的一位移，而該第一及第二對正記號係成一對。 1 0 ·如申請專利範圍第9項之組合基板結構的支撐裝置，其 中該複數之影像辨識裝置具有攝影機。 結構的支撐裝置，其 11 ·如申睛專利範圍第1項之組合基板 中 板結支;機構具有用以機械地支樓該組合基 號而調整該輪送器的::據來自該控制系統的該控制信 Τφ如二气專利效範@第11項之組合基板結構的支# ”， 八中μ同又凋i器具有一驅動器牙衣， 的該控制信號而顯示且有一批 、蘇不自该控制系統 、 孜制之行程的高度。 1 3·如申請專利範圍第u項之纟且人 其中使該輸送器機械地連接、二土板結構的支撐裝置， 第-及第二基板之位在下方者器’俾能隨著該 π饪何熱膨脹而移動。

   第46頁 567359 六、申請專利範圍 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項之組合基板結構的支撐裴置， 其中該輸送器隨著該第一及第二基板之位在下方者的任何 熱膨脹而轉動。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項之組合基板結構的支撐裝置， 八中該輪送器隨著該第一及第二基板之位在下方者 熱膨脹而滑動。 何 板結構的支撐裝置，更 1 6 ·如申請專利範圍第1項之組合基 包含： 一盥：加ί系、统，用以加熱該組合基板結構而·熱固化該第 弟一基板之間的一黏性的密封層。 1包7.含如申請專利範圍第Η之組合基板結構的支撐裝置，更 板結構之上而UV固化該第一與第二基板之 封層。 一紫外線照㈣統’㈣m線照射在該組合基 間的一黏性的密 18· —種組合基板結構的支 具有組合之第一及第-^ 而該組合基板結構則 σ之弟及弟一基板，該裝置包含： 可調尚度之支撐機構的_二維陣列， 基板結構之一底面的複數個樓 牙。、、且a 攸数個支撐點，該可調高度之支撐機

   第47頁 567359 六、申請專利範圍 " · ' ^ -- 構的各個更包含用以機械地支撐該組合基板結構的一 器、及用以調整該輸送器之一高度的一高度調整器； 高度偵測感測器的一二維陣列，其位於該可調高度之 支撲機構的上方’而用以偵測該底面之該複數個支撐點 對應之该組合基板結構之一頂面的各對應點的高度；及 一控制系統，用以接收來自該高度偵測系統ς該 之高度、並依據該偵測之高度而在各高度調整操批二 該高度調整器。 ”卜τ佐制 19·如申請專利範圍第18項之組合基板結構的支撐裝 其中該控制系統係在各高度調整操作中控制該複數t :度2撐機構，#能將該組合基板結構之一 ：： 則相當於該第一與第二基板之間的一位二= 圍中之最大值。 J接叉的範 20.如申請專利範圍第18項之組合基板結構的支撐 二中該控制系統係在各高度調整操作中控制該複、 而度之支撐機才籌’俾能將該組合基板結構之 調 之各彎曲量抑制在該最大可接受的彎曲值之内。、人區域 两度之支樓機構，#能使該組合基板結構i有！=可調 的 2丄如申請專利範圍第! 8項之組合基板結構的支撐 ^中该控制系統係在各高度調整操 t ，

   Η 567359 六、申請專利範圍 曲量，其相對於與該第一與第二基板之間的一位移實質上 相當的一虚擬彎曲量，其中該反向的彎曲量在絕對值上係 等於該虛擬彎曲量而極性相反。 22·如申請專利範圍第21項之組合基板結構的支撐裝置， 其中將該反向的彎曲量控制在一預定之上限值之内。 23·如申請專利範圍第18項之組合基板結構的支撐 更包含： 一位移偵測系統，用以偵測該第一與第二基板之間的 一位移、並用以將代表該偵測之位移的一數值之一位移信 號傳送至該控制系統；及 1=7 口該控制系統係接收來自該位移偵測系統的該位移信 唬、並依據該位移信號而在各高度調整操作中控制該 之可調高度的支撐機構。 24·如申請專利範圍第23項之組合基板結構的支撐 該第二板的一第一對正記號與該第二基板的一第— 記號之間的-位移，而該第-及第二對正記號係U 25.如申請專利範圍第24項之組合基板結構 其中該複數之影像辨識裝置具有攝影機。 牙 ，

   567359 六、申請專利範圍 2 6 ·如申請專利範圍第1 8項 其中該 ' 穴I职间/文辦金尹罝古一之組合基板結構的支撐裝置， 的該控制信號心;具ί驅=之該控制系統 其中使V輸專^之至组二基二4構的支撐裝置， 第-及第二基板之位在下方者的二=隨著該 2盆8 ·中如/Λ專ΐ圍第2 7項之組合基板結構的支撐裝置， 熱:::::隨著該第-及第二基板之位在下方Λ任何 熱膨膜‘第…二基板之位在下方〜 |包^含申：明專利範圍第18項之組合基板結構的支撐裝置， -與;間Γ::=ί板結構而熱固化該* 裝置， 公包如含申請專利範圍第18項之組合基板結構的支撐 紫外線照射系統，用以將一紫外線照射在該組合美 第50頁 567359 六、申請專利範圍 黏性的密 板結構之上而uv固化該第一與第二基.板之間 封層。 32. —種組合基板結構的支撐方法，而該組 具有第一及第二基板，及藉由複數之可調高度土之板支 而支撐在該組合基板結構之一底面的複數個支 ' 方法具有以下步驟： 牙’該 Φ 偵測該底面之該複數個支撐點所對應之該組人 構之一頂面的各對應點的高度；及 、〇 土 、’、口 高度之高度而在各高度調整操作中控制… 33. 如申請專利範圍第32項之組合基板結構的支俨 其中執行該各高度調整操作，俾能將該組合基牙妹媛之/ 彎曲量抑制在一最大可接受的彎曲二 受的彎曲值則相當於該第一與第二基板：間=二！ 可接受的範圍中之最大值。 位移 34. 如申請專利範圍第32項之組合基板結構 其中=該各高度調整操作，俾能將該纟1合Μ /法 開的:人區域之各彎曲量抑制在該最大可接受的彎：】之 内。 35.如申請專利範圍第32項之組合基板結構的支撐方法，

   第51頁 567359 六、申請專利範圍 --- 其中執行該各高度調整操作，俾能使該組合基板姅 一反=的f曲量，其相對於與該第一與第二基板二間^ $ 位移實質上相當的一虚擬彎曲量，其中該反向的彎曲息一 絕對值上係等於該虛擬彎曲量而極性相反。 里在 36.如申請專利範圍第35項之組合基板結構的支擇方法 其中將該反向的彎曲量控制在一預定之上限值之内。/ ’ 3八如申請專利範圍第32項之組合基板結構的支撐 更包含·· 电、 偵測^亥第一舆第二基板之間的一位移；及 依據A彳貞测之位移而控制該各高度調整操作。 3 8 ·如申請專利範圚筮 其中们則該位移的Λ二之組合基板結構的支撐方法’ 對正記號與該第二係包含辨識該第一基板的-第- 而該第-及第二對第二對正記號之間的-位移， 对止f该;係成一對。