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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明之背景 發明之領域 本發明係關於一種可透光多層濕氣屏障。本發明尤指一 種可透光，薄膜，多層複合物，包含許多交替層之無機材 料及有機材料，可用作濕氣敏感電池上檢測計之濕氣屏障 ，該屏障之一種製法，以及指一具有濕氣敏感電池上檢測 計及該屏障之電化學電池。 發明之背景 使用電池狀沉檢測計，諸如熱色性電壓檢測計，以目視 方式指示電化學電池（通稱爲電池〉之狀況，已變得很受 觀迎，並且對電池製造麻商及對消費者提供一項具附加價 値之優點。此等檢測計係合初級電化學電池使用，但如 果希望，消費者也可使用其檢測次級或可充電式電化學電 池之狀況。目前使用中之最受歡迎檢測計，爲一種熱色性 材料，與一形成電池包裝整體部份之電阻元件接觸，其中 電池爲鹼性初級電池。使用者將電池之端子置於檢測計之 觸點之間，並擠恩檢測計之觸點端，輿爲電池末端之電池 端子作成電接觸。檢測計之電阻元件與電池電壓成比例加 熱，並且熱色性材料在指示"良好"或"更換"之範園提供電 池狀況之定量指示。此種檢測計例如揭示於奠國鼻利 4,723〗656號。一種也可自包裝移除之整體式熱色性包裝 檢測計揭示於美國專利5,188,231號。最近，發展成功一 種電池上檢測計，其中電池狀況指示器爲電池標簽之整鱧 部份。此等電池上檢測計包括熱色型及一種新式電化學翠 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本页)

J 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ------------B7 五、發明説明（2 ) ' ' 生扭.#纟色型電池上檢測計之-種實例揭示於歐洲專利 iwm織H之揭示經予參考併人本案<»不同於 採用電阻元件產生熱，並因此無法永久附著至電池之端子 而不使其連績放電之熱色型，新式電化學型不 自電池抽 出電流，因此可永久附著至電池之端子，而不使電池放電 。此種新型檢測計揭示於美國專利5 250 9〇5號及 5,339,024號，其揭示經予參考併入本案。如美國專利 5,355,089號中所揭示，有些電化學型電池上狀沉檢測計 採用吸濕性或其他性質濕度敏感電解質组成，以及防止會 破壤檢測計有效性之濕氣到達電解赏所必須之装置。此專 利揭示若干對此問題之解決方法，其中最佳爲雲母。然而 ，雖然比較不昂貴，但雲母無法以長帶或允許其捲成一卷 雲母之其他形式利用，其爲經濟適用商業生產方法所需者 〇 發明之概述 本發明係概括關於一種可透光多層複合物，其可用作濕 •fy 氣屏障，並且其包含許多交替層之固髏無機材料及固體有 機材料，且其爲將上述諸層敷著或形成至一基片所形成。 本發明尤指一種薄膜，多層複合物，其包含交替之無機及 ，•+ ........ 有機層敷著或形成在一適當基片上，並且其可用作濕氣屏 ，。在一種實施例，本發明之複合物用作供目視指示電化 辜電池狀況之濕氣敏感電池之濕氣屏障。在另一 實施例，本發明係關於該多層複合物之一種製法。在又一 實施例，本發明係關於本發明之多層複合濕氣屏障與一電 4«. -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 1^— - 广_ 1 - I — (〈 I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 B7 五、發明説明（3 ) 池上檢測計相组合，及關於一種電化學電池具有一藉該複 合物保護以防濕氣之濕氣敏感電池上檢測計。在另外又一 實施例’本發明之複合物用作供濕氣敏感材料及物品之包 裝材料’因此’使用作爲供電池上檢測計之濕氣屏障時， 薄膜多廣複合物之透光特性，使人們可如檢測計用以指示 電池狀況之彩色，記號或其他目視裝置所呈現，知道電池 之狀況。在本發明之複合物用作供電池上檢測計之濕氧屏 障供電化學電池之一種實施例，基片爲一種撓性衆合物， 而複合物爲一種撓性可透光薄膜複合物，其中每層之厚度 不大於五微米，較佳爲不大於一微米。電池上檢測計意爲 一種目視指示電池狀況，並藉電池標簽或其他裝置永久附 著至電池之檢測計，惟本發明不限於此種實施例。可使用 本發明之濕氣屏障複合物之一種型式濕氣敏感電池上檢測 計，爲一種包括至少一種吸濕性材料之檢測計，此種材料 如果吸收水蒸氣，便損害或破壞檢測計之有效性。另一型 爲一種檢計，其包括至少一種需要存在有預定量水份才 起作甩―之.组份因此其需要濕.氣屏障保.持檢測計中之水份 含量β 無機材料及有機材料均爲固髏’並且除發外，均表化合 物而非元素。有機材料通常爲一種聚合物，並且除矽外， 無機材料爲非金屬，爲一種化合物諸如氮化物，氣化物等 。石夕由於其半導電性質，通常不視爲金屬。無機及有機材 料均爲可水溶，並具有供濕氣屏障應用偾可能低之水蒸氣 滲透速率’並且在此等應用’有機衬料較佳爲包含一^碟 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（21〇χ297公釐） C请先閲讀背面之注意事項再填寫本萸) -〆· 、-''• 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 A7 ----------- B7 五、發明説明（~' 水性衆合物。多層複合物之製法包含將一第一層敷著或形 成在一基片上，繼之將一第二層敷著在第一層上面其中 第-及第二層爲不同材料，—爲有機材料 ，而另一爲無機 材料，並且重複交替層敷著，直到已施加產生具有希望特 性之多層複合物所需之層數。因此，本發明之複合物有别 於預先存在之各層予以柏性或其他方式彼此結合之番片， 因爲本發明之複合物之層係藉敷著或塗布法在原地 •形成在4U或其他制複合物上。有機材料作爲液禮予以 施加，然後予以固化或乾燥，或者其可藉各種物理汽敷 (PVD)法，噴濺，等離子增強物理汽敷化學汽敷或任何 其他適當手段作爲單想，預聚合物或衆合物予以施加。無 機層也藉精於此項技藝者所知之方法予以施加，並且如以 下另外所説明，依所使用之材料而定，包括各種（pvD)法 ，喷濺，等離子增強物理汽敷，化學汽敷（CVD)及其他 當方法。 附圖之簡要説明 圖1略示一種根據本發明之十四層濕氣屏障。 圖2(a)略示一種具有本發明之濕氣屏障，在電池上之電 池上檢測計之剖面圈，以及國2(b)以部份虚線略示一種具 有本發明之電池上檢測計及濕氣屏障之電池之側視圈。 詳細説明 圖1略示本發明之一種薄膜多層濕氣屏障1〇包含—塑膠 或衆合物基片12，在其上敷著一包含七層無機材料如層“ ’ 18，22，26 ’ 30 ’ 34及38 ’以及七層有機材料如層16， 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS )八4規格（2丨〇><297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 乂· 訂 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 ____ B7 五、發明説明（5 ) 20，24，28，32，36及40之多層結構。每一有機層之厚度 通常約在100埃至5微米之範園以内，較佳爲約在1〇〇〇埃 至1微米之範園以内。無機層之厚变通常約在1〇〇埃il〇,〇〇〇 埃之範園以内，較佳爲约在200埃至5,000埃之範園以内， 更佳約爲300至3,000埃。因此，除了使用數層有機材及使 用一塑膠基片外，就交替之材料構造及諸層之厚度而言， 圖1中所例示之濕氣屏障，其構造係與用於燈，透鏡，反 射鏡及其他光學物品上之薄膜多層光干涉塗層相似。而且 ，每層之厚度在此等範圍以内，被認爲使本發明之複合物 歸類於薄膜類。層數及層厚度當然依多層複合物預計用途 ，及依無機層及有機層所用之材料而定。在圈1中所例示之 特定構造，所有有機層均爲相同厚度及爲相同材，並且所 有無機層均爲相同厚度及相同材料。不過，如精於此項枚 藝者將會察知，本發明包括並非所有有機層均爲相同厚度 或相同材料，也並非所有無機層均爲相同厚度或相同材科 之多層複合物。而且，雖然僅爲方便起見例示一種十四層 (不包括基片）複合物，但本發明之複合物將具有較多或 較少層，依專業人員之斟酌及能力，總層數（不包括基片 )範園在3至1〇〇或更多層之間，較佳爲至少4層，更佳 爲至少6交替層，另外，在該圈所例示之實施例，所有蹐 層均在基片之一面。如果希望，交替之無機及有機層予》^ 施加至基片之兩面（頂面及底面），以形成本發明之複合 物0 另外，雖然本發明之多層複合物可用作供電池上電化學 本紙張尺度適财關 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 r A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 一 .............................................. B7

五、發明説明（6T 檢測計之薄膜濕氣屏障，其也可用以如上所述作爲供濕氣 敏感食物’化學品’藥品，電子器件及物品之濕氣屏障。 精於此項技藝者將會察知，其也可予設計及使用供其他應 用’包括光學應用，諸如選擇性透射及反射電磁波譜之不 同部份。在又一實施例，基片12爲一有一可脱除表面之幅 片’第一層敷著於其上，因而可移除及使用多層結構，而 無在其上形成此結構之基片，或其可形成在第一基片上， 然後轉移至第二基片。對於大多數應用，需要一基片供強 度’使在製造過程中能處理及使用多層複合物，而不使其 斷裂。在圈1中所例示之實施列，基片不具有可脱除面， 而施加至基片之第一層爲無機層，最後一層爲有機層。如 果希望，依預計之用途而定，敷著在基片上之第一層可爲 一層有機材料，最後一層複合物可爲一層無機或有機材料 。吾人發現，如果無機材料爲一種比較易碎之材料或易破 裂之材料，諸如玻璃，金屬氧化物或金屬氮化物，將其塗 布一層有，材料，保護其以防在處理時受損，便減低其在彎 曲或撓曲時破裂之傾向，並因我务防止無機材料直接與侵 蝕性環境接觸。在此情形，諸外層複合物爲有機材料，其 一可爲圖1中所例示之塑膠或衆合物基片。 吾人也發現，並且對實施本發明很重要，重要的是諸層 料材料予以分開，以避免在無機材料上之裂 紋及缺陷傳播蔓延。亦即，吾人發現，在下文所提及藉敷 著法之一所敷著之無機層上之裂紋，針孔或其他缺陷，如 果將次一無機材料層直接敷著至第一層無機材料，而在二 __： II .-----------1Τ------Τ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（7 ) 無機層之間無有機材料之中間層，便會傳至次一無機材料 層。此現象顯著減低複合物作爲濕氣屏障之有效性，因爲 如果無有機材料之中間層插置在無機層之間，此等缺陷常 傳播通過所有無機材料。關於根據本發明之作法敷著爲數 層之有機材料，有時發明類似現象。因此，大範团或微針 孔’包括塵粒等，可能在敷著過程中出現，這提供一供水 蒸氣傳輸之容易路徑。交替敷著無機材料層及有機材科層 ’任何特定層上之此種層或薄膜缺陷便不會傳播至覆蓋缺 陷之重疊層，從而提供一遠爲較長及較曲折之路徑供水蒸 氣通過，甚至達到程度爲致使淨效果爲宛如缺陷不存在， 自技術觀點而定，較薄層及較多層對水蒸氣傳輸通過複合 物具有較大阻力。然而，濕氣屏障之成本随敷著之每一層 而增加。而且，如果諸層太薄，在諸層辟會有空隙或不完 全之覆蓋範固，這將會增加複合物之可滲透性。 如以上所闞述，本發明之薄膜多層複合物不同於先前技 藝之疊片囡爲本發明之諸層爲藉迪性或其他方式結合預 成形材料帶或片形成層狀結構之層壓以外之方法，彼此重 疊交替敷著無機及有機材料所形成。而且，有一層或多層 有機層，其本身由二層或更多層不同有機材料所作成，諸 如在無機材料層上使用一底層或塗層，以獲致較佳之中間 層粘著，在其上敷著一種不同之有機材料，而有二層不同 有機材料之複合物形成在有機層上，爲在本發明之範团以 内。同樣，在本發明之範園，可施加二層或更多層無機材 料，以形成無機層。可將本發明之一種或多種複合物（其 -9 - 本紙張尺^適用中國國家標準（CNS ) A4規格（1ΐΟχ 297ϋ )---〜 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁j

J r A7 B7 五、 3〇3531 發明説明（8) 非層壓複合物）彼此層壓或層壓至其他複合物或材料，或 其组合，以形成一包含本發明之至少一或至少二或更多複 合物之層壓結構，也爲在本發明之範团以内。另外，雖然本 發明之薄膜多層複合物不包括使用金屬層，但本發明之複 合物可層壓有一層或多層金屬，或可將一層或多層金屬敷 每·在本發明之複合物上，而有另一本發明之複合物敷著在 金屬層上，以形成一包含交替之本發明之複合物及金屬層 之結構。精於此項技藝者將會察知，金屬塗層爲不透光。 不過，此等結構可用於無需光透射特性之應用。 可用於實施本發明之層敷著法包括各種PVD法，諸如喷 濺及蒸發，包括射類（RF)喷濺及磁控管喷濺。也可使用等 離子衆合作用’單體蒸敫，各種CVD，低壓化學蒸敷 (LPCVD)及等離子輔助化學蒸敷，此諸法均爲精於此項技 藝者所知者。用以將一塗層或層施加至在一卷或盤上之基 片之高速方法也爲已知者，並揭示於例如美國專利 4,543,27^號及5,032,461號。通常在眞空室一次僅敷著一 層。因此，例如將一層雲母或氮化矽敷著至基序之一面或 兩面。然後將眞空室中之目標材料改變爲一種衆合物，或 將雲母塗布之基片轉移至其中目標材料爲聚合物之矣一室 。然後將聚合物作爲一層敷著於（諸）雲母層上。但如希望 ，在該室中採用至少二敷層噴濺目標（在喷濺敷著之情形 )，將至少一層無機材料及至少一層聚合物敷著於眞空室 内之基片之一面或兩面。例如，在藉磁控管增加喷濺發生 層敷著之眞空室内，基片爲一電極，將予敷著在基片上之 -10 - f 一 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟'那中央榡隼局員工消費合作、社印製

* 公 /> V N A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（9 ) 目標材料爲另一電極，在敷著一層在基片之一面之情形， 有等離子體在該二電極中間。目標材料及等離子體代之爲 在基片之兩面，供同時將一層敷著在兩面，在此情形，將 一層無機材料或有機材料敷著在基片或無機層塗布基片之 兩面。另外，如果基片爲移動之條或薄膜，則在眞空室順 次採用超過一個目標，藉以在基片之一次通過敷著超過一 種材料。因此，如果基片爲移動之條或薄片，基片移動經 過第一目標或目標組時，將一層無機材料敷著在基片之一 面或兩面。無機材料塗布之基片繼績移動至室中在（諸）第 一目標順流處之第二目標或目標组時，將一層有機材料敷 著在該層無機材料，如此等等。因此，基片在眞空室一次 通過，將很多層施加至基片，以形成圖1中所例示之複合 物，或一種具有層數多於或少於圈1中所例示之複合物。 如此上所釋述，美國專利5,250,905號及5,339,024號揭 示包含一個或多個濕度敏感組件之電池上檢測計，其因此 需採用一^氣屏障輿濕氣敏感檢測計配合，以防止濕氣損 害如美國¥利5,335,089號所揭示之檢測計之有效性。獲 得若干成功之一種方法，爲如’089號專利中所揭示，使用 一小片雲母配置在電池上檢測計上面，並被適當之痔濕材 料諸如聚異丁烯所密封。圖2(a)及2(b)分别略示一種在電 池上具有本發明之濕氣屛障之電池上檢測計之側視圈及頂 視圖（部份虛線）。因此，圖2略示一電化學電池50有一 ’089號專利中所揭示型式之電池上檢測計60,並且其包含 至少一吸濕性组件（未示），有一本發明之薄膜多層濕氣 -11 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

J "- ,1T' 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（10) 屏障70配置在檢測計上面，及藉密封劑62密封至金屬電池 谷器52之外侧，並有塑膠標簽包在電池周固及配置在檢測 計，密封及濕氣屏障上面。檢測計6〇约爲1〇密耳厚，並藉 圖中所未示之裝置附著至正端子54及負端子56。如，〇89號 專利中所揭示，檢測計60例如包含一種無施受性有機電解 質，諸如以容積計，乙烯碳酸醋：丙埽碳酸g旨：衆偏二氟 乙烯之溶劑混合物爲2.4 : 2.4 : 5.2份中之0.5M三氟甲燒 磺酸鋰，其爲很具有吸濕性。密封劑材料例如爲在

Piscataway，N.J.之Huls, Inc.以Vestoplast V3645所供 應之馬來酑改良衆丁烯彈性體。標簽爲一pvc薄膜包在電 池及濕氣屏障/檢測計/密封劑周圍，然後並熱收縮。事 實上，爲供用作供電化學電池上之電池上檢測計，諸如上 引諸專利中所揭示電池上標簽檢測計之濕氣屏障，濕氣屏 障之總厚度，包括基片’不大於約一又二分之一密耳，較 佳爲约在25微米以内_。 在圖2 ,中所例示之實施例，本發明之濕氣屏障1〇包含一 厚一密耳之聚乙烯環烷酸醋作爲基片，如國i中所例示之 十四交替層無機材料及有機材料已敷著於其上，以產生一 濕氣屏障，1.3密耳厚，並且在二十四小時期間根據下述 程序所測量，濕氣蒸氣傳輸速率少於5微克水/平方吋表 面積。七無機層均爲500埃厚防水玻璃層，具有約350¾之 比較低熔化溫度，其每一層均藉噴溅予以敷著。七有機層 各爲一氣化，二仲苯二甲基衆合物，一微米厚，每層藉一 氣化’二仲苯二甲基聚合物汽相聚合至每層喷錢玻璃而敷 . -12 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 五、發明説明（n ) 著於玻璃層上。如圖1中所例示，敷著至基片之第-層爲 破璃’而最後或第十四層爲衆合物。因此，每一玻填層之 兩面均以一層有機材料覆蓋，其一爲一氣化，二仲苯二甲 基聚合物，其另一爲基片。 將一條〇.25叶宽及3密耳厚並且含70重量％噻吩垸之無 水衆偏二氣乙稀，連同一種無施受性有機電解質，諸如以 容積計’乙稀碳酸睹：丙烯破酸醋：衆偏二氟乙烯之溶劑 混合物爲2.4 : 2.4 : 5.2份中之很具有吸濕性之〇.5M三氟 甲统續酸趣置放至0.5密耳厚鋁箔，其上施加1吋寬及17 H*長麵形之本發明之濕氣屏障，藉2 5密耳厚密封劑密封 至H如_ 2中概括所示，藉以測量多層濕氣屏障之水 滲透。密封爲馬來酑改良聚丁烯彈性鱧。在密封手套箱中之無 水狀況下完成此组合件。然後使如此所形成之疊片保持在 60C及1刪相對濕度—遇時間，在此以後除去包含衆偏二 氟乙烯條之D塞吩垸，並藉Karl Fischer滴定法分析水份含 量。此爲斧以下之實例中所提及及使用之檢測方法及檢測 狀沉。本發明之濕氣屏障，在二十四小時期間，根據此檢 洌程序及狀況所測量，將具有低於15，較佳爲低於5，更 佳爲低於2微克水/平方吋表面積之濕氣蒸汽傳輸速率。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1-r--.-----^ 冰 II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在製作可用作供電池上檢測計之濕氣屏障之本發明之多 層薄膜複合物時，將諸層敷著在一撓性基片上，諸如呈帶 ，條或幅片形式，或其他適當基片材料之撓性衆合物薄膜 。基片無需爲撓性，惟在製作供用作濕氣屏障之本發明之 多層複合物時，以撓性基片爲較佳，以便在屏障之製造過 本紙張尺度通财關家轉（CNS) A4規格（2丨--—-- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（12 ) 程中及其施加至電池時，經得起弩曲。敷著至基片之第_ 層通常爲無機層，惟如希望，可施加有機材料作爲第一層 。意在作爲本發明之方法之例證性而非限制性實例，將第 一層無機材料敷著於基片上，並將第一層有機材料敷著於 第一層無機付料上面β然後將第二層無機材料敷著於第— 層有機材料上面。在此以後，將第二層有機材料敷著於第 二層無機材料上面。然後將第三層無機材料敷著於第二層 有機材料上面，及將第三層有機材料敷著於第三層無機材 料上面。重複此種交替層敷著，直到如圖1中所示，已獲 致所希望之層數，雖然圖1例示總數爲十四層或七層對， 但實際之層數將依應用及所使用之材料而定，並且就最廣 義而言，可使用本發明之複合物供作爲濕氣屏障以外之其 他應用，且層數可爲四層至超過一百層不等。 無機層爲一種固體無機化合物諸如氧化物，氮化物，碳 化物，磷化物或磷酸鹽等，及選自基本上爲金屬，梦，蝴 ’砷及其丨晃合物之至少一種元素之此等化合物之混合物。 在一種實施例，無機材料爲發。例如，無機化合物將爲氮 化物’磷化物，磷酸鹽，氡化物，碳化物，由氧化物，用 酸鹽，矽酸鹽，鎢酸鹽等及其混合物。無機層爲無城化合 物之混合物之實施例，其一種例證性但非限制性實例爲防 濕玻璃，包含一種藉PVD噴濺法所施加之錫-鉛-磷-氟氧化 物。可配合例證性但非限制性實例使用之其他防濕组成， 包括蝴-磷-矽酸鹽，矽酸鹽，磷酸鹽，坤酸鹽，釩酸鹽， 鈮酸鹽，钽酸鹽，鎢酸鹽，硼矽酸鹽，鋁矽酸鹽， 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS〉Α4規格（210x297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 本紙乐尺度適用中國國豕標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A7 ---—-----^__— 五、發明翻（13) " calchoginide玻璃諸如硫化物，硒化物，碲化物等。在另 —實施例，其爲一種氮化物諸如無定形氮化矽或任何適當 金屬氮化物，一種單氧化物諸如SiOx , A1 2 〇3 , Nb2 〇5 ’或一種化合物諸如Si X NY 〇z，或者一種或多種中間金 屬化合物等。爲供用於供根據本發明之電池上檢測計之濕 乳屏障’無機層在存在有済、氣時穩定，並且具有若干程度 之撓性，俾使多層複合物能撓曲，而不使無機層破裂，並 從而減低複合物作爲濕氣屏障之有效性。在濕氣屏障應用 ’無機化合物爲不可水溶，意爲其具有在251〇小於1 X 1〇-4 克/平方厘米/分鐘，較佳爲在25·〇小於IX 1〇~5克/平 方厘米/分鐘，更佳爲在25·〇小於lx ΙΟ 6克/平方厘米 /分鐘之水溶解速率。有機層爲一種固體，並且最通常爲 —種聚合材料。依複合物之用途及其在使用時所處之環境 而定，衆合材料爲無定形或結晶，彈性，交聯或不交聯等 。在若干適當有機材料之實例，作爲例證性但非限制性實 例，包括微晶蠟，縮合芳烴，聚烯烴，聚氣乙烯及其共衆 物，聚二甲苯含氟聚合物及共聚物，彈性體，聚亞胺，聚 醢胺，環氧樹脂，衆醏，衆醚，衆碳酸酯，由化衆合物等 。在本發明之實施上也可使用由代衆合物，包括氟袍碳衆 合物。丙烯系衆合物可用於實施本發明，特别是具有至少 六個碳原子之烴鏠之丙烯系聚合物，諸如由（諸）單體包括 已取三甲丙埽酯及/或丙己酯等之反應所形成之丙烯系化 合物。可用於實施本發明之非聚合固體有機材料，例如包 括硬脂酸甲S旨，硬脂酸及類似者。爲供用於濕氣屏障，有 -15 - ------- ^ϋ - -%- am n ft· 111 ml ^I t (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 r A7 Β7 五、發明説明（14) 機材料較佳爲在潮濕環境疏水，穩定，並且對濕氣或水蒸 汽具有可能低之滲透性。對於濕氣屏障應用，如藉見於 Annual Book of ASTM Standards, 1994年，15.09卷之 ASTM F 372-78所測量，有機材料層具有透濕性在100卞及 90%相對濕度小於20克-密耳/100平方吋-24小時，較佳爲 小於10克-密耳/1〇〇平方吋-24小時，更佳爲小於1克-密 耳/100平方叶-24小時。如精於此項技藝者將會察知，依 希望之複合物特性，有機層之性質及所使用之敷著法而定 ，有機層係藉澆流塗布，凝縮，單體或預聚合物之反應， PVD諸如喷濺，CVD，及以上所概括提及之任何其他方法予 以敷著。 請參照以下之實例，將會更瞭解本發明，在所有諸實例 中，濕氣屏障座爲可透光。 實例 實例1 在此實$中，衆乙烯環垸酸醏（Kalodex)之1密耳厚薄 膜爲基片，並在1.5毫托之氬氣中噴濺塗布防濕玻璃，以 在薄膜上形成500埃厚玻璃層。玻璃之熔點約爲350¾，並 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 —„---.-----^:农— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲在500·〇使具有比例爲32 : 37 ·· 8 : 23之组成SnO : SnF 2 :PbO : P2 〇5之批料熔化30分鐘所製備而成。在此以後 ，將固體一氣化二仲苯二甲基二聚物（Union Carbide之 Parylene C)加熱至約16(TC，使二聚物汽化，使蒸汽通過 熱管，以使二聚物在約6〇〇·〇分裂爲單體，並將如此所形 成之單體傳入壓力爲20托及溫度約爲30*0之眞空室内，單 -16 ~ 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS) M規格（21〇Χ297公酱） 經濟部中央橾準局員工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（15 ) 體在其内在玻璃塗布之基片上在原位置凝縮及衆合，以直 接在坡璃層上形成1微米厚衆合物層或塗層，而藉以將玻 璃層塗布1微米厚層之一氣化二仲苯二甲基衆合物。此聚 合物爲一種線性，未交聯，主要爲烴型之衆合物。重複此 交替層敷著過程再二次，以在基片上形成六交替層之玻璃 及聚合物（3層玻璃及3層聚合物），並且如以上在"詳 細説明"中提及之檢測方法所確定，如此所形成之薄膜多 層濕氣屏障具有水蒸汽傳輸速率在24小時期間爲52微克水 /平方吋表面積。 實例2 重複實例1，但有總數爲十交替層（5層破璃及5層衆 合物）之玻璃及聚合物敷著在基片上，以形成如以上在 '詳細説明·•中提及之檢測方法所確定，具有水蒸汽傳輸速 率在24小時期間爲24微克水/平方吋表面積之濕氣屏障。 實例3 再次重声實例1，但有十四交替層之玻璃及衆合物（7 層玻璃及7層聚合物），以形成如圈1中所例示如以上 在”詳知説明"中提及之檢測方法所確定，具有水蒸汽傳輪 速率在24小時期間爲4.7微克水/平方吋表面積之濕氣屏 障。 實例4 在此實例，聚乙烯環燒酸醋（Kalodex)之1密耳厚薄膜 爲基片，並在1·5毫托之氬氣中予以RF磁控管嘴'歲塗布_ 氧化矽，以形成一約500埃厚之SiOx層或塗層。Si〇 塗 -17 - 本紙张尺度逋用中國國家榡準（CNS > A4规格（210x297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装· A7 B7 五、發明説明（16) 布之基片然後在含三乙烯甲基矽烷粘附作用促進劑及

Cyracure 6974 (三芳基琉鹽）UV引發劑之MIBK中浸塗至 乙烯醚單體（Aliie(j-signai之Vectomer)溶液。使濕塗布 之複合物暴露至UV輻射數秒鐘，並固化爲3微米厚之乾 燥衆乙婦謎塗層。重複此交替層敷著程序再六次 ，以如圈 1中所例示，在基片上形成14交替層（7層以(^及7層 聚合物）’產生2密耳厚透明濕氣屏障，其使用實例1中 之檢測程序予以檢測，並且如以上在"詳細説明"中提及之 檢測方法所確定，具有水蒸汽傳輸速率在24小期間爲21微 克水/平方吋表面積。 實例5 在此實例中，聚乙烯環垸酸醏（Kal〇dex)之1密耳薄膜 爲基片’並在1.5毫托之氬氣中予以RF磁控管喷濺塗布實 例1之玻璃，以在薄膜上形成5〇〇埃厚之玻璃層。在此以 後，如以上在實例4中所迷，以i微米厚層之聚乙烯醚 (Allied-Signal之Vectomer 40105F)喷濺塗布玻璃層。重 複此交替層敷著過程再六次，以如圖i中所例示在基片 上形成具有十四交替層之玻璃及衆乙烯醚（7層玻璃及7 層聚乙烯醚），並且濕氣屏障如以上在"詳細説明"+提及 之檢測方法所確定，具有水蒸汽傳輸速率在24小時期間爲 28微克水/平方叶表面積。 實例6 在此實例中，聚乙烯環垸酸酯（Kaiodeyi】密耳薄膜 爲基片，並在1.5毫托之氬氣中予以rf磁控管喷濺塗布實 本紙張尺度適财目@家標準（CNS )，\4祕（21GX297公釐7 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本1)

經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 30S531 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（17 ) 例1之玻璃，以在薄膜上形成500埃厚之玻璃層。在此以 後，以1微米厚層之衆氣三氟乙烯（Allied-Signa丨之 Aclar) RF磁控管喷濺塗布玻璃層。重複此交替層敷著過 程再六次’以如在圖1中所示，在基片上形成具有十四交 替層之玻璃及聚乙烯醚（7層玻璃及7層聚乙烯醚），並 且濕氣屏障如以上在"詳細説明"中提及之檢測方法所確定 ，具有水蒸汽傳輸速率在24小時期間爲28微克水/平方对 表面積。 實例7 在此實例中，聚乙烯環垸酸酯（Kalodex)之1密耳薄膜 爲基片，並在1.5毫把之氬氣中予以rf磁控管喷濺塗布氮 化矽，以形成約500埃厚之無定形氮化矽層或塗層。然後 將ΠΤΕ RF磁控管喷濺至氮化矽層，以形成一微米厚之 PTFE層。重複此過程一次，以在基片上形成一包含四交替 層之無定形氮化矽及PTEF ( 2層氮化矽及2層PTEF)之薄 膜多層濕，屏障，其如以上在"詳細説明1中提及之檢測方 法所確定，具有水蒸汽傳輪速率在24小時期間爲28微克水 /平方吋表面積。 實例8 在此實例中，衆乙烯環烷酸酯（Kal〇dex)之1密耳薄膜 爲基片，並在1.5毫托之氬氣中在一面予以RF磁控管喷濺 塗布500埃厚塗層之無定形氮化矽。在此以後，將固體一 氣化一仲笨二甲基二衆物（Union Carbide之Parylene C) 加熱至溫度約A160-c，以使二衆物汽化，使蒸汽通過熱 -19 - 本紙張尺度適用巾)祕見格（公着 ---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（18 ) 管’以使二聚物在約600eC分裂爲單體，並將如此所形成 之單體傳入壓力爲20托及溫度約爲30eC之眞空室内，單鱧 在其内在玻璃塗布之基片上在原位置凝缩及聚合，以直接 在玻璃層上形成1微米厚衆合物層或塗層，而藉以將氮化 石夕層塗布1微米厚層之一氣化二仲苯二甲基聚合。此聚合 物爲一種線性，未交聯，主要爲烴型之衆合物。重複此交 替層敷著過程再三次，以在基片上形成八交替層之氮化矽 及聚合物（4層氮化矽及4層衆合物 >，並且如以上在 '詳細説明”中提及之檢測方法所確定，如此所形成之薄膜 多層濕氣屏障具有水蒸汽傳輸速率在24小時期間爲52微克 水/平方吋表面積。

比較實例A 在此實例中，聚·乙歸環燒酸醋（Kalodex)之1密耳厚薄 膜爲基片’並在1.5毫托之氬氣中予以rf磁控管嗔塗布二 氧化碳，以形成約500埃厚之SiOx層或塗層。然後將1微 米厚之一,PTFE RF磁控管喷濺至SiOx。重複此交替層敷 著過程再四次，以在基片上形成一包含十交替層Si〇x及 PTFE(5層SiOx及5層PTFE)之複合物濕氣屏障，並且如 以上在"詳細説明"中提及之檢測方法所確定，濕氣j障具 有水蒸汽傳輸速率在24小時期間爲570微克水/平方叶表' 面積。.

比較實例R 在此實例中，聚乙烯環垸酸醏（kalodex)之1密耳厚薄 膜爲基片’並在1.5毫托之氬氣中予以RF磁控管嘴錢塗布 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現格（210X297公釐 |_r——：-----^ 衣------ΐτ·------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 <所有特色及實施 五、發明説明（19) -氧化碎’以形成約5⑽埃厚之训\層或塗看。然後藉甲 烧之等離子加強CVD將一層】微米厚之交聯衆乙婦喷滅至 Si〇x 1複此交替層敷著過程再四次以在基片上形成 -包括t ( 5層Si〇x及5層衆己婦）交替層di〇x及衆 乙婦之·'膜多層濕氣屏障，其如以上在„詳細説明中提及 之Πί所確定具有水蒸汽傳輸速率在24小時爲340 微克水/平方吋表面積。 請予瞭解’精^此項技藝者將會明白及可容易作成本發 明實施上=各種其他實施例及修改，而不偏離以上所揭示 本發明之範圍及精神。因之，後附申請專利範園之範团不 所闞迷之説明’而是申請專利範固闡釋爲包 3:在：本發明之可專利靳穎部份之所有特色，包括精於 本發明有關技藝者所將處理作爲同等者$ 例 I- I— n It - - I n n 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .17 經濟部中夬標率局員工消費合作社印製 21 - 本紙張尺度適用中國國家榡率（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 8 88 8 ABCD ^03531 六、申請專利範圍 & 池有一濕氣敏感電池狀況檢測計及一可透 姑、其中該濕氣屏障包含—在衆合物基片上之 ^ ，複合物包含數交替層之一種選自至少一無機 合物類組之不可水溶無機材料及二種 層之厚I範甜付料，其中諸無機化合物層及有機化合物 範固分别約在1〇〇至1〇〇〇〇及約在ι〇〇埃 至5微米之間。 2:種可透光多層複合物，包含數交替層之―種選自至少 無機化。物’ 其混合物類组之不可水溶無機材料 及種不可水溶有機材料，其中諸無機化合物層及有機 化。物層之厚度乾圍分别約在⑽至lQ，_埃之間及約 在100埃至5微米之間。 3. -種非巧，可透光多層薄膜複合物之製法該複合物 包含數又替層之一種選自至少—無機化合物，石夕及其混 合物類组之不可水溶無機材料及一種不可水溶有機材料 ，其中_無機化合物層及有機化合物層之厚度範圍分别 約在100至10,〇〇〇埃之間及约在100埃至5微米之間該 製法包含將第一層上述無機材料敷著在一基片上，然後 將第一層固雜有機材料敷著在第一無機材料層上，’繼之 將第二層上述固體無機材料敷著至上述第一層有機材料 ，然後將第二層上述有機材料敷著於上述第二層無機材 料。 4. 根據申請專利範園第3項之方法，其中重複上述交替層 敷著，直到獲致希望之層數。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本貰)

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