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SGG551 A7 •—…丨,ι — B7 五、發明説明（） 1 .發明領域 本發明偽關於一種有害氣體之淨化方法。更特定言之 ,偽關於一種氛，胺或使用於半導體工業之類似物的驗 性有害氣體之淨化方法。 2 .相關技藝之說明 由於半導體工業，光電子學工業及精細機器及儀器工 業之不斷的發展，近年來使用於此等工業中的鹼性氣醱 如氨，胺或類似物之童穩定的增加。上述鹼性氣體各在 半導體，及保護膜，超硬機器及儀器，裝飾品或利用化 學蒸氣沈積之類似物之製備是不可缺乏的，但是高毒性 及當其釋放於大氣時，釋放出刺激奥味，因此産生對人 體健康及環境産生不利的影繼。 關於各該氣體對人體及在大氣中之最大容許濃度，據 報導如氨為25ΡΡΠ)及三甲胺為10PPU。因此使用於前述半 導體製程之氣體，在排出於大氣中之前，必須先除去該 氣體中之有害成分。 前述的鹼性氣龌在市面上通常偽將該氣醴裝填至0.1 至50升鋼瓶中之狀態可獲得。 在從鋼瓶中漏出氣體的情況，為了防止大氣之空氣被 所漏出之氣體廣泛污染，此鋼瓶使用狀態為如下：將其連 接至半導體製程的氣體供應管之同時，將其藏置於連接至 通風導管之鋼瓶便利容器中，亦稱鋼瓶箱。然而，即使鋼瓶 藏置於鋼瓶箱中，並無法完全防止氣體僅於5至10分鐘内由 此突然漏氣的危險意外事件。於此情況下，急切地需要可 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） , 衣 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明（- ) 1 I 完 全 柢 制 該 種 意 外 事 件 之 對 策 致 使 有 害 氣 體 變 為 Μ Μ、、 害 1 I 氣 體 〇 1 1 作 為 用 於 淨 化 被 排 至 大 氣 中 的 鹼 性 氣 體 的 方 法 有 二 y—V 1 I 請 1 | 種 可 利 用 的 方 法 » . 為 濕 式 方 法 > 其 係 藉 由 使 用 洗 滌 器 先 閱 1 I t 將 鹸 性 成 分 吸 收 於 —- 主 要 由 酸 性 成 分 之 水 溶 液 所 組 成 讀 背 1 面 I 之 吸 收 溶 液 中 Μ 及 另 一 為 乾 式 方 法 其 係 使 用 活 性 碳 之 注 1 1 意 1 I » 無 娜 m 化 合 物 類 型 等 之 多 孔 吸 附 劑 〇 事 項 1 I m 而 上 述 濕 式 方 法 所 遭 受 之 缺 點 為 當 為 此 所 使 用 再 填 1 1 寫 % 之 設 備 為 大 型 化 時 則 發 現 於 後 處 理 中 有 困 難 性 其 需 本 頁 1 要 一 相 當 貴 的 設 備 維 修 費 更 且 吸 收 效 率 亦 不 —- 定 很 高 1 I » 因 此 巨 前 不 可 能 立 即 且 完 全 地 處 理 高 濃 度 有 害 氣 體 〇 1 1 另 外 其 並 非 僅 使 用 氨 系 氣 體 而 且 亦 可 同 時 使 用 其 他 1 1 有 害 氣 體 例 如 Μ 半 導 體 X 業 中 之 石夕 為 典 型 例 之 矽 化 訂 I 合 物 系 氣 體 因 此 濕 式 方 法 由 於 粉 狀 氧 化 物 的 產 生 而 1 1 發 生 淤 泥 形 成 之 問 題 〇 1 1 使 用 活 性 碳 之 上 述 吸 收 處 理 為 例 的 乾 式 方 法 具 有 下 1 I 列 缺 點 其 有 害 成 分 之 除 去 能 力 低 且 當 與 易 燃 燒 氣 體 錄 如 δ夕 共 存 時 對 造 成 火 <« y< 的 危 險 性 另 需 要 有 對 策 〇 1 I 在 此 情 況 下 » 長 久 以 來 希 望 淨 化 有 害 氣 體 特 別 是 半 導 1 I 體 工 業 所 排 出 之 氣 體 之 具 體 方 法 該 方 法 對 有 害 氣 體 之 1 1 處 理 速 率 及 處理容量 皆 能 增 加 不 僅 對 異 常 情 況 下 由 氣 1 I 體 鋼 瓶 漏 出 大 量 有 害 氣 體 之 緊 急 狀 況 有 良 好 之 除 去 效 率 1 I > 而 且 對 正 常 情 況 下 半 導 體 製 程 中 所 使 用 後 之 高 濃 度 排 1 1 放 的 有 害 氣 體 亦 同 樣 具 有 良 好 的 除 去 效 率 更 且 於 淨 化 1 1 I -4 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 SQG551 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ) \ 1 1 氣 體 之 情 況 下 9 亦 不 會 產 生 火 «< 火 之 危 險 性 或 不 會 因 淤 1 I 泥 形 成 而 阻 塞 淨 化 塔 〇 1 I 發m 1 I 請 I j 於 此 情 況 下 本 案 發 明 人 經 銳 意 研 究 及 調 査 Μ 發 展 —^- 先 閲 1 I 種 有 效 淨 化 如 氨 9 胺 等 有 害 Aft B8 性 氣 體 之 方 法 > 該 有 害 鹼 讀 背 1 面 I 性 氣 體 為 在 半 導 體 製 造 程 序 使 用 之 後 所 排 出 > 且 包 含 於 之 注 1 | 意 I 空 氣 氮 氣 、 氫 氣 中 之 氣 體 或 由 氣 體 鋼 瓶 中 漏 出 且 包 含 事 項 1 I 於 空 氣 或 類 U 物 的 氣 體 〇 结 果 發 琨 使 用 由 支 if 於 無 機 載 再 填 1 1 體 上 之 二 價 飼 鹽 所 構 成 的 淨 化 劑 可 在 非 常 高 的 效 率 及 寫 本 頁 f 1 安 全 性 下 除 去 上 述 有 害 鹼 性 氣 體 成 分 〇 本 發 明 乃 基 於 前 1 I 述 發 現 而 完 成 之 C 1 1 特 別 是 本 發 明 提 供 一 種 有 害 氣 體 之 淨 化 方 法 其 包 1 1 括 將 含 鹼 性 氣 體 作 為 有 害 成 分 之 氣 體 與 由 支 撐 於 無 慨 載 訂 I 體 上 之 二 價 飼 鹽 所 構 成 的 淨 化 劑 予 Μ 接 觸 Μ 由 該 氣 體 1 1 中 除 去 有 害 成 分 0 1 1 &il略H 1 1 Γ^Ι 關 1 為 一 簡 化 流 程 Π5Π m 顯 示 淨 化 方 法 之 一 實 施 例 > 其 1 镍 中 由 半 導 體 製 備 裝 置 2 中 排 出 之 有 害 鹼 性 氣 體 是 經 由 導 1 I 管 6 通 過 填 充 有 特 殊 淨 化 劑 之 淨 化 塔 1 » 淨 化 該 氣 體。 1 | 圖 2 為 一 簡 化 流 程 圖 • 顯 示 淨 化 方 法 之 另 . 實 施 例 « 1 1 其 中 用 有 害 驗 性 氣 體 填 充 之 氣 體 m 瓶 3 m 置 於 鋼 瓶 箱 4 1 | 中 ♦ 且 將 由 鋼 瓶 中 漏 出 之 含 有 害 氣 體 的 空 氣 » 利 用 鼓 風 1 1 m 5 » 經 由 連 接 至 鋼 瓶 箱 4 之 導 管 6 Μ 及 亦 通 過 填 充 有 1 1 特 殊 淨 化 劑 之 淨 化 {SA 営 柱 1 予 Μ 吸 引 排 出 9 而 藉 於 淨 化 塔 1 1 I -5 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 83.3.10,000 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ) 1 I 1 中 除 去 有 害 成 分 以 淨 化 該 氣 體 〇 1 I 較 1JL1 實 1 i—之 —Ml - 1 1 使 用 於 本 發 明 之 淨 化 劑 1 其 包 括 支 if 於 包 含 至 少 —· 種 /·—S 1 I 請 1 1 如 二 氣 化 矽 ♦ 氧 化 鋁 ♦ 氧 化 鈦 » 氧 化 結 » 氧 化 銅 或 二 氧 龙 閲 1 I 化 錳 之 無 機 氧 化 物 的 無 m 載 體 上 之 二 價 銅 鹽 〇 讀 背 1 面 I 使 用 於 本 發 明 之 二 價 銅 鹽 包 括 無 機 酸 及 有 酸 之 --- 價 之 注 1 I 意 1 I 銅 鹽 0 無 m 酸 之 二 價 銅 鹽 的 實 例 包 括 碳 酸 » 矽 酸 硝 事 項 1 I m 硫 酸 m 酸 砷 酸 硼 酸 氯 酸 過 氯 酸 亞 氯 酸 再 填 & I 1 裝 1 及 次 氯 酸 為 例 之 含 氧 酸 的 二 價 飼 鹽 及 Μ 氯 化 飼 溴 化 本 頁 銅 及 Kith m 化 飼 為 例 之 鹵 化 物 〇 有 機 酸 之 價 飼 鹽 的 實 例 包 ____- 1 I 括 以 甲 酿 乙 酸 丙 酸 油 酸 及 硬 脂 酸 為 例 之 脂 肪 族 單 1 1 羧 酸 草 酸 己 二 酸 癸 二 酸 為 例 之 脂 肪 族 二 羧 酸 > 1 1 Μ 乳 酸 及 酒 石 酸 為 例 之 含 氧 酸 Μ苯 甲 酸 及 甲 苯 甲 酸 為 訂 I 例 之 芳 香 族 按 酸 及 如 酸 之 其 他 酸 的 一 價 m 鹽 〇 其 中 1 1 基 於 水 溶 性 及 易 於 處 理 之 觀 點 較 佳 為 硝 酸 飼 硫 酸 銅 1 1 氯 化 铜 溴 化 銅 及 醋 酸 銅 〇 1 I 上 述 列 擧 之 二 價 銅 II 包 括 無 水 鹽 及 由 單 水 合 物 至 多 水 1 線 合 物 之 含 水 m 〇 其 中 當 與 Μ /\\\ 水 物 比 較 時 9 基 於 處 理 性 空 1 I 氣 中 之 m 定 性 及 相 似 淨 化 效 能 上 之 観 點 而 言 較 佳 為 水 1 | 合 物 〇 1 1 使 用 於 本 發 明 之 無 機 載 體 的 較 佳 蓠 施 例 包 括 至 少 一 種 1 I 選 自 二 氧 化 矽 氧 化 鋁 ♦ 氧 化 鈦 » 氧 化 锆 * 氧 化 铜 或 二 1 1 氧 化 錳 所 組 成 之 無 撕 m 氧 化 物 9 其 中 特 佳 為 二 氧 化 矽 膠 9 1 1 二 氧 化 矽 — 氧 化 鋁 f 氧 化 鋁 t 氧 化 銅 或 二 氧 化 錳 之 混 合 1 1 I -6 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (s ) 1 1 物 及 類 物 r. 1 I II 於 使 用 於 本 發 明 之 無 機 載 體 的 比 表 面 積 t Μ 具 較 低 1 1 比 表 面 積 為 佳 9 因 為 其 不 會 吸 附 如 矽 院 之 其 他 有 害 成 分 —S 1 I 請 1 | 因 此 對 如 氨 及 胺 之 鹼 性 氣 體 的 除 去 能 力 沒 有 不 良 之 影 先 閱 1 I 響 〇 其 中 特 佳 載 體 為 α 一 氧 化 鋁 其 係 般 市 售 品 且 讀 背 1 面 I 具 0 . 1 至 1 5 重 最 % 之 二 氧 化 矽 含 量 及 約 1 至 100米 / 克 之 注 1 I 意 1 I 之 比 表 面 積 較 佳 為 較 低 值 即 1 米 2 /克或更少， 更 事 項 1 I 佳 為 0 . 00 1至0 • 5米 2 /克 再 填 1 使 用 於 本 發 明 之 二 元 rS Μ /HVV 機 載 體 較 佳 為 一 種 包 括 氧 化 寫 本 頁 穿 1 銅 及 —-· 氧 化 錳 之 組 成 物 除 上 述 二 個 主 要 成 分 外 y 其 1 I 可 進 一 步 包 含 例 如 至 少 一 個 選 白 氧 化凝 (I ) » 氧 化 銀 1 1 (I ) > 氧 化 銀 ( 1 ) 氧 化 鋁 (I ) » 二 氧 化 矽 (IV ) 為 例 的 1 1 金 屬 氣 化 物 〇 於 包 含 該 二 成 分 作 為 主 要 成 分 之 組 成 物 中 訂 | » 氧 化 飼 及 二 氧 化 錳 含 量 的 總 和 量 一 般 為 60 重 量 或 更 1 1 多 ♦ 較 佳 為 70 重 量 % 或 更 多 0 氧 化 飼 對 氧 化 錳 之 重 量 1 1 比 率 (C υΟ/Μ n0 2 )通常為約1 ：0 .8 至 5 9 較佳 爲 1: 1. 2 1 I 至 3 〇 1 絲 以 包 括 上 述 氧 化 铜 及 二 氧 化 錳 作 為 主 要 成 分 之 金 屬 氧 1 I 化 物 糸 組 成 物 可 藉 公 開 已 知 方 法 如 將 每 —* 成 分 混 合 而 製 1 I 備 • 但 於 市 場 上 以 Ho p k a 1 it e 商 名 販 賣 » 其 主 要 為 包 括 1 1 40 重 量 % 氣 化 銅 及 60 重 量 % —* 氧 化 錳 之 二 元 組 成 物 〇 除 1 上 述 二 成 分 外 其 有 時 進 _- 步 包 含 約 30 重 量 X 之 鉀 、 鎂 1 I Λ 鋁 、 矽 或 類 U 物 之 氧 化 物 〇 無 論 如 何 > Ho p k a 1 it e 可 1 1 輩 獨 或 與 至 少 種 如 前 文 所 述 之 金 臑 氧 化 物 的 混 合 物 1 1 I -7 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 A7 B7 五、發明説明（t ) 型式使用。 使用於本發明之該無機載體較佳為經磨细產物、擠壓 横製品、經成錠模製品或類似物之型式。其之較佳大小 ,對於經磨细產物為約4至2 0網目；若為擠壓模製品其 直徑為約1 . 5至4毫米、高度為3至2 0毫米；及若為成 錠模製品，其一般為圓柱體，其直徑為約3至6毫米、 高度為3至6毫米。 支撐於無機載體上之二價銅鹽的量，沒有特別限制， 但根據所被處理之鹼性氣體的種類、澹度等而適當地選 擇。前述之α -氧化鋁作為無機載體之情況，二價銅鹽 的最對於100份重最之α -氣化鋁而言，為3至100,較佳 為】0至8 0份重量。若其用最少於3份重量時，則致使淨 化效率降低，而若多於1 0 0份重量時，則無法充分支撐 於《-氣化鋁上，且其本身昂貴。 於上述Η ο ρ k a 1 i t e (氧化銅及二氧化錳）作為無機載體 之情況，二價銅鹽的量基於1 0 0份重量之Η 〇 p k a 1 i t e為 3至10 0 ,較佳為5至5 0份重量。若其用量少於3份重 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 最時，則致使淨化效率降低，而若高於1 0 0份重量時， 則無法充分支撐於作為金屬氧化物之Η 〇 p k a 1 it e上，且 其本身昂貴。 在本發明中，為了提高有害氣體的除去效率，較佳為 在淨化劑中，二價銅_之结晶水K外亦保存少量之游離 水份。游離水份的保存量基於淨化劑總量而言，較佳為 1至50重量％ ,更佳為5至30重量％ 。 83. 3.10,000 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (， 1 I 製 備 使 用 於 本 發 明 之 淨 化 劑 的 方 法 » 沒 有 特 別 的 限 制 1 I > 但 Μ 包 括 溶 解 二 價 m 鹽 於 溫 水 中 * 將 如 a -氧化鋁之 1 I 載 體 浸 清 於 所 產 生 之 溶 液 * 且 將 經 浸 濱 之 載 體 予 Μ 乾 燥 ✓-V 1 I 請 1 | 於 約 3 0 至 loot , Μ達到規定之水含量等步驟的方法為 先 聞 1 | 實 施 例 〇 讀 背 1 面 I 依 上 述 方 法 所 製 備 之 淨 化 劑 ♦ 特 別 是 支 撐 於 由 氧 化 銅 之 注 1 I 意 1 I 及 二 氧 化 錳 所 構 成 之 載 體 上 者 » 其 優 點 為 不 僅 可 分 解 驗 事 項 1 1 性 氣 體 和 使 用 於 半 導 體 製 程 及 混 合 於 排 出 氣 體 中 之 單 δ夕 再 填 1 1 寫 裝 1 垸 a 使 得 其 為 Μ 害 的 〇 本 頁 適 用 於 本 發 明 的 有 害 氣 體 之 濃 度 並 沒 有 特 別 限 制 〇 其 1 I 通 常 為 1 體 積 % 或 更 低 較 佳 為 1000 P P H1 或 更 低 〇 淨 化 1 1 劑 和 有 害 氣 體 間 的 m 觸 溫 度 較 佳 為 約 0 至 90 X: i 但 通 常 1 1 為 室 溫 (1 0 至 5 0 C ) ♦ 因 此 不 需 要 加 熱 及 冷 卻 此 外 1 依 訂 | 據 有 害 氣 體 之 濃 度 ， 在 接 觸 開 始 之 後 可 觀 察 到 有 時 因 反 1 1 熱 而 會 使 溫 度 升 高 於 此 m 觸 時 之 壓 力 通 常 為 大 氣 壓 1 1 下 » 但 淨 化 操 作 可 實 施 於 減 壓 下 或 如 1 公 斤 /公分2 G 壓 1 I 力 下 〇 線 本 發 明 標 的 鹼 性 氣 體 較 佳 為 直 接 被 導 人 至 除 去 步 驟 1 I 或 用 如 空 氣 > 氮 或 氫 之 氣 apt 體 稀 釋 後 引 入 〇 該 鹼 性 氣 體 本 1 | 身 或 用 如 空 氣 或 類 似 物 稀 釋 者 通 常 於 乾 燥 狀 態 » 但 亦 可 1 1 於 不 致 發 生 水 份 凝 結 之 濕 狀 態 〇 被 處 理 氣 體 的 濕 度 相 對 1 | 於 大 氣 m 下 之 相 對 顧 度 而 y 通 常 為 3 0 至 100% 相 對 濕 度 1 1 〇 於 此 狀 況 下 1 於 淨 化 劑 中 的 游 離 水 份 含 量 較 佳 為 約 5 1 1 至 3 0 重 最 % 〇 1 1 I -9 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 83. 3. 10,000 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (s ) 1 1 根 據 本 發 明 之 淨 化 方 法 * 不 會 受 空 氣 或 類 物 中 之 二 1 | 氧 化 碳 之 不 利 影 m « a 視 情 形 y 二 氧 化 碳 之 存 在 會 增 強 1 I 淨 化 能 力 〇 V 1 I 請 1 i 根 據 本 發 明 之 淨 化 方 法 t 對 於 被 處 理 氣 體 中 之 有 害 成 閱 1 | 分 之 濃 度 及 氣 體 之 流 速 間 的 闞 係 沒 有 特 別 限 制 t 但 _. 般 讀 背 1 - & I 而 言 > 速 係 随 著 濃 度 之 增 加 而 降 低 〇 藉 與 淨 化 劑 接 觸 之 注 1 I 意 I 而 易 於 被 除 去 的 有 害 氣 體 的 濃 度 通 常 為 1 體 積 % 或 更 少 事 項 1 | ♦ 但 於 減 少 Aft m. 性 氣 體 流 速 之 狀 況 下 可 增 加 其 濃 度 〇 填 1 淨 化 劑 通 常 填 置 於 淨 化 塔 中 » 及 被 處 理 之 氣 體 經 該 塔 寫 本 頁 % 1 由 其 一 側 流 至 另 一 側 〇 淨 化 塔 根 據 有 害 氣 體 之 濃 度 > 被 '—' 1 I 處 理 氣 體 的 最 等 而 設 計 〇 對 於 如 低 於 0 . 1 體 積 % 之 相 當 1 1 低 m 度 之 有 害 氣 體 而 芑 * 空 間 線 性 速 度 (LV ) 較 佳 為 設 計 1 1 於 〇. 5 至 50公 分 /秒； 對於0 .1 至1 體積％ 濃度之有害 訂 I 氣 m 而 言 1 設 計 於 〇. 05 至 20 公 分 /秒， Μ及對於1 體積％ 1 1 或 更 高 之 高 濃 度 有 害 氣 體 而 言 » 設 計 於 1 0公 分 /秒或更 1 1 少 ο 因 此 一 般 設 計 基 準 指 定 如 下 ： 於 從 半 導 體 製 程 中 穩 1 I 定 排 出 之 經 濃 縮 之 有 害 氣 體 的 情 況 r y L V 值 為 10 公 分 / 線 秒 或 更 少 » Μ 及 於 有 害 氣 體 突 /\\\ 由 氣 體 鋼 瓶 中 漏 出 且 用 1 1 大 量 空 氣 或 類 似 物 稀 釋 之 狀 況 下 9 LV值 為 0 . 5 至 50公 分 1 I /秒C 淨化劑通常填置於淨化塔中， 其通常為固-定床型 1 1 式 » 且 可 為 流 動 床 或 流 體 床 型 式 〇 用 於 固 定 床 的 淨 化 劑 1 | 之 體 積 密 度 較 佳 為 約 1 . 0至1 .5克 /毫升1 1 I 淨 化 劑 於 淨 化 塔 中 之 填 充 高 度 視 被 處 理 氣 體 之 流 速 、 1 1 有 害 氣 體 之 濃 度 等 而 改 變 ， 但 從 實 用 上 観 點 而 言 通 常 1 1 I -1 0 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 83. 3.10,000 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 9 ) 1 1 設 定 於 5C 5 0 0 π 1 m 。該塔内徑設計f δ Μ < 吏氣體i g過該塔 1 I 達 到 0 · 5至5 0公分/ 秒 之 L V值 〇 前 述 之 高 度 及 内 徑 係 考 慮 1 I 通 過 填 充 床 之 壓 力 損 失 » 填 充 氣 體 之 接 AS 效 率 » 有 害 氣 /—s 1 I 請 1 I 體 之 濃 度 及 類 Μ 因 素 而 特 別 決 定 0 先 閱 1 I 下 文 中 ， 藉 參 考 画 示 說 明 根 據 本 發 明 淨 化 方 法 之 流 程 讀 背 1 面 I 圖 〇 之 注 1 1 意 I 圖 1 為 顯 示 —* 個 淨 化 方 法 之 簡 化 流 程 圖 » 其 中 由 半 導 事 項 1 I 體 製 備 裝 置 2 中 排 出 之 有 害 氣 體 是 經 由 導 管 6 導 入 淨 化 再 填 1 1 塔 1 中 y a 經 淨 化 之 氣 體 被 排 出 至 外 部 〇 寫 本 頁 % 1 _ 2 為 顯 示 ___. 淨 化 方 法 之 簡 化 流 裎 圖 ， 其 中 淨 化 塔 1 、^· 1 I 介 於 連 接 牵 m 置 有 害 氣 體 鋼 瓶 3 的 綱 瓶 箱 4 之 導 管 6 和 1 1 用 Μ 連 壤 吸 引 一 換 氣 於 鋼 瓶 箱 4 中 的 空 氣 之 鼓 風 m 5之 1 1 間 〇 於 此 狀 況 下 t 將 由 氣 體 鋼 瓶 漏 出 的 氣 體 及 空 氣 * 藉 訂 1 鼓 風 搬 m 5 之 吸 引 功 能 使 得 鋼 瓶 箱 4 及 導 管 6 内 呈 負 壓 » 1 1 並 姅 由 等 管 6 被 導 入 至 淨 化 塔 1 中 再 通 過 淨 化 塔 1 1 1 淨 化 有 害 氣 體 * 且 塔 之 另 一„. 端 排 出 該 m iiV-l- 淨 化 之 氣 體 〇 1 I 在 有 害 氣 體 之 濃 度 為 高 於 1 體 積 X 之 高 濃 度 狀 況 下 » 1 镍 由 於 產 生 相 當 大 的 熱 量 * 淨 化 劑 有 時 需 要 除 熱 裝 置 〇 不 1 I 過 9 根 據 如 圖 2 所 示 之 裝 置 » 即 使 突 m 發 生 有 害 氣 體 之 1 I 漏 出 9 此 氣 體 被 用 稀 釋 氣 體 如 空 氣 或 氮 氣 稀 釋 至 1 體 積 1 1 % 或 更 少 之 濃 度 〇 因 此 » 設 置 鼓 風 爾 為 較 佳 * Μ 使 其 具 1 | 足 夠 容 量 Μ 應 付 該 大 量 體 積 之 稀 釋 氣 體 〇 1 I 根 據 本 發 明 之 淨 化 有 害 氣 體 之 方 法 > 其 可 有 效 地 除 去 1 1 鹼 性 氣 體 如 包 含 於 由 半 導 體 製 造 程 序 所 排 出 氣 體 中 之 氨 1 1 I -1 1 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 30S551 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（， 0 ) 1 1 、 αα 军 甲 胺 、 二 甲 胺 三 甲 胺 胼 及 —1 甲 肼 ，以 及包 含於 1 1 如 空 氣 氮 或 氣 之 稀 釋 氣 體 (其用以稀釋由氣體鋼瓶中 1 | 突 然 漏 出 之 有 害 氣 體 )的有害氣體 且1 $具良好工作效 »<—> 請 1 | 率 Ο 特 別 是 » 此 方 法 傜 不 論 濃 度 之 高 低 9 在常 溫下 可速 it 閲 1 I 讀 1 | 迅 且 有 效 地 除 去 大 量 的 有 害 氣 體 > 而 且 甚 至於 在與 其他 背 Λ 1 1 之 1 可 燃 氣 體 如 矽 院 共 存 下 9 亦 可 預 防 發 生 火 災之 危險 性， 意 1 I 且 對 淨 化 能 力 並 無 任 何 不 利 的 影 響 〇 事 項 1 I 再 1 I 實 施 例 1 至 4 填 1 裝 寫 本 將 25至 2 5 0 克 之 硫 酸 銅 五 水 合 物 溶 解 於 4 0 0至800毫升 頁 1 1 的 溫 水 中 以 製 得 4 種 硫 酸 鋦 水 溶 液 » 每 桶 各具 不同 之濃 1 1 度 〇 於 所 得 各 溶 液 中 » 在 攪 拌 之 下 添 加 5 0 〇克 之球 形α - 1 I 氣 化 鋁 9 其具86重 暑 % 的 a -氣化鋁、 1 2重量％ 之二氣 1 1 訂 1 化 矽 之 組 成 比 率 、 tb 表 面 積 0 . 0 0 5 至 0 • 0 4 0 米 2 /克、 體 積 密 度 為 1 . 1克/毫 升 及 直 徑 3 \ 1 6时 接 著 乾燥 於 lotrc 1 1 以 製 備 4 種 類 別 之 各 具 如 表 1 所 示 之 不 同 硫酸 銅含 量及 1 1 不 同 游 離 水 份 的 淨 化 劑 〇 1 I 經 由 使 用 如 此 所 製 得 之 各 淨 化 劑 9 對 有 害氣 體利 用下 線 | 列 方 法 實 施 淨 化 測 試 » 該 方 法 傜 使 包 含 一 (1 ) 體積 %之 1 1 氨 的 乾 燥 氮 氣 於 2 5 °C大氣壓下 以 17 0 毫 升之 流速 /分 1 I 鐘 之 流 速 (相當斤 ^ 1 .0公 分 /秒之空間線性速度（ L V)) 〇流 1 1 I 經 由 内 徑 1 9 n m ^ 長 5 0 0 m in之石英玻璃两 〒製成之淨化塔， 1 1 其 中 填 置 8 5毫升 之 上 述 所 製 得 之 任 何 淨 化 劑之 方法 〇 1 I 然 後 9 經 處 理 之 氣 體 於 淨 化 塔 出 口 取 樣 ，且 藉氣 體- 1 1 偵 m 管 (由G as t e ch股份有 限 公 司 製 造 J 具 2 p p R! 可偵 測範 1 I 圍 之 下 限 )以及秦 ΐ體偵測器（由 B i ο n i c s儀器股份有限公 1 1 -1 2 - 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A73GG551_B7_五、發明説明（‘，） 司製造，型號TG-2400BA)分析樣品氣體，Μ測量包含於 有害氣體中之氨達到可容許濃度之上限（2 5 p p m )所需之 時間長度（K有效處理時間表示），所得結果示於表1 。 實Jfij蓋』至1 重複實施例1至4之方法Μ實施氣體淨化測試，惟使 用 Hopkalite (由 Nissan Girdler Catalyst Co·, Ltd製 備）包括4 0重最％之氧化銅及6 0重量％之二氧化錳取代 α-氧化紹。结果亦示於表1中。· 表丄 實施例 m 號 硫酸綢含量 (重量％) 游離水份含量 (重量 有效處理時間 (分鐘） 1 5 3 4150 2 10 3 5405 3 20 5 7023 4 50 5 7865 5 5 7 5012 6 10 7 6950 7 40 8 9005 8 100 9 9996 實< 施....趾1至·」.2.. 重複實施例3之方法（2 0重量3；之硫酸銅含量及5重 -1 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 83. 3.10,000 1 I 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ΐ> o r rr r 4五、發明説明（'> ) A7 B7 最％游離水份含量）Μ實施氣體淨化測試，惟改變有害 氣體（·氨）濃度及/或空間線性速度（L V )。结果亦示於 表2中。 實复例」^JliL 重複實施例7之方法（40重量％之硫酸銅含量及8重 最％游離水份含量> Μ實施氣體淨化測試，惟改變有害 氣體（氨）澹度及/或空間線性速度（L V )。结果亦示於 表2中。 表2 實施例 编號 有害氣體濃 度（體積X) 空間線性速度 (公分/秒） 有效處理時間 (分鐘） 9 1.0 10.0 360 10 1 .0 0.5 14023 1] 0.1 10.0 7150 12 0.1 1.0 72010 13 1.0 10.0 901 14 1.0 0.5 18016 15 0.1 10.0 9012 ---------f------iT------錄 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 實..施..例..1.6..至 1 7 畢複實胞例3之方法Μ 實施氣體淨化測試，惟使用 三甲胺作為有害氣體Μ取代氨，如表3所示改變空間線 性速度（L V ),及測量三甲胺達到可容許濃度之上限（1 0 P P m )所需時間。結果亦示於表3中。 -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 83.3.10,000 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（“）

實施例18至丄S 重複啻施例7之方法Μ 實施氣體淨化測試，惟使用 三甲胺作為有害氣體Μ取代氨，如表3所示改變空間線 性速度（L V ),及測量三甲胺達到可容許濃度之上限（1 0 P P m )所需時間。结果亦示於表3中。 表.3 實施例 編號 空間線性速度 (公分/秒） 有效處理時間 (分鐘） 16 10.0 350 17 1.0 4503 18 10.0 805 19 1.0 8753 奮腌例10.至_ 22 _ 如實施例3中非鹼性氣體之其他有害氣體共存之狀況 下，為了估計淨化劑對鹼性氣體之淨化效率之影響，將 含1體積％之單矽烷的氮氣Μ —定流速分別流經淨化塔 歷1 0 0分鏔，1 0 0 0分鐘，及5 0 0 0分鐘等三個期間。随後 ,如實施例3相同之方法檢測每一巳初步使用於單矽烷 處理之淨化劑，Μ測定氨之淨化能力。结果示於表4中。 實施例2 3至_21 如實施例9中非鹼性氣體之其他有害氣體共存之狀況 下，為了估計淨化劑對鹼性氣體之淨化效率之影響，將 - 1 5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐〉 83. 3. 10,000 I I I I 索 ，言 絲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（β) 含1鵂積％之單矽烷的氮氣Μ —定流速分別流經淨化塔 歷100分鐘，1000分鐘，及5000分鐘等三個期間。隨後 ,如奮施例9相同之方法檢測每一巳初步使用於單矽烷 處理之淨化劑，Μ測定氨之淨化能力。结果亦示於表4 中 〇 啻施例 编號 頭矽烷流經時間 (分鐘） 對於氨之有效處理時間 (分鐘） 20 100 7095 21 1000 7008 22 5000 7025 23 100 8997 24 1000 8861 實施例25. 藉由使用如實胞例7相同之淨化劑，使包含1體積％ 之氨及1體積％之輩矽烷的氮氣Κ 一定空間線性速線流 經淨化塔（1 . 0公分/秒），及測量除去氨及單矽烷之能力 。结果顯示，對單矽烷及氨的有效處理時間分別為1 6 0 0 分鐘及8985分鐘。由上述结果證實氨及單矽烷可被同時 除去。 比數實施例11 重複實施例5之方法，Κ決定氨之除去能力，惟使用 如窖施例5相同之Η ο p k a 1 i t e作為淨化劑，而未支if於 載體上。结果顯示，對於氨有效處理時間僅1 8分鐘。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 — I 案 、言 絲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) S0C551

7 7 A B 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 丨< 於V ν'诂J · 實施例 26- 31 ί ' .， -^·ΜΜΜ·Μ-^«· ^ J'»-—"· «-»- 重複實施例3之方法以實施氣醱淨化實驗，惟實施例26 - 29傜使用實施例3之淨化劑，並改變氛之濃度，氣體供 給置及壓力。又，重複實施例7之方法以實施氣饅淨化實 驗，惟實施例30係使用（：11〇(55.6\(1;!(；)»111〇2(44.4!1!)、亦 卽（CuO: Mn〇2 =1: 0.8)之氣化銅、二氣化錳所構成之 無機載髏；實施例31傜使用CuO (16,6wtS；) Μη〇2 (83.7να!Π 、亦即（CuO: Μη02 =1: 5.0)之氣化銅、二氣化錳所構 成之無機載體。結果如表5所示。 然而，實施例29之壓力為lKg/cn2 ,其他實施例之壓力 為大氣壓。 表 5 實施例 硫酸銅含量 游離水份含置 氣體 空間線性速度 有效處理時間 编號 (wU) (wU) 澳度 (ppm) LV (cro/sec) (min) 26 20 5 1000 50 1130 27 20 5 10000 0.5 14830 28 20 5 10000 0.50 152400 29 20 5 10000 0.25 16150 30 40 8 10000 1.0 8300 31 40 8 10000 1.0 6208 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ----.-----|批衣------L-----A (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第83104121號「含氨、胺或矽烷之鹾性有害氣體之淨化 方法」專利案 (85年3月2日修正） 巧申請專利範圍： P1. —種鹸性有害氣體之淨化方法，其包括將含1體積％ 或以下之氨、胺或矽烷之齡性有害氣髏作為有害成份 之氣體與由支撐於無機載體上之二價銅鹽所構成的淨 化劑，於室溫、大氣壓至lKg/cm2之壓力下、以 0.05至50cin/Sec空間線性速度予以接觸，以自鹼性有 害氣體除去有害成分。 2. 如申請專利範圔第1項之方法，其中該«性氣體偽選 自氛，單甲胺，二甲胺及三甲胺之至少一者。 3. 如申謓專利範圍第1項之方法，其中該二價銅鹽偽選 自由硪酸，矽酸，硝酸，硫酸，磷酸，硼酸，氯酸， 過氱酸，亞氱酸及次氱酸之無機酸的至少一種二價銅 鹽。 4. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該無機載髏包括 如選自二氣化矽，氣化鋁，氣化鈦及氣化錯之至少一 者，作為主要成份。 5. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該無機載體為包 括氣化銅及二氣化錳作為主要成份之金颶氣化物的組 合物，且氣化銅對二氣化錳之重量比例為1: 0.8至5< -1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —裝------訂-----線I -Γ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ο υ 51 308551 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 6.如申請專利範圍第4項之方法，其中該無機載髏具 5 第 2 圍 米範 5 ._, •利 0專 至SI 0 3 0 申 0 如 積 面 表 比 之 克 氣二 及 銅 化 氣 該 中 其 法 方 之 項 最 重 Θ 6 少 至 之 量 總 16 載 機 無 佔 量 總 之 錳 化 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 張 -紙 本 Ns C 準 標 家 國 國 I中 用 一適 -N