TW296536B - - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明偽關於一種製造在其表面具有窗形塗膜和一種 具有屏蔽不必要光線且獲得所欲得性質之框形功能塗膜 之基質之方法。本發明之製法是適用於製造一種使用於 彩色液體顯示器（LCD)，特別是一種利用薄層電晶體（TFT) 所形成之矩陣型彩色液體顯示器之彩色濾光Η。 液晶顯示器直到目前為止已被用於小型顯示器（例如 稱為口袋型電視）之商品。然而，近年來液晶顯示器之 尺寸已經快速地擴大。液晶顯示器之影像品質也已藉由 從ΤΝ液晶到STN液晶和例如能使得市售商品級商品具有 如同陰極射線管之高影像品質之液晶顯示器之TFT之活 性驅動元件之發展而改良》己進行各種不同的研究工作 以改良彩色顯示器之影像品質和生産率。在此等研究工 作中，用於形成一種光屏蔽膜（light, screen film)稱 ^—*—— ——--------- 為黑矩陣（black matrix)以預防光線滲漏到TFT並改良 __------ 光屏蔽膜之影像品質與形狀之方法是最令人關心之事〇 關於用於在未被窗形彩色塗膜佔有之區域形成一種框 形功能塗膜（黑矩陣）以製造彩色濾光Η之方法，熟知 们去S利用印刷_技術(Μ ，絲$ P W去、们去、#胃 > 。也熟知的方法是：藉由f f法（s p u 11 e r i n g )或其類 似法穿差質上形成一種金臑（例如鉻）薄膜，然後藉由 影印石販術（photo-lithography)和蝕刻法（etching)以 形成一種黑矩陣。藉由影印石販術直接形成一種黑矩陣 之方法的研究工作已被近年來之含有黑色顔料之負型光 阻組成物之發展所驅策。也熟知的一種方法是：於條紋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 裝 訂 I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2，^5sg A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明（ 2 ) 1 1 形 彩 色 塗 膜 之 間 隙 中 形 成 一 種 功 能 塗 膜 作 為 黑 矩 陣 > 1 1 包 括 藉 由 電 澱 積 法 » 在 配 置 於 透 明 基 質 上 之 許 多 平 行 條 1 1 紋 形 導 電 線 路 上 形 成 條 紋 形 彩 色 塗 膜 ； 將 一 種 能 提 供 功 —X 請 1 先 1 能 塗 膜 之 負 型 光 阻 組 成 物 塗 覆 在 基 質 之 整 餹 表 面 * 以 覆 閲 1 I 蓋 條 紋 形 彩 色 塗 膜 » 接 著 形 成 光 阻 薄 膜 ； 將 具 光 阻 之 基 背 1 I 之 1 質 表 面 曝 光 * 以 使 得 條 紋 形 彩 色 塗 膜 功 能 如 同 一 種 掩 模 >王 意 1 事 1 (.Bask) 和 脱 除 未 固 化 之 光 阻 薄 膜 (j P - A- 59 -1 1 4 57 2、 項 再 1 J P -A -3 -42602)。 填 寫 本 1 裝 對 近 年 來 被 認 為 最 具 希 望 之 T F T型液晶顯示器而言， 頁 —/ 1 I 是 需 要 能 改 良 光 屏 m 膜 之 光 屏 蔽 能 力 » 以 預 防 光 線 藤 漏 1 1 到 轉 換 開 關 元 件 〇 而 且 為 能 改 良 影 像 品 質 之 緣 故 光 屏 1 | 蔽 膜 已 變 得 經 常 要 求 具 有 一 種 複 雜 圖 式 ( 例 如 晶 格 形 態 1 訂 等 等 ) 〇 1 一 種 晶 格 形 功 能 塗 膜 是 能 由 傳 統 慣 用 方 法 利 用 印 1 I 刷 技 術 來 形 成 〇 然 而 9 彼 等 無 法 提 ·、· 供 一 種 具 高精密度之功 1 1 能 塗 膜 > 因 為 所 形 成 之 薄 膜 為 具 有 晶 格 間 隙 為 約 1 0 0徹 1 1 米 之 粗 圖 式 〇 根 據 上 述 之 藉 由 影 印 石 販 術 利 用 一 種 含 黑 線 | 色 顔 料 之 負 型 光 胆 組 成 物 以 直 接 形 成 黑 矩 陣 之 方 法 9 是 1 1 無 法 在 未 降 低 光 胆 組 成 物 之 光 固 化 率 之 條 件 而 提 高 其 光 1 I 屏 蔽 率 9 所 以 無 法 形 成 一 種 所 欲 得 之 具 高 精 密 度 的 功 能 1 第J P - A - ί 9 - -1 1 4 5 7 2號和 | 塗 膜 〇 此 外 » 根 據 掲 述 於 B 本 專 利/ 、第 JP -A -3 -4 2 6 0 2 號 中 1 之 方 法 » 其 不 易 在 條 紋 形 彩 色 塗 膜 之 横 向 形 成 功 能 塗 膜。 1 I 因 此 f 本 發 明 之 巨 的 是 解 決 上 述 先 前 技 m 之 難 題 » 傜 1 1 Μ 由 提 供 一 種 方 法 用 於 製 造 具 有 窗 形 塗 膜 之 基 質 和 — 種 1 I -4 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公嫠） 經濟部中央標準局員工消費合作杜印裂 A7 B7 五、發明説明（3 ) 具有光屏蔽與所欲得顯示性質之框形、功能塗膜於未被 窗形塗膜，特別是指示被高精密度及撤細圖式（例如一 種窗形寬度為少於約200微米）佔有之區域。 需要注意到具有高精密度之塗膜是僅能藉由電澱積法 在導電線路上選擇性地形成，本發明者已作廣泛地研究 ，結果導致完成本發明。 本發明提供一種用於製造具有導電線路在透明基質之 表面上、在導電線路上之窗形塗膜、和在未被窗形塗膜 佔有之區域之框形功能塗膜之基質之方法，偽包括下列 步驟： (a) 將一種在其表面具有導電線路之透明基質塗覆一種 正型或負型光阻組成物，以覆蓋基質之整個具有線 路之表面，接著形成一種光阻塗膜， (b) 將一種具有設計圖式之掩模疊加在經由步驟（a)所 形成光阻塗膜之表面上，以提供在隨後步驟（c)光 阻塗膜覆蓋除了框形部分以外之區域，並將藉此經 掩蔽之光阻塗膜曝光， (c) 將經由步驟（a)和（b)所形成之基質進行顯影，並脫 除在框形部分之光阻塗膜， (d) 將在步驟（c)所遣留之光阻塗膜進行熱處理， (e) 將經由以步驟（a)至（d)之順序所獲得之基質塗覆一 種含有賦予功能之添加劑之負型光阻組成物以覆蓋 基質之整假具線路之表面，接著形成一種功能塗膜， (f) 將經由以步驟U)至（e)之順序所獾得之基質暴露於 -5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------扣衣------ΪΤ------.^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（4 ) A7 B7 影 顯 ，質 線基 光之 之得 出獲 射所 發序 倒順 反之 之Π /C S 表)¾ 路(a 線驟 具步 之以 質由 基經 從將 暌 塗 阻 光 之 過 理 處 熱 中 \1/ d /V 驟 步 在 已 於 由 除 分 部 化 固 未 之 膜 塗 能 功 之 光 曝 地 分(d 充驟 未步 尚在 而已 脱在除 僅存脱 並之僅 和 膜 塗 阻 光 之 遇 m-- 理 處 熱 中 基之 在上 用路 利線 ，在 質並 基 ， 之積 得澱 獲電 所行 序進 順極 之電 h)一 {為 )^作 (a路 驟線 步之 以上 將質 掴 各 之 明 發 本 由 經 明 説 。式 膜圖 塗 ， 積圖 澱意 電一不 成面 形截 分種 部一 形是 窗 1 圖 物 cg1 連 質 基 明 透 之 路 線 E 0^8* 導 多 許- 有-(a 具驟 種步 一 由 是經 }有 I { 具 之，種 成中一 形 1 是 所圖I) 驟在(II 步 中 之 膜 塗. 阻一 光. 之 成 形 所 間

IV 物|是 産 物 産 間 中 之 成 形 所 物 産 間 中 之 成 形 (b所 媒(d) 步ί 由 經(C 種驟 一 步 是由 XI/ 經 種 與

V 物是 産丨 間(VI 中 ； 之物 成産 形間 所中 e 之 /IV 成二步Tfff· * Ϊ 經(f 種驟 1 步 是由

VI 經(« 種驟 一 步 是由 丨經 種 之産 成终 形最 所之 h)成 /1 形 驟 步所 h-*Λ—/ 由(i 經驟 種步 1 由 是經 \t/ CHE (vall ; 是 ί- )/ 物 X 産(I 間且 中 .’ 之物 成産 形間 所中 I I n 裝 I I訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 物 框 t 路 線 AN 導 0 各 明 說 例 C 舉式 ， 圖 圖之 視膜 平塗 惹形 示窗 種和 一 膜 是塗 2 能 圖功 形 驟，功 步式' 由圖形 經之框 是膜之 丨塗成 阻形 ，光所 路、h) 線形ί 電窗 導之U 明成 、 說形 f 例所ί 舉d)>' \/ /V 6 I 和 { 丨)?驟 ,(C步 中 、由 2b)經 圖{是 在).») a 0 和 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

IV 經濟部中央棋·準局貝工消费合作杜印褽 A7 B7 五、發明説明（5 ) 能塗膜之圖式，和（IX)是經由步驟（i>所形成之框形、 功能塗膜與窗形、電澱積塗膜之圖式。 圖3是一種示意平視圖，舉例説明根據本發明所播得 之窗形、電澱積塗膜與框形、功能塗膜。 在圖1至3中，1是一種2明基曼，2是一種導電線 路，3是一種光阻_塗巧，4與9是光束，$是一種光掩 模之光屏蔽部分，6是一種光掩模之透明部分，7是一 - ««_、 ’ ...........二 ^ ...... " I, I II ^ 種功能塗膜，11是一種在窗形部分之電澱積塗膜（紅色 )，種在窗形部分之電澱積塗膜（緣色），且” 键ϋ分之電醱積塗膜（藍色 能用於本發明之透明基質包括：玻璃板、塑謬板及其類 似物β在基質上所形成之導電線路是製自一種透明導電 材料，例如ΙΤΟ薄膜（摻雜錫之氣化洇薄膜> 、NESA薄 膜（摻雜銻之氣化錫薄膜）及其類似物。導電線路之圖 式通常是一種平行排列之條紋。此等條紋是能以傳統慣 用之方法來製得。 在本發明中，窗形與框形部分是能任意地選擇。例如 ，可採用如圖2所示之晶格形態和如圖3所示之許多平 行排列之條紋作為框形部分。 本發明之方法是特別有效於製造一種具有微細塗膜圖 式之基質，其中窗形部分各具有寛度為少於約200撤米 ，且較佳為少於約1 0 0撤米。 本發明之步驟（a)是將一種在其表面具有導電線路之 透明基質塗覆一種正型或負型光胆組成物，以覆蓋基質 -7 - 本紙張交適用中國國家標準（CNS ) A4g( 210X297公釐） 种衣 訂 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明说明（6 ) 之整個具線路表面，接著形成一種光阻塗膜之步驟。 能使用於步驟（a)之正型光阻組成物之實例包括：一 種含有新漆型酚条樹脂和鄰-鼷二叠氮化物之酯化産物 及其類似物之組成物。商業上可獲得之正型光阻組成物 是：0FPR-800 (商檫名，Tokyo Ohka Co·, Ltd.製造） 、PF-7400 (商標名，住友化學公司製造〉、FH-2030 (商標名，Fuji Hant Electronics Technology Co·, Ltd .製造）、等等。 能使用於步驟（a)之負型光阻組成物之實例包括：一 種含有丙烯酸酯樹脂和光聚合起始劑（例如二苯基嗣化 合物、憩醇化合物及其類似物、等等）之組成物《商業 上可獲得之負型光阻組成物是包括：0MR-83 (商標名， Tokyo Ohka Co·，Ltd.製造）。 如果需要的話，使用於此之正型或負型光阻組成物可 併用入一種光屏蔽成分（例如磺及其類似物）。併用光 屏蔽成分是能補充在步驟（f)之曝光時，經熱處理之光 阻塗膜之光屏蔽能力。若光屏蔽能力不足夠，刖在步驟 (f)所形成之負型光阻薄膜（亦即功能塗膜）仍殘留在 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消费合作杜印褽 之、法度變 路法方密改 線刷等精式 電印此高方 導位在與之 有偏 C性驟 具 '等實步 在法等確値 。覆刷 '高兩 果塗印法為以 結物網覆因為 的成篩塗，佳， 利組用轉法較-8 不阻採旋覆 ， 致光可、塗時 導型，法轉法 果負法覆旋覆 結或方塗是塗 ，型的桿的轉 上ΪΕ面、鼸旋 膜將表法推行 塗於之覆可進 阻關質塗 ，在 光基棍中。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 旋轉器，以使得光阻組成物在第一步驟是以100-400ΓΡΒ1 散佈在基質上，且在第二步驟以800-5,OOOrpra使得光阻 組成物之厚度變得平坦。 塗覆在具有導電線路之基質上之負型或正型光阻組成 物，較佳的是在6Q-lQ(rC進行熱處理為期5-60分鐘，》 此以形成光阻塗膜。«由熱處理，在負型或正型光阻組 成物中之樹脂是被初步固化，且能改良光阻塗膜對具有 導電線路之基質之黏著性。 本發明之步驟（b)是將一種具有設計之圖式之掩模叠 加在經由步驟（a)所形成光阻塗膜之表面上，以提供在 随後步驟（c )光胆塗膜能覆蓋除了框形部分以外之區域 ，並將藉此掩蔽之光阻塗膜加以曝光之步驟。 在步驟（b)之曝光中，視負型或正型光阻薄膜之種類 而定，可使用各種波長範圍之光線。一般而言，較佳的 是紫外光區域之光線。關於光源是可使用超高壓汞燈、 金廳齒化物燈及其類似物之設備。從圖式精確性之觀點 來看，較佳為具有鏡型平行光結構之設備。 曝光之條件是可視光源和光阻薄膜之種類而變化。若 為正型光阻薄膜，曝光通常是在範圍為10-500毫焦耳/ 平方公分》在曝光之區域，分解反應會循序漸進，其中 之光阻變得能溶解於後述之顯影溶液。若為負型光阻薄 膜，曝光通常是在10-5GO毫焦耳/平方公分之範圍，雖 然曝光之條件可視光源和光阻薄膜之種類而定。在未曝 光之區域，無固化反應進展，所以此區域保持能溶解於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------批衣------1T------# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印袋 五、發明説明（8 ) 1 1 後 述 之 顯 影 溶 液 ο 1 1 本 發 明 之 步 驟 (c >是將經由步驟（a )和 (b )所形成之基 1 1 質 進 行 顯 影 * 並 脱 除 在 框 形 部 分 之 光 瞄 塗 膜 〇 X-—V 請 1 先 1 若 所 形 成 之 薄 膜 傜 使 用 正 型 光 阻 薄 膜 > 曝 光 之 部 分 是 讀 1 I 被 溶 解 且 被 脱 除 〇 曝 光 部 分 之 脱 除 是 可 利 用 一 種 顯 影 劑 背 Λ 1 I 之 1 來 進 行 〇 顯 影 劑 可 視 所 使 用 之 正 型 光 阻 組 成 物 之 種 類 而 1 事 1 m 白 各 種 不 同 的 顯 影 劑 〇 其 中 之 實 例 是 荷 性 鈉 、 m 酸 納 項 再 1 \ 第 四 銨 稱 、 有 機 胺 類 及 其 類 似 物 之 鹼 性 水 溶 液 和有 填 寫 本 1 裝 機 溶 劑 ( 例 如 酯 類 酮 類 、 醇 類 、 芳 香 族 烴 類 氱 化 烴 頁 1 I 類 - 及 其 類 似 物 ) 〇 脱 除 是 可 有 效 地 藉 由 將 基 質 於 或 以 1 1 顯 影 劑 浸 漬 或 淋 浴 為 期 5 秒 至 約 3 分 鐽 〇 隨 後 將 所 獲 得 1 I 之 基 質 以 龍 頭 水 、 去 離 子 水 、 或 其 類 似 水 撤 底 地 清 洗 〇 1 訂 若 所 形 成 之 薄 膜 俗 使 用 負 型 光 m 薄 膜 ♦ 未 曝 光 之 部 分 1 ( 亦 m 未 固 化 之 部 分 ) 是 被 脱 除 0 未 曝 光 部 分 之 脱 除 是 1 | 可 有 效 地 以 一 種 類 似 於 上 述 之 顯 影 方 法 來 進 行 〇 經 由 此 1 等 步 驟 9 視 在 步 驟 (b)所使用之光掩模而定， 可形成- 1 1 種 所 欲 得 形 狀 之 光 阻 塗 膜 〇 圓 2 和 圖 3 是 以 圖 式 說 明 於 線 1 此 所 形 成 之 光 阻 塗 膜 之 圖 式 形 狀 之 實 例 〇 1 1 本 發 明 之 步 驟 (d)是將在步驟（c)所遣留之光 m 塗 膜 進 1 I 行 熱 處 理 之 步 Ββ m 〇 熱 處 理 較 佳 的 是 在 12 0 ° - 3 0 0 °C進行 1 1 為 期 1 5分鐘至 2 小 時 * 且 更 佳 為 在 2 0 0 ° - 2 6 0 °C進行為 1 1 期 約 1 小 時 Ο 1 I 由 熱 處 理 * 可 抑 制 介 於 光 阻 塗 膜 與 在 下 一 個 步 驟 1 1 (e)所形成之功能塗膜 (亦即負型光附薄膜） 之間的反 1 | -1 0- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Μ Β7 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 五、發明説明（ 9 ) 1 1 應 所 以 在 步 驟 (h)之脱除步驟後， 無圍繞功能塗膜之 1 1 光 阻 塗 膜 保 持 未 被 脱 除 〇 再 者 > 可 使 得 在 步 驟 (1〇之光 1 1 阻 塗 膜 之 脱 除 變 得 容 易 〇 此 外 ♦ 可 有 效 地 降 低 光 阻 塗膜 請 1 先 1 之 透 光 率 » 所 以 使 得 在 下 一 傾 步 驟 (e >中在光阻塗膜上 閲 讀 1 1 所 形 成 之 功 能 塗 膜 能 保 持 未 固 化 ( 即 使 在 随 後 步 驟 (f ) 背 Λ 1 I 之 1 之 曝 光 之 後 ) 且 能 在 随 後 步 驟 (g)藉由顯影而容易地脱 注 意 1 事 1 除 項 | | 本 發 明 之 步 驟 (e>是將經由以步驟（a)至 (d )之順序所 填 寫 本 1 % 獲 得 之 基 質 塗 覆 以 __. 種 含 有 賦 予 功 能 之 添 加 劑 之 負 型光 % S· 1 1 阻 組 成 物 以 覆 蓋 基 質 之 整 個 具 線 路 之 表 而 9 接 箸 形 成一 1 1 種 功 能 塗 膜 之 步 驟 〇 1 I 塗 覆 是 可 藉 由 一 種 能 提 供 均 勻 塗 膜 之 方 法 來 進 行 ,例 1 訂 如 旋 轉 塗 覆 法 m 塗 覆 法 、 篩 網 印 刷 法 偏 位 印 刷 法、 1 浸 漬 塗 覆 法 及 其 類 似 法 來 進 行 〇 較 佳 的 負 型 光 阻 組 成物 1 1 包 括 所 諝 的 紫 外 光 -可固化之光阻組成物。 其中之主 1 1 要 成 分 包 括 例 如 > 丙 烯 酸 % 胺 基 甲 酸 酯 或 環 氣 樹脂 1 1 合 成 橡 膠 聚 乙 烯 醇 樹 m 或 明 m 〇 此 等 成 分 可 單獨 線 1 使 用 或 呈 混 合 物 之 形 態 來 使 用 〇 藉 此 所 製 锝 之 組 成 物是 1 1 商 業 上 可 獲 得 之 光 可 固 化 塗 料 、 油 墨 和 負 型 光 阻 〇 在此 1 I 等 材 料 中 > 可 選 擇 性 地 併 入 一 種 反 應 性 稀 釋 劑 N 一 種反 1 | 應 起 始 劑 、 一 種 光 敏 m 及 其 類 似 m 〇 1 1 在 本 發 明 中 » 負 型 光 阻 組 成 物 含 有 一 種 賦 予 功 能 之添 1 I 加 劑 ( 例 如 熟 知 的 光 屏 蔽 顔 料 或 光 屏 蔽 劑 ) 〇 當 需 要黏 1 1 著 性 功 能 時 ， 可 添 加 一 種 適 當 的 鈷 箸 -改良劑材料作為 1 I -1 1 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨ΟΧ297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局員工消费合作社印装 五、發明説明（10 ) 1 1 賦 予 功 能 之 加 劑 〇 在 塗 覆 負 型 光 阻 組 成 物 時 ,可藉由 1 1 使 用 一 種 適 當 的 有 Utiir m 溶 劑 ( 若 為 有 U4i 懦 溶 劑 -稀釋型組成 1 1 物 ) 或 藉 由 使 用 水 ( 若 為 水 -稀釋型組成物） 而將組 請 1 先 1 成 物 稀 釋 至 適 m 的 黏 度 或 適 當 的 固 體 含 量 以 改 良其加工 W 讀 1 性 背 1 〇 面 I 之 1 在 塗 覆 負 型 光 阻 m 成 物 後 » 可 將 基 質 在 60 〇 -1 2 0°C 進 注 意 1 事 1 行 熱 處 理 為 期 1 至 3 0分鐘以 便 利 於 功 能 塗 膜 之 形成。 項 再 1 本 發 明 之 步 驟 (η是將經由以步驟（a)至 (e)之順序所 填 寫 本 1 裝 獲 得 之 基 質 暴 露 於 從 基 質 之 具 線 路 表 面 之 反 倒 發射出之 頁 1 I 光 線 之 步 驟 〇 視 負 型 光 阻 薄 膜 之 種 類 而 定 曝 光時可使 1 1 用 各 種 波 長 範 圍 之 光 線 〇 一 般 而 * 較 佳 的 是 紫外光區 1 I 域 之 光 線 〇 關 於 光 源 是 可 使 用 超 高 m 汞 燈 、 金 靨_化物 1 訂 燈 及 其 類 似 物 之 設 備 〇 曝 光 之 條 件 是 可 視 光 源 和負型光 1 m 之 種 類 而 變 化 9 曝 光 通 常 是 在 1 0 0 - 2， 0 0 0毫焦耳/平 1 1 方 公 分 之 範 圍 〇 在 曝 光 之 區 域 一 種 交 聯 化 反 應會循序 I 1 漸 進 > 賴 此 使 得 功 能 塗 膜 變 得 不 溶 性 a 被 固 化 〇 1 1 本 發 明 之 步 驟 U)是將經由以步驟（a)至 (f )之順序所 線 I 獲 得 之 基 質 顯 影 > 並 僅 脱 除 功 能 塗 膜 之 未 固 化 部分之步 I 1 驟 * 其 俗 尚 未 充 分 地 曝 光 由 於 已 在 步 驟 (d}中熱處理過 1 1 之 光 阻 塗 膜 之 存 在 ♦ 目. 其 透 光 性 已 藉 由 熱 處 理 而被降低。 1 1 I 脱 除 是 可 利 用 一 種 適 當 的 顯 影 m 來 進 行 * 且 藉此蔣功 1 1 能 塗 膜 之 未 固 化 部 分 溶 解 出 〇 顯 影 劑 是 根 據 負 型光阻薄 1 I 膜 之 禪 類 而 適 當 地 選 擇 〇 其 實 例 是 ； 荷 性 納 磺酸納、 1 1 第 四 銨 鹽 有 機 胺 類 或 其 類 似 物 之 m 性 水 溶 液 ,和有機 1 I -1 2- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作杜印褽 A7 _B7_ 五、發明説明（11 ) 溶劑（例如酯類、酮類、醇類、氛化烴類及其類似物） β未固化之功能塗膜之溶解是可藉由將基質浸沒於顯影 劑或以顯影劑淋浴為期30秒至約5分鏞。然後，將所獲 得之基質以水、有機溶劑或其類似物徹底地清洗。隨後 經清洗之基質可選擇性地在-28(TC進行熱處理為 期10-12G分鐘。藉由此步驊，在框形部分形成一種所欲 得之功能塗膜》 本發明之步驟（h)是僅脫除已在步驟（d)中熱處理過之 在除了框形部分以外之區域所形成之光阻塗膜之步驟。 脱除是利用一種適當的脱除劑來進行。顯影劑是根據光 阳塗膜之種類而適當地選擇β其實例是：苛性納、碩酸 納、第四銨鹽、有機胺或其類似物之鹼性水溶液，和有 機溶劑（例如酷類、酮類、醚類、氛化烴類及其類似物 > β光阻塗膜之脫除是可藉由將基質浸沒於顯影劑或以 顯影劑淋浴為期30秒至約20分鐘。也可使用一種摩擦方 式例如刷、織造織‘物及其類似物。然後將所遣留之薄膜 以有機溶劑或水徹底地清洗，且如果需要的話，可加以 後-烘烤處理以消除在薄膜上之水。 本發明之步驟（i)是將以步驟（a)至（h)之順序所獲得 之基質，利用在基質上之線路作為一電稱進行電澱積， 並可在線路之窗形部分形成箸色之電澱積塗膜。 當步驟（h)已完成時，在導電線路上之窗形部分並無 塗膜β在步驟（i)中，藉由電澱積法在此等窗形部分形 成一種塗膜。在此類別之導電線路上之電澱積法是眾所 -1 3 - 本紙張Λ度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 裝 訂 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央梂準局員工消費合作社印製 五、發明説明（12 ) 1 1 皆 知 的 〇 例 如 t 可 供 參 考 的 是 在 J i t S u η U Hy 0 01 e η 1 1 G i j U t S U (金屬表面處理實務） V ο 1 • 3 4 9 No • 6 , Ρ • 1 1 57 -6 3 (1 9 8 7 )和 B 本 專 利 第 J P -B -4 -6 4 8 7 5號 中 所 提 及 之 請 1 先 1 方 法 〇 此 方 法 包 括 陽 離 子 和 陰 離 子 塗 覆 法 且 此 等 之 任 閲 讀 1 I 何 方 法 可 被 採 用 於 本 發 明 〇 然 而 > 陰 離 子 塗 覆 法 是 比 陽 背 1 I 之 1 離 子 塗 覆 法 較 佳 的 t 因 為 其 對 線 路 之 影 m 較 小 〇 使 用 於 注 意 1 事 1 電 澱 積 之 樹 脂 材 料 ( 黏 合 _ ) 包 括 • 例 如 » b a 1 e i η at e d 項 再 1 油 型 V 丙 烯 酸 型 、 聚 m 型 S 聚 丁 二 烯 型 和 聚 烯 烴 型 樹 脂 填 寫 本 1 裝 材 料 〇 此 等 樹 脂 材 料 是 可 C3KX 単 獨 使 用 或 呈 混 合 物 之 形 態 來 頁 1 I 使 用 〇 在 黏 合 劑 中 » 可 併 入 一 種 顔 料 及 其 類 似 物 〇 電 m 1 1 積 溶 液 通 常 是 製 白 將 一 種 黏 合 劑 和 其 他 成 分 分 散 於 水 中 1 I 且 將 所 獲 得 之 分 散 液 稀 釋 〇 關 於 能 使 用 之 電 澱 積 溶 液 ♦ 1 訂 不 僅 可 為 水 性 電 澱 穑 溶 液 > ft 可 為 使 用 有 機 溶 劑 之 非 - 1 水 性 電 澱 積 溶 液 0 1 I 經 由 上 述 步 驟 (a )至（h )所形 成 之 透 明 基 質 是 引 介 入 一 ! 1 種 含 有 電 澱 積 溶 液 之 浴 中 〇 在 陰 離 子 電 澱 積 之 情 況 下 1 1 在 基 質 上 之 導 電 線 路 是 用 作 為 正 極 > 且 一 種 跗 腐 蝕 性 、 線 I 導 霄 材 料 ( 臀 如 不 銹 鋼 或 其 類 似 物 ) 是 用 作 為 一 種 相 對 1 1 電 極 * 然 後 施 用 直 流 電 電 壓 〇 因 此 * 電 澱 積 塗 膜 是 選 擇 1 | 件 地 形 成 在 位 於 導 電 線 路 之 窗 形 部 分 〇 電 澱 積 塗 膜 之 厚 1 I 度 是 能 m 由 改 變 電 m 積 之 條 件 來 控 制 〇 通 常 ， 電 澱 積 之 1 1 期 間 是 從 1 秒 至 約 3 分 鐘 在 電 爾 為 10 -3Q0伏特 〇 在 形 成 1 1 電 澱 稽 塗 膜 後 ， 將 塗 膜 m 底 地 沖 洗 以 脱 除 其 中 不 必 要 之 1 1 物 質 〇 如 果 需 要 ， 將 塗 膜 在 10 0 ° - 2 8 0 °C熱處理為期1 0 1 1 -1 4 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 明説明發 、五

A B Η 光 濾 色 彩 之 物 似 類 其 C 或 度器 強示 之顯 等晶 彼液 化於 強用 以種 ,一 鐘造 分製 20在 框在 CMP. I. 樺種 一 一 和於 膜成 塗形 積以 澱法 電方 色之 彩明 、發 形本 窗由 之 ti 能能 功是 it 0. > 矩膜 黑塗 有能 具功 * · 中形 後材型 随之酯 要膜酸 需護烯 也保丙 然於和 偶用型 a β 胺 ,) 亞 上膜醯 質薄聚 基 _ 、 明保型 透 ί 脂 之膜樹 路護氣 線保璟 電種 ， 導一如 有成例 具形： 而上括 表其包 其於料 塗 C 且 輥烤 ， 、熱晶 器以液 覆加動 塗脂驅 轉樹於 旋將用 用後膜 利然薄 toH sc --"· ,, ，^ϋι 樹成導 種形明 此所透 將覆種 由塗一 藉來成 是器形 膜似是 護類上 保其膜 。或護 脂器保 樹覆在 之 得 欲 所 S— 榑 一 得 製 可 此 0 式 _ 路 線 SI 1 成 。 形片 地光 性濾 擇色 選彩

(請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· ,ιτ 線 經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 米 0 ο 2 為 隔 間 f 米 毫 成 形 之 膜 薄 阻 光 型 正⑵ 上 質 基 璃 玻 之 距 節 米 徹 將ΪΕ 由種 藉一 是之 膜份at 薄鼉Ha 阻重 i 光oouj 11 F 型到 正0, Λ3Μ = u agFH s酸： 1乙名 為蘇檫 度路商 厚寒 ί 膜基物 有乙成 具份組 種鼉 m 一 重光 20型 物 合 混 釋 1 得 獲 以 中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14 ) 所形成，將整個犓自⑴之透明基質之表而藉由旋轉塗覆 法在兩値步驟進行塗覆（亦即第一次在200γρ·/5秒和第 二次在1，000γρβ/20秒），並將所獲得之塗膜在9(TC進 行熱處理為期30分鐘。此步驟例證本發明之步驟（a)。 ⑶曝光 將一種具有窗形尺寸為60徹米X 200撤米之光屏蔽窗 形部分之晶格形圖式光掩模設定在正型光阻薄膜上。介 於光掩模與光阻薄膜之間的間隙為3 0徹米β然後，将所 獲得之産物以 Proximity Exposing Machine ( MAP-1200 ，Dainippon Kaken Co.製造）在曝光為100毫焦耳/平 方公分下進行曝光。此步驟例證本發明之步驟（b)e ⑷顯影 在曝光後，將⑶之産物浸沒在25 °C之一種願影劑（商 標名：S 0 P D ,住友化學公司製造）中為期6 0秒，以脱除 並將曝光之部分顯影，然後以去離子水沖洗且加以乾燥 。因此，在晶格之窗形部分形成一種正型光阻薄膜。此 步驟例證本發明之步驟（c>e ⑸熱處理 將獲自⑷之具有窗形正型光限薄膜之基質在220 °C之 烘箱中進行熱處理為期1小時。此步驟例證本發明之步 驟⑷。 (6)負型光阻薄膜之形成 將一種用作為黑掩模之塗料（負型光阳，Shinto-Chenitron Co.)藉由篩網印刷法塗覆在獲自⑸之基質 -1 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 ---------种衣------，玎------.ii (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉·準局員工消費合作杜印製 A7 _B7_ 五、發明説明（I5 ) 之整個表面。在塗覆之後，將塗膜在10(TC下進行熱處 理為期ίο分鐘。«此所形成之薄膜具有厚度為約8徹米 。此步驟例證本發明之步驟（e)。 ⑺負型光m薄膜之曝光 將獲自（6)之基質暴露於從具導電線路表面之反側在距 離為10公分之80瓦特紫外光為期10秒。曝光為1,800毫 焦耳/平方公分。使用於此之紫外光之主波長為313奈 米和365奈米。此步驟例證本發明之步驟（f)„ ⑻潁影和沖洗 然後将獲自⑺之基質浸沒於乙基塞路蘇乙酸酯中為期 2分鏵，同時施用超音波到其中，藉此將未曝光部分之 塗膜（亦即由於在⑸所形成之光屏蔽正型光阻薄膜之存 在而遮斷曝光之部分）脱除。然後，將所獲得之産物浸 沒於乙基塞路蘇乙酸醏沖洗液中為期30秒，然後再浸沒 於異丙醇和随後的水中，各為期30秒。然後，將所獲得 之産物加熱，日將剩餘之薄膜在230 °C下固化為期30分 鐘。 結果形成一種晶格形、框形功能塗膜（黑矩陣，薄膜 厚度1.2撤米）。此步驟例證本發明之步驟 ⑼正型光陌薄膜之形成 將籍由上述諸步驟所獲得之透明基質浸没於加熱至40 °C之5重量％苛性納水溶液中為期1 5分鐘，然後將在基 質上之正型光阻薄膜刷洗，同時以去離子水淋浴，以脱 除並僅剝離正型光胆薄膜。然後將所獲得之産物徹底地 -17- 本紙張/〇1適用中國國家揉準（€奶）八4规格（2丨0/297公釐） I 裝 I 訂 線 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 Μ Β7 五、發明説明（ie> ) 沖洗、空氣-乾燥，且在20(TC下進行熱處理為期30分鐘 〇此步驟例證本發明之步驟（h)e ⑽電澱積薄膜之形成 利用在透明基質上之規定的透明導電線路作為一電棟 ，電澱稹是以紅色、緣色和蘸色之顒序來進行^將分別 含有紅色顔料（偶氡金屬鹽型紅色顔料）、緣色顔料（ 酞菁緣）和释色顔料（酞箐[商標名Shintron F-Red-C (红色）〕、〔商標名 shintron F-Green-C (緣 色）]和〔商標名Shintron F-Blue-C (藍色），皆由 Shinto-Chenitron Co.製造）〕之陰離子性聚酯樹脂呈 分散狀態之水溶液用作為雷澱積塗料。電澱積是在50-80伏特下進行為期10-20秒，其條件是視顔色而變化。 然後，將所獲得之電澱積薄膜徹底地以水沖洗，fl在 2 6 0 °C下進行熱處理為期1小時。 結果各具有厚度為1.2撤米之红色、綠色和_色之薄 膜是以規定的順序形成於無正型光阳薄膜形成之窗形部 分中。此步驟例證本發明之步驟（e)。 _2顯示藉此所犓得之窗形、彩色薄膜和晶格形、框 形功能塗膜。 在此所獲得之産物藉由一種光學顯徹鏡（商檫名 0 P T I Ρ Η 0 T - 8 8，ΝΙ K 0 N C 0 R P .製诰）在放大率為2 0 0下之 觀察顯示介於窗形彩色薄膜與晶格形框形功能塗膜之間 並無顯箸的光線滲漏，Η全部形成之薄膜具有高精密度。 根據本發明之製法，可在其表面具有許多導電線路之 -1 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4«^( 210X297公釐） ---------批衣------ΪΤ------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 8^S66 at _B7五、發明説明（I7 ) 形 窗 之 上 路 線 霞 導 於 位 蔽成 屏形 光可 有指 具是 SI 種 S& 一 特 之 〇 域膜 區塗 之之 、 度有形 密佔框 精膜之 高塗能 有形功 具窗到 成被得 形未欲 上並他 質在其 基和或 明膜質 透塗性 膜 塗 之 式 圖 細 微 ο 有 2 具約 種於 1 少 之為 度度 密寬 精有 高具 有分 具部 此 因 0 米 0 形 窗 各 中 其 法 製 之 明 發 本 ，和 片分 光部 濾色 色彩 彩之 之度 器晰 示清 顳越 晶優 液有 於具 用 、 種漏 一 0 如線 例光 造防 製預 於地 用分 適充 是能 與 Η 光 Τ 濾 用色 利彩 於之 造器 製示 於顯 用色 適彩 別型 特陣 且矩 ，之 質 用 性使 學所 光中 之片 越光 優濾 當色 相彩 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 ,ιτ 經濟部中央梂準局員工消費合作杜印褽 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） '各"Ά m A7 /〆、,. B7 五、發明説明 圖式之簡箪說明： \ ' 圖1是一種截面示意圖，圖式說明經由本發明之各個 步驟所形成之産物。 圖2是一種示意平視画，舉例說明各個導電線路、框 形功能塗膜和窗形塗膜之圖式。 圖3是一種示意平視圖，舉例說明根據本發明所獲得 之窗形、電澱積塗膜與框形、功能塗膜。 圖式符號之簡單說明 1是一種透明基質，2是一種導電線路，3是一種光 阻塗膜，4與9是光束，5是一種光掩模之光屏蔽部分 ,6是一種光掩模之透明部分，7是一種功能塗膜，11 是一種在窗形部分之電澱積塗膜（紅色），12是一種在 窗形部分之電澱積塗膜（綠色），且13是一種在窗形部 分之電澱積塗膜（藍色）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-=* 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格叉1 OX 297公釐）

Claims (1)

1. . y...一—- A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 第83 1 08533號「在其表面上具有窗形塗膜及框形塗膜之 基質之製法」專利案 (85年1 1月28日修正） 杰申請專利範圍： 1. 一種具有在透明基質上之導電線路、在導電線路上之 窗形塗膜、和在未被窗形塗膜佔有之區域之框形功能 塗膜之基質之製法，偽包括下列步驟： (a) 將一種在其表面具有導電線路之透明基質塗覆一 種正型或負型光阻組成物，以覆蓋基質之整個具 有線路之表面，接著形成一種光阻塗膜， (b) 將一種具有設計圖式之掩模叠加在經由步驟U) 所形成光阻塗膜之表面上.以提供在隨後步驟 (c)光阻塗膜覆蓋除了框形部分以外之區域，並 將經掩蔽之光阻塗膜曝光， (c )將經由步驟（a )和（b )所形成之基質進行顯影，並 除去在框形部分之光阻塗膜， (d) 將在步驟（c)所遣留之光阻塗膜進行熱處理， (e) 將經由步驟（a)至（d)之順序所獲得之基質塗覆一 種含有賦予功能之添加劑之負型光阻組成物，以 覆蓋基質之整個具線路之表面，接著形成一種功 能塗膜， (f )將經由步驟（a )至（e )之順序所獲得之基質暴露於 從基質之具線路表面之反側發射出之光線， -1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 | (g) 將 經 由 步 驟 (a)至（Ο之順序所獲得之基質顯影， 1 1 且 由 於 在 步 驟 (d)中經熱處理之光阻塗膜之存在 1 1 t 而 僅 除 去 尚 未 充 分 地曝 光 之 功 能塗膜之未固化 1 I 請 1 I 部 分 f 先 閲 讀 背 1 (h) 僅 除 去 在 步 驟 (d)中經熱處理過之光阻塗膜， 和 ! 面 I (i) 將 經 由 步 驟 U)至（h)之順序所獲得之基質.利用 之 注 旁 1 在 基 質 上 之 線 路 作 為 一電 極 進 行 電澱積，並在線 項 1 I 再 1 1 路 上 之 窗 形 部 分 形 成 電澱 積 塗 膜 〇 寫 本 2 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 製法 I 其 中 在步驟（a )中 之 頁 '—^ 1 | 光阻塗膜之形成是藉由在 至 100t下為期5至 60 1 1 1 分 鐘 之 熱 處 理 來 進 行 〇 1 1 3 ·如 电 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 製法 1 其 中 在步驟（b )中 之 1 訂 曝 光 是 在 曝 光 量 為 1 0至 5 0 0毫焦耳/平方公分下進 行。 1 I 4 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 製法 > 其 中 在步驟（C)中 之 1 1 Ϊ 顯 影 是 利 用 一 種 選 自 苛 性 鈉、 m 酸 納 、第四銨鹽或有 1 1 機 胺 類 % 和 有 機 溶 劑 之 水 性鹼 溶 液 顯 影劑來進行。 1 5 ·如 串 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 製法 其 中 在步驟（d)中 之 1 I 熱 處 理 是 在 120¾ 至 300°C 下進 行 為 期 1 5分鐘至2小 時。 1 | 6 ·如 串 諳 專 利 範 圍 第 1 項 之 製法 > 其 中 在步驟（e )中 之 1 1 功 能 塗 膜 之 形 成 是 藉 由在6010 至 120C下為期1至 30 1 1 分 鐘 之 熱 處 理 來 進 行 〇 1 | 7 ·如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 製法 f 其 中 包含於在步驟（e ) 1 1 中 所 使 用 之 負 型 光 阻 組 成 物中 之 賦 予 功能之添加劑是 1 1 -2- - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 選自光屏蔽顔料和光屏蔽劑之至少一組份。 8. 如申請專利範圍第1項之製法，其中在步驟（f)中之 曝光是利用一種紫外光射線在曝光量為100至2,000毫 焦耳/平方公分下進行。 9. 如申請專利範圍第1項之製法，其中在步驟（g)中之 未固化功能塗膜之除去是利用一種選自苛性鈉、碩酸 納、第四銨鹽或有機胺類、和有機溶劑之水性齡溶液 顯影劑來進行。 10. 如申請專利範圍第1項之製法，其中在步驟（h)中 之光阻塗膜之除去是利用一種選自苛性鈉、碩酸鈉、 第四銨鹽或有機胺類、和有機溶劑之剝離劑來進行。 11. 如申請專利範圍第1項之製法，其中在步驟（ί)中 之電澱積是藉由施用一種直流電壓為10至3 0 0伏特為 期約1秒至約3分鐘來進行。 12. 如申請專利範圍第1項之製法，其中電澱積膜是一 種著色之彩色塗膜和功能塗膜具有作用如同彩色濾光 Η之黑矩陣之功能。 13. —種依申請專利範圍第1項之製法所形成之基質。 14. 一種液晶顯示器用彩色濾光Η之製法，偽包括使用 藉由申謓專利範圍第1項之方法所製得之基質。 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210Χ297公釐） (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ