TW202534002A - 具有供流體進入之氣體擴散裝置的基板容器 - Google Patents

Abstract

一種基板容器，包含一外殼及至少一氣體擴散裝置。該外殼包括一殼體，及至少一固持組件，該殼體具有一頂壁、一底壁，及連接於該頂壁與該底壁間的一連接壁，該殼體形成有一容置空間，及至少一入氣孔，該容置空間具有一前開口，該固持組件設置於該殼體的該連接壁且位於該容置空間內，該固持組件具有兩個側臂。該氣體擴散裝置設置於該容置空間並包括一支架，該支架具有被該等側臂所夾持的一架體，及連接於該入氣孔的一連接部。藉由該等側臂、該等架體、該等連接部及該等入氣孔，使得該等氣體擴散裝置能穩固組裝於該外殼並提升組裝拆卸便利性。

Description

具有供流體進入之氣體擴散裝置的基板容器

本發明是有關於基板容器，特別是指一種具有流體氣體擴散裝置的基板容器。

用於半導體製程的基板(例如為半導體晶體圓形片，簡稱為晶圓)需要待在高潔淨度的環境中，因此用於運輸或存放基板的基板容器，除了防撞外，同時要能夠避免基板受外在空氣汙染。

現今半導體產業中，為了維持基板的潔淨度，避免其因為空氣中的微粒、水氣或其他雜質而遭受汙染，所以常會在基板容器的一殼體設置多個氣體擴散裝置。該等氣體擴散裝置用以使潔淨乾燥空氣(Clean Dry Air，簡稱CDA)均勻地進入該殼體內，以替換該殼體內的氣體。該殼體具有一供該等氣體擴散裝置插置的底部，及由該底部向下延伸並分別鄰近該等氣體擴散裝置的多個環形側壁。每一個該環形側壁與一供CDA進入的進氣模組共同界定出一氣室，該氣室能藉由該進氣模組對外連通並連通對應的該氣體擴散裝置內部。一底盤組裝於該殼體的該底部，用以將該進氣模組保持在該安裝空間。

然而，該等氣體擴散裝置組裝於該殼體內時存在有易晃動不穩固、組裝拆卸不方便，以及容易在運作時與該殼體分離等問題。且在現有的技術中，每一個該進氣模組的安裝組件非常多，導致組裝不易、CDA進入該氣室後氣密度容易不穩定、零件易損毀。再者，該殼體的該環形側壁、該進氣模組以及該底盤之間的組裝方式，使得該基板容器整體的厚度厚且體積大，易佔據空間。此外，該底盤需同時與該等進氣模組相配合的方式，使得該底盤的體積大耗費製造材料，從而增加了該基板容器的製造成本。

因此，本發明之其中一目的，即在提供一種能夠克服先前技術的至少一個缺點的基板容器。

於是，本發明基板容器包含一外殼及至少一氣體擴散裝置。該外殼包括一殼體，及至少一固持組件，該殼體具有一頂壁、一底壁，及連接於該頂壁與該底壁間的一連接壁，該殼體形成有一容置空間，及至少一入氣孔，該容置空間具有一前開口，該固持組件設置於該殼體的該連接壁且位於該容置空間內，該固持組件具有兩個側臂。該氣體擴散裝置設置於該容置空間並包括一支架，該支架具有被該等側臂所夾持的一架體，及連接於該入氣孔的一連接部。

在一些實施態樣中，該固持組件還具有位於該等側臂之間的一第一卡扣件，該支架還具有卡扣於該第一卡扣件的至少一第二卡扣件。

在一些實施態樣中，該第一卡扣件具有擋止該架體的一卡扣臂，該第一卡扣件形成有位於該卡扣臂後側的至少一溝槽，該第二卡扣件具有抵止於該卡扣臂頂端的一臂部，及凸設於該臂部後端的一後鉤部，該後鉤部嵌入該溝槽且卡扣於該卡扣臂。

在一些實施態樣中，該卡扣臂具有一前斜面，該後鉤部具有用以接觸該前斜面的一後斜面，該前斜面設置成用以頂推該後斜面以促使該臂部彎折變形進而使該後鉤部能卡扣於該卡扣臂。

在一些實施態樣中，該架體具有一底壁，及相反於該底壁的一頂壁，該支架還具有設置於該頂壁且頂抵於該殼體的至少一彈性頂抵件。

在一些實施態樣中，每一個該側臂具有擋止該架體一側的一側臂部，及凸設於該側臂部前端且卡扣於該架體的一前鉤部。

在一些實施態樣中，該固持組件還具有一連接架，及一固持架，該連接架一體地連接於該殼體的該連接壁，該固持架具有該等側臂，及連接於該等側臂的一背架體，該背架體連接於該連接架。

在一些實施態樣中，該架體具有一底壁，及相反於該底壁的一頂壁，該連接部是由該架體的該底壁朝下凸伸且插置於該入氣孔的一圍繞壁。

在一些實施態樣中，該架體具有一底壁，及相反於該底壁的一頂壁，該連接部是由該殼體的該底壁朝上凸伸並插置於該架體的該底壁的一圍繞壁。

在一些實施態樣中，該氣體擴散裝置還包括套設於該圍繞壁且被該殼體及該架體的該底壁夾持的一彈性密封環。

在一些實施態樣中，該彈性頂抵件具有由該架體的該頂壁朝上凸伸的一凸頂臂，及形成於該凸頂臂頂端且頂抵於該殼體的一彈性頂抵臂。

在一些實施態樣中，該彈性頂抵臂具有由該凸頂臂頂端橫向延伸而出的一彈臂段，及由該彈臂段頂端朝上凸伸且頂抵於該殼體的一頂抵段。

在一些實施態樣中，該支架還具有由該架體的該底壁朝上凸伸的一限位凸部，該氣體擴散裝置還包括設置於該架體的該底壁與該架體的該頂壁之間的一多孔性管，該多孔性管卡合於該限位凸部。

在一些實施態樣中，該支架還具有設置於該架體的該頂壁的一扣鉤，該多孔性管被該扣鉤卡扣。

在一些實施態樣中，該支架為一體成型方式所製成的單一構件。

在一些實施態樣中，該架體具有一前殼，及接合於該前殼後側的一後殼，該前殼形成有多個前出風口，該後殼形成有多個後出風口，該氣體擴散裝置還包括設置於該前殼內側且對應該等前出風口的一前過濾膜，及設置於該後殼內側且對應該等後出風口的一後過濾膜。

在一些實施態樣中，該固持組件還具有一連接架，及一固持架，該連接架一體地連接於該殼體的該連接壁，該固持架具有該等側臂，及連接於該等側臂的一背架體，該背架體連接於該連接架，該等側臂前端邊緣所連成的一面與該連接壁供該連接架連接的一面的夾角為一特定角度，以使該氣體擴散裝置朝向該容置空間的中心。

在一些實施態樣中，該支架為一體成型方式所製成的單一構件。

本發明之另一目的，即在提供一種能夠克服先前技術的至少一個缺點的基板容器。

於是，本發明基板容器包含一外殼及至少一氣體擴散裝置。該外殼包括一殼體，及至少一固持組件，該殼體具有一頂壁、一底壁，及連接於該頂壁與該底壁間的一連接壁，該殼體形成有一容置空間，及至少一入氣孔，該容置空間具有一前開口，該固持組件設置於該殼體且位於該容置空間內，該固持組件具有一第一卡扣件。該氣體擴散裝置，設置於該容置空間並包括一支架，該支架具有連接於該入氣孔的一連接部，及卡扣於該第一卡扣件的至少一第二卡扣件。

本發明之再一目的，即在提供一種能夠克服先前技術的至少一個缺點的基板容器。

於是，本發明基板容器包一殼體、至少一外蓋，及至少一進氣閥模組。該殼體具有一頂壁、一底壁，及連接於該頂壁與該底壁間的一連接壁，該殼體形成有一容置空間，該容置空間具有一前開口，該底壁向內凹陷形成有至少一凹槽，該底壁形成有至少一連通於該凹槽的入氣孔。該外蓋接合於該底壁並與該底壁共同界定出連通於該入氣孔的一氣室，該外蓋形成有連通於該氣室的一進氣孔。該進氣閥模組設置於該外蓋且對應於該進氣孔並通過該進氣孔對該氣室進氣。

在一些實施態樣中，該底壁具有一外壁面、連接該外壁面且圍繞該外蓋的一內縮圍壁體，及連接於該內縮圍壁體相反於該外壁面的一端且與該外壁面相間隔的一內壁體，該內壁體形成有該入氣孔，該外蓋與該內壁體相間隔，該進氣孔垂直投影至該內壁體的位置與該入氣孔的位置不重疊。

在一些實施態樣中，該殼體為一體成型方式所製成的單一構件。

在一些實施態樣中，該底壁具有一外壁面、連接該外壁面且圍繞該外蓋的一內縮圍壁體，及連接於該內縮圍壁體相反於該外壁面的一端且與該外壁面相間隔的一內壁體，該內縮圍壁體與該內壁體共同界定出該凹槽，該內壁體形成有該入氣孔。

在一些實施態樣中，該基板容器還包含位於該底壁與該外蓋之間的一密封環。

在一些實施態樣中，該底壁具有一外壁面，及連接該外壁面且圍繞該外蓋的一內縮圍壁體，該密封環設置於該凹槽。

在一些實施態樣中，該內縮圍壁體具有供該密封環抵貼的一環形肩面，該環形肩面與該外蓋共同夾持該密封環。

在一些實施態樣中，該內縮圍壁體還具有連接於該外壁面與該環形肩面之間且圍繞該外蓋的一環形圍繞面。

在一些實施態樣中，該外蓋具有被該內縮圍壁體所圍繞且界定出該進氣孔的一蓋板，及凸設於該蓋板一側且圍繞該進氣孔的一環形迫緊凸肋，該環形迫緊凸肋迫緊接觸該密封環。

在一些實施態樣中，該環形肩面形成有多個螺孔，該基板容器還包含穿設於該外蓋及該密封環且分別螺鎖於該等螺孔的多個螺絲。

在一些實施態樣中，該底壁具有一外壁面，該外壁面向內凹陷形成該凹槽，該外蓋具有一外蓋面，且該外蓋面與該底壁的該外壁面為同平面。

在一些實施態樣中，該至少一進氣閥模組包括一逆止閥。

在一些實施態樣中，該至少一進氣閥模組還包括一連接於該外蓋的中通管件，及一組裝於該中通管件的底座，該逆止閥安裝於該底座內。

在一些實施態樣中，該至少一進氣閥模組還包括一連接於該外蓋的中通管件，及一組裝於該中通管件的底座，該逆止閥安裝於該中通管件內。

本發明具有以下功效：藉由該外殼的該固持組件的該等側臂與該氣體擴散裝置的該支架的該架體相配合，以及搭配該外殼的該入氣孔與該支架的該連接部相配合，使得該氣體擴散裝置能穩固組裝於該外殼，且能提升該氣體擴散裝置組裝及拆卸的便利性。另外，藉由該外殼的該固持組件的該第一卡扣件與該氣體擴散裝置的該支架的該第二卡扣件相配合，以及搭配該外殼的該入氣孔與該支架的該連接部相配合，使得該氣體擴散裝置能穩固組裝於該外殼，且能提升該氣體擴散裝置組裝及拆卸的便利性。再者，藉由該等凹槽、該等入氣孔、該等外蓋、該等進氣孔，及該等進氣閥模組，該等氣室能位於該底壁內，能降低安裝複雜度、提升氣密度的穩定性及延長使用壽命，且不需要再多設置一個底板就能界定出該等氣室，能減少該基板容器的體積，同時降低該基板容器的製造成本。

在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖1、圖2及圖3，本發明基板容器100的一第一實施例，該基板容器100為一前開式晶圓傳送盒(FOUP)。該基板容器100包含一外殼10、兩個氣體擴散裝置20、兩個密封環4、兩個外蓋6、多個螺絲7，及兩個進氣閥模組8。

該外殼10包括一殼體1，及兩個固持組件2。該殼體1具有一頂壁11、一底壁13、一連接於該頂壁11與該底壁13間的連接壁12。該頂壁11、該底壁13與該連接壁12共同界定出一容置空間14。該底壁13形成有兩個貫穿的入氣孔139。該容置空間14具有一前開口141。

參閱圖4，該底壁13向內凹陷形成有兩個凹槽132，該底壁13形成有兩個分別連通於該等凹槽132的入氣孔139。詳細的說，該底壁13具有一外壁面131、連接該外壁面131的兩個內縮圍壁體134、分別連接於該等內縮圍壁體134相反於該外壁面131的一端且與該外壁面131相間隔的兩個內壁體135。每一個該內壁體135形成有對應的該入氣孔139。每一個該內縮圍壁體134與對應的該內壁體135共同界定出對應的該凹槽132。

每一個該內縮圍壁體134具有一環形肩面136，及連接於該外壁面131與該環形肩面136之間的一環形圍繞面137。每一個該環形肩面136形成有多個螺孔138。

參閱圖1及圖4，該殼體1為一體成型方式所製成的單一構件，該殼體1以塑料通過如射出成型的一體成型方式所製成。也就是說，該頂壁11、該連接壁12、該底壁13(該底壁13包含該外壁面131、該等內縮圍壁體134及該等內壁體135)為一體成型方式所製成的單一構件。

參閱圖2、圖5及圖6，每一個該固持組件2設置於該殼體1的該連接壁12且位於該容置空間14內。每一個該固持組件2具有一連接架21及一固持架22。在本第一實施例中，該連接架21與該殼體1例如透過射出成型的方式一同成型而出。該連接架21形成有一環形凹槽211。該固持架22具有兩個側臂23、位於該等側臂23之間的一第一卡扣件24，及連接於該等側臂23與該第一卡扣件24的一背架體25。該背架體25具有一背板251，及一環形周壁252。該背板251連接於該等側臂23與該第一卡扣件24之間。該環形周壁252凸設於該背板251背面且嵌合於該環形凹槽211內，該背架體25的該環形周壁252例如通過超音波熔接的方式固定地連接於該連接架21。在另一些實施態樣中，每一個該環形周壁252也可以是能拆裝地緊配於對應的該環形凹槽211內，使得該固持架22能拆裝地設置於對應的該連接架21。

每一個該側臂23具有連接於該背板251的一側臂部231，及凸設於該側臂部231前端的一前鉤部232。該第一卡扣件24具有一連接板240、一凸伸臂241，及一卡扣臂242。該連接板240一體地連接於該背板251前端面且與該背板251頂端切齊。該凸伸臂241由該連接板240前端朝前凸伸。該卡扣臂242連接於該凸伸臂241前端且凸伸出該凸伸臂241的左右側。該第一卡扣件24的該連接板240、該凸伸臂241及該卡扣臂242共同形成有位於該卡扣臂242後側且左右相間隔的兩個溝槽243。該卡扣臂242具有一前斜面244。

參閱圖1、圖7及圖8，每一個該氣體擴散裝置20設置於該容置空間14並包括一支架3、一彈性密封環321，及一多孔性管5。

參閱圖5、圖6、圖8及圖9，該支架3為例如通過射出成型的一體成型方式所製成的單一構件。該支架3具有用以供該等側臂23夾持的一架體31、用以連接於對應的該入氣孔139的一連接部32、用以卡扣於對應的該第一卡扣件24並相間隔的兩個第二卡扣件33、兩個彈性頂抵件34、一限位凸部35，及兩個扣鉤36。

該架體31具有一框件310、連接於該框件310底端的一底壁311，及連接於該框件310頂端且相反於該底壁311的一頂壁312。該連接部32是由該底壁311底面朝下凸伸且插置於對應的該入氣孔139的一圍繞壁。

每一個該第二卡扣件33具有用以抵止於對應的該卡扣臂242頂端的一臂部331，及凸設於該臂部331後端的一後鉤部332。該後鉤部332用以嵌入對應的該溝槽243以卡扣於對應的該卡扣臂242。該後鉤部332具有用以接觸對應的該前斜面244的一後斜面333。

參閱圖6、圖8及圖10，該等彈性頂抵件34相間隔地設置於該頂壁312且頂抵於該殼體1的該頂壁11。每一個該彈性頂抵件34具有由該頂壁312朝上凸伸的一凸頂臂341，及形成於該凸頂臂341頂端且頂抵於該殼體1的該頂壁11的一彈性頂抵臂342。該彈性頂抵臂342具有由該凸頂臂341頂端橫向延伸而出的一彈臂段343，及由該彈臂段343頂端朝上凸伸且頂抵於該殼體1的該頂壁11的一頂抵段344。

該限位凸部35由該底壁311頂面朝上凸伸。該等扣鉤36相間隔設置於該頂壁312。該架體31的該頂壁312具有一前緣315。該頂壁312於每一個該扣鉤36處形成有自該前緣315向內凹陷且分別位於該扣鉤36兩側的兩個狹縫316，使得該扣鉤36具有彈性地連接於該頂壁312並能卡扣該多孔性管5。藉由該等狹縫316的設計，使得該扣鉤36不需凸伸出該頂壁312便能彈性地連接於該頂壁312。藉此，能避免該扣鉤36阻擋在對應的該彈性頂抵件34受壓變形時的移動路徑上。

參閱圖9及圖11，該彈性密封環321為例如由橡膠或矽膠等彈性材質所製成的一O形環。該彈性密封環321套設於該支架3的該連接部32且被該殼體1的該底壁13及該架體31的該底壁311夾持。藉此，使得該底壁13與該支架3之間能維持良好的氣密狀態以防止氣體洩漏。

參閱圖4，每一個該密封環4例如由橡膠或矽膠等彈性材質所製成並呈環片狀。每一個該密封環4設置於對應的該凹槽132內且抵貼於對應的該環形肩面136。每一個該密封環4形成有分別連通於該等螺孔138的多個穿孔41。

參閱圖7及圖8，該多孔性管5設置於該架體31的該底壁311與該頂壁312之間。該多孔性管5卡合於該支架3的該限位凸部35且被該等扣鉤36卡扣，使得該多孔性管5能穩固組裝固定於該支架3。使用者欲將該多孔性管5組裝於該支架3時，先將該多孔性管5傾斜地卡合於該限位凸部35。隨後，將每一個該扣鉤36往上扳使其向上彎曲變形並蓄積復位彈力。接著，將該多孔性管5朝該框件310轉動，使該多孔性管5移動至該頂壁312下方。最後，釋放每一個該扣鉤36，使每一個該扣鉤36藉由蓄積的復位彈力回彈而自動地卡扣於該多孔性管5前端，從而完成該多孔性管5的組裝。使用者欲將該多孔性管5自對應的該支架3拆卸時，僅需將該等扣鉤36向上扳動使該等扣鉤36脫離該多孔性管5，再將該多孔性管5上端部向前轉動使其移離該頂壁312。最後將該多孔性管5往上移使其與該限位凸部35分離，即完成該多孔性管5的拆卸。藉此，能提升該多孔性管5組裝及拆卸的便利性。

該等側臂23的該等前鉤部232前端邊緣所連成的一面與該連接壁12供該連接架21連接的一面的夾角為一特定角度，以使該氣體擴散裝置20朝向該容置空間14的中心。詳細的說，該特定角度為0°至45°，更佳為5°至30°，最佳為7°至20°，該等前鉤部232前端邊緣所連成的一面與該連接壁12供該連接架21連接的一面的夾角介於7°至20°，使該等側臂23所夾持的該架體31相較於該連接壁12供該連接架21連接的一面朝該容置空間14的中心轉向7°至20°，進而使得卡合於該支架3的該多孔性管5的擴散面朝該容置空間14的中心，以均勻地將潔淨乾燥空氣(Clean Dry Air，簡稱CDA)擴散至該容置空間14。

需說明的是，該連接部32也可以是由該殼體1的該底壁13朝上凸伸並插置於該架體31的該底壁311的一氣孔(圖未示)的一圍繞壁，該圍繞壁界定出該入氣孔139，只要能使CDA藉由該連接部32進入對應的該多孔性管5內，該連接部32連接的位置並不以本實施例為限。

參閱圖4、圖12及圖13，每一個該外蓋6接合於該底壁13且至少一部分嵌入對應的該凹槽132內。每一個該外蓋6與該底壁13共同界定出連通於對應的該入氣孔139的一氣室133，且每一個該外蓋6形成有連通於對應的該氣室133的一進氣孔61。詳細的說，每一個該外蓋6被對應的該內縮圍壁體134的該環形圍繞面137所圍繞並與對應的該內壁體135相間隔。每一個該外蓋6具有一蓋板62，及一環形迫緊凸肋63。該蓋板62具有一板體621，及形成該板體621的一筒體622。該板體621具有一內蓋面623，及相反於該內蓋面623的一外蓋面624。該筒體622具有連接於該板體621且凸伸出該內蓋面623與該外蓋面624的一圍壁625，及連接於該圍壁625內端且位於該內蓋面623內側的一端壁626。該圍壁625形成有一螺孔627。該端壁626形成有連通於該螺孔627的該進氣孔61。該進氣孔61垂直投影至對應的該內壁體135的位置與該入氣孔139的位置不重疊，使得該進氣孔61偏置於該入氣孔139。該板體621形成有延伸於該內蓋面623與該外蓋面624之間的多個通孔628，該等通孔628分別連通於該等穿孔41。

每一個該環形迫緊凸肋63凸設於對應的該蓋板62的該內蓋面623且圍繞該進氣孔61。該環形迫緊凸肋63迫緊接觸對應的該密封環4。藉此，使得每一個該外蓋6與對應的該環形肩面136共同夾持對應的該密封環4。

參閱圖4，每一個該螺絲7穿設於對應該外蓋6的對應該通孔628及對應該密封環4的對應該穿孔41且螺鎖於對應該螺孔138，藉此，以將該外蓋6及該密封環4鎖固於該底壁13的該環形肩面136。每一個該外蓋6透過該環形迫緊凸肋63緊迫接觸對應的該密封環4，使得每一個該外蓋6與對應的該環形肩面136之間能保持良好的密封狀態，能防止該氣室133內的CDA經由該底壁13與該外蓋6間的空隙洩漏。藉由該螺絲7將對應該外蓋6及對應該密封環4螺鎖於對應該環形肩面136，即能達成密封效果，以降低該等外蓋6的組裝複雜度。

需說明的是，該等外蓋6與該底壁13的固定方式不以本實施例為限，也能使用超音波融合方式將該等外蓋6與該底壁13接合在一起，此種實施態樣並不需要具有該等螺絲7及該等密封環4。

參閱圖1及圖13，藉由該底壁13凹陷形成該凹槽132，以及該外蓋6至少一部分嵌入該凹槽132內，能降低該外蓋6組裝於該底壁13後的整體厚度。具體而言，在本實施例中，每一個該外蓋6的該外蓋面624與該底壁13的該外壁面131為同平面，能有效降低該外蓋6組裝於該底壁13後的整體厚度。

參閱圖4及圖13，每一個該多孔性管5位於該容置空間14內。每一個該多孔性管5包括一插接於對應的該入氣孔139的連接部32。每一個該多孔性管5連通於該容置空間14與對應的該氣室133間。

參閱圖13及圖14，每一個該進氣閥模組8設置於對應的該外蓋6且對應於該進氣孔61並通過該進氣孔61對對應的該氣室133進氣。詳細的說，每一個該進氣閥模組8包括一逆止閥82、一螺接於對應的該外蓋6的該螺孔627的中通管件81，及一組裝於該中通管件81的底座83。該逆止閥82安裝於該底座83內。該底座83為一彈性體但不以此為限。該底座83形成有一對接孔831。該對接孔831與供應CDA的一流體輸送裝置(圖未示，例如為FOUP Load Port Smart SELOP-7-N系列，但不以此為限)連接，該流體輸送裝置產生的CDA經由該逆止閥82、該中通管件81及該進氣孔61流入該氣室133內。藉由每一個該外蓋6的該進氣孔61垂直投影至對應的該內壁體135的位置與對應的該入氣孔139的位置不重疊，使CDA能於該等氣室133均勻流動後再分別進入該等多孔性管5，以避免進入多孔性管5的氣流不穩定。每一個該多孔性管5能使CDA均勻地進入該容置空間14，使得CDA能在該容置空間14內均勻分佈。

參閱圖6、圖9、圖10及圖11，使用者欲將每一個該氣體擴散裝置20組裝於該外殼10時，先將套設有對應的該彈性密封環321的該連接部32傾斜地插置於對應的該入氣孔139。隨後，將該氣體擴散裝置20朝對應的該固持組件2的該固持架22轉動。由於每一個該卡扣臂242的該前斜面244設置成用以頂推對應的該第二卡扣件33的該後斜面333以促使對應的該臂部331彎折變形進而使該後鉤部332能卡扣於該卡扣臂242，因此，當每一個該卡扣臂242的該前斜面244接觸對應的該第二卡扣件33的該後斜面333時，該前斜面244施予該後斜面333的分力會促使該臂部331向上彎折變形並蓄積復位彈力。當每一個該第二卡扣件33的該後鉤部332越過該卡扣臂242且對齊於對應的該溝槽243時，該臂部331蓄積的彈力會將該後鉤部332回彈，使得該臂部331抵止於該卡扣臂242頂端，以及該後鉤部332嵌入對應的該溝槽243並卡扣於對應的該卡扣臂242，使得每一個該第二卡扣件33卡扣於對應的該第一卡扣件24。

此時，該卡扣臂242擋止該架體31的該框件310以防止該氣體擴散裝置20向後移動。每一個該側臂23的該側臂部231擋止於該架體31的該框件310一側，使得該等側臂23的該等側臂部231共同夾持住該框件310，以防止該氣體擴散裝置20左右晃動。每一個該側臂23的該前鉤部232卡扣於該架體31的該框件310前端以防止該氣體擴散裝置20向前移動。每一個該彈性頂抵件34的該頂抵段344接觸該殼體1的該頂壁11底面並且被該頂壁11擠壓，使得該彈臂段343相對於該凸頂臂341向下彎折變形並蓄積復位彈力。藉此，每一個該彈性頂抵件34的該頂抵段344能施加彈力地頂抵於該頂壁11底面，以使該架體31的該底壁311將該彈性密封環321朝該殼體1的該底壁13迫緊，該底壁311便能與該底壁13緊密地夾持住該彈性密封環321以保持良好的氣密狀態。於是，能達成將每一個該氣體擴散裝置20穩固組裝於該外殼10的效果。

使用者欲將每一個該氣體擴散裝置20拆卸時，先將對應的該側臂23該前鉤部232向外扳動使其與該架體31的該框件310分離。隨後，通過該框件310將該等後鉤部332往上頂使其分別移離該等溝槽243。此時，即能將該支架3拆離該外殼10。最後，將該多孔性管5依前述方式拆離該支架3。藉此，能提升該氣體擴散裝置20組裝及拆卸的便利性。

在使用該基板容器100時，使用者將該流體輸送裝置連接至該等進氣閥模組8並開啟該流體輸送裝置，該流體輸送裝置持續將CDA自該等進氣閥模組8分別輸送至該等氣室133，CDA在該等氣室133均勻地流動並分別經由該等連接部32平穩地進入該等多孔性管5內，再經由該等多孔性管5均勻地擴散至該容置空間14。

參閱圖15，在該第一實施例的另一些實施態樣中，該逆止閥82安裝於該中通管件81內。

在該第一實施例的另一些實施態樣中，每一個該內縮圍壁體134並不具有該環形肩面136及該環形圍繞面137，該內縮圍壁體134自該外壁面131凹陷並直接連接該內壁體135。每一個該蓋板62具有一自該內蓋面623周緣部向對應的該內壁體135凸出的抵頂壁(圖未示)，該等通孔628自該外蓋面624貫穿該板體621及該抵頂壁，且該等螺絲7的長度能分別自該外蓋面624螺鎖至該等螺孔138。該進氣孔61垂直投影至對應的該內壁體135的位置與該入氣孔139的位置不重疊。

參閱圖16，本發明基板容器100的一第二實施例，其整體結構大致與該第一實施例相同，差異處在於每一個該氣體擴散裝置20還包括一前過濾膜51，及一後過濾膜52。該支架3的該架體31具有一前殼313，及接合於該前殼313後側的一後殼314。該前殼313形成有多個前出風口317。該後殼314形成有多個後出風口318。該前過濾膜51設置於對應的該前殼313內側且對應該等前出風口317。該後過濾膜52設置於對應的該後殼314內側且對應該等後出風口318。該前殼313與該後殼314共同界定出該底壁311與該頂壁312。

參閱圖17，本發明基板容器100的一第三實施例，其整體結構大致與該第一實施例相同，差異處在於每一個該外蓋6的該蓋板62部分凸伸出該底壁13的該外壁面131，每一個該外蓋6的該外蓋面624與該底壁13的該外壁面131不同平面，且該等螺絲7的長度能分別自該外蓋面624螺鎖至該等螺孔138。

參閱圖18，在該第三實施例的另一些實施態樣中，該逆止閥82安裝於該中通管件81內。

在該第三實施例的另一些實施態樣中，每一個該內縮圍壁體134並不具有該環形肩面136及該環形圍繞面137，該內縮圍壁體134自該外壁面131凹陷並直接連接該內壁體135。每一個該板體621直接連接於該外壁面131位於對應的該凹槽132周圍處，該外蓋6與該外壁面131共同夾持對應的該密封環4，每一個該螺孔138形成於該外壁面131對應該通孔628處。詳細的說，該外蓋6的該板體621及該環形迫緊凸肋63與該外壁面131共同夾持對應的該密封環4。

在該第三實施例的另一些實施態樣中，每一個該內縮圍壁體134並不具有該環形肩面136及該環形圍繞面137，該內縮圍壁體134自該外壁面131凹陷並直接連接該內壁體135。每一個該蓋板62具有一自該內蓋面623周緣部向對應的該內壁體135凸出的抵頂壁(圖未示)，該等通孔628自該外蓋面624貫穿該板體621及該抵頂壁。該進氣孔61垂直投影至對應的該內壁體135的位置與該入氣孔139的位置不重疊。

需再次強調的是，本發明的該等外蓋6與該底壁13的固定方式不以上述實施例為限，也能使用超音波融合方式將該等外蓋6與該底壁13接合在一起，此種實施態樣並不需要具有該等螺絲7及該等密封環4。

綜上所述，藉由該外殼10的該固持組件2的該等側臂23與該氣體擴散裝置20的該支架3的該架體31相配合，以及搭配該外殼10的該入氣孔139與該支架3的該連接部32相配合，使得該氣體擴散裝置20能穩固組裝於該外殼10，且能提升該氣體擴散裝置20組裝及拆卸的便利性，故確實能達成本發明的目的。另外，藉由該外殼10的該固持組件2的該第一卡扣件24與該氣體擴散裝置20的該支架3的該第二卡扣件33相配合，以及搭配該外殼10的該入氣孔139與該支架3的該連接部32相配合，使得該氣體擴散裝置20能穩固組裝於該外殼10，且能提升該氣體擴散裝置20組裝及拆卸的便利性。再者，藉由該等凹槽132、該等入氣孔139、該等外蓋6、該等進氣孔61，及該等進氣閥模組8，該等氣室133能位於該底壁13內，能降低安裝複雜度、提升氣密度的穩定性及延長使用壽命，且不需要再多設置一個底板(圖未示)就能界定出該等氣室133，能減少該基板容器100的體積，同時降低該基板容器100的製造成本。

惟以上所述者，僅為本發明的實施例而已，當不能以此限定本發明實施的範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋的範圍內。

100:基板容器 10:外殼 1:殼體 11:頂壁 12:連接壁 13:底壁 131:外壁面 132:凹槽 133:氣室 134:內縮圍壁體 135:內壁體 136:環形肩面 137:環形圍繞面 138:螺孔 139:入氣孔 14:容置空間 141:前開口 2:固持組件 21:連接架 211:環形凹槽 22:固持架 23:側臂 231:側臂部 232:前鉤部 24:第一卡扣件 240:連接板 241:凸伸臂 242:卡扣臂 243:溝槽 244:前斜面 25:背架體 251:背板 252:環形周壁 20:氣體擴散裝置 3:支架 31:架體 310:框件 311:底壁 312:頂壁 313:前殼 314:後殼 315:前緣 316:狹縫 317:前出風口 318:後出風口 32:連接部 321:彈性密封環 33:第二卡扣件 331:臂部 332:後鉤部 333:後斜面 34:彈性頂抵件 341:凸頂臂 342:彈性頂抵臂 343:彈臂段 344:頂抵段 35:限位凸部 36:扣鉤 4:密封環 41:穿孔 5:多孔性管 51:前過濾膜 52:後過濾膜 6:外蓋 61:進氣孔 62:蓋板 621:板體 622:筒體 623:內蓋面 624:外蓋面 625:圍壁 626:端壁 627:螺孔 628:通孔 63:環形迫緊凸肋 7:螺絲 8:進氣閥模組 81:中通管件 82:逆止閥 83:底座 831:對接孔

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中： 圖1是本發明基板容器的一第一實施例的一立體圖； 圖2是一立體分解圖，說明該第一實施例的兩個氣體擴散裝置與一外殼之間的組裝關係； 圖3是一局部分解圖，說明該第一實施例的兩個進氣閥模組其一、八個螺絲其四、兩個外蓋其一及兩個密封環其一組裝於該外殼的一殼體的一底壁； 圖4是另一局部分解圖，說明該第一實施例的該底壁向內凹陷形成有兩個凹槽，及兩個入氣孔； 圖5是一局部立體分解圖，說明該第一實施例的該殼體、一固持組件、一支架及一多孔性管之間的組裝關係； 圖6是一局部立體分解圖，說明該第一實施例的該支架與一固持架之間的組裝關係； 圖7是該第一實施例的其中一個該氣體擴散裝置的一立體圖； 圖8是該第一實施例的該氣體擴散裝置的一立體分解圖，說明該多孔性管與該支架之間的組裝關係； 圖9是一局部立體分解圖，說明該第一實施例的一連接部、一彈性密封環及其中一該入氣孔之間的組裝關係； 圖10是一局部剖視圖，說明該第一實施例的該支架的兩個彈性頂抵件頂抵於該殼體的一頂壁，以及該氣體擴散裝置的兩個第二卡扣件卡扣於該固持組件的一第一卡扣件； 圖11是該第一實施例的一局部剖視圖； 圖12是由另一視角觀看的一局部分解圖，說明該第一實施例每一個該外蓋具有一環形迫緊凸肋； 圖13是一局部剖視圖，說明該第一實施例的其中一個該進氣閥模組組裝於對應的該外蓋，且該外蓋及對應的該密封環組裝於該底壁； 圖14是一立體分解圖，說明該第一實施例的其中一個該進氣閥模組的組成； 圖15是該第一實施例另一實施態樣的一局部剖視圖； 圖16是本發明基板容器的一第二實施例的該氣體擴散裝置的一立體分解圖； 圖17是本發明基板容器的一第三實施例的一局部剖視圖；及 圖18是該第三實施例另一實施態樣的一局部剖視圖。

100:基板容器

10:外殼

1:殼體

11:頂壁

12:連接壁

13:底壁

14:容置空間

141:前開口

20:氣體擴散裝置

4:密封環

5:多孔性管

6:外蓋

7:螺絲

8:進氣閥模組

Claims (33)

1. 一種基板容器，包含： 一外殼，包括一殼體，及至少一固持組件，該殼體具有一頂壁、一底壁，及連接於該頂壁與該底壁間的一連接壁，該殼體形成有一容置空間，及至少一入氣孔，該容置空間具有一前開口，該固持組件設置於該殼體的該連接壁且位於該容置空間內，該固持組件具有兩個側臂；及 至少一氣體擴散裝置，設置於該容置空間並包括一支架，該支架具有被該等側臂所夾持的一架體，及連接於該入氣孔的一連接部。
2. 如請求項1所述的基板容器，其中，該固持組件還具有位於該等側臂之間的一第一卡扣件，該支架還具有卡扣於該第一卡扣件的至少一第二卡扣件。
3. 如請求項2所述的基板容器，其中，該第一卡扣件具有擋止該架體的一卡扣臂，該第一卡扣件形成有位於該卡扣臂後側的至少一溝槽，該第二卡扣件具有抵止於該卡扣臂頂端的一臂部，及凸設於該臂部後端的一後鉤部，該後鉤部嵌入該溝槽且卡扣於該卡扣臂。
4. 如請求項3所述的基板容器，其中，該卡扣臂具有一前斜面，該後鉤部具有用以接觸該前斜面的一後斜面，該前斜面設置成用以頂推該後斜面以促使該臂部彎折變形進而使該後鉤部能卡扣於該卡扣臂。
5. 如請求項1所述的基板容器，其中，該架體具有一底壁，及相反於該底壁的一頂壁，該支架還具有設置於該頂壁且頂抵於該殼體的至少一彈性頂抵件。
6. 如請求項1所述的基板容器，其中，每一個該側臂具有擋止該架體一側的一側臂部，及凸設於該側臂部前端且卡扣於該架體的一前鉤部。
7. 如請求項1所述的基板容器，其中，該固持組件還具有一連接架，及一固持架，該連接架一體地連接於該殼體的該連接壁，該固持架具有該等側臂，及連接於該等側臂的一背架體，該背架體連接於該連接架。
8. 如請求項1所述的基板容器，其中，該架體具有一底壁，及相反於該底壁的一頂壁，該連接部是由該架體的該底壁朝下凸伸且插置於該入氣孔的一圍繞壁。
9. 如請求項1所述的基板容器，其中，該架體具有一底壁，及相反於該底壁的一頂壁，該連接部是由該殼體的該底壁朝上凸伸並插置於該架體的該底壁的一圍繞壁。
10. 如請求項8或9任一項所述的基板容器，其中，該氣體擴散裝置還包括套設於該圍繞壁且被該殼體及該架體的該底壁夾持的一彈性密封環。
11. 如請求項5所述的基板容器，其中，該彈性頂抵件具有由該架體的該頂壁朝上凸伸的一凸頂臂，及形成於該凸頂臂頂端且頂抵於該殼體的一彈性頂抵臂。
12. 如請求項11所述的基板容器，其中，該彈性頂抵臂具有由該凸頂臂頂端橫向延伸而出的一彈臂段，及由該彈臂段頂端朝上凸伸且頂抵於該殼體的一頂抵段。
13. 如請求項8或9任一項所述的基板容器，其中，該支架還具有由該架體的該底壁朝上凸伸的一限位凸部，該氣體擴散裝置還包括設置於該架體的該底壁與該架體的該頂壁之間的一多孔性管，該多孔性管卡合於該限位凸部。
14. 如請求項13所述的基板容器，其中，該支架還具有設置於該架體的該頂壁的一扣鉤，該多孔性管被該扣鉤卡扣。
15. 如請求項12所述的基板容器，其中，該支架為一體成型方式所製成的單一構件。
16. 如請求項1所述的基板容器，其中，該架體具有一前殼，及接合於該前殼後側的一後殼，該前殼形成有多個前出風口，該後殼形成有多個後出風口，該氣體擴散裝置還包括設置於該前殼內側且對應該等前出風口的一前過濾膜，及設置於該後殼內側且對應該等後出風口的一後過濾膜。
17. 如請求項1所述的基板容器，其中，該固持組件還具有一連接架，及一固持架，該連接架一體地連接於該殼體的該連接壁，該固持架具有該等側臂，及連接於該等側臂的一背架體，該背架體連接於該連接架，該等側臂前端邊緣所連成的一面與該連接壁供該連接架連接的一面的夾角為一特定角度，以使該氣體擴散裝置朝向該容置空間的中心。
18. 如請求項13所述的基板容器，其中，該支架為一體成型方式所製成的單一構件。
19. 一種基板容器，包含： 一外殼，包括一殼體，及至少一固持組件，該殼體具有一頂壁、一底壁，及連接於該頂壁與該底壁間的一連接壁，該殼體形成有一容置空間，及至少一入氣孔，該容置空間具有一前開口，該固持組件設置於該殼體且位於該容置空間內，該固持組件具有一第一卡扣件；及 至少一氣體擴散裝置，設置於該容置空間並包括一支架，該支架具有連接於該入氣孔的一連接部，及卡扣於該第一卡扣件的至少一第二卡扣件。
20. 一種基板容器，包含： 一殼體，具有一頂壁、一底壁，及連接於該頂壁與該底壁間的一連接壁，該殼體形成有一容置空間，該容置空間具有一前開口，該底壁向內凹陷形成有至少一凹槽，該底壁形成有至少一連通於該凹槽的入氣孔； 至少一外蓋，接合於該底壁並與該底壁共同界定出連通於該入氣孔的一氣室，該外蓋形成有連通於該氣室的一進氣孔；及 至少一進氣閥模組，設置於該外蓋且對應於該進氣孔並通過該進氣孔對該氣室進氣。
21. 如請求項20所述基板容器，其中，該底壁具有一外壁面、連接該外壁面且圍繞該外蓋的一內縮圍壁體，及連接於該內縮圍壁體相反於該外壁面的一端且與該外壁面相間隔的一內壁體，該內壁體形成有該入氣孔，該外蓋與該內壁體相間隔，該進氣孔垂直投影至該內壁體的位置與該入氣孔的位置不重疊。
22. 如請求項20所述基板容器，其中，該殼體為一體成型方式所製成的單一構件。
23. 如請求項20所述基板容器，其中，該底壁具有一外壁面、連接該外壁面且圍繞該外蓋的一內縮圍壁體，及連接於該內縮圍壁體相反於該外壁面的一端且與該外壁面相間隔的一內壁體，該內縮圍壁體與該內壁體共同界定出該凹槽，該內壁體形成有該入氣孔。
24. 如請求項20所述基板容器，還包含位於該底壁與該外蓋之間的一密封環。
25. 如請求項24所述基板容器，其中，該底壁具有一外壁面，及連接該外壁面且圍繞該外蓋的一內縮圍壁體，該密封環設置於該凹槽。
26. 如請求項25所述基板容器，其中，該內縮圍壁體具有供該密封環抵貼的一環形肩面，該環形肩面與該外蓋共同夾持該密封環。
27. 如請求項26所述基板容器，其中，該內縮圍壁體還具有連接於該外壁面與該環形肩面之間且圍繞該外蓋的一環形圍繞面。
28. 如請求項25所述基板容器，其中，該外蓋具有被該內縮圍壁體所圍繞且界定出該進氣孔的一蓋板，及凸設於該蓋板一側且圍繞該進氣孔的一環形迫緊凸肋，該環形迫緊凸肋迫緊接觸該密封環。
29. 如請求項26所述基板容器，其中，該環形肩面形成有多個螺孔，該基板容器還包含穿設於該外蓋及該密封環且分別螺鎖於該等螺孔的多個螺絲。
30. 如請求項20所述基板容器，其中，該底壁具有一外壁面，該外壁面向內凹陷形成該凹槽，該外蓋具有一外蓋面，且該外蓋面與該底壁的該外壁面為同平面。
31. 如請求項20所述基板容器，其中，該至少一進氣閥模組包括一逆止閥。
32. 如請求項31所述基板容器，其中，該至少一進氣閥模組還包括一連接於該外蓋的中通管件，及一組裝於該中通管件的底座，該逆止閥安裝於該底座內。
33. 如請求項31所述基板容器，其中，該至少一進氣閥模組還包括一連接於該外蓋的中通管件，及一組裝於該中通管件的底座，該逆止閥安裝於該中通管件內。