TW202517556A - 精密基板收納容器用固定套件 - Google Patents

Abstract

[課題] 提供一種精密基板收納容器用固定套件，可以與門組件的開閉連動將精密基板收納容器固定或將固定解除，且容易操作。 [技術內容] 具備：轉接托盤(20)，在將精密基板收納容器(1)收納在半導體晶圓收納容器(10)地搬運的情況時使用的套件，用於搭載精密基板收納容器(1)，且被收納於半導體晶圓收納容器(10)的殼體(11)；及左右一對的挾具機構(30)，藉由轉接托盤(20)的前部將挾具片(32)旋轉，而將精密基板收納容器(1)固定；及連動操作機構(40)，被裝設於將半導體晶圓收納容器(10)的殼體(11)的正面開閉用的門組件(16)；連動操作機構(40)，藉由對應殼體(11)對應半導體晶圓收納容器(10)的門組件(16)的開閉將左右一對的挾具機構(30)的挾具片(32)各別旋轉，而將各挾具片(32)對於精密基板收納容器(1)離合。

Description

精密基板收納容器用固定套件

本發明有關於精密基板收納容器用固定套件，在將光柵收納容器等的精密基板收納容器收納在半導體晶圓收納容器地搬運的情況時使用。

FOUP(前開口式通用容器)的半導體晶圓收納容器，被使用於半導體工場，將ϕ300mm的半導體晶圓搬運或保管，將ϕ300mm的半導體晶圓複數枚收納，但是近年來，要求可取代半導體晶圓光罩收納容器和光柵收納容器的收納方式。這是因為在半導體製造的前段步驟會使用光罩和光柵，所以若可以將由光罩收納容器和光柵收納容器所構成的精密基板收納容器收納在半導體晶圓收納容器由OHT(懸掛式搬運系統)等的自動搬運裝置一邊吊持一邊搬運的話，會非常地效率。

但是由矽晶圓等所構成的半導體晶圓及精密基板收納容器因為大小和形狀等不同，所以將精密基板收納容器安全地收納在半導體晶圓收納容器是困難的。鑑於此點，已被檢討提案了將精密基板收納容器安全且確實地收納在半導體晶圓收納容器的手法(參照專利文獻1、2、3)。例如已被檢討提案了，(1)將精密基板收納容器搭載在圓板的轉接托盤由複數固定具固定，將此轉接托盤收納在半導體晶圓收納容器的殼體的方法，(2)將必要數量的精密基板收納容器收容在棚形的收容治具，將此收容治具收納在半導體晶圓收納容器的殼體的方法。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利第5959302號公報 [專利文獻2] 日本專利第5916508號公報 [專利文獻3] 日本專利第7257418號公報

[發明所欲解決之問題] (1)、(2)其中任一的方法的情況，雖皆可以期待優異的效果，但因為有必要將精密基板收納容器搭載在轉接托盤，依序操作複數固定具將精密基板收納容器固定，將轉接托盤收納於半導體晶圓收納容器的殼體，其後，將門組件壓入嵌合於殼體的開口的正面，所以無法削減作業步驟，無法達成作業效率的提高。且(2)的方法的情況時，因為收容治具會大型化，所以可能會阻礙操作。

本發明鑑於上述者，目的為提供一種精密基板收納容器用固定套件，可以與門組件的開閉連動將精密基板收納容器固定或將固定解除，且容易操作。 [用以解決問題之技術手段]

在本發明中為了解決上述課題，將精密基板收納容器收納在半導體晶圓收納容器地搬運的情況時使用者，包含：轉接托盤，將精密基板收納容器搭載，且被收納於半導體晶圓收納容器的殼體；及挾具機構，在該轉接托盤的前部，藉由將挾具片旋轉而將精密基板收納容器固定；及連動操作機構，被安裝於將半導體晶圓收納容器的殼體的正面開閉用的門組件；對應門組件對於半導體晶圓收納容器的殼體的開閉，藉由連動操作機構將挾具機構的挾具片旋轉，而使挾具片對於精密基板收納容器離合。

又，轉接托盤，形成可嵌合於精密基板收納容器的凸緣部的平面大致框形，在此轉接托盤中，形成可將精密基板收納容器的凸緣部支撐的無縫的支撐片也可以。

且挾具機構，包含：被安裝於轉接托盤的前部之固定台座、及被支撐於此固定台座之可旋轉的挾具片，將此挾具片形成大致J字形，在此挾具片的長邊形成可卡止在精密基板收納容器的凸緣部前方的大致L字形的曲柄部，並且在挾具片的短邊形成傾斜立起部，連動操作機構，包含：與半導體晶圓收納容器的門組件的背面相面對地安裝並朝殼體方向延伸的複數突出片、及被架設於此複數突出片之間的第一操作桿、及被架設在複數突出片之間與門組件的背面及第一操作桿之間隔有間隔地配置的第二操作桿，門組件若嵌合地安裝在半導體晶圓收納容器的殼體的情況時，實現：由第一操作桿將挾具片的長邊朝殼體後方推壓的功能、及由第一、第二操作桿將挾具片的傾斜立起部隔有間隔地挾持的功能、及由第二操作桿將挾具片的短邊朝殼體後方推壓將挾具片的曲柄部卡止在精密基板收納容器的凸緣部前方的功能，門組件從半導體晶圓收納容器的殼體被取下的情況時，實現：由第一操作桿將挾具片的短邊朝門組件方向推壓將挾具片的曲柄部從精密基板收納容器的凸緣部前方分開的功能、及由第一操作桿將挾具片的傾斜立起部朝門組件方向推壓的功能、及將挾具片旋轉將挾具片的傾斜立起部從第一、第二操作桿之間後退的功能較佳。

且挾具機構的固定台座，形成可將挾具片自由旋轉地挾持的大致U字形，在此固定台座中，形成將挾具片的曲柄部指向前方的斜上方的姿勢控制部也可以。 且將連動操作機構的第一、第二操作桿各別形成剖面大致圓形，第二操作桿位於第一操作桿的下方也可以。

在此，在申請專利範圍中的精密基板收納容器中，至少包含下部伸出作為凸緣部的光罩收納容器和光柵收納容器等。此精密基板收納容器，不特別限定於單POD型式和多POD型式等。且，半導體晶圓收納容器，較佳是FOUP(前開口式通用容器)型式，不會產生問題的情況時，在運送中被利用的未使用的FOSB型式也可以。挾具機構，是單數也可以，複數也可以。且，在「大致J字形」的用語中，除了J字形以外，也包含與本發明的作用效果不會產生相異點的類似的形狀(大致L字形等)。在「大致L字形」的用語中，除了L字形以外，也包含與本發明的作用效果不會產生相異點的類似的形狀(J字形和逆r字形等)。

在「大致U字形」的用語中，除了U字形以外，也包含與本發明的作用效果不會產生相異點的類似的形狀(倒下C字形、溝形、唇緣溝形等)。且，本發明的精密基板收納容器用固定套件的上下前後左右方向，雖是以圖面為基準的方向，但是可以依據必要適宜變更。進一步，本發明的對象物雖是精密基板收納容器用固定套件，但是其他用途的構成若與本發明的構成相同的話，可轉用精密基板收納容器用固定套件，若可達成本發明的作用效果情況時，其他用途的構成也屬於本發明的技術的範圍。 [發明的效果]

依據本發明的話，具有可以與門組件的開閉連動將精密基板收納容器固定或將固定解除的效果。且，具有可以提供容易操作的精密基板收納容器用固定套件的效果。

依據如請求項2的發明的話，因為將挾具片形成大致J字形，在此挾具片的長邊，形成卡止在精密基板收納容器的凸緣部前方的大致L字形的曲柄部，並且在挾具片的短邊形成傾斜立起部，所以可以由簡易的構成將精密基板收納容器固定，或將固定解除。尤其是，因為傾斜立起部從挾具片的短邊延伸，所以此傾斜立起部及第一操作桿可以確實地接觸，可以將挾具片適切地旋轉。且，可以一邊達成連動操作機構的構成的簡化一邊將精密基板收納容器的固定和其解除及門組件的裝卸連動。

依據如請求項3的發明的話，因為將固定台座，形成將挾具片挾持的大致U字形，所以可以期待挾具片旋轉時的姿勢穩定。且，例如在將門組件取下之後即使挾具片的曲柄部將精密基板收納容器的凸緣部前方固定，因為挾具片可自由旋轉，所以操作挾具片就可以簡單地將曲柄部從精密基板收納容器的凸緣部前方分開。且，因為藉由固定台座的姿勢控制部，挾具機構的挾具片不是由垂直立起的姿勢，而是由朝前方傾斜的姿勢與連動操作機構的第一操作桿接觸，所以成為可將挾具片朝後方推壓並確實地旋轉。此外成為可防止，第一操作桿與挾具片的短邊和傾斜立起部接觸，或門組件的嵌合不完全。

依據請求項4記載的發明的話，因為連動操作機構的第一、第二操作桿不是剖面大致多角形，在周面無角和段差的剖面大致圓形，所以成為可圓滑化挾具片對於第一、第二操作桿的周面的離合。且，因為第二操作桿位於比第一操作桿更下位，所以成為可防止因挾具片的傾斜立起部與第二操作桿接觸而妨害挾具片的旋轉等。

以下，參照圖面說明本發明的較佳實施例的話，本實施方式的精密基板收納容器用固定套件，如圖1至圖8所示，將精密基板收納容器1收納在半導體晶圓收納容器10地搬運的情況時使用的組件，具備：將精密基板收納容器1搭載且被收納於半導體晶圓收納容器10的殼體11的轉接托盤20；及由此轉接托盤20的前部將挾具片32旋轉將精密基板收納容器1固定的左右一對的挾具機構30；及被裝設於半導體晶圓收納容器10的門組件16的挾具機構30用的連動操作機構40。本實施方式可為實現聯合國高峰會通過的永續發展SDGs的目標9做出貢獻。

精密基板收納容器1，如圖1和圖3等所示，本體是收納精密基板的上部開口的重量5kg程度的容器，例如在本體的上部開口被覆嵌合有蓋，本體的下方的凸緣部2在寬度方向前後左右朝外側伸出。具體而言，將精密基板也就是光罩收納的遵從SEMI規格的光罩收納容器、及將精密基板也就是光柵收納的遵從SEMI規格的光柵收納容器的至少其中任一。這些容器的高度，高的型式也可以，低的型式也可以。

半導體晶圓收納容器10，如圖1和圖2、圖7、圖8等所示，原本由迷你環境方式的半導體工場使用的FOUP(前開口式通用容器)型式所構成，具備：可將複數枚的半導體晶圓整列收納的殼體11、及對於此殼體11的開口的正面可裝卸自如地嵌合的門組件16。殼體11，藉由含有規定樹脂的成形材料而成形成正面開口的前開盒，在內部的兩側，原本成對地設有將ϕ300mm的半導體晶圓水平支撐的左右一對的支撐齒12，此左右一對的支撐齒12是上下方向隔有規定間隔地配列。

在殼體11的底板下表面，水平裝設有平面大致Y字形、三角形、多角形等的底板13，在此底板13中，各別裝設有複數定位具，無圖示的半導體加工裝置的定位銷從上方與各定位具嵌合，而具有將半導體晶圓收納容器10高精度地定位的功能。且，在殼體11的頂板的大致中央部，可選擇裝設可裝卸自如地裝設的平面大致矩形的自控式凸緣14，藉由此自控式凸緣14而使殼體11被由無圖示的工場的OHT(懸掛式搬運系統)等所構成的自動搬運裝置吊持。在殼體11的兩側部外面，各別可選擇裝設可裝卸自如地裝設的握持用的操作手把15。

門組件16，具備：門本體17，正面大致矩形，可裝卸自如地壓入嵌合在殼體11的開口的正面；及左右一對的門罩18，被覆於此門本體17的開口的正面兩側部；在門本體17的開口的正面兩側部及左右一對的門罩18之間，設有脫落防止用的上鎖機構19。在與門本體17的殼體11背面相面對的背面的凹陷的中央部，可裝卸自如地裝設有將半導體晶圓的前部周緣由彈性片水平保持的前扣件(無圖示)，但是此前扣件，在使用連動操作機構40的情況時，被取下而不使用。

轉接托盤20，如圖1、圖3、圖5、圖6等所示，若從達成精密基板收納容器1的XY方向的定位和輕量化的觀點，藉由含有規定樹脂的成形材料成形成平面矩形的大致框形的板，可取代半導體晶圓而被殼體11的左右一對的支撐齒12支撐。

成形材料的規定樹脂，雖無特別限定，可舉例例如聚碳酸酯(PC)樹脂、環烯烴聚合物(COP)樹脂、環烯烴共聚物(COC)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂、聚醚醯亞胺(PEI)樹脂、聚醚酮(PEK)樹脂、聚醚乙醚酮(PEEK)樹脂、聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)樹脂、聚縮醛(POM)樹脂、液晶聚合物等的熱可塑性樹脂和這些樹脂的混合物。

轉接托盤20的中央的中空部21，形成平面矩形，基於SEMI規格，被作成可透過些微的間隙地遊嵌或無間隙地密嵌在精密基板收納容器1的凸緣部2的大小。且，在轉接托盤20的背面，位於中空部21的內周面下方的剖面L字形的支撐片22被周設在無縫的平面框形，此支撐片22具有將精密基板收納容器1的凸緣部下表面4支撐的功能。在轉接托盤20的兩側部，各別突出形成沿著轉接托盤20的前後方向延伸的細長的搭載片，各搭載片被支撐搭載於殼體11的支撐齒12。

左右一對的挾具機構30，如圖1、圖3、圖4、圖5、圖6等所示，隔有規定間隔地並列配設在轉接托盤20的前部表面。各挾具機構30，具備：被裝設於轉接托盤20的前部表面的中央附近的固定台座31、及被軸支在此固定台座31的上下方向可自由旋轉的具有段差的挾具片32，這些由與轉接托盤20同樣的成形材料所成形。固定台座31，例如折曲形成透過間隙從左右將挾具片32挾持的正面大致U字形，固定台座31的內底面等的內面形成傾斜面，該傾斜面成為將挾具片32朝前方的下方傾斜的姿勢控制部(參照圖3)。

挾具片32，例如形成上下方向擺動起伏的大致J字形，銷是水平地插通長邊33及短邊35的交界附近，此銷可自由旋轉地軸架在固定台座31的兩側部之間。此挾具片32，在長邊33的端部，一體形成與精密基板收納容器1的凸緣部2前方上面3卡止地定位固定的曲柄部34，在短邊35的端部中，一體形成傾斜地指向門組件16的背面方向的傾斜立起部36。曲柄部34，鑑於測試結果，若從確實卡止的觀點，折曲形成大致L字形，藉由姿勢控制部使挾具片32朝前方傾斜地維持基本姿勢的情況時，挾具片32指向前方的斜上方(參照圖3)。

連動操作機構40如以下動作地構成，如圖2、圖4至圖6等所示，具備：可裝卸自如地裝設於構成門組件16的門本體17的背面中央部之左右一對的縱長安裝桿41、及從此左右一對的縱長安裝桿41朝殼體11方向水平伸長之左右一對的突出片42、及在此左右一對的突出片42的前端部之間被水平架設地提高剛性的第一操作桿44、及被水平架設於左右一對的突出片42之間且隔有間隔地配置於門本體17的背面中央部及第一操作桿44之間的第二操作桿45，這些由與轉接托盤20同樣的成形材料所成形，與門組件16的開閉連動將挾具機構30動作。

在一對的突出片42的相對面，各別被縱長切除成第一、第二操作桿44、45用的複數插入溝43。第一操作桿44，是形成在水平橫方向延伸的剖面圓形的圓柱桿，被架設成比第二操作桿45稍上位。對於此，第二操作桿45，是形成在水平橫方向延伸的剖面圓形的圓柱桿，被架設成比第一操作桿44稍下位，除了可提高連動操作機構40的剛性以外，可防止與挾具片32的傾斜立起部36衝突而導致防礙挾具片32的旋轉。

這種連動操作機構40如以下動作地構成，如圖5和圖6等所示，當門組件16被嵌合安裝在半導體晶圓收納容器10的殼體11的情況時，第一操作桿44將挾具片32的長邊33朝殼體11後方推壓地旋轉，第一、第二操作桿44、45隔有間隔地將挾具片32的傾斜立起部36挾持，其後，第二操作桿45藉由將挾具片32的短邊35朝殼體11後方推壓地旋轉，而將挾具片32的曲柄部34卡止在精密基板收納容器1的凸緣部2前方。

對於此，第一操作桿44如以下動作地構成，當門組件16從半導體晶圓收納容器10的殼體11被拔除取下的情況時，第一操作桿44將挾具片32的短邊35朝門組件16方向推壓地旋轉之後，第一操作桿44將挾具片32的傾斜立起部36朝門組件16方向推壓地旋轉。

在上述構成中，將高度高的精密基板收納容器1收納在半導體晶圓收納容器10地搬運的情況時，首先，在空的殼體11的內部下方的複數支撐齒12之間水平插入轉接托盤20，使此轉接托盤20的一對的搭載片被左右一對的支撐齒12水平支撐，將精密基板收納容器1插入殼體11的內部，其後，將精密基板收納容器1的凸緣部下表面4的周緣直接支撐地定位在轉接托盤20的支撐片22。

接著，將門組件16壓入殼體11的開口的正面，將門組件16由手動作業壓入也可以，由開閉装置自動地壓入也可以。開始將門組件16壓入的話，門組件16的連動操作機構40接近轉接托盤20的挾具機構30(參照圖5(a))，第一操作桿44將挾具片32的長邊33朝殼體11後方推壓(參照圖5(b))，挾具片32旋轉將曲柄部34指向上方，並且將傾斜立起部36上昇(參照圖5(c))。此時，挾具片32因為由不是垂直立起的姿勢，而是由朝前方的下方稍微傾斜的姿勢待機，所以第一操作桿44可以確實地與挾具片32的長邊33接觸地將挾具片32旋轉。

接著，將門組件16漸漸地深深地壓入嵌合的話，挾具片32旋轉將上昇的傾斜立起部36進入連動操作機構40的第一、第二操作桿44、45之間(參照圖5(d))，第二操作桿45將挾具片32的短邊35進一步朝殼體11後方推壓(參照圖5(e))將挾具片32旋轉，藉由此旋轉將挾具片32的曲柄部34卡止在精密基板收納容器1的凸緣部2前方上面3(參照圖5(f))。藉由此卡止，精密基板收納容器1被定位固定在Z方向，因為精密基板收納容器1不會遊動，所以可以將精密基板收納容器1收納在半導體晶圓收納容器10地搬運。

接著，將半導體晶圓收納容器10的門組件16取下將精密基板收納容器1取出的情況時，首先，從殼體11的正面將嵌合狀態的門組件16拔取，將門組件16由手動作業拔取也可以，由開閉装置自動地拔取也可以。開始將門組件16拔除(參照圖6(a))的話，門組件16的連動操作機構40遠離轉接托盤20的挾具機構30，第一操作桿44將挾具片32的短邊35朝門組件16方向推壓(參照圖6(b))，挾具片32旋轉將曲柄部34從精密基板收納容器1的凸緣部2前方上面3朝上方分開(參照圖6(c))。

接著，延續門組件16的拔除將連動操作機構40從轉接托盤20的挾具機構30分離的話，第一操作桿44將挾具片32的傾斜立起部36朝門組件16方向推壓(參照圖6(d))，挾具片32旋轉將曲柄部34指向上方(參照圖6(e))，挾具片32旋轉將傾斜立起部36下降至第一、第二操作桿44、45之間(參照圖6(f))。

此時，傾斜立起部36因為從挾具片32的短邊一邊傾斜一邊伸長，所以第一操作桿44可確實地旋轉並與此傾斜立起部36接觸。藉由傾斜立起部36的下降，因為挾具片32後退至第一、第二操作桿44、45之間並完全地脫落，所以可以將半導體晶圓收納容器10的門組件16取下將精密基板收納容器1取出。

依據上述構成的話，因為將精密基板收納容器1的固定和其解除及門組件16的裝卸連動，所以可以期待作業步驟的削減，可以為作業效率的提高和步驟的自動化做出貢獻。且，因為轉接托盤20和挾具機構30不是大型的棚等，所以不會導致大型化，所以可以消除操作中出現問題的風險。且，因為轉接托盤20是中空的框形，所以可以期待輕量化，可以消除殼體11的支撐齒12等破裂、損傷的風險。且，藉由轉接托盤20的輕量化的實現，就不需擔心吊持半導體晶圓收納容器10用的自動搬運裝置的搬運成為障礙。

且因為挾具片32由朝前方稍微傾斜的姿勢待機，所以可以防止第一操作桿44與挾具片32的短邊35和傾斜立起部36接觸，或門組件16的嵌合不完全(參照圖7)。且，例如在將門組件16取下之後即使挾具片32的曲柄部34卡止在精密基板收納容器1的凸緣部2前方上面3，因為挾具片32可自由旋轉，所以可以容易地將挾具片32的曲柄部34從精密基板收納容器1的凸緣部2前方上面3分開(參照圖8)，可以簡單地將精密基板收納容器1取出。進一步，因為轉接托盤20的支撐片22是呈剖面L字形上下方向伸長，所以無論精密基板收納容器1的高度，皆可由穩定的姿勢搭載精密基板收納容器1。

又，上述實施方式的半導體晶圓收納容器10的殼體11及門組件16，可以藉由與轉接托盤20同樣的成形材料成形。且，在轉接托盤20的成形材料中，除了規定樹脂以外，依據需要添加：碳纖維、碳粉末、碳奈米管、由導電性聚合物等所構成的導電物質和陰離子、陽離子、非離子系等的各種抗靜電劑等也可以。且，固定高度調整用的隔件，可裝卸自如地位在精密基板收納容器1的凸緣部2及轉接托盤20之間也可以。

且在上述實施方式中，轉接托盤20雖成為平面大致正方形的框形，但是平面大致多角形等的框形也可以，無中空部21的板形等也可以。轉接托盤20的外周面，即使形成有複數角和段差也可以，彎曲形成也可以。且，轉接托盤20的支撐片22，是無縫的框形也可以，複數也可以。例如，可以只有在轉接托盤20的中空部21內周面的前部下方及後部下方，各別突出形成剖面板形的支撐片22。且，轉接托盤20是無中空部21的板的情況，在轉接托盤20的表面，配列形成精密基板收納容器1用的複數定位包圍片也可以。

且在轉接托盤20的後部表面中央附近，可以螺合被卡止在精密基板收納容器1的凸緣部2後方上面3的剖面逆L字形的固定具。此情況，在支撐片22的後部表面，凹陷形成可與精密基板收納容器1的凸緣部下表面4的周緣後方相面對的退避溝(也稱為退避空間)的話，藉由活用此退避溝，因為可以將精密基板收納容器1的後部朝下方傾斜所以可以圓滑地搭載。且，挾具機構30的固定台座31，一體成形在轉接托盤20的前部表面也可以，可裝卸自如地裝設在轉接托盤20的前部表面也可以。進一步，本說明書揭示的全部的技術，均可以透過修改、分割申請等方式獲得權利。 [產業上的可利用性]

本發明的精密基板收納容器用固定套件，可使用於半導體製造等的領域。

1:精密基板收納容器 2:凸緣部 3:上面 4:凸緣部下表面 10:半導體晶圓收納容器 11:殼體 12:支撐齒 16:門組件 17:門本體 18:門罩 19:上鎖機構 20:轉接托盤 21:中空部 22:支撐片 30:挾具機構 31:固定台座 32:挾具片 33:長邊 34:曲柄部 35:短邊 36:傾斜立起部 40:連動操作機構 42:突出片 44:第一操作桿 45:第二操作桿

[圖1]本發明的精密基板收納容器用固定套件的實施方式的精密基板收納容器、半導體晶圓收納容器的殼體、及轉接托盤的關係的立體示意圖。 [圖2]本發明的精密基板收納容器用固定套件的實施方式的半導體晶圓收納容器的門組件及連動操作機構的關係的立體示意圖。 [圖3]本發明的精密基板收納容器用固定套件的實施方式的轉接托盤及挾具機構的關係的立體示意圖。 [圖4]示意本發明的精密基板收納容器用固定套件的實施方式的連動操作機構的放大立體圖。 [圖5]本發明的精密基板收納容器用固定套件的實施方式的挾具機構的固定作業的示意圖，(a)是顯示門組件的連動操作機構接近轉接托盤的挾具機構的狀態的側面說明圖，(b)是顯示連動操作機構的第一操作桿將挾具片的長邊朝殼體後方推壓的狀態的側面說明圖，(c)是顯示挾具片旋轉將曲柄部指向上方且將傾斜立起部上昇的狀態的側面說明圖，(d)是顯示挾具片旋轉將傾斜立起部進入連動操作機構的第一，第二操作桿之間的狀態的側面說明圖，(e)是顯示連動操作機構的第二操作桿將挾具片的短邊進一步朝殼體後方推壓將挾具片旋轉的狀態的側面說明圖，(f)是顯示挾具片的曲柄部卡止在精密基板收納容器的凸緣部前方上面的狀態的側面說明圖。 [圖6]本發明的精密基板收納容器用固定套件的實施方式的挾具機構的固定解除作業的示意圖，(a)是顯示開始將門組件從殼體的正面拔除的狀態的側面說明圖，(b)是顯示連動操作機構的第一操作桿將挾具片的短邊朝門組件方向推壓的狀態的側面說明圖，(c)是顯示挾具片旋轉將曲柄部從精密基板收納容器的下部前方朝上方分開的狀態的側面說明圖，(d)是顯示第一操作桿將挾具片的傾斜立起部朝門組件方向推壓的狀態的側面說明圖，(e)是顯示挾具片進一步旋轉將曲柄部指向上方的狀態的側面說明圖，(f)是顯示挾具片旋轉將傾斜立起部從第一、第二操作桿之間至後退的狀態的側面說明圖。 [圖7]本發明的精密基板收納容器用固定套件的實施方式的第一操作桿與挾具片的短邊等誤接觸的狀態的側面示意圖。 [圖8]本發明的精密基板收納容器用固定套件的實施方式的挾具機構的挾具片可自由旋轉的側面示意圖。

1:精密基板收納容器

2:凸緣部

3:上面

4:凸緣部下表面

10:半導體晶圓收納容器

11:殼體

16:門組件

19:上鎖機構

21:中空部

22:支撐片

32:挾具片

33:長邊

34:曲柄部

36:傾斜立起部

44:第一操作桿

45:第二操作桿

Claims (4)

1. 一種精密基板收納容器用固定套件， 將精密基板收納容器收納在半導體晶圓收納容器地搬運的情況時使用， 包含：轉接托盤，將精密基板收納容器搭載，且被收納於半導體晶圓收納容器的殼體；及挾具機構，在該轉接托盤的前部，藉由將挾具片旋轉而將精密基板收納容器固定；及連動操作機構，被安裝於將半導體晶圓收納容器的殼體的正面開閉用的門組件； 連動操作機構，藉由對應門組件對於半導體晶圓收納容器的殼體的開閉將挾具機構的挾具片旋轉，而將挾具片對於精密基板收納容器離合。
2. 如請求項1的精密基板收納容器用固定套件，其中， 挾具機構，包含：被安裝於轉接托盤的前部之固定台座、及被支撐於此固定台座之可旋轉的挾具片，將此挾具片形成大致J字形，在此挾具片的長邊形成可卡止在精密基板收納容器的凸緣部前方的大致L字形的曲柄部，並且在挾具片的短邊形成傾斜立起部， 連動操作機構，包含：與半導體晶圓收納容器的門組件的背面相面對地安裝並朝殼體方向延伸的複數突出片、及被架設於此複數突出片之間的第一操作桿、及被架設在複數突出片之間與門組件的背面及第一操作桿之間隔有間隔地配置的第二操作桿，若門組件嵌合地安裝在半導體晶圓收納容器的殼體的情況時，可實現：由第一操作桿將挾具片的長邊朝殼體後方推壓的功能；及由第一、第二操作桿將挾具片的傾斜立起部隔有間隔地挾持的功能；及由第二操作桿將挾具片的短邊朝殼體後方推壓將挾具片的曲柄部卡止在精密基板收納容器的凸緣部前方的功能，若門組件從半導體晶圓收納容器的殼體被取下的情況時，可實現：由第一操作桿將挾具片的短邊朝門組件方向推壓將挾具片的曲柄部從精密基板收納容器的凸緣部前方分開的功能、及由第一操作桿將挾具片的傾斜立起部朝門組件方向推壓的功能、及將挾具片旋轉將挾具片的傾斜立起部從第一、第二操作桿之間後退的功能。
3. 如請求項2的精密基板收納容器用固定套件，其中， 挾具機構的固定台座，形成可將挾具片自由旋轉地挾持的大致U字形，在此固定台座中，形成將挾具片的曲柄部朝前方的斜上方指向的姿勢控制部。
4. 如請求項2的精密基板收納容器用固定套件，其中， 連動操作機構的第一、第二操作桿各別形成剖面大致圓形，第二操作桿位於比第一操作桿更下方的位置。

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