TW202503199A

TW202503199A - 液源汽化系統

Info

Publication number: TW202503199A
Application number: TW113126216A
Authority: TW
Inventors: 周厲穎; 楊帥
Original assignee: 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司
Priority date: 2023-07-14
Filing date: 2024-07-12
Publication date: 2025-01-16
Also published as: WO2025016299A1; CN116658807A

Abstract

本申請提供一種液源汽化系統，應用於半導體製程設備，包括：汽化裝置、液源管路、吹掃管路、第一控制單元、輸出管路、尾氣處理管路和第二控制單元；第一控制單元用於選擇性地控制吹掃管路或液源管路與汽化裝置連通；第二控制單元用於選擇性地控制尾氣處理管路或輸出管路與汽化裝置連通。

Description

液源汽化系統

本申請涉及半導體製造領域，具體地，涉及一種液源汽化系統。

在積體電路製造過程中，為了使矽片能滿足某種製程特性，如在矽片表面形成不同的絕緣層、介質層等，需將矽片置於具有一定溫度、壓力、製程氣體氛圍的製程腔室中。在一些先進製程制程中，需引入一些特殊的製程介質，這些製程介質通常以液態的形式儲存，而在製程中，需要將這些液態的製程介質轉化為氣態的形式傳輸入製程腔室中。

現有技術中，在對流體流量控制精確度和穩定性較高的輸送過程中，將上述製程介質的液態轉化為氣態通常有兩種不同的方式，即，蒸氣壓差控制法和液相直接控制法。

蒸氣壓差控制法也稱烘烤法，是利用液態材料的蒸氣壓和製程腔室壓力的壓差及氣體質量流量計進行控制的方式來實現製程介質的液態轉化為氣態。然而，由於蒸氣壓差控制法是利用將容器中液體加熱至飽和蒸氣壓進行汽化，汽化後壓力低，因此，要求製程腔室為真空環境時才能滿足傳輸要求，而且汽化後氣體的量相對較小，製程氣體需求流量大時無法滿足；另外，由於氣體質量流量計設置在出口管路上，測量的氣體溫度較高，由於氣體質量流量計耐溫有限，當烘烤溫度過高時，無法滿足測量需求，因此適用液體範圍有限；另外，用於烘烤液態介質的烘烤裝置容器體積、質量較大，一般放置在設備的底部位置，從烘烤裝置到製程腔室距離較長，傳輸途中管路及器件均需進行溫度管理，如遇冷點，會使汽化後的氣體重新液化為液體。

液相直接控制法也稱為直接汽化法，是使用液體用質量流量計和汽化器進行汽化的方式來實現製程介質的液態轉化為氣態。其主要採用汽化器，通過向汽化器中通入載氣，通過載氣將液態的製程介質霧化後噴進汽化室。汽化室外部整體加熱，通過汽化室加熱散發的熱輻射將霧化後的製程介質進行汽化，還未完全汽化的液體噴霧通過接觸汽化室內壁產生的熱傳導進行完全的汽化後輸出。

上述方式雖然可以解決蒸氣壓差控制法的諸多問題，然而，依然會存在新的問題，由於需要載氣將液態的製程介質霧化，而每次使用後管路中都會有液態的製程介質殘留，影響下次使用，因此，如何清理管路中的製程介質殘留是本領域亟待解決的問題。

本申請旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種液源汽化系統，其可以解決現有技術中每次使用後管路中都會有液態的製程介質殘留的問題。

為實現本申請的目的而提供一種液源汽化系統，應用於半導體製程設備，包括：

汽化裝置，用於將液態製程介質汽化為氣態製程介質；

液源管路，用於向該汽化裝置提供液態製程介質；

吹掃管路，用於向該汽化裝置提供吹掃氣體；

第一控制單元，用於選擇性地控制該吹掃管路或該液源管路與該汽化裝置連通；

輸出管路，用於將汽化後的氣態製程介質輸送至該半導體製程設備的製程腔室中；

尾氣處理管路，用於將通過該吹掃氣體自該汽化裝置吹出的污染物輸送至尾氣處理裝置；

第二控制單元，用於選擇性地控制該尾氣處理管路或該輸出管路與該汽化裝置連通。

在一些實施例中，該液源汽化系統具有工作狀態和第一清潔狀態；

在該工作狀態，該第一控制單元控制該液源管路與該汽化裝置連通，該第二控制單元控制該輸出管路與該汽化裝置連通；

在該第一清潔狀態，該第一控制單元控制該吹掃管路與該汽化裝置連通，該第二控制單元控制該尾氣處理管路與該汽化裝置連通。

在一些實施例中，該汽化裝置包括：

汽化器，該汽化器具有用於汽化該液態製程介質的汽化室；

進液管路，該進液管路的出口端與該汽化室連通，該進液管路的進口端分別與該液源管路的出口端和該吹掃管路的出口端連通；

出氣管路，該出氣管路的進口端與該汽化室連通，該出氣管路的出口端分別與該輸出管路的進口端和該尾氣處理管路的進口端連通。

在該工作狀態，該第一控制單元控制該液源管路與該進液管路連通，該第二控制單元控制該輸出管路與該出氣管路連通；

在該第一清潔狀態，該第一控制單元控制該吹掃管路與該進液管路連通，該第二控制單元控制該尾氣處理管路與該出氣管路連通。

在一些實施例中，該第一控制單元包括：

第一控制閥，該第一控制閥設置在該液源管路上，用於控制該液源管路的通斷；

第二控制閥，該第二控制閥設置在該吹掃管路上，用於控制該吹掃管路的通斷；並且

該第二控制單元包括：

第三控制閥，該第三控制閥設置在該輸出管路上，用於控制該輸出管路的通斷；

第四控制閥，該第四控制閥設置在該尾氣處理管路上，用於控制該尾氣處理管路的通斷。

在一些實施例中，該汽化裝置還包括：

載氣管路，該載氣管路的進口端用於與載氣源連通，該載氣管路出口端與該汽化室連通；

載氣控制閥，該載氣控制閥設置在該載氣管路上，該載氣控制閥用於控制該載氣管路的通斷。

在一些實施例中，在該工作狀態，該載氣控制閥打開；

在該第一清潔狀態，該載氣控制閥關閉。

在一些實施例中，該液源汽化系統還具有第二清潔狀態；

在該第二清潔狀態，該第一控制單元控制該吹掃管路與該進液管路連通，該第二控制單元控制該出氣管路與該尾氣處理管路連通，該載氣控制閥打開。

在一些實施例中，該液源汽化系統還包括：

第一流量計，該第一流量計設置在該進液管路上，該第一流量計用於控制該液態製程介質的流量；

第一旁通管路，該第一旁通管路的進口端與該進液管路連通，該第一旁通管路的進口端位於該第一流量計與該汽化器之間，該第一旁通管路的出口端與該尾氣處理管路連通；

旁通控制單元，該旁通控制單元用於選擇性地控制該第一流量計與該汽化室連通或者該第一流量計與該第一旁通管路連通。

在一些實施例中，該液源汽化系統具有工作狀態和第三清潔狀態；

在該工作狀態，該第一控制單元控制該液源管路與該進液管路連通，該旁通控制單元控制該第一流量計與該汽化室連通，該第二控制單元控制該輸出管路與該出氣管路連通；

在該第三清潔狀態，該第一控制單元控制該吹掃管路與該進液管路連通，該旁通控制單元控制該第一流量計與該第一旁通管路連通。

在一些實施例中，該旁通控制單元包括第一旁通閥和第二旁通閥，該第一旁通閥設置在該第一旁通管路上，用於控制該第一旁通管路的通斷；該第二旁通閥設置在該進液管路上，且位於該第一旁通管路的進口端與該汽化器之間，用於控制該進液管路的通斷。

在一些實施例中，該液源汽化系統還包括：

第二旁通管路，該第二旁通管路的進口端與吹掃氣源連通，該第二旁通管路的出口端與該進液管路連通，該第二旁通管路的出口端位於該第一流量計與該汽化室之間；

第五控制閥，該第五控制閥設置在該第二旁通管路上，用於控制該第二旁通管路的通斷。

在一些實施例中，在該工作狀態，該載氣控制閥打開，該第五控制閥關閉；

該液源汽化系統還具有第四清潔狀態；

在該第四清潔狀態，該第一控制單元控制該液源管路和該吹掃管路與該進液管路斷開，該載氣控制閥、該第五控制閥打開，該第二控制單元控制該尾氣處理管路與該出氣管路連通。

在一些實施例中，該液源汽化系統還包括：

殘液收集器，該殘液收集器用於回收殘餘的液態製程介質；

殘液回收管路，該殘液回收管路的出口端與該殘液收集器連通，該殘液回收管路的進口端與該進液管路連通；

第六控制閥，該第六控制閥設置在該殘液回收管路上，用於控制該殘液回收管路的通斷；

該汽化裝置還包括：

第七控制閥，該第七控制閥設置在該進液管路上，該第七控制閥位於該殘液回收管路的進口端與該汽化器之間，用於控制該汽化器與該進液管路之間的通斷。

在一些實施例中，該液源汽化系統還包括：

排氣管路，該殘液收集器具有排氣口，該排氣口通過該排氣管路與該尾氣處理管路連通；

第八控制閥，該第八控制閥置在該排氣管路上，用於控制該排氣管路的通斷。

在一些實施例中，在該工作狀態，該第七控制閥打開，該第六控制閥關閉；

該液源汽化系統還具有第一殘液回收狀態，在該第一殘液回收狀態，該第一控制單元控制該吹掃管路與該進液管路連通，該第七控制閥關閉，該第六控制閥、該第八控制閥打開。

在一些實施例中，該液源汽化系統還包括：

第九控制閥，該第九控制閥設置在該殘液回收管路上，該第九控制閥位於該第六控制閥與該殘液回收管路的出口端之間；

吹掃支路，該吹掃支路的進口端與吹掃氣源連通，該吹掃支路的出口端與該殘液回收管路連通，該吹掃支路的出口端位於該第九控制閥與該第六控制閥之間；

第十控制閥，該第十控制閥設置在該吹掃支路上，用於控制該吹掃支路的通斷。

在一些實施例中，在該工作狀態，該第六控制閥、該第十控制閥關閉，該第七控制閥打打開；

該液源汽化系統還具有第二殘液回收狀態，在該第二殘液回收狀態，該第一控制單元控制該液源管路和該吹掃管路與該進液管路斷開，該第六控制閥關閉，該第十控制閥、該第九控制閥、該第八控制閥打開。

在一些實施例中，該液源汽化系統還包括：

餘氣排出管路，該餘氣排出管路的進口端與該殘液回收管路連通，該餘氣排出管路的進口端位於該第六控制閥與該第九控制閥之間，該餘氣排出管路的出口端與該尾氣處理管路連通；

餘氣控制閥，該餘氣控制閥設置在該餘氣排出管路上，用於控制該餘氣排出管路的通斷。

在一些實施例中，該液源汽化系統還具有管路餘氣排出狀態；

在該管路餘氣排出狀態，該第一控制單元控制該吹掃管路與該進液管路連通，該第十控制閥、該第九控制閥、該第七控制閥關閉；該第六控制閥、該餘氣控制閥打開。

在一些實施例中，該汽化裝置還包括：

載氣管路，該載氣管路進口端用於與載氣源連通，該載氣管路出口端與該汽化室連通；

載氣控制閥，該載氣控制閥設置在該載氣管路上，該載氣控制閥用於控制該載氣管路的通斷；

第一流量計，該第一流量計設置在該進液管路上，該第一流量計用於計算該液態製程介質的流量；

第二旁通管路，該第二旁通管路的進口端與該吹掃氣源連通，該第二旁通管路的出口端與該進液管路連通，該第二旁通管路的出口端位於該第一流量計與該汽化室之間；

在一些實施例中，在該工作狀態，該載氣控制閥打開，該第五控制閥關閉；或者

在該第一清潔狀態，該第七控制閥打開，該載氣控制閥、該第五控制閥、該第六控制閥和該第十控制閥關閉；或者

該液源汽化系統還具有第二清潔狀態；

在該第二清潔狀態，該第一控制單元控制該吹掃管路與該進液管路連通，該第五控制閥、該第六控制閥和該第十控制閥關閉，該第七控制閥打開；或者

該液源汽化系統還具有第四清潔狀態；

在該第四清潔狀態，該第一控制單元控制該液源管路和該吹掃管路與該進液管路斷開，該第十控制閥、該第六控制閥關閉，該載氣控制閥、該第五控制閥打開，該第二控制單元控制該尾氣處理管路與該出氣管路連通；或者

該液源汽化系統還具有第一殘液回收狀態；

在該第一殘液回收狀態，該第五控制閥、該第十控制閥關閉；或者

在該第二殘液回收狀態，該第五控制閥、該餘氣控制閥關閉；或者

該液源汽化系統還具有管路餘氣排出狀態；

在該管路餘氣排出狀態，該第一控制單元控制該吹掃管路與該進液管路連通，該第五控制閥、該第十控制閥、該第九控制閥、該第七控制閥關閉；該第六控制閥、該餘氣控制閥打開。

本申請具有以下有益效果：

本申請的液源汽化系統通過設置吹掃管路、第一控制單元、尾氣處理管路和第二控制單元，不僅可以通過汽化裝置對液態的製程介質進行汽化，還可以通過第一控制單元和第二控制單元，分別控制吹掃管路和尾氣處理管路與汽化裝置連通，將吹掃氣體通入汽化裝置中，通過吹掃氣體對汽化裝置內部進行清潔，並將吹掃氣體流經的相應管路中的製程介質殘留吹出，減少管路中製程介質的殘留，避免對下次使用產生影響。另外，由於設置有尾氣處理管路，通過吹掃氣體自汽化裝置吹出的污染物可以通過尾氣處理管路輸送至尾氣處理裝置進行處理，避免污染物對環境的污染。

以下揭露提供用於實施本揭露之不同構件之許多不同實施例或實例。下文描述組件及配置之特定實例以簡化本揭露。當然，此等僅為實例且非意欲限制。舉例而言，在以下描述中之一第一構件形成於一第二構件上方或上可包含其中該第一構件及該第二構件經形成為直接接觸之實施例，且亦可包含其中額外構件可形成在該第一構件與該第二構件之間，使得該第一構件及該第二構件可不直接接觸之實施例。另外，本揭露可在各個實例中重複參考數字及/或字母。此重複出於簡化及清楚之目的且本身不指示所論述之各個實施例及/或組態之間的關係。

此外，為便於描述，諸如「下面」、「下方」、「下」、「上方」、「上」及類似者之空間相對術語可在本文中用於描述一個元件或構件與另一(些)元件或構件之關係，如圖中圖解說明。空間相對術語意欲涵蓋除在圖中描繪之定向以外之使用或操作中之裝置之不同定向。設備可以其他方式定向(旋轉90度或按其他定向)且因此可同樣解釋本文中使用之空間相對描述詞。

儘管陳述本揭露之寬泛範疇之數值範圍及參數係近似值，然儘可能精確地報告特定實例中陳述之數值。然而，任何數值固有地含有必然由於見於各自測試量測中之標準偏差所致之某些誤差。再者，如本文中使用，術語「大約」通常意謂在一給定值或範圍之10%、5%、1%或0.5%內。替代地，術語「大約」意謂在由此項技術之一般技術者考量時處於平均值之一可接受標準誤差內。除在操作/工作實例中以外，或除非以其他方式明確指定，否則諸如針對本文中揭露之材料之數量、時間之持續時間、溫度、操作條件、數量之比率及其類似者之全部數值範圍、數量、值及百分比應被理解為在全部例項中由術語「大約」修飾。相應地，除非相反地指示，否則本揭露及隨附發明申請專利範圍中陳述之數值參數係可根據需要變化之近似值。至少，應至少鑑於所報告有效數位之數目且藉由應用普通捨入技術解釋各數值參數。範圍可在本文中表達為從一個端點至另一端點或在兩個端點之間。本文中揭露之全部範圍包含端點，除非另有指定。

為使本領域的技術人員更好地理解本申請的技術方案，下面結合附圖來對本申請提供的液源汽化系統進行詳細描述。

如圖1所示的實施例一，公開了一種液源汽化系統，應用於半導體製程設備。液源汽化系統包括：液源管路10、汽化裝置20、輸出管路30、吹掃管路40、第一控制單元50、尾氣處理單元60和第二控制單元70。

液源管路10、汽化裝置20和輸出管路30依次連通。也就是說，液源管路10的進口端與液源連通，液源管路10的出口端與汽化裝置20連通，從而使液源管路10可以向汽化裝置20提供液態製程介質。在液態製程介質進入汽化裝置20後，汽化裝置20將液態製程介質汽化為氣態製程介質，然後，輸出管路30將汽化後的氣態製程介質輸送至半導體製程設備的製程腔室中，從而進行相應的半導體製程。

在本實施例中，吹掃管路40的進口端與吹掃氣源連通，吹掃管路40的出口端與汽化裝置20連通，吹掃管路40用於向汽化裝置20提供吹掃氣體；第一控制單元50用於選擇性地控制吹掃管路40與汽化裝置20連通或者液源管路10與汽化裝置20連通。容易理解的是，在吹掃管路40與汽化裝置20連通時，由吹掃氣源提供的吹掃氣體能夠通過吹掃管路40輸送至汽化裝置20；在液源管路10與汽化裝置20連通時，由液源提供的液態製程介質能夠通過液源管路10輸送至汽化裝置20。第一控制單元50用於實現在向汽化裝置20提供吹掃氣體與向汽化裝置20提供液態製程介質之間切換。

尾氣處理單元60包括尾氣處理管路62，尾氣處理管路62的進口端與汽化裝置20連通，尾氣處理管路62的出口端用於與尾氣處理裝置61連通，尾氣處理管路62用於將通過吹掃氣體自汽化裝置20吹出的污染物輸送至尾氣處理裝置61，以通過尾氣處理裝置61處理污染物；第二控制單元70用於選擇性地控制尾氣處理管路62與汽化裝置20連通或者輸出管路30與汽化裝置20連通。容易理解的是，在尾氣處理管路62與汽化裝置20連通時，通過吹掃氣體自汽化裝置20吹出的污染物能夠通過尾氣處理管路62輸送至尾氣處理裝置61；在輸出管路30與汽化裝置20連通時，通過汽化裝置20汽化後的氣態製程介質能夠通過輸出管路30輸送至製程腔室中。第二控制單元70用於實現在向尾氣處理裝置61輸送污染物與向製程腔室輸送氣態製程介質之間切換。

本申請實施例提供的液源汽化系統，通過設置吹掃管路40、第一控制單元50、尾氣處理管路62和第二控制單元70，不僅可以通過汽化裝置20對液態的製程介質進行汽化，還可以通過控制第一控制單元50和第二控制單元70，分別控制吹掃管路40和尾氣處理管路62與汽化裝置20連通，將吹掃氣體通入汽化裝置20中，通過吹掃氣體對汽化裝置20內部進行清潔，並將吹掃氣體流經的相應管路中的製程介質殘留吹出，減少管路中製程介質的殘留，避免對下次使用產生影響。另外，由於設置有尾氣處理管路62，通過吹掃氣體自汽化裝置20吹出的污染物可以通過尾氣處理管路62輸送至尾氣處理裝置61進行處理，避免污染物對環境的污染。

如圖2至圖3所示，在使用過程中，液源汽化系統具有工作狀態和第一清潔狀態。液源汽化系統通過第一控制單元50和第二控制單元70，實現在工作狀態和第一清潔狀態間的切換。

如圖2所示，在工作狀態，第一控制單元50控制液源管路10與汽化裝置20連通，第二控制單元70控制輸出管路30與汽化裝置20連通。液態的製程介質通過液源管路10進入汽化裝置20，汽化裝置20將液態的製程介質汽化，再通過輸出管路30將汽化後的氣態製程介質輸送至半導體製程設備的製程腔室中，從而進行相應的半導體製程。

如圖3所示，在第一清潔狀態，第一控制單元50控制吹掃管路40與汽化裝置20連通，第二控制單元70控制尾氣處理管路62與汽化裝置20連通。吹掃氣體依次經過吹掃管路40、汽化裝置20、尾氣處理管路62和尾氣處理裝置61，吹掃氣體將其流經的管路中的空氣、水分、顆粒等吹掃乾淨，同時，通過吹掃氣體自汽化裝置20吹出的污染物可以通過尾氣處理管路62輸送至尾氣處理裝置61進行處理，避免污染物對環境的污染。

需要說明的是，第一清潔狀態除了可以在液源汽化系統對液態製程介質汽化後對汽化裝置20進行清潔，還可以在液源汽化系統對製程介質汽化前進行清潔，將管路或汽化裝置20中的空氣、水分、顆粒等吹掃乾淨，為製程做好準備工作。

更進一步的，在本實施例中，汽化裝置20包括汽化器21、進液管路22、出氣管路23、載氣管路24和載氣控制閥25。汽化器21具有用於汽化液態製程介質的汽化室；進液管路22的出口端與汽化室連通，進液管路22的進口端分別與液源管路10的出口端和吹掃管路40的出口端連通；出氣管路23的進口端與汽化室連通，出氣管路23的出口端分別與輸出管路30的進口端和尾氣處理管路62的進口端通。載氣管路24的進口端用於與載氣源連通，載氣管路24的出口端與汽化室連通；載氣控制閥25設置在載氣管路24上，載氣控制閥25用於控制載氣管路24的通斷。

尾氣處理單元60還包括真空泵，尾氣處理管路62的進口端與出氣管路23的出口端連通，尾氣處理管路62的出口端與尾氣處理裝置61連通，真空泵設置在尾氣處理管路62上。

第一控制單元50包括第一控制閥51和第二控制閥52，第一控制閥51設置在液源管路10上，用於控制液源管路10的通斷；第二控制閥52設置在吹掃管路40上，用於控制吹掃管路40的通斷。

第二控制單元70包括第三控制閥71和第四控制閥72，第三控制閥71設置在輸出管路30上，用於控制輸出管路30的通斷；第四控制閥72設置在尾氣處理管路62上，用於控制尾氣處理管路62的通斷，真空泵位於第四控制閥72與尾氣處理裝置61之間，用於為尾氣處理管路62中的氣體向尾氣處理裝置61流動提供動力。

液源汽化系統具有工作狀態、第一清潔狀態和第二清潔狀態。

如圖2所示，在工作狀態，第一控制閥51打開、第二控制閥52關閉，第三控制閥71打開、第四控制閥72關閉，載氣控制閥25打開。液源管路10、進液管路22、汽化器21、出氣管路23、輸出管路30依次連通。液態的製程介質依次通過液源管路10、進液管路22進入汽化器21，汽化器21將液態的製程介質汽化，汽化後的氣態製程介質再依次通過出氣管路23、輸出管路30進入半導體製程設備的製程腔室中，從而進行相應的半導體製程。

如圖3所示，在第一清潔狀態，第二控制閥52打開，第一控制閥51關閉，第四控制閥72打開，第三控制閥71關閉，載氣控制閥25關閉。吹掃氣體依次經過吹掃管路40、進液管路22、汽化器21、出氣管路23和尾氣處理管路62，從而將管路中和汽化器21中的殘液、空氣、水分、顆粒等吹掃乾淨，同時，吹掃氣體自汽化裝置20吹出的污染物通過尾氣處理管路62進入尾氣處理裝置61中，從而通過尾氣處理裝置61將污染物處理，避免污染物對環境的污染。

如圖4所示，在第二清潔狀態，第二控制閥52打開，第一控制閥51關閉，第四控制閥72打開，第三控制閥71關閉，載氣控制閥25打開。第二清潔狀態主要是為了在製程結束後，將管道、汽化器21中殘餘液體、氣體排出乾淨。吹掃氣體依次經過吹掃管路40、進液管路22、汽化器21、出氣管路23和尾氣處理管路62，同時，由於載氣控制閥25打開，在載氣作用下，汽化器21將內部的液體汽化為氣體，然後被吹掃氣體一同吹出，從而將管路中和汽化器21中的殘液、氣體吹掃乾淨，同時，吹掃氣體自汽化裝置20吹出的污染物通過尾氣處理管路62進入尾氣處理裝置61中，從而通過尾氣處理裝置61將污染物處理，避免污染物對環境的污染。

需要說明的是，在上述實施例一中，液源汽化系統還包括第一流量計80，第一流量計80設置在進液管路22上，第一流量計80用於控制液態製程介質的流量。

還需要說明的是，在上述實施例一中，第一控制單元50包括第一控制閥51和第二控制閥52，但是這並不是限制性的，例如，在圖未示出的一些其他實施例中，第一控制單元50還可以是三通閥，三通閥的第一端與進液管路22連通，三通閥的第二端與液源管路10連通，三通閥的第三端與吹掃管路40連通，從而通過三通閥實現選擇性地將吹掃管路40與進液管路22連通或者液源管路10與進液管路22連通。也就是說，在不違背本申請的工作原理的前提下，只要是可以實現在吹掃管路40與進液管路22連通，和液源管路10與進液管路22連通之間切換的結構，均在本申請的保護範圍之內。同理，在上述實施例一中，第二控制單元70也可以是三通閥，此處不再贅述。

如圖5所示的本申請的實施例二，還公開了一種液源汽化系統，其與實施例一基本相同，區別在於，在本實施例中，液源汽化系統還包括：第一旁通管路90和旁通控制單元100，第一旁通管路90的進口端與進液管路22連通，第一旁通管路90的進口端位於第一流量計80與汽化器21之間，第一旁通管路90的出口端與尾氣處理管路62連通，具體地，第一旁通管路90的出口端連接在尾氣處理管路62上，且位於第四控制閥72與真空泵之間；旁通控制單元100用於選擇性地控制第一流量計80與汽化室連通或者第一流量計80與第一旁通管路90連通。

其中，旁通控制單元100包括第一旁通閥101和第二旁通閥102，第一旁通閥101設置在第一旁通管路90上，用於控制第一旁通管路90的通斷；第二旁通閥102設置在進液管路22上，且位於第一旁通管路90的進口端與汽化器21之間，用於控制進液管路22的通斷。

液源汽化系統具有工作狀態和第三清潔狀態。

在工作狀態，第一控制單元50控制液源管路10與進液管路22連通，旁通控制單元100控制第一流量計80與汽化室連通，第二控制單元70控制輸出管路30與出氣管路23連通。具體地，第一控制閥51打開、第二控制閥52關閉；第三控制閥71打開、第四控制閥72關閉，第二旁通閥102打開、第一旁通閥101關閉，載氣控制閥25打開。在工作狀態，液源管路10、第一流量計80、進液管路22、汽化器21、出氣管路23、輸出管路30依次連通。液態的製程介質依次通過液源管路10、第一流量計80、進液管路22進入汽化器21，汽化器21將液態的製程介質汽化，汽化後的氣態製程介質再依次通過出氣管路23、輸出管路30進入半導體製程設備的製程腔室中，從而進行相應的半導體製程。

如圖5所示，在第三清潔狀態，第一控制單元50控制吹掃管路40與進液管路22連通，旁通控制單元100控制第一流量計80與第一旁通管路90連通。具體地，第二控制閥52打開、第一控制閥51關閉；第一旁通閥101打開、第二旁通閥102關閉，載氣控制閥25關閉。從而使吹掃管路40、第一流量計80、進液管路22、第一旁通管路90、尾氣處理管路62、真空泵、尾氣處理裝置61依次連通。由於通常使用的液態製程介質，可能會有自燃性、腐蝕性、毒性等危險特性。當第一流量計80需要維護和更換時，為保證人員安全，必須進行充分的吹掃，防止器件和管路殘留。在將液源汽化系統處於第三清潔狀態時，吹掃氣體依次通過吹掃管路40、第一流量計80、進液管路22、第一旁通管路90、尾氣處理管路62、真空泵和尾氣處理裝置61，將其中的污染物和殘液吹至尾氣處理裝置61，從而在第一流量計80維護和更換過程中保證操作人員的安全。

需要說明的是，在上述實施例二中，旁通控制單元100包括第一旁通閥101和第二旁通閥102，但是這並不是限制性的，例如，在圖未示出的一些其他實施例中，第一控制單元50還可以是三通閥，三通閥的第一端與進液管路22連通，三通閥的第二端與第一旁通管路90連通，三通閥的第三端與汽化器21連通，從而通過三通閥實現進液管路22與第一旁通管路90連通或進液管路22與汽化器21連通。也就是說，在不違背本申請的工作原理的前提下，只要是可以實現汽化器21與第一旁通管路90之間切換的結構，均在本申請的保護範圍之內。

如圖6所示的本申請的實施例三，還公開了一種液源汽化系統，其與實施例一基本相同，區別在於，在本實施例中，液源汽化系統還包括：第二旁通管路110和第五控制閥120，第二旁通管路110的進口端與吹掃氣源連通，第二旁通管路110的出口端與進液管路22連通，第二旁通管路110的出口端位於第一流量計80與汽化室之間；第五控制閥120設置在第二旁通管路110上，用於控制第二旁通管路110的通斷。

液源汽化系統具有工作狀態和第四清潔狀態。

在工作狀態，第一控制閥51打開、第二控制閥52關閉、第五控制閥120關閉，第三控制閥71打開、第四控制閥72關閉，載氣控制閥25打開。液源管路10、進液管路22、汽化器21、出氣管路23、輸出管路30依次連通。液態的製程介質依次通過液源管路10、進液管路22進入汽化器21，汽化器21將液態的製程介質汽化，汽化後的氣態製程介質再依次通過出氣管路23、輸出管路30進入半導體製程設備的製程腔室中，從而進行相應的半導體製程。

如圖6所示，在第四清潔狀態，第五控制閥120打開、第一控制閥51關閉、第二控制閥52關閉，載氣控制閥25打開，第四控制閥72打開，第三控制閥71關閉。

在第四清潔狀態主要用於第一流量計80發生故障，無法通過液體的情況。當液源汽化系統處於第四清潔狀態時，吹掃氣源、第二旁通管路110、進液管路22、汽化器21、出氣管路23、尾氣處理管路62、真空泵和尾氣處理裝置61依次連通。吹掃氣體通過第二旁通管路110繞過第一流量計80，再依次通過進液管路22進入汽化器21，同時，在載氣的輔助下，汽化器21將內部的殘液汽化，再在吹掃氣體的作用下，將管路中和汽化器21中的殘液、空氣、水分、顆粒等吹掃乾淨，並通過出氣管路23和尾氣處理管路62將汽化後的氣體以及污染物排入尾氣處理裝置61中，最後通過尾氣處理裝置61將污染物處理，避免污染物對環境的污染。通過設置第二旁通管路110，可以在第一流量計80發生故障無法通過液體時，先將第一流量計80後端管路殘液排淨，從而以保證整體安全性。

現有技術中，若汽化器21發生加熱故障，無法繼續對液態製程介質進行汽化，那麼管路中殘餘液態製程介質的排出就成了困難。為了解決該問題，如圖7所示的本申請的實施例四，還公開了一種液源汽化系統，其與實施例一基本相同，區別在於，在本實施例中，液源汽化系統還包括：殘液回收裝置130，殘液回收裝置130與進液管路22連通，殘液回收裝置130用於回收殘餘的製程介質。

本申請實施例四的液源汽化系統，在實施例一的基礎上增加了殘液回收裝置130，可以對管路中的殘液進行回收，從而減少液態製程介質的損耗，降低材料成本。

具體來說，在本實施例四中，如圖7所示，殘液回收裝置130包括：殘液收集器131、殘液回收管路132和第六控制閥133，殘液收集器131用於回收殘餘的液態製程介質；殘液回收管路132的出口端與殘液收集器131連通，殘液回收管路132的進口端與進液管路22連通；第六控制閥133設置在殘液回收管路132上，用於控制殘液回收管路132的通斷。

為了配合殘液回收裝置130回收殘液，汽化裝置20還包括：第七控制閥26，第七控制閥26設置在進液管路22上，第七控制閥26位於殘液回收管路132的進口端與汽化器21之間，用於控制汽化器21的汽化室與進液管路22之間的通斷。

更進一步地，殘液回收裝置130還包括排氣管路134和第八控制閥135，殘液收集器131具有排氣口，排氣口通過排氣管路134與尾氣處理管路62連通；第八控制閥135置在排氣管路134上，用於控制排氣管路134的通斷。通過設置排氣管路134可以將殘液收集器131的容器中多餘氣體和壓力排入尾氣處理管路62，從而使殘液更加方便收集。

在本實施例中，液源汽化系統具有工作狀態和第一殘液回收狀態。

在工作狀態，第一控制閥51打開、第二控制閥52關閉；第三控制閥71打開、第四控制閥72關閉，第七控制閥26打開、第六控制閥133關閉，載氣控制閥25打開。在工作狀態，液源管路10、第一流量計80、進液管路22、汽化器21、出氣管路23、輸出管路30依次連通。液態的製程介質依次通過液源管路10、第一流量計80、進液管路22進入汽化器21，汽化器21將液態的製程介質汽化，汽化後的氣態製程介質再依次通過出氣管路23、輸出管路30進入半導體製程設備的製程腔室中，從而進行相應的半導體製程。

如圖7所示，在第一殘液回收狀態，第二控制閥52打開、第一控制閥51關閉，第六控制閥133打開、第七控制閥26關閉，第八控制閥135打開，載氣控制閥25關閉。

第一殘液回收狀態主要用於汽化器21發生故障無法執行汽化工作時，使管路中的殘液隨著吹掃氣體進入殘液收集器131中回收。當液源汽化系統處於第一殘液回收狀態時，吹掃氣源、吹掃管路40、進液管路22、殘液回收管路132和殘液收集器131依次連通，殘液收集器131的排氣口、排氣管路134、尾氣處理管路62、尾氣處理裝置61依次連通。吹掃氣體依次通過吹掃管路40、進液管路22、殘液回收管路132進入殘液收集器131中，再經過殘液收集器131的排氣口、排氣管路134、尾氣處理管路62進入尾氣處理裝置61中。在此過程中，管路中的殘液隨著吹掃氣體進入殘液收集器131中回收，而管路中的氣態製程介質或其他廢氣可以隨著吹掃氣體一同進入尾氣處理裝置61中進行處理，從而在保證殘液收集的同時，還可以避免環境污染。

本申請實施例四的液源汽化系統，通過設置殘液收集器131、殘液回收管路132和第六控制閥133，並在殘液回收管路132的進口端與汽化器21之間的進液管路22上設置第七控制閥26，可以通過第六控制閥133和第七控制閥26選擇性地控制進液管路22與殘液回收管路132連通或進液管路22與汽化器21連通，從而可以在進液管路22與殘液回收管路132連通時，對管路中的殘液進行回收，從而減少液態製程介質的損耗，降低材料成本。另外，通過設置排氣管路134可以將殘液收集器131的容器中多餘氣體和壓力排入尾氣處理管路62，並將管路中的氣態製程介質或其他廢氣隨著吹掃氣體一同進入尾氣處理裝置61中進行處理，從而在方便殘液收集的同時，還可以避免環境污染，屬於典型的一物多用。

如圖8所示的本申請的實施例五，還公開了一種液源汽化系統，其與實施例四基本相同，區別在於，在本實施例中，液源汽化系統還包括：第九控制閥136，第九控制閥136設置在殘液回收管路132上，第九控制閥136位於第六控制閥133與殘液回收管路132的出口端之間。

液源汽化系統還包括：吹掃支路140和第十控制閥150，吹掃支路140的進口端與吹掃氣源連通，吹掃支路140的出口端與殘液回收管路132連通，吹掃支路140的出口端位於第九控制閥136與第六控制閥133之間；第十控制閥150設置在吹掃支路140上，用於控制吹掃支路140的通斷。

在本實施例中，液源汽化系統具有工作狀態和第二殘液回收狀態。

在工作狀態，第一控制閥51打開、第二控制閥52關閉、第十控制閥150關閉；第三控制閥71打開、第四控制閥72關閉，第七控制閥26打開、第六控制閥133關閉，載氣控制閥25打開。在工作狀態，液源管路10、第一流量計80、進液管路22、汽化器21、出氣管路23、輸出管路30依次連通。液態的製程介質依次通過液源管路10、第一流量計80、進液管路22進入汽化器21，汽化器21將液態的製程介質汽化，汽化後的氣態製程介質再依次通過出氣管路23、輸出管路30進入半導體製程設備的製程腔室中，從而進行相應的半導體製程。

如圖8所示，在第二殘液回收狀態，第十控制閥150打開、第一控制閥51關閉、第二控制閥52關閉，第九控制閥136打開、第六控制閥133關閉、第七控制閥26關閉，第八控制閥135打開，載氣控制閥25關閉。

第二殘液回收狀態主要用於在殘液收集完成後，對管路進行吹掃工作，以排出管路和殘液收集器131內部的空氣、水分等雜質。當液源汽化系統處於第二殘液回收狀態時，吹掃氣源、吹掃支路140、殘液回收管路132和殘液收集器131依次連通，殘液收集器131的排氣口、排氣管路134、尾氣處理管路62、尾氣處理裝置61依次連通。吹掃氣體依次通過吹掃支路140、殘液回收管路132進入殘液收集器131中，再經過殘液收集器131的排氣口、排氣管路134、尾氣處理管路62進入尾氣處理裝置61中。在此過程中，管路中以及殘液收集器131中的空氣、水汽等雜質隨著吹掃氣體從殘液收集器131中排出，並隨著吹掃氣體一同進入尾氣處理裝置61中進行處理，從而保證收集的殘液不會與氣體雜質反應，處於相對穩定的狀態；同時，還可以避免排除的廢氣環境污染。

如圖9所示的本申請的實施例六，還公開了一種液源汽化系統，其與實施例五基本相同，區別在於，在本實施例中，殘液回收裝置130還包括：余氣排出管路137和餘氣控制閥138，餘氣排出管路137的進口端與殘液回收管路132連通，餘氣排出管路137的進口端位於第六控制閥133與第九控制閥136之間，餘氣排出管路137的出口端與尾氣處理管路62連通，餘氣排出管路137的出口端位於第四控制閥72與真空泵之間；餘氣控制閥138設置在餘氣排出管路137上，用於控制餘氣排出管路137的通斷。

在本實施例中，液源汽化系統具有工作狀態和管路餘氣排出狀態。

如圖9所示，在管路餘氣排出狀態，第二控制閥52打開、第一控制閥51關閉、第十控制閥150關閉，第六控制閥133打開、餘氣控制閥138打開、第七控制閥26關閉、第九控制閥136關閉，載氣控制閥25關閉。

管路餘氣排出狀態主要用於在殘液收集完成後，需要對殘液收集器131進行拆除時，通過吹掃氣體對管路進行吹掃工作，以排出管路內部殘餘的氣態製程介質以及空氣、水分等雜質。

當液源汽化系統處於管路餘氣排出狀態時，吹掃氣源、吹掃管路40、進液管路22、殘液回收管路132、餘氣排出管路137、尾氣處理管路62、尾氣處理裝置61依次連通。吹掃氣體依次通過吹掃管路40、進液管路22、殘液回收管路132、餘氣排出管路137、尾氣處理管路62進入尾氣處理裝置61中，在此過程中吹掃氣體帶著管路中氣態製程介質以及空氣、水分等雜質一同進入尾氣處理裝置61中進行處理，從而將管路中的氣態製程介質以及空氣、水分等雜質清除，保證了殘液收集器131拆除過程的安全性。同時，還可以避免排出的廢氣環境污染。

如圖10至圖16所示的本申請的實施例七，還公開了一種液源汽化系統，其與實施例六基本相同，區別在於，在本實施例中，液源汽化系統還包括：第二旁通管路110和第五控制閥120，第二旁通管路110的進口端與吹掃氣源連通，第二旁通管路110的出口端與進液管路22連通，第二旁通管路110的出口端位於第一流量計80與汽化室之間；第五控制閥120設置在第二旁通管路110上，用於控制第二旁通管路110的通斷。

在本實施例中，液源汽化系統具有工作狀態、第一清潔狀態、第二清潔狀態、第四清潔狀態、第一殘液回收狀態、第二殘液回收狀態、管路餘氣排出狀態。

如圖10所示，在工作狀態，第一控制閥51打開、第二控制閥52關閉、第五控制閥120關閉、第十控制閥150關閉，第七控制閥26打開、第六控制閥133關閉，載氣控制閥25打開，第三控制閥71打開、第四控制閥72關閉。

在工作狀態，液源管路10、第一流量計80、進液管路22、汽化器21、出氣管路23、輸出管路30依次連通。液態的製程介質依次通過液源管路10、第一流量計80、進液管路22進入汽化器21，汽化器21將液態的製程介質汽化，汽化後的氣態製程介質再依次通過出氣管路23、輸出管路30進入半導體製程設備的製程腔室中，從而進行相應的半導體製程。

如圖11所示，在第一清潔狀態，第二控制閥52打開、第一控制閥51關閉、第五控制閥120關閉、第十控制閥150關閉，第七控制閥26打開、第六控制閥133關閉，載氣控制閥25關閉，第四控制閥72打開，第三控制閥71關閉。

吹掃氣體依次經過吹掃管路40、進液管路22、汽化器21、出氣管路23，從而將管路中和汽化器21中的殘液、空氣、水分、顆粒等吹掃乾淨，同時，吹掃氣體自汽化裝置20吹出的污染物通過尾氣處理管路62進入尾氣處理裝置61中，從而通過尾氣處理裝置61將污染物處理，避免污染物對環境的污染。

如圖12所示，在第二清潔狀態，第二控制閥52打開、第一控制閥51關閉、第五控制閥120關閉、第十控制閥150關閉，第七控制閥26打開、第六控制閥133關閉，載氣控制閥25打開，第四控制閥72打開，第三控制閥71關閉。

第二清潔狀態主要是為了在製程結束後，將管路、汽化器21中內殘餘液體、氣體排出。吹掃氣體依次經過吹掃管路40、進液管路22、汽化器21、出氣管路23，同時，由於載氣控制閥25打開，在載氣作用下，汽化器21將內部的液體汽化為氣體，然後被吹掃氣體一同吹出，從而將管路中和汽化器21中的殘液、氣體吹掃乾淨，同時，吹掃氣體自汽化裝置20吹出的污染物通過尾氣處理管路62進入尾氣處理裝置61中，從而通過尾氣處理裝置61將污染物處理，避免污染物對環境的污染。

如圖13所示，在第四清潔狀態，第五控制閥120打開、第一控制閥51關閉、第二控制閥52關閉、第十控制閥150關閉，第七控制閥26打開、第六控制閥133關閉，載氣控制閥25打開，第四控制閥72打開，第三控制閥71關閉。

第四清潔狀態主要用於第一流量計80發生故障，無法通過液體的情況。當液源汽化系統處於第四清潔狀態時，吹掃氣源、第二旁通管路110、進液管路22、汽化器21、出氣管路23、尾氣處理管路62、真空泵和尾氣處理裝置61依次連通。吹掃氣體通過第二旁通管路110繞過第一流量計80，再依次通過進液管路22進入汽化器21，同時，在載氣的輔助下，汽化器21將內部的殘液汽化，再在吹掃氣體的作用下，將管路中和汽化器21中的殘液、空氣、水分、顆粒等吹掃乾淨，並通過出氣管路23和尾氣處理管路62將汽化後的氣體以及污染物排入尾氣處理裝置61中，最後通過尾氣處理裝置61將污染物處理，避免污染物對環境的污染。通過設置第二旁通管路110，可以在第一流量計80發生故障無法通過液體時，先將第一流量計80後端管路殘液排淨，從而以保證整體安全性。

如圖14所示，在第一殘液回收狀態，第二控制閥52打開、第一控制閥51關閉、第五控制閥120關閉、第十控制閥150關閉，第六控制閥133打開、第九控制閥136打開、第七控制閥26關閉、餘氣控制閥138關閉，第八控制閥135打開，載氣控制閥25關閉、第三控制閥71關閉、第四控制閥72關閉。

本申請實施例七的液源汽化系統，通過設置殘液收集器131、殘液回收管路132和第六控制閥133，並在殘液回收管路132的進口端與汽化器21之間的進液管路22上設置第七控制閥26，可以通過第六控制閥133和第七控制閥26選擇性地控制進液管路22與殘液回收管路132連通或進液管路22與汽化器21連通，從而可以在進液管路22與殘液回收管路132連通時，對管路中的殘液進行回收，從而減少液態製程介質的損耗，降低材料成本。另外，通過設置排氣管路134可以將殘液收集器131的容器中多餘氣體和壓力排入尾氣處理管路62，並將管路中的氣態製程介質或其他廢氣隨著吹掃氣體一同進入尾氣處理裝置61中進行處理，從而在方便殘液收集的同時，還可以避免環境污染，屬於典型的一物多用。

如圖15所示，在第二殘液回收狀態，第十控制閥150打開、第一控制閥51關閉、第二控制閥52關閉、第五控制閥120關閉，第九控制閥136打開、第六控制閥133關閉、第七控制閥26關閉、餘氣控制閥138關閉，第八控制閥135打開，載氣控制閥25關閉、第三控制閥71關閉、第四控制閥72關閉。

如圖16所示，在管路餘氣排出狀態，第二控制閥52打開、第一控制閥51關閉、第五控制閥120關閉、第十控制閥150關閉，第六控制閥133打開、餘氣控制閥138打開、第七控制閥26關閉、第九控制閥136關閉，第八控制閥135，載氣控制閥25關閉，第三控制閥71關閉、第四控制閥72關閉。

管路餘氣排出狀態主要用於在殘液收集完成後，需要對殘液收集器131進行拆除時，通過吹掃氣體對管路進行吹掃工作，以排除出管路內部殘餘的氣態製程介質以及空氣、水分等雜質。

需要說明的是，在本實施例中，管路餘氣排出狀態也可以實現實施例二中的第三清潔狀態的功能，也就是說，當第一流量計80需要維護和更換時，為保證人員安全，可以將本實施例的液源汽化系統調整至管路餘氣排出狀態，將其中的污染物和殘液吹至尾氣處理系統處理，從而保證在第一流量計80維護和更換過程中操作人員的安全，屬於典型的一物多用。

現有技術中，汽化器21中的霧化器和流量計均有小孔徑結構，當液源為粘稠型時，易造成堵塞，因此，需要對汽化器21和流量計進行更換和維護。

為了解決上述問題，本實施例的液源汽化系統還具有第一沖洗狀態，第一沖洗狀態與第一殘液回收狀態基本相同，區別在於，在第一沖洗狀態下，第一控制閥51打開、第二控制閥52關閉。而且液源中通入的液體不再是製程介質，而是改為有機溶劑，例如：正辛烷等，通過有機溶劑對管路及器件進行沖洗，管路沖洗後的殘液及有機溶劑經依次通過吹掃管路40、進液管路22、殘液回收管路132進入殘液收集器131中，將沖洗後的廢液收集，從而完成對管路的沖洗。之後，可以進入第一殘液回收狀態，通過吹掃氣體對管路中的殘液進行回收，完成管路的清潔工作。

除此之外，本實施例的液源汽化系統還具有第二沖洗狀態，第二沖洗狀態與第二清潔狀態基本相同，區別在於，在第二沖洗狀態下，第一控制閥51打開、第二控制閥52關閉。而且液源中通入的液體同樣不再是製程介質，而是改為有機溶劑，例如：正辛烷等，有機溶劑依次經過吹掃管路40、進液管路22、汽化器21、出氣管路23，同時，由於載氣控制閥25打開，在載氣作用下，汽化器21將內部的液態有機溶劑汽化為氣體，同時將汽化器21內的殘餘製程介質溶解，然後一同吹出，從而將管路中和汽化器21中的殘餘製程介質沖洗乾淨，並通過尾氣處理管路62進入尾氣處理裝置61中，從而通過尾氣處理裝置61將污染物處理，避免污染物對環境的污染。之後，可以進入第二清潔狀態，通過吹掃氣體對管路中的殘液進行回收，完成管路的清潔工作。

第一沖洗狀態與第二沖洗狀態的區別在於，第一沖洗狀態是針對汽化器21之前的管路進行沖洗，而第二沖洗狀態可以實現汽化器21內部的沖洗。

如圖17所示的本申請的實施例八，還公開了一種液源汽化系統，其與實施例七基本相同，區別在於，在本實施例中，排氣管路134不經過真空泵，而是直接連接在尾氣處理裝置61上。採用這種結構，主要是為了在裝機完成後，直接將液源汽化系統調整至第二殘液回收狀態，由於是殘液收集器131首次吹掃，管道內無特殊氣體或者液體，因此，可不經過真空泵，直接吹掃進入尾氣處理系統。

需要說明的是，在上述實施例中，為了防止載氣進入汽化器21後對原本溫度造成波動，汽化裝置20還包括熱交換器，熱交換器設置在載氣管路24上，熱交換器用於對載氣進行加熱，以便在較短時間內將載氣的溫度提高至需要的溫度，從而提高汽化效果。

在上述實施例中，第一流量計80為質量流量計，可精確控制液體的流量。另外，為了精確控制載氣的流量，在載氣管路24上設置有氣體流量計，氣體流量計為質量流量計，可精確控制氣體的流量。但是這並不是限制性，在不違反本申請的發明構思前提下，只要是可以精確計量液體或氣體流量的裝置，均在申請的保護範圍之內。

還需要說明的是，為了監控管路中液體或氣體的狀態，可以在管路上設置壓力檢測裝置，確認整體傳輸性能及安全。以實施例七為例：

可以在進液管路22上設置第一壓力檢測裝置，第一壓力檢測裝置位於殘液回收管路132的進口端與第一流量計80之間。用於檢測進入汽化器21的流體壓力，確認液源供應壓力的穩定性。

還可以在出氣管路23上設置第二壓力檢測裝置，檢測汽化器21後端出氣壓力，如出氣壓力過低，可適當增加載氣壓力及載氣量以提升出氣壓力，保證流體的正向傳輸，同時還可確認管路的密封性。

還可以在餘氣排出管路137上設置第三壓力檢測裝置，第三壓力檢測裝置位於第三壓力檢測裝置的進口端與餘氣控制閥138之間，可確認管路的密封性。

還可以在真空泵的入口位置處設置第四壓力檢測裝置，可確認真空泵是否正常運行，管路是否處於真空狀態。

還需要說明的是，在上述實施例中，採用真空泵利用負壓將管道中的氣體抽走並排至尾氣處理裝置中，但是這並不是限制性的，還可以是氣泵、風扇等裝置，只要是可以產生氣流流動，將氣流排至尾氣處理裝置中的裝置均在本申請的保護範圍之內。

前述內容概括數項實施例之特徵，使得熟習此項技術者可更佳地理解本揭露之態樣。熟習此項技術者應瞭解，其等可容易地使用本揭露作為用於設計或修改用於實行本文中介紹之實施例之相同目的及/或達成相同優點之其他製程及結構之一基礎。熟習此項技術者亦應瞭解，此等等效構造不背離本揭露之精神及範疇，且其等可在不背離本揭露之精神及範疇之情況下在本文中作出各種改變、置換及更改。

10:液源管路 20:汽化裝置 21:汽化器 22:進液管路 23:出氣管路 24:載氣管路 25:載氣控制閥 26:第七控制閥 30:輸出管路 40:吹掃管路 50:第一控制單元 51:第一控制閥 52:第二控制閥 60:尾氣處理單元 61:尾氣處理裝置 62:尾氣處理管路 70:第二控制單元 71:第三控制閥 72:第四控制閥 80:第一流量計 90:第一旁通管路 100:旁通控制單元 101:第一旁通閥 102:第二旁通閥 110:第二旁通管路 120:第五控制閥 130:殘液回收裝置 131:殘液收集器 132:殘液回收管路 133:第六控制閥 134:排氣管路 135:第八控制閥 136:第九控制閥 137:餘氣排出管路 138:餘氣控制閥 140:吹掃支路 150:第十控制閥

當結合附圖閱讀時，從以下詳細描述最佳理解本揭露之態樣。應注意，根據產業中之標準實踐，各種構件未按比例繪製。事實上，為了論述的清楚起見可任意增大或減小各種構件之尺寸。圖1為本申請的實施例一的液源汽化系統的結構示意圖；圖2為本申請的實施例一的液源汽化系統的工作狀態示意圖；圖3為本申請的實施例一的液源汽化系統的第一清潔狀態示意圖；圖4為本申請的實施例一的液源汽化系統的第二清潔狀態示意圖；圖5為本申請的實施例二的液源汽化系統的第三清潔狀態示意圖；圖6為本申請的實施例三的液源汽化系統的第四清潔狀態示意圖；圖7為本申請的實施例四的液源汽化系統的第一殘液回收狀態示意圖；圖8為本申請的實施例五的液源汽化系統的第二殘液回收狀態示意圖；圖9為本申請的實施例六的液源汽化系統的管路餘氣排出狀態示意圖；圖10為本申請的實施例七的液源汽化系統的工作狀態示意圖；圖11為本申請的實施例七的液源汽化系統的第一清潔狀態示意圖；圖12為本申請的實施例七的液源汽化系統的第二清潔狀態示意圖；圖13為本申請的實施例七的液源汽化系統的第三清潔狀態示意圖；圖14為本申請的實施例七的液源汽化系統的第一殘液回收狀態示意圖；圖15為本申請的實施例七的液源汽化系統的第二殘液回收狀態示意圖；圖16為本申請的實施例七的液源汽化系統的管路餘氣排出狀態示意圖；圖17為本申請的實施例八的液源汽化系統的管路餘氣排出狀態示意圖

10:液源管路

20:汽化裝置

21:汽化器

22:進液管路

23:出氣管路

24:載氣管路

25:載氣控制閥

30:輸出管路

40:吹掃管路

50:第一控制單元

51:第一控制閥

52:第二控制閥

60:尾氣處理單元

61:尾氣處理裝置

62:尾氣處理管路

70:第二控制單元

71:第三控制閥

72:第四控制閥

80:第一流量計

Claims

一種液源汽化系統，應用於一半導體製程設備，包括：一汽化裝置（20），用於將液態製程介質汽化為氣態製程介質；一液源管路（10），用於向該汽化裝置（20）提供液態製程介質；一吹掃管路（40），用於向該汽化裝置（20）提供一吹掃氣體；一第一控制單元（50），用於選擇性地控制該吹掃管路（40）或該液源管路（10）與該汽化裝置（20）連通；一輸出管路（30），用於將汽化後的氣態製程介質輸送至該半導體製程設備的製程腔室中；一尾氣處理管路（62），用於將通過該吹掃氣體自該汽化裝置（20）吹出的污染物輸送至一尾氣處理裝置（61）；一第二控制單元（70），用於選擇性地控制該尾氣處理管路（62）或該輸出管路（30）與該汽化裝置（20）連通。
如請求項1所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統具有一工作狀態和一第一清潔狀態；在該工作狀態，該第一控制單元（50）控制該液源管路（10）與該汽化裝置（20）連通，該第二控制單元（70）控制該輸出管路（30）與該汽化裝置（20）連通；在該第一清潔狀態，該第一控制單元（50）控制該吹掃管路（40）與該汽化裝置（20）連通，該第二控制單元（70）控制該尾氣處理管路（62）與該汽化裝置（20）連通。
如請求項1所述的液源汽化系統，其中該汽化裝置（20）包括：一汽化器（21），該汽化器（21）具有用於汽化該液態製程介質的一汽化室；一進液管路（22），該進液管路（22）的出口端與該汽化室連通，該進液管路（22）的進口端分別與該液源管路（10）的出口端和該吹掃管路（40）的出口端連通；一出氣管路（23），該出氣管路（23）的進口端與該汽化室連通，該出氣管路（23）的出口端分別與該輸出管路（30）的進口端和該尾氣處理管路（62）的進口端連通。
如請求項3所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統具有一工作狀態和一第一清潔狀態；在該工作狀態，該第一控制單元（50）控制該液源管路（10）與該進液管路（22）連通，該第二控制單元（70）控制該輸出管路（30）與該出氣管路（23）連通；在該第一清潔狀態，該第一控制單元（50）控制該吹掃管路（40）與該進液管路（22）連通，該第二控制單元（70）控制該尾氣處理管路（62）與該出氣管路（23）連通。
如請求項3所述的液源汽化系統，其中該第一控制單元（50）包括：一第一控制閥（51），該第一控制閥（51）設置在該液源管路（10）上，用於控制該液源管路（10）的通斷；一第二控制閥（52），該第二控制閥（52）設置在該吹掃管路（40）上，用於控制該吹掃管路（40）的通斷；並且一該第二控制單元（70）包括：一第三控制閥（71），該第三控制閥（71）設置在該輸出管路（30）上，用於控制該輸出管路（30）的通斷；一第四控制閥（72），該第四控制閥（72）設置在該尾氣處理管路（62）上，用於控制該尾氣處理管路（62）的通斷。
如請求項4所述的液源汽化系統，其中該汽化裝置（20）還包括：一載氣管路（24），該載氣管路（24）的進口端用於與一載氣源連通，該載氣管路（24）出口端與該汽化室連通；一載氣控制閥（25），該載氣控制閥（25）設置在該載氣管路（24）上，該載氣控制閥（25）用於控制該載氣管路（24）的通斷。
如請求項6所述的液源汽化系統，其中在該工作狀態，該載氣控制閥（25）打開；在該第一清潔狀態，該載氣控制閥（25）關閉。
如請求項6所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統還具有一第二清潔狀態；在該第二清潔狀態，該第一控制單元（50）控制該吹掃管路（40）與該進液管路（22）連通，該第二控制單元（70）控制該出氣管路（23）與該尾氣處理管路（62）連通，該載氣控制閥（25）打開。
如請求項3所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統還包括：一第一流量計（80），該第一流量計（80）設置在該進液管路（22）上，該第一流量計（80）用於控制該液態製程介質的流量；一第一旁通管路（90），該第一旁通管路（90）的進口端與該進液管路（22）連通，該第一旁通管路（90）的進口端位於該第一流量計（80）與該汽化器（21）之間，該第一旁通管路（90）的出口端與該尾氣處理管路（62）連通；一旁通控制單元（100），該旁通控制單元（100）用於選擇性地控制該第一流量計（80）與該汽化室連通或者該第一流量計（80）與該第一旁通管路（90）連通。
如請求項9所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統具有一工作狀態和一第三清潔狀態；在該工作狀態，該第一控制單元（50）控制該液源管路（10）與該進液管路（22）連通，該旁通控制單元（100）控制該第一流量計（80）與該汽化室連通，該第二控制單元（70）控制該輸出管路（30）與該出氣管路（23）連通；在該第三清潔狀態，該第一控制單元（50）控制該吹掃管路（40）與該進液管路（22）連通，該旁通控制單元（100）控制該第一流量計（80）與該第一旁通管路（90）連通。
如請求項9所述的液源汽化系統，其中該旁通控制單元（100）包括一第一旁通閥（101）和一第二旁通閥（102），該第一旁通閥（101）設置在該第一旁通管路（90）上，用於控制該第一旁通管路（90）的通斷；該第二旁通閥（102）設置在該進液管路（22）上，且位於該第一旁通管路（90）的進口端與該汽化器（21）之間，用於控制該進液管路（22）的通斷。
如請求項6所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統還包括：一第一流量計（80），該第一流量計（80）設置在該進液管路（22）上，該第一流量計（80）用於控制該液態製程介質的流量；一第二旁通管路（110），該第二旁通管路（110）的進口端與一吹掃氣源連通，該第二旁通管路（110）的出口端與該進液管路（22）連通，該第二旁通管路（110）的出口端位於該第一流量計（80）與該汽化室之間；一第五控制閥（120），該第五控制閥（120）設置在該第二旁通管路（110）上，用於控制該第二旁通管路（110）的通斷。
如請求項12所述的液源汽化系統，其中在該工作狀態，該載氣控制閥（25）打開，該第五控制閥（120）關閉；該液源汽化系統還具有一第四清潔狀態；在該第四清潔狀態，該第一控制單元（50）控制該液源管路（10）和該吹掃管路（40）與該進液管路（22）斷開，該載氣控制閥（25）、該第五控制閥（120）打開，該第二控制單元（70）控制該尾氣處理管路（62）與該出氣管路（23）連通。
如請求項4所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統還包括：一殘液收集器（131），該殘液收集器（131）用於回收殘餘的液態製程介質；一殘液回收管路（132），該殘液回收管路（132）的出口端與該殘液收集器（131）連通，該殘液回收管路（132）的進口端與該進液管路（22）連通；一第六控制閥（133），該第六控制閥（133）設置在該殘液回收管路（132）上，用於控制該殘液回收管路（132）的通斷；該汽化裝置（20）還包括：一第七控制閥（26），該第七控制閥（26）設置在該進液管路（22）上，該第七控制閥（26）位於該殘液回收管路（132）的進口端與該汽化器（21）之間，用於控制該汽化器（21）與該進液管路（22）之間的通斷。
如請求項14所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統還包括：一排氣管路（134），該殘液收集器（131）具有一排氣口，該排氣口通過該排氣管路（134）與該尾氣處理管路（62）連通；一第八控制閥（135），該第八控制閥（135）置在該排氣管路（134）上，用於控制該排氣管路（134）的通斷。
如請求項15所述的液源汽化系統，其中在該工作狀態，該第七控制閥（26）打開，該第六控制閥（133）關閉；該液源汽化系統還具有一第一殘液回收狀態，在該第一殘液回收狀態，該第一控制單元（50）控制該吹掃管路（40）與該進液管路（22）連通，該第七控制閥（26）關閉，該第六控制閥（133）、該第八控制閥（135）打開。
如請求項15所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統還包括：一第九控制閥（136），該第九控制閥（136）設置在該殘液回收管路（132）上，該第九控制閥（136）位於該第六控制閥（133）與該殘液回收管路（132）的出口端之間；一吹掃支路（140），該吹掃支路（140）的進口端與一吹掃氣源連通，該吹掃支路（140）的出口端與該殘液回收管路（132）連通，該吹掃支路（140）的出口端位於該第九控制閥（136）與該第六控制閥（133）之間；一第十控制閥（150），該第十控制閥（150）設置在該吹掃支路（140）上，用於控制該吹掃支路（140）的通斷。
如請求項17所述的液源汽化系統，其中在該工作狀態，該第六控制閥（133）、該第十控制閥（150）關閉，該第七控制閥打（26）打開；該液源汽化系統還具有一第二殘液回收狀態，在該第二殘液回收狀態，該第一控制單元（50）控制該液源管路（10）和該吹掃管路（40）與該進液管路（22）斷開，該第六控制閥（133）關閉，該第十控制閥（150）、該第九控制閥（136）、該第八控制閥（135）打開。
如請求項18所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統還包括：一餘氣排出管路（137），該餘氣排出管路（137）的進口端與該殘液回收管路（132）連通，該餘氣排出管路（137）的進口端位於該第六控制閥（133）與該第九控制閥（136）之間，該餘氣排出管路（137）的出口端與該尾氣處理管路（62）連通；一餘氣控制閥（138），該餘氣控制閥（138）設置在該餘氣排出管路（137）上，用於控制該餘氣排出管路（137）的通斷。
如請求項19所述的液源汽化系統，其中該液源汽化系統還具有一管路餘氣排出狀態；在該管路餘氣排出狀態，該第一控制單元（50）控制該吹掃管路（40）與該進液管路（22）連通，該第十控制閥（150）、該第九控制閥（136）、該第七控制閥（26）關閉；該第六控制閥（133）、該餘氣控制閥（138）打開。
如請求項19所述的液源汽化系統，其中該汽化裝置（20）還包括：一載氣管路（24），該載氣管路（24）進口端用於與載氣源連通，該載氣管路（24）出口端與該汽化室連通；一載氣控制閥（25），該載氣控制閥（25）設置在該載氣管路（24）上，該載氣控制閥（25）用於控制該載氣管路（24）的通斷；一第一流量計（80），該第一流量計（80）設置在該進液管路（22）上，該第一流量計（80）用於計算該液態製程介質的流量；一第二旁通管路（110），該第二旁通管路（110）的進口端與該吹掃氣源連通，該第二旁通管路（110）的出口端與該進液管路（22）連通，該第二旁通管路（110）的出口端位於該第一流量計（80）與該汽化室之間；一第五控制閥（120），該第五控制閥（120）設置在該第二旁通管路（110）上，用於控制該第二旁通管路（110）的通斷。
如請求項21所述的液源汽化系統，其中在該工作狀態，該載氣控制閥（25）打開，該第五控制閥（120）關閉；或者在該第一清潔狀態，該第七控制閥（26）打開，該載氣控制閥（25）、該第五控制閥（120）、該第六控制閥（133）和該第十控制閥（150）關閉；或者該液源汽化系統還具有一第二清潔狀態；在該第二清潔狀態，該第一控制單元（50）控制該吹掃管路（40）與該進液管路（22）連通，該第五控制閥（120）、該第六控制閥（133）和該第十控制閥（150）關閉，該第七控制閥（26）打開；或者該液源汽化系統還具有一第四清潔狀態；在該第四清潔狀態，該第一控制單元（50）控制該液源管路（10）和該吹掃管路（40）與該進液管路（22）斷開，該第十控制閥（150）、該第六控制閥（133）關閉，該載氣控制閥（25）、該第五控制閥（120）打開，該第二控制單元（70）控制該尾氣處理管路（62）與該出氣管路（23）連通；或者該液源汽化系統還具有一第一殘液回收狀態；在該第一殘液回收狀態，該第五控制閥（120）、該第十控制閥（150）關閉；或者在該第二殘液回收狀態，該第五控制閥（120）、該餘氣控制閥（138）關閉；或者該液源汽化系統還具有管路餘氣排出狀態；在該管路餘氣排出狀態，該第一控制單元（50）控制該吹掃管路（40）與該進液管路（22）連通，該第五控制閥（120）、該第十控制閥（150）、該第九控制閥（136）、該第七控制閥（26）關閉；該第六控制閥（133）、該餘氣控制閥（138）打開。