TW202434366A - 基板處理裝置 - Google Patents

Abstract

基板處理裝置包括：刷，清洗由保持旋轉部保持的基板；刷保持部，能夠裝卸地保持刷；臂，在前端部設置有刷保持部；刷回收部，從刷保持部回收刷；刷安裝部，保管未使用的刷，將保管的未使用的刷安裝於刷保持部；以及刷移動機構（升降機構及回轉驅動部），經由臂使刷移動。

Description

基板處理裝置

本發明涉及一種對基板進行處理的基板處理裝置。基板例如可列舉：半導體基板、平板顯示器（Flat Panel Display，FPD）用基板、光掩模用玻璃基板、光碟用基板、磁碟用基板、陶瓷基板、太陽能電池用基板等。FPD例如可列舉液晶顯示裝置、有機電致發光（electroluminescence，EL）顯示裝置等。

基板處理裝置使用刷清洗基板。刷需要定期更換。刷一般由操作者手動更換。但是，存在由於刷更換，基板處理裝置的運轉率降低而生產性惡化的課題。因此，提出了一種可自動更換刷的裝置（例如，參照專利文獻1）。

專利文獻1中公開了一種包括保持多個刷的刷保持框的洗滌器清洗裝置。刷保持框形成有多個保持槽。洗滌器清洗裝置利用刷保持框的空的保持槽從刷頭拆卸刷。被拆卸的刷被保持於所述保持槽中。然後，洗滌器清洗裝置使保持於刷保持框的其他刷向刷頭的下方移動，將所述其他刷安裝於刷頭。

在專利文獻2、專利文獻3中公開了一種刷清洗裝置，其可利用刷卡盤（brush chuck）擇一地保持橫向排列配置於待機罐（pot）中的多個刷中的所期望的刷。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利特開平08-318226號公報 [專利文獻2] 日本專利特開平08-010719號公報 [專利文獻3] 日本專利特開平10-223584號公報

[發明所要解決的問題] 但是，以往的裝置存在以下的問題。例如，在專利文獻1中，被拆卸的使用過的刷被保持於刷保持框中。在所述情況下，使用過的刷與未使用的刷成為橫向排列的狀態。另外，刷保持框的保持槽在保持被拆卸的使用過的刷後，有可能保持未使用的刷。因此，使用過的刷的顆粒有可能會附著於未使用的刷上。

本發明是鑒於此種情況而成，其目的在於提供一種可在防止顆粒附著於未使用的刷上的同時自動更換刷的基板處理裝置。

[解決問題的技術手段] 本發明為了實現此種目的，採用如以下那樣的結構。本發明的基板處理裝置是使用刷清洗基板的基板處理裝置，其特徵在於包括：基板保持部，以水平姿勢保持基板；刷，清洗由所述基板保持部保持的所述基板；刷保持部，能夠裝卸地保持所述刷；臂，在前端部設置有所述刷保持部；刷回收部，從所述刷保持部回收所述刷；刷安裝部，保管未使用的所述刷，將保管的未使用的所述刷安裝於所述刷保持部；以及刷移動機構，經由所述臂使所述刷在由所述基板保持部保持的所述基板上的處理位置與所述刷回收部及所述刷安裝部之間移動。

根據本發明的基板處理裝置，由於刷回收部與刷安裝部是分開的，因此使用過的刷與未使用的刷不在同一區域進行處理。由此，可在將未使用的刷從被拆卸的使用過的刷上分離的狀態下進行處理。因此，可在防止顆粒附著於未使用的刷上的同時，自動更換刷。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，所述刷安裝部包括收容保管中的未使用的所述刷的刷收容容器。

通過在刷安裝部包括刷收容容器，可將刷安裝部與刷回收部隔開。因此，可確實地防止由使用過的刷引起的顆粒附著於由刷安裝部處理的未使用的刷。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，還包括向所述刷收容容器供給液體的液體供給部，所述刷收容容器使未使用的所述刷浸漬於貯存的所述液體中並進行保管。

若保管中的未使用的刷進行乾燥，則例如顆粒有可能會進入未使用的刷的細小間隙。若顆粒進入所述間隙，則顆粒的去除需要很長時間。因此，在將未使用的刷安裝於刷保持部後，到對作為產品的基板進行刷清洗為止，有可能花費很長時間。因此，基板處理裝置的運轉率降低，生產性惡化。但是，根據本發明，由於液體供給部向保管中的未使用的刷供給液體，因此可防止保管中的未使用的刷的乾燥。因此，可防止顆粒進入保管中的未使用的刷的細小間隙。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，所述刷安裝部還包括使所述刷收容容器水平移動的水平移動部。

可在俯視時的移動路徑上搬送多個未使用的刷。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，所述刷回收部包括回收被拆卸的使用過的所述刷的刷回收容器。

通過在刷回收部包括刷回收容器，可將刷安裝部與刷回收部隔開。因此，可確實地防止由使用過的刷引起的顆粒附著於由刷安裝部處理的未使用的刷。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，所述刷回收部包括用於拆卸所述刷的拆卸構件。

可使用拆卸構件從刷保持部拆卸使用過的刷並將所述刷回收至刷回收容器中。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，所述刷安裝部與所述刷回收部鄰接地配置。

可在由刷回收部拆卸使用過的刷後迅速安裝未使用的刷。另外，即使在刷安裝部與刷回收部鄰接的狀態下，也可使未使用的刷從被拆卸的使用過的刷分離。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，還包括隔離部，所述隔離部設置於所述刷回收部與所述刷安裝部之間，將所述刷回收部與所述刷安裝部隔開。

通過在刷回收部與刷回收容器之間包括隔離部，可將刷安裝部與刷回收部隔開。因此，可防止由使用過的刷引起的顆粒附著於由刷安裝部處理的未使用的刷。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，所述刷保持部包括：圓柱狀的穴部，沿著鉛垂地延伸的中心軸而形成；三個開口部，設置於所述穴部的內側的側壁，並且繞所述中心軸配置；三個突出部，從所述三個開口部分別向所述穴部突出；以及施力部，設置於所述三個突出部的外側，向所述中心軸的方向對所述三個突出部施力，所述刷包括：刷主體，具有用於清洗所述基板的清洗面；刷支撐部，從所述清洗面的相反側支撐所述刷主體；圓柱部，從所述刷支撐部向所述清洗面的相反側突出；以及凹部及長邊凹部，在所述圓柱部的側壁且繞所述圓柱部的軸設置，所述長邊凹部在圓周方向上呈長邊凹陷，在將所述圓柱部插入所述刷保持部的所述穴部的情況下，所述凹部收容所述三個突出部中的一個突出部，另外，所述長邊凹部收容剩下的兩個突出部中的至少一個突出部。

長邊凹部在圓周方向上呈長邊凹陷，可收容三個突出部中的兩個突出部。因此，例如在將刷的圓柱部插入刷保持部的穴部時，三個突出部中的一個被收容於長邊凹部中。因此，可限制刷相對於刷保持部的上下方向上的移動。

另外，在所述基板處理裝置中，優選為，所述刷包括：刷主體，具有用於清洗所述基板的清洗面；以及刷支撐部，從所述清洗面的相反側支撐所述刷主體，所述刷支撐部具有：引導件，在與所述清洗面相反的一側，沿預先設定的水平方向延伸；開口部，設置於所述引導件；突出部，從所述開口部向外側突出；按鈕部，設置於所述刷支撐部的外周面；以及突出寬度調整機構，根據所述按鈕部的按壓量來調整所述突出部的突出寬度，所述刷保持部包括：引導件保持部，以能夠在所述水平方向上移動的方式保持所述引導件；以及凹部，設置於所述引導件保持部並收容所述突出部，在按壓了所述按鈕部的情況下，所述突出寬度調整機構使所述突出部從所述開口部向內側後退，由此成為所述刷可相對於所述刷保持部在所述水平方向上移動的狀態，在未按壓所述按鈕部的情況下，所述突出寬度調整機構使所述突出部從所述開口部向外側突出，由此成為可使所述突出部收容於所述凹部中而限制所述刷在所述水平方向上的移動的狀態。

刷包括沿預先設定的水平方向延伸的引導件。刷保持部包括以能夠在所述水平方向上移動的方式保持引導件的引導件保持部。因此，可限制刷相對於刷保持部在上下方向及旋轉方向上的移動。另外，通過使突出部收容於凹部中，也可限制所述水平方向上的移動。

[發明的效果] 根據本發明的基板處理裝置，可在防止顆粒附著於未使用的刷上的同時自動更換刷。

[實施例1] 以下，參照附圖對本發明的實施例1進行說明。圖1是表示基板處理裝置1的概略結構的側面圖。圖2是基板處理裝置1的平面圖。

（1）基板處理裝置的基本結構 參照圖1、圖2。基板處理裝置1使用刷25清洗基板W。基板處理裝置1包括保持旋轉部3、杯體5、處理液供給部7、刷機構9、以及控制部101。此外，保持旋轉部3相當於本發明的基板保持部。

保持旋轉部3以水平姿勢保持基板W，使基板W繞鉛垂軸AX1旋轉。基板W形成為圓板狀。保持旋轉部3包括旋轉卡盤11及旋轉驅動部13。旋轉驅動部13包括電動馬達。旋轉驅動部13使保持基板W的旋轉卡盤11繞鉛垂軸AX1旋轉。

如圖2所示，旋轉卡盤11包括旋轉基座15及三根以上（例如六根）保持銷17。旋轉基座15形成為圓板狀。鉛垂軸AX1通過旋轉基座15（即基板W）的中心。六根保持銷17等間隔地豎立設置於旋轉基座15的上表面的周緣部。另外，六根保持銷17中的例如配置於其中一側的三根保持銷17A各自繞通過自身的鉛垂軸旋轉。由此，旋轉卡盤11通過利用六根保持銷17夾持基板W的周緣來保持基板W。此外，旋轉卡盤11不僅是所述說明的機械卡盤，也可為真空卡盤或靜電卡盤。

杯體5構成為包圍由保持旋轉部3保持的水平姿勢的基板W的外周。杯體5接收例如因基板W的旋轉而飛散的處理液。杯體5構成為能夠升降。

處理液供給部7包括處理液噴嘴19、處理液配管21、處理液供給源23及開閉閥V1。處理液噴嘴19向由保持旋轉部3保持的基板W噴出處理液。處理液例如使用去離子水（deionized water，DIW）等純水。處理液配管21連接處理液噴嘴19與處理液供給源23。處理液供給源23通過處理液配管21向處理液噴嘴19供給處理液。開閉閥V1設置於處理液配管21。開閉閥V1進行處理液的供給及所述供給的停止。

刷機構9包括刷25、刷保持部27、軸29、臂31及電動馬達33。刷25用於清洗由保持旋轉部3保持的基板W。刷保持部27能夠裝卸地保持刷25。此外，刷25及刷保持部27的詳情將後述。

刷保持部27的上端部固定於沿鉛垂方向延伸的軸29的下端部。軸29的上部通過沿水平方向延伸的臂31以能夠繞鉛垂軸AX2旋轉的方式保持。軸29例如經由帶或齒輪通過電動馬達33繞鉛垂軸AX2旋轉。刷25、刷保持部27及軸29設置於臂31的前端部（前端側）。

刷機構9還包括升降機構35及回轉驅動部37。升降機構35使刷25、刷保持部27及臂31等升降。升降機構35包括導軌39及升降驅動部41。臂31的基端部通過導軌39以能夠升降的方式滑動接觸。導軌39沿上下方向引導臂31。升降驅動部41例如包括電動馬達及螺桿軸。此外，升降驅動部41也可為氣缸。

回轉驅動部37設置於由保持旋轉部3保持的基板W及杯體5的外側。回轉驅動部37使刷25、刷保持部27、臂31及升降機構35等繞鉛垂軸AX3回轉。回轉驅動部37包括電動馬達。如圖2所示，升降機構35及回轉驅動部37經由臂31使刷25在由保持旋轉部3保持的基板W上的處理位置與待機罐43及刷更換部45（刷回收部79及刷安裝部81）之間移動。此外，升降機構35及回轉驅動部37相當於本發明的刷移動機構。

（2）用於裝卸刷的結構 圖3A是表示刷25及刷保持部27的縱剖面圖。圖3B是刷25的立體圖。刷保持部27包括圓筒構件51、穴部53、三個開口部55、三個鋼球57、球收容部59及施力部61。此外，鋼球57相當於本發明的突出部。

圓筒構件51的上部51A的外徑比圓筒構件51的下部51B的外徑小。穴部53沿著鉛垂地延伸的中心軸（即鉛垂軸AX2）形成為圓柱狀。軸29的下端部與穴部53的上端連結。由此，圓筒構件51被固定於軸29。

在圓筒構件51，形成有三個球收容部59。三個球收容部59繞鉛垂軸等間隔（120°間隔）地配置。球收容部59在穴部53的內側的側壁53A具有開口部55，收容於三個球收容部59中的三個鋼球57構成為一部分從開口部55突出。

在所述結構中，球收容部59為三個，但也可為四個以上。另外，鋼球57例如由不銹鋼等鐵構成，但也可為其他金屬或樹脂。鋼球57的個數為三個，但也可為四個以上。

收容於三個球收容部59中的三個鋼球57由施力部61支撐。施力部61以包圍圓筒構件51的上部51A的外周的方式設置。施力部61包括圓筒狀的殼體部63、按壓部65及圓筒狀的彈簧構件（彈性構件）67。彈簧構件67也可具有上下方向的狹縫，彈簧構件67的橫剖面也可成為C字狀。殼體部63的上端部的內壁形成為到達圓筒構件51的上部51A的外壁。殼體部63的下端與圓筒構件51的下部51B的上表面接觸。殼體部63形成配置有彈簧構件67的空間SP1。

按壓部65由抵接部65A及限制部65B一體地構成。抵接部65A在俯視時為呈圓環形狀的構件，在內周面具有錐形，以使中空部的剖面積從下表面朝向上表面變小。另外，抵接部65A在上下方向Z上配置於彈簧構件67與圓筒構件51之間。限制部65B形成為在俯視時為外徑比抵接部65A小且內徑與抵接部65A相同的圓環形狀，且從抵接部65A的上表面延伸。彈簧構件67例如由不銹鋼等金屬形成。彈簧構件67在水平方向上配置於殼體部63與限制部65B之間。抵接部65A的內周面及彈簧構件67將三個鋼球57分別按壓至內周側（三個開口部55側）。

刷25能夠相對於刷保持部27裝卸。如圖3B所示，刷25包括刷主體69、刷支撐部71及圓柱部73。刷主體69例如使用聚乙烯醇（polyvinyl alcohol，PVA）的海綿刷。刷主體69形成為圓柱狀。刷主體69具有用於清洗基板W的清洗面69A。刷支撐部71從清洗面69A的相反側支撐刷主體69。刷支撐部71也形成為圓柱狀。圓柱部73從刷支撐部71向清洗面69A的相反側延伸。圓柱部73被固定於刷支撐部71。在圓柱部73的外周面73A，形成有凹部75及長邊凹部77，所述長邊凹部77是與凹部75相比在圓柱部73的圓周方向上較長的凹部。

圖4A是表示設置於圓柱部的凹部75及長邊凹部77的橫剖面圖。圖4B是圓柱部73的側壁（外周面）73A的部分的展開圖。圖4C是表示三個鋼球57收納於凹部75及長邊凹部77中的狀態的橫剖面圖。

凹部75的上下方向Z上的長度及水平方向上的寬度形成為與從開口部55部分地突出的鋼球57的大致半球狀的部分的長度（上下方向Z）及寬度（水平方向）大致相同。另外，長邊凹部77的上下方向Z上的長度也同樣地，形成為與從開口部55部分地突出的鋼球57的大致半球狀的部分的長度（上下方向Z）大致相同。

如圖4B所示，長邊凹部77沿圓周方向呈長邊凹陷。如圖4A及圖4B所示，在將刷25的圓柱部73插入刷保持部27的穴部53的情況下，凹部75收容三個鋼球57中的第一鋼球57A。另外，長邊凹部77在其兩端部收容剩下的兩個鋼球57B、57C。此外，在圓柱部73為中空（圓筒狀）的情況下，凹部75及長邊凹部77也可為貫通的孔部。

通過將三個鋼球57收納於凹部75及長邊凹部77中，來限制刷25相對於刷保持部27的上下方向及圓周方向上的移動。圓周方向上的移動的限制不僅通過第一鋼球57A收容於凹部75中進行，而且也通過兩個鋼球57B、57C收容於長邊凹部77中來進行。在圖4A中，在鋼球57B、鋼球57C繞鉛垂軸AX2旋轉的情況下，第二鋼球57B的順時針旋轉被長邊凹部77的第一端77A限制，第三鋼球57C的逆時針旋轉被第二端77B限制。

此外，在將刷25的圓柱部73插入刷保持部27的穴部53時，各鋼球57被圓柱部73向外周側按壓，由此成為不從開口部55向穴部53側突出的狀態。具體而言，按壓部65由彈簧構件67以能夠沿鉛垂方向移動的狀態支撐。另外，按壓部65的抵接部65A在內周面具有俯視時中空部的剖面積從下表面朝向上表面變小的錐形形狀。因此，在內周面被鋼球57朝向外側按壓時，被按壓的力的方向（水平方向）變換為鉛垂方向的朝上的方向。因此，通過按壓部65沿鉛垂方向的朝上的方向移動，鋼球57被收容於比圓筒構件51的側壁53A更靠內側處。然後，在三個開口部55與兩個凹部75、77相向時，通過按壓部65與彈簧構件67的復原力，三個鋼球57從三個開口部55部分地突出。具體而言，由按壓部65產生的朝下的方向（鉛垂方向）的力通過錐形形狀的內周面被變換為從內周面朝向內側的力（水平方向）。由此，被錐形形狀的內周面施力的三個鋼球57從各開口部55部分地突出，由此收容於凹部75及長邊凹部77，另外，刷25的移動受到限制。

另外，在圖3A中，在從刷保持部27拆卸刷25時，將刷25向下方牽拉。通過規定的牽拉力，圓柱部73將三個鋼球57向外側按壓。由此，三個鋼球57成為不從開口部55向穴部53側突出的狀態。因此，可從刷保持部27拆卸刷25。

此處，參照圖5對長邊凹部77的效果進行說明。例如，假設在圓柱部73未設置長邊凹部77，與三個鋼球57對應的“三個凹部75”以120°的間隔繞鉛垂軸AX4配置。在所述情況下，在將刷25安裝於刷保持部27時，難以將三個鋼球57收納於三個凹部75中。在將刷25的圓柱部73插入刷保持部27的穴部53時，若三個鋼球57未被收納於三個凹部75中，則有時圓柱部73會從穴部53中拔出。

與此相對，在本實施例的圓柱部73設置有凹部75及長邊凹部77。如圖5所示，在將刷25的圓柱部73插入刷保持部27的穴部53時，至少一個鋼球57被收容於長邊凹部77中。因此，刷25的上下方向上的移動受到限制。因此，可防止圓柱部73從穴部53中拔出。然後，例如通過刷25繞鉛垂軸AX2的旋轉，刷25相對於刷保持部27在圓周方向上滑動，由此三個鋼球57被收納於凹部75與長邊凹部77中，從而限制刷25的旋轉。另外，可確實地保持刷25。

（3）刷更換部的結構 參照圖2。刷更換部45用於將使用過的刷25A（刷25）更換為未使用的刷25B。未使用的刷25B與刷25同樣地構成。例如，未使用的刷25B的刷主體69如刷25的刷主體69那樣為PVA的海綿刷。待機罐43配置於保持旋轉部3的周圍所配置的杯體5的外側。

刷更換部45在俯視時經由由保持旋轉部3保持的基板W及杯體5而設置於待機罐43的相反側。另外，刷更換部45配置於由保持旋轉部3保持的基板W、以及杯體5的外側的位置。刷更換部45包括刷回收部79及刷安裝部81。

（3-1）刷回收部 在刷回收部79中，從刷保持部27拆卸刷25。刷回收部79包括拆卸構件83及刷回收容器85。拆卸構件83設置於刷回收容器85的上方。拆卸構件83在俯視時配置於基於刷機構9進行的刷25的水平移動的路徑RT上。

圖6A是表示拆卸構件83的平面圖。圖6B是表示從圖6A的箭頭AR1的方向觀察到的拆卸構件83的正面圖。拆卸構件83是用於通過在拆卸刷25時與刷25的上表面抵接來限制刷25的高度方向上的位置（運動）的構件。如圖6A所示，拆卸構件83具有一個基礎部分83A、以及從所述基礎部分83A分開的兩個鉤掛部分83B、83C，且由U字狀或二叉分支狀構成。

在從刷保持部27拆卸刷25時，刷機構9首先使刷保持部27通過兩個鉤掛部分83B、83C之間。然後，刷機構9使刷保持部27上升。由此，如圖6B所示，刷25被兩個鉤掛部分83B、83C妨礙向上方的移動，另外，刷保持部27在與刷25分離的同時上升。因此，刷25從刷保持部27被拆卸。被拆卸的刷25不被拆卸構件83（鉤掛部分83B、鉤掛部分83C）保持。因此，刷25從拆卸位置落下而被回收至刷回收容器85中。

圖7是表示刷更換部45的概略結構的縱剖面圖。刷回收容器85將使用過的刷25A回收至比未使用的刷25B的保管位置（高度）P11低的位置。即，刷回收容器85的內側的底面85A設置於比保管位置P11低的位置。另外，刷回收容器85設置於拆卸構件83的兩個鉤掛部分83B、83C的下方。刷回收容器85能夠相對於基板處理裝置1的基台87裝卸。因此，可在收容有使用過的刷25A的狀態下搬運刷回收容器85。

（3-2）刷安裝部 參照圖2。刷安裝部81將未使用的刷25B安裝於刷保持部27。刷安裝部81與刷回收部79鄰接地配置。刷安裝部81配置於與刷回收部79不同的位置。

參照圖7。刷安裝部81保管一個或多個（例如三個）未使用的刷25B。刷安裝部81包括刷收容容器91及液體排出容器93。另外，液體供給部89向刷收容容器91中供給液體。

液體供給部89包括液體噴嘴95、液體配管97、液體供給源98及開閉閥V2。液體噴嘴95向刷收容容器91中供給例如去離子水（DIW）等純水作為液體。來自液體噴嘴95的純水可直接接觸未使用的刷25B，也可不直接接觸未使用的刷25B。液體供給源98通過液體配管97向液體噴嘴95供給純水。開閉閥V2設置於液體配管97。開閉閥V2進行純水的供給及停止所述供給。

刷收容容器91貯存從液體供給部89的液體噴嘴95供給的純水。刷收容容器91在使三個未使用的刷25B的刷主體69浸漬於貯存的純水中的同時收容保管中的三個未使用的刷25B。刷收容容器91例如形成為底淺的托盤狀。刷收容容器91在保管未使用的刷25B時，從液體噴嘴95持續供給純水。由此，可保持浸漬未使用的刷25B的純水的清潔度。此外，刷回收容器85的側壁中與刷安裝部81相向的側壁W1、以及刷收容容器91中與刷回收部79相向的側壁W2相當於本發明中的隔離部。根據所述結構，可將刷回收部79與刷安裝部81隔開。因此，可確實地防止由使用過的刷25A引起的顆粒附著於由刷安裝部81處理的未使用的刷25B。

液體排出容器93收容刷收容容器91。即，刷收容容器91的側方的外周被液體排出容器93的內壁包圍。在液體排出容器93的底部設置有排出口93A。因此，液體排出容器93在接收從刷收容容器91的上側開口部溢出的純水的同時，排出所述純水。此外，液體排出容器93中與刷回收部79相向的側壁W3相當於本發明的隔離部。即，側壁W1、側壁W2、側壁W3中的至少一個相當於本發明的隔離部。

如圖2所示，例如三個未使用的刷25B在俯視時配置於刷保持部27的移動路徑RT上。刷收容容器91例如設置有凹部等引導部，以便可將各未使用的刷25B保管在預先設定的位置。

（4）基板處理裝置的控制部 基板處理裝置1包括控制部101及存儲部（未圖示）。控制部101控制基板W的處理及刷更換。控制部101包括例如中央處理器（central processing unit，CPU）等一個以上的處理器。存儲部包括例如唯讀記憶體（Read-Only Memory，ROM）、隨機存取記憶體（Random-Access Memory，RAM）及硬碟中的至少一個。存儲部對控制部101用於控制基板處理裝置1的各結構所需的計算機程序進行存儲。

（5）基板處理裝置的動作 接著，對基板處理裝置1的動作進行說明。如圖2所示，通常由刷保持部27保持的刷25在待機罐43待機。首先，對通常的基板W的背面的刷清洗進行說明。

（5-1）通常的基板W的背面的刷清洗 未圖示的搬送機器人將基板W搬送至保持旋轉部3的旋轉卡盤11上。被搬送的基板W的形成有電子電路的器件面（表面）朝下，所述基板W的非器件面（背面）朝上。保持旋轉部3保持被搬送的基板W，使所述基板W繞鉛垂軸AX1旋轉。在開閉閥V1打開時，從處理液噴嘴19向基板W的背面（即上表面）噴出處理液。然後，刷機構9在使刷25繞鉛垂軸AX2旋轉的同時使刷25繞鉛垂軸AX3擺動，並且使刷25作用於噴出有處理液的基板W的背面，由此清洗基板W的背面。

在清洗基板W的背面後，刷機構9使刷25返回待機罐43，且關閉開閉閥V1，由此停止噴出處理液。在停止噴出處理液後，保持旋轉部3通過使基板W高速旋轉，而使基板W乾燥。然後，保持旋轉部3使基板W的旋轉停止，且釋放對基板W的保持。然後，未圖示的搬送機器人將利用刷25清洗後的基板W從旋轉卡盤11搬送。

（5-2）刷更換 接著，對刷更換進行說明。刷機構9使保持刷25的刷保持部27從待機罐43移動至杯體5的外側的位置P1（參照圖7）。然後，刷機構9的升降機構35使刷保持部27從位置P1下降至位置P2。然後，刷機構9的回轉驅動部37使刷保持部27從位置P2向位置P3繞鉛垂軸AX3回轉。由此，刷保持部27移動至刷回收部79的拆卸構件83的兩個鉤掛部分83B、83C之間。

然後，升降機構35使刷保持部27從位置P3上升至位置P4。此時，刷25被兩個鉤掛部分83B、83C限制向上方的移動。因此，僅刷保持部27上升至位置P4，另一方面，刷25從刷保持部27被拆卸。被拆卸的刷25從由拆卸構件83進行的拆卸位置落下，作為使用過的刷25A被回收至刷回收容器85中。

然後，回轉驅動部37使刷保持部27從位置P4向位置P5繞鉛垂軸AX3回轉。位置P5是在刷收容容器91中保管的三個未使用的刷25B中的一個未使用的刷25B的上方的位置。在刷保持部27移動至位置P5後，升降機構35使刷保持部27下降。由此，未使用的刷25B的圓柱部73被插入刷保持部27的穴部53。另外，通過將三個鋼球57收納於設置於圓柱部73的凹部75及長邊凹部77中，未使用的刷25B相對於刷保持部27在上下方向及旋轉方向（繞鉛垂軸AX2的旋轉方向）上被固定。

然後，升降機構35使保持未使用的刷25B的刷保持部27上升至位置P6。然後，刷機構9使未使用的刷25B從位置P6移動至例如待機罐43。未使用的刷25B在為了提高清洗度而進行了去除初始污染的處理後，對基板W的背面進行刷清洗。

根據本實施例，由於刷回收部79與刷安裝部81分開，因此使用過的刷25A與未使用的刷25B不在同一區域處理。由此，可將未使用的刷25B從被拆卸的使用過的刷25A分離。因此，可在防止顆粒附著於未使用的刷25B的同時自動更換刷25。

另外，刷安裝部81包括收容保管中的未使用的刷25B的刷收容容器91。

通過在刷安裝部81包括刷收容容器91，可將刷安裝部81與刷回收部79隔開。因此，可確實地防止由使用過的刷25A引起的顆粒附著於由刷安裝部81處理的未使用的刷25B。

另外，刷安裝部81包括向保管中的未使用的刷25B供給純水的液體供給部89。

若保管中的未使用的刷25B進行乾燥，則例如顆粒有可能會進入未使用的刷25B的細小間隙。若顆粒進入所述間隙，則取出顆粒很困難。因此，在將未使用的刷25B安裝於刷保持部27後，到對作為產品的基板W進行刷清洗為止，有可能花費很長時間。因此，基板處理裝置1的運轉率降低，生產性惡化。但是，根據本實施例，由於液體供給部89向保管中的未使用的刷25B供給純水，因此可防止保管中的未使用的刷25B的乾燥。因此，可防止顆粒進入保管中的未使用的刷25B的細小間隙。

另外，刷回收部79包括回收被拆卸的使用過的刷25A的刷回收容器85。

通過在刷回收部79包括刷回收容器85，可將刷安裝部81與刷回收部79隔開。因此，可確實地防止由使用過的刷25A引起的顆粒附著於由刷安裝部81處理的未使用的刷25B。

另外，刷回收部79包括用於拆卸刷25的拆卸構件83。

通過使用拆卸構件83，可從刷保持部27拆卸刷25，並作為使用過的刷25A回收至刷回收容器85中。

另外，刷安裝部81與刷回收部79鄰接地配置。

可在由刷回收部79拆卸使用過的刷25A後迅速安裝未使用的刷25B。另外，即使在刷安裝部81與刷回收部79鄰接的狀態下，也可使未使用的刷25B從被拆卸的使用過的刷25A分離。

另外，在刷回收部79與刷安裝部81之間包括隔開所述刷回收部79與所述刷安裝部81的刷回收容器85的側壁W1、刷收容容器91的側壁W2或液體排出容器93的側壁W3。根據所述結構，可將刷回收部79與刷安裝部81隔開。因此，可確實地防止由使用過的刷25A引起的顆粒附著於由刷安裝部81處理的未使用的刷25B。

另外，長邊凹部77在圓周方向上呈長邊凹陷，可收容三個鋼球57中的兩個鋼球57。因此，例如在將刷25的圓柱部73插入刷保持部27的穴部53時，三個鋼球57中的一個被收容於長邊凹部77中。因此，可限制刷25相對於刷保持部27的上下方向上的移動。因此，可防止刷25從刷保持部27脫離。

[實施例2] 接著，參照附圖對本發明的實施例2進行說明。此外，省略與實施例1重複的說明。在實施例1中，保管的未使用的刷25B的位置一定。即，收容未使用的刷25B的刷收容容器91的位置固定。關於此方面，刷收容容器91也可構成為沿圖2的X方向移動。

圖8A是實施例2的刷更換部45的縱剖面圖。圖8B是刷更換部45的平面圖。刷安裝部81還包括使刷收容容器91沿X方向水平移動的水平移動部111。水平移動部111例如安裝於液體排出容器93的內壁。

水平移動部111包括滑塊113、導軌115、螺桿軸117及電動馬達119。滑塊113例如被固定於刷收容容器91的下表面。導軌115及螺桿軸117配置成各自沿X方向延伸。導軌115貫通滑塊113。螺桿軸117與滑塊113的內螺紋113A嚙合。電動馬達119的輸出軸119A與螺桿軸117的一端連結。若電動馬達119使螺桿軸117向正向旋轉，則滑塊113及刷收容容器91向+X方向前進。若電動馬達119使螺桿軸117向相反方向旋轉，則滑塊113及刷收容容器91向-X方向後退。

在圖8B中，例如在使用符號121所示的未使用的刷25B進行刷更換的情況下，水平移動部111使刷收容容器91沿X方向移動，從而使符號121所示的未使用的刷25B移動至俯視時與移動路徑RT重疊的位置。然後，刷機構9使拆卸了刷25的刷保持部27向符號121所示的未使用的刷25B的上方移動。然後，刷機構9通過使刷保持部27下降，將未使用的刷25B安裝於刷保持部27。

根據本實施例，刷安裝部81還包括使刷收容容器91水平移動的水平移動部111。可在俯視時的移動路徑RT上搬送任意的未使用的刷25B。因此，可在刷收容容器91中收容並保管許多未使用的刷25B。

此外，在本實施例中，水平移動部111不使液體排出容器93水平移動，而使刷收容容器91水平移動。關於此方面，水平移動部111也可使刷收容容器91及液體排出容器93一體地水平移動。

[實施例3] 接著，參照附圖對本發明的實施例3進行說明。此外，省略與實施例1、實施例2重複的說明。在實施例1、實施例2中，通過使刷保持部27相對於刷25（未使用的刷25B）上下移動來進行刷更換。關於此方面，也可通過使刷保持部127相對於刷125（未使用的刷125B）沿橫向移動來進行刷更換。

（6）用於裝卸刷的結構 圖9A是刷125及刷保持部127的側面圖。圖9B是刷保持部127的立體圖。圖10A、圖10B是如圖9A的箭頭B那樣觀察時的刷125及刷保持部127的橫剖面圖。另外，圖10A是用於說明未按壓按鈕141時的動作的圖。圖10B是用於說明按壓按鈕141時的動作的圖。

參照圖9A、圖10A。刷125能夠相對於刷保持部127裝卸。刷125包括刷主體69、刷支撐部129、引導件131、兩個開口部133、兩個鋼球57、空間SP2、球收容部135、彈性構件137、凸輪139及按鈕141。

刷支撐部129從清洗面69A的相反側支撐刷主體69。引導件131設置於與清洗面69A為相反側的刷支撐部129的面（上表面）。引導件131是從刷支撐部129的上表面朝上突出的構件。引導件131在預先設定的水平方向HD1上以長邊的形狀形成。

參照圖10A。引導件131在內部包括空間SP2。在引導件131中在與水平方向HD1平行的兩個側面形成有球收容部135。另外，在引導件131的外側的側面中在與球收容部135相向的部分形成有開口部133。在兩個球收容部135中收容有兩個鋼球57。收容於兩個球收容部135中的兩個鋼球57經由凸輪139由彈性構件137支撐。由此，兩個鋼球57分別從兩個開口部133向外側部分地突出。

按鈕141設置於刷支撐部129的外周面（外側的側壁）。即，按鈕141設置成從空間SP2向刷支撐部129的外周面突出。按鈕141也經由凸輪139由彈性構件137支撐。彈性構件137由空間SP2的內側的內壁143支撐。彈性構件137例如為彈簧。

凸輪139在空間SP2中被按鈕141及彈性構件137夾持配置。凸輪139及按鈕141能夠沿著引導件131延伸的水平方向HD1移動。凸輪139包括兩個傾斜面139A。兩個傾斜面139A在俯視時形成於與凸輪139的移動方向正交的兩側的側面。兩個傾斜面139A形成為在俯視時凸輪139在彈性構件137側變粗。兩個傾斜面139A與兩個鋼球57接觸。

參照圖9B。刷保持部127包括引導件保持部145及兩個凹部147。引導件保持部145以能夠在引導件131延伸的水平方向HD1上移動的方式保持引導件131。在引導件保持部145的下表面設置有在水平方向上呈直線延伸的槽部149。在槽部149的兩個側壁149A分別設置有兩個凹部147。即，兩個凹部147設置於引導件保持部145中並收容兩個鋼球57。兩個凹部147相向地配置。此外，凹部147的上下方向Z上的長度及水平方向上的寬度與凹部75同樣地形成。

槽部149例如如燕尾槽（dovetail groove）那樣構成。因此，槽部149的下端的寬度WD1比槽部149的上端的寬度WD2窄（寬度WD1＜寬度WD2）。刷支撐部129的引導件131與槽部149的形狀相對應地形成。因此，引導件131可從槽部149的長邊方向的兩端進入。

在引導件131被收納於槽部149中時，刷125（引導件131）相對於刷保持部127（槽部149）在上下方向及旋轉方向上的移動受到限制。但是，引導件131能夠沿著槽部149的長邊方向移動。因此，由於兩個鋼球57被收納於槽部149的兩個凹部147中，因此引導件131相對於槽部149的水平移動受到限制。

接著，對刷125的操作進行說明。參照圖10B。在按壓按鈕141的情況下，凸輪139向彈性構件137側移動。因此，按鈕141經由凸輪139使彈性構件137彈性變形。另外，隨著凸輪139的移動，兩個傾斜面139A也向彈性構件137側移動。因此，從兩個開口部133向外側按壓兩個鋼球57的力被釋放。因此，兩個鋼球57可從開口部133向內側（空間SP2側）後退。由此，成為刷125可相對於刷保持部127在水平方向HD1上移動的狀態。

參照圖10A。在不按壓按鈕141的情況下，通過彈性構件137的復原力，凸輪139向按鈕141側移動。隨著凸輪139的移動，兩個傾斜面139A也向按鈕141側移動。因此，兩個傾斜面139A從兩個開口部133向外側按壓兩個鋼球57。即，彈性構件137的復原力使兩個鋼球57從兩個開口部133向外側部分地突出。由此，成為可使兩個鋼球57收容於兩個凹部147中而限制刷125在水平方向HD1上的移動的狀態。此外，在本結構中，彈性構件137及凸輪139相當於本發明中的通過按鈕部的按壓量調整突出部的突出寬度（突出量）的突出寬度調整機構。

（7）刷更換部的結構 圖11是實施例3的刷更換部45的平面圖。圖12是表示實施例3的刷更換部45的概略結構的縱剖面圖。

參照圖11、圖12。首先，針對與實施例1的共同點簡單地進行說明。刷更換部45包括刷回收部79及刷安裝部81。另外，刷回收部79包括刷回收容器85。刷安裝部81保管一個或多個（例如三個）未使用的刷125B。此外，未使用的刷125B與刷125同樣地構成。刷安裝部81包括液體供給部89、刷收容容器91及液體排出容器93。

接著，對與實施例1的不同點進行說明。刷安裝部81包括刷移動機構151。刷移動機構151包括刷載置部153、推進器155、升降部157及水平移動部（線性致動器）159。

刷載置部153構成為沿預先設定的水平方向HD2延伸。在刷載置部153，沿著水平方向HD2以一列載置有三個未使用的刷125B。刷載置部153的沿水平方向HD2延伸的兩個側壁153A沿著水平方向HD2引導三個未使用的刷125B。各未使用的刷125B配置成引導件131的長邊方向（水平方向HD1）與水平方向HD2平行。

此外，當在俯視時刷載置部153的前端位於刷125的移動路徑RT上時，以水平方向HD2沿切線方向延伸的方式配置刷載置部153。

推進器155包括按壓構件155A及水平移動部（線性致動器）155B。水平移動部155B包括杆RD，還包括電動馬達或氣缸。在杆RD的前端部設置有按壓構件155A。水平移動部155B使按壓構件155A沿著水平方向HD2前進及後退。由此，推進器155通過按壓三個未使用的刷125B而使最前面的未使用的刷125B移動至更換位置P21。

升降部157使刷載置部153及推進器155升降。臂161使刷載置部153與升降部157連接。由此，升降部157可將載置於刷載置部153的三個未使用的刷125B浸漬於貯存在刷收容容器91中的純水中，或者從所述純水中提起。此外，推進器155設置於臂161上。

水平移動部159使刷載置部153、推進器155及升降部157沿著水平方向HD2前進及後退。水平移動部159使刷載置部153的前端位於刷回收部79與刷安裝部81的邊界位置P23。此外，升降部157及水平移動部159各自包括電動馬達或氣缸。

（8）刷更換 接著，對刷更換進行說明。參照圖13A。載置於刷載置部153的三個未使用的刷125B浸漬於貯存在刷收容容器91中的純水中。液體噴嘴95（參照圖12）持續向刷收容容器91中噴出純水。

參照圖13B。刷移動機構151的升降部157（參照圖12）通過使刷載置部153上升，而將三個未使用的刷125B從純水中提起。然後，刷移動機構151的水平移動部159使刷載置部153前進，使刷載置部153的前端位於邊界位置P23。

另一方面，刷機構9使刷保持部127所保持的刷125從待機罐43（參照圖2）向最前面的未使用的刷125B的旁邊移動。此時，刷125被定位成最前面的未使用的刷125B的引導件131位於刷125的引導件131的延長線上。

然後，刷機構9將刷125的按鈕141按壓在最前面的未使用的刷125B的外周面。由此，刷125的按鈕141被按壓，刷125的兩個鋼球57（參照圖10B）向兩個開口部133的內側後退。因此，刷125成為能夠沿著刷保持部127的槽部149移動的狀態。然後，刷機構9使刷保持部127沿著刷125與最前面的未使用的刷125B的各自的引導件131水平移動。

參照圖13C。若刷125從刷保持部127的槽部149脫離，則刷125落下，作為使用過的刷125A被回收至刷回收容器85中。在刷保持部127沿著最前面的未使用的刷125B的引導件131移動時，最前面的未使用的刷125B的按鈕141與最前面的旁邊的未使用的刷125B的外周面接觸。但是，最前面的未使用的刷125B的按鈕141未被按壓。因此，通過將最前面的未使用的刷125B的兩個鋼球57收容於刷保持部127的兩個凹部147中，來限制最前面的未使用的刷125B在水平方向HD2上的移動。即，將最前面的未使用的刷125B安裝於刷保持部127。然後，安裝於刷保持部127的未使用的刷125B在進行了去除初始污染的處理後進行基板W的背面的刷清洗。

此外，在最前面的未使用的刷125B安裝於刷保持部127後，箭頭AR2所示的未使用的刷125B通過推進器155移動至更換位置P21。另外，刷移動機構151在不進行刷更換的情況下，將載置於刷載置部153的未使用的刷125B浸漬於貯存在刷收容容器91中的純水中。

根據本實施例，刷125包括沿預先設定的水平方向HD1延伸的引導件131。刷保持部127包括以能夠在所述水平方向HD1上移動的方式保持引導件131的引導件保持部145。因此，可限制刷125相對於刷保持部127在上下方向及旋轉方向上的移動。另外，通過使兩個鋼球57收容於兩個凹部147中，也可限制所述水平方向HD1的移動。因此，可防止刷125從刷保持部127脫離。

此外，在本實施例中，三個未使用的刷125B沿著水平方向HD2呈直線狀地配置成一列。關於此方面，三個未使用的刷125B也可沿著在俯視時呈圓弧狀的移動路徑RT呈圓弧狀配置。在所述情況下，引導件131及槽部149也可形成為在俯視時沿著圓弧狀的移動路徑RT呈圓弧狀延伸。

另外，在本實施例中，如圖13B所示，在從刷保持部127拆卸刷125時，將刷125的按鈕141按壓在最前面的未使用的刷125B的外周面。關於此方面，如圖14所示，為了避免使用過的刷125A（刷125）與最前面的未使用的刷125B的接觸，刷回收部79也可在刷回收容器85的上方包括用於拆卸刷125的拆卸構件163。

在所述變形例的情況下，如圖14所示，刷機構9將刷125的按鈕141按壓至拆卸構件163來解除限制（鎖定），使刷125滑動。由此，從刷保持部127拆卸刷125。然後，刷機構9使刷保持部127移動至最前面的未使用的刷125B，將最前面的未使用的刷125B安裝於刷保持部127。此外，在所述變形例的情況下，也可不包括刷移動機構151的水平移動部159。

另外，在本實施例中，也可不包括刷收容容器91，而從液體噴嘴95將純水呈霧狀地直接噴射到三個未使用的刷125B。另外，在本實施例中，鋼球57及凹部147的各個數並不限定於兩個。例如，鋼球57及凹部147的各個數也可為一個。另外，例如一個鋼球57及一個凹部147也可設置於引導件131的上表面及與所述上表面相向的槽部149的底面（寬度WD2的面）。

本發明並不限於所述實施形態，可如下所述那樣進行變形實施。

（1）在所述實施例1中，刷保持部27包括三個鋼球57及施力部61等，另外，刷25包括圓柱部73。關於此方面，如圖15所示，刷保持部27也可包括具有凹部75及長邊凹部77的圓柱部73。另外，刷25也可包括三個鋼球57及施力部61等。

具體進行說明。刷25包括：刷主體69，具有用於清洗基板W的清洗面69A；刷支撐部71，從清洗面69A的相反側支撐刷主體69；圓柱狀的穴部53，沿著鉛垂地延伸的中心軸（鉛垂軸AX4）而形成；三個開口部55，設置於穴部53的內側的側壁53A，並且繞中心軸配置；以及三個鋼球57，從三個開口部55分別向穴部53突出。三個鋼球57由施力部61支撐。

刷保持部27包括：突出的圓柱部73；以及凹部75及長邊凹部77，在圓柱部73的側壁73A且繞圓柱部73的鉛垂軸AX2設置。長邊凹部77在圓周方向上呈長邊凹陷。在將圓柱部73插入刷25的穴部53的情況下，凹部75收容三個鋼球57中的一個鋼球57，另外，長邊凹部77在其兩端部收容剩下的兩個鋼球57。

另外，如圖16所示，刷25的圓柱部165也可包括三個鋼球57及施力部61。另外，刷保持部27的穴部53也可包括凹部75及長邊凹部77。凹部75收容三個鋼球57中的一個鋼球57，另外，長邊凹部77在其兩端部收容剩下的兩個鋼球57。

此外，刷25也可包括圖16所示的穴部53（具有凹部75及長邊凹部77）。與此相對，刷保持部27也可包括圖16所示的圓柱部165（具有三個鋼球57及施力部61等）。

（2）在所述各實施例及變形例（1）中，刷回收部79與刷安裝部81橫向排列配置。但是，本發明並不限定於所述結構。例如如圖17所示，刷安裝部81也可配置於刷回收部79的上方。另外，在俯視時，刷安裝部81也可與刷回收部79的一部分或全部的區域重複。在本實施例中，刷安裝部81的刷收容容器91及液體排出容器93各自的底面（底壁）及側壁相當於本發明中的隔離部。

（3）在所述各實施例及各變形例中，刷機構9使刷25（125）及刷保持部27（127）繞鉛垂軸AX3回轉。關於此方面，如圖18所示，刷機構9也可包括使刷25（125）及刷保持部27（127）呈直線狀地移動的水平移動部（線性致動器）179。水平移動部179包括電動馬達。另外，刷機構9也可包括兩個水平移動部179而使刷25等沿XY方向移動。此外，水平移動部179相當於本發明的刷移動機構。

（4）在所述實施例1及各變形例中，刷收容容器91相對於保持旋轉部3及杯體5配置得比拆卸構件83更遠。關於此方面，刷收容容器91也可相對於保持旋轉部3及杯體5配置得比拆卸構件83更近。即，也可按照保持旋轉部3、刷收容容器91及拆卸構件83（刷回收容器85）的順序配置。

（5）在所述各實施例及各變形例中，刷更換部45經由保持旋轉部3配置於待機罐43的相反側。關於此方面，刷更換部45也可配置於待機罐43側。例如，待機罐43也可配置於刷更換部45與保持旋轉部3之間。

（6）在所述各實施例及各變形例中，作為突出部的各鋼球57為球體，但並不限於球體。例如也可為半球、圓柱或多面體。

（7）在所述各實施例及各變形例中，刷主體69由PVA的海綿刷構成，但並不限定於此。刷主體69也可為分散有碳化矽（SiC）、氧化鈰（CeO ₂）、二氧化矽（SiO ₂）、金剛石的研磨顆粒的例如PVA的樹脂體。

（8）在所述各實施例及各變形例中，刷安裝部81為了不使刷主體69乾燥而包括液體供給部89。在不需要供給液體（例如純水）的情況下，刷安裝部81也可不包括液體供給部89。

（9）在所述各實施例及各變形例中，本發明的隔離部例如為刷回收容器85的一部分，但並不限定於容器的一部分。例如，也可在刷回收部79與刷安裝部81之間設置隔離壁（例如板狀）作為隔離部。另外，所述隔離壁以及側壁W1、側壁W2、側壁W3中的至少一個的上端也可構成為比拆卸構件83高。

（10）在所述各實施例及各變形例中，刷安裝部81包括刷收容容器91及液體排出容器93。關於此方面，視需要，刷安裝部81也可不包括液體排出容器93。在所述情況下，例如刷收容容器91也可包括排出純水的排出口93A。

1:基板處理裝置 3:保持旋轉部 5:杯體 7:處理液供給部 9:刷機構 11:旋轉卡盤 13:旋轉驅動部 15:基座 17、17A:保持銷 19:處理液噴嘴 21:處理液配管 23:處理液供給源 25、125:刷 25A、125A:使用過的刷 25B、125B:未使用的刷 27、127:刷保持部 29:軸 31:臂 33:電動馬達 35:升降機構 37:回轉驅動部 39:導軌 41:升降驅動部 43:待機罐 45:刷更換部 51:圓筒構件 51A:上部 51B:下部 53:穴部 53A:側壁 55:開口部 57:鋼球 57A:第一鋼球（鋼球） 57B:第二鋼球（鋼球） 57C:第三鋼球（鋼球） 59:球收容部 61:施力部 63:殼體部 65:按壓部 65A:抵接部 65B:限制部 67:彈簧構件（彈性構件） 69:刷主體 69A:清洗面 71、129:刷支撐部 73、165:圓柱部 73A:側壁（外周面） 75、147:凹部 77:長邊凹部（凹部） 77A:第一端 77B:第二端 79:刷回收部 81:刷安裝部 83、163:拆卸構件 83A:基礎部分 83B、83C:鉤掛部分 85:刷回收容器 85A:底面 87:基台 89:液體供給部 91:刷收容容器 93:液體排出容器 93A:排出口 95:液體噴嘴 97:液體配管 98:液體供給源 101:控制部 111:水平移動部 113:滑塊 113A:內螺紋 115:導軌 117:螺桿軸 119:電動馬達 119A:輸出軸 121:符號 131:引導件 133:開口部 135:球收容部 137:彈性構件 139:凸輪 139A:傾斜面 141:按鈕 143:內壁 145:引導件保持部 149:槽部 149A、153A:側壁 151:刷移動機構 153:刷載置部 155:推進器 155A:按壓構件 155B、159、179:水平移動部（線性致動器） 157:升降部 161:臂 165:圓柱部 AR1、AR2:箭頭 AX1、AX2、AX3、AX4:鉛垂軸 DIW:去離子水 HD1、HD2:水平方向 P1、P2、P3、P4、P5、P6:位置 P11:保管位置（高度） P21:更換位置 P23:邊界位置 RD:杆 RT:路徑（移動路徑） SP1、SP2:空間 V1、V2:開閉閥 W:基板 W1、W2、W3:側壁 WD1、WD2:寬度 X、+X、-X、Y:方向 Z:上下方向

圖1是表示實施例1的基板處理裝置的概略結構的側面圖。 圖2是實施例1的基板處理裝置的平面圖。 圖3A是表示刷及刷保持部的縱剖面圖，圖3B是刷的立體圖。 圖4A是表示設置於圓柱部的凹部及長邊凹部的橫剖面圖，圖4B是圓柱部的側壁的部分的展開圖，圖4C是表示三個鋼球收納於凹部及長邊凹部中的狀態的橫剖面圖。 圖5是用於說明長邊凹部的效果的橫剖面圖。 圖6A是表示拆卸構件的平面圖，圖6B是表示拆卸構件的正面圖。 圖7是表示刷更換部的概略結構的縱剖面圖。 圖8A是實施例2的刷更換部的縱剖面圖，圖8B是刷更換部的平面圖。 圖9A是實施例3的刷及刷保持部的側面圖，圖9B是刷保持部的立體圖。 圖10A、圖10B是刷及刷保持部的橫剖面圖。 圖11是實施例3的刷更換部的平面圖。 圖12是表示實施例3的刷更換部的概略結構的縱剖面圖。 圖13A～圖13C是用於說明實施例3的刷更換的縱剖面圖。 圖14是表示變形例的拆卸構件的側面圖。 圖15是表示變形例的刷及刷保持部的縱剖面圖。 圖16是表示變形例的刷及刷保持部的縱剖面圖。 圖17是表示變形例的刷更換部的縱剖面圖。 圖18是表示變形例的基板處理裝置的平面圖。

1:基板處理裝置

3:保持旋轉部

5:杯體

9:刷機構

15:基座

17、17A:保持銷

19:處理液噴嘴

25:刷

25B:未使用的刷

31:臂

35:升降機構

37:回轉驅動部

43:待機罐

45:刷更換部

79:刷回收部

81:刷安裝部

83:拆卸構件

85:刷回收容器

89:液體供給部

91:刷收容容器

93:液體排出容器

95:液體噴嘴

AX1、AX2、AX3:鉛垂軸

DIW:去離子水

RT:路徑

W:基板

W1、W2、W3:側壁

X、Y、Z:方向

Claims (10)

1. 一種基板處理裝置，使用刷清洗基板，所述基板處理裝置的特徵在於包括： 基板保持部，以水平姿勢保持基板； 刷，清洗由所述基板保持部保持的所述基板； 刷保持部，能夠裝卸地保持所述刷； 臂，在前端部設置有所述刷保持部； 刷回收部，從所述刷保持部回收所述刷； 刷安裝部，保管未使用的所述刷，將保管的未使用的所述刷安裝於所述刷保持部；以及 刷移動機構，經由所述臂使所述刷在由所述基板保持部保持的所述基板上的處理位置與所述刷回收部及所述刷安裝部之間移動。
2. 根據請求項1所述的基板處理裝置，其中， 所述刷安裝部包括收容保管中的未使用的所述刷的刷收容容器。
3. 根據請求項2所述的基板處理裝置，還包括向所述刷收容容器供給液體的液體供給部， 所述刷收容容器使未使用的所述刷浸漬於貯存的所述液體中並進行保管。
4. 根據請求項3所述的基板處理裝置，其中， 所述刷安裝部還包括使所述刷收容容器水平移動的水平移動部。
5. 根據請求項1所述的基板處理裝置，其中， 所述刷回收部包括回收被拆卸的使用過的所述刷的刷回收容器。
6. 根據請求項1至5中任一項所述的基板處理裝置，其中， 所述刷回收部包括用於拆卸所述刷的拆卸構件。
7. 根據請求項1至5中任一項所述的基板處理裝置，其中， 所述刷安裝部與所述刷回收部鄰接地配置。
8. 根據請求項1所述的基板處理裝置，還包括隔離部，所述隔離部設置於所述刷回收部與所述刷安裝部之間，將所述刷回收部與所述刷安裝部隔開。
9. 根據請求項1所述的基板處理裝置，其中， 所述刷保持部包括： 圓柱狀的穴部，沿著鉛垂地延伸的中心軸而形成； 三個開口部，設置於所述穴部的內側的側壁，並且繞所述中心軸配置； 三個突出部，從所述三個開口部分別向所述穴部突出；以及 施力部，設置於所述三個突出部的外側，向所述中心軸的方向對所述三個突出部施力， 所述刷包括： 刷主體，具有用於清洗所述基板的清洗面； 刷支撐部，從所述清洗面的相反側支撐所述刷主體； 圓柱部，從所述刷支撐部向所述清洗面的相反側突出；以及 凹部及長邊凹部，在所述圓柱部的側壁且繞所述圓柱部的軸設置， 所述長邊凹部在圓周方向上呈長邊凹陷， 在將所述圓柱部插入所述刷保持部的所述穴部的情況下，所述凹部收容所述三個突出部中的一個突出部，另外，所述長邊凹部收容剩下的兩個突出部中的至少一個突出部。
10. 根據請求項1所述的基板處理裝置，其中， 所述刷包括： 刷主體，具有用於清洗所述基板的清洗面；以及 刷支撐部，從所述清洗面的相反側支撐所述刷主體， 所述刷支撐部具有： 引導件，在與所述清洗面相反的一側，沿預先設定的水平方向延伸； 開口部，設置於所述引導件； 突出部，從所述開口部向外側突出； 按鈕部，設置於所述刷支撐部的外周面；以及 突出寬度調整機構，根據所述按鈕部的按壓量來調整所述突出部的突出寬度， 所述刷保持部包括： 引導件保持部，以能夠在所述水平方向上移動的方式保持所述引導件；以及 凹部，設置於所述引導件保持部並收容所述突出部， 在按壓了所述按鈕部的情況下，所述突出寬度調整機構使所述突出部從所述開口部向內側後退，由此成為所述刷可相對於所述刷保持部在所述水平方向上移動的狀態， 在未按壓所述按鈕部的情況下，所述突出寬度調整機構使所述突出部從所述開口部向外側突出，由此成為可使所述突出部收容於所述凹部中而限制所述刷在所述水平方向上的移動的狀態。