TW202424496A - 用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組與測試方法以及待測單元及測試系統 - Google Patents

Abstract

一種探針模組，包含有一探針座，以及至少一包含有排成一行之探針的發散探針單元，其中相距最遠之二外側探針的內延伸部係自探針座的一探針發散內側面呈發散地傾斜延伸而出；待測單元具有排成至少一行的導電接點，其中相距最遠之二外側接點係自朝一第一主邊緣的一端往朝一第二主邊緣的另一端呈發散地傾斜延伸，探針模組檢測待測單元時，待測單元之第一主邊緣比第二主邊緣更靠近探針發散內側面；至少一發散探針單元之外側探針的傾斜角度小於待測單元之外側接點的傾斜角度，此探針模組係利於在其探針之安裝過程中供一固定裝置有效地固定探針。

Description

用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組與測試方法以及待測單元及測試系統

本發明係與探針卡的探針模組有關，特別是關於一種用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組與測試方法、該待測單元，以及包含該探針模組及該待測單元的測試系統。

請參閱圖1，其中顯示一具有傾斜導電接點之待測單元10（unit under test；簡稱UUT），待測單元10可為未封裝之晶片（die）或已封裝之晶片（chip），待測單元10具有排成一或多行之複數用於輸出訊號之第一導電接點11，以及排成一行之複數用於輸入訊號之第二導電接點12，例如圖1所示之待測單元10具有由其一基板13之一第一長邊131朝向一第二長邊132排列之三行第一導電接點11，以及沿基板13之第二長邊132設置的一行第二導電接點12，第一、二導電接點11、12排成多列，每一列之排列方向係實質上平行於一垂直於第一、二長邊131、132之假想分界軸線L，且靠近假想分界軸線L之列，例如圖1中一中間區塊14所包含者，其中之第一、二導電接點11、12的長邊111、121係實質上平行於假想分界軸線L，而距離假想分界軸線L較遠之列的第一、二導電接點11、12則為傾斜導電接點，傾斜導電接點較靠近基板13第一長邊131之一端（在圖1中為上端）是比同一傾斜導電接點較遠離基板13第一長邊131之一端（在圖1中為下端）更靠近假想分界軸線L，亦即傾斜導電接點以圖1之方向來看是由上而下且由內而外地傾斜，且距離假想分界軸線L越遠之第一、二導電接點11、12相對於假想分界軸線L之角度越大，例如圖1中二外側區塊15、16所包含之第一、二導電接點11、12之長邊111、121相對於假想分界軸線L之傾斜角度θ最大。

前述之待測單元10可利用具有懸臂式探針的探針卡進行檢測，為簡化圖式，圖1中僅示意性地顯示對應外側區塊15、16內第三行第一導電接點11的探針17，實際上探針卡可能設置對應每一導電接點11、12的探針，或者設置對應某一行或數行導電接點11、12的探針。探針17之懸臂段171可自一位於待測單元10之第一長邊131外側上方的探針座18延伸至導電接點上方，使得探針17之一自其懸臂段171末端向下延伸的點觸段（圖中未示）可點觸對應之導電接點。詳而言之，探針17之懸臂段171包含有一固定於探針座18的固定部172、一自探針座18往待測單元10延伸的內延伸部173，以及一與內延伸部173延伸方向相反的外延伸部174，點觸段係自內延伸部173末端向下延伸。探針17之懸臂段171係以與其對應之導電接點相同的角度設置，因此設置在最外側的探針17，其懸臂段171的角度最大。

在將探針17設置於探針座18時，係先將探針17擺放成其所需之角度，再利用黑膠固定探針17之懸臂段171的固定部172。在探針17全部設置完成後，黑膠即成為探針座18的一部分。最後，探針17之懸臂段171的外延伸部174可依照其末端所需連接之處而彎折成所需角度。然而，前述習用之探針卡的探針配置，實際上會使得將探針17固定於探針座18的程序難以進行，容易發生探針17偏離原先已擺放好的所需位置及角度之問題。

此外，對於微小尺寸的待測單元10而言，其對應之探針17所能分佈的範圍很小，亦即同一行探針17中最外側的探針17之間的距離會很小，而如圖1所示之探針17的外延伸部174自探針座18延伸而出後又會逐漸相互靠近，導致探針17的外延伸部174容易會交錯及上下重疊，尤其是在探針座18設有高度位置不同的複數行探針17之情況下，探針17的外延伸部174交錯及上下重疊的問題更嚴重，造成在探針卡製造過程的後續階段因難以判斷探針17的排列位置而使得將探針17與電路板電性連接之步驟難以進行。

有鑑於上述缺失，本發明之主要目的在於提供一種用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，係利於在其探針之安裝過程中供一固定裝置有效地固定探針。

更明確地說，請參閱圖1，在探針17的安裝過程中，當探針17已在探針座18上擺放於其所需之位置及角度但尚未固定時，探針17的外延伸部174會在與探針座18相隔一段距離之處有相互交叉的情況，此時，若能將一固定裝置暫時設置在探針17的外延伸部174相互交叉處與探針座18之間，即可有效地暫時固定探針17，然後再利用黑膠固定探針17的固定部172，在探針17固定完成之後再將固定裝置移除，如此即可避免探針17偏離原先已擺放好的所需位置及角度。

為達成上述目的，本發明所提供之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組係用以檢測至少一待測單元，待測單元具有一第一主邊緣、一第二主邊緣、連接第一主邊緣與第二主邊緣之二側邊緣，以及複數導電接點，各導電接點具有一朝向第一主邊緣之第一端及一朝向第二主邊緣之第二端，待測單元能定義出一通過第一主邊緣及第二主邊緣的中心軸線，導電接點係排成至少一行，同一行導電接點中包含分別最靠近側邊緣之二外側接點，各外側接點係以其第一端比第二端更靠近中心軸線之方式相對於中心軸線呈傾斜而能定義出一相對於中心軸線之傾斜角度。探針模組包含有一探針座，以及至少一探針單元，探針單元包含有複數探針，該複數探針包含相距最遠之二外側探針，各探針包含有一懸臂段及一點觸段，懸臂段包含有一與探針座固接之固定部，以及分別連接於固定部二端且自探針座延伸而出之一內延伸部及一外延伸部，內延伸部具有一與探針座連接之第一端及一與點觸段連接之第二端。探針模組能定義出一參考中心軸線，同一探針單元之探針的點觸段係垂直於參考中心軸線地排成一行，用以點觸同一待測單元之同一行導電接點。探針座具有一探針發散內側面，當探針模組檢測待測單元時，待測單元之第一主邊緣比第二主邊緣更靠近探針發散內側面。該至少一探針單元包含至少一發散探針單元，發散探針單元之探針的內延伸部第一端係與探針發散內側面連接，發散探針單元之外側探針的內延伸部係以其第一端比第二端更靠近參考中心軸線之方式相對於參考中心軸線呈傾斜而具有一相對於參考中心軸線的傾斜角度，至少一發散探針單元之外側探針的傾斜角度小於待測單元之外側接點的傾斜角度。

藉此，在將探針設置於探針座的過程中，當探針之懸臂段的外延伸部仍是與固定部及內延伸部角度相同時，發散探針單元之外側探針因具有所述傾斜角度而會有外延伸部相互交叉之情況，但其傾斜角度小於待測單元之外側接點的傾斜角度，可使得交叉位置距離探針座較遠，藉以提供足夠之距離而將一固定裝置設置於交叉位置與探針座之間，從而有效地固定探針。

有鑑於上述缺失，本發明之另一目的在於提供一種用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，係可避免探針的外延伸部交錯及上下重疊而造成難以判斷探針排列位置的問題。

為達成上述另一目的，本發明所提供之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，包含有一探針座，以及複數探針單元。各探針單元包含有複數探針，所述複數探針包含相距最遠之二外側探針。各探針包含有一懸臂段及一點觸段，懸臂段包含有一與探針座固接之固定部，以及分別連接於固定部二端且自探針座延伸而出之一內延伸部及一外延伸部，內延伸部具有一與探針座連接之第一端及一與點觸段連接之第二端。探針模組能定義出一參考中心軸線，同一探針單元之探針的點觸段係垂直於參考中心軸線地排成一行。探針座具有一探針發散內側面，所述複數探針單元包含二發散探針單元，各發散探針單元之探針的內延伸部第一端係與探針發散內側面連接，各發散探針單元之外側探針的內延伸部係以其第一端比第二端更靠近參考中心軸線之方式相對於參考中心軸線呈傾斜而具有一相對於參考中心軸線的傾斜角度。所述二發散探針單元包含一低層發散探針單元及一位置高於低層發散探針單元之高層發散探針單元，高層發散探針單元之探針的點觸段長度大於低層發散探針單元之探針的點觸段長度。各探針之外延伸部具有一與探針座連接之內端，各探針單元能以其二外側探針之外延伸部內端的距離定義為一外延伸部距離，低層發散探針單元之外延伸部距離大於高層發散探針單元之外延伸部距離。

藉此，低層發散探針單元之外延伸部距離較大，不但利於固定裝置之設置，更可改善探針之外延伸部交錯及上下重疊的問題，如此可在後續將探針之外延伸部與電路板電性連接時較容易判斷探針的排列位置。

較佳地，探針座包含有一座體，以及自座體的一下表面沿一垂直軸向依序堆疊設置的一高層膠體及一低層膠體；探針模組之發散探針單元包含一受低層膠體固定的低層發散探針單元，以及一位置高於低層發散探針單元且受高層膠體固定的高層發散探針單元，高層發散探針單元之探針的點觸段長度大於低層發散探針單元之探針的點觸段長度；低層膠體能定義出一平行於參考中心軸線的低層膠體幅寬；對於位於參考中心軸線同一側的外側探針，低層發散探針單元之外側探針的內延伸部第一端與高層發散探針單元之外側探針的內延伸部第二端之間能定義出一平行於參考中心軸線的參考距離，低層膠體幅寬小於參考距離。

藉此，探針模組可設有高、低層發散探針單元，用以對應不同待測單元或同一待測單元的不同行導電接點。由於參考距離是根據待測單元而定，低層膠體幅寬小於參考距離，係使得高層膠體對應地會有較習用者小的幅寬，而為了避免高、低層膠體過度凸出於座體而導致對探針的支撐力不足，座體幅寬通常僅略小於高層膠體幅寬，因此，藉由前述特徵，座體幅寬可較習用者小並仍可避免對探針支撐力不足之問題。而且，藉由前述特徵使得高、低層膠體的幅寬較習用者小，會使得探針之外延伸部自膠體延伸而出之處的距離較習用者大，如此可改善探針之外延伸部交錯及上下重疊的問題，並且膠體幅寬之縮減亦可增加探針之外延伸部的交叉位置與探針座的距離，更利於固定裝置之設置。

更佳地，座體能定義出一平行於參考中心軸線的座體幅寬，以及一沿垂直軸向的座體厚度，座體幅寬小於或等於座體厚度的二分之一。藉此，由於座體厚度是配合測試機台而定，且高、低層膠體幅寬與座體幅寬需相互配合以對探針產生良好支撐力，因此，座體幅寬縮小至小於或等於座體厚度的二分之一，可在對探針有足夠支撐力的前提下更縮減高、低層膠體幅寬，使得探針之外延伸部自膠體延伸而出之處的距離更大，進而更加改善探針之外延伸部交錯及上下重疊的問題，亦更利於固定裝置之設置。

更佳地，低層膠體幅寬小於3毫米。如此之尺寸設計可在高、低層膠體對探針有足夠支撐力的前提下，使得探針之外延伸部自膠體延伸而出之處的距離大，進而可更加改善探針之外延伸部交錯及上下重疊的問題，亦更利於固定裝置之設置。

較佳地，探針模組之發散探針單元包含一低層發散探針單元，以及一位置高於低層發散探針單元之高層發散探針單元，高層發散探針單元之探針的點觸段長度大於低層發散探針單元之探針的點觸段長度；各探針之外延伸部具有一與探針座連接之內端，各探針單元能以其該二外側探針之外延伸部內端的距離定義為一外延伸部距離；低層發散探針單元之外延伸部距離大於高層發散探針單元之外延伸部距離。藉此，低層發散探針單元之外延伸部距離較大，可改善前述探針之外延伸部交錯及上下重疊的問題，亦更利於固定裝置之設置。

較佳地，探針模組之發散探針單元包含一低層發散探針單元，以及一位置高於低層發散探針單元之高層發散探針單元，高層發散探針單元之探針的點觸段長度大於低層發散探針單元之探針的點觸段長度，低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度大於或等於高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度。

相較於低層發散探針單元，高層發散探針單元之外側探針的固定部與內延伸部的總長會較長，使得外延伸部會在較靠近探針座之處交叉。藉由前述特徵，高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度可小於待測單元之外側接點的傾斜角度，以達到前述之在探針安裝過程中供固定裝置有效地固定探針的功效。而在可供固定裝置有效地固定探針的前提下，低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度可較大，例如與待測單元之外側接點的傾斜角度相同，或介於其與高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度之間，或者，低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度亦可與高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度相同，藉以達到針痕一致之特性。

更佳地，低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度與高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度有一差值，該差值小於或等於6度。更進一步而言，高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度可為12度，低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度可大於或等於12度且小於或等於18度。如此之尺寸設計係更利於在探針之安裝過程中供固定裝置有效地固定探針。

較佳地，探針座具有一與探針發散內側面相對之探針收斂內側面，當探針模組檢測待測單元時，待測單元之第二主邊緣比第一主邊緣更靠近探針收斂內側面；該至少一探針單元包含至少一收斂探針單元，收斂探針單元之探針的內延伸部第一端係與探針收斂內側面連接，收斂探針單元之外側探針的內延伸部係以其第二端比第一端更靠近參考中心軸線之方式相對於參考中心軸線呈傾斜而具有一相對於參考中心軸線的傾斜角度，收斂探針單元之外側探針的傾斜角度係與發散探針單元之外側探針的傾斜角度相同。

藉此，探針模組可設有自探針座的二相對內側面朝相反方向延伸至待測單元的發散探針單元及收斂探針單元，用以對應不同待測單元或同一待測單元的不同行導電接點，藉以避免探針集中在探針座同一側而容易產生交叉及上下相疊之問題，而發散探針單元及收斂探針單元之探針傾斜角度相同，更可達到針痕一致之特性。

較佳地，同一探針單元之探針在探針座形成位於不同高度之複數針層，同一探針單元之不同針層的探針之點觸段係自內延伸部之第二端尺寸漸縮地向下延伸不同的長度至同一高度位置，同一探針單元之每二相鄰的探針係屬於不同的針層。藉此，同一探針單元之每二相鄰的探針，其點觸段的長度會不相同且又是呈漸縮狀，此特徵使得相鄰探針的距離可較小，進而可滿足細微間距（fine pitch）之測試需求。

更佳地，同一探針單元之每二相鄰的探針非屬於相鄰的針層。藉此，同一探針單元之每二相鄰的探針並非僅相差一個針層的高度，而是相差至少兩個針層的高度，此特徵使得相鄰探針的距離可更小，而更可滿足細微間距之測試需求。

本發明更提供一種用於具有傾斜導電接點之待測單元的測試方法，其步驟包含有：

提供如前述之探針模組；

提供至少一如前述之待測單元；以及

使探針模組的探針接觸所述至少一待測單元的導電接點，藉以使探針模組與所述至少一待測單元電性連接。

本發明更提供一種測試系統，包含有一承載台及一探針卡，承載台係用以承載至少一如前述之待測單元，探針卡包含有如前述之探針模組，用以藉由探針模組的探針接觸所述至少一待測單元的導電接點而使探針卡與所述至少一待測單元電性連接。

有關本發明所提供之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組與測試方法以及待測單元及測試系統的詳細構造、特點、組裝或使用方式，將於後續的實施方式詳細說明中予以描述。然而，在本發明領域中具有通常知識者應能瞭解，該等詳細說明以及實施本發明所列舉的特定實施例，僅係用於說明本發明，並非用以限制本發明之專利申請範圍。

申請人首先在此說明，在以下將要介紹之實施例以及圖式中，相同之參考號碼，表示相同或類似之元件或其結構特徵。需注意的是，圖式中的各元件及構造為例示方便並非依據真實比例及數量繪製，且若實施上為可能，不同實施例的特徵係可以交互應用。

請先參閱圖3及圖4，本發明一第一較佳實施例所提供之探針模組20包含有一探針座30，以及二探針單元40A、40B，探針單元40A、40B分別包含有複數探針50（包含外側探針50A、50B）。

本發明的探針模組可用以檢測單一或複數待測單元，例如本實施例的探針模組20係用以同時檢測二待測單元60，如圖5所示。本發明之實施例中的待測單元60係與先前技術中所述之待測單元10（如圖1所示）相同，惟為了更明確地描述本發明之特徵，在實施例中以不同的描述方式搭配與圖1中不同的元件標號而更進一步地說明待測單元60。

如圖5所示，各待測單元60具有朝向相反方向的第一、二主邊緣61、62（通常為長邊，在本實施例中是沿X軸）、連接第一、二主邊緣61、62且朝向相反方向的二側邊緣63、64（通常為短邊，在本實施例中是沿Y軸），以及複數導電接點65（包含外側接點65a），各導電接點65具有一朝向第一主邊緣61的第一端651，以及一朝向第二主邊緣62的第二端652。待測單元60能定義出一沿Y軸地通過第一、二主邊緣61、62的中心軸線66，同一待測單元60的導電接點65係排成至少一行，同一行導電接點65係沿X軸排列，本發明之圖式中的每一待測單元的導電接點係排成四行。同一行導電接點65中包含分別最靠近側邊緣63、64的二外側接點65a，各外側接點65a係以其第一端651比第二端652更靠近中心軸線66之方式相對於中心軸線66呈傾斜而能定義出一相對於中心軸線66之傾斜角度θ1。

為了簡化圖式並便於說明，圖3及圖5中僅以一長方形框體示意性地表示探針座30，圖4所示之探針座30的結構及尺寸比例係與實際者較為相近。如圖4所示，本實施例的探針座30包含有一呈長方形框體狀的座體31，以及一設於座體31的一下表面312且亦呈長方形框體狀的膠體32，探針50係受膠體32固定於座體31。詳而言之，將探針50固定於座體31的方式，係先將同一針層（詳述於下文）的探針50擺放在預定位置且擺放成預定角度，再以俗稱黑膠的熔融狀黏膠固定探針50，然後將黑膠烤乾而形成局部之膠體32，以此方式一層一層地將全部探針50設置完成之後，全部針層的黑膠即構成膠體32。

各探針50係由導電材料（例如金屬）製成之直線針藉由機械加工彎曲而成，各探針50包含有一懸臂段51及一點觸段52，懸臂段51包含有一固定於膠體32內的固定部511、一連接於固定部511一端且自探針座30往其內部通道33延伸而出的內延伸部512，以及一連接於固定部511另一端且自探針座30往其外部延伸而出的外延伸部513，內延伸部512具有一與探針座30連接的第一端514，以及一相對於第一端514的第二端515，點觸段52連接於內延伸部512的第二端515。在圖4中，探針50的點觸段52係以相同的角度自內延伸部512的第二端515傾斜向下延伸（亦可不傾斜而垂直向下延伸），因此同一探針單元之探針50的點觸段52在圖4中相互重疊。在圖3及圖5中，各探針50之懸臂段51的內延伸部512、固定部511與外延伸部513係呈一直線，此為探針50在前述安裝過程中的狀態，在探針50全部設置完成且膠體32已完整形成並烤乾之後，各探針50之懸臂段51的外延伸部513可（但不限於）朝所需方向彎折（內延伸部512與固定部511仍呈一直線），使得外延伸部513的自由端（圖中未示）可電性連接至一電路板81（如圖12所示）的導電接點（圖中未示），所述電路板81與探針模組20構成一探針卡80。

如圖3及圖5所示，探針模組20能定義出一參考中心軸線22，同一探針單元40A、40B之探針50的內延伸部512第二端515係垂直於參考中心軸線22地排成一行，因此同一探針單元40A、40B之探針50的點觸段52亦垂直於參考中心軸線22地排成一行，用以點觸同一待測單元60的同一行導電接點65。如同先前技術中所述，距離待測單元60的中心軸線66越遠的導電接點65相對於中心軸線66的傾斜角度越大，因此探針單元40A、40B之探針50的內延伸部512與固定部511的角度亦隨之變化，距離探針模組20的參考中心軸線22越遠的探針50，其內延伸部512與固定部511相對於參考中心軸線22的傾斜角度越大。

值得一提的是，本發明中所述“同一探針單元之探針的點觸段係垂直於參考中心軸線地排成一行”，並不限於同一探針單元之探針的點觸段必須在微觀上完美地排成一直線，而是指同一探針單元之探針的點觸段，其末端對應於同一行導電接點的範圍內，因此巨觀上係垂直於參考中心軸線地排成一行。

舉例而言，請參閱圖11，為了簡化圖式並便於說明，圖11係示意性地顯示同一待測單元之同一行導電接點65中的六個導電接點65，以及點觸所述六個導電接點65之探針的點觸段52末端。在同一探針單元之探針所需之中心間距太小而難以排在同一高度的情況下，同一探針單元之探針可能會交錯排列成上下兩排，但其點觸段52的末端仍會對應到同一待測單元之同一行導電接點65的範圍內，如圖11所示。由於待測單元的導電接點65實際上非常小，對應之探針實際上非常細，因此，同一探針單元之探針的點觸段52末端只要對應於同一待測單元之同一行導電接點65的範圍內，在巨觀上同一探針單元之探針的點觸段52就會垂直於參考中心軸線地排成一行，亦即屬於本發明中所述“同一探針單元之探針的點觸段係垂直於參考中心軸線地排成一行”所包含的態樣。

更進一步而言，本實施例的探針座30具有一探針發散內側面34，以及一與探針發散內側面34相對的探針收斂內側面35，當探針模組20檢測待測單元60時，同一探針單元40A、40B之探針50的點觸段52係位於同一待測單元60的同一行導電接點65上方，如圖5所示，此時各待測單元60的第一主邊緣61比第二主邊緣62更靠近探針發散內側面34，各待測單元60的第二主邊緣62比第一主邊緣61更靠近探針收斂內側面35。探針單元40A之探針50的內延伸部512係自探針座30的探針發散內側面34延伸而出，並配合待測單元60的導電接點65傾斜，而形成自探針發散內側面34逐漸發散的態樣，因此探針單元40A亦稱為發散探針單元。相對地，探針單元40B之探針50的內延伸部512係自探針座30的探針收斂內側面35延伸而出，並配合待測單元60的導電接點65傾斜，而形成自探針收斂內側面35逐漸收斂的態樣，因此探針單元40B亦稱為收斂探針單元。

如圖3所示，發散探針單元40A之探針50的內延伸部512第一端514係與探針發散內側面34連接，發散探針單元40A之探針50中相距最遠之二外側探針50A的內延伸部512係以其第一端514比第二端515更靠近參考中心軸線22之方式相對於參考中心軸線22呈傾斜，而具有一相對於參考中心軸線22的傾斜角度θ2，此傾斜角度θ2為探針單元40A中最大的傾斜角度。收斂探針單元40B之探針50的內延伸部512第一端514係與探針收斂內側面35連接，收斂探針單元40B之探針50中相距最遠之二外側探針50B的內延伸部512係以其第二端515比第一端514更靠近參考中心軸線22之方式相對於參考中心軸線22呈傾斜，而具有一相對於參考中心軸線22的傾斜角度θ3，此傾斜角度θ3為探針單元40B中最大的傾斜角度。

值得一提的是，本實施例之探針模組20係以探針單元40A、40B同時分別檢測二待測單元60的第四行導電接點65，探針模組20係整體連同前述之電路板81（如圖12所示）沿Z軸地與待測單元60相對移動，進而以探針50之點觸段52末端點觸所述導電接點65。然而，本發明的探針模組可用以檢測單一或複數待測單元60，因此，本發明的探針模組可僅包含有單一探針單元，用以檢測單一待測單元60的單一行導電接點65。即使本發明的探針模組包含有複數探針單元，亦可分別用以檢測單一待測單元60的複數行導電接點65。換言之，本發明的探針模組之探針單元數量及所檢測之待測單元數量並無限制，只要依照欲檢測之待測單元的導電接點行數設置相同數量的探針單元即可。

本發明之主要技術特徵係針對發散探針單元40A，發散探針單元40A之外側探針50A的傾斜角度θ2（如圖3所示）小於待測單元60之外側接點65a的傾斜角度θ1（如圖5所示）。實際上，待測單元60之外側接點65a的傾斜角度θ1為18度，因此發散探針單元40A之外側探針50A的傾斜角度θ2小於18度，為了確保探針穩定點觸導電接點、避免探針點觸於導電接點時滑移至導電接點外，所述傾斜角度θ2又以大於或等於12度為較佳設計，更佳地，所述傾斜角度θ2為12度，更可最佳程度地達到下段所述之功效。而收斂探針單元40B之外側探針50B的傾斜角度θ3可與θ2相同，以達到針痕一致之特性。

如圖3所示，在將探針50設置於探針座30的過程中，當探針50之懸臂段51的外延伸部513仍是與固定部511及內延伸部512角度相同時，發散探針單元40A之探針50的外延伸部513係呈現自探針座30的外側面36逐漸收斂的態樣，因此會有如圖2所示之外延伸部513相互交叉的情況，而外側探針50A的傾斜角度θ2小於待測單元60之外側接點65a的傾斜角度θ1，係使得本發明之發散探針單元40A的交叉位置42（如圖2所示）距離探針座30的外側面36較遠，因此所述交叉位置42與探針座30之間可有足夠之距離設置一如圖2所示之固定裝置70。圖2僅為簡圖，用以示意性地顯示前述交叉之情況以及固定裝置70之作用，其中各構件尺寸及彼此之相對尺寸或距離並未對應實際比例，亦未對應圖3之比例。在將探針50設置於探針座30的過程中，係先以固定裝置70暫時固定探針50的外延伸部513，再利用黑膠固定探針50的固定部511，以避免探針50在固定過程中偏離原先已擺放好的所需位置及角度，在探針50全部設置完成後，固定裝置70則會移除。固定裝置70設置在探針之交叉位置42與探針座30之間，係可對探針50達到良好的固定效果。換言之，本發明的探針模組20係利於在其探針50之安裝過程中供固定裝置70有效地固定探針50。

請參閱圖6至圖8，本發明一第二較佳實施例所提供之探針模組20’係類同於前述之探針模組20，惟其主要差異在於探針模組20’包含有用以檢測四待測單元60的四探針單元，其中包含二發散探針單元40A、40A’，以及二收斂探針單元40B、40B’。

為了簡化圖式並便於說明，圖6及圖7僅以一長方形框體示意性地表示探針座30，圖8所示之探針座30的結構及尺寸比例係與實際者較為相近。如同第一較佳實施例，本實施例的探針座30亦包含有一呈長方形框體狀的座體31，如圖9所示，座體31的下表面312沿垂直軸向（亦即Z軸）依序堆疊設置一高層膠體37及一低層膠體38，其形成方式及其作用係類同於第一較佳實施例中的膠體32。

探針模組20’之發散探針單元包含一受高層膠體37固定的高層發散探針單元40A，以及一受低層膠體38固定的低層發散探針單元40A’。探針模組20’之收斂探針單元包含一受高層膠體37固定的高層收斂探針單元40B，以及一受低層膠體38固定的低層收斂探針單元40B’。相較於低層發散探針單元40A’及低層收斂探針單元40B’，高層發散探針單元40A及高層收斂探針單元40B的位置較高。相較於低層發散探針單元40A’及低層收斂探針單元40B’，高層發散探針單元40A及高層收斂探針單元40B的探針50之懸臂段51的固定部511與內延伸部512的總長較長，藉以更往探針座30之內部通道33中央延伸，高層發散探針單元40A及高層收斂探針單元40B之探針50的點觸段52亦較長，如此高、低層發散探針單元40A、40A’及收斂探針單元40B、40B’之探針50的點觸段52末端才會在相同高度。

在此需說明的是，本發明所述之高、低層發散或收斂探針單元，其中高層及低層之用語係用於不同的探針單元，而不同的探針單元係用以檢測不同行的導電接點65。而上文中提及針層之用語係用於同一探針單元，亦即用以檢測同一行導電接點65的同一探針單元可（但不限於）分成複數針層，例如在第一及第二較佳實施例中，同一探針單元之探針50在探針座30形成七個不同高度的針層71~77，如圖8及圖10所示，同一探針單元之不同針層71~77的探針50之點觸段52係自內延伸部512之第二端515尺寸漸縮地向下延伸不同的長度至同一高度位置，使得探針50的點觸段52末端都在相同高度。

圖10係顯示同一探針單元之七根相鄰的探針50，此七根探針50係分別位於針層71~77，但並非依照針層71~77的順序排列，每二相鄰的探針50非屬於相鄰的針層，亦即每二相鄰的探針50之懸臂段51相差至少兩個針層的高度。例如，從左邊數來第二根探針50係位於第三個針層73，而與第二根探針50相鄰之第一及第三根探針50都不是位在與第三個針層73相鄰的第二及第四個針層72、74，而是位在與第三個針層73相差三層及四層的第六及第七個針層76、77。藉此，每二相鄰探針50中，位於較低針層的探針50之懸臂段51在Z軸上的高度位置係對應於位於較高針層的探針50之點觸段52的相對較窄處，使得相鄰探針50的距離可較小，進而可滿足細微間距之測試需求。此功效不限於藉由圖10所示之態樣來達成，同一探針單元不一定要分成七個針層，且相鄰探針50之懸臂段51不一定要相差至少兩個針層的高度，只要同一探針單元分成至少二個針層，每二相鄰的探針50屬於不同的針層，即可某程度地達到縮減探針50之中心間距的功效。

如前所述，本發明之主要技術特徵係針對發散探針單元，請參閱圖6及圖7，在本實施例中，低層發散探針單元40A’之外側探針50A’的傾斜角度θ2’係與高層發散探針單元40A之外側探針50A的傾斜角度θ2相等，亦即傾斜角度θ2、θ2’皆小於待測單元60之外側接點65a的傾斜角度θ1（如圖5所示）。藉此，在將探針50設置於探針座30的過程中，高層發散探針單元40A及低層發散探針單元40A’皆可在其探針50之外延伸部513的交叉位置與探針座30之間提供足夠的距離，以設置一如圖2所示之固定裝置70而有效地固定探針50。

如圖6及圖7所示，各探針50之外延伸部513具有一與探針座30連接之內端516，各探針單元能以其外側探針之外延伸部內端的距離定義為一外延伸部距離，例如低層發散探針單元40A’之外延伸部距離d1為其外側探針50A’之外延伸部513的內端516之間的距離，高層發散探針單元40A之外延伸部距離d2為其外側探針50A之外延伸部513的內端516之間的距離。在本實施例中，d1大於d2，因此，相較於高層發散探針單元40A，低層發散探針單元40A’之探針50的交叉位置會較遠離探針座30之外側面36，藉此，在可供如圖2所示之固定裝置70有效地固定探針50的前提下，低層發散探針單元40A’之外側探針50A’的傾斜角度θ2’可大於高層發散探針單元40A之外側探針50A的傾斜角度θ2，甚至可與待測單元60之外側接點65a的傾斜角度θ1相同。實際上，待測單元60之外側接點65a的傾斜角度θ1為18度，因此高層發散探針單元40A之外側探針50A的傾斜角度θ2小於18度，又以12度為最佳設計，可在確保探針穩定點觸導電接點之前提下，最佳程度地達到供固定裝置有效地固定探針50之功效。低層發散探針單元40A’之外側探針50A’的傾斜角度θ2’與θ2的差值以小於或等於6度為佳，θ2’大於或等於12度且小於或等於18度。然而，如本實施例之態樣，θ2’等於θ2，係可達到針痕一致之特性。此外，本實施例中，高、低層收斂探針單元40B、40B’之外側探針50B、50B’的傾斜角度θ3、θ3’亦皆等於θ2，係可達到針痕一致之特性。

如圖8所示，低層膠體38能定義出一平行於參考中心軸線22（亦即沿Y軸）的低層膠體幅寬W1，高層膠體37能定義出一平行於參考中心軸線22的高層膠體幅寬W2。對於位於參考中心軸線22同一側的外側探針，低層發散探針單元40A’之外側探針50A’的內延伸部512第一端514與高層發散探針單元40A之外側探針50A的內延伸部512第二端515之間能定義出一平行於參考中心軸線22的參考距離D，亦即參考距離D是以圖6及圖7中最左邊的外側探針50A、50A’為基準而定義，或者是以圖6及圖7中最右邊的外側探針50A、50A’ 為基準而定義，在圖8中係假定前述作為基準的外側探針50A位於探針單元40A位置最低的針層77而標示出參考距離D。如前述定義及圖8所示，參考距離D並非前述外側探針50A’第一端514與外側探針50A第二端515的實際距離，而是所述實際距離平行於參考中心軸線22的分量（亦即在Y軸上的分量）。此外，座體31能定義出一平行於參考中心軸線22的座體幅寬W3，以及一沿垂直軸向（Z軸）的座體厚度T。本發明中所述之低層膠體幅寬W1、高層膠體幅寬W2及座體幅寬W3並非指整個低層膠體38、高層膠體37或座體31的寬度，而是指低層膠體38、高層膠體37或座體31對應於單一探針單元的固定部511之有效實體寬度，亦即僅指對探針50有支撐效果的實體部分而不包含內部通道33。

由於參考距離D是根據待測單元60而定，低層膠體幅寬W1小於參考距離D，係對應地會有較習用者小的高層膠體幅寬W2，而為了避免高、低層膠體37、38過度凸出於座體30而導致對探針50的支撐力不足，座體幅寬W3通常僅略小於高層膠體幅寬W2。在本實施例中，低層膠體幅寬W1小於參考距離D，藉此，座體幅寬W3可較習用者小並仍可避免對探針50支撐力不足之問題。而且，對於微小尺寸的待測單元60而言，其對應之探針模組的外側探針之間的距離很小，而發散探針單元40A、40A’之探針50的外延伸部513自探針座30延伸而出之處的距離（亦即前述外延伸部距離d1、d2）又更小，導致探針50之外延伸部513容易會交錯及上下重疊，造成在探針卡製造過程的後續階段因難以判斷探針50的排列位置而使得將探針50與電路板81（如圖12所示）電性連接之步驟難以進行，而藉由前述特徵使得高、低層膠體幅寬W2、W1較習用者小，會使得外延伸部距離d1、d2較習用者大，如此可改善探針50之外延伸部513交錯及上下重疊的問題，並且高、低層膠體幅寬W2、W1之縮減亦可增加探針50之外延伸部513的交叉位置與探針座30的距離，更利於固定裝置70之設置。此外，前述d1大於d2之特徵，亦使得低層發散探針單元40A’較無上述探針50之外延伸部513交錯及上下重疊的問題。

更進一步而言，低層膠體幅寬W1小於3毫米為更加良好之設計，如此之尺寸設計可在高、低層膠體37、38對探針50有足夠支撐力的前提下，使得探針50之外延伸部513自高、低層膠體37、38延伸而出之處的距離（亦即前述外延伸部距離d1、d2）大，進而可更加改善探針50之外延伸部513交錯及上下重疊的問題，亦更利於固定裝置之設置。

再者，在本實施例中，座體幅寬W3小於或等於座體厚度T的二分之一。藉此，由於座體厚度T是配合測試機台而定，且高、低層膠體幅寬W2、W1與座體幅寬W3需相互配合以對探針50產生良好支撐力，因此，座體幅寬W3縮小至小於或等於座體厚度T的二分之一，可在對探針50有足夠支撐力的前提下更縮減高、低層膠體幅寬W2、W1，使得探針50之外延伸部513自高、低層膠體37、38延伸而出之處的距離（亦即前述外延伸部距離d1、d2）更大，進而更加改善探針50之外延伸部513交錯及上下重疊的問題，亦更利於固定裝置之設置。

如前所述，本發明所提供的探針模組20、20’係應用於探針卡80，如圖12所示，用以對待測單元60進行一測試程序，因此本發明更提供一種測試系統，係包含有如前述之探針卡80，以及用以承載至少一待測單元60的承載台83，用以藉由探針模組20、20’的探針50接觸待測單元60的導電接點65而使探針卡80與待測單元60電性連接，進而進行測試程序。此外，本發明更提供一種用於具有傾斜導電接點之待測單元的測試方法，包含有以下步驟a)至步驟c)。

a) 提供如前述之探針模組20、20’。

b) 提供至少一如前述之待測單元60。

為了簡化圖式並便於說明，圖12中各元件僅簡化地示意性繪製，探針模組20、20’的結構及待測單元60的結構係如前所述及如圖1至圖11所示，故在此不再重複贅述。

c) 使探針模組20、20’的探針50接觸待測單元60的導電接點65，藉以使探針模組20、20’與待測單元60電性連接。

詳而言之，探針模組20、20’係與電路板81組成探針卡80，待測單元60係設於承載台83上，承載台83及／或探針卡80係受一移動裝置（圖中未示）帶動，亦即可為待測單元60不動而探針卡80移動，或是探針卡80不動而待測單元60移動，或者兩者皆移動，先使得探針50之點觸段52的末端位置沿垂直軸向地對應於待測單元60的導電接點65，再使探針卡80與待測單元60沿垂直軸向地相互靠近，進而使探針50之點觸段52的末端接觸待測單元60的導電接點65，使得待測單元60的導電接點65與探針模組20、20’的探針50電性連接。探針卡80的電路板81係用以電性連接至一測試機（圖中未示），測試機所提供的測試信號透過電路板80及探針50而傳送至待測單元60的導電接點65，再從待測單元60的導電接點65透過探針50及電路板81而回傳至測試機，如此即可對待測單元60進行測試。

最後，必須再次說明，本發明於前揭實施例中所揭露的構成元件，僅為舉例說明，並非用來限制本案之範圍，其他等效元件的替代或變化，亦應為本案之申請專利範圍所涵蓋。

10:待測單元 11:第一導電接點 12:第二導電接點 13:基板 131:第一長邊 132:第二長邊 14:中間區塊 15,16:外側區塊 17:探針 171:懸臂段 172:固定部 173:內延伸部 174:外延伸部 18:探針座 L:假想分界軸線 θ:傾斜角度 20,20’:探針模組 22:參考中心軸線 30:探針座 31:座體 312:下表面 32:膠體 33:內部通道 34:探針發散內側面 35:探針收斂內側面 36:外側面 37:高層膠體 38:低層膠體 40A:（高層）（發散）探針單元 40A’:（低層）（發散）探針單元 40B:（高層）（收斂）探針單元 40B’:（低層）（收斂）探針單元 42:交叉位置 50:探針 50A,50A’,50B,50B’:外側探針 51:懸臂段 511:固定部 512:內延伸部 513:外延伸部 514:第一端 515:第二端 516:內端 52:點觸段 60:待測單元 61:第一主邊緣 62:第二主邊緣 63,64:側邊緣 65:導電接點 65a:外側接點 651:第一端 652:第二端 66:中心軸線 70:固定裝置 71~77:針層 80:探針卡 81:電路板 83:承載台 θ1,θ2,θ2’,θ3,θ3’:傾斜角度 d1,d2:外延伸部距離 D:參考距離 W1:低層膠體幅寬 W2:高層膠體幅寬 W3:座體幅寬 T:座體厚度

圖1為一具有傾斜導電接點之待測單元、一探針座及多根探針的頂視示意圖。 圖2為一探針座、複數探針及一固定裝置的頂視示意圖。 圖3為本發明一第一較佳實施例所提供之探針模組的頂視示意圖。 圖4為本發明該第一較佳實施例所提供之探針模組的剖視示意圖。 圖5為本發明該第一較佳實施例所提供之探針模組以及二待測單元的頂視示意圖。 圖6為本發明一第二較佳實施例所提供之探針模組以及四待測單元的頂視示意圖。 圖7為本發明該第二較佳實施例所提供之探針模組的頂視示意圖。 圖8為本發明該第二較佳實施例所提供之探針模組的剖視示意圖。 圖9為本發明該第二較佳實施例所提供之探針模組的一探針座的立體示意圖。 圖10為本發明之探針模組的針層示意圖。 圖11為本發明所提供之探針模組的部分探針與一待測單元之部分導電接點的示意圖。 圖12為本發明所提供之一測試系統與一待測單元的示意圖。

20:探針模組

22:參考中心軸線

30:探針座

33:內部通道

34:探針發散內側面

35:探針收斂內側面

36:外側面

40A:(發散)探針單元

40B:(收斂)探針單元

50:探針

50A,50B:外側探針

51:懸臂段

511:固定部

512:內延伸部

513:外延伸部

514:第一端

515:第二端

66:中心軸線

θ2,θ3:傾斜角度

Claims (20)

1. 一種用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，係用以檢測至少一待測單元，該待測單元具有一第一主邊緣、一第二主邊緣、連接該第一主邊緣與該第二主邊緣之二側邊緣，以及複數導電接點，各該導電接點具有一朝向該第一主邊緣之第一端及一朝向該第二主邊緣之第二端，該待測單元能定義出一通過該第一主邊緣及該第二主邊緣的中心軸線，該複數導電接點係排成至少一行，同一行導電接點中包含分別最靠近該二側邊緣之二外側接點，各該外側接點係以其第一端比第二端更靠近該中心軸線之方式相對於該中心軸線呈傾斜而能定義出一相對於該中心軸線之傾斜角度；該探針模組包含有： 一探針座；以及 至少一探針單元，該探針單元包含有複數探針，該複數探針包含相距最遠之二外側探針，各該探針包含有一懸臂段及一點觸段，該懸臂段包含有一與該探針座固接之固定部，以及分別連接於該固定部二端且自該探針座延伸而出之一內延伸部及一外延伸部，該內延伸部具有一與該探針座連接之第一端及一與該點觸段連接之第二端； 其中，該探針模組能定義出一參考中心軸線，同一探針單元之探針的點觸段係垂直於該參考中心軸線地排成一行，用以點觸同一待測單元之同一行導電接點；該探針座具有一探針發散內側面，當該探針模組檢測該待測單元時，該待測單元之第一主邊緣比第二主邊緣更靠近該探針發散內側面；該至少一探針單元包含至少一發散探針單元，該發散探針單元之探針的內延伸部第一端係與該探針發散內側面連接，該發散探針單元之外側探針的內延伸部係以其第一端比第二端更靠近該參考中心軸線之方式相對於該參考中心軸線呈傾斜而具有一相對於該參考中心軸線的傾斜角度，至少一該發散探針單元之外側探針的傾斜角度小於該待測單元之外側接點的傾斜角度。
2. 如請求項1所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該探針座包含有一座體，以及自該座體的一下表面沿一垂直軸向依序堆疊設置的一高層膠體及一低層膠體；該探針模組之發散探針單元包含一受該低層膠體固定的低層發散探針單元，以及一位置高於該低層發散探針單元且受該高層膠體固定的高層發散探針單元，該高層發散探針單元之探針的點觸段長度大於該低層發散探針單元之探針的點觸段長度；該低層膠體能定義出一平行於該參考中心軸線的低層膠體幅寬；對於位於該參考中心軸線同一側的外側探針，該低層發散探針單元之外側探針的內延伸部第一端與該高層發散探針單元之外側探針的內延伸部第二端之間能定義出一平行於該參考中心軸線的參考距離，該低層膠體幅寬小於該參考距離。
3. 如請求項1所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該探針模組之發散探針單元包含一低層發散探針單元，以及一位置高於該低層發散探針單元之高層發散探針單元，該高層發散探針單元之探針的點觸段長度大於該低層發散探針單元之探針的點觸段長度；各該探針之外延伸部具有一與該探針座連接之內端，各該探針單元能以其該二外側探針之外延伸部內端的距離定義為一外延伸部距離；該低層發散探針單元之外延伸部距離大於該高層發散探針單元之外延伸部距離。
4. 如請求項1所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該探針模組之發散探針單元包含一低層發散探針單元，以及一位置高於該低層發散探針單元之高層發散探針單元，該高層發散探針單元之探針的點觸段長度大於該低層發散探針單元之探針的點觸段長度，該低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度大於或等於該高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度。
5. 如請求項1所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該探針座具有一與該探針發散內側面相對之探針收斂內側面，當該探針模組檢測該待測單元時，該待測單元之第二主邊緣比第一主邊緣更靠近該探針收斂內側面；該至少一探針單元包含至少一收斂探針單元，該收斂探針單元之探針的內延伸部第一端係與該探針收斂內側面連接，該收斂探針單元之外側探針的內延伸部係以其第二端比第一端更靠近該參考中心軸線之方式相對於該參考中心軸線呈傾斜而具有一相對於該參考中心軸線的傾斜角度，該收斂探針單元之外側探針的傾斜角度係與該發散探針單元之外側探針的傾斜角度相同。
6. 一種用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，包含有： 一探針座；以及 複數探針單元，各該探針單元包含有複數探針，該複數探針包含相距最遠之二外側探針，各該探針包含有一懸臂段及一點觸段，該懸臂段包含有一與該探針座固接之固定部，以及分別連接於該固定部二端且自該探針座延伸而出之一內延伸部及一外延伸部，該內延伸部具有一與該探針座連接之第一端及一與該點觸段連接之第二端； 其中，該探針模組能定義出一參考中心軸線，同一探針單元之探針的點觸段係垂直於該參考中心軸線地排成一行；該探針座具有一探針發散內側面，該複數探針單元包含二發散探針單元，各該發散探針單元之探針的內延伸部第一端係與該探針發散內側面連接，各該發散探針單元之外側探針的內延伸部係以其第一端比第二端更靠近該參考中心軸線之方式相對於該參考中心軸線呈傾斜而具有一相對於該參考中心軸線的傾斜角度；該二發散探針單元包含一低層發散探針單元及一位置高於該低層發散探針單元之高層發散探針單元，該高層發散探針單元之探針的點觸段長度大於該低層發散探針單元之探針的點觸段長度；各該探針之外延伸部具有一與該探針座連接之內端，各該探針單元能以其該二外側探針之外延伸部內端的距離定義為一外延伸部距離，該低層發散探針單元之外延伸部距離大於該高層發散探針單元之外延伸部距離。
7. 如請求項6所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該探針座包含有一座體，以及自該座體的一下表面沿一垂直軸向依序堆疊設置的一高層膠體及一低層膠體，該低層發散探針單元受該低層膠體固定，該高層發散探針單元受該高層膠體固定，該低層膠體能定義出一平行於該參考中心軸線的低層膠體幅寬；對於位於該參考中心軸線同一側的外側探針，該低層發散探針單元之外側探針的內延伸部第一端與該高層發散探針單元之外側探針的內延伸部第二端之間能定義出一平行於該參考中心軸線的參考距離，該低層膠體幅寬小於該參考距離。
8. 如請求項2或7所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該座體能定義出一平行於該參考中心軸線的座體幅寬，以及一沿該垂直軸向的座體厚度，該座體幅寬小於或等於該座體厚度的二分之一。
9. 如請求項2或7所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該低層膠體幅寬小於3毫米。
10. 如請求項6所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度大於該高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度。
11. 如請求項6所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該探針座具有一與該探針發散內側面相對之探針收斂內側面，該至少一探針單元包含至少一收斂探針單元，該收斂探針單元之探針的內延伸部第一端係與該探針收斂內側面連接，該收斂探針單元之外側探針的內延伸部係以其第二端比第一端更靠近該參考中心軸線之方式相對於該參考中心軸線呈傾斜而具有一相對於該參考中心軸線的傾斜角度，該收斂探針單元之外側探針的傾斜角度係與該發散探針單元之外側探針的傾斜角度相同。
12. 如請求項1或6所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中同一探針單元之探針在該探針座形成位於不同高度之複數針層，同一探針單元之不同針層的探針之點觸段係自內延伸部之第二端尺寸漸縮地向下延伸不同的長度至同一高度位置，同一探針單元之每二相鄰的探針係屬於不同的針層。
13. 如請求項12所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中同一探針單元之每二相鄰的探針非屬於相鄰的針層。
14. 如請求項2、3、4或6所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度與該高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度有一差值，該差值小於或等於6度。
15. 如請求項14所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中該高層發散探針單元之外側探針的傾斜角度為12度，該低層發散探針單元之外側探針的傾斜角度係大於或等於12度且小於或等於18度。
16. 如請求項1或6所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中至少一該發散探針單元之外側探針的傾斜角度大於或等於12度且小於18度。
17. 如請求項16所述之用於具有傾斜導電接點之待測單元的探針模組，其中至少一該發散探針單元之外側探針的傾斜角度為12度。
18. 一種用於具有傾斜導電接點之待測單元的測試方法，其步驟包含有： 提供一如請求項1所述之探針模組； 提供至少一待測單元，該待測單元具有一第一主邊緣、一第二主邊緣、連接該第一主邊緣與該第二主邊緣之二側邊緣，以及複數導電接點，各該導電接點具有一朝向該第一主邊緣之第一端及一朝向該第二主邊緣之第二端，該待測單元能定義出一通過該第一主邊緣及該第二主邊緣的中心軸線，該複數導電接點係排成至少一行，同一行導電接點中包含分別最靠近該二側邊緣之二外側接點，各該外側接點係以其第一端比第二端更靠近該中心軸線之方式相對於該中心軸線呈傾斜而能定義出一相對於該中心軸線之傾斜角度，該待測單元之外側接點的傾斜角度大於該探針模組之至少一該發散探針單元之外側探針的傾斜角度；以及 使該探針模組的探針接觸該至少一待測單元的導電接點，藉以使該探針模組與該至少一待測單元電性連接。
19. 一種待測單元，係利用如請求項1所述之探針模組進行一測試程序，該待測單元具有一第一主邊緣、一第二主邊緣、連接該第一主邊緣與該第二主邊緣之二側邊緣，以及複數導電接點，各該導電接點具有一朝向該第一主邊緣之第一端及一朝向該第二主邊緣之第二端，該待測單元能定義出一通過該第一主邊緣及該第二主邊緣的中心軸線，該複數導電接點係排成至少一行，同一行導電接點中包含分別最靠近該二側邊緣之二外側接點，各該外側接點係以其第一端比第二端更靠近該中心軸線之方式相對於該中心軸線呈傾斜而能定義出一相對於該中心軸線之傾斜角度，該待測單元之外側接點的傾斜角度大於該探針模組之至少一該發散探針單元之外側探針的傾斜角度。
20. 一種測試系統，係用以測試至少一待測單元，該測試系統包含有： 一承載台，係用以承載該至少一待測單元；以及 一探針卡，包含有一如請求項1至17中任一請求項所述之探針模組，用以藉由該探針模組的探針接觸該至少一待測單元的導電接點而使該探針卡與該至少一待測單元電性連接。

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