[go: up one dir, main page]

TW202146948A - 近紅外線截止濾波器 - Google Patents

近紅外線截止濾波器 Download PDF

Info

Publication number
TW202146948A
TW202146948A TW110117241A TW110117241A TW202146948A TW 202146948 A TW202146948 A TW 202146948A TW 110117241 A TW110117241 A TW 110117241A TW 110117241 A TW110117241 A TW 110117241A TW 202146948 A TW202146948 A TW 202146948A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
film
reflectance
infrared cut
matching film
sio
Prior art date
Application number
TW110117241A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI879960B (zh
Inventor
長田崇
Original Assignee
日商Ａｇｃ股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商Ａｇｃ股份有限公司 filed Critical 日商Ａｇｃ股份有限公司
Publication of TW202146948A publication Critical patent/TW202146948A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI879960B publication Critical patent/TWI879960B/zh

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
    • G02B5/282—Interference filters designed for the infrared light reflecting for infrared and transparent for visible light, e.g. heat reflectors, laser protection
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11—Anti-reflection coatings
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
    • G02B5/288—Interference filters comprising deposited thin solid films comprising at least one thin film resonant cavity, e.g. in bandpass filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

本發明提供一種近紅外線截止濾波器，其可於寬廣之入射角度範圍顯著抑制可見光區域之反射率。 近紅外線截止濾波器具有透明基板、光學多層膜、第1匹配膜、及設置於最外側之第2匹配膜，第1匹配膜設置於光學多層膜之上、或透明基板與光學多層膜之間，於該近紅外線截止濾波器中，當將自第2匹配膜之側以5°之入射角度入射之光之正規反射率作為第1反射率R1 ，將以40°之入射角度入射之光之正規反射率作為第2反射率R2 ，將波長480 nm～680 nm範圍之R1 之近似直線設為y1 ，將波長450 nm～650 nm範圍之R2 之近似直線設為y2 時，R1 與y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 未達5%，R2 與y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 未達6%。

Description

近紅外線截止濾波器
本發明係關於一種近紅外線截止濾波器。
數位相機、數位視訊等攝像裝置具備用以感測人物、景色等之固體攝像元件(影像感測器)。但是，與人類之視感相比，固體攝像元件對紅外光顯示較強之感度。因此，為了使利用固體攝像元件所獲得之圖像接近於人類之視感度，進而於攝像裝置設置有近紅外線截止濾波器。
一般而言，此種近紅外線截止濾波器係藉由於透明基板上設置屏蔽近紅外線之光學多層膜而構成。光學多層膜係藉由將包含高折射率之介電體(例如TiO2 )之薄膜、與包含低折射率之介電體(例如SiO2 )之薄膜交替積層而構成。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開第WO2014/104370號
[發明所欲解決之問題]
已知具有光學多層膜之近紅外線截止濾波器常有光學特性相依於入射光角度而發生變化之情況。因此，會產生如下等問題：例如即便對具有接近法線方向之入射角之光可獲得所需之光學特性，但對具有較大偏離法線方向之入射角之光，無法獲得所需之光學特性等問題。
又，將近紅外線截止濾波器應用於固體攝像元件時，此種近紅外線截止濾波器之光學特性之入射角度相依性於像之清晰性方面會成問題。例如，若入射至近紅外線截止濾波器之可見光之一部分不透過而是反射，則此種反射光會引起產生雜散光。
本發明係鑒於上述背景而完成，本發明之目的在於提供一種能夠於寬廣之入射角度範圍顯著抑制可見光區域之反射率之近紅外線截止濾波器。 [解決問題之技術手段]
本發明提供一種近紅外線截止濾波器，具有： 透明基板，其具有第1表面； 光學多層膜，其設置於該透明基板之上述第1表面之側； 第1匹配膜，其設置於上述透明基板之上述第1表面之側；及 第2匹配膜，其設置於上述第1表面之最外側；且 上述光學多層膜具有高折射率層與低折射率層之交替積層構造，且具有使近紅外線反射之功能， 上述第1及第2匹配膜具有抑制可見光反射之功能， 上述第1匹配膜設置於上述光學多層膜之上、或上述透明基板與上述光學多層膜之間， 於該近紅外線截止濾波器中， 當將自上述第2匹配膜之側以5°之入射角度入射之光之正規反射率作為第1反射率R1 ，將自上述第2匹配膜之側以40°之入射角度入射之光之正規反射率作為第2反射率R2 ，且 將波長480 nm～680 nm範圍之上述第1反射率R1 之近似直線設為y1 ，將波長450 nm～650 nm範圍之上述第2反射率R2 之近似直線設為y2 時， 於波長480 nm～680 nm之範圍，同一波長下之上述第1反射率R1 與上述近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 未達5%， 於波長450 nm～650 nm之範圍，同一波長下之上述第2反射率R2 與上述近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 未達6%。 [發明之效果]
本發明可提供一種能夠於寬廣之入射角度範圍顯著抑制可見光區域之反射率之近紅外線截止濾波器。
以下，對本發明之一實施方式進行說明。
本發明之一實施方式提供一種近紅外線截止濾波器，具有： 透明基板，其具有第1表面； 光學多層膜，其設置於該透明基板之上述第1表面之側； 第1匹配膜，其設置於上述透明基板之上述第1表面之側；及 第2匹配膜，其設置於上述第1表面之最外側；且 上述光學多層膜具有高折射率層與低折射率層之交替積層構造，且具有使近紅外線反射之功能， 上述第1及第2匹配膜具有抑制可見光反射之功能， 上述第1匹配膜設置於上述光學多層膜之上、或上述透明基板與上述光學多層膜之間， 於該近紅外線截止濾波器中， 當將自上述第2匹配膜之側以5°之入射角度入射之光之正規反射率作為第1反射率R1 ，將自上述第2匹配膜之側以40°之入射角度入射之光之正規反射率作為第2反射率R2 ，且 將波長480 nm～680 nm範圍之上述第1反射率R1 之近似直線設為y1 ，將波長450 nm～650 nm範圍之上述第2反射率R2 之近似直線設為y2 時， 於波長480 nm～680 nm之範圍，同一波長下之上述第1反射率R1 與上述近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 未達5%， 於波長450 nm～650 nm之範圍，同一波長下之上述第2反射率R2 與上述近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 未達6%。
本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器具有光學多層膜。該光學多層膜具有阻止近紅外線之透過而使該近紅外線反射之功能。
又，本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器具有第1及第2匹配膜。第1及第2匹配膜具有抑制可見光反射之功能。
又，本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器具有以下特徵，即，於波長480 nm～680 nm之範圍，同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 未達5%。進而，本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器具有以下特徵，即，於波長450 nm～650 nm之範圍，同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 未達6%。
具有此種構成之近紅外線截止濾波器如以下詳細所示，可於寬廣之入射角度範圍顯著抑制可見光區域之反射率。因此，將本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器應用於固體攝像元件之情形時，能夠獲得清晰之像。
(本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器) 其次，參照圖式對本發明之一實施方式更詳細地進行說明。
圖1中，模式性表示本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器(以下，稱為「第1光學濾波器」)之剖面。
如圖1所示，第1光學濾波器100具備：具有第1表面112之透明基板110、光學多層膜120、第1匹配膜140、及第2匹配膜160。
光學多層膜120設置於透明基板110之第1表面112上，第1匹配膜140設置於光學多層膜120上。又，第2匹配膜160設置於第1表面112之最外側。
光學多層膜120具有阻止近紅外線之透過而使該近紅外線反射之功能。又，第1匹配膜140及第2匹配膜160具有抑制可見光反射之功能。
此處，將自第2匹配膜160之側相對於法線以5°之入射角度入射之光之正規反射率稱為第1反射率R1 ，將相對於法線以40°之入射角度入射之光之正規反射率稱為第2反射率R2 。又，將波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之近似直線設為y1 ，將波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之近似直線設為y2 。
該情形時，第1光學濾波器100具有以下特徵： 於波長480 nm～680 nm之範圍，同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 未達5%， 於波長450 nm～650 nm之範圍，同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 未達6%。
例如，ΔR1 亦可未達4%，較佳為未達3%。又，例如，ΔR2 亦可未達5.5%，較佳為未達5%。
第1光學濾波器100可於寬廣之入射角度範圍顯著抑制可見光區域之反射率。因此，將第1光學濾波器100應用於固體攝像元件之情形時，能夠獲得清晰之像。
(本發明之另一實施方式之近紅外線截止濾波器) 其次，參照圖2對本發明之另一實施方式進行說明。
圖2中，模式性表示本發明之另一實施方式之近紅外線截止濾波器(以下，稱為「第2光學濾波器」)之剖面。
如圖2所示，第2光學濾波器200具備：具有第1表面212之透明基板210、第1匹配膜240、光學多層膜220、及第2匹配膜260。
第1匹配膜240設置於透明基板210之第1表面212上，光學多層膜220設置於第1匹配膜240之上。又，第2匹配膜260設置於第1表面212之最外側。
此處，與第1光學濾波器100相同，第2光學濾波器200亦具有以下特徵，即， 於波長480 nm～680 nm之範圍，同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 未達5%， 於波長450 nm～650 nm之範圍，同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 未達6%。
第2光學濾波器200可於寬廣之入射角度範圍顯著抑制可見光區域之反射率。因此，將第2光學濾波器200應用於固體攝像元件之情形時，能夠獲得清晰之像。
(本發明之又一實施方式之近紅外線截止濾波器) 其次，參照圖3對本發明之又一實施方式進行說明。
圖3中，模式性表示本發明之又一實施方式之近紅外線截止濾波器(以下，稱為「第3光學濾波器」)之剖面。
如圖3所示，第3光學濾波器300具有：具有第1表面312之透明基板310、第1匹配膜340、光學多層膜320、第3匹配膜350、及第2匹配膜360。
第1匹配膜340設置於透明基板310之第1表面312上。又，光學多層膜320設置於第1匹配膜340之上，第3匹配膜350配置於光學多層膜320之上。進而，第2匹配膜360設置於第1表面312之最外側。
此處，與第1光學濾波器100及第2光學濾波器200相同，第3光學濾波器300亦具有以下特徵，即， 於波長480 nm～680 nm之範圍，同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 未達5%， 於波長450 nm～650 nm之範圍，同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 未達6%。
第3光學濾波器300可於寬廣之入射角度範圍顯著抑制可見光區域之反射率。因此，將第3光學濾波器300應用於固體攝像元件之情形時，能夠獲得清晰之像。
(構成構件) 其次，對構成本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器之各構件更詳細地進行說明。
再者，此處，作為一例，以上述第3光學濾波器300為例對其構成構件進行說明。因此，參照各構件時，使用圖3所示之參照符號。
(透明基板310) 透明基板310只要對可見光為透明(透過率較高)，則可由任意之材料構成。例如，透明基板310亦可由玻璃(白板玻璃、近紅外線吸收玻璃等)、或樹脂構成。
(光學多層膜320) 光學多層膜320具有「高折射率層」與「低折射率層」之重複構造，且具有使近紅外線(波長750 nm～900 nm)反射之功能。
本申請案中，「高折射率層」係指波長500 nm下之折射率為2.0以上之層，「低折射率層」係指波長500 nm下之折射率為1.6以下之層。
作為高折射率層，可列舉例如氧化鈦、氧化鉭、及氧化鈮等。作為低折射率層，可列舉例如氧化矽及氟化鎂等。例如，波長500 nm下之氧化鈦之折射率雖亦取決於結晶狀態，但一般為2.3～2.8之範圍，氧化矽之折射率一般為1.4～1.5之範圍。
光學多層膜320之層數並未特別限制，例如為4～100之範圍。層數較佳為6～24之範圍。
再者，將多層膜之層數之一半(於尾數之情形時，將小數點以下捨去)亦稱為「重複數(n)」。
光學多層膜320之重複數n為2～50之範圍，較佳為3～13之範圍。
又，光學多層膜320之總厚度(物理膜厚)例如為200 nm～10 μm之範圍，較佳為1 μm～6 μm之範圍。
光學多層膜320亦可進而具有反射近紫外線及紅外線(波長900 nm～1200 nm)之功能。該情形時，第3光學濾波器300，能夠屏蔽近紫外線及紅外線。
(第1匹配膜340) 如上所述，第1匹配膜340具有抑制可見光反射之功能。
第1匹配膜340亦可具有「高折射率層」與「低折射率層」之交替積層構造。作為「高折射率層」及「低折射率層」，可參照上述記載。
於第1匹配膜340具有高折射率層與低折射率層之交替積層構造之情形時，將高折射率層之波長550 nm下之QWOT(Quarter-wave Optical Thickness，四分之一波長光學厚度)設為QH ，將低折射率層之波長550 nm下之QWOT設為QL 時，第1匹配膜340自透明基板310之側亦可依序具有 (H1 QH 、L1 QL 、H2 QH 、L2 QL 、......、Hn QH 、Ln QL )   (1)式 之構造(此處，n為1以上之自然數)。又，各係數亦可滿足 1.7≦W≦2.5            (2)式。 此處， W＝(H1 ＋H2 ＋...＋Hn )/(L1 ＋L2 ＋...＋Ln )  (3)式。
(1)式中QH 及QL 之前之H1 ...Hn 及L1 ...Ln 等係數表示各層之物理膜厚為QWOT之幾倍。即，Hn QH 及Ln QL 等表示各層之光學膜厚。
第1匹配膜340之層數並未特別限制，但較佳為例如2～20層之範圍。若層數超過20，則成膜需要時間，導致第3光學濾波器300之製造成本上升。第1匹配膜340之層數更佳為6層～16層之範圍，進而佳為12層以下。
(第2匹配膜360) 與第1匹配膜340相同，第2匹配膜360具有抑制可見光反射之功能。
第2匹配膜360較佳為具有高折射率層及低折射率層之2層構造(即，重複數n＝1)。再者，作為「高折射率層」及「低折射率層」，可參照上述記載。
進而，該情形時，將高折射率層之波長550 nm下之QWOT設為QA ，將低折射率層之波長550 nm下之QWOT設為QB 時，第2匹配膜360自透明基板之側具有 (XQA 、YQB )             (4)式 之構造，此處，較佳為X＞Y。
(第3匹配膜350) 與第1匹配膜340及第2匹配膜360相同，第3匹配膜350具有抑制可見光反射之功能。
第3匹配膜350亦可具有「高折射率層」與「低折射率層」之交替積層構造。作為「高折射率層」及「低折射率層」，可參照上述記載。
尤其第3匹配膜350亦可由與第1匹配膜340相同之層數構成。又，第3匹配膜350亦可以滿足上述(1)式～(3)式之方式構成。
例如，第3匹配膜350亦可由6層～16層構成。該情形時，重複數n成為3～8。
第3匹配膜350並非必須之構成，但藉由設置第3匹配膜350而可進一步抑制可見光之反射。
再者，於圖3所示之例中，第3匹配膜350配置於設置在第1匹配膜340之上之光學多層膜320之上。然而，亦可與此相反，將第3匹配膜350配置於透明基板310與光學多層膜320之間，且於光學多層膜320之上設置第1匹配膜340。
以上，以第3光學濾波器300為例，對本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器中包含之各構件進行了說明。然而，業者明確瞭解，上述記載對於第1光學濾波器100及第2光學濾波器200亦可同樣適用。 [實施例]
其次，對本發明之實施例進行說明。再者，以下記載中，例1～例4為實施例，例11～例14為比較例。
對具有以下各例所示之構成之近紅外線截止濾波器之各者評估光學特性。光學特性係使用市售之光學模擬軟體(Software SPectra，Inc公司之TFCalc)進行評估。
再者，於以下評估中，近紅外線截止濾波器之反射率表示使光自透明基板之第1表面之側(即，設置有各種膜之側)相對於法線以特定之角度入射時獲得之正規反射率。
光之入射角度相對於法線設為5°及40°。以下，將該等入射方向分別稱為「5°入射」及「40°入射」。
(例1) 例1之近紅外線截止濾波器具有圖1所示之構成。
對於透明基板，使用玻璃(D263；Schott公司製造)。再者，於其他例中亦使用相同之玻璃。
光學多層膜設為低折射率層(SiO2 層)與高折射率層(TiO2 層)之重複構造。層數設為17層。又，第1匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之重複構造，層數設為6層。進而，第2匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之2層構造。
於以下表1中，將例1中使用之光學多層膜、第1匹配膜、及第2匹配膜之層構成彙總表示。
[表1]
   層NO. 膜材料 物理膜厚 (mm) QWOT
光學多層膜 1 SiO2 74.34 0.800
2 TiO2 90.84 1.600
3 SiO2 148.69 1.600
4 TiO2 90.84 1.600
5 SiO2 148.69 1.600
6 TiO2 90.84 1.600
7 SiO2 148.69 1.600
8 TiO2 90.84 1.600
9 SiO2 148.69 1.600
10 TiO2 90.84 1.600
11 SiO2 148.69 1.600
12 TiO2 90.84 1.600
13 SiO2 148.69 1.600
14 TiO2 90.84 1.600
15 SiO2 148.69 1.600
16 TiO2 90.84 1.600
17 SiO2 148.69 1.600
第1匹配膜 1 TiO2 15.00 0.264
2 SiO2 15.00 0.161
3 TiO2 54.17 0.954
4 SiO2 22.62 0.243
5 TiO2 29.04 0.511
6 SiO2 35.51 0.382
第2匹配膜 1 TiO2 107.75 1.898
2 SiO2 82.43 0.887
第1匹配膜中，由上述(3)式表示之W之值、即(H1 ＋H2 ＋H3 )/(L1 ＋L2 ＋L3 )之值為2.20。
又，第2匹配膜中，TiO2 層之波長550 nm下之QWOT(QA )＝1.898，SiO2 層之波長550 nm下之QWOT(QB )為0.887。又，將第2匹配膜以上述(4)式表示之情形時，X/Y＝2.14。
再者，表1中，各層以靠近透明基板之順序記載，因此，於透明基板上，自表1之上側朝下側配置有各層。該記載於以下表2～表8中亦相同。
(例2) 例2之近紅外線截止濾波器具有圖1所示之構成。
對於透明基板，使用玻璃。
光學多層膜設為TiO2 層與SiO2 之重複構造。層數設為18層。又，第1匹配膜設為TiO2 層與SiO2 之重複構造，層數設為6層。進而，第2匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之2層構造。
於以下表2中，將例2中使用之光學多層膜、第1匹配膜、及第2匹配膜之層構成彙總表示。
[表2]
   層NO. 膜材料 物理膜厚 (mm) QWOT
光學多層膜 1 TiO2 96.52 1.700
2 SiO2 157.98 1.700
3 TiO2 85.17 1.500
4 SiO2 148.69 1.600
5 TiO2 85.17 1.500
6 SiO2 148.69 1.600
7 TiO2 85.17 1.500
8 SiO2 148.69 1.600
9 TiO2 85.17 1.500
10 SiO2 148.69 1.600
11 TiO2 85.17 1.500
12 SiO2 148.69 1.600
13 TiO2 85.17 1.500
14 SiO2 148.69 1.600
15 TiO2 85.17 1.500
16 SiO2 148.69 1.600
17 TiO2 90.84 1.600
18 SiO2 176.57 1.900
第1匹配膜 1 TiO2 22.71 0.400
2 SiO2 18.59 0.200
3 TiO2 17.03 0.300
4 SiO2 18.59 0.200
5 TiO2 28.39 0.500
6 SiO2 27.88 0.300
第2匹配膜 1 TiO2 113.55 2.000
2 SiO2 83.64 0.900
第1匹配膜中，由上述(3)式表示之W之值、即(H1 ＋H2 ＋H3 )/(L1 ＋L2 ＋L3 )之值為1.71。
又，於第2匹配膜中，TiO2 層之波長550 nm下之QWOT(QA )＝2.000，SiO2 層之波長550 nm下之QWOT(QB )為0.900。又，將第2匹配膜以上述(4)式表示之情形時，X/Y＝2.22。
(例3) 例3之近紅外線截止濾波器具有圖2所示之構成。
對於透明基板，使用玻璃。
第1匹配膜設為TiO2 層與SiO2 之重複構造，層數設為6層。又，光學多層膜設為SiO2 層與TiO2 層之重複構造。層數設為17層。進而，第2匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之2層構造。
於以下表3中，將例3中使用之第1匹配膜、光學多層膜、及第2匹配膜之層構成彙總表示。
[表3]
   層NO. 膜材料 物理膜厚 (mm) QWOT
第1匹配膜 1 TiO2 15.00 0.264
2 SiO2 24.98 0.269
3 TiO2 41.36 0.728
4 SiO2 15.00 0.161
5 TiO2 23.88 0.421
6 SiO2 22.91 0.247
光學多層膜 1 SiO2 148.69 1.600
2 TiO2 90.84 1.600
3 SiO2 148.69 1.600
4 TiO2 90.84 1.600
5 SiO2 148.69 1.600
6 TiO2 90.84 1.600
7 SiO2 148.69 1.600
8 TiO2 90.84 1.600
9 SiO2 148.69 1.600
10 TiO2 90.84 1.600
11 SiO2 148.69 1.600
12 TiO2 90.84 1.600
13 SiO2 148.69 1.600
14 TiO2 90.84 1.600
15 SiO2 148.69 1.600
16 TiO2 90.84 1.600
17 SiO2 148.69 1.600
第2匹配膜 1 TiO2 90.11 1.587
2 SiO2 82.17 0.884
第1匹配膜中，由上述(3)式表示之W之值、即(H1 ＋H2 ＋H3 )/(L1 ＋L2 ＋L3 )之值為2.09。
又，於第2匹配膜中，TiO2 層之波長550 nm下之QWOT(QA )＝1.587，SiO2 層之波長550 nm下之QWOT(QB )為0.884。又，將第2匹配膜以上述(4)式表示之情形時，X/Y＝1.80。
(例4) 例4之近紅外線截止濾波器具有圖3所示之構成。
對於透明基板，使用玻璃。
第1匹配膜設為SiO2 層與TiO2 層之重複構造，層數設為6層。又，光學多層膜設為SiO2 層與TiO2 層之重複構造。層數設為17層。又，第3匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之重複構造，層數設為6層。進而，第2匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之2層構造。
於以下表4中，將例4中使用之第1匹配膜、光學多層膜、第3匹配膜、及第2匹配膜之層構成彙總表示。
[表4]
   層NO. 膜材料 物理膜厚 (mm) QWOT
第1匹配膜 1 SiO2 15.00 0.161
2 TiO2 23.14 0.408
3 SiO2 30.41 0.327
4 TiO2 15.00 0.264
5 SiO2 24.15 0.260
6 TiO2 20.69 0.364
光學多層膜 1 SiO2 148.69 1.600
2 TiO2 90.84 1.600
3 SiO2 148.69 1.600
4 TiO2 90.84 1.600
5 SiO2 148.69 1.600
6 TiO2 90.84 1.600
7 SiO2 148.69 1.600
8 TiO2 90.84 1.600
9 SiO2 148.69 1.600
10 TiO2 90.84 1.600
11 SiO2 148.69 1.600
12 TiO2 90.84 1.600
13 SiO2 148.69 1.600
14 TiO2 90.84 1.600
15 SiO2 148.69 1.600
16 TiO2 90.84 1.600
17 SiO2 148.69 1.600
第3匹配膜 1 TiO2 15.00 0.264
2 SiO2 15.00 0.161
3 TiO2 55.86 0.984
4 SiO2 24.52 0.264
5 TiO2 28.84 0.508
6 SiO2 36.45 0.392
第2匹配膜 1 TiO2 112.59 1.983
2 SiO2 85.59 0.921
於第1匹配膜中，由上述(3)式表示之W之值、即(H1 ＋H2 ＋H3 )/(L1 ＋L2 ＋L3 )之值為2.15。
又，於第2匹配膜中，TiO2 層之波長550 nm下之QWOT(QA )＝1.983，SiO2 層之波長550 nm下之QWOT(QB )為0.921。又，將第2匹配膜以上述(4)式表示之情形時，X/Y＝2.15。
(例11) 例11之近紅外線截止濾波器具有於透明基板之上僅具有光學多層膜之構成。光學多層膜設為TiO2 層與SiO2 層之重複構造，層數設為20層。
於以下表5中，表示例11中使用之光學多層膜之層構成。
[表5]
   層NO. 膜材料 物理膜厚 (mm)
光學多層膜 1 TiO2 90.84
2 SiO2 148.69
3 TiO2 90.84
4 SiO2 148.69
5 TiO2 90.84
6 SiO2 148.69
7 TiO2 90.84
8 SiO2 148.69
9 TiO2 90.84
10 SiO2 148.69
11 TiO2 90.84
12 SiO2 148.69
13 TiO2 90.84
14 SiO2 148.69
15 TiO2 90.84
16 SiO2 148.69
17 TiO2 90.84
18 SiO2 148.69
19 TiO2 90.84
20 SiO2 148.69
(例12) 例12之近紅外線截止濾波器具有於透明基板之上僅具有光學多層膜之構成。光學多層膜設為SiO2 層與TiO2 層之重複構造，層數設為21層。
於以下表6中，表示例12中使用之光學多層膜之層構成。
[表6]
   層NO. 膜材料 物理膜厚 (mm)
光學多層膜 1 SiO2 74.34
2 TiO2 90.84
3 SiO2 148.69
4 TiO2 90.84
5 SiO2 148.69
6 TiO2 90.84
7 SiO2 148.69
8 TiO2 90.84
9 SiO2 148.69
10 TiO2 90.84
11 SiO2 148.69
12 TiO2 90.84
13 SiO2 148.69
14 TiO2 90.84
15 SiO2 148.69
16 TiO2 90.84
17 SiO2 148.69
18 TiO2 90.84
19 SiO2 148.69
20 TiO2 90.84
21 SiO2 74.34
(例13) 例13之近紅外線截止濾波器具有於透明基板之上依序配置有光學多層膜、及第1匹配膜之構成。
光學多層膜設為SiO2 層與TiO2 層之重複構造，層數設為17層。又，第1匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之重複構造，層數設為6層。
於以下表7中，將例13中使用之光學多層膜、及第1匹配膜之層構成彙總表示。
[表7]
   層NO. 膜材料 物理膜厚 (mm) QWOT
光學多層膜 1 SiO2 74.34 0.800
2 TiO2 90.84 1.600
3 SiO2 148.69 1.600
4 TiO2 90.84 1.600
5 SiO2 148.69 1.600
6 TiO2 90.84 1.600
7 SiO2 148.69 1.600
8 TiO2 90.84 1.600
9 SiO2 148.69 1.600
10 TiO2 90.84 1.600
11 SiO2 148.69 1.600
12 TiO2 90.84 1.600
13 SiO2 148.69 1.600
14 TiO2 90.84 1.600
15 SiO2 148.69 1.600
16 TiO2 90.84 1.600
17 SiO2 148.69 1.600
第1匹配膜 1 TiO2 15.00 0.260
2 SiO2 15.00 0.160
3 TiO2 37.73 0.660
4 SiO2 20.00 0.220
5 TiO2 15.99 0.280
6 SiO2 20.00 0.220
(例14) 例14之近紅外線截止濾波器具有圖1所示之構成。
對於透明基板，使用玻璃。
光學多層膜設為SiO2 層與TiO2 層之重複構造。層數設為17層。又，第1匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之重複構造，層數設為6層。進而，第2匹配膜設為TiO2 層與SiO2 層之2層構造。
於以下表8中，將例14中使用之光學多層膜、第1匹配膜、及第2匹配膜之層構成彙總表示。
[表8]
   層NO. 膜材料 物理膜厚 (mm) QWOT
光學多層膜 1 SiO2 74.34 0.800
2 TiO2 90.84 1.600
3 SiO2 148.69 1.600
4 TiO2 90.84 1.600
5 SiO2 148.69 1.600
6 TiO2 90.84 1.600
7 SiO2 148.69 1.600
8 TiO2 90.84 1.600
9 SiO2 148.69 1.600
10 TiO2 90.84 1.600
11 SiO2 148.69 1.600
12 TiO2 90.84 1.600
13 SiO2 148.69 1.600
14 TiO2 90.84 1.600
15 SiO2 148.69 1.600
16 TiO2 90.84 1.600
17 SiO2 148.69 1.600
第1匹配膜 1 TiO2 15 0.260
2 SiO2 15 0.160
3 TiO2 39.74 0.700
4 SiO2 22.68 0.240
5 TiO2 28.98 0.510
6 SiO2 35.59 0.380
第2匹配膜 1 TiO2 107.72 1.900
2 SiO2 82.41 0.890
(光學特性之評估結果) (例1之近紅外線截止濾波器) 圖4～圖6中表示於例1之近紅外線截止濾波器所獲得之光學特性之評估結果。
圖4中，橫軸為波長，縱軸為反射率。圖4中，將5°入射時獲得之正規反射率即第1反射率R1 、與40°入射時獲得之正規反射率即第2反射率R2 之結果一併表示。
根據圖4之結果可知，例1之近紅外線截止濾波器於可見光之區域(波長約450 nm～約650 nm)具有透過段，於近紅外線之區域具有反射段。
再者，5°入射下之反射段之波長範圍為約750 nm～約1000 nm之範圍，相對於此，40°入射下之反射段之波長範圍為約700 nm～約900 nm之範圍。即，40°入射下之反射段之波長範圍相較5°入射下之反射段之波長範圍朝低波長側偏移。
然而，可知於第1反射率R1 及第2反射率R2 之任一情形，於透過段均可充分抑制反射。
圖5中，將圖4所示之行為中之波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之變化放大而表示。
再者，圖5之直線y1 為波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之近似直線，由 y1 ＝0.0353λ－16.087   (5)式 表示。此處，λ為波長(以下同)。
又，圖6中，將圖4所示之行為中之波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之變化放大而表示。
圖6之直線y2 為波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之近似直線，由如下式表示，即 y2 ＝0.0532λ－24.315   (6)式。
根據該等結果求出同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 ，ΔR1 ＝2.35%。
又，求出同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 ，ΔR2 ＝5.38%。
(例2之近紅外線截止濾波器) 圖7～圖9中，表示於例2之近紅外線截止濾波器所獲得之光學特性之評估結果。
圖7中，橫軸為波長，縱軸為反射率。圖7中，將5°入射時獲得之正規反射率即第1反射率R1 、與40°入射時獲得之正規反射率即第2反射率R2 之結果一併表示。
根據圖7之結果可知，例2之近紅外線截止濾波器於可見光之區域(波長約450 nm～約650 nm)具有透過段，於近紅外線之區域具有反射段。
又，可知於透過段，對於第1反射率R1 及第2反射率R2 之任一情形，均可充分抑制反射。
圖8中，將圖7所示之行為中之波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之變化放大而表示。
圖8之直線y1 為波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之近似直線，由如下式表示，即 y1 ＝-0.0046λ＋4.6073  (7)式。
又，圖9中，將圖7所示之行為中之波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之變化放大而表示。
圖9之直線y2 為波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之近似直線，由如下式表示，即 y2 ＝0.008λ－2.0209           (8)式。
根據該等結果求出同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 ，ΔR1 ＝3.25%。
又，求出同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 ，ΔR2 ＝3.98%。
(例3之近紅外線截止濾波器) 圖10中表示於例3之近紅外線截止濾波器所獲得之光學特性之評估結果。
圖10中，橫軸為波長，縱軸為反射率。圖10中，將5°入射時獲得之正規反射率即第1反射率R1 、與40°入射時獲得之正規反射率即第2反射率R2 之結果一併表示。
根據圖10之結果可知，例3之近紅外線截止濾波器於可見光之區域(波長約450 nm～約650 nm)具有透過段，於近紅外線之區域具有反射段。
又，可知於透過段，對於第1反射率R1 及第2反射率R2 之任一情形，均可充分抑制反射。
根據所得之結果求出同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 ，ΔR1 ＝1.27%。
又，求出同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 ，ΔR2 ＝4.41%。
(例4之近紅外線截止濾波器) 圖11～圖13中表示於例4之近紅外線截止濾波器所獲得之光學特性之評估結果。
圖11中，橫軸為波長，縱軸為反射率。圖11中將5°入射時獲得之正規反射率即第1反射率R1 、與40°入射時獲得之正規反射率即第2反射率R2 之結果一併表示。
根據圖11之結果可知，例4之近紅外線截止濾波器於可見光之區域(波長約450 nm～約650 nm)具有透過段，於近紅外線之區域具有反射段。
又，可知於透過段中，對於第1反射率R1 及第2反射率R2 之任一情形，均可充分抑制反射。 圖12中，將圖11所示之行為中之波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之變化放大而表示。
圖12之直線y1 為波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之近似直線，由如下式表示，即 y1 ＝0.0026λ－0.8325   (9)式。
又，圖13中，將圖11所示之行為中之波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之變化放大而表示。
圖13之直線y2 為波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之近似直線，由如下式表示，即 y2 ＝0.015λ－6.6515     (10)式。
根據該等結果求出同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 ，ΔR1 ＝1.03%。
又，求出同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 ，ΔR2 ＝4.98%。
(例11之近紅外線截止濾波器) 圖14～圖16中表示於例11之近紅外線截止濾波器所獲得之光學特性之評估結果。
圖14中，橫軸為波長，縱軸為反射率。圖14中，將5°入射時獲得之正規反射率即第1反射率R1 、與40°入射時獲得之正規反射率即第2反射率R2 之結果一併表示。
根據圖14之結果得出，於例11之近紅外線截止濾波器之情形時，對於5°入射及40°入射之任一者，均於可見光之區域反射率降低。然而，可知於該區域，第1反射率R1 及第2反射率R2 之值並未太受到抑制。
圖15中，將圖14所示之行為中之波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之變化放大而表示。
圖15之直線y1 為波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之近似直線，由如下式表示，即 y1 ＝0.0735λ－27.775   (11)式。
又，圖16中，將圖14所示之行為中之波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之變化放大而表示。
圖16之直線y2 為波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之近似直線，由如下式表示，即 y2 ＝0.0747λ－27.467   (12)式。
根據該等結果求出同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 ，ΔR1 ＝17.56%。
又，求出同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 ，ΔR2 ＝12.93%。
(例12之近紅外線截止濾波器) 圖17～圖19中表示於例12之近紅外線截止濾波器所獲得之光學特性之評估結果。
圖17中，橫軸為波長，縱軸為反射率。圖17中，將5°入射時獲得之正規反射率即第1反射率R1 、與40°入射時獲得之正規反射率即第2反射率R2 之結果一併表示。
根據圖17之結果得出，於例12之近紅外線截止濾波器之情形時，對於第1反射率R1 及第2反射率R2 之任一者，均於可見光之區域反射率降低。然而，可知於該區域，第1反射率R1 及第2反射率R2 之值並未太受到抑制。
圖18中，將圖17所示之行為中之波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之變化放大而表示。
圖18之直線y1 為波長480 nm～680 nm範圍之第1反射率R1 之近似直線，由 y1 ＝0.0435λ－20.496   (13)式 表示。
又，圖19中，將圖17所示之行為中之波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之變化放大而表示。
圖19之直線y2 為波長450 nm～650 nm範圍之第2反射率R2 之近似直線，由如下式表示，即 y2 ＝0.044λ－19.138   (14)式。
根據該等結果求出同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 ，ΔR1 ＝6.75%。
又，求出同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 ，ΔR2 ＝5.35%。
(例13之近紅外線截止濾波器) 圖20中表示於例13之近紅外線截止濾波器所獲得之光學特性之評估結果。
圖20中，橫軸為波長，縱軸為反射率。圖20中，將5°入射時獲得之正規反射率即第1反射率R1 、與40°入射時獲得之正規反射率即第2反射率R2 之結果一併表示。
根據圖20之結果得出，於例13之近紅外線截止濾波器之情形時，對於第1反射率R1 及第2反射率R2 之任一者，均於可見光之區域反射率降低。然而，可知於該區域，第1反射率R1 及第2反射率R2 之值並未太受到抑制。
根據所得之結果求出同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 ，ΔR1 ＝10.10%。
又，求出同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 ，ΔR2 ＝10.30%。
(例14之近紅外線截止濾波器) 圖21中表示於例14之近紅外線截止濾波器所獲得之光學特性之評估結果。
圖21中，橫軸為波長，縱軸為反射率。圖21中，將5°入射時獲得之正規反射率即第1反射率R1 、與40°入射時獲得之正規反射率即第2反射率R2 之結果一併表示。
根據圖21之結果得出，於例14之近紅外線截止濾波器之情形時，對於第1反射率R1 及第2反射率R2 之任一者，均於可見光之區域反射率降低。然而，可知於該區域，第1反射率R1 及第2反射率R2 之值並未太受到抑制。
根據所得之結果求出同一波長下之第1反射率R1 與近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 ，ΔR1 ＝10.30%。
又，求出同一波長下之第2反射率R2 與近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 ，ΔR2 ＝14.77%。
於以下表9中，將於各例之近紅外線截止濾波器所獲得之ΔR1 及ΔR2 之值彙總表示。
[表9]
例 ∆R1 (%) ∆R2 (%)
1 2.35 5.38
2 3.25 3.98
3 1.27 4.41
4 1.03 4.98
11 17.56 12.93
12 6.75 5.35
13 10.10 10.30
14 10.30 14.77
如此確認出，對於滿足ΔR1 ＜5%及ΔR2 ＜6%之例1～例4之近紅外線截止濾波器，不管光之入射角度如何，均可顯著抑制透過段之光之反射。
100:第1光學濾波器 110:透明基板 112:第1表面 120:光學多層膜 140:第1匹配膜 160:第2匹配膜 200:第2光學濾波器 210:透明基板 212:第1表面 220:光學多層膜 240:第1匹配膜 260:第2匹配膜 300:第3光學濾波器 310:透明基板 312:第1表面 320:光學多層膜 340:第1匹配膜 350:第3匹配膜 360:第2匹配膜
圖1係模式性表示本發明之一實施方式之近紅外線截止濾波器之剖面之圖。 圖2係模式性表示本發明之另一實施方式之近紅外線截止濾波器之剖面之圖。 圖3係模式性表示本發明之又一實施方式之近紅外線截止濾波器之剖面之圖。 圖4係表示於例1之近紅外線截止濾波器所獲得之5°入射及40°入射之各者下之光學特性之曲線圖。 圖5係將圖4之5°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖6係將圖4之40°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖7係表示於例2之近紅外線截止濾波器所獲得之5°入射及40°入射之各者下之光學特性之曲線圖。 圖8係將圖7之5°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖9係將圖7之40°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖10係表示於例3之近紅外線截止濾波器所獲得之5°入射及40°入射之各者下之光學特性之曲線圖。 圖11係表示於例4之近紅外線截止濾波器所獲得之5°入射及40°入射之各者下之光學特性之曲線圖。 圖12係將圖11之5°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖13係將圖11之40°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖14係表示於例11之近紅外線截止濾波器所獲得之5°入射及40°入射之各者下之光學特性之曲線圖。 圖15係將圖14之5°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖16係將圖14之40°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖17係表示於例11之近紅外線截止濾波器所獲得之5°入射及40°入射之各者下之光學特性之曲線圖。 圖18係將圖17之5°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖19係將圖17之40°入射下之光學特性之一部分放大而表示之曲線圖。 圖20係表示於例13之近紅外線截止濾波器所獲得之5°入射及40°入射之各者下之光學特性之曲線圖。 圖21係表示於例14之近紅外線截止濾波器所獲得之5°入射及40°入射之各者下之光學特性之曲線圖。
100:第1光學濾波器
110:透明基板
112:第1表面
120:光學多層膜
140:第1匹配膜
160:第2匹配膜

Claims (8)

  1. 一種近紅外線截止濾波器，具有： 透明基板，其具有第1表面； 光學多層膜，其設置於該透明基板之上述第1表面之側； 第1匹配膜，其設置於上述透明基板之上述第1表面之側；及 第2匹配膜，其設置於上述第1表面之最外側；且 上述光學多層膜具有高折射率層與低折射率層之交替積層構造，且具有使近紅外線反射之功能， 上述第1及第2匹配膜具有抑制可見光反射之功能， 上述第1匹配膜設置於上述光學多層膜之上、或上述透明基板與上述光學多層膜之間， 於該近紅外線截止濾波器中， 當將自上述第2匹配膜之側以5°之入射角度入射之光之正規反射率作為第1反射率R1 ，將自上述第2匹配膜之側以40°之入射角度入射之光之正規反射率作為第2反射率R2 ，且 將波長480 nm～680 nm範圍之上述第1反射率R1 之近似直線設為y1 ，將波長450 nm～650 nm範圍之上述第2反射率R2 之近似直線設為y2 時， 於波長480 nm～680 nm之範圍，同一波長下之上述第1反射率R1 與上述近似直線y1 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR1 未達5%， 於波長450 nm～650 nm之範圍，同一波長下之上述第2反射率R2 與上述近似直線y2 之值之間之差之絕對值的最大值ΔR2 未達6%。
  2. 如請求項1之近紅外線截止濾波器，其中上述第1匹配膜具有高折射率層與低折射率層之交替積層構造， 將上述高折射率層之波長550 nm下之QWOT設為QH ，將上述低折射率層之波長550 nm下之QWOT設為QL 時， 上述第1匹配膜自上述透明基板之側具有 (H1 QH 、L1 QL 、H2 QH 、L2 QL 、......Hn QH 、Ln QL ) 之構造(此處，n為1以上之自然數)， 各係數滿足 1.7≦(H1 ＋H2 ＋...＋Hn )/(L1 ＋L2 ＋...＋Ln )≦2.5。
  3. 如請求項1或2之近紅外線截止濾波器，其中上述第1匹配膜係由6層以上構成。
  4. 如請求項1至3中任一項之近紅外線截止濾波器，其中上述第2匹配膜具有高折射率層及低折射率層之2層構造， 將上述高折射率層之波長550 nm下之QWOT設為QA ，將上述低折射率層之波長550 nm下之QWOT設為QB 時， 上述第2匹配膜自上述透明基板之側具有 (XQA 、YQB ) 之構造，此處，X＞Y。
  5. 如請求項1至4中任一項之近紅外線截止濾波器，其中於上述第1表面之側具有第3匹配膜，該第3匹配膜具有高折射率層與低折射率層之交替積層構造， 上述光學多層膜配置於上述第1匹配膜與上述第3匹配膜之間。
  6. 如請求項5之近紅外線截止濾波器，其中上述第3匹配膜以與上述第1匹配膜相同之層數構成。
  7. 如請求項1至6中任一項之近紅外線截止濾波器，其中上述光學多層膜於可見光區域具有透過段。
  8. 如請求項7之近紅外線截止濾波器，其中上述光學多層膜於近紫外線區域具有反射段。
TW110117241A 2020-05-21 2021-05-13 近紅外線截止濾波器及攝像裝置 TWI879960B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-089018 2020-05-21
JP2020089018A JP7491052B2 (ja) 2020-05-21 2020-05-21 近赤外線カットフィルタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202146948A true TW202146948A (zh) 2021-12-16
TWI879960B TWI879960B (zh) 2025-04-11

Family

ID=78672661

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW110117241A TWI879960B (zh) 2020-05-21 2021-05-13 近紅外線截止濾波器及攝像裝置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7491052B2 (zh)
CN (1) CN113721317B (zh)
TW (1) TWI879960B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2025258409A1 (ja) * 2024-06-14 2025-12-18 Ａｇｃ株式会社 光学フィルタ及び撮像装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3719811B2 (ja) * 1997-03-27 2005-11-24 ソマール株式会社 反射防止フィルム
WO2012116346A2 (en) * 2011-02-24 2012-08-30 Reald Inc. Stereoscopic eyewear with stray light management
JP6034785B2 (ja) 2011-07-28 2016-11-30 旭硝子株式会社 光学部材
CN103827705B (zh) * 2011-09-21 2016-03-23 旭硝子株式会社 近红外线截止滤波器
JP5973747B2 (ja) 2012-02-28 2016-08-23 旭硝子株式会社 近赤外線カットフィルター
WO2014034386A1 (ja) 2012-08-29 2014-03-06 旭硝子株式会社 近赤外線カットフィルタ
WO2014104370A1 (ja) 2012-12-28 2014-07-03 旭硝子株式会社 近赤外線カットフィルタ
CN105324689B (zh) * 2013-05-16 2018-10-30 日本化药株式会社 红外线屏蔽片及其制造方法以及其用途
KR101661088B1 (ko) * 2013-10-17 2016-09-28 제이에스알 가부시끼가이샤 광학 필터, 고체 촬상 장치 및 카메라 모듈
JP6259157B1 (ja) * 2017-10-03 2018-01-10 日本板硝子株式会社 光学フィルタ及び撮像装置
US11567250B2 (en) 2019-01-03 2023-01-31 Lms Co., Ltd. Near-infrared ray absorbing article and method for manufacturing thereof, and optical filter and method for manufacturing thereof

Also Published As

Publication number Publication date
TWI879960B (zh) 2025-04-11
JP2021184022A (ja) 2021-12-02
CN113721317A (zh) 2021-11-30
JP7491052B2 (ja) 2024-05-28
CN113721317B (zh) 2025-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4404568B2 (ja) 赤外線カットフィルタおよびその製造方法
CN103718070B (zh) 光学部件
JP6241419B2 (ja) 近赤外線カットフィルタ
TWI554779B (zh) 防反射膜及光學元件
CN106707379B (zh) 近红外线截止滤光片
JP7215476B2 (ja) 光学フィルタ
US20100188737A1 (en) Dielectric multilayer filter
JP5973747B2 (ja) 近赤外線カットフィルター
JP2017068096A (ja) 反射防止膜、光学素子、及び眼科装置
CN104583820A (zh) 近红外线截止滤波器
JP2019023722A5 (zh)
JP2004354735A (ja) 光線カットフィルタ
JP2003029027A (ja) 近赤外線カットフィルタ
JP6760304B2 (ja) 金色調多層コートおよびこれを備える反射体
JP2000329933A (ja) 多層膜フィルター
JP2015227963A (ja) 光学フィルタ及びその製造方法
WO2018110017A1 (ja) 光学製品
TW202146948A (zh) 近紅外線截止濾波器
US20140327966A1 (en) Antireflection film
JP2019003215A (ja) 反射防止膜、光学素子、及び眼科装置
US20230039431A1 (en) Optical filter
JP2017181681A (ja) 赤外線カットフィルタ
TWI589915B (zh) 保護蓋板及其製作方法
JP7135794B2 (ja) 光学フィルタ
JP2006259124A (ja) コールドミラー