以下，詳細地說明本發明之實施形態，但以下之記載為本發明之實施態樣之一例，本發明並不限定於該等內容。 本發明中，所謂「(甲基)丙烯酸」包括丙烯酸與甲基丙烯酸該兩者，「(甲基)丙烯酸酯」、「(甲基)丙烯醯基」等亦表達相同含義。又，於單體名稱前帶有「(聚)」者意指該單體及該聚合物。 本發明中，所謂「全部固形物成分」意指本發明之感光性樹脂組合物之構成成分中之除溶劑以外之全體成分。 本發明中，「質量」與「重量」同義。 ＜感光性樹脂組合物＞ 本發明之感光性樹脂組合物含有(a)二氧化鋯粒子、(b)分散劑、(c)溶劑、(d)黏合劑樹脂、(e)聚合性單體及(f)聚合起始劑。 首先，對(a)二氧化鋯粒子進行詳細說明。 [(a)二氧化鋯粒子] 本發明之感光性樹脂組合物含有(a)二氧化鋯粒子(以下有時簡記為「氧化鋯粒子」)。藉由含有(a)二氧化鋯粒子，能夠獲得相對介電常數較高、且漏電流得以抑制之有機絕緣膜。 具有長週期型週期表第4族元素之化合物之粒子、尤其是具有長週期型週期表第4族元素之氧化物之粒子其相對介電常數較高，適於高介電常數之有機絕緣膜用途。該等之中，認為二氧化鋯粒子之相對介電常數較低，為了使所獲得之有機絕緣膜之相對介電常數成為所需值而必須增大該粒子之含有比率，但二氧化鋯粒子因其良好之分散性而緻密地堆積於塗膜內，塗膜之吸濕性減弱，藉此可抑制漏電流。 (a)二氧化鋯粒子之一次粒子之平均粒徑通常為100 nm以下，較佳為8O nm以下，更佳為70 nm以下，進而較佳為60 nm以下。又，通常為1 nm以上。若粒徑為上述上限值以下，則有表面無粗糙現象、圖案化特性亦變得良好之傾向。又，若為上述下限值以上，則有分散性變得良好之傾向。 (a)二氧化鋯粒子之一次粒子之平均粒徑係藉由使用穿透式電子顯微鏡(TEM)或掃描式電子顯微鏡(SEM)，根據其電子顯微鏡照片而直接計測一次粒子之大小的方法進行測定。具體而言，由圓當量徑算出各個粒子之一次粒徑。對100〜500 nm之四方範圍進行成像，對範圍內存在之全部粒子實施測定。若干次對不同範圍進行成像，合計測定200〜1000個一次粒子之粒徑，將該等粒徑進行數量平均，藉此求出平均粒徑。一次粒徑之測定例如可對單獨之二氧化鋯粒子、其分散液、樹脂組合物之硬化膜實施。於製作測定樣品時，必須使(a)二氧化鋯粒子均勻地存在於樣品中。於分散液之情形時，使用剛分散後之分散液，使溶劑揮發後實施測定。又，於硬化膜之情形時，使用均勻分散有粒子之感光性樹脂組合物製作硬化膜，沿膜之厚度方向切斷，觀察其剖面，藉此實施測定。 (a)二氧化鋯粒子之形狀並無特別限定，例如為球狀、中空狀、多孔質狀、棒狀、板狀、纖維狀或不定形狀，較佳為球狀。 (a)二氧化鋯粒子之含有比率於感光性樹脂組合物之全部固形物成分中通常為50質量%以上，較佳為55質量%以上，更佳為60質量%以上，進而較佳為65質量%以上，尤佳為70質量%以上，又，較佳為95質量%以下，更佳為90質量%以下，進而較佳為85質量%以下，進而更佳為80質量%以下，尤佳為75質量%以下。藉由設為上述下限值以上，有獲得相對介電常數較高之介電膜之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性變得良好之傾向。 [(b)分散劑] 本發明之感光性樹脂組合物含有(b)分散劑。藉由含有(b)分散劑，可使(a)二氧化鋯粒子穩定地分散於感光性樹脂組合物中。 作為(b)分散劑，較佳為具有官能基之高分子分散劑，就分散穩定性之方面而言，更佳為羧基；磷酸基；磺酸基；或該等之鹽基；一級、二級或三級胺基；四級銨鹽基；吡啶、嘧啶、吡𠯤等源自含氮雜環之基等具有官能基之高分子分散劑。該等之中，尤佳為一級、二級或三級胺基；四級銨鹽基；吡啶、嘧啶、吡𠯤等源自含氮雜環之基等具有鹼性官能基之高分子分散劑。 又，作為高分子分散劑，例如可列舉：胺基甲酸酯系分散劑、丙烯酸系分散劑、聚伸乙基亞胺系分散劑、聚烯丙胺系分散劑、包含具有胺基之單體與巨單體之分散劑、聚氧乙烯烷基醚系分散劑、聚氧乙烯二酯系分散劑、聚醚磷酸酯系分散劑、聚酯磷酸酯系分散劑、山梨醇酐脂肪族酯系分散劑、脂肪族改性聚酯系分散劑等。 作為此種分散劑之具體例，以商品名表示，可列舉：EFKA(EFKA Chemicals BV(EFKA)公司製造)、DISPERBYK(BYK-Chemie公司製造)、Disparlon(楠本化成公司製造)、SOLSPERSE(Lubrizol公司製造)、KP(信越化學工業公司製造)、Polyflow(共榮社化學公司製造)、Ajisper(味之素公司製造)等。該等高分子分散劑可單獨使用1種，或可將2種以上併用。 高分子分散劑之重量平均分子量(Mw)通常為700以上，較佳為1,000以上，又，通常為100,000以下，較佳為50,000以下。 該等之中，就與顯影液之親和性之觀點而言，較佳為胺值為60 mgKOH/g以下之分散劑及/或具有磷酸基之分散劑。於具有胺基之情形時，較佳為聚酯胺、聚醚胺等具有醚鍵者。再者，此處所謂胺值表示有效固形物成分換算之胺值，乃以相當於分散劑之每1 g固形物成分之鹼量的KOH之質量所表示之值。 就圖案化特性之觀點而言，上述具有磷酸基之分散劑較佳為進而具有聚醚結構。聚醚結構為具有進一步提高與顯影液之親和性、並提高分散性之功能的部位，藉由具有聚醚結構，有能夠以更高解像度實現圖案化之傾向。 上述具有磷酸基之分散劑之化學結構並無特別限定，就圖案化特性與分散性之兼備之觀點而言，例如較佳為具有下述通式(X)所表示之化學結構者。 [化4]
上述式(X)中，R
A
表示可具有取代基之烷基，α表示聚醚結構，β表示直接鍵或聚酯結構。又，n表示1〜3之整數。 R
A
為可具有取代基之烷基，其碳數並無特別限定，通常為1以上，又，較佳為20以下，更佳為15以下，進而較佳為10以下，尤佳為5以下。藉由設為上述範圍內，有與顯影液之親和性提高，圖案化特性變得良好之傾向。 作為R
A
中之烷基可具有之取代基，可列舉：磺醯基、羧基、苄基、苯甲醯基等，就易合成性之觀點而言，較佳為未經取代。 α表示聚醚結構，就與顯影液之親和性之觀點而言，較佳為聚乙二醇結構、聚丙醚結構、聚異丙醚結構、丁醚結構，更佳為聚乙二醇結構，進而較佳為下述式(X-1)所表示之結構。 [化5]
上述式(X-1)中，R
B
表示可具有取代基之伸烷基。其碳數並無特別限定，通常為1以上，較佳為2以上，又，較佳為10以下，更佳為5以下。藉由設為上述範圍內，有圖案化特性變得良好之傾向。 作為R
B
中之伸烷基可具有之取代基，可列舉：磺醯基、羧基、苄基、苯甲醯基等，就易合成性之觀點而言，較佳為未經取代。 又，上述式(X-1)中，x表示5〜30之整數。 x較佳為10以上，又，較佳為25以下。藉由設為上述下限值以上，有與顯影液之親和性變得良好之傾向。又，藉由設為上述上限值以下，有保存穩定性變得良好之傾向。再者，一分子中所含之複數個R
B
彼此可相同亦可不同，例如可如伸丁基與伸戊基般為碳數不同之伸烷基。 上述式(X)中，β表示直接鍵或聚酯結構，尤其更佳為下述式(X-2)所表示之結構。 [化6]
上述式(X-2)中，R
C
表示可具有取代基之伸烷基，y表示0〜10之整數。 R
C
為可具有取代基之伸烷基，其碳數並無特別限定，通常為1以上，較佳為2以上，更佳為4以上，又，較佳為15以下，更佳為10以下，進而較佳為8以下。藉由設為上述下限值以上，有保存穩定性變得良好之傾向，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性變得良好之傾向。 作為R
C
中之伸烷基可具有之取代基，可列舉：磺醯基、羧基、苄基、苯甲醯基等，就易合成性之觀點而言，較佳為未經取代。 y為0〜10之整數，就保存穩定性與圖案化特性之兼備之觀點而言，較佳為1以上，更佳為2以上，又，較佳為7以下，更佳為5以下。藉由設為上述下限值以上，有保存穩定性變得良好之傾向。又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性變得良好之傾向。再者，於y為2以上之整數之情形時，一分子中所含之2個以上之R
C
彼此可相同亦可不同，例如可如伸丁基與伸戊基般為碳數不同之伸烷基。 上述具有磷酸基之分散劑之重量平均分子量(Mw)並無特別限定，較佳為1,000以上，更佳為5,000以上，又，較佳為40,000以下，更佳為30,000以下。藉由設為上述下限值以上，有分散性變得良好之傾向，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性變得良好之傾向。 作為上述具有磷酸基之分散劑，可使用市售者，例如可列舉：DISPERBYK(註冊商標，以下相同)-102、110、111、140、142、145、180、2001(BYK-Chemie公司製造)，DA-7301、DA-325、DA-375、DA-234、ED-152、ED-251(楠本化成公司製造)，TEGO(註冊商標)Dispers628、655(Evonik公司製造)等。 (b)分散劑之含有比率於感光性樹脂組合物之全部固形物成分中通常為1質量%以上，較佳為2質量%以上，更佳為3質量%以上，又，較佳為10質量%以下，更佳為7質量%以下，進而較佳為5質量%以下。藉由設為上述下限值以上，有感光性樹脂組合物之穩定性提高之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性提高之傾向。 (b)分散劑中上述具有磷酸基之分散劑所占之含有比率並無特別限定，較佳為50質量%以上，更佳為70質量%以上，又，通常為100質量%以下，尤佳為100質量%。藉由設為上述下限值以上，有圖案化特性提高之傾向。 又，相對於(a)二氧化鋯粒子100質量份，較佳為包含(b)分散劑15質量份以下，更佳為包含10質量份以下，進而較佳為包含8質量份以下，又，較佳為包含1質量份以上，更佳為包含3質量份以上。藉由設為上述下限值以上，有分散性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性變得良好之傾向。 [(c)溶劑] 本發明之感光性樹脂組合物含有(c)溶劑。 作為(c)溶劑，只要為可使各成分溶解、分散且操作性較佳者，則並無特別限定。具體而言，可列舉：甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、二乙二醇單甲醚、丙二醇單乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯(以下有時簡記為「PGMEA」)、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮、甲苯、氯仿、二氯甲烷、乙酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、丙酸3-甲氧基甲酯、丙酸3-乙氧基乙酯、丙二醇單甲醚(以下有時簡記為「PGME」)、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、四氫呋喃、二乙二醇二甲醚、乙酸甲氧基丁酯、SOLVEST、卡必醇等有機溶劑。該等之中，就塗佈性或組合物中之構成成分之溶解度之觀點而言，較佳為二醇烷基醚乙酸酯類、二醇單烷基醚類，更佳為二醇烷基醚乙酸酯類。又，二醇烷基醚乙酸酯類可單獨使用，亦可與其他溶劑併用。作為併用之溶劑，尤佳為二醇單烷基醚類。其中，尤其就組合物中之構成成分之溶解性或分散性之方面而言，較佳為丙二醇單甲醚。於選擇溶劑時，若為高極性，則損害分散性，又，若為高沸點，則即便於塗膜化時之減壓乾燥(VCD)下溶劑亦不會完全揮發，從而有圖案化特性大幅劣化之傾向。又，於塗膜焙燒後亦會產生殘留溶劑，從而有導致電氣特性大幅降低之傾向。 於藉由光微影法形成介電膜之情形時，作為溶劑，較佳為選擇沸點處於100〜200℃(壓力1013.25[hPa]條件下。以下有關沸點均相同)之範圍者。更佳為具有120〜170℃之沸點者。藉由設為上述下限值以上，有容易抑制因急遽乾燥導致之粒子凝集、或因氣泡痕跡造成之缺陷之傾向。藉由設為上述上限值以下，有可縮短乾燥時間而於耗電性或生產速度之方面有利之傾向。上述溶劑中，就塗佈性與表面張力等之均衡性較佳、組合物中之構成成分之溶解度相對較高之方面而言，較佳為二醇烷基醚乙酸酯類。 又，溶劑可單獨使用1種，亦可將2種以上混合使用。作為混合使用之溶劑之組合，例如可列舉對PGMEA混合選自二乙二醇二甲醚、乙酸甲氧基丁酯、SOLVEST、卡必醇中之1種以上之溶劑而成者。 進而，關於上述混合溶劑中的選自二乙二醇二甲醚、乙酸甲氧基丁酯、SOLVEST、卡必醇中之1種以上之溶劑之調配比率，相對於PGMEA，通常為10質量%以上，較佳為30質量%以上，又，通常80質量%以下，較佳為70質量%以下。 又，進而於上述混合溶劑之中，PGMEA與乙酸甲氧基丁酯之混合溶劑會使塗佈乾燥步驟中之塗佈膜具有適度流動性，因此適用於實現基板凹凸之平坦化。 本發明之感光性樹脂組合物中之(c)溶劑之含有比率並無特別限定，較佳為50質量%以上，更佳為60質量%以上，進而較佳為70質量%以上，又，通常為99質量%以下，較佳為90質量%以下，更佳為85質量%以下。藉由設為上述範圍內，可使組合物含有充足量之(a)二氧化鋯粒子或(d)黏合劑樹脂等成分，又，有塗佈性亦變得良好之傾向。 [(d)黏合劑樹脂] 本發明之感光性樹脂組合物含有(d)黏合劑樹脂。藉由含有(d)黏合劑樹脂，能夠獲得均質膜。 (d)黏合劑樹脂之種類並無特別限定，就於鹼性顯影液中之溶解性之觀點而言，較佳為包含羧基或羥基之樹脂，例如可列舉：環氧(甲基)丙烯酸酯系樹脂、丙烯酸系樹脂、含羧基之環氧樹脂、含羧基之胺基甲酸酯樹脂、酚醛清漆系樹脂、聚乙烯基苯酚系樹脂等。該等可單獨使用1種，或可將複數種混合使用。 本發明之感光性樹脂組合物之特徵在於：含有具有下述式(I)所表示之重複單元結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂及具有下述式(II)所表示之部分結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之至少一者作為(d)黏合劑樹脂。環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂由於為高感度，故而圖案化特性良好，又，由於具有疏水骨架、溶解速度適度，故而基板密接性良好。進而，由於不同於丙烯酸系樹脂而具有剛直骨架，容易進行三維交聯，硬化時取得排列結構而緻密交聯，故而認為可使漏電流得到抑制。 認為尤其是具有下述式(I)所表示之重複單元結構者及具有下述式(II)所表示之部分結構者由於在中央部具有大體積之剛直骨架，故而成為(甲基)丙烯醯基等親水部位向外側展開之形狀，顯影性變得良好。 [化7]
(式(I)中，R
1
表示氫原子或甲基，R
2
表示可具有取代基之2價烴基。式(I)中之苯環可進而經任意之取代基取代。*表示鍵結鍵) [化8]
(式(II)中，R
3
分別獨立地表示氫原子或甲基。R
4
表示具有脂肪族環基作為側鏈之2價烴基。*表示鍵結鍵) 再者，所謂環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂意指以下之(d1)及/或(d2)之鹼可溶性樹脂，又，亦意指使該等樹脂之羧基進而與其他化合物反應所得者。該環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂於化學結構上實質不具有環氧基，且不限定於「(甲基)丙烯酸酯」，但由於以環氧樹脂作為原料、且「(甲基)丙烯酸酯」乃代表例，故而依照慣用如此命名。 「鹼可溶性樹脂(d1)」 藉由對環氧樹脂加成α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯，進而使之與多元酸及/或其酐進行反應而獲得的鹼可溶性樹脂。 「鹼可溶性樹脂(d2)」 藉由對環氧樹脂加成α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯，進而使之與多元醇、以及多元酸及/或其酐進行反應而獲得的鹼可溶性樹脂。 「環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)」 其次，詳細說明具有上述式(I)所表示之重複單元結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(以下簡記為「環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)」)。 [化9]
(式(I)中，R
1
表示氫原子或甲基，R
2
表示可具有取代基之2價烴基。式(I)中之苯環可進而經任意之取代基取代。*表示鍵結鍵) (R
2
) 上述式(I)中，R
2
表示可具有取代基之2價烴基。 作為2價烴基，可列舉：2價脂肪族基、2價芳香族環基、由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基。 作為2價脂肪族基，可列舉直鏈狀、支鏈狀、環狀者或由該等連結而成者。該等之中，就顯影溶解性之觀點而言，較佳為直鏈狀者，另一方面，就減輕顯影液向曝光部之滲透之觀點而言，較佳為環狀者。其碳數通常為1以上，較佳為3以上，更佳為6以上，又，較佳為20以下，更佳為15以下，進而較佳為10以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為2價直鏈狀脂肪族基之具體例，可列舉：亞甲基、伸乙基、伸正丙基、伸正丁基、伸正己基、伸正庚基等。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為亞甲基。 作為2價支鏈狀脂肪族基之具體例，可列舉：伸異丙基、伸第二丁基、伸第三丁基、伸異戊基等。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為伸第三丁基。 2價環狀脂肪族基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下。藉由設為上述下限值以上，有成為強固之膜，基板密接性與電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。作為2價環狀脂肪族基之具體例，可列舉自環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等環去除2個氫原子所得之基。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為自金剛烷環去除2個氫原子所得之基。 作為2價脂肪族基可具有之取代基，可列舉：羥基，甲氧基、乙氧基等碳數1〜5之烷氧基，羥基，硝基，氰基，羧基等。該等之中，就易合成性之觀點而言，較佳為未經取代。 又，作為2價芳香族環基，可列舉2價芳香族烴環基及2價芳香族雜環基。其碳數通常為4以上，較佳為5以上，更佳為6以上，又，較佳為20以下，更佳為15以下，進而較佳為10以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 2價芳香族烴環基中之芳香族烴環可為單環亦可為縮合環。作為2價芳香族烴環基，例如可列舉具有2個自由原子價之苯環、萘環、蒽環、菲環、苝環、并四苯環、芘環、苯并芘環、䓛環、聯三伸苯環、乙烷合萘環、螢蒽環、茀環等之基。 又，2價芳香族雜環基中之芳香族雜環可為單環亦可為縮合環。作為2價芳香族雜環基，例如可列舉具有2個自由原子價之呋喃環、苯并呋喃環、噻吩環、苯并噻吩環、吡咯環、吡唑環、咪唑環、㗁二唑環、吲哚環、咔唑環、吡咯并咪唑環、吡咯并吡唑環、吡咯并吡咯環、噻吩并吡咯環、噻吩并噻吩環、呋喃并吡咯環、呋喃并呋喃環、噻吩并呋喃環、苯并異㗁唑環、苯并異噻唑環、苯并咪唑環、吡啶環、吡𠯤環、嗒𠯤環、嘧啶環、三𠯤環、喹啉環、異喹啉環、㖕啉環、喹㗁啉環、啡啶環、苯并咪唑環、呸啶環、喹唑啉環、喹唑啉酮環、薁環等之基。該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為具有2個自由原子價之苯環或萘環，更佳為具有2個自由原子價之苯環。 作為2價芳香族環基可具有之取代基，可列舉：羥基、甲基、甲氧基、乙基、乙氧基、丙基、丙氧基等。該等之中，就顯影溶解性、耐吸濕性之觀點而言，較佳為未經取代。 又，作為由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基，可列舉將1個以上之上述2價脂肪族基與1個以上之上述2價芳香族環基進行連結而獲得之基。 2價脂肪族基之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 2價芳香族環基之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基之具體例，可列舉下述式(I-A)〜(I-E)所表示之基等。該等之中，就骨架之剛直性與膜之疏水化之觀點而言，較佳為下述式(I-A)所表示之基。 [化10]
如上所述，式(I)中之苯環可進而經任意之取代基取代。作為該取代基，例如可列舉：羥基、甲基、甲氧基、乙基、乙氧基、丙基、丙氧基等。取代基之數量亦無特別限定，可為1個，亦可為2個以上。 該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為未經取代，另一方面，就電氣特性之觀點而言，較佳為鄰位上取代有甲基。 又，上述式(I)所表示之重複單元結構就合成之簡易性之觀點而言，較佳為下述式(I-1)所表示之重複單元結構。 [化11]
(式(I-1)中，R
1
及R
2
與上述式(I)中含義相同。R
X
表示氫原子或多元酸殘基。*表示鍵結鍵。式(I-1)中之苯環可進而經任意之取代基取代) 所謂多元酸殘基意指自多元酸或其酐去除1個OH基後獲得之1價基。作為多元酸，可列舉選自順丁烯二酸、琥珀酸、伊康酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫鄰苯二甲酸、均苯四甲酸、偏苯三甲酸、二苯甲酮四羧酸、甲基六氫鄰苯二甲酸、內亞甲基四氫鄰苯二甲酸、氯菌酸、甲基四氫鄰苯二甲酸、聯苯四羧酸之1種或2種以上。 該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為順丁烯二酸、琥珀酸、伊康酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫鄰苯二甲酸、均苯四甲酸、偏苯三甲酸、聯苯四羧酸，更佳為四氫鄰苯二甲酸、聯苯四羧酸、四氫鄰苯二甲酸、聯苯四羧酸。 環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)一分子中所含之上述式(I-1)所表示之重複單元結構可為1種或2種以上，例如可混合存在R
X
為氫原子者與R
X
為多元酸殘基者。 又，環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)一分子中所含之上述式(I)所表示之重複單元結構之數量並無特別限定，較佳為1個以上，更佳為3個以上，又，較佳為20個以下，更佳為15個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)之藉由凝膠滲透層析法(GPC)所測得之聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)並無特別限定，較佳為1,000以上，更佳為1,500以上，進而較佳為2,000以上，尤佳為3,000以上，又，較佳為30,000以下，更佳為20,000以下，進而較佳為10,000以下，進而更佳為8,000以下，尤佳為5,000以下。藉由設為上述下限值以上，有感光性樹脂組合物之殘膜率變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有解像性變得良好之傾向。 環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)之酸值並無特別限定，較佳為10 mgKOH/g以上，更佳為20 mgKOH/g以上，進而較佳為40 mgKOH/g以上，尤佳為50 mgKOH/g以上，又，較佳為150 mgKOH/g以下，更佳為130 mgKOH/g以下，進而更佳為100 mgKOH/g以下，尤佳為80 mgKOH/g以下。藉由設為上述下限值以上，有顯影溶解性提高，解像性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有硬化性樹脂組合物之殘膜率變得良好之傾向。 以下列舉環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)之具體例。 [化12]
[化13]
[化14]
[化15]
[化16]
「環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-2)」 其次，詳細說明具有上述式(II)所表示之部分結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(以下簡記為「環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-2)」)。 [化17]
(式(II)中，R
3
分別獨立地表示氫原子或甲基。R
4
表示具有脂肪族環基作為側鏈之2價烴基。*表示鍵結鍵) (R
4
) 上述式(II)中，R
4
表示具有脂肪族環基作為側鏈之2價烴基。 脂肪族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 又，脂肪族環基之碳數通常為4以上，較佳為6以上，更佳為8以上，又，較佳為40以下，更佳為30以下，進而較佳為20以下，尤佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為脂肪族環基中之脂肪族環之具體例，可列舉：環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等。該等之中，就感光性樹脂組合物之殘膜率與解像性之觀點而言，較佳為金剛烷環。 又，具有脂肪族環基作為側鏈之2價烴基中之2價烴基並無特別限定，例如可列舉：2價脂肪族基、2價芳香族環基、由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基。 2價脂肪族基可列舉直鏈狀、支鏈狀、環狀者。該等之中，就顯影溶解性之觀點而言，較佳為直鏈狀者，另一方面，就減輕顯影液向曝光部之滲透之觀點而言，較佳為環狀者。其碳數通常為1以上，較佳為3以上，更佳為6以上，又，較佳為25以下，更佳為20以下，進而較佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為2價直鏈狀脂肪族基之具體例，可列舉：亞甲基、伸乙基、伸正丙基、伸正丁基、伸正己基、伸正庚基等。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為亞甲基。 作為2價支鏈狀脂肪族基之具體例，可列舉：伸異丙基、伸第二丁基、伸第三丁基、伸異戊基等。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為伸第三丁基。 2價環狀脂肪族基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有成為強固之膜，基板密接性與電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。作為2價環狀脂肪族基之具體例，可列舉自環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等環去除2個氫原子所得之基。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為自金剛烷環去除2個氫原子所得之基。 作為2價脂肪族基可具有之取代基，可列舉：羥基，甲氧基、乙氧基等碳數1〜5之烷氧基，羥基，硝基，氰基，羧基等。該等之中，就易合成性之觀點而言，較佳為未經取代。 又，作為2價芳香族環基，可列舉2價芳香族烴環基及2價芳香族雜環基。其碳數通常為4以上，較佳為5以上，更佳為6以上，又，較佳為30以下，更佳為20以下，進而較佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為2價芳香族烴環基中之芳香族烴環，可為單環亦可為縮合環。作為2價芳香族烴環基，例如可列舉具有2個自由原子價之苯環、萘環、蒽環、菲環、苝環、并四苯環、芘環、苯并芘環、䓛環、聯三伸苯環、乙烷合萘環、螢蒽環、茀環等之基。 又，作為2價芳香族雜環基中之芳香族雜環，可為單環亦可為縮合環。作為2價芳香族雜環基，例如可列舉具有2個自由原子價之呋喃環、苯并呋喃環、噻吩環、苯并噻吩環、吡咯環、吡唑環、咪唑環、㗁二唑環、吲哚環、咔唑環、吡咯并咪唑環、吡咯并吡唑環、吡咯并吡咯環、噻吩并吡咯環、噻吩并噻吩環、呋喃并吡咯環、呋喃并呋喃環、噻吩并呋喃環、苯并異㗁唑環、苯并異噻唑環、苯并咪唑環、吡啶環、吡𠯤環、嗒𠯤環、嘧啶環、三𠯤環、喹啉環、異喹啉環、㖕啉環、喹㗁啉環、啡啶環、苯并咪唑環、呸啶環、喹唑啉環、喹唑啉酮環、薁環等之基。 該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為具有2個自由原子價之苯環或萘環，更佳為具有2價自由原子價之茀環。 作為2價芳香族環基可具有之取代基，可列舉：羥基、甲基、甲氧基、乙基、乙氧基、丙基、丙氧基等。該等之中，就顯影溶解性、耐吸濕性之觀點而言，較佳為未經取代。 又，作為由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基，可列舉將1個以上之上述2價脂肪族基與1個以上之上述2價芳香族環基進行連結而獲得之基。 2價脂肪族基之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 2價芳香族環基之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基之具體例，可列舉上述式(I-A)〜(I-E)所表示之基等。該等之中，就骨架之剛直性與膜之疏水化之觀點而言，較佳為上述式(I-A)所表示之基。 作為側鏈之脂肪族環基於該等2價烴基上之鍵結態樣並無特別限定，例如可列舉：2價脂肪族基或2價芳香族環基之1個氫原子被該側鏈取代的態樣、或者包含構成2價脂肪族基之1個碳原子而構成作為側鏈之脂肪族環基的態樣。 又，上述式(II)所表示之部分結構就孔解像性之觀點而言，較佳為下述式(II-1)所表示之部分結構。 [化18]
(式(II-1)中，R
3
與上述式(II)中含義相同。R
α
表示可具有取代基之1價脂肪族環基。n為1以上之整數。式(II-1)中之苯環可進而經任意之取代基取代) 再者，本說明書中之化學式中，*表示鍵結鍵。 (R
α
) 上述式(II-1)中，R
α
表示可具有取代基之1價脂肪族環基。 脂肪族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為6個以下，較佳為4個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性變得良好之傾向。 又，脂肪族環基之碳數通常為4以上，較佳為6以上，更佳為8以上，又，較佳為40以下，更佳為30以下，進而較佳為20以下，尤佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性變得良好之傾向。 作為脂肪族環基中之脂肪族環之具體例，可列舉：環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等。該等之中，就強固之膜特性與電氣特性之觀點而言，較佳為金剛烷環。 作為脂肪族環基可具有之取代基，可列舉：羥基，甲氧基、乙氧基等碳數1〜5之烷氧基，羥基，硝基，氰基，羧基等。該等之中，就合成之容易性之觀點而言，較佳為未經取代。 n表示1以上之整數，較佳為2以上，又，較佳為3以下。藉由設為上述下限值以上，有膜硬化度與殘膜率變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有孔解像性變得良好之傾向。 該等之中，就強固之膜硬化度與電氣特性之觀點而言，較佳為金剛烷基。 如上所述，式(II-1)中之苯環可進而經任意之取代基取代。作為該取代基，例如可列舉：羥基、甲基、甲氧基、乙基、乙氧基、丙基、丙氧基等。取代基之數量亦無特別限定，可為1個，亦可為2個以上。 該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為未經取代。 以下列舉上述式(II-1)所表示之部分結構之具體例。 [化19]
[化20]
又，上述式(II)所表示之部分結構就骨架之剛直性、及膜疏水化之觀點而言，較佳為下述式(II-2)所表示之部分結構。 [化21]
(式(II-2)中，R
3
與上述式(II)中含義相同；R
β
表示可具有取代基之2價脂肪族環基；式(II-2)中之苯環可進而經任意之取代基取代) (R
β
) 上述式(II-2)中，R
β
表示可具有取代基之2價脂肪族環基。 脂肪族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 又，脂肪族環基之碳數通常為4以上，較佳為6以上，更佳為8以上，又，較佳為40以下，更佳為35以下，進而較佳為30以下。藉由設為上述下限值以上，有容易抑制顯影時之膜粗糙，電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為脂肪族環基中之脂肪族環之具體例，可列舉：環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等。該等之中，就保存穩定性之觀點而言，較佳為金剛烷環。 作為脂肪族環基可具有之取代基，可列舉：羥基，甲氧基、乙氧基等碳數1〜5之烷氧基，羥基，硝基，氰基，羧基等。該等之中，就合成之簡易性之觀點而言，較佳為未經取代。 該等之中，就保存穩定性及電氣特性之觀點而言，R
β
較佳為2價金剛烷環基。 如上所述，式(II-2)中之苯環可進而經任意之取代基取代。作為該取代基，例如可列舉：羥基、甲基、甲氧基、乙基、乙氧基、丙基、丙氧基等。取代基之數量亦無特別限定，可為1個，亦可為2個以上。 該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為未經取代。 以下列舉上述式(II-2)所表示之部分結構之具體例。 [化22]
[化23]
[化24]
另一方面，上述式(II)所表示之部分結構就塗膜殘膜率與圖案化特性之觀點而言，較佳為下述式(II-3)所表示之部分結構。 [化25]
(式(II-3)中，R
3
及R
4
與上述式(II)中含義相同；R
Z
表示氫原子或多元酸殘基) 所謂多元酸殘基意指自多元酸或其酐去除1個OH基所得之1價基。再者，多元酸殘基亦可進而自多元酸或其酐再去除1個OH基而與式(II-3)所表示之其他分子中之R
Z
共用OH基，即，可將複數個式(II-3)經由R
Z
而連結。 作為多元酸，可列舉選自順丁烯二酸、琥珀酸、伊康酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫鄰苯二甲酸、均苯四甲酸、偏苯三甲酸、二苯甲酮四羧酸、甲基六氫鄰苯二甲酸、內亞甲基四氫鄰苯二甲酸、氯菌酸、甲基四氫鄰苯二甲酸、聯苯四羧酸之1種或2種以上。 該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為順丁烯二酸、琥珀酸、伊康酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫鄰苯二甲酸、均苯四甲酸、偏苯三甲酸、聯苯四羧酸，更佳為四氫鄰苯二甲酸、聯苯四羧酸、聯苯四羧酸。 環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-2)一分子中所含之上述式(II-3)所表示之部分結構可為1種或2種以上，例如可混合存在R
Z
為氫原子者與R
Z
為多元酸殘基者。 又，環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-2)一分子中所含之上述式(II)所表示之部分結構之數量並無特別限定，較佳為1個以上，更佳為3個以上，又，較佳為20個以下，更佳為15個以下，進而較佳為10個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-2)之藉由凝膠滲透層析法(GPC)所測得之聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)並無特別限定，較佳為1,000以上，更佳為1,500以上，進而較佳為2,000以上，又，較佳為30,000以下，更佳為20,000以下，進而較佳為10,000以下，尤佳為5,000以下。藉由設為上述下限值以上，有圖案化特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙之傾向。 環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-2)之酸值並無特別限定，較佳為10 mgKOH/g以上，更佳為20 mgKOH/g以上，進而較佳為40 mgKOH/g以上，進而更佳為60 mgKOH/g以上，尤佳為80 mgKOH/g以上，又，較佳為200 mgKOH/g以下，更佳為150 mgKOH/g以下，進而較佳為120 gKOH/g以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，電特性提高之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有顯影溶解性提高，解像性變得良好之傾向。 「環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)及(d-2)之製法」 環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂(d-1)及(d-2)可藉由如下方式獲得：對具有與上述式(I)及上述式(II)對應之結構之環氧樹脂(i)加成α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯，進而與多元酸及/或其酐進行反應；或者(ii)加成α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯，進而與多元醇以及多元酸及/或其酐進行反應。 作為成為原料之環氧樹脂，例如可較佳地使用苯酚酚醛清漆型環氧樹脂(例如日本化藥公司製造之「EPPN-201」、三菱化學公司製造之「EP-152」、「EP-154」)、(鄰/間/對)甲酚酚醛清漆型環氧樹脂(例如日本化藥公司製造之「EOCN-102S」、「EOCN-1020」、「EOCN-104S」)、將由二環戊二烯與苯酚反應獲得之酚樹脂進行縮水甘油化而成之環氧樹脂(例如日本化藥公司製造之「NC-7300」)、下述通式(D1)〜(D3)所表示之環氧樹脂等。具體而言，作為下述通式(D1)所表示之環氧樹脂，可列舉日本化藥公司製造之「XD-1000」，作為下述通式(D2)所表示之環氧樹脂，可列舉日本化藥公司製造之「NC-3000」等。 [化26]
上述通式(D1)中，a為平均值，表示0〜10之數。R
11
表示氫原子、鹵素原子、碳數1〜8之烷基、碳數3〜10之環烷基、苯基、萘基或聯苯基中之任一者。再者，一分子中存在之複數個R
1 1
相互可相同或不同。 [化27]
上述通式(D2)中，b為平均值，表示0〜10之數。R
21
表示氫原子、鹵素原子、碳數1〜8之烷基、碳數3〜10之環烷基、苯基、萘基或聯苯基中之任一者。再者，一分子中存在之複數個R
21
相互可相同或不同。 [化28]
上述通式(D3)中，X表示下述通式(D3-1)或(D3-2)所表示之連結基。其中，分子結構中包含1個以上之金剛烷結構。c表示2或3之整數。 [化29]
上述通式(D3-1)及(D3-2)中，R
31
〜R
34
及R
35
〜R
37
分別獨立地表示可具有取代基之金剛烷基、氫原子、可具有取代基之碳數1〜12之烷基、或可具有取代基之苯基。 該等之中，較佳為使用通式(D1)〜(D3)所表示之環氧樹脂。 作為α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯，可列舉：(甲基)丙烯酸、丁烯酸、鄰/間/對乙烯基苯甲酸、(甲基)丙烯酸之α位鹵烷基、烷氧基、鹵素、硝基、氰基取代體等單羧酸，琥珀酸2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、己二酸2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、六氫鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、順丁烯二酸2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、琥珀酸2-(甲基)丙烯醯氧基丙酯、己二酸2-(甲基)丙烯醯氧基丙酯、四氫鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯醯氧基丙酯、鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯醯氧基丙酯、順丁烯二酸2-(甲基)丙烯醯氧基丙酯、琥珀酸2-(甲基)丙烯醯氧基丁酯、己二酸2-(甲基)丙烯醯氧基丁酯、氫鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯醯氧基丁酯、鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯醯氧基丁酯、順丁烯二酸2-(甲基)丙烯醯氧基丁酯，對(甲基)丙烯酸加成有ε-己內酯、β-丙內酯、γ-丁內酯、δ-戊內酯等內酯類之單體，或者對(甲基)丙烯酸羥基烷基酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯加成有琥珀酸(酐)、鄰苯二甲酸(酐)、順丁烯二酸(酐)等酸(酐)之單體，(甲基)丙烯酸二聚物等。 該等之中，就感度之方面而言，尤佳為(甲基)丙烯酸。 作為對環氧樹脂加成α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯之方法，可採用公知方法。例如可於酯化觸媒之存在下，於50〜150℃之溫度下，使α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯與環氧樹脂進行反應。作為此處所用之酯化觸媒，可使用三乙胺、三甲胺、苄基二甲基胺、苄基二乙基胺等三級胺，氯化四甲基銨、氯化四乙基銨、氯化十二烷基三甲基銨等四級銨鹽等。 再者，環氧樹脂、α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯、及酯化觸媒均可單獨使用1種，亦可將2種以上併用。 關於α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯之使用量，相對於環氧樹脂之環氧基1當量，較佳為0.5〜1.2當量之範圍，更佳為0.7〜1.1當量之範圍。若α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯之使用量處於上述範圍內，則有不飽和基之導入量充足，其後與多元酸及/或其酐之反應亦變得充分之傾向。 作為多元酸及/或其酐，可列舉選自順丁烯二酸、琥珀酸、伊康酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫鄰苯二甲酸、均苯四甲酸、偏苯三甲酸、二苯甲酮四羧酸、甲基六氫鄰苯二甲酸、內亞甲基四氫鄰苯二甲酸、氯菌酸、甲基四氫鄰苯二甲酸、聯苯四羧酸、及該等之酸酐等之1種或2種以上。 較佳為順丁烯二酸、琥珀酸、伊康酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫鄰苯二甲酸、均苯四甲酸、偏苯三甲酸、聯苯四羧酸、或該等之酸酐。尤佳為四氫鄰苯二甲酸、聯苯四羧酸、四氫鄰苯二甲酸酐或聯苯四羧酸二酐。 關於多元酸及/或其酐之加成反應，亦可採用公知方法，於與對環氧樹脂加成α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯之加成反應相同的條件下，使之持續反應而可獲得目標物。多元酸及/或其酐成分之加成量較佳為如使生成之含羧基之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之酸值成為10〜150 mgKOH/g之範圍的程度，更佳為如使上述酸值成為20〜140 mgKOH/g之範圍的程度。若含羧基之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之酸值處於上述範圍內，則有鹼性顯影性或硬化性能變得良好之傾向。 再者，於該多元酸及/或其酐之加成反應時，可添加三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等多官能醇而導入多支結構。 含羧基之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂通常藉由如下方式獲得：於環氧樹脂與α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯之反應物中混合多元酸及/或其酐後，或者於環氧樹脂與α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯之反應物中混合多元酸及/或其酐以及多官能醇後，進行加溫。於該情形時，多元酸及/或其酐與多官能醇之混合順序並無特別限制。藉由加溫，多元酸及/或其酐對環氧樹脂與α,β-不飽和單羧酸或具有羧基之α,β-不飽和單羧酸酯之反應物和多官能醇的混合物中存在之某個羥基進行加成反應。 「其他黏合劑樹脂」 本發明之感光性樹脂組合物所含之(d)黏合劑樹脂含有具有上述式(I)所表示之重複單元結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂及具有上述式(II)所表示之部分結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之至少一者，亦可含有其以外之黏合劑樹脂(以下簡記為「其他黏合劑樹脂」)。 作為其他黏合劑樹脂，例如可列舉：丙烯酸系樹脂、含羧基之環氧樹脂、含羧基之胺基甲酸酯樹脂、酚醛清漆系樹脂、聚乙烯基苯酚系樹脂等，該等可單獨使用1種，亦可將複數種混合使用。 本發明之感光性樹脂組合物中之(d)黏合劑樹脂之含有比率於全部固形物成分中通常為1質量%以上，較佳為5質量%以上，更佳為10質量%以上，進而較佳為15質量%以上，又，通常為50質量%以下，較佳為45質量%以下，進而較佳為35質量%以下，尤佳為25質量%以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有將顯影液向曝光部之滲透程度抑制為較低，容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化之傾向。 (d)黏合劑樹脂中環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂所占之含有比率並無特別限定，較佳為5質量%以上，更佳為30質量%以上，進而較佳為50質量%以上，又，通常為100質量%以下，尤佳為100質量%。藉由設為上述下限值以上，有圖案化特性或基板密接性變得良好之傾向。 又，(d)黏合劑樹脂中具有上述式(I)所表示之重複單元結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂及具有下述式(II)所表示之部分結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之至少一者之所占之含有比率並無特別限定，較佳為5質量%以上，更佳為30質量%以上，進而較佳為50質量%以上，又，通常為100質量%以下，尤佳為100質量%。藉由設為上述下限值以上，有耐水性提高，塗膜面變得均勻之傾向。 [(e)聚合性單體] 本發明之感光性樹脂組合物含有(e)聚合性單體。藉由含有(e)聚合性單體，可獲得硬化性較高之膜。 本發明之感光性樹脂組合物中，(e)聚合性單體之中，可較佳地列舉具有乙烯性不飽和基之化合物(以下有時簡記為「乙烯性不飽和化合物」)。 所謂乙烯性不飽和化合物意指分子內具有1個以上之乙烯性不飽和鍵之化合物。進而，本發明中之感光性樹脂組合物較佳為含有具有2個以上之乙烯性不飽和基之化合物。 作為具有1個乙烯性不飽和鍵之化合物，例如可列舉：(甲基)丙烯酸、丁烯酸、異丁烯酸、順丁烯二酸、伊康酸、檸康酸等不飽和羧酸、及其烷基酯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯醯胺、苯乙烯等。 又，作為分子內具有2個以上之乙烯性不飽和鍵之化合物，例如可列舉：不飽和羧酸與多羥基化合物之酯類、含(甲基)丙烯醯氧基之磷酸酯類、羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚異氰酸酯化合物之(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類、以及(甲基)丙烯酸或羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚環氧化合物之環氧(甲基)丙烯酸酯類等。 該等可單獨使用1種或將2種以上併用。 (e-1)不飽和羧酸與多羥基化合物之酯類 作為不飽和羧酸與多羥基化合物之酯類(以下有時簡記為「酯(甲基)丙烯酸酯類」)，具體而言，可例示以下之化合物。 上述不飽和羧酸與糖醇之反應物：作為糖醇，例如可列舉：乙二醇、聚乙二醇(加成數2〜14)、丙二醇、聚丙二醇(加成數2〜14)、三亞甲基二醇、四亞甲基二醇、六亞甲基二醇、三羥甲基丙烷、甘油、季戊四醇、二季戊四醇等。 上述不飽和羧酸與糖醇之環氧烷加成物的反應物：糖醇可列舉與上述相同者。作為環氧烷加成物，例如可列舉：環氧乙烷加成物、或環氧丙烷加成物等。 上述不飽和羧酸與醇胺之反應物：作為醇胺類，例如可列舉：二乙醇胺、三乙醇胺等。 作為上述不飽和羧酸與多羥基化合物之酯類，更具體而言，可例示以下之化合物。 乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷環氧乙烷加成三(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、甘油環氧丙烷加成三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等、及同樣之丁烯酸酯、異丁烯酸酯、順丁烯二酸酯、伊康酸酯、檸康酸酯等。 另外，作為上述不飽和羧酸與多羥基化合物之酯類，可列舉上述不飽和羧酸與對苯二酚、間苯二酚、鄰苯三酚、雙酚F、雙酚A等芳香族多羥基化合物或該等之環氧乙烷加成物的反應物。具體而言，例如雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A雙[氧乙烯(甲基)丙烯酸酯]、雙酚A雙[縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯]等。 進而，作為上述不飽和羧酸與多羥基化合物之酯類，可列舉上述不飽和羧酸與異氰尿酸三(2-羥基乙基)酯等雜環式多羥基化合物之反應物。具體而言，例如異氰尿酸三(2-羥基乙基)酯之二(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸酯等。 又，進而，作為上述不飽和羧酸與多羥基化合物之酯類，可列舉上述不飽和羧酸與多元羧酸與多羥基化合物之反應物。具體而言，例如(甲基)丙烯酸與鄰苯二甲酸與乙二醇之縮合物、(甲基)丙烯酸與順丁烯二酸與二乙二醇之縮合物、(甲基)丙烯酸與對苯二甲酸與季戊四醇之縮合物、(甲基)丙烯酸與己二酸與丁二醇與甘油之縮合物等。 (e-2)羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚異氰酸酯化合物之(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類 作為羥基(甲基)丙烯酸酯化合物，例如可列舉：(甲基)丙烯酸羥基甲酯、(甲基)丙烯酸羥基乙酯、四羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯等羥基(甲基)丙烯酸酯化合物。 又，作為聚異氰酸酯化合物，例如可列舉： 六亞甲基二異氰酸酯、1,8-二異氰酸基-4-異氰酸基甲基辛烷等脂肪族聚異氰酸酯； 環己烷二異氰酸酯、二甲基環己烷二異氰酸酯、4,4-亞甲基雙(異氰酸環己酯)、異佛爾酮二異氰酸酯、聯環庚烷三異氰酸酯等脂環式聚異氰酸酯； 4,4-二苯基甲烷二異氰酸酯、硫代磷酸三(異氰酸基苯基)酯等芳香族聚異氰酸酯； 異氰尿酸酯等雜環式聚異氰酸酯； 藉由日本專利特開2001-260261號公報記載之方法所製造之脲基甲酸酯改性聚異氰尿酸酯； 等聚異氰酸酯化合物。 作為羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚異氰酸酯化合物之(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類，其中，較佳為含有上述脲基甲酸酯改性聚異氰尿酸酯之(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類。含有脲基甲酸酯改性聚異氰尿酸酯之(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類於如下方面較佳：黏度較低，於溶劑中之溶解性優異，且藉由光硬化及/或熱硬化而對提高與基板之密接性及膜強度有效。 作為本發明中之上述(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類，可使用市售者。具體而言，例如可列舉：新中村化學公司製造之商品名「U-4HA」、「UA-306A」、「UA-MC340H」、「UA-MC340H」、「U6LPA」，BAYER Japan公司製造之作為具有脲基甲酸酯骨架之化合物的「AGROR4060」等。 作為本發明中之上述(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類，就感度之觀點而言，較佳為一分子中具有4個以上(較佳為6個以上，更佳為8個以上)之胺基甲酸酯鍵[-NH-CO-O-]、及4個以上(較佳為6個以上，更佳為8個以上)之(甲基)丙烯醯氧基的化合物。該化合物例如可藉由使下述(i)之化合物與下述(ii)之化合物進行反應而獲得。 (i)一分子中具有4個以上之胺基甲酸酯鍵之化合物 例如可列舉： 使季戊四醇、聚甘油等一分子中具有4個以上之羥基之化合物與六亞甲基二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、甲苯二異氰酸酯等二異氰酸酯化合物進行反應而獲得之化合物(i-1)； 或者 使乙二醇等一分子中具有2個以上之羥基之化合物與Asahi Kasei Chemicals公司製造之「Duranate 24A-100」、Asahi Kasei Chemicals公司製造之「Duranate 22A-75PX」、Asahi Kasei Chemicals公司製造之「Duranate 21S-75E」、Asahi Kasei Chemicals公司製造之「Duranate 18H-70B」等縮二脲型、Asahi Kasei Chemicals公司製造之「Duranate P-301-75E」、Asahi Kasei Chemicals公司製造之「Duranate E-402-90T」、Asahi Kasei Chemicals公司製造之「Duranate E-405-80T」等加成物型等一分子中具有3個以上之異氰酸基之化合物進行反應而獲得之化合物(i-2)； 或者 使(甲基)丙烯酸異氰酸基乙酯等進行聚合或共聚合而獲得之化合物(i-3)等。 作為此種化合物，可使用市售品，例如可列舉Asahi Kasei Chemicals公司製造之「Duranate ME20-100」。 (ii)一分子中具有4個以上之(甲基)丙烯醯氧基之化合物 例如可列舉：季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯等一分子中具有1個以上之羥基及2個以上、較佳為3個以上之(甲基)丙烯醯氧基的化合物。 此處，作為上述(i)之化合物之分子量，較佳為500〜200,000，尤佳為1,000〜150,000。又，作為上述(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類之分子量，較佳為600〜150,000。 再者，此種(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類例如可藉由如下方法製造：使上述(i)之化合物與上述(ii)之化合物於甲苯或乙酸乙酯等有機溶劑中，於10〜150℃下反應5分鐘〜3小時左右。於該情形時，較佳為將前者之異氰酸基與後者之羥基的莫耳比設為1/10〜10/1之比率，視需要使用二月桂酸正丁基錫等觸媒。 (e-3)(甲基)丙烯酸或羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚環氧化合物之環氧(甲基)丙烯酸酯類 作為聚環氧化合物，例如可列舉： (聚)乙二醇聚縮水甘油醚、(聚)丙二醇聚縮水甘油醚、(聚)四亞甲基二醇聚縮水甘油醚、(聚)五亞甲基二醇聚縮水甘油醚、(聚)新戊二醇聚縮水甘油醚、(聚)六亞甲基二醇聚縮水甘油醚、(聚)三羥甲基丙烷聚縮水甘油醚、(聚)甘油聚縮水甘油醚、(聚)山梨糖醇聚縮水甘油醚等脂肪族聚環氧化合物； 苯酚酚醛清漆聚環氧化合物、溴化苯酚酚醛清漆聚環氧化合物、(鄰/間/對)甲酚酚醛清漆聚環氧化合物、雙酚A聚環氧化合物、雙酚F聚環氧化合物等芳香族聚環氧化合物； 山梨醇酐聚縮水甘油醚、異氰尿酸三縮水甘油酯、異氰尿酸三縮水甘油基三(2-羥基乙基)酯等雜環式聚環氧化合物等聚環氧化合物。 關於作為(甲基)丙烯酸或羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚環氧化合物之反應物的環氧(甲基)丙烯酸酯類，可列舉如該等之聚環氧化合物與(甲基)丙烯酸或上述羥基(甲基)丙烯酸酯化合物之反應物等。 (e-4)其他乙烯性不飽和化合物 作為其他乙烯性不飽和化合物，除上述以外，例如可列舉：伸乙基雙(甲基)丙烯醯胺等(甲基)丙烯醯胺類；鄰苯二甲酸二烯丙酯等烯丙酯類；鄰苯二甲酸二乙烯酯等含乙烯基之化合物類；藉由利用五硫化二磷等將含醚鍵之乙烯性不飽和化合物之醚鍵進行硫化而變為硫醚鍵，從而使交聯速度獲得提高的含硫醚鍵之化合物類。 該等分別可單獨使用，亦可將2種以上併用。 本發明中，作為乙烯性不飽和化合物，就聚合性、交聯性等方面而言，較佳為包含分子內具有2個以上之乙烯性不飽和基之化合物。其中，較佳為酯(甲基)丙烯酸酯類、含(甲基)丙烯醯氧基之磷酸酯類、或(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類，更佳為酯(甲基)丙烯酸酯類。該酯(甲基)丙烯酸酯類之中，尤佳為雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A雙[氧乙烯(甲基)丙烯酸酯]、雙酚A雙[縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯]等與芳香族多羥基化合物或該等之環氧乙烷加成物的反應物。 又，本發明之乙烯性不飽和化合物中，不含芳香族環者、或者含有未經取代或p(對)位具有取代基之苯基者可抑制層間絕緣膜因加熱處理產生之變色(紅色著色)，因此較佳。作為此種乙烯性不飽和化合物，例如可列舉：脂肪族之多官能(甲基)丙烯酸酯、及具有雙酚A或茀骨架之多元醇之(甲基)丙烯酸酯化合物等。 該等之中，就硬化性與解像性之均衡性之觀點而言，作為(e)聚合性單體，較佳為使用(e-3)(甲基)丙烯酸或羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚環氧化合物之環氧(甲基)丙烯酸酯類，尤佳為較佳為下述式(III)所表示之(甲基)丙烯酸酯化合物。 [化30]
(式(III)中，R
5
表示具有環狀烴基作為側鏈之2價烴基。R
6
分別獨立地表示可具有取代基之伸烷基。R
7
分別獨立地表示氫原子或甲基。k及l分別獨立地表示1〜20之整數) (R
5
) 上述式(III)中，R
5
表示具有環狀烴基作為側鏈之2價烴基。 作為環狀烴基，可列舉脂肪族環基或芳香族環基。 脂肪族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為6個以下，較佳為4個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有成為強固之塗膜，殘膜率變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有顯影溶解性提高，圖案化特性變得良好之傾向。 又，脂肪族環基之碳數通常為4以上，較佳為6以上，更佳為8以上，又，較佳為30以下，更佳為25以下，進而較佳為20以下，尤佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有成為強固之塗膜，殘膜率變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有顯影溶解性提高，圖案化特性變得良好之傾向。 作為脂肪族環基中之脂肪族環之具體例，可列舉：環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等。該等之中，就強固之膜質與圖案化特性之觀點而言，較佳為金剛烷環。 另一方面，芳香族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，更佳為3個以上，又，通常為6個以下，較佳為4個以下。藉由設為上述下限值以上，有膜質強固，基板密接性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有顯影溶解性提高，圖案化特性變得良好之傾向。 作為芳香族環基，可列舉芳香族烴環基、芳香族雜環基。又，芳香族環基之碳數通常為4以上，較佳為6以上，更佳為8以上，進而更佳為10以上，尤佳為12以上，又，較佳為30以下，更佳為25以下，進而較佳為20以下，尤佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有基板密接性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性變得良好之傾向。 作為芳香族環基中之芳香族環之具體例，可列舉：苯環、萘環、蒽環、菲環、茀環等。該等之中，就顯影溶解性之觀點而言，較佳為苯環。 又，具有環狀烴基作為側鏈之2價烴基中之2價烴基並無特別限定，例如可列舉：2價脂肪族基、2價芳香族環基、由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基。 作為2價脂肪族基，可列舉直鏈狀、支鏈狀、環狀者或由該等組合而成者。該等之中，就顯影溶解性之觀點而言，較佳為直鏈狀者，另一方面，就減輕顯影液向曝光部之滲透之觀點而言，較佳為環狀者。其碳數通常為1以上，較佳為3以上，更佳為6以上，又，較佳為30以下，更佳為20以下，進而較佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為2價直鏈狀脂肪族基之具體例，可列舉：亞甲基、伸乙基、伸正丙基、伸正丁基、伸正己基、伸正庚基等。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為亞甲基。 作為2價支鏈狀脂肪族基之具體例，可列舉：伸異丙基、伸第二丁基、伸第三丁基、伸異戊基等。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為伸第三丁基。 2價環狀脂肪族基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有成為強固之膜，基板密接性與電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。作為2價環狀脂肪族基之具體例，可列舉自環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等環去除2個氫原子所得之基。該等之中，就骨架之剛直性之觀點而言，較佳為自金剛烷環去除2個氫原子所得之基。 作為2價脂肪族基可具有之取代基，可列舉：羥基，甲氧基、乙氧基等碳數1〜5之烷氧基，羥基，硝基，氰基，羧基等。該等之中，就易合成性之觀點而言，較佳為未經取代。 又，作為2價芳香族環基，可列舉2價芳香族烴環基及2價芳香族雜環基。其碳數通常為4以上，較佳為5以上，更佳為6以上，又，較佳為40以下，更佳為35以下，進而較佳為30以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為2價芳香族烴環基中之芳香族烴環，可為單環亦可為縮合環。作為2價芳香族烴環基，例如可列舉具有2個自由原子價之苯環、萘環、蒽環、菲環、苝環、并四苯環、芘環、苯并芘環、䓛環、聯三伸苯環、乙烷合萘環、螢蒽環、茀環等之基。 又，作為2價芳香族雜環基中之芳香族雜環，可為單環亦可為縮合環。作為2價芳香族雜環基，例如可列舉具有2個自由原子價之呋喃環、苯并呋喃環、噻吩環、苯并噻吩環、吡咯環、吡唑環、咪唑環、㗁二唑環、吲哚環、咔唑環、吡咯并咪唑環、吡咯并吡唑環、吡咯并吡咯環、噻吩并吡咯環、噻吩并噻吩環、呋喃并吡咯環、呋喃并呋喃環、噻吩并呋喃環、苯并異㗁唑環、苯并異噻唑環、苯并咪唑環、吡啶環、吡𠯤環、嗒𠯤環、嘧啶環、三𠯤環、喹啉環、異喹啉環、㖕啉環、喹㗁啉環、啡啶環、苯并咪唑環、呸啶環、喹唑啉環、喹唑啉酮環、薁環等之基。該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為具有2個自由原子價之苯環或萘環，更佳為具有2價自由原子價之苯環。 作為2價芳香族環基可具有之取代基，可列舉：羥基、甲基、甲氧基、乙基、乙氧基、丙基、丙氧基等。該等之中，就顯影溶解性、耐吸濕性之觀點而言，較佳為未經取代。 又，作為由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基，可列舉將1個以上之上述2價脂肪族基與1個以上之上述2價芳香族環基進行連結而獲得之基。 2價脂肪族基之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 2價芳香族環基之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有容易獲得強固之膜，不易產生表面粗糙，與基板之密接性、電氣特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化，解像性提高之傾向。 作為由1個以上之2價脂肪族基與1個以上之2價芳香族環基連結而成之基之具體例，可列舉上述式(I-A)〜(I-E)所表示之基等。該等之中，就骨架之剛直性與膜之疏水化之觀點而言，較佳為上述式(I-A)所表示之基。 作為側鏈之環狀烴基於該等2價烴基上之鍵結態樣並無特別限定，例如可列舉：2價脂肪族基或2價芳香族環基之1個氫原子被該側鏈取代的態樣、或者包含構成2價脂肪族基之1個碳原子而構成作為側鏈之環狀烴基的態樣。 (R
6
) 上述式(III)中，R
6
分別獨立地表示可具有取代基之伸烷基。 作為伸烷基，可列舉直鏈狀、支鏈狀、環狀者或由該等組合而成者。該等之中，就顯影時之溶解性之觀點而言，較佳為直鏈狀。其碳數通常為1以上，較佳為2以上，更佳為6以上，進而較佳為10以上，又，較佳為30以下，更佳為25以下，進而較佳為20以下。藉由設為上述下限值以上，有基板密接與孔解像性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有未曝光部之殘渣減少之傾向。 作為伸烷基之具體例，可列舉：伸乙基、伸正丙基、伸異丙基、伸第二丁基、伸第三丁基、伸環己基等。該等之中，就顯影溶解性之觀點而言，較佳為伸乙基。 作為伸烷基可具有之取代基，可列舉：羥基、甲氧基、乙氧基、碸基、磺醯基、羧基、苄基等。該等之中，就曝光感度之觀點而言，較佳為未經取代，就顯影溶解性之觀點而言，較佳為羥基。 式(III)中，k及l分別獨立地表示1〜20之整數。較佳為2以上，更佳為3以上，又，較佳為15以下，更佳為13以下。藉由設為上述下限值以上，有圖案化特性變得良好之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有成為強固之塗膜，殘膜率變得良好之傾向。 又，上述式(III)所表示之(甲基)丙烯酸酯化合物之中，就較高解像性之觀點而言，較佳為下述式(III-1)所表示之(甲基)丙烯酸酯化合物。 [化31]
(式(III-1)中，R
6
、R
7
、k及l與上述式(III)中含義相同。R
γ
表示可具有取代基之1價環狀烴基。m為1以上之整數。式(III-1)中之苯環可進而經任意之取代基取代) (R
γ
) 上述式(III-1)中，R
γ
表示可具有取代基之1價環狀烴基。 作為環狀烴基，可列舉脂肪族環基或芳香族環基。 脂肪族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為6個以下，較佳為4個以下，更佳為3個以下。藉由設為上述下限值以上，有將顯影液向曝光部之滲透程度抑制為較低，容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，可保證未曝光部之鹼溶解性，因此有解像性提高之傾向。 又，脂肪族環基之碳數通常為4以上，較佳為6以上，更佳為8以上，又，較佳為30以下，更佳為25以下，進而較佳為20以下，尤佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有將顯影液向曝光部之滲透程度抑制為較低，容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，可保證未曝光部之鹼溶解性，因此有解像性提高之傾向。 作為脂肪族環基中之脂肪族環之具體例，可列舉：環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等。該等之中，就將顯影液向曝光部之滲透程度抑制為較低，抑制膜之表面平滑性或感度之劣化的觀點而言，較佳為金剛烷環。 另一方面，芳香族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，更佳為3個以上，又，通常為6個以下，較佳為5個以下。藉由設為上述下限值以上，有將顯影液向曝光部之滲透程度抑制為較低，容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，可保證未曝光部之鹼溶解性，因此有解像性提高之傾向。 作為芳香族環基，可列舉芳香族烴環基、芳香族雜環基。又，芳香族環基之碳數通常為6以上，較佳為8以上，更佳為10以上，又，較佳為40以下，更佳為35以下，進而較佳為30以下。藉由設為上述下限值以上，有將顯影液向曝光部之滲透程度抑制為較低，容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，可保證未曝光部之鹼溶解性，因此有解像性提高之傾向。 作為芳香族環基中之芳香族環之具體例，可列舉：苯環、萘環、聯苯環、聯三伸苯環、菲環、茀環等。該等之中，就顯影液之滲透特性與解像性之保證之觀點而言，較佳為茀環。 作為環狀烴基可具有之取代基，可列舉：羥基；甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基、戊基、異戊基等碳數1〜5之烷基；甲氧基、乙氧基等碳數1〜5之烷氧基；羥基；硝基；氰基；羧基等。該等之中，就易合成性之觀點而言，較佳為未經取代。 m表示1以上之整數，較佳為2以上，又，較佳為3以下。藉由設為上述下限值以上，有將顯影液向曝光部之滲透程度抑制為較低，容易抑制膜之表面平滑性或感度之劣化之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，可保證未曝光部之鹼溶解性，因此有解像性提高之傾向。 該等之中，就塗膜之耐吸濕性、與未曝光部之鹼溶解性之保證之觀點而言，R
γ
較佳為1價脂肪族環基，更佳為金剛烷基。 如上所述，式(III-1)中之苯環可進而經任意之取代基取代。作為該取代基，例如可列舉：羥基、甲基、甲氧基、乙基、乙氧基、丙基、丙氧基等。取代基之數量亦無特別限定，可為1個，亦可為2個以上。 該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為未經取代。 以下列舉上述式(III-1)所表示之(甲基)丙烯酸酯化合物之具體例。 [化32]
[化33]
又，上述式(III)所表示之(甲基)丙烯酸酯化合物就塗膜之耐吸濕性、與未曝光部之鹼溶解性之保證之觀點而言，較佳為下述式(III-2)所表示之(甲基)丙烯酸酯化合物。 [化34]
(式(III-2)中，R
6
、R
7
、k及l與上述式(III)中含義相同。R
δ
表示可具有取代基之2價環狀烴基。式(III-2)中之苯環可進而經任意之取代基取代) (R
δ
) 上述式(III-2)中，R
δ
表示可具有取代基之2價環狀烴基。 作為環狀烴基，可列舉脂肪族環基或芳香族環基。 脂肪族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，又，通常為10個以下，較佳為5個以下。藉由設為上述下限值以上，有成為強固之塗膜，殘膜率提高之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性提高之傾向。 又，脂肪族環基之碳數通常為4以上，較佳為6以上，更佳為8以上，又，較佳為30以下，更佳為25以下，進而較佳為20以下。藉由設為上述下限值以上而提高膜疏水性，從而有基板密接性提高之傾向，又，藉由設為上述上限值以下而增強未曝光時之顯影溶解性，藉此有圖案化特性提高之傾向。 作為脂肪族環基中之脂肪族環之具體例，可列舉：環己烷環、環庚烷環、環癸烷環、環十二烷環、降𦯉烷環、異𦯉烷環、金剛烷環、環十二烷環等。該等之中，就基板密接性之觀點而言，較佳為金剛烷環。 另一方面，芳香族環基所具有之環之數量並無特別限定，通常為1個以上，較佳為2個以上，更佳為3個以上，又，通常為6個以下，較佳為4個以下。藉由設為上述下限值以上，有成為強固之塗膜，殘膜率提高之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有圖案化特性提高之傾向。 作為芳香族環基，可列舉芳香族烴環基、芳香族雜環基。又，芳香族環基之碳數通常為4以上，較佳為6以上，更佳為8以上，進而較佳為10以上，又，較佳為30以下，更佳為25以下，進而較佳為20以下，尤佳為15以下。藉由設為上述下限值以上，有塗膜變得疏水化，基板密接性提高之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，可保證顯影溶解性，因此有圖案化特性提高之傾向。 作為芳香族環基中之芳香族環之具體例，可列舉：苯環、萘環、蒽環、菲環、茀環等。該等之中，就基於塗膜疏水化之基板密接性之觀點而言，較佳為茀環。 作為環狀烴基可具有之取代基，可列舉：羥基；甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基、戊基、異戊基等碳數1〜5之烷基；甲氧基、乙氧基等碳數1〜5之烷氧基；羥基；硝基；氰基；羧基等。該等之中，就顯影溶解性與曝光感度之觀點而言，較佳為未經取代。 該等之中，就保存穩定性及電氣特性之觀點而言，R
δ
較佳為2價脂肪族環基，更佳為2價金剛烷環基。 另一方面，就塗膜之低吸濕性及圖案化特性之觀點而言，R
δ
較佳為2價芳香族環基，更佳為2價茀環基。 如上所述，式(III-2)中之苯環可進而經任意之取代基取代。作為該取代基，例如可列舉：羥基、甲基、甲氧基、乙基、乙氧基、丙基、丙氧基等。取代基之數量亦無特別限定，可為1個，亦可為2個以上。 該等之中，就圖案化特性之觀點而言，較佳為未經取代。 以下列舉上述式(III-2)所表示之(甲基)丙烯酸酯化合物之具體例。 [化35]
[化36]
[化37]
本發明之感光性樹脂組合物中，關於(e)聚合性單體之含有比率，相對於全部固形物成分，通常為1質量%以上，較佳為3質量%以上，又，通常為20質量%以下，較佳為18質量%以下，更佳為15質量%以下，進而較佳為12質量%以下，尤佳為10質量%以下。藉由設為上述下限值以上，有膜硬化性提高之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有可抑制塗膜表面之膜粗糙之傾向。 又，上述式(III)所表示之(甲基)丙烯酸酯化合物之含有比率並無特別限定，相對於全部固形物成分，較佳為0.5質量%以上，更佳為1質量%以上，進而較佳為2質量%以上，又，較佳為15質量%以下，更佳為10質量%以下，進而較佳為8質量%以下。藉由設為上述下限值以上，有電氣特性與孔解像性優化之傾向，又，藉由設為上述上限值以下，有抑制塗膜表面之膜粗糙之傾向。 [(f)聚合起始劑] 本發明之感光性樹脂組合物含有(f)聚合起始劑。藉由含有(f)聚合起始劑，利用曝光而發生之光硬化進行。聚合起始劑可使用公知之任意者，可列舉於紫外線至可見光線照射下能夠產生使乙烯性不飽和基聚合之自由基之化合物。 以下列舉本發明中可使用之聚合起始劑之具體例。 (i)2-(4-甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)均三𠯤、2-(4-甲氧基萘基)-4,6-雙(三氯甲基)均三𠯤、2-(4-乙氧基萘基)-4,6-雙(三氯甲基)均三𠯤、2-(4-乙氧基羰基萘基)-4,6-雙(三氯甲基)均三𠯤等鹵甲基化三𠯤衍生物。 (ii)鹵甲基化㗁二唑衍生物、2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5-雙(3'-甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等咪唑衍生物。 (iii)安息香甲醚、安息香異丁醚、安息香異丙醚等安息香烷基醚類。 (iv)2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-第三丁基蒽醌、1-氯蒽醌等蒽醌衍生物。 (v)苯并蒽酮衍生物。 (vi)二苯甲酮、米其勒酮、2-甲基二苯甲酮、3-甲基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4-溴二苯甲酮、2-羧基二苯甲酮等二苯甲酮衍生物。 (vii)2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、1-羥基環己基苯基酮、α-羥基-2-甲基苯基丙酮、1-羥基-1-甲基乙基-(對異丙基苯基)酮、1-羥基-1-(對十二烷基苯基)酮、2-甲基-(4'-(甲硫基)苯基)-2-𠰌啉基-1-丙酮、1,1,1-三氯甲基-(對丁基苯基)酮等苯乙酮衍生物。 (viii)9-氧硫𠮿
、2-乙基9-氧硫𠮿
、2-異丙基9-氧硫𠮿
、2-氯9-氧硫𠮿
、2,4-二甲基9-氧硫𠮿
、2,4-二乙基9-氧硫𠮿
、2,4-二異丙基9-氧硫𠮿
等9-氧硫𠮿
衍生物。 (ix)對二甲基胺基苯甲酸乙酯、對二乙基胺基苯甲酸乙酯等苯甲酸酯衍生物。 (x)9-苯基吖啶、9-(對甲氧基苯基)吖啶等吖啶衍生物。 (xi)9,10-二甲基苯并啡𠯤等啡𠯤衍生物。 (xii)二環戊二烯基-Ti-二氯化物、二環戊二烯基-Ti-聯苯、二環戊二烯基-Ti-雙-2,3,4,5,6-五氟苯-1-基、二環戊二烯基-Ti-雙-2,3,5,6-四氟苯-1-基、二環戊二烯基-Ti-雙-2,4,6-三氟苯-1-基、二環戊二烯基-Ti-2,6-二氟苯-1-基、二環戊二烯基-Ti-2,4-二氟苯-1-基、二甲基環戊二烯基-Ti-雙-2,3,4,5,6-五氟苯-1-基、二甲基環戊二烯基-Ti-雙-2,6-二氟苯-1-基、二環戊二烯基-Ti-2,6-二氟-3-(吡咯-1-基)-苯-1-基等二茂鈦衍生物。 (xiii)2-甲基-1[4-(甲硫基)苯基]-2-𠰌啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基胺基-1-(4-𠰌啉基苯基)丁酮-1-酮、2-苄基-2-二甲基胺基-1-(4-𠰌啉基苯基)丁烷-1-酮、苯甲酸4-二甲基胺基乙酯、苯甲酸4-二甲基胺基異戊酯、4-二乙基胺基苯乙酮、4-二甲基胺基苯丙酮、1,4-二甲基胺基苯甲酸2-乙基己酯、2,5-雙(4-二乙基胺基亞苄基)環己酮、7-二乙基胺基-3-(4-二乙基胺基苯甲醯基)香豆素、4-(二乙基胺基)查耳酮等α-胺基烷基苯酮系化合物。 (xiv)2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦、雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基氧化膦等醯基氧化膦系化合物。 (xv)1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲醯基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙醯基肟)。 (xvi)以日本專利特開2000-80068號公報、日本專利特開2001-233842號公報、日本專利特開2001-235858號公報、日本專利特開2005-182004號公報、國際公開第2002/00903號及日本專利特開2007-041493號公報中記載之化合物為代表之肟酯系化合物等。 聚合起始劑之中，就圖案化特性與透明性之觀點而言，較佳為肟酯系化合物，更佳為上述(xv)或(xvi)，其中，尤佳地使用下述結構之化合物Y。 [化38]
該等聚合起始劑可單獨使用或將複數種組合使用。作為組合，例如可列舉日本專利特公昭53-12802號公報、日本專利特開平1-279903號公報、日本專利特開平2-48664號公報、日本專利特開平4-164902號公報或日本專利特開平6-75373號公報等中記載之聚合起始劑之組合。 作為本發明之感光性樹脂組合物中之聚合起始劑之含有比率，相對於全部固形物成分，通常為0.1質量%以上，較佳為0.5質量%以上，更佳為1質量%以上，進而較佳為2質量%以上，尤佳為3質量%以上，又，通常為40質量%以下，較佳為30質量%以下，更佳為20質量%以下，進而較佳為10質量%以下，尤佳為7質量%以下。藉由設為上述下限值以上，有硬化性變得充分，可抑制膜強度降低之傾向，藉由設為上述上限值以下，有熱收縮之程度變小，可抑制熱硬化後產生裂縫、裂痕之傾向。 [(g)界面活性劑] 本發明中之感光性樹脂組合物基於組合物作為塗佈液之塗佈性、及感光性樹脂組合物層之顯影性提高等之目的，可含有非離子性、陰離子性、陽離子性、兩性界面活性劑、或者氟系或聚矽氧系等之界面活性劑。 作為上述非離子性界面活性劑，例如可列舉：聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯聚氧丙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基苯醚類、聚氧乙烯烷基酯類、聚氧乙烯脂肪酸酯類、甘油脂肪酸酯類、聚氧乙烯甘油脂肪酸酯類、季戊四醇脂肪酸酯類、聚氧乙烯季戊四醇脂肪酸酯類、山梨醇酐脂肪酸酯類、聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯類、山梨糖醇脂肪酸酯類、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯類等。作為該等之市售品，可列舉：花王公司製造之「Emulgen 104P」、「Emulgen A60」等聚氧乙烯系界面活性劑等。 又，作為上述陰離子性界面活性劑，例如可列舉：烷基磺酸鹽類、烷基苯磺酸鹽類、烷基萘磺酸鹽類、聚氧乙烯烷基醚磺酸鹽類、烷基硫酸鹽類、烷基硫酸酯鹽類、高級醇硫酸酯鹽類、脂肪族醇硫酸酯鹽類、聚氧乙烯烷基醚硫酸鹽類、聚氧乙烯烷基苯醚硫酸鹽類、烷基磷酸酯鹽類、聚氧乙烯烷基醚磷酸鹽類、聚氧乙烯烷基苯醚磷酸鹽類、特殊高分子系界面活性劑等。該等之中，較佳為特殊高分子系界面活性劑，更佳為特殊聚羧酸型高分子系界面活性劑。 作為此種陰離子性界面活性劑，可使用市售品，例如關於烷基硫酸酯鹽類，可列舉花王公司製造之「Emal 10」等，關於烷基萘磺酸鹽類，可列舉花王公司製造之「Pelex NB-L」等，關於特殊高分子系界面活性劑，可列舉花王公司製造之「Homogenol L-18」、「Homogenol L-100」等。 進而，作為上述陽離子性界面活性劑，可列舉：四級銨鹽類、咪唑啉衍生物類、胺鹽類等，又，作為上述兩性界面活性劑，可列舉：甜菜鹼型化合物類、咪唑鎓鹽類、咪唑啉類、胺基酸類等。該等之中，較佳為四級銨鹽類，更佳為硬脂基三甲基銨鹽類。作為市售者，例如關於烷基胺鹽類，可列舉花王公司製造之「Acetamin(註冊商標)24」等，關於四級銨鹽類，可列舉花王公司製造之「Quartamin(註冊商標，以下相同)24P」、「Quartamin 86W」等。 另一方面，作為上述氟系界面活性劑，適宜為於末端、主鏈及側鏈之至少任一部位具有氟烷基或氟伸烷基之化合物。 具體而言，例如可列舉：1,1,2,2-四氟辛基(1,1,2,2-四氟丙基)醚、1,1,2,2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六乙二醇二(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇二(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基磺酸鈉、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷等。 作為該等之市售品，可列舉：BM Chemie公司製造之「BM-1000」、「BM-1100」，DIC公司製造之「MEGAFAC(註冊商標，以下相同)F142D」、「MEGAFAC F172」、「MEGAFAC F173」、「MEGAFAC F183」、「MEGAFAC F470」、「MEGAFAC F475」，3M公司製造之「FC430」、「FC4432」，NEOS公司製造之「DFX-18」等。 又，作為聚矽氧系界面活性劑，例如可列舉：Dow Corning Toray公司製造之「Toray Silicone DC3PA」、「Toray Silicone SH7PA」、「Toray Silicone DC11PA」、「Toray Silicone SH21PA」、「Toray Silicone SH28PA」、「Toray Silicone SH29PA」、「Toray Silicone SH30PA」、「Toray Silicone SH8400」、「FZ2122」，Momentive Performance Materials公司製造之「TSF-4440」、「TSF-4300」、「TSF-4445」、「TSF-4460」、「TSF-4452」，Silicone公司製造之「KP341」，BYK-Chemie公司製造之「BYK323」、「BYK330」等市售品。 該等界面活性劑之中，就塗佈膜厚之均勻性之觀點而言，較佳為氟系界面活性劑、聚矽氧系界面活性劑。 界面活性劑亦可為2種以上之組合，可列舉：聚矽氧系界面活性劑/氟系界面活性劑、聚矽氧系界面活性劑/特殊高分子系界面活性劑、氟系界面活性劑/特殊高分子系界面活性劑之組合等。該等之中，較佳為聚矽氧系界面活性劑/氟系界面活性劑。 關於該聚矽氧系界面活性劑/氟系界面活性劑之組合，例如可列舉：Momentive Performance Materials公司製造之「TSF4460」/NEOS公司製造之「DFX-18」、BYK-Chemie公司製造之「BYK-300」或「BYK-330」/Seimi Chemical公司製造之「S-393」、Shin-Etsu Silicones公司製造之「KP340」/Dainippon Ink公司製造之「F-478」或「F-475」、Dow Corning Toray公司製造之「SH7PA」/Daikin公司製造之「DS-401」、Dow Corning Toray公司製造之「FZ2122」/3M公司製造之「FC4432」、Nippon Unicar公司製造之「L-77」/3M公司製造之「FC4430」等。 於本發明中之感光性樹脂組合物含有界面活性劑之情形時，感光性樹脂組合物中之界面活性劑之含有比率於全部固形物成分中較佳為10質量%以下，更佳為0.01〜5質量%。 [其他成分] 本發明之感光性樹脂組合物可進而含有熱交聯劑、接著助劑、硬化劑及紫外線吸收劑等添加劑，作為該等成分，例如可列舉國際公開第2007/139005號中所記載者。 ＜感光性樹脂組合物之製造方法＞ 其次，說明製造本發明之感光性樹脂組合物之方法。 [無機粒子分散液之製造方法] 首先，製造無機粒子分散液。無機粒子分散液含有(a)二氧化鋯粒子、(b)分散劑、(c)溶劑，視情況含有分散樹脂。將該等材料混合，使其他成分分散於(c)溶劑中，藉此可獲得無機粒子分散液。 作為分散方法，並無特別限制，可列舉使用塗料振盪機、砂磨機、球磨機、輥磨機、石磨機、噴射磨機、均質機等之方法。 各成分之混合順序只要無損本發明之效果則無特別限制，可於添加(c)溶劑後添加(a)二氧化鋯粒子、(b)分散劑及視情況之分散樹脂，亦可為相反順序。 作為分散樹脂，可使用作為上述(d)黏合劑樹脂所記載者。可使用製備感光性樹脂組合物時使用之(d)黏合劑樹脂之一部分作為分散樹脂，亦可使用與製備感光性樹脂組合物時所使用者不同之(d)黏合劑樹脂。於利用砂磨機使(a)二氧化鋯粒子分散之情形時，可較佳地使用粒徑0.05〜5 mm左右之玻璃珠粒或氧化鋯珠粒。關於分散處理條件，溫度通常為0℃至100℃，較佳為室溫至80℃之範圍。 [感光性樹脂組合物之製備方法] 其次，說明製備本發明之感光性樹脂組合物之方法。 首先，將上述無機粒子分散液與作為必需成分之(c)溶劑、(d)黏合劑樹脂、(e)聚合性單體及(f)聚合起始劑、視情況之作為任意成分之界面活性劑、以及該等以外之成分加以混合，而製成均勻溶液，藉此獲得感光性樹脂組合物。混合較佳為於室溫下進行，通常於遮斷紫外線下實施以避免開始聚合反應。又，於混合等各步驟中有混入微細之污物之情況，因此較佳為利用過濾器等對所獲得之感光性樹脂組合物進行過濾處理。 ＜層間絕緣膜之形成方法＞ 藉由塗佈本發明之感光性樹脂組合物並使之硬化，可獲得硬化物。本發明之感光性樹脂組合物尤其是可較佳地用作形成層間絕緣膜之材料。以下，對使用本發明之感光性樹脂組合物之層間絕緣膜之形成方法進行說明。 [1-1]塗佈步驟 首先，使用旋轉塗佈機、線棒塗佈機、流塗機、模嘴塗佈機、輥式塗佈機、噴霧器等塗佈裝置，於形成有TFT陣列之基板上塗佈上述本發明之感光性樹脂組合物。感光性樹脂組合物之塗佈膜厚通常為0.1〜5 μm。 [1-2]乾燥步驟 將揮發成分自上述塗佈膜去除(乾燥)而形成乾燥塗膜。乾燥可採用真空乾燥、加熱板、IR(Infrared Radiation，紅外線)烘箱、對流烘箱等。乾燥條件較佳為溫度40〜150℃、乾燥時間10秒〜60分鐘之範圍。 [1-3]曝光、顯影步驟 繼而，於感光性樹脂組合物層之乾燥塗膜上放置光罩，隔著該光罩進行圖像曝光。曝光後，利用顯影去除未曝光之未硬化部分，藉此形成像素。再者，亦存在為了提高感度而於曝光後且顯影前進行曝光後烘烤之情況。該情形時之烘烤可採用加熱板、IR烘箱、對流烘箱等。曝光後烘烤條件通常為40〜150℃、乾燥時間10秒〜60分鐘之範圍。 通常於層間絕緣膜形成用以連接主動元件與像素電極之接觸孔。接觸孔係藉由對塗佈膜進行圖案化曝光並顯影而獲得。於高精細之顯示器中，要求形成更小之接觸孔。例如亦存在要求邊長3〜10 μm之正方形孔之開口之情況。 作為乾燥塗膜之曝光步驟中使用之光源，例如可列舉：氙氣燈、鹵素燈、鎢絲燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、金屬鹵素燈、中壓水銀燈、低壓水銀燈等燈光源，或氬離子雷射、YAG(Yttrium Aluminium Garnet，釔鋁石榴石)雷射、準分子雷射、氮氣雷射等雷射光源等。於僅使用特定波長之光之情形時，亦可利用光學濾光片。 作為用於顯影處理之溶劑，只要為具有使未硬化部之塗佈膜溶解之能力的溶劑，則並無特別限制，就環境污染、對人體之有害性、火災危險性等方面而言，較佳為使用鹼性顯影液而非溶劑。 作為此種鹼性顯影液，例如可列舉含有碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀、矽酸鈉、矽酸鉀、氫氧化鈉、氫氧化鉀等無機鹼化合物，或二乙醇胺、三乙胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨等有機鹼化合物之水溶液。 再者，鹼性顯影液中視需要亦可含有界面活性劑、水溶性溶劑、濕潤劑、具有羥基或羧酸基之低分子化合物等。作為顯影液所使用之界面活性劑，例如可列舉：具有萘磺酸鈉基、苯磺酸鈉基之陰離子性界面活性劑，具有聚伸烷氧基之非離子性界面活性劑，具有四烷基銨基之陽離子性界面活性劑等。 關於顯影處理之方法，並無特別限制，通常於10〜50℃、較佳為於15〜45℃之顯影溫度下，藉由浸漬顯影、浸置顯影、噴霧顯影、磁刷顯影、超音波顯影等進行。 [1-4]熱處理步驟 藉由曝光、顯影步驟而形成有圖像之感光性樹脂組合物膜繼而經過熱處理(硬烤)步驟而成為硬化物(熱硬化膜)。再者，亦存在為了抑制於硬烤時產生釋氣而於顯影後且硬烤前進行整面曝光之情況。 於硬烤前進行整面曝光之情形時，作為光源，使用紫外光或可見光，例如可列舉：氙氣燈、鹵素燈、鎢絲燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、金屬鹵素燈、中壓水銀燈、低壓水銀燈等燈光源，或氬離子雷射、YAG雷射、準分子雷射、氮氣雷射等雷射光源等。 硬烤時可使用加熱板、IR烘箱、對流烘箱等。作為硬烤條件，通常為100〜250℃、乾燥時間30秒〜90分鐘之範圍。 ＜TFT主動矩陣基板及圖像顯示裝置＞ 其次，說明本發明之圖像顯示裝置、尤其是液晶顯示裝置(面板)之製造法。液晶顯示裝置通常具備TFT(Thin Film Transistor，薄膜電晶體)主動矩陣基板。 首先，TFT主動矩陣基板係藉由如下方式製作：於形成有TFT元件陣列之基板上形成上述硬化物作為層間絕緣膜，於其上形成ITO(Indium Tin Oxides，氧化銦錫)膜後，利用光微影法製作ITO配線。 繼而，可將上述TFT主動矩陣基板與對向基板進行貼合而形成液晶單元，向所形成之液晶單元內注入液晶，進而與對向電極接線而完成液晶顯示裝置之製作。 作為對向基板，通常宜使用具備配向膜之彩色濾光片基板。作為配向膜，宜為聚醯亞胺等之樹脂膜。配向膜之形成通常採用凹版印刷法及/或軟版印刷法，配向膜之厚度設為數10 nm。於藉由熱焙燒而進行配向膜之硬化處理後，藉由紫外線之照射或利用磨擦布之處理而實施表面處理，加工成能夠調整液晶斜度之表面狀態。再者，亦可進而於配向膜上形成與上述相同之層間絕緣膜。 作為上述TFT主動矩陣基板與對向基板之貼合間隙，根據液晶顯示裝置之用途而異，通常於2 μm以上且8 μm以下之範圍內選擇。與對向基板貼合後，將除液晶注入口以外之部分利用環氧樹脂等密封材料加以密封。 作為此種密封材料，通常使用能夠藉由UV照射及/或加熱而硬化者，將液晶單元周邊加以密封。將周邊經密封之液晶單元切斷成面板單元後，於真空腔室內進行減壓，將上述液晶注入口浸漬於液晶中，使壓力恢復至大氣壓，藉此可向上述液晶單元內注入液晶。 作為液晶單元內之減壓度，通常為1×10
-2
Pa以上，較佳為1×10
-3
Pa以上，又，通常為1×10
- 7
Pa以下，較佳為1×10
- 6
Pa以下之範圍。又，減壓時較佳為對液晶單元進行加溫。作為加溫溫度，通常為30℃以上，較佳為50℃以上，又，通常為100℃以下，較佳為90℃以下之範圍。 作為減壓時之加溫保持條件，通常為10分鐘以上且60分鐘以下之範圍。其後，將液晶單元浸漬入液晶中。使UV硬化樹脂硬化，而將注入有液晶之液晶單元之液晶注入口加以密封。如此可完成液晶顯示裝置(面板)之製作。 再者，液晶之種類無特別限制，可使用芳香族系、脂肪族系、多環狀化合物等先前已知之液晶，可為溶致型液晶、熱致型液晶等任意之液晶。作為熱致型液晶，已知向列型液晶、層列型液晶及膽固醇狀液晶等，可為其中之任意者。 實施例 以下，藉由實施例而詳細地說明本發明。但本發明並不限定於以下之實施例，可於不脫離其主旨之範圍內任意變更而實施。 以下之實施例及比較例中所使用之感光性樹脂組合物之構成成分如下所示。 (a)二氧化鋯粒子(高介電常數無機粒子) 1：UEP(第一稀元素化學工業公司製造，ZrO
2
) 一次粒徑：10〜30 nm (a')其他高介電常數無機粒子 1：T-BTO-020RF(戶田工業公司製造，BaTiO
3
) 一次粒徑：10〜30 nm 2：TTO-51N(石原產業公司製造，TiO
2
) 一次粒徑：10〜30 nm (b)分散劑 DISPERBYK-111(BYK-Chemie公司製造) (c)溶劑 PGMEA(丙二醇單甲醚乙酸酯) (d)黏合劑樹脂 (合成例1)含金剛烷基之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之合成 [化39]
向安裝有溫度計、攪拌機、冷卻管之燒瓶內裝入上述結構之環氧化合物(環氧當量264)50 g、丙烯酸13.65 g、乙酸甲氧基丁酯60.5 g、三苯基膦0.936 g及對甲氧基苯酚0.032 g，一面攪拌一面於90℃下反應，直至酸值成為5 mgKOH/g以下。反應需要12小時，獲得環氧丙烯酸酯溶液。 將上述環氧丙烯酸酯溶液25質量份、及三羥甲基丙烷(TMP)0.76質量份、聯苯四羧酸二酐(BPDA)3.3質量份、四氫鄰苯二甲酸酐(THPA)3.5質量份裝入至安裝有溫度計、攪拌機、冷卻管之燒瓶內，一面攪拌一面緩慢升溫至105℃而使之反應。 於樹脂溶液變得透明之時，利用乙酸甲氧基丁酯進行稀釋，調整成固形物成分70質量%，獲得酸值115 mgKOH/g、藉由GPC測得之聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)2,600之黏合劑樹脂(1)。 (合成例2)含聯苯基之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之合成 將「NC3000H」(日本化藥公司製造)(環氧當量288)400質量份、丙烯酸102質量份、對甲氧基苯酚0.3質量份、三苯基膦5質量份及丙二醇單甲醚乙酸酯264質量份裝入至反應容器內，於95℃下攪拌直至酸值成為3 mgKOH/g以下。達到目標酸值需要9小時(酸值2.2 mgKOH/g)。繼而，進而添加琥珀酸酐39質量份，於95℃下反應4小時，利用丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)調整成固形物成分40質量%，獲得酸值40 mgKOH/g、藉由GPC測得之聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)4,000之下述結構式(其中，式中之m及n為3或4，黏合劑樹脂(2)為該等之混合物)所表示之黏合劑樹脂(2)。 [化40]
(合成例3)含茀環之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之合成 [化41]
合成例1中，將環氧化合物替換成上述結構之環氧化合物，除此以外，藉由與合成例1相同之方式合成，獲得酸值60 mgKOH/g、藉由GPC測得之聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)6,500之黏合劑樹脂(3)。 (合成例4)雙酚A型環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之合成 合成例1中，將環氧化合物替換成雙酚A型環氧樹脂(日本化藥製造之RE-310S)，除此以外，藉由與合成例1相同之方式合成，獲得酸值60 mgKOH/g、藉由GPC測得之聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)8,600之黏合劑樹脂(4)。 (合成例5)雙酚F型環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之合成 合成例1中，將環氧化合物替換成雙酚F型環氧樹脂(日本化藥製造之RE-303S-L)，除此以外，藉由與合成例1相同之方式合成，獲得酸值60 mgKOH/g、藉由GPC測得之聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)10,500之黏合劑樹脂(5)。 (合成例6)丙烯酸系樹脂之合成 一面進行氮氣置換一面攪拌丙二醇單甲醚乙酸酯150質量份，升溫至120℃。於其中歷時3小時滴下具有三環癸烷骨架之單甲基丙烯酸酯FA-513M(日立化成公司製造)20.0質量份、甲基丙烯酸甲酯4.0質量份、甲基丙烯酸37.4質量份及甲基丙烯酸環己酯73.2質量份之混合液，進而於90℃下攪拌2小時，獲得黏合劑樹脂(6)。所獲得之黏合劑樹脂(6)藉由GPC測得之聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)為5,800，酸值為60 mgKOH/g。 (e)聚合性單體 1：二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA) 2：雙酚A型環氧酯；3000A(共榮社化學公司製造) 3：含茀基之環氧酯；EA-0300(Osaka Gas Chemicals公司製造) (f)聚合起始劑 肟酯系聚合起始劑：說明書中記載之化合物Y (e)添加劑 界面活性劑：F554(DIC公司製造) 密接性提高劑：KAYAMER PM-21(日本化藥公司製造) (高介電常數無機粒子分散液之製備) 根據以下之組成，將高介電常數無機粒子、分散劑、分散樹脂、溶劑進行調合，藉由以下之方法製備高介電常數無機粒子分散液。首先，以高介電常數無機粒子、分散劑、分散樹脂之固形物成分成為如下之方式進行調合。再者，以下之溶劑之量係亦包括分散劑及分散樹脂所含之溶劑量在內之總量。 ·高介電常數無機粒子：UEP 100質量份 ·分散劑：DISPERBYK-111(BYK-Chemie公司製造) 5質量份/固形物成分換算 ·分散樹脂：含金剛烷基之鹼可溶性樹脂(上述黏合劑樹脂(1)) 10質量份/固形物成分換算 ·溶劑：丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA) 350質量份 將以上成分充分攪拌，進行混合。 繼而，利用塗料振盪機於25〜45℃之範圍內進行6小時之分散處理。作為珠粒，使用直徑0.3 mm之氧化鋯珠粒，添加分散液10 g與珠粒20 g。分散結束後，利用過濾器將珠粒與分散液加以分離，而製備固形物成分25質量%之高介電常數無機粒子分散液1。 又，將作為高介電常數無機粒子之UEP替換成T-BTO-020RF、TTO-51N，除此以外，藉由與上述相同之方式製備高介電常數無機粒子分散液2及3。 又，實施例及比較例中之評價條件如下所述。 (感光性樹脂組合物之膜厚之測定方法) 使用觸針式輪廓儀“α-step IQ”(KLA Tencor公司製造)進行測定。膜厚之測定係隨機於2個位置實施，將該2點之平均值作為膜厚。測定長度設為0.7 mm，掃描速度設為0.5 mm/s。 (電測定樣品製作) 於玻璃基板上以膜厚70 nm整面濺鍍ITO電極而獲得導電性基板。使用旋轉塗佈機，於該導電性基板上塗佈感光性樹脂組合物，利用100℃之加熱板乾燥90秒。其後，利用曝光裝置MA-1100(大日本科研公司製造)以曝光量120 mJ/cm
2
(波長365 nm下之強度)進行整面曝光。繼而，使用瀧澤產業股份有限公司製造之顯影裝置AD-1200，使用氫氧化四甲基銨之2.38質量%水溶液作為顯影液，於該顯影液中浸漬50秒而進行顯影，經20秒之水洗處理後，將水吹離。其後，於潔淨烘箱中以230℃焙燒30分鐘，而獲得介電膜。介電膜之膜厚設為0.3 μm。 藉由蒸鍍法於該介電膜之上形成鋁電極。鋁電極係厚度60 nm、面積3 mm
2
之圓形圖案之電極。將夾於ITO電極與鋁電極之間的部分作為測定対象。 (相對介電常數測定) 使電測定樣品之基板上之ITO電極與介電膜上之1個鋁電極接觸端子而製作電路，測定頻率1.0 kHz下之靜電電容。由所測得之靜電電容與介電膜之膜厚、鋁電極面積，採用式(1)算出相對介電常數。
上述式(1)中，C：電容、ε
r
：相對介電常數、ε
0
：真空介電常數(常數)、S：電極面積、d：電極間距離。 該測定係使用LCR計-4284A(惠普公司製造)。 (漏電流測定) 使電測定樣品之基板上之ITO電極與介電膜上之1個鋁電極接觸端子，以每相差2 V之方式施加1 V至50 V之電壓，測定此時之電流。作為比較各感光性樹脂組合物之值，使用15 V施加時之電流值。該測定係使用Ultra-High Resistance Meter R8340A(ADVANTEST公司製造)。 (顯影性評價) 使用旋轉塗佈機於濺鍍有ITO電極之玻璃基板上塗佈感光性樹脂組合物，利用100℃之加熱板乾燥90秒。其後，利用曝光裝置MA-1100(大日本科研公司製造)，使用15/15 μm、50/50 μm之線與間隙(L/S)遮罩進行圖案化曝光。此時，遮罩與基板之間隙設為5 μm，曝光量設為20〜100 mJ/cm
2
(波長365 nm下之強度)。繼而，使用瀧澤產業股份有限公司製造之顯影裝置AD-1200，使用氫氧化四甲基銨之2.38質量%水溶液作為顯影液進行顯影。一面以30 rpm進行旋轉，一面於噴壓0.15 MPa下噴灑顯影液90秒，以300 rpm進行10秒之水洗處理。其後，於潔淨烘箱中以230℃焙燒30分鐘，而獲得膜厚300 nm之介電膜。 顯影性之評價基準如下所述。 〇：形成15/15 μm之線與間隙。 △：未形成15/15 μm之線與間隙，但形成50/50 μm之線與間隙。 ×：未形成50/50 μm之線與間隙。 (感光性樹脂組合物之製備) 將表1所示之各成分以表1所示之調配量於玻璃瓶內混合，製備各感光性樹脂組合物。再者，表1中之值表示固形物成分之質量份，以各感光性樹脂組合物之全部固形物成分成為20質量%之方式使用溶劑(PGMEA)。作為高介電常數無機粒子分散液，使用上述高介電常數無機粒子分散液1〜3。其中，於使用黏合劑樹脂(1)以外之黏合劑樹脂之實施例、比較例中，使用將高介電常數無機粒子分散液1中之分散樹脂由黏合劑樹脂(1)替換成該黏合劑樹脂而製備之高介電常數無機粒子分散液。又，表1中之黏合劑樹脂之調配量表示包括分散樹脂之調配量在內之總量。 [表1]
實施例1中，儘管於感光性樹脂組合物之全部固形物成分中以非常高之比率含有二氧化鋯粒子，但15 V施加時之漏電流低至10
-9
(A/cm)左右，顯影性亦良好。相對於此，比較例1、2中，以較高比率含有鈦酸鋇粒子或二氧化鈦粒子，因此漏電流增多，顯影性亦較差。 認為二氧化鋯粒子由於表面官能基數較少，故抑制塗膜之吸濕性，而使漏電流變低。又，認為二氧化鋯粒子由於分散性較高，易吸附分散劑或樹脂，故成為經高溶解性之分散劑或樹脂被覆之狀態，顯影性良好。另一方面，認為鈦酸鋇粒子或二氧化鈦粒子由於分散性較低，與高溶解性之樹脂之配合性較差，故顯影時產生膜粗糙，漏電流變高。又，認為鈦酸鋇粒子或二氧化鈦粒子由於粒子表面之極性較高，與玻璃基板之界面處之密接力較強，顯影時無法充分溶解而產生溶解殘留。 又，根據實施例1與2之比較，可確認無論二氧化鋯粒子之含有比率為多少，漏電流抑制及顯影性均良好。 進而，根據實施例1及3之比較，可確認不僅於黏合劑樹脂為具有式(II)所表示之部分結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之情形時，且於為具有式(I)所表示之重複單元結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之情形時，漏電流抑制及顯影性均良好。 於如比較例3〜5般使用含茀環之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂、雙酚A型含環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂、雙酚F型含環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之情形時顯影性不良，相對於此，於如實施例1〜3般使用具有式(I)所表示之重複單元結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂及具有式(II)所表示之部分結構之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂之至少一者之情形時顯影性良好。認為其原因在於：該等環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂於其中央部具有大體積之剛直骨架，因此作為親水基之(甲基)丙烯醯基容易向外側展開，溶解性提高。 另一方面，認為含茀環之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂由於體積較大、疏水性較強，故而顯影性不良。又，認為雙酚A型含環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂或雙酚F型含環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂由於具有能夠旋轉之骨架，故而與具有無法旋轉之骨架之樹脂相比感度有所提高，但產生感度不均，尤其於如低極性溶劑存在下之親水部容易凝集之條件下顯影性不良。 另一方面，於如比較例6及7般使用丙烯酸系樹脂之情形時，顯影性良好，相對介電常數與實施例1〜3相同，但漏電流較多。認為其係由於丙烯酸系樹脂之骨架之柔軟性導致塗膜中產生感度不均，顯影後塗膜變得不均勻，膜之吸濕性增強而致使漏電流增多。進而認為，丙烯酸系樹脂之耐熱性較低，於熱硬化時丙烯酸系樹脂發生分解，因此產生空隙。 又，根據實施例1、4及5之比較，可確認無論聚合性單體為何種類，漏電流抑制及顯影性均良好。尤其是實施例1中使用6官能性(甲基)丙烯酸酯作為聚合性單體，相對於此，實施例4及5中使用2官能性(甲基)丙烯酸酯作為聚合性單體，感度因此稍有降低，但由於具有強直且疏水之骨架，而形成於鹼性顯影下強固之膜，結果電氣特性提高。 採用特定態樣而詳細地說明了本發明，但作為業者應明瞭可於不脫離本發明之主旨與範圍之情況下實施各種變更及變形。再者，本申請案係基於2016年7月29日提出申請之日本專利申請(日本專利特願2016-150610)，以引用之形式援用其全文。