[0008] 以下記載中，「重量平均分子量(Mw)」係以凝膠滲透層析(GPC)法測定之聚苯乙烯換算之值，具體而言係基於實施例記載之方法測定之值。 又，本說明書中之記載中，例如所謂「(甲基)丙烯酸酯」係以表示「丙烯酸酯」及「甲基丙烯酸酯」兩者之用語而使用，關於其他類似用語亦同樣。 [0009] 以下使用實施形態更詳細說明本發明。 本發明之半導體加工用黏著片(以下亦簡稱為“黏著片”)具備基材、設於基材之一面上之中間層、及進而設於中間層上之黏著劑層。且黏著片亦可於黏著劑層上進而設置剝離材。剝離材係保護接著劑層，於將黏著片貼附於工件時自黏著劑層去除。 黏著片亦可具有上述以外之層。例如為了提高中間層與基材之密著性，亦可於基材之一面上設置以各種硬化性樹脂等形成之易接著層。且為了防止黏著片帶靜電，亦可於基材之一面上設置含有習知抗靜電劑之抗靜電層。 [0010] 中間層係由含有非能量線硬化性之丙烯酸系聚合物(A)，與重量平均分子量為5萬~25萬之能量線硬化性之丙烯酸系聚合物(B)之中間層形成用組成物所形成之層。且黏著劑層為藉由能量線硬化性之黏著劑組成物所形成之層。而且能量線硬化後之中間層與能量線硬化後之黏著劑層在23℃中之彈性係數差為20MPa以下者。又，23℃中之彈性係數係藉由黏彈性測定裝置以3℃/分鐘之升溫速度測定-30~200℃之儲存彈性係數(頻率：1Hz)時之23℃中之儲存彈性係數之值，更具體而言，係基於實施例中記載之方法測定之值。 本發明中，中間層及黏著劑層均為能量線硬化性。因此，貼附於被黏著體之黏著片若照射能量線，則中間層及黏著劑層硬化而減低對被黏著體之黏著力，而可容易地自被黏著體剝離。且，由於中間層與黏著劑層之能量線硬化後之彈性係數差，故剝離黏著薄片時，可防止中間層與黏著劑層之間發生層間剝離。 [0011] 另一方面，若上述彈性係數差超過20MPa，則藉由能量線硬化時，中間層與黏著劑層之間之層間強度變低。因此，能量線硬化後，自被黏著體剝離黏著片時，於中間層與黏著劑層之間易產生層間剝離。基於提高中間層與黏著劑層之層間強度、更有效抑制層間剝離之觀點，上述彈性係數差較好為15MPa以下，更好為8MPa以下。 又，基於抑制層間剝離之觀點，上述彈性係數差越低越佳，但為了使中間層及黏著劑層各者具有期望功能，彈性係數差較好為0.1MPa以上，更好為0.5MPa以上。 [0012] 以下針對構成黏著片之各層更詳細說明。 ＜中間層＞ 黏著片中，中間層係設於黏著劑層與基材之間的層。中間層雖可直接形成於基材上，但如上述，於基材上設置易接著層、抗靜電層等之其他層時，則形成於該其他層上。 中間層如上述係由含有非能量線硬化性之丙烯酸系聚合物(A)，與重量平均分子量為5萬~25萬之能量線硬化性之丙烯酸系聚合物(B)之中間層形成用組成物所形成之層。又，丙烯酸系聚合物(A)於以下有時簡稱為”(A)成分”加以描述。其他成分亦同。 中間層係藉由(A)成分發揮凝集力，同時藉由低分子量之(B)成分展現應力緩和性。具有此中間層之黏著片例如對於具有凹凸之被黏著體之追隨性良好等，而對被黏著體之保持性能高。因此，貼附黏著片之晶圓等進行研削加工時，可防止晶圓破損或防止研削層或研削水浸入到晶圓表面。 [0013] 中間層之能量線硬化後之23℃中的彈性係數較好為0.5~40MPa，更好為1.0~30MPa，又更好為1.5~20MPa。中間層藉由具有使彈性係數，而於能量線照射前充分發揮作為中間層之功能，且亦減小上述之彈性係數差。且，藉由使彈性係數為該等範圍，更易提高層間強度。 [0014] 又，能量線硬化後之中間層之23℃中的彈性係數雖較能量線硬化後之中間層之23℃中的彈性係數低，但亦可較其高。 又，中間層之能量線硬化後之23℃中的彈性係數可藉由例如丙烯酸系聚合物(B)之摻合量或導入丙烯酸系聚合物(B)之能量線聚合性基的量(後述之α之值)等而調整。例如，丙烯酸系聚合物(B)之摻合量或能量線聚合性基的量增加時，有彈性係數變高的傾向。且亦可藉由構成丙烯酸系聚合物(A)之單體種類及量、進而摻合於中間層之交聯劑之量、光聚合起始劑的量等而適當調整。 [0015] 丙烯酸系聚合物(A)係具有源自(甲基)丙烯酸酯之構成單位之非能量線硬化性的聚合物。丙烯酸系聚合物(A)較好含有源自烷基(甲基)丙烯酸酯(a1)之構成單位與源自含官能基之單體-(a2)的構成單位之丙烯酸系共聚物(A1)，更好係由該丙烯酸系共聚物(A1)所成。 丙烯酸系共聚物(A1)之共聚合形態並未特別限定，可為嵌段共聚物，亦可為無規共聚物。且，丙烯酸系共聚物(A1)之含量，相對於中間層形成用組成物中所含之(A)成分總量(100質量%)，較好為70~100質量%，更好為80~100質量%，又更好為90~100質量%，再更好為100質量%。 [0016] 作為烷基(甲基)丙烯酸酯(a1)係使用烷基之碳數為1~18之烷基(甲基)丙烯酸酯。具體舉例為(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸正戊酯、(甲基)丙烯酸正己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸正癸酯、(甲基)丙烯酸正十二烷酯、(甲基)丙烯酸正十三烷酯、(甲基)丙烯酸肉豆蔻酯、(甲基)丙烯酸棕櫚酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯等。烷基(甲基)丙烯酸酯(a1)可單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 [0017] 丙烯酸系共聚物(A1)中之源自烷基(甲基)丙烯酸酯(a1)之構成單位含量，相對於丙烯酸系共聚物(A1)之全部構成單位(100質量%)，較好為50~99.5質量%，更好為60~99質量%，又更好為70~97質量%，再更好為80~95質量%。 其含量若為50質量%以上，則黏著片之保持性能高，對於凹凸差大的被黏著體之追隨性等易良好。又，若為99.5質量%以下，則可使源自(a2)成分之構成單位保持一定量以上。 [0018] 烷基(甲基)丙烯酸酯(a1)，於上述中，為使中間層之彈性係數成為適當值，較好為烷基之碳數為1~8之烷基(甲基)丙烯酸酯，更好含有烷基之碳數為4~8之烷基(甲基)丙烯酸酯(以下有時稱為單體(Y))。作為單體(Y)，具體而言較好為(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸正丁酯，特佳為(甲基)丙烯酸正丁酯。 本文中，構成丙烯酸系共聚物(A1)之烷基(甲基)丙烯酸酯(a1)可全部為單體(Y)，亦可一部分為單體(Y)。具體而言，單體(Y)相對於烷基(甲基)丙烯酸酯(a1)總量，較好為75~100質量%，更好為80~100質量%，又更好為90~100質量%。 [0019] 作為含官能基之單體(a2)為具有羥基、羧基、環氧基、胺基、氰基、含氮原子之環基、烷氧基矽烷基等之官能基之單體。作為含官能基之單體(a2)，於上述中，較好為選自由含羥基之單體、含羧基之單體及含環氧基之單體中之1種以上。 [0020] 作為含羥基之單體舉例為例如(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯等之(甲基)丙烯酸羥基烷酯；乙烯醇、烯丙醇等之不飽和醇等。 作為含羧基之單體舉例為(甲基)丙烯酸、馬來酸、富馬酸、依康酸等。 [0021] 作為含環氧基之單體舉例為含環氧基之(甲基)丙烯酸酯及非丙烯酸系含環氧基之單體。作為含環氧基之(甲基)丙烯酸酯舉例為例如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸(3,4-環氧基環己基)甲酯、(甲基)丙烯酸3-環氧基環-2-羥基丙酯等。且作為非丙烯酸系含環氧基之單體舉例為例如巴豆酸縮水甘油酯、烯丙基縮水甘油醚等。 含官能基單體(a2)可單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 含官能基單體(a2)中，更好為含羧基之單體，其中又更好為(甲基)丙烯酸，最好為丙烯酸。若使用含羧基之單體作為含官能基單體(a2)，則中間層之凝集力提高，中間層之保持性能等易於更良好。 [0022] 丙烯酸系共聚物(A1)中，源自含官能基之單體(a2)之構成單位含量，相對於丙烯酸系共聚物(A1)之全部構成單位(100質量%)，較好為0.5~40質量%，更好為1~30質量%，又更好為3~20質量%，再更好為5~15質量%。 源自(a2)成分之構成單位之含量若為0.5質量%以上，則中間層之凝集力高，且與(B)成分之相溶性亦易變良好。另一方面，含量若為40質量%以下，則可確保源自(a1)成分之構成單位於一定量以上。 [0023] 丙烯酸系共聚物(A1)可為烷基(甲基)丙烯酸酯(a1)與含官能基之單體(a2)之共聚物，但亦可為(a1)成分、(a2)成分及該等(a1)及(a2)成分以外之其他單體(a3)之共聚物。 作為其他單體(a3)舉例為例如(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環務烯氧基乙酯等之具有環狀構造之(甲基)丙烯酸酯、乙酸乙烯酯、苯乙烯等。其他單體(a3)可單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 丙烯酸系共聚物(A1)中，源自其他單體(a3)之構成單位含量，相對於丙烯酸系共聚物(A1)之全部構成單位(100質量%)，較好為0~30質量%，更好為0~20質量%，又更好為0~10質量%，再更好為0~5質量%。 [0024] 丙烯酸系共聚物(A)之重量平均分子量(Mw)較好為30萬~150萬，更好為40萬~120萬，又更好為40萬~110萬，再更好為45萬~90萬。藉由將Mw設為該等上限值以下，丙烯酸系共聚物(A)與丙烯酸系聚合物(B)之相溶性變良好。且，藉由將Mw設為上述範圍內，易提高黏著片之保持性能。 中間層形成用組成物中之丙烯酸系共聚物(A)含量，相對於中間層形成用組成物之總量(100質量%)，較好為60~99質量%，更好為70~97質量%，又更好為75~92質量%以上。 又，中間層形成用組成物以如後述之有機溶劑等之稀釋液稀釋時，所謂中間層形成用組成物之總量意指稀釋液除外之固形分總量。關於後述之黏著劑組成物亦相同。 [0025] [丙烯酸系聚合物(B)] 丙烯酸系聚合物(B)係藉由導入能量線聚合性基而具有能量線硬化性之丙烯酸系聚合物。丙烯酸系聚合物(B)係重量平均分子量(Mw)為5萬~25萬者。本發明中，認為藉由於中間層使用(B)成分，於照射能量線時，使(B)成分與黏著劑層中之能量線硬化成分反應並鍵結。因此，亦與上述彈性係數差小相輔，而提高能量線硬化後之中間層與黏著劑層之層間強度。 [0026] 丙烯酸系聚合物(B)之Mw未滿5萬時，黏著片長期間保存時，會有(B)成分之一部分會向黏著劑層內移行，黏著片之黏著力變不安定，同時能量線照射後，黏著劑層過度硬化之虞。其結果，黏著片例如於長期間保存後使用時，或以貼附於被黏著體之狀態長期間放置時等，有能量線照射後之中間層與黏著劑層之層間強度變不充分之情況。且，(B)成分之Mw超過25萬時，能量線照射後之中間層與黏著劑層之層間強度亦易於降低。 基於上述觀點，丙烯酸系聚合物(B)之重量平均分子量(Mw)較好為6萬~22萬，更好為7萬~20萬，又更好為8萬~18萬，再更好為8.5萬~15萬。 [0027] 丙烯酸系聚合物(B)係藉由導入能量線聚合性基且具有源自(甲基)丙烯酸酯之構成單位之丙烯酸系聚合物。丙烯酸系聚合物(B)具有之能量線聚合性基較好導入丙烯酸系聚合物之側鏈。能量線聚合性基只要為含有能量線聚合性之碳-碳雙鍵之基即可，舉例為例如(甲基)丙烯醯基、乙烯基等，但其中較好為(甲基)丙烯醯基。 [0028] 丙烯酸系聚合物(B)較好含有使具有源自烷基(甲基)丙烯酸酯(b1)之構成單位及源自含官能基單體(b2)之構成單位的丙烯酸系共聚物(B0)與具有能量線聚合性基之聚合性化合物(Xb)反應之反應物的丙烯酸系共聚物(B1)，更好由該丙烯酸系共聚物(B1)所成。 又，丙烯酸系共聚物(B0)之共聚合形態並未特別限定，可為嵌段共聚物、無規共聚物等之任一者。丙烯酸系共聚物(B1)之含量，相對於中間層形成用組成物中所含之(B)成分總量(100質量%)，較好為70~100質量%，更好為90~100質量%，又更好為100質量%。 [0029] 作為烷基(甲基)丙烯酸酯(b1)係使用烷基之碳數為1~18之烷基(甲基)丙烯酸酯，作為其具體例舉例為作為(a1)成分所例示者。該等可單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 丙烯酸系共聚物(B0)中之源自烷基(甲基)丙烯酸酯(b1)之構成單位含量，相對於丙烯酸系共聚物(B0)之總構成單位(100質量%)，較好為50~95質量%，更好為55~90質量%，又更好為60~85質量%，再更好為65~80質量%。該含量若為50質量%以上，則可充分維持所形成之中間層形狀。又，若為95質量%以下，則成為與聚合性化合物(Xb)之反應點的源自(b2)成分之構成單位可確保一定量。 [0030] 又，烷基(甲基)丙烯酸酯(b1)與(a1)成分同樣，較好為烷基之碳數係1~8之烷基(甲基)丙烯酸酯，進而更好含有單體(Y)(亦即烷基之碳數係4~8之烷基(甲基)丙烯酸酯)。又，作為單體(Y)之較佳化合物與上述(a1)同樣，特佳為(甲基)丙烯酸正丁酯。 此處，丙烯酸系共聚物(B0)含有之烷基(甲基)丙烯酸酯(b1)可全部為單體(Y)，但較好一部分為單體(Y)。單體(Y)相對於丙烯酸烷酯(b1)總量，較好為65~100質量%，更好為70~100質量%，又更好為80~95質量%。 [0031] 含官能基單體(b2)舉例為上述含官能基單體(a2)中例示之具有官能基之單體，較好為選自由含羥基之單體、含羧基之單體及含環氧基之單體中之1種以上。作為該等具體化合物可例示與作為(a2)成分而例示之化合物相同者。 且，作為含官能基之單體(b2)較好為含羥基之單體，其中更好為(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯等之各種(甲基)丙烯酸羥基烷酯。藉由使用(甲基)丙烯酸羥基烷酯，可較容易地使丙烯酸系共聚物(B0)與聚合性化合物(Xb)反應。 [0032] 又，丙烯酸系聚合物(A)中使用之含官能基單體(a2)與丙烯酸系聚合物(B)中使用之含官能基單體(b2)中之官能基可互為相同亦可不同，較好為不同。亦即，例如含官能基之單體(a2)若為含羧基之單體，則含官能基之單體(b2)較好為含羥基之單體。如此，相互之官能基若不同，則例如丙烯酸系聚合物(B)可藉由後述交聯劑優先交聯，易使上述黏著片之保持性能等更良好。 [0033] 丙烯酸系共聚物(B0)中之源自含官能基單體(b2)之構成單位含量，相對於丙烯酸系共聚物(B0)之全部構成單位(100質量%)，較好為5~50質量%，更好為10~45質量%，又更好為15~40質量%，再更好為20~35質量%。若為5質量%以上，可確保與聚合性化合物(Xb)之反應點較多，容易於側鏈導入能量性聚合性。且，若為50質量%以下，則所形成之中間層形狀可充分維持。 [0034] 丙烯酸系共聚物(B0)可為烷基(甲基)丙烯酸酯(b1)與含官能基單體(b2)之共聚物，亦可為(b1)成分、(b2)成分及該等(b1)及(b2)成分以外之其他單體(b3)之共聚物。 作為其他單體(b3)舉例為作為上述單體(a3)所例示者。 丙烯酸系共聚物(B0)中之源自含其他單體(b3)之構成單位含量，相對於丙烯酸系共聚物(B0)之全部構成單位(100質量%)，較好為0~30質量%，更好為0~20質量%，又更好為0~10質量%，再更好為0~5質量%。 [0035] 聚合性化合物(Xb)係具有能量線聚合性基與可與丙烯酸系共聚物(B0)中之源自(b2)成分之構成單位中之官能基反應之取代基(以下亦簡稱為「反應性取代基」)之化合物。 作為能量線聚合性基，如上述，舉例為(甲基)丙烯醯基、乙烯基等，較好為(甲基)丙烯醯基。又，聚合性化合物(Xb)較好為每1分子具有1~5個能量線聚合性基之化合物。 作為聚合性化合物(Xb)中之反應性取代基只要根據含官能基之單體(b2)具有之官能基適當變更即可，但舉例為例如異氰酸酯基、羧基、環氧基等，基於反應性等之觀點，較好為異氰酸酯基。聚合性化合物(Xb)具有異氰酸酯基時，例如含官能基之單體(b2)之官能基為羥基時，可容易與丙烯酸系共聚物(B0)反應。 [0036] 作為具體的聚合性化合物(Xb)舉例為例如異氰酸(甲基)丙烯醯基氧基乙酯、異氰酸間-異丙烯基-α,α-二甲基苄酯、異氰酸(甲基)丙烯醯基酯、異氰酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸等。該等聚合性化合物(Xb)可單獨使用或組合2種以上使用。 該等中，基於具有較佳之異氰酸酯基作為上述反應性取代基，且主鏈與能量線聚合性基之距離適當之化合物之觀點，較好為異氰酸(甲基)丙烯醯基氧基乙酯。 聚合性化合物(Xb)於丙烯酸系共聚物(B1)中之源自含官能基單體(b2)之官能基總量(100當量)中，較好40~98當量，更好50~95當量，又更好60~90當量，再更好70~85當量與官能基反應。 [0037] 由下述式(1)算出之α值係成為表示丙烯酸系共聚物(B1)具有之能量線聚合性基之數的指標者。丙烯酸系聚合物(B1)中，α值較好為5~40，更好為10~35，又更好為15~30。 藉由以後述之摻合量使用具有此等α值之丙烯酸系共聚物(B1)，易於將中間層之彈性係數調整於期望範圍。(式(1)中，[Pb
]表示相對於丙烯酸系共聚物(B0)之全部構成單位100質量份之源自含官能基之單體(b2)之構成單位的含量，[Qb
]表示相對於丙烯酸系共聚物(B0)具有之源自含官能基之單體(b2)之官能基100當量，聚合性化合物(Xb)之當量，[Rb
]表示聚合性化合物(Xb)具有之能量線聚合性基之數)。 [0038] 中間層形成用組成物中，丙烯酸系聚合物(B)之含量，相對於丙烯酸系聚合物(A)100質量份，較好未滿25質量份，更好為1~24質量份，又更好為8~23質量份。藉由將(B)成分之含量設為如此比較少，而成為中間層之應力緩和性提高、凹凸追隨性高的中間層。 又，丙烯酸系聚合物(B)之含量較少時，由於能量線硬化後之中間層之彈性係數不會變得那麼高，故可減小上述之彈性係數差，易防止層間剝離。 [0039] [交聯劑] 中間層形成用組成物較好進而含有交聯劑。作為交聯劑，舉例為異氰酸酯系交聯劑、環氧系交聯劑、氮丙啶系交聯劑、金屬螯合劑系交聯劑，該等中，較好為異氰酸酯系交聯劑。使用異氰酸酯系交聯劑時，例如(B)成分具有羥基時，交聯劑使丙烯酸系聚合物(B)優先交聯。 中間層形成用組成物藉由例如塗佈後加熱，而藉由交聯劑交聯。中間層藉由使丙烯酸系聚合物尤其是低分子量之丙烯酸系聚合物(B)等交聯而適當形成塗膜，易發揮作為中間層之功能。 交聯劑含量，相對於丙烯酸系聚合物(A)100質量份，較好為0.1~10質量份，更好為0.5~7質量份，又更好為1~5質量份。 [0040] 作為異氰酸酯系交聯劑，舉例為聚異氰酸酯化合物。作為聚異氰酸酯化合物之具體例舉例為甲苯二異氰酸酯、二苯基甲烷二異氰酸酯、二甲苯二異氰酸酯等之芳香族聚異氰酸酯；六亞甲基二異氰酸酯等之脂肪族聚異氰酸酯；異佛酮二異氰酸酯、氫化二苯基甲烷二異氰酸酯等之脂環族聚異氰酸酯等。且，亦舉例為該等之縮脲體、異氰脲酸酯體，進而為與乙二醇、丙二醇、新戊二醇、三羥甲基丙烷、蓖麻油等之低分子含活性氫化合物之反應物的加成體等。 該等可單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。又，上述中，較佳為甲苯二異氰酸酯等之芳香族聚異氰酸酯之多元醇(例如三羥甲基丙烷等)加成體。 [0041] 又，作為環氧系交聯劑舉例為例如1,3-雙(N,N’-二縮水甘油基胺基甲基)環己烷、N,N,N’,N’-四縮水甘油基-間-二甲苯二胺、乙二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚、三羥甲基丙烷二縮水甘油醚、二縮水甘油基苯胺、二縮水甘油胺等。該等可單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 作為金屬螯合物系交聯劑舉例為例如於鋁、鐵、銅、鋅、錫、鈦、鎳、銻、鎂、釩、鉻、鋯等之多價金屬上配位乙醯基丙酮、乙醯乙酸乙酯、三(2,4-戊二酸酯)等之化合物等。該等可單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 作為氮丙啶系交聯劑舉例為例如二苯基甲烷-4,4’-雙(1-氮丙啶碳醯胺)、三羥甲基丙烷三-β-氮丙啶基丙酸酯、四羥甲基甲烷三-β-氮丙啶基丙酸酯、甲苯-2,4-雙(1-氮丙啶碳醯胺)、三伸乙基三聚氰胺、雙間苯二甲醯基-1-(2-甲基氮丙啶)、三-1-(2-甲基氮丙啶)膦、三羥甲基丙烷三-β-(2-甲基氮丙啶)丙酸酯、六[1-(2-甲基)-氮丙啶基]三磷雜三嗪等。 [0042] [光聚合起始劑] 中間層形成用組成物較好進而含有光聚合起始劑。藉由中間層形成用組成物含有光聚合起始劑，易於進行中間層形成用組成物之利用紫外線等之能量線硬化。 作為光聚合起始劑，舉例為例如苯乙酮、2,2-二乙氧基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮、米氏酮、苯偶因、苯偶因甲醚、苯偶因乙醚、苯偶因異丙醚、苯偶因異丁醚、苄基二苯硫化物、四甲基秋蘭姆單硫化物、苄基二甲基縮醛、聯苯醯、聯乙醯、1-氯蒽醌、2-氯蒽醌、2-乙基蒽醌、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1-羥基環己基苯基酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉丙酮-1、2-苄基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉苯基)丁酮-1、2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、二乙基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基-氧化膦等之低分子量聚合起始劑、寡聚{2-羥基-2-甲基-1-[4-(1甲基乙烯基)苯基]丙酮}等之寡聚合化之聚合起始劑等。該等可單獨使用，亦可併用2種以上。且，該等中，較好為1-羥基環己基苯基酮。 光聚合起始劑之含量，相對於丙烯酸系聚合物(A)100質量份，通常為0.3~15質量份，但為了即使較少的丙烯酸系聚合物(B)之含量亦可充分進行硬化，硬化後之中間層之彈性係數易提高，含量較多較佳，較好1~10質量份，更好為3~8質量份。 [0043] 中間層形成用組成物在不損及本發明效果之範圍內，亦可含有其他添加劑。作為其他添加劑舉例為例如抗氧化劑、軟化劑(可塑劑)、填充劑、防鏽劑、顏料、染料、黏著賦予劑等。含有該等添加劑時，各添加劑之含量，相對於丙烯酸系聚合物(A)100質量份，較好為0.01~6質量份，更好為0.01~2質量份。 又，中間層之厚度可對應於例如被黏著體的晶圓表面形成之凸塊高度等適當選擇，但較好為10~800μm，更好為15~600μm，又更好為20~500μm。 [0044] ＜黏著劑層＞ 黏著片中，黏著劑層係形成於中間層上的層，黏著片係藉由黏著劑層貼附於被黏著體。黏著劑層通常直接形成於中間層上。黏著劑層係如上述之能量線硬化性之層。黏著薄片於能量線照射前，具有可充分保持工件之高黏著力，但於能量線照射後，因黏著劑層硬化而使黏著力降低，而可容易自被黏著體的晶圓等剝離。 [0045] 黏著劑層之能量線硬化後之在23℃中之彈性係數較好為1~60MPa，更好為1.5~30MPa，又更好為1.8~12MPa。藉由使黏著劑層於能量線硬化後之彈性係數為此等範圍，可減小上述之彈性係數差。且，能量線照射前易於展現作為黏著劑層之適當黏著性。再者，因彈性係數為該等範圍內，故更易提高層間強度。 [0046] 形成黏著劑層之黏著劑組成物含有例如丙烯酸系聚合物、聚胺基甲酸酯、橡膠系聚合物、聚烯烴、聚矽氧等作為可對黏著劑層展現黏著性之黏著劑成分(黏著性樹脂)。該等中，較好為丙烯酸系聚合物。 形成黏著劑層之黏著劑組成物亦可藉由摻合與黏著性樹脂不同之能量線硬化性化合物而具有能量線硬化性，但較好上述之黏著性樹脂本身具有能量線硬化性。黏著性樹脂本身具有能量線硬化性時，對黏著性樹脂導入能量線聚合性基，但較好於黏著性樹脂之主鏈或側鏈導入能量線聚合性基。 [0047] 且，摻合與黏著性樹脂不同之能量線硬化性化合物時，作為該能量線硬化性化合物係使用具有能量線聚合性基之單體、寡聚物。寡聚物係重量平均分子量(Mw)未滿10000之寡聚物，舉例為例如胺基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯。又黏著性樹脂本身具有能量線硬化性時，黏著劑組成物中亦可摻合黏著性樹脂以外之能量線硬化性化合物。 [0048] 以下針對黏著劑組成物中含有之能量線硬化性之黏著性樹脂為丙烯酸系聚合物(以下亦稱為“丙烯酸系聚合物(C)”)之情況詳細說明。 [丙烯酸系聚合物(C)] 丙烯酸系聚合物(C)係導入有能量線聚合性基且具有源自(甲基)丙烯酸酯之構成單位之丙烯酸系聚合物。能量線聚合性基較好導入丙烯酸系聚合物之側鏈。 丙烯酸系聚合物(C)較好含有使丙烯酸系共聚合物(C0)與具有能量線聚合性基之聚合性化合物(Xc)反應而成之反應物即丙烯酸系共聚合物(C1)，該丙烯酸系共聚合物(C0)具有源自烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)之構成單位，與源自含官能基之單體(c2)之構成單位，更好丙烯酸系聚合物(C)係由該丙烯酸系共聚合物(C1)所成。 又，丙烯酸系共聚物(C0)之共聚合形態並未特別限定，可為嵌段共聚物、無規共聚物等之任一者。丙烯酸系共聚物(C1)之含量，相對於黏著劑組成物中所含之(C)成分之總量(100質量%)，較好為70~100質量%，更好為80~100質量%，又更好為90~100質量%，再更好為100質量%。 [0049] 作為烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)係使用烷基之碳數為1~18的烷基(甲基)丙烯酸酯，作為其具體例，舉例為作為(a1)成分例示者，該等可單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 丙烯酸系共聚物(C0)中之源自烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)之構成單位含量，基於提高所形成之黏著劑層之黏著力之觀點，相對於丙烯酸系共聚物(C0)之全部構成單位(100質量%)，較好為50~99質量%，更好為60~98質量%，又更好為70~97質量%，再更好為80~96質量%。 [0050] 又，烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)與(a1)、(b1)成分同樣，較好為烷基之碳數為1~8的烷基(甲基)丙烯酸酯，進而更好包含烷基之碳數係4~8的烷基(甲基)丙烯酸酯(亦即單體(Y))。又作為單體(Y)而使用之較佳化合物與上述(a1)、(b1)同樣，其中特佳為(甲基)丙烯酸正丁酯。 其中，烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)可全部為單體(Y)，但為了將黏著劑層之黏著性能或彈性係數較佳地調整，較好一部分為單體(Y)。具體而言，單體(Y)相對於烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)總量，較好為65~98質量%，更好為70~95質量%，又更好為75~90質量%。 [0051] 例如，烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)除了上述單體(Y)以外，亦可含有(甲基)丙烯酸乙酯。若使用(甲基)丙烯酸乙酯，則即使能量線硬化後仍易使黏著劑層之彈性係數降低，易減小與中間層之彈性係數差。且，易將黏著劑層之黏著性能調整於期望者。 再者，烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)除了上述單體(Y)及(甲基)丙烯酸乙酯以外，亦可含有(甲基)丙烯酸甲酯。藉由含有(甲基)丙烯酸甲酯，易將黏著劑層之黏著性能調整於期望者。 [0052] (甲基)丙烯酸乙酯與(甲基)丙烯酸甲酯之合計量，相對於烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)總量，較好為2~35質量%，更好為5~30質量%，又更好為10~25質量%。 又，(甲基)丙烯酸乙酯相對於烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)總量，較好為2~30質量%，更好為5~25質量%，又更好為10~20質量%。 [0053] 作為含官能基之單體(c2)舉例為作為上述含官能基之單體(a2)所例示之具有官能基之單體，具體而言較好為選自由含羥基之單體、含羧基之單體及含環氧基之單體中之1種以上。作為該等具體化合物可例示與作為(a2)成分而例示之化合物相同者。 [0054] 作為含官能基之單體(c2)，上述中，更好為含羥基之單體，其中更好為(甲基)丙烯酸羥基烷酯，又更好為(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯，特佳為(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯。 藉由使用(甲基)丙烯酸羥基烷酯作為(c2)成分，可較容易地使丙烯酸系共聚物(C0)與聚合性化合物(Xc)反應。且，使用(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯時，中間層之拉伸強度變高，易防止糊劑殘留。 [0055] 丙烯酸系共聚物(C0)中之源自含官能基之單體(c2)之構成單位含量，相對於丙烯酸系共聚物(C0)之全部構成單位(100質量%)，較好為1~40質量%，更好為2~30質量%，又更好為3~25質量%，再更好為4~15質量%。 含量若為1質量%以上，則成為與聚合性化合物(Xc)之反應點的官能基可確保一定量。因此，由於藉由能量線照射可使黏著劑層適當硬化，故可減低能量線照射後之黏著力。再者，易提高黏著劑層與中間層之能量線照射後之層間強度。且，含量若為40質量%以下，則塗佈黏著劑組成物之溶液，形成黏著劑層時，可確保充分之可用壽命。 [0056] 丙烯酸系共聚物(C0)可為烷基(甲基)丙烯酸酯(c1)與含官能基之單體(c2)之共聚物，但亦可為(c1)成分、(c2)成分與該等(c1)及(c2)成分以外之其他單體(c3)之共聚物。 作為其他單體(c3)可舉例為作為上述單體(a3)例示者。 丙烯酸系共聚物(C0)中，源自其他單體(c3)之構成單位含量，相對於丙烯酸系共聚物(C0)之全部構成單位(100質量%)，較好為0~30質量%，更好為0~20質量%，又更好為0~10質量%，再更好為0~5質量%。 [0057] 聚合性化合物(Xc)與上述之聚合性化合物(Xb)同樣，係具有能量線聚合性基與可與丙烯酸系共聚物(C0)中之源自(c2)成分之構成單位中之官能基反應之取代基(反應性取代基)之化合物，較好為每1分子具有1~5個能量線聚合性基之化合物。 反應性取代基及能量線聚合性基之具體例與聚合性化合物(Xb)同樣，因此，反應性取代基較好為異氰酸酯基，能量線聚合性基較好為(甲基)丙烯醯基。 又，作為聚合性化合物(Xc)，舉例為與作為上述之聚合性化合物(Xb)所例示者同樣者，較好為異氰酸(甲基)丙烯醯基氧基乙酯。又，聚合性化合物(Xc)可單獨使用或組合2種以上使用。 聚合性化合物(Xc)於丙烯酸系共聚物(C0)中之源自含官能基單體(c2)之官能基總量(100當量)中，較好30~98當量，更好40~95當量，又更好50~92當量，再更好80~92當量與官能基反應。 [0058] 丙烯酸系共聚物(C)之重量平均分子量(Mw)較好為10萬~150萬，更好為25萬~100萬，又更好為30萬~90萬，再更好為35萬~80萬。藉由具有此Mw，可對黏著劑層賦予適當黏著性。 黏著劑組成物中之丙烯酸系共聚物(C)之含量，相對於黏著劑組成物之總量(100質量%)，較好為70~99質量%，更好為75~98質量%，又更好為80~96質量%以上。 [0059] 由下述式(2)算出之β值係成為表示丙烯酸系共聚物(C1)具有之能量線聚合性基之數的指標者。丙烯酸系聚合物(C1)中，由下述式(2)算出之β值較好為0.5~30，更好為1.0~20，又更好為1.2~15，再更好為2~12。 藉由使黏著劑層含有具有此等β值之丙烯酸系共聚物(C1)，易於將黏著劑層之彈性係數調整於期望範圍。(式(2)中，[Pc
]表示相對於丙烯酸系共聚物(C0)之全部構成單位100質量份之源自含官能基之單體(c2)之構成單位的含量，[Qc
]表示相對於丙烯酸系共聚物(C0)具有之源自含官能基之單體(c2)之官能基100當量，聚合性化合物(Xc)之當量，[Rc
]表示聚合性化合物(Xc)具有之能量線聚合性基之數)。 [0060] [交聯劑] 黏著劑組成物較好進而含有交聯劑。黏著劑組成物藉由例如塗佈後加熱，而藉由交聯劑交聯。黏著劑層藉由交聯劑使丙烯酸系聚合物(C)交聯而適當形成塗膜，易發揮作為黏著劑層之功能。 作為交聯劑，舉例為異氰酸酯系交聯劑、環氧系交聯劑、氮丙啶系交聯劑、螯合劑系交聯劑，該等中，較好為異氰酸酯系交聯劑。交聯劑可單獨使用或組合2種以上使用。又，異氰酸酯系交聯劑之具體例舉例為作為中間層形成用組成物中可使用之交聯劑而例示者，其較佳化合物亦相同。 交聯劑含量，相對於丙烯酸系聚合物(C) 100質量份，較好為0.01~10質量份，更好為0.1~7質量份，又更好為0.3~4質量份。 [0061] [光聚合起始劑] 黏著劑組成物較好進而含有光聚合起始劑。作為光聚合起始劑，舉例為作為上述之中間層形成用組成物中使用之光聚合起始劑而例示者。又光聚合起始劑可單獨使用或組合2種以上使用。又，上述中，較好為2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1-羥基環己基苯基酮。 光聚合起始劑之含量，相對於丙烯酸系聚合物(C)100質量份，通常為0.5~15質量份，更好1~12質量份，更好為4.5~10質量份。如此光聚合起始劑之含量比較高時，易提高硬化後之黏著劑層之彈性係數。 [0062] 黏著劑組成物在不損及本發明效果之範圍內，亦可含有其他添加劑。作為其他添加劑舉例為例如黏著賦予劑、抗氧化劑、軟化劑(可塑劑)、填充劑、防鏽劑、顏料、染料等。含有該等添加劑時，各添加劑之含量，相對於丙烯酸系聚合物(C)100質量份，較好為0.01~6質量份，更好為0.01~2質量份。 黏著劑層之厚度較好為1~100μm，更好為1~75μm，又更好為3~50μm。 [0063] 又，黏著劑層之上述彈性係數於例如使用丙烯酸系聚合物(C)時，可藉由構成丙烯酸系聚合物(C)之單體種類及量、導入丙烯酸系聚合物(C)之能量線聚合性基之量(β之值)等而調整。例如若增加能量線聚合性基之量(β之值)，則有彈性係數變高之傾向。再者，亦可藉由摻合於黏著劑層之交聯劑之量、光聚合起始劑之量等而適當調整。 [0064] 基於於基材、剝離材等之面上形成中間層、黏著劑層時，提高塗佈性之觀點，中間層形成用組成物及黏著劑組成物各亦可進而以有機溶劑稀釋，作為中間層形成用組成物及黏著劑組成物之溶液形態。 作為有機溶劑舉例為例如甲基乙基酮、丙酮、乙酸乙酯、四氫呋喃、二噁烷、環己烷、正己烷、甲苯、二甲苯、正丙醇、異丙醇等。又使用之有機溶劑可直接使用(A)~(C)成分合成時使用之有機溶劑，亦可添加合成時使用之有機溶劑以外之1種以上之有機溶劑。 成為如上述之溶液之形態時，作為溶液之固形分濃度，較好為5~70質量%，更好為10~60質量%，又更好為15~50質量%。 [0065] ＜基材＞ 黏著片中使用之基材，基於可使對工件之保持性能良好等之觀點，較好為樹脂薄膜。作為樹脂薄膜舉例為例如聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚丁烯薄膜、聚丁二烯薄膜、聚甲基戊烯薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物(EVA)薄膜、聚對苯二甲酸乙二酯薄膜、聚萘二甲酸乙二酯薄膜、聚對苯二甲酸丁二酯薄膜、乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物薄膜、乙烯-(甲基)丙烯酸酯共聚物薄膜、聚碳酸酯系薄膜、聚苯乙烯系薄膜、聚苯硫醚系薄膜、環烯烴聚合物系薄膜、聚胺基甲酸酯系薄膜、離子聚合物樹脂薄膜、聚醯亞胺系薄膜、氟樹脂薄膜等。 [0066] 基材可為僅具有由1種上述樹脂之樹脂薄膜，亦可為具有2種以上者。例如可為由一種樹脂薄膜所成之單層薄膜，亦可為由複數之樹脂薄膜層合而成之多層薄膜。又，樹脂薄膜亦可為該等之交聯薄膜。 上述樹脂薄膜中，為了更提高工件之保持性能，較好為聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物(EVA)薄膜、聚對苯二甲酸乙二酯薄膜。 又，樹脂薄膜亦可含有習知填充劑、著色劑、抗靜電劑、抗氧化劑、有機滑劑、觸媒等。又，樹脂薄膜可為透明，亦可依據期望予以著色等。 基材厚度較好為10~500μm，更好為15~300μm，又更好為20~200μm。 [0067] ＜剝離材＞ 本發明之晶圓保護用黏著片，於黏著劑層上亦可進而具有剝離材。 作為剝離材，舉例為經雙面剝離處理之剝離片、經單面剝離處理之剝離片等。該等剝離片舉例為於剝離材用基材上塗佈剝離劑者等。 作為剝離材用基材舉例為例如作為上述基材使用之樹脂薄膜，較好為聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚萘二甲酸乙二酯等之聚酯系薄膜，及聚丙烯、聚乙烯等之聚烯烴系薄膜。 作為剝離劑舉例為例如聚矽氧系樹脂、烯烴系樹脂、異戊二烯系樹脂、丁二烯系樹脂等之橡膠系彈性體、長鏈烷基系樹脂、醇酸系樹脂、氟系樹脂等。 剝離材厚度並未特別限定，但較好為10~200μm，更好為20~150μm。 [0068] [黏著片之製造方法] 作為本發明之晶圓保護用黏著片之製造方法並未特別限定，可依據習知方法製造。 例如可藉由準備於基材之一面上設置中間層之附中間層之基材，於該附中間層之基材的中間層上進而層合黏著劑層而製造。 附中間層之基材可藉由於例如基材之一面上塗佈中間層形成用組成物或其溶液，隨後加熱並乾燥而形成中間層而製作。或者，於剝離材之剝離處理面上塗佈中間層形成用組成物或其溶液，隨後加熱並乾燥而於剝離材上形成中間層，將該中間層貼合於基材上，亦可獲得附中間層之基材。又，剝離材只要在黏著劑層層合於中間層上之前剝離即可。 [0069] 黏著劑層係在與製作中間層時使用之剝離材不同的剝離材的剝離處理面上塗佈黏著劑組成物或其溶液，並加熱及乾燥而形成黏著劑層，將該附剝離材之黏著劑層貼合於中間層上即可。剝離材可自黏著劑層剝離，亦可直接作為設於黏著劑層上之剝離材使用。 又，黏著劑層亦可於附中間層之基材的中間層上，直接塗佈黏著劑組成物，隨後加熱乾燥而形成。該情況下，黏著劑層上亦可進而貼合剝離材。 [0070] 作為中間層形成用組成物、黏著性組成物或該等之溶液塗佈於基材或剝離材上之方法，舉例為例如旋轉塗佈法、噴霧塗佈法、棒塗佈法、刮刀塗佈法、輥塗佈法、刮板塗佈法、模嘴塗佈法、凹版塗佈法等。 又，形成較厚中間層時，亦可於剝離材之剝離處理面上塗佈中間層形成用組成物之溶液並乾燥形成2層以上之中間層，使其中間層相互貼合，或於基材上依序層合複數中間層，形成中間層。關於黏著劑層亦相同。 [0071] [黏著片之使用方法] 本發明之黏著片係貼附於半導體晶圓等之各種工件，加工工件時所使用者，較好係貼附於具有凹凸或突起之工件面上而使用。 又，更好貼附於半導體晶圓表面，尤其是貼附於形成有凸塊之晶圓表面，作為半導體晶圓表面保護用黏著片而使用。又，黏著片又更好貼附於半導體晶圓表面，於隨後之晶圓背面研削時，作為保護形成於晶圓表面之電路之背面研磨膠帶使用。本發明之黏著片具有中間層時，由於即使晶圓表面因凸塊等而有高低差，其嵌埋性亦良好，故晶圓表面之保護性能良好。 [0072] 本發明之黏著劑層及中間層為能量線硬化型。因此，貼附於半導體晶圓等之工件表面之黏著片照射能量線進行能量線硬化後，自工件表面剝離。藉此，黏著片由於黏著力降低後予以剝離，故其剝離性良好。又，硬化後之黏著片於剝離時，如上述可防止於黏著劑層與中間層之間發生之層間剝離，於晶圓表面不易發生糊劑殘留。 又，黏著片之用途，不限定於背面研磨片，亦可使用於其他用途。例如，黏著片亦可貼附於晶圓背面，於切割晶圓時作為保持晶圓之切割片而使用。該情況之晶圓亦可為形成貫通電極者等，亦可為於晶圓背面形成有凸塊等之突起或凹凸者。 實施例 [0073] 以下，基於實施例進一步詳細說明本發明，但本發明不限定於該等例。 [0074] 本發明中之測定方法、評價方法如下。 [重量平均分子量(Mw)] 使用凝膠滲透層析裝置(製品名「HLC-8220」，TOSOH股份有限公司製)於下述條件下測定，使用以標準聚苯乙烯換算而測定之值。 (測定條件) 管柱：「TSK防護管柱HLX-H」、「TSK gel GMHXL (×2)」、「TSK gel G2000MHXL」(均為TOSOH股份有限公司製) 管柱溫度：40℃ 展開溶劑：四氫呋喃 流速：1.0mL/min [0075] [彈性係數測定] 使用各實施例及比較例所用之中間層形成用組成物、黏著劑組成物，準備於兩面貼附有聚對苯二甲酸乙二酯(PET)系剝離薄膜(LINTEC股份有限公司製，製品名「SP-PET381031」，厚：38μm)之厚200μm之中間層、黏著劑層。又，厚200μm之中間層可為藉由與實施例、比較例同樣之方法，準備複數片於剝離薄膜上形成之厚50μm之中間層，並依序層合而得。關於黏著劑層亦相同。 隨後，以紫外線照射裝置(LINTEC股份有限公司製，製品名「RAD-2000m/12」)，以照度230mW/cm2
、光量500mJ/cm2
，對中間層、黏著劑層照射紫外線。其次，將以紫外線硬化之中間層、黏著劑層切成4mm×50mm之大小，作為用以測定黏彈性之試料。使用該試料，藉由黏彈性測定裝置(ORIENTEC公司製，製品名「RHEOVIBRON」)，以3℃/分鐘之升溫速度測定-30~200℃之儲存彈性係數(頻率：1Hz)，將23℃中之儲存彈性係數之值設為各層之能量線硬化後之彈性係數。 [0076] [層間強度測定] 於SUS板上貼附雙面膠帶(LINTEC股份有限公司，商品名「TACKLINER」)，於其上貼附切割膠帶(LINTEC股份有限公司，製品名「ADWILL D-510T」)之基材面，並且於切割膠帶之黏著劑面，以黏著片之黏著劑層側之面接著於切割膠帶之黏著劑面之方式貼附實施例及比較例製作且剝離薄膜經剝離之黏著片(長200mm，寬25mm)。隨後，使用LINTEC股份有限公司製之RAD-2000m/12對製作之樣品照射UV(照度：230mW/cm2
，光量：500mJ/cm2
)，以島津股份有限公司製作所製「AUTOGRAPH AG-IS 1kN」，於23℃、50% RH環境下，以剝離速度600m/分鐘、剝離角度180°剝離，測定中間層與黏著劑層之層間強度。 [0077] [實施例1] [附中間層基材A之製作] 準備使丙烯酸正丁酯(BA) 91質量份與丙烯酸(AA)9質量份共聚合而成之丙烯酸系共聚物(重量平均分子量：600,000)作為丙烯酸系聚合物(A)。且準備使由丙烯酸正丁酯(BA)62質量份、甲基丙烯酸甲酯(MMA)10質量份、丙烯酸2-羥基乙酯(2HEA) 28質量份共聚合而成之丙烯酸系共聚物，以對於2HEA之羥基(100當量)附加率為80當量之方式附加異氰酸甲基丙烯醯基氧基乙酯(昭和電工股份有限公司製，製品名「KARENZ MOI」)所得之丙烯酸系共聚物(重量平均分子量：100,000)作為丙烯酸系聚合物(B)。 於丙烯酸系聚合物(A)100質量份中添加丙烯酸系聚合物(B)13質量份、作為交聯劑之三羥甲基丙烷加成甲苯二異氰酸酯(TOSOH股份有限公司製，製品名「CORONATE L」) 2.2質量份及作為光聚合起始劑之1-羥基環己基苯基酮(BASF公司製，製品名「Irgacure 184」)3.71質量份，使用甲苯調整至固形分濃度37質量%，進行30分鐘攪拌，獲得中間層形成用組成物之溶液。 [0078] 其次，將中間層形成用組成物之溶液塗佈於PET系剝離薄膜(LINTEC股份有限公司，製品名「SP-PET381031」，厚38μm)，於100℃加熱2分鐘並乾燥，形成附剝離薄膜之中間層。中間層厚度為50μm。準備2片該附剝離薄膜之中間層。其次，將一附剝離薄膜之中間層的中間層側貼合於作為基材之乙烯-乙酸乙烯酯薄膜(GUNZE股份有限公司製，製品名「FUNCRARE LEB」，厚120μm)，剝除中間層上之剝離薄膜。隨後，將另一附剝離薄膜之中間層進而貼合於層合於基材上之中間層上，中間層厚為100μm，獲得由剝離材/中間層/基材所成之附中間層之基材A。 [0079] (黏著片之製作) 準備使由丙烯酸正丁酯(BA)70質量份、丙烯酸乙酯(EA)15質量份、甲基丙烯酸甲酯(MMA) 5質量份及丙烯酸4-羥基丁酯(4HBA)10質量份共聚合而成之丙烯酸系共聚物，以對於4HBA之羥基(100當量)附加率為90當量之方式附加異氰酸甲基丙烯醯基氧基乙酯(昭和電工股份有限公司製，製品名「KARENZ MOI」)所得之丙烯酸系共聚物(重量平均分子量：600,000)作為丙烯酸系聚合物(C)。 於丙烯酸系聚合物(C) 100質量份中添加作為交聯劑之三羥甲基丙烷加成甲苯二異氰酸酯(TOSOH股份有限公司製，製品名「CORONATE L」)1.5質量份及作為光聚合起始劑之2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮(BASF公司製，Irgacure 651)7.3質量份，使用甲苯調整至固形分濃度20質量%，進行30分鐘攪拌，獲得黏著劑組成物之溶液。 其次，將黏著劑組成物之溶液塗佈於PET系剝離薄膜(LINTEC股份有限公司，製品名「SP-PET381031」，厚：38μm)，於90℃加熱1分鐘並乾燥，調製厚度10μm之黏著劑層。去除先前製作之附中間層之基材A上之剝離薄膜，將露出之中間層貼合於黏著劑層上，獲得由剝離材/黏著劑層/中間層/基材所成之黏著片。 [0080] [實施例2] (附中間層之基材B之製作) 除了丙烯酸系聚合物(B)之添加量變更為23質量份以外，與實施例1同樣實施，製作附中間層之基材B。 (黏著薄片之製作) 準備使由丙烯酸正丁酯(BA)74質量份、甲基丙烯酸甲酯(MMA)20質量份及丙烯酸2-羥基乙酯(2HEA)6質量份共聚合而成之丙烯酸系共聚物，以對於2HEA之羥基(100當量)附加率為50當量之方式附加異氰酸甲基丙烯醯基氧基乙酯(昭和電工股份有限公司製，製品名「KARENZ MOI」)所得之丙烯酸系共聚物(重量平均分子量：600,000)作為丙烯酸系聚合物(C)。 於丙烯酸系聚合物(C)100質量份中添加作為交聯劑之三羥甲基丙烷加成甲苯二異氰酸酯(TOSOH股份有限公司製，製品名「CORONATE L」)0.5質量份及作為光聚合起始劑之1-羥基環己基苯基酮(BASF公司製，Irgacure 184)6.0質量份，使用甲苯調整至固形分濃度20質量%，進行30分鐘攪拌，獲得黏著劑組成物之溶液。 其次，除了使用該黏著劑組成物之溶液且代替附中間層之基材A而使用附中間層之基材B之方面以外，與實施例1同樣製作黏著片。 [0081] [比較例1] (黏著片之製作) 準備使由丙烯酸正丁酯(BA) 52質量份、甲基丙烯酸甲酯(MMA)20質量份及丙烯酸2-羥基乙酯(2HEA)28質量份共聚合而成之丙烯酸系共聚物，以對於2HEA之羥基(100當量)附加率為90當量之方式附加異氰酸甲基丙烯醯基氧基乙酯(昭和電工股份有限公司製，製品名「KARENZ MOI」)所得之丙烯酸系共聚物(重量平均分子量：600,000)作為丙烯酸系聚合物(C)。 於丙烯酸系聚合物(C) 100質量份中添加作為交聯劑之三羥甲基丙烷加成甲苯二異氰酸酯(TOSOH股份有限公司製，製品名「CORONATE L」)0.5質量份及作為光聚合起始劑之1-羥基環己基苯基酮(BASF公司製，「Irgacure 184」)1.4質量份，使用甲苯調整至固形分濃度20質量%，進行30分鐘攪拌，獲得黏著劑組成物之溶液。使用所得黏著劑組成物，與實施例1同樣之方法製作黏著片。 [0082] [比較例2] 除了丙烯酸系聚合物(B)之添加量變更為67質量份以外，與附中間層基材A(實施例)同樣方法獲得附中間層基材C。除使用附中間層基材C以外，與實施例2同樣方法製作表面保護片。 [0083] [比較例3] 除了丙烯酸系聚合物(B)之添加量變更為107質量份以外，與附中間層基材A(實施例1)同樣方法獲得附中間層基材D。除使用附中間層基材D以外，與實施例2同樣方法製作表面保護片。 [0084][0085] 如由以上實施例1、2所了解，藉由將彈性係數差設為20MPa以下之較小，可使層間強度變高，故使半導體加工用黏著片硬化並自工件剝離時，可防止於中間層與黏著劑層之間產生之層間剝離。 相對於此，比較例1~3中，因彈性係數差較大故層間強度變低，故使半導體加工用黏著片硬化並自工件剝離時，無法充分防止中間層與黏著劑層之間產生之層間剝離。