TW201815985A - 近紅外線吸收有機顏料、顏料分散液、硬化性組成物、膜、近紅外線截止濾波器、積層體、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種可見透明性及耐熱性優異之近紅外線吸收有機顏料。又,提供一種顏料分散液、硬化性組成物、膜、近紅外線截止濾波器、積層體、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器。一種近紅外線吸收有機顏料,於粉末X射線繞射光譜中,在繞射角度2θ為5~12°的區域具有繞射強度的峰,前述區域中之繞射強度最大的峰的半峰全寬為0.3~0.6°。
Description
本發明係有關一種近紅外線吸收有機顏料、顏料分散液、硬化性組成物、膜、近紅外線截止濾波器、積層體、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器。
視訊攝影機、數位照相機、帶有相機功能之行動電話等中使用彩色圖像的固體攝像元件亦即CCD(電荷耦合元件)或CMOS(互補金屬氧化物半導體)。該等固體攝像元件在其受光部使用對紅外線具有靈敏度之矽光二極體,因此有時使用近紅外線截止濾波器來進行視感度補正。
已知為了提高紅外線遮蔽性,使用包含近紅外線吸收有機顏料等近紅外線吸收劑之硬化性組成物來製造近紅外線截止濾波器之方法(例如,專利文獻1、2)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2014-191190號公報 [專利文獻2]國際公開WO2014/185518號公報
要求近紅外線吸收有機顏料等近紅外線吸收劑的紅外線遮蔽性優異,並且可見透明性優異。又,在使用包含近紅外線吸收有機顏料等之硬化性組成物來製造近紅外線截止濾波器等時,有時為了乾燥或硬化而實施加熱。然而,當近紅外線吸收有機顏料的耐熱性較低時,有時因加熱而產生著色,導致可見透明性下降。
本發明的目的在於提供一種可見透明性及耐熱性優異之近紅外線吸收有機顏料。又,提供一種顏料分散液、硬化性組成物、膜、近紅外線截止濾波器、積層體、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器。
在該種狀況下,本發明人等進行了深入研究,其結果發現,後述之近紅外線吸收有機顏料的可見透明性及耐熱性優異,並完成了本發明。本發明提供以下。 <1>一種近紅外線吸收有機顏料,其於粉末X射線繞射光譜中,在繞射角度2θ為5~12°的區域具有繞射強度的峰,前述區域中之繞射強度最大的峰的半峰全寬為0.3~0.6°。 <2>如<1>所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述半峰全寬為0.3~0.45°。 <3>如<1>或<2>所述之近紅外線吸收有機顏料,其中近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑為10~100nm。 <4>如<1>或<2>所述之近紅外線吸收有機顏料,其中近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑為20~45nm。 <5>如<1>至<4>中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的變異係數為20~35%。 <6>如<1>至<5>中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中近紅外線吸收有機顏料的平均長短邊比為0.5~0.9。 <7>如<1>至<6>中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的變異係數為10~30%。 <8>如<1>至<7>中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中近紅外線吸收有機顏料的下述式所表示之結晶度的值為0.9~0.99; 結晶度=[Ic/(Ia+Ic)] 式中,Ic係於繞射角度2θ為15°以上的區域,粉末X射線繞射光譜中源自晶體之峰的繞射強度的最大值, Ia係粉末X射線繞射光譜中源自非晶之峰的繞射強度的最大值。 <9>如<1>至<8>中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中近紅外線吸收有機顏料係選自吡咯并吡咯化合物及方酸菁化合物中之至少1種。 <10>一種顏料分散液,其包含<1>至<9>中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料、樹脂及溶劑。 <11>如<10>所述之顏料分散液,其進一步包含顏料衍生物。 <12>一種硬化性組成物,其包含<1>至<9>中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料、樹脂、硬化性化合物及溶劑。 <13>一種膜,其使用了<12>所述之硬化性組成物。 <14>一種近紅外線截止濾波器,其具有<13>所述之膜。 <15>一種積層體,其具有<13>所述之膜和包含彩色著色劑之濾色器。 <16>一種固體攝像元件,其具有<13>所述之膜。 <17>一種圖像顯示裝置,其具有<13>所述之膜。 <18>一種紅外線感測器,其具有<13>所述之膜。 [發明效果]
依本發明,能夠提供可見透明性及耐熱性優異之近紅外線吸收有機顏料。又,能夠提供顏料分散液、硬化性組成物、膜、近紅外線截止濾波器、積層體、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器。
以下,對本發明的內容進行詳細說明。 本說明書中,“~”是以將其前後所記載之數值作為下限值及上限值而包含之含義來使用。 本說明書中之基團(原子團)的標記中,未標有經取代及未經取代之標記包含不具有取代基之基團(原子團),並且還包含具有取代基之基團(原子團)。例如,“烷基”不僅包含不具有取代基之烷基(未經取代之烷基),而且還包含具有取代基之烷基(經取代之烷基)。 本說明書中,“曝光”只要沒有特別指定,則不僅包含使用了光之曝光,而且使用了電子束、離子束等粒子線之描畫亦包含於曝光中。又,作為曝光中所使用之光,可以舉出水銀燈的明線光譜、以準分子雷射為代表之遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X射線、電子束等光化射線或放射線。 本說明書中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯兩者或任意一者,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸兩者或任意一者,“(甲基)丙烯醯基”表示丙烯醯基及甲基丙烯醯基兩者或任意一者。 本說明書中,重量平均分子量及數量平均分子量以藉由凝膠滲透層析(GPC)測定之聚苯乙烯換算值來定義。本說明書中,重量平均分子量(Mw)及數量平均分子量(Mn)例如能夠藉由使用HLC-8220(TOSOH CORPORATION製造),使用TSKgel Super AWM-H(TOSOH CORPORATION製造,6.0mmID(內徑)×15.0cm)作為管柱,並使用10mmol/L溴化鋰NMP(N-甲基吡咯啶酮)溶液作為洗提液來求出。 本說明書中,近紅外線係指波長700~2500nm的光(電磁波)。 本說明書中,總固體成分係指從組成物的所有成分中去除溶劑後之成分的總質量。 本說明書中,“製程”這一術語不僅包含獨立之製程,而且在無法與其他製程明確區分之情況下,只要能夠達成該製程的所期望的作用,則亦包含於本術語中。 本說明書中,顏料係指對特定的溶劑不易溶解之化合物。例如,顏料對23℃的水100g及23℃的丙二醇單甲醚乙酸酯100g之溶解度係0.1g以下為較佳,0.01g以下為更佳。
<近紅外線吸收有機顏料> 本發明的近紅外線吸收有機顏料的特徵為,於粉末X射線繞射光譜中,在繞射角度2θ為5~12°的區域具有繞射強度的峰,前述區域中之繞射強度最大的峰的半峰全寬為0.3~0.6°。
本發明人等進行了深入研究,其結果發現,於近紅外線吸收有機顏料的粉末X射線繞射光譜中,在繞射角度2θ為5~12°的區域具有繞射強度的峰,前述區域中之繞射強度最大的峰的半峰全寬為0.3~0.6°的近紅外線吸收有機顏料的可見透明性及耐熱性優異。雖然詳細原因不明,但推測藉由前述繞射強度最大的峰的半峰全寬為0.3~0.6°,近紅外線吸收有機顏料的微晶成為適度的尺寸,散射較少,另一方面,形成締合體之顏料分子的比例變高,其結果,能夠提高可見透明性及耐熱性。近紅外線吸收有機顏料的粉末X射線繞射光譜能夠利用後述之實施例中所記載之方法進行測定。
在繞射角度2θ為6~10°的區域具有本發明的近紅外線吸收有機顏料中之前述繞射強度最大的峰為較佳,在6~9°的區域具有為更佳,在6.5~8.5°的區域具有為進一步較佳。依該態樣,能夠進一步提高可見透明性及耐熱性。又,前述繞射強度最大的峰的半峰全寬係0.3~0.45°為較佳。依該態樣,可見透明性及耐熱性特別良好。另外,本發明中,關於粉末X射線繞射光譜中之上述繞射強度最大的峰的半峰全寬,能夠藉由將繞射角度2θ在5~12°的區域中之繞射強度最大的峰擬合在勞倫茲函數[y=A/(1+((x-x0)/w)2
)+h]中而求出。其中,y為強度,A為峰高度,x為2θ,x0為峰位置,w為峰寬度(半峰半寬),h為基線(base line)。
本發明的近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑係10~100nm為較佳。下限係15nm以上為較佳,20nm以上為更佳,25nm以上為進一步較佳,30nm以上為特佳。上限係90nm以下為較佳,80nm以下為更佳,60nm以下為進一步較佳,45nm以下為特佳。近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑係20~45nm為較佳,30~45nm為特佳。藉由將近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑設為100nm以下,能夠進一步提高可見透明性。又,藉由將近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑設為10nm以上,可得到提高分散穩定性之效果。另外,隨著近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑變小,具有耐熱性容易下降之傾向,但具有上述繞射特性之近紅外線吸收有機顏料即使平均一次粒徑較小,亦具有優異之耐熱性。
本發明的近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的變異係數係20~35%為較佳。下限係21%以上為較佳,22%以上為更佳。上限係33%以下為較佳,30%以下為更佳,29%以下為進一步較佳,28%以下為進一步較佳。若近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的變異係數在上述範圍內,能夠進一步提高可見透明性。另外,由下述式定義近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的變異係數。 近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的變異係數=(近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的標準偏差/近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的算術平均值)×100
本發明的近紅外線吸收有機顏料的平均長短邊比係0.5~0.9為較佳。下限係0.53以上為較佳,0.56以上為更佳。上限係0.8以下為較佳,0.7以下為更佳。若近紅外線吸收有機顏料的平均長短邊比在上述範圍內,則能夠期待提高耐熱性之效果。
本發明的近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的變異係數係10~30%為較佳。下限係13%以上為較佳,16%以上為更佳。上限係28%以下為較佳,26%以下為更佳。若近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的變異係數在上述範圍內,則能夠期待提高可見透明性之效果。另外,由下述式定義近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的變異係數。 近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的變異係數=(近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的標準偏差/近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的算術平均值)×100
本發明中,能夠利用透射型電子顯微鏡觀察近紅外線吸收有機顏料的一次粒子,依所得到之照片求出近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑及長短邊比。具體而言,求出近紅外線吸收有機顏料的一次粒子的投影面積,將與其相對應之等效圓直徑(equivalent cirical diameter)作為近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑而進行計算。又,由投影之照片求出一次粒子的短邊與長邊之比(短邊/長邊)來計算長短邊比。又,將本發明中之平均一次粒徑及平均長短邊比設為對400個近紅外線吸收有機顏料的一次粒子之一次粒徑及長短邊比的算術平均值。又,將一次粒子的最長的直徑稱為長邊,將最短的直徑稱為短邊。亦即,在橢圓的情況下,長軸為長邊,短軸為短邊。又,近紅外線吸收有機顏料的一次粒子係指未凝聚之獨立之粒子。
本發明中,近紅外線吸收有機顏料的下述式所表示之結晶度的值係0.9~0.99為較佳,0.91~0.98為更佳,0.93~0.96為進一步較佳。若結晶度的值在上述範圍內,則能夠進一步提高耐熱性。 結晶度=[Ic/(Ia+Ic)] 式中,Ic係於繞射角度2θ為15°以上的區域,粉末X射線繞射光譜中源自晶體之峰的繞射強度的最大值, Ia係粉末X射線繞射光譜中源自非晶之峰的繞射強度的最大值。
另外,本發明中源自晶體之峰係指繞射強度的峰處之半峰全寬為1°以下的較銳的峰。又,源自非晶之峰係指繞射強度的峰處之半峰全寬超過3°之峰。又,本發明中,Ic及Ia的值係,將連結近紅外線吸收有機顏料的粉末X射線繞射光譜的繞射角度2θ在5~15°的區域中之繞射強度最低的點和在25~35°的區域中繞射強度最低的點的直線作為基線,使用從粉末X射線繞射光譜的光譜實測值減去基線的值之光譜補正值來計算之值。
本發明的近紅外線吸收有機顏料的種類只要係在近紅外線區域(較佳為700~1000nm的範圍)具有極大吸收波長之有機顏料,則並沒有特別限定。另外,有機顏料係指由有機化合物構成之顏料。本發明的近紅外線吸收有機顏料係選自吡咯并吡咯化合物、方酸菁(squarylium)化合物、花青化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物及二亞胺化合物中之至少1種為較佳,選自吡咯并吡咯化合物、方酸菁化合物及花青化合物中之至少1種為更佳,吡咯并吡咯化合物或方酸菁化合物為進一步較佳,吡咯并吡咯化合物為特佳。尤其在吡咯并吡咯化合物的情況下,能夠更加有效地提高可見透明性及耐熱性。
作為吡咯并吡咯化合物,式(PP)所表示之化合物為較佳。 [化學式1]式中,R1a
及R1b
各自獨立地表示烷基、芳基或雜芳基,R2
及R3
各自獨立地表示氫原子或取代基,R2
及R3
可以彼此鍵結而形成環,R4
各自獨立地表示氫原子、烷基、芳基、雜芳基、-BR4A
R4B
或金屬原子,R4
可以與選自R1a
、R1b
及R3
中之至少一個進行共價鍵結或配位鍵結,R4A
及R4B
各自獨立地表示取代基。
R1a
及R1b
各自獨立地表示烷基、芳基或雜芳基,芳基或雜芳基為較佳,芳基為更佳。 R1a
、R1b
所表示之烷基的碳數係1~30為較佳,1~20為更佳,1~10為特佳。 R1a
、R1b
所表示之芳基的碳數係6~30為較佳,6~20為更佳,6~12為特佳。 構成R1a
、R1b
所表示之雜芳基之碳原子的數量係1~30為較佳,1~12為更佳。作為構成雜芳基之雜原子的種類,例如可以舉出氮原子、氧原子及硫原子。作為構成雜芳基之雜原子的數量,1~3為較佳,1~2為更佳。雜芳基係單環或稠環為較佳,單環或縮合數為2~8的稠環為較佳,單環或縮合數為2~4的稠環為更佳。 上述烷基、芳基及雜芳基可以具有取代基,亦可以未經取代。具有取代基為較佳。作為取代基,可以舉出在後述之取代基T中所說明之基團。其中,烷氧基、羥基為較佳。烷氧基係具有分支烷基之烷氧基為較佳。作為R1a
、R1b
所表示之基團,係含有具有分支烷基之烷氧基作為取代基之芳基或具有羥基作為取代基之芳基為較佳。分支烷基的碳數係3~30為較佳,3~20為更佳。
R2
及R3
各自獨立地表示氫原子或取代基。R2
及R3
可以鍵結而形成環。R2
及R3
中的至少一者係吸電子基為較佳。R2
及R3
各自獨立地表示氰基或雜芳基為較佳。作為取代基,例如可以舉出日本特開2009-263614號公報的段落號0020~0022中所記載之取代基。上述內容被併入本說明書中。作為取代基,可以舉出以下的取代基T。 (取代基T) 烷基(較佳為碳數1~30)、烯基(較佳為碳數2~30)、炔基(較佳為碳數2~30)、芳基(較佳為碳數6~30)、胺基(較佳為碳數0~30)、烷氧基(較佳為碳數1~30)、芳氧基(較佳為碳數6~30)、雜芳氧基(較佳為碳數1~30)、醯基(較佳為碳數1~30)、烷氧基羰基(較佳為碳數2~30)、芳氧基羰基(較佳為碳數7~30)、醯氧基(較佳為碳數2~30)、醯胺基(較佳為碳數2~30)、烷氧基羰基胺基(較佳為碳數2~30)、芳氧基羰基胺基(較佳為碳數7~30)、胺磺醯基(較佳為碳數0~30)、胺甲醯基(較佳為碳數1~30)、烷硫基(較佳為碳數1~30)、芳硫基(較佳為碳數6~30)、雜芳硫基(較佳為碳數1~30)、烷基磺醯基(較佳為碳數1~30)、芳基磺醯基(較佳為碳數6~30)、雜芳基磺醯基(較佳為碳數1~30)、烷基亞磺醯基(較佳為碳數1~30)、芳基亞磺醯基(較佳為碳數6~30)、雜芳基亞磺醯基(較佳為碳數1~30)、脲基(較佳為碳數1~30)、磷酸醯胺基(較佳為碳數1~30)、羥基、巰基、鹵素原子、氰基、磺基、羧基、硝基、羥肟酸基、亞磺酸基、肼基、亞胺基、雜芳基(較佳為碳數1~30)。 當該等基團為可以進一步取代之基團時,可以進一步具有取代基。作為進一步的取代基,可以舉出在上述取代基T中所說明之基團。
R2
及R3
中的至少一者係吸電子基為較佳。哈米特取代基常數σ值(西格瑪值)為正的取代基作為吸電子基起作用。在此,利用哈米特方程求出之取代基常數中有σp值和σm值。該等值能夠在大量的普通出版物中查看。本發明中,能夠將哈米特取代基常數σ值為0.2以上的取代基作為吸電子基而進行例示。σ值係0.25以上為較佳,0.3以上為更佳,0.35以上為進一步較佳。上限並沒有特別限制,但較佳為0.80以下。作為吸電子基的具體例,可以舉出氰基(σp值=0.66)、羧基(-COOH:σp值=0.45)、烷氧基羰基(-COOMe:σp值=0.45)、芳氧基羰基(例如,-COOPh:σp值=0.44)、胺甲醯基(例如-CONH2
:σp值=0.36)、烷基羰基(例如-COMe:σp值=0.50)、芳基羰基(例如-COPh:σp值=0.43)、烷基磺醯基(例如-SO2
Me:σp值=0.72)、芳基磺醯基(例如,-SO2
Ph:σp值=0.68)等。在此,Me表示甲基,Ph表示苯基。另外,關於哈米特取代基常數σ值,例如能夠參閱日本特開2011-68731號公報的段落號0017~0018,該內容被併入本說明書中。
當R2
及R3
彼此鍵結而形成環時,形成5~7員環(較佳為5或6員環)為較佳。作為所形成之環,通常在部花青色素中用作酸性核者為較佳,作為其具體例,例如能夠參閱日本特開2011-68731號公報的0019~0021段,該內容被併入本說明書中。
R2
表示吸電子基(較佳為氰基),R3
表示雜芳基為較佳。雜芳基係5員環或6員環為較佳。又,雜芳基係單環或稠環為較佳,單環或縮合數為2~8的稠環為較佳,單環或縮合數為2~4的稠環為更佳。構成雜芳基之雜原子的數量係1~3為較佳,1~2為更佳。作為雜原子,例如可以例示出氮原子、氧原子、硫原子。雜芳基具有1個以上的氮原子為較佳。
當R4
表示烷基、芳基或雜芳基時,作為烷基、芳基及雜芳基,與在R1a
、R1b
中所說明之基團相同,較佳的範圍亦相同。
當R4
表示-BR4A
R4B
時,R4A
、R4B
各自獨立地表示取代基。作為R4A
及R4B
所表示之取代基,可以舉出上述取代基T,鹵素原子、烷基、烷氧基、芳基或雜芳基為較佳,烷基、芳基或雜芳基為更佳,芳基為特佳。作為-BR4A
R4B
所表示之基團的具體例,可以舉出二氟硼基、二苯基硼基、二丁基硼基、二萘基硼基、鄰苯二酚硼基。其中,二苯基硼基為特佳。
當R4
表示金屬原子時,作為金屬原子,可以舉出鎂、鋁、鈣、鋇、鋅、錫、釩、鐵、鈷、鎳、銅、鈀、銥、鉑,鋁、鋅、釩、鐵、銅、鈀、銥、鉑為特佳。
R4
可以與R1a
、R1b
及R3
中的至少1種進行共價鍵結或配位鍵結,尤其,R4
與R3
進行配位鍵結為較佳。R4
係氫原子或-BR4A
R4B
所表示之基團(尤其係二苯基硼基)為較佳。
作為式(PP)所表示之化合物的具體例,可以舉出下述化合物。以下的結構式中,Me表示甲基,Ph表示苯基。 [化學式2]
具有上述特性之近紅外線吸收有機顏料例如能夠利用調整近紅外線吸收有機顏料的粉碎條件等方法進行製造。例如,可以舉出將近紅外線吸收有機顏料在水溶性有機溶劑及水溶性無機鹽的存在下混煉研磨而進行製造之方法。較佳為混煉研磨成近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑成為10~100nm的範圍,進一步較佳為混煉研磨成近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑成為20~45nm的範圍。
水溶性無機鹽起到磨碎劑的作用,藉由與近紅外線吸收有機顏料一同被混煉而促進近紅外線吸收有機顏料的微細化。作為水溶性無機鹽,可以舉出氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、硫酸鈉、硫酸鋁、碳酸氫鈉等,較佳為氯化鈉及硫酸鈉。該等水溶性無機鹽能夠使用其粉碎物。又,該等水溶性無機鹽能夠單獨使用1種,亦能夠使用2種以上的混合物。
水溶性無機鹽的平均粒徑D50係15μm以上為較佳,18μm以上為進一步較佳。上限係50μm以下為較佳,30μm以下為進一步較佳。與彩色系的有機顏料或無機顏料相比,近紅外線吸收有機顏料的硬度較低,若使用粒徑小的水溶性無機鹽進行混煉研磨,則在混煉研磨時有時近紅外線吸收有機顏料的結構上產生變形或者近紅外線吸收有機顏料的晶體結構等發生變化而可見透明性等下降,但藉由使用粒徑適度大的水溶性無機鹽(較佳為平均粒徑為15μm以上的水溶性無機鹽),能夠抑制近紅外線吸收有機顏料的晶體結構的變形等之同時,能夠適度調整結晶性(結晶度)。進而,能夠將近紅外線吸收有機顏料微細化(例如,平均一次粒徑為10~100nm)。因此,容易製造在粉末X射線繞射光譜中具有上述特性,平均一次粒徑為10~100nm的範圍的近紅外線吸收有機顏料。進而,還能夠進一步提高近紅外線吸收有機顏料的可見透明性及耐熱性。
水溶性無機鹽的量相對於近紅外線吸收有機顏料的質量,係2.5~20倍為較佳,4~18倍為更佳,7~18倍為進一步較佳。下限係8倍以上為特佳,10倍以上為最佳。上限係17倍以下為特佳,16倍以下為最佳。若水溶性無機鹽的量在上述範圍內,則能夠抑制近紅外線吸收有機顏料的晶體結構的變形等之同時,能夠適度調整結晶性(結晶度)。進而,能夠將近紅外線吸收有機顏料微細化(例如,平均一次粒徑為10~100nm)。因此,容易製造在粉末X射線繞射光譜中具有上述特性,平均一次粒徑為10~100nm的範圍的近紅外線吸收有機顏料。進而,還能夠進一步提高近紅外線吸收有機顏料的可見透明性及耐熱性。
水溶性有機溶劑對近紅外線吸收有機顏料及水溶性無機鹽起到黏結劑的作用,對包含近紅外線吸收有機顏料、水溶性無機鹽及水溶性有機溶劑之混合物賦予硬度、黏稠感,並且能夠抑制近紅外線吸收有機顏料的晶體成長或晶體轉移。水溶性有機溶劑對23℃的水100g之溶解度係20g以上為較佳,50g以上為更佳,100g以上為進一步較佳。依該態樣,能夠有效率地水洗水溶性無機鹽。 作為水溶性有機溶劑的具體例,可以舉出乙二醇、丙二醇等烷二醇(alkylene glycol)、二乙二醇、三乙二醇、二丙二醇、聚乙二醇、聚乙烯-丙二醇等烷二醇的縮合物、甲氧基乙醇、聚乙二醇單甲醚等(聚)烷二醇的烷基醚、甘油等,出自對包含近紅外線吸收有機顏料、水溶性無機鹽及水溶性有機溶劑之混合物賦予適度的硬度、黏稠感之原因,乙二醇、二乙二醇、聚乙二醇等黏性高的水溶性有機溶劑為較佳。水溶性有機溶劑能夠單獨使用1種,亦能够使用2種以上的混合物。水溶性有機溶劑的量依近紅外線吸收有機顏料的量、水溶性無機鹽的量、混煉條件(溫度、混煉速度等)、所使用之混煉機的特性等而其最佳量發生變化,但相對於近紅外線吸收有機顏料和水溶性無機鹽的合計質量,係0.10~0.35倍為較佳,0.12~0.30倍為更佳,0.15~0.25倍為進一步較佳。若水溶性有機溶劑的量在上述範圍內,則能夠對包含近紅外線吸收有機顏料、水溶性無機鹽及水溶性有機溶劑之混合物賦予適度的硬度、黏稠感。
作為混煉機,只要具有能夠混煉上述混合物之能力即可,能夠使用雙臂型捏合機、閃爍器(flasher)、行星式混合機等。對微細化之剪切力強的雙臂型捏合機為更佳。
混煉時的溫度(碾磨溫度)依近紅外線吸收有機顏料的晶體成長速度的溫度依存性或晶體轉移性進行設定。一般係越是低溫,晶體成長速度越小。另一方面,越是高溫,水溶性有機溶劑對顏料表面之易潤濕性、對顏料塊之水溶性有機溶劑的滲透速度越快。近紅外線吸收有機顏料的粒度分級隨著微細化與晶體成長兩者的平衡而進展。例如,係0℃以上為較佳,10℃以上為更佳,20℃以上為進一步較佳,30℃以上為更進一步較佳,40℃以上為更進一步較佳。其中,出自將平均一次粒徑調整在10~100nm的範圍之同時,容易製造可見透明性及耐熱性優異之近紅外線吸收有機顏料之原因,50℃以上為特佳。上限係120℃以下為較佳,100℃以下為更佳。
進行近紅外線吸收有機顏料的混煉研磨時,依近紅外線吸收有機顏料的微細化、粒度分級化的進展,能夠追加水溶性無機鹽或水溶性有機溶劑。又,顏料混煉物的排出、再混煉不限於1次,可以進行複數次。
進行近紅外線吸收有機顏料的混煉研磨時,能夠與近紅外線吸收有機顏料的微細化之同時進行晶體轉移。又,為了控制近紅外線吸收有機顏料的微細化或晶型等,亦能夠添加顏料衍生物或表面處理劑。 混煉研磨後的混煉物藉由利用使用水、酸、鹼等之清洗等公知的純化方法進行純化而被分離出微細化之近紅外線吸收有機顏料。出自降低環境負荷之原因,藉由水洗處理進行分離為較佳。水洗處理後,可以直接使用含水狀態的近紅外線吸收有機顏料,亦可以進行乾燥處理而降低了水分者。乾燥處理方法並沒有特別限定,但出自提高生產率之原因,藉由熱風乾燥來進行為較佳。又,當進行乾燥處理時,將近紅外線吸收有機顏料的含水率設為5%以下為較佳,設為2%以下為更佳。
<顏料分散液> 接著,對本發明的顏料分散液進行說明。本發明的顏料分散液包含上述近紅外線吸收有機顏料、樹脂及溶劑。
本發明的顏料分散液的黏度(23℃)係2~30mPa・s為較佳。下限係3mPa・s以上為較佳,4mPa・s以上為更佳。上限係20mPa・s以下為較佳,15mPa・s以下為進一步較佳。
本發明的顏料分散液的搖變性(thixotropy)較低為較佳。搖變性能夠由Ti值的指標來表示。例如在使用E型黏度計(TOKI SANGYO CO.,LTD.製造之RE85L)測定之黏度中,將轉速為20rpm和50rpm的黏度分別設為η(20rpm)、η(50rpm)時的η(20rpm)/η(50rpm)的值設為Ti值。Ti值越接近1,表示搖變性越低。關於利用該種測定方法得到之Ti值,在23℃下之Ti值係0.8~1.4為較佳,0.9~1.2為更佳,0.9~1.1為進一步較佳。
本發明的顏料分散液在波長700~1000nm的範圍具有極大吸收波長為較佳。又,在波長550nm下之吸光度A550與在極大吸收波長下之吸光度Amax之比亦即吸光度A550/吸光度Amax係0.002~0.040為較佳,0.003~0.030為更佳,0.004~0.020為進一步較佳。又,在波長400nm下之吸光度A400與在極大吸收波長下之吸光度Amax之比亦即吸光度A400/吸光度Amax係0.005~0.150為較佳,0.020~0.100為更佳,0.050~0.070為進一步較佳。在720~980nm的範圍具有本發明的顏料分散液中之極大吸收波長為更佳,在740~960nm的範圍具有本發明的顏料分散液中之極大吸收波長為進一步較佳。
<<近紅外線吸收有機顏料>> 本發明的顏料分散液含有上述近紅外線吸收有機顏料。近紅外線吸收有機顏料的含量相對於顏料分散液的總固體成分,係30~99質量%為較佳,50~99質量%為更佳,60~99質量%為進一步較佳。
<<溶劑>> 本發明的分散液包含溶劑。作為溶劑,可以舉出有機溶劑。作為有機溶劑的例子,例如可以舉出以下的有機溶劑。作為酯類,例如可以舉出乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸環己酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、烷氧基乙酸烷基酯(例如,烷氧基乙酸甲酯、烷氧基乙酸乙酯、烷氧基乙酸丁酯(例如,甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等))、3-烷氧基丙酸烷基酯類(例如,3-烷氧基丙酸甲酯、3-烷氧基丙酸乙酯等(例如,3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等))、2-烷氧基丙酸烷基酯類(例如,2-烷氧基丙酸甲酯、2-烷氧基丙酸乙酯、2-烷氧基丙酸丙酯等(例如,2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯))、2-烷氧基-2-甲基丙酸甲酯及2-烷氧基-2-甲基丙酸乙酯(例如,2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯等。作為醚類,例如可以舉出二乙二醇二甲醚、四氫呋喃、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二乙二醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯等。作為酮類,例如可以舉出甲基乙基酮、環己酮、環戊酮、2-庚酮、3-庚酮等。作為芳香族烴類,例如可以舉出甲苯、二甲苯等。但是,有時出自環境方面等原因,減少作為溶劑之芳香族烴類(苯、甲苯、二甲苯、乙苯等)為佳(例如,相對於有機溶劑總量,亦能夠設為50質量ppm(parts per million:百萬分率)以下,亦能夠設為10質量ppm以下,亦能夠設為1質量ppm以下)。
有機溶劑可以單獨使用1種,亦可以將2種以上組合使用。當將有機溶劑2種以上組合使用時,由選自3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲醚及丙二醇甲醚乙酸酯中之2種以上構成之混合溶液為較佳。
本發明中,使用金屬含量少的溶劑為較佳,溶劑的金屬含量例如係10質量ppb(parts per billion:十億分率)以下為較佳。根據需要可以使用質量ppt(parts per trillion:兆分率)級別的溶劑,該種高純度溶劑例如由TOYO Gosei Co.,Ltd.提供(化學工業日報,2015年11月13日)。
作為從溶劑中去除金屬等雜質之方法,例如能夠舉出蒸餾(分子蒸餾或薄膜蒸餾等)或使用了過濾器之過濾。作為過濾中所使用之過濾器的過濾器孔徑,10nm以下為較佳,5nm以下為更佳,3nm以下為進一步較佳。過濾器的材質係聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龍為較佳。
溶劑可以包含異構物(相同原子數且不同結構的化合物)。又,異構物可以僅包含1種,亦可以包含複數種。
本發明中,有機溶劑中,過氧化物的含有率係0.8mmol/L以下為較佳,實質上不含過氧化物為更佳。
溶劑的含量相對於顏料分散液的總量,係60~92質量%為較佳,70~90質量%為更佳,75~89質量%為進一步較佳。溶劑可以僅係1種,亦可以係2種以上。當包含2種以上溶劑時,合計量在上述範圍內為較佳。
<<樹脂>> 本發明的顏料分散液包含樹脂。樹脂係以使顏料等分散之用途調合。另外,將主要用於使顏料等分散之樹脂亦稱為分散劑。但是,樹脂的該種用途為一例,亦能夠以該種用途以外的目的使用樹脂。
樹脂的重量平均分子量(Mw)係2,000~2,000,000為較佳。上限係1,000,000以下為較佳,500,000以下為更佳。下限係3,000以上為較佳,5,000以上為更佳。
作為用作分散劑之樹脂,選自酸性樹脂、鹼性樹脂及兩性樹脂中之1種以上為較佳,選自酸性樹脂及兩性樹脂中之1種以上為更佳。 本發明中,酸性樹脂係指具有酸基之樹脂,係指酸值為5mgKOH/g以上、胺值小於5mgKOH/g的樹脂。酸性樹脂不具有鹼性基為較佳。作為酸性樹脂所具有之酸基,例如可以舉出羧基、磷酸基、磺基、酚性羥基等,羧基為較佳。酸性樹脂的酸值係5~200mgKOH/g為較佳。下限係10mgKOH/g以上為更佳,20mgKOH/g以上為進一步較佳。上限係100mgKOH/g以下為更佳,60mgKOH/g以下為進一步較佳。又,酸性樹脂的胺值係2mgKOH/g以下為較佳,1mgKOH/g以下為更佳。 本發明中,鹼性樹脂係指具有鹼性基之樹脂,係指胺值為5mgKOH/g以上、酸值小於5mgKOH/g的樹脂。鹼性樹脂不具有酸基為較佳。作為鹼性樹脂所具有之鹼性基,胺基為較佳。鹼性樹脂的胺值係5~200mgKOH/g為較佳,5~150mgKOH/g為更佳,5~100mgKOH/g為進一步較佳。 本發明中,兩性樹脂係指具有酸基和鹼性基之樹脂,係指酸值為5mgKOH/g以上且胺值為5mgKOH/g以上的樹脂。作為酸基,可以舉出前述者,羧基為較佳。作為鹼性基,胺基為較佳。兩性樹脂的酸值為5mgKOH/g以上且胺值為5mgKOH/g以上為較佳。酸值係5~200mgKOH/g為更佳。下限係10mgKOH/g以上為更佳,20mgKOH/g以上為進一步較佳。上限係150mgKOH/g以下為更佳,100mgKOH/g以下為進一步較佳。又,胺值係5~200mgKOH/g為較佳。下限係10mgKOH/g以上為更佳,20mgKOH/g以上為進一步較佳。上限係150mgKOH/g以下為更佳,100mgKOH/g以下為進一步較佳。兩性樹脂的酸值與胺值的比率係酸值:胺值=1:4~4:1為較佳,1:3~3:1為更佳。
樹脂包含具有酸基之重複單元為較佳。藉由使用包含具有酸基之重複單元之樹脂,在藉由光微影形成圖案時,能夠進一步減少在像素的基底產生之殘渣。
樹脂根據其結構能夠進一步分類為直鏈狀高分子、末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。作為末端改質型高分子,例如可以舉出日本特開平3-112992號公報、日本特表2003-533455號公報等中所記載之在末端具有磷酸基之高分子、日本特開2002-273191號公報等中所記載之在末端具有磺基之高分子、日本特開平9-77994號公報等中所記載之具有有機色素的部分骨架或雜環之高分子等。又,日本特開2007-277514號公報中所記載之在高分子末端導入有2個以上的對顏料表面之黏固部位(酸基、鹼性基、有機色素的部分骨架或雜環等)之高分子,其分散穩定性亦優異,故較佳。作為接枝型高分子,例如可以舉出日本特開昭54-37082號公報、日本特表平8-507960號公報、日本特開2009-258668號公報等中所記載之聚(低級伸烷基亞胺)與聚酯的反應生成物、日本特開平9-169821號公報等中所記載之聚烯丙基胺與聚酯的反應生成物、日本特開平10-339949號公報、日本特開2004-37986號公報等中所記載之大分子單體與具有氮原子之單體的共聚物、日本特開2003-238837號公報、日本特開2008-9426號公報、日本特開2008-81732號公報等中所記載之具有有機色素的部分骨架或雜環之接枝型高分子、日本特開2010-106268號公報等中所記載之大分子單體與含酸基單體的共聚物等。作為嵌段型高分子,日本特開2003-49110號公報、日本特開2009-52010號公報等中所記載之嵌段型高分子為較佳。
本發明中,樹脂亦能夠使用包含下述式(11)~式(14)中的任意一個所表示之重複單元之接枝共聚物。
[化學式3]
式(11)~式(14)中,W1
、W2
、W3
及W4
分別獨立地表示氧原子或NH,X1
、X2
、X3
、X4
及X5
分別獨立地表示氫原子或1價的基團,Y1
、Y2
、Y3
及Y4
分別獨立地表示2價的連接基,Z1
、Z2
、Z3
及Z4
分別獨立地表示1價的基團,R3
表示伸烷基,R4
表示氫原子或1價的基團,n、m、p及q分別獨立地表示1~500的整數,j及k分別獨立地表示2~8的整數。式(13)中,當p為2~500時,存在複數個之R3
可以彼此相同亦可以不同,式(14)中,當q為2~500時,存在複數個之X5
及R4
可以彼此相同亦可以不同。
關於上述接枝共聚物,能夠參閱日本特開2012-255128號公報的段落號0025~0094的記載,上述內容被併入本說明書中。作為上述接枝共聚物的具體例,例如可以舉出以下的樹脂。又,可以舉出日本特開2012-255128號公報的段落號0072~0094中所記載之樹脂,該內容被併入本說明書中。
又,樹脂亦能夠使用在主鏈及側鏈中的至少一方包含氮原子之寡聚亞胺系分散劑。作為寡聚亞胺系分散劑,具有包含部分結構X之重複單元和包含原子數40~10,000的側鏈Y之側鏈且在主鏈及側鏈中的至少一方具有鹼性氮原子之樹脂為較佳,該部分結構X具有pKa14以下的官能基。鹼性氮原子只要係呈鹼性之氮原子,則並沒有特別限制。 寡聚亞胺系分散劑例如可以舉出包含下述式(I-1)所表示之重複單元、式(I-2)所表示之重複單元和/或式(I-2a)所表示之重複單元之樹脂等。
[化學式4]R1
及R2
各自獨立地表示氫原子、鹵素原子或烷基(碳數1~6為較佳)。a各自獨立地表示1~5的整數。*表示重複單元之間的連接部。R8
及R9
係含義與R1
的含義相同之基團。L係單鍵、伸烷基(碳數1~6為較佳)、伸烯基(碳數2~6為較佳)、伸芳基(碳數6~24為較佳)、雜伸芳基(碳數1~6為較佳)、亞胺基(碳數0~6為較佳)、醚基、硫醚基、羰基或該等的組合之連接基。其中,單鍵或-CR5
R6
-NR7
-(亞胺基成為X或Y)為較佳。在此,R5
、R6
各自獨立地表示氫原子、鹵素原子、烷基(碳數1~6為較佳)。R7
為氫原子或碳數1~6的烷基。 La
係與CR8
CR9
和N一同形成環結構之結構部位,與CR8
CR9
的碳原子一起形成碳數3~7的非芳香族雜環之結構部位為較佳。進一步較佳為與CR8
CR9
的碳原子及N(氮原子)一起形成5~7員的非芳香族雜環之結構部位,更佳為形成5員的非芳香族雜環之結構部位,形成吡咯啶之結構部位為特佳。該結構部位可以進一步具有烷基等取代基。 X表示具有pKa14以下的官能基之基團。 Y表示原子數40~10,000的側鏈。 寡聚亞胺系分散劑可以進一步含有選自式(I-3)、式(I-4)及式(I-5)所表示之重複單元中之1種以上作為共聚合成分。藉由寡聚亞胺系分散劑包含該種重複單元,能夠進一步提高分散性能。
[化學式5]
R1
、R2
、R8
、R9
、L、La、a及*的含義與式(I-1)、(I-2)、(I-2a)中之規定相同。Ya表示具有陰離子基之原子數40~10,000的側鏈。式(I-3)所表示之重複單元能夠藉由向在主鏈部具有一級或二級胺基之樹脂中添加具有與胺反應而形成鹽之基團之寡聚物或聚合物並使其進行反應而形成。
關於寡聚亞胺系分散劑,能夠參閱日本特開2012-255128號公報的段落號0102~0166的記載,上述內容被併入本說明書中。作為寡聚亞胺系分散劑的具體例,例如可以舉出以下。又,能夠使用日本特開2012-255128號公報的段落號0168~0174中所記載之樹脂。 [化學式6]
樹脂亦能夠作為市售品而獲得,作為該等的具體例,可以舉出Disperbyk-111(BYK Chemie GmbH製造)等。又,亦能夠使用日本特開2014-130338號公報的段落號0041~0130中所記載之顏料分散劑,該內容被併入本說明書中。又,樹脂亦能夠使用在後述之硬化性組成物中所說明之鹼可溶性樹脂等。
本發明的顏料分散液中之樹脂的含量相對於顏料100質量份,係0.1~100質量份為較佳。上限係80質量份以下為更佳,60質量份以下為進一步較佳,40質量份以下為進一步較佳。下限係0.5質量份以上為更佳,1質量份以上為進一步較佳。若樹脂的含量在上述範圍內,則顏料的分散性良好。
<<顏料衍生物>> 本發明的顏料分散液進一步含有顏料衍生物為較佳。作為顏料衍生物,可以舉出具有將顏料的一部分用酸性基、鹼性基、具有鹽結構之基團或鄰苯二甲醯亞胺甲基取代之結構之化合物,式(B1)所表示之顏料衍生物為較佳。
[化學式7]式(B1)中,P表示色素結構,L表示單鍵或連接基,X表示酸性基、鹼性基、具有鹽結構之基團或鄰苯二甲醯亞胺甲基,m表示1以上的整數,n表示1以上的整數,當m為2以上時,複數個L及X可以彼此不同,當n為2以上時,複數個X可以彼此不同。
式(B1)中,P表示色素結構,係選自吡咯并吡咯色素結構、二酮吡咯并吡咯色素結構、喹吖啶酮色素結構、蒽醌色素結構、聯蒽醌色素結構、苯并異吲哚色素結構、噻嗪靛藍色素結構、偶氮色素結構、喹酞酮色素結構、酞菁色素結構、萘酞菁色素結構、二噁嗪色素結構、苝色素結構、紫環酮色素結構、苯并咪唑酮色素結構、苯并噻唑色素結構、苯并咪唑色素結構及苯并噁唑色素結構中之至少1種為較佳,選自吡咯并吡咯色素結構、二酮吡咯并吡咯色素結構、喹吖啶酮色素結構及苯并咪唑酮色素結構中之至少1種為進一步較佳,吡咯并吡咯色素結構為特佳。
式(B1)中,L表示單鍵或連接基。作為連接基,由1~100個碳原子、0~10個氮原子、0~50個氧原子、1~200個氫原子及0~20個硫原子構成之基團為較佳,可以未經取代,亦可以進一步具有取代基。具體而言,可以舉出伸烷基、伸芳基、含氮雜環基、-O-、-S-、-NR’-、-CO-、-SO2
-或包括該等的組合之基團。R’表示氫原子、烷基或芳基。
式(B1)中,X表示酸性基、鹼性基、具有鹽結構之基團或鄰苯二甲醯亞胺甲基。作為酸性基,可以舉出羧基、磺基等。作為鹼性基,胺基為較佳,三級胺基為特佳。作為具有鹽結構之基團,可以舉出上述酸性基的鹽、鹼性基的鹽。作為構成鹽之原子或原子團,可以舉出金屬原子、四丁基銨等。作為金屬原子,鹼金屬原子或鹼土金屬原子為較佳。作為鹼金屬原子,可以舉出鋰、鈉、鉀等。作為鹼土金屬原子,可以舉出鈣、鎂等。
作為顏料衍生物的具體例,可以舉出下述化合物。又,亦能夠使用日本特開昭56-118462號公報、日本特開昭63-264674號公報、日本特開平1-217077號公報、日本特開平3-9961號公報、日本特開平3-26767號公報、日本特開平3-153780號公報、日本特開平3-45662號公報、日本特開平4-285669號公報、日本特開平6-145546號公報、日本特開平6-212088號公報、日本特開平6-240158號公報、日本特開平10-30063號公報、日本特開平10-195326號公報、國際公開WO2011/024896號公報的段落號0086~0098、國際公開WO2012/102399號公報的段落號0063~0094等中所記載之化合物、國際公開WO2016/035695號公報的段落號0053中所記載之化合物,該內容被併入本說明書中。作為顏料衍生物,下述化合物(B-1)、(B-2)、(B-3)、(B-6)、(B-15)、(B-16)、(B-18)、(B-30)、(B-61)及(B-62)為特佳。
[化學式8][化學式9]
當本發明的顏料分散液含有顏料衍生物時,顏料衍生物的含量相對於顏料100質量份,係1~50質量份為較佳。下限值係3質量份以上為較佳,5質量份以上為更佳。上限值係40質量份以下為較佳,30質量份以下為更佳。若顏料衍生物的含量在上述範圍內,則能夠提高顏料的分散性來有效率地抑制顏料的凝聚。顏料衍生物可以僅係1種,亦可以係2種以上,在2種以上的情況下,合計量在上述範圍內為較佳。
<顏料分散液的製備> 本發明的顏料分散液能够混合前述成分而進行製備。在製備顏料分散液時,可以一次性調合各成分,亦可以將各成分溶解或分散於溶劑中之後逐次調合。又,調合時的投入順序或作業條件不受特別的制約。例如,可以將所有成分同時溶解或分散於溶劑中而製備顏料分散液。
在製備顏料分散液時,包含使顏料分散之製程為較佳。在使顏料分散之製程中,作為顏料的分散中所使用之機械力,可以舉出壓縮、壓搾、衝擊、剪切、氣蝕等。作為該等製程的具體例,可以舉出珠磨機、砂磨機(sand mill)、輥磨機、球磨機、塗料攪拌器(pain shaker)、微射流機(microfluidizer)、高速葉輪、混砂機、噴流混合器(flowjet mixer)、高壓濕式微粒化、超音波分散等。又,使顏料分散之製程及分散機能夠較佳地使用《分散技術大全,JOHOKIKO CO.,LTD.發行,2005年7月15日》或《以懸浮液(固/液分散體系)為中心之分散技術與工業應用的實際 綜合資料集、經營開發中心出版部發行,1978年10月10日》、日本特開2015-157893號公報的段落號0022中所記載之製程及分散機。
當製備顏料分散液時,以去除異物或減少缺陷等為目的,利用過濾器對顏料分散液進行過濾為較佳。作為過濾器,只要係一直以來用於過濾用途等之過濾器,則能夠無特別限制地進行使用。例如可以舉出使用了聚四氟乙烯(PTFE)等氟樹脂、尼龍(例如尼龍-6、尼龍-6,6)等聚醯胺系樹脂、聚乙烯、聚丙烯(PP)等聚烯烴樹脂(包含高密度、超高分子量的聚烯烴樹脂)等材料之過濾器。在該等材料之中,聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龍為較佳。 過濾器的孔徑係為0.01~7.0μm左右為適當,較佳為0.01~3.0μm左右,進一步較佳為0.05~0.5μm左右。若過濾器的孔徑在上述範圍內,則能夠確實地去除微細的異物。又,使用纖維狀的濾材亦較佳。作為纖維狀的濾材,例如可以舉出聚丙烯纖維、尼龍纖維、玻璃纖維等。具體而言,可以舉出ROKI TECHNO CO.,LTD.製造之SBP型系列(SBP008等)、TPR型系列(TPR002、TPR005等)、SHPX型系列(SHPX003等)的濾筒。
在使用過濾器時,可以組合不同之過濾器(例如,第1過濾器和第2過濾器等)。此時,利用各過濾器之過濾可以僅進行1次,亦可以進行2次以上。 又,可以在上述範圍內組合不同孔徑的過濾器。此時的孔徑能夠參閱過濾器廠商的標稱值。作為市售的過濾器,例如能夠從由NIHON PALL LTD.(DFA4201NXEY等)、Advantec Toyo Kaisha, Ltd.、Nihon Entegris K.K.(原Nippon Mykrolis Corporation)或KITZ MICROFILTER CORPORATION等提供之各種過濾器中選擇。 第2過濾器能夠使用由第1過濾器相同之材料等形成者。
<硬化性組成物> 接著,對本發明的硬化性組成物進行說明。本發明的硬化性組成物包含上述近紅外線吸收有機顏料、樹脂、硬化性化合物及溶劑。本發明的硬化性組成物係包含上述顏料分散液和硬化性化合物之組成物亦較佳。本發明的硬化性組成物可以係光硬化性組成物,亦可以係熱硬化性組成物。在光硬化性組成物的情況下,包含聚合性化合物(較佳為自由基聚合性化合物)和光聚合起始劑(較佳為光自由基聚合起始劑)之組成物為較佳。
<<近紅外線吸收有機顏料>> 本發明的硬化性組成物含有上述近紅外線吸收有機顏料。近紅外線吸收有機顏料的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.1~60質量%為較佳。下限係1質量%以上為較佳,5質量%以上為更佳。上限係50質量%以下為較佳,40質量%以下為更佳。
<<其他近紅外線吸收化合物>> 本發明的組成物可以進一步包含上述近紅外線吸收有機顏料以外的近紅外線吸收化合物(亦稱為其他近紅外線吸收化合物)。作為其他近紅外線吸收化合物,可以舉出染料。作為化合物種類,例如可以舉出酞菁化合物、萘酞菁化合物、芮化合物、部花青化合物、克酮鎓化合物、氧雜菁化合物、二亞胺化合物、二硫醇(dithiol)化合物、三芳基甲烷化合物、吡咯亞甲基化合物、次甲基偶氮化合物、蒽醌化合物及二苯并呋喃酮化合物等。作為酞菁化合物、萘酞菁化合物、二亞胺化合物及克酮鎓化合物,可以使用日本特開2010-111750號公報的段落號0010~0081中所揭示之化合物,該內容被併入本說明書中。又,亦能夠使用IRA868(Exiton Inc.製造)、IRG-068(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)等。
又,作為其他近紅外線吸收化合物,亦能夠使用無機粒子。在紅外線遮蔽性更加優異之觀點上,無機粒子係金屬氧化物粒子或金屬粒子為較佳。作為金屬氧化物粒子,例如可以舉出氧化銦錫(ITO)粒子、氧化銻錫(ATO)粒子、氧化鋅(ZnO)粒子、Al摻雜氧化鋅(Al摻雜ZnO)粒子、氟摻雜二氧化錫(F摻雜SnO2
)粒子、鈮摻雜二氧化鈦(Nb摻雜TiO2
)粒子等。作為金屬粒子,例如可以舉出銀(Ag)粒子、金(Au)粒子、銅(Cu)粒子、鎳(Ni)粒子等。又,作為無機微粒子,能夠使用氧化鎢系化合物。氧化鎢系化合物係銫鎢氧化物為較佳。關於氧化鎢系化合物的詳細內容,能夠參閱日本特開2016-006476號公報的段落號0080,該內容被併入本說明書中。無機粒子的形狀並沒有特別限制,與球狀或非球狀無關,可以係片狀、絲線狀、管狀。
無機粒子的平均粒徑係800nm以下為較佳,400nm以下為更佳,200nm以下為進一步較佳。藉由無機粒子的平均粒徑在該種範圍內,可見透明性良好。從避免光散射之觀點而言,平均粒徑越小,越較佳,但出自製造時的易處理性等原因,無機粒子的平均粒徑通常係1nm以上。
當本發明的硬化性組成物含有其他近紅外線吸收化合物時,其他近紅外線吸收化合物的含量相對於近紅外線吸收有機顏料的100質量份,係0.1~80質量份為較佳,5~60質量份為更佳,10~40質量份為進一步較佳。
<<彩色著色劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有彩色著色劑。本發明中,彩色著色劑係指除白色著色劑及黑色著色劑以外的著色劑。彩色著色劑係在波長400nm以上且小於650nm的範圍內具有吸收之著色劑為較佳。
本發明中,彩色著色劑可以係顏料,亦可以係染料。顏料係有機顏料為較佳。作為有機顏料,能夠舉出以下。 比色指數(C.I.)顏料黃(Pigment Yellow)1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等(以上為黃色顏料); C.I.顏料橙(Pigment Orange)2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73等(以上為橙色顏料); C.I.顏料紅(Pigment Red)1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279等(以上為紅色顏料); C.I.顏料綠(Pigment Green)7、10、36、37、58、59等(以上為綠色顏料)、 C.I.顏料紫(Pigment Violet)1、19、23、27、32、37、42等(以上為紫色顏料); C.I.顏料藍(Pigment Blue)1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、80等(以上為藍色顏料), 該等有機顏料能夠單獨使用或者將各種有機顏料組合使用。
作為染料並沒有特別限制,能夠使用公知的染料。作為化學結構,能夠使用吡唑偶氮系、苯胺基偶氮系、三芳基甲烷系、蒽醌系、蒽吡啶酮(anthrapyridone)系、苯亞甲基系、氧雜菁系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、花青系、噻吩嗪系、吡咯并吡唑次甲基偶氮系、呫噸系、酞菁系、苯并吡喃系、靛藍系、吡咯亞甲基系等染料。又,亦可以使用該等染料的多聚體。又,亦能夠使用日本特開2015-028144號公報、日本特開2015-34966號公報中所記載之染料。
當本發明的硬化性組成物含彩色著色劑時,彩色著色劑的含量相對於本發明的硬化性組成物的總固體成分,係0.1~70質量%為較佳。下限係0.5質量%以上為較佳,1.0質量%以上為更佳。上限係60質量%以下為較佳,50質量%以下為更佳。 彩色著色劑的含量相對於近紅外線吸收有機顏料的100質量份,係10~1000質量份為較佳,50~800質量份為更佳。 又,彩色著色劑和近紅外線吸收有機顏料的合計量相對於本發明的硬化性組成物的總固體成分,設為1~80質量%為較佳。下限係5質量%以上為較佳,10質量%以上為更佳。上限係70質量%以下為較佳,60質量%以下為更佳。 當本發明的硬化性組成物包含2種以上彩色著色劑時,其合計量在上述範圍內為較佳。
<<使紅外線透射並遮擋可見光之色材>> 本發明的硬化性組成物亦能夠含有使紅外線透射並遮擋可見光之色材(以下,亦稱為遮擋可見光之色材)。 本發明中,遮擋可見光之色材係吸收紫色至紅色的波長區域的光之色材為較佳。又,本發明中,遮擋可見光之色材係遮擋波長450~650nm的波長區域的光之色材為較佳。又,遮擋可見光之色材係使波長900~1300nm的光透射之色材為較佳。 本發明中,遮擋可見光之色材滿足以下(1)及(2)中的至少一個要件為較佳。 (1):包含2種以上的彩色著色劑,且以2種以上的彩色著色劑的組合來形成黑色。 (2):包含有機系黑色著色劑。在(2)態樣中,進一步含有彩色著色劑亦較佳。
又,本發明中,作為遮擋可見光之色材之有機系黑色著色劑係吸收可見光但使紅外線的至少一部分透射之材料。因此,本發明中,作為遮擋可見光之色材之有機系黑色著色劑不包括吸收可見光及紅外線兩者之黑色著色劑,例如碳黑或鈦黑。
作為彩色著色劑,可以舉出上述者。作為有機系黑色著色劑,例如可以舉出雙苯并呋喃酮化合物、次甲基偶氮化合物、苝化合物、偶氮系化合物等,雙苯并呋喃酮化合物、苝化合物為較佳。作為雙苯并呋喃酮化合物,可以舉出日本特表2010-534726號公報、日本特表2012-515233號公報、日本特表2012-515234號公報等中所記載之化合物,例如能夠作為BASF公司製造之“Irgaphor Black”而獲得。作為苝化合物,可以舉出C.I.顏料黑(Pigment Black)31、32等。作為次甲基偶氮化合物,可以舉出日本特開平1-170601號公報、日本特開平2-34664號公報等中所記載之化合物,例如能夠作為Dainichiseika Color & Chemicals Mfg.Co.,Ltd.製造之“CHROMO FINE BLACKA1103”而獲得。
本發明中,遮擋可見光之色材例如在波長450~650nm的範圍內之吸光度的最小值A與在波長900~1300nm的範圍內之吸光度的最小值B之比亦即A/B係4.5以上為較佳。 上述特性可以以1種材料來滿足,亦可以以複數種材料的組合來滿足。例如,在上述(1)態樣的情況下,將複數種彩色著色劑組合而滿足上述分光特性為較佳。又,在上述(2)態樣的情況下,可以由有機系黑色著色劑滿足上述分光特性。又,亦可以以有機系黑色著色劑與彩色著色劑的組合來滿足上述分光特性。
作為以2種以上的彩色著色劑的組合來形成黑色時的彩色著色劑的組合,例如可以舉出以下。 (1)含有黃色著色劑、藍色著色劑、紫色著色劑及紅色著色劑之態樣。 (2)含有黃色著色劑、藍色著色劑及紅色著色劑之態樣。 (3)含有黃色著色劑、紫色著色劑及紅色著色劑之態樣。 (4)含有黃色著色劑及紫色著色劑之態樣。 (5)含有綠色著色劑、藍色著色劑、紫色著色劑及紅色著色劑之態樣。 (6)含有紫色著色劑及橙色著色劑之態樣。 (7)含有綠色著色劑、紫色著色劑及紅色著色劑之態樣。 (8)含有綠色著色劑及紅色著色劑之態樣。
作為各著色劑的比率(質量比),例如可以舉出以下。 [表1]
當本發明的硬化性組成物含有遮擋可見光之色材時,遮擋可見光之色材的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係30質量%以下為較佳,20質量%以下為更佳,15質量%以下為進一步較佳。下限例如能夠設為0.01質量%以上,亦能夠設為0.5質量%以上。 又,本發明的硬化性組成物亦能夠設為實質上不含遮擋可見光之色材之態樣。實質上不含遮擋可見光之色材係指,遮擋可見光之色材的含量在本發明的硬化性組成物的總固體成分中係0.005質量%以下為較佳,0.001質量%以下為進一步較佳,不含遮擋可見光之色材為進一步較佳。
<<顏料衍生物>> 本發明的硬化性組成物含有顏料衍生物為較佳。作為顏料衍生物,可以舉出在上述顏料分散液中所說明之顏料衍生物。
當本發明的硬化性組成物含有顏料衍生物時,顏料衍生物的含量相對於顏料100質量份,係1~50質量份為較佳。下限值係3質量份以上為較佳,5質量份以上為更佳。上限值係40質量份以下為較佳,30質量份以下為更佳。顏料衍生物可以僅係1種,亦可以係2種以上,在2種以上的情況下,合計量在上述範圍內為較佳。
<<樹脂>> 本發明的硬化性組成物含有樹脂。樹脂例如以使顏料等分散於硬化性組成物中之用途、黏合劑的用途進行調合。另外,將主要用於使顏料等分散之樹脂亦稱為分散劑。但是,樹脂的該種用途為一例,亦能夠以該種用途以外的目的使用樹脂。
樹脂的重量平均分子量(Mw)係2,000~2,000,000為較佳。上限係1,000,000以下為較佳,500,000以下為更佳。下限係3,000以上為較佳,5,000以上為更佳。
作為樹脂,可以舉出在上述顏料分散液中所說明之樹脂。又,使用(甲基)丙烯酸樹脂、烯-硫醇樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚樹脂、聚芳酯樹脂、聚碸樹脂、聚醚碸樹脂、聚苯硫醚樹脂、聚芳醚膦氧化物樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、聚烯烴樹脂、環狀烯烴樹脂、聚酯樹脂、苯乙烯樹脂等樹脂亦較佳。可以從該等樹脂中單獨使用1種,亦可以將2種以上混合使用。
本發明中所使用之樹脂可以具有酸基。作為酸基,例如可以舉出羧基、磷酸基、磺基、酚性羥基等。該等酸基可以僅係1種,亦可以係2種以上。具有酸基之樹脂亦能夠用作鹼可溶性樹脂。又,亦能夠用作分散劑。
鹼可溶性樹脂的重量平均分子量(Mw)係5000~100,000為較佳。又,鹼可溶性樹脂的數量平均分子量(Mn)係1000~20,000為較佳。鹼可溶性樹脂的酸值係30~500mgKOH/g為較佳。下限係50mgKOH/g以上為更佳,70mgKOH/g以上為進一步較佳。上限係400mgKOH/g以下為更佳,200mgKOH/g以下為進一步較佳,150mgKOH/g以下為特佳,120mgKOH/g以下為最佳。
作為鹼可溶性樹脂,從耐熱性的觀點而言,聚羥基苯乙烯系樹脂、聚矽氧烷系樹脂、丙烯酸系樹脂、丙烯醯胺系樹脂、丙烯酸/丙烯醯胺共聚物樹脂為較佳。又,從控制顯影性之觀點而言,丙烯酸系樹脂、丙烯醯胺系樹脂、丙烯酸/丙烯醯胺共聚物樹脂為較佳。
作為鹼可溶性樹脂,在側鏈中具有羧基之聚合物為較佳。作為具體例,可以舉出甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、順丁烯二酸共聚物、部分酯化順丁烯二酸共聚物、酚醛清漆樹脂等鹼可溶性酚樹脂、在側鏈中具有羧基之酸性纖維素衍生物、使酸酐加成在具有羥基之聚合物中之樹脂。尤其,(甲基)丙烯酸酸和能夠與其共聚合之其他單體的共聚物適合作為鹼可溶性樹脂。作為能夠與(甲基)丙烯酸酸共聚合之其他單體,可以舉出(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、乙烯基化合物等。作為(甲基)丙烯酸烷基酯及(甲基)丙烯酸芳基酯,可以舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸環己酯等,作為乙烯基化合物,可以舉出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯腈、乙酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯啶酮、甲基丙烯酸四氫糠基酯、聚苯乙烯大分子單體、聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體等。又,其他單體亦能夠使用日本特開平10-300922號公報中所記載之N位取代之順丁烯二醯亞胺單體,例如N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺等。另外,該等能夠與(甲基)丙烯酸酸共聚合之其他單體可以僅係1種,亦可以係2種以上。
鹼可溶性樹脂能夠較佳地使用包括(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸酸共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸酸/其他單體之多元共聚物。又,亦能夠較佳地使用將(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯進行共聚合而得到者、日本特開平7-140654號公報中所記載之(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物等。
鹼可溶性樹脂包含將包含下述式(ED1)所表示之化合物和/或下述式(ED2)所表示之化合物(以下,有時將該等化合物亦稱為“醚二聚物”。)之單體成分進行聚合而成之聚合物亦較佳。
[化學式10]
式(ED1)中,R1
及R2
分別獨立地表示氫原子或可以具有取代基之碳數1~25的烴基。 [化學式11]式(ED2)中,R表示氫原子或碳數1~30的有機基。作為式(ED2)的具體例,能夠參閱日本特開2010-168539號公報的記載。
式(ED1)中,作為R1
及R2
所表示之可以具有取代基之碳數1~25的烴基並沒有特別限制,例如可以舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第三戊基、硬脂基、月桂基、2-乙基己基等直鏈狀或分支狀的烷基;苯基等芳基;環己基、第三丁基環己基、二環戊二烯基、三環癸基、異莰基、金剛烷基、2-甲基-2-金剛烷基等脂環式基;經1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基等烷氧基取代之烷基;經苄基等芳基取代之烷基;等。在該等之中,在耐熱性的觀點上,如甲基、乙基、環己基、苄基等在酸或熱的作用下不易脫離之1級或2級碳的取代基為特佳。
作為醚二聚物的具體例,例如能夠參閱日本特開2013-29760號公報的段落號0317,該內容被併入本說明書中。醚二聚物可以僅係1種,亦可以係2種以上。
具有酸基之樹脂可以包含源自下述式(X)所表示之化合物之重複單元。 [化學式12]式(X)中,R1
表示氫原子或甲基,R2
表示碳數2~10的伸烷基,R3
表示氫原子或可以包含苯環之碳數1~20的烷基。n表示1~15的整數。
作為鹼可溶性樹脂,能夠參閱日本特開2012-208494號公報的段落號0558~0571(對應之美國專利申請公開第2012/0235099號說明書的段落號0685~0700)的記載、日本特開2012-198408號公報的段落號0076~0099的記載,該等內容被併入本說明書中。
作為鹼可溶性樹脂,可以使用具有聚合性基之鹼可溶性樹脂。作為聚合性基,可以舉出(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等。具有聚合性基之鹼可溶性樹脂係在側鏈中具有聚合性基之鹼可溶性樹脂為較佳。作為具有聚合性基之鹼可溶性樹脂,可以舉出Dianal NR系列(Mitsubishi Rayon Co.,Ltd.製造)、Photomer6173(含有COOH之聚氨酯丙烯酸寡聚物(polyurethane acrylic oligomer),Diamond Shamrock Co.,Ltd.製造)、Viscote R-264、KS Resist 106(均為Osaka Organic Chemical Industry Co.,Ltd.製造)、CYCLOMER P系列(例如,ACA230AA)、PLACCEL CF200系列(均為Daicel Corporation製造)、Ebecryl3800(Daicel UCB Co.,Ltd.製造)、Acrycure RD-F8(Nippon Shokubai Co.,Ltd.製造)等。
在本發明的硬化性組成物中,樹脂的含量相對於本發明的硬化性組成物的總固體成分,係14~70質量%為較佳。下限係17質量%以上為較佳,20質量%以上為更佳。上限係56質量%以下為較佳,42質量%以下為更佳。又,具有酸基之樹脂的含量相對於本發明的硬化性組成物的總固體成分,係14~70質量%為較佳。下限係17質量%以上為較佳,20質量%以上為更佳。上限係56質量%以下為較佳,42質量%以下為更佳。又,鹼可溶性樹脂的含量相對於本發明的硬化性組成物的總固體成分,係14~70質量%為較佳。下限係17質量%以上為較佳,20質量%以上為更佳。上限係56質量%以下為較佳,42質量%以下為更佳。
<<溶劑>> 本發明的硬化性組成物含有溶劑。作為溶劑,可以舉出有機溶劑。溶劑只要滿足各成分的溶解性或硬化性組成物的塗佈性,則基本上沒有特別限制,但考慮硬化性組成物的塗佈性、安全性而選擇為較佳。作為有機溶劑,可以舉出酯類、醚類、酮類、芳香族烴類等。關於該等的詳細,能夠使用在上述顏料分散液中所說明之有機溶劑。作為有機溶劑,例如係3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯為較佳。
溶劑的含量相對於硬化性組成物的總量,係10~90質量%為較佳,20~80質量%為更佳,25~75質量%為進一步較佳。本發明的硬化性組成物可以僅包含1種溶劑,亦可以包含2種以上。當包含2種以上溶劑時,其合計量在上述範圍內為較佳。
<<硬化性化合物>> 本發明的硬化性組成物含有硬化性化合物。作為硬化性化合物,能夠使用能夠藉由自由基、酸、熱進行交聯之公知的化合物。作為硬化性化合物,例如可以舉出聚合性化合物、具有環氧基之化合物等。作為聚合性化合物,可以舉出具有乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等乙烯性不飽和鍵基之化合物。聚合性化合物係自由基聚合性化合物為較佳。
在本發明的硬化性組成物中,硬化性化合物的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.1~50質量%為較佳。下限例如為0.5質量%以上為更佳,1質量%以上為進一步較佳。上限例如為45質量%以下為更佳,40質量%以下為進一步較佳。硬化性化合物可以係單獨1種,亦可以併用2種以上。當併用2種以上時,合計量在上述範圍內為較佳。
(聚合性化合物) 聚合性化合物可以係單體、預聚物、寡聚物等化學形態中的任意一種,但單體為較佳。聚合性化合物的分子量係100~3000為較佳。上限係2000以下為更佳,1500以下為進一步較佳。下限係150以上為更佳,250以上為進一步較佳。 聚合性化合物係3~15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為較佳,3~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為更佳。作為該等的具體化合物,可以舉出日本特開2009-288705號公報的段落號0095~0108、日本特開2013-29760號公報的段落0227、日本特開2008-292970號公報的段落號0254~0257中所記載之化合物,該等內容被併入本說明書中。
聚合性化合物係二新戊四醇三丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-330;Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)、二新戊四醇四丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-320;Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)、二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-310;Nippon Kayaku Co.,Ltd.製)、二新戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD DPHA;Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造,A-DPH-12E;Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造)及該等的(甲基)丙烯醯基經由乙二醇和/或丙二醇殘基鍵結之結構(例如,由Sartomer Company, Inc.市售之SR454、SR499)為較佳。亦能夠使用該等的寡聚物類型。 又,作為聚合性化合物,使用三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷伸丙基氧基改質三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷伸乙基氧基改質三(甲基)丙烯酸酯、異氰脲酸伸乙基氧基改質三(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物亦較佳。作為3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品,可以舉出ARONIX M-309、M-310、M-321、M-350、M-360、M-313、M-315、M-306、M-305、M-303、M-452、M-450(TOAGOSEI CO.,LTD.製造)、NK Ester A9300、A-GLY-9E、A-GLY-20E、A-TMM-3、A-TMM-3L、A-TMM-3LM-N、A-TMPT、TMPT(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造)、KAYARAD GPO-303、TMPTA、THE-330、TPA-330、PET-30(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)等。
作為聚合性化合物,亦能夠使用具有酸基之聚合性化合物。藉由使用具有酸基之聚合性化合物,在顯影時容易去除未曝光部的聚合性化合物,能夠抑制顯影殘渣的產生。作為酸基,可以舉出羧基、磺基、磷酸基等,羧基為較佳。作為具有酸基之聚合性化合物的市售品,可以舉出ARONIX M-510、M-520(TOAGOSEI CO.,LTD.製造)等。
作為具有酸基之聚合性化合物的較佳的酸值,為0.1~40mgKOH/g,更佳為5~30mgKOH/g。若聚合性化合物的酸值為0.1mgKOH/g以上,則對顯影液之溶解性良好,若為40mgKOH/g以下,則在製造或處理上有利。進而,硬化性優異。
作為聚合性化合物,亦能夠使用具有己內酯結構之聚合性化合物。又,作為聚合性化合物,亦能夠使用具有伸烷基氧基(alkyleneoxy group)之聚合性化合物。具有伸烷基氧基之聚合性化合物係具有伸乙基氧基(ethyleneoxy group)和/或伸丙基氧基(propyleneoxy gorup)之聚合性化合物為較佳,具有伸乙基氧基之聚合性化合物為更佳,具有4~20個伸乙基氧基之3~6官能(甲基)丙烯酸酯化合物為進一步較佳。作為具有伸烷基氧基之聚合性化合物的市售品,例如可以舉出Sartomer Company, Inc.製造之作為具有4個伸乙基氧基之4官能(甲基)丙烯酸酯之SR-494、作為具有3個伸異丁基氧基之3官能(甲基)丙烯酸酯之KAYARAD TPA-330等。
作為聚合性化合物,日本特公昭48-41708號公報、日本特開昭51-37193號公報、日本特公平2-32293號公報、日本特公平2-16765號公報中所記載之胺基甲酸酯丙烯酸酯類、或日本特公昭58-49860號公報、日本特公昭56-17654號公報、日本特公昭62-39417號公報、日本特公昭62-39418號公報中所記載之具有環氧乙烷系骨架之胺基甲酸酯化合物類亦較佳。又,使用日本特開昭63-277653號公報、日本特開昭63-260909號公報、日本特開平1-105238號公報中所記載之在分子內具有胺基結構或硫化物結構之加成聚合性化合物類亦較佳。 作為市售品,可以舉出胺基甲酸酯寡聚物UAS-10、UAB-140(Sanyo. Kokusaku. Pulp. Co.,Ltd.製造)、UA-7200(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造)、DPHA-40H(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(KYOEISHA CHEMICAL Co.,Ltd.製造)等。
當本發明的硬化性組成物含有聚合性化合物時,聚合性化合物的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.1~40質量%為較佳。下限例如為0.5質量%以上為更佳,1質量%以上為進一步較佳。上限例如為30質量%以下為更佳,20質量%以下為進一步較佳。聚合性化合物可以係單獨1種,亦可以併用2種以上。當併用2種以上聚合性化合物時,合計量在上述範圍內為較佳。
(具有環氧基之化合物) 本發明的硬化性組成物能夠含有具有環氧基之化合物作為硬化性化合物。作為具有環氧基之化合物,在1個分子內具有2個以上環氧基之化合物為較佳。具有環氧基之化合物係具有2~100個環氧基之化合物為較佳。環氧基的上限例如能夠設為10個以下,亦能夠設為5個以下。
具有環氧基之化合物的環氧當量(=具有環氧基之化合物的分子量/環氧基的數量)係500g/當量以下為較佳,100~400g/當量為更佳,100~300g/當量為進一步較佳。
具有環氧基之化合物可以係低分子化合物(例如,分子量小於1000)、高分子化合物(macromolecule)(例如,分子量為1000以上,聚合物的情況下,重量平均分子量為1000以上)中的任意一種。具有環氧基之化合物的重量平均分子量係200~100000為較佳,500~50000為更佳。重量平均分子量的上限係10000以下為較佳,5000以下為更佳,3000以下為進一步較佳。
具有環氧基之化合物亦能夠使用日本特開2013-011869號公報的段落號0034~0036、日本特開2014-043556號公報的段落號0147~0156、日本特開2014-089408號公報的段落號0085~0092中所記載之化合物。該等內容被併入本說明書中。又,具有環氧基之化合物(環氧樹脂)使用Marproof G-0150M、G-0105SA、G-0130SP、G-0250SP、G-1005S、G-1005SA、G-1010S、G-2050M、G-01100、G-01758(NOF CORPORATION製造,含環氧基之聚合物)亦較佳。
當本發明的硬化性組成物含有具有環氧基之化合物時,具有環氧基之化合物的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.1~40質量%為較佳。下限例如為0.5質量%以上為更佳,1質量%以上為進一步較佳。上限例如為30質量%以下為更佳,20質量%以下為進一步較佳。具有環氧基之化合物可以係單獨1種,亦可以併用2種以上。當併用2種以上時,合計量在上述範圍內為較佳。 又,聚合性化合物與具有環氧基之化合物的質量比係聚合性化合物的質量:具有環氧基之化合物的質量=100:1~100:400為較佳,100:1~100:100為更佳,100:1~100:50為進一步較佳。
<<光聚合起始劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有光聚合起始劑。尤其,當本發明的硬化性組成物包含聚合性化合物時,含有光聚合起始劑為較佳。作為光聚合起始劑並沒有特別限制,能夠從公知的光聚合起始劑中適當選擇。例如,對紫外區域至可見區域的光線具有感光性之化合物為較佳。光聚合起始劑係光自由基聚合起始劑為較佳。
作為光聚合起始劑,例如可以舉出鹵化烴衍生物(例如,具有三嗪骨架之化合物、具有噁二唑骨架之化合物等)、醯基氧化膦等醯基膦化合物、六芳基聯咪唑、肟衍生物等肟化合物、有機過氧化物、硫代化合物、酮化合物、芳香族鎓鹽、酮肟醚、胺基苯乙酮化合物、羥基苯乙酮等。作為具有三嗪骨架之鹵化烴化合物,例如可以舉出若林等著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)中所記載之化合物、英國專利1388492號說明書中所記載之化合物、日本特開昭53-133428號公報中所記載之化合物、德國專利3337024號說明書中所記載之化合物、由F.C.Schaefer等編著之J.Org.Chem.;29、1527(1964)中所記載之化合物、日本特開昭62-58241號公報中所記載之化合物、日本特開平5-281728號公報中所記載之化合物、日本特開平5-34920號公報中所記載之化合物、美國專利第4212976號說明書中所記載之化合物等。
從曝光靈敏度的觀點而言,光聚合起始劑係選自包括三鹵甲基三嗪(trihalo methyl triazine)化合物、苄基二甲基縮酮化合物、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物、醯基膦化合物、氧化膦化合物、茂金屬化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物、環戊二烯-苯-鐵錯合物、鹵甲基噁二唑化合物及3-芳基取代之香豆素化合物之組群中之化合物為較佳。
作為光聚合起始劑,亦能夠較佳地使用α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物及醯基膦化合物。例如,亦能夠使用日本特開平10-291969號公報中所記載之α-胺基酮化合物、日本專利第4225898號公報中所記載之醯基膦化合物。作為α-羥基酮化合物,能夠使用IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959、IRGACURE-127(以上為BASF公司製造)。作為α-胺基酮化合物,能夠使用IRGACURE-907、IRGACURE-369、IRGACURE-379及IRGACURE-379EG(以上為BASF公司製造)。α-胺基酮化合物能夠使用日本特開2009-191179號公報中所記載之化合物。作為醯基膦化合物,能夠使用作為市售品之IRGACURE-819或DAROCUR-TPO(以上為BASF公司製造)。
光聚合起始劑使用肟化合物為較佳。作為肟化合物的具體例,可以舉出日本特開2001-233842號公報中所記載之化合物、日本特開2000-80068號公報中所記載之化合物、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物、日本特開2016-21012號公報中所記載之化合物等。作為在本發明中能夠較佳地使用之肟化合物,例如可以舉出3-苯甲醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊烷-3-酮、2-乙醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺醯氧基)亞胺基丁烷-2-酮及2-乙氧基羰氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。又,亦可以舉出J.C.S.Perkin II(1979年,第1653頁-第1660頁)、J.C.S.Perkin II(1979年,第156頁-第162頁)、光聚合物科學與技術雜誌(Journal of Photopolymer Science and Technology)(1995年,第202頁-第232頁)、日本特開2000-66385號公報、日本特開2000-80068號公報、日本特表2004-534797號公報、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物等。 在市售品中,亦可以較佳地使用IRGACURE-OXE01、IRGACURE-OXE02、IRGACURE-OXE03、IRGACURE-OXE04(以上為BASF公司製造)。又,亦能夠使用TR-PBG-304(Changzhou Tronly New Electronic Materials CO.,LTD.製造)、ADEKA ARKLS NCI-831(ADEKA CORPORATION製造)、ADEKA ARKLS NCI-930(ADEKA CORPORATION製造)、ADEKA OPTOMER N-1919(ADEKA CORPORATION製造,日本特開2012-14052號公報中所記載之光聚合起始劑2)。
又,作為上述記載以外的肟化合物,可以使用在咔唑環的N位連接有肟之日本特表2009-519904號公報中所記載之化合物、在二苯甲酮部位導入有雜(hetero)取代基之美國專利第7626957號公報中所記載之化合物、在色素部位導入有硝基之日本特開2010-15025號公報及美國專利公開2009-292039號公報中所記載之化合物、國際公開WO2009/131189號公報中所記載之酮肟化合物、在同一分子內含有三嗪骨架和肟骨架之美國專利7556910號公報中所記載之化合物、 在405nm處具有吸收極大且對g射線光源具有良好的靈敏度之日本特開2009-221114號公報中所記載之化合物等。
肟化合物能夠較佳地使用下述式(OX-1)所表示之化合物。肟化合物可以係肟的N-O鍵為(E)體的肟化合物,亦可以係肟的N-O鍵為(Z)體的肟化合物,亦可以係(E)體與(Z)體的混合物。
[化學式13]
式(OX-1)中,R及B各自獨立地表示一價的取代基,A表示二價的有機基,Ar表示芳基。關於式(OX-1)的詳細內容,能夠參閱日本特開2013-029760號公報的段落號0276~0304的記載,該內容被併入本說明書中。
作為光聚合起始劑,本發明亦能夠使用具有茀環之肟化合物。作為具有茀環之肟化合物的具體例,可以舉出日本特開2014-137466號公報中所記載之化合物。該內容被併入本說明書中。
作為光聚合起始劑,本發明亦能夠使用具有氟原子之肟化合物。作為具有氟原子之肟化合物的具體例,可以舉出日本特開2010-262028號公報中所記載之化合物、日本特表2014-500852號公報中所記載之化合物24、36~40、日本特開2013-164471號公報中所記載之化合物(C-3)等。該內容被併入本說明書中。
作為光聚合起始劑,本發明能夠使用具有硝基之肟化合物。具有硝基之肟化合物設為二聚體亦較佳。作為具有硝基之肟化合物的具體例,可以舉出日本特開2013-114249號公報的段落號0031~0047、日本特開2014-137466號公報的段落號0008~0012、0070~0079中所記載之化合物、日本專利4223071號公報的段落號0007~0025中所記載之化合物、ADEKA ARKLS NCI-831(ADEKA CORPORATION製造)。
以下示出在本發明中較佳地使用之肟化合物的具體例,但本發明並不限定於該等。
[化學式14][化學式15]
肟化合物係在350nm~500nm的波長區域具有吸收極大之化合物為較佳,在360nm~480nm的波長區域具有吸收極大之化合物為更佳。又,肟化合物係365nm及405nm的吸光度較高的化合物為較佳。 從靈敏度的觀點而言,肟化合物在365nm或405nm下之莫耳吸光係數係1,000~300,000為較佳,2,000~300,000為更佳,5,000~200,000為特佳。 化合物的莫耳吸光係數能夠使用公知的方法進行測定。例如,藉由紫外可見分光光度計(Varian公司製造之Cary-5 分光光度計(spectrophotometer)),使用乙酸乙酯溶劑以0.01g/L的濃度測定為較佳。
光聚合起始劑包含肟化合物和α-胺基酮化合物亦較佳。藉由將兩者併用,顯影性得到提高,容易形成矩形性優異之圖案。當將肟化合物和α-胺基酮化合物併用時,相對於肟化合物100質量份,α-胺基酮化合物係50~600質量份為較佳,150~400質量份為更佳。
光聚合起始劑的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.1~50質量%為較佳,0.5~30質量%為更佳,1~20質量%為進一步較佳。若光聚合起始劑的含量在上述範圍內,則可得到更良好的靈敏度和圖案形成性。本發明的硬化性組成物可以僅包含1種光聚合起始劑,亦可以包含2種以上。當包含2種以上光聚合起始劑時,其合計量在上述範圍內為較佳。
<<鏈轉移劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有鏈轉移劑。依該態樣,能夠藉由曝光來促進膜表面(圖案表面)的硬化。因此,能夠抑制曝光時的膜厚減少等,容易形成矩形性更加優異之圖案。
作為鏈轉移劑,可以舉出N,N-二烷基胺基苯甲酸烷基酯或硫醇化合物等,硫醇化合物為較佳。硫醇化合物係在分子內具有2個以上(較佳為2~8個、更佳為3~6個)硫醇基之化合物為較佳。作為硫醇化合物的具體例,可以舉出2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基苯并咪唑、N-苯基巰基苯并咪唑、1,3,5-三(3-巰基丁氧基乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮等具有雜環之硫醇化合物、新戊四醇四(3-巰基丁酸酯)、1,4-雙(3-巰基丁醯氧基)丁烷等脂肪族系的硫醇化合物等。又,使用下述化合物亦較佳。又,作為鏈轉移劑的市售品,可以舉出PEMP(NAGASE & CO.,LTD.製造,硫醇化合物)、Sanceler M(SANSHIN CHEMICAL INDUSTRY CO.,LTD製造,硫醇化合物)、Karenz MT BD1(SHOWA DENKO K.K.製造,硫醇化合物)等。 [化學式16]
鏈轉移劑的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.2~5.0質量%為較佳,0.4~3.0質量%為更佳。又,鏈轉移劑的含量相對於聚合性化合物的100質量份,係1~40質量份為較佳,2~20質量份為更佳。
<<聚合抑制劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有聚合抑制劑。作為聚合抑制劑,可以舉出對苯二酚、對甲氧基苯酚、二-第三丁基-對甲酚、鄰苯三酚、第三丁基鄰苯二酚、苯醌、4,4’-硫代雙(3-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、N-亞硝基苯基羥胺鹽(銨鹽、亞鈰鹽等)。其中,對甲氧基苯酚為較佳。聚合抑制劑的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.01~5質量%為較佳。又,聚合抑制劑的含量相對於聚合性化合物的100質量份,係0.001~1質量份為較佳。上限係0.5質量份以下為較佳,0.2質量份以下為更佳。下限係0.01質量份以上為較佳,0.03質量份以上為更佳。本發明的硬化性組成物可以僅包含1種聚合抑制劑,亦可以包含2種以上。當包含2種以上聚合抑制劑時,其合計量在上述範圍內為較佳。
<<紫外線吸收劑>> 本發明的硬化性組成物含有紫外線吸收劑為較佳。 紫外線吸收劑可以舉出共軛二烯系化合物及二酮化合物。作為共軛二烯系化合物,可以舉出式(UV-1)所表示之化合物。 [化學式17]
式(UV-1)中,R1
及R2
各自獨立地表示氫原子、碳原子數1~20的烷基或碳原子數6~20的芳基,R1
和R2
可以彼此相同亦可以不同,但並不同時表示氫原子。
式(UV-1)所表示之化合物的取代基的說明能夠參閱國際公開WO2009/123109號公報的段落號0024~0033的記載,該內容被併入本說明書中。作為式(UV-1)所表示之化合物的具體例,可以舉出國際公開WO2009/123109號公報的段落號0034~0037的例示化合物(1)~(14),該內容被併入本說明書中。作為式(UV-1)所表示之紫外線吸收劑的市售品,例如可以舉出UV503(DAITO CHEMICAL CO.,LTD.製造)等。
作為二酮化合物,可以舉出下述式(UV-2)所表示之化合物。 [化學式18]式(UV-2)中,R101
及R102
各自獨立地表示取代基,m1及m2分別獨立地表示0~4。取代基可以舉出烷基、烯基、芳基、雜芳基、烷氧基、芳氧基、雜芳氧基、醯基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、雜芳氧基羰基、醯氧基、胺基、醯胺基、烷氧基羰基胺基、芳氧基羰基胺基、雜芳氧基羰基胺基、磺醯胺基、胺磺醯基、胺甲醯基、烷硫基、芳硫基、雜芳硫基、烷基磺醯基、芳基磺醯基、雜芳基磺醯基、烷基亞磺醯基、芳基亞磺醯基、雜芳基亞磺醯基、脲基、磷酸醯胺基、巰基、磺基、羧基、硝基、羥肟酸基、亞磺酸基、肼基、亞胺基、矽基、羥基、鹵素原子、氰基等,烷基及烷氧基為較佳。 烷基的碳數係1~20為較佳。烷基可以舉出直鏈、分支、環狀,直鏈或分支為較佳,分支為更佳。 烷氧基的碳數係1~20為較佳。烷氧基可以舉出直鏈、分支、環狀,直鏈或分支為較佳,分支為更佳。 R101
及R102
中的一者為烷基且另一者為烷氧基的組合為較佳。 m1及m2分別獨立地表示0~4。m1及m2分別獨立地係0~2為較佳,0~1為更佳,1為特佳。
作為式(UV-2)所表示之化合物,可以舉出下述化合物。 [化學式19]
紫外線吸收劑亦能夠使用Uvinul A(BASF公司製造)。又,紫外線吸收劑能夠使用胺基二烯化合物、水楊酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三唑化合物、丙烯腈化合物、三嗪化合物等紫外線吸收劑,作為具體例,可以舉出日本特開2013-68814號中所記載之化合物。作為苯并三唑化合物,可以使用MIYOSHI OIL & FAT CO.,LTD.製造之MYUA系列(化學工業日報,2016年2月1日)。
紫外線吸收劑的含量相對於本發明的硬化性組成物的總固體成分,係0.01~10質量%為較佳,0.01~5質量%為更佳。又,紫外線吸收劑的含量相對於聚合性化合物的100質量份,係5~100質量份為較佳。上限係80質量份以下為較佳,60質量份以下為更佳。下限係10質量份以上為較佳,20質量份以上為更佳。
<<矽烷偶合劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有矽烷偶合劑。本發明中,矽烷偶合劑係指具有水解性基和其以外的官能基之矽烷化合物。又,水解性基係指與矽原子直接連接、且能夠藉由水解反應及縮合反應中的至少任意一種反應產生矽氧烷鍵之取代基。作為水解性基,例如可以舉出鹵素原子、烷氧基、醯氧基等,烷氧基為較佳。亦即,矽烷偶合劑係具有烷氧基矽基之化合物為較佳。又,水解性基以外的官能基係在與樹脂之間相互作用或形成鍵而顯出親和性之基團為較佳。例如可以舉出乙烯基、苯乙烯基、(甲基)丙烯醯基、巰基、環氧基、氧雜環丁基、胺基、脲基、硫化物基、異氰酸酯基等,(甲基)丙烯醯基及環氧基為較佳。作為矽烷偶合劑,可以舉出日本特開2009-288703號公報的段落號0018~0036中所記載之化合物、日本特開2009-242604號公報的段落號0056~0066中所記載之化合物、國際公開WO2015/166779號公報的段落號0229~0236中所記載之化合物,該內容被併入本說明書中。
矽烷偶合劑的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.1~30質量%為較佳,0.5~20質量%為更佳,1~10質量%為特佳。本發明的硬化性組成物可以僅包含1種矽烷偶合劑,亦可以包含2種以上。當包含2種以上矽烷偶合劑時,其合計量在上述範圍內為較佳。
<<界面活性劑>> 從進一步提高塗佈性之觀點而言,本發明的硬化性組成物可以含有各種界面活性劑。作為界面活性劑,能夠使用氟系界面活性劑、非離子系界面活性劑、陽離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑、矽氧系界面活性劑等各種界面活性劑。界面活性劑能夠參閱國際公開WO2015/166779號公報的段落號0238~0245,該內容被併入本說明書中。
藉由在本發明的硬化性組成物中含有氟系界面活性劑,製備成塗佈液時的溶液特性(尤其係流動性)進一步得到提高,能夠進一步改善塗佈厚度的均勻性和省液性。當使用適用了含有氟系界面活性劑之硬化性組成物之塗佈液來形成膜時,被塗佈面與塗佈液的界面張力下降而改善對被塗佈面之潤濕性,對被塗佈面之塗佈性得到提高。因此,能夠更佳地形成厚度不均勻小的均勻厚度的膜。
氟系界面活性劑中的氟含有率為3~40質量%為較佳,更佳為5~30質量%,特佳為7~25質量%。氟含有率在該範圍內之氟系界面活性劑在塗佈膜的厚度均勻性和省液性的觀點上有效果,硬化性組成物中之溶解性亦良好。
作為氟系界面活性劑,具體而言,可以舉出日本特開2014-41318號公報的段落號0060~0064(對應之國際公開2014/17669號公報的段落號0060~0064)等中所記載之界面活性劑、日本特開2011-132503號公報的段落號0117~0132中所記載之界面活性劑,該等內容被併入本說明書中。作為氟系界面活性劑的市售品,例如可以舉出MEGAFACE F171、MEGAFACE F172、MEGAFACE F173、MEGAFACE F176、MEGAFACE F177、MEGAFACE F141、MEGAFACE F142、MEGAFACE F143、MEGAFACE F144、MEGAFACE R30、MEGAFACE F437、MEGAFACE F475、MEGAFACE F479、MEGAFACE F482、MEGAFACE F554、MEGAFACE F780(以上為DIC Corporation製造)、Fluorad FC430、Fluorad FC431、Fluorad FC171(以上為Sumitomo 3M Limited製造)、Surflon S-382、Surflon SC-101、Surflon SC-103、Surflon SC-104、Surflon SC-105、Surflon SC1068、Surflon SC-381、Surflon SC-383、Surflon S393、Surflon KH-40(以上為ASAHI GLASS CO.,LTD.製造)、PolyFox PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(以上為OMNOVA Solutions Inc.製造)等。
又,氟系界面活性劑亦能夠較佳地使用丙烯酸系化合物,該丙烯酸系化合物為具有含有氟原子之官能基之分子結構,且施加熱時含有氟原子之官能基部分被切斷而氟原子揮發。作為該種氟系界面活性劑,可以舉出DIC Corporation製造之MEGAFACE DS系列(化學工業日報,2016年2月22日)(日經產業新聞,2016年2月23日),例如可以舉出MEGAFACE DS-21,能夠使用該等。
氟系界面活性劑亦能夠使用嵌段聚合物。例如可以舉出日本特開2011-89090號公報中所記載之化合物。氟系界面活性劑亦能夠較佳地使用含氟高分子化合物,該含氟高分子化合物包含源自具有氟原子之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元和源自具有2個以上(較佳為5個以上)伸烷基氧基(較佳為伸乙基氧基、伸丙基氧基)之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元。下述化合物亦可以作為本發明中所使用之氟系界面活性劑而進行例示。 [化學式20]上述化合物的重量平均分子量較佳為3,000~50,000,例如為14,000。上述化合物中,表示重複單元的比例之%係質量%。
又,氟系界面活性劑亦能夠使用在側鏈中具有乙烯性不飽和基之含氟聚合物。作為具體例,可以舉出日本特開2010-164965號公報的段落號0050~0090及段落號0289~0295中所記載之化合物,例如DIC Corporation製造之MEGAFACE RS-101、RS-102、RS-718K、RS-72-K等。氟系界面活性劑亦能夠使用日本特開2015-117327號公報的段落號0015~0158中所記載之化合物。
作為非離子系界面活性劑,可以舉出丙三醇(glycerol)、三羥甲基丙烷、三羥甲基乙烷及該等的乙氧基化物及丙氧基化物(例如,丙三醇丙氧基化物、丙三醇乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯、Pluronic L10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2(BASF公司製造)、Tetronic 304、701、704、901、904、150R1(BASF公司製造)、Solsperse 20000(Japan Lubrizol Corporation製造)、NCW-101、NCW-1001、NCW-1002(Wako Pure Chemical Industries, Ltd.製造)、PIONIN D-6112、D-6112-W、D-6315(Takemoto Oil & Fat Co.,Ltd.製造)、OLFIN E1010、Surfynol 104、400、440(Nissin Chemical Co.,Ltd.製造)等。
界面活性劑可以僅使用1種,亦可以將2種以上組合。 界面活性劑的含量相對於硬化性組成物的總固體成分,係0.001~2.0質量%為較佳,0.005~1.0質量%為更佳。
<<其他成分>> 本發明的硬化性組成物根據需要可以含有增感劑、硬化促進劑、填料(filler)、熱硬化促進劑、熱聚合抑制劑、可塑劑、密合促進劑及其他助劑類(例如,導電性粒子、填充劑、消泡劑、阻燃劑、調平劑(leveling agent)、剝離促進劑、抗氧化劑、香料、表面張力調整劑、鏈轉移劑等)。該等成分能夠參閱日本特開2008-250074號公報的段落號0101~0104、0107~0109等的記載,該內容被併入本說明書中。又,作為抗氧化劑,可以舉出酚化合物、亞磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作為抗氧化劑,分子量500以上的酚化合物、分子量500以上的亞磷酸酯化合物或分子量500以上的硫醚化合物為更佳。該等可以混合使用2種以上。作為酚化合物,能夠使用作為酚系抗氧化劑而已知之任意的酚化合物。作為較佳的酚化合物,可以舉出受阻酚化合物。尤其,在與酚性羥基相鄰之部位(鄰位)具有取代基之化合物為較佳。作為前述取代基,碳數1~22的經取代或未經取代之烷基為較佳,甲基、乙基、丙醯基、異丙醯基、丁基、異丁基、第三丁基、戊基、異戊基、第三戊基、己基、辛基、異辛基、2-乙基己基為更佳。又,抗氧化劑係在同一分子內具有酚基和亞磷酸酯基之化合物亦較佳。又,抗氧化劑亦能夠較佳地使用磷系抗氧化劑。作為磷系抗氧化劑,可以舉出選自包括三[2-[[2,4,8,10-四(1,1-二甲基乙基)二苯并[d,f][1,3,2]二噁磷雜庚英(dioxaphosphepin)-6-基]氧基]乙基]胺、三[2-[(4,6,9,11-四-第三丁基二苯并[d,f][1,3,2]二噁磷雜庚英-2-基)氧基]乙基]胺及雙(2,4-二-第三丁基-6-甲基苯基)亞磷酸乙酯之組群中之至少1種化合物。該等能夠作為市售品而獲得。例如,可以舉出Adekastab AO-20、Adekastab AO-30、Adekastab AO-40、Adekastab AO-50、Adekastab AO-50F、Adekastab AO-60、Adekastab AO-60G、Adekastab AO-80、Adekastab AO-330(ADEKA CORPORATION)等。抗氧化劑的含量相對於組成物的總固體成分,係0.01~20質量%為較佳,0.3~15質量%為更佳。抗氧化劑可以僅係1種,亦可以係2種以上。在2種以上的情況下,合計量在上述範圍內為較佳。
例如藉由塗佈來形成膜時,本發明的硬化性組成物的黏度(23℃)在1~3000mPa・s的範圍內為較佳。下限係3mPa・s以上為較佳,5mPa・s以上為更佳。上限係2000mPa・s以下為較佳,1000mPa・s以下為更佳。
本發明的硬化性組成物在23℃下之Ti值係0.8~1.4為較佳,0.9~1.2為更佳,0.9~1.1為進一步較佳。硬化性組成物的Ti值能夠利用在上述顏料分散液欄中所說明之方法進行測定。
本發明的硬化性組成物能够較佳地用於近紅外線截止濾波器或紅外線透射濾波器等的形成。
<硬化性組成物的製備方法> 本發明的硬化性組成物能夠藉由混合上述各成分而進行製備。又,以去除異物或減少缺陷等為目的,利用過濾器進行過濾為較佳。關於過濾器的種類、過濾方法,可以舉出在顏料分散液的製備欄中所說明者,較佳的範圍亦相同。
<膜、近紅外線截止濾波器> 接著,對本發明的膜進行說明。本發明的膜係使用上述本發明的硬化性組成物而成者。本發明的膜能夠較佳地用作近紅外線截止濾波器或紅外線透射濾波器等濾波器。又,濾光器具有使用了本發明的膜之像素和選自紅色、綠色、藍色、洋紅色、黃色、青色、黑色及無色中之像素之態樣亦係較佳的態樣。又,本發明的膜亦能夠用作熱線遮蔽濾波器。本發明的膜可以具有圖案,亦可以係不具有圖案之膜(平坦膜)。又,本發明的膜可以積層於支撐體上進行使用,亦可以從支撐體上剝離本發明的膜而使用。又,當將本發明的膜用作紅外線透射濾波器時,紅外線透射濾波器例如可以舉出遮擋可見光且使波長900nm以上的波長的光透射之濾波器。當將本發明的膜用作紅外線透射濾波器時,係使用了包含近紅外線吸收有機顏料和遮擋可見光之色材(較佳為含有2種以上的彩色著色劑之色材或至少含有有機系黑色著色劑之色材)之硬化性組成物之濾波器、或者除了包含近紅外線吸收有機顏料之層以外,還另外存在遮擋可見光之色材的層之濾波器為較佳。當將本發明的膜用作紅外線透射濾波器時,近紅外線吸收有機顏料具有將透射之光(近紅外線)限定於更靠長波長側之作用。
本發明的膜的膜厚能夠根據目的適當調整。膜厚係20μm以下為較佳,10μm以下為更佳,5μm以下為進一步較佳。膜厚的下限係0.1μm以上為較佳,0.2μm以上為更佳,0.3μm以上為進一步較佳。
本發明的膜亦能夠與包含彩色著色劑之濾色器組合使用。濾色器能夠使用包含彩色著色劑之著色組成物來進行製造。作為彩色著色劑,可以舉出在本發明的硬化性組成物中所說明之彩色著色劑。著色組成物能夠進一步含有樹脂、硬化性化合物、光聚合起始劑、界面活性劑、溶劑、聚合抑制劑、紫外線吸收劑等。關於該等的詳細內容,可以舉出在本發明的硬化性組成物中所說明之材料,能夠使用該等。又,亦可以使本發明的膜含有彩色著色劑而製成具備作為近紅外線截止濾波器和濾色器之功能之濾波器。
另外,本發明中,近紅外線截止濾波器係指使可見區域的波長的光(可見光)透射並遮擋近紅外區域的波長的光(近紅外線)的至少一部分之濾波器。近紅外線截止濾波器可以係使可見區域的波長的光全部都透射者,亦可以係使可見區域的波長的光中特定的波長區域的光通過並遮擋特定的波長區域的光者。又,本發明中,濾色器係指使可見區域的波長的光中特定的波長區域的光通過並遮擋特定的波長區域的光之濾波器。又,紅外線透射濾波器係指遮擋可見區域的波長的光並使近紅外區域的波長的光(近紅外線)的至少一部分透射之濾波器。
當將本發明的膜用作近紅外線截止濾波器時,本發明的膜在700~1000nm的範圍具有極大吸收波長為較佳。又,在波長550nm下之吸光度A550與在極大吸收波長下之吸光度Amax之比亦即吸光度A550/吸光度Amax係0.002~0.040為較佳,0.003~0.030為更佳,0.004~0.020為進一步較佳。又,在波長400nm下之吸光度A400與在極大吸收波長下之吸光度Amax之比亦即吸光度A400/吸光度Amax係0.005~0.150為較佳,0.020~0.100為更佳,0.050~0.070為進一步較佳。又,關於膜的極大吸收波長,在720~980nm的範圍具有為更佳,在740~960nm的範圍具有為進一步較佳。
本發明的近紅外線截止濾波器,關於光的透射率,滿足以下(1)~(4)中的至少1個條件為較佳,滿足(1)~(4)全部條件為進一步較佳。 (1)在波長400nm下之透射率係70%以上為較佳,80%以上為更佳,85%以上為進一步較佳,90%以上為特佳。 (2)在波長500nm下之透射率係70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳,95%以上為特佳。 (3)在波長600nm下之透射率係70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳,95%以上為特佳。 (4)在波長650nm下之透射率係70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳,95%以上為特佳。
本發明中,近紅外線截止濾波器的膜厚係20μm以下且在波長400~650nm所有範圍內之透射率係70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。又,在波長700~1000nm範圍的至少1處之透射率係20%以下為較佳。
本發明的近紅外線截止濾波器除了本發明的膜以外,可以進一步具有含有銅之層、介電體多層膜、紫外線吸收層等。藉由近紅外線截止濾波器進一步具有含有銅之層和/或介電體多層膜,可容易得到視野角較廣且紅外線遮蔽性優異之近紅外線截止濾波器。又,藉由近紅外線截止濾波器進一步具有紫外線吸收層,能夠製成紫外線遮蔽性優異之近紅外線截止濾波器。作為紫外線吸收層,例如能夠參閱國際公開WO2015/099060號公報的段落號0040~0070、0119~0145中所記載之吸收層,該內容被併入本說明書中。作為介電體多層膜,能夠參閱日本特開2014-41318號公報的段落號0255~0259的記載,該內容被併入本說明書中。作為含有銅之層,亦能夠使用由含有銅之玻璃構成之玻璃基板(含銅之玻璃基板)、或包含銅錯合物之層(含銅錯合物之層)。作為含銅之玻璃基板,可以舉出含有銅之磷酸鹽玻璃、含有銅之氟磷酸鹽玻璃等。作為含銅之玻璃的市售品,可以舉出NF-50(AGC TECHNO GLASS Co.,Ltd.製造)、BG-60、BG-61(Schott公司製造)、CD5000(HOYA CORPORATION製造)等。作為含銅錯合物之層,可以舉出使用包含銅錯合物之組成物形成之層。銅錯合物係在700~1200nm的波長區域具有極大吸收波長之化合物為較佳。關於銅錯合物的極大吸收波長,在720~1200nm的波長區域具有為更佳,在800~1100nm的波長區域具有為進一步較佳。
本發明的膜及近紅外線截止濾波器能夠用於CCD(電荷耦合元件)或CMOS(互補金屬氧化物半導體)等固體攝像元件、或紅外線感測器、圖像顯示裝置等各種裝置。
<積層體> 本發明的積層體具有本發明的膜和包含彩色著色劑之濾色器。本發明的積層體中,本發明的膜和濾色器可以在厚度方向上相鄰,亦可以不相鄰。當本發明的膜和濾色器在厚度方向上不相鄰時,可以在與形成有濾色器之支撐體不同之支撐體上形成有本發明的膜,亦可以在本發明的膜與濾色器之間介有構成固體攝像元件之其他組件(例如,微透鏡、平坦化層等)。
<圖案形成方法> 接著,對使用了本發明的硬化性組成物之圖案形成方法進行說明。圖案形成方法包含以下製程為較佳:使用本發明的硬化性組成物,在支撐體上形成組成物層之製程;及藉由光微影法或乾式蝕刻法,對組成物層形成圖案之製程。
基於光微影法之圖案形成方法包含以下製程為較佳:使用硬化性組成物,在支撐體上形成組成物層之製程;將組成物層曝光成圖案狀之製程;及將未曝光部顯影去除而形成圖案之製程。根據需要,可以設置烘烤組成物層之製程(預烘烤製程)及烘烤經顯影之圖案之製程(後烘烤製程)。基於乾式蝕刻法之圖案形成方法包含以下製程為較佳:使用硬化性組成物,在支撐體上形成組成物層,並使其硬化而形成硬化物層之製程;在硬化物層上形成光阻劑層之製程;藉由曝光及顯影,將光阻劑層圖案化而得到抗蝕劑圖案之製程;及將抗蝕劑圖案作為蝕刻遮罩,對硬化物層進行乾式蝕刻而形成圖案之製程。以下,對各製程進行說明。
<<形成組成物層之製程>> 在形成組成物層之製程中,使用硬化性組成物,在支撐體上形成組成物層。
作為支撐體,例如能夠使用在基板(例如,矽基板)上設置有CCD或CMOS等固體攝像元件(受光元件)之固體攝像元件用基板。圖案可以形成於固體攝像元件用基板的固體攝像元件形成面側(表面),亦可以形成於固體攝像元件非形成面側(背面)。為了改良與上部層之密合、防止物質的擴散或基板表面的平坦化,在支撐體上根據需要可以設置下塗層。
作為將硬化性組成物適用於支撐體之方法,能夠使用公知的方法。例如,可以舉出滴加法(滴鑄);狹縫塗佈法;噴霧法;輥塗法;旋轉塗佈法(旋塗法);流延塗佈法;狹縫旋塗法;預濕法(例如,日本特開2009-145395號公報中所記載之方法);噴墨(例如按需方式、壓電方式、熱方式)、噴嘴噴射等噴出系印刷、柔版印刷、網版印刷、凹版印刷、逆轉偏移印刷、金屬遮罩印刷法等各種印刷法;使用了模具等之轉印法;奈米壓印法等。作為基於噴墨之適用方法並沒有特別限定,例如可以舉出《可推廣、使用之噴墨-專利中看到之無限可能性-,2005年2月發行,S. B. RESEARCH CO.,LTD.》所示之專利公報中所記載之方法(尤其第115頁~第133頁)、或日本特開2003-262716號公報、日本特開2003-185831號公報、日本特開2003-261827號公報、日本特開2012-126830號公報、日本特開2006-169325號公報等中所記載之方法。
形成於支撐體上之組成物層可以進行乾燥(預烘烤)。當藉由低溫製程形成圖案時,可以不進行預烘烤。當進行預烘烤時,預烘烤溫度係150℃以下為較佳,120℃以下為更佳,110℃以下為進一步較佳。下限例如能夠設為50℃以上,亦能夠設為80℃以上。藉由在150℃以下的預烘烤溫度下進行,例如在由有機材料構成影像感測器的光電轉換膜之情況下,能夠更加有效地維持該等的特性。預烘烤時間係10秒~300秒為較佳,40~250秒為更佳,80~220秒為進一步較佳。預烘烤能夠使用加熱板、烘箱等來進行。
(利用光微影法形成圖案之情況) <<曝光製程>> 接著,將組成物層曝光成圖案狀(曝光製程)。例如,使用步進機等曝光裝置,對組成物層介隔具有既定的遮罩圖案之遮罩進行曝光,藉此能夠進行圖案曝光。藉此,能夠使曝光部分硬化。 作為曝光時能夠使用之放射線(光),g射線、i射線等紫外線為較佳,i射線為更佳。照射量(曝光量)例如係0.03~2.5J/cm2
為較佳,0.05~1.0J/cm2
為更佳,0.08~0.5J/cm2
為最佳。 關於曝光時的氧濃度,能夠適當選擇,除了在大氣下進行以外,例如可以在氧濃度為19體積%以下的低氧環境下(例如,15體積%、5體積%、實質上無氧)下進行曝光,亦可以在氧濃度超過21體積%之高氧環境下(例如,22體積%、30體積%、50體積%)下進行曝光。又,曝光照度能夠適當設定,通常能夠從1000W/m2
~100000W/m2
(例如,5000W/m2
、15000W/m2
、35000W/m2
)的範圍選擇。氧濃度和曝光照度可以適當組合條件,例如能夠設為氧濃度10體積%且照度10000W/m2
、氧濃度35體積%且照度20000W/m2
等。
<<顯影製程>> 接著,將未曝光部顯影去除而形成圖案。未曝光部的顯影去除能夠使用顯影液來進行。 藉此,曝光製程中之未曝光部的組成物層溶出於顯影液中,只有經光硬化之部分殘留於支撐體上。 作為顯影液,不對基底的固體攝像元件或電路等帶來損傷之鹼顯影液為較佳。 顯影液的溫度例如係20~30℃為較佳。顯影時間係20~180秒為較佳。又,為了提高殘渣去除性,可以重複複數次每隔60秒甩掉顯影液,進而供給新的顯影液之製程。
作為顯影液中所使用之鹼劑,例如可以舉出氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二甘醇胺(diglycolamine)、二乙醇胺、羥胺、乙二胺、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、苄基三甲基氫氧化銨、二甲基雙(2-羥基乙基)氫氧化銨、膽鹼、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯等有機鹼性化合物、或氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉等無機鹼性化合物。顯影液可以較佳地使用將該等鹼劑於純水中稀釋而得到之鹼性水溶液。鹼性水溶液的鹼劑的濃度係0.001~10質量%為較佳,0.01~1質量%為更佳。又,顯影液中可以使用界面活性劑。作為界面活性劑的例子,可以舉出在上述硬化性組成物中所說明之界面活性劑,非離子系界面活性劑為較佳。另外,當使用了包括該種鹼性水溶液之顯影液時,顯影後利用純水清洗(沖洗)為較佳。
顯影後,在實施乾燥之後亦能夠進行加熱處理(後烘烤)。後烘烤係用於使膜完全硬化之顯影後的加熱處理。 當進行後烘烤時,後烘烤溫度例如係100~240℃為較佳。從膜硬化的觀點而言,200~230℃為更佳。又,使用有機電致發光(有機EL)元件作為發光光源之情況、或由有機材料構成影像感測器的光電轉換膜之情況,後烘烤溫度係150℃以下為較佳,120℃以下為更佳,100℃以下為進一步較佳,90℃以下為特佳。下限例如能夠設為50℃以上。能夠以成為上述條件之方式,使用加熱板或對流烘箱(熱風循環式乾燥機)、高頻加熱機等加熱機構,以連續式或間歇式對顯影後的膜進行後烘烤。
又,本發明的圖案形成方法可以在將未曝光部顯影去除之後(顯影後),進一步具有進行曝光之製程(以下,將顯影後的曝光亦稱為後曝光)。當使用包含肟化合物和α-胺基酮化合物之硬化性組成物作為光聚合起始劑時,進行後曝光為較佳。藉由以圖案形成前後的2個階段對組成物層進行曝光,能夠藉由最初的曝光(形成圖案之前的曝光)使組成物適度硬化,並藉由接下來的曝光(形成圖案之後的曝光)使整個組成物大致硬化。其結果,即使後烘烤溫度為180℃以下,亦能夠使硬化性組成物有效地硬化。即使在以2個階段進行曝光之情況下,亦可以在後曝光之後,進一步進行後烘烤。後烘烤溫度例如係100~240℃為較佳。
(利用乾式蝕刻法形成圖案之情況) 關於利用乾式蝕刻法之圖案形成,能夠使形成於支撐體上之組成物層硬化而形成硬化物層,接著,對所得到之硬化物層,將圖案化之光阻劑層作為遮罩,使用蝕刻氣體來進行。在形成光阻劑層時,進一步實施預烘烤處理為較佳。尤其,作為光阻劑的形成製程,實施曝光後的加熱處理、顯影後的加熱處理(後烘烤處理)之形態為較佳。關於利用乾式蝕刻法之圖案形成,能夠參閱日本特開2013-064993號公報的段落號0010~0067的記載,該內容被併入本說明書中。
<固體攝像元件> 本發明的固體攝像元件具有上述本發明的膜。作為本發明的固體攝像元件的構成,係具有本發明的膜之構成,只要係作為固體攝像元件發揮功能之構成,則並沒有特別限定。例如,可以舉出如下構成。
係如下構成:在支撐體上具有構成固體攝像元件的受光區之複數個光二極體及包括多晶矽等之傳輸電極,在光二極體及傳輸電極上具有只有光二極體的受光部開口之包括鎢等之遮光膜,在遮光膜上具有以覆蓋遮光膜全面及光二極體受光部之方式形成且包括氮化矽等之器件保護膜,在器件保護膜上具有本發明的膜。另外,亦可以係在器件保護膜上且本發明的膜的下側(靠近支撐體的一側)具有聚光機構(例如,微透鏡等。以下相同)之構成、或在本發明的膜上具有聚光機構之構成等。又,濾色器亦可以具有在由隔壁隔開成例如格子狀之空間中埋入有形成各顏色像素之硬化膜之結構。該情況下之隔壁相對於各像素係低折射率為較佳。作為具有該種結構之攝像裝置的例子,可以舉出日本特開2012-227478號公報、日本特開2014-179577號公報中所記載之裝置。
<圖像顯示裝置> 本發明的膜亦能夠用於液晶顯示裝置或有機電致發光(有機EL)顯示裝置等圖像顯示裝置。例如,能夠以遮斷圖像顯示裝置的背光(例如白色發光二極體(白色LED))中所包含之紅外光之目的、防止周邊設備的誤動作之目的、除了各著色像素以外還形成紅外像素之目的使用本發明的膜。
關於圖像顯示裝置的定義或詳細內容,例如記載於《電子顯示器器件(佐佐木昭夫著,Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd. 1990年發行)》、《顯示器器件(伊吹順章著,Sangyo Tosho Publishing Co., Ltd.,平成元年發行)》等。又,關於液晶顯示裝置,例如記載於《下一代液晶顯示器技術(內田龍男編輯,Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd.,1994年發行)》。對能夠適用本發明之液晶顯示裝置並沒有特別限制,例如能夠適用於上述的《下一代液晶顯示器技術》中所記載之各種方式的液晶顯示裝置。
圖像顯示裝置可以係具有白色有機EL元件者。作為白色有機EL元件,串聯(tandem)結構為較佳。關於有機EL元件的串聯結構,記載於日本特開2003-45676號公報、三上明義監修、《有機EL技術開發的最前線-高亮度・高精度・長寿命化・技巧集-》、技術情報協會、第326頁-第328頁、2008年等。有機EL元件所發出之白色光的光譜係在藍色區域(430nm-485nm)、綠色區域(530nm-580nm)及黃色區域(580nm-620nm)具有較強的極大發光峰者為較佳。除了該等發光峰以外,進一步在紅色區域(650nm-700nm)具有極大發光峰者為更佳。
<紅外線感測器> 本發明的紅外線感測器具有上述本發明的膜。作為本發明的紅外線感測器的構成,係具有本發明的膜之構成,只要係作為紅外線感測器發揮功能之構成,則並沒有特別限定。
以下,使用圖式對本發明的紅外線感測器的一實施形態進行說明。 圖1中,符號110為固體攝像元件。設置於固體攝像元件110上之攝像區域具有近紅外線截止濾波器111和紅外線透射濾波器114。又,在近紅外線截止濾波器111上積層有濾色器112。在濾色器112及紅外線透射濾波器114的入射光hν側配置有微透鏡115。以覆蓋微透鏡115之方式形成有平坦化層116。近紅外線截止濾波器111能夠使用本發明的組成物來形成。
濾色器112係形成有透射並吸收可見區域中之特定波長的光之像素之濾色器,並沒有特別限定,能夠使用先前公知的像素形成用的濾色器。例如可以使用形成有紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)的像素之濾色器等。例如,能夠參閱日本特開2014-043556號公報的段落號0214~0263的記載,該內容被併入本說明書中。
紅外線透射濾波器114可以根據所使用之紅外LED的發光波長來選擇其特性。例如,當紅外LED的發光波長為850nm時,紅外線透射濾波器114在膜的厚度方向上之透光率在波長400~650nm的範圍內之最大值係30%以下為較佳,20%以下為更佳,10%以下為進一步較佳,0.1%以下為特佳。該透射率在波長400~650nm的範圍的整個區域中滿足上述條件為較佳。在波長400~650nm的範圍內之最大值通常係0.1%以上。
紅外線透射濾波器114 在膜的厚度方向上之透光率在波長800nm以上(較佳為800~1300nm)的範圍內之最小值係70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。該透射率在波長800nm以上的範圍的一部分滿足上述條件為較佳,在與紅外LED的發光波長相對應之波長下滿足上述條件為較佳。在波長900~1300nm的範圍內之透光率的最小值通常係99.9%以下。
紅外線透射濾波器114的膜厚係100μm以下為較佳,15μm以下為更佳,5μm以下為進一步較佳,1μm以下為特佳。下限值係0.1μm為較佳。若膜厚在上述範圍內,則能夠製成滿足上述分光特性之膜。 以下示出紅外線透射濾波器114的分光特性、膜厚等的測定方法。 關於膜厚,使用觸針式表面形狀測定器(ULVAC, Inc.製造之DEKTAK150),對具有膜之乾燥後的基板進行了測定。 膜的分光特性係使用紫外可見近紅外分光光度計(Hitachi High-Technologies Corporation製造之U-4100)在波長300~1300nm的範圍內測定透射率而得到之值。
又,例如,當紅外LED的發光波長為940nm時,紅外線透射濾波器114在膜的厚度方向上之光的透射率在波長450~650nm的範圍內之最大值係20%以下、在膜的厚度方向上之波長835nm的光的透射率係20%以下、在膜的厚度方向上之光的透射率在波長1000~1300nm的範圍內之最小值係70%以上為較佳。 [實施例]
以下,舉出實施例對本發明進行進一步具體的說明。以下實施例所示之材料、使用量、比例、處理內容、處理步驟等,只要不脫離本發明的趣旨,則能夠適當變更。因此,本發明的範圍並不限定於以下所示之具體例。另外,只要沒有特別指定,則“%”及“份”為質量基準。以下的結構式中,Me表示甲基,Ph表示苯基。
<近紅外線吸收有機顏料的製造> 將下述表中所記載之顏料、磨碎劑及黏結劑添加到LABO PLASTOMILL(Toyo Seiki Seisaku-sho, Ltd.製造)中,以使裝置中的混煉物的溫度成為下述表中所記載之溫度(碾磨溫度)之方式控制溫度,以下述表中所記載之碾磨時間進行了混煉。 利用24℃的水10L,對混煉研磨後的混煉物進行水洗處理而除掉磨碎劑及黏結劑,並在加熱烘箱中進行80℃、24小時的處理而得到了近紅外線吸收有機顏料。測定了所得到之近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑、一次粒徑的變異係數、平均長短邊比、長短邊比的變異係數及粉末X射線繞射光譜。又,基於粉末X射線繞射光譜,求出了繞射角度2θ為5~12°的區域中之繞射強度最大的峰的半峰全寬、結晶度的值。
[表2]
上述表中所記載之材料如下所示。 (顏料) 顏料2:下述結構的化合物(係近紅外線吸收有機顏料) [化學式21]顏料4:下述結構的化合物(係近紅外線吸收有機顏料) [化學式22](磨碎劑) 磨碎劑1:中性無水芒硝E(硫酸鈉,平均粒徑(體積基準的50%直徑(D50))=20μm,MITAJIRI Chemical Industry Co.,Ltd.製造) 磨碎劑2:Nacl UM(氯化鈉,平均粒徑(體積基準的50%直徑(D50))=50μm,Naikai Salt Industries Co.,LTD.製造) 磨碎劑3:OSHIO MICRON T-0(氯化鈉,平均粒徑(體積基準的50%直徑(D50))=10μm,Ako Kasei Co.,Ltd.製造) (黏結劑) DEG:二乙二醇
<評價> (近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑、一次粒徑的變異係數的測定) 藉由透射型電子顯微鏡觀察近紅外線吸收有機顏料的一次粒子,依所得到之照片求出。具體而言,求出近紅外線吸收有機顏料的一次粒子的投影面積,將與其相對應之等效圓直徑設為近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑。將對400個近紅外線吸收有機顏料的一次粒子之一次粒徑的算術平均值設為平均一次粒徑。又,基於下述式求出了一次粒徑的變異係數。 近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的變異係數=(近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的標準偏差/近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的算術平均值)×100
(近紅外線吸收有機顏料的平均長短邊比、長短邊比的變異係數的測定) 藉由透射型電子顯微鏡觀察近紅外線吸收有機顏料的一次粒子,依所得到之照片求出。具體而言,依所投影之照片求出近紅外線吸收有機顏料的一次粒子的短邊與長邊之比(短邊/長邊),計算出長短邊比。又,基於下述式求出了長短邊比的變異係數。 近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的變異係數=(近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的標準偏差/近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的算術平均值)×100
(近紅外線吸收有機顏料的粉末X射線繞射光譜的測定) 使用Rigaku Corporation製造之試樣水平型強力X射線繞射裝置RINT-TTR III作為測定裝置,在繞射角度2θ=5°~55°、電壓50kV、電流300mA、掃描速度4°/min、步進間隔0.1、狹縫(散射0.05mm、發散10mm、受光0.15mm)的條件下,測定了近紅外線吸收有機顏料的粉末X射線繞射光譜。
(半峰全寬的測定) 在所得到之粉末X射線繞射光譜中,將繞射角度2θ為5~12°的繞射強度最大的峰擬合在勞倫茲函數[y=A/(1+((x-x0)/w)2
)+h]中而求出了該峰的半峰全寬。其中,y為強度,A為峰高度,x為2θ,x0為峰位置,w為峰寬度(半峰半寬),h為基線。
(結晶度的測定) 在粉末X射線繞射光譜中,將連結在繞射角度2θ為5~15°的區域中最低的點和在25~35°的區域中最低的點之直線作為基線,使用從粉末X射線繞射光譜的實測值減去基線的值而得到之光譜補正值,使用下述式測定了結晶度。 結晶度=[Ic/(Ia+Ic)] 式中,Ic係於繞射角度2θ為15°以上的區域,粉末X射線繞射光譜中源自晶體之峰的繞射強度的最大值,Ia係粉末X射線繞射光譜中源自非晶之峰的繞射強度的最大值。 另外,將半峰全寬為1°以下的峰設為源自晶體之峰。又,將半峰全寬超過3°之峰設為源自非晶之峰。
[表3]
<分散液的製備> 將3.13質量份實施例1~9、比較例1~3的近紅外線吸收有機顏料、0.63質量份顏料衍生物1、2.25質量份分散劑1、44質量份丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)、66質量份直徑為0.5mm的氧化鋯珠於塗料攪拌器中分散處理120分鐘之後,利用傾析法分離氧化鋯珠而製備出分散液。
顏料衍生物1:下述化合物 [化學式23]分散劑1:下述結構的樹脂(重量平均分子量=21000)。主鏈中所附記之數值表示重複單元的莫耳比,側鏈中所附記之數值表示重複單元的數量。 [化學式24]
<分光特性、耐熱性的評價> 使用混合10質量份使用了上述中所得到之實施例及比較例的近紅外線吸收有機顏料之分散液和10質量份樹脂1而得到之試樣溶液,評價了分光特性及耐熱性。 樹脂1:Daicel Corporation製造之CYCLOMER P(ACA)230AA
(分光特性) 利用旋塗法,將試樣溶液以塗佈後的膜厚成為0.3μm之方式塗佈於玻璃晶片上,然後,使用加熱板於100℃下加熱了2分鐘。接著,使用i射線步進機曝光裝置FPA-3000i5+(Canon Inc.製造)以1000mJ/cm2
進行了曝光。另外,使用加熱板於220℃下加熱5分鐘而形成了膜。對於形成有膜之基板,使用分光光度計U-4100(Hitachi High-Technologies Corporation製造)求出極大吸收波長、在極大吸收波長下之吸光度Amax、在波長550nm下之吸光度A550、在波長400nm下之吸光度A400,並計算出在波長550nm下之吸光度A550與極大吸收波長下之吸光度Amax之比(吸光度A550/吸光度Amax)、在波長400nm下之吸光度A400與在極大吸收波長下之吸光度Amax之比(吸光度A400/吸光度Amax)。
(耐熱性) 進一步使用加熱板,於220℃下將以上述分光特性評價之基板加熱60分鐘,並使用分光硬度計U-4100(Hitachi High-Technologies Corporation製造)測定了透射率。利用下述式求出了在波長400~1000nm的範圍內之透射率中,在加熱前後透射率的變化最大的波長下之透射率的變化(最大透射率變動)。最大透射率變動接近零,表示耐熱性優異。 最大透射率變動=加熱前的透射率-加熱後的透射率 [表4]
如上述表所示,實施例的吸光度A400及吸光度A550較低,且可見透明性優異。又,耐熱性亦良好。
實施例中,作為分散劑,即使置換為本說明書中所記載之分散劑,亦可以得到相同之效果。
又,即使在使用方酸菁化合物或花青化合物作為近紅外線吸收有機顏料之情況下,藉由滿足以下的特性,亦可得到與實施例相同之效果。 於近紅外線吸收有機顏料中之粉末X射線繞射光譜中,在繞射角度2θ為5~12°的區域具有繞射強度的峰,該區域中之繞射強度最大的峰的半峰全寬為0.3~0.6°。
110‧‧‧固體攝像元件
111‧‧‧近紅外線截止濾波器
112‧‧‧濾色器
114‧‧‧紅外線透射濾波器
115‧‧‧微透鏡
116‧‧‧平坦化層
hν‧‧‧入射光
圖1係表示紅外線感測器的一實施形態之概略圖。
Claims (18)
- 一種近紅外線吸收有機顏料,其於粉末X射線繞射光譜中,在繞射角度2θ為5~12°的區域具有繞射強度的峰,前述區域中之繞射強度最大的峰的半峰全寬為0.3~0.6°。
- 如申請專利範圍第1項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述半峰全寬為0.3~0.45°。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑為10~100nm。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述近紅外線吸收有機顏料的平均一次粒徑為20~45nm。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述近紅外線吸收有機顏料的一次粒徑的變異係數為20~35%。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述近紅外線吸收有機顏料的平均長短邊比為0.5~0.9。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述近紅外線吸收有機顏料的長短邊比的變異係數為10~30%。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述近紅外線吸收有機顏料的下述式所表示之結晶度的值為0.9~0.99; 結晶度=[Ic/(Ia+Ic)] 式中,Ic係於繞射角度2θ為15°以上的區域,粉末X射線繞射光譜中源自晶體之峰的繞射強度的最大值, Ia係粉末X射線繞射光譜中源自非晶之峰的繞射強度的最大值。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之近紅外線吸收有機顏料,其中前述近紅外線吸收有機顏料係選自吡咯并吡咯化合物及方酸菁化合物中之至少1種。
- 一種顏料分散液,其包含申請專利範圍第1項至第9項中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料、樹脂及溶劑。
- 如申請專利範圍第10項所述之顏料分散液,其進一步包含顏料衍生物。
- 一種硬化性組成物,其包含申請專利範圍第1項至第9項中任一項所述之近紅外線吸收有機顏料、樹脂、硬化性化合物及溶劑。
- 一種膜,其使用了申請專利範圍第12項所述之硬化性組成物。
- 一種近紅外線截止濾波器,其具有申請專利範圍第13項所述之膜。
- 一種積層體,其具有申請專利範圍第13項所述之膜和包含彩色著色劑之濾色器。
- 一種固體攝像元件,其具有申請專利範圍第13項所述之膜。
- 一種圖像顯示裝置,其具有申請專利範圍第13項所述之膜。
- 一種紅外線感測器,其具有申請專利範圍第13項所述之膜。
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