TW201803732A - 積層裝置、積層方法及太陽電池模組之製造方法 - Google Patents
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Abstract
一種積層裝置，係具備：上腔室；下腔室(30)，與上腔室之間形成空間並且具備溫度控制部，該溫度控制部係具有加熱或冷卻空間內之太陽電池模組之積層體(10S)的熱板(32)；以及隔膜，能夠在空間內位移。溫度控制部係具備：熱板(32)，載置並加熱積層體(10S)；複數個升降銷(34)，能夠上下動作地埋設於熱板(32)內，使熱板(32)上的積層體位移；以及升降裝置，使升降銷(34)獨立地上下動作；用隔膜和熱板(32)來加熱加壓熱板(32)上的積層體(10S)。
Description
本發明係關於一種用於太陽電池模組之製造的積層裝置、積層方法及太陽電池模組之製造方法。
以往，有提出一種用薄片狀之樹脂封閉材料來封閉太陽電池單元以形成太陽電池模組的積層裝置之技術。太陽電池模組係具備：將太陽電池單元的積層體經封閉者；以及支撐所封閉的積層體之周圍的框架。太陽電池模組係將在被加工物之透光性基板上積層太陽電池單元、封閉樹脂、以PET(PolyEthylene Terephthalate：聚對苯二甲酸二乙酯)為例的耐水樹脂薄片而成的積層體，在積層裝置進行加熱加壓處理，使各構件密接而成者。
用於太陽電池模組之製造的積層裝置中，係有各種的積層裝置。在一例的裝置中，係先在上腔室與下腔室之間夾著隔膜片，藉由加熱器來加熱設置於下腔室內的熱板，且在該熱板上載置被加工物。
其次，開啟上腔室的排氣閥，藉由真空泵使上腔室內部成為負壓，藉由加熱器來加熱熱板，藉此加熱被加工物。
並且，藉由開啟下腔室的排氣閥使下腔室內部成為負壓，將被加工物產生的氣泡排出至外部之後，關閉上腔室的排氣閥且開啟上腔室的吸氣閥，使上腔室內部成為大氣壓力，藉此使隔膜片膨脹而加壓被加工物。關閉下腔室的排氣閥且開啟下腔室的吸氣閥，使下腔室內部成為大氣壓力，藉此分離上腔室與下腔室，以取出加工完的被加工物。
在此，在積層裝置中，已有提出一種用以在積層處理被加工物時，抑制被加工物之透光性基板被加熱的方法。在專利文獻1中，已揭示以下的方法：在進行藉由隔膜片所為的加壓之前，用支撐透光性基板且沿著上下方向可動的升降銷抬升，以在透光性基板與熱板之間設置間隙，藉此縮短透光性基板從積層裝置之熱板直接承受加熱的時間，以緩和透光性基板的加熱速度。
又，在專利文獻2中，已揭示以下的方法：在積層裝置自動搬入被加工物時，藉由升降銷或是等同於升降銷的支撐機構來抬升為了搬運用而設置於被加工物與熱板之間的搬運薄片與被加工物。用專利文獻2的方法，亦可防止搬運中的被加工物直接接觸於熱板，而可緩和加熱。
專利文獻1：日本特開2011-129753號公報
專利文獻2：日本特開2012-51338號公報
在積層處理中，藉由來自熱板的加熱，有時會在被加工物之厚度方向之離熱源較近的部位和離熱源較遠的部位產生溫差，使得被加工物發生翹曲。又，由於被加工物翹曲而更使溫差變大，因封閉樹脂的流動性會依溫度的差異而不同，故會有發生以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良的問題。
有關此等問題，如專利文獻1或是專利文獻2所揭示般，可藉由在搬運時防止與熱源之接觸的方法來抑制搬運時的翹曲之發生。然而，因藉由升降銷所支撐的被加工物，因面內與熱板的距離皆為均一，故在發生厚度方向之溫差下進行積層處理的過程中加熱被加工物時，會在熱源側與非熱源側之面產生溫差，因熱膨脹之差而發生翹曲。又，藉由升降銷的支撐而設置與熱板之間隙的方法，雖可防止來自熱板的直接加熱，但是無法防止由於熱膨脹所造成的翹曲。從而，即便是專利文獻1或是專利文獻2，仍無法避免因熱源側與非熱源側之面的溫差所引起因熱膨脹之差所產生的翹曲而發生面內溫差，因而會發生以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良。
本發明係有鑑於上述情事而開發完成者，其目的在於獲得一種能夠減輕積層時的被加工物之面內溫度分布，而能夠抑制以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良之發生的積層裝置。
為了解決上述的課題，達成目的，本發明的積層裝置係具備：上腔室；下腔室，與上腔室之間形成空間，並且具備加熱或冷卻空間內之被加工物的溫度控制部；以及隔膜，能夠在空間內位移。溫度控制部係具備：熱板，載置並加熱被加工物；複數個位移部，能夠上下動作地埋設於熱板內，使熱板上的被加工物位移；以及升降裝置，使位移部之各個獨立地上下動作；用熱板和隔膜來加熱加壓熱板上的被加工物。
依據本發明，可獲得一種能夠減輕積層時的被加工物之面內溫度分布，而能夠抑制以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良之發生的積層裝置。
1‧‧‧太陽電池單元
2‧‧‧接合焊線
3‧‧‧封閉樹脂
3a、3b‧‧‧樹脂薄片
4‧‧‧玻璃基板
5‧‧‧保護薄片
10‧‧‧太陽電池模組
10S‧‧‧積層體
11‧‧‧框架
20‧‧‧上腔室
30‧‧‧下腔室
32‧‧‧熱板
32p、32q、32r‧‧‧小熱板
33、33q、33S‧‧‧升降銷升降用孔(開口)
33p‧‧‧熱板升降用孔
34、34q‧‧‧升降銷
34p‧‧‧熱板升降銷
35‧‧‧升降裝置
35p‧‧‧熱板升降裝置
36‧‧‧黏著防止薄片
37‧‧‧溫度感測器
38‧‧‧感測器升降裝置
40‧‧‧隔膜片
50‧‧‧真空泵
51‧‧‧上腔室用排氣閥
52‧‧‧下腔室用排氣閥
53‧‧‧上腔室用吸氣閥
54‧‧‧下腔室用吸氣閥
55‧‧‧板狀體
56‧‧‧開口
57‧‧‧分割部
100‧‧‧積層裝置
H‧‧‧加熱器
第1圖係顯示實施形態1的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之立體圖。
第2圖係顯示實施形態1的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。
第3圖係示意顯示實施形態1的太陽電池模組之製造
裝置中所用的積層裝置之構造的剖面說明圖。
第4圖係顯示實施形態1的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。
第5圖係顯示實施形態1的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。
第6圖(a)至(d)係顯示使用實施形態1之積層裝置的太陽電池模組之製造步驟的圖。
第7圖係用實施形態1的積層方法所形成的太陽電池模組之立體圖。
第8圖係顯示實施形態1的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之熱板的俯視圖。
第9圖係顯示實施形態2的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之熱板的俯視圖。
第10圖係顯示實施形態3的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。
第11圖係顯示實施形態3的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。
第12圖係顯示實施形態3的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。
第13圖係實施形態3的積層裝置之熱板的俯視圖。
第14圖係顯示實施形態4的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之熱板的俯視圖。
第15圖係顯示實施形態5的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。
第16圖係顯示實施形態5的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。
第17圖係顯示實施形態5的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。
第18圖係顯示實施形態6的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。
第19圖係顯示實施形態6的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。
第20圖係顯示實施形態6的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。
第21圖係顯示實施形態7的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。
第22圖係顯示實施形態7的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖；且為第21圖的XXII-XXII剖視圖。
第23圖係顯示實施形態7的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖；且為第21圖的XXIII-XXIII剖視圖。
第24圖係顯示實施形態8的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。
以下，基於圖式詳細說明使用本發明之積層裝置及積層方法的太陽電池模組之製造方法的實施形態。再者，本發明不限於以下的描述，在未脫離本發明之
要旨的範圍內能夠做適當變更。又，以下所示的圖式中，為了容易理解而有各構件之尺寸比例與實際不同的情況。
〔實施形態1〕
第1圖係顯示本發明之實施形態1的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之立體圖，第2圖係顯示該積層裝置之下腔室的剖面放大圖。第2圖係顯示第1圖的II-II剖面。第3圖係示意顯示本發明之實施形態1的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之構造的剖面說明圖。第4圖及第5圖係顯示實施形態1的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。實施形態1的積層裝置100係具備：上腔室20；下腔室30，與上腔室20之間形成空間，並且具備將空間內之作為被加工物的太陽電池模組用之積層體10S加熱或冷卻的溫度控制部；以及構成隔膜的隔膜片40，其能夠在空間內位移。溫度控制部係具備：熱板32，載置並加熱被加工物；構成複數個位移部的升降銷34，其能夠上下動作地埋設於熱板32內，將熱板32上的積層體10S抬升使其位移；以及升降裝置35，使升降銷34獨立地上下動作；用隔膜片40和熱板32對熱板32上的積層體10S加熱、加壓。熱板32係用埋設於熱板32內的加熱器H來加熱。升降裝置35係具有能夠獨立地上下動作且在熱板32之平面內亦能夠於平面方向位移的複數個升降銷34，升降銷34係能夠使積層體10S上下動作，調整與熱板32的面內距離，並且亦能夠藉由在開口內亦即在升降銷升降用孔33內的位移，而改變在熱板32的面內之位置。
積層裝置100係如第3圖所示，上腔室20和下腔室30係以真空泵50來減壓，惟，上腔室20和下腔室30可藉由上腔室用排氣閥51及下腔室用排氣閥52獨立地控制內壓。上腔室20係透過上腔室用排氣閥51來連接於真空泵50。另一方面，下腔室30係透過下腔室用排氣閥52來連接於真空泵50。又，上腔室20係具有上腔室吸氣閥53而可控制大氣壓的流入。另一方面，下腔室30係具有下腔室用吸氣閥54而可控制大氣壓的流入。
積層裝置100之上腔室20係具備隔膜片40，在上腔室20和下腔室30重疊之際，成為以隔膜片40將上腔室20和下腔室30劃分成二室的構造。
積層裝置100之下腔室30係具備：用以加熱作為被加工物的積層體10S的熱板32和氟樹脂製的黏著防止薄片36；用以在加工中支撐積層體10S的複數個升降銷34；以及使升降銷34升降的升降裝置35；在熱板32之上裝載黏著防止薄片36，更在黏著防止薄片36之上裝載積層體10S。黏著防止薄片36係防止藉由熱板32加熱的積層體10S中之封閉樹脂3熔融而從玻璃基板4溢出，黏著於熱板32。升降銷34係比熱板32之上面設置於下方，藉由升降裝置35上升至比熱板32上面更上方而可在積層體10S與熱板32之間設置間隙。如第8圖所示之熱板32之俯視圖，熱板32係設置有複數個升降銷升降用孔33。第4圖及第5圖係相當於第8圖的IV-IV剖面。如第4圖及第5圖所示，複數個升降裝置35具有可使複數個升降銷
34個別地升降的功能，而能夠使複數個升降銷34於高度方向變動。升降銷升降用孔33係在限制升降銷34之水平方向的移動下，使升降銷34能夠僅沿高度方向移動，以可調整黏著防止薄片36的高度。在此，升降裝置35係具備以電動缸(Robo-cylinder)為首的驅動裝置，而可在升降銷升降用孔33之範圍內自如地定位於上下方向。
其次，參照第6圖來說明使用積層方法的太陽電池模組之製造方法，該積層方法係使用實施形態1的積層裝置100。第6圖(a)至(d)係顯示使用實施形態1之積層裝置100的太陽電池模組之製造步驟的圖。如第6圖所示，實施形態1的積層裝置100係將用接合焊線2連接太陽電池單元1而形成為陣列狀者，隔著樹脂薄片3a、3b包夾於玻璃基板4與作為背面保護材料的保護薄片5之間所形成之積層體10S載置於其上，並進行加熱、加壓而形成太陽電池模組10。
在說明積層步驟之前，首先針對太陽電池模組之製造步驟簡單說明。
首先，如第6圖(a)所示，將樹脂延伸成所期望之厚度，形成樹脂薄片3a及3b。
另一方面，形成太陽電池單元1，且用接合焊線2將該等單元的正極連接於鄰接單元的負極，如第6圖(b)所示地形成由太陽電池單元1連接成的電池組。
其次，如第6圖(c)所示，在玻璃基板4上，依順序積層經延伸的樹脂薄片3a、用接合焊線2連接太陽
電池單元1而成的電池組、經延伸的樹脂薄片3b、以及由以PET為首的耐水樹脂所構成的保護薄片5，形成積層體10S。
然後，將積層體10S搬運至第1圖至第5圖所示的積層裝置100，以積層裝置100實施積層處理。積層步驟係包含：矯正步驟，係在將積層體10S載置於熱板32上之後，在積層體10S的面內，使熱板32與積層體10S之距離變化而矯正積層體10S之熱變形。
在積層裝置100中，首先，如第1圖及第2圖所示，藉由設置於下腔室30之熱板32的加熱器H，將熱板32升溫至任意的溫度，且分離上腔室20和下腔室30，將作為被加工物的積層體10S裝載於已設置於下腔室30之熱板32之上方的黏著防止薄片36上。在裝載積層體10S時，以第6圖(c)所示的積層體10S之玻璃基板4側成為下側的方式裝載於黏著防止薄片36上。
然後，藉由升降裝置35使升降銷34上升，將黏著防止薄片36和積層體10S抬升，藉此，在與熱板32之間設置間隙。在此，在黏著防止薄片36設置有與設置於熱板32之升降銷升降用孔33同形狀的孔的情況下，係能夠僅抬升積層體10S。第4圖係圖示在黏著防止薄片36之上裝載積層體10S的狀態。僅使升降銷34上升至均一高度，作為被加工物的積層體10S之厚度方向會產生溫差，而如第4圖所示，在積層體10S發生翹曲。然後，若持續加熱，則積層體10S的翹曲會變大。若翹曲變大，則
積層體10S之中央部與端部的溫差亦會變大，由第6圖所示之樹脂薄片3a、3b所構成的封閉樹脂3之流動性亦會產生差異。
對此，如第5圖所示，藉由提高積層體10S之中央部的升降銷34，而能進行積層體10S的玻璃基板4之翹曲的矯正，積層體10S會在短時間內回復到原來的平坦形狀。並且，在已呈平坦形狀的積層體10S載置於熱板32的狀態下，藉由升降裝置35使升降銷34下降，形成第2圖所示的平坦形狀的積層體10S。
經上述步驟，在進行積層體10S之翹曲的矯正之後，立即開啟第3圖所示的積層裝置100之上腔室用排氣閥51，藉由真空泵50使由上腔室20和隔膜片40所劃分的空間成為負壓，且將上腔室20重疊於下腔室30之上。然後，開啟下腔室用排氣閥52，藉由真空泵50使由下腔室30和上腔室20之隔膜片40所劃分的空間亦成為負壓。在將積層體10S所產生的氣泡排出至外部之後，藉由升降裝置35使升降銷34下降至比熱板32之上面還下方，且往由上腔室20和隔膜片40所劃分的空間進行吸氣，加壓積層體10S整體。
如上所述，可在積層裝置100內實施積層處理之後，將積層體10S加熱、加壓，而取出已完成藉由封閉樹脂3所為之封閉的加工完成的太陽電池模組10。
在以上述步驟中被封閉的太陽電池模組用之積層體10S安裝框架11，如第6圖(d)之主要部分剖視
圖、第7圖之立體圖所示，完成太陽電池模組10。
依據實施形態1的積層方法，藉由可使複數個升降銷34獨立並個別地於高度方向變動，可在積層處理之前，先矯正作為被加工物的積層體10S所產生的翹曲或撓曲。又，經檢討，可明白以下的結果。積層體10S的玻璃基板4之短邊的長度為600mm以上的尺寸時，翹曲或是撓曲的影響會變大。更且，短邊為600mm以上且長邊的長度為800mm以上的尺寸時，翹曲的影響會變得顯著，而本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。有關玻璃之厚度，例如，因3.0mm以上時，翹曲的大小會變得顯著，故本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。又，藉由升降銷34之位置可於平面方向變動，可防止因被加工物之面積或形狀之故，使得被加工物之一部分接觸於熱板32而急速加熱。從而，可減輕由樹脂薄片3a、3b所構成的封閉樹脂3之流動性差異，而可抑制以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良之發生。
依據實施形態1的積層裝置100，藉由具備使複數個升降銷34於高度方向獨立地位移之升降裝置35，可矯正加熱中產生在被加工物的翹曲或撓曲。從而，可改變被加工物與熱板32之距離而可控制被加工物之面內的加熱量。藉由可將複數個升降銷34個別地於平面方向變動，能夠配合被加工物之面積或形狀來配置升降銷34，故可防止被加工物之一部分接觸於熱板32而急速加熱。如以上所述，升降裝置35之升降銷34係能夠上下動作且在熱板32之面內亦能夠獨立地於平面方向位移。換句話說，
因升降銷34可使積層體10S上下動作而能夠調整與熱板的面內距離，並且亦能夠藉由在開口33內的位移而改變於熱板之面內的位置，而可微調積層體10S之溫度，故能夠實現積層體10S之高精度的矯正。就升降銷34於平面方向之位移方法而言，不限於機械式、電動式。例如，藉由壓力缸使升降裝置35沿水平方向移動，，而能夠使升降銷34於平面方向位移。
〔實施形態2〕
第9圖係顯示實施形態2的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之熱板的俯視圖。實施形態1中，如第8圖所示，係對應構成位移部的升降銷34之形成位置而設置剖面呈圓形的複數個升降銷升降用孔33，且如第4圖及第5圖所示，以複數個升降裝置35可個別地升降複數個升降銷34的方式構成。相對於此，實施形態2中，熱板32係具有升降銷34插通的十字狀之升降銷升降用孔33S，十字的四角隅E係構成阻止升降銷34之平面移動的止動器。如第9圖所示，熱板32係設置複數個十字狀之升降銷升降用孔33S，具有亦可使複數個升降銷34個別地於平面方向移動的功能。平面方向之移動範圍係十字的範圍，能夠於XY方向移動一定距離，除了可精度佳地調整熱板32與作為被加工物的積層體10S之距離以外，還可精度佳地調整平面方向之位置。因其他的構成係與實施形態1同樣，故對同一部分附記同一符號而在此省略說明。
實施形態2的積層裝置100中，係藉由設置
複數個十字狀之升降銷升降用孔33S，使升降裝置35具有複數個升降銷34可個別地升降的功能以及可於平面方向移動的功能。從而，能夠於高度方向及平面方向變動升降銷34之位置，而可高精度地進行翹曲的矯正。與實施形態1同樣地，經檢討，可明白以下的結果。積層體10S的玻璃基板4之短邊的長度為600mm以上的尺寸時，翹曲或是撓曲的影響會變大。更且，短邊為600mm以上且長邊的長度為800mm以上的尺寸時，翹曲的影響會變得顯著，而本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。有關玻璃之厚度，例如，因3.0mm以上時，翹曲的大小會變得顯著，故本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。
〔實施形態3〕
第10圖係顯示本發明之實施形態3的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。第10圖係相當於第1圖的II-II剖面。第11圖及第12圖係顯示實施形態3的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。第13圖係同積層裝置之熱板的俯視圖，第10圖至第12圖係相當於第13圖的X-X剖面。實施形態3的積層裝置100與實施形態1的積層裝置100之差異點在於：構成溫度控制部的熱板被分割成30個小熱板32p，且可針對每一小熱板32p調整高度。又，構成位移部的升降銷34係與實施形態1的積層裝置100同樣地埋設於小熱板32p內且能夠獨立上下動作，惟，針對每一小熱板32p更配設有一個熱板升降銷34p，使小熱板32p亦能夠獨立地上下動作。小熱板32p
係能夠藉由熱板升降裝置35p，沿著熱板升降用孔33p而獨立上下動作。
換句話說，溫度控制部係除了具備實施形態1的升降銷34及使升降銷34升降的升降裝置35以外，還具備：30個小熱板32p，載置並加熱作為被加工物的積層體10S；複數個升降銷34p，能夠上下動作地埋設於小熱板32p內，使小熱板32p上的積層體10S位移；以及熱板升降裝置35p，使升降銷34p獨立上下動作。
然後，小熱板32p之集合體的熱板上之積層體10S係用隔膜片40和小熱板32p之集合體來加熱、加壓。小熱板32p係用埋設於小熱板32p內的加熱器H來加熱。實施形態3的積層裝置100亦與實施形態1的積層裝置同樣地，具備：上腔室20；下腔室30，在與上腔室20之間形成空間，並且具備將空間內之作為被加工物的太陽電池模組用之積層體10S加熱或冷卻的溫度控制部；以及構成隔膜的隔膜片40，其能夠在空間內位移。
其次，針對使用實施形態3之積層裝置100的積層方法加以說明。與實施形態1同樣地，首先，如第6圖(c)所示，將用接合焊線2連接太陽電池單元1且形成為陣列狀者，透過樹脂薄片3a、3b，包夾於玻璃基板4與作為背面保護材料的保護薄片5之間，形成積層體10S。其次，如第10圖所示，將積層體10S載置於積層裝置100之小熱板32p上。
然後，藉由升降裝置35，使升降銷34上升，
將黏著防止薄片36和積層體10S抬升，藉此，在與熱板32之間設置間隙。在此，在黏著防止薄片36設置有與設置於熱板32的升降銷升降用孔33同形狀的孔的情況下，係能夠僅抬升積層體10S。第11圖係圖示在黏著防止薄片36之上裝載有積層體10S的狀態。僅使升降銷34上升至均一高度，積層體10S之厚度方向會產生溫差，而如第11圖所示，在積層體10S發生翹曲。然後，若持續加熱，則積層體10S的翹曲會變大。若翹曲變大，則積層體10S之中央部與端部的溫差亦會變大，封閉樹脂之流動性亦會產生差異。
對此，如第12圖所示，提高積層體10S之中央部的升降銷34，並且使中央部之熱板升降銷34p下降以降低中央部之小熱板32p。換句話說，藉由使升降銷34上升並且使熱板升降銷34p下降，積層體10S係能在熱板側中央部效率更佳地降低溫度，瞬時地矯正積層體10S之翹曲。換句話說，比起實施形態1，積層體10S能在更短的時間內回到原來的平坦形狀。並且，在已呈平坦形狀的積層體10S載置於熱板32的狀態下，藉由升降裝置35使升降銷34下降，形成第10圖所示的平坦形狀的積層體10S。
經上述步驟，在進行積層體10S之翹曲的矯正之後，立即開啟第3圖所示的積層裝置100之上腔室用排氣閥51，藉由真空泵50使由上腔室20和隔膜片40所劃分的空間成為負壓，且將上腔室20重疊於下腔室30之
上。然後，開啟下腔室用排氣閥52，藉由真空泵50使由下腔室30和上腔室20之隔膜片40所劃分的空間亦成為負壓。在將積層體10S所產生的氣泡排出至外部之後，藉由升降裝置35使升降銷34下降至比熱板32之上面還下方，且往由上腔室20和隔膜片40所劃分的空間進行吸氣，加壓積層體10S整體。
如上所述，可在積層裝置100內實施積層處理之後，將積層體10S加熱、加壓，而取出已完成封閉的加工完成的太陽電池模組10。
在以上述步驟中被封閉的太陽電池模組之積層體10S安裝框架11，與實施形態1同樣地，如第6圖(d)之主要部分剖視圖、第7圖之立體圖所示，完成太陽電池模組10。
依據實施形態3的積層裝置100，藉由可將複數個升降銷34個別地於高度方向變動，可矯正被加工物產生的翹曲或撓曲，藉由可於平面方向變動，可防止因被加工物的積層體10S之面積或形狀之故，使得積層體10S之一部分接觸於熱板32而不均勻地急速加熱。更且，藉由使小熱板32p之高度獨立變動，可使被加工物與小熱板32p之距離變化，而可控制被加工物之面內的加熱量。從而，可均勻地加熱面內，減輕封閉樹脂之流動性差異，而可抑制以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良之發生。與實施形態1及2同樣地，經檢討，可明白以下的結果。積層體10S的玻璃基板4之短邊的長度為600mm以上的尺寸時，翹曲
或是撓曲的影響會變大。更且，短邊為600mm以上且長邊的長度為800mm以上的尺寸時，翹曲的影響會變得顯著，而本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。有關玻璃之厚度，例如，因3.0mm以上時，翹曲的大小會變得顯著，故本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。
〔實施形態4〕
第14圖係顯示實施形態4的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之熱板的俯視圖。實施形態3中，如第13圖所示，係對應構成位移部的升降銷34之形成位置而設置剖面呈圓形的複數個升降銷升降用孔33，且如第11圖及第12圖所示，以複數個升降裝置35可個別地升降複數個升降銷34的方式所構成。相對於此，實施形態4中，係與第9圖所示的實施形態2同樣地，在小熱板32q設置複數個十字狀之升降銷升降用孔33q，而具有可使複數個升降銷34q個別地於平面方向移動的功能。平面方向之移動範圍係十字的範圍，能夠於XY方向移動一定距離，可精度佳地調整熱板與作為被加工物的積層體10S之距離。因其他的構成係與實施形態3同樣，故對同一部分係附記同一符號而在此省略說明。
實施形態4的積層裝置100中，係藉由設置複數個十字狀之升降銷升降用孔33q，使升降裝置35具有複數個升降銷34q可個別地升降的功能以及可於平面方向移動的功能。從而，能夠於高度方向及平面方向變動升降銷34q之位置，而可高精度地進行翹曲的矯正。與實施形
態1至3同樣地，經檢討，可明白以下的結果。積層體10S的玻璃基板4之短邊的長度為600mm以上的尺寸時，翹曲或是撓曲的影響會變大。更且，短邊為600mm以上且長邊的長度為800mm以上的尺寸時，翹曲的影響會變得顯著，而本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。有關玻璃之厚度，例如，因3.0mm以上時，翹曲的大小會變得顯著，故本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。
〔實施形態5〕
第15圖係顯示本發明之實施形態5的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。第15圖係相當於第1圖的II-II剖面。第16圖及第17圖係顯示實施形態5的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。實施形態5的積層裝置100中，構成溫度控制部的熱板係分割成複數個小區域，構成小熱板32r，並用溫度感測器37測定每一小區域，且自動地使構成位移部的升降銷34上下動作。溫度感測器37係接觸式感測器，透過黏著防止薄片36接觸於作為被加工物的積層體10S之每一小區域，進行積層體10S之背面的溫度檢測。各溫度感測器37係以使用缸型彈簧的感測器升降裝置38接觸於黏著防止薄片36，使積層體10S連同地上下動作。又，升降銷34係與實施形態1的積層裝置100同樣地埋設於小熱板32r內且能夠獨立地上下動作，惟，能夠按照各溫度感測器37之輸出，以未圖示的控制部自動地藉由升降裝置35，沿著升降銷升降用孔33，使升降銷34獨立地上下動作。
其次，針對使用實施形態5之積層裝置100的積層方法加以說明。與實施形態1同樣地，首先，如第6圖(c)所示，將用接合焊線2連接太陽電池單元1且形成為陣列狀者，透過樹脂薄片3a、3b，包夾於玻璃基板4與作為背面保護材料的保護薄片5之間，形成積層體10S所。其次，如第15圖所示，將積層體10S載置於實施形態5的積層裝置100之小熱板32r上。
然後，藉由升降裝置35，使升降銷34上升，將黏著防止薄片36和積層體10S抬升，藉此，在與小熱板32r之間設置間隙。在此，在黏著防止薄片36亦設置有與設置於小熱板32r的升降銷升降用孔33同形狀的孔的情況下，係能夠僅抬升積層體10S。第15圖係圖示在黏著防止薄片36之上裝載有積層體10S的狀態。溫度感測器37係接觸於黏著防止薄片36，檢測積層體10S之背面的溫度。僅使升降銷34上升至均一高度，作為被加工物的積層體10S之厚度方向會產生溫差，而如第16圖所示，在積層體10S發生翹曲，但溫度感測器37係用感測器升降裝置38，按照積層體10S之位移，維持透過黏著防止薄片36而接觸於積層體10S的狀態。並且，若持續加熱，則積層體10S的翹曲會變大。若翹曲變大，則積層體10S之中央部與端部的溫差亦會變大，封閉樹脂之流動性亦會產生差異。
對此，如第17圖所示，未圖示的控制部會基於溫度感測器37之輸出而提高積層體10S之中央部的升降銷34。換句話說，藉由使升降銷34自動地上升，積層
體10S係能在熱板側中央部效率更佳地降低溫度，瞬時地矯正積層體10S之翹曲。換句話說，比起實施形態1，積層體10S能自動且控制性佳地回到原來的平坦形狀。並且，在已呈平坦形狀的積層體10S載置於小熱板32r的狀態下，藉由升降裝置35使升降銷34下降，形成第15圖所示的平坦形狀的積層體10S。
經上述步驟，在進行積層體10S之翹曲的矯正之後，立即開啟第3圖所示的積層裝置100之上腔室用排氣閥51，藉由真空泵50使由上腔室20和隔膜片40所劃分的空間成為負壓，且將上腔室20重疊於下腔室30之上。然後，開啟下腔室用排氣閥52，藉由真空泵50使由下腔室30和上腔室20之隔膜片40所劃分的空間亦成為負壓。在將積層體10S所產生的氣泡排出至外部之後，藉由升降裝置35使升降銷34下降至比小熱板32r之上面還下方，且往由上腔室20和隔膜片40所劃分的空間進行吸氣，加壓積層體10S整體。
如上所述，可在積層裝置100內實施積層處理之後，將積層體10S加熱、加壓，而取出已完成封閉的加工完成的太陽電池模組10。
在以上述步驟中被封閉的太陽電池模組之積層體10S安裝框架11，與實施形態1同樣地，如第6圖(d)之主要部分剖視圖、第7圖之立體圖所示，完成太陽電池模組10。
如第8圖所示，在小熱板32r設置複數個升
降銷升降用孔33，且如第15圖所示，複數個升降裝置35具有可個別地升降複數個升降銷34的功能，藉此，能夠使複數個升降銷34於高度方向變動。在此，升降裝置35係使用以電動缸為首的升降裝置。
又，實施形態5中亦在小熱板32r設置如第9圖的複數個十字狀之升降銷升降用孔33S，而具有可使複數個升降銷34個別地於平面方向移動的功能，藉此，能夠使支撐被加工物的位置於平面方向變動。更且，藉由升降裝置35具有可使複數個升降銷34個別地升降的功能以及於平面方向移動的功能，能夠於高度方向及平面方向變動升降銷34的位置。
又，溫度感測器37係為了測定積層處理中之被加工物的溫度而設置，未限定於接觸式溫度感測器。溫度測定方法雖未圖示，惟，例如為了可從小熱板32r側測定被加工物的溫度，亦可在小熱板32r、黏著防止薄片36設置孔或缺口以設置溫度測定部，有關測定方法，能夠應用以非接觸式溫度測定的方法、使接觸式溫度感測器抵接而測定的方法為首的各種測定方法。
依據使用實施形態5之積層裝置100的積層方法，依據溫度感測器37所偵測到的被加工物之溫度，使位於被加工物之高溫部的升降銷34升高，使位於被加工物之低溫部的升降銷34降低，自動地變動。從而，能夠追隨因加熱所產生的被加工物之翹曲形狀的變化而使升降銷34之高度變動，藉此而進行均勻的加熱。
又，依據實施形態5的積層裝置100，藉由可將複數個升降銷34個別地於高度方向或平面方向變動，可矯正被加工物產生的翹曲或撓曲，可均勻地進行被加工物的加熱。因對加熱中所產生的面內溫差，自動地使升降銷34之高度變動，而能使被加工物之面內的溫度均勻化，消除封閉樹脂3之流動性差異，故可抑制以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良之發生。與實施形態1至4同樣地，經檢討，可明白以下的結果。積層體10S的玻璃基板4之短邊的長度為600mm以上的尺寸時，翹曲或是撓曲的影響會變大。更且，短邊為600mm以上且長邊的長度為800mm以上的尺寸時，翹曲的影響會變得顯著，而本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。有關玻璃之厚度，例如，因3.0mm以上時，翹曲的大小會變得顯著，故本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。
再者，升降銷34之高度，並非是逐次自動地使其變化，亦可根據事先測定積層體10S之溫度分布且基於測定結果所算出的資料，手動地設定。
〔實施形態6〕
第18圖係顯示本發明之實施形態6的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖。第18圖係相當於第1圖的II-II剖面。第19圖及第20圖係顯示實施形態6的積層步驟中的矯正步驟之步驟剖視圖。實施形態6的積層裝置100，係附加了構成溫度控制部的熱板被分割成30個小熱板32p且可針對每一小熱板32p調整高
度的實施形態3的構成，並且附加了實施形態5的溫度感測器37之構成。與實施形態5同樣地，構成溫度控制部的熱板分割成複數個小熱板32p，並用溫度感測器37測定每一小區域，且自動地使構成位移部的熱板升降銷34p上下動作。因其他部分係與實施形態3及5同樣，故對同一部位係附記同一符號而在此省略說明。
其次，針對使用實施形態6之積層裝置100的積層方法加以說明。與實施形態1同樣地，首先，如第6圖(c)所示，將用接合焊線2連接太陽電池單元1且形成為陣列狀者，透過樹脂薄片3a、3b，包夾於玻璃基板4與作為背面保護材料的保護薄片5之間，形成積層體10S。其次，如第18圖所示，將積層體10S載置於實施形態6的積層裝置100之複數個小熱板32p上。
然後，藉由升降裝置35，使升降銷34上升，將黏著防止薄片36和積層體10S抬升，藉此，在與複數個小熱板32p之間設置間隙。在此，在黏著防止薄片36亦設置有與設置於小熱板32p的升降銷升降用孔33同形狀的孔的情況下，係能夠僅抬升積層體10S。第18圖係圖示在黏著防止薄片36之上裝載有積層體10S的狀態。溫度感測器37係接觸於黏著防止薄片36，檢測積層體10S之背面的溫度。僅使熱板升降銷34p上升至均一高度，積層體10S之厚度方向會產生溫差，而如第19圖所示，在積層體10S發生翹曲，但溫度感測器37係用感測器升降裝置38，按照積層體10S之位移，維持透過黏著防止薄片36而接觸於
積層體10S的狀態。並且，若持續加熱，則積層體10S的翹曲會變大。若翹曲變大，則積層體10S之中央部與端部的溫差亦會變大，封閉樹脂之流動性亦會產生差異。
對此，如第20圖所示，未圖示的控制部會基於溫度感測器37之輸出而提高積層體10S之中央部的升降銷34，並且降低中央部的熱板升降銷34p。換句話說，藉由使升降銷34自動地上升，並且使中央部的小熱板32p降低，積層體10S係能在熱板側中央部效率更佳地降低溫度，瞬時地矯正積層體10S之翹曲。換句話說，比起實施形態4，積層體10S能自動且控制性佳地回到原來的平坦形狀。並且，在已呈平坦形狀的積層體10S載置於小熱板32p的狀態下，藉由升降裝置35使升降銷34下降，形成第18圖所示的平坦形狀的積層體10S。
經上述步驟，在進行積層體10S之翹曲的矯正之後，立即開啟第3圖所示的積層裝置100之上腔室用排氣閥51，藉由真空泵50使由上腔室20和隔膜片40所劃分的空間成為負壓，且將上腔室20重疊於下腔室30之上。然後，開啟下腔室用排氣閥52，藉由真空泵50使由下腔室30和上腔室20之隔膜片40所劃分的空間亦成為負壓。在將積層體10S所產生的氣泡排出至外部之後，藉由升降裝置35使升降銷34下降至比小熱板32p之上面還下方，且往由上腔室20和隔膜片40所劃分的空間進行吸氣，加壓積層體10S整體。
如上所述，可在積層裝置100內實施積層處
理之後，將積層體10S加熱、加壓，而取出已完成封閉的加工完成的太陽電池模組10。
在以上述步驟中被封閉的太陽電池模組之積層體10S安裝框架11，與實施形態1同樣地，如第6圖(d)之主要部分剖視圖、第7圖之立體圖所示，完成太陽電池模組10。
依據本發明之實施形態6，藉由可將複數個熱板升降銷34p個別地於高度方向變動，可矯正被加工物產生的翹曲或撓曲。又，因可於平面方向變動，可防止因被加工物之面積或形狀，使得被加工物之一部分接觸於熱板而急速加熱。更且，藉由使小熱板32p之高度變動，可調整被加工物與小熱板32p之距離，而可控制被加工物之面內的加熱量。從而，可均勻地加熱面內而減輕封閉樹脂之流動性差異，而可抑制以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良之發生。
如以上說明般，依據實施形態6的積層方法，藉由個別地調整複數個熱板升降銷34p之高度或位置，使熱板升降銷34p之高度具有高低差，可矯正被加工物的翹曲。藉由使被加工物的低溫部與小熱板32p的距離接近，或使被加工物的高溫部與小熱板32p的距離遠離，能減輕被加工物之面內溫度分布，消除封閉樹脂之流動性差異，故可抑制以氣泡之殘存及外觀異常為首的不良之發生。
又，依據實施形態6的積層裝置100，複數
個小熱板32p係分別具備溫度感測器37，且具備按照溫度感測器37之輸出而升降小熱板32p的熱板升降裝置。藉由如此構成，可依溫度感測器37所偵測到的被加工物之溫度，使位於被加工物之高溫部的小熱板32p位移得較高，使位於被加工物之低溫部的小熱板32p位移得較低。從而，能夠藉由追隨依加熱而產生的被加工物之翹曲形狀的變化使小熱板32p之高度變動，而進行均勻的加熱。
〔實施形態7〕
第21圖係顯示實施形態7的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之熱板的俯視圖，第22圖係顯示實施形態7的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖，且為第21圖的XXII-XXII剖視圖，第23圖係顯示實施形態7的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之下腔室的剖面放大圖，且為第21圖的XXIII-XXIII剖視圖。實施形態7的積層裝置100中，係在熱板32排列用以供取代升降銷34之板狀體55插通的剖面呈長方形之開口56。板狀體55係朝向與作為被加工物的積層體10S之短邊平行的方向排列，能夠個別獨立地於上下方向升降，且可有效地限制沿著作為被加工物的積層體10S之長邊的方向之翹曲。因其他的構成係與實施形態1同樣，故在此省略說明。
依據實施形態7，藉由有效地限制被加工物之長邊產生的翹曲，可改善面內溫度分布，且可抑制以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良之發生。
又，因發生磨損或是破損時的確認或是更換，係能夠對一片的板狀體55整片進行裝卸，故作業工時變少，而能獲得較高的保修性。本實施形態中，雖有中央往長邊之面內溫度分布減低程度變少的可能性，但因翹曲或是溫度分布通常出現於中央與短邊之間，故除了可進行翹曲之矯正和溫度分布之減低以外，還能獲得較高的保修性。
經檢討，可明白以下的結果。積層體10S的玻璃基板4之短邊的長度為600mm以上的尺寸時，翹曲或是撓曲的影響會變大。更且，短邊為600mm以上且長邊的長度為800mm以上的尺寸時，翹曲的影響會變得顯著，而本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。有關玻璃之厚度，例如，因3.0mm以上時，翹曲的大小會變得顯著，故本構成之翹曲之抑制功效變得顯著。
〔實施形態8〕
第24圖係顯示實施形態8的太陽電池模組之製造裝置中所用的積層裝置之熱板的俯視圖。實施形態8中，積層裝置係用分割部57將熱板分割成五個小熱板32r，且使對應於單一片的板狀體55之每一小熱板32r可獨立地控制升降及溫度。板狀體55係朝向與被加工物之短邊平行的方向排列，能夠個別獨立地於上下方向升降，且可有效地限制作為被加工物的積層體10S之長邊的翹曲。因其他的構成係與實施形態1同樣，故在此省略說明。
依據實施形態8，藉由有效地限制被加工物
之長邊產生的翹曲，可改善面內溫度分布，而可抑制以氣泡之殘存或外觀異常為首的不良之發生。
又，因發生磨損或是破損時的確認或是更換，係能夠對一片的小熱板32r整片進行裝卸，故作業工時變少，而能獲得較高的保修性。本實施形態中，雖有中央往長邊之面內溫度分布的減低變少的可能性，但因翹曲或是溫度分布通常出現於中央與短邊之間，故除了可進行翹曲之矯正和溫度分布之減低以外，還能獲得較高的保修性。
又，實施形態1至8雖針對太陽電池模組的積層處理加以說明，但並未限定於太陽電池，而亦能夠應用於在以太陽電池為首的基板上，積層配設有樹脂薄片的積層體所得的其他電子模組，更且，亦能夠應用於例如將雙面形成為玻璃的構造、單純地將二片玻璃積層加工者等的各種裝置。
雖說明了本發明的數個實施形態，但此等實施形態僅係例子的提示，並未用以限定發明的範圍。此等新穎的實施形態，係能夠以其他的各種形態來實施，在未脫離發明之要旨的範圍內，可進行各種的省略、置換、變更。此等實施形態及其變化係涵蓋在發明的範圍中，並且涵蓋在申請專利範圍所記載的發明以及與其均等的範圍中。
10S‧‧‧積層體
30‧‧‧下腔室
32‧‧‧熱板
33‧‧‧升降銷升降用孔
34‧‧‧升降銷
35‧‧‧升降裝置
36‧‧‧黏著防止薄片
Claims (19)
- 一種積層裝置，具備：上腔室；下腔室，與前述上腔室之間形成空間，並且具備加熱或冷卻前述空間內之被加工物的溫度控制部；以及隔膜，能夠在前述空間內位移；前述溫度控制部係具備：熱板，載置並加熱被加工物；複數個位移部，能夠上下動作地埋設於前述熱板內，使前述熱板上的前述被加工物位移；以及升降裝置，使各前述位移部獨立地上下動作；用前述熱板和前述隔膜來加熱及加壓前述熱板上的前述被加工物。
- 如申請專利範圍第1項所述之積層裝置，其中，前述升降裝置係構成為使前述複數個位移部能夠獨立地在前述熱板之面內於平面方向位移。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之積層裝置，其中，前述位移部係由使被加工物升降的複數個升降銷所構成。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之積層裝置，其中，前述位移部係配設於與前述被加工物之短邊平行的方向，且由使被加工物升降的複數個板狀體所構成，前述升降裝置係使前述複數個板狀體的各個板狀體能夠獨立地上下動作。
- 如申請專利範圍第3項所述之積層裝置，其中，前述熱板係具有前述升降銷插通的十字狀之孔，前述十字狀之孔的四角隅係構成阻止前述升降銷之平面移動的止動器。
- 如申請專利範圍第1項所述之積層裝置，其中，前述升降裝置係使前述複數個位移部於高度方向及平面方向獨立地位移。
- 如申請專利範圍第1項所述之積層裝置，其中，前述熱板係由複數個小熱板所構成，前述小熱板係具備使前述小熱板之位置位移的熱板升降裝置。
- 如申請專利範圍第1項所述之積層裝置，其中，前述熱板係具備複數個溫度感測器；前述積層裝置係具備控制部，該控制部係按照前述溫度感測器之輸出來控制前述位移部之高度。
- 如申請專利範圍第7項所述之積層裝置，其中，前述複數個小熱板係分別具備溫度感測器；前述熱板升降裝置係按照前述溫度感測器之輸出來升降前述小熱板。
- 一種積層方法，具備：層積步驟，在基板上配設樹脂薄片且形成積層體；以及積層步驟，使用積層裝置、熱板、以及隔膜來包夾前述積層體並加熱及加壓以形成積層製品，該積層裝置係具備上腔室、下腔室及隔膜，該下腔室係與前 述上腔室之間形成空間並且具備溫度控制部，該溫度控制部係具有加熱或冷卻前述空間內部的熱板，該隔膜係能夠在前述空間內位移，前述積層裝置係設置於前述上腔室或下腔室之其中任一者的與前述隔膜對向的面；前述積層步驟係包含：在前述熱板上載置前述積層體的步驟；以及矯正步驟，在前述積層體的面內，使前述熱板與前述積層體的距離變化，矯正前述積層體的熱變形。
- 如申請專利範圍第10項所述之積層方法，其中，前述溫度控制部係具備：熱板，載置並加熱前述積層體；複數個位移部，能夠上下動作地埋設於前述熱板內，使前述熱板上的前述積層體位移；以及升降裝置，使前述位移部獨立地上下動作；前述矯正步驟係藉由前述位移部之上下動作而使前述積層體回復至平坦狀態的步驟。
- 如申請專利範圍第11項所述之積層方法，其中，前述溫度控制部係具備：熱板，載置並加熱前述積層體；複數個升降銷，能夠上下動作地埋設於前述熱板內，使前述熱板上的前述積層體位移；以及升降裝置，使前述升降銷獨立地上下動作；前述矯正步驟係藉由前述升降銷之上下動作而使前述積層體回復至平坦狀態的步驟。
- 如申請專利範圍第11項所述之積層方法，其中，前述 溫度控制部係具備：熱板，載置並加熱前述積層體；複數個板狀體，能夠上下動作地埋設於前述熱板內，使前述熱板上的前述積層體位移；以及升降裝置，使前述板狀體獨立地上下動作；前述矯正步驟係藉由前述板狀體之上下動作而使前述積層體回復至平坦狀態的步驟。
- 如申請專利範圍第11項至第13項中任一項所述之積層方法，其中，前述矯正步驟係包含使前述複數個位移部獨立地在前述熱板之面內位移的步驟。
- 如申請專利範圍第12項所述之積層方法，其中，前述熱板係具有前述升降銷插通的十字狀之孔；前述矯正步驟係包含使前述升降銷沿著前述十字狀之孔來上下動作及平面移動前述升降銷的步驟。
- 如申請專利範圍第11項所述之積層方法，其中，前述熱板係由複數個小熱板所構成；前述矯正步驟係包含使前述小熱板之位置位移的步驟。
- 如申請專利範圍第11項所述之積層方法，其中，前述矯正步驟係包含：測定前述積層體之溫度分布的步驟；以及按照前述溫度分布來控制前述位移部之高度的步驟。
- 如申請專利範圍第16項所述之積層方法，其中，前述複數個小熱板係分別具備溫度感測器；前述矯正步驟係包含按照前述溫度感測器之輸出 來使前述小熱板升降的步驟。
- 一種太陽電池模組之製造方法，具備：層積步驟，在基板上形成積層樹脂封閉材料和太陽電池單元所得的積層體；以及積層步驟，使用積層裝置、熱板、以及隔膜來包夾前述積層體並加熱及加壓以形成積層製品，該積層裝置係具備上腔室、下腔室及隔膜，該下腔室係與前述上腔室之間形成空間並且具備溫度控制部，該溫度控制部係具有加熱或冷卻前述空間內部的熱板，該隔膜係能夠在前述空間內位移，前述積層裝置係設置於前述上腔室或下腔室之其中任一個的與前述隔膜對向的面；前述積層步驟，係包含：在前述熱板上載置前述積層體的步驟；以及矯正步驟，在前述積層體的面內，使前述熱板與前述積層體的距離變化，矯正前述積層體的熱變形。
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