TW201731703A

TW201731703A - 轉印裝置及轉印方法

Info

Publication number: TW201731703A
Application number: TW105137552A
Authority: TW
Inventors: 正司和大; 梶野一樹; 増市幹雄
Original assignee: 斯庫林集團股份有限公司
Priority date: 2015-12-16
Filing date: 2016-11-17
Publication date: 2017-09-16
Also published as: KR20170072147A; US20170173940A1; JP2017109379A; CN106985505A; KR101830009B1

Abstract

本發明係於以輥構件按壓使2片板狀體抵接之轉印裝置中，抑制使已事先對位之2片板狀體抵接時產生之位置偏移的影響。於主框架10安裝對準機構71，且於其上安裝對準平台36。於對準平台36介隔裝卸平台37而載置下平台區塊3、轉印輥區塊4、及輥行進驅動部5。被保持於下平台31之印刷布BL、與推升印刷布BL之轉印輥431之位置關係不因對準調整而變動。因此，可抑制大小根據印刷布之撓曲量而變化之位置偏移的影響。

Description

轉印裝置及轉印方法

本發明係關於一種使2片板狀體抵接，自一板狀體將被轉印物轉印至另一板狀體的轉印技術。

作為於玻璃基板或半導體基板等之板狀體形成圖案或薄膜之技術，有使2片板狀體彼此抵接，且將一板狀體之主表面所載持之圖案或薄膜等之被轉印物轉印至另一板狀體的技術。其中1種方法係以輥等對隔著被轉印物而近接對向配置之2片板狀體中的一者按壓，使2片板狀體密接並轉印被轉印物的方法。例如，於本案申請人先前揭示之專利文獻1所記述之技術中，載持圖案之印刷布載置於中央部開口之邊框形狀的平台，且轉印輥自下表面側按壓面向開口部之印刷布。藉此，印刷布被推壓至對向配置之基板，而轉印圖案。於該轉印裝置中，支持印刷布之平台可水平移動，可使用該功能執行印刷布與基板之對位(對準)。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2014-184716號公報

[發明所欲解決之問題] 於上述先前技術中，於支持平台之對準平台與底框間設置用以對準的可動機構。另一方面，用以支持轉印輥並移動之機構係安裝於底框。因此，於對準調整中移動平台時，平台與轉印輥之相對位置產生變化。本案發明者得出如下新的見解，即平台與轉印輥之位置關係未根據對準調整之結果而固定時，對處理結果之良否，更具體而言對重合之2片板狀體間之位置精度造成影響。即，即便於對向之2片板狀體間進行對位，亦有使兩者抵接時產生新的位置偏移的情況。於對應此種問題之方面而言，上述先前技術仍有改良餘地。當然，只要對準調整中平台之移動量微小，就不會產生大問題。然而，為此於基板或印刷布等板狀體被投入裝置時，需要較迄今為止更高之位置精度。其可能成為裝置或處理之成本上升的原因。本發明係鑑於上述課題而完成者，其目的在於提供一種於以輥構件之按壓使2片板狀體抵接之轉印裝置中，可抑制事前對位之2片板狀體抵接時產生之位置偏移之影響的技術。 [解決問題之技術手段] 為達成上述目的，本發明之一態樣提供一種轉印裝置，其具備：第1保持器件，其以下表面開放之狀態且以水平姿勢保持第1板狀體；第2保持器件，其以保持第2板狀體之周緣部而使上述第2板狀體之上表面與上述第1板狀體之下表面近接對向之狀態、且於上述第2板狀體之下表面中之上表面側與上述第1板狀體對向之中央部開放之狀態，保持上述第2板狀體；按壓器件，其具有於沿上述第2板狀體之下表面之軸方向延伸設置的輥構件、及按壓機構，該按壓機構係使上述輥構件抵接於上述第2板狀體之下表面，一面使上述第2板狀體推壓上述第1板狀體一面沿與上述軸方向正交之移動方向移動；及對準器件，其具有支持上述第2保持器件及上述按壓器件之基座部，藉由上述基座部沿水平方向移動而使上述第2保持器件與上述按壓器件一體地對上述第1保持器件相對移動，而進行上述第1板狀體與上述第2板狀體之對位。又，為達成上述目的，本發明之其他態樣係提供一種轉印方法，其使用轉印裝置，該轉印裝置具備：第1保持器件，其以下表面開放之狀態且以水平姿勢保持第1板狀體；第2保持器件，其以保持第2板狀體之周緣部而使上述第2板狀體之上表面與上述第1板狀體之下表面近接對向之狀態、且於上述第2板狀體之下表面中之上表面側與上述第1板狀體對向之中央部開放之狀態，保持上述第2板狀體；按壓器件，其具有於沿上述第2板狀體之下表面之軸方向延伸設置的輥構件、及使上述輥構件抵接於上述第2板狀體之下表面且沿與上述軸方向正交之移動方向移動的按壓機構；且該轉印方法具備如下步驟：藉由支持上述第2保持器件及上述按壓器件之基座部沿水平方向移動，而使上述第2保持器件與上述按壓器件一體地對上述第1保持器件相對移動，使上述第1板狀體與上述第2板狀體於特定相對位置對位；及上述按壓機構使上述輥構件抵接於上述第2板狀體之下表面，且一面使上述第2板狀體推壓上述第1板狀體一面沿上述移動方向移動，使上述第1板狀體與上述第2板狀體密接。就本案發明者之見解，2片板狀體由近接對向之狀態重合時，兩者最初抵接之部分之兩者的位置關對於整體重合位置精度有較大影響。即，若2片板狀體以伴有某量之位置偏移之狀態開始抵接，則該位置偏移波及整體。這意味著確保2片板狀體最初抵接時之位置精度較為重要。此外，於以水平姿勢近接對向之板狀體中推升下方側之板狀體並抵接於另一方之構成中，有因以下表面開放之狀態保持之板狀體之中央部朝下方撓曲而於水平方向亦產生位置偏移的情形。該位置偏移量隨板狀體之撓曲量而不同。因此，若輥構件最初抵接之部分之板狀體之撓曲量非固定，則重合後之板狀體間之位置偏移量亦未固定。另，「第2板狀體之中央部」意指除第2板狀體中由第2保持器件保持之周緣部外較其更中央側之較廣之部分的下表面。並非指例如外形上之幾何學中心或重心又或其附近之限定區域的概念。於本發明中，保持對向配置之2片板狀體中位於下側之第2板狀體的第2保持器件、與包含抵接於第2板狀體之輥構件的按壓器件中任一者皆由同一基座部支持。且，第1板狀體與第2板狀體對位時，第2保持器件與按壓器件一體移動。因此，第2保持器件及其所保持之第2板狀體與輥構件之相對位置關係未變動。因此，即便例如第2板狀體發生撓曲，輥構件最初抵接之部分之撓曲量係固定，起因於撓曲之位置偏移量亦固定。不個別對應每次處理變化之位置偏移而統一修正較為困難。另一方面，固定之位置偏移係可編入對位之調整。因此，可使2片板狀體以正確之位置關係重合。 [發明之效果] 如上所述，根據本發明，對以輥構件之按壓使2片板狀體抵接之轉印裝置，採用對位時第2保持器件與按壓器件一體移動之構成。藉此，第2板狀體與輥構件之相對位置未變化。因此，可抑制使對位之2片板狀體抵接時產生之位置偏移的影響。

圖1係模式性顯示本發明之轉印裝置之一實施形態的側視圖。又，圖2係顯示該轉印裝置之主要部分之構成之圖。為了統一顯示各圖中的方向，而如圖1所示設定XYZ正交座標軸。此處，XY平面表示水平面。又，Z軸表示鉛直軸，更詳細而言，(-Z)方向表示鉛直朝下方向。該轉印裝置1具有於主框架10配置上平台區塊2、下平台區塊3、轉印輥區塊4、輥行進驅動部5、支持把手單元6及對準部7的構造。又，轉印裝置1除上述外，具有根據預先記憶之處理程式而控制裝置各部進行特定動作的控制單元9。首先說明裝置1之整體構成。另，上平台區塊2及下平台區塊3之構成係例如相當於上述文獻(日本專利特開2014-184716號公報)所記述之對應之構成經部分改變者。因此，省略該等區塊之構成之基本說明。轉印裝置1係藉由使由下平台區塊3保持之印刷布BL、與由上平台區塊2保持之版PP或基板SB彼此抵接而進行圖案形成的裝置。該裝置1之圖案形成製程更具體而言係如下所述。首先，藉由對同樣塗佈有圖案形成材料之印刷布BL，抵接與應形成之圖案對應而作成之版PP，而使印刷布BL所載持之塗佈層被圖案化(圖案化處理)。接著，藉由將此種被圖案化之印刷布BL與基板SB抵接，而對基板SB轉印印刷布BL所載持之圖案(轉印處理)。藉此，於基板SB形成期望之圖案。如此，該轉印裝置1可於將特定圖案形成於基板SB之圖案形成製程中的圖案化處理及轉印處理兩者中使用。另，僅負責該等處理之一者的態樣亦可使用該裝置。又，亦可用於將印刷布BL所載持之薄膜轉印至基板SB的目的。以下，以將形成於印刷布BL表面之圖案或薄膜轉印至基板SB的轉印處理為前提說明裝置之構成及動作。其中，藉由將基板SB改讀成版PP，亦說明圖案化處理的動作。上平台區塊2具備下表面為平坦之基板保持面21a的上平台21。上平台21安裝於沿Y方向延伸之樑構件22之下部，且藉由樑構件22將基板保持面21a保持為水平姿勢。樑構件22係藉由沿Y方向隔開配置之1對平台升降機構23、23而沿鉛直方向(Z方向)升降自由地受保持。藉此，上平台21可沿Z方向移動。於該實施形態中，雖使用滾珠螺桿機構作為平台升降機構23之一例，但並未限定於此。平台升降機構23具備：滾珠螺桿233，其藉由支持構件231、232而相對於主框架10旋轉自由地被支持；馬達234，其使滾珠螺桿233旋轉；及螺帽部235，其安裝於滾珠螺桿233。滾珠螺桿233與馬達234係經由耦合件236而連結。馬達234與設置於控制單元9的平台升降控制部91連接。藉由根據來自平台升降控制部91之控制信號旋轉馬達234，而升降上平台21。雖未圖示，但於上平台21之下表面(基板保持面)21a設置有吸附槽或吸附孔。吸附槽或吸附孔與設置於控制單元9的吸附控制部92連接。根據需要，由吸附控制部92對吸附槽或吸附孔供給負壓。藉此，上平台21可吸附保持與基板保持面21a抵接之基板SB的上表面。基板保持面21a之平面尺寸形成為較應保持之基板SB之尺寸略小。藉由如此構成之上平台區塊2，將基板SB保持為水平姿勢。基板SB以應轉印圖案或薄膜之被轉印面朝下之方式被搬入裝置1，並藉由上平台21吸附保持。又，藉由平台升降機構23使上平台21升降，而將如下說明之保持於下平台之印刷布BL與基板SB之間的間隙調整成規定值。下平台區塊3具備配置於上平台21之下方的下平台31。於下平台31之中央部設置開口部311，使下平台31之上表面成為平坦且水平之印刷布保持面31a。下平台31藉由複數根支柱32支持。下平台31之平面尺寸大於應保持之印刷布BL之尺寸，此外，開口部311之開口尺寸大於基板SB之平面尺寸。印刷布BL係僅其周緣部抵接於下平台31，除周緣部外之中央部係以下表面開放之狀態保持於下平台31。於下平台31之上表面(印刷布保持面)31a中與印刷布BL抵接之區域，設置有吸附槽312。吸附槽312連接於控制單元9之吸附控制部92，且由吸附控制部92根據需要供給負壓。藉此，印刷布BL吸附保持於下平台31上。印刷布BL係以載持應轉印至基板SB之圖案或薄膜的載持面朝上並保持為水平姿勢。保持下平台31之支柱32係固定於被安裝在對準平台36上之裝卸平台37。對準平台36及裝卸平台37分別為中央具有開口之金屬平板，裝卸平台37具有較對準平台36小一圈的外形尺寸。裝卸平台37藉由省略圖示之螺絲等緊固器件而固定於對準平台36之上表面，並與對準平台36一體化。藉由根據需要解除固定，可將裝卸平台37及安裝於其之零件自對準平台36一體卸除。對準平台36介隔構成對準部7之複數個對準機構71而安裝於主框架10。對準機構71例如具有交叉輥柱軸承機構，根據來自設置於控制單元9之對準控制部96的控制信號，使對準平台36沿水平方向(XY方向)與繞Z軸之θ方向移動。藉由對準機構71而使對準平台36移動時，裝卸平台37及安裝於其之下平台31等之零件亦與對準平台36一體移動。藉此，下平台31於水平面(XY平面)內移動，使保持於上平台21之基板SB與保持於下平台31之印刷布BL之水平方向的相對位置最佳化。對準部7具備複數個相機72。各相機72面向對準平台36及裝卸平台37之開口並使拍攝方向朝上安裝於主框架10。相機72透過印刷布BL對設置於基板SB及印刷布BL各者之對準標記進行拍攝，並作成含兩個對準標記的圖像。對準控制部96藉由根據所攝圖像所含之對準標記的位置檢測基板SB與印刷布BL間的位置偏移量，並據此使對準機構71作動，而進行基板SB與印刷布BL間的對位。藉由以複數個相機72拍攝基板SB及印刷布BL各自複數設置之對準標記並進行對準，可高精度對位。又，於主框架10安裝有支持把手單元6。支持把手單元6係具備面向下平台31之開口部311沿Y方向依序設置之複數根(此處以3根為一例)升降把手61、及一體支持該等升降把手之支持框架62。各升降把手61係以X方向為長邊方向延伸設置之棒狀構件，具有彼此相同之形狀。各升降把手61之上表面係加工為平滑，且以上表面之高度(鉛直方向位置)於複數根升降把手61間彼此相同之方式，安裝於支持框架62。支持框架62之下部係朝下延伸之腳部621，腳部621藉由把手升降驅動部63升降自由地受支持。於該例中，把手升降驅動部63為直動引導件。即，於相對於固定於主框架10之導軌631升降自由地安裝的滑件632，固定有腳部621。滑件632藉由設置於控制單元9之把手升降控制部97驅動控制，根據來自把手升降控制部97之控制信號而升降。藉由如此，可使各升降把手61之鉛直方向位置統一變化。另，作為把手升降驅動部63，可使用實現直線運動之各種驅動機構，亦可例如使用滾珠螺桿機構。各升降把手61係定位於其上表面與下平台31之基板保持面31a為同一平面的位置。升降把手61係輔助支持以下表面開放之狀態被保持於下平台31之印刷布BL的中央部下表面。藉此，可抑制印刷布BL撓曲而水平且平坦地加以支持。此外，藉由視需要退避至下方，而避免干涉如下說明之轉印輥之行進。轉印輥區塊4具備輥單元43及升降機單元44，該等單元43、44安裝於板構件45之上表面。板構件45介隔輥行進驅動部5而安裝於裝卸平台37。輥行進驅動部5具備：導軌51，其於下平台31之(+X)側端部之下方固定於裝卸平台37且沿Y方向延伸；及滾珠螺桿機構52，其沿導軌51設置。且，藉由滾珠螺桿機構52之螺帽部525，支持板構件45之(+X)側端部。又，如圖2所示，導軌53亦於下平台31之(-X)側端部之下方設置於裝卸平台37上。藉由安裝於導軌53之滑件531(參照圖3)，而支持板構件45之(-X)側端部。於支持轉印輥區塊4之輥行進驅動部5中，沿導軌51設置有滾珠螺桿機構52。更具體而言，藉由設置於導軌51之兩端附近的支持構件521、522而支持滾珠螺桿523，滾珠螺桿523經由耦合件526連結於馬達524。於滾珠螺桿523安裝有螺帽部525。藉由馬達524旋轉，使螺帽部525沿導軌51於Y方向水平移動。伴隨於此，包含由螺帽部525支持之板構件45的轉印輥區4沿Y方向水平移動。另，於圖1中為了易於觀察各部，而將相機72及把手升降驅動部63之上端部顯示於導軌51之更下方。然而，於實際裝置中，該等位置只要在圖1中虛線所示之板構件45之下表面位置之更下方即無問題。圖3係顯示轉印輥區塊之構成的立體圖。又，圖4A及圖4B係顯示轉印輥區塊之構成的前視圖。又，圖5A及圖5B係分別顯示轉印輥區塊之構成的前視圖及側視圖。另，於各圖中，為了易於觀察構成及動作而省略了一部分構件的記載。轉印輥區塊4具有如下構造：升降機單元44安裝於藉由導軌51、53而以水平姿勢且沿Y方向移動自由地受支持之板構件45，且藉由升降機單元44支持輥單元43。板構件45為圖3所示之大致T字形狀的平板狀構件。設置於轉印輥區塊4之輥單元43具備形成為以X方向為長邊方向之輥形狀的轉印輥431。轉印輥431係於圓筒或圓柱形狀之芯桿表面設置有由彈性體、例如由橡膠素材形成之表面層者。X方向之轉印輥431之長度與基板SB之X方向長度相同或較其更長。轉印輥431係藉由1對支持部430、430而旋轉自由地受支持，該1對支持部430、430係設置於上表面成以X方向為長邊方向之水平之平坦面之升降構件432之X方向兩端部。兩支持部430相對於YZ平面具有對稱之形狀，但其構造相同。支持部430各自具備軸承部433、賦能部434及擋止件435。軸承部433具備：柱構件4331，其直立設置於升降構件432；直動引導件，其包含沿鉛直方向設置於柱構件4331之導軌4332及與之扣合之滑件4333；支持角4334，其固定於滑件4333；及自動調心軸承4335，其安裝於支持角4334。自動調心軸承4335旋轉自由地支持轉印輥431之旋轉軸。支持角4334係安裝於直動引導件之滑件4333。因此，於直動引導件之可動範圍內上下自由作動。於支持角4334與升降構件432之間，設置有對支持角4334朝上賦能的賦能部434。作為賦能部434，可使用例如氣缸。氣缸與設置於控制單元9之按壓控制部93連接，將藉由按壓控制部93設定之賦能力賦予至支持角4334。受到該朝上之賦能力，支持角4334朝上方位移，但該位移因擋止件435而受限制。即，於設置於被安裝在柱構件4331上部之板4336的螺絲孔，安裝有作為擋止件435之調整螺絲。擋止件435之下端抵接於支持角4334之上表面，藉此限制支持角4334朝上方位移。擋止件435係於直動引導件之可動範圍內且以賦能部434之賦能力可使支持角4334升降之範圍內，抵抗來自賦能部434之賦能力，限制支持角4334之位移。因此，支持角4334係由賦能部434而被施加朝上之賦能力，且頂接於擋止件435，藉此以被抑止朝更上方位移之狀態，停在固定位置。下文中將此時之支持角4334相對於升降構件432之位置(Z方向位置)稱為「抑止位置」。擋止件435為調整螺絲，藉由增減調整螺絲朝板4336之旋入量，可變更調整抑止位置。該調整可於設置於轉印輥431之兩端部之支持部430、430之間獨立進行。另，作為賦能部434，除上述氣缸外，可用例如彈簧或使用彈性樹脂等彈性體者、或利用磁性排斥力者等。使用氣缸之情形，就可自由變更賦能力之方面有利。又，亦可取代作為擋止件435之調整螺絲之下端直接抵接於支持角4334之上表面的構成，而於兩者間介存任意構件。於此種於升降構件432之兩端部分別定位於抑止位置之支持角4334，設置自動調心軸承4335。藉由自動調心軸承4335，旋轉自由地支持轉印輥431之兩端部。2個支持角4334、4334之抑止位置可個別調整。因此，作為轉印輥431之旋轉軸之方向，除設定於平行於X軸之方向外，亦可設定於沿相對於X軸而於XZ平面內略微傾斜之方向。支持角4334僅藉由直動引導件而上下作動。然而，藉由自動調心軸承4335支持轉印輥431，即便於旋轉軸傾斜之狀態亦可防止轉印輥431之旋轉受阻礙。如上構成之輥單元43係藉由設置於板構件45之升降機單元44而升降自由地受支持。具體而言，升降機單元44具備使位置沿X方向不同且自板構件45朝上延伸設置的1對柱構件441、441。於各柱構件441，安裝有將鉛直方向設為可動方向之直動引導件。即，相對於柱構件441，直動引導件之導軌442沿鉛直方向安裝，相對於導軌442升降自由地扣合之滑件443被固定於輥單元43之升降構件432。因此，升降構件432可將上表面維持為水平姿勢不變而沿鉛直方向升降。又，升降機單元44具備配置於2根柱構件441間之凸輪構件444、及使凸輪構件444旋轉之馬達445。凸輪構件444之旋轉軸沿平行於Y方向之水平方向延伸，且藉由設置於板構件45之軸承構件451、452而旋轉自由地受支持。且，凸輪構件444之旋轉軸經由耦合件446而連接於馬達445。馬達445固定於板構件45，且連接於控制單元9之輥升降控制部94。凸輪構件444之上端部於凸輪構件444之旋轉軸之上方與旋轉自由地安裝於輥單元43之升降構件432的凸輪從動件436抵接。因此，自凸輪構件444之旋轉軸至上端部之長度規定升降構件432與板構件45的間隔。藉由馬達445使凸輪構件444旋轉，使升降構件432與板構件45之間隔變化。即，凸輪構件444具有將馬達445之旋轉運動轉換成升降構件432之升降運動的功能。圖4A及圖5A係顯示藉由凸輪構件444之旋轉，使凸輪構件444之半徑較大之部位位於上方，且自旋轉軸至上端部之長度較長的狀態。此時，成為相對於板構件45，升降構件432更被提升至上方的狀態。另一方面，圖4B及圖5B係顯示凸輪構件444之半徑較小之部位位於上方，且自旋轉軸至上端部之長度較短的狀態。此時，板構件45與升降構件432之間隔變得更小。於圖5A及圖5B中，藉由對利用凸輪構件444之旋轉而升降之輥單元43加註圓點，易於明確動作。如此，可根據凸輪構件444之旋轉角度使升降構件432相對於板構件45之高度產生變化，藉此使轉印輥431之高度變化。藉由以隔著凸輪構件444設置之1對直動引導件(導軌442、滑件443)支持升降構件432，可使轉印輥431維持旋轉軸之角度不變而沿上下方向平行移動。如下所述，於例如圖5A所示之轉印輥431被提升至上方之狀態中，轉印輥431之上端抵接於下平台31所保持之印刷布BL之下表面。於該狀態中，藉由自賦能部434賦予至支持角4334之賦能力，使轉印輥431被推壓至印刷布BL之下表面。因此，轉印輥431朝上方推升印刷布BL並推壓至基板SB。因此，將此時轉印輥431之Z方向位置稱為「按壓位置」。以轉印輥431定位於按壓位置之狀態，輥行進驅動部5使轉印輥區塊4沿Y方向行進。藉此，轉印輥431將印刷布BL推壓至基板SB且移動。藉此，印刷布BL與基板SB密接之密接區域沿Y方向擴大，最終基板SB整體與印刷布BL密接。另一方面，於例如圖5B所示之轉印輥431位於下方之狀態中，轉印輥431自印刷布BL朝下方分開得較多。因此，將此時轉印輥431之位置稱為「分開位置」。按壓位置與分開位置之差，即圖5B中以符號Zd表示之高度為數毫米至30毫米左右。該高低差由伴隨凸輪構件444之旋轉之半徑變化量而規定。如圖3及圖4A所示，板構件45係X方向中兩端部各較轉印輥431之兩端部更延伸至外側。又，如圖2所示，板構件45之X方向中的兩端部較下平台31中央部之開口311之X方向兩端部更延伸至外側，進而延伸至下平台31之X方向中兩外周端部附近。且，板構件45之X方向兩端部於大概下平台31之X方向中兩外周端部之下方，被支持於導軌51、53上。如此，板構件45於分開X方向較多之兩端部位置受支持。因此，於轉印輥431按壓印刷布BL且輥單元4沿Y方向行進時，亦可抑制板構件45之傾斜並預先維持水平姿勢。藉此，使輥單元4之行進穩定。其次，對如上述構成之轉印裝置1之轉印處理進行說明。此處，對自印刷布BL將圖案或薄膜轉印至基板SB之轉印處理進行說明。如上所述，藉由將基板SB改讀成版PP，亦說明圖案化處理的動作。以下說明之轉印處理係藉由使控制單元9執行預先作成之控制程式並於裝置各部進行特定動作而實現。圖6係顯示該轉印裝置之轉印處理的流程圖。又，圖7A至圖7D係模式性顯示轉印處理之過程中各部之位置的圖。雖首先進行轉印輥431之傾斜調整處理(步驟S101)，但對傾斜調整處理予以後述。於轉印處理中，應轉印圖案或薄膜之基板SB被搬入至裝置，並設置於上平台21(步驟S102)。於上平台21，使轉印圖案或薄膜之被轉印面朝下並吸附保持基板SB。繼而，載持應轉印至基板SB之圖案或薄膜的印刷布BL被搬入至裝置，並設置於下平台31(步驟S103)。於下平台31，以載持圖案或薄膜之載持面朝上而吸附保持印刷布BL。其次，裝置各部定位於特定之初期位置(步驟S104)。圖7A顯示各部之初期位置。於上平台21及下平台31，使基板SB與印刷布BL隔開特定間隙平行對向而彼此近接對向配置。又，升降把手61以其上表面上升至與下平台31之上表面同一平面之位置，且抵接於印刷布BL之下表面，並將印刷布BL支持成水平姿勢。轉印輥431係定位於Y方向中基板SB之一端部之正下方位置，且自印刷布BL之下表面朝下方分開之分開位置。圖中符號PT表示自印刷布BL轉印至基板SB之被轉印物(圖案或薄膜)。繼而，進行調整基板SB與印刷布BL之水平方向位置的對準調整處理(步驟S105)。即，基於藉由相機72拍攝之圖像，以使水平方向中印刷布BL所載持之圖案或薄膜PT與基板SB成為預先設定之位置關係之方式，使對準機構71根據需要而於水平面內移動對準平台36。對準調整處理後，藉由馬達445使凸輪構件444旋轉，而如圖7B所示，轉印輥431上升，抵接於印刷布BL下表面，並朝上按壓印刷布BL(步驟S106)。因轉印輥431抵接於印刷布BL下表面後亦繼續上升，故印刷布BL被轉印輥431推升，並最終使印刷布BL上表面抵接於基板SB之下表面。藉此，載持於印刷布BL上表面之圖案或薄膜PT密接於基板SB。再者，藉由轉印輥431推升印刷布BL，圖案或薄膜PT被推壓至基板SB。如此，圖案或薄膜PT被轉印至基板SB。因藉由升降把手61之支持將印刷布BL維持成水平姿勢，故防止推升印刷布BL時朝水平方向之位置偏移，且圖案或薄膜PT被適當轉印至基板SB之特定位置。若藉由轉印輥431之按壓而使基板SB與印刷布BL抵接，則如圖7C所示，升降把手61朝下方移動(步驟S107)，且自印刷布BL分開。接著，輥單元43開始朝(+Y)方向行進(步驟S108)。此時之升降把手61之位置係與圖7C中虛線所示之板構件45之下表面位置相比，升降把手61之上表面位於更下方的位置。除較下平台31之開口311設置於更外側之滑件531、螺帽部525之突起部外，轉印輥區塊4之構成零件中位於最下部者係板構件45之下表面。因此，升降把手61下降至較板構件45之下表面位置更下方，藉此避免升降把手61干涉沿Y方向行進之轉印輥區塊4。於該實施形態中，藉由設置於升降機單元44之凸輪構件444之旋轉而使輥單元43升降，且馬達445及凸輪構件444之旋轉軸為水平方向。因此，可抑制轉印輥區塊4之鉛直方向高度，亦可將升降把手61之升降距離抑制得較小。又，轉印輥區塊4被支持於板構件45之X方向兩端部，且不具備於下平台31之開口311之內側自轉印輥431朝下方延伸的腳部。因此，升降把手61各可藉由於X方向中連續之單一構件構成。對於藉由凸輪構件444之旋轉使轉印輥431上升並抵接於印刷布BL，且對基板SB推壓印刷布BL之前的各部動作，參照圖8A至圖8C及圖9A至圖9C進而詳細說明。圖8A至圖8C係顯示轉印輥抵接於印刷布之前之動作之圖。又，圖9A至圖9C係顯示轉印輥將印刷布推壓至基板之狀態之圖。藉由凸輪構件444之旋轉使輥單元43上升，伴隨於此，轉印輥431之上端部之高度產生變化。如圖8A所示，相對於距凸輪構件444之初期位置之旋轉角之增加，當初，轉印輥431之高度急遽增大，且於某高度Za，相對於旋轉角之高度之增大變緩。換言之，以於凸輪構件444以固定速度旋轉時轉印輥431之上端(以下，簡稱為「輥上端」)之上升速度成此種輪廓之方式，設定凸輪構件444之形狀。高度Zo係轉印輥431位於分開位置時之輥上端的高度。高度Za係如圖8B所示，輥上端即將抵接到印刷布BL前之輥上端的高度。原理上，可採用較載置印刷布BL之下平台31之上表面31a之高度略低的高度，亦可進而施予考慮到印刷布BL之撓曲的容限。輥上端抵接到印刷布BL之前因轉印輥431之上升速度較高，故可縮短轉印輥431抵接到印刷布BL之前的時間。轉印輥431抵接至印刷布BL時，若上升速度過高，則有對印刷布BL施加衝擊，致使印刷布BL或其載持之圖案損傷之虞。為了避免該問題，輥上端達到高度Za後以更低之上升速度使轉印輥431上升，並抵接至印刷布BL。另，如該例，相對於凸輪旋轉角，輥上端高度未必直線狀變化。只要於初期階段，提高轉印輥431之上升速度，於抵接到印刷布BL前使上升速度更緩慢即可。轉印輥431抵接於印刷布BL前，成為輥單元43之支持角4334藉由賦能部434之賦能力而被推壓至擋止件435之狀態。擋止件435抵抗賦能力並將朝支持角4334之上方之位移抑止於抑止位置，且轉印輥431亦停在固定位置。轉印輥431抵接至印刷布BL時之輥上端之高度Zb如圖8C所示，與載置印刷布BL之下平台31之上表面31a之高度大致相等。若進而旋轉凸輪構件444，則輥上端超過高度Zb進而上升。藉此，印刷布BL被推升。最終，印刷布BL被推壓至上平台21所保持之基板SB，並停止轉印輥431之上升。如圖8A中虛線所示，凸輪構件444係為了使轉印輥431上升並超過印刷布BL抵接於基板SB時之輥上端之高度Zc，而使輥單元43進而上升。然而，轉印輥431係介隔印刷布BL及基板SB頂接於上平台21並停止上升。因此，如圖9A所示，轉印輥431相對於升降構件432被相對地推向下方，使支持角4334分開擋止件435。其結果，轉印輥431自利用擋止件435之抑止中被解放並上下自由作動，成為被賦能部434之朝上賦能力推壓至印刷布BL之狀態。因此，轉印輥431對印刷布BL之按壓力之大小由賦能部434之賦能力而決定。賦能部434為氣缸之情形，可藉由自按壓控制部93之控制而調整賦能力。因此，可藉由按壓控制部93適宜地設定朝印刷布BL之按壓力。此外，於必須根據材料改變按壓力之情形，亦可不變更裝置構成而容易地對應。於賦能部434為使用彈簧者之情形，使用具有適宜之彈簧常數的彈簧，為利用磁力者之情形，使用具有適宜之磁束密度之磁鐵(永久磁鐵或電磁鐵)，藉此同樣可調整按壓力。如此，於該實施形態中，藉由轉印輥431朝印刷布BL之按壓力由賦能部434之構成而唯一地決定。因此，使輥單元43升降之升降機單元44係只要具有抵抗賦能部434之賦能力及相對於其之來自印刷部BL之反作用力，將輥單元43維持於特定高度之功能即可，不必進行高度及按壓力之微調整。將凸輪構件444用於輥升降之升降機單元44便適合於該目的者。又，於起因於加工精度或經時變化等，使得上平台21、基板SB及印刷布BL之任一者之表面之平面度惡化之情形，伴隨轉印輥431朝Y方向之行進，如圖9B所示，會有抵接之印刷布BL之下表面之高度變動之情形，又如圖9C所示，會有印刷布BL之下表面之傾斜度變化之情形。於該等情形，亦因轉印輥431之兩端被分別獨立賦能，故轉印輥431追隨印刷布BL之下表面之變動而作動，藉此可將對印刷布BL之按壓力維持為固定。因此，可良好且穩定執行由印刷布BL朝基板SB之圖案轉印。如此，為使轉印輥431追隨印刷布BL下表面之變動所需之條件係於圖9A所示，於轉印輥431被賦能部434之賦能力推壓至印刷布BL之狀態下，支持角4334之行程(上下方向之可動範圍)大於設想之平面度之變動。例如，於電子元件製造用之轉印裝置1中，該平面度之變動設想為數十微米左右。因此，支持角4334之行程只要為數毫米即可。升降自由地支持支持角4334之直動引導件(導軌4332及滑件4333)之行程亦只要為同程度即可，可使用較小型之製品。於輥單元43中對賦能部434之載荷係由轉印輥431、支持角4334及滑件4333之質量所引起，藉由將該等設為輕量而將賦能部434之載荷抑制得較小，可縮短追隨印刷布BL下表面之變動的轉印輥431之應答時間。用以使轉印輥431自分開位置移動至按壓位置之機構(升降機單元44)、與用以使轉印輥431追隨印刷布BL下表面位置之變動之機構(支持部430)為獨立之機構。因此，支持部430只要有可吸收印刷布BL下表面位置之變動之行程即可，如此可縮小隨附於轉印輥431之載荷。另，關於上述之平面度之變動，亦可有印刷布BL下表面中與轉印輥431最初抵接之部分自水平面傾斜的情形。於此種情形，亦必須使轉印輥431於X方向上一致且均一地抵接於印刷布BL。為此，必須預先使轉印輥431抵接於印刷布BL時之轉印輥431之上端配合印刷布BL之傾斜而傾斜。於該實施形態中，與印刷布BL分開之狀態之轉印輥431係被支持於藉由擋止件435而抑止在抑止位置的支持角4334，抑止位置可藉由調整螺絲調整。只要以轉印輥431即將抵接到印刷布BL前、輥上端與印刷布BL下表面成為彼此平行之方式，於轉印輥431之兩端部預先調整抑止位置，即可使轉印輥431於X方向上一致且均一地抵接於印刷布BL。此種調整處理係作為圖6之步驟S101中之「傾斜調整處理」而事先執行。藉此，將轉印輥431之旋轉軸之方向於以與X方向平行之方向為中心之XZ平面內之特定角度範圍內予以調整。轉印輥431最初抵接於印刷布BL時，印刷布BL不受基板SB及上平台21之平面度影響。因此，印刷布BL之下表面可認為與下平台31之上表面31a成同一平面。由此，只要以下平台31之上表面31a與輥上端平行之方式設定抑止位置即可。若如此，則不必每次轉印處理都進行傾斜調整。又例如，亦可為藉由使用雷射位移計等適宜之測定器將下平台31之上表面31a及輥上端分別調整為水平，而間接地確保下平台31之上表面31a與輥上端之平行度的調整方法。回到圖6繼續轉印處理的說明。於步驟S108中，轉印輥431將印刷布BL推壓至基板SB且沿Y方向移動。藉此，如圖7C所示，印刷布BL與基板SB介隔圖案或薄膜PT而密接之區域沿Y方向擴展。如此，圖案或薄膜PT依序被轉印至基板SB(轉印處理)。轉印輥431上升到可以特定按壓力按壓印刷布BL之按壓位置，並以該狀態沿Y方向移動。如圖7D所示，繼續輥單元43之行進直至轉印輥431到達基板SB之(+Y)側端部正下之結束位置(步驟S109)。藉此，基板SB整體抵接於印刷布BL，並結束圖案或薄膜PT對基板SB之轉印。於該時點，停止輥單元43之移動，並使輥單元43自印刷布BL分開且朝下方退避(步驟S110)。如此密接之印刷布BL與基板SB被一體搬出(步驟S111)，且結束該轉印裝置1中的轉印處理。圖10係顯示各部之動作之時序圖。參照圖10並整理上述轉印處理之各部之動作。若於時刻T0凸輪構件444自初期位置開始旋轉，則輥單元43上升，伴隨於此，轉印輥431亦上升。藉由進行上述之傾斜調整，轉印輥431之上端未必水平。即，輥上端高度未必與轉印輥431之兩端部相同。為了於圖中例示更一般化之狀態，而藉由實線與虛線個別地顯示X方向中轉印輥431之兩端部各者之上端高度之變化的一例。於時刻T1輥單元43之上升速度降低，於時刻t2輥上端抵接於印刷布BL下表面。進而藉由旋轉凸輪構件444使輥單元43上升，轉印輥431推升印刷布BL，施加於印刷布BL之按壓力增大。於時刻t3，印刷布BL推壓於基板SB。進而藉由旋轉凸輪構件444，擋止件435對支持角4334之抑止被解除。此後，轉印輥431兩端部之輥上端高度追隨印刷布BL下表面之變動而獨立地變化，並藉由賦能部434之賦能力，將對印刷布BL之按壓力維持為固定。於輥單元43上升到充分確保支持角4334之行程之位置的時刻T4，凸輪構件444之旋轉停止，輥單元43之上升亦停止。於該狀態下，輥行進驅動部5使轉印輥區塊4行進，藉此可遍及輥行進之整個期間對印刷布BL及基板SB穩定施加固定按壓力並進行轉印。於上述之轉印處理中，轉印輥431自使印刷布BL抵接於基板SB開始至轉印結束並自印刷布BL分開為止的期間內，轉印輥431可以固定按壓力按壓印刷布BL。因此，可將印刷布BL所載持之圖案PT良好地轉印至基板SB。以下，對本實施形態中有助於此種效果之各部之進一步特徵性構成及其作用進行說明。於該實施形態中，轉印輥區塊4及下平台31均設置於對準平台36上。根據此種構成，藉由對準機構71之作動而使對準平台36移動時，轉印輥區塊4與下平台31一體移動。因此，轉印輥431最初抵接於印刷布BL時之轉印輥431與下平台31於水平方向保持預先設定之位置關係。藉此，如下說明，可抑制轉印輥431開始抵接於印刷布BL時產生之相對於基板SB的位置偏移。圖11A至圖11C係顯示對準調整前後之各部之位置關係的圖。此處，對對準調整前後之裝置各部，具體而言針對下平台31、轉印輥431及升降把手61之位置關係的變化加以考慮。於印刷布BL載置於下平台31前之初期狀態中，如圖11A所示，與下平台31之外周對應之矩形邊係朝向沿著XY座標軸的方向。因此，以1點鏈線顯示之轉印輥431之軸方向及升降把手61之長邊方向均為X方向。於如此初期化之下平台31上載置印刷布BL。此時，有如圖11A中虛線所示，印刷布BL以相對於下平台31傾斜之狀態、或於XY平面內沿任一方向位移之狀態被設置之情形。為了消除此種印刷布BL之設置位置偏移所引起之基板SB與印刷布BL(更正確而言為印刷布BL上之被轉印物)之位置偏移，而執行對準調整處理。於對準調整執行後，如圖11B所示，相對於XY座標軸之印刷布BL之位置偏移被消除。然而，結果下平台31自初期位置位移。於該實施形態中，轉印輥區塊4安裝於對準平台36。因此，藉由對準機構71之作動而使對準平台36移動時，轉印輥區塊4與下平台31且與對準平台36一體移動。因此，即便對準機構71作動，轉印輥431相對於下平台31之相對位置亦未變化。與此相對，如圖11C作為比較例所示，於藉由對準機構71移動對準平台36時僅下平台31位移之構成中，於對準調整之前後，下平台31與轉印輥431之位置關係變化。因此，轉印輥431上升且最初抵接於印刷布BL下表面時之位置於下平台31之開口311內變動。圖12A至圖12C係例示下平台上之印刷布之撓曲狀態的圖。印刷布BL因其自重而朝下平台31之開口311內不可避免地撓陷。離自下方支持之下平台31越遠的位置，其撓曲量越大。此時，如圖12A所示，因印刷布BL以被拉入開口311內之方式變形，故印刷布BL上之點P於水平方向中朝開口311之中央側位移。轉印輥431係朝正上拉提如此向下方撓曲之印刷布BL。因此，包含因撓曲而產生之水平方向之位置偏移之狀態之印刷布BL被推壓至基板SB。即，於基板SB中，點P抵接之位置係不同於原來之位置，該情形致使圖案之轉印位置產生偏移。此種位置偏移尤其於轉印輥431最初抵接之開口311內之端部位置附近易於變大。此外，一旦基板SB與印刷布BL抵接，則其後兩者間不易產生新的位置偏移。換言之，基板SB與印刷布BL之間之重合精度由兩者最初抵接時之位置偏移量大致決定。因此，於藉由下平台31保持之印刷布BL中，重要的是抑制與轉印輥431最初抵接之部分的撓曲量。此外，如圖11C所示，轉印輥431與下平台31之間隔於轉印輥431之兩端部之間不同之情形，如圖12B所示，印刷布BL之撓曲量於X方向之兩端部為非對稱。且該撓曲量係根據初期狀態(對準調整前)中基板SB與印刷布BL之相對位置，即基板SB及印刷布BL設置於何種位置而每次變化。因此，印刷布BL相對於基板SB之位置偏移量於每次處理中有差異，而難以提高重合之位置精度。於該實施形態中，於對準調整之前後，下平台31與轉印輥431之相對位置關係未變化。因此，初期狀態之轉印輥431之正上方位置之印刷布BL之撓曲量固定。由此，亦可根據需要，進行預估起因於撓曲之位置偏移的對準調整。藉此，可謀求重合之位置精度之提高。又，如圖12C所示，於該實施形態中，藉由沿X方向延伸之升降把手61而自下方支持面向下平台31之開口311的印刷布BL之下表面中央部。藉此，降低印刷布BL之自身撓曲量，該點亦有助於提高位置精度。另，包含升降把手61之支持把手單元6係安裝於主框架10。因此，升降把手61於對準調整時未追隨下平台31。然而，升降把手61係單單輔助支持印刷布BL並抑制撓曲者，並不會對位置精度造成影響。當然，支持把手單元6亦可為對準時與下平台31一體移動之構成。此處，於上述文獻所記述之構成中，為了避免轉印輥區塊行進時之干涉，升降把手沿X方向被分割成2根，且未支持印刷布之中央部。因此，尤其於印刷布具有易撓曲之特性之情形，有產生中央部之撓曲之虞。與此相對，於本實施形態中，藉由單一之升降把手61支持包含X方向中印刷布之中心位置的較大範圍。因此，可有效地抑制載持有效圖案等之有效區域即印刷布BL之中央部的撓曲。可將升降把手61設為於X方向中連續之單一構件的理由係採用了抑制轉印輥區塊4之高度，且以下平台31之較開口311更靠向X方向之外側之兩端部支持的構成。藉此，無需自轉印輥431沿下方延伸之腳部，且不必設置轉印輥區塊4之行進時用以通過該腳部的空間。其結果，可設為不沿X方向分割升降把手，而能有效地支持印刷布中央部之較大區域的單一構件。於該實施形態中，用以使轉印輥431升降之機構使用凸輪構件444而構成。即，馬達445之繞水平旋轉軸之旋轉運動藉由具有水平方向之旋轉軸之凸輪構件444而轉換成鉛直方向之直線往復運動，藉此使輥單元43升降。因此，與例如使用了具有鉛直方向之驅動軸之滾珠螺桿機構的升降機構相比，可抑制轉印輥單元4整體之高度。輥單元43由1對以隔著凸輪構件444之方式設置之直動引導件升降自由地支持，因而輥單元43可維持轉印輥431之姿勢不變而上下作動。此外，於該實施形態之輥單元43中，藉由與轉印輥431之兩端部對應設置之1對支持部430，而支持轉印輥431。支持部430各具有旋轉自由地支持轉印輥431，且將該旋轉軸朝上方，即，將印刷布BL推壓至基板SB之方向賦能的功能。因此，可藉由賦能力控制朝印刷布BL之按壓力之大小，且可以與材料或用途相應之適當按壓力按壓印刷布BL。轉印輥431之軸方向兩端部之高度係由抵抗賦能部434之賦能力將支持角4334抑止於抑止位置的擋止件435限制。因此，可管理即將抵接於印刷布BL前之轉印輥431之姿勢，使轉印輥431於X方向中一樣均一地抵接於印刷布BL。藉此，於印刷布BL與基板SB之重合中，可防止起因於按壓不均一之位置偏移。又，轉印輥區塊4係於板構件45之X方向中的兩端部藉由輥行進驅動部5支持。因此，可抑制轉印輥區塊4於行進中繞Y軸傾斜，並更確實地管理轉印輥431之姿勢。藉此，可設為使由轉印輥431施加至印刷布BL之按壓力穩定者。且，於該實施形態中，用以保持並按壓印刷布BL之構成，即，下平台31、轉印輥區塊4及輥行進驅動部5均安裝於裝卸平台37。且，裝卸平台37可對於對準平台36裝卸。因此，於基板SB或印刷布BL之尺寸或規格變更之情形，可於裝卸平台37一體地更換上述各部，此外，亦容易維護各部。例如，可在裝卸平台37上進行各區塊之組裝或對位等調整後，於對準平台36裝入裝置本體。此外，可藉由使對準平台36與裝卸平台37一體化而提高剛性且增加耐載荷，並抑制載置轉印輥區塊4等重物所引起之撓曲。如上說明，於上述實施形態之轉印裝置1中，基板SB及印刷布BL分別相當於本發明之「第1板狀體」及「第2板狀體」。且，上平台21及下平台31分別作為本發明之「第1保持器件」及「第2保持器件」發揮功能。又，下平台31相當於本發明之「平台」。又，升降把手61及把手升降驅動部63分別作為本發明之「輔助支持構件」及「升降機構」發揮功能。又，於上述實施形態中，轉印輥區塊4及輥行進驅動部5一體作為本發明之「按壓器件」發揮功能。且，該等中轉印輥431相當於本發明之「輥構件」，其以外之各構成相當於「按壓機構」。於轉印輥區塊4中，支持部430及升降構件432一體作為本發明之「輥支持部」發揮功能。又，板構件45作為本發明之「行進構件」發揮功能。又，對準平台36、裝卸平台37及相機72分別作為本發明之「基座部」、「裝卸構件」及「攝像部」發揮功能。且，該等一體作為本發明之「對準器件」發揮功能。另，本發明並未限定於上述實施形態，可於未脫離其主旨之範圍內除上述者以外進行各種變更。例如，上述實施形態之擋止件435係安裝於軸承部433之板4336的調整螺絲。然而，並未限定於此種構造，亦可為例如藉由將針形狀或塊形狀之構件頂接於支持角4334而限定位置的擋止件。又，基於調整轉印輥431之傾斜之目的，抑止位置之調整功能亦可僅設置1對支持部430之任一者。又，於上述實施形態中，複數個升降把手61藉由支持框架62支持並一體升降。然而，亦可例如上述文獻所記載，成為使各升降把手獨立升降之構成。於此種構成中，只要例如根據轉印輥之行進使升降把手依序下降，即可更確實地管理印刷布之姿勢。因此，例如於謀求基板之大型化上較為有效。此外，亦可取代棒狀之升降把手61，而為藉由上表面為平坦面之其他形狀之構件支持印刷布的構成。此外，上述實施形態係將印刷布BL所載持之圖案等之被轉印物轉印至基板SB的轉印裝置。然而，本發明之技術思想並未限定於此種轉印圖案等之轉印裝置，亦可應用於例如未介有圖案等而使2片板狀體貼合的技術。以上，如以具體實施形態為例所說明，本發明例如亦可採用具備：輔助支持構件，其抵接於第2板狀體之中央部並支持第2板狀體；及升降機構，其使輔助支持構件升降；且輔助支持構件抵接於輥構件抵接前之第2板狀體，於輥構件抵接第2板狀體後，上述升降機構使輔助支持構件下降，並自第2板狀體分開的構成。根據此種構成，藉由輔助支持構件支持輥構件抵接前之第2板狀體，可進而將第2板狀體確保為接近水平之姿勢並抵接輥構件。該情形，例如，亦可採用第2保持器件具有上表面於中央有開口之水平支持面即平台，該平台使第2板狀體之下表面周緣部抵接於支持面，另一方面，使第2板狀體之中央部面向開口並支持第2板狀體，升降機構將輔助支持構件之上端部定位於與支持面同一高度且使輔助支持構件抵接於第2板狀體的構成。根據此種構成，可以更接近水平面之狀態支持第2板狀體之下表面。又，例如，亦可採用複數個輔助支持構件沿移動方向排列，且各輔助支持構件於上端部具有將軸方向設為長邊方向之帶狀之抵接面的構成。根據此種構成，可以軸方向及與其正交之移動方向中較廣之區域支持第2板狀體，且良好地維持第2板狀體之姿勢。又，例如，亦可採用按壓機構具有沿移動方向行進之行進構件、旋轉自由地支持輥構件且對於行進構件升降自由地設置的輥支持部、將旋轉軸設為水平並設置於行進構件的馬達、及由馬達旋轉驅動且將馬達之旋轉運動轉換成輥支持部之升降運動之凸輪的構成。根據此種構成，可不使用鉛直方向之驅動軸而使輥構件升降。因此，可使按壓機構小型化，尤其抑制其高度。又，例如，亦可採用於行進構件設置軸方向的位置彼此不同之複數個直動引導件，且該複數個直動引導件升降自由地支持行進構件的構成。根據此種構成，可抑制輥支持部繞平行於移動方向之軸傾斜，並維持輥構件之姿勢且相對於第2板狀體升降。又，例如，亦可採用行進構件之軸方向的兩端部較輥構件之兩端部更延伸至外側，且行進構件之兩端部沿移動方向移動自由地受支持的構成。藉由支持於軸方向較輥構件延伸至更外側之行進構件之兩端部，可抑制行進構件繞平行於移動方向之軸傾斜。藉此，可維持行進構件及輥支持部之姿勢並移動。又，例如，亦可採用對準器件具有可對於基座部裝卸地設置之裝卸構件，且第2保持器件與按壓器件設置於裝卸構件的構成。根據此種構成，例如，第2板狀體之尺寸或特性等規格變更時，可將與之適合之第2保持器件與按壓器件與裝卸構件一體地對裝置裝卸、更換。又，因可以預先於裝卸構件上將第2保持器件與按壓器件分別組裝至適宜位置之狀態安裝至裝置，故期望提高各部之對位精度。又，例如，亦可採用對準器件具有拍攝預先形成於第1板狀體及第2板狀體之各者之對準標記的攝像部，並基於所攝圖像進行第1板狀體與第2板狀體之對位的構成。於此種構成中，藉由光學性地檢測第1板狀體與第2板狀體之位置關係，可使兩者高精度對位。 [產業上之可利用性] 本發明係可較好地應用於將圖案或薄膜等被轉印物轉印至玻璃基板或半導體基板等各種板狀體的處理。此外，於未介有圖案等而使2片板狀體直接抵接之情形，亦可應用本發明之技術思想。

1‧‧‧轉印裝置
2‧‧‧上平台區
3‧‧‧下平台區
4‧‧‧轉印輥區(按壓器件)
5‧‧‧輥行進驅動部(按壓器件、行進機構)
6‧‧‧支持把手單元
7‧‧‧對準部
9‧‧‧控制單元(控制器件)
10‧‧‧主框架
21‧‧‧上平台(第1保持器件)
21a‧‧‧基板保持面
22‧‧‧樑構件
23‧‧‧平台升降機構
31‧‧‧下平台(第2保持器件)
31a‧‧‧印刷布保持面
32‧‧‧支柱
36‧‧‧對準平台
37‧‧‧裝卸平台
43‧‧‧輥單元
44‧‧‧升降機單元(升降機構)
45‧‧‧板構件(行進構件)
51‧‧‧導軌
52‧‧‧滾珠螺桿機構
53‧‧‧導軌
61‧‧‧升降把手
62‧‧‧支持框架
63‧‧‧把手升降驅動部
71‧‧‧對準機構
72‧‧‧相機
91‧‧‧平台升降控制部
92‧‧‧吸附控制部
93‧‧‧按壓控制部
94‧‧‧輥升降控制部
95‧‧‧輥行進控制部
96‧‧‧對準控制部
97‧‧‧把手升降控制部
231‧‧‧支持構件
232‧‧‧支持構件
233‧‧‧滾珠螺桿
234‧‧‧馬達
235‧‧‧螺帽部
236‧‧‧耦合件
311‧‧‧開口部
312‧‧‧吸附槽
430‧‧‧支持部
431‧‧‧轉印輥(輥構件)
432‧‧‧升降構件
433‧‧‧軸承部(軸承機構)
434‧‧‧賦能部(賦能機構)
435‧‧‧擋止件(抑止構件)
436‧‧‧凸輪從動件
441‧‧‧柱構件
442‧‧‧導軌
443‧‧‧滑件
444‧‧‧凸輪構件(凸輪)
445‧‧‧馬達
446‧‧‧耦合件
451‧‧‧軸承構件
452‧‧‧軸承構件
521‧‧‧支持構件
522‧‧‧支持構件
523‧‧‧滾珠螺桿
524‧‧‧馬達
525‧‧‧螺帽部
526‧‧‧耦合件
531‧‧‧滑件
621‧‧‧腳部
631‧‧‧導軌
632‧‧‧滑件
4331‧‧‧柱構件
4332‧‧‧導軌
4333‧‧‧滑件
4334‧‧‧支持角
4335‧‧‧自動調心軸承
4336‧‧‧板
BL‧‧‧印刷布(第2板狀體)
P‧‧‧點
PP‧‧‧版
PT‧‧‧符號
S101～S111‧‧‧步驟
SB‧‧‧基板(第1板狀體)
T0～T4‧‧‧時刻
X‧‧‧方向
Y‧‧‧方向
Z‧‧‧方向
Za‧‧‧高度
Zb‧‧‧高度
Zc‧‧‧高度
Zd‧‧‧高度
Zo‧‧‧高度
θ‧‧‧方向

圖1係模式性顯示本發明之轉印裝置之一實施形態的側視圖。圖2係顯示該轉印裝置之主要部分之構成之圖。圖3係顯示轉印輥區塊之構成的立體圖。圖4A係顯示轉印輥區塊之構成的第1前視圖。圖4B係顯示轉印輥區塊之構成的第2前視圖。圖5A係顯示轉印輥區塊之構成的第1側視圖。圖5B係顯示轉印輥區塊之構成的第2側視圖。圖6係顯示該轉印裝置之轉印處理的流程圖。圖7A係模式性顯示轉印處理之過程中各部之位置的第1圖。圖7B係模式性顯示轉印處理之過程中各部之位置的第2圖。圖7C係模式性顯示轉印處理之過程中各部之位置的第3圖。圖7D係模式性顯示轉印處理之過程中各部之位置的第4圖。圖8A係顯示轉印輥抵接於印刷布之前之動作的第1圖。圖8B係顯示轉印輥抵接於印刷布之前之動作的第2圖。圖8C係顯示轉印輥抵接於印刷布之前之動作的第3圖。圖9A係顯示轉印輥將印刷布推壓至基板之狀態的第1圖。圖9B係顯示轉印輥將印刷布推壓至基板之狀態的第2圖。圖9C係顯示轉印輥將印刷布推壓至基板之狀態的第3圖。圖10係顯示各部之動作之時序圖。圖11A係顯示對準調整前後之各部之位置關係的第1圖。圖11B係顯示對準調整前後之各部之位置關係的第2圖。圖11C係顯示對準調整前後之各部之位置關係之比較例之圖。圖12A係例示下平台上之印刷布之撓曲狀態的第1圖。圖12B係例示下平台上之印刷布之撓曲狀態的第2圖。圖12C係例示下平台上之印刷布之撓曲狀態的第3圖。

1‧‧‧轉印裝置

2‧‧‧上平台區

3‧‧‧下平台區

4‧‧‧轉印輥區

5‧‧‧輥行進驅動部

6‧‧‧支持把手單元

7‧‧‧對準部

9‧‧‧控制單元

10‧‧‧主框架

21‧‧‧上平台

21a‧‧‧基板保持面

22‧‧‧樑構件

23‧‧‧平台升降機構

31‧‧‧下平台

31a‧‧‧印刷布保持面

32‧‧‧支柱

36‧‧‧對準平台

37‧‧‧裝卸平台

43‧‧‧輥單元

44‧‧‧升降機單元

45‧‧‧板構件

51‧‧‧導軌

52‧‧‧滾珠螺桿機構

61‧‧‧升降把手

62‧‧‧支持框架

63‧‧‧把手升降驅動部

71‧‧‧對準機構

72‧‧‧相機

91‧‧‧平台升降控制部

92‧‧‧吸附控制部

93‧‧‧按壓控制部

94‧‧‧輥升降控制部

95‧‧‧輥行進控制部

96‧‧‧對準控制部

97‧‧‧把手升降控制部

231‧‧‧支持構件

232‧‧‧支持構件

233‧‧‧滾珠螺桿

234‧‧‧馬達

235‧‧‧螺帽部

236‧‧‧耦合件

311‧‧‧開口部

431‧‧‧轉印輥

523‧‧‧滾珠螺桿

524‧‧‧馬達

525‧‧‧螺帽部

526‧‧‧耦合件

621‧‧‧腳部

631‧‧‧導軌

632‧‧‧滑件

BL‧‧‧印刷布

PP‧‧‧版

SB‧‧‧基板

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

Z‧‧‧方向

Claims

一種轉印裝置，其具備：第1保持器件，其以下表面開放之狀態且以水平姿勢保持第1板狀體；第2保持器件，其以保持第2板狀體之周緣部而使上述第2板狀體之上表面與上述第1板狀體之下表面近接對向之狀態、且於上述第2板狀體之下表面中之上表面側與上述第1板狀體對向之中央部開放之狀態，保持上述第2板狀體；按壓器件，其具有於沿上述第2板狀體之下表面之軸方向延伸設置的輥構件、及按壓機構，該按壓機構係使上述輥構件抵接於上述第2板狀體之下表面，一面使上述第2板狀體推壓上述第1板狀體一面沿與上述軸方向正交之移動方向移動；及對準器件，其具有支持上述第2保持器件及上述按壓器件之基座部，藉由上述基座部沿水平方向移動而使上述第2保持器件與上述按壓器件一體地對上述第1保持器件相對移動，而進行上述第1板狀體與上述第2板狀體之對位。
如請求項1之轉印裝置，其具備：輔助支持構件，其抵接於上述第2板狀體之上述中央部而支持上述第2板狀體；及升降機構，其使上述輔助支持構件升降；且上述輔助支持構件係抵接於上述輥構件抵接前之上述第2板狀體，於上述輥構件抵接上述第2板狀體後，上述升降機構使上述輔助支持構件下降，而與上述第2板狀體分開。
如請求項2之轉印裝置，其中上述第2保持器件具有上表面於中央具有開口之水平支持面即平台，上述平台係使上述第2板狀體之下表面周緣部抵接於上述支持面，另一方面，使上述第2板狀體之上述中央部面向上述開口而支持上述第2板狀體；上述升降機構係將上述輔助支持構件之上端部定位於與上述支持面同一高度，使上述輔助支持構件抵接於上述第2板狀體。
如請求項2或3之轉印裝置，其中將複數個上述輔助支持構件沿上述移動方向排列，且上述輔助支持構件之各者於上端部具有將上述軸方向設為長邊方向之帶狀之抵接面。
如請求項1至3中任一項之轉印裝置，其中上述按壓機構具有：行進構件，其沿上述移動方向行進；輥支持部，其旋轉自由地支持上述輥構件，且相對於上述移動構件升降自由地設置；馬達，其將旋轉軸設為水平而設置於上述行進構件；及凸輪，其由上述馬達旋轉驅動，且將上述馬達之旋轉運動轉換成上述輥支持部之升降運動。
如請求項5之轉印裝置，其中於上述行進構件設置於上述軸方向的位置彼此不同之複數個直動引導件，且上述複數個直動引導件升降自由地支持上述行進構件。
如請求項5之轉印裝置，其中上述行進構件之上述軸方向的兩端部較上述輥構件之兩端部更延伸至外側，且上述行進構件之兩端部各自沿上述移動方向移動自由地受支持。
如請求項1至3中任一項之轉印裝置，其中上述對準器件具有可對上述基座部裝卸地設置之裝卸構件，且上述第2保持器件與上述按壓器件設置於上述裝卸構件。
如請求項1至3中任一項之轉印裝置，其中上述對準器件具有拍攝預先形成於上述第1板狀體及上述第2板狀體之各者之對準標記的攝像部，基於所拍攝的圖像進行上述第1板狀體與上述第2板狀體之對位。
一種轉印方法，其使用轉印裝置，該轉印裝置具備：第1保持器件，其以下表面開放之狀態且以水平姿勢保持第1板狀體；第2保持器件，其以保持第2板狀體之周緣部而使上述第2板狀體之上表面與上述第1板狀體之下表面近接對向之狀態、且於上述第2板狀體之下表面中之上表面側與上述第1板狀體對向之中央部開放之狀態，保持上述第2板狀體；按壓器件，其具有於沿上述第2板狀體之下表面之軸方向延伸設置的輥構件、及使上述輥構件抵接於上述第2板狀體之下表面且沿與上述軸方向正交之移動方向移動的按壓機構；且該轉印方法具備如下步驟：藉由支持上述第2保持器件及上述按壓器件之基座部沿水平方向移動，而使上述第2保持器件與上述按壓器件一體地對上述第1保持器件相對移動，使上述第1板狀體與上述第2板狀體於特定相對位置對位；及上述按壓機構使上述輥構件抵接於上述第2板狀體之下表面，且一面使上述第2板狀體推壓上述第1板狀體一面沿上述移動方向移動，使上述第1板狀體與上述第2板狀體密接。