TW201721794A - 連接鎖扣的模組化基板支撐柱 - Google Patents

Abstract

一種用於一基板容器之基板支撐總成。該總成可包含一對基板支撐柱(column，即柱狀物)，其等各自包含複數個架部件之一堆疊及插入通過該堆疊以將該堆疊固定在一起之複數個支撐桿。各架部件可包含一葉片部分，其具有第一及第二相對表面以及一內及外周邊。該葉片部分之各表面可包含一肋結構及定位成朝向該外周邊且自該葉片部分之一前向部分延伸至一後向部分之複數個軸套。連接鎖扣特徵部可界定於該等肋結構上。該等架部件之該堆疊可包含經由該等肋結構與一或多個相鄰架部件堆疊之各架部件，藉此經由該等連接鎖扣特徵部連接鎖扣各架部件與該一或多個相鄰架部件。

Description

連接鎖扣的模組化基板支撐柱

本發明係關於半導體處理設備，且更明確言之係關於用於半導體基板之容器。

隨著對更小、更低成本且高效能的半導體裝置之需求之增加，對更小的且更薄的積體電路之需求增加。為達成此等較小積體電路，可在積體電路製程中使用薄半導體基板或晶圓。 在將晶圓處理成積體電路之各個點處，將晶圓固定於基板容器中。此等基板容器可在晶圓之下部及晶圓之外周邊處水平地支撐晶圓。然而，隨著晶圓變得更薄，其等趨於在定位於此等基板容器中時愈來愈鬆垂，此係歸因於重力對愈來愈薄的晶圓結構之影響。此鬆垂增大將晶圓支撐於基板容器中之難度且因此增大在處理期間損壞晶圓之風險。此外，晶圓之額外鬆垂可產生與用於處置晶圓之自動化製程之互操作性問題。因此，可期望一種用於處置薄基板之改良的基板容器。

本發明之各項實施例可安裝於各種類型之基板容器中。例如，本發明之一些實施例包含具有偏離安裝位置之安裝支架，該等偏離安裝位置調適支撐柱以安裝於包含自然地未與SEMI標準晶圓凹穴尺寸對準之附接位置的一基板容器內。此係與(諸如在450 mm基板容器中)其中安裝位置與各組裝桿之中心軸簡單重合之先前設計不同之一方法。美國專利第8,919,563號中闡釋具有可堆疊晶圓架之450 mm基板容器之概念，該案為本申請案之擁有者所擁有且其全文以引用的方式併入本文中，惟其中所含之專利技術方案及表達定義除外。 本發明之實施例係關於一種用於將薄基板支撐於一基板容器中之基板支撐總成。在各項實施例中，該基板支撐總成包含一對模組化支撐柱，該對模組化支撐柱各自包含堆疊在一起且由複數個支撐桿以及上及下安裝支架固定於適當位置中之複數個個別架部件。在各項實施例中，該等支撐桿之各者插入通過該等堆疊架部件以對該等支撐柱提供結構支撐。該等上及下安裝支架附接至該等支撐柱之各者之頂部及底部以將該等支撐柱安裝於該基板容器內。 各項實施例提供一種用於將薄基板儲存於各種類型之基板容器中之具成本效益的且可組態的模組化設計。例如，本發明之實施例包含模組化支撐柱，藉由堆疊複數個個別模製架部件以產生一多件式基板支撐件而組裝該等模組化支撐柱。在各項實施例中，該等個別架部件之各者係相同的，使用相同設計構造而成。此外，在特定實施例中，該等架部件之各者係正反兩用的。因而，相同設計可用於組裝基板支撐總成之兩側。另外，各支撐柱中之架或狹槽之數目在組裝期間可容易基於總成中所使用之架部件之數目而變化。 因此，製造之複雜性減低，而取代包含具有相異左側設計及右側設計之複數個整體架之一基板支撐結構之習知設計。此外，習知設計必須解決射出模製具有適於支撐薄基板之深肋架之一整體支撐結構之實際限制。另外，習知設計具高製造成本，此係歸因於對此產品預期之更低體積需求及生產射出模具之高成本。 根據一或多項實施例，基板支撐總成包含一對基板支撐柱，該對基板支撐柱各自包含複數個架部件之一堆疊及插入通過該堆疊以將該堆疊固定在一起之複數個支撐桿。各架部件可包含具有第一及第二相對表面及自一前向部分延伸至一後向部分之一對縱長邊緣之一葉片部分。該對縱長邊緣可界定該葉片部分之一外周邊及一內周邊。 在各項實施例中，該葉片部分包含自該第一表面延伸之第一肋結構及自該第二表面延伸之一第二肋結構。該第一肋結構及該第二肋結構可定位成朝向該葉片部分之該外周邊且自該前向部分延伸至該後向部分。在一些實施例中，該葉片部分包含自該第一表面延伸之第一複數個軸套及自該第二表面延伸之第二複數個軸套。該第一複數個軸套及該第二複數個軸套可定位成朝向該外周邊且可各自包含定位於該前向部分處之一前向軸套及定位於該後向部分處之一後向軸套。在一或多項實施例中，該等前向軸套及該等後向軸套界定通過該架部件之複數個孔口。 在特定實施例中，該葉片部分包含界定於該第一肋結構之一邊緣上之一第一群組之連接鎖扣特徵部及界定於該第二肋結構之一邊緣上之一第二群組之連接鎖扣特徵部。該第一群組之連接鎖扣特徵部可包含突出部且該第二群組之連接鎖扣特徵部可包含對應凹部以在該第一群組與該第二群組之連接鎖扣特徵部之間互補地連接鎖扣。 在一或多項實施例中，該複數個架部件之該堆疊包含經由該第一肋結構及該第二肋結構之至少一者與一或多個相鄰架部件堆疊之該等架部件之各者。在各項實施例中，該堆疊藉此經由該第一群組及該第二群組之連接鎖扣特徵部之至少一群組連接鎖扣各架部件與該一或多個相鄰架部件。在一些實施例中，該堆疊藉此對準該複數個架部件之該等孔口且界定通過該堆疊之複數個通道以插入該等支撐桿。 上述發明內容並不意欲描述本發明之各經繪示實施例或每一實施方案。

相關申請案 本申請案主張2015年8月25日申請之美國臨時申請案第62/209,771號及2015年12月21日申請之美國臨時申請案第62/270,388號之優先權，該等案之揭示內容之全文以引用的方式併入本文中。 參考圖1，描繪根據本發明之一實施例之用於儲存複數個基板之一基板容器30。如本文中所使用，複數個基板包含於半導體、印刷電路板、平板顯示器及類似者之製造中使用之基板或晶圓。在特定實施例中，基板容器30包含兩個相對側部分34、一頂部部分36、一底板38及一背部部分42。側部分34、頂部部分36、背部部分42及底板界定基板容器30之一內部43。基板容器30之一前部分44包含一門框46，其界定一門開口48以插入且移除基板32。一門52經調適以密封且遮蓋門開口48。基板容器30之門開口48位於面部基準面(facial datum plane)或包含軸54之一Z-Y平面中，且平行於由Z軸指示之一垂直或向上方向。在各項實施例中，基板容器30之特徵為含有一微環境。 在特定實施例中，基板容器30進一步包含定位於底板38下方之一輸送板56。在各項實施例中，輸送板56經安裝至基板容器30之底部以在各個基板處理步驟期間對基板容器30進行基於機器之定位及對準。 在一或多項實施例中，一基板支撐總成66 (包含一對基板支撐柱68、69)安置於基板容器30內。在特定實施例中，支撐柱68、69之各者靠近側部分34之一各自者。該對支撐柱68、69各自包含經對準以界定複數個狹槽之複數個架部件70。支撐柱68、69之各者經隔開使得基板(諸如基板32)可由複數個架部件70支撐於支撐柱68與支撐柱69之間。 參考圖2至圖8，描繪根據本發明之一實施例之該對基板支撐柱68、69。在所描繪之實施例中，基板支撐柱68、69包含複數個堆疊架部件70，其等由延伸通過該等堆疊架部件70之複數個支撐桿82 (圖8)固定在一起。上支架86及下支架90、帽94及緊固件98可附接至支撐桿82。在一或多項實施例中，支撐柱68、69之各者包含具有一面向上表面100之一最頂部架部件99及具有一面向下表面103之一最底部架部件101。 在各項實施例中，架部件70各自包含一葉片部分102以及複數個肋結構106及軸套110。在一或多項實施例中，架部件70經由堆疊葉片部分102產生上及下邊界以約束Z方向上之基板移動，且經由肋結構106及軸套110產生側邊界以約束X-Y平面中之基板移動。在特定實施例中，各相鄰架部件70之間的距離等於基板節距。在一些實施例中，各相鄰架部件70之間的距離係20毫米(mm)。在特定實施例中，各相鄰架部件之間的距離係10 mm。在一或多項實施例中，各相鄰架部件70之間的距離在10 mm至20 mm之範圍內。在各項實施例中，各架部件之間的距離可按使用者需求而變化。在特定實施例中，葉片部分102大致平行於水平基準面。在一些實施例中，葉片部分102設定為與水平基準面成一角度以幫助基板保持在支撐柱68、69中。例如，在一些實施例中，葉片部分102設定為傾斜朝向基板容器30之背部42 (圖1)之一角度。在一些實施例中，偏離水平基準面之角度介於一度至四度之間。 在各項實施例中，面向上表面100之軸套110連接至上支架86且面向下表面103之軸套110連接至下支架90。在一或多項實施例中，複數個堆疊架部件70，支架86、90及帽94之各者係個別組件。在一些實施例中，最頂部架部件99及上支架86係一整體結構。類似地，在特定實施例中，且最底部架部件及下支架90係一整體結構。在各項實施例中，架部件70設計成具有一鏡像結構，使得相同架部件70可用來組裝左支撐柱69及右支撐柱69兩者。例如，一架部件70可簡單旋轉或翻轉以構形架部件70而用作一左側或右側架。 在各項實施例中，架部件70可使用各種材料構造而成，該等材料包含但不限於：聚合物、彈性體、金屬或其他適合材料。可使用各種適合模製製程來射出模製、插入模製、包覆模製或製造該等部件。 如圖3至圖6中所描繪，葉片部分102可具有包含第一及第二相對表面114、118以及自一前向部分126延伸至一後向部分130之縱長邊緣122之一大致平面形狀。在各項實施例中，縱長邊緣122界定一外周邊134及一內周邊138。在各項實施例中，外及內周邊134、138係彎曲的或弧形的，其等具有大體上與基板容器30之內部側壁34 (圖1)貼合之一形狀。在一些實施例中，葉片部分102在第一及第二表面114、118上額外包含墊片或凸塊(未描繪)以將基板與葉片表面114、118隔開。 在一或多項實施例中，架部件之各者包含複數個軸套110及肋結構106。例如，葉片部分102可具有自第一表面114延伸之一第一群組之軸套142及自第二表面118延伸之一第二群組之軸套146 (圖4及圖5)。 在各項實施例中，複數個軸套110係定位於沿葉片部分102之外周邊134之各個位置處之圓形立柱(stud)或突起物。例如，在一些實施例中，葉片部分102包含定位於前向部分126處之一前向軸套150及定位於後向部分130處之一後向軸套154。在特定實施例中，第一群組及第二群組之軸套142、146各自包含定位於前向軸套150與後向軸套154之間且沿外周邊134之一或多個中間軸套158。 在各項實施例中，複數個軸套110之各者界定通過架部件70之孔口162。例如，第一及第二表面114、118上之前向軸套150界定前向部分126處之一孔口162。類似地，第一及第二表面114、118上之後向軸套154界定後向部分130處之一孔口162。 在一或多項實施例中，架部件70之肋結構106包含自第一表面114延伸之一第一肋結構166及自第二表面118延伸之一第二肋結構170。因此，肋結構106係第一及第二表面114、118上之材料之一凸起肋或部分。 在一或多項實施例中，第一及第二肋結構166、170靠近外周邊134自前向部分126延伸至後向部分130。在一些實施例中，肋結構106延伸於架部件70中之複數個軸套110之各者之間。例如，在圖3中描繪，肋結構106可包含延伸於前向軸套150與中間軸套158之間的一第一部分174及延伸於中間軸套158與後向軸套154之間的一第二部分178。 在一些實施例中，架部件70包含一對準特徵部182。在各項實施例中，對準特徵部182係自第一及第二表面114、118延伸之材料之一凸起肋。對準特徵部182可定位於肋結構106與外周邊134之間。在一些實施例中，對準特徵部182大體上定位成朝向葉片部分102之後向部分130。在一些實施例中，對準特徵部182與基板容器30 (圖1)之結構元件(諸如一榫槽特徵部)接合以將支撐柱68、69對準於容器30內。 在一或多項實施例中，架部件70包含自葉片部分102之第一及第二表面114、118延伸之連接鎖扣特徵部186。例如，一第一群組190之連接鎖扣特徵部186可自第一表面114延伸經過第一肋結構166及第一群組142之軸套110。類似地，一第二群組194之連接鎖扣特徵部186可自第二表面118延伸經過第二肋結構170及第二群組146之軸套110。 至少在圖6至圖7F中描繪，在各項實施例中，第一及第二群組190、194之連接鎖扣特徵部186彼此互補，其等經構形以藉由與突出部及對應凹部重疊或配合在一起而配接或配合在一起。例如，在圖7A至圖7C中，描繪第一群組190之連接鎖扣特徵部186。第一群組190包含自第一肋結構166及第一群組之軸套142延伸之複數個突出部198。例如，第一肋結構166包含自第一肋結構166之一邊緣202延伸之複數個肋形突出部198。第一群組之軸套142包含圍繞孔口162之一環形突出部198。 類似地，如圖7D至圖7F中所描繪，第二群組194之連接鎖扣特徵部186包含具有與第一群組190之連接鎖扣特徵部186中之複數個突出部198之形狀相對應之一形狀之複數個凹部206。例如，第二肋結構170在第二肋結構170之邊緣202中包含複數個肋形凹部206。第二群組之軸套146包含圍繞孔口162之一環形凹部206。在一或多項實施例中，連接鎖扣肋結構166、170抵抗個別架部件70之間的橫向移動。 參考圖8至圖12，在組裝時，複數個架部件70可相互堆疊以形成支撐柱68、69 (圖2)。在一些實施例中，各架部件70堆疊至複數個支撐桿82上。在特定實施例中，一旦架部件70經堆疊，支撐桿82便可經由軸套110之各者中之孔口162插入通過該堆疊。在各項實施例中，至支撐桿82之配合可為一間隙配合、滑動配合或壓入配合，此取決於桿82及架部件70之結構相互作用。在各項實施例中，支撐桿82可使用緊固件98連接至上及下安裝支架86、90及帽94，以將架部件70之堆疊固定在一起，藉此形成支撐柱68。亦預期其中不利用支撐桿之實施例，其中形成於軸套110之間的接頭提供足夠結構完整性。 如先前描述，架部件70之各者係彼此之鏡像，其等在第一及第二表面114、118上具有肋結構106及軸套110之一大致相同定位。例如，為形成「左」支撐柱68，架部件70經堆疊而使第一表面114面向上且第二表面118面向下。相反地，為形成「右」支撐柱69 (圖2)，架部件70經堆疊而使第二表面118面向上且第一表面114面向下。 在圖9至圖12中描繪，一第一架部件222及一第二架部件226直接配置於彼此上方。架部件222、226之各者經定向以用作左支撐柱68中之架。因而，第二架部件226之第一群組之軸套142及第一肋結構166配置於第一架部件222的第二群組之軸套146及第二肋結構170下面。因為將第一及第二架部件222、226放置在一起，所以架部件222、226之連接鎖扣特徵部186配合在一起，藉此形成一個雙架堆疊230，在圖10中描繪。 第一群組142之軸套110之環形突出部198配合於第二群組146之軸套110之凹部206內，而將兩者以圖11中所描繪之一連接鎖扣關係配合在一起。類似地，第一及第二肋結構166、170之突出部198及凹部206如圖12中描繪般配合在一起。 參考圖13，描繪根據本發明之一或多項實施例之上支架86。上支架86可包含具有一面向上表面238及一面向下表面242之一主體部分234。上支架86可包含面向下表面242上之一支撐桿入口246以接納一支撐桿82，且包含面向上表面238中之一孔口250以經由插入於孔口250中之一緊固件98將支撐桿82及上支架86固定在一起。 另外，上支架86可包含自面向上表面延伸之一對準特徵部254。在一或多項實施例中，對準特徵部254係自表面238向上延伸之材料之一長形肋。在各項實施例中，對準特徵部254可與基板容器30 (圖1)之結構元件(諸如一榫槽特徵部)接合以在安裝於容器30內時對準支撐柱68、69。 參考圖14A至圖14B，描繪根據一或多項實施例之下支架90。在一或多項實施例中，下支架90包含一前向支架91及一後向支架92。前向支架91可包含一支撐桿入口258以接納一支撐桿82。在特定實施例中，支撐桿82藉由各種方法而固持於適當位置中，該等方法包含但不限於：一壓入配合、黏合或螺合配合。前向支架91可包含使一安裝部分266自支撐桿入口258偏離之一偏離部分262。在各項實施例中，安裝部分266有螺紋以接納一緊固件98。類似地，後向支架92可包含一對支撐桿入口270、274及將支撐桿入口270、274連接至安裝入口286之偏離部分278、282。 參考圖15A至圖16B，在組裝時，支撐柱68、69可插入至基板容器30之內部43中。圖15B至圖15C中所描繪，支撐柱68、69之各者可經由下支架90安裝於內部43中。輸送板56及底板38可包含各種安裝位置290以將緊固件98插入至下支架90之各者中之安裝部分266中。在特定實施例中，此等安裝點290可放置於容器30之標準化位置中且下支架90之各者調適支撐柱68、69以安裝至容器30之內部內之既有安裝位置290。因而，下支架90之各者經由偏離部分262、278、282將支撐柱68、69之支撐桿82連接至各個安裝位置290，在圖14A至圖14B中描述。 對於圖16A至圖16B之所描繪實施例，在組裝時，因為經預組裝支撐柱68、69向後插入至容器中，所以上支架86之對準特徵部254及架部件70之對準特徵部254與自頂部部分36之內部延伸之一前向槽特徵部300 (圖16A)及自基板容器30之內部表面308延伸之一後向槽特徵部304 (圖16B)接合。因此，因為支撐柱68、69經插入，所以對準特徵部254、182將支撐柱68、66之各者導引至用於將下支架90附接至基板容器30之底板38之位置中。 已為繪示之目的而呈現本發明之各項實施例之描述，但該等描述並不意欲為詳盡的或限於所揭示之實施例。在不脫離所描述實施例之範疇及精神之情況下，一般技術者將明白許多修改及變動。本文中使用之術語經選取以說明實施例之原理、實際應用或優於市場上發現之技術之技術改良，或使一般技術者能夠理解本文中揭示之實施例。

30‧‧‧基板容器
32‧‧‧基板
34‧‧‧側部分/內部側壁
36‧‧‧頂部部分
38‧‧‧底板
42‧‧‧背部部分/背部
43‧‧‧內部
44‧‧‧前部分
46‧‧‧門框
48‧‧‧門開口
52‧‧‧門
54‧‧‧軸
56‧‧‧輸送板
66‧‧‧基板支撐總成
68‧‧‧基板支撐柱/左支撐柱
69‧‧‧基板支撐柱/右支撐柱
70‧‧‧架部件
82‧‧‧支撐桿
86‧‧‧上支架/上安裝支架
90‧‧‧下支架/下安裝支架
91‧‧‧前向支架
92‧‧‧後向支架
94‧‧‧帽
98‧‧‧緊固件
99‧‧‧最頂部架部件
100‧‧‧最頂部架部件之面向上表面
101‧‧‧最底部架部件
102‧‧‧葉片部分
103‧‧‧最底部架部件之面向下表面
106‧‧‧肋結構
110‧‧‧軸套
114‧‧‧葉片表面/第一表面
118‧‧‧葉片表面/第二表面
122‧‧‧縱長邊緣
126‧‧‧前向部分
130‧‧‧後向部分
134‧‧‧外周邊
138‧‧‧內周邊
142‧‧‧第一群組之軸套
146‧‧‧第二群組之軸套
150‧‧‧前向軸套
154‧‧‧後向軸套
158‧‧‧中間軸套
162‧‧‧孔口
166‧‧‧第一肋結構
170‧‧‧第二肋結構
174‧‧‧肋結構之第一部分
178‧‧‧肋結構之第二部分
182‧‧‧對準特徵部
186‧‧‧連接鎖扣特徵部
190‧‧‧第一群組之連接鎖扣特徵部
194‧‧‧第二群組之連接鎖扣特徵部
198‧‧‧突出部
202‧‧‧肋結構之邊緣
206‧‧‧凹部
222‧‧‧第一架部件
226‧‧‧第二架部件
230‧‧‧堆疊
234‧‧‧主體部分
238‧‧‧面向上表面
242‧‧‧面向下表面
246‧‧‧支撐桿入口
250‧‧‧孔口
254‧‧‧對準特徵部
258‧‧‧支撐桿入口
262‧‧‧偏離部分
266‧‧‧安裝部分
270‧‧‧支撐桿入口
274‧‧‧支撐桿入口
278‧‧‧偏離部分
282‧‧‧偏離部分
286‧‧‧安裝入口
290‧‧‧安裝位置/安裝點
300‧‧‧前向槽特徵部
304‧‧‧後向槽特徵部
308‧‧‧內部表面

本申請案中所包含之圖式併入至本說明書中且形成本說明書之部分。該等圖式繪示本發明之實施例且連同描述一起用來說明本發明之原理。該等圖式僅繪示特定實施例且不限制本發明。 圖1描繪根據本發明之一或多項實施例之包含一基板支撐總成之一基板容器。 圖2描繪根據本發明之一或多項實施例之一對互補基板支撐柱之一透視圖。 圖3描繪根據本發明之一或多項實施例之一架部件之一透視圖。 圖4描繪根據本發明之一或多項實施例之一架部件之一第一平面圖。 圖5描繪根據本發明之一或多項實施例之圖4之架部件之一第二平面圖。 圖6描繪根據本發明之一或多項實施例之圖4之架部件之一側視圖。 圖7A至圖7F描繪本發明之一或多項實施例之圖4之架部件之部分視圖。 圖8描繪根據本發明之一或多項實施例之一基板支撐柱之一分解圖。 圖9描繪根據本發明之一或多項實施例之複數個架部件之一透視圖。 圖10描繪根據本發明之一或多項實施例之一架部件堆疊之一側視圖。 圖11描繪在圖10之線11-11處取得之一橫截面視圖。 圖12描繪在圖10之線12-12處取得之一橫截面視圖。 圖13描繪根據本發明之一或多項實施例之一上支架之一透視圖。 圖14A至圖14B描繪根據本發明之一或多項實施例之下支架之平面圖。 圖15A描繪根據本發明之一或多項實施例之一基板容器之一前視圖。 圖15B描繪在圖15A之線B-B處取得之一橫截面視圖。 圖15C描繪在圖15A之線C-C處取得之一橫截面視圖。 圖16A描繪根據本發明之一或多項實施例之一基板容器中之一上支架以及一榫槽(tongue and groove)特徵部之一橫截面視圖。 圖16B描繪根據本發明之一或多項實施例之一基板容器中之一基板架及一榫槽特徵部之一橫截面視圖。 雖然本發明之實施例可有各種修改及替代形式，但其具體形式已藉由實例展示於圖式中並將作詳細描述。然而，應瞭解，並不意欲將本發明限制於所描述之特定實施例。反之，意欲涵蓋落於本發明之精神及範疇內之全部修改、等效及替代。

30‧‧‧基板容器

32‧‧‧基板

34‧‧‧側部分/內部側壁

36‧‧‧頂部部分

38‧‧‧底板

42‧‧‧背部部分/背部

43‧‧‧內部

44‧‧‧前部分

46‧‧‧門框

48‧‧‧門開口

52‧‧‧門

54‧‧‧軸

56‧‧‧輸送板

66‧‧‧基板支撐總成

68‧‧‧基板支撐柱/左支撐柱

69‧‧‧基板支撐柱/右支撐柱

70‧‧‧架部件

Claims (20)

1. 一種基板支撐總成，其包括： 一對基板支撐柱，其等各自包含複數個架部件之一堆疊及插入通過該堆疊以將該堆疊固定在一起之複數個支撐桿，各架部件包含一葉片部分，該葉片部分具有第一及第二相對表面及自該葉片部分之一前向部分延伸至一後向部分且界定該葉片部分之一外周邊及一內周邊之一對縱長邊緣，該葉片部分包含： 自該第一表面延伸之一第一肋結構及自該第二表面延伸之一第二肋結構，該第一肋結構及該第二肋結構定位成靠近該外周邊且自該前向部分延伸至該後向部分； 自該第一表面延伸之第一複數個軸套及自該第二表面延伸之第二複數個軸套，該第一複數個軸套及該第二複數個軸套定位成靠近該外周邊且各自包含定位於該前向部分處之一前向軸套及定位於該後向部分處之一後向軸套，該等前向軸套及該等後向軸套界定通過該架部件之孔口；及 界定於該第一肋結構之一邊緣上之一第一群組之連接鎖扣特徵部及界定於該第二肋結構之一邊緣上之一第二群組之連接鎖扣特徵部，該第一群組之連接鎖扣特徵部包含突出部且該第二群組之連接鎖扣特徵部包含對應凹部以在該複數個架部件之相鄰架部件之間互補地連接鎖扣； 其中該複數個架部件之該堆疊包含經由該第一肋結構及該第二肋結構之至少一者與一或多個相鄰架部件堆疊之該等架部件之各者，藉此經由該第一群組及該第二群組之連接鎖扣特徵部之至少一群組連接鎖扣該複數個架部件之各架部件與該一或多個相鄰架部件，該複數個架部件之該等孔口經對準且界定通過該堆疊之複數個通道以供插入該複數個支撐桿。
2. 如請求項1之基板支撐總成，其中： 該第一肋結構延伸於該第一複數個軸套之該前向軸套與該後向軸套之間，且該第二肋結構延伸於該第二複數個軸套之該前向軸套與該後向軸套之間。
3. 如請求項1之基板支撐總成，其中： 該葉片部分進一步包含界定於該第一表面上之一第一對準特徵部及界定於該第二表面上之一第二對準特徵部，該第一對準特徵部及該第二對準特徵部定位成靠近該外周邊且包含自該第一表面及該第二表面延伸以與一基板容器中之一槽接合而對準該等支撐柱之一肋。
4. 如請求項1之基板支撐總成，其中： 該堆疊包含具有該第一表面及該第二表面之一面向上表面之一最頂部架部件；及 該堆疊包含連接至該面向上表面之該前向軸套之一上支架，該上支架包含一主體部分及自該主體部分向上延伸之一對準特徵部，該對準特徵部包含用於與一基板容器中之一槽接合以對準該等支撐柱之一肋。
5. 如請求項4之基板支撐總成，其中： 該最頂部架部件及該上支架係一整體結構。
6. 如請求項1之基板支撐總成，其中： 該堆疊包含具有該第一表面及該第二表面之一面向下表面之一最底部架部件；及 該堆疊包含連接至該面向下表面之該前向軸套之一第一下支架及連接至該面向下表面之該後向軸套之一第二下支架，該第一下支架及該第二下支架包含：支撐桿入口，其連接至該複數個支撐桿之一者之一端；一安裝部分，其用於連接至一基板容器之一底板；及一偏離部分，其使該安裝部分自該支撐桿入口偏離。
7. 如請求項6之基板支撐總成，其中： 該最底部架部件以及該第一下支架及該第二下支架係一整體結構。
8. 如請求項1之基板支撐總成，其中： 該第一複數個軸套及該第二複數個軸套各自包含定位於該前向軸套與該後向軸套之間的一中間軸套，該中間軸套界定通過該架部件之一孔口。
9. 如請求項1之基板支撐總成，其中： 該複數個架部件之各側係彼此之鏡像。
10. 如請求項1之基板支撐總成，其中： 該複數個架部件之各者係個別模製件。
11. 一種基板容器，其包括： 一容器部分，其包含兩個相對側壁、一背部側壁、一頂部側壁及一底板，該容器部分在該基板容器之一前部分中界定至用於容納基板之一內部之一開口，該容器部分安裝於一輸送板上； 一門，其經構形以遮蓋且密封由該容器部分界定之該開口；及 一對基板支撐柱，其等安裝於該內部以支撐基板，該對基板支撐柱各自包含複數個架部件之一堆疊及插入通過該堆疊以將該堆疊固定在一起之複數個支撐桿，各架部件包含一葉片部分，該葉片部分具有第一及第二相對表面及自一前向部分延伸至一後向部分且界定一外周邊及一內周邊之一對縱長邊緣，該葉片部分包含： 自該第一表面延伸之一第一肋結構及自該第二表面延伸之一第二肋結構，該第一肋結構及該第二肋結構定位成靠近該外周邊且自該前向部分延伸至該後向部分； 自該第一表面延伸之第一複數個軸套及自該第二表面延伸之第二複數個軸套，該第一複數個軸套及該第二複數個軸套定位成靠近該外周邊且各自包含定位於該前向部分處之一前向軸套及定位於該後向部分處之一後向軸套，該等前向軸套及該等後向軸套界定通過該架部件之孔口；及 界定於該第一肋結構之一邊緣上之一第一群組之連接鎖扣特徵部及界定於該第二肋結構之一邊緣上之一第二群組之連接鎖扣特徵部，該第一群組之連接鎖扣特徵部包含突出部且該第二群組之連接鎖扣特徵部包含對應凹部以在該兩者之間互補地連接鎖扣； 其中該複數個架部件之該堆疊包含經由該第一肋結構及該第二肋結構之至少一者與一或多個相鄰架部件堆疊之該等架部件之各者，藉此經由該第一群組及該第二群組之連接鎖扣特徵部之至少一群組連接鎖扣各架部件與該一或多個相鄰架部件，且藉此對準該複數個架部件之該等孔口而界定通過該堆疊之複數個通道以供插入該複數個支撐桿。
12. 如請求項11之基板容器，其中： 該堆疊包含具有該第一表面及該第二表面之一面向下表面之一最底部架部件；及 該堆疊包含連接至該面向下表面之該前向軸套之一第一下支架及連接至該面向下表面之該後向軸套之一第二下支架，該第一支架及該第二支架包含：支撐桿入口，其連接至該複數個支撐桿之一者之一端；一安裝部分，其連接至該基板容器之該底板；及一偏離部分，其使該安裝部分自該支撐桿入口偏離。
13. 如請求項11之基板容器，其中： 該容器包含該頂部側壁之該內部中之一第一槽，該第一槽定位成靠近該基板容器之該開口； 該堆疊包含具有該第一表面及該第二表面之一面向上表面之一最頂部架部件；及 該堆疊包含連接至該面向上表面之該前向軸套之一上支架，該上支架包含一主體部分及自該主體部分向上延伸之一第一對準特徵部，該第一對準特徵部包含與該頂部側壁中之該槽接合以對準該等支撐桿之一肋。
14. 如請求項13之基板容器，其中： 該容器包含該頂部側壁之該內部中之一第二槽，該第二槽定位成靠近該基板容器之該背部側壁；及 該面向上表面包含一第二對準特徵部，該第二對準特徵部定位成靠近該外周邊且包含自該面向上表面延伸且與該第二槽接合以對準該等支撐柱之一肋。
15. 如請求項11之基板容器，其中： 該第一肋結構延伸於該第一複數個軸套之該前向軸套與該後向軸套之間，且該第二肋結構延伸於該第二複數個軸套之該前向軸套與該後向軸套之間。
16. 如請求項11之基板容器，其中： 該第一複數個軸套及該第二複數個軸套各自包含定位於該前向軸套與該後向軸套之間的一中間軸套，該等中間軸套界定通過該架部件之一孔口。
17. 如請求項11之基板容器，其中： 該複數個架部件之各側係彼此之鏡像。
18. 一種組裝一基板容器之方法，該方法包括： 將一對基板支撐柱插入至一容器部分之一內部中，該容器部分包含兩個相對側壁、一背部側壁、一頂部側壁及一底板，該容器部分在該基板容器之一前部分中界定至用於容納基板之該基板容器之該內部之一開口，該對基板支撐柱各自包含： 複數個架部件之一堆疊及插入通過該堆疊以將該堆疊固定在一起之複數個支撐桿，各架部件包含一葉片部分，該葉片部分具有第一及第二相對表面及自一前向部分延伸至一後向部分且界定一外周邊及一內周邊之一對縱長邊緣，該堆疊包含具有該第一表面及該第二表面之一面向下表面之一最底部架部件，且該堆疊包含連接至該面向下表面之該前向部分之一第一下支架及連接至該面向下表面之該後向部分之一第二下支架，該第一下支架及該第二下支架包含：支撐桿入口，其連接至該複數個支撐桿之一者之一端；一安裝部分，其用於連接至該底板；及一偏離部分，其使該安裝部分自該支撐桿入口偏離；及 經由該第一下支架及該第二下支架將該對基板支撐柱之各者安裝至該容器部分之該底板。
19. 如請求項18之方法，其中該容器部分包含自該頂部側壁之該內部延伸之一槽，且該堆疊包含具有該第一表面及該第二表面之一面向上表面之一最頂部架部件，且包含連接至該面向上表面之該前向部分之一上支架，該上支架包含一主體部分及自該主體部分向上延伸之一對準特徵部，該對準特徵部包含用於與該容器部分中之該槽接合之一肋，其中該方法進一步包括： 經由該等上支架之該對準特徵部將該對基板支撐柱之各者對準於該容器部分之該內部中。
20. 如請求項18之方法，其中該葉片部分包含： 自該第一表面延伸之一第一肋結構及自該第二表面延伸之一第二肋結構，該第一肋結構及該第二肋結構定位成靠近該外周邊且自該前向部分延伸至該後向部分； 自該第一表面延伸之第一複數個軸套及自該第二表面延伸之第二複數個軸套，該第一複數個軸套及該第二複數個軸套定位成靠近該外周邊且各自包含定位於該前向部分處之一前向軸套及定位於該後向部分處之一後向軸套，該等前向軸套及該等後向軸套界定通過該架部件之孔口；及 界定於該第一肋結構之一邊緣上之一第一群組之連接鎖扣特徵部及界定於該第二肋結構之一邊緣上之一第二群組之連接鎖扣特徵部，該第一群組之連接鎖扣特徵部包含突出部且該第二群組之連接鎖扣特徵部包含對應凹部以在該兩者之間互補地連接鎖扣； 其中該複數個架部件之該堆疊包含經由該第一肋結構及該第二肋結構之至少一者與一或多個相鄰架部件堆疊之該等架部件之各者，藉此經由該第一群組及該第二群組之連接鎖扣特徵部之至少一群組連接鎖扣各架部件與該一或多個相鄰架部件，且藉此對準該複數個架部件之該等孔口而界定通過該堆疊之複數個通道以供插入該複數個支撐桿。