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TW201727199A - 編碼器 - Google Patents

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TW201727199A
TW201727199A TW106100789A TW106100789A TW201727199A TW 201727199 A TW201727199 A TW 201727199A TW 106100789 A TW106100789 A TW 106100789A TW 106100789 A TW106100789 A TW 106100789A TW 201727199 A TW201727199 A TW 201727199A
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Hirokatsu Okumura
Yutaka Saito
Hitoshi Joko
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Nidec Sankyo Corp
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Abstract

本發明提供一種於使用MR元件之編碼器中,使偏移適當反映而提高精度之技術。 編碼器具備MR元件10及控制部20。控制部20具備ADC21、角度算出部22及偏移控制部23。角度算出部22經由ADC21自MR元件10獲取A相信號及B相信號,而算出磁鐵50之角度位置。偏移控制部23根據A相信號及B相信號算出利薩如波形,又,自將圓形之利薩如波形等分割之特定之候選點使用連續之3點,求出2條2點間之垂直平分線,將其交點作為偏移算出。

Description

編碼器
本發明係關於一種編碼器,例如係關於一種算出基於具有π/2之相位差之A相信號及B相信號之磁感測器輸出獲得之旋轉角之磁式編碼器。
作為檢測被檢測物之位移量或位移之絕對值之裝置,已知有磁式編碼器。例如,作為磁式編碼器,存在如下者,即,使被磁化成NS之2極之圓盤狀之磁鐵旋轉,利用MR(Magnetic Random,磁阻)元件檢測其磁場變化,將所獲得之Sin信號及Cos信號進行AD(Analog/Digital,類比/數位)轉換並擷取至微電腦,檢測出旋轉位置之絕對值。 於此種磁式編碼器中,例如若將反正切信號之相位作為參數,將Sin信號作為正交座標系統之Y座標,將Cos信號作為正交座標系統之X座標進行描繪,則獲得所謂之利薩如波形。若假定Sin信號及Cos信號為無噪音等之理想之信號,則成為無中心偏移或變形之圓形。但是,實際上存在因感測器之偏差等而為中心偏移之圓形,即自Y座標與X座標之交點至利薩如波形之圓周上之距離不同之情形。因此,於自工廠出貨編碼器時,通常預先進行偏移修正。進而,亦存在如下技術,即,考慮出貨時(初始)之偏移調整環境與實際之使用環境、尤其溫度環境不同之使用環境之不同,對偏移誤差進行調整(例如,參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2010-78340號公報 然而,於藉由與Y軸之交點2點及與X軸之交點2點算出偏移之技術中,在僅活動較小之旋轉角度般之情形之應用中,偏移算出存在極限,從而謀求即使於此種狀況下亦可實現精度提高之技術。 本發明係鑒於上述狀況而完成者,目的在於在使用MR元件之編碼器中,使偏移適當反映而提高精度。
本發明之編碼器具備:磁鐵,其被磁化成NS之2極;磁感測器,其以與上述磁鐵對向之方式配置,輸出具有π/2之相位差之A相信號及B相信號;旋轉量算出部,其基於上述A相信號及上述B相信號而算出旋轉量;及偏移控制部,其基於上述A相信號及上述B相信號,於正交座標系統上形成利薩如波形,並基於上述利薩如波形算出上述A相信號與上述B相信號之偏移;且上述偏移控制部係根據由在上述利薩如波形所呈現之圓周上被均等地分割為特定數量之候選點中之連續之3點形成之2個邊之垂直平分線之交點而檢測偏移。 此處,所謂具有π/2之相位差之A相信號及B相信號例如係指Sin信號及Cos信號。與如先前般藉由與Y軸之交點2點及與X軸之交點2點算出偏移之情形相比,即使為較小之旋轉角度亦可檢測偏移。因此,即使於僅活動較小之旋轉角度之應用中亦可使用。 亦可為,上述偏移控制部於利薩如波形存在變形之情形時,以成為理想圓之方式進行修正並根據上述連續之3點算出上述偏移。 即使於利薩如波形所呈現之圓形存在變形之情形時,亦可算出更加準確之偏移。 又,亦可為,上述連續之3點至少包含1個上述正交座標系統之任一座標軸與上述利薩如波形之交點。 一般而言,利薩如波形在與正交座標系統之軸(X軸、Y軸)之交點處之變形較少。因此,藉由包含與軸之交點,而於變形修正中無需對與軸之交點進行修正,能夠更快算出偏移。 亦可為,上述連續之3點為上述正交座標系統之任一座標軸與上述利薩如波形之交點。 藉由將3點均作為與軸之交點,而自利薩如波形之變形較少之位置選擇3點,因此3點均無需變形修正,因此能夠更快算出偏移。 亦可為,與上述座標軸上之交點之檢測係根據上述A相信號或上述B相信號之其中任一者變為零時之值與另一者之值之組合而算出。 可不進行最大值檢測或最小值檢測,而利用簡單之方法檢測與軸之交點,從而算出偏移。 亦可為,上述偏移控制部於決定應用於算出上述旋轉量之上述偏移時,將上次算出之偏移與最新算出之偏移平滑化後使用。 藉由於算出上述旋轉量時應用對最新偏移加上對前一個偏移進行加權所得之值而進行平滑化(濾波)所得者,即使存在環境溫度變化、使用時之裝置溫度上升等變化,亦可追隨該等變化而檢測出適當之偏移,並且藉由進行濾波,能夠形成無變動之偏移。 亦可為,上述偏移控制部於決定應用於算出上述旋轉量之上述偏移時,直接使用於最初之3點所檢測出之偏移,而以後依次檢測出之偏移則在進行加權後使其反映至於上述最初之3點所檢測出之偏移。 能夠於編碼器旋轉後立即迅速地算出偏移,且如上所述,能夠作為無變動之偏移而算出。 根據本發明,於使用MR元件之編碼器中,能夠使偏移適當地反映而提高精度。
以下,參照圖式對用於實施發明之形態(以下稱作「實施形態」)進行說明。 圖1係進行本發明之實施形態之偏移值修正之編碼器1之硬體構成之概念圖。圖2係編碼器1之功能方塊圖,主要著眼於偏移修正之功能而表示。 編碼器1具有與旋轉體之旋轉連動而輸出信號變化之MR元件10及控制部20。於本實施形態中,作為旋轉體,使用被磁化成一對S極及N極之磁極之圓盤狀之磁鐵50。固定於馬達裝置之框架等,並且磁鐵50係以連結於馬達裝置之旋轉輸出軸等之狀態被使用。 於編碼器1中,自MR元件10朝向控制部20輸出彼此具有π/2之相位差之Cos信號(A相信號)及Sin信號(B相信號)。更具體而言,MR元件10具備相對於磁鐵50之相位彼此具有90°之相位差之A相之磁阻圖案及B相之磁阻圖案,並對應於磁鐵50之旋轉而輸出A相信號及B相信號。 再者,於圖式中,雖僅圖示有成為A相感測器及B相感測器之一構成要素之MR元件10,但除此之外例如亦可藉由整流電路、低通濾波器、差動增幅放大器、向MR元件10供給勵磁電流之驅動器等各種電氣要素對A相感測器及B相感測器之輸出進行算出處理。 控制部20例如由MPU(Microprocessor Unit,微處理單元)、ROM(Read Only Memory,唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory,隨機存取記憶體)等各種電氣要素形成,功能上具備A/D(Analog/Digital,類比/數位)轉換部21(以下,記為「ADC21」)、角度算出部22及偏移控制部23。 ADC21獲取自MR元件10輸出之類比信號並進行數位化,並將其輸出至角度算出部22及偏移控制部23。角度算出部22基於來自MR元件10之輸出(A相信號、B相信號)算出磁鐵50之角度位置。 偏移控制部23具有算出利薩如波形之功能及偏移修正功能。角度算出部22於磁鐵50之角度位置之算出時,自偏移控制部23獲取偏移,進行適當之角度位置之算出。 偏移控制部23具備偏移算出部24、偏移資料記憶部25及變形修正用資料記憶部26。 偏移算出部24算出A相信號與B相信號之偏移,並提供至角度算出部22之角度位置之算出處理。關於具體之偏移之算出順序,將參照圖4及圖5於下文敍述,但簡單而言,自將圓形之利薩如波形等分割之候選點選擇連續之3點,進而求出2條連續之2點間之垂直平分線,將其交點算出為偏移。藉由編碼器1啟動後最初之偏移算出處理獲得之值直接被用於角度算出部22。對於以後獲得之偏移,於與最初之偏移平滑化之後被用於角度算出部22。藉此,於啟動時儘早反映最新之偏移,以後可使用無變動之偏移。再者,進行如何之加權而平滑化可根據目的而適當選擇。 偏移資料記憶部25保持偏移之資料。此處,記憶出貨時之偏移之值以及在實際使用狀態後算出之偏移之值,用於上述之平滑化處理。 變形修正用資料記憶部26保持在利薩如波形中產生變形之情形時,用於進行變形修正之資料。存在如下情形,即,因MR元件10及其附帶之放大器、驅動器等,使ADC21獲取之類比信號(A相信號及B相信號)產生變形。又,變形之原因中,亦存在磁鐵50與MR元件10之形狀上之問題,即幾何學之主要原因。磁鐵50形成為圓盤狀,各極為半圓狀,自半圓狀之區域至半圓狀之區域,磁通線並不完全一致而呈帶有圓形之分佈。又,對形成於MR元件10之橋接電路之各區段施加之磁通根據場所而稍微不同。由此,利薩如波形產生變形。 此種變形一般因溫度特性而一致變化,因此預先記憶用於正規化之修正值,並於製作利薩如波形時應用,藉此可獲得無變形(或變形非常小)之圓形。再者,於本實施形態中,如下文所述,於算出偏移之情形時,由於預先確定特定之候補點,因此實際保持之資料量及變形修正所需要之計算量較小即可。 圖3係用於說明本實施形態中應用之偏移算出方法之圖。此處,自於圓形之利薩如波形上均等地分割之候選點中使用連續之3點,根據由該等連續之3點形成之2個邊之垂直平分線之交點算出偏移。 此處,作為連續之3點,設為第1點P1(X1,Y1)、第2點P2(X2,Y2)、第3點P3(X3,Y3)。連結第1點P1(X1,Y1)與第2點P2(X2,Y2)之邊之垂直平分線和該邊之第1交點Pm1(Xm1,Ym1)、連結第2點P2(X2,Y2)與第3點P3(X3,Y3)之邊之垂直平分線和該邊之第2交點Pm2(Xm2,Ym2)利用下式獲得。 Xm1=(X1+X2)/2 Ym1=(Y1+Y2)/2 Xm2=(X2+X3)/2 Ym2=(Y2+Y3)/2 通過第1交點Pm1(Xm1,Ym1)之垂直平分線L1與通過第2交點Pm2(Xm2,Ym2)之垂直平分線L2之交點P0(X0,Y0)利用下式獲得。該交點P0(X0、Y0)之值成為新算出之偏移。 X0=(Nr1×Ys2-Nr2×Ys1)/(Nr1-Nr2) Y0=(Ys2-Ys1)/(Nr1-Nr2) 其中,Nr1(L1之斜率)、Nr2(L2之斜率)、Ys1、Ys2設為下式。 Nr1=-(X2-X1)/(Y2-Y1) Nr2=-(X3-X2)/(Y3-Y2) Ys1=Ym1-Nr1×Xm1 Ys2=Ym2-Nr2×Xm2 圖4係表示利薩如波形與候選點之關係之圖,圖4(a)表示將利薩如波形4等分之例,圖4(b)表示將圖4(a)進一步等分割而將利薩如波形8等分之例。 如圖4(a)所示,假定將利薩如波形4等分,且與X軸及Y軸之4個交點(P1~P4)成為候選點之情形。此處,與圖3同樣地,使用第1~第3點P1~P3算出成為偏移之交點P0。一般而言,於利薩如波形與軸上(X軸上或Y軸上)之交點處變形較少,因此所獲得之作為交點P0(X0,Y0)之偏移之值非常準確。就其他觀點而言,即使不進行變形修正,亦能以充分之精度獲得偏移。又,藉由磁鐵50旋轉一周而輸出2週期量之Sin信號及Cos信號,因此於圓形之利薩如波形中,能夠以中心角180度、即磁鐵50之旋轉為90度(180度/2)來檢測偏移,即,能夠快速地進行偏移之算出處理。 又,於圖4(b)中,使用進一步進行等分割而將利薩如波形8等分之位置之8個候選點(P1~P8)中之第3點P3~第5點P5,算出成為偏移之交點P0。於自8等分之候選點選擇連續之3點之情形時,必須包含1點或2點X軸或Y軸上之點。又,軸上之點以外之點相對於原點具有±45度之斜率,對應於A相信號與B相信號之交點。該位置由於變形較大,因此使用對變形進行了修正之值。其結果,所獲得之作為交點P0(X0,Y0)之偏移之值非常準確。於此情形時,於圓形之利薩如波形中,能夠以中心角90度、即磁鐵50之旋轉為45度來檢測偏移。因此,即使於磁鐵50安裝於僅稍微旋轉之裝置之情形時,亦可適當地算出偏移,能夠提高編碼器1之檢測精度。 繼而,使用圖5之流程圖說明偏移之算出步驟之概要。控制部20獲取自MR元件10輸出之A相信號及B相信號(S10)。所獲取之A相信號及B相信號被輸出至角度算出部22及偏移控制部23。 偏移算出部24基於A相信號及B相信號而獲取利薩如波形(S12)。此時,視需要參照變形修正用資料記憶部26而實施上述之變形修正。繼而,偏移算出部24自特定之候選點特定出連續之3點(S14),求出2條連結連續之2點而獲得之邊之垂直平分線,並算出其等之交點(S16),確定最新之偏移(S18)。 若確定最新之偏移,則偏移算出部24判斷是否為啟動編碼器1後最初之偏移之算出(S20)。 若為最初之偏移之算出(S20之Y(是)),則偏移算出部24將該最新之偏移通知給角度算出部22(S22)。通知後,將所算出之偏移保存至偏移資料記憶部25(S24)。 若非最初之偏移之算出(S20之N(否)),則偏移算出部24使用該最新之偏移與記錄於偏移資料記憶部25之過去算出之偏移進行平滑化處理(S26),將平滑化後之偏移通知給角度算出部22(S28)。通知後,將所算出之偏移保存至偏移資料記憶部25(S24)。 基於實施形態對本發明進行了說明,但該實施形態為例示,業者應當理解該等各構成要素之組合等可存在各種變化例,並且該等變化例亦屬於本發明之範圍內。
1‧‧‧編碼器
10‧‧‧MR元件
20‧‧‧控制部
21‧‧‧ADC(AD轉換部)
22‧‧‧角度算出部
23‧‧‧偏移控制部
24‧‧‧偏移算出部
25‧‧‧偏移資料記憶部
26‧‧‧變形修正用資料記憶部
50‧‧‧磁鐵
L1‧‧‧垂直平分線
L2‧‧‧垂直平分線
P0‧‧‧交點
P1~P8‧‧‧候選點
Pm1‧‧‧第1交點
Pm2‧‧‧第2交點
圖1係實施形態之編碼器之硬體構成之概念圖。 圖2係實施形態之編碼器之功能方方塊圖。 圖3係用於說明實施形態之偏移算出方法之圖。 圖4(a)、(b)係表示實施形態之利薩如波形與候選點之關係之圖。 圖5係表示實施形態之偏移之算出步驟之概要之流程圖。
10‧‧‧MR元件
20‧‧‧控制部
21‧‧‧ADC(AD轉換部)
22‧‧‧角度算出部
23‧‧‧偏移控制部
24‧‧‧偏移算出部
25‧‧‧偏移資料記憶部
26‧‧‧變形修正用資料記憶部

Claims (12)

  1. 一種編碼器,其特徵在於,具備: 磁鐵,其被磁化成NS之2極; 磁感測器,其以與上述磁鐵對向之方式配置,輸出具有π/2之相位差之A相信號及B相信號; 旋轉量算出部,其基於上述A相信號及上述B相信號而算出旋轉量;及 偏移控制部,其基於上述A相信號及上述B相信號,於正交座標系統上形成利薩如波形,並基於上述利薩如波形而算出上述A相信號與上述B相信號之偏移;且 上述偏移控制部係根據由上述利薩如波形所呈現之圓周上之被均等地分割為特定數量之候選點中之連續之3點形成之2個邊之垂直平分線之交點而檢測偏移。
  2. 如請求項1之編碼器,其中上述偏移控制部於上述利薩如波形所呈現之圓形存在變形之情形時,以成為理想圓之方式進行修正並根據上述連續之3點算出上述偏移。
  3. 如請求項2之編碼器,其中上述連續之3點至少包含1個上述正交座標系統之任一座標軸與上述利薩如波形之交點。
  4. 如請求項3之編碼器,其中上述連續之3點係上述正交座標系統之任一座標軸與上述利薩如波形之交點。
  5. 如請求項3之編碼器,其中與上述座標軸上之交點之檢測係根據上述A相信號或上述B相信號之其中任一者變為零時之值與另一者之值之組合而算出。
  6. 如請求項1至5中任一項之編碼器,其中上述偏移控制部於決定應用於算出上述旋轉量之上述偏移時,將上次算出之偏移與最新算出之偏移平滑化後使用。
  7. 如請求項6之編碼器,其中上述偏移控制部於決定應用於算出上述旋轉量之上述偏移時,直接使用於最初之3點所檢測出之偏移,而以後依次檢測出之偏移則在進行加權後反映至於上述最初之3點所檢測出之偏移。
  8. 如請求項1之編碼器,其中上述連續之3點至少包含1個上述正交座標系統之任一座標軸與上述利薩如波形之交點。
  9. 如請求項8之編碼器,其中上述連續之3點係上述正交座標系統之任一座標軸與上述利薩如波形之交點。
  10. 如請求項8之編碼器,其中與上述座標軸上之交點之檢測係根據上述A相信號或上述B相信號之其中任一者變為零時之值與另一者之值之組合而算出。
  11. 如請求項8至10中任一項之編碼器,其中上述偏移控制部於決定應用於算出上述旋轉量之上述偏移時,將上次算出之偏移與最新算出之偏移平滑化後使用。
  12. 如請求項11之編碼器,其中上述偏移控制部於決定應用於算出上述旋轉量之上述偏移時,直接使用於最初之3點所檢測出之偏移,而以後依次檢測出之偏移則在進行加權後反映至於上述最初之3點所檢測出之偏移。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7219662B2 (ja) * 2018-04-13 2023-02-08 旭化成エレクトロニクス株式会社 回転角検出装置、回転角検出方法およびプログラム
CN109579880B (zh) * 2018-12-26 2021-04-20 上海英威腾工业技术有限公司 带有自适应补偿功能的磁编码器
CN112556734B (zh) * 2020-11-30 2021-09-28 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光电编码器莫尔条纹细分方法
KR102655067B1 (ko) * 2021-12-16 2024-04-05 현대오토에버 주식회사 신호 처리장치

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04136714A (ja) * 1990-09-28 1992-05-11 Okuma Mach Works Ltd エンコーダ
ATE372213T1 (de) * 2000-06-16 2007-09-15 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungsgerät das ein festkörperhalbleiterbauelement verwendet
JP4202098B2 (ja) * 2001-11-21 2008-12-24 株式会社ミツトヨ 位相差誤差検出装置及びそれを用いた内挿誤差見積装置
JP4222892B2 (ja) * 2003-07-02 2009-02-12 日本電産サンキョー株式会社 誤差補正機能付エンコーダ
JP2006003307A (ja) * 2004-06-21 2006-01-05 Mitsutoyo Corp エンコーダ、及び、その信号調整方法
JP4713116B2 (ja) * 2004-09-21 2011-06-29 株式会社ミツトヨ エンコーダの出力信号補正装置及び方法
JP4768248B2 (ja) * 2004-10-13 2011-09-07 株式会社ミツトヨ エンコーダ出力信号補正装置及び方法
JP4227132B2 (ja) * 2005-10-07 2009-02-18 三菱電機株式会社 レゾルバ
JP4893021B2 (ja) * 2006-02-21 2012-03-07 ヤマハ株式会社 磁気センサ制御装置、磁気測定装置、並びにオフセット設定方法及びプログラム。
JP2009162673A (ja) * 2008-01-09 2009-07-23 Canon Inc 位置検出装置及び位置検出方法
JP4908637B2 (ja) * 2008-11-20 2012-04-04 旭化成エレクトロニクス株式会社 物理量計測装置および物理量計測方法
JP2014025871A (ja) * 2012-07-30 2014-02-06 Mitsutoyo Corp エンコーダ出力信号補正装置
JP5786067B2 (ja) * 2013-07-08 2015-09-30 Thk株式会社 磁気式エンコーダ及びセンサ装置
US10132654B2 (en) * 2013-07-10 2018-11-20 Infineon Technologies Ag Error compensation in an angle sensor
JP6322052B2 (ja) * 2013-10-28 2018-05-09 日本電産サンキョー株式会社 センサ装置
JP2015225023A (ja) * 2014-05-29 2015-12-14 日本電産サンキョー株式会社 エンコーダ

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