TW201641387A - 門開閉裝置、搬送裝置、分類裝置、及收納容器的連結方法 - Google Patents

Abstract

本發明的課題係在於提供一種門開閉裝置，其不需取決於收納容器對彈性材的按壓力而可有效地提高使被載置於載置台上的收納容器、和形成有容許被搬送物對收納容器的置入、取出的開口之框架密接時的密閉性。 用以解決課題之手段為，在框架(21)中的開口(21a)之開口緣附近區域設置中空彈性密封部(S)用以環繞開口(21a)，在將載置有收納容器(4)的載置台(23)定位於預定的連結位置之狀態下，使處於收縮狀態(1)的中空彈性密封部(S)變化成膨脹狀態(2)，藉此讓中空彈性密封部(S)彈性接觸於收納容器本體(42)中設在蓋部(43)的周圍部分之密封面，形成密封區域。

Description

門開閉裝置、搬送裝置、分類裝置、及收納容器的連結方法

本發明係關於與搬送室鄰接配置之門開閉裝置、及具備該裝置的搬送室、分類裝置以及收納容器的連結方法。

在半導體的製造製程，為了使成品率、品質等提升，在清淨室內進行晶圓的處理。但，在元件的高積體化、電路的細微化、晶圓的大型化等的進行之今日，為了在清淨室全體管理微小的塵埃，在成本上、技術上逐漸變得困難。因此，在近年，作為取代清淨室內全體的清靜度之提升，採用以下手段，亦即實施僅針對晶圓的周圍之局部空間使清淨度進一步提升之使用[微環境方式]，進行晶圓的搬送等其他之處理的手段。在微環境方式，載置構成在框體的內部被略封閉的晶圓搬送室的壁面之一部分並且在高清靜的內部空間收納有被搬送物之收納容器(例如，被稱為FOUP(Front-Opening Unified Pod)之收納用容器)且具備在密接於收納容器的蓋部之狀態下開閉該蓋部 的門部之門開閉裝置是與搬送室鄰接設置。

這樣的門開閉裝置為用來在與搬送室之間進行被搬送物的置入取出之裝置，在與收納容器之間作為介面部來發揮功能。又，構成為在使門開閉裝置的門部密接於設在收納容器的前面之蓋部的狀態下，同時打開這些門部及蓋部的話，則藉由設在搬送室內的搬送機械人，將收納容器內的被搬送物取出至搬送室內，或從搬送室內透過門開閉裝置將被搬送物收納至收納容器內。

近年，元件的高積體化、細微化進一步進行，為了讓微粒、水分等不會附著於晶圓等之被搬送物的表面，被要求將被搬送物周邊維持在更高的清淨度。且，為了不會讓被搬送物的表面氧化等而造成表面性狀改變，亦進行將被搬送物的周邊作成為作為惰性氣體之氮環境，或作成為真空狀態。

為了適當地維持這樣的被搬送物之周邊環境，如下述專利文獻1所揭示，提案並實用化有以下的門開閉裝置，亦即具備對可密閉的儲存盒式的收納容器(例如前述FOUP)的內部可清洗氮氣、乾空氣等的環境氣體之功能的門開閉裝置。

又，藉由對晶圓搬送室的內部，導入已透過化學過濾器等予以清淨化之氣體，作成為高清淨度的清淨環境，在搬送中的被搬送物之表面不會有微粒等的附著所引起之污染產生。又，與收納容器同樣地，亦考量將搬送室的內部作成為乾燥氮氣環境。且，除了乾燥氮氣以外， 亦考量作成為可因應對被搬送物之處理，使用適當的特殊氣體(以下總稱為[環境氣體])之氣體環境。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2012-49382號公報

在採用以上這種結構之情況，在透過門開閉裝置的開口，使分別作成為預定的氣體環境之搬送室的內部空間與收納容器的內部空間相互地連通的狀態下，必須確保開口與收納容器之良好的密閉性。若無法確保開口與收納容器之良好的密閉性，則會產生搬送室內的環境氣體、收納容器內的環境氣體等流出到搬送室、門開閉裝置(載入埠)等的外部之情況。假想這樣的情況，亦可考量對搬送室、收納容器內等供給大量的環境氣體之結構。

但，若為這樣的結構，即使能夠適當地維持管理搬送室內、收納容器內等的環境，由於需要大量的環境氣體，必然會造成氣體所需之費用大增。又，若無法確保開口與收納容器之良好的密閉性，造成搬送室內的環境氣體、收納容器內的環境氣體等大量地流出至搬送室、收納容器等的外部的話，則亦會有依據該環境氣體的種類造成作業環境的惡化之虞產生。

因此，本案申請人提案有並申請有以下之結構，亦即在構成搬送室的壁面之一部分的框架(板狀部)形成有用來開放搬送室內的開口之載入埠(門開閉裝置)，沿著開口的周緣設置由例如O型環所構成的彈性材之結構(日本特願2014-017819)。若為此結構，藉由將載置於載置台上的收納容器與載置台一同朝框架移動，能夠使彈性材彈性接觸於收納容器。又，本案申請人在前述專利申請案中亦提到藉由利用在使卡合片卡合於收納容器的一部分(設在蓋部的周圍部分之鍔部)的狀態下，可將收納容器與卡合片一同朝框架側拉入的機構，提高收納容器與彈性材之密接性的這一點。

又，適用前述本案申請人所提出的載入埠(門開閉裝置)，即使在由例如O型環所構成的彈性材彈性接觸於收納容器之情況，亦可想定到因彈性材之可撓性差，造成彈性材的表面之形狀變形不均等的情況。作為其原因，可舉出在彈性材與收納容器之間部分產生微小的凹凸間隙等。又，若為增大藉由前述拉入機構之拉入力，讓收納容器強力地按壓於彈性材，藉此確保良好的密封性能之結構的話，依據收納容器對彈性材之按壓力，造成在密封性能上會產生參差不齊。

本發明係有鑑於這樣的課題而開發完成的發明，其主要目的係在於提供不需要取決於收納容器對彈性材的按壓力，即可有效地提高載置於載置台上的收納容器與形成有容許被搬送物對收納容器的置入取出之開口的框 架之密接性，且能夠抑制供給至收納容器內、搬送室內等之環境氣體朝外部流出、空氣等從外部流入之情況，可謀求被搬送物的品質提升之門開閉裝置、具備有這樣的門開閉裝置之EFEM等的搬送裝置或分類裝置、以及收納容器的連結方法。

亦即，本發明係關於門開閉裝置，該門開閉裝置是與搬送室鄰接設置，用來在收納容器本體的內部空間可收納被搬送物之收納容器與搬送室之間進行被搬送物的置入取出。在此，作為本發明之被搬送物，可舉出例如晶圓、光網、液晶基板、玻璃基板、培養板、培養容器、盤子、培養皿等。亦即，本發明係適用於收納在半導體、液晶、細胞培養等的各種領域的容器之搬送對象物的搬送技術。又，本發明之[搬送室]係指用來搬送被搬送物之室，例如若被搬送物為晶圓，則搬送室為[晶圓搬送室]。

又，本發明之門開閉裝置，其特徵為具備有：板狀框架，該框架是構成搬送室的壁面之一部分，並形成有用來開放該搬送室內的開口；門部，該門部是可開閉開口；載置台，該載置台是以使可開閉收納容器本體的內部空間之蓋部與門部相對向之方向，載置收納容器，對框架可進退移動；及中空彈性密封部，該中空彈性密封部是在框架中的開 口之開口緣或開口緣附近區域設置成環繞開口，且在收縮狀態與膨脹狀態之間可進行狀態變化，在將載置台定位於載置在載置台上的收納容器之蓋部接近開口的預定連結位置的狀態下，藉由將處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態，使中空彈性密封部彈性接觸於收納容器本體中設定於蓋部的周圍部分之密封面而形成密封區域。

本發明亦包含以下結構，亦即，將中空彈性密封部在框架中的開口之開口緣設置成環繞該開口之結構、將中空彈性密封部在框架中的開口之開口緣的附近區域設置成環繞該開口之結構。又，在[將載置台定位於蓋部接近開口的預定之連結位置的狀態]，亦可設定成蓋部接近而未到達開口。另外，在[將載置台定位於蓋部接近開口的預定之連結位置的狀態]，亦可設定成蓋部接近並到達開口。亦即，載置台的連結位置是可因應收納容器的尺寸、種類等、或中空彈性密封部的配置部位等之規格加以適宜設定。再者，本發明之中空彈性密封部係指具有彈性的密封部之結構本身為中空構造。又，[用來開放搬送室內的開口]係指[為了開放藉由框架所區隔的空間而形成在框架之開口]。

若依據這樣的本發明之門開閉裝置，藉由在將載置台定位於預定的連結位置之狀態下，使原本處於收縮狀態之中空彈性密封部變化成膨脹狀態，對收納容器中設定於蓋部的周圍部分之密封面，使在框架中的開口之開 口緣或開口緣的附近區域設置成環繞該開口之中空彈性密封部彈性接觸而形成密封區域。因此，經由環繞形成於框架的開口之密封區域，可使收納容器與框架相互地密接。並且，若依據本發明，藉由以密封區域將框架與收納容器本體之間的間隙亦即能與收納容器的外部及搬送室的外部連通的區域加以密閉，可從收納容器外的環境(外氣)遮斷收納容器內。

且，在本發明，採用以下結構，亦即對收納容器本體中設定於蓋部的周圍部分之密封面，使從收縮狀態進行狀態變化成膨脹狀態之中空彈性密封部彈性接觸來形成密封區域。因此，能夠將密封區域的密封性(密閉性)作成為較藉由將收納容器本體的密封面對O型環等可撓性差的彈性材按壓所形成的密封區域之密封性高。

如此，若依據本發明之門開閉裝置，即使在對收納容器內、搬送室內等供給環境氣體之使用狀況下，也能夠防止環境氣體從框架與收納容器本體之間的間隙朝收納容器的外部、搬送室的外部等流出之情況產生。又，若依據本發明，能夠防止、抑制空氣等透過密封區域從外部流入到收納容器內、搬送室內等之事態產生。其結果，能夠謀求被搬送物之品質提升。

在對定位於連結位置的載置台上之收納容器，使中空彈性密封部從收縮狀態變化成膨脹狀態之情況，對收納容器，朝自框架分離的方向按壓之力作用。因該按壓力，會有收納容器朝從框架分離之方向移動，或朝 從框架分離的方向傾斜之可能性。若發生這種事態，則亦可能引起收納容器內微粒飛揚、被收納於收納容器內之被搬送物位置偏移等的情況。

為了防止、抑制這種缺失產生，在本發明的門開閉裝置，還具備移動限制部，該移動限制部是在限制定位於連結位置的載置台上之收納容器朝自框架分離的方向移動之移動限制狀態、和容許定位於連結位置的載置台上之收納容器朝自框架分離的方向移動之移動容許狀態之間進行切換。又，在將載置台定位於連結位置的時間點以後，將移動限制部從移動容許狀態切換成移動限制狀態，在維持著該移動限制狀態的狀況下，使處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態，藉此能夠達到以下的作用效果。亦即，在對定位於連結位置的載置台上之收納容器，使中空彈性密封部從收縮狀態變化成膨脹狀態之情況，即使對收容容器，朝自框架分離的方向按壓之力作用，亦可藉由處於移動限制狀態的移動限制部來防止、抑制收納容器的移動、傾動等。其結果，能夠迴避定位於連結位置的載置台上之收納容器朝自框架分離的方向移動或傾動所可能產生之收納容器內的微粒飛揚、被搬送物之位置偏移等產生。

再者，將移動限制部從移動容許狀態切換成移動限制狀態之時間點，若為[將載置台定位於連結位置後的時間點以後]，且[使處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態]之前即可。例如可為以下結構，亦即， 在剛將載置台定位於連結位置後，將移動限制部從移動容許狀態切換成移動限制狀態。又，亦可為以下結構，亦即，在將載置台定位於連結位置後再經過預定時間後，將移動限制部從移動容許狀態切換成移動限制狀態。

作為本發明之移動限制部的理想具體例可舉出，移動限制部係具備：可與收納容器本體中設在蓋部的周圍部分之鍔部卡合的卡合片；及在將該卡合片卡合於鍔部的狀態下將朝框架側移動之拉入部。若為這樣的移動限制部，藉由使卡合於卡合片的收納容器本體之鍔部朝框架側拉入之動作，能夠提高中空彈性密封部對收納容器本體中設定在蓋部的周圍部分之密封面的密接度(增大密接面積)。其結果，可確保密封區域更良好之密封性。

再者，本發明之[鍔部]係指[收納容器本體中設在蓋部的周圍部分之鍔部]。另外，本發明之[密封面]係指[收納容器本體中設在蓋部的周圍部分之密封面]。在此，在收納容器本體中將鍔部設在蓋部的周圍部分之結構，有下述情況，亦即，密封面設定在鍔部中與中空彈性密封部相對面之面的情況。在收納容器本體中將鍔部設在蓋部的周圍部分之結構，亦有下述情況，亦即，密封面設定在收納容器本體中的蓋部之周圍部分且與鍔部不同之部分的情況。

在本發明，可採用以下結構，亦即，將移動限制部分別配置在呈略矩形狀的開口之兩側的上端附近及下端附近的結構。藉由這樣的結構，當對定位於連結位置 的載置台上之收納容器，使中空彈性密封部膨脹而密接時，能夠以更高的機率防止收納容器朝自框架分離的方向移動或傾動之事態產生。

本發明之中空彈性密封部為在收縮狀態與膨脹狀態之間可進行狀態變化即可。例如，適用藉由以供給至中空部的流體使該中空部的壓力上升來形成為膨脹狀態，藉由自中空部排出已被供給的流體使該中空部的壓力下降來形成為收縮狀態之中空彈性密封部(被稱為膨脹密封(inflate seal)者)之情況，供給壓力形成為密封面壓，能夠發揮良好的密封供能。且，藉由適用這樣的中空彈性密封部，中空部本身膨脹而對收納容器本體的密封面施加面壓，能夠形成為即使在因振動等造成密封面變動之情況亦可立即追隨之密封區域。在以下的說明，有將以上詳述的門開閉裝置稱為[本發明之第1門開閉裝置]之情況。

又，本發明之門開閉裝置，是與搬送室鄰接設置，用來在收納容器本體的內部空間可收納被搬送物之收納容器與搬送室之間進行被搬送物的置入取出，具備有：框架，該框架是構成搬送室的壁面的一部分；門部，該門部可開閉開口，該開口是形成在框架，用以開放藉由框架所區隔之空間；載置台，該載置台是在框架中，形成於：以使可開閉收納容器本體的內部空間之蓋部與門部相對向之方向，能載置收納容器之位置；及 中空彈性密封部，該中空彈性密封部是在框架中的開口之開口緣或開口緣附近區域設置成環繞開口，且在收縮狀態與膨脹狀態之間可進行狀態變化，在將收納容器載置於收納容器之蓋部接近開口之載置台上的預定連結位置的狀態下，藉由將處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態，使中空彈性密封部彈性接觸於收納容器本體中設定於蓋部的周圍部分之密封面而形成密封區域。

在以下的說明，為了說明上的方便，將此發明之門開閉裝置稱為[本發明之第2門開閉裝置]。

本發明之第2門開閉裝置是在以下的點上與本發明的前述第1門開閉裝置不同。亦即，框架係為構成搬送室的壁面之一部分，形成有用來開放藉由該框架所區隔的空間之開口即可，不限於呈板狀者的這一點，又，載置台係為在框架中形成於以使可開閉收納容器本體的內部空間之蓋部與門部相對向的方式能夠載置收納容器之位置者即可，亦可不需符合對框架可進行進退移動之條件的這一點，以及在將收納容器載置於收納容器的蓋部接近開口的載置台上之預定連結位置的狀態下，使處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態的這一點，本發明之第2門開閉裝置是在這一點上與前述本發明之第1門開閉裝置不同，但其他結構相同。

又，在本發明之第2門開閉裝置，可採用以下結構，亦即，[為了開放藉由框架所區隔的空間而形成 於框架之開口]為形成於框架的一部分亦即載置台之開口。

若依據這樣的本發明之第2門開閉裝置的話，藉由在將收納容器載置於形成在框架的載置台上之預定的連結位置之狀態下，使原本處於收縮狀態之中空彈性密封部變化成膨脹狀態，對收納容器本體中設定於蓋部的周圍部分之密封面，使在框架中的開口之開口緣或開口緣的附近區域設置成環繞該開口之中空彈性密封部彈性接觸而形成密封區域。因此，經由環繞形成於框架的開口之密封區域，可使收納容器與框架相互地密接。並且，若依據本發明，藉由以密封區域將框架與收納容器本體之間的間隙亦即收納容器能與外部連通的區域及搬送室能與外部連通的區域加以密閉，可從收納容器外的環境(外氣)遮斷收納容器內。

且，在本發明的第2門開閉裝置，採用以下結構，亦即對收納容器本體中設定於蓋部的周圍部分之密封面，使從收縮狀態進行狀態變化成膨脹狀態之中空彈性密封部彈性接觸來形成密封區域。因此，能夠將密封區域的密封性(密閉性)作成為較藉由將收納容器本體的密封面對O型環等可撓性差的彈性材按壓所形成的密封區域之密封性高。

再者，在本發明之第2門開閉裝置，適用解除了藉由蓋部之密閉狀態的收納容器本體之內部空間朝下方被開放的收納容器之情況，收納容器本體的密封面是設 定成收納容器本體的向下的面，中空彈性密封部從下方對收納容器本體的密封面彈性接觸。在此情況亦可採用以下結構，亦即，在將收納容器載置於形成在框架的一部分之載置台上的預定的連結位置之時間點，處於收縮狀態的中空彈性密封部接觸於收納容器本體的密封面。另外亦可採用以下結構，亦即，在將收納容器載置於載置台上的預定的連結位置之時間點，處於收縮狀態的中空彈性密封部未接觸於收納容器本體的密封面。不論在哪一個結構，只要構成為藉由使處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態，讓中空彈性密封部彈性接觸於收納容器本體中設定於蓋部的周圍部分之密封面而形成密封區域即可。

如此，若為本發明之第2門開閉裝置的話，與本發明之第1門開閉裝置同樣地，可防止、抑制環境氣體從框架與收納容器本體之間隙流出至收納容器的外部、搬送室的外部等之事態、空氣等透過密封區域從外部流入到收納容器內、搬送室內等之事態等產生。其結果，能夠謀求被搬送物之品質提升。

在對載置於載置台上的連結位置之收納容器，使中空彈性密封部從收縮狀態變化成膨脹狀態之情況，對收納容器，朝自框架分離的方向按壓之力作用。因該按壓力，會有收納容器朝從框架分離之方向移動，或朝從框架分離的方向傾斜之可能性。在這樣的情況，門開閉裝置，還具備移動限制部，該移動限制部是在限制定位於連結位置之收納容器朝自框架分離的方向移動之移動限制 狀態、和容許定位於連結位置之收納容器朝自框架分離的方向移動之移動容許狀態之間可進行切換。又，在將收納容器載置於連結位置的時間點以後，將移動限制部從移動容許狀態切換成移動限制狀態，在維持著該移動限制狀態的狀況下，使處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態即可。移動限制部的設置部位、數量等可適宜選擇。

又，本發明之搬送裝置，其特徵為具備有：搬送室；設在搬送室的壁面之具有前述結構的門開閉裝置；以及設在搬送室內，且在門開閉裝置的載置台上的收納容器與搬送室之間可進行被搬送物的置入取出之搬送機械人。

又，本發明之分類裝置，其特徵為具備有：搬送室；設在搬送室的壁面之具有前述結構的複數個門開閉裝置；以及設在搬送室內，且在載置於至少複數個門開閉裝置的載置台上的收納容器彼此之間可進行被搬送物的置入取出之搬送機械人。

若為這樣的搬送裝置、分類裝置等，藉由具備具有前述結構的門開閉裝置，能夠獲得前述作用效果。又，在提高了門開閉裝置的框架與收納容器之密接性的環境下，能夠藉由搬送機械人理想地進行被搬送物之置入取出處理。

又，本發明之收納容器的連結方法，係關於利用前述本發明之第1門開閉裝置的收納容器的連結方法，其特徵為執行密封處理，該密封處理為藉由在使載置 有收納容器的載置台移動至蓋部接近開口的預定連結位置後，讓處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態，來使中空彈性密封部彈性接觸於收納容器本體中設定在蓋部的周圍部分之密封面而形成密封區域。

若為這樣的收納容器的連結方法的話，則藉由經過以下的密封處理能夠獲得前述作用效果，該密封處理為在已經移動到預定的連結位置之載置台上的收納容器中，對密封面，使變化成膨脹狀態的中空彈性密封部彈性接觸而形成密封區域之密封處理。藉由採用這樣的收納容器的連結方法，能夠將框架的開口與收納容器本體之間的間隙亦即收納容器的內部空間可與收納容器的外部及搬送室的外部連通之間隙予以密閉。又，能夠確保將載置於載置台上的收納容器的內部空間與搬送室的內部空間連通時之良好的密閉性。其結果，能夠抑制供給到收納容器內、搬送室內等的環境氣體流出至外部、空氣等從外部流入，可削減所使用的環境氣體之供給量，並且可謀求被搬送物的品質提升。

又，本發明之收納容器的連結方法，係關於利用前述本發明之第2門開閉裝置的收納容器的連結方法，其特徵為執行密封處理，該密封處理為藉由在使收納容器載置於蓋部接近開口的載置台上之預定連結位置後，讓處於收縮狀態的中空彈性密封部變化成膨脹狀態，來使中空彈性密封部彈性接觸於收納容器本體中設定在蓋部的周圍部分之密封面而形成密封區域。

若為這樣的收納容器的連結方法的話，則藉由執行以下的密封處理能夠獲得前述作用效果，該密封處理為在載置於載置台上的預定的連結位置之收納容器中，對密封面，使變化成膨脹狀態的中空彈性密封部彈性接觸而形成密封區域之密封處理。藉由採用這樣的收納容器的連結方法，能夠將框架的開口與收納容器本體之間的間隙亦即收納容器的內部空間可與收納容器的外部及搬送室的外部連通之間隙予以密閉。又，能夠確保將載置於載置台上的收納容器的內部空間與搬送室的內部空間連通時之良好的密閉性。其結果，能夠抑制供給到收納容器內、搬送室內等的環境氣體流出至外部、空氣等從外部流入，可削減所使用的環境氣體之供給量，並且可謀求被搬送物的品質提升。

本發明係構成為對在收納容器本體中設定於蓋部的周圍附近之密封面，使在框架中的開口之開口緣或開口緣附近區域設置成環繞開口之中空彈性密封部彈性接觸而形成密封區域。在本發明，對定位於預定的連結位置之載置台上的收納容器，能使從收縮狀態變化成膨脹狀態的中空彈性密封部彈性接觸。因此，若依據本發明，不需要取決於收納容器對彈性材的按壓力，即可有效地提高，且即使在對收納容器內、搬送室內等供給環境氣體之使用狀況下，也能夠防止、抑制環境氣體從框架與收納容器本 體之間的間隙朝收納容器的外部、搬送室的外部等流出、或外部的空氣等流入至收納容器、搬送室內等的事態產生，可謀求被搬送物的品質提升之門開閉裝置、具備有這樣的門開閉裝置之EFEM等的搬送裝置或分類裝置、以及收納容器的連結方法。

1‧‧‧搬送裝置(EFEM)

2‧‧‧門開閉裝置

21‧‧‧框架

21a‧‧‧開口

22‧‧‧門部

23‧‧‧載置台

3‧‧‧搬送室

31‧‧‧搬送機械人

4‧‧‧收納容器

4S‧‧‧收納容器的內部空間

45‧‧‧鍔部

L‧‧‧移動限制部

L1‧‧‧卡合片

L2‧‧‧拉入部

S‧‧‧中空彈性密封部

S1‧‧‧中空部

W‧‧‧被搬送物

圖1係示意地顯示具備本發明的一實施形態之門開閉裝置的EFEM與其周邊裝置的相對位置關係之側面圖。

圖2係將實施形態之門開閉裝置的一部分省略而加以顯示的斜視圖。

圖3係圖2的x方向的端視圖。

圖4係圖2的y方向的端視圖。

圖5係示意地顯示載置台上的收納容器從框架分離且門部處於全關位置的狀態之同實施形態的門開閉裝置之側斷面圖。

圖6係與圖5對應顯示將載置台定位於連結位置且門部處於全關位置的狀態之圖。

圖7係與圖5對應顯示門部處於移動方向切換位置的狀態之圖。

圖8係與圖5對應顯示門部處於全開位置的狀態之圖。

圖9係同實施形態之窗單元的全體斜視圖。

圖10係將圖6的一部分放大且示意地顯示中空彈性密封部處於收縮狀態的時間點之圖。

圖11係與圖10對應顯示中空彈性密封部處於膨脹狀態的時間點之圖。

圖12係與圖10對應顯示處於膨脹狀態的中空彈性密封部彈性接觸於密封面的時間點之圖。

圖13係從收納容器側觀看收納容器挾持處理結束時間點之移動限制部及其周邊的示意圖。

圖14係示意地顯示收納容器密閉處理結束時間點之門開閉裝置的預定高度位置的平斷面之圖。

圖15係顯示本實施形態之EFEM的動作順序之流程圖。

圖16係顯示本實施形態之EFEM的動作順序之流程圖。

圖17係與圖6對應顯示同實施形態之一變形例的門開閉裝置之圖。

圖18係與圖5對應顯示其他實施形態之一變形例的門開閉裝置之圖。

圖19係與圖7對應顯示同實施形態之其他變形例的門開閉裝置之圖。

圖20係與圖8對應顯示同變形例的門開閉裝置之圖。

圖21係與圖8對應顯示同實施形態的門開閉裝置之其他變形例的門開閉裝置之圖。

圖22係示意地顯示具備本發明的其他實施形態之門開閉裝置與其周邊裝置的相對位置關係之側面圖。

以下，參照圖面詳細地說明本發明的一實施形態。本實施形態之門開閉裝置2為例如使用在半導體的製造製程，如圖1所示，在清淨室內，構成搬送室3的壁面之一部分，用來在搬送室3與收納容器4之間進行被搬送物W之置入取出的裝置。在以下說明關於門開閉裝置2為構成本發明之搬送裝置的一例之設備前端模組(EFEM；Equipment Front End Module)1的一部分之載入埠，在收納容器4(例如FOUP)與搬送室3(晶圓搬送室)之間對作為被搬送物W之晶圓進行置入取出處理的態樣。再者，以EFEM所處理的晶圓之尺寸，是作為SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)規則被標準化，但，從生產性提升的觀點來看，隨著晶圓的大徑化行進，從至今為止的直徑300(半徑150)mm朝直徑450(半徑225)mm到直徑500(半徑250)mm的晶圓之移行被推進。

本實施形態之門開閉裝置2係如圖1至圖4所示，具備有：構成搬送室3的壁面3A之一部分，且形成有用來開放搬送室3的內部空間3S之開口21a的板狀框架21；用來開閉框架21的開口21a之門部22；及以大致水平姿勢設在框架21之載置台23。在此，用來開放搬送室3的 內部空間3S之開口21a是為了開放藉由框架21所區隔的空間亦即搬送室3的內部空間3S而形成在框架21之開口。再者，圖2及圖3係顯示將設在圖1中所示的載置台23之下方的外部蓋20(參照圖2)取下而使內部構造的一部分露出的狀態。

框架21係以起立姿勢所配置，具有可與載置於載置台23上的收納容器4之搬出搬入口41連通的大小之開口21a的略矩形板狀者。本實施形態的門開閉裝置2係在使框架21密接於搬送室3的狀態下可進行使用。又，在框架21的下端，設有具備腳輪及設置腳的腳部24。在本實施形態，適用以下的框架21，具備有：起立於兩側方之支柱211；被這些支柱211所支承的框架本體212；及安裝於窗部213的窗單元214，該窗部213是呈略矩形狀開放於框架本體212。

窗單元214係設在與收納容器4的蓋部22相對向的位置，設在此窗單元214的開口215係相當於形成在本發明之框架21的開口21a。

在此，在本實施形態所指的略矩形係指具有以具備四邊的長方形為基本形狀且四角為圓弧狀而圓滑地相連的形狀。再者，雖未圖示，在框架本體212中的搬送室側之面(前面)的外周附近，設有形成為矩形框狀的彈性材之墊片，藉由使墊片接觸於搬送室3中裝設有框架21之開口的緣部附近，使框架本體212與搬送室之間的間隙消失，抑制氣體透過框架本體212與搬送室3之間隙從搬 送室3的內部空間3S朝外部洩漏。

門開閉裝置2的載置台23係設在水平基台25(支承台)的上部，該水平基台25是以略水平姿勢配置於框架21中較高度方向中央稍靠近上方的位置。此載置台23是以使可開閉收納容器本體42的內部空間4S之蓋部43與門部22相對向之方向，能載置收納容器4者。又，載置台23係如圖5及圖6所示，構成為在收納容器4的蓋部43接近框架21的開口21a之預定的連結位置(參照圖6)、和比起連結位置，使蓋部43從框架21分離預定距離之位置(參照圖5)之間，對框架21可進行進退移動。載置台23係如圖2所示，具有向上突出的複數個突起231，藉由將這些突起231與形成在收納容器4的底面之孔(未圖示)卡合，將載置台23上之收納容器4予以定位。再者，在圖5及圖6，作為載置台23上之收納容器4的載置狀態，顯示收納容器4的底面接觸於載置台23的上面之狀態。但，實際上，藉由較載置台23的上面更上方突出的複數個定位用突起231卡合於形成在收納容器4的底面之有底的孔來支承收納容器4，載置台23的上面與收納容器4的底面未相互接觸，限定成在載置台23的上面與收納容器4的底面之間形成有預定間隙。又，設有用來對載置台23固定收納容器4之鎖定爪232。藉由作成為將此鎖定爪232鉤掛於設在收納容器4的底面之被鎖定部(未圖示)並固定之鎖定狀態，能與定位用突起231協調作用而將收納容器4導引至載置台23上的正確位置並 固定。又，藉由解除鎖定爪232對設在收納容器4的底面之被鎖定部的鎖定狀態，能夠作成為可使收納容器4從載置台23分離的狀態。

在本實施形態，在載置於這樣的載入埠的載置台23之收納容器4與框架21排列的前後方向D(參照圖1等)，將框架21側定義為前方，將收納容器4側定義為後方。

本實施形態的門開閉裝置2係在載置台23上的預定部位設有複數個噴嘴261。該等噴嘴261為具備以下結構，亦即，具備：從收納容器4的底面側對該收納容器4內注入氮氣、惰性氣體或是乾燥氣體等適宜選擇的氣體亦即環境氣體(亦被稱為沖洗用氣體，主要使用氮氣、乾燥氣體等)，能將收納容器4內的氣體環境置換成環境氣體之底部沖洗部26。但，在本實施形態的門開閉裝置2，將設在載置台23上的這些噴嘴261作為構成後述的壓力調整部6之一部分的噴嘴加以利用。該等複數個噴嘴261，原本就是作為將環境氣體注入至收納容器4內的底部沖洗注入用噴嘴、將收納容器4內的氣體環境排出之底部沖洗排出用噴嘴來發揮功能者，例如能夠以成對的方式設在沿著載置台23的寬度方向分離之位置。又，該等複數個噴嘴261在嵌合於設在收納容器4的底部之注入口及排出口(均未圖示)的狀態下可進行連結。各噴嘴261(底部沖洗注入用噴嘴、底部沖洗排出用噴嘴)或注入口及排出口為具有限制氣體逆流之閥功能者。各噴嘴261(底部沖洗 注入用噴嘴、底部沖洗排出用噴嘴)與收納容器4的注入口及排出口之嵌合部分是藉由設在噴嘴261的襯墊等形成為密閉狀態。再者，本實施形態的門開閉裝置2若為在載置台23上未載置有收納容器4的狀態，則將各噴嘴261(底部沖洗注入用噴嘴、底部沖洗排出用噴嘴)定位於較載置台23的上面更下方之位置。又，當檢測到設在載置台23的例如加壓感應器之被按壓部被收納容器4中的底面部按壓時，藉由來自於控制部2C之訊號，使各噴嘴261(底部沖洗注入用噴嘴、底部沖洗排出用噴嘴)朝上方進出而分別與收納容器4的注入口與排出口連結。

門部22係具備連結機構221(參照圖4)，將該門部22連結於收納容器4的蓋部43，在將蓋部43可從收納容器本體42取下的蓋連結狀態、和解除對蓋部43的連結狀態且將蓋部43安裝於收納容器本體42的蓋連結解除狀態之間可進行切換。門部22係為在藉由連結機構221將蓋部43一體化的狀態下保持而沿著預定的移動路徑可進行移動者。本實施形態的門開閉裝置2係如圖5至圖8所示，將門部22構成為在藉由該門部22所保持的蓋部43將收納容器本體42的內部空間4S予以閉密的全關位置(C)、和使該門部22所保持的蓋部43從收納容器本體42分離而讓該收納容器本體42的內部空間4S朝搬送室3內向前方全開放的全開位置(O)之間可進行移動。在本實施形態，將定位於如圖8所示的全開位置(O)的門部22之姿勢設定為與定位在如圖5及圖6所示的全關位置 (C)的門部22之起立姿勢相同姿勢，且設定成在全開位置(O)與全關位置(C)之間也維持著起立姿勢的狀態移動。亦即，全開位置(O)與全關位置(C)之間的門部22之移動路徑係由將處於全關位置(C)的門部22在維持其高度位置位置的狀態朝搬送室3側移動的路徑(水平路徑)、和將處於全開位置(O)的門部22在維持其前後位置位置的狀態朝上方側移動的路徑(垂直路徑)所構成，在水平路徑與垂直路徑交叉的點，門部22的移動方向從水平方向切換成垂直方向、或從垂直方向切換成水平方向。在此水平路徑與垂直路徑交叉的點，門部22是定位於如圖7所示的移動方向切換位置(P)。從同圖可得知，為了定位於移動方向切換位置(P)的門部22朝垂直方向及水平方向的任一方向均可移動，被定位於移動方向切換位置(P)的門部22所保持的收納容器4之蓋部43是與門部22一同定位於較框架21更前方的位置(從收納容器本體42完全地分離而配置在搬送室3的內部空間3S之位置)。特別是如後述般，本實施形態的門開閉裝置2具備有處理室5。因此，構成為至少門部22的全關位置(C)與移動方向切換位置(P)之間的移動是在處理室5的內部空間5S進行。又，構成為經由移動方向切換位置(P)而在全關位置(C)與全開位置(O)之間移動的門部22不會與處理室5干涉。

這樣的門部22之移動是藉由設在門開閉裝置2的門移動機構27來達成。門移動機構27係如圖5及圖8所示，具備有：支承門部22的支承框架271；經由滑動 支承部272將支承框架271可朝前後方向D移動地支承的可動塊273；將可動塊273可朝上下方向H移動地支承的滑軌274；及用來進行門部22之沿著水平路徑的前後方向D之移動、及沿著垂直路徑之上下方向H的移動之驅動源(例如未圖示的的致動器)。藉由從控制部2C對此致動器賦予驅動指令，使門部22朝前後方向D及上下方向H移動。再者，可為分別具備前後移動用的致動器、和上下移動用的致動器之形態，亦可為以共通的致動器作為驅動源來進行前後移動及上下移動之態樣。

支承框架271係用來支承門部22的後部下方。此支承框架271係在朝下方延伸後，通過形成於框架21的狹縫狀插通孔21b而朝搬送室3的外側(載置台23側)突出之略曲柄狀的形狀。用來支承此支承框架271的滑動支承部272、可動塊273、滑軌274也配置在較框架21更靠近載置台23側亦即配置在搬送室3的外側。該等滑動支承部272、可動塊273、滑軌274形成為使門部22移動時的滑動部位。在本實施形態，藉由將該等構件配置於搬送室3的外側，使得當門部22移動時，即使在不小心產生微粒之情況，也藉由將插通孔21b設定為微小的狹縫狀，能夠防止、抑制微粒進入到搬送室3內的事態產生。又，設有蓋28，該蓋28是用來被覆門移動機構27中配置於搬送室3的外側之沖洗、部分等具體而言為支承框架271的一部分、滑動支承部272、可動塊273及滑軌274。藉此，設定成搬送室3內的環境氣體不會透過形成 於框架21的前述插通孔21b流出至EFEM1的外部。

又，本實施形態之門開閉裝置2係如圖1、圖5至圖8所示，具備有處理室5，該處理室5是配置於較框架21的開口21a更靠近搬送室3側的位置。此處理室5係可從收納容器4的前面側遮蔽處於內部空間藉由門部22開放後的狀態之收納容器4。再者，在圖1中，以隱藏線(虛線)顯示處理室5全體，在顯示門開閉裝置2的側剖面之圖5至圖8中，非以側剖面而是以側面圖示意地顯示處理室5全體。又，在圖2至圖4中省略處理室5。

處理室5係設在與收納容器4的搬出搬入口41及框架21的開口21a相對向的位置。又，在本實施形態，當使門部22移動至全開位置(O)，讓藉由蓋部43之密閉狀態解除的收納容器4的內部空間4S朝前方開放時，藉由處理室5將該收納容器4的內部空間4S所連通的空間至少朝前後方向予以遮斷。亦即，可將收納容器4的內部空間4S所連通之空間限制於處理室5的內部空間5S。此處理室5係為將較形成於框架21的開口21a之開口尺寸稍大的起立壁51、從該起立壁51的兩側緣分別朝框架21側延伸的左右一對側壁52、和從起立壁51的上緣及下緣分別朝框架21側延伸的上壁53及底壁54作成一體或一體地設置。又，處理室5的內部空間5S係在將門部22定位於全關位置(C)的情況，則成為藉由處理室5的各壁51、52、53、54與框架21及門部22所密閉或略密閉之空間。又，在將門部22移動至全開位置(O)之情 況，處理室5的內部空間5S則成為經由搬出搬入口41及框架21的開口21a連通於收納容器4的內部空間4S之密閉或略密閉的空間。

在本實施形態的門開閉裝置2，將處理室5構成為在藉由未圖示的室移動機構將框架21的開口21a從搬送室3側被覆的遮蔽位置(參照圖5至圖8)、與可將與開口21a相連的收納容器4之內部空間4S開放成搬送室3的內部空間3S進而可開放成處理裝置M的內部空間MS之室迴避位置(未圖示)之間移動。作為室移動機構，可舉出例如使用用來將處理室5水平驅動之汽缸、導引處理室5的水平動作之導軌部、將處理室5升降驅動之汽缸、導引處理室5的升降動作之導軌者。本實施形態的門開閉裝置2係將門部22及處理室5分別相互地獨立而可移動地設定。又，在處理室5的底壁54，形成有可供這些各構件通過之開口部、狹縫等(未圖示)。藉此，在將處理室5設定為遮蔽位置的狀態使門部22移動時，可迴避門部22、門移動機構27等與處理室5干涉之事態產生。

在本實施形態，適用以下的處理室5，亦即具備：對處理室5內供給氮氣等的環境氣體之氣體供己用噴嘴55；及將填充於處理室5內的環境氣體排出至處理室5外的氣體排出用噴嘴56。能夠實施從設在處理室5的上壁53之氣體供給用噴嘴55將環境氣體供給至處理室5內的室內沖洗處理。實施此室內沖洗處理的話，則從設在處理室5的底壁54之氣體排出用噴嘴56排出處理室5內的 氣體環境氣體。亦即，本實施形態的門開閉裝置2係構成為透過此氣體排出用噴嘴56，將充滿於處理室5的內部空間5S之空氣、空氣以外的清淨度低的環境氣體等的氣體排出至處理室5外，能以高濃度將自氣體供給用噴嘴55所供給的環境氣體填充至處理室5內。再者，氣體供給用噴嘴55及氣體排出用噴嘴56為具有限制氣體逆流之閥功能。

又，本實施形態之門開閉裝置2具備有壓力調整部6，該壓力調整部6是使用與形成於框架21的開口21a不同之其他路徑，將處理室5的內部空間5S與收納容器4的內部空間4S相互地連通。

本實施形態的壓力調整部6係具備：將已供給至處理室5的內部空間5S之環境氣體排出至該處理室5的外部之氣體排出部61；對收納容器4的內部空間4S導入環境氣體之氣體導入部63；及配置在氣體排出部61與氣體導入部63之間的氣體排氣路徑62。氣體排氣路徑62的上游端是與氣體排出部61連結。氣體排氣路徑62的下游端是與氣體導入部63連結。透過這樣的氣體排氣路徑62，能夠將從處理室5內所排出的環境氣體導入至收納容器4內。在本實施形態，藉由設在前述處理室5的底壁54之氣體排出用噴嘴56構成氣體排出部61。又，藉由設在載置台23的噴嘴261中之底部沖洗注入用噴嘴構成氣體導入部63。在此，在圖5至圖8中例示以下態樣，亦即，在載置台23上設在朝前後方向D分離的位置 之複數個噴嘴261中，相對地以框架21側的噴嘴261作為氣體導入部63來發揮功能之態樣。又，本實施形態的壓力調整部6係藉由將上游端連結於氣體排出用噴嘴56之排氣管構成氣體排氣路徑62。又，將此排氣管62的下游端連結於作為氣體導入部63發揮功能之噴嘴261。

如圖6至圖8示意所示，構成壓力調整構件8的排氣管62中之上游端與下游端之間的預定部分係朝厚度方向(前後方向)貫通框架21，或朝高度方向貫通水平基台25及載置台23。再者，對這些框架21、水平基台25及載置台23中排氣管62所貫通的部分，實施適當的密封處理。藉此，能夠防止、抑制因貫通部分的間隙所造成的密閉性降低的情況產生。又，在本實施形態，適用可追隨處理室5的移動、載置台23的移動等之具有優良的可撓性或伸縮性(包含波紋形態)之排氣管62。排氣管62中與氣體排出用噴嘴56、氣體導入用噴嘴63嵌合之嵌合部分是藉由襯墊等作成為密閉狀態。

且，本實施形態之門開閉裝置2係如圖9所示，具備有：設在開口42的周緣附近之中空彈性密封部S；及限制定位於連結位置的載置台23上之收納容器4朝自框架21分離的方向(後方)移動之移動限制部L。在本實施形態，將中空彈性密封部S及移動限制部L作為前述窗單元214予以單元化。

此窗單元214係如圖2至圖4及圖9所示，具備有：在中央部分形成有略矩形狀的開口215且為框形 狀之窗框部216；中空彈性密封部S；及移動限制部L。

窗框部216係設在與收納容器4的蓋部43相對向的位置。在窗框部216，形成有設定成僅較收納容器4的蓋部43之外部(外部尺寸)稍大的開口尺寸之開口215。構成為透過此開口215，能使處於被門部22所保持的狀態之蓋部43朝搬送室3內側移動。

中空彈性密封部S係設置成：在框架21中的開口21a之開口緣附近區域，圍繞開口21a。在採用將窗單元214安裝於框架21的結構之本實施形態，在窗框部216中的開口215之開口緣附近區域圍繞開口215之位置設置中空彈性密封部S。更具體而言，在窗框部216的背面216A中，於收納容器本體42的前面42B且與後述的密封面(收納容器本體42中設定於蓋部43的周圍部分之面)相對向的位置，使中空彈性密封部S圍繞地安裝。配置成在矩形狀的開口215之開口緣附近圍繞開口215的中空彈性密封部S係如圖9所示，從收納容器4側觀看時呈略矩形狀。因此，中空彈性密封部S大致可分成配置於開口215的開口上緣附近之上邊部SA、配置於開口215的開口下緣附近之下邊部SB、及分別配置於開口215的開口兩側緣附近之側邊部SC。以具備這四個邊部分SA、SB、SC的長方形作為基本形狀之本實施形態的中空彈性密封部S，係具有藉由圓弧將四角作成圓滑而連結之形狀。

又，中空彈性密封部S為在收縮狀態(1)與膨 脹狀態(2)之間可進行狀態變化。本實施形態之中空彈性密封部S係如圖9至圖11所示，具備有：內部為中空且全體為圍繞開口21a的環狀之中空部S1；及連通於中空部S1的內部之流體通路S2(在圖示例中為流通孔)。中空彈性密封部S係藉由透過流體通路S2所供給的流體，使中空部S1的壓力上升來形成為膨脹狀態。又，中空彈性密封部S係藉由將所供給的流體從中空部S1透過流體通路S2排出而讓該中空部S1的壓力下降來形成為收縮狀態。亦即，在本實施形態，作為中空彈性密封部S，適用膨脹密封。中空彈性密封部S係具備各1個的中空部S1及流體通路S2。

在本實施形態的門開閉裝置2，於窗框部216的背面216A，形成有中空彈性密封安裝溝(在圖10，供中空部S1嵌合的凹部)，該中空彈性密封安裝溝是剖面形成為凹狀，用以圍繞開口215的開口緣附近。在此中空彈性密封安裝溝，將中空部S1插入的狀態下緊密地安裝。再者，中空部S1係藉由接著劑、螺栓等適當的手段，安裝成不會從中空彈性密封安裝溝脫離。在此安裝狀態，中空部S1中僅框架21側的預定部分被收容於中空彈性密封安裝溝，另外，其他部分(收納容器4側的預定部分)則未被中空彈性密封安裝溝所收容，而是露出於中空彈性密封安裝溝的外部。

又，在中空彈性密封部S處於圖10所示的收縮狀態(1)之情況，透過與中空部S1連通的流體通路S2， 從預定的氣體供給部將流體供給至中空部S1來使壓力提升。於是，中空彈性密封部S如圖11所示，形成為使中空部S1中露出於中空彈性密封安裝溝的外部之部分朝收納容器4側(後方)膨脹的膨脹狀態(2)。再者，在圖11中，以假想線顯示載置於定位在預定的連結位置的載置台23上之收納容器4。又在同圖中示意地顯示未產生與收納容器4的接觸之條件下的中空彈性密封部S之膨脹狀態(2)。

另外，在圖12中顯示，對載置於定位在預定的連結位置之載置台23上的收納容器4，使從收縮狀態(1)變化成膨脹狀態(2)的中空彈性密封部S彈性接觸的時間點。如同圖所示，對載置於定位在預定的連結位置之載置台23上的收納容器本體42的前面42B，處於膨脹狀態(2)的中空部S1彈性接觸。亦即，在本實施形態，將收納容器4中供中空彈性密封部S彈性接觸的收納容器本體42之前面42B設定為密封面。又，藉由使中空彈性密封部S彈性接觸於此密封面，能形成良好的密封區域。

在本實施形態，即使在將中空彈性密封部S作成為收縮狀態(1)的情況，中空部S1的一部分亦露出於中空彈性密封安裝溝的外部。但，如後述般，載置於定位在預定的連結位置之載置台23上的收納容器4的密封面(收納容器本體42的前面42B)設定為接近成不與處於收縮狀態(1)的中空彈性密封部S抵接之程度。又，被供給至中空部S1的流體，能夠使用供給至搬送室3內的環境氣 體、供給至收納容器4內的環境氣體等。

在本實施形態，構成為對處於膨脹狀態(2)的中空彈性密封部S，透過流體通路S2將中空部S1內進行真空吸引，藉此將中空彈性密封部S從膨脹狀態(2)變化成如圖10所示的收縮狀態(1)。具體而言，將朝中空部S1供給環境氣體的環境氣體供給路徑S3連接於流體通路S2的上游端，在環境氣體供給路徑S3設置氣體供給切換開關S4。又，在環境氣體供給路徑S3，連接用來將中空部S1內進行真空吸引的真空路徑S5，在真空路徑S5設置氣體排氣切換開關S6。該等各開關S4、S6係能以例如開閉閥(切換閥)所構成。又，藉由將各開關S4、S6的開閉狀態如後述般適宜地切換，能夠使中空彈性密封部S在收縮狀態(1)與膨脹狀態(2)之間進行狀態變化。

再者，在圖5至圖8，以塗黑成略橢圓形狀的標記示意地顯示中空彈性密封部S。又，在圖6至圖8，收納容器本體42的前面(密封面)與框架21(窗單元214)接觸，但，實際上，收納容器本體42的密封面未與框架21(窗單元214)接觸。如上述般，收納容器本體42的密封面是經由處於膨脹狀態(2)的中空彈性密封部S與框架21(窗單元214)接觸。

移動限制部L是在限制定位於連結位置的載置台23上之收納容器4朝自框架21分離的方向(後方)移動之移動限制狀態(3)、和容許定位於連結位置的載置台23上之收納容器4朝自框架21分離的方向移動之移動容 許狀態(4)之間可進行切換。亦即，移動限制部L係藉由成為移動限制狀態(3)，能夠保持載置於定位在預定的連結位置的載置台23上之收納容器4。

本實施形態之移動限制部L係如圖9等所示，具備：可與收納容器本體42中設在蓋部43的周圍部分之鍔部45卡合的卡合片L1；及使在將該卡合片L1卡合於鍔部45的狀態下朝框架21側移動之拉入部L2。這樣的移動限制部L係可發揮將收納容器本體42的鍔部45挾持於卡合片L1與框架21之間的狀態下加以保持的夾具功能。在本實施形態，在框架21設有窗單元214。因此，移動限制部L係具有將收納容器本體42的鍔部45挾持於卡合片L1與窗單元214的窗框部216之間的功能。

拉入部L2係以利用貫通形成於窗框部216的孔部之姿勢設置且可朝前後方向D進退移動的軸L3、與設在軸L3的基端部側且用來使該軸L3進行進退移動之壓缸L4作為主體。在軸L3的外周，形成有沿著軸方向扭轉90°位相的導引溝L3a(參照圖9)。又，固定於窗框部216側的導引銷(未圖示)形成為對導引溝L3a從軸L3的徑方向插入之狀態。藉此，伴隨軸L3的進退動作，導引溝L3a導引導引銷，使得軸L3全體繞著軸中心轉動90°。

壓缸L4係配置於搬送室3的內部空間3S。再者，在處理室5配置於搬送室3的內部空間3S之本實施形態，壓缸L4配置於處理室5的內部空間5S。將基端部保持於此壓缸L4的軸L3之前端側區域是配置於較搬送 室L的外側亦即較框架21的最背面21A更後方的位置(收納容器4側)(參照圖2及圖9)。壓缸L4係藉由固定在窗框部216的壓缸支承部L5予以支承。

卡合片L1係如圖9及圖13所示，具有以下形狀，亦即將基端L1a安裝於軸L3的前端，從基端L1a朝軸L3的徑方向外側(自軸L3軸中心分離的方向)使前端51b延伸之形狀。又，藉由壓缸L4，使軸L3從較預定的基準位置更朝自搬送室3分離的方向(後方)移動預定距離。於是，卡合片L1朝與軸L3相同方向移動且包含前端L1b的全體形成為在前後方向D上未與收納容器4相面對之非面對姿勢(在圖13，作為非面對姿勢的一例，以假想線顯示卡合片L1的前端L1b朝向上方的姿勢)。再者，在本實施形態，為了防止其他構件捲入到卡合片L1，亦可在卡合片L1的周圍設置適當的蓋L6。

又，將朝後方移動直到卡合片L1形成為非面對姿勢為止的軸L3朝搬送室3側(前方)移動(拉入)預定距離。於是，卡合片L1朝與軸L3相同方向移動且包含前端L1b的預定區域形成為在前後方向D上與收納容器4相面對之面對姿勢(在圖13，作為面對姿勢的一例，以實線顯示卡合片L1的前端L1b朝向水平方向的姿勢)。

本實施形態之門開閉裝置2係藉由將卡合片L1作成為非面對姿勢，能夠使載置有收納容器4的載置台23在收納容器4的蓋部43接近開口21a、215之預定連結位置、和較連結位置更靠近自搬送室3分離預定距離 的位置之間移動。亦即，移動限制部L係藉由將卡合片L1作成為非面對姿勢，形成為移動容許狀態(4)。

這樣的移動限制部L係在將卡合片L1作成為非面對姿勢的狀態下，將處於非連結位置的載置台23在載置著收納容器4的狀態下移動至連結位置的時間點以後，將處於非面對姿勢的卡合片L1與軸L3一同朝拉入至搬送室3側的方向移動而從非面對姿勢變更成面對姿勢。於是，能夠使卡合片L1卡合於在收納容器本體42的前面42B朝外側方突出之鍔部45。又，藉由將軸L3朝搬送室3側拉入，能夠維持著卡合片L1與收納容器4的鍔部45之卡合狀態的情況下使得卡合片L1朝搬送室3側(前方)被拉入。其結果，形成為收納容器4的鍔部45挾持於卡合片L1與框架21的狀態，能夠限制定位於連結位置的載置台23上之收納容器4朝自框架21分離的方向移動。亦即，移動限制部L係使卡合片L1從非面對姿勢變更成面對姿勢，藉由已拉入部L2將該卡合片L1朝框架21側拉入，藉此形成為移動限制狀態(3)。

在本實施形態，在將載置台23定位於預定的連結位置之時間點，收納容器本體42的前面42B設定成隔著預定尺寸的間隔，接近框架21的背面21A(窗框部216的背面216A)。又，即使在將移動限制部L從移動容許狀態(4)切換成移動限制狀態(3)的情況，在收納容器本體42的前面42B與框架21的背面21A(窗框部216的背面216A)之間確保了預定尺寸的間隙。

在本實施形態的門開閉裝置2，如圖2及圖9所示，將這樣的移動限制部L分別配置於框架21中形成為略矩形狀的開口21a之兩側的上端附近及下端附近的總計4個部位。具體而言，在窗單元214中的窗框部216中形成為略矩形狀的開口215之兩側部，朝上下方向分離之總計4個部位配置移動限制部L。

如前述所構成門開閉裝置2係藉由從控制部2C對各部賦予驅動指令，執行預定動作。本實施形態的EFEM1係將這樣的門開閉裝置2以複數台(例如3台)的方式排列配置於搬送室3的一個壁面3A。如上述般，在收納容器4與框架21排列的前後方向D上，將框架21側定義為前方、將收納容器4側定義為後方之本實施形態，能夠將搬送室3中配置有門開閉裝置2的壁面3A視為背面。

EFEM1係如圖1所示，以在共通的清淨室內相互地鄰接的位置所設置之門開閉裝置2(載入埠)及搬送室3為主體加以構成。EFEM1的作動係藉由門開閉裝置2的控制器(如圖2所示的控制部2C)、EFEM1全體的控制器(如圖1所示的控制部3C)進行控制。

搬送室3中與配置有門開閉裝置2的壁面3A(背面)相對向的壁面3B，鄰接設置有例如處理裝置M(半導體處理裝置)。在清淨室，處理裝置M的內部空間MS、搬送室3的內部空間3S及載置於門開閉裝置2上的收納容器4的內部空間4S是維持在高清淨度。另外，配 置有門開閉裝置2的空間，換言之，處理裝置M外、EFEM1外為較低的低清淨度。再者，圖1係示意地顯示門開閉裝置2及搬送室3的相對位置關係、具備該等門開閉裝置2及搬送室3的EFEM1與處理裝置M之相對位置關係之側面圖。

處理裝置M係具備有：配置於相對地接近搬送室3的位置之裝載鎖定室；及相對地遠離搬送室3的位置之處理裝置本體者。在本實施形態，如圖1所示，在EFEM1的前後方向D上，門開閉裝置2、搬送室3、處理裝置M以此順序相互地密接而配置。再者，處理裝置M的作動係藉由處理裝置M的控制器(如圖1所示的控制部MC)所控制。在此，處理裝置M全體的控制器亦即控制部MC、EFEM1全體的控制器亦即控制部3C為門開閉裝置2的控制部2C之上位控制器。

搬送室3是將在收納容器4與處理裝置M之間可搬送作為被搬送物W的晶圓W的搬送機械人31設在內部空間3S。搬送機械人31係具備有將例如複數個連桿要件可相互地水平迴旋地連結，且在前端部設有手之臂；及可迴旋地支承構成臂的基端部之臂空間且朝搬送室3的寬度方向(門開閉裝置2的並列方向)行走之行走部，在臂長度形成為最小的折疊狀態與臂長度比起折疊狀態時更長的伸長狀態之間可改變形狀的連桿構造(多關節構造)者。再者，亦可構成為在搬送室3的側面配置緩衝站、準直器中的其中一方或雙方之EFEM。

搬送室3係藉由連接門開閉裝置2及處理裝置M，形成為內部空間3S被略密閉之狀態。搬送室3內係使用未圖示的氣體供給口及氣體排出口進行藉由環境氣體之沖洗處理，藉此可提高環境氣體濃度。又，在晶圓搬送室3的上部設置風扇過濾器單元32，朝下方送出氣體，從設在下部的化學過濾器進行氣體的吸引。所吸引的氣體係經由循環導管32返回至上部的風扇過濾單元32。藉此，在搬送室3的內部空間3S形成從上方朝下方之氣流亦即下降流。因此，使搬送室3內的氣體循環而維持為清淨的狀態。又，即使在在搬送室3的內部空間3S存在有會污染晶圓W的表面之微粒的情況，藉由下降流可將微粒朝下方推壓，能夠抑制微粒附著到搬送中的晶圓W之表面。圖1係以箭號示意地顯示藉由風扇過濾單元32之氣體的流向。

在這樣的環境氣體濃度高之搬送室3的內部空間3S配置有前述處理室5的本實施形態，將環境氣體對處理室5的內部空間5S之沖洗處理(室內沖洗處理)能夠控制成與環境氣體對搬送室3的內部空間3S之沖洗處理同時地進行或個別地實施。亦即，設在前述處理室5的上壁53之氣體供給用噴嘴55，可為將自室內沖洗處理專用的氣體供給源所供給的環境氣體供給至處理室5的噴嘴，亦可為將供給至搬送室3內的環境氣體直接供給至處理室5內的噴嘴。

在本實施形態，作為收納容器4，適用FOUP。 本實施形態之收納容器4係具備有：透過形成於前面(框架21側的面)之搬出搬入口41將內部空間4S僅可朝前方開放之收納容器本體42；及可開閉搬出搬入口41之蓋部43。收納容器4係在內部將複數片的被搬送物W亦即晶圓W以多段狀的方式收納於上下方向H，構成為經由搬出搬入口41可進行該等晶圓W之置入取出的習知收納容器。

收納容器本體42一體地具有背壁、左右一對側壁、上壁及底壁。在藉由這些各壁所包圍的內部空間4S具備有能以複數段且預定間距的方式承載被搬送物W之棚架部421(晶圓載置部)。構成收納容器本體42之各壁彼此的邊界部分形成為平緩的彎曲形狀。又，在上壁之向上面的中央部，設有把持於收納容器搬送裝置(例如OHT：Over Head Transport)等之凸緣部。在收納容器本體42的前端部，設有較其他部分更朝上方及兩側方突出之鍔部45。亦即，在收納容器本體42中配置有蓋部43的區域之周圍部分設有鍔部45。在本實施形態，設定為對此鍔部45，前述移動限制部L之卡合片L1進行卡合。

蓋部43係在載置於門開閉裝置2的載置台23之狀態，與門開閉裝置2的門部22相面對者，形成為略板狀。蓋部43的高度尺寸係設定為與門部22中可密接於蓋部43之面的高度尺寸大致相等。再者，在圖5等，示意地顯示設定為較門部22中可密接於蓋部43的面之高度尺寸稍大的高度尺寸之蓋部43。在蓋部43，設有可將此 蓋部43鎖定於收納容器本體42的鎖閂部(未圖示)。又，如圖14所示，在蓋部43的向內面431，設有保持架44。保持架44，可與蓋部43作成一體或一體地設置，但若為可裝卸地設在蓋部43者的話，則在受損的情況等，僅藉由更換該保持架44即可因應。且，保持一片的晶圓之保持架的數量，單數個或複數個皆可，保持架44的形狀亦可適宜變更。將這樣的保持架44設在蓋部43的向內面431(具體而言為形成在向內面431的凹部432)，該保持架44是將已被收納於收納容器4內的晶圓W從蓋部43的向內面431側一邊彈性變形一邊予以保持，作為晶圓按壓構件來發揮功能。藉此，可將收納容器4內之各被搬送物W的收納位置予以定位，並且能夠防止薄且脆弱之晶圓等的被搬送物W受損。再者，在以蓋部43封閉搬出搬入口41的狀態下，在向內面431中與收納容器本體42接觸或接近之預定部分(圖示例中向內面431的兩側)設有墊圈433。又，構成為比起蓋部43的向內面431，藉由使墊圈433優先地接觸於收納容器本體42而彈性變形，能夠將收納容器4的內部空間4S完全地加以密閉。再者，在圖14中省略處理室5。

本實施形態之門開閉裝置2係藉由從控制部2C對各部賦予驅動指令，執行預定動作。在本實施形態，構成為自門開閉裝置2所具有的控制部2C對各部賦予驅動指令。控制部2C的結構為具備有：記憶部；ROM；RAM；I/O埠；CPU；在與外部的顯示裝置等(未圖 示)之間進行資料的輸入、輸出之輸入輸出介面(IF)；及將這些構件予以相互地連結並在各部之間傳達資訊的匯流排。在記憶部，因應以此門開閉裝置2要執行的處理之種類，記憶控制順序。亦即，在此記憶部，儲存有裝置各部的預定動作程式。

如此，本實施形態之程式為作為可執行的程式儲存於非暫時性電腦可讀取之記錄媒體(硬碟等)。ROM係由硬碟、EEPROM、快閃記憶體等所構成，記憶CPU的動作程式等之記錄媒體。RAM係作為CPU的工件區域等來發揮功能。I/O埠係例如將CPU所輸出的控制訊號輸出至裝置的各部，或將來自於感應器的資訊供給至CPU。CPU係構成控制部2C的中樞，執行被記憶在ROM之動作程式。CPU係沿著記憶在記憶部的程式控制門開閉裝置的動作。參照顯示EFEM1的動作流程之圖15及圖16等，將被記憶在記憶部的程式內容與具備門開閉裝置2的EFEM1之使用方法及作用一同進行說明。

首先，藉由沿著搬送室3中配置有門開閉裝置2的共通之壁面3A延伸的直線上之搬運線(動線)作動的OHT等的收納容器搬送裝置，將收納容器4搬送至門開閉裝置2的上方，再載置到載置台23上。此時，例如設在載置台23上的定位用突起231嵌合到收納容器4的定位用凹部。又，控制部2C將載置台23上的鎖定爪232作成為鎖定狀態(鎖定處理St1)。具體而言，藉由對設在收納容器4的底面之被鎖定部(未圖示)，將載置台23上 的鎖定爪232進行鉤掛並固定，形成為鎖定狀態。藉此，能夠將收納容器4載置於載置台23上的預定正規位置並加以固定。在本實施形態，排列並配置於搬送室3的寬度方向之3台門開閉裝置2的載置台23，能分別載置收納容器4。又，亦可構成為藉由檢測收納容器4是否載置於載置台23上的預定位置之就位感應器(未圖示)，檢測收納容器4載置於載置台23上的正規位置。

接著，在本實施形態的門開閉裝置2，控制部2C將處於如圖5所示的位置之載置台23移動至如圖6所示的連結位置(連結處理St2)。亦即，讓處於如圖5所示的位置之載置台23朝框架21前進，使收納容器4的前面(相互形成為相同面的收納容器本體42之前面42B及蓋部43的向外面434)接近[框架21中開口21a之周緣最接近收納容器本體42之框架最背面21A]相距預定距離。直到執行此連結處理St2，移動限制部L被維持在將卡合片L1作成為非面對姿勢的移動容許狀態(4)。又，直到執行此連結處理St2，中空彈性密封部S被維持在收縮狀態(1)。再者，圖5等之符號21B所指的面係為框架21中在開口21a(窗框部216的開口215)的周緣距離收納容器本體42最遠的框架最前面。

然後進行以下的處哩，亦即，使載置台23移動至預定的連結位置的話，在本實施形態的門開閉裝置2，控制部2C使用移動限制部L保持收納容器4的至少兩側並予以固定之處理(收納容器挾持處理St3)。具體而 言，藉由移動限制部L的拉入部L2將卡合片L1朝框架21側拉入。於是，卡合片L1從非面對姿勢切換成面對姿勢，形成為卡合於收納容器本體42的鍔部45之狀態。在此狀態下，能將定位於連結位置的載置台23上之收納容器4的鍔部45在移動限制部L的卡合片L1與框架最背面21A(窗框部216的背面216A)之間予以挾持。亦即，收納容器挾持處理St3能夠以將移動限制部L從移動容許狀態(4)切換成移動限制狀態(3)的處理達成。

再者，將移動限制部L從移動容許狀態(4)切換成移動限制狀態(3)之時間點，若為將載置台23定位於連結位置後的時間點以後，且使處於收縮狀態(1)的中空彈性密封部S變化成膨脹狀態(2)之前即可。因此，亦可為以下結構，亦即，在剛將載置台23定位於連結位置後，將移動限制部L從移動容許狀態(4)切換成移動限制狀態(3)。又，亦可為以下結構，亦即，在將載置台23定位於連結位置後再經過預定時間後，將移動限制部L從移動容許狀態(4)切換成移動限制狀態(3)。

在本實施形態的門開閉裝置2，設定為在收納容器挾持處理St3結束的時間點，處於收縮狀態(1)的中空彈性密封部S接近收納容器本體42的前面42B。亦即，設定為在收納容器挾持處理St3結束的時間點，處於收縮狀態(1)的中空彈性密封部S未抵接於收納容器本體42的前面42B(參照圖10)。

其次，在本實施形態的門開閉裝置2，實施以 下處理(密封處理St4)，亦即，控制部2C將直到收納容器挾持處理St3結束的時間點設定為收縮狀態(1)的中空彈性密封部S狀態變化成膨脹狀態(2)，讓形成於框架21的開口21a(窗框部216的開口215)的附近之收納容器4與框架21的間隙堵住的處理。亦即，直到密封處理St4實施前是處於關閉狀態的氣體供給切換開關S4切換成打開狀態，並且直到密封處理St4實施前是處於打開狀態的氣體排氣切換開關S6切換成關閉狀態。於是，透過連通於中空部S1的流體通路S2(流通孔)，將流體從預定的氣體供給源供給至中空部S1。藉此，能夠提高中空部S1內的壓力，使中空部S1從如圖10所示的收縮狀態進行狀態變化成朝後方(收納容器4側)膨脹之如圖12所示的膨脹狀態。其結果，使得中空彈性密封部S與載置於定位在連結位置的載置台23上之收納容器4中設定為密封面的收納容器本體42的前面42B彈性接觸。藉由經過此密封處理St4，使得作用於彈性接觸在收納容器本體42的前面42B的中空彈性密封部S之供給壓力成為密封面壓，形成良好的密封區域。

在本實施形態，依據密封處理St4，中空彈性密封部S彈性接觸的部分為收納容器本體42的前面42B中圍繞收納容器4的搬出搬入口41的附近之部分。更具體而言，依據密封處理St4，中空彈性密封部S的上邊部分SA及兩側邊部分SC(參照圖9)彈接的部分為圍繞收納容器4的搬出搬入口41的附近之部分中設在收納容器本 體42的前端部之鍔部45的前面。又，鍔部45係在收納容器本體42的前端部朝上方及兩側方突出而設置。亦即，未設有在收納容器本體42的前端部朝下方突出之鍔部。因此，藉由密封處理St4，中空彈性密封部S的下邊部分SB為收納容器本體42的前端部之下端側的前面。

在本實施形態的門開閉裝置2，將收納容器本體42的前面42B作為密封面，對此密封面，中空彈性密封部S的中空部S1本身膨脹而能賦予面壓。其結果，即使再因振動等造成密封面變動之情況，亦可確保能立即追隨之密封區域。

實施密封處理St4，讓中空彈性密封部S變化成膨脹狀態(2)，使得朝自框架21分離的方向按壓的力作用於收納容器4。但，在本實施形態的門開閉裝置2，藉由經過收納容器挾持處理St3，能夠維持藉由移動限制部L將定位在連結位置的載置台23上之收納容器4予以固定的狀態。因此，能夠防止按壓於中空彈性密封部S的收納容器4朝自框架21分離的方向移動或傾動之事態產生。特別是在本實施形態，形成為略矩形狀的開口21a、215的兩側之上端附近及下端附近的總計4個部位配置移動限制部L。藉此，定位於連結位置的載置台23上之收納容器4中，收納容器本體42的前端部之兩側的上端附近及下端附近之總計4個部位能以各移動限制部L加以固定。

在本實施形態的門開閉裝置2，接續密封處理 St4，控制部2C將連結機構221切換成蓋連結狀態(蓋連結處理St5。藉由此處理，能將蓋部43以連結機構221連結於預先待機於全關位置(C)的門部22並以密接狀態加以保持。又，形成為可從收納容器本體42取下蓋部43之狀態。又，在本實施形態的門開閉裝置2，在收納容器4被載置於載置台23上的正規位置之時間點，控制部2C檢測收納容器4中的底面部按壓設在載置台23之例如加壓感應器的被按壓部。以此為契機，控制部2C賦予使設在載置台23的噴嘴261(包含作為氣體導入部63發揮功能的噴嘴之所有的噴嘴261)朝較載置台23的上面更上方進出之驅動命令(訊號)。其結果，使得該等各噴嘴261分別連結於收納容器4的注入口與排出口，形成為可對收納容器4內執行沖洗處理之狀態。

接著，在本實施形態的門開閉裝置2，控制部2C執行對處理室5內供給環境氣體的室內沖洗處理St6。此室內沖洗處理St6為從設在處理室5的上壁53之氣體供給用噴嘴55將自適宜的環境氣體供給源所供給的環境氣體注入到處理室5內，將處理室5內置換為環境氣體之處理。藉由執行這樣的室內沖洗處理St6，能從設在處理室5的底壁54之氣體排出用噴嘴56(氣體排出部61)排出處理室5內的氣體環境氣體。該所排出的氣體環境氣體(排出氣體)通過排氣管62從設在載置台23的噴嘴261中與排氣管62的下游端連接且作為氣體導入部63發揮功能的噴嘴261導入至收納容器4的內部空間4S。藉此，收 納容器4的內部空間4S被與處理室5的內部空間5S相同的環境氣體填充，收納容器4的內部空間4S之壓力變得與處理室5的內部空間5S之壓力相等。

亦即，在本實施形態，在將收納容器4的內部空間4S密閉之狀態下進行室內沖洗處理St6，然後再實施以下的壓力調整處理St7，亦即，從實施了該沖洗處理St6的處理室5之內部空間5S，藉由使用與開口21a不同的其他路徑之壓力調整部6對收納容器4的內部空間4S導入處理室5內的環境氣體，將收納容器4的內部空間4S之壓力作成為與處理室5的內部空間5S之壓力均等的壓力調整處理St7。在壓力調整處理St7執行中，從設在載置台23的噴嘴261中與連結於形成在收納容器4的排出口且未連接有壓力調整部6的排氣管62之噴嘴261(底部沖洗排出用噴嘴)排出收納容器4的氣體環境氣體，將該排出的氣體環境氣體(此氣體環境氣體是指從開始執行壓力調整處理直到預定時間為止，空氣、空氣以外之清淨度低的環境氣體，且經過該預定時間後，被填充於收納容器4的內部空間4S之環境氣體)透過未圖示的適宜排氣路徑，排氣至未與收納容器4及搬送室3內連通的適宜空間。藉此，能夠將自作為氣體導入部63發揮功能的噴嘴261所供給的環境氣體以高濃度填充於收納容器4。藉由實施這樣的壓力調整處理St7，能以環境氣體充滿收納容器4的內部空間4S，將收納容器4內的水分濃度及氧濃度分別降低至預定值以下，將收納容器4內之被搬送物W 的周圍環境作成為低濕度環境及低氧環境。因此，壓力調整處理St7亦可視為兼作將收納容器4的內部空間4S置換成環境氣體的處理(收納容器內沖洗處理)之處理。

又，在本實施形態的門開閉裝置2，接著壓力調整處理St7，控制部2C執行以下處理(收納容器密閉解除處理St8)，亦即，使蓋部43與門部22一同移動，開放框架21的開口21a及收納容器4的搬出搬入口41，解除收納容器4內的密閉狀態之處理。具體而言，如圖7及圖8所示，控制部2C藉由門移動機構27使門部22從全關位置(C)在處理室5的內部空間5S朝搬送室3側沿著前述水平路徑移動預定距離。且如圖7及圖8所示，控制部2C將到達了前述移動方向切換位置(P)之門部22沿著前述垂直路徑下降預定距離而定位在全開位置(O)。在執行此收納容器密閉解除處理St8的時間點，由於藉由前述壓力調整處理St7，使得處於將處理室5的內部空間5S與收納容器4的內部空間4S之壓力差消失的狀態，故，能夠圓滑且適當地進行讓門部22朝處理室5的內部空間5S側移動之處理。再者，由於收納容器密閉解除處理St8為將收納容器4內開放之處理，故，亦可稱為[收納容器開放處理]。

接著，在本實施形態的門開閉裝置2，控制部2C執行以下處理(室迴避處理St9)，亦即，將處理室5從遮蔽位置移動至讓與開口21a連通的收納容器4的內部空間4S可朝搬送室3的內部空間3S進而朝處理裝置M的 內部空間MS開放之室迴避位置(未圖示)的處理。藉此，收納容器本體42的內部空間4S及搬送室3的內部空間3S未被處理室5遮蔽而形成為相互連通的狀態。再者，在執行室內沖洗處理St6後，亦可採用以下的處理順序，亦即，使門部22從全關位置(C)移動至移動方向切換位置(P)，在該位置暫時待機的狀態下，讓處理室5從遮蔽位置移動至室迴避位置，然後，再使門部22從移動方向切換位置(P)移動至全開位置(O)。又，在本實施形態，在進行了壓力調整處理St7後的適宜的時間點，例如執行室迴避處理St9之前的時間點，藉由預先停止對處理室5的內部空間5S供給環境氣體，能夠限制氣體使用量及氣體使用時間，可謀求成本減低。

又，在使收納容器本體42的內部空間4S與搬送室3的內部空間3S連通之狀態下，設在搬送室3的內部空間3S之搬送機械人31與收納容器4內連結，實施對被搬送物W之搬送處理(搬送處理St10)。在搬送處理St10可實施的搬送處理內容為搬送機械人31以手取出收納容器4內的被搬送物W之處理、以手將藉由製造裝置M之適宜處理完成後的處理結束之被搬送物W置入到收納容器4內的處理等。在例如藉由搬送處理St10將收納容器4內的被搬送物W搬送至搬送室3內之情況，已被搬送到搬送室3內的被搬送物W藉由搬送機械人31搬送至處理裝置M(具體為裝載鎖定室)，或搬送至緩衝站或準直器。又，藉由製造裝置M之適宜處理完成後的處理結 束之被搬送物W，藉由搬送機械人31從處理裝置M的內部空間MS直接收納至收納容器4的內部空間4S，或經由緩衝站依次收納至收納容器4的內部空間4S。

又，在本實施形態之門開閉裝置2，執行搬送機械人31對收納容器4之下一個連結的情況(圖15之St11；Yes)，反覆進行搬送處理St6。在本實施形態之門開閉裝置2，收納容器4內的所有的被搬送物W均結束了處理裝置M之處理製程的話，則控制部2C執行尚未執行的下一個搬送處理之情況(圖15之St11；No)的處理。亦即，控制部2C執行以下處理(收納容器密閉處理St12；參照圖16)，亦即藉由門移動機構27使門部22移動至全關位置(C)，封閉框架21的開口21a及收納容器4的搬出搬入口41，將收納容器4的內部空間4S予以密閉之處理。具體而言，且如圖7及圖8所示，控制部2C使門部22沿著前述垂直路徑上升預定距離而亦全開位置(O)移動到移動方向切換位置(P)。接著，控制部2C使到達了移動方向切換位置(P)的門部22朝自搬送室3遠離的方向(後方)沿著前述水平路徑移動預定距離。其結果，框架21的開口21a及收納容器4的搬出搬入口41被封閉，收納容器4的內部空間4S形成為密閉狀態。伴隨此收納容器密閉處理St12，設在蓋部43的向內面431之保持架44一邊彈性變形一邊保持被搬送物W的邊緣，能夠將被收納於收納容器4之所有的被搬送物W定位於正規的收納位置(參照圖14)。

其次，在本實施形態的門開閉裝置2，控制部2C執行以下處理(室遮蔽處理St13)，亦即，使處理室5從室迴避位置移動至遮蔽位置之處理。接著，在本實施形態的門開閉裝置2，控制部2C執行分別與前述室內沖洗處理St6及壓力調整處理St7相同的處理內容之第二次室內沖洗處理St14及第二次壓力調整處理St15。再者，在亦可採用以下的處理順序，亦即，使門部22從全開位置(O)移動至移動方向切換位置(P)，在該位置暫時待機的狀態下，執行室遮蔽處理St13後，再執行第二次室內沖洗處理St14及第二次壓力調整處理St15，然後，使門部22從移動方向切換位置(P)移動至全關位置(C)。又，在本實施形態，在開始進行室內沖洗處理St6後的適宜的時間點，藉由停止對處理室5的內部空間5S供給環境氣體，能夠限制氣體使用量及氣體使用時間，可謀求成本減低。

接著，在本實施形態之門開閉裝置2，控制部2C執行以下的處理(蓋連結解除處理St16)，亦即，將連結機構221從蓋連結狀態切換成蓋連結解除狀態的處理。藉由此處理，能夠解除藉由連結機構221之門部22與蓋部43的連結狀態(蓋連結狀態)，將蓋部43安裝於收納容器本體42。

其次，在本實施形態之門開閉裝置2，接著蓋連結解除處理St16之後，控制部2C執行以下的處理(密封解除處理St17)，亦即，將中空彈性密封部S從膨脹狀態(2)狀態變化成收縮狀態(1)，解除藉由中空彈性密封部 S之收納容器本體42的前面42B與框架21之密封狀態的處理。亦即，將從開始進行密封處理St4到實施密封解除處理St17之前維持在打開狀態的氣體供給切換開關S4切換成關閉狀態，並且，開始進行密封處理St4到實施密封解除處理St17之前維持在關閉狀態的氣體排氣切換開關S6切換成打開狀態。於是，透過流體通路S2，中空部S1內被真空吸引。因此，能夠將被供給到中空部S1的流體從中空部S1排出。藉此，可使中空部S1的壓力降低，將中空彈性密封部S從如圖12所示的膨脹狀態(2)變化成如圖10所示的收縮狀態(1)。其結果，使得中空彈性密封部S與載置於定位在連結位置的載置台23上之收納容器4的前面42B之彈性接觸狀態被解除。

在本實施形態之門開閉裝置2，接著密封解除處理St17之後，控制部2C執行以下的處理(收納容器挾持解除處理St18)，亦即，解除藉由移動限制部L之收納容器4的固定狀態(挾持狀態)的處理。具體而言，將處於藉由移動限制部L的拉入部L2朝框架21側拉入的位置之卡合片L1與軸L3一同朝自框架21分離的方向移動。於是，卡合片L1從面對姿勢自動地切換成非面對姿勢，卡合片L1對收納容器本體42的鍔部45之卡合狀態被解除，能夠解除藉由移動限制部L之收納容器4的固定狀態。亦即，收納容器挾持解除處理St18能夠以將移動限制部L從移動限制狀態(3)切換成移動容許狀態(4)的處理達成。

其次，在本實施形態的門開閉裝置2，控制部2C執行以下處理(連結解除處理St19)，亦即，使載置台23朝自框架21分離的方向後退之處理。又，控制部2C解除以載置台23上的鎖定爪232鎖定收納容器4的狀態(鎖定解除處理St20)。具體而言，解除鎖定爪232對設在收納容器4的底面之被鎖定部的鎖定狀態。藉此，收納有完成了預定處理的被搬送物W之收納容器4從各門開閉裝置2的載置台23上傳授給收納容器搬送裝置，朝下一個製程被搬出。

如以上所述，本實施形態之門開閉裝置2係在框架21中的開口21a之開口緣附近區域設有中空彈性密封部S，用以圍繞開口21a，將此中空彈性密封部S構成為在收縮狀態(1)與膨脹狀態(2)之間可進行狀態變化。因此，在將載置台23定位於載置在載置台23上的收納容器4之蓋部43接近開口21a的預定連結位置的狀態下，藉由將處於收縮狀態(1)的中空彈性密封部S變化成膨脹狀態(2)，藉此，能夠使中空彈性密封面S彈性接觸於收納容器本體42中設定於蓋部43的周圍部分之密封面亦即本實施形態之收納容器本體42的前面42B而形成良好的密封區域。其結果，經由環繞形成於框架21的開口21a之密封區域，可使收納容器4與框架21相互地密接。

並且，若依據本實施形態之門開閉裝置2，藉由以密封區域將框架21的開口21a與收納容器本體42之間的間隙亦即能與收納容器4的外部及搬送室3的外部連 通的區域加以密閉，可從收納容器4外的環境(外氣)遮斷收納容器4內。又，本實施形態的門開閉裝置2，透過藉由膨脹狀態(2)的中空彈性密封部S彈性接觸於收納容器本體42的密封面所形成的密封區域，亦可防止、抑制空器等從外部流入到收納容器4內、搬送室3內等的事態產生。其結果，能夠謀求被搬送物之品質提升。

且，在本實施形態之門開閉裝置2，採用以下結構，亦即對收納容器本體42中設定於蓋部43的周圍部分之密封面，使從收縮狀態(1)進行狀態變化成膨脹狀態(2)之中空彈性密封部S彈性接觸來形成密封區域。因此，能夠將在本實施形態所形成的密封區域的密封性(密閉性)作成為較藉由將收納容器本體42的密封面對O型環等可撓性差的彈性材按壓所形成的密封區域之密封性高。因此，即使在對收納容器4內、搬送室3內等供給環境氣體之使用狀況下，也能夠防止環境氣體從密封區域流出至收納容器4的外部、搬送室3的外部等。又，藉由使用前述中空彈性密封部S，即使對於較大的間隙亦可予以密封。

特別是本實施形態之門開閉裝置2，至少在框架21的開口21a之上端附近設置移動限制部L。又，移動限制部L是在限制定位於連結位置的載置台23上之收納容器4朝自框架21分離的方向(後方)移動之移動限制狀態(3)、和容許定位於連結位置的載置台23上之收納容器4朝自框架21分離的方向移動之移動容許狀態(4)之間 可進行切換。因此，在將載置台23定位於連結位置的時間點以後，將移動限制部L從移動容許狀態(4)切換成移動限制狀態(3)，在維持著該移動限制狀態(3)的狀況下，使處於收縮狀態(1)的中空彈性密封部S變化成膨脹狀態(2)能夠達到以下的作用效果。亦即，在對定位於連結位置的載置台23上之收納容器4，使中空彈性密封部S從收縮狀態(1)變化成膨脹狀態(2)之情況，即使朝自框架21分離的方向按壓之力作用於收容容器4，至少可藉由處於設在開口21a的上端附近移動限制狀態(3)的移動限制部L來防止、抑制收納容器4的移動、傾動等。其結果，能夠迴避定位於連結位置的載置台23上之收納容器4朝自框架21分離的方向移動或傾動所可能產生之收納容器4內的微粒飛揚、被搬送物W之位置偏移等產生。

又，在本實施形態，作為移動限制部L，適用以下的移動限制部，其具備：可與收納容器本體42中設在蓋部43的周圍部分之鍔部45卡合的卡合片L1；及可使在將該卡合片L1卡合於鍔部45的狀態下朝框架21側移動之拉入部L2。由於為這樣的移動限制部L，故，藉由使卡合於卡合片L1的收納容器本體42之鍔部45朝框架21側拉入之動作，能夠提高中空彈性密封部S對收納容器本體42中設定在蓋部43的周圍部分之密封面的密接度(增大密接面積)。其結果，可確保密封區域更良好之密封性。在本實施形態形成密封區域之[密封面]係指[收納容器本體42中設在蓋部43的周圍部分之密封面]。在本實施 形態，採用在收納容器本體42中的蓋部43的周圍部分設有朝上方及外側突出的鍔部45之收納容器4，中空密封部S的上邊部分SA及兩側邊部分SC彈性接觸於鍔部45的前面。因此，鍔部45的前面是作為藉由密封處理St4，供中空彈性密封部S彈性接觸的密封面來發揮功能。

並且，本實施形態之門開閉裝置2採用以下的結構，亦即，在呈略矩形狀的開口21a之兩側的上端附近及下端附近分別配置移動限制部L的結構。藉此，當對定位於連結位置的載置台23上之收納容器4，使中空彈性密封部S膨脹而密接時，能更確實地防止收納容器4朝自框架21分離的方向移動或傾動之事態產生。

特別是在本實施形態之門開閉裝置2，適用以下的中空彈性密封部，其藉由已被供給到中空部S1的流體使中空部S1的壓力上升，形成為膨脹狀態(2)，藉由將所供給的流體從中空部S1排出而降低中空部S1的壓力，來形成為收縮狀態(1)。藉此，中空部S1內之供給壓力直接形成為密封面壓，能夠發揮良好的密封供能。又，中空部S1本身膨脹而能對收納容器本體42的密封面施加面壓，可形成為即使在因振動等造成密封面變動之情況亦可立即追隨之密封區域。

又，由於本實施形態之搬送裝置(EFEM1)具備有搬送室3、設在搬送室3的壁面3A並具有前述結構的門開閉裝置2、及設在搬送室3內且在門開閉裝置2的載置台23上的收納容器4與搬送室3之間可進行被搬送物 W的置入取出之搬送機械人31，故，能夠獲得門開閉裝置2所可達到的前述作用效果，並且使框架21中的開口21a的周邊部分與收納容器4之間隙消失，能夠防止、抑制收納容器4內、搬送室3內等的環境氣體透過該間隙朝收納容器4的外部、搬送室3的外部等流出之事態、空氣等自外部流入到收納容器4內、搬送室3內等之事態產生。

又，在本實施形態，利用前述門開閉裝置2的收納容器4的連結方法，其執行密封處理St4，該密封處理為藉由在使載置有收納容器4的載置台23移動至蓋部43接近開口21a的預定連結位置後，讓處於收縮狀態(1)的中空彈性密封部S變化成膨脹狀態(2)，來使中空彈性密封部S彈性接觸於收納容器本體42中設定在蓋部43的周圍部分之密封面而形成密封區域。因此，能夠將框架21的開口21a與收納容器本體42之間隙亦即收納容器4的內部空間4S、搬送室3的內部空間3S等可與外部連通之間隙予以密封，可確保使載置於載置台23上的收納容器4的內部空間4S與搬送室3的內部空間3S連通時之良好的密閉性。

再者，本發明係不限於前述實施形態。例如，在前述實施形態，在框架中的開口之開口緣附近設置中空彈性密封部，用以圍繞開口，再實施密封處理，使中空彈性密封部朝後方(收納容器側)膨脹而彈性接觸於定位在連結位置的載置台上之收納容器的前面。亦可採用以下 結構來取代此結構，亦即，使中空彈性密封部在框架中的開口之開口緣圍繞開口的方式設置中空彈性密封部。作為適用這樣結構之理想的情況可舉出以下的態樣，亦即，在將載置台定位於收納容器的蓋部接近框架的開口之預定連結位置的狀態，蓋部接近並到達開口的態樣。

亦即，如圖17所示，在將載置台23定位於連結位置的狀態，設定為收納容器4的蓋部43接近並到達框架21的開口21a(窗單元214的開口215)之情況，收納容器本體42的前面42B定位在較形成於框架21的開口21a之開口後緣更前方的位置。在這樣的結構，在框架21中的開口21a之開口緣設置成圍繞開口的中空彈性密封部S處於收縮狀態(1)的話，則預先設定成中空彈性密封部S不與收納容器本體42的前端部接觸。然後，使中空彈性密封部S從收縮狀態(1)進行狀態變化成膨脹狀態(2)的話，則中空彈性密封部S會朝使開口21a的開口尺寸縮窄的方向(朝向開口21a的中心之方向)膨脹而彈性接觸於收納容器本體42的前端部。藉此，能夠將框架21的開口21a與收納容器本體42之間隙予以密閉。

在採用圖17所示的結構之情況，藉由密封處理，供中空彈性密封部S彈性接觸的對象之密封面是在將載置台23定位於預定連結位置的狀態，與收納容器本體42中的蓋部43之周圍部分亦即開口21a的開口緣相面對之面。具體而言，在收納容器本體42中，於與前後方向D正交的方向上與開口21a的開口緣相面對之面是作為密 封面來發揮功能。因此，收納容器本體42的前端部之向上面、向下面、及側面是作為密封面來發揮功能。又，藉由使膨脹狀態的中空彈性密封部S彈性接觸於該等密封面，能形成密封區域。再者，如圖17所示，在將鍔部45設於收納容器本體42的前端部之情況，鍔部45的向上面、側面等作為密封面來發揮功能。

在採用圖17所示的結構之情況，能夠處於收縮狀態及膨脹狀態之中空彈性密封部設定為不會超過框架的厚度。另外，處於收縮狀態及膨脹狀態之中空彈性密封部亦可為超過框架的厚度，較框架21的最前面21B或最後面21A中的至少一方的面更朝前方或後方突出之形態。

又，載置台的連結位置收納容器本體的前端部對框架的開口，因應架中之中空彈性密封部的配置部位等之規格加以適宜設定。

例如，如圖17所示的結構，在對定位於連結位置的載置台上之收納容器，使中空彈性密封部從收縮狀態變化成膨脹狀態之情況，對收容容器，朝自框架分離的方向按壓之力不會作用之結構的話，則可省略移動限制部。若不需要移動限制部的話，則比起具備移動限制部的態樣，能謀求構造的簡單化。

本發明之中空彈性密封部為在收縮狀態與膨脹狀態之間可進行狀態變化即可。因此，亦可使用前述結構之所謂的膨脹密封以外的零件、機構等來構成中空彈性密封部。

又，亦可將圍繞形成於框架的開口之中空彈性密封部以預定間距且呈複數段狀的方式配置在高度方向或前後方向。在此情況，藉由配置複數個中空彈性密封部，可使密封區域變廣，能夠確保更高的密封性。又，即使在一個中空彈性密封部之密封功能降低的情況，其他的中空彈性密封部可確保有效的密封功能，藉此，能夠確保密封區域之良好的密封性。

又，藉由沿著形成於框架的開口，依次排列配置複數個中空彈性密封要件，亦可構成配置成圍繞開口的中空彈性密封部。

配置移動限制部的部位是可適宜選擇。作為一個例子，亦可為具備能夠保持收納容器本體的上端部之兩側以外的部分(例如寬度方向中央部分)之移動限制部的門開閉裝置。又，亦可變更移動限制部的數量。

並且，亦可適用以下的移動限制部來取代在前述實施形態所例示之發揮挾持功能的移動限制部或與該移動限制部並用，亦即，雖不能發揮挾持功能，但可利用以適宜的手段發揮鎖定功能或螺栓功能，來限制定位於連結位置的載置台上之收納容器朝自框架分離的方向移動或傾動的移動限制部。

又，可將中空彈性密封部及移動限制部予以單元化且配置在框架，亦可不將中空彈性密封部及移動限制部單元化而採用個別配置。在採用省略前述實施形態之窗單元214的結構之情況，可適用在框架本體212直接形 成開口21a的框架。

在前述實施形態，例示了在搬送室內配置處理室之結構，但，亦可採用在搬送室內不配置處理室之結構。若為在搬送室內不配置處理室之結構，亦可省略壓力調整部。在此情況，亦可省略處理室內沖洗處理、壓力調整處理。

再者，作為具備處理室及壓力調整部之門開閉裝置，例如圖18所示，可將氣體排出部61’設在框架21，採用具備氣體排氣路徑62’的壓力調整部6’，該氣體排氣路徑62’的上游端連結於該氣體排出部61’。設在框架21的氣體排出部61’為連通於處理室5的內部空間5S之貫通孔。讓氣體排氣路徑62’的上游端密接於此氣體排出部61’。氣體排氣路徑62’的大部分是配置在前述蓋28內。氣體排氣路徑62’中至少配置在前述蓋28內的部分是藉由管所形成。氣體排氣路徑62’的下游端是密接於氣體導入部63。藉由這樣的壓力調整部6’，以室內沖洗處理供給至處理室5內的環境氣體是依序通過氣體排出部61’、氣體排氣路徑62’、及氣體導入部63而導入至收納容器4的內部空間4S。因此，可透過這樣的壓力調整部6’，將處理室5的內部空間5S與收納容器4的內部空間4S之壓力差削除。若為這樣的氣體排氣路徑62’，未要求可追隨處理室5的移動而進行移動或變形之條件。因此，可提高構成氣體排氣路徑62’之構件的選擇、設置空間上的設計自由度。作為氣體排氣路徑62’，如圖18所示，可 採用以下的結構，除了將自氣體排出部61’流來的處理室5內的環境氣體導向氣體導入部63之路徑(壓力調整路徑)以外，還具有將自氣體排出部61’流來的處理室5內的環境氣體導向適宜的排氣空間(例如搬送室的內部空間)之路徑(排氣路徑)。在圖18顯示，將使排氣路徑的下游端密接於設在框架21中將前述蓋28的內部空間與搬送室的內部空間連通的位置之貫通孔64’。在此情況，作成為以下結構即可，亦即，將自氣體排出部61’流來的處理室5內的環境氣體之排氣路徑作成為可切換成壓力調整路徑或排氣路徑中的任一者之結構(例如配置切換閥之結構)。

又，門部亦可為在全關位置與全開位置之間的所有移動或一部分的移動伴隨旋轉。可舉出以下的結構，例如，如圖19及圖20所示，將全關位置(C)與移動方向切換位置(P)之間的門部22之移動設定為旋轉動作，且將移動方向切換位置(P)與全開位置(O)之間的門部22之移動設定為直線動作的結構。在此情況，定位於移動方向切換位置(P)之門部22的姿勢形成為傾斜預定角度之姿勢。在維持著此傾斜姿勢之狀態下，在移動方向切換位置(P)與全開位置(O)之間移動。再者，在圖19及圖20中省略一部分之門移動機構27的具體結構、驅動源等亦可適宜變更。

又，在前述實施形態，例示了構成為在被搬送物的置入取出處理中，使門部待機於全開位置之態樣。例如，亦可如圖21所示，構成為在被搬送物W的置入取 出處理中，讓門部22待機於中途開放位置(I)，該中途開放位置(I)係為了讓該被搬送物W對收納容器4進行置入取出，將收納容器本體42的內部空間4S開放所需的量者。若為這樣的結構，能夠有效地減低被搬送物W的置入取出處理中之收納容器本體42的內部空間4S的高度方向之開放程度。因此，在將收納容器本體42的內部空間4S開放的時間點，收納容器4內的沖洗濃度會降低而水分濃度會上升，但能夠縮短使該上升後的水分濃度返回至預定值的低水分濃度為止的時間。且，比起使門部22在全關位置(C)與全開位置(O)之間移動的態樣，亦具有可謀求門部22之移動行程的縮短化的優點。再者，依據全開位置(O)的設定狀況，亦會有被收納於收納容器4內的最下段的位置之被搬送物W的置入取出處理中的中途開放位置形成為與全開位置(O)相同位置或略相同位置之情況。再者，在圖21中省略處理室。

本發明之門開閉裝置，如以上所述，可作為構成搬送裝置的一例之EFEM的一部分加以使用。因此，亦可作為構成EFEM以外的搬送裝置、分類裝置的一部分等來使用。分類裝置為在搬送室的壁面配置複數個本發明之門開閉裝置，在載置於各門開閉裝置的載置台上之收納容器間，藉由設在搬送室內的搬送機械人可替換被搬送物之裝置。可為在搬送室的共通之壁面配置複數個門開閉裝置的分類裝置，或亦可為在搬送室的相互不同之壁面(例如前壁與後壁這樣相對向的壁面)分別配置1個或複數個 門開閉裝置之分類裝置，或者亦可為在其中一側面配置緩衝站、準直器等，藉由搬送機器入，在載置於各門開閉裝置的載置台上之收納容器彼此間或收納容器與緩衝站或準直器之間進行被搬送物的替換、置入取出之分類裝置。

若為這樣的分類裝置，藉由具備具有前述結構的門開閉裝置，能夠獲得前述作用效果，並可理想地進行被搬送物的置入取出。

配置在搬送室的壁面的門開閉裝置可為1台。

在前述實施形態，作為被搬送物例示了晶圓，但被搬送物亦可為光網、液晶基板、玻璃基板、培養板、培養容器、盤子或培養皿等。亦即，本發明係適用於收納在半導體、液晶、細胞培養等的各種領域的容器之搬送對象的搬送技術。

又，本發明之門開閉裝置不限於裝載埠，可為作為收納容器與搬送室之介面部分來發揮功能之用途加以使用者。

作為收納容器內的沖洗處理，除了前述底部沖洗處理外，還適用從收納容器的內部空間之前方供給環境氣體之所謂的前側沖洗處理，或適用該前側沖洗處理取代前述底部沖洗處理。執行前側沖洗處理的前側沖洗部，可設在收納容器本體或蓋體，亦可設在門開閉裝置。本發明之收納容器係如前述實施形態所述，在載置於門開閉裝置的載置台上之時間點以後的時序，實施沖洗處理之收納 容器即可。但，作為本發明之收納容器，亦可適用在載置於門開閉裝置的載置台上之時間點以後的適宜的時序未實施沖洗處理的收納容器、在較載置於載置台上更早的時間點預先實施了沖洗處理的收納容器等。作為在較載置於門開閉裝置的載置台上更早的時間點預先實施沖洗處理之時序的具體例，可舉出例如將複數個收納容器保管於可進行保管的保管庫之時間點、載置於與門開閉裝置不同的其他專用沖洗站上之時間點、其他的被搬送物製造裝置之製造製程中的適宜時間點到製造結束後的適宜時間點等。

收納容器的種類、形態、搬送室的具體結構、功能等亦可適宜變更。作為進行沖洗處理所需要之環境氣體，亦可適用氮氣、乾燥器體等以外之氣體。

作為搬送機械人，亦可適用具有複數個被搬送物把持部(若前述實施形態的話則為手)者。又，亦可適用被搬送物把持部室由手以外的預定零件等所構成之搬送機械人。又，搬送機械人亦可為配置於搬送室內者。亦可為具備有搬送機械人之門開閉裝置。

在前述實施形態，例示了門開閉裝置2具備控制部2C，該控制部2C控制門部22的移動等各部之動作的態樣。亦可構成為藉由控制門開閉裝置的上位裝置(前述實施形態EFEM、或處理裝置)的作動之控制部(上位控制器之前述EFEM全體的控制部3M、處理裝置M的控制部MC等)，亦控制門開閉裝置之作動來取代前述態樣。

又，前述控制部不限於專用系統，使用一般的電腦系統可達成。例如，藉由從儲存有用來執行前述處理的程式之記錄媒體(軟碟、CD-ROM等)將該程式安裝至泛用電腦安裝，能夠構成執行前述處理之控制部。又，用來供給該等程式之手段為任意。如前述般，能夠經由預定記錄媒體進行供給外，亦可經由例如通訊回線、通訊網路、通訊系統等進行供給。在此情況，例如在通訊網路的揭示板(BBS)揭示該程式，將其經由網路重疊於搬運波而進行提供。又，起動如此所提供的程式，在OS控制下，與其他應用程式同樣地執行，能夠執行前述處理。

又，例如，作為EFEM以外的搬送裝置，如圖22所示，可舉出標準機械化介面(SMIF；standard of mechanical interface)系統1。在SMIF系統1，將底部設有蓋部43之收納容器4載置於形成在框架21的一部分之載置台23的狀態下，能藉由門部22從收納容器4的下方進行蓋部43的開、關。又，在SMIF系統1，將用來收容例如晶圓之被搬送物之被稱為匣盒的收容盒(未圖示)固定在收納容器4的蓋部43上，可伴隨門部22的升降移動，能朝搬送室3內搬送地狀態下進行待機，或搬送至收納容器4S內。以下，將適用本發明之門開閉裝置2的搬送裝置1(SMIF系統)的一例作為第2實施形態進行說明。

第2實施形態之門開閉裝置2為例如使用在半導體的製造製程，如圖22所示，在清淨室內，構成被稱為裝載機的搬送室3的壁面之一部分，用來在搬送室3 與收納容器4之間進行被搬送物W之置入取出的裝置。第2實施形態之門開閉裝置2具備有：構成搬送室3的壁面3A之一部分的框架21；用來開閉形成在框架21的開口21a之門部22；及形成於框架21中，以使可開閉收納容器4的內部空間4S之蓋部43與門部22相對向之方向，能載置收納容器4的位置之載置台23。

框架21係為中空箱狀，將上壁211作為載置台23發揮功能。又，在作為載置台23發揮功能的框架21之上壁211，形成有用來將藉由框架21所區隔的空間(框架的內部空間21S)予以開放的開口21a。此開口21a係具有可與載置於載置台23上的收納容器4的搬出搬入口41相連通之大小。又，此開口21a係形成於載置台23的平面視角上之中央部分。第2實施形態的門開閉裝置2係在使這樣的框架21密接於搬送室3的狀態下可進行使用。再者，在框架21中將搬送室3的內部空間3S與框架21的內部空間21S區隔之起立壁212的一部分，形成有使相互的內部空間3S、21S之開口212a。

門部22係具備連結機構(未圖示)，將該門部22連結於收納容器4的蓋部43，在將蓋部43可從收納容器本體42取下的蓋連結狀態、和解除對蓋部43的連結狀態且將蓋部43安裝於收納容器本體42的蓋連結解除狀態之間可進行切換。門部22係為在藉由連結機構將蓋部43一體化的狀態下保持而沿著預定的移動路徑可進行移動者。第2實施形態的門開閉裝置2係將門部22構成為在 藉由該門部22所保持的蓋部43將收納容器本體42的內部空間4S予以閉密的全關位置(參照圖22)、和使該門部22所保持的蓋部43從收納容器本體42分離而讓該收納容器本體42的內部空間4S朝搬送室21的內部空間21S向下方全開放的全開位置(未圖示)之間可進行移動。在第2實施形態，將處於如圖22所示的全關位置之門部22設定為可維持著該姿勢的狀態下移動至全開位置。亦即，在全關位置與全開位置之間的門部22的移動路徑為將處於全關位置的門部22在維持著其前後位置的狀態下朝下方移動的路徑(垂直路徑)。

這樣的門部22之移動是藉由設在門開閉裝置2的門移動機構27來達成。門移動機構27係具備有：將支承門部22的狀態下可進行升降之升降部271；及用來驅動升降部271的驅動源(例如未圖示的致動器)。藉由從控制部對此致動器賦予驅動指令，可使門部22朝上下方向移動。

又，第2實施形態之門開閉裝置2係具備有：設在開口42的周緣附近之中空彈性密封部S；及限制載置於載置台23上的預定連結位置之收納容器4朝自框架21分離的方向(上方)移動之移動限制部L。

中空彈性密封部S係設置成：在框架21中的開口21a之開口緣附近區域，圍繞開口21a。在將載置台23形成於框架21的一部分之第2實施形態，在形成於載置台23的平面視角上之中央部分的開口21a之開口緣附 近區域，於圍繞開口215之位置設有中空彈性密封部S。更具體而言，在載置台23的向上面23T中，於收納容器本體42的向下面42U且與後述的密封面(收納容器本體42中設定於蓋部43的周圍部分之面)相對向的位置，使中空彈性密封部S圍繞地安裝。配置成在矩形狀的開口21a之開口緣附近圍繞開口21a之中空彈性密封部S係平面視角略呈矩形狀。在第2實施形態，將中空彈性密封部S以預定間距且呈複數段(圖示例為2段)狀的方式配置於前後方向D上。

又，中空彈性密封部S為在如圖22所示的膨脹狀態與收縮狀態之間可進行狀態變化。第2實施形態之中空彈性密封部S係與前述實施形態之中空彈性密封部S的結構同樣地適用膨脹密封。亦即，中空彈性密封部S係具備有：內部為中空且全體為圍繞開口21a的環狀之中空部；及連通於中空部的內部之流體通路(流通孔)。中空彈性密封部S係藉由透過流體通路所供給的流體，使中空部的壓力上升來形成為膨脹狀態。又，中空彈性密封部S係藉由將所供給的流體從中空部透過流體通路排出而讓該中空部的壓力下降來形成為收縮狀態。中空彈性密封部S係具備各1個的中空部及流體通路。

在第2實施形態的門開閉裝置2，於載置台23的向上面23T，形成有中空彈性密封安裝溝，該中空彈性密封安裝溝是剖面形成為凹狀，用以圍繞開口21a的開口緣附近。在此中空彈性密封安裝溝，將中空部插入的狀 態下緊密地安裝。再者，中空部係藉由接著劑、螺栓等適當的手段，安裝成不會從中空彈性密封安裝溝脫離。在此安裝狀態，中空部中僅框架21側的預定部分被收容於中空彈性密封安裝溝，另外，其他部分(收納容器4側的預定部分)則未被中空彈性密封安裝溝所收容，而是露出於中空彈性密封安裝溝的外部。又，在中空彈性密封部S處於收縮狀態之情況，當透過連通於中空部的流體通路將流體自預定的氣體供給部供給至中空部而提升壓力時，中空彈性密封部S會形成為使中空部中露出於中空彈性密封安裝溝外的部分朝收納容器4側(上方)膨脹之膨脹狀態。

如圖22所示，對載置於載置台23上的預定的連結位置之收納容器本體42的向下面42U，處於膨脹狀態的中空彈性密封部S接觸。亦即，在本實施形態，將收納容器4中供中空彈性密封部S彈性接觸的收納容器本體42之向下面42U設定為密封面。又，藉由使中空彈性密封部S彈性接觸於此密封面，能形成良好的密封區域。

在本實施形態，即使在將中空彈性密封部S作成為收縮狀態的情況，中空部的一部分亦露出於中空彈性密封安裝溝的外部。載置於載置台23上的預定連結位置之收納容器4的密封面(收納容器本體42的向下面42U)設定為與處於收縮狀態的中空彈性密封部S接觸。再者，亦可採用以下結構，亦即，為比起處於收縮狀態的中空彈性密封部S，載置於載置台23上的預定連結位置之收納容器4的密封面優先地與其他零件接觸，設定為接近成不 會與處於收縮狀態的中空彈性密封部S抵接之程度的結構。又，被供給至中空部S1的流體，能夠使用供給至搬送室3內的環境氣體、供給至收納容器4內的環境氣體等。

在第2實施形態，能夠對處於膨脹狀態的中空彈性密封部S，透過流體通路S2將中空部內進行真空吸引，藉此將中空彈性密封部S從膨脹狀態變化成收縮狀態。

再者，在圖22，以塗黑成略橢圓形狀的標記示意地顯示中空彈性密封部S。從同圖亦可掌握，在第2實施形態中，在框架21(具體而言為載置台23)的向下面與門部22之間亦配置中空彈性密封部S。

移動限制部L是在限制載置於載置台23上的連結位置之收納容器4朝自框架21分離的方向(上方)移動之移動限制狀態(參照圖22)、和容許載置於載置台23上的連結位置之收納容器4朝自框架21分離的方向移動之移動容許狀態(未圖示)之間可進行切換。亦即，移動限制部L係藉由成為移動限制狀態，能夠保持載置於載置台23上的預定連結位置之收納容器4。

本實施形態之移動限制部L係以可與收納容器本體42中設在蓋部43的周圍部分之鍔部45卡合的卡合片L1為主體而構成。再者，亦可採用具備有使卡合片L1卡合於鍔部45的狀態下朝框架21側移動的拉入部之移動限制部。這樣的移動限制部L係可發揮將收納容器本 體42的鍔部45挾持於卡合片L1與框架21之間的狀態下加以保持的夾具功能。

卡合片L1係可在高度方向H上與收納容器4相面對的面對姿勢(參照圖22)和至少在高度方向H上未與收納容器4相面對的非面對姿勢(未圖示)之間進行移動。

第2實施形態之門開閉裝置2係藉由將卡合片L1作成為非面對姿勢，能夠從載置台23的上方將收納容器4載置到蓋部43接近開口21a之預定連結位置，或使載置於連結位置之收納容器朝載置台23的上方移動。亦即，移動限制部L係藉由將卡合片L1作成為非面對姿勢，形成為移動容許狀態。

這樣的移動限制部L係在將卡合片L1作成為非面對姿勢的狀態下，將收納容器4載置於載置台23上的連結位置，在該時間點以後，將處於非面對姿勢的卡合片L1從非面對姿勢變更成面對姿勢。於是，能夠使卡合片L1卡合於在收納容器本體42的下端部朝外側方突出之鍔部45。其結果，形成為收納容器4的鍔部45挾持於卡合片L1與框架21(具體而言為載置台23)之間的狀態，能夠限制載置於連結位置的收納容器4朝自框架21分離的方向移動。亦即，移動限制部L係藉由將卡合片L1從非面對姿勢變更成面對姿勢，形成為移動限制狀態。

在第2實施形態的門開閉裝置2，將這樣的移動限制部L配置於可挾持收納容器4的鍔部45之四角附近的位置亦即總計4個部位。

如前述所構成門開閉裝置2係藉由從門開閉裝置2的控制器(控制部)對各部賦予驅動指令，執行預定動作。能將這樣的門開閉裝置2以複數台(例如3台)的方式排列配置於搬送室3的一個壁面3A。

如圖22所示，第2實施形態之搬送裝置1係以在共通的清淨室內相互地鄰接的位置所設置之門開閉裝置2及作為搬送室之裝載機3為主體加以構成。搬送裝置1的作動是藉由門開閉裝置2的控制器、搬送裝置1全體的控制器等所控制。搬送室3中與配置有門開閉裝置2的壁面3A相對向的壁面，鄰接設置有例如未圖示的處理裝置(半導體處理裝置)。再者，處理裝置作動係藉由處理裝置控制器所控制。在此，處理裝置全體的控制器、搬送裝置1全體的控制器為門開閉裝置2的控制部之上位控制器。

作為搬送室之裝載機3係為將從收納容器4的內部空間4S移動至框架21的內部空間21S之匣盒(收容有被搬送物W的匣盒)搬送至處理裝置，或將從處理裝置取出的匣盒搬送至門搬送裝置2之門部22。搬送室3係藉由連接門開閉裝置2及處理裝置M，形成為內部空間3S被略密閉之狀態。搬送室3內係使用未圖示的氣體供給口及氣體排出口進行藉由環境氣體之沖洗處理，藉此可提高環境氣體濃度。

在第2實施形態，適用以下的收納容器4，亦即，該收納容器4具備有：透過形成於下端，將內部空間 4S僅可朝下方開放的收納容器本體42；及可開閉搬出搬入口41之蓋部43。又，在收納容器4的內部空間4S，於上下方向H上將複數片被搬送物亦即晶圓呈多段狀收容的匣盒(未圖示)安裝於蓋部43，經由搬出搬入口41將該等晶圓與整個匣盒進行置入取出所構成之習知的收納容器。

在收納容器本體42的下端部，設有較其他部分更朝外側突出之鍔部45。亦即，在收納容器本體42中配置有蓋部43的區域之周圍部分設有鍔部45。在本實施形態，設定為對此鍔部45，前述移動限制部L之卡合片L1進行卡合。

蓋部43係在將收納容器4載置於載置台23上的連結位置之狀態，與門開閉裝置2的門部22相面對者，形成為略板狀。在蓋部43，設有可將此蓋部43鎖定於收納容器本體42的鎖閂部(未圖示)。再者，在以蓋部43封閉搬出搬入口41的狀態下，在於收納容器本體42接觸或接近之預定部分設有墊圈433。又，構成為比起蓋部43的向上面，藉由使墊圈433優先地接觸於收納容器本體42而彈性變形，能夠將收納容器4的內部空間4S完全地加以密閉。

本實施形態之門開閉裝置2係從預定的控制部(此控制部可為門開閉裝置2的控制部，亦可為前述上位控制器)對各部賦予驅動指令，來執行預定動作。在控制部的記憶部，儲存有裝置各部的預定動作程式。此程式為作為可執行的程式儲存於非暫時性電腦可讀取之記錄媒 體(硬碟等)。具備有門開閉裝置2的搬送裝置1之使用方法及作用如以下所述。

首先，藉由沿著搬送室3中配置有門開閉裝置2的共通之壁面3A延伸的直線上之搬運線(動線)作動的OHT等的收納容器搬送裝置，將收納容器4搬送至門開閉裝置2的上方，再載置到載置台23上。此時，例如設在載置台23上的定位用突起嵌合到收納容器4的定位用凹部。又，控制部將載置台23上的未圖示的鎖定爪作成為鎖定狀態。藉此，能夠進行將收納容器4載置於載置台23上的預定連結位置並加以固定之連結處理。在第2實施形態，排列並配置於搬送室3的寬度方向之3台門開閉裝置2的載置台23，能分別載置收納容器4。又，亦可構成為藉由檢測收納容器4是否載置於載置台23上的預定位置之就位感應器(未圖示)，檢測收納容器4載置於載置台23上的連結位置。直到執行連結處理，移動限制部L被維持在將卡合片L1作成為非面對姿勢的移動容許狀態。又，直到執行此連結處理，中空彈性密封部S被維持在收縮狀態。

又，在第2實施形態的門開閉裝置2，控制部進行使用移動限制部L將收納容器4的鍔部45予以保持並固定之處理(收納容器挾持處理)。具體而言，將移動限制部L的卡合片L1從非面對姿勢切換成面對姿勢，使其卡合於收納容器本體42的鍔部45。在此狀態下，能將載置於載置台23上的連結位置之收納容器4的鍔部45在移 動限制部L的卡合片L1與框架23的向上面23T之間予以挾持。亦即，收納容器挾持處理能夠以將移動限制部L從移動容許狀態切換成移動限制狀態的處理達成。

再者，將移動限制部L從移動容許狀態切換成移動限制狀態之時間點，若為將收納容器4載置於載置台23的連結位置後的時間點以後，且使處於收縮狀態的中空彈性密封部S變化成膨脹狀態之前即可。因此，亦可為以下結構，亦即，在剛將收納容器4載置於載置台23上的連結位置後，將移動限制部L從移動容許狀態切換成移動限制狀態。又，亦可為以下結構，亦即，在剛將收納容器4載置於載置台23上的連結位置並經過預定時間後，將移動限制部L從移動容許狀態切換成移動限制狀態。

在第2實施形態的門開閉裝置2，設定為在收納容器挾持處理結束的時間點，處於收縮狀態的中空彈性密封部S接近收納容器本體42的向下面42U。

其次，在第2實施形態的門開閉裝置2，實施以下處理(密封處理)，亦即，控制部將直到收納容器挾持處理結束的時間點設定為收縮狀態的中空彈性密封部狀態變化成膨脹狀態，讓形成於框架21的開口21a的附近之收納容器4與框架21的間隙堵住的處理。其結果，使得中空彈性密封部S與載置於載置台23上的連結位置之收納容器4中設定為密封面的收納容器本體42的向下面42U彈性接觸。藉由經過此密封處理，使得作用於彈性接 觸在收納容器本體42的向下面42U的中空彈性密封部S之供給壓力成為密封面壓，形成良好的密封區域。

在第2實施形態，依據密封處理，中空彈性密封部S彈性接觸的部分為收納容器本體42的向下面42U(鍔部45的向下面)中圍繞收納容器4的搬出搬入口41的附近之部分。

在第2實施形態的門開閉裝置2，將收納容器本體42的向下面42U作為密封面，對此密封面，中空彈性密封部S的中空部S1本身膨脹而能賦予面壓。其結果，即使再因振動等造成密封面變動之情況，亦可確保能立即追隨之密封區域。

實施密封處理，讓中空彈性密封部S變化成膨脹狀態，使得朝自框架21分離的方向按壓的力作用於收納容器4。但，在本實施形態的門開閉裝置2，藉由經過收納容器挾持處理，能夠維持藉由移動限制部L將載置於載置台23上之連結位置的收納容器4予以固定的狀態。因此，能夠防止按壓於中空彈性密封部S的收納容器4朝自框架21分離的方向移動或傾動之事態產生。特別是在本實施形態，於可保持平面視角為矩形狀之鍔部45的四角附近的位置配置移動限制部L。

在第2實施形態的門開閉裝置2，接續密封處理，控制部將連結機構切換成蓋連結狀態(蓋連結處理)。藉由此處理，能將蓋部43以連結機構連結於預先待機於全關位置的門部22並以密接狀態加以保持。又，形成為 可從收納容器本體42取下蓋部43之狀態。又，在第2實施形態的門開閉裝置2，在收納容器4已被載置於載置台23上的連結位置之時間點以後的適宜時序，控制部能夠執行對收納容器4內之沖洗處理。

又，在第2實施形態的門開閉裝置2，控制部執行以下處理(收納容器密閉解除處理)，亦即，使蓋部43與門部22一同移動，開放框架21的開口21a及收納容器4的搬出搬入口41，解除收納容器4內的密閉狀態之處理。具體而言，控制部藉由門移動機構27使門部22從全關位置朝框架21的內部空間21S向下方移動預定距離。再者，由於收納容器密閉解除處理為將收納容器4內開放之處理，故，亦可稱為[收納容器開放處理]。

接著，在第2實施形態的門開閉裝置2，在使收納容器本體42的內部空間4S與搬送室3的內部空間3S連通的狀態下，控制部實施將蓋部43上的匣盒搬送至搬送室3的處理(搬送處理)。被搬送至搬送室3內的匣盒搬送至處理裝置，或搬送至緩衝站。又，收容有藉由處理裝置進行了適宜處理之處理完畢的晶圓之匣盒，經由搬送室3的內部空間3S，載置到保持於定位在全開位置的門部22之蓋部43上。

接著，在第2實施形態的門開閉裝置2，控制部執行以下處理(收納容器密閉處理)，亦即藉由門移動機構27使門部22移動至全關位置，封閉框架21的開口21a及收納容器4的搬出搬入口41，將收納容器4的內部 空間4S予以密閉之處理。具體而言，控制部使處於全開位置的門部22上升預定距離後移動至全關位置。其結果，框架21的開口21a及收納容器4的搬出搬入口41被封閉，收納容器4的內部空間4S形成為密閉狀態。

接著，在第2實施形態之門開閉裝置2，控制部執行以下的處理(蓋連結解除處理)，亦即，將連結機構從蓋連結狀態切換成蓋連結解除狀態的處理。藉由此處理，能夠解除藉由連結機構221之門部22與蓋部43的連結狀態(蓋連結狀態)，將蓋部43安裝於收納容器本體42。

其次，在第2實施形態之門開閉裝置2，接著蓋連結解除處理之後，控制部執行以下的處理(密封解除處理)，亦即，將中空彈性密封部S從膨脹狀態進行狀態變化成收縮狀態，解除藉由中空彈性密封部S之收納容器本體42的向下面42U與框架21之密封狀態的處理。其結果，解除中空彈性密封部S與載置於載置台23上的連結位置之收納容器4的向下面42U的彈性接觸狀態。

在第2實施形態之門開閉裝置2，接著密封解除處理之後，控制部執行以下的處理(收納容器挾持解除處理)，亦即，解除藉由移動限制部L之收納容器4的固定狀態(挾持狀態)的處理。具體而言，將卡合片L1從面對姿勢切換成非面對姿勢，解除卡合片L1對收納容器本體42的鍔部45之卡合狀態，解除藉由移動限制部L之收納容器4的固定狀態。亦即，收納容器挾持解除處理St18 能夠以將移動限制部L從移動限制狀態切換成移動容許狀態的處理來達成。

接著，在第2實施形態的門開閉裝置2，控制部執行以下的處理(連結解除處理)，亦即，解除以載置台23上的鎖定爪鎖定收納容器4的狀態，將載置台23上的收納容器4作成為可朝上方移動的狀態之處理。藉此，收納有完成了預定處理的被搬送物W之匣盒的收納容器4從各門開閉裝置2的載置台23上傳授給收納容器搬送裝置，朝下一個製程被搬出。

如以上所述，第2實施形態之門開閉裝置2係在框架21中的開口21a之開口緣附近區域設有中空彈性密封部S，用以圍繞開口21a，將此中空彈性密封部S構成為在收縮狀態與膨脹狀態之間可進行狀態變化。因此，在將收納容器4載置於收納容器4之蓋部43接近開口21a的載置台23上之預定連結位置的狀態下，藉由將處於收縮狀態的中空彈性密封部S變化成膨脹狀態，藉此，能夠使中空彈性密封面S彈性接觸於收納容器本體中設定於蓋部43的周圍部分之密封面亦即本實施形態之收納容器本體42的向下面42U而形成良好的密封區域。其結果，經由環繞形成於框架21的開口21a之密封區域，可使收納容器4與框架21相互地密接。

並且，若依據第2實施形態之門開閉裝置2，藉由以密封區域將框架21的開口21a與收納容器本體42之間的間隙亦即能與收納容器4的外部及搬送室3的外部 連通的區域加以密閉，可從收納容器4外的環境(外氣)遮斷收納容器4內，可透過密封區域防止、抑制空氣等從外部流入至收納容器4內、搬送室3內之事態產生。其結果，能夠謀求被搬送物之品質提升。其他，即使在第2實施形態之門開閉裝置2，亦可獲得與前述實施形態相同或大致相同的作用效果。

這樣的第2實施形態之門開閉裝置2，可理想地適用於SMIF系統(亦被稱為SMIF裝載機)。

特別是在第2實施形態，利用前述門開閉裝置2的收納容器4的連結方法，其執行密封處理，該密封處理為藉由在將收納容器4載置於載置台23上的預定連結位置後，讓處於收縮狀態的中空彈性密封部S變化成膨脹狀態，來使中空彈性密封部S彈性接觸於收納容器本體42中設定在蓋部43的周圍部分之密封面而形成密封區域。因此，能夠將框架21的開口21a與收納容器本體42之間隙確實地予以密閉。

作為第2實施形態所示的本發明之門開閉裝置，亦可作為構成前述搬送裝置以外的搬送裝置、分類裝置的一部分等加以使用。

再者，前述各種變形例亦適用於第2實施形態之本發明的門開閉裝置。

另外，關於各部的具體結構不限於前述實施形態，在不超出本發明的技術思想範圍可進行各種變更。

4‧‧‧收納容器

4S‧‧‧收納容器的內部空間

21‧‧‧框架

21a‧‧‧開口

21A‧‧‧背面

21B‧‧‧符號

22‧‧‧門部

41‧‧‧搬出搬入口

42‧‧‧本體

43‧‧‧蓋部

45‧‧‧鍔部

211‧‧‧上壁

212‧‧‧起立壁

214‧‧‧窗單元

215‧‧‧開口

216‧‧‧窗框部

216A‧‧‧背面

D‧‧‧前後方向

S‧‧‧密封部

S1‧‧‧中空部

S2‧‧‧流通孔

S3‧‧‧供給路徑

S4、S6‧‧‧開關

S5‧‧‧真空路徑

Claims (7)

1. 一種門開閉裝置，係與搬送室鄰接設置，用來在收納容器本體的內部空間可收納被搬送物之收納容器與前述搬送室之間進行前述被搬送物的置入取出，其特徵為具備有：板狀框架，該框架是構成前述搬送室的壁面之一部分，並形成有用來開放該搬送室內的開口；門部，該門部是可開閉前述開口；載置台，該載置台是以使可開閉前述收納容器本體的內部空間之蓋部與前述門部相對向之方向，載置前述收納容器，對前述框架可進退移動；及中空彈性密封部，該中空彈性密封部是在前述框架中的前述開口之開口緣或開口緣附近區域設置成環繞前述開口，且在收縮狀態與膨脹狀態之間可進行狀態變化，在將前述載置台定位於載置在前述載置台上的前述收納容器之前述蓋部接近前述開口的預定連結位置的狀態下，藉由將處於前述收縮狀態的前述中空彈性密封部變化成前述膨脹狀態，使前述中空彈性密封部彈性接觸於前述收納容器本體中設定於前述蓋部的周圍部分之密封面而形成密封區域。
2. 如申請專利範圍第1項之門開閉裝置，其中，還具備移動限制部，該移動限制部是在限制定位於前述連結位置的前述載置台上之前述收納容器朝自前述框架分離的方向移動之移動限制狀態、和容許定位於前述連結位置的前 述載置台上之前述收納容器朝自前述框架分離的方向移動之移動容許狀態之間可進行切換，在將前述載置台定位於前述連結位置的時間點以後，將前述移動限制部從前述移動容許狀態切換成前述移動限制狀態，在維持著該移動限制狀態的狀況下，使處於前述收縮狀態的前述中空彈性密封部變化成前述膨脹狀態。
3. 一種門開閉裝置，係與搬送室鄰接設置，用來在收納容器本體的內部空間可收納被搬送物之收納容器與前述搬送室之間進行前述被搬送物的置入取出，其特徵為具備有：框架，該框架是構成前述搬送室的壁面的一部分；門部，該門部可開閉開口，該開口是形成在前述框架，用以開放藉由前述框架所區隔之空間；載置台，該載置台是在前述框架中，形成於：以使可開閉前述收納容器本體的內部空間之蓋部與前述門部相對向之方向，能載置前述收納容器之位置；及中空彈性密封部，該中空彈性密封部是在前述框架中的前述開口之開口緣或開口緣附近區域設置成環繞前述開口，且在收縮狀態與膨脹狀態之間可進行狀態變化，在將前述收納容器載置於前述收納容器之前述蓋部接近前述開口的前述載置台上之預定連結位置的狀態下，藉由將處於前述收縮狀態的前述中空彈性密封部變化成前述膨脹狀態，使前述中空彈性密封部彈性接觸於前述收納容器本體中設定於前述蓋部的周圍部分之密封面而形成密封 區域。
4. 一種搬送裝置，其特徵為具備有：搬送室；設在前述搬送室的壁面之如申請專利範圍第1至3項中任一項之門開閉裝置；及設在前述搬送室內，且在前述門開閉裝置上的前述收納容器與前述搬送室之間可進行前述被搬送物的置入取出之搬送機械人。
5. 一種分類裝置，其特徵為具備有：搬送室；設在前述搬送室的壁面之複數個如申請專利範圍第1至3項中任一項之門開閉裝置；及設在前述搬送室內，且至少在複數個前述門開閉裝置上的前述收納容器間，可進行前述被搬送物的置入取出之搬送機械人。
6. 一種收納容器的連結方法，係在將能以蓋部密閉收納容器本體的內部空間之收納容器載置於如申請專利範圍第1或2項之門開閉裝置的前述載置台上的狀態下，密接於前述框架，其特徵為：執行密封處理，該密封處理是在將載置有前述收納容器之前述載置台移動至前述蓋部接近前述開口的預定連結位置後，藉由將處於前述收縮狀態的前述中空彈性密封部變化成前述膨脹狀態，使前述中空彈性密封部彈性接觸於前述收納容器本體中設定於前述蓋部的周圍部分之密封面而形成密封區域。
7. 一種收納容器的連結方法，係在將能以蓋部密閉收納容器本體的內部空間之收納容器載置於如申請專利範圍第3項之門開閉裝置的前述載置台上的狀態下，密接於前 述框架，其特徵為：執行密封處理，該密封處理是在將前述收納容器載置於前述蓋部接近前述開口之前述載置台上的預定連結位置後，藉由將處於前述收縮狀態的前述中空彈性密封部變化成前述膨脹狀態，使前述中空彈性密封部彈性接觸於前述收納容器本體中設定於前述蓋部的周圍部分之密封面而形成密封區域。