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TW201638997A - 描繪資料的作成方法，能量射束描繪方法及能量射束描繪裝置 - Google Patents

描繪資料的作成方法，能量射束描繪方法及能量射束描繪裝置 Download PDF

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TW201638997A
TW201638997A TW104143390A TW104143390A TW201638997A TW 201638997 A TW201638997 A TW 201638997A TW 104143390 A TW104143390 A TW 104143390A TW 104143390 A TW104143390 A TW 104143390A TW 201638997 A TW201638997 A TW 201638997A
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Abstract

本實施形態之描繪資料作成方法，係用來進行藉由能量射束受到描繪之描繪圖樣的縮放處理之描繪資料的作成方法，其特徵為：將前述描繪圖樣的頂點以複數個向量串連，從前述複數個向量，抽出位於同一直線上且方向相反之一對向量，在分別包含所抽出之一對向量的相接近的一對端點在內之該一對端點間，於和該一對向量正交之方向將前述描繪圖樣分割，而生成複數個圖形，對於前述複數個圖形每一者，作成描繪資料，該描繪資料定義著：圖形資料，示意圖形的形狀、尺寸、及位置；以及縮放資訊，示意有無縮放、當有縮放的情形下之縮放方向、及每個縮放方向的縮放量。

Description

描繪資料的作成方法，能量射束描繪方法及能量射束描繪裝置
本發明有關能量射束描繪裝置的描繪資料作成方法、能量射束描繪方法及能量射束描繪裝置。
隨著LSI的高度積體化，對於半導體裝置要求之電路線寬正逐年微細化。為了對半導體裝置形成期望的電路圖樣，會採用下述手法，即，利用縮小投影型曝光裝置，將形成於石英上之高精度的原圖圖樣(光罩，或特別是用於步進機或掃描機者亦稱為倍縮光罩)縮小轉印至晶圓上。高精度的原圖圖樣，係藉由電子束描繪裝置來描繪，運用所謂的電子束微影技術。
作為描繪對象之圖樣的形狀係多種多樣，一般而言，輸入至描繪裝置的描繪資料，會被分割成描繪裝置所能夠形成之圖形種類。因此，和相鄰圖形接觸之圖形會被定義成為描繪資料。此外，電子束描繪中，會考量和電子束的照射量無關之例如負載效應(loading effect)等所引起的尺寸變動，而將欲描繪之圖形圖樣的形狀予以縮放(resize)來描繪。圖形的縮放處理，是在將描繪資料輸 入至描繪裝置之前、或於描繪裝置內進行(例如參照日本特許公開公報2009-32904號、同2012-114105號)。
當於描繪裝置內進行縮放處理的情形下，輸入至描繪裝置的描繪資料中會被附加有縮放資訊。縮放資訊，是將1個圖樣分割成複數個圖形，並示意對於每一圖形有無縮放以及有縮放的情形下之縮放方向。但，依圖樣形狀及分割方法不同，會發生無法附加正確的縮放資訊之問題。
本發明提供一種可於描繪裝置內精度良好地進行縮放處理之描繪資料作成方法、能量射束描繪方法及能量射束描繪裝置。
一實施形態之描繪資料作成方法，係用來進行藉由能量射束受到描繪之描繪圖樣的縮放處理之方法，其特徵為：將前述描繪圖樣的頂點以複數個向量串連，從前述複數個向量，抽出位於同一直線上且方向相反之一對向量，在分別包含所抽出之一對向量的相接近的一對端點在內之該一對端點間，於和該一對向量正交之方向將前述描繪圖樣分割，而生成複數個圖形，對於前述複數個圖形每一者，作成描繪資料，該描繪資料定義著：圖形資料，示意圖形的形狀、尺寸、及位置；以及縮放資訊，示意有無縮放、當有縮放的情形下之縮放方向、及每個縮放方向的縮放量。
52‧‧‧面積密度算出部
54‧‧‧區塊分割部
56‧‧‧判定部
58‧‧‧縮放處理部
60‧‧‧擊發分割部
62‧‧‧照射量算出部
64‧‧‧分配部
100‧‧‧描繪裝置
101‧‧‧基板
102‧‧‧電子鏡筒
103‧‧‧描繪室
105‧‧‧XY平台
110‧‧‧控制計算機
112‧‧‧記憶體
120‧‧‧偏向控制電路
140、142‧‧‧記憶裝置
150‧‧‧描繪部
160‧‧‧控制部
200‧‧‧電子束
201‧‧‧電子槍
202‧‧‧照明透鏡
203‧‧‧第1成形孔徑
204‧‧‧投影透鏡
205‧‧‧偏向器
206‧‧‧第2成形孔徑
207‧‧‧對物透鏡
208‧‧‧主偏轉器
209‧‧‧副偏轉器
212‧‧‧遮沒偏轉器
214‧‧‧遮沒孔徑
圖1為第1實施形態之描繪裝置的概略構成圖。
圖2為第1實施形態之描繪方法說明流程圖。
圖3為描繪資料的格式的概念圖。
圖4(a)~4(d)為縮放處理的例子示意圖。
圖5(a)~5(c)為縮放資訊的例子示意圖。
圖6(a)，6(b)為縮放處理的例子示意圖。
圖7(a)~7(e)為比較例之圖形分割示意圖。
圖8為將圖樣的頂點予以串連之向量示意圖。
圖9(a)~9(f)為圖形分割的例子示意圖。
圖10(a)~10(c)為縮放處理的例子示意圖。
圖11(a)~11(c)為縮放處理的例子示意圖。
圖12(a)~12(h)為圖形分割的例子示意圖。
圖13(a)~13(d)為縮放處理的例子示意圖。
圖14(a)、14(b)為縮放處理的例子示意圖。
圖15(a)、15(b)為縮放處理的例子示意圖。
圖16(a)~16(c)為比較例之縮放處理示意圖。
圖17(a)~17(f)為圖形分割的例子示意圖。
圖18(a)~18(c)為縮放處理的例子示意圖。
圖19(a)~19(d)為縮放處理的例子示意圖。
圖20(a)~20(c)為圖形分割的例子示意圖。
圖21(a)~21(c)為縮放處理的例子示意圖。
圖22(a)~22(c)為縮放處理的例子示意圖。
圖23(a)~23(c)為縮放處理的例子示意圖。
圖24(a)、24(b)為圖形分割的例子示意圖。
圖25(a)、25(b)為縮放處理的例子示意圖。
圖26(a)~26(d)為縮放處理的例子示意圖。
圖27(a)、27(b)為比較例之縮放處理示意圖。
圖28(a)、28(b)為縮放處理的例子示意圖。
圖29(a)、29(b)為描繪圖樣的例子示意圖。
以下，實施形態中，係說明使用了電子束作為能量射束的一例之構成。但，能量射束不限於電子束，也可以是離子束等帶電粒子束，亦可為雷射。此外，作為能量射束描繪裝置的一例，係說明可變成形型描繪裝置。
[第1實施形態]
圖1為第1實施形態中的描繪裝置的概略構成圖。如圖1所示，描繪裝置100具備描繪部150與控制部160。描繪裝置100為帶電粒子束描繪裝置之一例。特別是可變成形型(VSB型)描繪裝置之一例。描繪部150具備電子鏡筒102與描繪室103。在電子鏡筒102內，配置有電子槍201、照明透鏡202、遮沒偏向器(遮沒器)212、遮沒孔徑214、第1成形孔徑203、投影透鏡204、偏向器205、第2成形孔徑206、對物透鏡207、主偏向器208及副偏向器209。在描繪室103內，配置有至少可於XY方向移動之XY平台105。亦可在主偏向器208的下方設置 副副偏向器，而做成3段偏向器。在XY平台105上，配置著塗布有阻劑之作為描繪對象的基板101。基板101包括用來製造半導體裝置的曝光用光罩或矽晶圓等。光罩包括光罩底板(mask blanks)。
控制部160具有控制計算機110、記憶體112、偏向控制電路120、及磁碟裝置等記憶裝置140，142。偏向控制電路120連接至各偏向器。
控制計算機110具有面積密度算出部52、區塊分割部54、判定部56、縮放處理部58、擊發分割部60、照射量算出部62、及分配部64。控制計算機110所必要的輸入資料、及演算出的結果，會隨時記憶於記憶體112。
欲描繪之圖形的縮放處理，係依據後述縮放資訊而於描繪裝置內進行。藉由進行縮放處理，能夠修正圖形圖樣的尺寸變動。特別是適合修正非因劑量所引起的現象，例如因負載效應、微負載效應、及耀光效應(flare effect)所引起的圖樣尺寸變動。於描繪裝置內可做縮放處理，藉此使用者側便無需在事前進行縮放處理。
圖2為說明描繪方法之流程圖。本描繪方法，具備描繪資料輸入工程(S102)、面積密度算出工程(S104)、區塊分割工程(S106)、判定工程(S108)、縮放處理工程(S110)、擊發分割工程(S112)、照射量算出工程(S114)、分配工程(S116)、描繪工程(S118)。分配工程(S116)，亦可於擊發分割工程(S112)之前實施。
圖3為用來說明描繪資料的格式之概念圖。圖3中， 從外部輸入至描繪裝置100的描繪資料，具有示意各圖形的位置、形狀、尺寸之圖形資料、以及縮放資訊。具有縮放資訊的描繪資料，係從描繪裝置100的外部輸入，存儲於記憶裝置140。
例如當圖形為矩形的情形下，縮放資訊中，針對上下左右的各個邊，具有有無縮放、有縮放的情形下之縮放方向、及用來計算每一縮放方向的縮放量(修正量)之資訊。
利用圖4(a)~4(d)、圖5(a)~5(c)來說明縮放資訊。圖4(a)揭示T字型的圖樣P1作為描繪圖樣的一例。設想將此圖樣P1的尺寸縮小而做成如圖4(b)所示般的圖樣P2之縮放。
將圖樣P1分割成描繪裝置所能夠形成之圖形種類，並對每一圖形作成描繪資料。例如，將圖樣P1如圖4(c)所示般分割成接觸而相鄰之3個矩形的圖形F1、F2、F3。中央的圖形F2，相較於左右鄰接之圖形F1、F3而言上下方向的尺寸較長。
將圖形F1、F2、F3如圖4(d)所示般縮放，藉此便能表示出圖樣P2。在此，把將尺寸縮小之縮放方向訂為正、將尺寸放大之縮放方向訂為負。圖形F1，是將上邊朝正方向、下邊朝正方向、左邊朝正方向、右邊朝負方向縮放。圖形F2，是將上邊朝正方向、下邊朝正方向、左邊朝正方向、右邊朝正方向縮放。圖形F3，是將上邊朝正方向、下邊朝正方向、左邊朝負方向、右邊朝正方向縮 放。
將圖形F1的右邊的位置朝負方向縮放圖形F2中將左邊朝正方向縮放之量，藉此維持兩者的連接。此外，將圖形F3的左邊的位置朝負方向縮放圖形F2中將右邊朝正方向縮放之量，藉此維持兩者的連接。
圖形F1、F2、F3的縮放資訊分別如圖5(a)、5(b)、5(c)般，針對上下左右的邊，示意縮放方向以及用來計算縮放量之資訊(圖中僅簡單寫成「縮放量」)。縮放資訊內的縮放方向帶有2位元的值，「01」為正、「10」為負、「00」表示不縮放。
像這樣，縮放資訊中，針對圖形的各邊，具有示意有無縮放及縮放方向之2位元的值。此外，縮放資訊中，針對圖形的各邊，包含用來計算每一縮放方向的縮放量(修正量)之資訊。
圖6(a)揭示描繪圖樣的另一例之圖樣P11。設想將此圖樣P11的尺寸縮小而做成如圖6(b)所示般的圖樣P12之縮放。
當將圖樣P11如圖7(a)所示般於縱方向劃出分割線而分割成3個矩形的圖形F11、F12、F13的情形下，會無法附加縮放資訊使其表現出圖樣P12。
例如，如圖7(b)所示，當將圖形F11、F12、F13的上邊、下邊、左邊、右邊朝正方向縮放的情形下，無法維持圖形間的連接。
為了維持圖形間的連接，需進行如圖7(c)、7 (d)或7(e)般的縮放。但，圖7(c)中，左側圖形的右邊、中央圖形的左邊及右邊、右側圖形3的左邊不是朝正方向。圖7(d)中，是將左側圖形的右邊及右側圖形的左邊朝負方向縮放將中央圖形的左邊及右邊朝正方向縮放之量，因此無法表現出圖樣P12。圖7(e)中，是將中央圖形的左邊及右邊朝負方向縮放將左側圖形的右邊及右側圖形的左邊朝正方向縮放之量，因此無法表現出圖樣P12。
當將附加了如圖7(b)~7(e)之縮放資訊的描繪資料輸入至描繪裝置100的情形下，會無法於描繪裝置100內精度良好地進行縮放處理，對於基板101的圖樣描繪精度會降低。本實施形態，係作成附加了正確的縮放資訊之描繪資料，以便能夠於描繪裝置內精度良好地進行縮放處理。
為了附加正確的縮放資訊，本實施形態中係如以下般分割描繪圖樣。首先，以繞描繪圖樣的外周一圈的方式將頂點以複數個向量串連。例如，圖6(a)所示圖樣P11的頂點，如圖8般以向量V1~V12圍繞。
接著，抽出位於同一直線上，且方向相反之向量。圖8中，抽出向量V1及V5、向量V7及V11。
接著，穿過所抽出之位於同一直線上之向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。向量V1與向量V5的向量終點彼此相向。向量V7與向量V11的向量起點彼此相向。例如，如圖9(b)所示，以穿 過向量V5的終點及向量V7的起點的方式將圖樣P11分割。或是，如圖9(c)所示，以穿過向量V1的終點及向量V11的起點的方式將圖樣P11分割。圖9(a)表示分割前的圖樣P11。
其餘的圖形則任意分割。例如，當如圖9(b)所示般分割的情形下，其餘的圖形(圖樣P11的下側)如圖9(d)或圖9(e)般分割。當如圖9(c)所示般分割的情形下，其餘的圖形(圖樣P11的上側)如圖9(e)或圖9(f)般分割。
當將圖樣P11如圖9(d)般分割成5個矩形的圖形F21、F22、F23、F24、F25的情形下，進行如圖10(a)般之縮放。圖形F21，是將上邊、左邊、右邊朝正方向縮放，將下邊朝負方向縮放。圖形F22，是將上邊、下邊、左邊朝正方向縮放，將右邊朝負方向縮放。圖形F23，是將上邊、下邊、左邊、右邊朝正方向縮放。圖形F24，是將上邊、右邊、左邊朝正方向縮放，將下邊朝負方向縮放。圖形F25，是將上邊、下邊、右邊朝正方向縮放，將左邊朝負方向縮放。
藉由進行如圖9(d)般的分割，便能夠附加維持縮放後的圖形的連接，同時表現出圖樣P12之縮放資訊。
當將圖樣P11如圖9(e)般分割成4個矩形的圖形F26、F27、F28、F29的情形下，進行如圖10(b)般之縮放。圖形F26，是將上邊、左邊、右邊朝正方向縮放，將下邊朝負方向縮放。圖形F27，是將上邊、左邊、左邊朝 正方向縮放，將下邊朝負方向縮放。圖形F28，是將上邊、下邊、左邊、右邊朝正方向縮放。圖形F29，是將下邊、右邊、左邊朝正方向縮放，將上邊朝負方向縮放。
藉由進行如圖9(e)般的分割，便能夠附加維持縮放後的圖形的連接，同時表現出圖樣P12之縮放資訊。
當將圖樣P11如圖9(f)般分割成4個矩形的圖形F30、F31、F32、F33的情形下，進行如圖10(c)般之縮放。圖形F30，是將上邊、下邊、左邊、右邊朝正方向縮放。圖形F31，是將上邊、下邊朝正方向縮放，將左邊、右邊朝負方向縮放。圖形F32，是將下邊、左邊、右邊朝正方向縮放，將上邊朝負方向縮放。圖形F33，是將上邊、下邊、右邊、左邊朝正方向縮放。
藉由進行如圖9(f)般的分割，便能夠附加維持縮放後的圖形的連接，同時表現出圖樣P12之縮放資訊。
將描繪圖樣的頂點予以串連之向量中，位於同一直線上且方向成為相反之第1向量及第2向量，於縮放描繪圖樣時會朝相反方向移動。因此，將描繪圖樣分割成複數個圖形後，當含有第1向量的邊、及含有第2向量的邊重疊的情形下，對於這些邊便無法附加正確的縮放資訊。例如，若進行如圖7(a)般的分割，則含有向量V5的圖形F11的右邊及含有向量V1的圖形F12的左邊便會重疊。因此，對於圖形F11的右邊及圖形F12的左邊無法附加適當的縮放資訊。同樣地，對於圖形F12的右邊及圖形F13的左邊無法附加適當的縮放資訊。
另一方面，本實施形態中，是穿過所抽出之位於同一直線上之向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。因此，含有位於同一直線上且方向成為相反之向量的邊便不會重疊。例如，圖9(d)中，含有向量V5的圖形F21的右邊、及含有向量V1的圖形F23的左邊不會重疊。圖9(e)中，含有向量V5的圖形F26的右邊、及含有向量V1的圖形F29的左邊不會重疊。圖9(f)中，含有向量V5的圖形F30的右邊、及含有向量V1的圖形F32的左邊不會重疊。因此，能夠對各圖形附加適當的縮放資訊。
圖11(a)揭示描繪圖樣的另一例之圖樣P21。設想將此圖樣P21的尺寸縮小而做成如圖11(b)所示般的圖樣P22之縮放。首先，以繞描繪圖樣P21的外周一圈的方式將頂點以複數個向量串連。圖樣P21的外周，如圖11(c)所示，以向量V21~V32圍繞。
接著，抽出位於同一直線上，且方向相反之向量。圖11(c)中，抽出向量V23及V27、向量V27及V31。
接著，穿過所抽出之位於同一直線上之向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。向量V23與向量V27的向量起點彼此相向。向量V27與向量V31的向量終點彼此相向。
例如，如圖12(b)所示，以穿過向量V27的起點及終點的方式將圖樣P21分割。或是，如圖12(c)所示，以穿過向量V23的起點及向量V31的終點的方式將圖樣 P21分割。或是，如圖12(d)所示，以穿過向量V23的起點及向量V27的終點的方式將圖樣P21分割。圖12(a)表示分割前的圖樣P21。
其餘的圖形則任意分割。當如圖12(b)所示般分割的情形下，其餘的圖形如圖12(e)或圖12(f)般分割。當如圖12(c)所示般分割的情形下，其餘的圖形如圖12(f)或圖12(g)般分割。當如圖12(d)所示般分割的情形下，其餘的圖形如圖12(f)或圖12(h)般分割。
當將圖樣P21如圖12(e)般分割成5個矩形的圖形之情形下，將各圖形如圖13(a)般縮放，藉此便能表現出圖樣P22。當將圖樣P21如圖12(f)般分割成5個矩形的圖形之情形下，將各圖形如圖13(b)般縮放，藉此便能表現出圖樣P22。當將圖樣P21如圖12(g)般分割成5個矩形的圖形之情形下，將各圖形如圖13(c)般縮放，藉此便能表現出圖樣P22。當將圖樣P21如圖12(h)般分割成5個矩形的圖形之情形下，將各圖形如圖13(d)般縮放，藉此便能表現出圖樣P22。
圖12(e)~12(h)中，於描繪圖樣P21分割後，含有向量V23的邊、及含有向量V27的邊不會重疊。此外，含有向量V27的邊、及含有向量V31的邊不會重疊。因此，能夠對各圖形附加適當的縮放資訊。
將描繪圖樣分割成複數個圖形而包含各圖形的位置、形狀、尺寸、及縮放資訊之描繪資料，係於描繪裝置100 的外部作成。例如，資料變換裝置，將在使用者側作成的設計資料亦即佈局資料(例如CAD資料等)予以資料變換做可輸入至描繪裝置100之描繪資料時，會進行上述般的圖形分割，附加縮放資訊，而作成描繪資料。圖2的步驟S102中，作成的描繪資料會被存儲於記憶裝置140。
面積密度算出部52，將基板101的描繪區域依每一規定尺寸之網目狀的網目區域，算出網目區域內的圖樣的面積密度(步驟S104)。作為網目尺寸，例如合適為1mm~2mm左右。
區塊分割部54，將基板101的描繪區域分割成作為資料處理單位之區塊區域(步驟S106)。
判定部56，利用描繪資料，對每一圖形，判定有無縮放、縮放方向、及縮放量(步驟S108)。
縮放處理部58，對每一圖形，依據判定結果縮放尺寸(步驟S110)。
擊發分割部60，將各圖形分割成1次的電子束200的擊發所能夠形成的尺寸之複數個擊發圖形(步驟S112)。
照射量算出部62，對每一擊發圖形，算出以電子束200照射之照射量(步驟S114)。
分配部64，在基板101的描繪區域以副偏向器209所能夠偏向的尺寸被網目狀地假想分割而成之區域，將該擊發圖形做分配處理(步驟S116)。像以上這樣生成的各擊發用的資料(擊發資料)，會依生成的順序依序暫時 地被存儲於記憶裝置142。
偏向控制電路120，讀出擊發資料，並遵照擊發資料，對各偏向器輸出必要的偏向量的偏向電壓。描繪部150，將各擊發圖形逐一組合，藉此描繪縮放後的圖形圖樣(步驟S118)。
像這樣，描繪部150，利用縮放後的圖形，以電子束對基板101描繪該圖形圖樣。描繪部150，具體而言係如下述般動作。
從電子槍201(放出部)放出的電子束200，當通過遮沒偏向器212內時，藉由遮沒偏向器212，在射束ON的狀態下被控制成通過遮沒孔徑214，在射束OFF的狀態下則被偏向而使得射束全體被遮沒孔徑214遮蔽。從射束OFF的狀態變為射束ON，其後再變為射束OFF為止前通過了遮沒孔徑214的電子束200，便成為1次電子束的擊發。
遮沒偏向器212係控制通過的電子束200的方向，而交互地生成射束ON的狀態及射束OFF的狀態。舉例來說，只要在射束ON的狀態下不施加電壓，而在射束OFF時對遮沒偏向器212施加電壓即可。在該各擊發的照射時間內，照射至基板101之電子束200的每一擊發的照射量會受到調整。
如以上這樣，藉由通過遮沒偏向器212及遮沒孔徑214而生成之各擊發的電子束200，會藉由照明透鏡202而對具有矩形例如長方形的孔之第1成形孔徑203全體做 照明。在此，係將電子束200先成形為矩形例如長方形。
然後，通過了第1成形孔徑203的第1孔徑像之電子束200，會藉由投影透鏡204而被投影至第2成形孔徑206上。藉由偏向器205，第2成形孔徑206上的第1孔徑像受到偏向控制，而能夠改變其射束形狀及尺寸。這樣的可變成形會對每個擊發進行，通常對於每個擊發會成形為不同的射束形狀及尺寸。
通過了第2成形孔徑206的第2孔徑像之電子束200，會藉由對物透鏡207而將焦點對合，藉由主偏向器208及副偏向器209而受到偏向，照射至連續性移動的XY平台105上配置之基板101的期望位置。像以上這樣，藉由各偏向器，電子束200的複數個擊發會依序被偏向至作為基板之基板101上。
本實施形態中，將描繪圖樣的頂點以向量串連，並抽出位於同一直線上且方向成為相反之向量，穿過所抽出的向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。像這樣將描繪圖樣分割的情形下，含有位於同一直線上且方向成為相反之向量的邊彼此便不會重疊。因此，能夠對各圖形附加適當的縮放資訊。
藉由對欲被輸入的描繪資料附加這樣的縮放資訊，便能於描繪裝置內精度良好地進行縮放。
上述實施形態中，係舉例說明了以穿過所抽出的一對向量的相向的端點的其中一方之方式來將描繪圖樣分割，但亦可穿過將相向的端點予以連結之線段上的任意點，而 以和此線段正交之方式來分割。也就是說，亦可在所抽出的一對向量的相接近之一對端點間，於和一對向量正交之方向將描繪圖樣分割。依照這樣的分割，也能對分割後的各圖形附加適當的縮放資訊。
[第2實施形態]
圖14(a)揭示包含斜邊的描繪圖樣的一例之圖樣P41。設想將此圖樣P41的尺寸放大而做成如圖14(b)所示般的圖樣P42之縮放。
當將包含斜邊的圖樣予以分割的情形下，首先將包含斜邊之三角形(直角三角形)拿掉。如圖15(a)所示，從圖樣P41將三角形F51拿掉。
接著，以繞拿掉三角形後的圖樣的外周一圈的方式將頂點以複數個向量串連。拿掉三角形F51的圖樣P41的外周，如圖15(b)所示，以向量V51~V58圍繞。
由於沒有位於同一直線上且方向為相反之向量，因此將剔除三角形F51之圖樣P41如圖16(a)所示，分割成矩形的圖形F52及F53。
當進行了這樣的分割的情形下，會無法附加縮放資訊使其表現出圖樣P42。例如，如圖16(b)所示，當以三角形F51’的右下頂點、及矩形F53’的右上頂點之位置相合的方式予以縮放的情形下，會無法附加圖中斜線部分的縮放資訊。
當以不發生圖16(b)的斜線部分的方式將矩形F53 的上邊予以縮放的情形下，如圖16(c)所示，三角形F51”的右下頂點、及矩形F53”的右上頂點之位置不會相合，而發生錯差。
如圖16(b)、16(c)般無法附加正確的縮放資訊的主要因素在於，在和圖15(b)的向量V51相對應之邊、及在和向量V55相對應之邊，其縮放量相異。
和向量V55相對應之邊，為三角形F51的邊，此邊的縮放量，與形成圖樣P41的外周之和向量V51相對應之邊的縮放量相異。因此，無法對含有該些向量之矩形F53的上邊附加適當的縮放資訊。
鑑此，本實施形態中，以繞拿掉三角形後的圖樣的外周一圈的方式將頂點以複數個向量串連後，首先抽出位於同一直線上且方向相反之向量。接著，抽出位於同一直線上，方向相同，且至少其中一方為三角形的一邊之向量。然後，穿過所抽出之位於同一直線上之向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。此處，所謂三角形不僅是等腰直角三角形，還包含任意角的三角形。縮放量會依三角形的種類(角度)而變化。當縮放量相異的情形下，即使位於同一直線上而方向相同，仍必須穿過向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。
例如，圖15(b)例子中，向量V51及向量V55位於同一直線上而方向相同，且向量V55相當於三角形F51的一邊。因此，抽出向量V51及向量V55。向量V51的 終點、及向量V55的起點相向。
例如，如圖17(b)所示，以穿過向量V51的終點的方式將圖樣P41分割。或是，如圖17(c)所示，以穿過向量V55的起點的方式將圖樣P41分割。
其餘的圖形則任意分割。當如圖17(b)所示般分割的情形下，其餘的圖形如圖17(d)或圖17(e)般分割。當如圖17(c)所示般分割的情形下，其餘的圖形如圖17(e)或圖17(f)般分割。
當將圖樣P41如圖17(d)般分割成3個矩形及1個三角形之情形下，將各圖形如圖18(a)般縮放，藉此便能表現出圖樣P42。當將圖樣P41如圖17(e)般分割成3個矩形及1個三角形之情形下，將各圖形如圖18(b)般縮放，藉此便能表現出圖樣P42。當將圖樣P41如圖17(f)般分割成3個矩形及1個三角形之情形下，將各圖形如圖18(c)般縮放，藉此便能表現出圖樣P42。
圖17(d)~17(f)中，含有向量V51的邊、及含有向量V55的邊不會重疊。因此，能夠對各圖形附加適當的縮放資訊。
針對描繪圖樣包含斜邊之情形的另一例，說明描繪圖樣的分割方法。圖19(a)揭示包含斜邊的描繪圖樣的一例之圖樣P31。設想將此圖樣P31的尺寸縮小而做成如圖19(b)所示般的圖樣P32之縮放。
首先，如圖19(c)所示，從圖樣P31將三角形T1及T2拿掉。接著，以繞拿掉三角形後的圖樣的外周一圈 的方式將頂點以複數個向量串連。拿掉三角形T1及T2的圖樣P31的外周，如圖19(d)所示，以向量V41~V48圍繞。
接著，抽出位於同一直線上，且方向相反之向量。圖19(d)中，抽出向量V43及V47。本例中，位於同一直線上的向量僅有向量V43及V47。
接著，穿過所抽出之位於同一直線上之向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。向量V43與向量V47的向量終點彼此相向。將其餘的圖形任意分割。如此一來，圖樣P31會如圖20(a)、20(b)或20(c)般被分割。
當將圖樣P31如圖20(a)般分割成3個矩形及2個三角形之情形下，將各圖形如圖21(a)般縮放，藉此便能表現出圖樣P32。當將圖樣P31如圖20(b)般分割成3個矩形及2個三角形之情形下，將各圖形如圖21(b)般縮放，藉此便能表現出圖樣P32。當將圖樣P31如圖20(c)般分割成3個矩形及2個三角形之情形下，將各圖形如圖21(c)般縮放，藉此便能表現出圖樣P32。
本實施形態中，以繞拿掉三角形後的圖樣的外周一圈的方式將頂點以複數個向量串連，並抽出位於同一直線上、方向相同、且至少其中一方為三角形的一邊之向量，穿過所抽出的向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。對於像這樣分割出的圖形便能夠附加適當的縮放資訊。藉由對描繪資料附加適當的縮放 資訊，便能於描繪裝置內精度良好地進行縮放。
[第3實施形態]
圖22(a)揭示包含斜邊的描繪圖樣的一例之圖樣P51。設想將此圖樣P51的尺寸放大，做成如圖22(b)所示般的圖樣P52之縮放處理、及設想將圖樣P51的尺寸縮小，做成如圖22(c)所示般的圖樣P53之縮放處理。
首先，將包含斜邊之三角形(直角三角形)拿掉。如圖23(a)所示，三角形的圖形F51、F52從圖樣P51被拿掉。圖樣P51，被分割成2個三角形的圖形F51、F52，及1個矩形的圖形F53。
在此，於頂點A1連接著4個邊H1~H4的一端，邊H1~H4以頂點A1為中心以90°間隔定位。也就是說，邊H1與邊H3的一端於頂點A1連接而位於同一直線上，邊H2與邊H4的一端於頂點A1連接而位於同一直線上。邊H1與邊H3所構成的線段、及邊H2與邊H4所構成的線段係正交。
邊H1為矩形F53的一邊，邊H3為三角形F52的一邊，因此它們的縮放量相異。同樣地，邊H2為三角形F51(F52)的一邊，邊H4為矩形F53的一邊，因此它們的縮放量相異。像這樣當4個邊的一端以正交狀連接，夾著連接點(頂點A1)位於同一直線上之邊彼此的縮放量相異的情形下，若僅做分割出的圖形的縮放，則無法表現出縮放後的圖形。因此，於縮放時必須追加圖形。
例如，如圖22(b)所示當欲表現出將圖樣P51的尺寸放大而成之圖樣P52的情形下，如圖23(b)所示，必須將圖形F51、F52、F53縮放成為F51’、F52’、F53’，還要在圖形F53’的右側追加矩形的圖形F54。
如圖22(c)所示當欲表現出將圖樣P51的尺寸縮小而成之圖樣P53的情形下，如圖23(c)所示，必須將圖形F51、F52、F53縮放成為F51”、F52”、F53”，還要在圖形F51”與圖形F52”之間追加梯形的圖形F55。
在此情形下，描繪資料中，針對追加圖形，具有示意位置、形狀、尺寸之圖形資料、及縮放資訊。但，和追加的圖形F54、F55相對應之區域，並不存在於描繪圖樣P51中。因此，追加圖形的圖形資料中，圖形的寬度(X方向或Y方向的尺寸)設為0。
例如，圖形F54的描繪資料中，位置被設定在和圖形F53的邊H4相當之位置。形狀被設定為矩形。Y方向的尺寸被設定為和邊H4相同長度，X方向的尺寸被設定為0。縮放資訊中左邊被設定為無縮放、上邊被設定為縮放方向「正」、下邊及右邊被設定為縮放方向「負」。此外，還設定各邊的縮放量。
圖形F55的描繪資料中，位置被設定在和圖形F52的邊H2相當之位置。形狀被設定為梯形。Y方向的尺寸被設定為和邊H4相同長度，X方向的尺寸被設定為0。縮放資訊中右邊被設定為無縮放、上邊及下邊被設定為縮放方向「正」、左邊被設定為縮放方向「負」。此外，還設 定各邊的縮放量。
如上述般，本實施形態中，係判定第1邊~第4邊的4個邊的一端是否於1個頂點以正交狀連接，夾著頂點位於同一直線上的邊的縮放量是否相異。然後，當夾著頂點位於同一直線上的第1邊及第3邊的縮放量相異，且夾著頂點位於同一直線上的第2邊及第4邊的縮放量相異的情形下，於縮放處理時會追加和第1邊、第2邊、第3邊及第4邊的其中一者相接之圖形。如此一來，便能對描繪資料附加適當的縮放資訊，於描繪裝置內精度良好地進行縮放。
另，本實施形態中，雖是在描繪資料中加入了追加圖形的圖形資料，但亦可於縮放時追加。
[第4實施形態]
圖24(a)揭示具有45°的整數倍以外的角度(任意角)之三角形狀的描繪圖樣的一例之圖樣P61。當欲進行將此圖樣P61的尺寸放大之縮放處理的情形下，首先，從1個頂點往對邊劃出垂線，如圖24(b)所示，分割成2個直角三角形的圖形F61、F62。
然後，如圖25(a)所示，將圖形F61、F62分別縮放成為F61’、F62’。
或是，如圖25(b)所示，將圖形F61、F62分別縮放成為F61”、F62”，更在圖形61”與圖形F62”之間追加矩形的圖形F63。如同上述第3實施形態般，針對追加的 圖形F63，將描繪資料中的圖形的寬度(X方向的尺寸)設為0。
針對具有任意角之三角形狀的描繪圖樣亦同樣地，藉由追加圖形，便能對描繪資料附加適當的縮放資訊，於描繪裝置內精度良好地進行縮放。
另，本實施形態中，雖是在描繪資料中加入了追加圖形的圖形資料，但亦可於縮放時追加。
[第5實施形態]
圖26(a)揭示尺寸相異之3個矩形接連而成的12角形的圖樣P71。設想將此圖樣P71的尺寸放大之縮放。當以繞圖樣P71的外周一圈的方式將頂點以複數個向量串連的情形下，沒有位於同一直線上且方向相反之向量。由於圖樣P71能夠任意地分割，因此例如分割成矩形的圖形F71、F72、F73。
圖形F72，相較於圖形F71、F73而言左右方向的尺寸較短。圖形F71，相較於圖形F73而言左右方向的尺寸較短。圖形F71的左右兩邊，相較於圖形F73的左右兩邊而言位於內側。圖形F72的左右兩邊，相較於圖形F71的左右兩邊而言位於內側。圖形F71、F72、F73的上邊及下邊平行。圖形F72的高度，亦即圖形F71的下邊與圖形F73的上邊之距離設為L。
圖26(b)揭示將圖樣P71的尺寸放大之縮放的例子。圖26(c)揭示將圖樣P71的尺寸更加放大，並將上 下方向的縮放量設為L/2之縮放處理的例子。圖26(c)中，將圖形F71的尺寸放大而成之圖形F71’的下邊、及將圖形F73的尺寸放大而成之圖形F73’的上邊係相接。
若縮放量超過L/2，則在圖形F71’的下側區域、及圖形F73’的上側區域會發生重疊。因此，圖形F71的縮放處理中，針對朝圖形F73所位處的方向(圖中下方向)之縮放量超過L/2的量，會往相反方向(圖中上方向)折返來縮放。例如，當縮放量為L的情形下，如圖26(d)所示，圖形F71”的下邊的縮放量成為0。
像這樣，當尺寸相異之矩形的圖形F71與F73相向配置的情形下，尺寸較短而端部位於內側之圖形F71，於往尺寸較長而端部位於外側之圖形F73所配置的第1方向縮放當中，若縮放量超過閾值亦即圖形間的距離的一半，則針對超出的量係以朝和第1方向相反的第2方向折返的方式予以縮放。如此一來，便不會使其發生圖形的重疊，能夠對描繪資料附加適當的縮放資訊。
圖27(a)揭示圖26(a)的圖形F71、F72的位置朝右偏移，而圖形F71的右邊比圖形F73的右邊還位於外側之圖樣P81。設想將圖樣P81的尺寸放大之縮放。
將圖樣P81分割成3個矩形的圖形F71、F72、F73。當將縮放量設為L的情形下，如同圖26(d)般，如圖27(b)所示圖形F71”的下方向的縮放量成為0。但，若依這樣的縮放處理，會無法附加圖27(b)的斜線部分的縮放資訊。
因此，當矩形的圖形F71與F73錯開配置，圖形F71的右邊比圖形F73的右邊還位於外側，圖形F71的左邊比圖形F73的左邊還位於內側的情形下，如圖28(a)所示，較佳是於縱方向劃出分割線，分割成圖形F81~F85。
相較於圖形F81的左邊而言，圖形F84的左邊位於外側。因此，圖形F81’的下邊，針對縮放量超過閾值的量，會以朝上方向折返的方式予以縮放。
相較於圖形F85的右邊而言，圖形F82的右邊位於外側。因此，圖形F85’的上邊，針對縮放量超過閾值的量，會以朝下方向折返的方式予以縮放。
如此一來，如圖28(b)所示，對於分割出的圖形便能夠附加適當的縮放資訊。藉由對描繪資料附加適當的縮放資訊，便能於描繪裝置內精度良好地進行縮放。
上述第1實施形態中，是將描繪圖樣的頂點以向量串連，並抽出位於同一直線上且方向成為相反之向量，穿過所抽出的向量的相向的端點的其中一方，於和向量正交之方向將描繪圖樣分割。但，當所抽出之向量間有不存在圖樣的空白部分的情形下，換言之當在所抽出之1對向量的相接近的一對端點間存在其他向量的情形下，亦可不進行穿過向量端點之分割，而當不存在其他向量的情形下則可進行分割。
例如，設想圖29(a)所示圖樣P91的縮放。圖樣P91的外周，如圖29(b)般以向量V91~V102圍繞。抽 出向量V91及V95，作為位於同一直線上且方向相反之向量。但，在向量V91與向量V95之間存在向量V98及V100，而有無圖樣的空白部分。在此情形下，即使不進行穿過向量V91或向量V95的終點之分割，所進行之圖形分割也不會使得含有向量V91的邊及含有向量V95的邊重疊。
另，本發明並不限定於上述實施形態本身，於實施階段中在不脫離其要旨的範圍內能夠將構成要素變形而予具體化。此外，藉由將上述實施形態中揭示之複數個構成要素予以適當組合，能夠形成種種發明。例如，亦可將實施形態所示之全部構成要素中刪除數個構成要素。又，亦可將不同實施形態之間的構成要素予以適當組合。
V1~V12‧‧‧向量

Claims (9)

  1. 一種描繪資料作成方法，係用來進行藉由能量射束受到描繪之描繪圖樣的縮放處理之描繪資料的作成方法，其特徵為：將前述描繪圖樣的頂點以複數個向量串連，從前述複數個向量，抽出位於同一直線上且方向相反之一對向量，在分別包含所抽出之一對向量的相接近的一對端點在內之該一對端點間，於和該一對向量正交之方向將前述描繪圖樣分割，而生成複數個圖形，對於前述複數個圖形每一者，作成描繪資料，該描繪資料定義著：圖形資料，示意圖形的形狀、尺寸、及位置；以及縮放資訊，示意有無縮放、當有縮放的情形下之縮放方向、及每個縮放方向的縮放量。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之描繪資料作成方法，其中，穿過前述抽出之一對向量的相接近的一對端點的其中一方，且於和該一對向量正交之方向將前述描繪圖樣分割。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之描繪資料作成方法，其中，當前述描繪圖樣包含斜邊的情形下，將剔除了包含該斜邊的三角形之描繪圖樣的頂點以複數個向量串連。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之描繪資料作成方法，其中，從前述複數個向量，抽出位於同一直線上、方 向相同、且至少其中一方和前述三角形的一邊相對應之一對向量。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之描繪資料作成方法，其中，當將前述描繪圖樣分割出的複數個圖形的第1邊、第2邊、第3邊及第4邊的一端於一頂點以正交狀連接，在位於同一直線上的第1邊與第3邊之縮放量相異，且在位於同一直線上的第2邊與第4邊之縮放量相異的情形下，加入第1方向或和該第1方向正交之第2方向的尺寸為0之第1追加圖形資料。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之描繪資料作成方法，其中，當藉由前述描繪圖樣的分割而生成相向的2個矩形，縮放方向為將尺寸放大之方向，且相向邊的縮放量超過閾值的情形下，端部位於內側的相向邊中，針對縮放量超過閾值的量，係往將尺寸縮小之方向折返而縮放。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之描繪資料作成方法，其中，當前述描繪圖樣的形狀具有45°的整數倍以外的角度之三角形的情形下，藉由從1個頂點往對邊之垂線來分割成2個直角三角形，並在前述2個直角三角形間加入第1方向或和該第1方向正交之第2方向的尺寸為0之第2追加圖形資料。
  8. 一種能量射束描繪方法，其特徵為：將描繪圖樣的頂點以複數個向量串連，從前述複數個向量，抽出位於同一直線上且方向相反之一對向量，對於在分別包含所抽出之一對向量的相接近的一對端點在內之 該一對端點間，於和該一對向量正交之方向將前述描繪圖樣分割而生成之複數個圖形每一者，從記憶裝置讀出描繪資料，該描繪資料定義著：圖形資料，示意圖形的形狀、尺寸、及位置；以及縮放資訊，示意有無縮放、當有縮放的情形下之縮放方向、及每個縮放方向的縮放量，利用前述描繪資料，對前述複數個圖形每一者，判定有無縮放、縮放方向、及縮放量，依據前述判定的結果，對前述複數個圖形每一者縮放尺寸，利用能量射束，將縮放後的圖形描繪至基板。
  9. 一種能量射束描繪裝置，具備：記憶裝置，將描繪圖樣的頂點以複數個向量串連，從前述複數個向量，抽出位於同一直線上且方向相反之一對向量，對於在分別包含所抽出之一對向量的相接近的一對端點在內之該一對端點間，於和該一對向量正交之方向將前述描繪圖樣分割而生成之複數個圖形每一者，記憶描繪資料，該描繪資料定義著：圖形資料，示意圖形的形狀、尺寸、及位置；以及縮放資訊，示意有無縮放、當有縮放的情形下之縮放方向、及每個縮放方向的縮放量；判定部，利用前述描繪資料，對前述複數個圖形每一者，判定有無縮放、縮放方向、及縮放量；縮放處理部，依據前述判定的結果，對前述複數個圖形每一者縮放尺寸；描繪部，利用能量射束，將縮放後的圖形描繪至基板。
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