TW201624115A - 著色硬化性組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置 - Google Patents
著色硬化性組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201624115A TW201624115A TW104133432A TW104133432A TW201624115A TW 201624115 A TW201624115 A TW 201624115A TW 104133432 A TW104133432 A TW 104133432A TW 104133432 A TW104133432 A TW 104133432A TW 201624115 A TW201624115 A TW 201624115A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- group
- compound
- formula
- color filter
- curable composition
- Prior art date
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 155
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 43
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 145
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 117
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 79
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims abstract description 52
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 43
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 claims abstract description 5
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 73
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims description 62
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 55
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 45
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 42
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 30
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims description 30
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims description 24
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 17
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical group N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 claims description 15
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 14
- CYRMSUTZVYGINF-UHFFFAOYSA-N trichlorofluoromethane Chemical compound FC(Cl)(Cl)Cl CYRMSUTZVYGINF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 9
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 claims description 9
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims description 8
- JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N ethyl methyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OC JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 claims description 6
- 125000005567 fluorenylene group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000001273 sulfonato group Chemical group [O-]S(*)(=O)=O 0.000 abstract 1
- -1 xanthene compound Chemical class 0.000 description 124
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 95
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 95
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 55
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 50
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 47
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 43
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 34
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 31
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 29
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 28
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 24
- 125000000963 oxybis(methylene) group Chemical group [H]C([H])(*)OC([H])([H])* 0.000 description 23
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 22
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 22
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 21
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 19
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 19
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 19
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 19
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 18
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 18
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 17
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 16
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 16
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 15
- UFFBMTHBGFGIHF-UHFFFAOYSA-N 2,6-dimethylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1N UFFBMTHBGFGIHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 14
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 14
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 13
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 13
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 12
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 12
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 11
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 10
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 10
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 10
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 10
- 150000003304 ruthenium compounds Chemical class 0.000 description 10
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 10
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical group CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 9
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 9
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 9
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 9
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 9
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 9
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 9
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 9
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical group O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical class C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 8
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 8
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 8
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 8
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 7
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 7
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 7
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 7
- 125000003396 thiol group Chemical class [H]S* 0.000 description 7
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 7
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 6
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical group OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 6
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 6
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 6
- 125000004390 alkyl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 6
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 6
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 6
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 6
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 6
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 6
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 6
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 description 6
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 5
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 5
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 125000005161 aryl oxy carbonyl group Chemical group 0.000 description 5
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 5
- 229910017053 inorganic salt Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 5
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 5
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 5
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 5
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Natural products CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical group C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 4
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 4
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 4
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 4
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 4
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N anhydrous diethylene glycol Natural products OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001450 anions Chemical group 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 4
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 4
- QDLAGTHXVHQKRE-UHFFFAOYSA-N lichenxanthone Natural products COC1=CC(O)=C2C(=O)C3=C(C)C=C(OC)C=C3OC2=C1 QDLAGTHXVHQKRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 4
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 4
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 4
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 4
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC=NC(N)=N1 VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,6,7,8,9,10-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCCCN2CCCN=C21 GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 3
- GJCOSYZMQJWQCA-UHFFFAOYSA-N 9H-xanthene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3OC2=C1 GJCOSYZMQJWQCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KHBQMWCZKVMBLN-UHFFFAOYSA-N Benzenesulfonamide Chemical compound NS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 KHBQMWCZKVMBLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical class C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 3
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 3
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004391 aryl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 description 3
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 3
- 150000001733 carboxylic acid esters Chemical class 0.000 description 3
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- HQFQTTNMBUPQAY-UHFFFAOYSA-N cyclobutylhydrazine Chemical compound NNC1CCC1 HQFQTTNMBUPQAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 3
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 3
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 3
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 3
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N hydrazine Substances NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 3
- 150000002466 imines Chemical class 0.000 description 3
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 3
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 3
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 3
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 3
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 238000007142 ring opening reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 3
- FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N (z)-1-[(z)-octadec-9-enoxy]octadec-9-ene Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCOCCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical group C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WKBALTUBRZPIPZ-UHFFFAOYSA-N 2,6-di(propan-2-yl)aniline Chemical compound CC(C)C1=CC=CC(C(C)C)=C1N WKBALTUBRZPIPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEQOJEGTZCTHCF-UHFFFAOYSA-N 2-amino-1-phenylethanone Chemical compound NCC(=O)C1=CC=CC=C1 HEQOJEGTZCTHCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XOUQAVYLRNOXDO-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-5-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(C(C)(C)C)C(O)=C1 XOUQAVYLRNOXDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXFPEBPIARQUIG-UHFFFAOYSA-N 4'-hydroxyacetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 TXFPEBPIARQUIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCFAJYNVAYBARA-UHFFFAOYSA-N 4-heptanone Chemical compound CCCC(=O)CCC HCFAJYNVAYBARA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 5-(2,4-dioxooxolan-3-yl)-7-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C(C(OC2=O)=O)C2C(C)=CC1C1C(=O)COC1=O FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FPVVYTCTZKCSOJ-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol distearate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCCOC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC FPVVYTCTZKCSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- FFOPEPMHKILNIT-UHFFFAOYSA-N Isopropyl butyrate Chemical compound CCCC(=O)OC(C)C FFOPEPMHKILNIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018286 SbF 6 Inorganic materials 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006322 acrylamide copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 2
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 2
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 2
- 125000005336 allyloxy group Chemical group 0.000 description 2
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 2
- RJGDLRCDCYRQOQ-UHFFFAOYSA-N anthrone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3CC2=C1 RJGDLRCDCYRQOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUPYJHCZDLZNFP-UHFFFAOYSA-N butyl butanoate Chemical compound CCCCOC(=O)CCC XUPYJHCZDLZNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002843 carboxylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- PMOWTIHVNWZYFI-WAYWQWQTSA-N cis-2-coumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1O PMOWTIHVNWZYFI-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 2
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 2
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 2
- 125000006165 cyclic alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 150000004292 cyclic ethers Chemical class 0.000 description 2
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monomethyl ether acetate Natural products COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 2
- 229940100608 glycol distearate Drugs 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NGAZZOYFWWSOGK-UHFFFAOYSA-N heptan-3-one Chemical compound CCCCC(=O)CC NGAZZOYFWWSOGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- 150000007529 inorganic bases Chemical class 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- MLFHJEHSLIIPHL-UHFFFAOYSA-N isoamyl acetate Chemical compound CC(C)CCOC(C)=O MLFHJEHSLIIPHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 2
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- AMXOYNBUYSYVKV-UHFFFAOYSA-M lithium bromide Chemical compound [Li+].[Br-] AMXOYNBUYSYVKV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001510 metal chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 2
- LGRLWUINFJPLSH-UHFFFAOYSA-N methanide Chemical compound [CH3-] LGRLWUINFJPLSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000002560 nitrile group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- RNVCVTLRINQCPJ-UHFFFAOYSA-N o-toluidine Chemical compound CC1=CC=CC=C1N RNVCVTLRINQCPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- QLQOTPOBMXWKOW-UHFFFAOYSA-N phosphinothious acid Chemical compound SP QLQOTPOBMXWKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000001007 phthalocyanine dye Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 2
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 2
- 229920000259 polyoxyethylene lauryl ether Polymers 0.000 description 2
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003918 potentiometric titration Methods 0.000 description 2
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- XTWQOSYEUVHDIT-CQRHUGCQSA-M sodium 3alpha,7alpha-dihydroxy-5beta-cholane-24-sulfonate Chemical compound [Na+].C([C@H]1C[C@H]2O)[C@H](O)CC[C@]1(C)[C@@H]1[C@@H]2[C@@H]2CC[C@H]([C@@H](CCCS([O-])(=O)=O)C)[C@@]2(C)CC1 XTWQOSYEUVHDIT-CQRHUGCQSA-M 0.000 description 2
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 2
- 150000003512 tertiary amines Chemical group 0.000 description 2
- DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N tetrabutylammonium Chemical compound CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- OVTCUIZCVUGJHS-VQHVLOKHSA-N trans-dipyrrin Chemical compound C=1C=CNC=1/C=C1\C=CC=N1 OVTCUIZCVUGJHS-VQHVLOKHSA-N 0.000 description 2
- 239000001003 triarylmethane dye Substances 0.000 description 2
- QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N trimethylolethane Chemical compound OCC(C)(CO)CO QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000870 ultraviolet spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 2
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxy-3-phenoxypropyl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(O)COC1=CC=CC=C1 HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYNQKSJRFHJZTK-UHFFFAOYSA-N (3-methoxy-3-methylbutyl) acetate Chemical compound COC(C)(C)CCOC(C)=O RYNQKSJRFHJZTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGSHZSDDBWTHDU-UHFFFAOYSA-N (3-oxobutan-2-ylideneamino) 4-methylbenzenesulfonate Chemical compound CC(=O)C(C)=NOS(=O)(=O)C1=CC=C(C)C=C1 PGSHZSDDBWTHDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYGBYAQGBVHMDD-XQRVVYSFSA-N (z)-2-cyano-3-thiophen-2-ylprop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C(\C#N)=C/C1=CC=CS1 QYGBYAQGBVHMDD-XQRVVYSFSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M .beta-Phenylacrylic acid Natural products [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOGFHOWTVGAYFK-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-propoxyethoxy)ethoxy]propane Chemical compound CCCOCCOCCOCCC BOGFHOWTVGAYFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNAGHMKIPMKKBB-UHFFFAOYSA-N 1-benzylpyrrolidine-3-carboxamide Chemical compound C1C(C(=O)N)CCN1CC1=CC=CC=C1 HNAGHMKIPMKKBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)O RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQTPKSBXMONSJI-UHFFFAOYSA-N 1-cyclohexylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1CCCCC1 BQTPKSBXMONSJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KILGMXHYMFIPHS-UHFFFAOYSA-N 1-phenyl-2-phenylmethoxyiminopropan-1-one Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C(C)=NOCC1=CC=CC=C1 KILGMXHYMFIPHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 1-phenylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=CC=CC=C1 HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCOCC(C)OC(C)=O DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFZLSTDPRQSZCQ-UHFFFAOYSA-N 1-pyrrolidin-3-ylpyrrolidine Chemical compound C1CCCN1C1CNCC1 HFZLSTDPRQSZCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGRVJHAUYBGFFP-UHFFFAOYSA-N 2,2'-Methylenebis(4-methyl-6-tert-butylphenol) Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C)=CC(CC=2C(=C(C=C(C)C=2)C(C)(C)C)O)=C1O KGRVJHAUYBGFFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWVPRPSXBZNOHS-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-Trimethylaniline Chemical compound CC1=CC(C)=C(N)C(C)=C1 KWVPRPSXBZNOHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVSKIKFHRZPJSS-UHFFFAOYSA-N 2,4-D Chemical compound OC(=O)COC1=CC=C(Cl)C=C1Cl OVSKIKFHRZPJSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FOYHNROGBXVLLX-UHFFFAOYSA-N 2,6-diethylaniline Chemical compound CCC1=CC=CC(CC)=C1N FOYHNROGBXVLLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOC(C)=O FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMOYMEBHYUTMKJ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylethoxy)ethylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1CCOCCC1=CC=CC=C1 AMOYMEBHYUTMKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000536 2-Acrylamido-2-methylpropane sulfonic acid Polymers 0.000 description 1
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJKGAPPUXSSCFI-UHFFFAOYSA-N 2-Hydroxy-4'-(2-hydroxyethoxy)-2-methylpropiophenone Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=C(OCCO)C=C1 GJKGAPPUXSSCFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHZPRMZZQOIPDS-UHFFFAOYSA-N 2-Methyl-2-[(1-oxo-2-propenyl)amino]-1-propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C XHZPRMZZQOIPDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 2-[2,2-bis(hydroxymethyl)butoxymethyl]-2-ethylpropane-1,3-diol Chemical compound CCC(CO)(CO)COCC(CC)(CO)CO WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZVUNTIMPQCQCAQ-UHFFFAOYSA-N 2-dodecanoyloxyethyl dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OCCOC(=O)CCCCCCCCCCC ZVUNTIMPQCQCAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUDBVJCTLZTSDC-UHFFFAOYSA-N 2-ethenylbenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C=C XUDBVJCTLZTSDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCKZAVNWRLEHIP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-[4-[[4-(2-hydroxy-2-methylpropanoyl)phenyl]methyl]phenyl]-2-methylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(C(=O)C(C)(O)C)=CC=C1CC1=CC=C(C(=O)C(C)(C)O)C=C1 PCKZAVNWRLEHIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ICPWFHKNYYRBSZ-UHFFFAOYSA-M 2-methoxypropanoate Chemical compound COC(C)C([O-])=O ICPWFHKNYYRBSZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RIWRBSMFKVOJMN-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-phenylpropan-2-ol Chemical compound CC(C)(O)CC1=CC=CC=C1 RIWRBSMFKVOJMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRWNQZTZTZWPOF-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-phenylpyridine Chemical compound C1=NC(C)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 CRWNQZTZTZWPOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCMLQMDWSXFTIF-UHFFFAOYSA-N 2-methylbenzenesulfonimidic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1S(N)(=O)=O YCMLQMDWSXFTIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HHCHLHOEAKKCAB-UHFFFAOYSA-N 2-oxaspiro[3.5]nonane-1,3-dione Chemical compound O=C1OC(=O)C11CCCCC1 HHCHLHOEAKKCAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 3-(3-methoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound COCCCOCCCO QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPAGVACEWQNVQO-UHFFFAOYSA-N 3-acetyloxybutyl acetate Chemical compound CC(=O)OC(C)CCOC(C)=O MPAGVACEWQNVQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ABZLRXBAERZNRD-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxyiminobutan-2-one Chemical compound CCON=C(C)C(C)=O ABZLRXBAERZNRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQYSALLXMHVJAV-UHFFFAOYSA-M 3-heptyl-2-[(3-heptyl-4-methyl-1,3-thiazol-3-ium-2-yl)methylidene]-4-methyl-1,3-thiazole;iodide Chemical compound [I-].CCCCCCCN1C(C)=CS\C1=C\C1=[N+](CCCCCCC)C(C)=CS1 DQYSALLXMHVJAV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JSGVZVOGOQILFM-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-1-butanol Chemical compound COC(C)CCO JSGVZVOGOQILFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-3-methylbutan-1-ol Chemical compound COC(C)(C)CCO MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYKYXWQEBUNJCN-UHFFFAOYSA-N 3-methylfuran-2,5-dione Chemical compound CC1=CC(=O)OC1=O AYKYXWQEBUNJCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 3-methylideneoxolane-2,5-dione Chemical compound C=C1CC(=O)OC1=O OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 3-oxo-n-[2-(trifluoromethyl)phenyl]butanamide Chemical compound CC(=O)CC(=O)NC1=CC=CC=C1C(F)(F)F VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATVJXMYDOSMEPO-UHFFFAOYSA-N 3-prop-2-enoxyprop-1-ene Chemical compound C=CCOCC=C ATVJXMYDOSMEPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JNRLEMMIVRBKJE-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Methylenebis(N,N-dimethylaniline) Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1CC1=CC=C(N(C)C)C=C1 JNRLEMMIVRBKJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXPGQGNWEWPWQZ-UHFFFAOYSA-N 4-(triethoxymethyl)dodecan-1-amine Chemical compound NCCCC(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC SXPGQGNWEWPWQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACQVEWFMUBXEMR-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-2-fluoro-6-nitrophenol Chemical compound OC1=C(F)C=C(Br)C=C1[N+]([O-])=O ACQVEWFMUBXEMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZSHZLKNFQAAKX-UHFFFAOYSA-N 5-cyclopenta-2,4-dien-1-ylcyclopenta-1,3-diene Chemical group C1=CC=CC1C1C=CC=C1 IZSHZLKNFQAAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRABAEUHTLLEML-UHFFFAOYSA-N Butyl lactate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)O MRABAEUHTLLEML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N Butylhydroxytoluene Chemical compound CC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBJFSFSBHGPDPG-UHFFFAOYSA-N C(C(=C)C)(=O)OCCCC(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC Chemical compound C(C(=C)C)(=O)OCCCC(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC DBJFSFSBHGPDPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LYNBVBIFMGMMCT-UHFFFAOYSA-N C(C)OC(=O)OC(C(=O)C1=CC=CC=C1)(C)N Chemical compound C(C)OC(=O)OC(C(=O)C1=CC=CC=C1)(C)N LYNBVBIFMGMMCT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SRLFQQYQBTWPOK-UHFFFAOYSA-N C(C)OCON=C(C)C(CC)=O Chemical compound C(C)OCON=C(C)C(CC)=O SRLFQQYQBTWPOK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PYZBQLYHLUXXSO-UHFFFAOYSA-N C(C)ON=C(C(=O)C1=CC=CC=C1)C Chemical compound C(C)ON=C(C(=O)C1=CC=CC=C1)C PYZBQLYHLUXXSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBTDZXNEYSFOLQ-UHFFFAOYSA-N C(CC)C(C(C=NOC)=O)C Chemical compound C(CC)C(C(C=NOC)=O)C LBTDZXNEYSFOLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBGQILBECSACGK-UHFFFAOYSA-N CC=COCC(C)OP(=O)(O)O Chemical compound CC=COCC(C)OP(=O)(O)O RBGQILBECSACGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N Carbazole Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N Cinnamic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYLLIJHXUHJATK-UHFFFAOYSA-N Cyclohexyl acetate Chemical compound CC(=O)OC1CCCCC1 YYLLIJHXUHJATK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHZGKXUYDGKKIU-UHFFFAOYSA-N Decylamine Chemical compound CCCCCCCCCCN MHZGKXUYDGKKIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N Ethyl pyruvate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=O XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 229910021617 Indium monochloride Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYVQFUJDGOBPQI-UHFFFAOYSA-N Methyl-2-hydoxyisobutyric acid Chemical compound COC(=O)C(C)(C)O XYVQFUJDGOBPQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N N-dimethylaminoethanol Chemical compound CN(C)CCO UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTGXWDZUZLWXOF-UHFFFAOYSA-N NCCNCCCC(C(OC)(OC)C)CCCCCCCC Chemical compound NCCNCCCC(C(OC)(OC)C)CCCCCCCC KTGXWDZUZLWXOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEXBBTCNDBSFHT-UHFFFAOYSA-N NCCNCCCC(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC Chemical compound NCCNCCCC(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC PEXBBTCNDBSFHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UAIIRSWVSPOAHZ-UHFFFAOYSA-N NCCNCCCC(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC Chemical compound NCCNCCCC(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC UAIIRSWVSPOAHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 1
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 1
- DIQMPQMYFZXDAX-UHFFFAOYSA-N Pentyl formate Chemical compound CCCCCOC=O DIQMPQMYFZXDAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002035 Pluronic® L 10 Polymers 0.000 description 1
- RVGRUAULSDPKGF-UHFFFAOYSA-N Poloxamer Chemical compound C1CO1.CC1CO1 RVGRUAULSDPKGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical class CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 1
- LCXXNKZQVOXMEH-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofurfuryl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CCCO1 LCXXNKZQVOXMEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHXVGJBLRPWPCS-UHFFFAOYSA-N Tetrahydropyran Chemical compound C1CCOCC1 DHXVGJBLRPWPCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002359 Tetronic® Polymers 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPCHGLDQZXOZFW-UHFFFAOYSA-N [2-[[4-methyl-3-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]carbonylamino]phenyl]carbamoyloxymethyl]-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound CC1=CC=C(NC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C)C=C1NC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C YPCHGLDQZXOZFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HIVQCJOGAHNXBO-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] propanoate Chemical compound CCC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HIVQCJOGAHNXBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USDJGQLNFPZEON-UHFFFAOYSA-N [[4,6-bis(hydroxymethylamino)-1,3,5-triazin-2-yl]amino]methanol Chemical compound OCNC1=NC(NCO)=NC(NCO)=N1 USDJGQLNFPZEON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 125000005073 adamantyl group Chemical group C12(CC3CC(CC(C1)C3)C2)* 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003282 alkyl amino group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001346 alkyl aryl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000008052 alkyl sulfonates Chemical class 0.000 description 1
- 125000004691 alkyl thio carbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004419 alkynylene group Chemical group 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005577 anthracene group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 125000005264 aryl amine group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005129 aryl carbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 1
- WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L barium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ba+2] WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001626 barium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007514 bases Chemical class 0.000 description 1
- JGFLAAWSLCPCDY-UHFFFAOYSA-N benzene;cyclopenta-1,3-diene;iron Chemical compound [Fe].C1C=CC=C1.C1=CC=CC=C1 JGFLAAWSLCPCDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N benzo-alpha-pyrone Natural products C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N benzyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NDKBVBUGCNGSJJ-UHFFFAOYSA-M benzyltrimethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 NDKBVBUGCNGSJJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003130 blood coagulation factor inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- OBNCKNCVKJNDBV-UHFFFAOYSA-N butanoic acid ethyl ester Natural products CCCC(=O)OCC OBNCKNCVKJNDBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001191 butyl (2R)-2-hydroxypropanoate Substances 0.000 description 1
- IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N butyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCCCOC(=O)COC IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001110 calcium chloride Substances 0.000 description 1
- 229910001628 calcium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 125000000609 carbazolyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 125000005708 carbonyloxy group Chemical group [*:2]OC([*:1])=O 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 1
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000012986 chain transfer agent Substances 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N choline Chemical compound C[N+](C)(C)CCO OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001231 choline Drugs 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229930016911 cinnamic acid Natural products 0.000 description 1
- 235000013985 cinnamic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004440 column chromatography Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- IPHJYJHJDIGARM-UHFFFAOYSA-M copper phthalocyaninesulfonic acid, dioctadecyldimethylammonium salt Chemical compound [Cu+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CCCCCCCCCCCCCCCCCC.C=1C(S(=O)(=O)[O-])=CC=C(C(=NC2=NC(C3=CC=CC=C32)=N2)[N-]3)C=1C3=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 IPHJYJHJDIGARM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002993 cycloalkylene group Chemical group 0.000 description 1
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N cyclobenzothiazole Natural products C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002887 deanol Drugs 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 125000006612 decyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 1
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- 229940105990 diglycerin Drugs 0.000 description 1
- GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N diglycerol Chemical compound OCC(O)COCC(O)CO GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYAAVKFHBMJOJZ-UHFFFAOYSA-N diimidazo[1,3-b:1',3'-e]pyrazine-5,10-dione Chemical compound O=C1C2=CN=CN2C(=O)C2=CN=CN12 UYAAVKFHBMJOJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000012972 dimethylethanolamine Substances 0.000 description 1
- PPSZHCXTGRHULJ-UHFFFAOYSA-N dioxazine Chemical compound O1ON=CC=C1 PPSZHCXTGRHULJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Chemical compound C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC([O-])=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 230000032050 esterification Effects 0.000 description 1
- 238000005886 esterification reaction Methods 0.000 description 1
- WNIHNYUROPJCLW-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxy-2-methylpropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)(C)OCC WNIHNYUROPJCLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxyacetate Chemical compound CCOCC(=O)OCC CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCOC(=O)COC JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHRLOJCOIKOQGL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)OC WHRLOJCOIKOQGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 229940117360 ethyl pyruvate Drugs 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- NVVZQXQBYZPMLJ-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound O=C.C1=CC=C2C(S(=O)(=O)O)=CC=CC2=C1 NVVZQXQBYZPMLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WSFJFIDCQBAQQZ-UHFFFAOYSA-N hydroxy(sulfido)phosphanium Chemical compound S[PH2]=O WSFJFIDCQBAQQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005457 ice water Substances 0.000 description 1
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 description 1
- APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M indium(1+);chloride Chemical compound [In]Cl APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001616 ion spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940117955 isoamyl acetate Drugs 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-IHWYPQMZSA-N isocrotonic acid Chemical compound C\C=C/C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 1
- PXZQEOJJUGGUIB-UHFFFAOYSA-N isoindolin-1-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NCC2=C1 PXZQEOJJUGGUIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 229940070765 laurate Drugs 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005394 methallyl group Chemical group 0.000 description 1
- PPFNAOBWGRMDLL-UHFFFAOYSA-N methyl 2-ethoxyacetate Chemical compound CCOCC(=O)OC PPFNAOBWGRMDLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AKWHOGIYEOZALP-UHFFFAOYSA-N methyl 2-methoxy-2-methylpropanoate Chemical compound COC(=O)C(C)(C)OC AKWHOGIYEOZALP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N methyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OC HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N methyl p-hydroxycinnamate Natural products OC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWKLZLBVOJRSOM-UHFFFAOYSA-N methyl pyruvate Chemical compound COC(=O)C(C)=O CWKLZLBVOJRSOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SAVHIGLMEWIISQ-UHFFFAOYSA-N n-(3-amino-2,4,6-trimethylphenyl)acetamide Chemical compound CC(=O)NC1=C(C)C=C(C)C(N)=C1C SAVHIGLMEWIISQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- DAHPIMYBWVSMKQ-UHFFFAOYSA-N n-hydroxy-n-phenylnitrous amide Chemical compound O=NN(O)C1=CC=CC=C1 DAHPIMYBWVSMKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-M naphthalene-1-sulfonate Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)[O-])=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 230000000269 nucleophilic effect Effects 0.000 description 1
- UPHWVVKYDQHTCF-UHFFFAOYSA-N octadecylazanium;acetate Chemical compound CC(O)=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCCN UPHWVVKYDQHTCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002114 octoxynol-9 Polymers 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical group C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003566 oxetanyl group Chemical group 0.000 description 1
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N pentan-2-one Chemical compound CCCC(C)=O XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013500 performance material Substances 0.000 description 1
- 150000008379 phenol ethers Chemical class 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229950000688 phenothiazine Drugs 0.000 description 1
- 125000002467 phosphate group Chemical group [H]OP(=O)(O[H])O[*] 0.000 description 1
- 150000003009 phosphonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000001557 phthalyl group Chemical group C(=O)(O)C1=C(C(=O)*)C=CC=C1 0.000 description 1
- 229940110337 pigment blue 1 Drugs 0.000 description 1
- 229920000083 poly(allylamine) Polymers 0.000 description 1
- 229920001485 poly(butyl acrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 description 1
- 239000004632 polycaprolactone Substances 0.000 description 1
- 229920005646 polycarboxylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 239000000244 polyoxyethylene sorbitan monooleate Substances 0.000 description 1
- 235000010482 polyoxyethylene sorbitan monooleate Nutrition 0.000 description 1
- 229920000053 polysorbate 80 Polymers 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMCBXFAKLFFSQZ-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl 2-methoxypropanoate Chemical compound COC(C)C(=O)OC(C)C AMCBXFAKLFFSQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRKCARSPGSPXAO-UHFFFAOYSA-N propane-1,2,3-triol;propan-1-ol Chemical compound CCCO.OCC(O)CO LRKCARSPGSPXAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILPVOWZUBFRIAX-UHFFFAOYSA-N propyl 2-oxopropanoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=O ILPVOWZUBFRIAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940116423 propylene glycol diacetate Drugs 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 239000011802 pulverized particle Substances 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- FYNROBRQIVCIQF-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[3,2-b]pyrrole-5,6-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)C(=O)N=C21 FYNROBRQIVCIQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZTPJDLYPMPRDF-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[3,2-c]pyrazole Chemical compound N1=NC2=CC=NC2=C1 GZTPJDLYPMPRDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- IZMJMCDDWKSTTK-UHFFFAOYSA-N quinoline yellow Chemical compound C1=CC=CC2=NC(C3C(C4=CC=CC=C4C3=O)=O)=CC=C21 IZMJMCDDWKSTTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002964 rayon Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical group 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 1
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 1
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000006296 sulfonyl amino group Chemical group [H]N(*)S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LPSKDVINWQNWFE-UHFFFAOYSA-M tetrapropylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCC[N+](CCC)(CCC)CCC LPSKDVINWQNWFE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 125000000101 thioether group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005424 tosyloxy group Chemical group S(=O)(=O)(C1=CC=C(C)C=C1)O* 0.000 description 1
- KAKQVSNHTBLJCH-UHFFFAOYSA-N trifluoromethanesulfonimidic acid Chemical compound NS(=O)(=O)C(F)(F)F KAKQVSNHTBLJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- 239000013638 trimer Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- JABYJIQOLGWMQW-UHFFFAOYSA-N undec-4-ene Chemical compound CCCCCCC=CCCC JABYJIQOLGWMQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940042596 viscoat Drugs 0.000 description 1
- 239000001018 xanthene dye Substances 0.000 description 1
- 150000003732 xanthenes Chemical class 0.000 description 1
- NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L zinc sulfate Chemical group [Zn+2].[O-]S([O-])(=O)=O NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/105—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having substances, e.g. indicators, for forming visible images
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/44—Polymerisation in the presence of compounding ingredients, e.g. plasticisers, dyestuffs, fillers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09B—ORGANIC DYES OR CLOSELY-RELATED COMPOUNDS FOR PRODUCING DYES, e.g. PIGMENTS; MORDANTS; LAKES
- C09B11/00—Diaryl- or thriarylmethane dyes
- C09B11/28—Pyronines ; Xanthon, thioxanthon, selenoxanthan, telluroxanthon dyes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09B—ORGANIC DYES OR CLOSELY-RELATED COMPOUNDS FOR PRODUCING DYES, e.g. PIGMENTS; MORDANTS; LAKES
- C09B67/00—Influencing the physical, e.g. the dyeing or printing properties of dyestuffs without chemical reactions, e.g. by treating with solvents grinding or grinding assistants, coating of pigments or dyes; Process features in the making of dyestuff preparations; Dyestuff preparations of a special physical nature, e.g. tablets, films
- C09B67/0071—Process features in the making of dyestuff preparations; Dehydrating agents; Dispersing agents; Dustfree compositions
- C09B67/0084—Dispersions of dyes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Architecture (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
著色硬化性組成物包含具有式(1)所表示之結構之著色劑(A)、硬化性化合物及有機溶劑,著色劑(A)分散於有機溶劑中。R1
~R10
分別獨立地表示氫原子、烷基等,R11
表示磺酸基或雙(磺醯基)醯亞胺基。
Description
本發明係有關一種著色硬化性組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
近年來,由於數位相機、帶相機行動電話等的普及,電荷耦合器件(CCD)圖像感測器等固體攝像元件的需求大幅增加。作為該種顯示器、光學元件的主要裝置而使用彩色濾光片,進一步高感度化、小型化的要求提高。該種彩色濾光片通常具備紅(R)、緑(G)及藍(B)這3原色的著色圖案,發揮著將透射光分解為3原色之功能。
例如,在專利文献1~3中記載有使用含有呫噸色素之有機溶劑系著色硬化性組成物而製造彩色濾光片。
【先前技術文獻】
【專利文獻】
【專利文獻1】日本特開2013-235257號公報
【專利文獻2】日本特開2012-207158號公報
【專利文獻3】日本特開2013-61619號公報
在使用於彩色濾光片等之有機溶劑系著色硬化性組成物中,要求能夠形成顯影前後之分光變動較小,且耐光性優異之硬化膜。
例如,作為彩色濾光片的特性,耐光性為重要的課題,不僅著色劑相對於光之穩定性較低時,而且其他原材料相對於光之穩定性較低時,亦能夠使彩色濾光片的分光變動。本發明人等經過對呫噸色素進行各種研究之結果,被N-烷基化之呫噸具有耐光性較低的傾向,例如在使用了含有胺之分散劑之情況下,可知因由分散劑的分解產生之著色而具有產生損失藍色的分光之分光變動之傾向。
並且,在專利文献1~3中揭示有呫噸色素分散於有機溶劑中之著色硬化性組成物,但是依據本發明者的研究,在專利文献1~3中揭示之著色硬化性組成物中呫噸色素的分散性差,其結果,可知呫噸色素溶解於顯影液中,在顯影之後容易產生褪色,顯影前後的分光變動較大。進一步可知耐光性亦差。
本發明係鑑於該種情況而完成者,其目的在於提供能夠形成顯影前後的分光變動較小,且耐光性優異之膜之著色硬化性組成物。並且,其目的在於提供彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
本發明人等經過詳細的研究之結果,發現藉由使用著色硬化性組成物而能夠實現上述目的,並完成了本發明,該著色硬化性組成物含有後述之式(1)中表示之結構的呫噸化合物,亦即著色劑A、硬化性化合物及有機溶劑,並且著色劑A分散於有機溶劑中。本發明提供以下內容。
<1>一種著色硬化性組成物,含有具有下式(1)所表示之結構之著色劑A、硬化性化合物及有機溶劑,且著色劑A分散於有機溶劑中;
【化學式1】
式中,R1
~R10
分別獨立地表示氫原子、鹵素原子、烷基、芳基、-ORX1
、-SRX1
、-CORX1
、-COORX1
、-OCORX1
、-NRX1
RX2
、-NHCORX1
、-CONRX1
RX2
、-NHCONRX1
RX2
、-NHCOORX1
、-SO2
RX1
、-SO2
ORX1
或-NHSO2
RX1
,
RX1
及RX2
分別獨立地表示氫原子、烷基或芳基,
R11
表示磺酸基或雙(磺醯基)醯亞胺基。
<2>如<1>所記載之著色硬化性組成物,其中,在著色劑A中,式(1)的R1
、R5
、R6
及R10
分別獨立地為烷基。
<3>如<1>所記載之著色硬化性組成物,其中,在著色劑A中,式(1)的R1
、R5
、R6
及R10
分別獨立地為甲基、乙基或異丙基。
<4>如<1>~<3>中任一項所記載之著色硬化性組成物,其中,在著色劑A中,式(1)的R11
為磺酸基,R2
、R3
、R4
、R7
、R8
及R9
為氫原子。
<5>如<1>~<4>中任一項所記載之著色硬化性組成物,其中,有機溶劑為選自由酯溶劑、醚溶劑、酮溶劑及醇溶劑之至少1種。
<6>如<1>~<5>中任一項所記載之著色硬化性組成物,其中,進一步含有光聚合起始劑,硬化性化合物為自由基聚合性化合物。
<7>如<1>~<6>中任一項所記載之著色硬化性組成物,其中,進一步含有酸值為30mgKOH/g以上的酸性分散劑。
<8>如<7>中所記載之著色硬化性組成物,其中,含有2種以上酸性分散劑。
<9>如<1>~<8>中任一項所記載之著色硬化性組成物,其中,進一步含有具有酞菁骨架之顔料。
<10>如<1>~<9>中任一項所記載之著色硬化性組成物,其中,進一步含有染料而作為著色劑A以外的著色劑。
<11>如<10>中所記載之著色硬化性組成物,其中,染料為具有選自酞菁、三芳基甲烷及吡咯亞甲基(Pyrromethene)之骨架之染料。
<12>如<1>~<11>中任一項所記載之著色硬化性組成物,其用於彩色濾光片。
<13>一種彩色濾光片,其使用<1>~<12>中任一項所記載之著色硬化性組成物而形成。
<14>一種圖案形成方法,其包括以下步驟:使用<1>~<12>中任一項所記載之著色硬化性組成物,在支撐體上形成著色硬化性組成物層;將著色硬化性組成物層呈圖案狀進行曝光;及顯影去除未曝光部而形成著色圖案。
<15>一種彩色濾光片的製造方法,其包括<14>所記載之圖案形成方法。
<16>一種固體攝像元件,其具有<13>所記載之彩色濾光片,或者藉由<15>所記載之彩色濾光片的製造方法而得到之彩色濾光片。
<17>一種圖像顯示裝置,其具有<13>所記載的彩色濾光片,或者藉由<15>所記載的彩色濾光片的製造方法而得到之彩色濾光片。
依本發明,可以提供能夠形成顯影前後之分光變動較小且耐光性優異之膜之著色硬化性組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
以下,對本發明的內容進行詳細的說明。
本說明書中之基團(原子團)的標記中,未標註取代及無取代之標記係包含不具有取代基者和具有取代基者。例如“烷基”係不僅包含不具有取代基之烷基(無取代烷基),而且亦包含具有取代基之烷基(取代烷基)者。
在本說明書中,光是指活性光線或放射線。並且,“活性光線”或“放射線”是指例如水銀灯的明線光譜、準分子雷射所代表之遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X射線、電子束等。
在本說明書中的“曝光”,只要沒有特別的說明,則不僅是指水銀灯的明線光譜、準分子雷射所代表之遠紫外線、X射線、EUV光等之曝光,電子束、離子束等粒子束之描畫亦包含於曝光中。
在本說明書中,用“~”表示之數值範圍是指將“~”的前後所記載之數值作為下限值及上限值而包括在內之範圍。
在本說明書中,總固體成分是指從著色硬化性組成物的總體組成去除溶劑之後的成分的總質量。
在本說明書中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及丙烯酸甲酯兩者或任一者,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸兩者或任一者,“(甲基)烯丙基”表示烯丙基及甲基烯丙基兩者或任一者,“(甲基)丙烯醯基”表示丙烯醯基及甲基丙烯醯基兩者或任一者。
在本說明書中,聚合性化合物是指具有聚合性官能基之化合物,可以為單體,亦可為聚合物。聚合性官能基是指參與聚合反應之基團。
在本說明書中,“步驟的用語不僅包括獨立步驟,而且即使在無法與其他步驟明確地區別之情況下,只要能夠發揮其步驟的所期待的作用,則亦包括於該用語中。
在本說明書中,結構式中之Me表示甲基,Et表示乙基,iPr表示異丙基。
在本說明書中,重量平均分子量及數量平均分子量被定義為基於凝膠滲透色譜法(GPC)測定之聚苯乙烯換算值。
在本說明書中,顔料是指不易溶解於溶劑之不溶性色素化合物。典型的是顔料以分散於有機溶劑中之狀態存在。在此,溶劑可以舉出任意的溶劑,例如可以舉出後述之溶劑一欄中例示之溶劑。在本發明中使用之顔料例如相對於23℃的丙二醇單甲醚乙酸酯100g之溶解量、及相對於23℃的水100g之溶解量均為0.1g以下為較佳。
在本說明書中,染料是指容易溶解於溶劑的色素化合物。典型的是染料以在組成物中溶解有色素化合物之狀態存在。在此,溶劑可以舉出任意的溶劑,例如可以舉出在後述之溶劑一欄中例示之溶劑。在本發明中使用之染料例如相對於23℃的丙二醇單甲醚乙酸酯100g之溶解量超過2.0g為較佳。
在本說明書中只要沒有特別的說明,則具有重複單元之化合物中之重複單元比表示莫耳比。
<著色硬化性組成物>
本發明的著色硬化性組成物含有具有在後述之式(1)中表示之結構之著色劑A、硬化性化合物及有機溶劑,著色劑A分散於有機溶劑中。
該著色劑A為固體,另外,相對於有機溶劑之溶解性較低,因此能夠抑制顯影後的褪色,並能夠製造在顯影前後之分光變動較小的彩色濾光片。並且,藉由使用本發明的著色硬化性組成物而能夠形成耐光性優異之彩色濾光片。
另外,在本發明的著色硬化性組成物中,由於著色劑A分散於有機溶劑中而存在,因此能夠抑制著色劑的沉澱、凝聚等,且分散穩定性優異。並且,由於著色劑A難以熱拡散,因此能夠形成耐熱性優異之彩色濾光片。
另外,在本發明中,“著色劑A分散於有機溶劑中”是指在有機溶劑中,著色劑A的粒子以漂浮或懸浮之狀態存在。著色劑A分散於有機溶劑中,例如能夠藉由使用動態光散射法之粒徑分佈測定來確認。
以下,對本發明進行詳細的說明。
<<著色劑A>>
本發明的著色硬化性組成物含有具有在下式(1)中表示之結構之著色劑A。
【化學式2】
R1
~R10
分別獨立地表示氫原子、鹵素原子、烷基、芳基、-ORX1
、-SRX1
、-CORX1
、-COORX1
、-OCORX1
、-NRX1
RX2
、-NHCORX1
、-CONRX1
RX2
、-NHCONRX1
RX2
、-NHCOORX1
、-SO2
RX1
、-SO2
ORX1
或-NHSO2
RX1
,
RX1
及RX2
分別獨立地表示氫原子、烷基或芳基。
作為鹵素原子可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。
烷基的碳原子數為1~10為較佳,1~5為更佳,1~3為尤佳。烷基可以為直鏈、支鏈、環狀中的任意者,直鏈或支鏈為較佳。烷基為甲基、乙基、丙基或異丙基為較佳,甲基、乙基或異丙基為更佳。
芳基可以是單環,亦可以是多環。芳基的碳原子數為6~25為較佳,6~15為進一步較佳,6~12為更佳。芳基亦可以含有雜原子。雜原子為氮原子、氧原子或硫原子為較佳。
在式(1)中,R1
和R6
、R2
和R7
、R3
和R8
、R4
和R9
、R5
和R10
為相同的基團為較佳。
R1
、R5
、R6
及R10
為烷基為較佳。R1
、R5
、R6
及R10
分別獨立地為甲基、乙基或異丙基進一步較佳。依據該態樣,可以得到降低溶劑溶解性之效果。
R2
及R7
為氫原子為較佳。
R3
及R8
分別獨立地為氫原子或烷基為較佳,氫原子為更佳。
R4
及R9
分別獨立地為氫原子、鹵素原子、烷基、芳基、-ORX1
、-SRX1
、-CORX1
、-COORX1
、-OCORX1
、-NRX1
RX2
、-NHCORX1
、-CONRX1
RX2
、-NHCONRX1
RX2
、-NHCOORX1
、-SO2
RX1
、-SO2
ORX1
或-NHSO2
RX1
為較佳,氫原子為更佳。
在本發明中,R2
、R3
、R4
、R7
、R8
及R9
為氫原子為尤佳。依據該態樣,可以得到提高每單元質量的吸光度之效果。
R11
表示磺酸基或雙(磺醯基)醯亞胺基。從降低溶劑溶解性之觀點來看,磺酸基為較佳。
作為雙(磺醯基)醯亞胺基,可以舉出在下式(AN-1)中表示之基團。
【化學式3】
式中,R100
表示鹵素原子、烷基或芳基。
鹵素原子為氟原子為較佳。
烷基的碳原子數為1~10為較佳,1~5為更佳,1~3進一步較佳。烷基為直鏈或支鏈為較佳,直鏈為更佳。烷基中一部分氫原子被氟原子取代為較佳,所有氫原子被氟原子取代為更佳。R100
表示之烷基為所有氫原子被氟原子取代且碳原子數為1~10的烷基(全氟烷基)為較佳,碳原子數為1~4的全氟烷基進一步較佳,三氟甲基為尤佳。
芳基的碳原子數為6~20為更佳,6~14為更佳,6~10進一步較佳。芳基可以具有取代基。作為取代基,可以舉出鹵素原子、烷基、烷氧基、羰基、羰氧基、胺基甲醯基、磺基、磺醯胺基、硝基等,鹵素原子或烷基為較佳、氟原子或烷基為更佳。
另外,在式(1)中表示之化合物中,陽離子如下非定域化而存在,下述結構係相同含義,且均係包含於本發明者。
【化學式4】
在本發明中,著色劑A為在下式(1a)中表示之結構為較佳,在下式(1b)中表示在結構為更佳。
【化學式5】
在上述式中,R1
~R11
係與式(1)中說明之範圍相同含義,較佳的範圍亦相同。
著色劑A的分子量為500~900為較佳,550~800為更佳。著色劑A的分子量為由結構式求出之理論值。
作為著色劑A的具體例,可以舉出以下者。
【化學式6】
在本發明中,著色劑A相對於有機溶劑之溶解性較小為較佳。具體而言,著色劑A相對於23℃的丙二醇單甲醚乙酸酯100g之溶解量、著色劑A相對於23℃的環己酮100g之溶解量、及著色劑A相對於23℃的環戊酮100g之溶解量中的任一者為1g以下為較佳,前述著色劑A相對於各有機溶劑之的溶解量分別為1g以下為更佳。
在本發明中,著色劑A係微細且被整粒化者為較佳。作為著色劑A的微細化方法,例如可以舉出將著色劑A、有機溶劑及水溶性無機鹽類一同製備高黏度的液體狀組成物,並使用濕式粉碎裝置等施加應力而進行磨碎之方法等。
作為有機溶劑,可以舉出後述之有機溶劑。微細化步驟中之有機溶劑的使用量,相對於100質量份的著色劑A為50~300質量份為較佳,100~200質量份為更佳。
作為水溶性無機鹽類,可以舉出氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、氯化鋇、硫酸鈉等。微細化步驟中之水溶性無機鹽類的使用量為相對於1質量份的著色劑A為1~50質量份為較佳,1~10質量份為更佳。並且,使用水份為1%以下的水溶性無機鹽類為較佳。
關於著色劑A的微細化步驟中之濕式粉碎裝置的運轉條件並無特別的限制,為了有效地進行由粉碎介質進行之磨碎,當裝置係捏合機時的運轉條件為,裝置內的葉片的轉速為10~200rpm為較佳,並且二軸的旋轉比相對較大者磨碎效果較大而較佳。運轉時間聯同乾式粉碎時間為1~8小時為較佳,裝置的內部溫度為50~150℃為較佳。並且作為粉碎介質之水溶性無機鹽的粉碎粒度為5~50μm、粒徑的分佈窄、且球形為較佳。
本發明的著色硬化性組成物中,著色劑A在組成物中作為粒子而存在為較佳。尤其,著色劑A的平均粒徑(r)滿足20nm≤r≤300nm,滿足25nm≤r≤250nm為較佳,滿足30nm≤r≤200nm為尤佳。若著色劑A的平均粒徑(r)在上述範圍內,則能夠得到高對比度且高光透射率的彩色濾光片。在此所謂之“平均粒徑”是指關於著色劑A的一次粒子(單微晶)聚集之二次粒子的平均粒徑。能夠用掃描型電子顕微鏡(SEM)或透射型電子顕微鏡(TEM)進行観察,在粒子未凝集之部分計測100個粒子的尺寸並計算出平均值,從而求出平均粒徑。
並且,期望在本發明中可以使用之著色劑A的二次粒子的粒徑分佈(以下簡稱為“粒徑分佈”)中,在(平均粒徑±100)nm內的二次粒子為整體的70質量%以上,80質量%以上為較佳。另外,在本發明中,粒徑分佈利用散射強度分佈來測定。
在本發明的著色硬化性組成物中,上述著色劑A相對於著色硬化性組成物的總固體成分之含量為10~80質量%為較佳。下限為20質量%以上為更佳,30質量%以上進一步較佳。上限為70質量%以下為更佳,60質量%以下進一步較佳。
並且,著色劑總量中之上述著色劑A的含量為30~100質量%為較佳。下限為40質量%以上為更佳,50質量%以上進一步較佳。上限為90質量%以下為更佳,80質量%以下進一步較佳。
著色劑A可以係1種。並且,上述通式(1)的R1
~R11
亦可以係含有2種以上不同之組合的化合物者。在含有2種以上之情況下,總量在上述範圍內為較佳。
<<其他著色劑>>
本發明的著色硬化性組成物亦可以含有除上述著色劑A以外的其他著色劑,含有其他著色劑者為較佳。其他著色劑可以係染料及顔料中的任一者,亦可以併用兩者。其他著色劑可以為1種,亦可以為2種以上。
作為顔料,可以舉出以往公知的各種無機顔料或有機顔料。並且,無論是無機顔料,還是有機顔料,在考慮係高透射率者為較佳時,盡可能使用平均粒徑較小的顔料為較佳,亦考慮處理性時,上述顔料的平均粒徑為0.01~0.1μm為較佳,0.01~0.05μm為更佳。
作為無機顔料,可以舉出由金屬氧化物、金屬錯鹽等表示之金屬化合物,具體而言,可以舉出碳黑、鈦黑等黑色顔料、鐵、鈷、鋁、鎘、鉛、銅、鈦、鎂、鉻、鋅、銻等金屬氧化物及上述金屬的複合氧化物。
本發明中作為能夠優選使用之有機顔料,可以舉出以下者。但是本發明係不限定於該等者。
色指數(Color Index)(C.I.)顏料黃1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等,
C.I.顏料橙2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73等,
C.I.顏料紅1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279
C.I.顏料綠7、10、36、37、58
C.I.顏料紫1、19、23、27、32、37、42
C.I.顏料藍1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、80
C.I.顏料黑1
該些有機顔料能夠單獨使用,或者為了提高色彩純度而能夠組合各種顏料而使用。
其中,具有酞菁骨架之顔料(亦稱作酞菁顔料)為較佳,C.I.顏料藍15:6為更佳。
作為染料能夠使用例如揭示於日本特開昭64-90403號公報、日本特開昭64-91102號公報、日本特開平1-94301號公報、日本特開平6-11614號公報、日本特登2592207號、美國專利4808501號說明書、美國專利5667920號說明書、美國專利505950號說明書、美國專利5667920號說明書、日本特開平5-333207號公報、日本特開平6-35183號公報、日本特開平6-51115號公報、日本特開平6-194828號公報等中之色素。若作為化學結構而區分,能夠使用吡唑偶氮化合物、吡咯亞甲基化合物、苯胺基偶氮化合物、三苯基甲烷化合物、蒽醌化合物、亞芐基化合物、氧雜菁化合物、吡唑并三唑偶氮化合物、吡啶酮偶氮化合物、花青化合物、啡噻嗪化合物、吡咯并吡唑偶氮次甲基(pyrrolo pyrazole azomethine)化合物等。並且,作為染料亦可以使用色素多聚物。作為色素多聚物,可以舉出在日本特開2011-213925號公報、日本特開2013-041097號公報中記載之化合物。
在本發明中,染料為具有選自酞菁、三芳基甲烷及吡咯亞甲基之骨架之染料為較佳,具有酞菁骨架或三芳基甲烷骨架之染料為更佳,具有酞菁骨架之染料進一步較佳。藉由含有該些染料,能夠在組成物中提高上述著色劑A的分散性。另外,提高耐熱性及耐光性。
具有酞菁骨架之染料(亦稱作酞菁染料)例如可以舉出下式(F)中表示之化合物。
式(F)
【化學式7】
在式(F)中,M1
表示金屬原子或金屬化合物。作為金屬原子或金屬化合物,可以舉出2價的金屬原子、2價的金屬氧化物、2價的金屬氫氧化物或2價的金屬氯化物。例如可以舉出Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co及Fe等金屬原子、AlCl、InCl、FeCl、TiCl2
、SnCl2
、SiCl2
、GeCl2
等金屬氯化物、TiO、VO等金屬氧化物、Si(OH)2
等金屬氫氧化物。尤其Cu為較佳。
Rp1
~Rp16
分別獨立地表示氫原子、鹵素原子、烷基、芳基、-ORX1
、-SRX1
、-CORX1
、-COORX1
、-OCORX1
、-NRX1
RX2
、-NHCORX1
、-CONRX1
RX2
、-NHCONRX1
RX2
、-NHCOORX1
、-SO3
M2
、-SO2
RX1
、-SO2
ORX1
、-NHSO2
RX1
或-SO2
NRX1
RX2
,RX1
及RX2
分別獨立地表示氫原子、烷基或芳基,M2
可以舉出四級銨陽離子、1價的金屬原子例如鈉、鋰、鉀等,2價的金屬原子例如Mg、Ca、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co等。在分光優異之觀點上,在下式(F-1)中表示之化合物為尤佳。
式(F-1)
【化學式8】
在式(F-1)中,M1
表示金屬原子或金屬化合物。式(F-1)的M1
與式(F)的M1
係相同含義,較佳的範圍亦相同。
在式(F-1)中,Ra
及Rb
分別獨立地表示氫原子、烷基、或芳基。
Ra
及Rb
表示之烷基的碳原子數為1~10為較佳。烷基為直鏈或支鏈為較佳。烷基可以無取代,亦可以具有取代基。作為取代基,可以舉出芳基、烷氧基、烯丙氧基、芳氧基、鹵素原子等。
Ra
及Rb
表示之芳基可以為單環,亦可以為多環。碳原子數為6~25為較佳,6~15進一步較佳,6~12為更佳。芳基可以含有雜原子。雜原子為氮原子、氧原子或硫原子為較佳。芳基可以無取代,亦可以具有取代基。作為取代基,可以舉出烷基、烷氧基、烯丙氧基、鹵素原子等。
在式(F-1)中,X可以舉出羧基、磺基等酸基及其鹽。作為構成鹽之原子或原子團,可以舉出鋰、鈉、鉀等金屬原子、四丁基銨等四級銨。
n表示1~10的整數,1~5為較佳。
a、b、c分別獨立地表示0~8,a及b中的至少一者為1以上,a、b、c的合計為1~8。
作為酞菁染料的具體例,例如可以舉出以下化合物、或国際公開WO2009/119364號小冊子的段落號0044~0059中記載的化合物。
【化學式9】
具有三芳基甲烷骨架之染料(亦稱作三芳基甲烷染料)例如可以舉出下式(TP)中表示之化合物。
式(TP)
【化學式10】
在式(TP)中,Rtp1
~Rtp4
分別獨立地表示氫原子、烷基或芳基。Rtp5
表示氫原子、烷基、芳基或NRtp9
Rtp10
(Rtp9
及Rtp10
表示氫原子、烷基或芳基)。Rtp6
、Rtp7
及Rtp8
表示取代基。a、b及c表示0~4的整數。在a、b及c為2以上的情況下,Rtp6
、Rtp7
及Rtp8
亦可以分別連接而形成環。X-
表示陰離子結構。
在式(TP)中,作為X-
表示之陰離子結構,選自磺酸陰離子、羧酸陰離子、磺醯亞胺陰離子、雙(烷基磺醯基)醯亞胺陰離子、三(烷基磺醯基)甲基化物陰離子、羧酸陰離子、四芳基硼酸陰離子、-CON-
CO-、-CON-
SO2
-、BF4 -
、PF6 -
、SbF6 -
、B-
(CN)3
OCH3
之至少一種為較佳。選自磺酸陰離子、磺醯亞胺陰離子、雙(烷基磺醯基)醯亞胺陰離子、三(烷基磺醯基)甲基化物陰離子、羧酸陰離子、四芳基硼酸陰離子、BF4 -
、PF6 -
及SbF6 -
之至少一種為更佳。
在式(TP)中,Rtp1
~Rtp6
為氫原子、碳原子數1~5的直鏈或支鏈的烷基及苯基為較佳。Rtp5
為氫原子或NRtp9
Rtp10
為較佳、NRtp9
Rtp10
為尤佳。
在式(TP)中,Rtp9
及Rtp10
為氫原子、碳原子數1~5的直鏈或支鏈的烷基或苯基為較佳。
在式(TP)中,Rtp6
、Rtp7
及Rtp8
為碳原子數1~5的直鏈或支鏈的烷基、碳原子數為1~5的烯基、碳原子數為6~15的芳基、羧基或磺基為較佳,碳原子數為1~5的直鏈或支鏈的烷基、碳原子數為1~5的烯基、苯基或羧基進一步較佳。Rtp6
、Rtp8
為碳原子數1~5的烷基為較佳,Rtp7
為烯基(尤其,相鄰之2個烯基所連接之苯基為較佳)、苯基或羧基為較佳。
在式(TP)中,a、b或c分別獨立地表示0~4的整數。a及b分別為0或1為較佳,c為0~2的整數為較佳。
作為三芳基甲烷染料的具體例,例如可以舉出在以下化合物、或日本特開2014-186342號公報的段落號0176~0177中記載的化合物。
【化學式11】
具有吡咯亞甲基骨架之染料(亦稱作吡咯亞甲基染料)例如可以舉出下式(PM)中表示之化合物。
式(PM)
【化學式12】
R11
及R16
分別獨立地表示烷基、烯基、芳基、烷氧基、芳氧基、烷胺基或芳胺基。R11
及R16
為烷基、烯基、芳基為較佳,烷基、烯基、芳基進一步較佳,烷基為尤佳。
R12
~R15
分別獨立地表示氫原子或取代基。
在R12
~R15
中,R12
及R15
為烷氧羰基、芳氧基羰基、胺基甲醯基、烷基磺醯基、芳基磺醯基、腈基、亞胺基或胺甲醯基磺醯基為較佳,烷氧羰基、芳氧基羰基、胺基甲醯基、烷基磺醯基、腈基、亞胺基、胺甲醯基磺醯基為更佳,烷氧羰基、芳氧基羰基、胺基甲醯基、腈基、亞胺基、胺甲醯基磺醯基進一步較佳。
在R12
~R15
中,、R13
及R14
為烷基或芳基為較佳。
R17
表示氫原子、鹵素原子、烷基或芳基。R17
為氫原子為較佳。
Ma表示金屬原子或金屬化合物。作為金屬原子或金屬化合物,可以舉出式(F)中進行說明者,Zn、Cu、Co或V=O為較佳,Zn為更佳。
X2
及X3
分別獨立地表示NRx
(Rx
表示氫原子、烷基、烯基、芳基、醯基、烷基磺醯基或芳基磺醯基)、氮原子、氧原子或硫原子。X2
及X3
為氧原子為較佳。
Y1
及Y2
分別獨立地表示NRy
(Ry
表示氫原子、烷基、烯基、芳基、醯基、烷基磺醯基或芳基磺醯基)、氮原子或碳原子。R11
和Y1
可以彼此鍵結而形成5員、6員、或7員的環,R16
和Y2
亦可以彼此鍵結而形成5員、6員、或7員的環。Y1
為NH,Y2
為氮原子為較佳。
X1
表示可以與Ma鍵結的基團。X1
只要是可以與Ma鍵結的基團則可以是任意者,具體而言,可以舉出水、醇類(例如甲醇、乙醇、丙醇)等,此外,在“金屬螯合物”([1]坂口武一、上野景平著(1995年 南江堂);[2](1996年);[3](1997年)等)中記載的化合物。其中,從製造的觀點來看,水、羧酸化合物、醇類為較佳,水、羧酸化合物為更佳。
a表示0~2的整數,0或1為較佳。
作為吡咯亞甲基染料,例如可以舉出以下化合物、或日本特開2014-186342號公報的段落號0100~0102中記載的化合物。
【化學式13】
在本發明的著色硬化性組成物中含有其他著色劑之情況下,其他著色劑的含量,相對於100質量份的著色劑A為0.1~20質量份為較佳,0.1~15質量份為更佳,0.1~10質量份進一步較佳。
並且,酞菁顔料的含量,相對於100質量份的著色劑A為80~300質量份為較佳,90~250質量份為更佳,100~200質量份進一步較佳。若為上述範圍則可以得到分光優異之效果。另外,酞菁顔料可以僅使用1種,亦可以併用2種以上。在併用2種以上之情況下,合計為上述範圍為較佳。
並且,染料的含量,相對於100質量份的著色劑A為1~30質量份為較佳,1~25質量份為更佳,1~20質量份進一步較佳。若染料的含量為上述範圍,則著色劑A的分散性提高,著色硬化性組成物的分散穩定性更優異。另外,染料可以僅使用1種,亦可以併用2種以上。在併用2種以上之情況下,合計為上述範圍為較佳。
本發明的著色硬化性組成物中,著色劑相對於著色硬化性組成物中的總固體成分之含量為10~90質量%為較佳。下限為20質量%以上為更佳,30質量%以上進一步較佳。上限為80質量%以下為更佳,70質量%以下更佳。
<<硬化性化合物>>
本發明的著色硬化性組成物含有硬化性化合物。作為硬化性化合物,可以使用能夠藉由自由基、酸或熱而交聯之公知的化合物。例如可以舉出含具有乙烯性不飽和鍵之基團、環狀醚(環氧、氧雜環丁烷)基、羥甲基等之化合物。作為具有乙烯性不飽和鍵之基團,可以舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等。
在本發明中,硬化性化合物為自由基聚合性化合物為較佳。
在本發明中,自由基聚合性化合物(以下亦稱作聚合性化合物)例如可以是單體、預聚物,亦即可以是二聚物、三聚物及寡聚物,或者該等之混合物,以及該等之多聚物等化學形態中的任一者。
聚合性化合物為3~15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為較佳,3~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為更佳。
作為單體、預聚物的例子,可以舉出不飽和羧酸(例如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸、馬來酸等)或其酯類、醯胺類以及該等之多聚物,較佳為不飽和羧酸和脂肪族多元醇化合物之酯、不飽和羧酸和脂肪族多元胺化合物之醯胺類、以及該等之多聚物。並且,亦可適當地使用具有羥基、胺基、巰基等親核性取代基之不飽和羧酸酯或醯胺類與單官能或多官能異氰酸酯類或環氧類之加成反應物,及與單官能或多官能的羧酸之脱水縮合反應物等。並且,亦可適當地使用具有異氰酸酯基、環氧基等親電子性取代基之不飽和羧酸酯或醯胺類與單官能或多官能的醇類、胺類、硫醇類之反應物,及具有鹵素基、甲苯磺醯氧基等脱離性取代基之不飽和羧酸酯或醯胺類與單官能或多官能的醇類、胺類、硫醇類之反應物。並且,亦可使用將上述不飽和羧酸取代為不飽和膦酸、苯乙烯等乙烯基苯衍生物、乙烯基醚、烯丙基醚等之化合物群。
作為該些具體的化合物,亦可將在日本特開2009-288705號公報的段落號〔0095〕~〔0108〕中記載之化合物適當地使用於本發明中。
在本發明中,作為聚合性化合物,含有1個以上具有乙烯性不飽和鍵之基團、且在常壓下具有100℃以上的沸點之化合物亦為較佳。作為其例子,例如可以參照在日本特開2013-29760號公報的段落0227、日本特開2008-292970號公報的段落號0254~0257中記載的化合物,並將該內容併入到本申請案說明書中。
聚合性化合物較佳為二季戊四醇三丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-330;NIPPON KAYAKU CO.,LTD.製造)、二季戊四醇四丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-320;NIPPON KAYAKU CO.,LTD.製造)二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-310;NIPPON KAYAKU CO.,LTD.製造)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(市售品為KAYARAD DPHA;NIPPON KAYAKU CO.,LTD.製造、A-DPH-12E;SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製造)、及該等之(甲基)丙烯醯基經由乙二醇、丙二醇残基之結構(例如由SARTOMER Company,Inc.市售之SR454、SR499)。亦可以使用該等的寡聚物類型。並且亦可使用KAYARAD RP-1040(NIPPON KAYAKU CO.,LTD.製造)。
以下表示較佳的聚合性化合物的形態。
聚合性化合物可以具有羧基、磺酸基、磷酸基等酸基。作為具有酸基之聚合性化合物,脂肪族多羥基化合物與不飽和羧酸的酯為較佳,使非芳香族羧酸酐與脂肪族多羥基化合物的未反應的羥基反應而具有酸基之聚合性化合物為更佳,該酯中脂肪族多羥基化合物為季戊四醇及/或二季戊四醇者為尤佳。作為市售品,例如可以舉出TOAGOSEI CO.,LTD.製造的作為多元酸改質丙烯酸系寡聚物的M-510、M-520等。
作為具有酸基之聚合性化合物的酸值,0.1~40mgKOH/g為較佳,5~30mgKOH/g為尤佳。若聚合性化合物的酸值為0.1mgKOH/g以上,則顯影溶解特性良好,若為40mgKOH/g以下,則在製造和處理上有利。進而,光聚合性能良好且硬化性優異。
聚合性化合物中具有己內酯結構之化合物亦為較佳態様。
作為具有己內酯結構之化合物,只要在分子內具有己內酯結構則無特別的限定,例如可舉出ε-己內酯改質多官能(甲基)丙烯酸酯,該ε-己內酯改質多官能(甲基)丙烯酸酯可以藉由將三羥甲基乙烷、二-三羥甲基乙烷、三羥甲基丙烷、二-三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、三季戊四醇、甘油、二甘油、三羥甲基三聚氰胺等多元醇與(甲基)丙烯酸及ε-己內酯加以酯化而得到。其中,具有下述通式(Z-1)中表示之己內酯結構之化合物為較佳。
【化學式14】
在通式(Z-1)中,6個R全部為下述通式(Z-2)中表示之基團,或者6個R中的1~5個為下述通式(Z-2)中表示之基團,其餘為下述通式(Z-3)中表示之基團。
【化學式15】
在通式(Z-2)中,R1
表示氫原子或甲基,m表示1或2的數,“*”表示結合鍵。
【化學式16】
在通式(Z-3)中,R1
表示氫原子或甲基,“*”表示結合鍵。
具有己內酯結構之聚合性化合物例如由NIPPON KAYAKU CO., LTD.CO.,LTD.作為KAYARAD DPCA系列而市售,可以舉出DPCA-20(上述式(Z-1)~(Z-3)中m=1、式(Z-2)中表示之基團的個數=2、R1
全部為氫原子之化合物)、DPCA-30(上述式(Z-1)~(Z-3)中m=1、式(Z-2)中表示之基團的個數=3、R1
全部為氫原子之化合物)、DPCA-60(上述式(Z-1)~(Z-3)中m=1、式(Z-2)中表示之基的個數=6、R1
全部為氫原子之化合物)、DPCA-120(上述式(Z-1)~(Z-3)中,m=2、式(Z-2)中表示之基團的個數=6、R1
全部為氫原子之化合物)等。
聚合性化合物可以使用下述通式(Z-4)或(Z-5)中表示之化合物。
【化學式17】
在通式(Z-4)及(Z-5)中,E分別獨立地表示-((CH2
)y
CH2
O)-或-((CH2
)y
CH(CH3
)O)-,y分別獨立地表示0~10的整數,X分別獨立地表示(甲基)丙烯醯基、氫原子或羧基。
在通式(Z-4)中,(甲基)丙烯醯基的合計為3個或4個,m分別獨立地表示0~10的整數,各m的合計為0~40的整數。
在通式(Z-5)中,(甲基)丙烯醯基的合計為5個或6個,n分別獨立地表示0~10的整數,各n的合計為0~60的整數。
在通式(Z-4)中,m為0~6的整數為較佳,0~4的整數為更佳。
並且,各m的合計為2~40的整數為較佳,2~16的整數為更佳,4~8的整數為尤佳。
在通式(Z-5)中,n為0~6的整數為較佳,0~4的整數為更佳。
並且,各n的合計為3~60的數為較佳,3~24的整數為更佳,6~12的整數為尤佳。
並且,在通式(Z-4)或通式(Z-5)中的-((CH2
)y
CH2
O)-或-((CH2
)y
CH(CH3
)O)-較佳為氧原子側的末端與X鍵結之形態。
通式(Z-4)或通式(Z-5)中表示之化合物可以單獨使用1種,亦可以併用2種以上。尤其,在通式(Z-5)中,6個X全部為丙烯醯基之形態為較佳。
並且,作為通式(Z-4)或通式(Z-5)中表示之化合物的聚合性化合物中之總含量,20質量%以上為較佳、50質量%以上為更佳。
通式(Z-4)或通式(Z-5)中表示之化合物能夠藉由以下以往公知的步驟而合成:藉由開環加成反應使環氧乙烷或環氧丙烷的開環骨架鍵結於季戊四醇或二季戊四醇之步驟;及例如使(甲基)丙烯醯氯與開環骨架的末端羥基反應而導入(甲基)丙烯醯基之步驟。各步驟為被廣為人知之步驟,本領域技術人員能夠容易地合成通式(Z-4)或(Z-5)中表示之化合物。
通式(Z-4)或通式(Z-5)中表示之化合物中,季戊四醇衍生物及/或二季戊四醇衍生物亦為更佳。
具體而言,可以舉出下述式(a)~(f)中表示之化合物(以下亦稱作“例示化合物(a)~(f)”),其中,例示化合物(a)、(b)、(e)、(f)為較佳。
【化學式18】
【化學式19】
作為通式(Z-4)、(Z-5)所表示之聚合性化合物的市售品,例如可以舉出SARTOMER Company,Inc.製造之具有4個乙烯氧基(ethyleneoxy)鏈之4官能丙烯酸酯之SR-494,NIPPON KAYAKU CO.,LTD.製造之具有6個戊烯氧基(pentyleneoxy)鏈之6官能丙烯酸酯之DPCA-60、具有3個異丁烯氧基鏈之3官能丙烯酸酯之TPA-330等。
作為聚合性化合物,如日本特公昭48-41708號公報、日本特開昭51-37193號公報、日本特公平2-32293號公報、日本特公平2-16765號公報中記載之胺基甲酸酯丙烯酸酯類,日本特公昭58-49860號公報、日本特公昭56-17654號公報、日本特公昭62-39417號公報、日本特公昭62-39418號公報中記載的具有環氧乙烷系骨架之胺基甲酸酯化合物類亦較佳。並且,藉由使用日本特開昭63-277653號公報、日本特開昭63-260909號公報、日本特開平1-105238號公報中記載之、在分子內具有胺基結構和硫化物結構之加成聚合性化合物類,能夠得到感光速度非常優異之著色硬化性組成物。
作為市售品,可以舉出胺基甲酸酯寡聚物UAS-10、UAB-140(SANYO-KOKUSAKU PULP CO.,LTD.製造)、UA-7200(SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製造)、DPHA-40H(NIPPON KAYAKU CO.,LTD.製造)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(KYOEISHA CO.,LTD.製造)等。
<<<具有環氧基之化合物>>>
本發明中作為硬化性化合物能夠使用具有環氧基之化合物。
在由乾式蝕刻法形成圖案之情況下,可較佳地具有環氧基之化合物用作硬化性化合物。
作為具有環氧基之化合物,在1個分子內具有2個以上環氧基者為較佳。藉由使用在1個分子內具有2個以上環氧基之化合物,能夠更有效地發揮本發明的效果。環氧基在1分子內具有2~10個為較佳,2~5個為更佳,3個為尤佳。
在本發明中具有環氧基之化合物可較佳地使用具有2個苯環由烴基連接之結構者。烴基為碳原子數為1~6的伸烷基為較佳。
並且,環氧基經由連接基團而連接為較佳。作為連接基團,可以舉出包含選自伸烷基、亞芳基、-O-、由-NR’-(R’表示氫原子、可具有取代基之烷基或可具有取代基之芳基,氫原子為較佳)表示之結構、-SO2
-、-CO-、-O-及-S-之至少一者之基團。
具有環氧基之化合物中環氧當量(=具有環氧基之化合物的分子量/環氧基之數量)為500g/eq以下為較佳,100~400g/eq為更佳,100~300g/eq進一步較佳。
具有環氧基之化合物可以為低分子化合物(例如分子量小於2000,進而,分子量小於1000),亦可以為高分子化合物(macromolecule)的任一個(例如分子量為1000以上,在聚合物之情況下,重量平均分子量為1000以上)。具有環氧基之化合物的重量平均分子量為200~100000為較佳,500~50000為更佳。
具有環氧基之化合物,能夠使用日本特開2013-011869號公報的段落號0034~0036、日本特開2014-043556號公報的段落號0147~0156、日本特開2014-089408號公報的段落號0085~0092中記載之化合物。將該些內容併入到本說明書中。
作為市售品,例如可以舉出“EHPE3150、DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES,CO.,LTD.製造”、“EPICLON N660(DIC Corporation製造)”等。
在本發明的著色硬化性組成物中,硬化性化合物的含量相對於著色硬化性組成物的總固體成分為0.1~40質量%為較佳。下限例如為0.5質量%以上為更佳,1質量%以上進一步較佳。上限例如為30質量%以下為更佳,20質量%以下進一步較佳。硬化性化合物可以單獨使用1種,亦可以併用2種以上。在併用2種以上之情況下,總量成為上述範圍為較佳。
<<多官能硫醇化合物>>
本發明的著色硬化性組成物以促進聚合性化合物的反應等為目的,可以含有在分子內具有2個以上的巰基之多官能硫醇化合物。多官能硫醇化合物為二級烷烴硫醇類為較佳,尤其,係具有下述通式(T1)中表示之結構之化合物為較佳。
通式(T1)
【化學式20】
(在式(T1)中,n表示2~4的整數,L表示2~4價的連接基團。)
在上述通式(T1)中,連接基團L係碳原子數為2~12的脂肪族基團為較佳,n為2,L係碳原子數為2~12的伸烷基為尤佳。多官能硫醇化合物的具體的例子可以舉出下述結構式(T2)~(T4)中表示之化合物,式(T2)中表示之化合物為尤佳。該些多官能硫醇可以使用1種或組合複數種而使用。
【化學式21】
在本發明的著色硬化性組成物含有多官能硫醇之情況下,多官能硫醇的含量相對於著色硬化性組成物的總固體成分為0.3~8.9質量%為較佳,0.8~6.4質量%為更佳。並且,多官能硫醇亦可以以改善穩定性、臭味、解析度、顯影性、密合性等為目的而添加。
<<有機溶劑>>
本發明的著色硬化性組成物含有有機溶劑。
有機溶劑只要滿足各成分的溶解性、著色硬化性組成物的塗佈性,則基本上沒有特別的限制,但是考慮著色劑、樹脂、硬化性化合物等各自的溶解性、塗佈性及安全性而進行選擇為較佳。其中,從上述著色劑A的分散性的觀點來看,有機溶劑為選自酯系溶劑、醚系溶劑、酮系溶劑及醇系溶劑之至少1種為較佳。有機溶劑可以使用1種,亦可以混合2種以上來使用。另外,在本發明中,“醚系溶劑”是指含有醚鍵之溶劑,“酯系溶劑”是指含有酯鍵之溶劑,“酮系溶劑”是指含有酮鍵之溶劑。亦即,例如含有醚鍵之醇系溶劑既是醚系溶劑”,亦是“醇系溶劑”。並且,具有醚鍵和酯鍵之溶劑既是“醚系溶劑”,亦是“酯系溶劑”。
作為酯系溶劑,可以舉出乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羥基異丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、環己醇乙酸酯、γ-丁內酯、丙二醇二乙酸酯、1,3-丁二醇二乙酸酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸酯、二丙二醇單甲醚乙酸酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯等。
作為醚系溶劑,可以舉出在上述酯系溶劑中具有醚鍵之溶劑、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚等乙二醇單烷基醚類;二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚等二乙二醇單烷基醚類;丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚等丙二醇單烷基醚類;四氫呋喃、四氫吡喃、1,4-二噁烷等環狀醚類;二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚等二乙二醇二烷基醚類;二丙二醇二甲醚等二丙二醇二烷基醚類;苯甲醚,苯乙醚,甲基苯甲醚等酚醚類;3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇等。
作為酮系溶劑,可以舉出在上述溶劑中具有酮鍵之溶劑、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、環戊酮、環己酮、異佛爾酮等。
作為醇系溶劑,可以舉出上述溶劑中之醇者、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環己醇、乙二醇、丙二醇、甘油等。
在本發明中,有機溶劑中過氧化物的含有率為0.8mmmpl/L以下為較佳,實質上不含有過氧化物為更佳。
在本發明中,有機溶劑的SP(Solubility Parameter)值為15~25(MPa)1/2
為較佳,19~23(MPa)1/2
為更佳。另外,SP值在本發明中使用基於Hoy法之值。Hoy法的文献,可以適當地舉出H.L.Hoy:J.Paint Tech.,42(540),76-118(1970)和SP值基礎、應用及計算方法(山本、諮詢機構、2005)。
就有機溶劑的含量而言,從塗佈性的觀點來看,著色硬化性組成物的總固體成分濃度為5~80質量%之量為較佳。下限例如為5質量%以上為更佳,10質量%以上進一步較佳。上限例如為60質量%以下為更佳,50質量%以下進一步較佳。
本發明的著色硬化性組成物可以僅含有1種有機溶劑,亦可以含有2種以上有機溶劑。在含有2種以上之情況下,其總量成為上述範圍為較佳。
<<樹脂>>
本發明的著色硬化性組成物含有樹脂為較佳。樹脂例如以使著色劑分散於組成物中之用途、黏合劑的用途而配合。另外,將主要為了使顔料等著色劑分散而使用之樹脂亦稱作分散劑。但是,樹脂的該種用途為一個例子,亦可以將該種用途以外作為目的而使用。
在本發明的著色硬化性組成物中,樹脂的含量相對於著色硬化性組成物的總固體成分為5~90質量%為較佳,10~80質量%為更佳。若樹脂的含量為上述範圍,則著色劑的分散性良好。
在本發明的著色硬化性組成物中,酸性樹脂的含量相對於著色硬化性組成物的總固體成分為5~90質量%為較佳,10~80質量%為更佳。若酸性樹脂的含量為上述範圍,則顯影性良好。
在本發明的著色硬化性組成物中,樹脂總質量中之酸性樹脂的比例為50~100質量%為較佳,60~100質量%為更佳,70~100質量%進一步較佳。
<<<分散劑>>>
在本發明中,著色硬化性組成物含有分散劑為較佳。分散劑可以舉出酸性分散劑(酸性樹脂)、鹼性分散劑(鹼性樹脂)。
分散劑至少含有酸性分散劑為較佳,僅為酸性分散劑為更佳。藉由至少含有酸性分散劑,分散劑能夠有效地抑制針狀異物的產生。並且,著色劑的分散性提高,且不易產生亮度不均。進而,由於可以得到優異之顯影性,因此能夠由光刻法(photolithography)適當地進行圖案形成。另外,分散劑僅為酸性分散劑是指,例如在分散劑的總質量中之酸性分散劑的含量為99質量%以上為較佳,亦可以設為99.9質量%以上。
在此,酸性分散劑(酸性樹脂)表示酸基的量比鹼性基的量多的樹脂。將酸基的量和鹼性基的量之總量設為100莫耳%時,酸性分散劑(酸性樹脂)為酸基的量佔70莫耳%以上之樹脂為較佳,實質上僅由酸基構成之樹脂為更佳。酸性分散劑(酸性樹脂)所具有之酸基為羧基為較佳。
並且,鹼性分散劑(鹼性樹脂)表示鹼性基的量比酸基的量多的樹脂。將酸基的量和鹼性基的量之總量設為100莫耳%時,鹼性分散劑(鹼性樹脂)為鹼性基的量佔50莫耳%以上之樹脂為較佳。鹼性分散劑所具有之鹼性基為胺基為較佳。
酸性分散劑(酸性樹脂)的酸值為30mgKOH/g以上為較佳,40~105mgKOH/g為更佳,50~105mgKOH/g進一步較佳,60~105mgKOH/g為尤佳。另外,在本發明中,所謂酸值係表示將每1g固體成分中的酸性成分進行中和所需要之氫氧化鉀的mg數者。
在本發明中,分散劑的含量相對於上述著色劑A的100質量份為100~500質量份為較佳,150~400質量份為更佳。
在本發明中,分散劑可以單獨使用1種,亦可以併用2種以上。在併用2種以上之情況下,併用2種以上的酸性分散劑為較佳。依據該態様,能夠提高組成物的分散穩定性。
作為分散劑,例如可以舉出高分子分散劑〔例如聚醯胺-胺及其鹽、聚羧酸及其鹽、高分子量不飽和酸酯、改質聚胺基甲酸酯、改質聚酯、改質聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸系共聚物、萘磺酸福馬林縮合物〕、聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、烷醇胺等。
高分子分散劑可根據其結構進一步分類為直鏈狀高分子、末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。高分子分散劑吸著於顔料的表面,以防止再凝聚的方式發揮作用。因此作為較佳的結構,可舉出具有向顔料表面的錨定(Anchor)部位之末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。
作為末端改質型高分子,例如可以舉出日本特開平3-112992號公報、日本專利公表2003-533455號公報等中記載的在末端具有磷酸基之高分子,日本特開2002-273191號公報等中記載的在末端具有磺酸基之高分子,日本特開平9-77994號公報等中記載的具有有機色素的部分骨架或雜環之高分子等。並且,日本特開2007-277514號公報中記載的在高分子末端導入2個以上的對顔料表面的錨定部位(酸基、鹼性基、有機色素的部分骨架或雜環等)之高分子的分散穩定性亦優異,故較佳。
作為接枝型高分子,例如可以舉出聚酯系分散劑等。具體而言,可以舉出日本特開昭54-37082號公報、日本專利公表平8-507960號公報、日本特開2009-258668號公報等中記載的聚(低級伸烷基亞胺)與聚酯的反應產物;日本特開平9-169821號公報等中記載的聚烯丙基胺與聚酯的反應產物;日本特開平10-339949號公報、日本特開2004-37986號公報、国際揭示小冊子WO2010/110491等中記載的巨單體與氮原子單體的共聚物;日本特開2003-238837號公報、日本特開2008-9426號公報、日本特開2008-81732號公報等中記載的具有有機色素的部分骨架或雜環之接枝型高分子;日本特開2010-106268號公報等中記載的巨單體與含酸基單體的共聚物;日本特開2009-203462號公報中記載的具有鹼性基和酸基之両性樹脂等。
作為藉由自由基聚合來製造接枝型高分子時使用之巨單體,可以使用公知的巨單體,可以舉出TOAGOSEI CO.,LTD.製造的巨單體AA-6(末端基為甲基丙烯醯基之聚甲基丙烯酸甲酯)、AS-6(末端基為甲基丙烯醯基之聚苯乙烯)、AN-6S(末端基為甲基丙烯醯基之苯乙烯和丙烯腈的共聚物)、AB-6(末端基為甲基丙烯醯基之聚丙烯酸丁酯)、DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES CO.,LTD.製造的PLACCEL FM5(甲基丙烯酸2-羥基乙酯的ε-己內酯5莫耳當量加成品)、FA10L(丙烯酸2-羥基乙酯ε-己內酯10莫耳當量加成品)、及日本特開平2-272009號公報中記載的聚酯系巨單體等。
作為嵌段型高分子,日本特開2003-49110號公報、日本特開2009-52010號公報等中記載的嵌段型高分子為較佳。
用作分散劑之樹脂含有具有酸基之重複單元為較佳。藉由樹脂含有具有酸基之重複單元,從而在藉由光刻法而形成著色圖案時,能夠進一步減少產生於著色畫素的基底之殘渣。
具有酸基之重複單元可使用具有酸基之單體而構成。作為來源於酸基之單體,可以舉出具有羧基之乙烯基單體、具有磺酸基之乙烯基單體、具有磷酸基之乙烯基單體等。
作為具有羧基之乙烯基單體,可以舉出(甲基)丙烯酸、乙烯基苯甲酸、馬來酸、馬來酸單烷基酯、富馬酸、衣康酸、巴豆酸、桂皮酸、丙烯酸二聚物等。並且,亦可利用2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯等具有羥基之單聚體與如馬來酸酐、鄰苯二甲酸酐、琥珀酸酐、環己烷二羧酸酐那樣的環酐的加成反應物,ω-羧基-聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯等。並且,作為羧基的前驅物,可以使用馬來酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐等含酐單體。其中,從未曝光部的顯影去除性的觀點來看,2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯等具有羥基之單聚體與如馬來酸酐、鄰苯二甲酸酐、琥珀酸酐、環己烷二羧酸酐那樣的環酐的加成反應物為較佳。
作為具有磺酸基之乙烯基單體,可以舉出2-丙烯醯胺基-2-甲基丙烷磺酸等。
作為具有磷酸基之乙烯基單體,可以舉出磷酸單(2-丙烯醯氧基乙基酯)、磷酸單(1-甲基-2-丙烯醯氧基乙基酯)等。
並且,作為具有酸基之重複單元,可以參照日本特開2008-165059號公報的段落號0067~0069的記載,該內容包括在本說明書中。
並且,在本發明中,作為分散劑,可使用包含通式(A1)及通式(A2)中的任一者表示之重複單元和具有酸基之重複單元之接枝共聚物。該接枝共聚物可用作酸性分散劑。
【化學式22】
通式(A1)及(A2)中,R1
~R6
分別獨立地表示氫原子或1價的有機基,X1
及X2
分別獨立地表示-CO-、-C(=O)O-、-CONH-、-OC(=O)-或亞苯基,L1
及L2
分別獨立地表示單鍵或2價的有機連接基團,A1
及A2
分別獨立地表示1價的有機基,m及n分別獨立地表示2~8的整數,p及q分別獨立地表示1~100的整數。
R1
~R6
分別獨立地表示氫原子或1價的有機基。作為1價的有機基,經取代或無取代的烷基為較佳。作為烷基,碳原子數為1~12的烷基為較佳,碳原子數為1~8的烷基為更佳,碳原子數為1~4的烷基為尤佳。
作為R1
、R2
、R4
及R5
,氫原子為較佳,作為R3
及R6
,從對顔料表面的吸著效率的觀點來看,氫原子或甲基亦為最佳。
X1
及X2
分別獨立地表示-CO-、-C(=O)O-、-CONH-、-OC(=O)-或亞苯基。其中,從對顔料的吸著性的觀點來看,-C(=O)O-、-CONH-、亞苯基為較佳,-C(=O)O-為最佳。
L1
及L2
分別獨立地表示單鍵或2價的有機連接基團。作為2價的有機連接基團,取代或無取代的伸烷基、由伸烷基和雜原子或伸烷基和含有雜原子之部分結構構成之2價的有機連接基團為較佳。
作為伸烷基,碳原子數為1~12的伸烷基為較佳,碳原子數為1~8的伸烷基為更佳,碳原子數為1~4的伸烷基為尤佳。
作為含有雜原子之部分結構中之雜原子,例如可以舉出氧原子、氮原子、硫原子,其中,氧原子、氮原子為較佳。
作為2價的有機連接基團,從對顔料的吸著性的觀點來看,較佳的是在上述伸烷基的末端具有選自-C(=O)-、-OC(=O)-、-NHC(=O)-之雜原子或含有雜原子之部分結構,經由雜原子或含有雜原子之部分結構而與相鄰之氧原子連接者。在此,相鄰之氧原子是指對於通式(A1)中之L1
、及通式(A2)中之L2
,在側鏈末端側鍵結之氧原子。
A1
及A2
分別獨立地表示1價的有機基。作為1價的有機基,取代或無取代的烷基或取代或無取代的芳基為較佳。作為取代基,可以舉出在日本特開2009-256572號公報的段落號0028中記載之取代基,將該些內容併入到本說明書中。
作為A1
及A2
,從分散穩定性、顯影性的觀點來看,碳原子數為1~20的直鏈烷基、碳原子數為3~20的支鏈烷基、碳原子數為5~20的環狀烷基為較佳,碳原子數為4~15的直鏈烷基、碳原子數為4~15的支鏈烷基、碳原子數為6~10的環狀烷基為更佳,碳原子數為6~10的直鏈烷基、碳原子數為6~12的支鏈烷基進一步較佳。
m及n分別獨立地表示2~8的整數。從分散穩定性、顯影性的觀點來看,4~6為較佳,5為最佳。
p及q分別獨立地表示1~100的整數。亦可以混合2種以上p的不同者及q的不同者。從分散穩定性、顯影性的觀點來看,p及q為5~60為較佳、5~40為更佳,5~20進一步較佳。
對於通式(A1)中表示之重複單元、通式(A2)中表示之重複單元的詳細內容,可以參照日本特開2012-173356號公報的段落號0060~0084的記載內容,將該些內容併入到本說明書中。
作為具有酸基之重複單元,可以舉出上述者。
上述接枝共聚物的詳細內容,可以參照日本特開2012-173356號公報的段落號0060~0109的記載內容,將該些內容併入到本說明書中。作為上述接枝共聚物的具體例,例如可以舉出以下者。
【化學式23】
並且,在本發明中,作為分散劑可使用在主鏈及側鏈的至少一者含有氮原子之寡聚亞胺(Oligoimine)系樹脂。作為寡聚亞胺系樹脂,較佳為具有重複單元和側鏈,且在主鏈及側鏈的至少一方具有鹼性氮原子之樹脂,其中,該重複單元具備具有pKa
14以下的官能基之部分結構X,該側鏈含有原子數為40~10,000的寡聚物鏈或聚合物鏈Y。
在此,鹼性氮原子只要為呈鹼性之氮原子則無特別的限制。寡聚亞胺系樹脂含有具有鹽強度pKb
14以下的氮原子之結構為較佳,含有具有pKb
10以下的氮原子之結構為更佳。
在本發明中,鹽強度pKb
是指水溫25℃下的pKb
,係用於定量地表示鹽強度之指標之一,係與鹼度常數相同含義。鹽強度pKb
和後述的酸強度pKa
具有pKb
=14-pKa
的關係。
寡聚亞胺系樹脂為具有重複單元(i)和側鏈(ii)為尤佳,其中,該重複單元(i)係選自聚(低級伸烷基亞胺)系重複單元、聚烯丙基胺系重複單元、聚二烯丙基胺系重複單元、間二甲苯二胺-表氯醇縮聚物系重複單元、及聚乙烯胺系重複單元之至少1種的具有鹼性氮原子之重複單元,並且具有與鹼性氮原子鍵結且包含pKa
14以下的官能基之部分結構X,該側鏈(ii)含有原子數40~10,000的寡聚物鏈或聚合物鏈Y。
聚(低級伸烷基亞胺)可以為鏈狀,亦可以為網目狀。在此,在本發明中,低級伸烷基亞胺是指含有碳原子數為1~5的伸烷基鏈之伸烷基亞胺。
上述重複單元(i)形成寡聚亞胺系樹脂中之主鏈部為較佳。主鏈部的數量平均分子量,亦即,從寡聚亞胺系樹脂中去除上述側鏈(ii)部分的數量平均分子量為100~10,000為較佳,200~5,000進一步較佳,300~2,000為最佳。能夠由藉由核磁共振分光法測定之末端基與主鏈部的氫原子積分值的比率求出主鏈部的數量平均分子量,或藉由測定含有作為原材料之胺基之寡聚物或聚合物的分子量求出主鏈部的數量平均分子量。
寡聚亞胺系樹脂的最佳態様的一種,可以舉出包含下述通式(I-1)中表示之重複單元、及通式(I-2)中表示之重複單元之態様。
【化學式24】
在通式(I-1)及(I-2)中,R1
及R2
分別獨立地表示氫原子、鹵素原子或烷基,a分別獨立地表示1~5的整數,*表示重複單元之間的連接部,X表示具有pKa
14以下的官能基之基團,Y表示原子數為40~10,000的寡聚物鏈或聚合物鏈。
寡聚亞胺系樹脂進一步含有通式(I-3)中表示之重複單元為較佳。依據該態様,著色劑等的分散性會進一步提高。
【化學式25】
在通式(I-3)中,R1
、R2
及a與通式(I-1)中之R1
、R2
及a具有相同含義。Y’表示具有陰離子基團之原子數為40~10,000的寡聚物鏈或聚合物鏈。可藉由在主鏈部具有一級或二級胺基之樹脂中添加具有與胺反應而形成鹽之基團之寡聚物或聚合物而使其進行反應,從而形成通式(I-3)中表示之重複單元。
在通式(I-1)、通式(I-2)及通式(I-3)中,R1
及R2
為氫原子為較佳。從原材料獲取性的觀點來看,a為2為較佳。
寡聚亞胺系樹脂除了含有通式(I-1)、通式(I-2)及通式(I-3)中表示之重複單元以外,亦可以含有具有一級或三級胺基之低級伸烷基亞胺作為重複單元。另外,低級伸烷基亞胺重複單元中之氮原子亦可以進一步鍵結有由X、Y或Y’表示之基團。
通式(I-1)中表示之重複單元在包含於寡聚亞胺系樹脂之總重複單元中含有1~80莫耳%為較佳,含有3~50莫耳%為最佳。
通式(I-2)中表示之重複單元在包含於寡聚亞胺系樹脂中之總重複單元含有10~90莫耳%為較佳,含有30~70莫耳%為最佳。
從分散穩定性及親疏水性平衡的觀點來看,重複單元(I-1)及重複單元(I-2)的含有比率〔(I-1):(I-2)〕以莫耳比計為10:1~1:100的範圍為較佳,1:1~1:10的範圍為更佳。
另外,依據需要而併用之通式(I-3)中表示之重複單元係,含有原子數為40~10,000的寡聚物鏈或聚合物鏈Y’之部分結構與主鏈的氮原子離子鍵結者,在包含於寡聚亞胺系樹脂之總重複單元中,從效果的觀點來看,含有0.5~20莫耳%為較佳,含有1~10莫耳%為最佳。另外,能夠藉由紅外分光法、鹽滴定法來確認離子鍵結有聚合物鏈Y’。
寡聚亞胺系樹脂亦可使用日本特開2009-258668號公報的段落號0016~0018、日本特開2009-203462號公報的段落號0021~0080中記載之化合物。將該些內容併入到本說明書中。
並且,在本發明中,作為酸性分散劑,可使用日本特開2008-165059號公報的段落號0020~0075中記載之具有酸基和不飽和雙鍵之樹脂。
亦可作為市售品而獲取分散劑,作為該種具體例,可以舉出KUSUMOTO Chemicals,LTD.製造的“DA-7301”;BYK-Chemie GmbH製造的“DISPERBYK-101(聚醯胺-胺磷酸鹽)、107(羧酸酯)、110(含有酸基之共聚物)、111(磷酸系分散劑)、130(聚醯胺)、161、162、163、164、165、166、170、171、174、176、180、182、2000、2001、2050、2150、P104、P105、LPN21116”;BYK-Chemie GmbH製造的“BYK-6919”、EFKA公司製造的“EFKA4047、4050~4010~4165(聚胺基甲酸酯系)、EFKA4330~4340(嵌段共聚物)、4400~4402(改質聚丙烯酸酯)、5010(聚酯醯胺)、5765(高分子量聚羧酸鹽)、6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞菁衍生物)、6750(偶氮顔料衍生物)”;AJINOMOTO FINE-TECHNO Co.,Inc製造的“AJISPER PB821、PB822、PB880、PB881”;KYOEISHA Chemical Co.,Ltd製造的“FLOWLEN TG-710(聚胺基甲酸酯寡聚物)”、“POLYFLOW No.50E、No.300(丙烯酸系共聚物)”;KUSUMOTO Chemicals,Ltd製造的“DISPARLON KS-860、873SN、874、#2150(脂肪族多價羧酸)、#7004(聚醚酯)、DA-703-50、DA-705、DA-725”;KAO Corporation製造的“DEMOL RN、N(萘磺酸福馬林縮聚物)、MS、C、SN-B(芳香族磺酸福馬林縮聚物)”、“HOMOGENOL L-18(高分子聚羧酸)”、“EMULGEN920、930、935、985(聚氧乙烯壬基苯基醚)”、“ACETAMIN86(硬脂基胺乙酸鹽)”;LUBRIZOL JAPAN ,LTD.製造的“SOLSPERSE5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮顔料衍生物)、13240(聚酯胺)、3000、12000、17000、20000、27000(在末端部具有功能部之高分子)、24000、28000、32000、38500(接枝型高分子)”;Nikko Chemicals Co., Ltd.製造的“NIKKOR T106(聚氧乙烯山梨糖醇單油酸酯)、MYS-IEX(聚氧乙烯單硬脂酸酯)”;KAWAKEN FINE CHEMICALS CO.,LTD.製造的HINOACT T-8000E等;SHIN-ETSU CHEMICAL CO.,LTD.製造的有機矽氧烷聚合物KP341;YUSHO CO.,LTD.製造的“W001:陽離子系界面活性劑”、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油烯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯等非離子界面活性劑、“W004、W005、W017”等陰離子系界面活性劑,MORISHITA&CO.,LTD.製造的“EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKA聚合物100、EFKA聚合物400、EFKA聚合物401、EFKA聚合物450”、SUN NOPCO LIMITED製造的“DISPERSE AID 6、DISPERSE AID 8、DISPERSE AID 15、DISPERSE AID 9100”等高分子分散劑,ADEKA CORPORATION製造的“ADEKA PLURONIC L31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123”、及SANYO CHEMICAL INDUSTRIES,LTD.製造的“IONET(商品名稱)S-20”等。並且,亦可使用ACRYBASE FFS-6752、ACRYBASE FFS-187、ACRYCURE-RD-F8、CYCLOMER P。
另外,利用上述分散劑進行說明之樹脂,亦可以以分散劑以外的用途進行使用。例如亦能夠用作黏合劑。
<<<鹼可溶性樹脂>>>
本發明的著色硬化性組成物能夠含有鹼可溶性樹脂而作為樹脂。藉由含有鹼可溶性樹脂,顯影性及圖案形成性提高。另外,鹼可溶性樹脂亦可用作分散劑和黏合劑。
作為鹼可溶性樹脂的分子量並無特別的限定,重量平均分子量(Mw)為5000~100,000為較佳。並且數量平均分子量(Mn)為1000~20,000為較佳。
作為鹼可溶性樹脂,可以係線性有機高分子聚合物,亦可以從在分子(以丙烯酸系共聚物、苯乙烯系共聚物為主鏈之分子為較佳)中至少具有1個促進鹼可溶性之基團之鹼可溶性樹脂中適當地進行選擇。
作為鹼可溶性樹脂,從耐熱性的觀點來看,多羥基苯乙烯系樹脂、聚矽氧烷系樹脂、丙烯酸系樹脂、丙烯醯胺系樹脂、丙烯酸/丙烯醯胺共聚物樹脂為較佳,從控制顯影性之觀點來看,丙烯酸系樹脂、丙烯醯胺系樹脂、丙烯酸/丙烯醯胺共聚物樹脂為較佳。
作為促進鹼可溶性之基團(以下,亦稱作酸基),例如可以舉出羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羥基等,可溶於有機溶劑中,且可利用弱鹼水溶液進行顯影者為較佳,作為尤佳者可舉出(甲基)丙烯酸。該些酸基可以僅為1種,亦可以為2種以上。
在製造鹼可溶性樹脂時,例如能夠適用公知的利用自由基聚合法之方法。用自由基聚合法製造鹼可溶性樹脂時的溫度、壓力、自由基起始劑的種類及其量、溶劑的種類等聚合條件可由本領域技術人員容易地設定,亦可以實驗性地設定條件。
作為鹼可溶性樹脂,在側鏈具有羧酸之聚合物為較佳,可以舉出甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、馬來酸共聚物、部分酯化馬來酸共聚物、酚醛型樹脂(novolak type resin)等鹼可溶性酚樹脂(phenol resin)等;以及在側鏈具有羧基之酸性纖維素衍生物、在具有羥基之聚合物上加成酸酐而成者。尤其,(甲基)丙烯酸和可與其共聚合之其他單體的共聚物適合作為鹼可溶性樹脂。作為可與(甲基)丙烯酸共聚合的其他單體,可以舉出(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、乙烯基化合物等。作為(甲基)丙烯酸烷基酯及(甲基)丙烯酸芳基酯,可以舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸環己基酯等,作為乙烯基化合物,可以舉出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯腈、乙酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯啶酮、甲基丙烯四氫糠酯、聚苯乙烯巨單體、聚甲基丙烯酸甲酯巨單體等,在日本特開平10-300922號公報中記載的作為N位取代馬來醯亞胺單體,能舉出N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺等。另外,可與該些(甲基)丙烯酸共聚合之其他單體可以僅為1種,亦可以為2種以上。
並且,為了提高本發明中之著色硬化性組成物的交聯效率,可以使用具有聚合性基團之鹼可溶性樹脂。作為聚合性基團,可以舉出(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等。具有聚合性基團之鹼可溶性樹脂,在側鏈含有聚合性基團之鹼可溶性樹脂等是有用的。
含有聚合性基團之鹼可溶性樹脂,如下樹脂等為較佳:預先使異氰酸酯基與羥基反應而殘留1個未反應的異氰酸酯基,且含有(甲基)丙烯醯基等聚合性基團之化合物、與含有羧基之丙烯酸系樹脂進行反應而得到;且經胺基甲酸酯改質之鹼可溶性樹脂;藉由含有羧基之丙烯酸樹脂與在分子內具有環氧基及聚合性雙鍵之化合物的反應而得到之鹼可溶性樹脂;酸側基(Acid pendant)型環氧丙烯酸酯樹脂;使含有羥基之丙烯酸樹脂與具有聚合性雙鍵之二元酸酐反應而得到之鹼可溶性樹脂;使含有羥基之丙烯酸樹脂與具有異氰酸酯及聚合性基團之化合物進行反應而得到之鹼可溶性樹脂;日本特開2002-229207號公報及日本特開2003-335814號公報中記載之藉由對以下樹脂進行鹼性處理而得到之鹼可溶性樹脂,前述樹脂在側鏈上具有在α位或β位具有鹵素原子或磺酸基等脱離基之酯基。
作為含有聚合性基團之鹼可溶性樹脂,可以舉出DIANAL NR系列(MITSUBISHI RAYON SHARES CO.,LTD.製造)、Photomer6173(含COOH的polyurethane acrylic oligomer,Diamond Shamrock Co., Ltd.製造)、VISCOAT R-264、KS RESIST 106(均為OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD.製造)、CYCLOMER P系列(例如ACA230AA)、PLACCEL CF200系列(均為DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES CO.,LTD.製造)、Ebecryl 3800(DAICEL UCB CO.,LTD.製造)、Akurikyua-RD-F8(NIPPON SHOKUBAI CO.,LTD.製造)等。
鹼可溶性樹脂可較佳地使用(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯共聚物、包含(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/其他單體之多元共聚物。並且,亦可以較佳使用將2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯共聚合而成者,日本特開平7-140654號公報中記載的(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物,丙烯酸-2-羥基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物,甲基丙烯酸-2-羥基乙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物,甲基丙烯酸-2-羥基乙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物等。
鹼可溶性樹脂包含聚合物(a)亦較佳,該聚合物(a)藉由將含有下述通式(ED1)中表示之化合物及/或下述通式(ED2)中表示之化合物(以下,有時亦將該些化合物稱作“醚二聚物”)之單體成分聚合而構成。
【化學式26】
通式(ED1)中,R1
及R2
分別獨立地表示氫原子或可以具有取代基之碳原子數為1~25的烴基。
【化學式27】
通式(ED2)中,R表示氫原子或碳原子數為1~30的有機基團。作為通式(ED2)的具體例,可以參照日本特開2010-168539號公報的記載。
通式(ED1)中,作為由R1
及R2
表示之可以具有取代基之碳原子數為1~25的烴基並無特別的限制,例如可以舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基、叔戊基、硬脂基、月桂基、2-乙基己基等直鏈狀或支鏈狀的烷基;苯基等芳基;環己基、叔丁基環己基、二環戊二烯基、三環癸烷基、異冰片基、金剛烷基、2-甲基-2-金剛烷基等脂環式基團;1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基等經烷氧基取代之烷基;苄基等經芳基取代之烷基等。其中,尤其,從耐熱性的觀點來看,如甲基、乙基、環己基、苄等那樣的不易因酸或熱而脫離之一級或二級碳的取代基為較佳。
作為醚二聚物的具體例,例如可舉出二甲基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二乙基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(正丙基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(異丙基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(正丁基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(異丁基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(叔丁基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(叔戊基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(硬脂基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(月桂基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(2-乙基己基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(1-甲氧基乙基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(1-乙氧基乙基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二芐基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二苯基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二環己基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(叔丁基環己基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(二環戊二烯基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(三環癸烷基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(異冰片基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二金剛烷基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(2-甲基-2-金剛烷基)-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯等。其中,二甲基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二乙基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二環己基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二芐基-2,2’-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯為尤佳。該些醚二聚物可以僅為1種,亦可以為2種以上。來源於通式(ED)所表示之化合物的結構體亦可以使其他單體共聚合。
鹼可溶性樹脂亦可以含有來源於下述式(X)中表示之化合物之結構單元。
【化學式28】
在式(X)中,R1
表示氫原子或甲基,R2
表示碳原子數為2~10的伸烷基,R3
表示氫原子或可以含有苯環的碳原子數為1~20的烷基。n表示1~15的整數。
在上述式(X)中,R2
的伸烷基的碳原子數為2~3為較佳。並且,R3
的烷基的碳原子數為1~20,1~10為更佳,R3
的烷基亦可以含有苯環。作為由R3
表示之含有苯環之烷基,可以舉出苄基、2-苯基(異)丙基等。
鹼可溶性樹脂可以參照日本特開2012-208494號公報段落0558~0571(對應之美國專利申請揭示第2012/0235099號說明書的[0685]~[0700])之後的記載,將該些內容併入到本申請案說明書中。
另外,亦可使用日本特開2012-32767號公報中記載的段落號0029~0063中記載的共聚物(B)及實施例中使用之鹼可溶性樹脂、日本特開2012-208474號公報的段落號0088~0098中記載的黏合劑樹脂及實施例中使用之黏合劑樹脂、日本特開2012-137531號公報的段落號0022~0032中記載的黏合劑樹脂及在實施例中使用之黏合劑樹脂、日本特開2013-024934號公報的段落號0132~0143中記載的黏合劑樹脂及在實施例中使用之黏合劑樹脂、日本特開2011-242752號公報的段落號0092~0098及實施例中使用之黏合劑樹脂、日本特開2012-032770號公報的段落號0030~0072中記載的黏合劑樹脂。將該些內容併入到本申請案說明書中。
鹼可溶性樹脂的酸值為30~500mgKOH/g為較佳。下限為50mgKOH/g以上為更佳,70mgKOH/g以上為進一步較佳。上限為400mgKOH/g以下為更佳,200mgKOH/g以下為進一步較佳,150mgKOH/g以下為尤佳,120mgKOH/g以下為進一步較佳。
在著色硬化性組成物含有鹼可溶性樹脂之情況下,鹼可溶性樹脂的含量相對於著色硬化性組成物的總固體成分為1~15質量%為較佳,2~12質量%為更佳,3~10質量%為進一步較佳。本發明的著色硬化性組成物可以僅含有1種鹼可溶性樹脂,亦可以含有2種以上。在含有2種以上鹼可溶性樹脂之情況下,其總量成為上述範圍為較佳。
<<顔料衍生物>>
本發明的著色硬化性組成物含有顔料衍生物為較佳。顔料衍生物為具有由酸性基、鹼性基或鄰苯二甲醯基取代有機顔料的一部分之結構之化合物為較佳。作為顔料衍生物,從著色劑A的分散性及分散穩定性的觀點來看,具有酸性基或鹼性基之顔料衍生物為較佳。具有鹼性基之顔料衍生物為尤佳。並且,就上述樹脂(分散劑)與顏料衍生物的組合而言,分散劑為酸性分散劑且顔料衍生物具有鹼性基之組合為較佳。
作為用於構成顔料衍生物的有機顔料,可以舉出二酮吡咯并吡咯系顔料、偶氮系顏料、酞菁系顏料、蒽醌系顏料、喹吖啶酮系顏料、二噁嗪系顏料、紫環酮系顏料、苝系顏料、硫靛系顏料、異吲哚啉系顏料、異吲哚啉酮系顏料、喹酞酮系顏料、士林系顏料、金屬錯合物系顏料等。
並且,作為顔料衍生物所具有之酸性基,磺酸基、羧酸基及其鹽為較佳,羧酸基及磺酸基進一步較佳,磺酸基為尤佳。作為顔料衍生物所具有之鹼性基,胺基為較佳,三級胺基為尤佳。
在本發明的著色硬化性組成物含有顔料衍生物之情況下,顔料衍生物的含量相對於著色劑A的質量為1~30質量%為較佳,3~20質量%為進一步較佳。顔料衍生物可以僅使用1種,亦可以併用2種以上。
<<光聚合起始劑>>
本發明的著色硬化性組成物可以進一步含有光聚合起始劑。
作為光聚合起始劑,只要具有引發聚合性化合物的聚合的能力,則無特別的限制,可以從公知的光聚合起始劑中適當地進行選擇。例如對紫外線區域至可見光線具有感光性者為較佳。並且,可以是與被光激發之增感劑產生某些作用而生成活性自由基之活性劑,亦可以是根據單體的種類而引發陽離子聚合之起始劑。
並且,光聚合起始劑至少含有1種在約300nm~800nm(330nm~500nm為更佳)的範圍內至少具有約50莫耳吸光係數之化合物為較佳。
作為光聚合起始劑,例如可以舉出鹵化烴衍生物(例如具有三嗪骨架者、具有噁二唑骨架者等)、醯基膦氧化物等醯基膦化合物、六芳基雙咪唑、肟衍生物等肟化合物、有機過氧化物、硫代化合物、酮化合物、芳香族鎓鹽、酮肟醚、胺基苯乙酮化合物、羥基苯乙酮等。
並且,從曝光感度的觀點來看,選自由三鹵甲基三嗪化合物、芐基二甲基縮酮化合物、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物、醯基膦化合物、氧化膦化合物、茂金屬化合物、肟化合物、三烯丙基咪唑二聚物、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物及其衍生物、環戊二烯-苯-鐵錯合物及其鹽、鹵甲基噁二唑化合物、經3-芳基取代的香豆素化合物構成之群之化合物為較佳。
三鹵甲基三嗪化合物、α-胺基酮化合物、醯基膦化合物、氧化膦化合物、肟化合物、三烯丙基咪唑二聚物、鎓化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物為進一步較佳,選自由三鹵甲基三嗪化合物、α-胺基酮化合物、肟化合物、三烯丙基咪唑二聚物、二苯甲酮化合物構成之群之至少一種化合物為尤佳。
尤其,在製造固體攝像元件的彩色濾光片時使用本發明的著色硬化性組成物之情況下,由於需要以尖細形狀形成微細圖案,因此硬化性和對未曝光部無殘渣的方式進行顯影比較重要。從該種觀點來看,作為光聚合起始劑而使用肟化合物為尤佳。尤其,在固體攝像元件中形成微細之圖案之情況下,硬化用曝光中使用步進機曝光,但是該曝光機有時會因鹵素而損傷,還需要將光聚合起始劑的添加量抑制得較低,因此考慮到該點,如固體攝像元件那樣在形成微細圖案時,作為光聚合起始劑而使用肟化合物為尤佳。並且,藉由使用肟化合物而能夠更優化移染性。
作為光聚合起始劑的具體例,例如可以參照日本特開2013-29760號公報的段落0265~0268,將該內容併入到本申請案說明書中。
作為光聚合起始劑,能夠適當地使用羥基苯乙酮化合物、胺基苯乙酮化合物及醯基膦化合物。更具體而言,例如亦可以使用日本特開平10-291969號公報中記載的胺基苯乙酮系起始劑、專利第4225898號公報中記載的醯基膦系起始劑。
作為羥基苯乙酮系起始劑,可以使用IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959,IRGACURE-127(商品名稱:均為BASF SE製造)。
作為胺基苯乙酮系起始劑,可以使用作為市售品之IRGACURE-907、IRGACURE-369及IRGACURE-379(商品名稱:均為BASF SE製造)。胺基苯乙酮系起始劑亦可使用吸收波長與365nm或405nm等長波光源匹配之日本特開2009-191179公報中記載的化合物。
作為醯基膦系起始劑,可以使用市售品之IRGACURE-819、DAROCUR-TPO(商品名稱:均為BASF SE製造)。
作為光聚合起始劑,更佳可以舉出肟化合物。
作為肟化合物的具體例,可以使用日本特開2001-233842號公報記載的化合物、日本特開2000-80068號公報記載的化合物、日本特開2006-342166號公報記載的化合物。
作為能夠適合使用於本發明之肟化合物,例如可以舉出3-苯甲醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊烷-3-酮、2-乙醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺醯氧基)亞胺基丁烷-2酮及2-乙氧基羰氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。
並且,亦可以舉出J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653-1660、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156-162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202-232、日本特開2000-66385號公報記載的化合物、日本特開2000-80068號公報、日本專利公表2004-534797號公報、日本特開2006-342166號公報等各公報中記載的化合物等。
市售品中亦可適當地使用IRGACURE-OXE01(BASF SE製造)、IRGACURE-OXE02(BASF SE製造)。並且,亦可使用TR-PBG-304(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD.製造)、ADEKA ARKLS NCI-831及ADEKA ARKLS NCI-930(ADEKA Corporation製造)。
並且,作為上述記載以外的肟化合物,亦可使用肟連接於咔唑N位之日本專利公表2009-519904號公報中記載的化合物、在二苯甲酮部位導入有雜取代基之美國專利第7626957號公報中記載的化合物、在色素部位導入有硝基之日本特開2010-15025號公報及美國特開2009-292039號中記載的化合物、国際揭示專利2009-131189號公報中記載的酮肟化合物、在同一分子內含有三嗪骨架和肟骨架之在美國專利7556910號公報中記載的化合物、具有405nm的最大吸收,且對g線光源具有良好的感度之日本特開2009-221114號公報記載的化合物等。
較佳為例如可以參照日本特開2013-29760號公報的段落0274~0275,將該內容併入到本申請案說明書中。
具體而言,作為肟化合物,下述式(OX-1)中表示之化合物為較佳。另外,肟的N-O鍵可以為(E)體的肟化合物,亦可以為(Z)體的肟化合物,亦可以為(E)體與(Z)體的混合物。
【化學式29】
在通式(OX-1)中,R及B分別獨立地表示一價取代基,A表示二價有機基,Ar表示芳基。
在通式(OX-1)中,作為由R表示之一價取代基,一價非金屬原子團為較佳。
作為一價的非金屬原子團,可以舉出烷基、芳基、醯基、烷氧羰基、芳氧基羰基、雜環基、烷硫基羰基、芳硫基羰基等。並且,該些基團亦可具有1以上的取代基。並且,前述取代基亦可以進一步被其他取代基取代。
作為取代基,可以舉出鹵素原子、芳氧基、烷氧基羰基或芳氧基羰基、醯氧基、醯基、烷基、芳基等。
在通式(OX-1)中,作為由B表示之一價取代基,芳基、雜環基、芳基羰基或雜環羰基為較佳。該些基團亦可以具有1個以上的取代基。作為取代基,可例示前述取代基。
在通式(OX-1)中,作為由A表示之二價有機基,碳原子數為1~12的伸烷基、環伸烷基、亞炔基為較佳。該些基團亦可以具有1個以上的取代基。作為取代基,能夠例示前述取代基。
通式(OX-1)中表示之化合物的具體例如下表示,但是本發明並非係限定於該等者。
【化學式30】
肟化合物為在350nm~500nm的波長區域具有極大吸收波長者為較佳,在360nm~480nm的波長區域具有吸收波長者為更佳,365nm及455nm的吸光度較高者為尤佳。
肟化合物中,從感度的觀點來看,365nm或405nm中之莫耳吸光係數為1,000~300,000為較佳,2,000~300,000為更佳,5,000~200,000為尤佳。
化合物的莫耳吸光係數可使用公知的方法,例如由紫外可見分光光度計(Varian公司製造的Cary-5 spectrophotometer),並使用乙酸乙酯溶劑,以0.01g/L的濃度進行測定為較佳。
使用於本發明之光聚合起始劑,亦可根據需要而組合2種以上進行使用。
在本發明的著色硬化性組成物含有光聚合起始劑之情況下,光聚合起始劑的含量相對於著色硬化性組成物的總固體成分為0.1~50質量%為較佳,0.5~30質量%為更加,1~20質量%進一步較佳。在該範圍下,可以得到更加良好的感度和圖案形成性。
本發明的組成物可以僅含有1種光聚合起始劑,亦可以含有2種以上。在含有2種以上光聚合起始劑之情況下,其總量成為上述範圍為較佳。
<<聚合抑制劑>>
在本發明的著色硬化性組成物中,為了在著色硬化性組成物的製造中或保存中阻止聚合性化合物的不需要的熱聚合,理想的是添加少量的聚合抑制劑。
作為聚合抑制劑,可以舉出對苯二酚、對甲氧基苯酚、二-叔丁基對甲酚、鄰苯三酚、叔丁基鄰苯二酚、苯醌、4,4’-硫代雙(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、N-亞硝基苯基羥胺第一鈰鹽等。
在本發明的著色硬化性組成物含有聚合抑制劑之情況下,聚合抑制劑的含量相對於著色硬化性組成物的質量為約0.01~5質量%為較佳。
本發明的著色硬化性組成物可以僅含有1種聚合抑制劑,亦可以含有2種以上。在含有2種以上聚合抑制劑之情況下,其總量成為上述範圍為較佳。
<<界面活性劑>>
從進一步提高塗佈性之觀點來看,亦可以向本發明的著色硬化性組成物中添加各種界面活性劑。作為界面活性劑,可以使用氟系界面活性劑、非離子界面活性劑、陽離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑、矽酮系界面活性劑等各種界面活性劑。
例如,藉由含有氟系界面活性劑,製備成塗佈液時的液體特性(尤其流動性)進一步提高。亦即,在使用含有氟系界面活性劑之著色硬化性組成物而形成膜之情況下,藉由使被塗佈面與塗佈液之間的界面張力減小,對被塗佈面的潤濕性得到改善,對被塗佈面的塗佈性提高。因此,即使在以少量的液體量形成數μm程度的薄膜時,亦可以進一步適當地進行厚度不均較小且均一厚度的膜形成就該點而言是有效的。
氟系界面活性劑中的氟含有率為3~40質量%為較佳,5~30質量%為更佳,7~25質量%為尤佳。氟含有率為該範圍內之氟系界面活性劑在塗佈膜的厚度均一性、省液性方面是有效的,且著色硬化性組成物中之溶解性亦良好。
作為氟系界面活性劑,例如可以舉出:MEGAFAC F171、MEGAFAC F172、MEGAFAC F173、MEGAFAC F176、MEGAFAC F177、MEGAFAC F141、MEGAFAC F142、MEGAFAC F143、MEGAFAC F144、MEGAFAC R30、MEGAFAC F437、MEGAFAC F475、MEGAFAC F479、MEGAFAC F482、MEGAFAC F554、MEGAFAC F780、MEGAFAC F781(以上,DIC Corporation製造);FLUORAD FC430、FLUORAD FC431、FLUORAD FC171(以上,SUMITOMO 3M Limited製造);SURFLON S-382、SURFLON SC-101、SURFLON SC-103、SURFLON SC-104、SURFLON SC-105、SURFLON SC1068、SURFLON SC-381、SURFLON SC-383、SURFLON S393、SURFLON KH-40(以上,ASAHI GLASS CO.,LTD.製造);PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(OMNOVA Solutions Inc.製造)等。
作為氟系界面活性劑亦可以使用嵌段聚合物,作為具體例,例如可以舉出在日本特開2011-89090號公報中記載之化合物。
作為非離子界面活性劑,具體可以舉出甘油、三羥甲基丙烷、三羥甲基乙烷及該等之乙氧基化物及丙氧基化物(例如丙氧基化甘油、乙氧基化甘油等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油烯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯(BASF SE製造的PLURONIC L10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、TETRONIC 304、701、704、901、904、150R1)、SOLSPERSE 20000(LUBRIZOL JAPAN ,LTD.)等。並且,亦可使用TAKEMOTO OIL&FAT CO.,LTD.製造的PIONIN D-6112-W。
作為陽離子系界面活性劑,具體而言,可以舉出酞菁衍生物(商品名稱:EFKA-745、MORISHITA & CO.,LTD.製造)、有機矽氧烷聚合物KP341(SHIN-ETSU CHEMICAL CO.,LTD.製造)、(甲基)丙烯酸系(共)聚合物POLYFLOW No.75、No.90、No.95(KYOEISHA CHEMICAL CO.,LTD.製造)、W001(YUSHOCO.,LTD.製造)等。
作為陰離子系界面活性劑,具體可以舉出W004、W005、W017(YUSHOCO.,LTD.製造)等。
作為矽酮系界面活性劑,例如可以舉出:DOW CORNING TORAY CO.,LTD.製造的“TORAY SILICONE DC3PA”、“TORAY SILICONE SH7PA”、“TORAY SILICONE DC11PA”、“TORAY SILICONE SH21PA”、“TORAY SILICONE SH28PA”、“TORAY SILICONE SH29PA”、“TORAY SILICONE SH30PA”、“TORAY SILICONE SH8400”;MOMENTIVE PERFORMANCE MATERIALS Inc.製造的“TSF-4440”、“TSF-4300”、“TSF-4445”、“TSF-4460”、“TSF-4452”;SHIN-ETSU CHEMICAL CO.,LTD.製造的“KP341”、“KF6001”、“KF6002”;BYK Chemie CO.,LTD.製造的“BYK307”、“BYK323”、“BYK330”等。
在本發明的著色硬化性組成物含有界面活性劑之情況下,界面活性劑的含量相對於著色硬化性組成物的總質量為0.001~2.0質量%為較佳,0.005~1.0質量%為更佳。
本發明的著色硬化性組成物可以僅含有1種界面活性劑,亦可以含有2種以上。在含有2種以上界面活性劑之情況下,其總量成為上述範圍為較佳。
<<矽烷偶合劑>>
本發明的著色硬化性組成物可以含有矽烷偶合劑。
作為矽烷偶合劑,在一個分子中具有至少2種反應性不同之官能基之矽烷化合物亦為較佳,作為官能基而具有胺基和烷氧基者為尤佳。作為該種矽烷偶合劑,例如有N-β-胺基乙基-γ-胺基丙基-甲基二甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 製造,商品名稱 KBM-602)、N-β-胺基乙基-γ-胺基丙基 - 三甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 製造,商品名稱 KBM-603,Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 製)、N-β-胺基乙基-γ-胺基丙基 - 三乙氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 製造,商品名稱 KBE-602)、γ-胺基丙基 - 三甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 製造,商品名稱 KBM-903)、γ-胺基丙基 - 三乙氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 製造,商品名稱,KBE-903)、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 製造,商品名稱,KBM-503)等。關於矽烷偶合劑的詳細內容,可以參照日本特開2013-254047號公報的段落號0155~0158的記載,將該內容併入到本說明書中。
在本發明的著色硬化性組成物含有矽烷偶合劑之情況下,矽烷偶合劑的含量相對於著色硬化性組成物的總固體成分為0.001~20質量%為較佳,0.01~10質量%為更佳,0.1質量%~5質量%為尤佳。
本發明的著色硬化性組成物可以僅含有1種矽烷偶合劑,亦可以含有2種以上。在含有2種以上矽烷偶合劑之情況下,其總量成為上述範圍為較佳。
<<其他添加劑>>
在本發明的著色硬化性組成物中,可以根據需要而能夠配合各種添加物,例如填充劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、凝集抑制劑等。作為該些添加物,可以舉出日本特開2004-295116號公報的段落0155~0156中記載者,將該些內容併入到本申請案說明書中。
在本發明的著色硬化性組成物中,能夠含有在日本特開2004-295116號公報的段落0078中記載的增感劑和光穩定劑、在前述公報的段落0081中記載的熱聚合抑制劑。
<著色硬化性組成物的製備方法>
本發明的著色硬化性組成物藉由混合前述成分而製備。
在製備著色硬化性組成物時,可以統一配合構成著色硬化性組成物之各成分,亦可以在將各成分溶解和分散於溶劑中之後逐次進行配合。並且,配合時的放入順序、作業條件不受特別制約。例如可以將所有成分同時溶解、分散於溶劑中而製備著色硬化性組成物,根據需要,亦可以將各成分適當地製成2種以上的溶液、分散液中,並在使用時(塗佈時)將該些進行混合而製備組成物。
以去除異物和減少缺陷等目的,本發明的著色硬化性組成物用過濾器進行過濾為較佳。作為過濾器,只要是先前用於過濾用途等者,則可以無特別的限定地使用。例如可以舉出由聚四氟乙烯(PTFE)等氟樹脂、尼龍-6、尼龍-6,6等聚醯胺系樹脂、聚乙烯、聚丙烯(PP)等聚烯烴樹脂(包含高密度、超高分子量)等構成之過濾器。該些原材料中聚丙烯(包含高密度聚丙烯)為較佳。
過濾器的孔徑為0.01~7.0μm程度比較合適,0.01~3.0μm程度為較佳,0.05~0.5μm程度為進一步較佳。藉由設為該範圍,在後續步驟中能夠可靠地去除阻礙均一且順利地製備著色硬化性組成物之微細的異物。
在使用過濾器時,亦可以組合不同的過濾器來使用。此時,利用第1過濾器可以僅進行1次過濾,亦可以進行2次以上。
並且,亦可以在上述範圍內組合不同孔徑的第1過濾器。此處的孔徑可參照過濾器製造商的標稱值。作為市售的過濾器,例如能夠從NIHON PALL LTD.、ADVANTECH TOYO KAISHA,LTD.、NIHON ENTEGRIS K.K.(Mykrolis Corporation)或KITZ MICROFILTER CORPORATION 等提供之各種過濾器中選擇。
第2過濾器可使用由與上述第1過濾器相同材料等形成者。
例如利用第1過濾器的過濾僅由分散液進行,亦可以在混合其他成分之後,進行第2過濾。
由於本發明的著色硬化性組成物能夠形成耐光性、移染性、平坦性良好的硬化膜,因此可適合用於形成彩色濾光片的著色層。並且,本發明的著色硬化性組成物可適合用於形成電荷耦合器件(CCD)、互補式金屬氧化物半導體(CMOS)等固體攝像元件、及液晶顯示裝置等圖像顯示裝置中使用之彩色濾光片等的著色圖案之用途。另外,亦可適合用於製作印刷油墨、噴墨油墨及塗料等用途。其中,可適合用於CCD及CMOS等固體攝像元件用的彩色濾光片的製造。
<彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法>
接著,關於圖案形成方法,藉由其製造方法而進行詳述。關於彩色濾光片,藉由其製造方法而進行詳述。並且對使用了本發明的圖案形成方法之彩色濾光片的製造方法亦進行說明。
本發明的彩色濾光片係使用本發明的著色硬化性組成物而成者。
本發明的圖案形成方法中,使用本發明的著色硬化性組成物在支撐體上形成著色硬化性組成物層,並去除不需要部分而形成著色圖案。
本發明的圖案形成方法能夠適合應用於形成彩色濾光片的著色圖案。
本發明的圖案形成方法可以藉由所謂光刻法進行圖案形成,亦可以藉由乾式蝕刻法進行圖案形成。
亦即,本發明的彩色濾光片的製造方法的第一態様包括:用本發明的著色硬化性組成物,在支撐體上形成著色硬化性組成物層之步驟;將著色硬化性組成物層曝光成圖案狀之步驟;及對未曝光部進行顯影去除而形成著色圖案之步驟。根據需要,亦可以設定將著色硬化性組成物層進行烘烤之步驟(預烘烤步驟)、及將顯影之著色圖案進行烘烤之步驟(後烘烤步驟)。
並且,本發明的彩色濾光片的製造方法的第二態様包括:使用本發明的著色硬化性組成物,在支撐體上形成著色硬化性組成物層,並進行硬化而形成著色層之步驟;在著色層上形成光阻層之步驟;藉由曝光及顯影,將光阻層圖案化而獲得抗蝕圖案之步驟;及將抗蝕圖案作為蝕刻遮罩,對著色層進行乾式蝕刻,從而形成著色圖案之步驟。
本發明的彩色濾光片能夠藉由上述製造方法而適當地得到。以下,對該等進行詳述。
<<形成著色硬化性組成物層之步驟>>
在形成著色硬化性組成物層之步驟中,使用本發明的著色硬化性組成物在支撐體上形成著色硬化性組成物層。
作為支撐體,例如能夠使用在基板(例如矽基板)上設置有CCD、CMOS等固體攝像元件(受光元件)之固體攝像元件用基板。
作為本發明中之著色圖案,可以形成於固體攝像元件用基板的固體攝像元件形成面側(表面),亦可以形成於固體攝像元件非形成面側(背面)。
根據需要,為了改善與上部層的密合、防止物質的拡散或實現基板表面的平坦化,亦可以在支撐體上設置下塗層。
作為在支撐體上適用本發明的著色硬化性組成物的方法,可使用狹縫塗佈、噴墨法、旋轉塗佈、流延塗佈、輥塗佈、絲網印刷法等各種方法。
適用於支撐體上之著色硬化性組成物層的乾燥(預烘烤),可以用加熱板、烘箱等在50~140℃的溫度下進行10~300秒。
<<曝光步驟>>
接著,將形成於支撐體上之著色硬化性組成物層呈圖案狀進行曝光(曝光步驟)。例如對形成於支撐體上之著色硬化性組成物層,使用步進機等曝光裝置,經由具有規定的遮罩圖案之遮罩進行曝光,藉此能夠進行圖案曝光。藉此能夠使曝光部分硬化。
作為可以在曝光時使用之放射線(光),使用g線、i線等紫外線為較佳(i線為尤佳)。照射量(曝光量)例如為30~1500mJ/cm2
為較佳,50~1000mJ/cm2
為更佳,80~500mJ/cm2
為最佳。
硬化膜的膜厚為1.0μm以下為較佳,0.1~0.9μm為更佳,0.2~0.8μm為進一步較佳。藉由將膜厚設為1.0μm以下,容易獲得高解析度、高密合性。
<<圖案形成步驟>>
接著,將未曝光部顯影去除而形成著色圖案(圖案形成步驟)。未曝光部的顯影去除可以使用顯影液而進行。藉此,曝光步驟中之未曝光部的著色硬化性組成物層溶出於顯影液,僅殘留光硬化之部分。
顯影液不會對基底的固體攝像元件和電路等造成損傷之有機鹼性顯影液為較佳。
顯影液的溫度例如為20~30℃為較佳。顯影時間為20~180秒為較佳。並且,為了提高殘渣去除性,亦可以每隔60秒將顯影液進行振蕩,進一步重複進行幾次重新供給顯影液之步驟。
作為使用於顯影液之鹼劑,例如可以舉出氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化四丙基銨、氫氧化四丁基銨、氫氧化芐基三甲基銨、膽鹼、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一烯等有機鹼性化合物。以濃度成為0.001~10質量%(0.01~1質量%為較佳)的方式,用純水稀釋該些鹼劑而得到之鹼性水溶液作為顯影液而被較佳使用。
並且,亦可在顯影液中使用無機鹼。作為無機鹼,例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉等為較佳。
另外,在使用由該種鹼性水溶液構成之顯影液之情況下,通常在顯影後使用純水來進行清洗(沖洗)。
在顯影之後,在實施乾燥後進行加熱處理(後烘烤)為較佳。若形成多色的著色圖案,則能夠對每一個顏色依次重複進行步驟而製造硬化膜。藉此可以得到彩色濾光片。
後烘烤係用於使硬化設為安全者的顯影後的加熱處理,加熱溫度例如100~240℃為較佳、200~240℃為更佳。
可以使用加熱板、對流式烘箱(熱風循環式乾燥機)、高頻加熱機等加熱機構,以成為上述條件之方式,以連續式或分批式對顯影後的膜進行後烘烤處理。
本發明的彩色濾光片可適合應用於CCD、CMOS等固體攝像元件中,尤其適合於超過100万畫素之高解析度的CCD、CMOS等中。
本發明的彩色濾光片例如可用作在構成CCD或CMOS之各畫素的受光部與用於聚光的微透鏡之間配置之彩色濾光片。
本發明的彩色濾光片中之著色圖案(著色畫素)的膜厚為2.0μm以下為較佳,1.0μm以下為更佳,0.7μm以下為進一步較佳。下限例如能夠設為0.1μm以上,亦可以設為0.2μm以上。
並且,作為著色圖案(著色畫素)的尺寸(圖案寬度),2.5μm以下為較佳,2.0μm以下為更佳,1.7μm以下為尤佳。下限例如可以設為0.1μm以上,亦可以設為0.2μm以上。
在藉由乾式蝕刻而形成圖案之情況下,可參照日本特開2013-64993號公報的記載,將該些內容併入到本申請案說明書中。
<固體攝像元件>
本發明的固體攝像元件具備上述本發明的彩色濾光片。作為本發明的固體攝像元件的構成,只要是具備本發明的彩色濾光片且作為固體攝像元件而發揮功能之構成,則無特別的限定,例如可以舉出如以下的構成。
固體攝像元件在支撐體上具有固體攝像元件(CCD圖像感測器、CMOS圖像感測器等)的受光區域之複數個光電二極體、及由聚矽氧等構成之轉移電極,在光電二極體及轉移電極上具有僅使光電二極體的受光部開口之由鎢等構成之遮光膜,在遮光膜上具有以覆蓋遮光膜整個面及光電二極體受光部的方式形成之由氮化矽等構成之裝置保護膜,在裝置保護膜上具有本發明的固體攝像元件用彩色濾光片。
另外,亦可以為在裝置保護層上且彩色濾光片的下側(接近支撐體的一側)具有聚光機構(例如微透鏡等。以下相同)之構成、或在彩色濾光片上具有聚光機構之構成等。
<圖像顯示裝置>
本發明的彩色濾光片能夠使用於液晶顯示裝置、有機電致發光顯示裝置等圖像顯示裝置。尤其適合於液晶顯示裝置的用途。具備本發明的彩色濾光片之液晶顯示裝置能夠顯示顯示圖像的色調良好且顯示特性優異之高畫質圖像。
關於顯示裝置的定義、各顯示裝置的詳細內容,記載於例如“電子顯示器裝置(佐々木 昭夫 著 Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd.,1990年發行)”、“顯示器裝置(伊吹 順章著、Sangyo Tosho Co.,Ltd.,平成元年發行)”等。並且,關於液晶顯示裝置,例如記載於“下一代液晶顯示器技術(內田 龍男編輯、Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd.,1994年發行)”。本發明能夠適用之液晶顯示裝置並無特別的限制,例如能夠適用於記載於上述“下一代液晶顯示器技術”中之各種方式的液晶顯示裝置。
本發明的彩色濾光片亦可使用於彩色TFT(Thin Film Transistor)方式的液晶顯示裝置。關於彩色TFT方式的液晶顯示裝置,例如記載於“彩色TFT液晶顯示器(KYORITSU SHUPPAN CO.,LTD.,1996年發行)”。另外,本發明亦可以適用於IPS(In Plane Switching)等橫向電場駆動方式、MVA(Multi-domain Vertical Alignment)等畫素分割方式等的視角被擴大之液晶顯示裝置、或STN(Super-Twist Nematic)、TN(Twisted Nematic)、VA(Vertical Alignment)、OCS(on-chip spacer)、FFS(fringe field switching)、及R-OCB(Reflective Optically Compensated Bend)等中。
並且,本發明之彩色濾光片亦可以提供於明亮且高清晰之COA(Color-filter On Array)方式。在COA方式的液晶顯示裝置中,對彩色濾光片層之要求特性除了如前述之通常的要求特性以外,有時還需要對層間絶縁膜之要求特性,亦即低介電常數及剥離液耐性。本發明的彩色濾光片由於耐光性等優異,因此能夠提供解析度高、長期耐久性優異之COA方式的液晶顯示裝置。另外,為了滿足低介電常數的要求特性,亦可以在彩色濾光片層之上設置樹脂被膜。
關於該些圖像顯示方式,例如記載於“EL、PDP、LCD顯示器-技術和市場的最新動向-(Toray Research Center,Inc.)調査研究部門,2001年發行)”的43頁等。
本發明之具備彩色濾光片之液晶顯示裝置中,除了本發明之彩色濾光片以外,還藉由電極基板、偏光膜、相位差膜、背光裝置、間隔件(Spacer)、視角保障膜等各種構件所構成。本發明的彩色濾光片能夠適用於由該些公知的構件構成之液晶顯示裝置。關於該些構件,例如記載於“’94液晶顯示器周邊材料及化學產品的市場(島 健太郎 CMC CO.,LTD.1994年發行)”、“2003液晶關連市場的現狀及未來展望(下卷)(表良吉 FUJI CHIMERA RESEARCH INSTITUTE, INC.,2003年發行)”。
關於背光,記載於SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)、月刊顯示器2005年12月號的18~24頁(島 康裕)、月刊顯示器25~30頁(八木隆明)等。
若將本發明之彩色濾光片使用於液晶顯示裝置,則與先前公知的冷陰極管的三波長管組合時能夠實現較高的對比度,另外,藉由將紅、緑、藍的発光二極體(LED)光源作為背光,能夠提供亮度較高且色彩純度較高的色彩再現性良好的液晶顯示裝置。
[實施例]
以下,例舉實施例對本發明進行更具體的說明。以下實施例中表示之材料、使用量、比例、處理內容、處理順序等,只要不脱離本發明的主旨,則能夠適當地進行變更。從而,本發明的範圍係並非限定於以下所示之具體例者。另外,只要沒有特別的說明,則“份”、“%”為質量基準。
<重量平均分子量及數量平均分子量的測定>
重量平均分子量及數量平均分子量由以下方法測定。 色譜柱的種類:將TSKgelSuperAW4000、TSKgelSuperAW3000、TSKgelSuperAW2500及TSKgelSuperAW2500進行連接 展開溶劑:N-甲基吡咯烷酮(10mmol/L 含有LiBr) 色譜柱溫度:50℃ 流量(樣品註入量):20μL 流速:0.25ml/min 裝置名稱:TOSOH Corporation製造HLC-8220 GPC校準曲線基礎樹脂:聚苯乙烯
<酸值的測定方法>
將測定樣品溶解於四氫呋喃/水=9/1(質量比)混合溶劑中,並使用電位差滴定裝置(商品名稱:AT-510、KYOTO ELECTRONICS MANUFACTURING CO.,LTD.製造),將所得到之溶液在25℃下在0.1mol/L氫氧化鈉水溶液中進行了中和滴定。將滴定pH曲線的拐點作為滴定終點,由下式算出酸值。
A=56.11×Vs×0.1×f/w A:酸值(mgKOH/g) Vs:滴定所需要之0.1mol/L氫氧化鈉水溶液的使用量(mL) f:0.1mol/L氫氧化鈉水溶液的滴定量(Titer) w:測定樣品的質量(g)(固體成分換算)
<胺值的測定方法>
將測定樣品溶解於乙酸,並使用電位差滴定裝置(商品名稱:AT-510、KYOTO ELECTRONICS MANUFACTURING CO.,LTD.製造),將所得到之溶液在0.1mol/L過氯酸/乙酸溶液中進行中和滴定。將滴定pH曲線的拐點作為滴定終點並由下式算出胺值。
B=56.11×Vs×0.1×f/w B:胺值(mgKOH/g) Vs:滴定所需要之0.1mol/L過氯酸/乙酸溶液的使用量(mL) f:0.1mol/L過氯酸/乙酸溶液的滴定量 w:測定樣品的質量(g)(固體成分換算)
(合成例)
【化學式31】
<著色劑A-1的合成例>
將DCSF(Chugai kasei Company,Limited製造)50份、2,6-二甲基苯胺74.76份、氯化鋅27.58份、環丁碸200份放入到燒瓶中,在外部溫度200度下攪拌4小時。然後,將所得到之反應溶液放冷至室溫,並滴入於2mol/L鹽酸500份,將析出之結晶進行過濾。將結晶用40度的乙腈300份進行分散清洗、過濾收集,吹風乾燥10小時,得到46.5份(收率:65.6%)的著色劑A-1。
<中間體1的合成>
將20份著色劑A-1及106份三氯氧磷放入到燒瓶中,在60℃下攪拌2小時。將所得到之反應溶液放冷至室溫,並將反應溶液滴入冰水1500份中攪拌30分鐘。將所得到之結晶進行過濾,並用水200份進行清洗,吹風乾燥10小時,得到18.5份(收率:89.4%)中間體1。
<著色劑A-4的合成>
將7份中間體1、2.05份苯磺醯胺溶解於氯仿40份中,並滴入二氮雜雙環(1,8-二吖雙環[5.4.0]十一-7-烯)(1,8-diazabicyclo[5.4.0]undec-7-ene)2.32份,在室溫下攪拌了1小時。然後,將水100份放入到所得到之反應溶液中進行水洗,接著分取有機層。用硫酸鈉乾燥有機層,並藉由管柱層析法精製,進行減壓濃縮而得到3份(收率:34%)著色劑A-4。
<著色劑A-2的合成例>
將於著色劑A-1的合成中使用之2,6-二甲基苯胺變更為2,6-二乙基苯胺,從而合成著色劑A-2。
<著色劑A-3的合成例>
將於著色劑A-1的合成中使用之2,6-二甲基苯胺變更為2,6-二異丙基苯胺,從而合成著色劑A-3。
<著色劑A-5的合成例>
將於著色劑A-4的合成中使用之苯磺醯胺變更為三氟甲基磺醯胺,從而合成著色劑A-5。
<著色劑A-6的合成例>
將於著色劑A-4的合成中使用之苯磺醯胺變更為甲苯磺醯胺,從而合成著色劑A-6。
<著色劑A-7的合成例>
將於著色劑A-1的合成中使用之2,6-二甲基苯胺變更為2,4,6-三甲基苯胺,從而合成著色劑A-7。
<著色劑A-8的合成例>
【化學式32】
將DCSF(CHUGAI KASEI CO.,LTD.製造)50份、2,6-二異丙基苯胺52.5份、環丁碸200份放入燒瓶中,在外部溫度80度下攪拌4小時。然後,將所得到之反應溶液放冷至室溫,並滴入於2mol/L鹽酸500份中,將所析出之結晶進行過濾。在用40度的乙腈300份對結晶進行分散清洗之後,過濾收集,並吹風乾燥10小時,得到28份(收率:45%)中間體2。
添加25份中間體2、14.4份2,6-二甲基苯胺、11.1份氯化鋅、100份環丁碸,並在外部溫度200度下攪拌4小時。然後,將所得到之反應溶液放冷至室溫,並滴入到2mol/L鹽酸200份中,將所析出之結晶進行了過濾。在用40度的乙腈120份對結晶進行分散清洗之後,過濾收集,並吹風乾燥10小時,得到25.1份(收率:86%)的著色劑A-8。
<著色劑A-9的合成例>
將於著色劑A-1的合成中使用之2,6-二甲基苯胺變更為N-(3-胺基-2,4,6-三甲基苯基)乙醯胺,從而合成著色劑A-9。
<著色劑A-10的合成例>
將於著色劑A-1的合成中使用之2,6-二甲基苯胺變更為2-甲基苯胺,從而合成著色劑A-10。
【化學式33】
<著色劑的溶劑溶解性評價>
向樣品管瓶中投入著色劑0.1g,接著,用全吸管(Whole Pipette)投入下述表1所示之有機溶劑10ml,在塞嚴之後用超音波進行了3分鐘的處理。將所得到之溶液在23℃的水浴中静置保管了60分鐘。用孔徑為5μm的PTFE製造的膜濾器過濾該上清液5ml,進而,用孔徑為0.25μm的PTFE製造膜濾器進行過濾而去除不溶物。
利用紫外可見分光光度計(AGILENT Corporation製造 CARY5000),並使用1cm的單元(cell)測定濾液的吸光分光。求出各著色劑的最大吸收波長之吸光度。此時,若極大吸收波長之吸光度小於2,則能夠評價為著色劑實質上不溶解於有機溶劑,並可評價為著色劑的溶解度為1(g/100g有機溶劑)以下。另外,由本測定方法測量之吸光度的測定極限為0.005。將結果示於表1中。表中的PGMEA為丙二醇單甲醚乙酸酯的縮寫。
[表1]
如上述表所示,A-1~A-10的著色劑實質上不溶解於PGMEA、環己酮及環戊酮,對該些有機溶劑之溶解度為1(g/100g有機溶劑)以下。
<使用(A)著色劑之分散液的製備>
將(A)著色劑、(B)分散劑、(C)顔料衍生物、(H)染料以及溶劑,分別以下述表2所示之比例進行混合,在攪拌混合均勻之後,使用直徑為0.5mm的鋯珠,藉由珠磨機分散5小時而製備出分散液。
[表2]
表中記載的化合物如下。
(A)著色劑 A-1~A-10:上述結構的著色劑A-1~A-10 R-1~R-5:比較化合物(下述結構)
【化學式34】
(B)分散劑
[表3]
【化學式35】
(C)顔料衍生物 C-1:下述結構
【化學式36】
(H)染料 H-1~H-3:下述結構
【化學式37】
1.著色硬化性組成物的製備
1-1.顔料分散液的製備
<藍色顔料分散液P1的製備>
如下製備藍色顔料分散液P1。
將混合13.0份C.I.Pigment Blue15:6(藍色顔料;以下亦稱作“PB15:6”)(藍色顔料、平均粒徑55nm)、5.0份作為分散劑之Disperbyk111、82.0份PGMEA而成之混合液,藉由珠磨機(鋯珠0.3mm直徑)混合、分散3小時。然後,進一步使用帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(NIHON B.E.E. CO.,LTD.製造),在2000kg/cm3
的壓力下,以500g/min的流量對前述混合液進行分散處理。重複10次該分散處理,得到在實施例或比較例的著色硬化性組成物中使用之藍色顔料分散液P1(C.I.Pigment Blue15:6分散液、顔料濃度13%)。
當藉由動態光散射法(Microtrac Nanotrac UPA-EX150(日機裝公司(Nikkiso Co.,Ltd.)製造))測定顔料的平均粒徑時,所得到之藍色顔料分散液P1為24nm。
<藍色顔料分散液P2的製備>
將19.4質量份PB15:6(平均粒徑55nm)、2.95質量份作為分散劑之BYK-161(BYK-Chemie GmbH製造)、以固體成分換算為2.95質量份(溶液9.93質量份)的鹼可溶性樹脂1(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸的共聚物、30%PGMEA溶液)、165.3質量份PGMEA進行混合而成之混合液,藉由珠磨機(鋯珠0.3mm直徑)混合、分散3小時。然後,進一步使用帶有減壓機構高壓分散機NANO-3000-10(NIHON B.E.E.CO.,LTD.製造),在2000kg/cm3
的壓力下,以500g/min的流量對前述混合液進行分散處理。重複10次該分散處理,得到藍色顔料分散液P2。在藉由動態光散射法(Microtrac Nanotrac UPA-EX150(日機裝公司(Nikkiso Co., Ltd.)製))而測定顔料的平均粒徑時,所得到之藍色顔料分散液P2為24nm。
<藍色顔料分散液P3的製備>
在上述藍色顔料分散液P2的製備中,作為分散劑使用下述分散劑D1來代替BYK-161,除此之外,以相同的方法製備藍色顔料分散液P3。
【化學式38】
分散劑D1的酸值為100mgKOH/g。並且,分散劑D1的重量平均分子量為20000。並且,在分散劑D1的結構中,x和y的質量比為50:50,n為20。
<藍色顔料分散液P4的製備>
在上述藍色顔料分散液P2的製備中,作為分散劑使用下述分散劑D2,除此之外,以相同的方法製備顔料分散液P4。
【化學式39】
分散劑D2的酸值為100mgKOH/g。並且,分散劑D2的重量平均分子量為20000。並且,在分散劑D2的結構中,x和y的質量比為15:85,n為20。
1-2.著色硬化性組成物的製備
混合下述各成分並進行分散、溶解,得到各實施例及比較例的著色硬化性組成物。 ・使用著色劑(A)之分散液(上述分散液PA1~PA46):0.31份 ・溶劑(PGMEA、環己酮或環戊酮):0.863份 ・鹼可溶性樹脂(下述J1或J2的化合物):0.03份 ・分散劑(SOLSPERSE20000:(1%環己烷溶液、LUBRIZOL JAPAN ,LTD.製造):0.125份 ・光聚合起始劑(下述C-5或C-9的化合物):0.012 份 ・藍色顔料分散液(上述藍色顔料分散液P1~P4)(顔料濃度13%):0.615份 ・硬化性化合物:0.07份 ・界面活性劑(甘油丙醇鹽:(1%環己烷溶液)0.048份
另外,實施例15及23使用下述J1和J2的混合物(J1:J2=1:1(質量比))作為鹼可溶性樹脂。
並且,實施例36~45使用下述C-5和C-9的混合物(C-5:C-9=1:1(質量比))作為光聚合起始劑。
<評價>
<<顯影前後的分光評價>>
在玻璃晶圓上,以乾燥膜厚成為0.1μm的方式塗佈CT-4000L溶液(FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD.製造;透明底塗劑)並使其乾燥,在形成透明膜之後,在220℃下加熱處理5分鐘。
在形成有透明膜之玻璃晶圓上,以乾燥膜厚成為0.6μm的方式用旋轉塗佈機塗佈上述著色硬化性組成物,並使用100℃的加熱板進行120秒的加熱處理(預烘烤)。接著,使用i線步進機曝光裝置FPA-3000i5+(CANON Inc.製造),以365nm的波長、500mJ/cm2
的曝光量進行了曝光。藉此得到彩色濾光片。
將這樣得到之彩色濾光片,用紫外可鍵近紅外分光光度計UV3600(SHIMADZU Corporation製造)的分光光度計(參照:玻璃基板)在300nm~800nm的波長域測定透射率。
將測定透射率後的彩色濾光片載置於旋轉噴淋顯影機(DW-30型,CHEMITRONICS CO.,LTD.製造)的水平旋轉台上,並使用CD-2000(FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD.製造),在23℃下進行60秒的攪拌式(paddle)顯影。接著,藉由旋轉裝置使上述彩色濾光片以50r.p.m.的轉速進行旋轉,同時從其旋轉中心的上方將純水自噴出噴嘴呈噴淋狀供給而進行沖洗處理,然後進行噴霧乾燥。在將彩色濾光片乾燥之後,再次測定透射率。由以下基準評價顯影前後的透射率變動(將顯影前的上述透射率設為T0、將顯影後的上述透射率設為T1之情況下,由式|T0-T1|表示之值)。 A:良好 在300nm~800nm的整個區域,顯影前後的透射率的最大變動值小於2% B:稍微良好 在300nm~800nm的整個區域,顯影前後的透射率的最大變動值為2%以上且小於5% C:充分 在300nm~800nm的整個區域,顯影前後的透射率的最大變動值為5%以上且小於10% D:不充分,在300nm~800nm的整個區域,顯影前後的透射率的最大變動值為10%以上
<<耐熱性評價>>
關於由上述得到之彩色濾光片,用色度計MCPD-1000(OTSUKA ELECTRONICS CO.,LTD.製造)測定加熱前後的色差(ΔE*ab值),並按照下述判定基準評價了耐熱性。彩色濾光片以與晶圓表面接觸的方式載置於200℃的加熱板上加熱1個小時。ΔE*ab值中值較小者表示耐熱性良好。另外,ΔE*ab值為由基於CIE1976(L*,a*,b*)空間表色系之以下色差公式而求出之值(日本色彩學会編 新編色彩科學手冊(昭和60年)p.266)。以ΔE*ab={(ΔL*)2+(Δa*)2+(Δb*)2}1/2以下的基準進行評價。 A:ΔE*ab的值為0以上、小於1.0 B:ΔE*ab的值為1.0以上、小於2.0 C:ΔE*ab的值為2.0以上、小於3.0 D:ΔE*ab的值為3.0以上
<<耐光性評價>>
關於由上述所得到之彩色濾光片,用耐光試験裝置(SUGA TEST INSTRUMENTS CO.,LTD.製造SX-75),在黑面板溫度63℃、石英內部濾光片、275nm截止外部濾光片、照度75mw/m2
(300~400nm)、濕度50%的條件下,實施了10小時耐光性試験。
用分光光度計MCPD-3000(OTSUKA ELECTRONICS CO.,LTD.製造)測定耐光性試験前後的色差(ΔE*ab)。依據所測定之色差(ΔE*ab),按照下述評價基準對耐光性進行評價。可以說該數值越小,則耐光性越良好。 A:ΔE*ab的值為0以上、小於1.0 B:ΔE*ab的值為1.0以上、小於2.0 C:ΔE*ab的值為2.0以上、小於3.0 D:ΔE*ab的值為3.0以上
<<分散穩定性評價>>
關於著色硬化性組成物,用E型黏度計(TOKI SANGYO CO.,LTD.製造、RE-85L),在室溫下測定剛分散後的黏度η1(單元mPa・s)、及分散後在45℃下放置3天後的黏度η2(單元mPa・s),並算出黏度增加率=(η2-η1)/η1×100。依據所算出之黏度增加率,按照下述評價基準對分散穩定性進行了評價。
黏度增加率越小,表示分散穩定性越良好。
按以下基準進行評價。 A:黏度增加率為10%以下 B:黏度增加率大於10%且20%以下 C:黏度增加率大於20%
[表4]
[表5]
如上述表4及5所示,在實施例中,顯影前後的分光變動較小,能夠形成耐光性優異之膜。另外,耐熱性亦優異。並且,實施例的著色硬化性組成物的分散穩定性優異。
另一方面,在比較例中,無法同時實現顯影前後的分光變動和耐光性。
表4、5所示之化合物如下。
鹼可溶性樹脂:下述結構
【化學式40】
光聚合起始劑:下述結構
【化學式41】
硬化性化合物 KAYARAD DPHA(二季戊四醇六丙烯酸酯、SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製造) NK酯A-DPH-12E(SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製造) KAYARAD RP-1040(NIPPON KAYAKU CO.,LTD.製造) 多官能硫醇化合物(鏈轉移劑(Chain-Transfer agent)):下述結構
【化學式42】
環氧化合物 E-1:EHPE3150、DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES CO.,LTD.製造
E-3:EPICLON N660(DIC CO.,LTD.製造)
無
無
Claims (17)
- 一種著色硬化性組成物,含有具有下式(1)所表示之結構之著色劑A、硬化性化合物及有機溶劑,前述著色劑A分散於前述有機溶劑,式中,R1 ~R10 分別獨立地表示氫原子、鹵素原子、烷基、芳基、-ORX1 、-SRX1 、-CORX1 、-COORX1 、-OCORX1 、-NRX1 RX2 、-NHCORX1 、-CONRX1 RX2 、-NHCONRX1 RX2 、-NHCOORX1 、-SO2 RX1 、-SO2 ORX1 或-NHSO2 RX1 ; RX1 及RX2 分別獨立地表示氫原子、烷基或芳基, R11 表示磺酸基或雙(磺醯基)醯亞胺基。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色硬化性組成物,其中在前述著色劑A中,式(1)的R1 、R5 、R6 及R10 分別獨立地為烷基。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色硬化性組成物,其中在前述著色劑A中,式(1)的R1 、R5 、R6 及R10 分別獨立地為甲基、乙基或異丙基。
- 如申請專利範圍第1項~第3項中任一項所述之著色硬化性組成物,其中在前述著色劑A中,式(1)的R11 為磺酸基,R2 、R3 、R4 、R7 、R8 及R9 為氫原子。
- 如申請專利範圍第1項~第3項中任一項所述之著色硬化性組成物,其中前述有機溶劑為選自酯溶劑、醚溶劑、酮溶劑及醇溶劑之至少1種。
- 如申請專利範圍第1項~第3項中任一項所述之著色硬化性組成物,其進一步含有光聚合起始劑,前述硬化性化合物為自由基聚合性化合物。
- 如申請專利範圍第1項~第3項中任一項所述之著色硬化性組成物,其進一步含有酸值為30mgKOH/g以上的酸性分散劑。
- 如申請專利範圍第7項所述之著色硬化性組成物,其含有2種以上前述酸性分散劑。
- 如申請專利範圍第1項~第3項中任一項所述之著色硬化性組成物,其進一步含有具有酞菁骨架之顔料。
- 如申請專利範圍第1項~第3項中任一項所述之著色硬化性組成物,其進一步含有染料作為前述著色劑A以外的著色劑。
- 如申請專利範圍第10項所述之著色硬化性組成物,其中前述染料為具有選自酞菁、三芳基甲烷及吡咯亞甲基之骨架之染料。
- 如申請專利範圍第1項~第3項中任一項所述之著色硬化性組成物,其用於彩色濾光片。
- 一種彩色濾光片,其使用申請專利範圍第1項~第12項中任一項所述之著色硬化性組成物而形成。
- 一種圖案形成方法,包括以下步驟: 使用申請專利範圍第1項~第12中任一項所述之著色硬化性組成物,在支撐體上形成著色硬化性組成物層; 將前述著色硬化性組成物層曝光成圖案狀;以及 顯影去除未曝光部而形成著色圖案。
- 一種彩色濾光片的製造方法,其包括申請專利範圍第14項所述之圖案形成方法。
- 一種固體攝像元件,其具有申請專利範圍第13項所述之彩色濾光片。
- 一種圖像顯示裝置,其具有申請專利範圍第13項所述之彩色濾光片。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014-263062 | 2014-12-25 | ||
| JP2014263062 | 2014-12-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW201624115A true TW201624115A (zh) | 2016-07-01 |
| TWI674477B TWI674477B (zh) | 2019-10-11 |
Family
ID=56149992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW104133432A TWI674477B (zh) | 2014-12-25 | 2015-10-13 | 著色硬化性組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6348990B2 (zh) |
| KR (2) | KR20170074920A (zh) |
| TW (1) | TWI674477B (zh) |
| WO (1) | WO2016103958A1 (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112574586A (zh) * | 2019-09-30 | 2021-03-30 | 保土谷化学工业株式会社 | 呫吨系色素、染料组合物、阳极氧化铝用着色剂及着色方法以及该色素的制造方法 |
| CN112980213A (zh) * | 2019-12-17 | 2021-06-18 | 保土谷化学工业株式会社 | 呫吨色素、含有该色素的着色组合物、滤色器用着色剂及滤色器以及该色素的制造方法 |
| TWI882185B (zh) * | 2020-10-16 | 2025-05-01 | 日商日油股份有限公司 | 微粒用分散劑及漿料組合物 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019164342A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-26 | 三菱ケミカル株式会社 | 色材分散液、着色樹脂組成物、硬化物及び画像表示装置 |
| KR102659438B1 (ko) * | 2019-03-11 | 2024-04-23 | 후지필름 가부시키가이샤 | 착색 조성물, 경화막, 패턴 형성 방법, 컬러 필터, 고체 촬상 소자 및 화상 표시 장치 |
| JP7325728B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2023-08-15 | 山陽色素株式会社 | 顔料分散体及び塗膜形成用着色組成物 |
| CN114315573B (zh) * | 2021-12-29 | 2023-12-29 | 徐州博康信息化学品有限公司 | 一种酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法 |
| CN114805148B (zh) * | 2022-06-17 | 2024-04-23 | 陇东学院 | 一种β-羰基硫醚类化合物的合成方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4752556B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2011-08-17 | Jsr株式会社 | 着色層形成用感放射線性組成物およびカラーフィルタ |
| TWI475320B (zh) * | 2009-02-13 | 2015-03-01 | Sumitomo Chemical Co | 著色感光性樹脂組成物及彩色濾光片 |
| JP4492760B1 (ja) * | 2009-12-01 | 2010-06-30 | 東洋インキ製造株式会社 | カラーフィルタ用青色着色組成物、およびカラーフィルタ |
| JP2012207158A (ja) | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 染料分散液、カラーフィルター用感光性樹脂組成物、カラーフィルター、液晶表示装置及び、有機発光表示装置 |
| JP2013061619A (ja) | 2011-08-24 | 2013-04-04 | Toray Ind Inc | カラーフィルター用青色着色剤組成物およびそれを用いたカラーフィルター基板。 |
| JP5962388B2 (ja) * | 2011-10-07 | 2016-08-03 | 住友化学株式会社 | 着色硬化性樹脂組成物 |
| JP2013104002A (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-30 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色硬化性樹脂組成物 |
| JP6461453B2 (ja) * | 2011-12-09 | 2019-01-30 | 住友化学株式会社 | 赤色着色硬化性樹脂組成物 |
| JP5978670B2 (ja) * | 2012-03-15 | 2016-08-24 | 住友化学株式会社 | 着色硬化性樹脂組成物 |
| JP5770672B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2015-08-26 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および表示装置 |
| JP6192968B2 (ja) | 2012-04-10 | 2017-09-06 | 住友化学株式会社 | 着色剤分散液 |
| JP6166683B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2017-07-19 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置 |
-
2015
- 2015-10-13 TW TW104133432A patent/TWI674477B/zh active
- 2015-11-12 JP JP2016566024A patent/JP6348990B2/ja active Active
- 2015-11-12 WO PCT/JP2015/081872 patent/WO2016103958A1/ja not_active Ceased
- 2015-11-12 KR KR1020177013265A patent/KR20170074920A/ko not_active Ceased
- 2015-11-12 KR KR1020197001901A patent/KR102002322B1/ko active Active
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112574586A (zh) * | 2019-09-30 | 2021-03-30 | 保土谷化学工业株式会社 | 呫吨系色素、染料组合物、阳极氧化铝用着色剂及着色方法以及该色素的制造方法 |
| CN112574586B (zh) * | 2019-09-30 | 2024-10-29 | 保土谷化学工业株式会社 | 呫吨系色素、染料组合物、阳极氧化铝用着色剂及着色方法以及该色素的制造方法 |
| CN112980213A (zh) * | 2019-12-17 | 2021-06-18 | 保土谷化学工业株式会社 | 呫吨色素、含有该色素的着色组合物、滤色器用着色剂及滤色器以及该色素的制造方法 |
| TWI882185B (zh) * | 2020-10-16 | 2025-05-01 | 日商日油股份有限公司 | 微粒用分散劑及漿料組合物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPWO2016103958A1 (ja) | 2017-10-05 |
| KR20190009433A (ko) | 2019-01-28 |
| TWI674477B (zh) | 2019-10-11 |
| JP6348990B2 (ja) | 2018-06-27 |
| KR20170074920A (ko) | 2017-06-30 |
| KR102002322B1 (ko) | 2019-07-22 |
| WO2016103958A1 (ja) | 2016-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI686670B (zh) | 著色感光性組成物、硬化膜、圖案形成方法、帶遮光膜的紅外線截止濾光片、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外感測器 | |
| TWI687489B (zh) | 近紅外線吸收性色素多聚體、組成物、膜、光學濾波器、圖案形成方法及裝置 | |
| KR101891094B1 (ko) | 착색 조성물, 및 이것을 이용한 경화막, 컬러 필터, 패턴 형성 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자, 화상 표시 장치와 염료 다량체 | |
| KR101755422B1 (ko) | 착색 조성물, 경화막, 컬러 필터, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자 및 화상 표시 장치 | |
| TWI760311B (zh) | 著色感光性組成物、硬化膜、彩色濾光片、遮光膜、固體攝影元件、圖像顯示裝置以及硬化膜的製造方法 | |
| KR101733965B1 (ko) | 착색 감방사선성 조성물, 착색 경화막, 컬러 필터, 착색 패턴 형성 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자 및 액정 표시 장치 | |
| KR101898020B1 (ko) | 컬러 필터용 적색 착색 조성물, 착색막, 컬러 필터, 고체 촬상 소자 | |
| TWI639053B (zh) | 彩色濾光片用綠色著色組成物、著色膜、彩色濾光片、固體攝像元件 | |
| KR101892548B1 (ko) | 착색 조성물, 및 이것을 이용한 경화막, 컬러 필터, 패턴 형성 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자 및 화상 표시 장치 | |
| TWI674477B (zh) | 著色硬化性組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置 | |
| KR101899415B1 (ko) | 착색 조성물, 경화막, 컬러 필터의 제조 방법, 컬러 필터, 고체 촬상 소자 및 화상 표시 장치 | |
| TWI672343B (zh) | 著色組成物、著色組成物的製造方法、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置 | |
| TW201627415A (zh) | 著色組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件以及圖像顯示裝置 | |
| TW201623461A (zh) | 著色硬化性組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、彩色濾光片的製造方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置 | |
| JP6574849B2 (ja) | 着色組成物、カラーフィルタ、パターン形成方法、固体撮像素子、および、画像表示装置 | |
| TWI672341B (zh) | 著色組成物、著色組成物的製造方法、彩色濾光片、噴墨用油墨組成物及印刷用油墨組成物 |