TW201420219A - 除塵裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之課題在於使形成於供氣腔室之呈狹縫狀開口之空氣噴出口不會因供氣腔室之內壓而局部地擴大，保持固定寬度而能夠噴出穩定且較強之均勻之空氣。本發明之除塵裝置中，將2行空氣噴出口16配置成鋸齒狀，且於其外側以成為不同高度之方式將第1空氣吸入口26與第2空氣吸入口27配置成鋸齒狀。自空氣噴出口16朝向板P垂直地噴射之高速空氣於藉由其風壓使附著於板P之灰塵剝離後，與灰塵一併自第1及第2空氣吸入口26、27被抽吸去除。藉由將形成於供氣腔室11之空氣噴出口16與第1及第2空氣吸入口26、27分別配置成鋸齒狀，可維持使空氣噴出口16或第1及第2空氣吸入口26、27不會因壓力導致局部地擴大或變窄而保持固定寬度之狀態。

Description

除塵裝置

本發明係關於一種使附著於基板(顯示器用玻璃基板、陶瓷基板、印刷基板等)或片材等被清洗物之表面之塵埃或污染微粒子等剝離後懸浮並抽吸去除該懸浮物之除塵裝置。

自先前以來，作為附著於基板(顯示器用玻璃基板、陶瓷基板、印刷基板等)或片材等之塵埃或污染微粒子等之除塵裝置，例如，已知有專利文獻1之除塵裝置。該除塵裝置係以如下方式構成：配置具備噴射高壓空氣之空氣噴出用狹縫之供氣腔室，且於該供氣腔室之兩側配置具備空氣吸入用狹縫之吸氣腔室，自空氣噴出用狹縫朝向於搬送路徑上搬送之被清洗物噴射高壓空氣，利用其風壓使附著於被清洗物之塵埃或污染微粒子等(以下，簡稱為灰塵)剝離後，自空氣吸入用狹縫抽吸去除至各吸氣腔室內。

又，本申請案之申請人於專利文獻2中提出有一種沿著外裝體(供氣腔室)之長邊方向間斷地或連續地形成有長條之空氣噴出用狹縫之空氣幕(air curtain)裝置。該專利文獻2所示之裝置於清洗領域等中用作吹飛玻璃基板上之水滴之空氣幕裝置，但就構造方面而言，若於噴射高壓空氣之供氣腔室之兩側配置專利文獻1所示之吸氣腔室，則亦可簡單地轉用於除塵裝置。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2006-346515號公報

[專利文獻2]日本專利特願2000-277252(日本專利特開2002-89925號公報)

於上述專利文獻1、2所示之裝置中，沿著供氣腔室之長邊方向形成有用以噴射高壓空氣之空氣噴出用狹縫，作為該空氣噴出用狹縫之形成方法，於專利文獻2中揭示有間斷地形成複數個空氣噴出用狹縫之方法及形成連續之一連串空氣噴出用狹縫之方法，但於間斷地形成有複數個空氣噴出用狹縫之情形時，由於存在局部地未形成空氣噴出用狹縫之部分、即未對基板噴射空氣之部位，故而有導致除塵效果降低之虞。另一方面，於使空氣噴出用狹縫連續地開口之情形時，擔心因供給至供氣腔室內之空氣之內壓而導致無法維持將較長之吸氣用狹縫之寬度固定地保持之狀態。即，有如下問題：若沿著供氣腔室之長邊方向形成連續之吸氣用狹縫，則該吸氣用狹縫成為裂縫，因供氣腔室之內壓而導致成為裂縫之吸氣用狹縫部分開裂，從而亦無法固定地保持自吸氣用狹縫噴射之高壓空氣之噴射壓，且因噴射壓之強弱導致無法發揮穩定之除塵效果。

又，此種問題對高速地抽吸空氣之吸氣用狹縫而言亦同樣。即，有如下問題：若沿著吸氣腔室之長邊方向連續地形成吸氣用狹縫，則因供氣腔室內之負壓而導致吸氣用狹縫局部地變窄，從而空氣之抽吸壓變得不均勻，尤其是於自吸氣用狹縫未充分抽吸灰塵之情形時，被高壓空氣吹飛之灰塵會飛散至供設置除塵機之無塵室(clean room)等中，而使乾淨之環境亦受到污染。

因此，本發明係著眼於上述問題而完成者，其第1目的在於提供一種可自沿著清潔頭之長邊方向形成之狹縫狀之空氣噴出口高壓噴出 穩定且均勻之空氣而有效地使灰塵自被清洗物之表面剝離之除塵裝置。

又，本發明之第2目的在於提供一種可穩定地抽吸藉由噴射之高壓空氣而自被清洗物之表面剝離之灰塵，從而有效地抑制灰塵之飛散之除塵裝置。

本發明之除塵裝置係以如下方式構成者：設置具備噴射高壓空氣之供氣腔室、及位於該供氣腔室之兩側且吸入空氣之一對吸氣腔室的清潔頭(clean head)，將該清潔頭與搬送路徑對向配置，藉由上述供氣腔室朝向於上述搬送路徑上搬送之被清洗物之上表面噴射高壓空氣而使附著於被清洗物之灰塵剝離並懸浮，且利用上述吸氣腔室抽吸該懸浮物；該除塵裝置之特徵在於：以使複數行空氣噴出口沿著上述清潔頭之長邊方向呈狹縫狀開口而間斷地形成並且各行之各空氣噴出口之端部重疊之方式，將上述各行之空氣噴出口配置成鋸齒狀。

又，本發明之除塵裝置之特徵在於：與上述空氣噴出口平行地於該空氣噴出口之兩側呈鋸齒狀配置有與上述吸氣腔室連通之複數行空氣吸入口。

又，本發明之除塵裝置之特徵在於：於上述空氣吸入口之至少下端部內緣側形成有使亂流產生之凹陷部。

又，本發明之除塵裝置之特徵在於：於上述供氣腔室內配置兩端開放之內管，並且於該內管形成噴出用開口孔，自供氣機構被壓送至上述供氣腔室內之空氣係其空氣量之2/3與剩餘之1/3分離而分別流入至內管及內管與供氣腔室之間，進而，流入至上述內管之空氣之一半係經由噴出用開口孔而噴出至上述供氣腔室內，剩餘之一半係自內管之另一端部噴出至供氣腔室內，該等空氣與直接被導入至上述供氣腔室內之空氣合併而自上述空氣噴出口朝向上述被清洗物均勻地噴射。

又，本發明之除塵裝置之特徵在於：於各吸氣腔室內分別配置兩端開放之內管，並且於該各內管形成吸氣用開口孔，於藉由吸氣機構抽吸上述吸氣腔室內之空氣時，其空氣量之2/3與剩餘之1/3分離而分別自內管及內管與吸氣腔室之間被抽吸，進而，自上述內管抽吸之空氣之一半係經由上述吸氣用開口孔被抽吸至上述內管內，剩餘之一半係自內管之另一端部被抽吸。

本發明中，自空氣噴出口朝向於搬送路徑上搬送之被清洗物噴射之高速空氣碰撞在被清洗物上，藉由其風壓使附著於被清洗物之灰塵剝離後，自空氣吸入口被吸入至各吸氣腔室內。形成於該供氣腔室之複數行空氣噴出口由於互相平行且配置成鋸齒狀，故而不會因供氣腔室之內壓導致空氣噴出口局部地擴大等而使狹縫寬度產生變化，可固定地保持各空氣噴出口之狹縫寬度，因此，可自各空氣噴出口均勻地噴射空氣，從而可抑制噴射壓之不均。

又，藉由將形成於吸氣腔室之複數行空氣吸入口亦配置成鋸齒狀而可固定地保持各空氣吸入口之狹縫寬度，因此，可自各空氣吸入口均勻地抽吸空氣。進而，由於在空氣吸入口之內緣形成有凹陷部，故而自空氣噴出口噴射之高速空氣之流速於凹陷部內產生變化，而在凹陷部及連通於該凹陷部之空氣吸入口內產生卡門渦(Karman's vortex)(亂流)，藉由卡門渦(亂流)所致之空氣幕效果，使自被清洗物剝離之灰塵於空氣吸入口之入口部分停留，從而可有效地將灰塵自空氣吸入口吸入至吸氣腔室內。

1‧‧‧除塵裝置

2‧‧‧清潔頭

11‧‧‧供氣腔室

12、22‧‧‧內管

13、23‧‧‧內壁部

14‧‧‧供氣導管

15‧‧‧噴出用開口孔

16‧‧‧空氣噴出口

21‧‧‧吸氣腔室

24‧‧‧吸氣導管

25‧‧‧吸氣用開口孔

26‧‧‧第1空氣吸入口

27‧‧‧第2空氣吸入口

28、29‧‧‧凹陷部

A‧‧‧箭頭

P‧‧‧板(被清洗物)

W‧‧‧搬送路徑

L1、L2‧‧‧長度

圖1係表示本發明之一實施例之清潔頭之剖面圖。

圖2同上係除塵機之前視圖。

圖3同上係除塵機之俯視圖。

圖4同上係表示空氣噴出口與空氣吸入口之配置之將一部分放大後之仰視圖。

圖5同上係表示空氣吸入口中之亂流之將空氣吸入口之一部分放大後之剖面圖。

以下，一面參照隨附圖式一面對本發明之除塵裝置之實施例進行詳細說明。

於圖1中，P係作為被清洗物之例如液晶基板等板，W係由輥式輸送機等構成之板P之搬送路徑，板P係沿著搬送路徑W向箭頭A方向被搬送，且使除塵裝置1對向地配置於該搬送路徑W之上部。

上述除塵裝置1具備例如包含不鏽鋼等之清潔頭2，於該清潔頭2之中央部配置對上述板P噴射高壓空氣而使該板P表面之灰塵剝離之供氣腔室11，於該供氣腔室11之兩側配置有用以抽吸藉由上述高壓空氣而自上述板P剝離並懸浮之灰塵的一對吸氣腔室21、21。

於上述供氣腔室11之內部配置有兩端開口之圓筒狀之內管12，供該內管12配置之供氣腔室11之上部形成如大致包圍上述內管12之圓筒狀之內壁部13，而成為該內壁部13與內管12之雙層構造。又，於上述供氣腔室11之一端連接有向供氣腔室11供給來自未圖示之供氣機構之高壓空氣的供氣導管14，被供給至供氣導管14內之高壓空氣係分開輸送至供氣腔室11與內管12，於內管12之上部側形成用以將供給至內管12內之高壓空氣噴出至供氣腔室11之複數個噴出用開口孔15，於供氣腔室11之底部形成有用以對上述板P噴射高壓空氣之狹縫狀之空氣噴出口16。即，自上述內管12之噴出用開口孔15與供氣腔室11之空氣噴出口16之噴射方向係朝向相反之方向噴射。又，形成上述空氣噴出口16之供氣腔室11下部之兩隅形成為平緩之曲面連續而成之漏斗狀，上述空氣噴出口16於其底部向與板P成直角之方向開口。

吸氣腔室21、21係與上述供氣腔室11大致相同之構成，省略詳細之說明而進行說明。於吸氣腔室21、21之上部分別配置有圓筒狀之內管22、22，於各吸氣腔室21、21之上部以包圍內管22、22之方式形成有曲面狀之內壁部23。又，於內管22、22之上部形成抽吸上述吸氣腔室21、21內之空氣之複數個吸氣用開口孔25，於吸氣腔室21、21成形有抽吸外部氣體之第1空氣吸入口26與第2空氣吸入口27。

對上述構成中內管22、22相對於吸氣腔室21、21之長度及形成於內管22、22之內管22、22與吸氣用開口孔25之區域之比率進行說明。再者，該等之關係性於供氣腔室11中亦同樣，參照圖3以吸氣腔室21、21作為代表例進行說明。如圖3所示，內管22、22之長度L2短於吸氣腔室21、21之長度L1，並且吸氣腔室21、21中之形成吸氣用開口孔25之區域為吸氣腔室21、21之長邊方向中央部附近，該形成區域之尺寸較理想為{(1/2)×L2}。又，較佳為於內管22、22之兩端部之{(1/4)×L2}之部分不形成吸氣用開口孔25，僅於自中間點起向左右為{(1/4)×L2}之長度部分形成吸氣用開口孔25。

又，於將自吸氣導管24抽吸之空氣之量設為(V)之情形時，以自內管22內抽吸之量V1成為{(2/3)×V}，自內壁部23與內管22之間抽吸之量V2成為{(1/3)×V}之方式決定內壁部23及內管22之剖面形狀。藉此，自內管22抽吸{(2/3)×V}之空氣量，進而，分別自配置於內管22之中央部之複數個吸氣用開口孔25抽吸{(1/3)×V}之量，自該內管22之末端部抽吸{(1/3)×V}之量，藉此，自形成於吸氣腔室21、21之第1及第2空氣吸入口26、27均等地抽吸空氣。

再者，與吸氣導管24同樣地，關於上述供氣腔室11，於將自供氣導管14導入之高壓空氣之量設為(V)之情形時，亦以向供氣導管14內壓送之量V1成為{(2/3)×V}，導入至供氣腔室11與內管12之間之量V2成為{(1/3)×V}之方式決定供氣腔室11之內壁部13及供氣導管14之剖 面形狀。藉此，向內管12壓送之{(2/3)×V}之高壓空氣量係於其後分別自配置於內管12之中央部之複數個噴出用開口孔15向供氣腔室11內噴出{(1/3)×V}之量，又，自該內管12之末端部向供氣腔室11內噴出{(1/3)×V}之量，進而，自形成於供氣腔室11之狹縫狀之空氣噴出口16均等化而噴射至板P。

其次，參照模式性地表示空氣噴出口16與第1空氣吸入口26及第2空氣吸入口27之排列(僅兩側中之一者)之圖4對上述構成中形成於供氣腔室11之空氣噴出口16、與形成於吸氣腔室21、21之第1空氣吸入口26及第2空氣吸入口27之詳細情況進行說明。如圖4所示，空氣噴出口16係於供氣腔室11中沿著長邊方向使兩行空氣噴出口16互相平行地形成於供氣腔室11之大致寬度方向中央部，且，各行之各空氣噴出口16係以其端部重合之方式配置成鋸齒狀。再者，空氣噴出口16之狹縫寬度大致為0.65mm，全長大致為227mm，且各空氣噴出口16之端部之重疊量大致為1mm。

又，形成於上述吸氣腔室21、21之第1空氣吸入口26係以與上述空氣噴出口16大致平行之方式於空氣噴出口16之外側隔開大致3mm之間隔而間斷地形成，進而，於第1空氣吸入口26之外側，與該第1空氣吸入口26呈高度不同狀地形成有第2空氣吸入口27。再者，第1空氣吸入口26係如圖1所示般狹縫寬度大致為6mm且朝向外側傾斜60°。又，第2空氣吸入口27之狹縫寬度大致為2mm且朝向外側傾斜75°。

又，如圖5所示，於上述第1空氣吸入口26之下端部形成曲面狀之凹陷部28，於第2空氣吸入口27之下端部形成有傾斜之凹陷部29。再者，形成於上述第1空氣吸入口26之凹陷部28係以跨及第1空氣吸入口26之兩緣之方式形成，但凹陷部28之中心向內側偏移，其大部分形成於第1空氣吸入口26之內緣側。另一方面，形成於第2空氣吸入口27之凹陷部29為僅形成於第2空氣吸入口27之內緣側之平面狀，其傾斜 角相對於吸氣腔室21、21之底面呈15°。

於以上述方式構成之本實施例中，藉由未圖示之供氣機構將空氣自供氣導管14向供氣腔室11壓送，其空氣量之2/3與剩餘之1/3分離而分別被供給至內管12及內管12與供氣腔室11之間。進而，流入至上述內管12之空氣之一半係自噴出用開口孔15噴出至上述供氣腔室11內，剩餘之一半係自內管12之另一端部噴出至供氣腔室11內。該等經由內管12而噴出至供氣腔室11之空氣與直接被導入至上述供氣腔室11內之空氣合併後自形成於供氣腔室11之底部之空氣噴出口16朝向板P均勻地噴射。自空氣噴出口16朝向板P垂直地噴射之高速空氣於藉由其風壓使附著於板P之灰塵剝離後，與灰塵一併自第1及第2空氣吸入口26、27被吸入至各吸氣腔室21、21內。

又，於抽吸上述吸氣腔室21內之空氣時，其空氣量之2/3與剩餘之1/3分離而分別自內管22及內管22與吸氣腔室21之間被抽吸，進而，自上述內管22抽吸之空氣之一半係經由上述吸氣用開口孔25被抽吸至上述內管22內，剩餘之一半係自內管22之另一端部被抽吸，因此，自各個第1及第2空氣吸入口26、27均勻地吸入空氣。

又，自空氣噴出口16朝向板P垂直地噴射之高速空氣碰撞在板P上而呈放射狀擴散，自第1空氣吸入口26、進而自其外側之第2空氣吸入口27與灰塵一併被吸入至吸氣腔室21、21內，但由於清潔頭1與板P之間隙為1~1.5mm之極窄距離，又，於第1空氣吸入口26之內緣形成有曲面狀之凹陷部28，故而如圖5所示般，高速空氣之流速於擴寬之凹陷部28內產生變化，從而在凹陷部28與連通於該凹陷部28之第1空氣吸入口26內產生卡門渦(亂流)。藉此，於第1空氣吸入口26之入口部分形成卡門渦(亂流)所致之空氣幕，使自板P剝離之灰塵於第1空氣吸入口26之入口部分停留，而自第1空氣吸入口26被吸入至吸氣腔室21內。又，於該第1空氣吸入口26之外側亦多重地形成有具有凹陷部 29之第2空氣吸入口27，故而即便自上述第1空氣吸入口26漏至外側之灰塵亦可藉由第2空氣吸入口27之凹陷部29之空氣幕效果防止灰塵之洩漏，並由第2空氣吸入口27吸入而捕捉。

又，形成於供氣腔室11之空氣噴出口16雖係間斷地形成，但由於將兩行空氣噴出口16互相平行地配置成鋸齒狀，故而兩行空氣噴出口16作為一連串之連續之空氣噴出口發揮功能，而不存在朝向板P局部未噴射空氣之部分。又，由於各行之空氣噴出口16係間斷地形成，故而不會因供氣腔室11之內壓導致空氣噴出口16局部地擴大等而使狹縫寬度產生變化，可固定地保持各空氣噴出口16之狹縫寬度。因此，可自各空氣噴出口16均勻地噴射空氣，從而可抑制噴射壓之不均。又，關於第1空氣吸入口26與第2空氣吸入口27，與空氣噴出口16同樣地亦配置成鋸齒狀，藉此，可自第1空氣吸入口26與第2空氣吸入口27均勻地抽吸空氣。

以上，對本發明進行了詳細敍述，但本發明並不限定於上述實施例，可於本發明之主旨之範圍內實施各種變形。例如，於上述實施例中表示了設置有2行空氣噴出口16及第1空氣吸入口26與第2空氣吸入口27之例，但亦可為3行或其以上。又，各部之尺寸等亦並不限定於上述實施例。

1‧‧‧除塵裝置

2‧‧‧清潔頭

11‧‧‧供氣腔室

12、22‧‧‧內管

13、23‧‧‧內壁部

15‧‧‧噴出用開口孔

16‧‧‧空氣噴出口

21‧‧‧吸氣腔室

25‧‧‧吸氣用開口孔

26‧‧‧第1空氣吸入口

27‧‧‧第2空氣吸入口

28、29‧‧‧凹陷部

A‧‧‧箭頭

P‧‧‧板(被清洗物)

W‧‧‧搬送路徑

Claims (5)

1. 一種除塵裝置，其係設置具備噴射高壓空氣之供氣腔室、及位於該供氣腔室之兩側且吸入空氣之一對吸氣腔室的清潔頭，將該清潔頭與搬送路徑對向配置，藉由上述供氣腔室朝向於上述搬送路徑上搬送之被清洗物之上表面噴射高壓空氣而使附著於被清洗物之灰塵剝離並懸浮，且利用上述吸氣腔室抽吸該懸浮物者；上述除塵裝置之特徵在於：以使複數行空氣噴出口沿著上述清潔頭之長邊方向呈狹縫狀開口且間斷地形成，並且各行之各空氣噴出口之端部重疊之方式，將上述各行之空氣噴出口配置成鋸齒狀。
2. 如請求項1之除塵裝置，其中與上述空氣噴出口平行地於該空氣噴出口之兩側呈鋸齒狀配置有與上述吸氣腔室連通之複數行空氣吸入口。
3. 如請求項1之除塵裝置，其中於上述空氣吸入口之至少下端部內緣側形成有使亂流產生之凹陷部。
4. 如請求項1至3中任一項之除塵裝置，其中於上述供氣腔室內配置兩端開放之內管，並且於該內管形成噴出用開口孔，自供氣機構被壓送至上述供氣腔室內之空氣係其空氣量之2/3與剩餘之1/3分離而分別流入至內管及內管與供氣腔室之間，進而，流入至上述內管之空氣之一半係經由噴出用開口孔而噴出至上述供氣腔室內，剩餘之一半係自內管之另一端部噴出至供氣腔室內，該等空氣與直接被導入至上述供氣腔室內之空氣合併而自上述空氣噴出口朝向上述被清洗物均勻地噴射。
5. 如請求項1至3中任一項之除塵裝置，其中於各吸氣腔室內分別配置兩端開放之內管，並且於該各內管形成吸氣用開口孔，於 藉由吸氣機構抽吸上述吸氣腔室內之空氣時，其空氣量之2/3與剩餘之1/3分離而分別自內管及內管與吸氣腔室之間被抽吸，進而，自上述內管抽吸之空氣之一半係經由上述吸氣用開口孔被抽吸至上述內管內，剩餘之一半係自內管之另一端部被抽吸。