TW201407307A - 圖表描繪裝置、圖表描繪方法、工序管理系統、工序管理方法及可讀記憶媒體 - Google Patents

Abstract

本發明可容易且確實地進行異常設備等之異常發生原因之提取與其持續性評估。本發明之圖表描繪方法係由統計量算出機構42及資料配置機構43作為統計量顯示處理部發揮作用，於矩陣顯示區域顯示將與m個(m為整數)變量與n個(n為整數)變量對應之m×n個元素排列成矩陣狀之統計量，且於圖表顯示區域顯示與該統計量有關之圖表圖像者，且具有時間序列變化顯示工序，該時間序列變化顯示工序係基於選擇與指定之矩陣元素對應之統計量之輸入指令，由矩陣顯示數值選擇機構44a選擇與該指定之統計量對應之資料，藉此由時間序列變化顯示機構44b於圖表顯示區域85中顯示該指定之統計量之時間序列變化。

Description

圖表描繪裝置、圖表描繪方法、工序管理系統、工序管理方法及可讀記憶媒體

本發明係關於一種描繪工序管理用之圖表之圖表描繪裝置及使用其之圖表描繪方法、使用該等之工序管理系統及工序管理方法、及儲存有記述有用於使電腦執行該等圖表描繪方法或工序管理方法之各工序之處理程序之控制程式之電腦可讀取之可讀記憶媒體。

如先前之半導體製造工序般，於使用大量設備製造各種工序之情形時，提前發現並解決特定設備之異常非常重要。因此，即時監視設備狀態並予以應對。但，於異常程度不嚴重之情形時，有當時未發現結果成為較大差錯之情形。此時，需要快速找出該設備間差並採取措施，藉此消除設備間差，謀求所製造之製品之品質穩定。

作為製造之形式，(1)成為製品前之加工步驟較多、(2)使用同一設備處理不同製品、(3)利用多台設備進行並行處理、(4)製品之測試項目越多等，越複雜，則越難以提取異常工序，使用統計分析方法之需要增加。

具有多如數百工序之製造工序製程資料間之相關關係之特徵並非僅為一個，亦有於複數個資料間成為取捨關係之情形。有很難利用描繪於畫面之端與端之圖表效率良好地比較取捨關係，而需要大量的解析時間與工夫之問題。

因此，為解決如此之問題，專利文獻1揭示有一種圖表描繪裝 置，其可於屬於某一資料群之複數個變量與屬於另一資料群之複數個變量之間有效地指定任意兩個變量，可一目了然且直觀明白地顯示該等兩個變量間之相關關係。

圖11係例示藉由專利文獻1所揭示之上述先前之圖表描繪裝置而顯示於圖表描繪模板之各區域之顯示內容的圖。

如圖11所示，於同一顯示畫面100之圖表描繪模板上設定用於將m×n個元素排列成矩陣狀而顯示之矩陣顯示區域101、及用於顯示圖表圖像之圖表顯示區域102。

在屬於第1資料群之m個變量(第1變量名顯示區域103)與屬於第2資料群之n個變量(第2變量名顯示區域104)之間，算出m×n個統計量，並且於矩陣顯示區域101以n列m行之矩陣元素排列顯示。

製作與矩陣顯示區域101中之由矩陣元素指定部指定之某個矩陣元素105對應之表示屬於第1資料群之變量(第1變量名顯示區域103)與屬於第2資料群之變量之間的兩個變量(第2變量名顯示區域104)間之相關關係之圖表圖像106，並將其顯示於顯示畫面100上之圖表顯示區域102。

藉此，可於屬於某一資料群之複數個變量與屬於另一資料群之複數個變量之間，有效地指定任意兩個變量，可將該等兩個變量間之相互關係以圖表圖像106一目了然且直觀明白地顯示。

圖12係例示將專利文獻1所揭示之上述先前之圖表描繪裝置使用於良率解析之情形時圖表描繪模板之各區域所顯示之顯示內容的圖。圖13係放大顯示圖12之圖表描繪模板之圖表顯示區域之圖。

如圖12及圖13所示，於圖表顯示區域102顯示有表示屬於第1資料群之變量(第1變量名顯示區域103)與屬於第2資料群之變量(第2變量名顯示區域104)之間的兩個變量間之關係的圖表圖像。於該事例中，對應於藉由點擊而指定顯示於顯示畫面100上之矩陣顯示區域101內之 矩陣元素中之第3列第4行之矩陣元素105(方差比「18.74」)，將實施該行之「工序名」P3所表示之製造工序之各製造裝置CS_02、CS_03、CS_04各者所要求之「性能」Q4以箱形圖(box plot)顯示。

詳細而言，如圖13所示，於圖表顯示區域102中包含表示與指定之矩陣元素105對應之工序名(該例中為「工序名P3」)之區域107、表示該矩陣元素105之方差比(F值；該例中為「18.74」)之區域108、顯示實施該「工序名」P3所表示之製造工序之各製造裝置CS_02、CS_03、CS_04各者之設備編號的區域109、及以箱形圖顯示各製造裝置CS_02、CS_03、CS_04各者之「性能」Q4之區域110。如周知般，箱形圖係由最大值、第3四分位、中央值、第1四分位及最小值表現。

藉此，獲得可在屬於某一資料群之複數個變量與屬於另一資料群之複數個變量之間有效地指定任意兩個變量，可更加一目了然且直觀明白地顯示該等兩個變量間之相關關係之圖表描繪裝置。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2008-282248號公報(日本專利第4368905號)

於專利文獻1所揭示之上述先前之工序分析方法中，於背景技術中存在之複雜之製造形態之情形時，利用以多變量解析為代表之分析方法，以數學方式提取例如特定設備(以下稱作異常設備)等之異常發生原因，但此情況下必需確認其可靠性。為了確認其可靠性，最佳方法為對實際設備進行確認，但在委託給海外等生產等情形時，無法確認其可靠性。如此，實際情況中多以異常發生之可靠性作為判斷資料。

於複雜之製造形態之工序中，利用以多變量解析為代表之分析方法，以數學方式提取特定設備(以下稱作異常設備)等之異常發生原因，但卻難以實現持續監視。

本發明係解決上述先前之問題者，其目的在於提供一種可容易且迅速地進行異常設備等之各種異常發生原因之提取及其持續性評估之圖表描繪裝置及使用其之圖表描繪方法、使用其之工序管理系統及工序管理方法、儲存有記述有用於使電腦執行該圖表描繪方法或工序管理方法之各工序之處理程序之控制程式之電腦可讀取之可讀記憶媒體。

本發明之圖表描繪裝置係於矩陣顯示區域中顯示將與m個(m為整數)變量與n個(n為整數)變量對應之m×n個元素排列成矩陣狀之統計量，且於圖表顯示區域中顯示與該統計量有關之圖表圖像者，且具有時間序列變化顯示機構，該時間序列變化顯示機構係藉由選擇與指定之矩陣元素對應之統計量，而於該圖表顯示區域中顯示該統計量之時間序列變化；藉此達成上述目的。

又，較佳為，本發明之圖表描繪裝置中，時間序列變化顯示機構係將達到上述統計量之顯示數值為止之時間序列變化進行圖表顯示。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪裝置中，時間序列變化顯示機構製作以時間序列表示屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間的兩個變量間之關係的持續趨勢監視圖表，並將其顯示於上述圖表顯示區域。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪裝置具有：顯示區域設定部，其係將用於將m×n個元素排列成矩陣狀而顯示之矩陣顯示區域、及用於顯示上述圖表圖像之圖表顯示區域設定於同一顯示畫面上；及 統計量顯示處理部，其係在屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間，算出m×n個上述統計量，並在該矩陣顯示區域中排列顯示n列m行之統計量。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪裝置進而具有圖表顯示機構，該圖表顯示機構係藉由追加選擇與指定之矩陣元素對應之統計量，而顯示該統計量之詳細圖表。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪裝置中，圖表顯示機構製作表示屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間的兩個變量間之關係的圖表圖像，並將其顯示於上述圖表顯示區域。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪裝置進而具有強調顯示機構，該強調顯示機構係將統計量處於設定範圍之矩陣元素於上述統計量之顯示時強調顯示。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪裝置進而具有強調顯示機構，該強調顯示機構係將統計量之時間序列變動值在設定範圍內之矩陣元素於上述統計量之顯示時強調顯示。

本發明之圖表描繪方法係於矩陣顯示區域中顯示將與m個(m為整數)變量與n個(n為整數)變量對應之m×n個元素排列成矩陣狀之統計量，且於圖表顯示區域中顯示與該統計量有關之圖表圖像者，且具有時間序列變化顯示工序，該時間序列變化顯示工序係藉由選擇與指定之矩陣元素對應之統計量，而由時間序列變化顯示機構在該圖表顯示區域中顯示該統計量之時間序列變化；藉此達成上述目的。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪方法中，時間序列變化顯示工序係由上述時間序列變化顯示機構圖表顯示達到上述統計量之顯示數值為止之時間序列變化。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪方法中，時間序列變化顯示 工序係由上述時間序列變化顯示機構製作以時間序列表示屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間的兩個變量間之關係的持續趨勢監視圖表，並將其顯示於上述圖表顯示區域。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪方法具有：顯示區域設定工序，其係由顯示區域設定部將用於將上述m×n個元素排列成矩陣狀而顯示之矩陣顯示區域、及用於顯示上述圖表圖像之圖表顯示區域設定於同一顯示畫面上；及統計量顯示處理工序，其係由統計量顯示處理部在屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間，算出m×n個上述統計量，並於該矩陣顯示區域中排列顯示n列m行之統計量。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪方法進而具有圖表顯示工序，該圖表顯示工序係由圖表顯示機構藉由追加選擇與上述指定之矩陣元素對應之統計量，而顯示該統計量之詳細圖表。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪方法中，圖表顯示工序係由上述圖表顯示機構製作表示屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間的兩個變量間之關係的圖表圖像，並將其顯示於上述圖表顯示區域。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪方法進而具有強調顯示工序，該強調顯示工序係由強調顯示機構將統計量在設定範圍內之矩陣元素於上述統計量之顯示時強調顯示。

進而，較佳為，本發明之圖表描繪方法進而具有強調顯示工序，該強調顯示工序係由強調顯示機構將統計量之時間序列變動值在設定範圍內之矩陣元素於上述統計量之顯示時強調顯示。

本發明之工序管理系統係具備本發明之上述圖表描繪裝置，且用於消除或抑制製造製品之製造工序中之異常發生原因者；且與上述m個變量對應之第1資料群係表示關於該製品之性能之資料群，與上 述n個變量對應之第2資料群係表示關於該製品之不良要因之資料群；該工序管理系統具備異常發生原因反饋機構，該異常發生原因反饋機構係藉由該圖表描繪裝置製作以時間序列表示屬於表示該性能之資料群之變量與屬於表示該不良要因之資料群之變量之間的兩個變量間之關係之持續趨勢監視圖表，一面使該持續趨勢監視圖表顯示於上述圖表顯示區域，一面以將關於該製品製造之該異常發生原因之提取與其持續性評估反饋至該製造工序中而對該異常發生原因進行警告或停止處置之方式輸出信號；藉此達成上述目的。

本發明之工序管理方法係使用本發明之上述圖表描繪方法，用於消除或抑制製造製品之製造工序中之異常發生原因者；且與上述m個變量對應之第1資料群係表示該製品之性能之資料群，與上述n個變量對應之第2資料群係表示該製品之不良要因之資料群；該工序管理方法具有異常發生原因反饋工序，該異常發生原因反饋工序係藉由該圖表描繪裝置製作以時間序列表示屬於該表示性能之資料群之變量與屬於該表示不良要因之資料群之變量之間的兩個變量間之關係之持續趨勢監視圖表，一面使其顯示於上述圖表顯示區域，一面由異常發生原因反饋機構，以將關於該製品製造之異常發生原因之提取與其持續性評估反饋至該製造工序而對該異常發生原因進行警告或停止處置之方式輸出信號；藉此達成上述目的。

本發明之控制程式係記述有用於使電腦執行本發明之上述圖表描繪方法之各工序之處理程序者，藉此達成上述目的。

本發明之控制程式係記述有用於使電腦執行本發明之上述工序管理方法之工序之處理程序者，藉此達成上述目的。

本發明之可讀記憶媒體係儲存有本發明之上述控制程式且可被電腦讀取者，藉此達成上述目的。

根據上述構成，以下說明本發明之作用。

於本發明中，圖表描繪裝置係於矩陣顯示區域顯示將與m個(m為整數)變量與n個(n為整數)變量對應之m×n個元素排列成矩陣狀之統計量，且於圖表顯示區域顯示與該統計量有關之圖表圖像者；且具有時間序列變化顯示機構，該時間序列變化顯示機構係藉由選擇與指定之矩陣元素對應之統計量，而於圖表顯示區域顯示統計量之時間序列變化。

藉此，因可於圖表顯示區域顯示該指定之統計量之時間序列變化，故可容易且迅速地進行異常設備等之異常發生原因之提取及其持續性評估。

藉由以上所述，根據本發明，因可於圖表顯示區域顯示該指定之統計量之時間序列變化，故可容易且迅速地進行異常設備等之異常發生原因之提取及其持續性評估。

1‧‧‧圖表描繪裝置

2‧‧‧操作輸入部

3‧‧‧顯示部

4‧‧‧CPU(控制部)

5‧‧‧RAM

6‧‧‧ROM

7‧‧‧資料庫

11‧‧‧半導體性能資料群

12‧‧‧製程資料群

13‧‧‧資訊

41‧‧‧資料編輯機構(顯示區域設定部)

42‧‧‧統計量算出機構(統計量顯示處理部)

43‧‧‧資料配置機構(統計量顯示處理部)

44‧‧‧圖表輸出機構

44a‧‧‧矩陣顯示數值選擇機構

44b‧‧‧時間序列變化顯示機構

44c‧‧‧圖表顯示機構

45‧‧‧要因分析機構

45a‧‧‧矩陣元素指定部

45b‧‧‧排列順序處理部

46‧‧‧強調顯示機構

71‧‧‧關聯資料表格

72‧‧‧第1資料群

73‧‧‧第2資料群

74‧‧‧共用之識別碼(批次)

81‧‧‧圖表描繪模板

82‧‧‧矩陣顯示區域

83‧‧‧第1變量名顯示區域

84‧‧‧第2變量名顯示區域

85‧‧‧圖表顯示區域

90‧‧‧工序管理系統

91‧‧‧製造工序管理裝置

91a‧‧‧資料庫

92‧‧‧測試工序管理裝置

92a‧‧‧資料庫

93‧‧‧要因解析裝置

94‧‧‧資料通訊路徑

100‧‧‧顯示畫面

101‧‧‧矩陣顯示區域

102‧‧‧圖表顯示區域

103‧‧‧第1變量名顯示區域

104‧‧‧第2變量名顯示區域

105‧‧‧矩陣元素

106‧‧‧圖表圖像

107‧‧‧區域

108‧‧‧區域

109‧‧‧區域

110‧‧‧區域

圖1係顯示本發明之實施形態1之圖表描繪裝置之概略構成例的方塊圖。

圖2係例示記憶有藉由圖1之圖表描繪裝置而成為圖表描繪對象之資料之關聯資料表格之內容的圖。

圖3係顯示設定於顯示畫面上之圖表描繪模板之初始狀態之圖。

圖4係例示顯示於圖3之圖表描繪模板81之各區域82~85之顯示內容的圖。

圖5係除顯示於圖4之圖表顯示區域85之持續趨勢監視圖表以外之每個設備的(a)箱形圖、(b)散點圖、(c)常態機率分佈圖、(d)直方圖。

圖6係用於說明圖1之圖表描繪裝置之動作之流程圖。

圖7係顯示表示圖1之時間序列之相關關係之持續趨勢監視圖表 為依序上升趨勢之情形時之異常增加的圖。

圖8係顯示表示圖1之時間序列之相關關係之持續趨勢監視圖表為平穩趨勢的圖。

圖9係顯示表示圖1之時間序列之相關關係之持續趨勢監視圖表為下降趨勢之情形即改善結果的圖。

圖10係包含圖1之圖表描繪裝置在內，管理半導體製品製造領域等之製造工序之工序管理系統的整體構成圖。

圖11係例示藉由專利文獻1所揭示之上述先前之圖表描繪裝置顯示於圖表描繪模板之各區域之顯示內容的圖。

圖12係例示於將專利文獻1所揭示之上述先前之圖表描繪裝置用於良率解析之情形時，圖表描繪模板之各區域所顯示之顯示內容之圖。

圖13係放大顯示圖12之圖表描繪模板之圖表顯示區域之圖。

以下，一面參照圖式，一面對本發明之圖表描繪裝置及圖表描繪方法之實施形態1、及使用該等之工序管理系統及工序管理方法之實施形態2進行詳細說明。

(實施形態1)

圖1係顯示本發明之實施形態1之圖表描繪裝置之概略構成例的方塊圖。

圖1中，本實施形態之1之圖表描繪裝置1包含電腦系統，其具有：例如可進行變數選擇操作或分析操作等之各種輸入指令之鍵盤或滑鼠、畫面輸入裝置(觸控面板)等操作輸入部2；可根據各種輸入指令，在顯示畫面上顯示初始畫面、變量選擇畫面及圖表描繪模板顯示畫面等各種圖像之顯示部3；作為進行整體控制之控制部之CPU4(Central Processing Unit，中央運算處理裝置)；作為在CPU4之 啟動時作為工作記憶體發揮作用之暫時記憶機構之RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)5；作為記錄有用於使CPU4動作之工序管理用之控制程式及其所使用之各種資料等之電腦可讀取之可讀記錄媒體(記憶機構)之ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)6；及除記憶於關聯資料表格之資料外亦記憶有各種工序資料之資料庫7。

由操作輸入部2進行之操作例如有變量選擇操作或分析操作等。此處，變量選擇操作係由滑鼠或鍵盤等操作輸入部2完成。又，此處，分析操作例如由用筆觸控顯示部3之顯示畫面(觸控面板)之某處而進行輸入之公知之觸控面板式LCD完成。再者，分析操作亦可為一面利用滑鼠使顯示部3之顯示畫面上之游標移動，一面於其位置處藉由點擊或雙擊而指定顯示部3之顯示畫面中之某處之輸入方式。

作為控制部之CPU4具有：資料編輯機構41，其除基於來自操作輸入部2之輸入指令外，還基於自ROM6內讀出至RAM5內之控制程式及其所使用之各種資料，來編輯經變量選擇操作選擇之成為分析對象之M個變量與N個變量；統計量算出機構42，其算出(M×N)個統計量(例如相關係數)；資料配置機構43，其將所算出之(M×N)個統計量配置成N列M行之矩陣元素；圖表輸出機構44，其於顯示部3之顯示畫面上描繪由分析操作指定之兩個變量間之關係；要因分析機構45，其進行多變量間之關係之分析；及強調顯示機構46，其強調顯示統計量處於設定範圍之矩陣元素之項目，且強調顯示統計量之時間序列變動值處於設定範圍之項目；且進行使用特定之圖表描繪模板之顯示。

資料編輯機構41係作為顯示區域設定部發揮作用，雖利用圖3於下文敍述，但，於將m、n分別設為2以上之自然數時，則將用於將m×n個元素排列成矩陣狀而顯示之矩陣顯示區域、及用於顯示圖表圖像之圖表顯示區域設定於同一顯示畫面。顯示區域設定部係作為將利用圖3於下文敍述之矩陣顯示區域與圖表顯示區域組入一個框內之特 定之圖表描繪模板設定。

統計量算出機構42及資料配置機構43作為統計量顯示處理部發揮作用，於屬於第1資料群之m個變量與屬於第2資料群之n個變量之間，算出m×n個統計量，並於利用圖3於下文敍述之矩陣顯示區域以n列m行之矩陣數值排列顯示。該統計量顯示處理部係參照利用圖2於下文敍述之關聯資料表格之記憶內容而算出上述m×n個統計量。算出之各統計量之原始資料(第1資料群及第2資料群)定期自外部被發送。

圖表輸出機構44具有：矩陣顯示數值選擇機構44a，其選擇矩陣顯示數值之顯示區域作為與指定之矩陣元素對應之項目；時間序列變化顯示機構44b，其利用矩陣顯示數值選擇機構44a之功能，在圖表顯示區域顯示矩陣顯示數值之時間序列變化；及圖表顯示機構44c，其藉由追加選擇與指定之矩陣元素對應之統計量，而圖表顯示與矩陣元素對應之統計量之詳細內容。

總之，圖表輸出機構44製作持續趨勢監視圖表作為表示屬於第1資料群之變量與屬於第2資料群之變量之間的兩個變量間之關係之圖表圖像或其時間序列圖表圖像，並將其顯示於顯示部3之顯示畫面上之特定之圖表顯示區域。

要因分析機構45具有：矩陣元素指定部45a，其於顯示部3之顯示畫面上指定矩陣元素之任一者；及排列順序處理部45b，其對於指定之變量名將矩陣元素按照統計量之絕對值之順序排列。總之，當由矩陣元素指定部45a指定m個變量之一個名稱時，以關於被指定名稱之變量沿行方向排列之n個統計量成為按照絕對值大小之順序之方式，由排列順序處理部45b以列單位排列顯示於矩陣顯示區域之統計量，另一方面，當由矩陣元素指定部45a指定n個變量之一個名稱時，以關於被指定名稱之變量沿列方向排列之m個統計量成為按照絕對值大小之順序之方式，由排列順序處理部45b以行單位排列顯示於矩陣顯示 區域之統計量。

強調顯示機構46強調顯示統計量處於設定範圍之矩陣項目(矩陣數值)或圖表之一部分。於矩陣數值為F值之情形、F值之絕對值超過特定值例如「10」或連續上升6之情形等時進行強調顯示。該強調顯示係藉由彩色顯示或加粗顯示而一目了然之顯示。

以上統計量係屬於第1資料群之變量與屬於第2資料群之變量之間之相關係數。

ROM6包含硬碟、光碟、磁碟及IC(Integrated Circuit，積體電路)記憶體等可讀記錄媒體(記憶機構)。該控制程式及其所使用之各種資料亦可自便於攜帶之光碟、磁碟及IC記憶體等下載至ROM6，亦可為電腦之硬碟，亦可自硬碟下載至ROM6，還可經由無線或有線、網路等下載至ROM6。

資料庫7具有利用圖2於下文敍述之關聯資料表格71，可於關聯資料表格71中預先記憶各種資料群。關聯資料表格71由硬磁碟驅動機等外部記憶裝置記憶。

圖2係例示記憶有藉由圖1之圖表描繪裝置而成為圖表描繪對象之資料之關聯資料表格之內容的圖。

如圖2所示，關聯資料表格71中，針對各製品批次Lt1、Lt2、...、LtL，作為屬於第1資料群72之M個變量之「性能」Q1、Q2、...、QM、與作為屬於第2資料群73之N個變量之「要因」F1、F2、...、FN相互建立對應關係(關聯)地記憶。

於半導體製造領域，「性能」Q1、Q2、...、QM所表示之資料例如為藉由晶圓測試或電性特性等獲得之元件之性能，「要因」F1、F2、...、FN所表示之資料為氧化膜厚、線寬、檢查之處理資料等。

各製品批次由作為共用之識別碼74之L個「製品ID(Identifier，標識符)」Lt1、Lt2、...、LtL特定。即，於該關聯資料表格71中，藉由 L個識別碼(批次編號)Lt1、Lt2、...、LtL，針對各列將作為M個變量之「性能」Q1、Q2、...、QM、與作為N個變量之「要因」F1、F2、...、FN建立關聯。

總之，關聯資料表格71係基於定期輸入之資料，使用共用之識別碼將屬於第1資料群之m個變量與屬於第2資料群之n個變量相互建立對應關係而記憶。

本發明具備伺服器，該伺服器係對關聯資料表格71定期發送屬於第1資料群之m個變量與屬於第2資料群之n個變量，並依序記憶關聯資料表格之記憶內容。

圖3係顯示設定於顯示畫面上之圖表描繪模板之初始狀態的圖。

如圖3所示，於該事例中，圖表描繪模板81係於右下配置用於將上述(M×N)個統計量排列成矩陣狀而顯示之矩陣顯示區域82、於右上配置第1變量名顯示區域83、於左下配置第2變量名顯示區域84、於左上配置圖表顯示區域85，且將該等區域82~85組入顯示於同一顯示部3之顯示畫面上之一個矩形框內。

圖4係例示顯示於圖3之圖表描繪模板81之各區域82~85之顯示內容的圖。圖5係除顯示於圖4之圖表顯示區域85之持續趨勢監視圖表外之每個設備的(a)箱形圖、(b)散點圖、(c)常態機率分佈圖、(d)直方圖。再者，該等設備等之每個異常發生原因之箱形圖、散點圖等圖表可藉由「雙擊」特定位置之N列M行之矩陣元素，而自時間序列之持續趨勢監視圖表依序變更而顯示。該情形時，例如，若依序「雙擊」以粗框表示之3列14行之矩陣元素之值「60」，則設備等之每個異常發生原因之箱形圖、散點圖等圖表成為根據當前時點下之最新資料而成之圖表。

如圖4所示，於圖3之圖表描繪模板81之矩陣顯示區域82中，統計量算出機構42及資料配置機構43作為統計量顯示處理部發揮作用， (M×N)個統計量、在該事例中屬於第1資料群72之M個變量即「性能」Q1、Q2、...、QM、與屬於第2資料群73之N個變量即「要因」F1、F2、...、FN之間的(M×N)個相關係數係作為N列M行之各矩陣元素排列成矩陣狀而顯示。藉此，操作者可容易地自所顯示之相關係數中提取例如相關係數(此處為表示「偏差」之F值)較大之異常發生原因。

於第1變量名顯示區域83中，CPU4之資料編輯機構41作為變量名顯示處理部發揮作用，屬於圖2之第1資料群72之M個變量之名稱、本事例中為「性能Q1」、「性能Q2」、...、「性能QM」係與矩陣顯示區域82之各行對應而沿列方向排列顯示。

於第2變量名顯示區域84中，CPU4之資料編輯機構41作為變量名顯示處理部發揮作用，屬於圖2之第2資料群73之N個變量之名稱、本事例中為「要因F1」、「要因F2」、...、「要因FN」係與矩陣顯示區域82之各列對應而沿行方向排列顯示。

根據以上所述，操作者藉由流覽顯示於第1、第2變量名顯示區域83、84之變量之名稱，可容易地辨識在矩陣顯示區域82顯示有屬於哪個資料群之變量與屬於哪個資料群之變量之間之統計量。

又，於圖表顯示區域85中，圖表輸出機構44作為時間序列變化顯示機構44b發揮作用，其顯示有按照每個日期之時間序列表示屬於第1資料群72之變量與屬於第2資料群73之變量之間的兩個變量間之關係之圖像。本事例中，作為分析操作，操作者指定3列14行之矩陣元素之值「16」，藉此根據指定顯示部3之顯示畫面上之矩陣顯示區域82內所顯示之各矩陣元素中之第3列第7行之矩陣元素(即相關係數為「16」之F值)，將表示對應於該行(第7行)之工序11、不良10、與對應於該列(第3列)之工序11、裝置No.1之間的相關關係之每個日期之時間序列之持續趨勢監視圖表顯示於圖表顯示區域85。

如此，本實施形態1之圖表描繪裝置1中，與指定(點擊)矩陣顯示區域82內之矩陣元素之分析動作連動地，將與該指定(點擊)之矩陣元素對應之每個日期之時間序列之持續趨勢監視圖表(以時間序列顯示指定之兩個變量間之關係)顯示於圖表顯示區域85。根據藉由上述分析操作指定顯示於矩陣顯示區域82之N列M行之複數個矩陣元素之任一個之輸入方式，可由一次操作(例如一次觸控)同時且有效地指定屬於第1資料群72之變量與屬於第2資料群73之變量。

因自每個日期之資料群描繪圖表，故可知藉由觀察因時間經過而出現之變動，即使於目前為止不存在問題之裝置等之異常發生原因對象中亦不斷變差，在已對存在問題之裝置採取處理措施之情形時，可證明該處理措施有效或無效，亦可容易地進行判斷。

在每個日期之時間序列之持續趨勢監視圖表中，以表示屬於第1資料群72之變量之作為第1座標軸之縱軸(Y軸)、與以發送資料之定期之時間序列作為第2座標軸之橫軸(X軸)為基準進行表示。

再者，除每個日期之時間序列之持續趨勢監視圖表以外之上述箱形圖或散點圖中，持續趨勢監視圖表係以作為表示屬於第1資料群72之變量之第1座標軸之縱軸(Y軸)與作為表示屬於第2資料群73之變量之第2座標軸之橫軸(X軸)為基準進行表示。又，圖5之散點圖中之各點分別表示某個製品批次之資料。再者，亦可更換縱軸與橫軸而進行表示。

根據上述構成，以下對其圖表描繪方法進行說明。

圖6係用於說明圖1之圖表描繪裝置之動作之流程圖。

如圖6所示，圖表描繪裝置1之動作開始時，首先，在步驟S1中，於顯示部3之顯示畫面顯示如圖3般之圖表描繪模板81之初始狀態。接著，在步驟S2中，基於關聯資料表格81之內容，顯示列方向、行方向之變量名與矩陣元素。

於本事例中，如圖4所示，在第1變量名顯示區域83中，作為屬於第1資料群72之M(=10)個變量之名稱，顯示目標變數之「性能Q1」、「性能Q2」、...、「性能Q10」。且，同樣地，在第2變量名顯示區域84中，作為屬於第2資料群73之N(=10)個變量之名稱，顯示說明變數之「要因F1」、「要因F2」、...、「要因F10」。

進而，在矩陣顯示區域82，將作為屬於第1資料群72之10個變量之「性能」Q1、Q2、...、Q10、與作為屬於第2資料群73之10個變量之「要因」F1、F2、...、F10之間的(M×N)=(10×10)個相關係數以10列10行之矩陣元素排列顯示。

目標變數作為製品之完成狀況指標有良品數(率)、不良品數(率)、及良率等，說明變數作為導致偏差之製造原因因素有製造設備、原材料種類、原材料批次、零件批次等。

對目標變數進行多變量解析，算出每個說明變數之F值(偏差程度)。自該算出之F值(偏差程度)較大者確認是否確實存在異常，但，一般而言，目標變數並非僅有一個，多數情況下被細分化為被稱作不良類別(何種功能異常)者。因此，為易於判斷何種異常設備對何種功能造成影響，提出有作為先前技術所說明之原有之本公司專利(日本專利第4368905號)。

接著，在步驟S3中，判斷在圖表描繪模板81之矩陣顯示區域82中是否存在操作者藉由分析操作指定矩陣元素。

該情形時，強調顯示機構46強調顯示統計量之時間序列變動值處於設定範圍內之項目。又，強調顯示機構46強調顯示統計量處於設定範圍內之項目或圖表。在F值之絕對值超過特定值例如「10」或連續上升6之情形等時進行強調顯示。該強調顯示亦可為彩色顯示或加粗顯示。藉由點擊被強調顯示之矩陣元素之值「16」、「26」及「60」中之例如值「16」之分析操作，可指定特定之矩陣元素之矩陣數值 「16」。再者，此處，作為彩色顯示，根據其數值之大小，被強調顯示之矩陣元素之值「16」例如可設為藍色顯示、矩陣元素之值「26」例如可設為橙色顯示、矩陣元素之值「60」例如可設為紅色顯示。對於矩陣元素之值「60」，框線亦成為粗線。

若存在藉由點擊特定之矩陣元素進行指定(步驟S3中為YES)，則前進至步驟S4之處理，在著眼於(點擊)指定之矩陣元素之每個時間序列之資料群(此處為每個日期之資料群)運算F值(此處，為與其他裝置輸出之差)。

再者，若存在藉由雙擊特定之矩陣元素進行指定(步驟S3中為YES)，則前進至步驟S4之處理，圖表顯示機構44c運算著眼於(點擊)由雙擊指定之矩陣元素之統計量之詳細圖表。該情形時，顯示下一步驟S6之統計量之詳細圖表。

接著，在步驟S5中，判斷是否已在每個日期之資料群進行n次F值運算。若尚未進行n次F值運算(步驟S5中為NO)，則返回步驟S2~S3之處理，重複進行在每個日期之資料群以相同之變量名運算F值(此處，為與其他裝置輸出之差)。

其後，在步驟S6中，基於在每個日期之資料群以相同之變量名運算F值後之複數個運算結果，將每個日期之時間序列之持續趨勢監視圖表顯示於圖表顯示區域85。

對應於指定顯示於顯示部3之顯示畫面上之矩陣顯示區域82內之N列M行之複數個矩陣元素中之第3列第7行之矩陣元素(即相關係數之值「16」)，將表示對應於該行(第7行)之工序11、不良10、與對應於該列(第3列)之工序11、裝置No.1之間的時間序列(每個日期之資料群)之相關關係的持續趨勢監視圖表顯示於圖表顯示區域85。

如此，操作者僅藉由分析操作、即藉由點擊等指定(選擇)顯示於顯示部3之顯示畫面上之矩陣顯示區域82內之矩陣元素中之任一個， 即可與該矩陣元素對應地同時指定屬於第1資料群72之變量與屬於第2資料群73之變量。可將該指定之兩個變量間之關係(時間序列變化)圖表化為每個日期之資料群而直觀明白地顯示時間序列之變動量。

因此，操作者可有效地自各種大量之資料提取所需之兩個變量間之關係，可在顯示部3之一個顯示畫面上將兩個變量間之關係以時間序列變化一目了然地圖表化而顯示。結果，可容易地進行兩個群之變量間之關係(該事例中為相關係數)之排序，從而可容易地解析多變量間之取捨關係等。

圖7係顯示表示圖1之時間序列之相關關係之持續趨勢監視圖表為依序上升趨勢之情形時之異常增加的圖。圖8係顯示表示圖1之時間序列之相關關係之持續趨勢監視圖表為平穩趨勢之情形時的圖。圖9係顯示表示圖1之時間序列之相關關係之持續趨勢監視圖表為下降趨勢之情形即改善結果的圖。圖7~圖9中顯示有每個日期之持續趨勢監視圖表之各種趨勢。圖9中，出現改善處理後之下降趨勢、或因某種原因而呈現的改善趨勢。作為改善措施，例如有重新更換裝置等。

接著，返回至要因分析機構45所進行之圖6之要因分析步驟之說明。

即，在步驟S7中，判斷在圖表描繪模板81上，是否藉由操作者之分析操作而指定變量名。具體而言，判斷是否如圖4所例示般已指定第1變量名顯示區域83所顯示之變量名，或如圖4所例示般已指定第2變量名顯示區域84所顯示之變量名。此處，若不存在變量名之指定(步驟S7中為NO)，則立即返回至步驟S3之處理。

另一方面，若存在變量名之指定(步驟S7中為YES)，則在圖表描繪模板81上，排列順序處理部45a針對所指定之變量名將矩陣元素按照統計量之絕對值之順序排列。具體而言，當指定顯示於行方向之第1變量名顯示區域83之任一個變量名時，以關於被指定名稱之變量沿 列方向排列之N個統計量成為按照絕對值大小之順序(該例中為降序)之方式，將顯示於矩陣顯示區域82之統計量以列單位排列。或者，當指定顯示於列方向之第2變量名顯示區域84之任一個變量名時，以關於被指定名稱之變量沿行方向排列之M個統計量成為按照絕對值大小之順序(該例中為降序)之方式，將顯示於矩陣顯示區域82之統計量以行單位排列。結果，操作者可一目了然且容易地把握兩個群之變量間之關係、該事例中為相關係數之排序。

總之，本實施形態1之圖表描繪方法係統計量算出機構42及資料配置機構43係作為統計量顯示處理部發揮作用，在矩陣顯示區域顯示將與m個(m為整數)變量與n個(n為整數)變量對應之m×n個元素排列成矩陣狀之統計量，且在圖表顯示區域顯示與該統計量有關之圖表圖像者；且具有時間序列變化顯示工序，該時間序列變化顯示工序係基於選擇與指定之矩陣元素對應之統計量之輸入指令，由矩陣顯示數值選擇機構44a選擇與該指定之統計量對應之資料，藉此時間序列變化顯示機構44b在圖表顯示區域85顯示該指定之統計量之時間序列變化。

藉由以上所述，根據本實施形態1，藉由矩陣顯示數值選擇機構44a選擇與該指定之統計量對應之資料，而由時間序列變化顯示機構44b在圖表顯示區域85顯示該指定之統計量之時間序列變化，故可容易且迅速地進行設備異常等之異常發生原因對象之提取與其持續性評估。即，藉由導入本實施形態1之製造工序管理方法，異常設備等之異常發生原因對象之提取與其持續性評估之解析速度變得特別快。

本分析方法並非僅為一對一相關分析或分段實施多變量解析之次元，而係藉由將其分析結果(裝置間差分點分析)之F值(變動量)作為新指標由每個日期之時間序列之持續趨勢監視圖表進行趨勢監視(變化點監視)，藉此可按照時間序列精度良好地發現或預測製造工序之設備環境之變化，在利用相同之分析方法之基礎上對處理效果進行追 蹤評估。其係迄今為止之藉由將當前時點之分析實施結果作為新分析指標使用而可無間斷地進行持續到將來之長期間持續監視之分析方法、即分析系統。

在該矩陣顯示方法中，藉由對上述F值進行繪圖，可效率良好地以數學方式提取存在偏差之異常設備。

此處之矩陣顯示結果表示用於分析之期間之偏差程度，對於突然出現偏差、連續出現偏差、或位於收斂方向，除使用資料研究其實際狀態外別無他法。

為容易地進行該作業，將F值較大之目標變數與說明變數之時間軸之F值狀況以持續趨勢監視圖表顯示於圖4之圖表顯示區域85。

顯示之點表示F值推移。雖上文已述，但，例如有圖7之上升趨勢、異常增加、圖8之平穩、無變化(F值大表示忽略異常)、圖9之下降趨勢、改善趨勢等。

利用多變量解析提取之結果中，關於上述圖9之狀態，為確認之危險性降低之方向，可降低確認之優先度。

此次之本發明之特徵在於藉由持續趨勢監視圖表「表示係數之推移」，分析不會短期間停留，而係藉由使因時間經過而產生之新指標F值之增加、減少可視化，而可實現分析之時間評估。

(實施形態2)

圖10係包含圖1之圖表描繪裝置1在內，管理半導體製品製造領域等之製造工序之工序管理系統的整體構成圖。再者，此處雖對半導體製造工序管理方法進行說明，但，並不限定於半導體製造工序管理方法，於所有製造工序管理方法中均可應用本實施形態1之圖表描繪裝置1。

圖10中，工序管理系統90配置為可將作為管理製造工序之伺服器之製造工序管理裝置91、作為測定製品批次之半導體性能(良率)而 管理之伺服器之測試工序管理裝置92、及包含本實施形態1之圖表描繪裝置1之良率要因解析裝置93經由資料通訊路徑94而相互通訊。

製造工序管理裝置91具有儲存作為與製造工序有關之變量之處理履歷資料或製程資料之資料庫91a。又，測試工序管理裝置92具有儲存經測定之半導體性能之資料庫92a。

此處，良率要因解析裝置93包含本實施形態1之圖表描繪裝置1。對良率要因解析裝置93，分別經由資料通訊路徑94定期地(每個日期地)自測試工序管理裝置92發送作為表示性能之變量之半導體性能資料群11，自製造工序管理裝置91發送作為表示不良要因之變量之製程資料群12。良率要因解析裝置93將該等資料群11、12讀入至圖表描繪裝置1之關聯資料表格並儲存於資料庫7內。

良率要因解析裝置93係一面藉由圖表描繪裝置1將每個日期之時間序列之持續趨勢監視圖表作為表示屬於半導體性能資料群11之變量與屬於製程資料群12之變量之間的兩個變量間之關係之圖表圖像顯示於顯示部3之顯示畫面上之圖表顯示區域85，一面提取異常設備。良率要因解析裝置93作為異常發生原因反饋機構發揮作用，將表示提取之異常設備之資訊13經由資料通訊路徑94反饋至製造工序管理裝置91。因此，自圖表描繪裝置1經由良率要因解析裝置93進而經由製造工序管理裝置91，暫時停止上述製造工序中之異常發生裝置即異常設備，藉由對異常設備採取適當之措施，可消除異常發生原因。結果，可實現上述製造工序之穩定化，可有助於良率提高。

總之，良率要因解析裝置93係一面藉由圖表描繪裝置1將每個日期之時間序列之持續趨勢監視圖表作為表示屬於半導體性能資料群11之變量與屬於製程資料群12之變量之間的兩個變量間之關係之圖表圖像顯示於顯示部3之顯示畫面上之圖表顯示區域85，一面提取製造製品之製造工序中之異常設備等之異常發生原因。良率要因解析裝置93 作為異常發生原因反饋機構發揮作用，將表示提取之異常設備之資訊13經由資料通訊路徑94反饋至製造工序管理裝置91。因此，自圖表描繪裝置1經由良率要因解析裝置93進而經由製造工序管理裝置91，對上述製造工序中之異常設備等之異常發生原因對象進行警告或暫時停止處置，藉由對異常發生原因對象採取適當之措施，可抑制或消除異常發生原因。結果，可實現上述製造工序之穩定化，可有助於良率提高。

本實施形態2之工序管理系統90係具備上述實施形態1之圖表描繪裝置1，且可消除或抑制製造製品之製造工序中之異常設備等之異常發生原因之系統；且第1資料群係表示製品之性能之資料群，第2資料群係表示製品之不良要因之資料群；該工序管理系統90具備異常發生原因反饋機構，該異常發生原因反饋機構係藉由圖表描繪裝置1製作以時間序列表示屬於表示性能之資料群之變量與屬於表示不良要因之資料群之變量之間的兩個變量間之關係之持續趨勢監視圖表，一面使該持續趨勢監視圖表顯示於圖表顯示區域85，一面以將關於製品製造之異常設備等之異常發生原因之提取與其持續性評估反饋至製造工序而對異常設備等之異常發生原因進行警告或停止處置之方式輸出信號。

同樣地，本實施形態2之工序管理方法係使用上述實施形態1之圖表描繪方法，用以消除或抑制製造製品之製造工序中之異常設備等之異常發生原因者；且第1資料群係表示製品之性能之資料群，第2資料群係表示製品之不良要因之資料群；該工序管理方法具有異常發生原因反饋工序，該異常發生原因反饋工序係藉由圖表描繪裝置1製作以時間序列表示屬於表示性能之資料群之變量與屬於表示不良要因之資料群之變量之間的兩個變量間之關係之持續趨勢監視圖表，一面使該持續趨勢監視圖表顯示於圖表顯示區域85，一面由異常設備反饋機 構，以將有關製品製造之異常設備等之異常發生原因之提取與其持續性評估反饋至製造工序而對異常設備等之異常發生原因進行警告或停止處置之方式輸出信號。

再者，如上所述，雖利用本發明之較佳之實施形態1、2例示了本發明，但，本發明不應限定於該實施形態1、2而解釋。應理解為，本發明僅由專利申請範圍來解釋其範圍。應理解為，本領域技術人員可根據本發明之具體之較佳之實施形態1、2之記載，基於本發明之記載及技術常識而在等價之範圍內予以實施。應理解為，本說明書中所引用之專利、專利申請案及文獻之內容本身應與具體記載於本說明書中者同樣地，其內容作為本說明書之參考而予以引用。

產業上之可利用性

本發明係於描繪工序管理用之圖表之圖表描繪裝置及使用其之圖表描繪方法、使用該等之工序管理系統及工序管理方法、記述有用於使電腦執行該等圖表描繪方法或工序管理方法之各工序之處理程序之控制程式、及儲存有該控制程式之電腦可讀取之可讀記憶媒體之領域，因在圖表顯示區域顯示其指定之統計量之時間序列變化，故可容易且確實地進行異常設備等之異常發生原因之提取與持續性評估。

1‧‧‧圖表描繪裝置

2‧‧‧操作輸入部

3‧‧‧顯示部

4‧‧‧控制部(CPU)

5‧‧‧RAM

6‧‧‧ROM

7‧‧‧資料庫

41‧‧‧資料編輯機構

42‧‧‧統計量算出機構

43‧‧‧資料配置機構

44‧‧‧圖表輸出機構

44a‧‧‧矩陣顯示數值選擇機構

44b‧‧‧時間序列變化顯示機構

44c‧‧‧圖表顯示機構

45‧‧‧要因分析機構

45a‧‧‧矩陣元素指定部

45b‧‧‧排列順序處理部

46‧‧‧強調顯示機構

Claims (20)

1. 一種圖表描繪裝置，其係於矩陣顯示區域中顯示將與m個(m為整數)變量與n個(n為整數)變量對應之m×n個元素排列成矩陣狀之統計量，且於圖表顯示區域中顯示與該統計量有關之圖表圖像者；且具有時間序列變化顯示機構，該時間序列變化顯示機構係藉由選擇與指定之矩陣元素對應之統計量，而於該圖表顯示區域中顯示該統計量之時間序列變化。
2. 如請求項1之圖表描繪裝置，其中上述時間序列變化顯示機構係將達到上述統計量之顯示數值為止之時間序列變化進行圖表顯示。
3. 如請求項2之圖表描繪裝置，其中上述時間序列變化顯示機構製作以時間序列表示屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間的兩個變量間之關係的持續趨勢監視圖表，並將其顯示於上述圖表顯示區域。
4. 如請求項1之圖表描繪裝置，其具有：顯示區域設定部，其將用於將上述m×n個元素排列成矩陣狀而顯示之矩陣顯示區域、及用於顯示上述圖表圖像之圖表顯示區域設定於同一顯示畫面上；及統計量顯示處理部，其在屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間，算出m×n個上述統計量，並在該矩陣顯示區域中排列顯示n列m行之統計量。
5. 如請求項1之圖表描繪裝置，其進而具有圖表顯示機構，該圖表顯示機構係藉由追加選擇與上述指定之矩陣元素對應之統計 量，而顯示該統計量之詳細圖表。
6. 如請求項5之圖表描繪裝置，其中上述圖表顯示機構製作表示屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間的兩個變量間之關係的圖表圖像，並將其顯示於上述圖表顯示區域。
7. 如請求項1之圖表描繪裝置，其進而具有強調顯示機構，該強調顯示機構係於上述統計量之顯示時，強調顯示上述統計量在設定範圍內之矩陣元素。
8. 如請求項1之圖表描繪裝置，其進而具有強調顯示機構，該強調顯示機構係於上述統計量之顯示時，強調顯示上述統計量之時間序列變動值在設定範圍內之矩陣元素。
9. 一種圖表描繪方法，其係於矩陣顯示區域中顯示將與m個(m為整數)變量與n個(n為整數)變量對應之m×n個元素排列成矩陣狀之統計量，且於圖表顯示區域中顯示與該統計量有關之圖表圖像者，且具有時間序列變化顯示工序，該時間序列變化顯示工序係藉由選擇與指定之矩陣元素對應之統計量，而由時間序列變化顯示機構在該圖表顯示區域中顯示該統計量之時間序列變化。
10. 如請求項9之圖表描繪方法，其中上述時間序列變化顯示工序係由上述時間序列變化顯示機構圖表顯示達到上述統計量之顯示數值為止之時間序列變化。
11. 如請求項10之圖表描繪方法，其中上述時間序列變化顯示工序係由上述時間序列變化顯示機構製作以時間序列表示屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間的兩個變量間之關係的持續趨勢監視圖表，並將其顯示於上述圖表顯示區域。
12. 如請求項9之圖表描繪方法，其具有：顯示區域設定工序，其係由顯示區域設定部將用於將上述m×n個元素排列成矩陣狀而顯示之矩陣顯示區域、及用於顯示上述圖表圖像之圖表顯示區域設定於同一顯示畫面上；及統計量顯示處理工序，其係由統計量顯示處理部在屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間，算出m×n個上述統計量，並在該矩陣顯示區域中排列顯示n列m行之統計量。
13. 如請求項9之圖表描繪方法，其進而具有圖表顯示工序，該圖表顯示工序係由圖表顯示機構藉由追加選擇與上述指定之矩陣元素對應之統計量，而顯示該統計量之詳細圖表。
14. 如請求項13之圖表描繪方法，其中上述圖表顯示工序係由上述圖表顯示機構製作表示屬於第1資料群之上述m個變量與屬於第2資料群之上述n個變量之間的兩個變量間之關係的圖表圖像，並將其顯示於上述圖表顯示區域。
15. 如請求項9之圖表描繪方法，其進而具有強調顯示工序，該強調顯示工序係於上述統計量之顯示時，強調顯示上述統計量在設定範圍內之矩陣元素。
16. 如請求項9之圖表描繪方法，其進而具有強調顯示工序，該強調顯示工序係由強調顯示機構於上述統計量之顯示時，強調顯示上述統計量之時間序列變動值在設定範圍內之矩陣元素。
17. 一種工序管理系統，其係具備如請求項1至8中任一項之圖表描繪裝置，且用於消除或抑制製造製品之製造工序中之異常發生原因者；且與上述m個變量對應之第1資料群係表示關於該製品之性能之資料群，與上述n個變量對應之第2資料群係表示該製品之不良 要因之資料群；且該工序管理系統具備異常發生原因反饋機構，該異常發生原因反饋機構係藉由該圖表描繪裝置製作以時間序列表示屬於表示該性能之資料群之變量與屬於表示該不良要因之資料群之變量之間的兩個變量間之關係之持續趨勢監視圖表，一面使該持續趨勢監視圖表顯示於上述圖表顯示區域，一面以將關於該製品製造之該異常發生原因之提取與其持續性評估反饋至該製造工序而對該異常發生原因進行警告或停止處置之方式輸出信號。
18. 一種工序管理方法，其係使用如請求項9至16中任一項之圖表描繪方法，用於消除或抑制製造製品之製造工序中之異常發生原因者；且與上述m個變量對應之第1資料群係表示關於該製品之性能之資料群，與上述n個變量對應之第2資料群係表示關於該製品之不良要因之資料群；該工序管理方法具備異常發生原因反饋工序，該異常發生原因反饋工序係藉由該圖表描繪裝置製作以時間序列表示屬於該表示性能之資料群之變量與屬於該表示不良要因之資料群之變量之間的兩個變量間之關係之持續趨勢監視圖表，一面使該持續趨勢監視圖表顯示於上述圖表顯示區域，一面由異常發生原因反饋機構，以將關於該製品製造之異常發生原因之提取與其持續性評估反饋至該製造工序而對該異常發生原因進行警告或停止處置之方式輸出信號。
19. 一種電腦可讀取之可讀記憶媒體，其儲存有記述有用於使電腦執行如請求項9至16中任一項之圖表描繪方法之各工序之處理程序之控制程式。
20. 一種電腦可讀取之可讀記憶媒體，其儲存有記述有用於使電腦執行如請求項18之工序管理方法之工序之處理程序之控制程式。