TW201326773A - 壓力感測器的電性量測裝置及其方法 - Google Patents

Abstract

一種壓力感測器的電性量測裝置包括一第一板體；一第二板體，使相對於該第二板體開啟或閉合；一待量測物，係配置於該第一板體與該第二板體間；一電性量測單元，係量測該待量測物的電性訊號；以及一流體供應系統，連通該第一板體或第二板體與受壓面間形成之一空間，該流體供應系統提供一流體至該空間，以使該流體施壓於該待量測物，而使該電性量測單元量測該待量測物之電性訊號。本發明另揭露一種壓力感測器的電性量測校正方法。

Description

壓力感測器的電性量測裝置及其方法

本發明是有關於一種電性量測裝置與方法，且特別是一種壓力感測器的電性量測裝置與方法。

現有技術欲對較大面積壓力感測器進行校正時，通常會以具有剛體結構的加壓單元直接加壓具有多個感測單元的感測器上，其中，加壓單元的施力平均與否會取決於加壓單元與壓力感測器之間的接觸面是否平整。由於對剛體結構而言，面積越大則其平面度越難以達成，亦即平面度越差。

如此一來，由剛體結構所構成的加壓單元，其不是在加壓過程中因平面度不佳而造成壓力不均的情形，便是需以較高製作成本方能製作出平面度較佳的加壓單元。此兩種方式皆無法有效地解決校正較大面積的壓力感測器。

本發明提供一種壓力感測器的電性量測裝置及其方法，以量測不同面積的壓力感測器電性特性。

本發明提供一種壓力感測器的電性量測裝置包括一第一板體；一第二板體，使相對於該第二板體開啟或閉合；一待量測物，係配置於該第一板體與該第二板體間；一電性量測單元，係量測該待量測物的電性訊號；以及一流體供應系統，連通該第一板體或該第二板體與一受壓面形成一空間，以使該流體施壓於該待量測物，而使該電性量測單元量測該待量測物之電性訊號。

本發明進一步地更包括一可撓性元件位於該第一板體與該第二板體間，係將該待量測物與該流體隔開。其中該可撓性元件為一具有可撓性、彈性或阻氣性或及其組合等的材料，例如聚碳酸酯(polycarbonate,PC)所製成。此為本實施例之其中一種材料，凡屬相關等效之特性均屬本發明之範疇，在此並不予限制。

本發明進一步地更包括一密封元件設置於該第一板體與該第二板體間，且位於該空間周邊。該空間周邊設置一環狀溝槽，該溝槽內設置有該密封元件。較佳地，該密封元件為一橡膠材料或聚合材料。

較佳地，該第二板體為一固定式承載平台，使該待量測物配置在該第二板體上。

較佳地，該待量測物為一個壓力感測器或多個壓力感測器。其中該多個壓力感測器係陣列地配置在該第二板體上。該多個壓力感測器係以一可撓性基板彼此相互連接而形成。

較佳地，該流體供應系統與該空間之間分別以一第一管路與一第二管路連通，且於該空間入口之第一管路上設置一入口閥，而於該空間出口之第二管路上設置一出口閥，以該控制器控制該流體供應系統輸出該流體自該第一管路與該入口閥進入該空間，且自該第二管路與該出口閥離開該空間。其中該流體供應系統包括一泵與一流體槽。

較佳地，該第一板體具有一或多個第一流道與一或多個第二流道，該第一流道與該第二流道分別設置於該第一板體的兩端側，使該第一流道係與該入口閥連接，而該第二流道係與該出口閥連接。

本發明之可撓性元件可為一囊袋，該囊袋配置在該空間內，且該囊袋分別連接該第一流道與該第二流道。

較佳地，該空間內設置有一流體壓力偵測器，使偵測該空間內的流體壓力變化。

較佳地，該待量測物具有一待量測區與環繞該待量測區的一接電線區，且該待量測物包括一或多個壓力感測器或壓力感測器陣列分別電性連接至該接電線區，及該接電線區連接一或多條電線。

本發明進一步地更包括一機台，包括一動力模組、一平台、一驅動器、一操作台，該動力模組係結合該驅動器，該驅動器下方結合一板體，而該平台上設置一第二板體，該平台一側設置有該操作台，使該動力模組可驅動該第一板體與該第二板體開啟或閉合。

本發明在一實施例中，該第一板體或該第二板體上設置有一第一密封元件與一第二密封元件，其中該第一密封元件環繞於該第二密封元件之外。其中該第一板體或第二板體設有一凹槽，以及位於該第一板體或該第二板體之該凹槽內之板體設置有至少一第三流道及至少一第四流道，該第三流道與一入口閥連接，而該第四流道與一出口閥連接，該入口閥與該出口閥分別以一第一管路與一第二管路分別連接至該流體供應裝置。進一步地，本實施例更包括一流體壓力偵測器設置於該凹槽內以及位於該第二密封元件內。

本發明另提供一種壓力感測器的電性量測方法包括：提供一第一板體與一第二板體；提供一待量測物於該第一板體與該第二板體間；閉合該第一板體與該第二板體，以在該第一板體或第二板體與受壓面間形成之一空間；藉由一流體供應系統提供一流體至該空間；藉由一流體壓力感測器偵測該空間內的一流體壓力；藉由該流體施壓於該待量測物；以及電性量測該待量測物因受該流體壓力所傳出的一電訊號。

本發明進一步地還包括：提供一可撓性元件，例如薄膜，位於該第一板體與該第二板體間並接觸該待量測物，以使該空間內的流體藉由該薄膜施壓在該待量測物上。

本發明進一步地還包括：提供一可撓性元件，例如囊袋，配置於該第一板體上，該囊袋連通於該流體供應系統並接觸該待量測物，以使該空間的流體藉由該囊袋施壓在該待量測物上。

較佳地，該待量測物為一個或多個壓力感測器。

本發明進一步地還包括：電性量測該待量測物之其中一個壓力感測單元，且其餘未被電性量測的該些壓力感測單元為電性接地。

為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

本發明以下各實施例所敘述的相同元件以相同編號表示，但不以此為限，仍可以不相同編號表示。

圖1A為本發明第一實施例的壓力感測器的電性量測裝置之示意圖。圖1B是圖1A之另一狀態示意圖。請同時參考圖1A與圖1B，本發明壓力感測器的電性量測裝置100包括一第一板體110、一第二板體120、一可撓性元件130、一待量測物140、一流體供應系統150、一鎖固組件160與一密封元件170、一控制器180、一電性量測單元190。該第二板體120例如是一固定式承載平台，該待量測物140配置在該第二板體120上。在此，該待量測物140例如是以一個壓力感測器或多個壓力感測器或多個壓力感測器陣列地配置在一可撓性基板上而形成，其中該多個壓力感測器係以該可撓性基板彼此相互連接而形成。但本實施例並不以此為限。

該第一板體110能相對於該第二板體120開啟與閉合。當該第一板體110與該第二板體120閉合時，該可撓性元件130可配置地被夾持在該第一板體110與該第二板體120間，使該第一板體110或第二板體120與受壓面間形成一空間C1，並將該待量測物140與一流體隔開。其中該流體可為氣體或液體。

在一實施例中，該受壓面可為該可撓性元件130之表面。

在一實施例中，該可撓性元件130之面積大於該空間C1之面積。而該待量測物140之面積小於該空間C1之面積。

該流體供應系統150可藉一第一管路151、第二管路153分別連通該空間C1，並於進入該空間C1之第一管路151上設置一入口閥152，而於該空間C1出口之第二管路153上設置一出口閥154，以該控制器180控制該流體供應系統150輸出該流體進入該空間C1，且自該空間C1排出該流體。在本實施例中，該壓力感測器的電性量測裝置100是以氣體作為進出該空間C1的介質，故其相關結構皆依據氣體性質而加以設計，惟本發明並不以此為限。設計者可依據其需求而選用不同形式的流體並對壓力感測器的電性量測裝置進行對應的結構設計。其中該空間C1係為流體通入之密閉空間。

該第一板體110具有一第一流道L1與一第二流道L2，其中該第一流道L1與該第二流道L2分別設置於該第一板體110的兩端側。該第一流道L1係與該入口閥152連接，而該第二流道L2係與該出口閥154連接，以控制該流體自該入口閥152與該第一流道L1進入到該空間C1中，並自該第二流道L2與該出口閥154排出。其動作原理後敘。

在一實施例中，該第一板體110上形成一第一凹槽112，而該第二板體120為一承載平台。或在另一實施例中，該第二板體120上形成一第二凹槽122，而該第一板體110為一承載平台。或在又一實施例中，該第一板體110與該第二板體120分別形成對應的一第一凹槽112與一第二凹槽122。亦即於該第一凹槽112或該第二凹槽122上設置有一承載平板124，用以承載該待量測物140。本實施例係以該第一板體110上形成該第一凹槽112，而該第二板體120形成該第二凹槽122為例，並於該第二凹槽122上設置該承載平板124以構成承載平台，用以承載該待量測物140為例進行說明。但本發明之精神並不以此實施例為限。

當該第一板體110與該第二板體120閉合時，可利用該鎖固組件160將該第一板體110與該第二板體120鎖固。該鎖固組件160可為螺絲與螺帽、螺栓與螺帽或螺栓、螺絲鎖固於該第二板體120內之螺紋孔等等所包括之等效元件。本實施例係將螺栓或螺絲穿過該第一板體110的孔洞118而鎖入該第二板體120上之螺紋孔126鎖固。本發明之精神並不以此實施例為限。

為使該空間C1能更密封以避免該流體外洩，於該第一凹槽112或該第二凹槽122的周邊設置一環狀溝槽116，該溝槽116內設置有該密封元件170，使該第一板體110與該第二板體120閉合時，藉該密封元件170作閉合時的緩衝，且加強密封效果。該密封元件170為橡膠材料、聚合材料或其它等效的環形線材。該第一凹槽112、該第二凹槽122、該溝槽116、該密封元件170均可設計為相同的幾何形狀，例如矩形、圓形、方形等等。該密封元件170的截面形狀可為圓形、矩形等。其中該可撓性元件130之面積大於該密封元件170之面積。

該可撓性元件130可為一薄膜，為具有可撓性、彈性或阻氣性或及其組合等的材料，例如薄膜可為聚碳酸酯(polycarbonate,PC)材料所製成。此為本實施例之其中一種材料，凡屬相關等效之特性均屬本發明之範疇，在此並不予限制。

該流體供應系統150包括一泵156與一流體槽158，藉由該泵156將該流體槽158內的流體送出，經該第一管路151、該第一流道L1與該入口閥152到達該空間C1內。而該空間C1內的該流體經該第二流道L2、該出口閥154、該第二管路153回到該流體槽158。其中該第一流道L1與該第二流道L2可為一或多個，可分別連通道該第一管路151與該第二管路153均為本發明精神範疇。本實施例之流體如為氣體，在一實施例中，該出口閥154可將氣體排出外界，而可以不需回收到該流體槽158，亦為本發明所保護之範疇內。

該空間C1內設置有一流體壓力偵測器114，用以偵測該空間C1內的流體壓力變化。該待量測物140可區分為一待量測區R1與環繞該待量測區R1的一接電線區R2，該待量測物140之待量測壓力感測器位在該待量測區R1中，且該待量測物140包括一或多個壓力感測器或壓力感測器陣列配置並分別電性連接至該接電線區R2，及該接電線區R2連接一或多條電線128。在一實施例中，當該第一板體110與該第二板體120閉合時，該待量測區R1與該接電線區R2是位在該空間C1的範圍內，該流體會透過該可撓性元件130對該待量測區R1的該待量測物140施壓。接著，該待量測物140經受壓所產生的電訊號便傳送至該接電線區R2及經該電線128傳送到該電性量測單元190。如此，設計者便能從該第二板體120之開口121接出該電線128，且因具有該可撓性元件130隔離該流體，因此不會衍生該流體可能從該空間C1漏出的困擾。換句話說，本實施例是採用加壓端與量測端是各自獨立且分開的設計結構。

其次，位在該接電線區R2的電線128分別與對應的該待量測物140電性連接，因而在電性量測該待量測物140之其中一個壓力感測器時，其餘未被電性量測的壓力感測器需為電性接地之狀態。此為實施例之其中一種，並非用來限制本發明，其它等效之實施例仍為本發明之精神範疇。

以下說明一個壓力感測器或多個壓力感測器的電性連接方式，請參閱圖1C-1E為本發明壓力感測器的實施例示意圖。如圖1C所示，當該待測物140為一個壓力感測器進行電性量測時，可接二條電線，一正一負，並耦接到該電性量測單元190。

如圖1D所示，當該待量測物140為多個壓力感測器進行電性量測時，每一壓力感測器可接二條電線，一正一負，並分別耦接到該電性量測單元190。

如圖1E所示，當該待量測物140為多個壓力感測器陣列排列進行電性量測時，可於該電性量測單元190設定某一壓力感測器進行電性量測，例如X1Y1位置的壓力感測器進行電性量測，則其餘壓力感測器則接地，接地方式為選擇X1或Y1其中一條線接地，X2,X3,X4,Y2,Y3,Y4皆為接地，並分別耦接到該電性量測單元190。

在一實施例中，一個或多個壓力感測器可設置於一可撓薄膜141上。

在一實施例中，亦可於該第二板體120處設置一開孔121，使該電線128一端穿過該開孔121連接至該接電線區R2，而該電線128另端連接至該電性量測單元190。

在一實施例中，亦可將該電線128直接從該第一板體110與該第二板體120間接出至該電性量測單元190。

本發明之電性量測單元190可為一電腦微處理器，可記憶與計算各種電性資料，並利用預設的壓力值校正調整該待量測物之壓力感測可靠度與準確性。

本發明之控制器180分別電氣連接該流體供應系統150、該流體壓力偵測器114、該入口閥152、該出口閥154、該電性量測單元190，並控制前述各元件進行該流體進出該空間C1與電性量測的工作，細部後敘。

圖2是圖1A至圖1B的壓力感測器的電性量測裝置的電性量測方法流程圖。請同時參考圖1A至圖1B與圖2，在本實施例中，係以氣體為例，首先於步驟S310中，將該待量測物140配置在該第二板體120之承載平台上。於步驟S320中，閉合該第一板體110與該第二板體120，並以該鎖固組件160將該第一板體110與該第二板體120鎖固，以在該第一板體或第二板體與受壓面間形成一空間C1，使該待量測物140位於該空間C1內，可撓性元件130夾持於該第一板體110與該第二板體120間，並將待量測物140與該流體作區隔。該電線128分別電氣連接該待量測物140與該電性量測單元190。接著，步驟S330中，操作該控制器180發出一訊號開啟該入口閥152並關閉該出口閥154，且啟動該流體供應系統150的泵156以將該流體槽158內之流體經該入口閥152與該第一流道L1輸入至該空間C1中。步驟S340中，當該空間C1內的流體壓力達到一預定值時，該空間C1內部之該流體壓力偵測器114發出一訊號至該控制器180，此時該控制器180關閉該入口閥152與該泵156停止供應流體(或泵156亦可不需關閉)，並啟動該電性量測單元190量測該待量測物140的電性特性。在步驟S350中，啟動該電性量測單元190量測該待量測物140因承受流體壓力而輸出的電子訊號變化，例如電阻變化、電壓變化、電流變化、電容電化或電感變化等等，以取得該待量測物的電性並轉換為壓力感測特性，以得知該待量測物140目前的壓力感測特性。當該電性量測單元190量測完畢即發出一訊號至該控制器180。

接著，在步驟S360中，當完成電性量測該待量測物140後，及該控制器180接獲該電性量測單元190量測完畢的訊號，該控制器180先關閉該入口閥152與該泵156後再開啟該出口閥154，以將該流體從該空間C1經該第二流道L2與該出口閥154輸出至該流體槽158。在一實施例中，該流體槽158非必要的，而由該泵156自外氣直接抽氣或排氣亦可達到相同目的。最終於步驟S370中，待該空間C1內的該流體壓力降至一預定值(例如與外界相同的氣壓)時，該空間C1內的該流體壓力偵測器114發出一訊號至該控制器180，該控制器180關閉該出口閥154，於解除該空間C1內部的壓力後，使用者便能將該第一板體110打開，取出該待量測物140。在此步驟之另一實施例中，該控制器180亦可不必關閉該出口閥154，而可直接排氣到外界。因為空間C1內的壓力與外界相同時，即可方便地開啟該第一板體110與該第二板體120。其中該流體壓力偵測器114具有一顯示器以顯示壓力值。

在此說明的是，該待量測物140因承受流體壓力而傳出的電訊號包括電阻、電壓、電流、電容與電感的至少其中之一或其組合，其經由該電性量測單元190量測後之該待量測物140進一步地經校正處理以達到校正該待量測物140之壓力感測可靠度與準確性。

在本實施例中，由於該待量測物140是以接觸該可撓性元件130的方式而感測到該空間C1中的流體壓力，故而該待量測物140是處於非空間，亦即該待量測物140亦可無須配置在該流體之中。如此一來，設計者便能免除面臨從該空間C1之流體中直接接出該電線128的情形，因而藉由本實施例的該電性量測裝置100能有效地降低壓力量測時的困難度。換句話說，本實施例利用加壓端(即流體進入空間C1)與量測端(即電性量測單元190與待量測物140)是各自獨立且分開設計，故能避免量測時發生流體外洩的情形。

圖3A與圖3B分別是本發明另一實施例的一種電性量測裝置於不同狀態的側視圖。請同時參考圖3A與圖3B，基本上結構與第1A與1B圖相似，而與前述實施例不同處在於，在本實施例的該電性量測裝置100中，該可撓性元件130為一囊袋，其配置在該第一板體110之該第一凹槽112內部且經該第一流道L1與該第二流道L2分別通過該入口閥152與該出口閥154而連通該流體供應系統150，故而當該入口閥152與該出口閥154關閉時，該囊袋的內部空間即為一囊袋空間C2。當該流體供應系統150將該流體傳送入該囊袋時，便會因此造成該囊袋變形膨脹，以讓其施壓在該待量測物140上，達到與上述實施例藉由該薄膜而讓該待量測物140感測到囊袋空間C2內的流體壓力的效果。

當該第一板體110與該第二板體120閉合時，使該第一板體110或第二板體120與受壓面間形成一空間C1，並將該待量測物140與一流體隔開。

在一實施例中，該受壓面可為該囊袋之內壁表面。

其餘結構相同，在此不予贅述。

圖4A與圖4B分別是本發明又一實施例的一種電性量測裝置於不同狀態的側視圖。請同時參考圖4A至圖4B，基本上結構與第1A與1B圖相似，而與前述實施例不同處在於，在本實施例的該電性量測裝置100中，該待量測物140是配置在該第二板體120之承載平台上，亦即該第二板體120無凹槽設計，而於該第一板體110設置有該第一凹槽112。本實施例無可撓性元件130設計。該第一板體110於該第一凹槽周邊設置該密封元件170，例如是O型環(O-ring)。當該第一板體110與該第二板體120閉合時，該密封元件170位於該第一板體110與該第二板體120間且位於該空間C1周邊，而該待量測物140則被該密封元件170夾持。換句話說，本實施例的該待量測物140在該第二板體120上的正投影面積，大於該密封元件170在該第二板體120上的正投影面積，亦即該待量測物140之面積大於該密封元件170之面積。當該第一板體110與該第二板體120閉合時，該密封元件170會夾持該待量測物140而使部分該待量測物140位於該密封元件170外部。其中該待量測物140之面積大於該空間C1之面積。

該待量測物140可區分為一待量測區R1與環繞該待量測區R1的一接電線區R2，且該待量測物140包括一或多個壓力感測器或壓力感測器陣列分別電性連接至該接電線區R2及該接電線區R2連接一或多條電線128。在一實施例中，當該第一板體110與該第二板體120閉合時，該待量測區R1是位在該密封元件170的範圍內，而該接電線區R2是位於該密封元件170的範圍外，該流體會對該待量測區R1的該待量測物140施壓。接著，該待量測物140經受壓所產生的電訊號傳送至該接電線區R2及經該電線128傳送到該電性量測單元190。如此，設計者便能免除面臨從該空間C1接出該電線128所衍生該流體可能從該空間C1漏出的困擾。換句話說，本實施例是採用加壓端與量測端是各自獨立且分開的設計結構。

其次，位在該接電線區R2之電線128分別與對應的該待量測物140電性連接，因而在電性量測該待量測物140之其中一個壓力感測器時，其餘未被電性量測的壓力感測器需為電性接地之狀態。實施例可參酌圖1C-1E。

另外，本發明亦未限制該接電線區R2與該電性量測單元190之間的連線關係，在本實施例中，當該第一板體110與該第二板體120閉合時，由於該待量測物140與該電線128均具有可撓性，故能承受該第一板體110與該第二板體120的閉合壓力而不影響其電性連接之功效，而直接讓該電線128延伸出該第一板體110與該第二板體120間而與該電性量測單元連接。

在一實施例中，該受壓面可為該待量測物140之表面。

圖4C是圖4A的電性量測裝置上待量測物的俯視圖。請同時參考圖4A至圖4C，在本實施例中，該待量測物140具有一待量測區142(如前述待量測區R1)與一接電線區144(如前述接電線區R2)，該電性量測單元190是電性連接於該接電線區144。換句話說，由於本實施例的該空間C1是由該第一板體110與該第二板體120間所構成，故而該流體會施壓在該待量測物140的局部，即該待量測區142之區域內。在此，該密封元件170藉由施壓在該待量測物140上，以將其分隔出位在中央處的該待量測區142與環繞該待量測區142的該接電線區144。當設計者採用本實施例的該電性量測裝置100時，其可依據所需量測面積而規劃出不同範圍的該待量測區142與該接電線區144。此舉亦能達到讓該電性量測裝置100的加壓端與量測端相互獨立且分離設計效果。

其餘結構相同，在此不予贅述。

圖5A是本發明另一實施例的一種電性量測裝置的示意圖。圖5B是圖5A的電性量測裝置的局部側視圖。請同時參考圖5A與圖5B。本實施例包括一機台200，機台200包括一動力模組210、一平台220、一驅動器230、一操作台240，該動力模組210包括一油壓缸、一馬達、一齒輪組、一電路、一控制器等等，而該動力模組210係結合該驅動器230，該驅動器230下方結合該第一板體110，而該平台220上設置該第二板體120，該平台220一側設置有該操作台240。當操作該操作台240使該動力模組210作動，而該動力模組210帶動該驅動器230驅動該第一板體110相對於該第二板體120進行上下往復運動，亦即該第一板體110與該第二板體120的開啟或閉合動作，故而該動力模組210能驅動該第一板體110與該第二板體120閉合後，以維持該第一板體110與該第二板體120間之該空間C1所需的受壓力量，故其與上述第一實施例中的該鎖固組件160具有相同效果。本實施例的該第一板體110與該第二板體120之各結構部分與上述第一實施例相同，在此不予贅述。據此，現有技術中任何用以將該第一板體110與該第二板體120維持在開啟或閉合狀態的相關結構，皆可適用於本發明。

其餘結構相同，在此不予贅述。

圖6A是依照本發明另一實施例的一種電性量測裝置的局部示意圖，在此描述其第二板體的局部。圖6B是圖6A的第二板體的分解圖。圖6C與圖6D分別是圖6A的第二板體於電性量測時的側視圖，在此繪示電性量測裝置用以電性量測不同面積的待量測物。請同時參考圖6A至圖6D，基本上本實施例的結構與前述圖1A、1B與圖4A、4B之實施例結構類似，不同處在於，本實施例的該電性量測裝置100中包括配置在該第二板體120的一第一密封元件170A、一第二密封元件170B，其中該第一密封元件170A環繞於該第二密封元件170B之外，且該第一密封元件170A及該第二密封元件170B可拆卸或安裝於該第二板體120，使該電性量測裝置100能適應不同面積的一第一待量測物140A或一第二待量測物140B。舉例而言，當需電性量測較大面積的該第一待量測物140A時，如圖6C所示，則能利用位在外圈處的該第一密封元件170A；相對地，當該第二待量測物140B的面積較小時，則利用該第二密封元件170B即可，而不需使用該第一密封元件170A。據此，該電性量測裝置100便因此而具有較大的適用性。此外，設計者亦可調整該第一及該第二密封元件170A與170B的相對大小或外形，以調整該電性量測裝置100的適用範圍。

在一實施例中，該第一密封元件170A可設置在該空間C1外。

在一實施例中，該第二密封元件170B可設置在該空間C1內。

其中該第二板體120可設置凹槽，也可不設置凹槽。本實施例亦可運用於該第一板體110上。

當該第一板體110與該第二板體120閉合，並以該鎖固組件160將該第一板體110與該第二板體120鎖固，而與受壓面間形成一空間C1。同時該空間C1內之該環狀密封元件170B壓制該待量測物140上。以該電線128電氣連接該待量測物140與該電性量測單元190。接著，該控制器180開啟該入口閥152並關閉該出口閥154，且啟動該流體供應系統150的該泵156以將該流體槽158內之該流體經該入口閥152與該第三流道L3輸入至該空間C1中。當該空間C1內的流體壓力達到一預定值時，該空間C1內部之該流體壓力偵測器114發出一訊號至該控制器180，此時該控制器180關閉該入口閥152與該泵156停止供應流體，並啟動該電性量測單元190量測該待量測物140的電性特性。當該電性量測單元190量測完畢發出一訊號至該控制器180。接著，該控制器180先關閉該入口閥152與該泵156後再開啟該出口閥154，以將該流體從該空間C1經該第四流道L4與該出口閥154輸出至該流體槽158。最後，待該空間C1內的流體壓力降至一預定值(例如與外界相同的氣壓)時，該空間C1內的該流體壓力偵測器114發出一訊號至該控制器180，於解除該空間C1內部的壓力後，使用者便能將該第一板體110打開，取出該待量測物140。而該待量測物140經電性量測後再進行壓力感測校正與圖1A與圖1B相同，在此不予贅述。

圖7為本發明壓力感測器的電性量測裝置之立體示意圖，本發明壓力感測器的電性量測裝置100包括該第一板體110與該第二板體120，該第一板體110與該第二板體120之同一側端以一樞軸組件A1樞接使相對地開啟或閉合。當該第一板體110與該第二板體120閉合時，該第一板體110與該第二板體120間形成該空間C1。該鎖固組件160將該第一板體110與該第二板體120密封鎖固，以進一步確保該空間C1的受壓性。

綜上所述，在本發明的上述實施例中，壓力感測器的電性量測裝置藉由至少部分或全部之待量測物配置在第一板體與第二板體之間的而形成的空間，以讓流體進入空間後能施壓於待量測物並量測待量測物之電性，以流體壓力偵測器量測出空間內的流體壓力，提供後續壓力感測校正的工作。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100．．．壓力感測器的電性量測裝置

110．．．第一板體

112．．．第一凹槽

114．．．流體壓力偵測器

116．．．溝槽

118．．．孔洞

120．．．第二板體

121．．．開孔

122．．．第二凹槽

124．．．承載平板

126．．．螺紋孔

128．．．電線

130．．．可撓性元件

140．．．待量測物

140A．．．第一待量測物

140B．．．第二待量測物

141．．．可撓薄膜

142．．．待量測區

144．．．接電線區

150．．．流體供應系統

151．．．第一管路

152．．．入口閥

153．．．第二管路

154．．．出口閥

156．．．泵

158．．．流體槽

160．．．鎖固組件

170．．．密封元件

170A．．．第一密封元件

170B．．．第二密封元件

180．．．控制器

190．．．電性量測單元

A1．．．樞軸組件

C1．．．空間

C2．．．囊袋空間

L1．．．第一流道

L2．．．第二流道

L3．．．第三流道

L4．．．第四流道

R1．．．待量測區

R2．．．接電線區

200．．．機台

210．．．動力模組

220．．．平台

230．．．驅動器

240．．．操作台

圖1A為本發明第一實施例的壓力感測器的電性量測裝置之示意圖。

圖1B是圖1A之另一狀態示意圖。

圖1C-1E為本發明壓力感測器的實施例示意圖。

圖2是圖1A至圖1B的壓力感測器的電性量測裝置的電性量測方法流程圖。

圖3A與圖3B分別是本發明另一實施例的一種電性量測裝置於不同狀態的側視圖。

圖4A與圖4B分別是本發明又一實施例的一種電性量測裝置於不同狀態的側視圖。

圖4C是圖4A的電性量測裝置上待量測物的俯視圖。

圖5A是本發明另一實施例的一種電性量測裝置的示意圖。

圖5B是圖5A的電性量測裝置的局部側視圖。

圖6A是依照本發明另一實施例的一種電性量測裝置的局部示意圖。

圖6B是圖6A的第二板體的分解圖。

圖6C與圖6D分別是圖6A的第二板體於電性量測時的側視圖。

圖7為本發明壓力感測器的電性量測裝置之立體示意圖。

100．．．壓力感測器的電性量測裝置

110．．．第一板體

112．．．第一凹槽

114．．．流體壓力偵測器

116．．．溝槽

118．．．孔洞

120．．．第二板體

121．．．開孔

122．．．第二凹槽

124．．．承載平板

126．．．螺紋孔

128．．．電線

130．．．可撓性元件

140．．．待量測物

150．．．流體供應系統

151．．．第一管路

152．．．入口閥

153．．．第二管路

154．．．出口閥

156．．．泵

158．．．流體槽

160．．．鎖固組件

170．．．密封元件

180．．．控制器

190．．．電性量測單元

L1．．．第一流道

L2．．．第二流道

R1．．．待量測區

R2．．．接電線區

Claims (35)

1. 一種壓力感測器的電性量測裝置，包括：一第一板體；一第二板體，使相對於該第二板體開啟或閉合；一待量測物，係配置於該第一板體與該第二板體間；一電性量測單元，係量測該待量測物的電性訊號；以及一流體供應系統，連通該第一板體或該第二板體與受壓面間形成一空間，該流體供應系統提供一流體至該空間，以使該流體施壓於該待量測物，而使該電性量測單元量測該待量測物之電性訊號。
2. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，更包括一可撓性元件位於該第一板體與該第二板體間，係將該待量測物與該流體隔開。
3. 如申請專利範圍第2項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該可撓性元件為一具有可撓性、彈性與阻氣性薄膜。
4. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，更包括一密封元件設置於該第一板體與該第二板體間，且位於該空間周邊。
5. 如申請專利範圍第4項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該空間周邊設置一環狀溝槽，該溝槽內設置有該密封元件。
6. 如申請專利範圍第5項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該密封元件為一橡膠材料或聚合材料。
7. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第二板體為一固定式承載平台，使該待量測物配置在該第二板體上。
8. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該待量測物為一個壓力感測器或多個壓力感測器。
9. 如申請專利範圍第8項所述的壓力感測器的電性量測裝置，更包括該多個壓力感測器係以一可撓性基板彼此相互連接而形成。
10. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該流體為氣體或液體。
11. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該流體供應系統與該空間之間分別以一第一管路與一第二管路連通，且於該空間入口之第一管路上設置一入口閥，而於該空間出口之第二管路上設置一出口閥，以一控制器控制該流體供應系統輸出該流體自該第一管路與該入口閥進入該空間，且自該第二管路與該出口閥離開該空間。
12. 如申請專利範圍第11項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該流體供應系統包括一泵與一流體槽，或該流體供應系統包括一泵。
13. 如申請專利範圍第11項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一板體具有一或多個第一流道與一或多個第二流道，該第一流道與該第二流道分別設置於該第一板體的兩端側，使該第一流道係與該入口閥連接，而該第二流道係與該出口閥連接。
14. 如申請專利範圍第13項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該可撓性元件為一囊袋，該囊袋配置在該空間內，且該囊袋分別連接該第一流道與該第二流道。
15. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一板體上形成一第一凹槽與該第二板體為一承載平台。
16. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第二板體上形成一第二凹槽與該第一板體為一承載平台。
17. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一板體與該第二板體分別形成對應的一第一凹槽與一第二凹槽。
18. 如申請專利範圍第17項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第二凹槽上設置有一承載平板，用以承載該待量測物。
19. 如申請專利範圍第17項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一凹槽上設置有一承載平板，用以承載該待量測物。
20. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該空間內設置有一流體壓力偵測器，使偵測該空間內的流體壓力變化。
21. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該待量測物具有一待量測區與環繞該待量測區的一接電線區，且該待量測物包括一或多個壓力感測器或壓力感測器陣列分別電性連接至該接電線區，及該接電線區連接一或多條電線。
22. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該電性量測單元為一電腦微處理器。
23. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第二板體上設置有一第一密封元件與一第二密封元件，其中該第一密封元件環繞於該第二密封元件之外。
24. 如申請專利範圍第23項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一密封元件及該第二密封元件可拆卸或安裝於該第二板體。
25. 如申請專利範圍第23項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一板體設有一第一凹槽，以及位於該第一板體之該第一凹槽內之板體設置有至少一第三流道及至少一第四流道，該第三流道與一入口閥連接，而該第四流道與一出口閥連接，該入口閥與該出口閥分別以一第一管路與一第二管路分別連接至該流體供應裝置。
26. 如申請專利範圍第25項所述的壓力感測器的電性量測裝置，更包括一流體壓力偵測器設置於該第一板體之第一凹槽內，以及位於該第二密封元件內。
27. 如申請專利範圍第1項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一板體上設置有一第一密封元件與一第二密封元件，其中該第一密封元件環繞於該第二密封元件之外。
28. 如申請專利範圍第27項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一密封元件及該第二密封元件可拆卸或安裝於該第一板體。
29. 如申請專利範圍第27項所述的壓力感測器的電性量測裝置，其中該第一板體設有一第一凹槽，使該第二密封元件位於該第一凹槽內部，以及位於該第一板體之該第一凹槽內之板體設置有至少一第三流道及至少一第四流道，該第三流道與一入口閥連接，而該第四流道與一出口閥連接，該入口閥與該出口閥分別以一第一管路與一第二管路分別連接至該流體供應裝置。
30. 如申請專利範圍第29項所述的壓力感測器的電性量測裝置，更包括一流體壓力偵測器設置於該第一板體之第一凹槽內，以及位於該第二密封元件內。
31. 一種壓力感測器的電性量測方法，包括：提供一第一板體與一第二板體；提供一待量測物於該第一板體與該第二板體間；閉合該第一板體與該第二板體；該第一板體或第二板體與受壓面間形成之一空間；藉由一流體供應系統提供一流體至該空間；藉由一流體壓力感測器偵測該空間內的一流體壓力變化；藉由該流體施壓於該待量測物；以及電性量測該待量測物因受該流體壓力所傳出的一電訊號。
32. 如申請專利範圍第31項所述的壓力感測器的電性量測方法，其中還包括：提供一薄膜，位於該第一板體與該第二板體間並接觸該待量測物，以使該空間內的流體藉由該薄膜施壓在該待量測物上。
33. 如申請專利範圍第31項所述的壓力感測器的電性量測方法，其中還包括：提供一囊袋，配置於該空間內，該囊袋連通於該流體供應系統並接觸該待量測物，以使該空間的流體藉由該囊袋施壓在該待量測物上。
34. 如申請專利範圍第31項所述的壓力感測器的電性量測方法，其中該待量測物為一個或多個壓力感測器。
35. 如申請專利範圍第34項所述的壓力感測器的電性量測方法，其中還包括：電性量測該待量測物之其中一個壓力感測單元，且其餘未被電性量測的該些壓力感測單元為電性接地。