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TW201325061A - 壓電馬達、驅動裝置、電子零件檢查裝置、電子零件搬送裝置、印刷裝置、機器人手部、及機器人 - Google Patents

壓電馬達、驅動裝置、電子零件檢查裝置、電子零件搬送裝置、印刷裝置、機器人手部、及機器人 Download PDF

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TW201325061A
TW201325061A TW101145323A TW101145323A TW201325061A TW 201325061 A TW201325061 A TW 201325061A TW 101145323 A TW101145323 A TW 101145323A TW 101145323 A TW101145323 A TW 101145323A TW 201325061 A TW201325061 A TW 201325061A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
electronic component
piezoelectric motor
oscillating body
side pressure
body casing
Prior art date
Application number
TW101145323A
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English (en)
Inventor
Osamu Miyazawa
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of TW201325061A publication Critical patent/TW201325061A/zh

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Abstract

一種壓電馬達，其將由壓電材料形成且於端部設置有凸部之振盪體收容於振盪體外殼，將振盪體之凸部與振盪體外殼一併按壓於對象物，並使振盪體振盪，藉此驅動對象物。使將振盪體外殼按壓於基台之滑動部之前方側壓彈簧之端面與振盪體外殼嵌合，以使振盪體外殼不因驅動時之反作用力而退回。

Description

壓電馬達、驅動裝置、電子零件檢查裝置、電子零件搬送裝置、印刷裝置、機器人手部、及機器人
本發明係關於一種壓電馬達驅動裝置、電子零件檢查裝置、電子零件搬送裝置、印刷裝置、機器人手部及機器人。
已知有使由壓電材料形成之構件(壓電構件)振盪，而驅動對象物之壓電馬達。該壓電馬達與利用電磁力而使轉子旋轉之方式之電磁馬達相比具有如下之特徵：小型且可獲得較大之驅動力，進而，可高解析度地使對象物定位。因此，用作例如相機之驅動機構等多種裝置之致動器(專利文獻1等)。
壓電馬達利用如下所述之原理而進行動作。首先，將壓電構件形成為大致長方體形狀，於長度方向之端面設置凸部。繼而，藉由對壓電構件施加特定頻率之電壓，而同時發生壓電構件伸縮之態樣之振盪與壓電構件彎曲之態樣之振盪。如此一來，壓電構件之端面開始沿一方向進行旋轉之橢圓運動。因此，藉由將設置於端面之凸部按壓於對象物，可藉由於凸部與對象物之間發揮作用之摩擦力而使對象物向固定方向移動。
因此，壓電馬達必需在將設置於壓電構件之端面之凸部按壓於對象物之狀態下使用。又，為了使壓電構件不因驅動對象物時凸部自對象物受到之反作用力而退回，而必需保持壓電構件。與此同時，必需容許壓電構件振盪，以使 凸部進行橢圓運動。因此，使用於使凸部突出之狀態下將壓電構件收納於第1外殼，且使上述第1外殼於可滑動之狀態下收納於第2外殼之構造(例如專利文獻2)。於該構造中，藉由第1外殼而於容許壓電構件之振盪之狀態下保持壓電構件，並且利用設置於第2外殼之彈簧自後方側朝向對象物對第1外殼施力。進而，自第1外殼之側面，亦使用彈簧而將第1外殼之相反側之側面按壓於第2外殼之內壁面。藉此，可將壓電構件之凸部與第1外殼一併按壓於對象物。又，壓電構件係於容許振盪之狀態下保持於第1外殼內，進而，第1外殼之側面利用彈簧而按壓於第2外殼之內壁面，因此，即便驅動對象物，壓電構件亦不會因凸部受到之反作用力而移動。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2008-187768號公報
[專利文獻2]日本專利特開2009-33788號公報
然而，近年來，對於搭載有壓電馬達之裝置之小型化及性能提高之要求日益增強，伴隨於此，對壓電馬達亦要求進一步之小型化及驅動精度之提高。
本發明係為了解決先前技術所具有之上述課題之至少一部分而完成，其目的在於提供一種可使壓電馬達小型化且使驅動精度提高之技術。
為了解決上述課題之至少一部分，本發明之壓電馬達採用以下之構成。即，一種壓電馬達，其特徵係藉由使含有壓電材料之振盪體振盪，並使突出設置於上述振盪體之端面之凸部與對象物接觸，而使上述對象物移動，且包含：振盪體外殼，其收容上述振盪體；基台，其設置有使上述振盪體外殼滑動之滑動部，且安裝上述振盪體外殼；加壓彈性體，其向上述對象物之方向對自上述振盪體外殼突出之上述凸部施力；及側壓彈性體，其自與上述振盪體外殼之滑動方向交叉之方向，朝向上述基台之上述滑動部對上述振盪體外殼施力；上述側壓彈性體之與上述振盪體外殼連接之側之端面與上述振盪體外殼嵌合。
於如上所述之本發明之壓電馬達中，藉由在使振盪體之凸部與振盪體外殼一併接觸於對象物之狀態下，使振盪體振盪，而可使對象物移動。又，由於振盪體外殼被側壓彈性體按壓於基台之滑動部，故振盪體不會因當驅動對象物時凸部自對象物受到之反作用力而退回。此處，振盪體外殼可向相對於對象物靠近或遠離之方向滑動。儘管如此，自與振盪體外殼之滑動方向交叉之方向將振盪體外殼按壓於滑動部之側壓彈性體係與振盪體外殼連接之側之端面嵌 合於振盪體外殼。
如此，側壓彈性體之端面不會相對於振盪體外殼而相對移動。因此，無需於側壓彈性體之端面與振盪體外殼之間設置具有耐磨性之構件或輥等，從而可使壓電馬達小型化。當然，由於振盪體外殼相對於對象物滑動，故於側壓彈性體之端面嵌合於振盪體外殼之構造中，側壓彈性體不僅將振盪體外殼按壓於基台之滑動部，亦產生妨礙振盪體外殼之滑動之方向之力。由於該力作用於使將振盪體之凸部按壓於對象物之力變動之方向上，故會成為使凸部與對象物之間產生之摩擦力變動，其結果，使壓電馬達之驅動力變動之要因。然而，實際上，因側壓彈性體之端面於與振盪體外殼之間滑行而產生之摩擦力之變動或設置於側壓彈性體與振盪體外殼之間之輥滾動時之摩擦力之變動所致之影響較大，因此，藉由設為側壓彈性體之端面於與振盪體外殼之間不滑行之構造，反而能夠使將振盪體之凸部按壓於對象物之力之變動變小。又，藉由側壓彈性體之端面與振盪體外殼嵌合，側壓彈性體使凸部之按壓力產生之變動只不過是相較加壓彈性體之製造偏差所致之按壓力之偏差而較小之值。根據如上所述之原因，藉由採用側壓彈性體之端面與振盪體外殼嵌合之構造，可抑制將振盪體之凸部按壓於對象物之力之變動。其結果，壓電馬達之驅動力穩定，而且，每當藉由振盪體之振盪而凸部進行橢圓運動時可使對象物移動相同之距離。因此，根據本發明，可使壓電馬達小型化且使驅動精度提高。
再者，加壓彈性體或側壓彈性體可對振盪體外殼施力即可，可使用螺旋彈簧或板簧等多種形態之彈簧。又，於將例如板簧用作側壓彈性體之情形時，側壓彈性體之表面中與振盪體外殼接觸而受到力之部分成為側壓彈性體之端面。另一方面，由於螺旋彈簧可藉由大幅度變形而使用，而於即便振盪體外殼滑動但施力亦幾乎不變之狀態下使用，故可較佳地用作加壓彈性體或側壓彈性體。又，側壓彈性體之端面係以當振盪體外殼滑動時於與振盪體外殼之間不滑行之方式嵌合即可。因此，作為側壓彈性體之端面與振盪體外殼嵌合之態樣，例如，既可於振盪體外殼設置凹部而將側壓彈性體之端面嵌合，亦可自振盪體外殼設置突起，而將側壓彈性體之端面嵌合於該突起。進而，亦可自側壓彈性體之端面設置突起，而將該突起嵌合於設置於振盪體外殼之凹部。
又，於上述之本發明之壓電馬達中，亦可利用側壓彈性體保持部支持側壓彈性體之未與振盪體外殼連接之側之端面，使側壓彈性體之與側壓彈性體保持部連接之側之端面與側壓彈性體保持部嵌合。
如此，側壓彈性體之未與振盪體外殼連接之側之端面亦不會滑行。因此，可避免因滑行而摩擦力發生變動，而將振盪體之凸部按壓於對象物之力發生變動。其結果，可進一步提高壓電馬達之驅動精度。
又，於上述之本發明之壓電馬達中，亦可不將加壓彈性體設置於振盪體外殼之後方側(面向對象物之側之相反 側)，而將其設置於相對於振盪體外殼設置有滑動部之側或相對於振盪體外殼設置有側壓彈性體之側。
如此，與於振盪體外殼之後方側設置有加壓彈性體之情形相比，可縮短壓電馬達之長度。其結果，可進一步使壓電馬達小型化。
又，亦可使用上述之本發明之壓電馬達而構成驅動裝置或印刷裝置、機器人手部、機器人等。
本發明之壓電馬達小型且可實現較高之驅動精度。因此，若使用本發明之壓電馬達而構成驅動裝置或印刷裝置、機器人手部、機器人等，則可獲得小型且高性能之驅動裝置或印刷裝置、機器人手部、機器人等。
又，亦可使用本發明之壓電馬達而構成如下所述之電子零件檢查裝置。即，將握持之電子零件裝設於檢查插口，檢查上述電子零件之電氣特性之電子零件檢查裝置，亦可使用上述之本發明之任一個壓電馬達而進行電子零件相對於檢查插口之位置對準。
如上所述，由於本發明之壓電馬達小型且可實現較高之驅動精度，故可對電子零件高精度地進行位置對準，且可實現小型之電子零件檢查裝置。
或者，本發明之電子零件檢查裝置亦可以如下所述之態樣掌握。即，亦可以如下之態樣掌握：一種電子零件檢查裝置，其特徵係將握持之電子零件裝設於檢查插口，並檢查上述電子零件之電氣特性者，且其包含進行上述電子零件相對於上述檢查插口之位置對 準之壓電馬達，上述壓電馬達包含：振盪體，其含有壓電材料而形成，且於端面突出設置有凸部；振盪體外殼，其收容上述振盪體；基台，其設置有使上述振盪體外殼滑動之滑動部，且安裝上述振盪體外殼；加壓彈性體，其向上述對象物之方向對自上述振盪體外殼突出之上述凸部施力；及側壓彈性體，其自與上述振盪體外殼之滑動方向交叉之方向，朝向上述基台之上述滑動部對上述振盪體外殼施力；上述側壓彈性體之與上述振盪體外殼連接之側之端面係與上述振盪體外殼嵌合。
進而，上述之本發明之電子零件檢查裝置亦可以如下所述之態樣掌握，即，一種電子零件檢查裝置，其特徵係包含：檢查插口，其係裝設電子零件，並檢查上述電子零件之電氣特性；握持裝置，其握持上述電子零件；移動裝置，其使上述握持裝置沿相互正交之第1軸及第2軸和與上述第1軸及第2軸正交之第3軸之合計三軸方向移動；攝像裝置，其係當上述檢查插口觀察時設置於上述第1 軸上或上述第2軸上，對裝設於上述檢查插口之上述電子零件檢測於上述第1軸及上述第2軸之方向上之位置及繞著上述第3軸之角度作為上述電子零件之姿勢；上游側載物台，其將上述電子零件自上述檢查插口搬送至連結上述攝像裝置之上述第1軸或上述第2軸上之特定位置為止；下游側載物台，其自當自上述檢查插口觀察時與設置有上述攝像裝置之側之相反側之特定位置，搬送上述電子零件；及控制裝置，其對上述移動裝置之動作進行控制；且上述控制裝置包含：第1控制部，其使握持有上述上游側載物台搬送之上述電子零件之上述握持裝置移動至上述攝像裝置上；第2控制部，其藉由使上述握持裝置移動，而將利用上述攝像裝置確認姿勢之上述電子零件裝設於上述檢查插口；及第3控制部，其藉由使上述握持裝置移動，而將利用上述檢查插口檢查了上述電氣特性之上述電子零件自上述檢查插口載置於上述下游側載物台；上述握持裝置包含：第1壓電馬達，其根據由上述攝像裝置檢測之上述電子零件之姿勢，使上述電子零件沿上述第1軸方向移動；第2壓電馬達，其根據由上述攝像裝置檢測之上述電子零件之姿勢，使上述電子零件沿上述第2軸方向移動；及第3壓電馬達，其根據由上述攝像裝置檢測 之上述電子零件之姿勢，使上述電子零件繞著上述第3軸旋轉；上述第1至第3壓電馬達係如技術方案1至3中任一技術方案之壓電馬達。
如上所述之構成之電子零件檢查裝置可於使用設置於握持裝置之第1至第3壓電馬達而調整電子零件之姿勢後，裝設於檢查插口。此處，由於本發明之壓電馬達小型且可高精度地驅動對象物，故作為設置於握持裝置之第1至第3壓電馬達特佳。
進而，亦可使用本發明之壓電馬達而構成如下所述之電子零件搬送裝置。即，搬送握持之電子零件之電子零件搬送裝置，亦可使用上述之本發明之任一個壓電馬達而進行電子零件之位置對準。
如上所述，由於本發明之壓電馬達小型且可實現較高之驅動精度，故可對電子零件高精度地進行位置對準，且可實現小型之電子零件搬送裝置。
或者，本發明之電子零件搬送裝置亦可以如下所述之態樣掌握，即，一種電子零件搬送裝置，其特徵係搬送握持之電子零件者，且其包含進行上述電子零件之位置對準之壓電馬達，上述壓電馬達包含：振盪體，其含有壓電材料而形成，且於端面突出設置有凸部； 振盪體外殼，其收容上述振盪體；基台，其設置有使上述振盪體外殼滑動之滑動部，且安裝上述振盪體外殼；加壓彈性體，其向上述對象物之方向對自上述振盪體外殼突出之上述凸部施力；及側壓彈性體，其自與上述振盪體外殼之滑動方向交叉之方向，朝向上述基台之上述滑動部對上述振盪體外殼施力；上述側壓彈性體之與上述振盪體外殼連接之側之端面與上述振盪體外殼嵌合。
進而，上述之本發明之電子零件搬送裝置亦可以如下所述之態樣掌握，即，一種電子零件搬送裝置，其特徵係包含：握持裝置，其握持電子零件；移動裝置，其使上述握持裝置沿相互正交之第1軸及第2軸和與上述第1軸及第2軸正交之第3軸之合計三軸方向移動；及控制裝置，其對上述移動裝置之動作進行控制；且上述握持裝置包含：第1壓電馬達，其使上述電子零件沿上述第1軸方向移動；第2壓電馬達，其使上述電子零件沿上述第2軸方向移動；及第3壓電馬達，其使上述電子零件繞著上述第3軸旋轉；上述第1至第3壓電馬達係如技術方案1至3中任一技術方案之壓電馬達。
以下，為了使上述之本案發明之內容明確，而按照如下所述之順序對實施例進行說明。
A.裝置構成：B.壓電馬達之動作原理：C.側壓彈簧之安裝構造：D.變形例：E.應用例：
A.裝置構成：
圖1係表示本實施例之壓電馬達10之概略之構成之說明圖。於圖1(a)中表示本實施例之壓電馬達10之整體圖，於圖1(b)中表示分解組裝圖。如圖1(a)所示，本實施例之壓電馬達10大體上包含本體部100與基台部200。本體部100安裝於基台部200內，且可於上述狀態下向一方向滑動。再者，於本說明書中，將本體部100之滑動方向稱為X方向。又，如圖中所示，將與X方向正交之方向分別稱為Y方向、Z方向。
本體部100及基台部200各自組合複數之零件而構成。例如，基台部200係藉由第1側壁區塊210及第2側壁區塊220利用固定螺絲240緊固於具有大致矩形形狀之基板230之上表面之兩側而構成(參照圖1(b))。於組裝壓電馬達10時，自本體部100之上方，使用固定螺絲240將第1側壁區塊210及第2側壁區塊220安裝於基板230。
又，於第1側壁區塊210形成有前方罩殼212、中央罩殼 214、後方罩殼216之3個凹部。而且，於將第1側壁區塊210安裝於基板230時，於將前方側壓彈簧212s收容於前方罩殼212，將後方側壓彈簧216s收容於後方罩殼216之狀態下進行安裝。其結果，本體部100成為被前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s按壓於第2側壁區塊220之狀態。又，於本體部100之側面之面向第2側壁區塊220之側安裝有前側輥102r及後側輥106r。進而，於本體部100之側面設置有加壓彈簧222s。該加壓彈簧222s係於前側輥102r之後方側之部位沿X方向按壓本體部100。再者，於本實施例中，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s與本發明之「側壓彈性體」相對應，加壓彈簧222s與本發明之「加壓彈性體」相對應。進而，基台部200與本發明之「基台」相對應，構成基台部200之第1側壁區塊210及第2側壁區塊220分別與本發明之「側壓彈性體保持部」及「滑動部」相對應。
又，於與設置有前側輥102r及後側輥106r之側之相反側之本體部100之側面，朝向Z方向(圖式上之上方)設置有按壓輥104r。於安裝第1側壁區塊210之狀態下，該按壓輥104r係收容於第1側壁區塊210之中央罩殼214。又，於本體部100之設置有按壓輥104r之部分之背面側與基板230之間設置有按壓彈簧232s。因此，按壓輥104r成為相對於中央罩殼214之內表面而於Z方向(圖式上之上方)上被按壓之狀態。
圖2係表示本實施例之本體部100之構造之分解組裝圖。 本體部100大體上成為於振盪體外殼120內收容有振盪部110之構造。振盪部110包含：藉由壓電材料而形成為長方體形狀之振盪體112、安裝於振盪體112之長度方向(X方向)之端面之陶瓷製之驅動凸部114、及將振盪體112之一個側面分割成4份而設置之4塊表電極116等。再者，圖2中雖未表示，但於設置有4塊表電極116之側之相反側之側面設置有覆蓋側面之大致整個表面之背電極，該背電極連接於地線。再者，於本實施例中，驅動凸部114與本發明之「凸部」相對應。
振盪部110係於自設置有表電極116及背電極之兩側面(圖2中之Z方向之兩側面)被樹脂製之緩衝構件130夾持之狀態下，收容於振盪體外殼120。進而，於表電極116側之緩衝構件130上，載置按壓板140、碟形彈簧142及按壓蓋144，並利用固定螺絲146將按壓蓋144緊固於振盪體外殼120。因此，振盪部110係藉由樹脂製之緩衝構件130被碟形彈簧142之彈力按壓並且發生剪切變形，而於振盪體112可進行振盪之狀態下收容於振盪體外殼120內。
B.壓電馬達之動作原理：
圖3係表示壓電馬達10之動作原理之說明圖。壓電馬達10係藉由以固定週期對振盪部110之表電極116施加電壓時，振盪部110之驅動凸部114進行橢圓運動而進行動作。振盪部110之驅動凸部114進行橢圓運動之原因如下。
首先，如周知般，振盪體112具有當施加正電壓時進行伸展之性質。因此，如圖3(a)所示，若重複進行對4個表電 極116之全部施加正電壓之後，解除施加電壓之操作，則振盪體112重複進行沿長度方向(X方向)進行伸縮之動作。如此，將振盪體112沿長度方向(X方向)重複進行伸縮之動作稱作「伸縮振盪」。又，若使施加正電壓之頻率發生變化，則當成為某特定之頻率時伸縮量急遽變大，而產生一種共振現象。因伸縮振盪而發生共振之頻率(共振頻率)係由振盪體112之物性與振盪體112之尺寸(寬度W、長度L、厚度T)所決定。
又，如圖3(b)或圖3(c)所示，將相互處於對角線之位置之2個表電極116設為組(表電極116a及表電極116d之組或表電極116b及表電極116c之組)，以固定週期施加正電壓。如此一來，振盪體112重複進行長度方向(X方向)之前端部(安裝有驅動凸部114之部分)向圖式上之右方向或左方向搖頭般之動作。例如，如圖3(b)所示，若以固定週期對表電極116a及表電極116d之組施加正電壓，則振盪體112重複進行使前端部向圖式上之右方向擺動般之動作。又，如圖3(c)所示，若以固定週期對表電極116b及表電極116c之組施加正電壓，則重複進行使前端部向圖式上之左方向擺動般之動作。將如上所述之振盪體112之動作稱為「彎曲振盪」。對於如上所述之彎曲振盪，亦存在由振盪體112之物性與振盪體112之尺寸(寬度W、長度L、厚度T)所決定之共振頻率。因此，若對相互處於對角線之位置之2個表電極116以上述共振頻率施加正電壓，則振盪體112向右方向或左方向(Y方向)大幅度搖頭地進行振盪。
此處，圖3(a)所示之伸縮振盪之共振頻率與圖3(b)或圖3(c)所示之彎曲振盪之共振頻率均由振盪體112之物性或振盪體112之尺寸(寬度W、長度L、厚度T)所決定。因此，若恰當地選擇振盪體112之尺寸(寬度W、長度L、厚度T)則可使共振頻率一致。而且，若對如上所述之振盪體112以共振頻率施加如圖3(b)或圖3(c)所示之彎曲振盪之形態之電壓，則發生圖3(b)或圖3(c)所示之彎曲振盪，與此同時，藉由共振亦引起圖3(a)之伸縮振盪。其結果，於在圖3(b)所示之態樣下施加電壓之情形時，振盪體112之前端部分(安裝有驅動凸部114之部分)沿圖式上之順時針方向開始橢圓運動。又，於在圖3(c)所示之態樣下施加電壓之情形時，振盪體112之前端部分沿圖式上之逆時針方向開始橢圓運動。
壓電馬達10利用如上所述之橢圓運動而驅動對象物。即，於將振盪體112之驅動凸部114按壓於對象物之狀態下產生橢圓運動。如此一來，驅動凸部114重複進行如下之動作：於振盪體112伸展時在按壓於對象物之狀態下自左向右(或自右向左)移動之後，於振盪體112收縮時在遠離對象物之狀態下恢復至原來之位置為止。其結果，對象物係藉由自驅動凸部114受到之摩擦力而向一方向驅動。又，由於對象物受到之驅動力與於其與驅動凸部114之間產生之摩擦力相等，故驅動力之大小係由驅動凸部114與對象物之間之摩擦係數及將驅動凸部114按壓於對象物之力所決定。
根據以上已說明之壓電馬達10之動作原理可知：壓電馬達10必需於將驅動凸部114按壓於對象物之狀態下使用。因此，於本實施例之壓電馬達10中，包含驅動凸部114之本體部100可相對於基台部200滑動，藉由設置於本體部100與基台部200之間之加壓彈簧222s，而將自本體部100突出之驅動凸部114按壓於對象物(參照圖1)。
又，當驅動對象物時，驅動凸部114自對象物受到反作用力。而且，該反作用力傳遞至本體部100。如上所述，本體部100必需設為可相對於基台部200滑動，但若本體部100因驅動時受到之反作用力而向與滑動方向正交之方向退回，則無法向對象物傳遞充分之驅動力。又，若本體部100退回則驅動凸部114之移動量減少，從而對象物之驅動量變少。進而，由於本體部100之退回量未必始終穩定，故對象物之驅動量變得不穩定。因此，如圖1所示，於本實施例之壓電馬達10中，自與本體部100之滑動方向正交之方向，藉由前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s而將本體部100按壓於第2側壁區塊220。此處，於本實施例之壓電馬達10中，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s係以如下之方式安裝。
C.側壓彈簧之安裝構造：
圖4係藉由獲取本實施例之壓電馬達10之剖面，而表示前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之安裝構造的說明圖。再者，於圖4(a)中亦表示安裝有加壓彈簧222s之情況。如圖4(a)所示，加壓彈簧222s係設置於本體部100(實 際上為本體部100之振盪體外殼120)與第2側壁區塊220之間，沿X方向(圖式上之上方向)對本體部100施力。
又，於本體部100(實際上為振盪體外殼120)與第1側壁區塊210之間設置有前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s，本體部100被前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s按壓於第2側壁區塊220。而且，於本體部100與第2側壁區塊220之間設置有前側輥102r及後側輥106r。因此，本體部100係於按壓於第2側壁區塊220之狀態下，相對於第2側壁區塊220順利地滑動。其結果，振盪體外殼120可於在Y方向上定位之狀態下沿X方向滑動。
此處，前方側壓彈簧212s係收容於第1側壁區塊210之前方罩殼212內，後方側壓彈簧216s係收容於第1側壁區塊210之後方罩殼216內。然而，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s並非只是收容於前方罩殼212及後方罩殼216內，而於至少本體部100(正確而言，振盪體外殼120)之側之端面相對於振盪體外殼120不滑行之狀態下，收容於前方罩殼212及後方罩殼216內。又，對於前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之相反側之端面(第1側壁區塊210側之端面)，端面亦相對於第1側壁區塊210不滑行之狀態下收容於前方罩殼212及後方罩殼216內。
於圖4(b)中，表示於前方罩殼212內收容有前方側壓彈簧212s之部分之剖面放大圖。如圖所示，於第1側壁區塊210之前方罩殼212之裏側之內壁面形成有圓形之凹部212t。凹部212t之內徑成為與前方側壓彈簧212s之外徑相 同之大小，前方側壓彈簧212s之端面嵌入於凹部212t。又，於振盪體外殼120之側，亦同樣地形成有具有與前方側壓彈簧212s之外徑相同之大小之圓形之凹部122t，供前方側壓彈簧212s之端面嵌入。又，前方罩殼212之大小形成為相對於前方側壓彈簧212s之外徑而具有裕度之大小，以使前方側壓彈簧212s可於前方罩殼212內移動。
進而，雖省略圖示，但對於後方側壓彈簧216s，亦同樣地於後方罩殼216及振盪體外殼120形成有凹部，將後方側壓彈簧216s之端面嵌入於該凹部。而且，後方罩殼216之大小形成為相對於後方側壓彈簧216s之外徑而具有裕度之大小。
再者，於本實施例中，由於將前方側壓彈簧212s之端面嵌入於形成於前方罩殼212及振盪體外殼120之凹部212t、122t，故前方側壓彈簧212s之端面係利用外徑部分而安裝。然而，只要能夠安裝前方側壓彈簧212s之端面，則並不限定於如上所述之方法。例如，如圖5所示，亦可自振盪體外殼120，突出設置相當於前方側壓彈簧212s之內徑之外徑之凸部122u，而將前方側壓彈簧212s之內徑嵌入於該凸部122u。又，亦可自前方罩殼212之內壁面，突出設置相當於前方側壓彈簧212s之內徑之外徑之凸部212u，而將前方側壓彈簧212s之內徑嵌入於該凸部212u。
此處，如上所述，本體部100係由第2側壁區塊220導引而可沿X方向滑動地構成。因此，若前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之端面以至少相對於振盪體外殼120不 滑行之方式安裝，則於本體部100沿X方向滑動時，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s彎曲變形。又，於第1側壁區塊210之側，若前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之端面亦安裝於第1側壁區塊210，則於本體部100滑動時，不會發生在第1側壁區塊210側之端面滑行而前方側壓彈簧212s或後方側壓彈簧216s之位置偏移。因此，與本體部100滑動之同時，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s彎曲變形。
於圖6中，表示於本實施例之壓電馬達10中，藉由本體部100沿X方向滑動而前方側壓彈簧212s彎曲之情況。圖6(a)表示本體部100尚未滑動而前方側壓彈簧212s未彎曲之狀態。若自該狀態起，本體部100沿正向之X方向(圖式上向上)滑動，則前方側壓彈簧212s之本體部100側之端面如被牽拉般移動。其結果，如圖6(b)所示，於前方側壓彈簧212s發生向上翹曲般之彎曲。又，反之，若自圖6(a)所示之狀態起，本體部100沿負向之X方向(圖式上向下)滑動，則於前方側壓彈簧212s發生如圖6(c)所示向下翹曲般之彎曲。又，對於後方側壓彈簧216s，亦適用完全相同之說明。
此處，如以上使用圖3而敍述般，壓電馬達10之驅動力係由驅動凸部114與對象物之間之摩擦係數與將驅動凸部114按壓於對象物之力(加壓彈簧222s之彈力)所決定。又，如圖6(b)或圖6(c)所示，若前方側壓彈簧212s(及後方側壓彈簧216s)彎曲，則對本體部100產生使將驅動凸部114按 壓於對象物之力變弱或增強之方向之反作用力。因此，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s中發生之彎曲會成為使壓電馬達10之驅動力變動之要因。因此，為了將如上所述之驅動力之變動要因排除，而獲得穩定之驅動力之壓電馬達10，考慮於前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s與第2側壁區塊220之間設置輥。
圖7係於前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s與第2側壁區塊220之間設置有輥之參考例之壓電馬達90之剖面圖。如圖所示，於參考例之壓電馬達90中，於前方側壓彈簧212s與本體部100(正確而言，振盪體外殼120)之間設置有前側輥912r，於後方側壓彈簧216s與本體部100(振盪體外殼120)之間設置有後側輥916r。前側輥912r係與前方側壓彈簧212s一併收容於第1側壁區塊910之前方罩殼912內，後側輥916r係與後方側壓彈簧216s一併收容於第1側壁區塊910之後側輥916r內。又，前方側壓彈簧212s之兩端面未相對於前側輥912r及第1側壁區塊910而安裝，後方側壓彈簧216s之兩端面亦未相對於後側輥916r及第1側壁區塊910而安裝。對於其他方面，參考例之壓電馬達90亦與本實施例之壓電馬達10完全相同。
對圖7所示之參考例之壓電馬達90與圖4之本實施例之壓電馬達10進行比較可知：於參考例之壓電馬達90中，追加有前側輥912r及後側輥916r，相應地第1側壁區塊910變大。因此，參考例之壓電馬達90相較本實施例之壓電馬達10大型化。換言之，本實施例之壓電馬達10藉由採用前方 側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s未經由前側輥912r或後側輥916r而直接擠壓本體部100(正確而言，振盪體外殼120)之構造，而使壓電馬達10小型化。又，若能夠省去前側輥912r或後側輥916r則構造變得簡單，從而亦可容易地製造壓電馬達10。
又，於採用前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s直接擠壓本體部100之構造之情形時，藉由本體部100之滑動而使前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s發生彎曲。因此，一看便認為壓電馬達10之驅動力容易發生變動。然而，藉由自參考例之壓電馬達90中省去前側輥912r及後側輥916r之後，設為前方側壓彈簧212s(及後方側壓彈簧216s)之至少與振盪體外殼120連接之側之端面相對於振盪體外殼120不滑行般之構造，根據如下所述之原因，可使壓電馬達10之驅動力及驅動量穩定。進而，若設為前方側壓彈簧212s(及後方側壓彈簧216s)之與第1側壁區塊210連接之側之端面亦相對於第1側壁區塊210不滑行般之構造，則可更確切地發揮如此之效果。結果，於本實施例之壓電馬達10中，藉由採用前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s直接抵接於振盪體外殼120及第1側壁區塊210，且前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之端面不滑行般之構造，不僅實現壓電馬達10之小型化及製造容易化，亦實現驅動力及驅動量之穩定化。以下，對該原因進行詳細說明。
首先，作為本體部100沿X方向滑動之要因，可列舉於驅 動對象物之期間中驅動凸部114磨損或藉由所驅動之對象物移動而對象物之位置相對於壓電馬達10靠近或遠離。然而，通常，由壓電馬達10驅動之對象物自背側被支持或由導引構件等導引，因此，實際上對象物之位置不會大幅度變動。又，驅動凸部114之磨損只不過是少量。因此，即便本體部100沿X方向滑動，其滑動量亦少，因此，即便前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s彎曲而對驅動凸部114之按壓力帶來影響，上述影響亦只不過是少量。例如，由於因將驅動凸部114按壓於對象物之加壓彈簧222s之製造偏差而彈簧常數相差±10%左右，故驅動凸部114之按壓力亦相差同等程度(±10%左右)。然而，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s彎曲所致之影響相較彈簧常數之偏差所致之影響而小1位數，即便估計過高，亦僅為數分之1左右。
又，如上所述，本體部100滑動之主要原因在於當對象物被驅動而移動時對象物之位置相對於壓電馬達10靠近或遠離，因此，本體部100係於以極小之振幅振盪般之態樣下滑動。若對在如上所述之態樣下滑動之部分使用輥(前側輥912r、後側輥916r)，則於輥之外周面及支持輥之軸之部分，重複靜止摩擦狀態與動摩擦狀態，而滾動摩擦係數不定期地發生變化。進而，由於當滾動摩擦係數發生變化時於靜止摩擦係數與動摩擦係數之間發生變化，故當變大時變大為2倍以上，當變小時變小為一半以下。除此以外，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s按壓本體部 100之力係用來以本體部100不因驅動對象物時驅動凸部114受到之反作用力而遠離第2側壁區塊220之方式按壓之力。因此，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之彈力必需為施加於對象物之驅動力之2倍左右之大小，而成為相當大之力。其結果，因滾動摩擦係數不定期地發生變化，而輥(前側輥912r、後側輥916r)之部分中之摩擦力不定期且大幅度地變動，從而對驅動凸部114之按壓力帶來較大影響。實際上，當於某條件下進行估計時，輥之部分中之摩擦力發生變動所致之影響成為與加壓彈簧222s之彈簧常數之偏差所致之影響同等程度之大小。進而，除此以外，由於輥(前側輥912r、後側輥916r)或支持輥之軸並非能夠以剖面成為完全之正圓之方式進行製造，故由此引起之摩擦力之變動亦重疊。
根據以上原因，如圖7之參考例之壓電馬達90般，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s經由前側輥912r或後側輥916r而擠壓本體部100之構造中，於輥(前側輥912r、後側輥916r)之部分摩擦力不定期且大幅度地變化，而使驅動凸部114之按壓力變化。與此相對，如本實施例之壓電馬達10般，即便前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s未經由輥而直接擠壓本體部100，亦幾乎不會發生前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s彎曲而對驅動凸部114之按壓力帶來影響之情況。反之，藉由不設置輥，可使驅動凸部114之按壓力穩定，其結果，可使壓電馬達10之驅動力穩定。
又，於本實施例之壓電馬達10中，使得前方側壓彈簧212s(及後方側壓彈簧216s)之與本體部100(正確而言，振盪體外殼120)連接之側之端面相對於振盪體外殼120不滑行。其原因在於考慮如下所述之情況。
圖8係例示未於振盪體外殼120之側面設置供前方側壓彈簧212s嵌入之凹部122t之情形的說明圖。再者，於圖8中，僅表示前方側壓彈簧212s，對於後方側壓彈簧216s，亦適用完全相同之說明。於未於振盪體外殼120之側面設置凹部122t之情形時，前方側壓彈簧212s之端面係按壓於振盪體外殼120之側面。因此，當本體部100滑動時，前方側壓彈簧212s之端面被振盪體外殼120牽拉，其結果，例如，如圖8(a)所示，於前方側壓彈簧212s發生彎曲。然而，前方側壓彈簧212s之端面僅僅按壓於振盪體外殼120之側面，而且，於壓電馬達10之動作中，本體部100始終細微地移動。因此，會發生如下情況：由振盪體外殼120牽拉之前方側壓彈簧212s之端面突然滑行移動，而如圖8(b)所示，前方側壓彈簧212s之彎曲恢復。當發生如上所述之情況時，驅動凸部114之按壓力不連續地變化，從而壓電馬達10之驅動力不連續地變化，故不佳。
又，如圖8(c)所示，於組裝有前方側壓彈簧212s之狀態(本體部100不滑動之狀態)下，亦會發生前方側壓彈簧212s彎曲地組裝之情形。而且，於壓電馬達10之動作中，由於本體部100始終細微地移動，故會發生如下情況：前方側壓彈簧212s之端面突然滑行移動，而如圖8(d)所示，前方 側壓彈簧212s之彎曲恢復。於如上所述之情形時，壓電馬達10之驅動力亦不連續地變化，故不佳。
因此，於本實施例之壓電馬達10中，於振盪體外殼120之側面設置凹部122t，將前方側壓彈簧212s之端面嵌入於凹部122t。因此，即便本體部100滑動而前方側壓彈簧212s彎曲，亦不會發生前方側壓彈簧212s之端面滑行而前方側壓彈簧212s之彎曲恢復原狀之情況。又，於組裝前方側壓彈簧212s時，由於前方側壓彈簧212s之端面嵌入於振盪體外殼120之凹部122t，故亦不會發生前方側壓彈簧212s於彎曲之狀態下組裝之情況。因此，可避免於壓電馬達10之動作中驅動力不連續地變化之事態。
以上，對前方側壓彈簧212s(及後方側壓彈簧216s)之振盪體外殼120側之端面進行了說明。對於前方側壓彈簧212s(及後方側壓彈簧216s)之第1側壁區塊210側之端面，亦適用大致相同之說明。即，於假設未在前方罩殼212內形成凹部212t，而前方側壓彈簧212s之端面可於前方罩殼212內滑行般之狀態之情形時，會發生於壓電馬達10之動作中驅動力突然不連續地變化之情況。對於後方側壓彈簧216s亦同樣地，於後方側壓彈簧216s之端面可於後方罩殼216內滑行般之狀態之情形時，會發生於壓電馬達10之動作中驅動力突然不連續地變化之情況。以下，對該方面進行補充說明。
圖9係例示於前方罩殼212內未設置供前方側壓彈簧212s嵌入之凹部212t之情形的說明圖。再者，於圖9中，僅表 示前方側壓彈簧212s，對於後方側壓彈簧216s，亦適用完全相同之說明。於未在前方罩殼212內設置凹部212t之情形時，當本體部100滑動時，如圖9(a)所示，亦於前方側壓彈簧212s發生彎曲。然而，於在前方罩殼212內前方側壓彈簧212s之端面僅僅按壓於第1側壁區塊210之情形時，會發生前方側壓彈簧212s之端面突然自振盪體外殼120側被牽拉而於前方罩殼212內滑行的情況。其結果，如圖9(b)所示，會發生前方側壓彈簧212s之彎曲恢復之情況。當發生如上所述之情況時，驅動凸部114之按壓力不連續地變化，而壓電馬達10之驅動力不連續地變化。
又，如圖9(c)所示，於組裝有前方側壓彈簧212s時，亦會發生如下之情形：於前方罩殼212內前方側壓彈簧212s未安裝於正確之位置，而成為前方側壓彈簧212s彎曲之狀態。而且，於壓電馬達10之動作中，會發生如下情況：於前方罩殼212內前方側壓彈簧212s之端面突然滑行，而如圖9(d)所示，前方側壓彈簧212s之彎曲恢復。於如上所述之情形時，壓電馬達10之驅動力亦不連續地變化。
於本實施例之壓電馬達10中，考慮如上所述之情況，而如圖4所示，亦於第1側壁區塊210之前方罩殼212內設置凹部212t，將前方側壓彈簧212s之端面嵌入。又，對於後方側壓彈簧216s亦同樣地，於後方罩殼216內設置凹部216t，將後方側壓彈簧216s之端面嵌入。
再者，成為於前方罩殼212內及後方罩殼216內前方側壓彈簧212s或後方側壓彈簧216s之端面不滑行般之構造即 可，並不一定需要於前方罩殼212內或後方罩殼216內設置凹部212t或凹部216t。例如，如圖10所示，亦可將前方罩殼212之至少裏側設為與前方側壓彈簧212s之外徑相應之大小，利用前方罩殼212之內壁面按壓前方側壓彈簧212s之外側。對於後方罩殼216亦同樣地，亦可將後方罩殼216之至少裏側設為與後方側壓彈簧216s之外徑相應之大小，利用後方罩殼216之內壁面按壓後方側壓彈簧216s之外側。如此，於前方罩殼212內及後方罩殼216內，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之端面不會滑行移動，因此，可避免於壓電馬達10之動作中驅動力突然不連續地變化之事態。
再者，於本實施例之壓電馬達10中，如上所述，於前方罩殼212內及後方罩殼216內，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之端面亦不滑行。然而，與振盪體外殼120側之端面不同，為了使壓電馬達10之製造容易，亦可對前方罩殼212內及後方罩殼216內省略端面不滑行之構造。其原因如下。
首先，於振盪體外殼120滑動時，前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之振盪體外殼120側之端面直接自振盪體外殼120受到力。與此相對，前方罩殼212內及後方罩殼216內之端面只不過是經由前方側壓彈簧212s或後方側壓彈簧216s而間接地受到來自振盪體外殼120之力。另一方面，藉由彈力而按壓端面之力於振盪體外殼120側之端面與前方罩殼212內或後方罩殼216內之端面均未改變。因 此，端面之易滑行性係振盪體外殼120側之端面更大。換言之，於壓電馬達10之動作中，於前方罩殼212內或後方罩殼216內，前方側壓彈簧212s或後方側壓彈簧216s之端面很少滑行。因此，亦可不於前方罩殼212內或後方罩殼216內設置凹部212t或凹部216t(參照圖4)、或不設置凸部212u或凸部216u(參照圖5)、或者不使前方罩殼212或後方罩殼216之裏側之部分形成為較窄，而藉由形成前方罩殼212及後方罩殼216，實現壓電馬達10之進一步之製造容易化。
又，本實施例之壓電馬達10係因前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s之端面以相對於振盪體外殼120不滑行之方式安裝，故亦可獲得如下所述之優點。圖11係於前方側壓彈簧212s之中心軸之位置獲取之壓電馬達10之剖面圖。於圖11(a)中顯示有表示剖面位置之俯視圖，於圖11(b)中顯示剖面圖。如圖11(b)所示，前方側壓彈簧212s之振盪體外殼120側之端面嵌入於設置於振盪體外殼120之側面之凹部212t。又，於與振盪體外殼120之相反側之側面安裝有前側輥102r，前側輥102r嵌入於設置於第2側壁區塊220之輥槽102t。因此，振盪體外殼120係一側於凹部212t之部分藉由前方側壓彈簧212s而於Z方向(圖中上下方向)上定位，另一側經由前側輥102r利用輥槽102t而於Z方向上定位。因此，亦可省略為了使振盪體外殼120於Z方向上定位而設置之按壓輥104r及按壓彈簧232s(參照圖1)。而且，若省略按壓輥104r及按壓彈簧232s(參照圖1)，則壓電馬達10之構 造變得更簡單，從而製造變得更容易，不僅如此，亦可使壓電馬達10進一步小型化。進而，利用前側輥102r、按壓輥104r、後側輥106r之3個輥使振盪體外殼120定位之構造若考慮輥及輥轉動之對象側之面(轉動面)之加工誤差，則並非一定能夠穩定地定位。其原因在於：振盪體外殼120係藉由前側輥102r與第2側壁區塊220之接觸點、後側輥106r與第2側壁區塊220之接觸點、按壓輥104r與第2側壁區塊220之接觸點之3點而完全定位。而且，若於該狀態下振盪體外殼120沿X方向滑動，則前側輥102r、後側輥106r及按壓輥104r係於各自之第2側壁區塊220之轉動面轉動。當然，第2側壁區塊220之轉動面亦存在加工誤差，因此任一個輥均會發生自轉動面浮起之情況。而且，若欲將浮起之輥按壓於轉動面，則振盪體外殼120之姿勢會改變。與此相對，若能夠省略按壓輥104r及按壓彈簧232s，則不會產生如上所述之問題，而可使振盪體外殼120穩定地定位。
又，於本實施例之壓電馬達10中，沿X方向對本體部100施力之加壓彈簧222s設置於本體部100之側方(相對於本體部100為Y方向)(參照圖1或圖4)。由於多數情況下本體部100形成為於X方向上較長，故藉此可抑制於X方向上之長度，而可使壓電馬達10進一步小型化。
D.變形例：
上述之本實施例之壓電馬達10存在多種變形例。以下，對該等變形例進行簡單說明。再者，於以下之變形例中，以與上述之本實施例之壓電馬達10不同之部分為焦點進行 說明，對於與本實施例之壓電馬達10相同之構成，標註相同之編號並省略說明。
圖12係表示第1變形例之壓電馬達20之構造之剖面圖。於圖4所示之本實施例之壓電馬達10中，前側輥102r及後側輥106r設置於振盪體外殼120側。與此相對，於圖12所示之第1變形例之壓電馬達20中，前側輥102r及後側輥106r設置於第2側壁區塊220側。如此，可使本體部100之重量變小，從而可使本體部100容易沿X方向滑動。
圖13係表示第2變形例之壓電馬達30之構造之剖面圖。於第2變形例之壓電馬達30中，自第2側壁區塊320豎立設置有導向桿320g，藉由該導向桿320g而導引本體部100之滑動。如此，可使壓電馬達30之構造更簡單。
圖14係表示第3變形例之壓電馬達40之構造之剖面圖。於第3變形例之壓電馬達40中，加壓彈簧418s相對於本體部100傾斜設置。如此，可利用1個加壓彈簧418s，將本體部100按壓於對象物，並且同時將本體部100按壓於第2側壁區塊420。因此，如圖14所示，加壓彈簧418s可兼作後方側壓彈簧216s，而可使壓電馬達40進一步小型化。當然，若不僅後方側壓彈簧216s由加壓彈簧418s兼任，而前方側壓彈簧212s亦由加壓彈簧418s兼任，則可自圖14所示之狀態進一步省略前方側壓彈簧212s，從而亦可進一步使壓電馬達40小型化。
圖15係表示第4變形例之壓電馬達50之構造之剖面圖。於第4變形例之壓電馬達40中，加壓彈簧518s設置於相對 於本體部100而與前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s相同之側。又，伴隨於此，省略設置於本實施例之壓電馬達10之按壓輥104r或按壓彈簧232s。如此，第2側壁區塊520之構造變得簡單，從而可使壓電馬達50進一步小型化。又，由於本體部100於Z方向(圖15中與紙面垂直之方向)上之移動被前方側壓彈簧212s及後方側壓彈簧216s規制，故即便省略按壓輥104r及按壓彈簧232s，亦不會產生問題。
E.應用例：
由於上述之本實施例之壓電馬達10或各種變形例之壓電馬達20、30、40、50小型且可高精度地驅動對象物，故可作為如下所述之裝置之驅動裝置而較佳地組入。
圖16係例示組入本實施例之壓電馬達10而構成之電子零件檢查裝置600之立體圖。圖示之電子零件檢查裝置600大體上包含基台610及豎立設置於基台610之側面之支持台630。於基台610之上表面設置有：上游側載物台612u，其載置並搬送檢查對象之電子零件1；及下游側載物台612d，其載置並搬送檢查結束之電子零件1。又，於上游側載物台612u與下游側載物台612d之間設置有用以確認電子零件1之姿勢之攝像裝置614、及為了檢查電氣特性而安放電子零件1之檢查台616。再者，作為電子零件1之代表性之零件，可列舉「半導體」或「CLD(Crystal LED Display，水晶LED顯示器)或OLED(Organic Light Emitting Diode，有機發光二極體)等顯示元件」、「水晶元件」、 「各種感測器」、「噴墨頭」、「各種MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微機電系統)元件」等。又，本實施例之檢查台616與本發明之「檢查插口」相對應。
又，於支持台630，以可沿與基台610之上游側載物台612u及下游側載物台612d平行之方向(Y方向)移動之方式設置有Y載物台632，自Y載物台632，於朝向基台610之方向(X方向)上延伸設置有臂部634。又，於臂部634之側面，以可沿X方向移動之方式設置有X載物台636。而且，於X載物台636設置有攝像機638、及內置有可沿上下方向(Z方向)移動之Z載物台之握持裝置650。又，於握持裝置650之前端設置有握持電子零件1之握持部652。進而，亦於基台610之前表面側設置有對電子零件檢查裝置600之整個動作進行控制之控制裝置618。再者，於本實施例中，設置於支持台630之Y載物台632、臂部634、X載物台636或握持裝置650與本發明之「電子零件搬送裝置」相對應。又，於本實施例中，X載物台636、Y載物台632及內置於握持裝置650之Z載物台與本發明之「移動裝置」相對應。進而，本實施例之控制裝置618與本發明之「第1控制部」、「第2控制部」、「第3控制部」相對應。
具有如上所述之構成之電子零件檢查裝置600係以如下之方式進行電子零件1之檢查。首先，將檢查對象之電子零件1載置於上游側載物台612u，將其移動至檢查台616之附近為止。繼而，移動Y載物台632及X載物台636，使握持裝置650移動至載置於上游側載物台612u之電子零件1之 正上方之位置為止。此時，可使用攝像機638確認電子零件1之位置。繼而，當使用內置於握持裝置650內之Z載物台而使握持裝置650下降，而利用握持部652握持電子零件1時，直接使握持裝置650移動至攝像裝置614上，使用攝像裝置614確認電子零件1之姿勢。繼而，使用內置於握持裝置650之微調整機構而調整電子零件1之姿勢。繼而，使握持裝置650移動至檢查台616上之後，移動內置於握持裝置650之Z載物台而將電子零件1安放於檢查台616上。由於使用握持裝置650內之微調整機構而將電子零件1之姿勢調整，故可將電子零件1安放於檢查台616之正確之位置上。繼而，使用檢查台616而結束電子零件1之電氣特性之檢查後，這次重新自檢查台616提取電子零件1，然後，移動Y載物台632及X載物台636，使握持裝置650移動至下游側載物台612d上，將電子零件1置於下游側載物台612d上。然後，移動下游側載物台612d，將檢查結束之電子零件1搬送至特定位置為止。
圖17係關於內置於握持裝置650之微調整機構之說明圖。如圖所示，於握持裝置650內設置有連接於握持部652之旋轉軸654或可進行旋轉地安裝有旋轉軸654之微調整板656等。又，微調整板656係由未圖示之導引機構導引，並且可沿X方向及Y方向移動。
此處，如圖17中標註斜線而表示般，朝向旋轉軸654之端面而搭載有旋轉方向用之壓電馬達10θ，壓電馬達10θ之驅動凸部(省略圖示)係按壓於旋轉軸654之端面。因此，藉 由使壓電馬達10θ進行動作，可高精度地使旋轉軸654(及握持部652)沿θ方向旋轉任意之角度。又，朝向微調整板656而設置有X方向用之壓電馬達10x與Y方向用之壓電馬達10y，各自之驅動凸部(省略圖示)係按壓於微調整板656之表面。因此，藉由使壓電馬達10x進行動作，可高精度地使微調整板656(及握持部652)沿X方向移動任意之距離，同樣地，藉由使壓電馬達10y進行動作，可高精度地使微調整板656(及握持部652)沿Y方向移動任意之距離。因此，圖16之電子零件檢查裝置600可藉由使壓電馬達10θ、壓電馬達10x、壓電馬達10y進行動作，而對由握持部652握持之電子零件1之姿勢進行微調整。再者，於本實施例中，壓電馬達10x、壓電馬達10y分別與本發明之「第1壓電馬達」、「第2壓電馬達」相對應，壓電馬達10θ與本發明之「第3壓電馬達」相對應。又，包含旋轉軸654或微調整板656、壓電馬達10θ、壓電馬達10x、壓電馬達10y之微調整機構與本發明之「驅動裝置」相對應。
圖18係例示組入有本實施例之壓電馬達10之印刷裝置700之立體圖。圖示之印刷裝置700係對印刷媒體2之表面噴射墨水而印刷圖像之所謂之噴墨印表機。印刷裝置700具有大致箱形之外觀形狀，於前表面之大致中央設置有排紙托盤701、排出口702或複數之操作按鈕705。又，於背面側設置有供給托盤703。若將印刷媒體2安放於供給托盤703並對操作按鈕705進行操作，則自供給托盤703吸入印刷媒體2，於印刷裝置700之內部將圖像印刷於印刷媒體2 之表面之後，自排出口702排出。
於印刷裝置700之內部設置有：滑架720，其於印刷媒體2上沿主掃描方向往復移動；及導軌710，其導引滑架720之於主掃描方向上之移動。又，圖示之滑架720包含對印刷媒體2上噴射墨水之噴射頭722或用以沿主掃描方向驅動滑架720之驅動部724等。於噴射頭722之底面側(朝向印刷媒體2之側)設置有複數之噴射嘴，可自噴射嘴朝向印刷媒體2噴射墨水。又，於驅動部724搭載有壓電馬達10m、10s。壓電馬達10m之驅動凸部(省略圖示)係按壓於導軌710。因此，藉由使壓電馬達10m進行動作，可使滑架720沿主掃描方向移動。又，壓電馬達10s之驅動凸部114係按壓於噴射頭722。因此，藉由使壓電馬達10s進行動作，可使噴射頭722之底面側靠近印刷媒體2或遠離印刷媒體2。又，於使用所謂之捲紙作為印刷媒體2之印刷裝置700中，需要將印刷了圖像後之捲紙切斷之機構。於如上所述之情形時，若於滑架720安裝切割器並使其沿主掃描方向移動，則亦可切斷捲紙。
圖19係例示組入有本實施例之壓電馬達10之機器人手部800之說明圖。圖示之機器人手部800係自基台802豎立設置有複數根指部803，上述指部803經由手腕804而連接於臂810。此處，指部803之根部之部分可於基台802內移動，在將驅動凸部114按壓於該指部803之根部之部分之狀態下搭載有壓電馬達10f。因此，藉由使壓電馬達10f進行動作，可使指部803移動而握持對象物。又，於手腕804之 部分，亦在將驅動凸部114按壓於手腕804之端面之狀態下搭載有壓電馬達10r。因此，藉由使壓電馬達10r進行動作，可使整個基台802旋轉。
圖20係例示設有機器人手部800之機器人850之說明圖。如圖所示，機器人850包含複數根臂810、及於可彎曲之狀態下將其等臂810之間連接之關節部820。又，機器人手部800連接於臂810之前端。而且，於關節部820內置有壓電馬達10j作為用以使關節部820彎曲之致動器。因此，藉由使壓電馬達10j進行動作，可使各個關節部820以任意之角度彎曲。
以上，對本發明之壓電馬達或搭載有壓電馬達之各種裝置進行了說明，但本發明並不限定於上述實施例或變形例、應用例，可在不脫離其主酯之範圍內以多種態樣實施。
2‧‧‧印刷媒體
10‧‧‧壓電馬達
10f‧‧‧壓電馬達
10j‧‧‧壓電馬達
10s‧‧‧壓電馬達
10m‧‧‧壓電馬達
10r‧‧‧壓電馬達
10x‧‧‧壓電馬達
10y‧‧‧壓電馬達
10θ‧‧‧壓電馬達
20‧‧‧壓電馬達
30‧‧‧壓電馬達
40‧‧‧壓電馬達
50‧‧‧壓電馬達
90‧‧‧壓電馬達
100‧‧‧本體部
102r‧‧‧前側輥
102t‧‧‧輥槽
104r‧‧‧按壓輥
106r‧‧‧後側輥
110‧‧‧振盪部
112‧‧‧振盪體
114‧‧‧驅動凸部
116‧‧‧表電極
116a‧‧‧表電極
116b‧‧‧表電極
116c‧‧‧表電極
116d‧‧‧表電極
120‧‧‧振盪體外殼
122t‧‧‧凹部
122u‧‧‧凸部
130‧‧‧緩衝構件
140‧‧‧按壓板
142‧‧‧碟形彈簧
144‧‧‧按壓蓋
146‧‧‧固定螺絲
200‧‧‧基台部
210‧‧‧第1側壁區塊
212‧‧‧前方罩殼
212s‧‧‧前方側壓彈簧
212t‧‧‧凹部
212u‧‧‧凸部
214‧‧‧中央罩殼
216‧‧‧後方罩殼
216s‧‧‧後方側壓彈簧
216t‧‧‧凹部
216u‧‧‧凸部
220‧‧‧第2側壁區塊
222s‧‧‧加壓彈簧
230‧‧‧基板
232s‧‧‧按壓彈簧
240‧‧‧固定螺絲
320‧‧‧第2側壁區塊
320g‧‧‧導向桿
418s‧‧‧加壓彈簧
420‧‧‧第2側壁區塊
518s‧‧‧加壓彈簧
520‧‧‧第2側壁區塊
600‧‧‧電子零件檢查裝置
610‧‧‧基台
612d‧‧‧下游側載物台
612u‧‧‧上游側載物台
614‧‧‧攝像裝置
616‧‧‧檢查台
618‧‧‧控制裝置
630‧‧‧支持台
632‧‧‧Y載物台
634‧‧‧臂部
636‧‧‧X載物台
638‧‧‧攝像機
650‧‧‧握持裝置
652‧‧‧握持部
654‧‧‧旋轉軸
656‧‧‧微調整板
700‧‧‧印刷裝置
701‧‧‧排紙托盤
702‧‧‧排出口
703‧‧‧供給托盤
705‧‧‧操作按鈕
710‧‧‧導軌
720‧‧‧滑架
722‧‧‧噴射頭
724‧‧‧驅動部
800‧‧‧機器人手部
802‧‧‧基台
803‧‧‧指部
804‧‧‧手腕
810‧‧‧臂
820‧‧‧關節部
850‧‧‧機器人
910‧‧‧第1側壁區塊
912‧‧‧前方罩殼
912r‧‧‧前側輥
916r‧‧‧後側輥
L‧‧‧長度
W‧‧‧寬度
θ‧‧‧方向
圖1(a)、(b)係表示本實施例之壓電馬達之概略之構成之說明圖。
圖2係表示本實施例之本體部之構造之分解組裝圖。
圖3(a)-(c)係表示壓電馬達之動作原理之說明圖。
圖4(a)、(b)係表示本實施例之壓電馬達之前方側壓彈簧及後方側壓彈簧之安裝構造的說明圖。
圖5係例示安裝前方側壓彈簧及後方側壓彈簧之其他態樣之說明圖。
圖6(a)-(c)係表示藉由壓電馬達10之本體部100向X方向 滑動而前方側壓彈簧彎曲之情況的說明圖。
圖7係於前方側壓彈簧及後方側壓彈簧與第2側壁區塊之間設置有輥之參考例之壓電馬達之剖面圖。
圖8(a)-(d)係例示未於振盪體外殼之側面設置供前方側壓彈簧嵌合之凹部之情形的說明圖。
圖9(a)-(d)係例示未於前方罩殼內設置供前方側壓彈簧嵌合之凹部之情形的說明圖。
圖10係例示於前方罩殼內安裝前方側壓彈簧212s之其他態樣之說明圖。
圖11(a)、(b)係於前方側壓彈簧之中心軸之位置獲取之壓電馬達之剖面圖。
圖12係表示第1變形例之壓電馬達之構造之剖面圖。
圖13係表示第2變形例之壓電馬達之構造之剖面圖。
圖14係表示第3變形例之壓電馬達之構造之剖面圖。
圖15係表示第4變形例之壓電馬達之構造之剖面圖。
圖16係例示組入本實施例之壓電馬達而構成之電子零件檢查裝置之立體圖。
圖17係關於內置於握持裝置之微調整機構之說明圖。
圖18係例示組入有本實施例之壓電馬達之印刷裝置之立體圖。
圖19係例示組入有本實施例之壓電馬達之機器人手部之說明圖。
圖20係例示設有機器人手部之機器人之說明圖。
100‧‧‧本體部
110‧‧‧振盪部
112‧‧‧振盪體
114‧‧‧驅動凸部
116‧‧‧表電極
120‧‧‧振盪體外殼
130‧‧‧緩衝構件
140‧‧‧按壓板
142‧‧‧碟形彈簧
144‧‧‧按壓蓋
146‧‧‧固定螺絲

Claims (13)

  1. 一種壓電馬達，其特徵係藉由使含有壓電材料之振盪體振盪，並使突出設置於上述振盪體之端面之凸部與對象物接觸，而使上述對象物移動，且包含：振盪體外殼，其收容上述振盪體；基台，其設置有使上述振盪體外殼滑動之滑動部，且安裝上述振盪體外殼；加壓彈性體，其向上述對象物之方向對自上述振盪體外殼突出之上述凸部施力；及側壓彈性體，其自與上述振盪體外殼之滑動方向交叉之方向，朝向上述基台之上述滑動部對上述振盪體外殼施力；上述側壓彈性體之與上述振盪體外殼連接之側之端面與上述振盪體外殼嵌合。
  2. 如請求項1之壓電馬達，其中上述基台包含支持上述側壓彈性體之未與上述振盪體外殼連接之側之端面之側壓彈性體保持部，上述側壓彈性體之與上述側壓彈性體保持部連接之側之端面係與上述側壓彈性體保持部嵌合。
  3. 如請求項2之壓電馬達，其中上述加壓彈性體設置於相對於上述振盪體外殼設有上述滑動部之側或設置於設有上述側壓彈性體之側。
  4. 一種驅動裝置，其包含如請求項3之壓電馬達。
  5. 一種印刷裝置，其包含如請求項3之壓電馬達。
  6. 一種機器人手部，其包含如請求項3之壓電馬達。
  7. 一種機器人，其包含如請求項6之機器人手部。
  8. 一種電子零件檢查裝置，其特徵係將握持之電子零件裝設於檢查插口，並檢查上述電子零件之電氣特性者且使用如請求項3之壓電馬達，進行上述電子零件相對於上述檢查插口之位置對準。
  9. 一種電子零件搬送裝置，其特徵係搬送握持之電子零件者，且使用如請求項3之壓電馬達，進行上述電子零件之位置對準。
  10. 一種電子零件搬送裝置，其特徵在於包含：握持裝置，其握持電子零件；移動裝置，其使上述握持裝置沿相互正交之第1軸及第2軸和與上述第1軸及上述第2軸正交之第3軸之合計三軸方向移動；及控制裝置，其對上述移動裝置之動作進行控制；且上述握持裝置內置有：第1壓電馬達，其使上述電子零件沿上述第1軸方向移動；第2壓電馬達，其使上述電子零件沿上述第2軸方向移動；及第3壓電馬達，其使上述電子零件繞著上述第3軸旋轉；上述第1至第3壓電馬達係如請求項3之壓電馬達。
  11. 一種電子零件檢查裝置，其特徵係包含：檢查插口，其係裝設電子零件，並檢查上述電子零件之電氣特性； 握持裝置，其握持上述電子零件；移動裝置，其使上述握持裝置沿相互正交之第1軸及第2軸和與上述第1軸及上述第2軸正交之第3軸之合計三軸方向移動；攝像裝置，其係當自上述檢查插口觀察時設置於上述第1軸上或上述第2軸上，檢測裝設於上述檢查插口之上述電子零件之姿勢；上游側載物台，其將上述電子零件自上述檢查插口搬送至連結上述攝像裝置之上述第1軸或上述第2軸上之特定位置為止；下游側載物台，其自當自上述檢查插口觀察時與設置上述攝像裝置之側之相反側之特定位置，搬送上述電子零件；及控制裝置，其對上述移動裝置之動作進行控制；且上述控制裝置包含：第1控制部，其使握持上述上游側載物台所搬送之上述電子零件之上述握持裝置移動至上述攝像裝置上；第2控制部，其藉由使上述握持裝置移動，而將利用上述攝像裝置而確認姿勢之上述電子零件裝設於上述檢查插口；及第3控制部，其藉由使上述握持裝置移動，而將利用上述檢查插口檢查了上述電氣特性之上述電子零件自上述檢查插口載置於上述下游側載物台；上述握持裝置內置有：第1壓電馬達，其根據由上述 攝像裝置所檢測之上述電子零件之姿勢，使上述電子零件沿上述第1軸方向移動；第2壓電馬達，其根據由上述攝像裝置所檢測之上述電子零件之姿勢，使上述電子零件沿上述第2軸方向移動；及第3壓電馬達，其根據由上述攝像裝置所檢測之上述電子零件之姿勢，使上述電子零件繞著上述第3軸旋轉；其中上述第1至第3壓電馬達係如請求項3之壓電馬達。
  12. 一種電子零件檢查裝置，其係特徵係將握持之電子零件裝設於檢查插口，並檢查上述電子零件之電氣特性者，其包含進行上述電子零件相對於上述檢查插口之位置對準之壓電馬達，上述壓電馬達包含：振盪體，其含有壓電材料而形成，且於端面突出設置有凸部；振盪體外殼，其收容上述振盪體；基台，其設置有使上述振盪體外殼滑動之滑動部，且安裝上述振盪體外殼；加壓彈性體，其向對象物之方向對自上述振盪體外殼突出之上述凸部施力；及側壓彈性體，其自與上述振盪體外殼之滑動方向交叉之方向，朝向上述基台之上述滑動部對上述振盪體外殼施力；上述側壓彈性體之與上述振盪體外殼連接之側之端面與上述振盪體外殼嵌合。
  13. 一種電子零件搬送裝置，其特徵係搬送握持之電子零件 者，且其包含進行上述電子零件之位置對準之壓電馬達，上述壓電馬達包含：振盪體，其含有壓電材料而形成，且於端面突出設置有凸部；振盪體外殼，其收容上述振盪體；基台，其設置有供上述振盪體外殼滑動之滑動部，且安裝有上述振盪體外殼；加壓彈性體，其向對象物之方向對自上述振盪體外殼突出之上述凸部施力；及側壓彈性體，其自與上述振盪體外殼之滑動方向交叉之方向，朝向上述基台之上述滑動部對上述振盪體外殼施力；上述側壓彈性體之與上述振盪體外殼連接之側之端面胺上述振盪體外殼嵌合。
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