201200436 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域] 本發明有關於高架移行式搬送車之侧向緩衝區及搬送車 系統。 【先前技術】 在半導體之製造工財，採时結理裝置_送收容有 基板之容器之搬送系統。 搬送系統係例如具傷有：軌道，由高架吊下；和搬送車， 被支持成從執道吊下。搬送車搬送收容有基板之F〇up (Front Opening Unified P〇d) 〇 另外，在軌道附近設有側向緩衝區，可以用來調整於處理 裝置搬送F0UP之時序(例如，參照專利文獻^。 以下說月專利文獻1之側向緩衝區。另夕卜，在以下專利文 獻1之技術說明中，附加在構件名稱之符號為專利文獻1 中之符號’與本f之圖面所記載之符號無關。 專利文獻1所s己載之侧向緩衝區，為防止因地震等搖動使 FOUPk載置台3〇〇落下’所以具有防止翻倒構件35〇。 防止翻倒構件350之形狀是方角之U字。防止翻倒構件 35〇由傾動限制部350a、連接部350b和固定部350c所構 成。傾動限制部350a、連接部350b和固定部350c係形成 為一體。固定部350c為板狀之部位，以螺絲固定在載置台 300之襟360。連接部350b是從固定部350c延伸到上方之 100111526 201200436 板狀之《Η立傾動限制部35〇a是相對連接部3通垂直延伸 之板狀之部位。亦即，働限制部350a被配置在載置台300 之載置有物品之位置上方。 在專利文獻1中’物品為FOUP ,在侧面部最下部具 有大起。卩510。在突起部51〇上面設有接觸面部5i〇a。物品 500田被載置在載置台細時，利用搬送車3大致水平地朝 向載置台_移動。在該移動動作時，在高度方向之物品 500接觸面51Ga之位^，係低於高度方向之傾動限制部 350a之位置。物品5〇〇係利用該移動動作被移送到載置台 3〇〇上方後進行下降，並被載置在載置台3〇〇。 物品500以被載置在載置台3〇〇之狀態產生傾斜時，接觸 面部51〇a會與傾動限制部35〇a接觸。因此，被載置在載置 台300之物品500傾斜移動之範圍受到限制。 【先前技術文獻】 【專利文獻】 專利文獻1:日本專利特開2009_196748號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 在上述之載置台300 ’傾動限制部350a被配置在載置台 300中載置有物品5〇〇之部分上方。因此，不能使物品在傾 動限制部350a上方之位置和載置台3〇〇之間，上下方向移 動。 100111526 4 201200436 另外，在專利文獻1之搬送系統中，物品500只在載置台 之一側出入。這是因為若使F〇up之蓋子之緣從側面突出， 而從載置台相反側出人時，則F〇υρ之蓋子會與傾動限制部 接觸因此’專利文獻1所記載之技術不能適用在將蓋子從 侧面犬出之FOUP從載置台兩側出入之搬送車系統。 本心月之課題疋提馬具有防止番河倒機構之側向緩衝區之 物品出入方向之自由度。 (解決問題之手段） 以下說明作為解決手段之複數態樣，可以依照需要任意地 組合。 “ ❹D喊衝區是設在具備有高架移行式私 移動到限條置和退避^ mm 部之物品之傾斜，上诚.，述限制位置係用以限制載童 方，且容許上述物品在載置部- 動…接受部，置成接受來=置：， 之力；和鏈部，利用力估κρ 自被載置在載置。Ρ之物占 當限制部位於限制位置1部=避位置移動到限制位置。 可以阻止物品之_ H為物品之傾斜被限制，所以 時，容許物品錢置私胸/，#_雜於退避位置 以物品之移載自由度變二ρ正上方之位置之間移動，所 _ 糾,録品㈣置部之正 2U12U0436 上方位置载置到载置部。 另外，鏈部是為了使限制部從退避 而使用來自物品之力， 置移動到限制位置， 限制部亦可心之驅動構件。 之上述物品兩側。另外， ^ 上述搬送車行進方向 在載置部時，在水平且垂直:::部：配置成當物品被載置 之端部附近被载置在上述物品接受H向之方向，使物品 在此種情況時，經由將 接 使限制部從退避位置梅_位置物=料，利用鏈部 置物品之動作，可以使限制部從退避置位 側向緩_亦可以更具備有附加勢47到限制位置。 向退避位置附加勢能。在此種情況，來將限制部朝 制部可叫實地移動到退避位置。—去上述之力時，限 亦可以使側向緩衝區具備有：作 1板面對作為物品接受部之第2板;和二之第1板;與第 2板作為鏈部之第3板。 用來連接第1板和第 亦可以使第1板、第2板和第3板 亦可以使限制1、物。接^u 成為U字形狀。 亦可、f"物接又部和鏈部形成為一體。 亦了从使側向缓衝區更具備有旋轉車由，限 可以旋轉轴作為巾心進行旋轉。 《 ’〜又 :Γ以在表面具備有突起。另外，限制部係配置成在 _位置限制突起之移動範圍，藉以限制物品之傾斜。 100111526 6 201200436 側向緩衝區亦可具備有限制部、物品接受部和鏈部作為第 ，、方外，側向緩衝區更具備有限制部、物品接受部和鏈 ΓΙΓ2組。第1組被配置在載置部之―侧，第2組被配 弟1組之配置侧之相反侧。在此種情況時，目為物品從 兩側以限制部限制其傾斜，所以即使產生搖動，亦可以更穩 疋地維持物品之姿勢。 树明另-觀點之搬送車綠，具備有：上述側向緩衝區 任項，和搬送車，高架移行，在載置部和載置部正上方高 於限制部位置之間，使物品上下移動。 (發明效果） ，在本發明之侧向緩衝區，因為限制部可以在限制位置和退 避位置移動，所以物品出入方向之自由度變高。 【實施方式】 1.第1實施形態 M.FOUP之構造 參照圖1同時說明以後述搬送車系統1搬送之F〇up6之 構造。 如圖1所示，具備有罐(pod)本體61、蓋子62、上部突 緣(flange)63、手柄64、和下部突緣65。 罐本體61為大致立方體之容器，在内部可以收容半導體 基板。 上部突緣63設在罐本體61之上面略中央。上部突緣63 100111526 7 201200436 之構成包含有：板，平行於罐本體61上面；和支持部，用 來連接該板和罐本體61，和從罐本體61向上方突出。 手柄64是在一方向呈長形狀，設在與罐本體61面對面之 2個侧面雙方。「側面」是指罐本體61之面中與罐本體61 上面和蓋子62雙方接合之面。手柄64被配置成相對於側面 下邊形成傾斜。具體而言，手柄64被配置成使手柄64長度 方向端部中接近蓋子62 —方之端部，接近罐本體61上面， 且另一方端部遠離罐本體61上面。 下部突緣65被設置成沿著設有手柄64相同側面之下邊 (被罐本體61側面和下面所夾住之邊）。下部突緣65在相對 側面大致垂直之方向，亦即，在與罐本體61下面平行之方 向進行突出。 1-2.搬送車系統之構造 參照圖2說明搬送車系統之構造。 本實施形態之搬送車系統1適用在半導體之製造系統。搬 送車系統1在複數處理裝置9之間搬送FOUP6。 1-3.搬送車系統之構造 參照圖2說明搬送車系統1之構造。另外，以下，X軸方 向是圖2之水平方向，y轴方向是圖2之縱方向（亦即》錯 直方向），z軸方向是垂直於圖2紙面之方向。 搬送車系統1是在既定路經上使複數搬送車3行走之系 統。如圖2所示，搬送車系統1具備有搬送車3、行走執道 100111526 8 201200436 30和支柱31。 如圖2所示，行走軌道30係利 叉柱31從清潔室之頂板 5吊下。行紐道3G由行走本體32和供魏道則構成。 行走軌道航置減其長度方向平行^設置搬送 車系統之場所並不只限於清潔室， ^ 在搬迗車系統被設在清潔 至以外之其他房間之情況時 下 疋軌道亦從該房間高架吊 搬送車3為懸吊式搬送車。搬送車3，係如圖2所示，且 有基座34、行走驅動部35、受電部36、2個蓋子π、料 ^動機構39、升降驅動部4G和升降台4卜行走驅動部％ 連接到基座34，可以在行走柄32崎走。受電部％可 以接受來自供電執道33之電。2個蓋子37在搬送車3之〜 進方向（行走軌道30之長度方向），以夹住阳脳 = 固定在基座34。 式破 橫向移動機構39可以使升降驅動部⑼，升降台μ和 卿?6在x軸方向移動。升降闕部4()係顧皮帶、線= 繩索等懸吊構件，可以使升降台41"y軸方向升降。升 降台41可利用手柄夹住FOUP6之上部突緣63，又可解 除該失住狀態。 1-4.側向緩衝區之構造 (全體之構造） 參照圖2〜圖5說明側向緩衝區2之構造。另外，在圖$ 100111526 9 201200436 中被配置在剖面近前方部分以一點鏈線描繪。 側向緩衝區成為被配置在行走軌道30附近之機構。侧白 緩衝區2成為暫時放置foupg之方式。 如圖2〜圖5所示，側向緩衝區2具備有框架構件2〇、襟 21、支柱22和防止翻倒機構29。 樑21成為在z軸方向呈長形狀。樑21以2根為丨級地使 用。 支柱22(吊下構件）其第1端被固定在樑21，第2端被$ 定在頂板5。利用此種方式，支柱22係將樑21和被固定在 樑21之其他構件從頂板5吊下。另外，圖2中，2根支桂 22 所以為 因為分別位於FOUP6和底部23近前方和深處， 說明之便，以一點鏈線描繪。 23(載 框架構件20被樑21支持。框架構件20具備有底部 置部）、橫面板24、前面板251、和後面板252。 底部23 如圖3所示，底部23為大致X字狀之板狀構件 係利用螺絲等固定在樑21。 如圖3所示，4個橫面板24被配置成使該等面平彳_於 軸。4個橫面板24中之2個係在底部23之右緣（圖3 側緣）’被配置成在z軸方向排列。其餘2個橫面柄 ^ ^ 底部23之左緣（圖3之下側之緣），被配置成在2輪方 列。如圖4所示，橫面板24被配置成從底部2 _ I u向上方 軸之正方向）突出。 ^ 100111526 201200436 如圖3所示，前面板251和後面板252被配置成在z軸方 向互面對。如圖5所示，前面板251和後面板252被配置成 垂直於底部23之面方向。亦即，前面板251和後面板252 被配置成平行於x-y平面。前面板251之X軸方向之兩端分 別連接到右前（圖3之左上）之横面板24前端和左前（圖3之 左下）之橫面板24前端，後面板252之χ軸方向兩端，分別 連接到右後侧之橫面板24(圖3之右上)後端和左後側之橫 面板24(圖3之右下）後端。 利用此種配置，在前面板251和底部23之間，及後面板 252和底部23之間存在有間隙。後述之限制構件29〇被配 置在該間隙内。 框架構件20全體可以樹脂—體形成，亦可以由複數構件 組合而成。 (防止翻倒機構之構造） 參照圖3〜圖5說明防止翻倒機構29之構造。防止翻倒機 構29是即使側向緩衝區2搖動時亦可以防止F〇UP6翻倒之 ====:一 如圖…所示，防止翻倒機構二向之底部23 =::配置1個。2個之防止翻倒機構_ 對通過底部23中心之χ平 機構29且備；纟配置成對稱。防止翻倒 機構29具備有限制構件，、旋轉軸撕和彈㈣6。 100111526 201200436 限制構件290經由限制被收容在侧向緩衝區2之FOUP6 可以用來防止F_翻倒。限制構件具備有 / /如(第1板)、物品接受部292(第2板)、和鏈部293(第 j板）。 ，制部29卜物品接受部292、和鏈部293是大致矩形之 大構件。限制部291從鏈部293矩形之一邊直角地延伸。 =鏈部293面方向之垂直方向，限制部291之寬度小於物品 接觉部292之寬度。 限制部291面方向和鍵部293面方向所形成之角度為大致 直角。 物品接受部292為細長之形狀，被配置成經由鏈部293 面對限制部29卜物品接受部鼠經由後述之旋轉轴295， 被配置成使其長度方向平行於χ軸。物品接受部2%之長产 可依照：F〇UP6x軸方向之長度；下部突緣65之形狀和χ 軸方向之寬度；限制部291和物品接受部292之距離；和限 制部29lz軸方向之寬度等來設定。組入到侧向緩衝區2時 物品接受部292長度和FOUP6長度之關係將於後述。 鏈部293從物品接受部292短邊方向之端，在物品接受部 292之面方向直角地延伸。亦即，键部293連結限制部291 和物品接受部292。 在物品接受部292之長度方向，限制部291之長度和鍵部 293之長度，小於物品接受部292之長度。鏈部293和阳制 100111526 201200436 部別不是被配置在物品接受部292之長度方向中物品接受 邰292之中〜❿疋被配置在靠近物品接受部脱一方端部 之(圖中）位置但疋，鏈部和限制部之形狀、數目和位置可 以變更。但疋’限制部291長度、鏈部293長度和物品接受 部292長度之大小關係可以變更。 如圖5所在平行於橫切限制部291和鏈部293之yz 平面之aj®(A/A 面），限制構件29〇為^字形狀，更具體 而。成為方角之u字形狀。如圖5所示，限制部291和 物。口接觉4 292疋u字形之剖面中互相面對之部分。鍵部 別為U字形狀之底部分。如上述之方式，在該剖面中，在 鏈部293面方向之垂直方向’限制部291之寬度小於物品接 受部292之寬度。 限制構件290亦可以經由使切斷之金屬板折曲而形成亦 可=利用鑄造形成，亦可以利用樹脂等之材料形成。 方疋轉轴295在限制構件29〇之物品接受部292和鏈部况 之間之角’被設置成沿著物品接受部M2之長度方向。旋轉 示職㈣在設於横岐24之齡孔（未圖 在底部23 板24之下部(接近底部23之部位），被設 被配置成平ΙΓΓΓ端附近。如此—來’旋轉轴295 底部23 ^ ’限制構件290在Z軸方向於 100111526 290可、軸配置成使其長度方向平行於X軸。限制構件 旋轉轴295為令心進行旋轉。利用該旋轉，限制部 13 201200436 291可以旋轉軸295為中心進行旋轉。 如圖7所不，在組入到側向緩衝區2之狀態，物品接受部 292長度方向之一端’被配置在F〇UP6x轴方向之一端附 近’物品接受部292另-端被配置在FGUP6之另-端附近。 另外在圖7巾，物品接受部292x軸方向之兩端，係相對 FOUP6x軸方向之兩端，被配置在内側。但是，作為別的實 施形態物。σ接受部292χ轴方向之端亦可位於阳⑽以 軸方向之端之相同位置或外側。 如圖3圖5所示’彈簧296設在旋轉軸之兩端附近。 更具體而言，彈簧296被配置成比鏈部293和物品接受部 292更接近㈣轴29s之兩端。彈膂捲繞至旋轉轴295。 彈菁296之第1端與底部23接觸’另-端被固定在限制構 件 290。 彈簧296係將限制構件29〇朝向限制構件，開放之方向 (使2個限制構件29〇之限制部291間之距離開放方峨加 勢能。 亦P月j側之限制構件29〇接受來自彈菁四6使鏈部一 倒向前面板251之力。但是—部23(對z_x㈣ 該限制構件_之傾斜被前面板251限制。其結果是限制構 件携之物品接受部292被配置在壓下到FOUP6之位置， 亦即’配置在接受來自FOUP6之力之位置。 卜後側（圖5之右側)之限制構件接受來自彈箸挪 100111526 201200436 使鏈。(5 293倒向後面板252之力。但是，相對於底部23該 限制構件290之傾斜被後面板252 P艮制。其結果是限制構件 290之物品接受部292被配置在壓下到刪之位置，亦 即’配置在接受來自FOUP6之力之位置。 換5之，如圖5所示，利用旋轉轴295和前面板251，使 物品接受部292被配置在比鏈部293更接近z軸方向之底部 中心亦即，限制構件290被配置成使其u字形剖面 中凹邛在z軸方向面向框架構件20之内側。 ° 6未被载置在側緩衝區2時，限制部291被彈簧 296附加勢能，而被配置在退避位置（圖5)。如後述，當 被载置在側向緩衝區2時，利用升降驅動部仙之二 置動作，沿著财方向(y軸方向)從限制構件㈣上方下降 到底4 23。退避位置，，是指載置動作中脫離獅抑之軌 道之位置，換言之，是指載置動作中未壓下到FOUP6之位 置’更換言，是指載置動作中未接受到來自f_之力之 位置（圖5)。 如後述，當丽P6被魅在侧城_2時，物品接受 ^92會接受來自_6之力。鏈物將該力傳達到限 制心1，用來移動限制部291。具體 292上載置F0UP6，藉此 在物〇口接又部 σ接受部292會接受向下(y 轴^方向）之力》因為限制構件柳可叫轉軸295 心進行旋轉，所以利用該力可《使物品接受部292向下移 100111526 15 201200436 動0 因為鏈部293連接到物品接受部292，所以键部293亦可 以旋轉軸295為中心進行旋轉。因為鏈部293亦連接到 ^部291 ’所以移動限制物亦可以旋轉綱 ^疋轉。如此-來，物晴291係從退避位置移 =广)。亦即’鏈部293利用物品接受 =之力’使限制部291從退避位置移動到限制位置。二 二=動之詳細部分則參照圖6並於後述進行說明制 1-5.搬送車糸統1之動作 參照圖2說明搬送車系、統1之動作。 1送車祕丨中，搬送車3係依照來自上位之 自㈣置9之物品，然後在行走轨道 動，用來將FOUP6搬送到其他之處理裝置9。 移 如圖2所示，處理裝置9具備有裝鱗91和出入口 92。 利用搬送車3使F〇W6被載置在目的地之處理裝置9之 裝載埠91。FOUP6内之美拓总之 理裝置9進行處理一處用裝载4取出，並利用處 ^ 田處元成時使基板回到FQUP6。搬 送車3將F0UP6搬送到下—個目的地。 搬 _亦可以利用搬送車3栽置在侧向緩衝區2。經由將 載置在側向緩衝區h藉此可以轉搬⑽處理裝置 9之時序。 1-6. 對側向緩衝區之載置 100111526 201200436 參"、、圖2、圖5〜圖7，說明對側向緩衝區2之F〇up6之 載置。在®1 6中’與® 5同樣地，FOUP6係以2點鏈線描 綠’被配置在剖面近前方之部分以-點鏈線描繪。在圖7 中:破載置在側向緩衝區2之咖抑以實線描多會，離開側 向緩衝區2之FOUP6以虛線描繪。另夕卜，在圖7中，省略 前面板251和後面板252等構件之圖示。 时如圖5所示’當F〇up6未被载置在側緩衝區2時，利用 彈簧2%附加勢能’使2個限制構件29()成為張開之狀_ 個限制構件之限制部291之間之距離變大之狀態）。在 此種狀態，物品接受部292之前端被配置在F〇up6之載置 區域中高於底部23之位置。另外，在此種狀態下，限制部 29!在離開載置F0腦之區域之退避位置，容許Fwp6在 底部23和底部23正上方之位置之間移動。 如圖7所示，F0UP6利用限制構件29〇在錯直方向，從 上下降’藉此被載置在側向緩衝區2。具體而言，阳刪 以被保持在升降台41之狀態，利用橫向移動機構％在抽方 向移動，用來移動到底部23何艮制冑291上方(水平轉位動 作）。其次，FOUP6係利用升降驅動部4(^錯直方向下降(下 降動作）。FOUP6之移動方向在圖2亦以⑴和Μ表干。 如圖6所示，物品接受部292係經由下降之roup6而屋 下。利用物品接受部292之塵下’來使限制構件-以旋轉 軸295作為中心而進行旋轉。亦即，鏈部⑼將物品接受部 100111526 17 201200436 用來使前侧（圖6之左 圖6十順時針旋轉，且 限制部291在圖6中反 况所接受到之力傳達到限制部别 側）之限制構件290之限制部291在 後側（圖6之右側）之限制構件29〇之 時針旋轉。 最後，物品接受部292係利用F〇Up 相同之高度（圖6)。利用此種 〜底部23 雜。然後，限制物移動到 在職之下部突緣65正上方。如置” ,成為閉⑽物== ^狀態）。下部突緣65在y軸方向被夾在限制部29i和物 〇口接受部292之間。 1-7.防止翻倒功能 參照圖❻日地料使丽ρό傾斜之情叫之限制構 件290功ι。在圖8中’由於搖動而相對於側向緩衝區2 傾斜之FOUP6以虛線描缚。另外，省略限制構件珈以外 之側向緩衝區2之構件圖示。 圖所示即使F〇Up6左右（在x_y平面方向）傾斜時， 亦利用限制構件29G防止FOUP6翻倒。假如某種原因使 FOUP6傾斜時’限制部29H立置亦可大致不變。亦即，即 使F〇UP6傾斜時’限制部291亦可以限制下部突緣65之移 動範圍。其結果是可以限制FOUP6相對於侧向緩衝區2之 傾斜。 100111526 201200436 其次，說明即使FOUP6傾斜時，限制部291之位置亦大 致不變之理由。因為限制構件290被配置成將FOUP6可載 置在物品接受部292之上，所以即使ρ〇υΡ6傾斜時’物品 接受部292之移動範圍（限制構件290之旋轉角度）會因為 FOUP6之重量而被限制。 利用此種方式，因為即使FOUP6傾斜時，物品接受部292 之移動範圍亦被限制，所以限制部291之移動範圍被限制， 其結果是下部突緣65之移動被限制。 換吕之，限制部291被配置成即使F〇Up6傾斜時，亦可 以維持限制位置。更具體而言，限制部291和物品接受部 292之距離；相對於x軸方向中限制部別端部之下部突緣 65之位置；X軸方向中物品接受部292之長度；以及相對於 X軸=中物品接受部292端部之F〇up6端部之位置等要 件，設定成為當roUP6傾斜時限制部291與下部突緣^ =動’I: F_傾斜時，在被F_限制之限制部⑼ 可動範圍上限，使下部突緣65與限制部291接觸。 1-8.從側向緩衝區之FOUP之移動 利用搬送車3從侧向緩衝區2移動到宜物θ F〇UP6Lm 移動職他之場所時， 方向向上移二 用升降媒動部40沿著銘直 構機容圖i然後’贿6利用橫向移動機 送車子37之^然後，卿Ρδ利用搬 早儆送到下一個之目的地。 100111526 201200436 利用此種方式，防止翻倒機構29不會妨礙進從侧向緩衝 區2朝向鉛直方向載置和取出f〇up6。亦即，可以有欵地 防止FOUP6翻倒，同時可使F0UP6相對於侧向緩衝區2 順利出入。 另外，FOUP6不只在圖2之D1方向，亦可以在D2方向 出入。亦即’相對於侧向緩衝區2，F〇lJP6可以從χ軸之正 負雙方出人。可以從如此之2方向出入，可經由使限制部 291移動到退避位置，而不會妨礙F〇Up6之出入。 從2方向出人之實現’可例如在χ軸方向之侧向緩衝區2 之兩侧配置軌道。以此方式配置軌道，利用搬送車3從圖2 左右雙方使FOUP6出入。 另外’從D1方向載置之咖抑亦可以從Μ方向取出， 從D2方向載置之FOUP6亦可以從D1方向取出。 另外，依照側向緩衝區2具備有限制構件29〇，因而為了 防止F〇UP6之翻倒時，不需要增加橫面板24、前面板25卜 和後面板252之高度。因此，薩6出入側向緩衝區2時 可縮短升降距離。因此，進行移載之搬送車3之動作時間變 短。 依照上述之方式，限制構件 人焚轉軸295為中心進;( =來：圖5所示之第1姿勢和圖6所示之⑽ =:避=29°在2軸方向對一 ^ 避位置。另外，在第2姿勢，限制構件290右 100111526 201200436 轴方内側閉合，限制部291位於限制位置。因此，如圖8 所不，相對於側向緩衝區2,即使在卿？6傾斜之情 亦可以限制F〇UP6之傾斜。另外，當利用搬送車^F_ 拉起到上方，則F0UP6離開物品接受部292，因此 件㈣可利用彈簣296’從第2姿勢轉移到第i姿勢構 限制部291不會干涉被拉起之F〇up6Hu 限制構件290可相對於F〇up6之傾斜施加限制，但^ FOUP6之上下方向之移動不施加限制。 2.第2實施形態 參照圖9說明第2實施形態之侧向緩衝區。第2實施形雄 之侧向緩衝區具備有錘297用以代替作為附加勢能部之彈 簧挪，除此之外，具有與第1實施形態之側向緩衝區2相 同之構造。目此’省略上面已朗之構件之朗和圖示。 如圖9所示，本實施形態之側向緩衝區之防止翻倒機構 298具備有錘297。錘297被固定在限制構件之口字形 狀之底之外面。亦即，錘297被固定在鏈部293之外面。錘 297亦可以與限制構件290形成一體。 如圖9所示，當F Ο U P未被载置在側向緩衝區日夺，前側之 限制構件290係利用錘297傾向前面板251，後側之限制構 件290係利用錘297傾向後面板252。如此一來限制部別 被配置在退避位置。亦即，防止翻倒機構298(限制構件彻 和鐘297)之重心，被設定成將限制構件，附加勢能而到 100111526 21 201200436 退避位置。 如第i實施形態所說明，當F0UP被載置在側向緩衝區 時’ FOUP從側向緩衝區正上方下降到下方。其結果是物。 接受部292被壓下到F〇UP6。限制構件29〇以旋轉轴^ 為中心進行旋轉，用來使限制部291移動到限制位置。 3.其他之實施形態 以上，已說明本發明一實施形態，但是本發明並不只限於 上述之實施形態’在不脫離發明之主旨之範圍可以有之 變更。 < ⑴在第1和第2實施形態中，包含使限制部291、物。 ，受部292、和鏈部293形成與限制構件29〇成為一體^ 疋17、限制部291、物品接受部敗、和鏈部293亦可以 成為互相分離之個別構件。 =)在第1和第2實施形態中，前面板⑸
用來限制當未載置F㈤p6心㈣A 制物… 部291之移動。但是限 曰匕之移動之限制，亦可以利用該等以外所設之構件， 靡限制彈簧-(附力，咏力等其他二 二在第丄和第2實施形態中’限制構件290和旋轉軸295 :體,1外:但是’限制構件290和旋轉軸295亦可以形 ，在限制部291為可以與物品接 鍵部293分離之構件之情況時，亦可以將限制部291安裝在 100111526 22 201200436 旋轉轴265，亦可以使限制部291和旋轉軸265形成〜體 (4) 在第1和第2實施形態中，當作為物品之F〇Up6、° 載置在側向緩衝區2時，FOUP6之底，主要地由框架構= 2〇之底部23支持。但是，經由適當地設定物品接受部μ 之大小和強度，假如物品接受部2½可以支持物品 2 時’框架構件2G之底部23亦可以省略。亦即底部 可以兼作載置部。 物。〇接受部 (5) 在第1和第2實施形態中，限制 軸方向（第1位置）與F0UP6兩端接觸。？配置成在Ζ 292被配置成在χ軸方向（第2方向）中使 物品接受部 置在物品接受冑292之上。X軸和ζ細呈正*㉟端附近載 但是，該等實施形態之構造只不過 ^ 置成當限制部㈣㈣㈣品叫== 成“配 部時’物品接受部將與第i方向交又之第二向置 附近載置在物品接受部292之上’、亦即，第2方向 要與第1方向正交。另外，物品接受一 ° 一疋 物品之兩端載置在物品接受部上，亦置成使 之一端附近。 ^配置成只载置物品 ，已說明本發明之實施形態，是本發明並不只限於 上边之實卿態’在不脫離本⑽明之主旨之範圍可以有各 種之變更。制是本㈣書所述之複”施形態和變化例可 以依,日、?、需要任意地組合。 100111526 23 201200436 (產業上之可利用性） 本發明可適用在載置台和搬送車系統。 【圖式簡單說明】 圖1是立體圖，用來表示本發明一實施形態之F0UP之外 觀。 圖2是正視圖，用來表示本發明一實施形態之搬送車系統 之概要。 圖3是圖2之搬送車系統所含之側向緩衝區之俯視圖。 圖4是側向緩衝區之正視圖。 圖5是從側向緩衝區拆知F〇up之狀態中側向緩衝區之 A-A箭視剖視圖。 圖6是FOUP被載置在側向緩衝區狀態中側向緩衝區之 A-A箭視剖視圖。 圖7之圖面表示贿被載置在侧向緩衝區時之讎 之動作。 圖8係表示FOUP傾斜時利用限制構件防止ρ〇υρ之翻倒 之圖面。 圖9表示本發明另-實施形態之防止翻倒機構之剖視圖。 【主要元件符號說明】 2 3 搬送車系統 側向緩衝區 搬送車 100111526 24 201200436 5 頂板 6 FOUP(物品） 9 處理裝置 20 框架構件 21 樑 22 支柱（吊下構件） 23 底部（載置部） 24 橫面板 29 、 298 防止翻倒機構 30 行走軌道 31 支柱 32 行走軌道本體 33 供電軌道 34 基座 35 行走驅動部 35 行走驅動部 36 受電部 37 蓋子 39 橫向移動機構（第1移動部) 40 升降驅動部（第2移動部） 41 升降台 61 罐本體 100111526 25 201200436 62 蓋子 63 上部突緣 64 手柄 65 下部突緣 251 前面板 252 後面板 290 限制構件 291 限制部 292 物品接受部 293 鏈部 295 旋轉軸 296 彈簣（附加勢能部） 297 錘（附加勢能部） 100111526 26