TW201138001A - Wafer detecting apparatus - Google Patents

Description

201138001 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明，係有關於將被收容在對於複數之晶圓作收容 之晶圓收容容器內的該晶圓之收容狀態檢測出來的晶圓檢 測裝置。 【先前技術】 從先前技術起，便使用有晶圓收容容器，該晶圓收容 容器，係將複數之晶圓收容在晶圓收容容器內所具備之槽 中，並能夠使該被收容了的晶圓通過前方之開口來作進出 〇 此種晶圓收容容器，係經由機器人等而被作搬送，並 被載置在將晶圓收容容器之蓋作開閉的開閉裝置（以下， 稱作載入埠）上。此載入埠，係爲被安裝在例如對於晶圓 施加特定之處理的晶圓處理裝置等之上的附加性之裝置。 另外，被收容在前述晶圓收容容器中之晶圓的收容狀 態，係存在有下述之3個的異常狀態。第1，係爲存在有 並未收容晶圓之槽的空槽狀態。第2，係爲在1個的槽中 而將複數枚之晶圓作重疊收容的複數枚重疊狀態。又，第 3，係爲將晶圓傾斜地收容在於左右方向上而高度相異之 槽中的所謂交叉槽狀態。 在機器人將前述3個的狀態之晶圓作取出的情況時， 若是並未對於晶圓之收容狀態作掌握，則機器人係無法將 晶圓取出。因此，於先前技術中，係已提案有具備著將晶 201138001 圓之收容狀態檢測出來的晶圓檢測裝置者（例如，參考專 利文獻1、2 )。 專利文獻1之晶圓檢測裝置，係爲光透過型之裝置， 並在晶圓之左右方向的其中一方，配置光照射用之發射器 ，而在另外一方處配置將從發射器所照射之光作受光的接 收器。故而，從發射器所到達接收器處之光，係被晶圓所 遮光，經由將該被遮光了的上下方向之寬幅檢測出來，係 能夠確認複數枚重疊狀態，且亦能夠確認交叉槽狀態。又 ，當存在有完全未被遮光之區域的情況時，係成爲能夠確 認晶圓之空槽狀態。 另外，晶圓，係會有由於半導體製造時之熱處理或者 是由於自身重量而撓折或者是彎曲的情形。若是藉由專利 文獻1之光透過型的檢測裝置而將如此這般地作了變形的 晶圓檢測出來，則被遮光之上下方向的寬幅會變大，而會 有著就算是僅存在有1枚晶圓亦會被誤檢測成前述之複數 枚重疊狀態的情況。另外，若是晶圓變得越大（例如從 3 0 0 m m而變成4 5 0 m m )，則前述誤檢測之情況係會更爲增 加。 因此，爲了能夠將前述變形了的晶圓以良好精確度而 檢測出來，作爲並非將如同前述一般之透過光檢測出來而 是將到達晶01之端面並被反射回來的反射光檢測出來之裝 置，係提案有專利文獻2之光反射型的檢測裝置。此檢測 裝置，係於檢測頭內之上部具備有照明光源，並於下部具 備有攝像裝置》故而，係將從照明光源而來之光照射至晶 -6- 201138001 圓之端面，並以攝像裝置來對於從該端 攝像’藉由此’就算是發生有前述之晶 曲，亦成爲能夠將前述之晶圓的空槽狀 疊狀態以及交叉槽狀態確實地檢測出來 下述一般之3個的問題。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本特表2002-527897 [專利文獻2]日本特開2003-282675 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 根據圖U〜圖1 3，針對該些之問題 作爲第1個問題，如圖1 1中所示 頭K內，照明光源1 00係位置在攝像裝 此，照明光源100之光軸l〇〇a，係成爲 。此時，照明光源1 〇〇之光軸以外的光 圓收容容器之內壁面1〇2處並被反射，丨 會與從晶圓W之端面而來的反射光1 0 1 像裝置1 〇 1中。其結果，係無法將晶圓 檢測出來。另外，在前述攝像裝置1 〇 1 有投影透鏡1 ο 1 A。 又，作爲第2的問題’如圖12中 由於在將晶圓收容容器之蓋（未圖示） 面而來之反射光作 圓的撓折或者是彎 態或者是複數枚重 ，但是，仍存在有 號公報 號公報 作說明。 一般，由於在檢測 置101之上方，因 朝向斜下方的狀態 100b，係會到達晶 該反射光1 ο 1 C，係 d —同地入射至攝 w之端面的畫像 之前方，係被配置 所示一般，例如當 作了開啓時之振動 201138001 等，而使得相重疊之2枚的晶圓W1、W 2中，相對於下側 的晶圓W2而上側的晶圓W1更進而朝向前側（蓋側）來 作了移動的狀態下，從照明光源1 〇〇而來之光，雖然係能 夠照射到上側之晶圆w 1的端面T1，但是，會由於上側之 晶圓W 1的前側部分所造成之阻礙，而使得從照明光源 1 〇〇而來之光無法照射到下側之晶圓W2的端面T2。其結 果，會成爲無法檢測出複數枚重疊狀態。 又，作爲第3個問題，如圖13中所示一般，由於係 成爲使位在檢測頭K內之照明光源（未圖示）從晶圓W 之正面而朝向XA方向來照射光的構成，因此，係無法從 晶圓W之左右兩側的XB方向以及XC方向來照射光。故 而，藉由位在檢測頭K內之攝像裝置（未圖示）所能夠攝 像的範圍，由於係成爲晶圓W之左右方向中央部附近的 狹窄範圍，因此，係容易受到晶圓W之部分性髒污等的 影響，又，交叉槽狀態之檢測係成爲困難。另外，雖然亦 能夠以成爲能夠確0地進行交叉槽狀態之檢測的方式來將 照明光源與攝像裝置朝向圖13之左右方向移動並對於晶 10而於左右方向上在複數場所來作攝像，但是，如此一來 ，不僅是裝置全體之構成會成爲複雜，並且檢測時間亦會 變長，而成爲難以實施》 因此，本發明，係爲有鑑於此種狀況而進行者，其之 所欲解決的課題，係在於提供一種能夠將晶圓之收容狀態 正確地檢測出來的晶圆檢測裝置。 -8- 201138001 [用以解決課題之手段] 亦即是’本發明之晶圓檢測裝置，係爲了解決前述之 課題’而爲將晶圓收容容器內之晶圓的收容狀態檢測出來 之晶圓檢測裝置，該晶圓收容容器，係能夠將複數之晶圓 在上下方向作堆積而收容，並且使收容了的晶圓從前方來 作進出’該晶圓檢測裝置，其特徵爲，具備有：對於前述 晶圓收容容器內之晶圓進行光照射之在上下方向爲較長之 縱長狀的照明裝置；和當從該照明裝置而來之光照射到晶 圓並被反射時，被入射有該反射光之攝像裝置，前述攝像 裝置’係被配置在前述晶圓收容容器之前側，前述照明裝 置’係被配置在前述攝像裝置之左右兩側的至少其中一側 〇 若依據上述構成，則經由在攝像裝置之左右兩側的至 少其中一側處配置照明裝置，並且將攝像裝置配置在前述 晶圓收容容器之前側處，由於係不會有照明裝置之光軸與 攝像裝置之光軸成爲同一方向的情況，因此，係能夠避免 從照明裝置而來之光到達晶圓收容容器之內壁面並反射而 使得該反射光與到達晶圓之端面並反射回來的光一同地入 射至攝像裝置中的情況。亦即是，係能夠解決圖1 1之問 題。 並且，由於照明裝置係爲在上下方向上而爲長的縱長 狀，因此，係能夠在上下方向來涵蓋特定之範圍地照射光 。藉由此，由於就算是在相重合之2枚的晶圓中之上側的 晶圓朝向前側（蓋側）而作了移動的狀態下，亦能夠對於 201138001 此些之2枚的晶圓而從上下來照射光，因此，係能夠使從 照明裝置而來之光確實地照射到相重合之上側的晶圓之端 面與下側的晶圓之端面的雙方。其結果，係能夠將晶圓複 數枚重合的狀態確苡地檢測出來。亦即是，係能夠解決圖 1 2之問題。 進而，經由被配置在攝像裝置之左右兩側的至少其中 —側處之照明裝置，係對於晶圓之左右兩側中的至少其中 —側之端面來照射光，並藉由攝像裝置來對於晶圓的兩側 中之至少其中一側的端面作攝像。經由設爲此種構成，若 是成爲交叉槽狀態，則由於係成爲相較於左右中央部而在 左右兩側處之水平方向上的斜率會大爲相異之晶圓畫像， 因此，係能夠藉由左右兩側中之至少其中一側的晶圓之畫 像，來將交叉槽狀態確實地檢測出來。亦即是，係能夠解 決圖1 3之問題》 更進而，經由使用反射型之晶圓檢測裝置，就算是產 生晶圓之撓折或者是彎曲，亦不會產生任何的問題，而能 夠將晶圓檢測出來。 前述照明裝置所對於晶圓作照射之範圍，係可成爲在 上下方向上而對於全部的晶圓之端面作照射的構成，亦能 夠以可將晶圓之複數枚重疊狀態確實地檢測出來的方式， 來設定爲至少能夠將光確實地照射到相重疊之2枚的晶圓 之端面處的範圍。另外，在對於一部份之晶圓的端面作照 射之構成中，較理想，係設爲一面使照明裝置和攝像裝置 —體性地作升降，一面進行攝像之構成。又，攝像裝置， -10- 201138001 係以被配置在相對於晶圓收容容器而成爲正面的位置處爲 理想，但是，只要是位在兩側的照明裝置之間，則係並非 —定需要成爲正面。亦即是，只要是位在晶圓收容容器的 前側，則不論是何種位置均可。 [發明之效果] 若依據本發明，則經由具備有被配置在晶圓收容容器 之前側處的攝像裝置、和被配置在攝像裝置之左右兩側的 至少其中一側處之縱長狀的照明裝置，係能夠提供一種可 將晶圓之收容狀態正確地檢測出來的晶圓檢測裝置。 【實施方式】 圖1以及圖2，係對於本實施形態之晶圓檢測裝置作 展示。此晶圓檢測裝置，係具備有：被配置在將收容晶圓 W的晶圓收容容器1作載置之載入埠2的左右兩側處之照 明裝置3、3 ;和當從照明裝置3、3而來之光照射至晶圓 W之端面並在端面處被作了反射時，被入射有該反射光並 用以對於該端面作攝像之攝像裝置4。如此這般，經由使 用反射型之晶圓檢測裝置，就算是對於晶圓之撓折或者是 彎曲，亦不會產生任何的問題，而能夠將晶圓檢測出來。 前述晶圓收容容器1，係具備有：前方被作了開放之 筐體11;和在此筐體π內而用以於上下方向空出有特定 之間隔地來將晶圓w作堆積收容之多數的槽1 2 (參考圖 5(a));和用以將使晶圓W從前述筐體1 1之前方來作 -11 - 201138001 進出的開口部作關閉之蓋13。前述筐體11以及蓋13’係 以能夠透視到內部之晶圓W的方式’而將一部份或者是 全部藉由半透明之材料來構成，但是，亦可藉由無法作透 視的材料來構成之。 前述載置埠2，係具備有將前述晶圓收容容器1作載 置之移載台2 1、和對於前述蓋1 3作開閉操作之開閉部22 〇 « 前述搬送機器人5，係構成爲能夠將前述晶圓收容容 器1內之晶圓W取出，並在未圖示之製造裝置內進行處 理，之後，將晶圓W送回至該晶圓收容容器1內。具體 而言，搬送機器人5，係具備有：用以抓住晶圓W之手 51、和用以使此手51在前後方向上移動之伸縮臂52、53 、和使手51以及伸縮臂52、53作升降之升降軸54。而， 在手51之基端部的上面，係被安裝有前述攝像裝置4，並 能夠藉由升降軸54來對於攝像裝置4作升降操作。又， 前述攝像裝置4，係被與畫像處理部6作連接，並對於藉 由攝像裝置4所取入了的畫像作處理，而作成例如如圖5 (b )中所示一般之晶圓W的左右兩側之畫像。 前述各照明裝置3，係如圖3(a) 、（b)中所示一 般，具備有：具有涵蓋晶圓收容容器丨之上下方向全區域 的長度之縱長狀的殻體31、和被配置在該殼體31內之多 數的紅外L E D元件3 2。而，左右之照明裝置3、3，係在 前述載入埠2之左右兩側處，分別經由未圖示之安裝構件 而被作安裝’但是’係亦可獨立地作設置。前述多數之紅 -12- 201138001 外LED元件32，全部係由60個的紅外LED元件32所成 ’並將該些之60個在縱橫方向上而配置爲格子狀。在前 述殼體31之前面，係被安裝有光擴散板33，照明裝置3 ’係被構成爲具備有能夠涵蓋晶圓收容容器1之上下方向 全區域而無遺漏地將光作照射之縱長形狀的擴散光源》 回到圖1以及圖2，前述攝像裝置4，係具備有： CCD攝像機41、和在CCD攝像機41之前端而被作了一體 化的透鏡42、和被裝著在透鏡42之全面上的濾鏡43。濾 鏡43 ’係具備有使前述紅外LED元件之發光波長透過並 將可視光遮斷之特性，藉由此，係能夠將從前述筐體11 所射入之外部攪亂光（被設置在清淨室內之螢光燈的照明 光等）遮斷或者是衰減，而不會成爲對於檢測出從晶圓端 面而來之反射光一事的障礙。 針對使用如同前述一般所構成之晶圓檢測裝置來將晶 圓收容容器1內之晶圓W的收容狀態檢測出來之處理程 序作說明。 首先，在使載入埠2之開閉部22將蓋13作了開放之 後，在將蓋13作了保持的狀態下，使開閉部22下降至下 方（參考圖1 )。經由此，搬送機器人5係成爲能夠對於 晶圓收容容器1內作存取。 在成爲如同前述一般之搬送機器人5能夠作存取的狀 態之後，開始將內部之晶圓W的收容狀態檢測出來之作 業。首先，將左右兩側之照明裝置3、3的電源開啓，並 將照明裝置3、3之光照射至晶圓W之左右兩側。接下來 -13- 201138001 ，使攝像裝置4從例如位置在最上部之晶圓W起來朝向 位置在最下方之晶圆W而作特定距離之下降，並對於可 攝像之特定範圍的晶圓W作攝像。於此情況，雖然亦可 對於晶0 W而一次一枚地作攝像，但是，考慮到攝像效 率，亦可如同圖4中所示一般，以能夠一次對於複數枚（ 例如3枚）之晶回W作攝像的方式，來設定攝像裝置4 之攝像範圍S。 而後，在藉由前述攝像裝置4而結束了全部之晶圓W 的攝像、或是在每一次之攝像結束時，藉由前述畫像處理 部6來進行畫像處理，並結束對於晶國收容容器1內之晶 圆W的收容狀態之檢測。 前述晶圓W之收容狀態的檢測結果，係在圖5〜圖7 中作了展示。 在圖5 ( b )中，如圖5 ( a )中所示一般，係對於晶 回W之收容狀態爲正常之情況的攝像畫像作展示，而僅 有各晶II W之左右兩側的端面之畫像被顯示在顯示畫面η 上。 在圖6(b)中，如圖6(a)中所示一般，係對於在 第3段的槽12中不存在有晶圓W，而在第2段之槽12中 被重疊配置有2枚的晶圓W、W之狀態（複數重疊狀態） 之攝像畫像G 1作展示，而僅有各晶圓W之左右兩側的端 面之畫像被顯示在顯示畫面Η上。此係因爲，經由將照明 裝置設爲於上下方向而爲長之縱長狀，由於係能夠對於晶 圓W、W而照射從上方而來之光以及從下方而來之光，因 -14 - 201138001 此’係能夠將複數枚重疊狀態確實地檢測出來，並能夠顯 tjk攝像畫像G1之故。 在圖7(b)中，如圖7(a)中所示一般，係對於預 定要載置在第2段的槽12中的晶圓W之右側端部被載置 到第3段之槽1 2處而成爲了所謂之交叉槽狀態之攝像畫 像G2作展示，而僅有各晶圓W之左右兩側的端面之畫像 被顯示在顯示畫面Η上。此係因爲，藉由取得晶圓之左右 兩端的畫像，由於係成爲在上下方係上而於兩側處成爲上 下方向之位置（或者是水平方向之傾斜）大爲相異之晶圓 的畫像’因此，係能夠將交叉槽狀態確實地檢測出來，並 能夠顯示攝像畫像G2之故。 經由如同前述一般而將照明裝置3、3分別配置在載 入埠2之左右兩側處，並從相對於載入埠2之前面而成爲 略60度（角度不論爲幾度均可）之斜方向來照射光，例 如’當圖8之晶圓收容容器1之筐體u爲角型的情況時 ’係有著下述一般之優點。亦即是，若是從照明裝置3、3 而照射光’則照射光之一部份，係並不會到達晶圓W ’而 會成爲到達筐體11之壁面11Α並作反射，但是，此反射 光’係不會有入射至並未與筐體11之壁面11Α相對向之 攝像裝置4處的情況。其結果，係有著不會有無法對於晶 圓W作攝像的情況而能夠確實地對於晶圓w作攝像之優 點。 又’當圖8之筐體1 1爲具有曲面形狀的情況時’如 圖9中所示一般，從其中一方（圖之下側）之照明裝置3 -15- 201138001 而來的光，係在曲面之A點處反射，該反射光A1與從另 外一方（圖之上側）之照明裝置3而來並在晶圓W之端 面B點處反射的光線B1，係相互重合，並入射至攝像裝 置4中，而無法將正確的晶圓W之畫像作顯示。於此情 況，只要使2個的照明裝置3、3交互點燈並進行2次的 攝像，則係不會有2根的光A1、B 1重合地入射至攝像裝 置4中的情況，而能夠確實地對晶圓W作攝像。另外， 經由在照明裝置3、3中，使用LED等之回應速度爲快的 元件，係能夠將因爲進行2次攝像所導致的處理時間之增 大抑制爲更小。 進而，在圖10中，係針對晶圓W在上下重疊，並且 上側之晶_ W 1係相對於下側之晶圓W2而朝向前方側作 了位置偏移的情況作展示。並且，係爲該狀態在上下方向 上而連續發生（於圖10中，係在上下方向上連續出現3 處）的情況。於此情況，亦同樣的，經由使用本實施形態 之晶圓檢測裝置，由於係能夠對於圖1 〇中之在3處而重 合了的晶圓W、W之端面的全部，來藉由照明裝置3之從 上側而來的光或者是從下側而來的光而確實地作照射，因 此，就算是在全部的場所均存在有如同圖10 —般之2枚 相重合的晶圆W 1、W2，亦能夠藉由攝像裝置4來對於該 些之全部的晶圓 W1、W2之端面確實地作攝像。在圖1〇 中，攝像裝置4之視角，係成爲能夠對於在以實線所展示 之2處而相重合的晶圓Wl、W2、Wl、W2之端面作攝像 的角度。故而，以虛線所示之晶圓W1、W2，係成爲在對 -16- 201138001 於在以實線所示之2處而相重合的晶圓 W1、W 2、W1、 W2之端面作了攝像，之後，使攝像裝置4升降（實際上 ，係爲下降）至以虛線所示之晶圓W 1、W 2進入至攝像裝 置4之視角中的高度位置後，才被作攝像。如此這般，經 由對於在1次之攝像中所攝像之範圍作限定，並進行複數 次之檢測，係有著下述之效果：亦即是，係能夠對於在例 如藉由1次之攝像來對於全部之晶圓作攝像的情況時而在 晶圓之高度位置檢測中發生誤差的情況作防止。 另外，本發明，係並不被限定於在上述之實施形態， 在不脫離本發明之要旨的範圍內，係可進行各種的變更。 在前述實施形態中，在照明裝置3中，係使用了紅外 LED元件3 2，但是，亦可使用白熱燈泡等之照射近紅外 線的各種之光源。又，亦可爲在上下方向爲長之螢光燈等 。又，係藉由在照明裝置3中使用紅外LED元件32，並 且在攝像裝置4中裝著將可視光作遮斷的濾鏡43，來謀求 進入至晶圓收容容器1內的外部攪亂光之影響的降低。經 由此，在半導體工廠之清淨室中所被使用的作爲室內照明 之螢光燈的光，係能夠被降低至幾乎不會對於攝像造成問 題的程度，但是，若是存在有太陽光等之包含有近紅外線 的外部攪亂光，則會有無法藉由濾鏡43來將外部攪亂光 除去的情況。於此情況，係亦可在挾持晶圓收容容器1而 與攝像裝置4相反側處，設置將外部攪亂光作遮斷之遮光 板。又，亦可具備有用以將此遮光板因應於需要來作升降 之升降機構地來實施之。亦即是，係亦可設爲：當並不存 -17- 201138001 在有晶圓收容容器1時，係以能夠將遮光板收容在移載台 21內的方式，來藉由升降機構而作下降，並在晶圓收容容 器1被移載至移載台21上且開始藉由攝像裝置4之攝像 前，將遮光板藉由升降機構來從移載台21而朝向上方突 出，並成爲能夠將外部攪亂光遮斷。作爲前述遮光板之材 料，係可使用非透明之金屬板或者是樹脂板等，但是，若 是使用使能夠藉由濾鏡4 3來作遮斷之可視光透過並將會 透過濾鏡43之近紅外光線作遮光的材料，則係不會有受 到外部攪亂光之影響的情況，且能夠從外部來通過遮光板 而對於載入埠2或者是晶圓收容容器1內之晶圓W作目 視確認。 又，在前述實施形態中，係將照明裝置3構成爲涵蓋 晶圓收容容器I之上下方向全區域地來作照射之縱長狀， 但是，亦可設爲僅對於晶圓收容容器1之上下方向的特定 區域來進行光照射之照明裝置。於此情況，係成爲設置與 攝像裝置4之升降同步地來使照明裝置作升降之升降機構 ，而實施之。 又，在前述贲施形態中，係於左右具備有2個的照明 裝置3、3，並藉由對於晶圓W之左右2處的端面之畫像 作攝像，而能夠將晶圓W之收容狀態的檢測之信賴性作 了提升，但是，依存於情況，係亦可僅在左右之其中一方 來配置照明裝置並作攝像。於此情況，例如，經由僅對於 圖7 ( b )之右側作攝像，由於係能夠檢測出晶圓W之傾 斜，因此，係能夠判斷出其係爲交叉槽狀態。又’爲了將 -18- 201138001 晶圓W之收容狀態的信賴性更進一步提升，係亦可使其 具備有3個以上的照明裝置。於此情況，當照明裝置會對 於晶圓W之取出造成妨礙的情況時，係成爲設置用以將 照明裝置移動至不會造成阻礙的場所之移動機構，而實施 之。另外，當藉由高架行走式之搬送裝置等來從載入埠2 之上方而將晶圓收容容器1作移載的情況時，係並不需要 將前述遮光板收容在移載台21中。 又，在前述實施形態中，係將攝像裝置4安裝在搬送 機器人5上，但是，係可將攝像裝置4設置在與搬送機器 人5相異之升降機構處，而實施之。 又，在前述實施形態中，雖係設置了單一之攝像裝置 4，但是，係亦可設置複數之攝像裝置。 又，在前述實施形態中，雖係對於將攝像裝置4之光 軸設爲了水平的情況作了展示，但是，亦能夠以使光軸成 爲朝下或者是朝上的方式來作設定。若是如此這般地作設 定’則由於就算是無法藉由濾鏡43來充分作遮斷之強的 外部攪亂光通過筐體1 1而作了入射，亦不會有晶圓端部 之反射光與外部攪亂光相重合並入射至攝像裝置4中的情 況’因此’係能夠將晶圓檢測之信賴性更進一步的提高。 另外，朝向下方之角度的範圍或者是朝向上方之角度的範 圍’係成爲在當前述一般之發生有晶圓的朝向前方側之位 置偏移時亦不會成爲無法檢測出下側之晶圓端面的程度之 範圍內作設定。 -19· 201138001 【圖式簡單說明】 [圖1]將被載置在載入埠處之晶圓收容容器內的晶圓 檢測出來之檢測裝置的側面圖。 [圖2]將被載置在載入埠處之晶圓收容容器內的晶圓 檢測出來之檢測裝置的平面圖。 [圖3]係對於照明裝置作展示，（a)係爲其之側面圖 ，（b)係爲其之平面圖。 [圖4]對於在顯像裝置之上下方向上的攝像範圍作展 示之說明圖。 [圖5] ( a )係爲對於晶圓之收容狀態爲正常的狀態作 展示之正面圖，（b )係爲將對於（a )作了攝像之畫像作 展示之圖。 [圖6] ( a )係爲對於晶圓之複數枚重疊狀態作展示之 正面圖，（b)係爲將對於（a)作了攝像之畫像作展示之 圖。 [圖7] ( a )係爲對於晶圓之交叉槽狀態作展示之正面 圖，（b)係爲將對於（a)作了攝像之畫像作展示之圖。 [圖8 ]對於角型之晶圓收容容器內的晶圓作攝像之平 面圖。 [圖9]對於曲面型之晶圓收容容器內的晶圓作攝像之 平面圖® [圖1 0 ]對於2枚重疊之晶圓中的上側之晶圓較下側之 晶圓而更加朝向前方作了移動的狀態作攝像之側面圖。 [圖Π ]對於在先前技術之晶圓檢測裝置中，在晶圓收 -20- 201138001 容容器之內壁面處作了反射的光與從晶圓端面而來之反射 光一同地被輸入至攝像裝置中的狀態作展示之側面圖。 [圖1 2 ]對於在先前技術之晶圓檢測裝置中，上側之晶 圓較下側之晶圓而更加朝向前方作了位置偏移的狀態作攝 像之側面圖。 [圖1 3]對於在先前技術之晶圓檢測裝置中而對於晶圓 從正面來作攝像的狀態作展示之平面圖。 【主要元件符號說明】 1 :晶圓收容容器 2 :載入埠 3 :照明裝置 4 :攝像裝置 5 :搬送機器人 6 :畫像處理部 1 1 :筐體 12 :槽 13 :蓋 21 :移載台 22 :開閉部 31 :殼體 32 :紅外LED元件 3 3 :光擴散板 4 1 :攝像機 -21 - 201138001 42 :透鏡 4 3 :濾鏡 5 1 :手 5 2、5 3 :伸縮臂 54 :升降軸 W :晶圓

Claims (1)

1. 201138001 七、申請專利範圍： 1 · 一種晶圓檢測裝置，係爲將晶圓收容容器內之晶圓 的收容狀態檢測出來之晶圓檢測裝置，該晶圓收容容器， 係能夠將複數之晶圓在上下方向作堆積而收容，並且使收 容了的晶圓從前方來作進出， 該晶圓檢測裝置，其特徵爲，具備有： 對於前述晶圓收容容器內之晶圓進行光照射之在上下 方向爲較長之縱長狀的照明裝置；和 當從該照明裝置而來之光照射到晶圓並被反射時，被 入射有該反射光之攝像裝置， 前述攝像裝置，係被配置在前述晶圓收容容器之前側 ’前述照明裝置，係被配置在前述攝像裝置之左右兩側的 至少其中一側。 -23-