TW201138006A - Conveyor assembly for a vapor deposition apparatus - Google Patents

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201138006 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本文揭示的標的大體上係關於薄膜沈積系統之領域，其 中一薄膜層（諸如一半導體材料層）係沈積於經傳送通過系 統的一基板上。更特定言之，該標的係關於用於一蒸氣沈 積裝置之一傳送器單元，蒸氣沈積裝置特別適於在光伏打 (PV)模組的形成中將一光反應材料之一薄膜層沈積於一玻 璃基板上。 【先前技術】 基於作為光反應組件與硫化鎘（CdS)配對的碲化鎘 (CdTe)的薄膜光伏打（PV)模組（亦稱為「太陽能面板」）正 獲得廣泛的接受並在工業中受到關注。CdTe係一種具有特 別適於將太陽能（陽光）轉換為電力的特性之半導體材料。 舉例而言，CdTe具有1.45 eV之能帶間隙，此使之相較於 歷史上用於太陽能電池應用的較低能帶隙（1.1 eV)半導體 材料可轉換更多來自太陽能頻谱之能量。此外，CdTe相較 於較低能帶隙材料在較低或擴散光條件下轉換能量，且因 此具有超過一天之過程之一較長有效轉換時間或相較於其 他習知材料處於低光（例如多雲）條件下。 就每瓦特產生功率之成本方面，使用CdTe PV模組之太 陽能系統大致上被認作最具成本效率之商業可購得系統。 然而，CdTe不耐受、不可經受作為工業或住宅用電之一補 充源或主要源之太陽能之商業開發及接受之優點相依於大 規模地並以一具成本效益方式產製有效率PV模組之能力而 152602.doc 201138006 定。 y尤成本及發電里方面，特定因素極大影響pv模植 之效率。舉例而言，CdTe相對昂貴且因此材料之有效率利 用(即最小浪費)為-主要成本因素。另外，模組之能量轉 換效率為經沈積（：(11>膜層之特定特性之一因素。膜層中之 不均勾性或缺陷可顯著減少模組之輸出，藉此增力二單位 功率之成本。另外，在經濟效益合理之㈣規模上處理相 對大之基板之能力係一關鍵考量。 css(也、閉空間昇華）係一種用於產製cdTe模組之已知商 業蒸氣沈積製程。舉例而言，參考美國專利第6,444,043號 及美國專利第6,423,565號。在一Css製程中之蒸氣沈積腔 室内，基板被帶至相對於— CdTe源之一相對小距離（例如 大約2至3 mm)之一相對位置處。CdTe材料昇華並沈積至基 板之表面上。在上文引用的美國專利第6,444,〇43號之css 系、、先中CdTe材料呈粒狀开> 式並被固持於蒸氣沈積腔室内 之一經加熱容器中。經昇華的材料移動通過放置於容器之 上的一罩蓋_之孔並沈積至靜止玻璃表面上，玻璃表面被 固持於罩蓋框架上方之最小可能距離（1至2 mm)處。罩蓋 係經加熱至大於容器之一溫度。 儘管已知CSS製程存在若干優點，但系統固有為一分批 製程，其中玻璃基板係經分度進入一蒸氣沈積腔室内、固 持於腔室内達膜層形成之一有限時段、並隨後經分度離開 腔至。系統更適於相對小表面積基板之批次處理。必須週 期性打斷製程以便補充CdTe源’此對大規模產製製程有 152602.doc 201138006 害。另外，沈積製程不易於以一受控方式停止及重新開 始，導致在基板分度進入及離開腔室期間及在需要在腔室 内定位基板的任何步驟期間CdTe材料之顯著未利用（即浪 費）。 因此，在工業中正需要用於有效率卩乂模組（特別為以以 模組）之合經濟效益之可實行大規模產製之一改良蒸氣沈 積装·置。本發明係關於用於此目的之—傳送号單元。 【發明内容】 本發明之態樣及優點將部分闡述於下文描述中，或可透 過描述瞭解，或可透過本發明之實踐而學習。 根據本發明之一實施例，提供一傳送器總成，其特別適 於用於其中一經昇華的源材料（諸如CdTe)係作為一薄膜層 沈積於-光伏打（PV)模組基板上之一蒸氣沈積裝置。該傳 送器總成包含界定一經封圍的内部容積之一外殼。一傳送 2可操作地安置於該外殼内並在該外殼内之一循環迴路路 徑中舉例而言在相對鏈輪之間被驅動，而該等鍵輪之至少 一者為-驅動鏈輪。該傳送器之該循環迴路路徑包含在該 j基板之一傳送方向中移動通過該總成之-上腿部、及在 相對返回方向中移動之一下腿部。該外殼包含一頂部 界定其中當该傳送器沿著該循環迴路路徑之該上腿 :P移：時該傳送器(及因此該傳送器上載送的一基板)暴露 於匕汁華之源材料之一開啟蒸氣沈積區域。在一特別實施 J中°亥傳运裔係由複數個互連板條形成，而各個板條具 有一各別平坦、平外表面及橫向邊緣輪廓，使得沿著該循 152602.doc 201138006 衣迎路路從之至少該上腿部，該等板條之該等外表面位於 一共同水平面中並界^經傳送通過該總成的-基板之一連 續平坦支撐表面。 文W述的”亥傳送盜總成之該實施例之變體及修改係在 本發明之制與精神内並在本文中被進—步描述。 本發明亦涵蓋併人根據本發明之諸態樣之—傳送器總成 之一蒸氣沈積模組。舉例而言，本發明提供一蒸氣沈積模 組’其用於在經傳送通過該蒸氣沈積模組之-光伏打（PV) 模組基板上沈積作為一薄膜之一經昇華的源材料(諸如 ⑽小該模組包含—罩殼、及可操作地組態於該罩殼内 昇華源材料的-蒸氣沈積頭部。一傳送器總成係可操 作地組態於該罩殼内並在該蒸氣沈積頭部下面，且包含界 定一經封圍的内部容積之一外殼。一傳送器係可操作地安 置於該外❹並可在該外殼内之-循環迴路路徑中驅動。 Γ環迴路路徑具有在—基板之一傳送方向中移動通過該 換組之-上腿部、及在叫目對返回方向中移動之一下腿 部。该外殼進一步包含一頂部件，其界定其中當該傳送号 沿著該循環迴路路徑之該上腿部㈣時該傳 =該傳送器上的一基板之該上表面)暴露於該蒸氣沈 積頭部之一開啟沈積區域。 該傳送器可包含複數個互連板條，而各個板條具有一各 ^平坦、平外表面及橫向邊緣輪靡使得沿著該循環迴路路 徑之該上腿部’該等板條之該等外表面位於—1同 面中並界定經傳送通過該模組的一基板之一連續平坦支揮 152602.doc 201138006 表面。該蒸氣沈積頭部係經組態於該傳送器總成外殼上使 得來自該蒸氣沈積頭部之經昇華的源材料係經導引至該開 啟沈積區域並至由該傳送器支撐的一基板之該上表面上。 上文論述的該蒸氣沈積模組之該實施例之變體及修改在 本發明之範圍與精神内並可在本文中進一步描述。 參考下文描述及隨附申請專利範圍將較佳理解本發明之 此等及其他特徵、態樣及優點。 【實施方式】 在說明書中闡述包含本發明的最佳模式之本發明之一完 全及可實現揭示内容’其參考隨附圖式。 現將詳細參考本發明之諸實施例，在該等圖式中繪示該 等實施例之—個或多個實例。各個實例係作為本發明之解 釋而非本發明之限制而提供。事實上，熟習此項技術者應 瞭解在本發明中可作出各種修改及變體而不背離本發明之 範圍或精神。譬如，作為一實施例之部分繪示或描述的特 徵可與另一實施例連用以產生又另一實施例。因此，意欲 的是本發明涵蓋隨附申請專利範圍及其均等物之範圍内之 此等修改及變體。 圖1繪示一蒸氣沈積系統ίο之一實施例，其可併入根據 本發明之諸態樣之一傳送器總成，該總成特別地作為一蒸 氣沈積模組或組件之一組件。該系統1〇係經組態用於在一 光伏打（pv)模組基板14(後文中稱為「基板」）上沈積一薄 膜層。該薄膜舉例而言可為碲化鎘（cdTe)之—膜層。雖然 本發明並不限於如所提的任何特別膜厚度，但在此項技術 152602.doc 201138006 中大致上認為一pv模組基板上之一「薄」膜層大致上小於 大約10微米（μιη)。應意識到本冷卻系統及製程並不限於用 於圖1中繪示的該系統10中，而是可併入經組態用於將一 薄膜層瘵氣沈積至一 PV模組基板14上的任何合適處理線 内0 為了參考及其中可使用該傳送器總成之一環境之理解， 下文描述圖1之該系統10，繼之為該傳送器總成之一詳細 描述。 參考圖1，該例示性系統1 〇包含由複數個互連模組界定 的真空腔至12。粗與精真空泵4〇之任何組合可與該等模 組組態以在該腔室12内抽取及保持一真空。複數個互連加 熱器模組16界定該真空腔室12之一預加熱區段，該等基板 14在傳送入该瘵氣沈積裝置60内之前透過該預加熱區段傳 送並加熱至一所需溫度。該等模組16之每一者可包含複數 個獨立控制的加熱器18，而該等加熱器界定複數個不同加 熱£域。一特別加熱區域可包含多於一個加熱器18。 該真空腔室12亦包含在該蒸氣沈積裝置6〇下游之該真空 腔室12内之複數個互連冷卻模組2 〇。該等冷卻模組2 〇界定 該真空腔室12内之一冷卻區段，其中在該等基板14自該系 統10移除之前容許具有沈積於其上的經昇華的源材料之該 薄膜之該等基板14以一受控冷卻速率冷卻。該等模組2〇之 每一者可包含一強制冷卻系統，其中一冷卻介質（諸如冷 水、致冷劑或其他介質）係透過與該等模組2〇組態的冷卻 線圈栗送。 152602.doc 201138006 在系統l 〇之該繪不的實施例中，至少一後加熱模組22緊 鄰該蒸氣沈積裝置60下游並在該等冷卻模組2〇之前。該後 加熱模組2 2保持該基板丨4之一受控加熱態勢直到該整個基 板移動離開該蒸氣沈積裝置㈣防止損壞該基板，諸如起 因於不X控或激烈熱應力的翹曲或破裂。若當該基板之導 引區段離開該裝置60時容許該導引區段在一過高速率下冷 卻，則將沿著該基板14縱向產生一潛在損壞溫度梯度。此 狀況可導致該基板因熱應力之斷裂、破裂或翹曲。 如圖1圖解地繪示，一饋送器件24與該蒸氣沈積裝置6〇 組態以供應源材料（諸如粒狀cdTe)。較佳地，該饋送器件 係、”里,、且釔以便供應该源材料而無需打斷該裝置6 〇内的該 連續瘵氣沈積製程或該等基板丨4通過該裝置6〇之傳送。 仍參考圖1 ’該等個別基板14首先係放置於一負載傳送 β 26上’且隨後係移動入包含一負載模組及一緩衝模組 之-進入真空鎖定台内。一「粗」（即初始)真空泉32係 與該負載模組28組態以抽空一初始真空，且一「精」（即 高）真空栗38係與該緩衝模組3〇組態以增加該緩衝模㈣ 中的真空基本上至該真空腔室12内之真空。閥34(例如閘 型狹縫閥或旋.轉型„)係可操作地安置於該負載傳送器 26與該負載模組28之間、安置於該負載模組28與該緩衝模 .且30之間、並安置於該緩衝模組3〇與該真空腔室η之間。 此等閥34係由一馬達或其他類型致動機構％循序致動以便 以一步進式方式將該等基板14引入該真空腔室12内而不$ 響该腔室12内之真空。 152602.doc 201138006 出口真空鎖定台係經組態於該最後冷卻模組20的下 游，並基本上以與上文描述的該進入真空鎖定台相反的順 序操作。舉例而言，該出口真空鎖定台可包含一出口緩衝 模。^ 42及一下游出口鎖定模組44。循序操作的滑閥34係安 置於該緩衝模組42與該等冷卻模組2〇之最後一者之間、安 置於該緩衝模組42與該出口鎖定模組44之間、並安置於該 出口鎖定模組44與一出口傳送器46之間。一精真空栗㈣ ，該出口緩衝模組42組態，且一粗真空泵32係與該出口鎖 疋模組44組態。該等泵32、38及闊34係循序操作而以一步 進方式移動該等基板14離開該真空腔室12而無該真空腔室 12内真空條件之損失。 系統10亦包含經組態以移動該等基板14進入、通過及離 開》亥真空腔室12的一傳送器系、统。在該綠示的實施例令， 此傳送器系統包含複數個個別控制的傳送器48，而該等各 種模組之每一者包含該等傳送器48之一者。應意識到該各 種模組中之該等傳送器48之類型或組態可變化。在該繪示 的貝施例中’該等傳送器48係具有經驅動滾輪之滾輪傳送 器’該等滾輪係經控制以便透過該各別模組及該系統10總 體達成該等基板14之一所需傳送速率。 如所述，該系統10中的該各種模組及各別傳送器之每一 者係經獨立控制以執行一特別功能。對於此控制，該等個 別模組之每一者可具有與之組態的-相關獨立控制器50以 控制該各別模組之該等個別功能。接著，該複數個控制器 50可與一中央系統控制器52通信，如圖1所繪示。該中央 152602.doc 201138006 系統控制器52可監測及控制（經由該等獨立控制器5〇)該等 模組之任何一者之該等功能以便透過該系統1〇在該等基板 14之處理中達成—總體所需加熱速率、沈積速率、冷卻速 率等等。 參考圖1，對於該個別各別傳送器48之獨立控制，該等 模組之每-者可包含任何方式之主動或被動感測器54，當 該等基板14經傳送通過該模組時該感測器偵測該等基板之 存在。該等感測器54與該各別模組控制器5〇通信，該控制 器50繼而與該中央控制器52通信。以此方式，該個別之各 別傳送器48可_制以確絲持料基板14之間之一合適 間距及β亥等基板14係在該所需但定傳送速率下經傳送通過 該真空腔室12。 忒热氣沈積裝置6 〇可採用本發明之範圍及精神内之各種 、’且L及操作原理，並大致上係經組態用於作為該等PV模組 基板14上的一薄臈之一經昇華的源材料（諸如CdTe)之蒸氣 沈積。在圖1中綠示的該系統1G之該實施例中，該裝置⑼ 係包3其中含有該等内部組件之一罩殼％(圖2)之一模組， 並包含安裝於一傳送器總成1〇〇上方的一真空沈積頭部 應意識到該罩殼95可包含可支樓該傳送器總成⑽之 任何方式的内部結構97。 〜^考圖2，更詳細描繪該模組60。該真空沈積頭部62界 疋/'中令态66係經組態用於接收一粒狀源材料（未顯示） 之内°卩二間。如所提到，該粒狀源材料可經由一饋送管 由饋送益件或系統24(圖1)供應。該饋送管7〇係連接至 152602.doc •12· 201138006 一分配器72，其係安置於該蒸氣沈積頭部62之一頂壁中的 一開口中。該分配器72包含經組態以均勻分配該粒狀源材 料進入至該容器66内之複數個排出埠》 在該繪示的實施例中，至少一熱電耦74係操作性地安置 通過該沈積頭部62之該頂壁以鄰近或在該容器66中監測該 頭部腔室内之溫度。 該容器66具有一形狀及組態使得該容器66之端壁68與該 沈積頭部62之端壁76隔開。該容器66之該等側壁處於鄰近 於或極接近於該沈積頭部62之該等側壁（在圖2之視圖中不 可見），使得在該等各別側壁之間存在極小空隙。藉此組 態，經昇華的源材料將作為該等橫向延伸端壁68上之蒸氣 之前簾及後簾67流出該容器66，如由圖2中的流動箭頭所 指示。極少經昇華的源材料將流過該容器66之該等側壁。 一經加熱的分配歧管78係安置於該容器66下面，並可具 有包含一上殼部件80及一下殼部件82之一蛤殼式組態。該 等配對殼部件80、82界定加熱器元件84安置於其中之凹 腔。該等加熱器元件84加熱該分配歧管78至足以在該容器 66内間接加熱該源材料之一程度以導致該源材料之昇華。 由該分配歧管7 8產生的熱量亦辅助防止該經昇華的源材料 電鍍分離至該沈積頭部62之組件上。為此目的，額外加熱 器元件98亦可安置於該沈積頭⑽内。視需要，該沈積頭 部62内的最冷㈤件係經傳送通過該沈積頭部的該等基板^ 之該上表面使得確保該經昇華的源材料主要鑛於該等基板 152602.doc •13- 201138006 仍參考圖2，該經加熱的分配歧管78包含通過該分配歧 管界定的複數個通道86。此等通道具有一形狀及組態以便 均勻分配該經昇華的源材料朝向該等下方基板14。 —分配板88係安置於該歧管78下面並距一下方基板14之 該上表面之一水平面上方達一經界定的距離，如圖2所描 繪。該分配板88包含通過該板的孔或通道之一圖案，該等 孔或通道進一步分配通過該分配歧管78之該經昇華的源材 料。 如先前所提到，一顯著部分之該經昇華的源材料將作為 蒸氣之橫向延伸前簾及後簾流出該容器66。雖然此等蒸氣 簾將在通過該分配板88之前在該縱向方向（該等基板之傳 送方向）擴散達某一程度，但應意識到不太可能的是將達 成該經昇華的源材料在該縱向方向之一均勻分配。換令 之，相較於該分配板之該中間部分，更多的該經昇華的源 材料將經分配通過該分配板88之該等縱向端區段。然而， 如上文所論述’因為該系統10以一不停止之恆定線性速率 傳送該等基板14通過該蒸氣沈積裝置1〇〇，故不管蒸氣沈 積沿著該裝置60之該縱向態樣之任何不均句，料基板^ 之該等上表面將暴露於相同沈積環境。該分配歧管78中的 該等通道86及該分配板88中的該等孔確保該經昇華的 料在該蒸氣沈積裝置6 0之該橫向態樣中之一相對均勻分 配。只要保持蒸氣之該均勻橫向能样 杈向態樣，一相對均勻薄膜屉 會沈積至該等基板14之該上表面上。 θ 如圖2所繪示，視需要包含介於 — 3介於該谷器66與該分配歧管 152602.doc -14. 201138006 78之間之一碎片遮蔽物89。此遮蔽物89可包含經界定通過 該遮蔽物的相對大孔（相較於該分配板88)並用於保持任何 粒狀或顆粒源材料通過且潛在干涉該沈積頭部62之其他組 件之操作。在另一實施例中，該等孔可極小，或該遮蔽物 可為一網篩以便防止固體源材料之甚至極小粒狀物或顆粒 通過該遮蔽物。 仍參考圖2，該沈積頭部62可包含在該頭部的各個縱向 端處的橫向延伸密封件96。在該繪示的實施例中，該等密 封件96係由該·經加熱的分配歧管78之該下殼部件82之組件 界定。在一實施例中，此等密封件96可安置於該等基板14 之該上表面上方之一距離處’該距離小於該等基板14之該 上表面與該分配板88之間之該距離。該等密封件96幫助保 持該經昇華的源材料在該等基板上方之該沈積區域中。換 言之，密封件96防止該經昇華的源材料「洩漏」出通過該 裝置60之該等縱向端。應意識到在替代實施例中，該等密 封件96可抵著該裝置60中之相對結構接合並用於相同功 能’如下文參考圖3之該實施例更詳細描述。 s 圖2之該實施例包含安置於該分配歧管78上方的一可移 動擋門板90。此擋門板90包含經界定通過該擋門板的複數 個通道94，其在該擋門板90之一第一操作方向中與該分配 歧官78中的該等通道86對齊使得該經昇華的源材料自由流 動通過該擋門板90並通過該分配歧管78以用於通過該板二 的隨後分配。該擋門板90可移動至一第二操作位置，其中 該等通道94未與該分配歧管78中的該等通道％對齊。在此 152602.doc -15- 201138006 組態中，阻止該經昇華的源材料通過該分配歧管7 8 ,並義 本上含於該沈積頭部62之該内部容積内。 任何合適致動機構92可經組態用於在該等第一操作位置 與第二操作位置之間移動該擋門板90。在該繪示的實施例 中，該致動機構92包含一桿93及任何方式之合適連桿組， 其連接該桿93至該擋門板90。該桿93係由位於該沈積頭部 62外部的任何方式之機構外部地旋轉。該擋門板9〇特別有 益係無論任何理由，該經昇華的源材料可快速且容易地含 於該沈積頭部62内並被防止通過該等基板14或傳送器總成 100上方的該沈積區域。此舉例而言可在該系統1〇之起動 期間同時該沈積頭部腔室内之蒸氣濃度增加至一足夠程度 以起動該沈積製程時符合需求。同樣地，在該系統之停機 期間，需求保持該沈積頭部62腔室内之該經昇華的源材料 以防止該材料鍍覆於該傳送器或該裝置6〇之其他組件上。 參考圖2至圖4，繪示一傳送器總成1〇〇之各種實施例。 在圖2中，該傳送器總成！ 00係含於該模組罩殼％内並係經 女置於該蒸氣沈積頭部62下面。如下文更詳細描述，該傳 送器總成100在一可能需求實施例中可在構造上模組化並 包含一外殼104，如圖3所描繪。在圖2之該視圖中，為了 簡泳及解釋之目的該外殼10 4已經移除。 參考圖3及圖4,特定言之，該外殼1〇4界定其中含有該 傳送器102之一經圍封的内部容積（至少圍繞側部及頂部）。 該傳送器102係在該外殼104内之一循環迴路中被驅動，而 此循環迴路具有在該等基板14之一傳送方向中移動通過該 152602.doc -16- 201138006 蒸氣沈積頭部62之一上腿部、及在一相對返回方向中移動 之一下腿部。該外殼104包含界定一開啟沈積區域112之一 頂部件110。參考圖2，此開啟沈積區域112與該蒸氣沈積 頭部62’尤其與該分配板88對齊。如圖3中可見，該等基 板14之該上表面暴露於該開啟沈積區域112中之該分配板 88 〇 傳送器102包含複數個互連板條130。該等板條130之每 一者具有一各別平坦平外表面132(圖5)及橫向邊緣。特別 參考圖6 ’可見的是該等板條130之每一者具有一前橫向邊 緣輪廓135及一後橫向邊緣輪廓136。在該繪示的實施例 中’該後邊緣輪廓136相對於垂直傾斜或具斜面。該前橫 向邊緣輪廓135具有一倒角或雙角度輪廓，如圖6中特別所 見。該前邊緣輪廓135與一鄰近板條130之該後邊緣136協 作以便沿著該傳送器102之該上腿部界定通過該等鄰近板 條13 0之一曲折非垂直路徑。此曲折路徑抑制經昇華的源 材料通過該等傳送器板條13〇。仍參考圖5及圖6，可見的 是沿著該傳送器之該上腿部之該等鄰近板條丨3 〇界定一平 坦之平表面，藉此該等板條之該等外表面Η〕位於—共同 水平面内並界定經傳送通過該總成的該等基板“之一連續 平:L·支樓表面。此平坦支撐表面防止該等玻璃基板Μ之彎 曲另外’該平坦傳送器表面與上文論述的該等板條13〇 之該等橫向邊緣輪廓組合防止具有經昇華的源材 基板14之背側塗佈。 "4 再人 > 考圖3及圖4中描繪的該外殼構造1〇4，可見的是 s 152602.doc -17· 201138006 該頂壁m中的該開啟沈積區域112具有小於該等下方板條 130的橫向長度之—橫向尺寸（相對於該等基板"之該傳送 方向）°基本上’該開啟沈積區域112在該傳送器1〇2的行 進之上腿部中界定圍繞該傳送器1〇2之一完全平坦的平面 表面之一「圖像框架^由該等板條之該等上表面132界定 的該平坦表面為「連續的」’因為—垂直線不可在該開啟 沈積區域112内之任何位置處標繪過該表面。如上文所 述，即使在鄰近板條130之該等橫向邊緣135、136處，該 等橫向邊緣輪廓界定抑制經昇華的源材料通過其之一非垂 直曲折路徑。 特別參考圖3及圖4，該外殼104包含端壁1〇8及側壁 106。該等端壁1〇8、侧壁1〇6及頂壁u〇係由一突片與狹槽 配置連接至彼此，其中一壁上的突片114接合於另一壁上 的狹槽116内《銷118接合通過該等突片114以保持該等組 件在一連接的總成中，如圖4特別所繪示。此實施例特別 有用，因為組裝該外殼104無須機械緊固件（諸如螺釘、螺 栓及類似物）。該外殼104之該等組件僅需滑動在一起並相 對於彼此在適當位置銷住。對於維修或其他程序，該外殼 1 〇4之組裝/拆卸在此點上為一相對簡單過程。 該外殼104及含於其中的傳送器1〇2係經組態用於該總成 110在該蒸氣沈積模組60中之偶入式放置。複數個樓條166 係附接至該等側壁10 6並延伸通過該頂壁11 〇中的狹槽。此 等撐條166界定用於升高及降低該總成1〇〇進入該蒸氣沈積 模組60之該罩殼95内之複數個提升點。當需要維修時，該 152602.doc -18-

201138006 整個傳送器總成100係自該模組60容易地提升且一備用 總成100係容易地偶入以替換該經移除的總成1〇〇。以此方 式，可在該經移除的總成100上執行維修同時該處理線重 新使用。此保持該蒸氣沈積線與維修任務平行運行。該傳 送器總成100位於該罩殼95内之對準點上使得該等不同傳 送器總成100容易安裝及移除。 參考圖3，該頂壁110界定在該蒸氣沈積頭部62下傳送之 §亥等基板14之一進入狹槽120及一出口狹槽丨22 ^在此等狹 槽120、122處的空隙代表該經昇華的源材料自該蒸氣沈積 區域之一潛在洩漏源。在此點上，需求保持在該等進入狹 槽與出口狹槽120、122處的該等基板14之該上表面之間的 空隙最小。為此目的，板部件124可與該頂部件1〇4組態。 此等板部件124可相對於該頂壁11 〇調整並基本上與在板部 件下傳送的該等基板14界定一密封。應意識到在此點上可 利用任何方式之密封結構。 該頂壁部件110亦可與該蒸氣沈積頭部62協作以增加額 外密封。舉例而言，在該蒸氣沈積頭部62之該等縱向端處 的上文論述的該等密封件96可抵著由該頂壁11〇界定的密 封表面126接合。此密封配置確保通過該分配板88之該經 昇華的源材料被保持於該頂部件丨10之該開啟沈積區域丨12 中且並未在該傳送器總成100與蒸氣沈積頭部62之介面處 逸出。 再次參考圖2及圖3 ’該傳送器總成1〇〇可包含在該外殼 104内之任何方式之額外功能性組件。舉例而言，任何數 152602.doc -19- 201138006 目或組態之加熱器元件158可經組態於該外殼ι〇4内或介 於該外殼U)4與該罩殼95之間。任何組態之熱遮蔽物16〇亦 可含於該外殼1〇4内。參考圖4,該等遮蔽物16〇可包含延 伸通過該等側壁106之突片162。銷164可接合通過該等突 片以確保該等遮蔽物160在相對於該外殼1〇4之適當位置。 軌道144係經安置沿著該傳送器1〇2之該上腿部並提供用 於該等傳送器滾輪之一運行表面，如下文更詳細論述。該 等執道144可包含亦延伸通過該側壁1〇6並由銷147接合之 突片145。 該傳送器102可在其循環迴路路徑中圍繞由該等外殼侧 壁106可旋轉地支撐之鏈輪138運行。該等鏈輪138包含與 傳送器滚輪142嗤合之齒或嵌齒。該等鏈輪Mg之至少一者 係一驅動鏈輪，而該相對鏈輪係一惰鏈輪。通常，該上游 鏈輪13 8作為該惰鍵輪。 在一特別實施例中，該等傳送器板條13〇係由連結總成 140互連。此等連結總成丨4〇可採用各種組態。圖$及圖6中 繪不根據本發明之諸態樣之一特別唯一組態。在此實施例 中’§亥等連結總成140包含内連結板及外連結板丨46、 148。滾輪142係由各別轴1 50含於該等板146、148之間。 該等轴150用於在其各別縱向端處互連鄰近的内連結板及 外連結板146、148，並亦在該等板之間旋轉地支撐該等滚 輪142。該等内連結板及外連結板146、ι48之每一者包含 延伸通過該等板條130中的一狹槽之一突片152。此等突片 152具有一下切口（圖5中所見）使得在該等突片152插入通過 152602.doc •20· 201138006 該等狹槽之後，該等板146、148係相對於該等突片板條 130移位以確保該等板條130不可自該等板146、148拉動。 參考圖5，該等軸150之一端具有防止該等軸被拉動通過 該等板146、148之一放大頭部。該等軸15〇之該相對端突 出通過該等外板148。一夹具156附接至該等轴150之該 端，並延伸於兩轴之間。因此，該夾具156具有基本上與 該等板146、148之一者相同之一縱向長度，且並不抑制該 等連結總成140圍繞該等鏈輪π8之行進。 此書面描述使用實例以揭示本發明（包含最佳模式），並 亦致使任何熟習此項技術者可實踐本發明，包含製造及使 用任何器件或系統並執行任何併入方法。本發明之專利權 範圍係由申請專利範圍界定，並可包含熟習此項技術者瞭 解之其他實例。若此等其他實例包含並未不同於申請專利 範圍之文字語言之結構性元件，或若此等其他實例包含具 有與申請專利範圍之文字語言非實質不同之均等結構性2 件，則此等其他實例意欲含於申請專利範圍之 【圖式簡單說明】 圖1係可併入本發明之該傳送器她 沈藉““ t 代“成之貫施例之-蒸氣 凡槓系統之一平面圖； 圖2係根據本發明之諸態樣之一 -A .. 矛疋益…成之一特別营 轭例之一截面圖； 吁J貝 部分透視 之 圖3係圖4描繪的該傳送器總成之 ®· 丁 * 圖4係圖2令描繪的該總成之組件之一 外部分透視圖； 152602.doc

S -21 201138006 圖5係根據本發明之諸態樣之該等傳送器板條之一實施 例之一部分透視圖；及 圖6係圖5之該傳送器之一側視圖。 【主要元件符號說明】 10 糸統 12 真空腔室 14 基板 16 加熱器模組 18 加熱器 20 冷卻模組 22 後加熱模組 24 饋送系統 26 負載傳送器 28 負載模組 30 緩衝模組 32 粗真空泵 34 閥 36 致動機構 38 精真空泵 40 真空泵 42 出口缓衝模組 44 出口鎖定模組 46 出口傳送器 48 傳送器 152602.doc -22- 201138006 50 控制器 52 系統控制器 54 感測器 60 蒸氣沈積裝置 62 沈積頭部 66 容器 67 蒸氣簾 68 端壁 70 饋送管 72 分配器 74 熱電耦 76 端壁 78 分配歧管 80 上殼部件 82 下殼部件 84 加熱器元件 86 通道 88 分配板 89 碎片遮蔽物 90 擋門板 92 致動機構 94 通道 95 模組罩殼 96 密封件 152602.doc -23- 加熱器元件 傳送器總成 傳送器 外殼 側壁 端壁 頂部件 開啟沈積區域 突片 狹槽 銷 進入狹槽 出口狹槽 板部件 密封表面 板條 板條外表面 前橫向邊緣 後橫向邊緣 鏈輪 連結總成 滾輪 軌道 突片 -24 - 201138006 146 内板 147 銷 148 外板 150 軸 152 突片 156 夾具 158 加熱器元件 160 熱遮蔽物 162 突片 164 銷 166 撐條 152602.doc - 25 -

Claims (1)

1. 201138006 七、申請專利範園·· 1. 一種用於一蒸氣沈積裝置之傳送器總成（丨00)，其中—經 昇華的源材料係作為一薄膜層沈積於一光伏打（PV)模組 基板（14)上，該總成包括： 一外殼（104) ’其界定一經封圍的内部容積； 一傳送器（102)，其可操作地安置於該外殼内以在該外 殼内之一循環迴路路徑中被驅動，該循環迴路路徑具有 在一傳送方向中移動之一上腿部、及在一相對返回方向 中移動之一下腿部； 該外殼進-步包括一頂部件（11〇)，其在該循環迴路路 徑之該上腿部中界定一開啟沈積區域（丨12);且 該傳送器包括複數個互連板條（13〇)，該等板條之每一 者具有-各別平坦平外表面（132)及橫向邊緣輪靡（135、 136)使得在該循環迴路路徑之該上腿部中，該等板條之 5亥等外表面位於—共同水平平面t並界定用於經傳送通 過該總成的一基板之一連續平坦支撐表面。 2.如請求項1之傳送器總成（⑽），其中該等板條（130)之該 等橫向邊緣輪靡（135、136)界定沿著該循環迴路路徑之 該上腿部至經昇華的源材料之一曲折非垂直路徑。 3·如請求項1之傳送器總成⑽)，其中該等板條(13〇)係在 该等板條之相對縱向端處由連結總成（140)互連，該等連 〜成具有與該等總成組態的滾輪（142)，該等滾輪沿著 至J沿者該循環迴路路徑之該上腿部安置於該外殼内的 轨道（144)運行。 152602.doc 201138006 4. 如請求項3之傳送器總成（100)，其中該等連結總成（14〇) 包括内連結板及外連結板（146、148)，該等滾輪（142)由 一轴（150)支撐介於該等内連結板與外連結板之間，該等 軸進一步互連鄰近該等板條之内連結板及外連結板，該 等連結板進一步包括突片（152)，其接合通過該等板條 (130)中的狹槽以將該等板條固定至該等連結總成。 5. 如請求項！之傳送器總成（1〇〇)，其中該外殼（1〇4)界定用 於經傳送通過該總成的一基板（14)之一進入狹槽（120)及 一出口狹槽（1 22)，該等狹槽由附接至該外殼之該頂部件 的板部件（1 24)界定’該頂部件進一步界定一密封表面 (126) ’其係用於由圍繞該沈積區域之一蒸氣沈積頭部 (62)接合。 6. 如請求項1之傳送器總成（1〇〇)，其中該外殼（1〇4)包括在 一槽式滑動配合接合中之複數個壁部件（丨〇6、丨〇8)，其 中在一該壁上的突片（114)接合於一鄰近該壁中的狹槽 (116)中，並進一步包括延伸通過該等突片以固定該滑動 配合接合之可移除鎖（118)。 7· —種祭氣沈積模組（60)，其係用於在經傳送通過該蒸氣 沈積模組的一光伏打（PV)模組基板（14)上沈積作為一薄 膜之一經昇華的源材料，該蒸氣沈積模組（60)包括： 一罩殼（95); 一瘵氣沈積頭部（62) ’其可操作地組態於該罩殼内以 昇華一源材料； 一傳送器總成（100)，其可操作地組態於該罩殼内並在 152602.doc 201138006 該蒸氣沈積頭部下面，該傳送器總成進一步包括·· -外殼（1〇4)，其界定一經封圍的内部容積； 傳送器（102)，其可操作地安置於該外殼内以在該 外殼内之-循環迴路路徑中被驅動，該循環迴路路徑具 有在-傳送方向巾移動之—上腿部、及在—相對返时 向移動中之一下腿部； 該外殼進-步包括—頂部件⑴〇)，其界定一開啟沈 積區域（112)，其中當該傳送器在該循環迴路路徑之該上 腿部中移動時該傳送器係暴露於該蒸氣沈積頭部； 該傳送n包括複數個互連板條（13G)，料板條之每 者具有一各別平坦平外表面（132)及橫向邊緣輪廓 (135、136)，使得在該循環迴路路徑之該上腿部中，該 夺板條之該等外表面位於—共同水平面中並界定經傳送 通過該模組的一基板之一連續平坦支撐表面；且 其中該蒸氣沈積頭部係組態於該傳送器總成外殼上 使得來自該蒸氣沈積頭部之經昇華的源材料係經導引至 該開啟沈積區域並導引至由該傳送器支撐的一基板之一 上表面上。 8·如吻求項7之蒸氣沈積模組（6〇)，其中該傳送器總成 (1 〇〇)外殼係經组態用於在該罩殼（95)中之偶入（dr〇p in) 放置，而該蒸氣沈積頭部（62)組態於該蒸氣沈積模組内 之該傳送器總成上。 9.如1求項7之蒸氣沈積模組（60)，其中該等板條（130)係 在。玄等板條之相對縱向端處由連結總成（丨4〇)互連，該等 152602.doc 201138006 連結總成支撲滾輪（142) ’該等滾輪沿著至少沿著該循環 迴路路徑之該上腿部安置於該傳送器總成外殼内的軌道 (144)運行》 10.如請求項9之蒸氣沈積模組（60)，其中該等連結總成 (140)包括内連結板及外連結板（146、148)，該等滾輪 (142)由一轴（150)支撐介於該等内連結板與外連結板之 間，該等軸進一步互連鄰近的内連結板及外連結板，該 等連結板進一步包括接合通過該等板條中的狹槽以將該 等板條固定至該等連結總成之突片（152)、及附接至鄰近 該等軸之夾具（1 56)。 152602.doc