TW201111933A - Thermal mass flow sensor with improved response across fluid types - Google Patents

Description

201111933 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明大體而言係關於熱質流感測器。詳言之（但不 限於），纟發明係、關於對各流體類型具有& $響應之質流控 制器熱感測器及其操作方法。 【先前技術】 。。在許多情況下，各種類型之應用可使用單個質流控制 器（MFC)。在各應用中可向質流控制器施加不同流體（例 如氣體）。因此’當使用多種流體類型時，質流控制器宜 經組態以變得精確。 士 MF^含熱流感測器經調適以提供通常與流體流經質 〇’L控制器之質量流率成比例 m 1 J5虎δ午多質流择制器應用 在熱感測器經調適以提供對流體流 ^ ^ + 化之快速且精確之 響應時方能適當操作。當就感 改變好”、^供輸出信號以在流率 改變後私不洛後於實際流率 超出 '低於實卜％丄在流率改變後提供 時，該等應用時當不能^ !之貫而机革 ^用子吊不旎以適當執行所需之位準操作。 【發明内容】 下文概述圖式所示本發明之f列示性 — 式章節更詳細描述此等及其他具體實例^貫列。實施方 意欲將本發明侷限於本發明内容或實施方、而應瞭解’不 熟習此項技術者可認識到存在許多所述形式。 ' T h專利範圍中表 4 201111933 述之本發明精神及範疇内的修改、等效物及替代性構造。 本發明之具體實例經調適以提供多種流體類型之快速 且精確之流率信號。本發明之—個具體實例包含質流控制 器（MFC)。一種質流控制器包含一對熱感測元件、一經 調適以自該對熱感測元件接收 路、一差動放大器及若干信號 適以自該橋接電路接收至少一 射一輸出信號。該輸出信號通 之流率成比例。信號濾波器可 一或多個第二濾波器，該等濾 號且修正該信號以提供多個流 流率。舉例而言，該一或多個 永久之參數，該等參數經調適 響應時間，而該一或多個第二 等參數經調適以減小一或多個 之任何超越量（overshoot )。 更快地產生基線及非基線流體 至少一個第一信號之橋接電 據波器。該差動放大器經調 個橋接信號而且經調適以發 常可與流體穿過質流控制器 包含一或多個第一濾波器及 波器經調適以接收該輸出信 體類型之更快速且更精確之 第一濾波器各可包含實質上 以減少基線流體輸出信號之 據波器可包含可變參數，該 非基線流體輸出信號内流率 藉由執行該等濾波器，MFC 之更精確之輸出。 、 。 ，、”·、奶W命久Ί5现〉愿 波益。質流感測H經組態以提供用以指示流體流率之流量 信號。毅n包含器件特定濾以及流體特n皮器。器 件特疋濾;皮經組態以基於質流控制器之特定物理屬性修 正流量信號且包括實質上與質流控制器所控制之流體類型 無關之持久參數。流體特定渡波器經組態以基於質流控制 器所控制之特定流體修正流量信號中流體特定滤波器 201111933 利用視質流控制器所控制之特定流體而定的參數。 本發明另-經調適以提供多種流體類型之快速且精確 之MFC流率輸出的具體實例為信號修正系統。一種信號修 = —輸入、第一組數位渡波器、第二組數位遽波 裔及-輸出。—個信號修正系、統中之輸人經調適以自差動 放大器接收輸出信號’纟中該差動放大器輪出信號通常盥 流體在質流控制器主流線中之流率成比例。該第—組數位 濾波器經調適以修正差動放大器輸出信號，以使該輸出信 號在至少-個基線流體之主流線發生流率 流率之精確讀數1第二組數位據波器經調適以進^；^ 正該輸出信號’其中第二組數位渡波器經調適以改變除基 線流體以外之流體類型的已修正之輸出信號。^經調二 以發射應用第-及第二數位濾波器之後的修正輸'出信號。 本發明之另一具體實例為自質流控制器產生信號之方 法。該方法係經調適以自蒙提供對多種流體類型之更快 且更精確之響應。該方法之一個具體實例包含自差動放大 器發射信f虎’修正該信號’接著輸出該修正之信號。自差 動放大器發射之信號通常與流體在f流控制器中之流率成 比例。經由應用一或多個第一數位據波器及一或多個第二 數：濾波器來修正所發射之信號。該一或多個第一數位遽 波器中各者包含經由調整質流控制器所獲得之一對參數， ’、中第數位遽波器經調適以提供至少一種基線流體之更 精確之他率。該一或多個第二數位濾波器包含經調適以提 供非基線流體之更精確之流率的氣體特定數位濾波器。 6 201111933 本文更詳細地描述此等及其他具體實例。 【實施方式】 現參看各圖式，其中適當時，相同或類似元件在若干 視圖中係用相同參考數字指[且具體參看圖1顯示經調 適以在流率改變後提供改進之流體流量讀數之質流控制器 100 »儘管先前技術具體實例（諸如美國專利第7,272,512 號、第7,363，182號及第7,380,564號及美國專利申請案第 20080059084號及第2〇〇8〇14〇26〇號）包含經調適以用於多 氣體應用之MFC，但無一具體實例考慮熱流感測器響應作 為各種氣體之不良效能的潛在來源。相比下，在本發明具 體實例中使用流量感測器響來改進各氣體之MFC效能。 一種質流控制器100包含一對熱感測元件1〇2及一橋 接電路104,該橋接電路1〇4經調適以自該對熱感測元件 H)2接收至少-個第—信號1()6。—個具體實例可自各元件 接收一個信號。質流控制器1〇〇亦可包含一差動放大器 108，其經調適以自橋接電路1〇4接收至少一個橋接信號 110。差動放大器108亦經調適以發射一通常與流體穿過質 流控制器1〇〇之主流線114之流率成比例的輸出信號i η。 圖4表示流體在主流線114中流率自滿刻度流量之 100%減小至滿刻度流量之〇%時差動放大g 之輸出 1 1 2。圖4顯示自流率改變時起實測流率與實際流率之差異 (以滿刻度流量之％表示）隨時間（以ms表示）的變化。 可見’在對輸出112應用濾波器"6、118之前，熱感測器 201111933 101所量測之流率落後於實際流率。此可能歸因於熱元件 10 2之溫度未能據流率變化足夠快地調適。在圖4中，在流 率改變後約500 ms後之一個具體實例中，實測流率約為滿 刻度流量之80%，在約1 s後約為滿刻度之6〇%以上，且在 約3.5 s後仍約為滿刻度之20%。在其他具體實例中，此等 量測結果可更高或更低且至少部分與MFC及/或流體相依。 在一個具體實例中，圖4表示基線流體，諸如（但不 限於）氮氣（N2)。然而，亦可使用其他基線流體。—種 基線流體可為用以在MFC製造後「調整（tune)」MFC之 流體。舉例而言，氮氣可用於MFC以獲得理想之第一濾波 益參數。在一個具體實例中，理想參數為參數126，其提供 MFC及測試氣體之最快且最精確之流率量測結果。 為數位信號。在一個具體實例中， 控制模組之一濾波器部分124，j U2。輸出信號1丨2包含數位信號 包含一或多個數位信號矿 器116各可包含具有一 正器。在一個具體實例中 其經調適以調節輸出信號 回至圖1，一或多個第一濾波器116及一或多個第二濾 波器118彳為串聯對#之遽波器，其經調適以修正輸出信 號H2且產生最終修正之輸出信號—。在一個具體實例 中’在渡波器116、118接收輸出信號112之前，可使輪出 信號"2經由類比至數位轉換器（ADC)自類比信號轉換 ’濾波器1 1 6、11 8包含一 其經調適以接收輸出信號 號，且濾波器116、118可 、118 可

8 201111933 1 12更密切地反映基線流體在主流線丨14中之流率。許多第 一渡波器116及第二濾波器118以及包含參數 ^ 器包括以軟體及/或韌體形式儲存於控制模組之濾波器部八 1 24内之資料。控制模組除濾波器部分124以外亦可包含各 種其他部分。 一個具體實例可包含串聯耦接之五個第一遽波器 116,其中該等第一濾波器116各具有兩個參數126。然而°， 涵蓋更多或更少數目之濾波器116及參數126。該兩個第一 濾波器參數可經由經驗資料（諸如經由MFC之調整）來確 定。儘管在許多具體實例中，第一濾波器參數為實質上永 久之參數，但在其他具體實例中，第一濾波器參數可為在 額外調整MFC 100之後再輸入的參數126。· 圖5表示在應用第一濾波器丨丨6以產生初始修正之輸 出信號120’、520’之後的輸出信號112。類似於圖4，圖5 表不基線流體在主流線114中之流率減小時的初始修正之 輸出信號520'。然而，圖5中之垂直刻度為〇%至2%，因 為圖5(以及圖6及圖7)中已省去自i〇〇〇/0至2%之流率變 化。圖5顯示在流率發生變化後不到250 ms内的實測流率 僅比實際流率大0.2%。因此，在一個具體實例中，第一渡 波器116使得MFC 100能夠在流率改變後更快地產生基線 流體之更精確之實測流率。 對於除基線流體以外之流體應用第一濾波器丨丨6及其 第一參數亦可產生初始修正之輸出丨2〇，，然而其未能產生 更精確之實測流率。舉例而言，圖6為對三種非基線流體 201111933 650、652、654應用第一濾波器116。圖6中之結果與圖5 中之結果的比較顯示第一濾波器11 6未能產生非基線流體 650、652、654之實質上類似之改進輪出。 為校正初始修正之輸出120,以便產生非基線流體 6 5 0、6 5 2、6 5 4之更精確流率，在一個具體實例中，經由一 或多個弟二濾波器118發送初始修正之輸出12 〇，，如圖1 中所見。該一或多個第二濾波器丨丨8可包含一或多個可變 參數。該等可變參數可包含經調適以便調節之參數126。此 外，該一或多個第二濾波器118各者可僅經調適以用於一 或多種流體類型。舉例而言，在一個具體實例中，mfc 1〇〇 可經調適以操作除基線流體以外的三十種流體類型（其他 MFC 1 00可經調.適以操作更多或更少流體類型）。 在一個具體實例中，第二滤波器118各者包含兩個參 數126。各濾波器"8中之兩個參數126可經調節以用於基 線抓體，以使所有第二遽波器i i 8均經調適以允許初始修 正之輸出信號120’不經修正即通過濾波器118。舉例而言， 2 一個具體實例中，對於基線流體，第二錢器118〇 流：:5::於零。在將MFC 1〇0中之流體改為第-非基線 琴"8之:卜本可修正第二濾波器118之參數126。第二濾波 二第Γ可將初始修正之輸出620,(如圖6中所見， 十對第一非基線流體650) U所見，針對第—非其二 修輸出720 (如圖 丨7米非基線流體750)。 iW後，在將流經主θ @ 1 j 流體65〇1 ^ 主流線114之流體類型自第一非基線 0進-步改為第二非基線流體652後，可修正第二 10 201111933 爐波器m之可變參數而以使第 正篦-非苴綠，ώ μ 一皮器u 8經調適以修 正第一非基線^體652的初始修 别出k號120丨。因此， 如圖6中所見第二非基線流體652 Φ ^ ^ ^ 實測〜率自初始修正 之輪出k唬620變為圖7中所貝遇坎收τ db , , Τ所見竑終修正之輸出752。由第 一非基線流體752可見，第二遽波号 态1 1 8不僅經調適以減 小且可潛在地消除第-韭Α始 ―非基線流體752之實測流率中 之實際流率的任何超越量。在一個 旦 # 口丹體貫例中，流率超越 罝之減小包含所有流體之流率超越量不超 0.1%。 如圖所示，初始修正之輸出信號m，可針對各種流體 加以修正’從而更快產生更精確之實測流率。在使用非基 線流體後可以類似方式使MFC回至基線流體。圖6及圖7 亦顯示向第三非基線流體654、754應用第二渡波器118。 第二濾波器118之參數126可包含MFC中所用諸如但不限 於氙氣（Xe)之流體的理想參數，以快速產生精確之流率 讀數。類似地，第二濾波器參數可經調節以用於諸如但不 限於氧氣（〇2)之流體以快速產生精確之流率讀數。 可由經驗方法獲得許多流體之第二濾波器參數。例如 可由測試單一單元獲得第二濾波器之參數126。在其他具體 實例中，可在各MFC 100中修正參數126。此外，可基於 各種氣體特性修正第二濾波器參數。另外，可據諸如但不 限於南揮發性或可燃性流體之各種流體的氣體特性來確定 第二處波器參數。類似地’各應用之第二濾波器丨丨8可不 同。 201111933 在應用該一或多個第二濾波器11 8之後產生修正之輪 出信號120，該輸出信號120與初始修正之輸出信號丨2〇, 及輸出信號112相比為更精確之信號，且對非基線流體流 率變化之響應更迅速。在一個具體實例中，在應用第二數 位渡波器118之後’將最終修正之輪出信號12〇自控制模 組之濾波器部分124發送至控制閥122。控制閥ι22經調適 以接收信號且調節該閥122以允許更多或更少流體穿過主 流線114。藉由更快速地向控制閥122提供更精確之信號 1 20，控制閥1 22不適當地修正主流線！丨4中之流率的可能 性較小。舉例而言，在規定流率周圍發生振盪之可能性2 小，及流率發生超越及低越之可能性較小。 .....、讯㊇兌 7 丹现組期 提供指示流體流率之流量信號。例如：質流感測器可: 圖1可見熱流感測器101而流量信號可為輸出信號J。 ，，第m 116可稱為器件特㈣波器部分，其經 態以基於質流控制器之特定物理屬性修正流量信號。 外’實質上永久之參數可稱作持久參#卜其實質 控制器所控制之流體類型無關。第二_ n :特定遽波器部分，其中流體特定據波器經組態以基: :二制器所控制之特定流體修正流量信號。流體特定鴻 Π可利用視質流控制器所控制之特定流體而定: 二含持久參數之複數個器件特定遽波 流控制器所控制之流體類型益 - 部分可1，，，、關。此外，流體特定濾坡 利用視質流控制器所控制之流體類型而定之 12 201111933 數的複數個濾波器。最 租 聢終，質流控制器1〇〇可包 體，該記憶體包含針剩1 ky °己憶 126,其中流體特定濟 ，體類1之峨體參數 定流體之特定流體參I …祕組態以自記憶體獲得特 量信號。 /數且利用該等特別流體參數來修正流 現轉至圖2，1矣-w „. .. Έ , ’、不MFC信號修正系統290。—個严

唬修正糸統290係經士月$ ^ 個L ^ ^ 、 "°適以提高MFC流體流率量测結果之 精確度。信號修正系 σ禾之· 292,該輸人292 -個具體實例包含-輸入 ⑴。圖2之传靜/自熱感測器2〇1接收輪出信號 號丫>正系統接收給 流控制器之主流線U“ 之輸“唬212通常可與質 … 机線114令之流體流率成比例。 k號修正系統2 9 〇 f —八+ 0亦包含串聯對齊的第— 器216，經調摘欲τ ± Ή 7 ^組數位濾波 。 >正輸出信號212且在庫用所;#墉.dr g 216後產生初始修正 在應用所有慮波裔 顆J 出 Ί口戒 220’0 主户始 11/1 a. 'V- -ir 變化後，—細私收τ 主"丨>·線Π4發生流率 始修正之輸出信妒2川丨料s , 供盘輪屮就220對至少一基線流體提 =❹W 212 Μ率相 具體實例中，笛—油、上 β <机手謂數。在一個 第-益216包含韌體及軟體中至少一者。 弟一組數位濾波器2丨8 之輸出信號220,來進一舟攸、、、B以鞛由改變初始修正 212。第-細金^ * ’ >正非基線流體之輸出信號 線流體非基 基線流體改為第^ 220，。在流體自第一非 Θ弟一非基線流體後，第_ 適以修正第二非m㈣ 第1波窃218可經調 第二滹波51 9 Ί δ 。G正之輸出信號220'。除 币，愿波盗218以外，系統 輸出221，該輸出 13 201111933 22 1 ’’呈凋適以向控制閥發射最終修正之輸出信號220。系統 之個具體貫例包含具有兩個氣體相依參數126之第二 組數位濾波器。該兩個氣體相依參數可經由至少一經驗方 法及氣體特性來確定。 在信號修正系統290之一個具體實例中，當主流線J u 中之流率針對基線流體改變時，改變後之流率包含第二流 率（支化則之流率包含第一流率）。在流率改變後，最終 修正之輸出信號22〇係經調適以輸出超越量不大於該第二 流率之G.l%的實測流率。在一個具體實例中，此低超越程 度係經調it以在應用包含經調適以校準各質流控制器器件 之參數126的第一組數位濾波器216之後輸出。 現轉至圖3 ’其顯示一自質流控制器100產生信號之方 法。以3G5.開始該方法時，315之_個具體㈣包含自差動 放大器發射輸出信號。舉例而言’—個具體實例可包含自 圖1中所不之MFC 100之差動放大器1〇8發射輸出信號 112:在一個具體實例中’信號112通常可與流體在質流控 制器1〇〇巾之流率成比例。自差動放大器1〇8發射信號⑴ 之後在325中，經由應用一或多個第一數位濾波器η 6 來，正信號。在-個具體實例中，該—或多個第_數位遽 波器116各者包含經由調整質流控制器100獲得之_對參 數 在335中，接著經由應用具有一或多個可變參數 ⑶之-或多個氣體特^第二數位遽、波器118來修正信號。 在-個具體實例中’各濾波器經串聯對齊。 最後在345輪出最終修正之輸出信I虎120。-個最終修 14 201111933 正之輸出信號為實測一流率之信號，該流率相較對自差動 放大器1〇8所發射之輪出信號112實測之流率更為密切地 與流體穿過MFC之實際流率成比例。在一種方法中，自第 二數位濾波器發射之最終修正之輸出信號12〇之實測流率 包含小於實際流率之〇·1%之超越量，及小於實際質量流率 之0.1%之低越量。為在將流體自第一流體（基線或非基線） 改為不同於第—流體之第二流體（基線或非基線）後提供 精確信號，在-種方法中修正第—流體流動期間所應用之 氣體特定第二數位濾波器118之一或多個參數126。 總之，本發明尤其提供一種用於質流控制器之氣體之 方法及裝置m項技術者可容易認識到可對本發明、 其用途及其組態進行許多變化及取代，以獲得與本文所述 具體實例所獲得結果實質上相同的結果。目此，不意欲將 本發明偈限於所揭示之說明㈣。許乡變化、修改及替代 性構造屬於中請專利範圍中表述本發明之範嘴及精神内。 【圖式簡單說明】 藉由在結合隨附圖式時參考上㉛【實施方式】及隨附 中明專利範圍，業已顯見且更容易瞭解本發明之各種目標 及優勢以及對本發明之更完整的理解，其中·· 圖1為根據本發明之一說明性具體實例的質流控制器 之示意圖。 圖2為根據本發明之一說明性具體實例的信號修正系 統之示意圖。 15 201111933 器輪二為之自方根:康本發明之-說明性具體實例的質流控制 唬之方法的流程圖。 里隨4自瓜率改變時起實測流率與實際流率相比之差 八隨時間而變的圖 奢办丨丄ν 表不’其根據本發明之一說明性具體 貫例由差動放大器針對Α _ > _ Τ对丞線虱體所輪出。 圖5為自流率改戀g*. φ, S ^ η± „ 支f起貫測流率與實際流率相比之差 共丨艰時間而變的圖形志 ψ，s], 其根據本發明之一說明性具體 貫例由_或多個第— _ 、 恩/反益針對基線氣體所輸出。 圖6為自流率改竣睹由J奋、nl上 異隨時間而變的圖形表干I L率與實際流率相比之差 實例由-或多個第“ 據本發明之一說明性具體 圖Λ二器針對三種非基線氣體所輪出。 m ^ u± I寻起實测流率與實際流率相比之# 異心時間而變的圖形表示午相比之差 竇办丨丄 、根據本發明之一說明性且栌 貫例由一或多個第二廣 兄月！生具體 益針對二種非基線氣體所輸出。 【主要元件符號說明】 100 :質流控制器（MFC) 1 0 1 :熱感測器 102 :熱感測元件 104 :橋接電路 106 :第一信號 108 :差動放大器 1 1 0 :橋接信號 1 1 2 :輸出信號 16 201111933 1 1 4 :主流線 1 1 6 :第一濾波器 Π 8 :第二濾波器 120 :修正之輸出信號 120’ ：初始修正之輸出信號 122 :控制閥 124 :濾波器部分 126 :流體參數 201 :熱感測器 2 1 2 :輸出信號 2 1 6 :第一濾波器 2 1 8 :第二濾波器 220 :最終修正之輸出信號 220':初始修正之輸出信號 221 :輸出 222 :控制閥 290 : MFC信號修正系統 292 :輸入 520'、620':初始修正之輸出（信號） 650-654 :非基線流體 720 :最終修正之輸出 750 :第一非基線流體 752 ··最終修正之輸出/第二非基線流體 17

Claims (1)

1. 201111933 七、申請專利範圍： 1 · 一種質流控制器，其包人. 一熱質流感測器，复细，Α 所息—* 成級態以發射用以指示—产艚之 一質量流率之一輸出信號； ？日不机體之 一或多個第一濾波器， -或多個第一濾波器係經調摘、3 Λ質上永久之參數’該 一基線體t # Μ。以在該質量流率改變後提供 丞線抓體之一更精確的輪出信號；及 一或多個第二濾波器，I ^ . OD , '、包含可變參數’該一或多個 第一濾波态係經調適以在該 質量流率改變後提供一或多個 非基線流體之一更精確的輪出信號。 2. 如申請專利範圍第 r μ . 項之質流控制器，其中一基線流 體及早一非基線流體之 ψ0. 的輸出k號包含一修正之輸 出L號’ 5亥修正之輪出作妹广 乜旒（1：)在質量流率改變後的一段 規疋時間内更密切地與流體 風®《質量流率成比例，且（ϋ)對 實測質量流率而言，與實際質 之超越量。 貫際質量…比具有不大於0.1% 3. 如申吻專利範圍第2項之質流控制器，豆中， 該段規；t時間包含至少4秒之—周期；且/ 該流體包含一氣體。 :’如申，專利範圍第】項之質流控制器，其中， A《夕個第—遽;皮11及該-或多個第ϋ器構成 —控㈣組之—濾波器部分；且進-步包括， 妆 ’J閥其經調適以自該控制模組之濾波器部分接 收一最終修正之輸出信號。 18 201111933 5·如申請專利範圍第1項之質流控制器，其中， °亥熱質流感測器包含一對經調適以向一橋接電路發射 一第一信號之熱感測元件，該橋接電路經調適以向—差動 放大器發射一橋接信號； 該差動放大器係經調適以發射該輸出信號；且 ^或夕個第—濾波器及該一或多個第二濾波器包含 軟體及韌體中至少—者。 6.如申請專利範圍帛1項之質流控制器，其中， 該基線流體包含-調整流體，其用以獲得該-或多個 第一濾波器之該等實質上永久之參數；且 變參數係經調適以在流體 該一或多個第二濾波器之可 改變後被修正。 7·如申請專利範圍第1項之質流控制器，其中， …該-或多個第—濾波器之實質上永久之參數係經調適 以按逐個器件之方式獲得；且 遠寻可變參數經調適以至少部分經由經驗方法獲得。 如申請專利範圍第1項之質流控制器，其中該一或多 個第一濾波器及該一或多個筮_ 飞夕1U弟一濾波器以串聯方式應用。 9 _如申請專利範圍篦1 #上 固弟1項之質流控制器，其中包含實質 上水久之參數之-或多個第—濾波器包含五個濾波器每 個濾波器具有兩個參數。 w 1 〇· —種信號修正系統，其包含： -輸入’其經調適以自一差動放大器接收一輸出信 號’該輸出信號通常與一流體在一質流控制器的主流線中 19 201111933 之一流率成比例； 第一組數位濾波器，其經調適以修正該輸出信號，使 得在該主流線中發生流率變化後，一初始修正之輸出作號 提供至少一基線流體之流率之一更精確的讀數； 第二組數位濾波器，其中該第二組數位濾波器中各者 經調適以改變非基線流體之修正之輸出信號；及 一輸出’其經調適以發射一最終修正之輸出信號。 11.如申請專利範圍第1〇項之信號修正系統，其中， 該流率變化之後的流率包含一第二流率；且 在應用該第一組與該第二組數位濾波器之後，該輸出 信號包含不超過該第二流率之〇.丨％的超越量。 1 2.如申請專利範圍第1 〇項之信號修正系統，其中， 該第一組數位濾波器包含經調適以校準一質流控制器 器件之實質上永久之參數；且 該第二組數位濾波器包含經調適以進行流體類型校準 之可變參數。 13. 如申請專利範圍第1〇項之信號修正系統，該第二組 數位滤波器中各者包含兩個氣體相依參數。 14. 如申請專利範圍第13項之信號修正系統，其中該兩 個氣體相依參數由經驗方法及氣體特性中至少一者確定。 15. —種自一質流控制器產生一信號之方法，其包含： 自差動放大益發射-輸出信號，該信號通常與一流體在 s玄質流控制器中之一流率成比例； 經由應用-或多個第一數位濾波器來修正該信號，其 20 201111933 中S玄一或多個第一數位濟波夂土 A入 德改中各者包含經由調整該質 控制器所獲得之一對參數； 經由應用具有一杏多個可培 _ 4 ^惘了變參數之一或多個氣體特定 第二數位濾波器來修正該信號；及 輸出一最終修正之輪出作妹 ^ , >。 唬，其中該最終修正之輸出 t號比自該差動放大器所發射夕私山> 汀赞射之輸出仏號更密切地與流體 之流率成比例。 16·如申請專利範圍第。項之方法，其中該第一與該第 一數位濾波器串聯對齊。 17. 如申請專利範圍第 ^ ^ ^ A 窗A 万去，其進一步包含自該 弟二數位濾波器輸出—作號 山^ 1〇唬其中自該第二數位濾波器輪 出之杬號包含（i)小於一實 π ^ π丨不質量流率之0· 1 %的超越量， 及（U)對質量流率變化之氅0主 時間比由該—或多個第-濾 所發射之-初始修正之輸出信號還快。 18. 如申請專利範圍第 @七 貝之方法，其進一步包含將流 非基線流體。 第-非基線流體改為-第二 19. 一種質流控制器，其包含·· —質流感測器，iέ日能.、，& 泣 '、，°且&、以楗供用以指示一流體之一 机率的一流量信號； —器件特定濾波器部分， 器之姓—此 刀 其絰組態以基於該質流控制 °之特疋物理屬性來修正 ώ旦 包括餘 °u|L里k唬，該器件特定濾波器 參數；及 工制益所控制之流體類型無關的持久 21 201111933 机體特疋濾波器部分’該流體特定濾波器經組態以 基於該質流控制器所控制之特定流體來修正該流量信號， 該流體特定濾波器部分利用視該質流控制器所控制之特定 流體而定的參數。 —20.如申請專利範圍第19項之質流控制器，其中該器件 特定渡波H部分包括複數㈣波[該複數㈣波器中各 者包括實質上與該質流控制器所控制之流體類型無關 久參數。 21·如申請專利範圍第19項之質流控制器，其中該流體 特定濾波n部分包括複數個m，該複數個渡波器十各 者利用視該質流控制器所控制之流體類型而定的參數。 22.如申請專利範圍第丨9項之質流控制器，其包括一記 憶體，該記憶體包含複數個不同流體類型之流體參數，其 :::體特定遽波器部分係經組態以自該記憶體獲得一特 疋Γ /特定流體參數且利用該等特別流體參數來修正該 八、圖式： (如次頁） 22