TW201116817A - Air filter leak inspection method - Google Patents

Description

32579twf.doc/n 201116817 ---"V - 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於-種空氣過渡網茂漏檢測方法，且特 別是有關於一種檢測效率高、準確性佳、並可避免設備損 毁的空氣過濾網洩漏檢測方法。 【先前技術】 隨著人類工業技術的演進，在許多新型態的實驗室、 籲 W院及讀t ’线㈣淨輯於製程、_安全及設備 的影響甚矩，甚至有的環境。會要求每立方英叹空氣中的Μ ㈣的懸雜粒不得超過i顆。為得到具有㈣淨度的空 氣，必須要使用 HEPA(High E飾iency Particulate Air, 1^八)或111^>八(1；1的_1^1>肛加111扯人圮肌？八)等級的空 氣過渡網來過渡外界的空氣。然而，若高效率的空氣過渡 網在製造的過程中產生茂漏，則空氣過遽網會失去原有的 =慮效果’如此對製程、環境安全及設備將造成嚴重的影 、曰。因此’為了提升空氣過I網的可靠度，必須對空氣過 濾網是否茂漏加以檢測。 、美國專利4494403提出了 一種空氣過遽網茂漏檢測方 ，、其利用k測頭於空氣過濾網之一側來回移動以檢測空 氣過濾網。然而’在進行空氣過濾網麟檢測時，隨著待 /測空氣過：*網之尺寸以及所使用檢測賴數量不同，檢 j，可⑨會在移動時超出待檢測空氣過濾網之範圍 。如此 頭將無法有效率地利用進行檢測，甚至檢測頭 ° b θ才里^用以固疋空氣過渡網之框架或擋板而造成檢測 i^579twf.doc/n 201116817 。由此可知’習知的空氣過濾網祕檢測方法仍 有泎多改進的空間。 【發明内容】 本發明提出-種空氤過濾'網茂漏檢測方法，置 ^過渡_驗狀效率以轉確性，並可避免設備損 个發月托供一種空氟過濾網沒漏檢 有r之待過渡氣體由空氣過= -九過 中空氣過濾網具有彼此平行的第 一、/、弟—邊。繼之，於空氣過濾網之另—側提 Ξ頭=hf單元包括n個檢測頭’其中n為正整數'、且： σ空軋過濾網。然後，設定移動程序，使得 來回移動於第一邊與第二邊之間，從而 5 :冽碩 :::分。當檢測頭移動至第二邊時，檢; 伸方向移動設定麟，其巾設定轉小於各檢=邊 ♦並且’根據檢測頭的數量、各檢測頭的長产以及的 間的高度決定檢測頭來回移動於第-邊與ί二邊： 在本發明之—實施例中，檢測頭 :移動至第二邊、或由第二邊沿著水平方向邊;::鄉方 ’其中水平方_直於第三邊的延#方向。夕動至第— 在本發明之一實施例中，在設定移 下列式⑴決定檢測頭來回移動於^序的^驟中， <間的次數， 乐邊與第二 32579twf.doc/n 201116817 \j y ^ exz)xzxw如x2)xz-l)xC + y …式⑴ 笛示檢測頭的數量，β示檢測頭來回移動於 ^-邊與第二邊之_次數，w表示各檢_的長度，c 表示補償值，y表示空氣過濾網的高度。 在本發明之一實施例中，C等於5。 ίίίΐ之—實施例中，空氣過攄網固定於邊框上。 伸方^—實施例巾’各檢測頭在沿著第二邊的延 2向祕蚊距離前的位置，與在沿著第 向移動設定距離後的位置形成重 : 下列式(2)所示， 檟且此重i面積如 oi=2) (((«x2)x(//2)x-----式(2) 示檢測頭來轉數量，i表 f y表示空^表 動的設定距離。、、口者弟一邊的延伸方向移 測漏單元包括多個檢m。 包括根據下，;;;個檢移動前’更 其中，Gf ~、〇ΖΧ2ι —式(3) 长重疊面積，々鄰的兩個檢測頭之間的間距，OL # 在本發明之二it頭的 、&歹丨，在5又<移動程序的步驟令， 201116817 098Q023 32579twf.d〇c/n 更兰括在第j次使檢測頭來回移動於第 以祕檢測頭移動至第]起始位置，n二邊之間 :於或等於檢測頭來回移動於第-邊與 在本發明之—實施例中， 更包括，,檢測頭移\==:中’ Pj={w + G)xn + P〇 + Pj^ 始位置， 其中’ Pj表示第j起始位置，Pj !表f (4) w表示各檢測頭的長度，G表示起始位置， 間距’ P〇表示檢側頭偏移補償參數。、兩紙測頭之間的 定距離。^ 蝴巾’檢側顧移補償參數等於設 在本發明之一實施例中，為兮Λ 更包括設定檢測頭的移動速率。。又，動程序的步驟中， 2〇===一實施例中，設定檢測頭的移動速率為 η個單义包括傳動機構、 構上’且傳動機構適於帶動檢測頭移，配置於傳動機 ΪΪΪΪ:接個端處理單元與 傳動—讀出並處理粒 徑’並且檢測頭在來回移動時會: 201116817 32579twf,doc/n 因此本發明之空氣减網茂漏檢測方法可提高空氣過淚網 我漏檢測之效率以及準確性，並可避免檢取備損毁: —為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特 舉只施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。 【實施方式】

圖1為本發明-實施财，對—空氣碱網進行 檢的侧視示意圖。圖2為面對於圖】中空氣過濾網的 =圖。請參照圖1與圖2，錢，使具有微粒之待過濟 f 2H)由空氣過濾肩22〇《―側通過空氣過濾網22〇 其中空氣過濾、網22〇具有彼此平行的第—邊似盘第二邊 224。在本實施例中，空氣過濾網22〇例如是固定於 240上，以便進行後續的洩漏檢測。 繼之，於空氣過濾網220之另一側提供測漏單元23〇。 在本貫施例中，測漏單元23()例如包括一個檢測頭拉， 錢，頭232面向空氣過據網22〇。此處要注意的是，雖 良本貫施例是使用一個檢測頭232來作說明，但本發明實 際上亦可使用兩個或兩個以上檢測頭232，此部分 際需要而定，後面會有更為詳細的說明。 貝 在本實施例中，測漏單元230更包括傳動機構234、 粒子計數器236以及後端處理單元238。檢測頭232配 =動機構234上’且傳動機構234適於帶動檢測頭加 私動。在本實施例中，傳動機構234例如為三軸機械 或其他適於帶動檢測頭232移動的裝置。粒子 連接於檢測頭232’而本實施例所使用的粒子計數器。⑽ 201116817 098Q023 32579twf.doc/n =::=器此r π例中’例如可使用兩 其中-個檢測:母個粒子計數器236連接於 漏點或触量。㈣分別檢敎氣過_ 22〇的茂 236處理單元238與傳動機構234以及粒子計數哭 接/以控制傳動機構234之作動以及讀出並ii; 子汁數态236所輪出的信號。詳古之，者 ’ 理J元挪例如還可包括多個介財，例：:二= =卡計數器卡、職通訊卡、訊號1/〇卡，或其他: 圖3為本發明一實施例中，使用一個檢測頭進 過濾網洩漏檢測的移動路徑示意圖。然後，請參照圖 設定移動程序，使得檢測頭232來回移動於第一邊222與 第二邊224之間，從而掃描空氣過濾網22〇的所有部分了 當檢測頭232移動至第二邊224時，檢測頭232沿著^二 邊224的延伸方向D2移動設定距離d，其中設定距離1 小於檢測頭232的長度w’並且，根據檢測頭232的數量、 檢測頭232的長度w以及空氣過濾網220的高度y決|檢 測頭232來回移動於第一邊222與第二邊224之間的二 數。圖3所繪示的檢測頭移動路徑僅為舉例說明，本發明 非限於此。 檢測頭232 —次的來回移動包括：檢測頭232由第— 邊222移動到第二邊224、以及由第二邊224移動到第— 邊222。並且，檢測頭232是由第一邊222沿著水平方向 D1移動至第二邊224、或由第二邊224沿著水平方向D1 201116817 32579twf.doc/n 移動至第-邊222，其中水平方向D1垂直於第二邊似 的延伸方向D2。 θ具體而言，本實施例在設定移動程序的步驟中，例如 是以下列式(1)決定檢測頭232來回移動於第一邊222與 —邊224之間的次數， (-2)χζ·χ.,((,χ2)χζ_ΐ)χ〇 + , _ 式⑴ t Ϊ:，Π表示檢測頭232的數量，i表示檢測頭232 t移動於第-邊222與第二邊224之間的次數，w表示 縣度，c表雜償值，y表衫氣過遽網 220的向度。在本實施例中，補償值（：例如等於5。 讯定:ίΓ ^檢測頭在移動設定距離前、以及在移動 置的示意圖。請參照圖3與圖4，在本實 =中’各檢測頭232在沿著第二邊22 、 前的位置Ρ1，與在沿著第二邊二延伸 2向㈣設歧離d後的位置ρ2形 且此重豐，？L如下列式⑺所示， 槓 oz=- (j^ - x 2)+2) (((«x2)x(zV2)xw)-l)-w 式(2) 示檢^二’：表讀咖猶，i表 次數，w表示檢測頭23 ς 一—邊224之間的 的高度，表示邊框24〇的^ 1 Υ表不空氣過_ 220 fw)^^(2) t ' w ^ y 重叠面㈣來決又後，可根據 向D2移動的钟令扣祕」 ’口者弟一邊224的延伸方 〇又 。舉例來說，可將經計算而得的重 32579twf.doc/n 201116817 疊面積OL除以檢測㈣2的厚度t，從而得到設定距離心 在本實施例中，設定距離d大約為檢測頭232長度 一 半。 由於設定距離d小於檢測頭232的長度w，因此，者 檢測頭232每次來回移動於第—邊222與第二邊田 時，檢測頭232可重複確認空氣過濾、網22〇上之茂漏; 巧點細量等。換言之，以本實施例㈣ 式祆測空氣過濾網220可具有良好的準確性。 5林發㈣巾，使㈣個檢測頭進行空 虱過濾網洩漏檢測的不意圖。請參照圖5，在此一垂 中:例如，時使用兩個檢測頭232進行⑨漏檢測:圖 施例中，在使檢測頭232進行茂漏檢檢測前， 〇括根據下列3JJ整兩個檢測頭232之間的間距g， ^ — UL·X 2 ~~w _____ 式(3) 其巾，G表示相鄰的兩個檢測頭攻之間的間距，沉 表^疊面積，w表示各檢測頭232的長度。在其他未徐 例中，也可以使用兩個以上的檢 行^ 议彼此之間的間距J 乂使用上述式(3)求得多個檢測頭 在以蚊軸程相㈣巾 在 檢3 2Γ來回移動於第—邊222與第二邊= 2以則’使檢測頭232移動至第j起始位 ::檢測頭232進靡檢測的實施例來對此 32579twf.doc/n 201116817 圖6為本發明-實施例中，檢挪頭 意圖。請參照圖3與圖6，在檢測頭2起产位置示 的延伸方向D2移動設定距離d後， 二者弟—邊224 著水平方向m移動至第—邊上。會繼續沿 繼續由第-邊222沿著水平方向D1移=’在f 檢測頭232會先移動至第j起始位置(例如Pm 或 P5)。 、J P2、P3、P4 具體而言’本實施例在設定移動程序的步驟 是根據下列式(4)使檢測頭232移動 仿幻如 “斗额& 一弟J 位置， 其中，Pj表示第j起始位置，匕表示第Η起始位 w，不檢測頭232的長度，G表示相鄰的兩個檢測頭^ 之間的間距’ PQ表示檢側頭232偏移補償參數 、 例中，檢侧頭偏移補償參數Ρ0例如等於設定距離d Α也 由於本實施例僅使用一個檢_攻進㈣漏檢測， 因此檢測頭232之間的間距G等於零，而第j起始位置会 等於第j-i起始位置加上檢測頭232的長度w以^設定ς 離d。本實施例的第j起始位置僅為舉例，實際上，第. 起始位置可以是空氣過濾網22。上的任何位置，而檢侧頭J 偏移補償參數p〇例如還包括機械作動之補償。另外，本 領域具通常知識者，當可依照上述式(4)求得使 頭232的第j起始位置。 Μ巧 由上述實施例之說明，可依照式（1)決定檢測頭232來 回移動於第一邊222與第二邊224之間的次數，並依照式 (2)決定每次檢測頭232沿著第二邊224的延伸方向 201116817 -»2579twf.d〇c/n 動的設定距離d。在使用多個檢測頭232時，可在進行 漏檢測刖，先依照式(3)調整檢測頭232之間的間距〇。 外，可依照式(4)決定檢測頭232在每次來回移動於第一 222與第二邊224之間前的起始位置。 硬

簡言之，本發明可經過上述簡單的公式計算來設 需的檢測頭232移動路徑R。在本實施例中，例如可將^ Ϊ的檢測頭232移動路徑R資料輸入圖1所示的後端處^ I70 238中，使得傳動機構234依照所輸入的移動路徑R 二動裰測頭232移動，從而掃插空氣過濾網22〇的所有部 如此來，彳双測頭232可在整個空氣過濾網220之範 内有效率地完成洩漏檢測，並避免檢測頭232超出空氣 過濾網220範圍而造成設備損毁。 … 另外，在上述的實施例中，例如還可在設定移動程序 的^驟中設定檢測頭232的移動速率。舉例而言，在一實 ^例中，設定檢測頭232的移動速率為20〜150毫米/秒， 亚將其結果示於下列表1中。 表 移動速率 (毫米/秒) 20 洩漏位置

(-320, 165) 可偵測 可偵測 可偵測 (-530,217) 可偵測 可偵測 可偵測 (-905, 68) 可偵測 可偵測 可偵測 50

可4貞泪1j 可4貞須j 可偵測 可偵測 可偵測 可偵測 可偵測 可偵測_ 可偵測 12 201116817 ^八\一」32579twf.doc/n 80 可偵測 可偵測 偵測 可偵測 可偵測 可偵測 氣過#檢_ 232以不㈤的移動逮率對一空 始双測時，洩漏檢測的結果相當一致，檢測頭 恭° i彳貞測到空氣過濾網上的祕位置。換言之:本 空氣過濾網洩漏檢測方法可以有效率的完成空氣過 '慮A漏檢測°當'然，此處僅為舉例，本發明並不限制檢 測頭的移動速率。 綜上所述，本發_线顧、_驗齡法可根攄 =使用的檢_以及空氣過濾、網尺寸來決定檢測頭之移動 =:且檢_可在來回移動時重複確認a漏檢測結果， 因此本發明可提高空氣過濾、職漏檢測的準確性以及改 率:且避免tom備損毁。在部分的實麵巾，本發明’ 空氣過濾網洩漏檢測方法還可使用兩個以上的檢測^進一 茂漏檢測’ ϋ透過簡單的公式計算求得崎佳化的檢^ 間距，藉以進一步提高空氣過濾網洩漏檢測之效率。、 雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並二用c 定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，以m 離本發明之精神和範圍内，當可作些許之更^潤不= 本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所'界定= 13 201116817 ▽〜乂— 32579twf.doc/n 【圖式簡單說明】 圖1為本發明一實施例中，對一空氣過 檢測時的側視示意圖。 …、違行洩漏 圖2為面對於圖1尹空氣過濾網的示意圖。 圖3為本發明-實施例中，使用—個檢 過濾網洩漏檢測的移動路徑示意圖。 、沒仃空氣 士〜圖4為圖3之檢綱在移動設定距離 没定距離後的位置的示意圖。 及在移動 空 氣過例中’使用兩個檢崎行

意圖圖6㈣明—實糊中，檢物第j起始位置 【主要元件符號說明】 210 待過濾氣體 220 空氣過濾網 222 第一邊 224 第二邊 230 測漏單元 232 檢測頭 234 傳動機構 236 粒子計數器 238 後端處理單元 240 邊框 d :設定距離 14 32579twf.doc/n 201116817 fw :邊框的寬度 W :檢測頭的長度 y :空氣過濾網的高度 D1 :水平方向 D2 :第二邊的延伸方向 G:檢測頭之間的間距 OL :重疊面積 PI、P2 :位置 • Pi、P2、P3、P4、P5 :第 j 起始位置 15

Claims (1)

1. 201116817 2579twf.doc/n 七、申請專利範園： 1. -種空氣過濾網$漏檢測方法，. 使-具有微粒之待過濾氣體由―% · 通過該空氣過濾網，卫軋過濾網之一側 第-邊與-第二邊；亥工乳過據網具有彼此平行的- 於該空氣過濾網之另—側提供 元包括η個檢測頭，其令η為正整數該測漏單 該空氣過遽網；以及 ^二仏測頭面向 邊與該些^來回移動於該第-其中，冬該此 田該空氣過濾網的所有部分， 沿著該第二二邊時’該些檢測頭 離小於各該檢_的長度H轉，其巾該設定距 各該檢測頭的長度以及隸些檢測頭的數量、 頭來回移動於該第一邊過^罔的高度決定該些檢測 測方法，其中該些氣^網_檢 至該第二邊、或由該 ^亥弟一邊A耆-水平方向移動 邊’其中該水平冶者該水平方向移動至該第一 3·如申== 於該第二邊的延伸方向。 測方法，其中在設定^ 1項所述之空氣過據網沒漏檢 其一式⑴ 、不4檢測顯的數量，i表示該些檢測頭來 16 201116817 32579twf.doc/n 回移動於該第-邊與該第二邊之間的次數，w表示各 =的長度，C表示-補償值，y表示該空氣過濾網白^ t如申請糊_第3項所述之空氣 測方法，其中C等於5。 5·如申請專利範圍第丨項所狀空 測方法，其中該空氣過濾網固定於一邊框上。漏檢 6·如申!》專利範㈣5項所述之 測綠，其十各該檢測頭在沿著該第二邊的延 該設定距離後的位置形成-重疊面積，且該重疊面= 列式（2)所示， 至i茚槓如下 说=X 2) + 2) (((«x2^^plp^—~ -…式(2) 其中’OL表示該重疊面積 量'表示該些檢測頭來回^於 間的人數，w表示各該檢測頭的 π 故之 網的高度，〜表示該邊框的寬1長度’ Υ麵該空氣過據 7·如申請專利範圍第6項所、+，— 測方法，其十在設定該移動程序漏檢 該設定距離。 二邊的延伸方向移動的 8·如申請專利範圍第6 測方Γ如其/該測漏單元包括多個氣過途_漏檢 9.如申請專利範圍第δ 、頭" 測方法’其中在使該些檢 、Μ之空氣過據網攻漏檢 娜動河，更包括根據下列式 17 20 111681 7„579twfdoc/n (3)調整該些檢測頭之間的間距， G = 〇Lx2-w ——式(3) 一其中’ G表示相鄰的兩個該些檢測頭之間的間距，〇L 表不該重疊面積，w表示各該檢測頭的長度。 1〇.如申請專利範圍第1項所述之空氣過1網茂漏檢 測方法，其中在設定該移動程序的步騾中，更包括在第』 次使該些檢測頭來回移動於該第—邊與該第二$之間以前 使該些檢測頭移動至一第j起始位置，其中』為正整數， 且j小於或等於該些檢測頭來回移動於該第一邊與該第二 邊之間的次數。 、H:如申請專利範圍帛10項所述之空氣過渡網浪漏 才欢測方法其中在δ免疋該移動程序的步驟中，更包括根據 下列式(4)使各该檢測頭移動至該第』起始位置， Pj={^ + G)xn + P〇^Pji 式(4) 其中，Pj表示該第j起始位置，pH表示一第起始 位置，w表示各該檢測頭的長度，G表示相鄰的兩個該些 檢測頊之間的間距，PO表示一檢側頭偏移補償參數。 12·如申請專利範圍第u項所述之空氣過濾網洩漏 檢測方法，其中該檢側頭偏移補償參數等於該設定距離。 13.如申請專利範圍第1項所述之空氣過濾網洩漏檢 測方法’其中在設定該移動程序的步驟中，更包括設定該 些檢測頭的一移動速率。 M.如申請專利範圍第13項所述之空氣過濾網洩漏 檢測方法，其中設定該些檢測頭的該移動速率為20〜150 毫米/秒。 15.如申請專利範圍第1項所述之空氣過濾網洩漏檢 18 201116817 32579twf.doc/n 測方法，其中該測漏單元更包括： 一傳動機構，其中該些檢測頭配置於該傳動機構上， 且該傳動機構適於帶動該檢測頭移動； η個粒子計數器，其中每個該粒子計數器連接於其中 一個該檢測頭；以及 一後端處理單元，與該傳動機構以及該些粒子計數器 連接，以控制該傳動機構之作動以及讀出並處理該些粒子 計數器所輸出的信號。

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