201104832 六、發明說明： c考务明戶斤屬时冷貝3 發明領域 本發明係有關於一積體電路及一積體電路封裝體。 c先前技術3 發明背景 典型地’積體電路(1C)具有一 ESD(靜電放電）保護電 路。在一 ESD事件期間該ESD保護電路透過箝制ESD應力承 力端（ESD-stressed terminal)來保護1C之數個部分及將靜電 放電電流從1C之受保護的部分移開，且因此釋放應力能量 而不破壞1C。 眾所周知的是將這樣的E S D保護電路提供給具有功率 閘控能力之積體電路。這樣的積體電路典型地包括一個或 -個以上晶片上半導體開關，此後在文中稱為閘控開關， 它們將-個或-個以上電路區塊之局部電源及㈤接地端 (此後在文巾稱為閘控域)分別連接社_或連續電源及/ 或接地端。閘控開關在-閉合(連接)狀g中具有低阻抗及在 -斷開（未連接)狀態中具有高阻抗。供應給電_ ^之電 源可由閘控開關之狀態致能或去能。因此，#不需要時， 供應給-閘控域之電源可暫時關閉，例如以降低積體電路 之總功耗或降低雜訊位準。此暫時關閉時間還可稱為“低電 量模式”或“被動模式”。當閘控域之電路區塊再次遭需要 時，它們遭啟動到一“主動模式”且開關處於導通狀態，而 能夠連接到電源或接地端。 201104832 如M.-D. Ker、C.-Y. Chang、Y.-S. Chang所著之“ESD protection design overcome internal damages on interface circuits of CMOS IC with multiple separated power pins，，-2002年第15屆年度IEEE國際ASIC/SOC會議之會議記 錄第234-238頁所述，若一積體電路具有含不同電源之不同 電路區塊，則施於一電路區塊之ESD應力可對與另一電路 區塊之介面造成破壞。 S. Sofer、Y. Fefer、Y. Shapira所著之“Indirect ESD stressing mechanism in a VLSI circuits having multiple isolated power domains’’-2006年第 32屆 ISTFA 2006會議之 會議記錄之第389-392頁描述了施於一電路區塊之esd應力 確貫可對位於與ESD應力所施加到之該區塊隔開之另一電 路區塊内之一區域造成破壞。因此，若具有閘控能力之一 積體電路遭受一ESD事件，則ESD應力可穿過(數個）未受保 護的閘控域且破壞(數個）閘控域之數個部分，諸如在電源閘 控域之介面處之半導體組件。
【明内J 發明概要 本發明提供了一積體電路及一積體電路封裝體，如所 附申請專利範圍中所述。 本發明之特定事實例在申請專利範圍附屬項中提出。 本發明之此等及其它層面在下文描述之實施例中是顯 而易見的且匕們參考该等實施例而被闡述。 圖式簡單說明 201104832 參考圖式’本發明之其它細節、層面及實施例將〇、透 過舉例方式予以描述。該等圖式中之元件遭說明已達到簡 單明了之目的且不一定按照比例繪示。 第1圖概要地顯示了一積體電路之—實施例之—範例 之方塊圖。 第2圖概要地顯示了適於第1圖之該範例之一閘控電路 之一範例之電路圖。 第3圖概要地顯示了一積體電路封裝體之一實施例之 方塊圖。
【實施方式：J 較佳實施例之詳細說明 因為本發明所說明之實施例可能大部分利用熟於此技 藝者所了解的電子組件及電路來實施，所以在任何超過被 視為理解及明白本發明之基本概念所需之範圍的範圍中的 細節將不予以解釋，這也是為了不混淆本發明之教示或從 中岔開。 參考第1圖’其中顯示之一積體電路(IC)1之範例包含一 電源節點10、一接地節點u、一靜電放電保護結構13、一 閘控域14及一閘控開關15。例如，經由該1(： 1所處之一1(： 晶粒上之一塾片’該電源節點1〇可連接到一電源電壓(Vdd) 且該接地節點11連接到接地端(GND)。 在顯示的該範例中，該靜電放電保護結構是專門提供 ESD保護之一ESD保護電路13，其將該電源節點1〇實體連接 到該接地節點11且如果發生一ESd事件則提供將靜電放電 201104832 導致之靜電放電電流從該積體電路1之受保護部分移開之 電氣連接。更特定地’在此範例中，如果ESD應力施加 在°玄電源節點與該接地節點之間，則該ESD保護電路13在 °玄電源即點與該接地節點之間產生（以一主動方式或一反 應方式）一低阻抗路徑。例如，該ESD保護電路13可箝制該 電源即點ίο與該接地節點u且因此提供靜電放電，將esd 電流從該積體電路1之受保護部分轉㈣。顯然可使用任-恰备的ESD保護電路，諸如習知的符位電路。 若不存在對该積體電路施加應力之一ESD，則在該1C 之正常工作期間或當該1C未工作時(例如，未連接到任一電 源時等’諸如在製造出該積體電路後但在將其安裝到一板 上之則）’該ESD保護電路可以不作為，但當一ESD事件攻 擊該積體電路時’該咖保護電路將採取行動，這降低了 破壞該積體電路之風險。 在顯示的該齡j巾，該ESD保護電路13是提供在與該 閘控域14所處晶粒為同一晶粒上之一片上電路。然而，另 外地或者可選擇地，該ESD保護電路13可以是一外部電 路，例如提供在晶粒上及例如經由接合線或一焊料 連接而連接到該電源節點10及該接地節點u。而且，另外 地或可選擇地，顯然1¾靜電放電保護結構可以是—自保結 構。 …’。 在此顯示的範例中，該閘控域14關於該電源節點受供 電閘控。然而，該閘控域14可以以另一方式 且例如可選擇地或㈣地關於該接地節點受接地端 6 201104832 在第1圖中’顯示了一閘控開關15。在此範例中，該閘控開 關15關於第1圖中之該電源節點10對該閘控域進行閘控，且 可稱為供電閘控開關。然而，可選擇地或另外地，該閘控 開關可關於該接地節點對該閘控域14進行閘控，在此情況 下該閘控開關可稱為接地端閘控開關或者獨立的接地端問 控開關可存在。 該閘控開關15在一連接狀態中致能且在一斷開狀態中 阻止該閘控域14與該電源節點10之間的一電氣連接。藉 此’該供電閘控開關15可控制是否給該閘控域14供電。可 選擇地或另外地，當該閘控開關15關於該接地節點^對該 閘控域14進行閘控時，該閘控開關15可分別在該連接狀態 及該斷開狀態中致能及阻止該閘控域14與該接地節點^之 間的一電氣連接。 已經發現，在一ESD事件期間，該閘控開關之阻抗可 表現出一非確定性行為，這導致，例如該電源閘控域與該 ESD保護完全或部分斷開。因此，在這樣的情況下，該閘 控域可關於該電源及/或接地端之域（此後文中稱為連續電 源域)遭隔離。 如圖所不，該積體電路1包括ESD閘控電路130。如果 發生一靜電放電事件，該ESD閘控電路13〇控制該閘控域使 其電氣連接到該電源節點（或該接地節點）。若沒有發生— ESD事件施力於該積體電路，則該ESD閘控電路13〇不控制 該連接。 因此’ @閘控域可受益於該ESD保護結構所提供之保 201104832 護且防止因一ESD事件對該閘控域14造成破壞。 在第1圖中，出於說明之目的，該ESD閘控電路130顯 示為連接到該閘控開關15且例如可控制該閘控開關15之狀 態，使得如果發生一ESD事件，諸如當一靜電放電在該電 源節點及接地節點之間產生一電流時，則該閘控開關15處 於該連接狀態。該電流可，例如從該電源節點10流到該接 地節點11或者從該接地節點11流到該電源節點10，且可由 該靜電放電保護電路13從例如類比或數位電路17與19轉移 開。儘管如此，如果發生一靜電放電事件，該ESD閘控電 路130也可以以適用於該特定實施態樣之任一方式控制該 閘控域使其電氣連接到該電源節點及/或該接地節點。因 此，該ESD閘控電路130可以以適於該特定實施態樣之任一 方式實施。 如第1圖中所示，該閘控域14可包含一域介面電路18及 類比或數位電路19。該域介面電路18將位於該閘控域14中 之該類比或數位電路19連接到另一域16，該另一域16包含 由該ESD保護電路13保護之數位或類比電路17。在此範例 中，該另一域不是關於該電源節點10或該接地端11受閘控 之一連續域16。然而要認識到，該域16可受閘控且該閘控 開關15可將該閘控域14連接到不包括ESD保護電路之域。 在第1圖之該範例中，顯示了將該閘控域15中之該域介 面電路18連接到該連續域16中之該類比或數位電路17之阻 抗Z,及將該閘控域14之該本地接地端連接到該接地節點11 之阻抗Z2。該等阻抗Zj、z2形成了一路徑之一部分，一有 8 201104832 害ESD電流可經過該路徑流入該閘控域14，因此這可對例 如該域介面電路18之數個部分造成破壞。如第2圖所示，例 如’該域介面電路可包括一CMOS電晶體，該CMOS電晶體 之閘極經由阻抗Z|連接到該連續域，且例如該esd電流可 破壞該CMOS電晶體之PMOS部分之閘極氧化層。該esd閘 控電路130允許確保該ESD電流由該ESD保護電路丨3〇轉移 開且因此防止破壞該介面電路18。 如前所述，該ESD閘控電路130可以以適於該特定實施 態樣之任一形式實施。若發生一ESD事件，該eSd閘控電路 130可以以多種方式控制該閘控動作。例如，若發生一第一 類ESD，該ESD閘控電路130可致能該經過該閘控開關15之 路徑的一旁路，或者例如若發生ESD電流方向與該第一類 不同的一第二類ESD，控制該閘控開關15之狀態。 更特定地’如第2圖中之該範例所示，例如，該靜電放 電閘控電路130可包含該電氣連接之一旁路，其在發生ESD 事件時遭致能。如圖所示，該旁路可提供介於該閘控開關 15之電流端15 2、15 3之間的一路徑，作為該介於該等電流 端152、153之間經過該閘控開關15的路徑之一備選方案。 例如，該旁路可包含一旁路開關131，如果發生一靜電放電 事件其致能该旁路。例如’該閘控域14可具有連接到該接 地師點11之一本地接地端GNDL(在此範例中係經由阻抗 且該旁路開關131可具有連接到該本地接地端gndL之一控 制輸入’當遠本地接地端與該電源節點之間的一電壓差超 出一預定限定值時，該控制輸入致能該旁路。 201104832 在第2圖之該範例中，例如，該閘控開關15作為一電晶 體開關貫施’其狀態可經由一開關控制節點i5i(例如，由 閘控單疋，圖未示）控制。該旁路開關ΐ3ι作為一電晶體 開關實施’其控制端（例如，其閘極）連接_本地接地端 GND而電流端（例如’分別為源極與祕)連㈣該開控開 關15之該等電流端。如果-ESD事件使該接地端電壓上升 且產生從該接地節點U朝該電源節點丨〇之方向流動的一 ESD電流，以至施加於該控制端之電壓（例如，該接地端電 婴)超出+刀換限定值，則這將導致該旁路開關斷開。因此 -玄旁路開關131將致能料路’ II此麵該問控域19電氣連 接到該電源節襲_接地節點i卜因此，脚D保護電 路將保4㈣控域19。應當指出岐，該切換限定電壓可 、預先確定且可具有任何恰當的值以確保該旁路在一 esd 事件期間可遭致⑨而在就正常工作期間不影響該閘控機 制。 在第2圖之該範例中，該旁路開關131遭安排以致能該 旁路來轉移-負放電電流(例如，從接地端到電源）。在顯示 的該範例巾’該電關_是單向的且財路致能在與該 電源開關15之方向不同的另-方向中流動的膽電流之轉 移。例如，該ESD應力可具有與該電源開關15之方向不同 的極性或者該ESD極性在該應力事件_可相反。然而， 可選擇地或另外地，該旁路可遭致能以轉移—正放電電流。 如第2圖所示，更特；t地，例如該^路開關i3i可作為 一傳輸型電晶體而實施’在此範例中為—圓〇sfet(n型金 201104832 屬氧化物半導體場效電晶體），其閘極連接到該本地接地端 GNDL。 再次參考第2圖，除了該旁路外或可選擇地，該ESD閘 控電路13〇可包括閘控開關控制電路132，當發生一靜電放 電事件時，其迫使該閘控開關15處於該連接狀態，例如， 這產生了從該電源節點到該接地端之一電流或一相反電 流。 如第2圖中所示，例如，該閘控開關15可具有一控制端 151，在该控制端151處可提供控制該閘控開關15之狀態之 一控制電壓。在此範例中，當該控制電壓處於一預定範圍 中時，4閘控開關151處於該連接狀態。該閘控開關控制電 路132可包含一控制開關（該範例中之電晶體M2)，如果發生 一ESD事件（諸如使該電源電壓上升且產生以一正方向即從 忒電源節點1〇朝該接地節點i〖流動之一 ESD電流之一 ESD 事件）’其（回應於該閘控開關之一端處之一節點與該閘控開 關之另一端之一節點之間的一電壓差超出一預定限定值）將 該控制端151連接到具有該預定範圍中之一電壓的一節點。 如果該電源節點與該閘控域之一閘控供電節點之間的 電位差表現出針對該ESD事件之行為特性，該閘控開關控 制電路13 2錢作巾時可㈣該閘控關丨5使其處於該連 接狀也且因此，控制該閘控域14使其電氣連接到該電源 節點10 (或在該接地端閘控情況下連接到該接地 節點11)。例 如’該電位可超出1纽定值及/或表現出 關於一ESD事 件之史化率特性，及可設定例如至少200V〜sec的-恰當 11 201104832 迴轉率（slew rate)，其觸發對該間控開關之狀態的控制。顯 然，當該電位差未表現出ESD特性行為時，例如當該改變 率低於一ESD特性迴轉率時，該閘控電路可遭安排而不起 作用，即不控制該閘控開關。 如第2圖中所示，例如，電晶體厘2之該控制端連接到 介於一電晶體Ml之控制端與一電晶體厘3之一電流端之間 的一節點，而該電晶體M2之電流端分別連接到接地端及該 控制端151。該等電晶體Ml、M3形成一微分電路，使得該 節點N1處之電壓與該電源電壓vdd之變化率成比例。當該 變化率低於一限定值時，該等電晶體M3確保該電晶體M2 導通，即沒有電流可流過該電晶體]^2，且因此該控制節點 151與該接地端GND斷開，即，Ml、M3電路不影響開關電 晶體15之狀態。例如，該限定值可與2〇〇v/^ec之一變化率 相對應。當该電源節點1〇與該接地節點丨丨之間的該電壓差 快速增長且該變化率超出該限定值（其對應於ESD事件且不 月b發生於δ亥1C晶片正常工作期間）時，該等電晶體Μ1、μ] 使该電晶體M2之閘極不導通，藉此將該控制端151連接到 接地端GND，引起該控制端151放電（如果任一電荷存在的 話)且使該閘控開關15處於一連接狀態。 更特定地，如所述，在第2圖之該範例中，電晶體1^1 及成一微分電路，其中該電晶體μ丨作為M〇s電容器 且電晶體M3作為（大）電阻器。該電源節點⑴與該閘控電源 域之該本地接地端GNDL之間的正電壓之一快速增長將使 該MOS電容器Ml充電。此充電將在該電晶體^^兩端造成 12 201104832 一壓降’該壓降與該正電壓之變化率成比例。當該壓降超 出該電晶體M2之該切換限定值時，該下拉電晶體M2將把該 控制端151連接到該接地端GNDL且因此該閘控開關15導 通’即處在該連接狀態，其接著將該隔離的電源域連接到 該連續的電源域且因此確保其ESD保護。 該開關電晶體15之上述不導通使得該MOS電容器Ml 之電容電流停止且因此該電晶體M3之該壓降消失且該節 點N1處之該電壓降到低於該限定值且使該電晶體M2導 通。在這樣的情況下’該開關15之該閘極151處之電壓將處 於零，且s玄ESD也已完成。在該ic晶片之正常功能操作期 間，由於經由該電晶體M3之漏電流使該節點N1處於該本地 接地端電壓，該電晶體M2之閘極可連到該本地接地端 GNDL ’藉此該電晶體M2導通且不干預該正常的開關控制。 參考第3圖，顯示了一積體電路封裝體之一範例。顯示 的該範例包含可以是例如第丨圖t所示的一積體電路及遮 蓋該積體電路1之至少部分之一蓋子1〇〇(在第3圖中顯示該 封裝體為一打開狀態中）。該封裝體具有連接到該電源節點 之一第一接腳11〇及連接到所示之該接地節點丨丨之一第二 接腳ill，阻抗zPS〆4於該第一接腳11〇與該電源節點1〇之 間，而阻抗zPG1、zPG2分別位於該第二接腳lu與該接地節 點η之間及該第二接腳U1與該閘控域之該介面電路18之 間。該ESD閘控祕130確保該問控域14受胁該贈保護 且可降低-ESD電流經過zPG1、接地節點丨丨、2^ΖΑΖρ〇ι 流入該閘控域14之風險。 13 201104832 在以上說明書中，已I者太欢αΗ 發月之實施例之特定範例 描述本發明。然而，應當明 τ對本發明做各種修改及改 .吏而不脫離所附申請專利範圍提 範圍。 ㈣出之本發明之廣泛精神及 例如，本文描述的該半導體結構可以是任 料或材料之組合，諸如石申化鏡、石⑽a # οο τ化錄石夕錯、石夕絕緣體（SOI)、石夕、 早晶矽或類似材料及上述材料之組合。 本文所討論的該等連接可以是適於例如經由中間 =等各個節點、單元或裝置傳遞信號或者例如經由竹 1將信號傳遞到該等各個節點、單元或裝置之任意類型 之:妾。因此，除非暗示或另有說明，該等連接可以是例 η直接連接或間接連接。該等連接可根據作為—單 2、多數個連接、單向連接、雙向連接而遭說明或描述。 “、、'而’不同的實施例可改變該等連接之實施態樣。例如， 可使用獨立的單向連接而不使用雙向連接且反之亦然。而 =多_連接可用連續地或以—時間多卫形式傳遞多個 —早—連接替代。同樣，攜帶多個信號之單一連接 可分成攜帶此等信號之子集之各個不同連接。因 用於傳遞信號之很多選擇。 =如’在-個實施例中，該等說明的範例可作為位 '早-積體電路上或同一裝置内的電路實施。可選 地，該等範例可作為以一恰當方式 Γσ田万式彼此互聯的任意數目個 蜀積體電路或獨立裝置而實施。 然而，其它修改、變更及替代也是可能的。因此，本 14 201104832 說明書及圖式可被視為是作說明而非限制性。 在該等申請專利範圍中，位於括號内的任何參考標記 不應當解釋為限制該申請專利範圍。該詞“包含”不排除存 在那些接著列在一項申請專利範圍中之其它元件或步驟。 而且，本文中使用的該等用語“一⑻’’或“一（an)’’可定義為一 個或不止一個。而且，在該等申請專利範圍中使用之介紹 性短語諸如“至少一個”及“一個或一個以上”不應當解釋為 由該等不定冠詞“一（a)”或“一（an)”引入之專利範圍之另一 元件將包含此引入之專利範圍之元件的任一項特定專利範 圍局限於只包含一個這樣元件之發明，即使當該同一項申 請專利範圍包括該等介紹性短語“一個或一個以上”或“至 少一個”及諸如“一（a)”或“一（an)”之不定冠詞。這同樣適用 於定冠詞之使用。除非另有說明，諸如“第一”及“第二”之 用語用來任意地區分這樣的用語所描述的元件。因此，此 等用語不一定用來表示此等元件之時間或其它優先順序。 某些方法列舉於彼此不同的申請專利範圍中這一事實並不 表示此等方法之一組合不能用來獲利。 【圖式簡單說明】 第1圖概要地顯示了一積體電路之一實施例之一範例 之方塊圖。 第2圖概要地顯示了適於第1圖之該範例之一閘控電路 之一範例之電路圖。 第3圖概要地顯示了一積體電路封裝體之一實施例之 方塊圖。 15 201104832 【主要元件符號說明】 ίο. ·.電源節點 11.. .接地節點、接地端 13.. .靜電放電保護結構、ESD保護電路 14.. .閘控域 15.. .電源閘控開關、電源開關、供電開關、開關電晶體 16.. .連續域 17.. .類比或數位電路 18.. .域介面電路 19.. .類比或數位電路、閘控域 100.. .蓋子 110.. .第一接腳 111.. .第二接腳 130.. .ESD閘控電路、ESD保護電路 131.. .旁路開關 132.. .閘控開關控制電路 151.. .開關控制節點、控制端、閘極 152、153...電流端
Ml...電晶體、MOS電容器 M2...下拉電晶體 M3...電晶體 N1...節點 Ζι、Z2、Zpsi、Zpgi、Zpg2···阻抗 16