TW201040394A - Multi-inlet vacuum pump - Google Patents

Description

201040394 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種多入口真空泵。 各種多入口真空栗爲在一共同殻體中包括複數個泵 裝置，其例如被設置成多個渦輪分子泵，可選用地以一霍 爾威克級（Ho lweck)相連接。各個泵裝置通常被一共同轉 子軸所承載並被一單一電動馬達所驅動。此泵殼體包括一 主入口，其提供用以藉第一泵裝置之運轉而吸入第一流體 0 流。在通過第一泵裝置之後，此第一流體流將藉由第二泵 裝置及可選用之另外泵裝置而朝向一出口方向被輸送。介 於第一與第二泵裝置之間，一中間入口被提供用以藉第二 泵裝置之運轉而吸入第二流體流。因此，此第二泵裝置將 朝向一出口方向輸送第一及第二流體流。可選用地，一第 二中間入口被設置在第二泵裝置與一第三泵裝置之間。藉 此第三泵裝置，一相應之第三流體流也朝向出口方向被輸 送，其中所有此三股流體流隨後都由此第三泵裝置所輸 〇 送。 【先前技術】 由EP0919726案可知一種多入口真空泵，其中第一 泵裝置之諸轉子盤的外徑係小於第二泵裝置之諸轉子盤 的外徑。因此，一相當高之吸引能力將形成於中間入口處。 【發明内容】 本發明之一目的在於提供一種多入口真空泵，其在中 間入口處具有經改良之分壓並提供可增強吸引能力之可 201040394 能性。 根據本發明，上述之目的可藉由一包括在申請專利範 圍第1項中所界定之多個特徵的多入口真空泵而達成。 本發明之多入口真空泵包括一第一泵裝置，其較佳係 一渦輪分子泵。此第一泵裝置包含一第一轉子元件，具有 複數個第一轉子盤串接地配置在輸送方向上。此多入口真 空泵包括另一泵裝置，其同樣較佳係一渦輪分子泵。此泵 裝置包含另一轉子元件，具有複數個轉子盤串接地配置在 Ο 輸送方向。根據本發明所實施之一多入口真空泵包括至少 兩個泵裝置，而可選用地亦可設置較多數量之栗裝置。此 多入口真空泵具有一主入口，藉由第一泵裝置可經此吸引 一第一流體流，而此第一流體流接著朝向另一（尤其是第 二）栗裝置之方向被輸送。經由一中間入口 ’另一流體流 可藉由該另一泵裝置而被吸引。可選用地，可設置複數個 中間入口以及複數個泵裝置，而此諸中間入口較佳地被配 置在兩相鄰之泵裝置間。較佳地，此兩股流體流係朝向一 〇 栗出口之方向被輸送。 根據本發明，此諸流體流之混合不會直接發生在中間 入口之區域中。因此，此兩股流體流之混合較佳地係在— 並非位於此中間入口內而是位於該泵裝置內之區域中進 行。由於經由主入口所吸引之氣體混合物可能具有一與經 由中間入口所吸引之氣體混合物不同之成分，所以本發明 之諸流體流在一並非位於此中間入口內之區域中混合係 有利的，因諸分壓間之比例因而將較小程度地被影響。較 201040394 佳地，此諸流體流之混合係僅在該另一泵裝置內進行，尤 其在第二泵裝置之兩相鄰轉子盤間進行。較佳地，此混合 係在該另一泵裝置之第一與第二轉子盤間發生。 在一包括第二中間入口或多個另外中間入口之多入 口真空泵中，介於第二與第三泵裝置之間及各別地介於諸 相鄰泵裝置之間的區域一般而言均當然可用一與上述方 式相當之方使而被構形。在此，例如第二與第三流體流之 混合將在一並非位於相關之中間入口內（較佳地例如第三 〇 栗裝置內）之區域中進行。 該另一（例如第二）轉子盤之直徑係較佳地至少部分 地大於第一轉子盤之直徑。較佳地，該另一栗裝置之複數 個（尤其是全部）轉子盤之直徑係大於第一轉子盤之直徑。 根據本發明之一較佳實施例，該另一泵裝置之至少第 一轉子盤在輸送方向上（亦即，較佳地在轉子軸之軸向方 向上）配備有一貫穿孔。經由此貫穿孔，第一流體流將至 少部分地以及較佳全部地流入該另一（例如第二）泵裝置 〇 內。此貫穿孔較佳被徑向地配置在承載多個輪葉之該另一 泵裝置的第一轉子盤內。因此，諸流體流之混合在第一流 體流已通過此貫穿孔之後被造成。因爲只有該另一泵裝置 之第一轉子盤包括多個貫穿孔，故諸流體流之混合將發生 在該另一泵裝置之第一與第二轉子盤間。可選用地，該另 一泵裝置之複數個轉子盤以可配備多個貫穿孔，以便使諸 流體流之混合將不只在該另一泵裝置之第一與第二轉子 盤間進行，且還在該另一泵裝置之諸另外轉子盤間進行。 201040394 根據本發明之一較佳實施例，假使該另一泵裝置之至少一 部分轉子盤具有一比第一栗裝置之諸轉子盤之直徑大之 直徑，則此諸貫穿孔之設置具有下列功效：由於諸轉子盤 之直徑的改變，第一流體流並非必須被徑向向外地偏轉， 以致此兩流體流之混合不發生在中間入口之區域中。代替 地，此兩流體流之混合將例如立即發生在第二泵裝置之第 一與第二轉子盤間。此外，該第二泵裝置之諸另外轉子盤 亦可具有多個貫穿孔，所以使此兩流體流之混合將不只在 兩個轉子盤之間進行，且還在很多之轉子盤間進行。此將 可減小諸貫穿孔在輸送方向上之總截面積’以便使一部分 之第一流體流在兩個相鄰轉子盤之間始終被強制與第二 流體流相混合，且較小部分之第一流體流將以一未混合之 狀態持續流動，而與第二流體流之混合將只發生在下兩個 轉子盤之間。 此被至少設置在該另一泵裝置之第一轉子盤中之貫 穿孔較佳包括複數個個別孔。較佳地’這些個別孔係沿著 一圓形線被配置。藉此可確保的是，諸轉子盤之穩定性不 會因許多個別孔之設置而受影響，而此諸個別孔較佳地係 以一規則之形狀被配置在一圓形線上。 爲了防止較大部分之第一流體流不流經諸貫穿孔而 是朝向中間入口之方向徑向向外流’根據一較佳實施例而 提供一較佳地成徑向配置之殻體壁被設置在諸相鄰之泵 裝置間。較佳地，此殼體壁被密封地連接至該泵殼體之一 殻體外壁，並延伸至該貫穿孔或轉子軸之臨近區域。較佳 201040394 地，此殼體壁被構形爲可使一環形孔被形成於此殼體壁與 轉子軸之間。當朝流動方向觀看時，形成於該另一泵裝置 之一或複數個轉子盤中之諸貫穿孔被配置在此環形孔 內。藉此可避免在該環形孔與該等貫穿孔之間發生第一流 體流之偏轉。因此，第一流體流在從第一泵裝置處流出之 後，將經由殼體壁之貫穿孔流動，並接著經由該另一泵裝 置之第一或該複數個轉子盤，然後在該另一栗裝置中與第 二流體流相混合。 Ο 根據另一較佳實施例，其亦爲體現本發明使兩流體流 之混合不會發生在一中間入口內之原理，一流動通道被形 成於諸相鄰之泵裝置間。至少一流動通道被配置以將第一 栗裝置之一出口連接至一位於該另一泵裝置內之區域。 較佳地，可達成上述功效係因爲至少一流動通道被至 少部分地配置在一承載諸轉子元件之轉子軸內。根據一較 佳實施例，爲了形成一流動通道，轉子軸上設置一較佳地 朝縱長方向延伸之溝槽。因此，在設置複數個流動通道之 ^ 情形下，將提供複數個溝槽，其等較佳成相互平行地延伸 於轉子軸之縱長方向上。在此，諸溝槽較佳地被對稱地安 置在轉子軸之周圍。較佳地，諸溝槽例如藉由銑製而被形 成於此轉子軸之外圍表面上。爲了形成一在周圍方向上被 閉合之流動通道，根據本發明可使此諸溝槽被一罩體及/ 或一轉子元件之內側所覆蓋。在此特佳之實施例中，第一 流體流在通過第一泵裝置後將流入諸流動通道內（較佳係 完全地流入），而此諸通道較佳係成複數個被設置。第一 201040394 流體流將流經諸流動通道’接著將再度地從諸流動通道處 流出，較佳地係在另一泵裝置內’且更佳地係在相鄰之栗 裝置內。依此方式，第一流體流與另一經由一中間入口吸 入之流體流的混合將不在該中間入口內而是在第二栗裝 置內發生。 根據另一個實施例’轉子軸被形成爲一中空軸。較佳 地，一旦第一流體流通過第一泵裝置，將經由形成於轉子 軸中之一或複數個第一橫向孔而分別流入流動通道及轉 〇 子軸內。較佳地，可設置複數個第一橫向孔’其徑向地分 布於此中空軸之周邊。經由至少一個及較佳地複數個橫向 孔，該第一流體流較佳地分別從流體通道及中空軸之內部 被導入該另一泵裝置中。根據一特佳之實施例’這可在第 二泵裝置之兩相鄰轉子盤間進行，尤其朝輸送方向於第一 與第二轉子盤間進行。亦可用一種使第一流體流之流入發 生在第二泵裝置之複數個區域中（亦即，例如在第一與第 二轉子盤及亦在第二與第三轉子盤間）的方式配置諸第二 Ο 橫向孔。 根據本發明包括多個流動通道與較佳地多個溝槽之 上述實施例，在一修改型式中一密封盤被配置在在第一泵 裝置之出口區域中。此較佳地成徑向延伸之密封盤將有效 確保第一流體流將大部分且較佳完全地被導引於該至少 一流動通道之方向上。在此，此密封盤可對應於被安置在 諸相鄰轉子盤間之諸定子盤而被構形且各自地配置。此密 封盤可經由一定子環件以一類似於諸定子盤之配置的方 201040394 式而被固持於殻體中，或其可被緊緊地連接至該殼體。此 密封盤延伸至一接近轉子軸之區域，以致使一小的密封間 隙形成於密封盤與轉子軸之間。如果設置一密封盤，該溝 槽或該等溝槽之入口在從輸送方向觀看時較佳地係配置 在第一栗裝置之最後一個轉子盤與該密封盤之間。 根據另一較佳實施例’代替安裝一密封盤，而是將第 一泵裝置之至少該最後一個轉子盤構成爲可產生一逆向 流。第一泵裝置之此最後一個轉子盤因此係相反於此真空 Ο 栗之主輸送方向。藉此轉子盤，由中間入口所吸引之該另 一流體流的一部分將於與此主輸送方向，亦即在第一泵裝 置之方向相反之方向上被輸送。在此另一較佳實施例中， 諸第一橫向孔及/或諸溝槽之入口被配置在第一泵裝置之 最後兩個轉子盤間，亦即在產生一逆向流之最後轉子盤與 此栗裝置被操作以供在主輸送方向上輸送之最後轉子盤 間。藉此所產生之逆向流可確保第一流體流將在流動通道 方向上被偏轉，尤其在諸溝槽及諸第一橫向孔之方向上。 〇 在此實施例中，上述之密封盤可被省除。 根據本發明之第一實施例，一經由中間入口被吸入之 流體流將被分流，隨後此另一流體流之一部分將在相反方 向流動。在此實施例中，不只是第一泵裝置之最後轉子盤 被構形爲可產生一逆向流，而且較佳地是複數個轉子盤將 產生一逆向流。這些轉子盤被操作不只產生一逆向流，且 還同時壓縮正流入逆向流中之該另一流體流的該部分。流 入逆向流中之該另一流體流的該部分將與第一栗裝置內 -10- 201040394 之第一流體流相混合。第一流體流連同朝相反方向被輸送 之該另一流體流的該部分將流入多個流動通道內。同樣 地’在此諸流動通道較佳地係以多個被配置在轉子軸中且 延伸於縱長方向上之溝槽形式被設置，或係以如上所述之 多個橫向孔之型式被設置。接著第一流體流將連同該另一 流體流的該部分而朝另一泵裝置之方向流過諸流動通 道。在此另一泵裝置內，此流體流將再度從該至少一流動 通道處流出，以便使此流體流將在該另一泵裝置內與經由 Ο 中間入口所吸引之該另一流體流的該部分相混合。 根據另一較佳實施例，上述諸個別實施例至少部分可 彼此相互組合。特別地，如第一實施例所述，至少在另一 泵裝置之第一轉子盤中設置一貫穿孔之情形，可與設置至 少一流動通道組合，所以第一流體流之一部分將流過該至 少一貫穿孔及一部分將流過該至少一流動通道。 【實施方式】 第1圖顯示一與本發明相關之多入口真空泵的一部 ◎ 分。此多入口真空泵的部分包括一第一泵裝置10及另一 或第二泵裝置12’其都被配置在一共同之殼體中。在此 殼體中’如第1圖右手邊上所示，可額外設置一諸如霍爾 威克級之第三泵裝置。 第一泵裝置10包括一被配置在一轉子軸16上之轉子 元件18。在本實施例中，轉子元件18包括五個被徑向定 向之轉子盤20。此諸轉子盤20包括複數個可供輸送流體 (尤其是氣體）用之轉子輪葉。多個固定不動之定子盤 -11- 201040394 22被配置在諸相鄰的轉子盤20之間。此諸定子盤22例 如藉助於環形件而被固定地保持在殻體1 4中。 在本實施例中由兩個軸承24所支撐之轉子軸16亦承 載第二泵裝置12之另一或第二轉子元件26。在本實施例 中，此第二轉子元件26同樣地包括五個轉子盤28。又在 此諸轉子盤28間，多個定子盤30以固定不動型式被配置 著，且可選用地藉由定子環形件而被繫緊於殻體14上。 又，此諸轉子盤28包括複數個用於輸送流體之輪葉，被 〇 配置在一於第1圖中未用剖面線標示之外部區域中。 第一泵裝置10係操作以經由一主入口 32將氣體吸引 至殼體14內。因此，一第一流體流34於第二泵裝置12 之方向且亦爲此兩泵裝置的輸送方向36上產生。此輸送 方向36相當於從主入口 32朝向一出口之主輸送方向，而 當朝向此輸送方向觀看時，該出口係設置在最後一個栗裝 置之後方，亦即在第1圖中所示之該殻體內的右手邊上。 殼體14另包括一中間入口 38。此中間入口被配置在 ^ 第一泵裝置1與第二泵裝置12之間的殻體14內。經由此 中間入口 38，一第二流體流40再度地於該輸送方向上被 產生。此第二流體流40將藉由第二栗裝置12與一位於其 下游處之可選用另一泵裝置而朝向泵出口之方向被輸 送。尤其，在具有根據本實施例所實施之形狀的多入口真 空泵中，高度真空存在主入口 32處，而一稍低之真空則 存在中間入口 38處。在本實施例中，爲了也可在中間入 口 38處產生一最大可能之抽吸能力（亦即低度真空），第 -12- 201040394 二泵裝置12之諸轉子盤28的半徑係大於第一泵裝置l〇 之諸轉子盤20的半徑。 根據第1圖中所示之本發明實施例，兩股流體流3 4、 40之混合將僅與第二泵裝置12發生。在第2圖所示之實 施例中，這將可因爲第二泵裝置12之第一轉子盤28(顯 示於第2圖中第二泵裝置之左側上）配備有一貫穿孔42 而被獲得。此貫穿孔42較佳包括被配置在與轉子軸同心 之圓形線上的複數個個別孔。藉由設置此貫穿孔42，使 〇 得第一流體流34將經由貫穿孔42首先流入第二泵裝置 12之兩個轉子盤28的區域內，其在第2圖中被顯示於左 側上。在第二泵裝置12之此諸第一（或左邊）兩個轉子 盤2 8之間，接著，第一流體流將徑向地流向如箭頭44所 示之外側，因此而造成此兩股流體流34、40被混合於第 二泵裝置12的第一與第二轉子盤28之間。因該兩股流體 流34、40之混合不發生在中間入口 38之區域中，所以更 有利之分壓將可在此中間入口 3 8區域中達到。此特別在 Ο 有多種不同氣體混合物係經由主入口 32與中間入口 38被 吸引之情形中將是有利的。 該貫穿孔42及此貫穿孔42之諸個別孔被設置在配備 有第一轉子盤28之諸輪葉的區域內。在本圖式中，此包 含諸輪葉之區域被顯示成未以剖面線作標記者。 爲保第一流體流34將盡可能完全地流經貫穿孔42不 會在中間入口 3 8區域中造成兩股流體流混合，本實施例 額外地設置一殼體壁46。此殼體壁46被配置在兩個泵裝 -13- 201040394 置10、12間並被徑向地定位。殻體壁46被固定地連 殼體14，並向轉子軸16之方向延伸。因此，第一流 34在通過第一栗裝置1〇之後，將流過一圓形孔50， —步經由第一轉子盤28之貫穿孔，且接著在通過第 裝置12之第一與第二轉子盤28將進入第二泵裝置1: 在第2圖所示之第二較佳實施例的內容中，與第 施例之組件相同或近似之組件被標示以相同之參考寒 第2圖中所示之第二實施例的基本差異在於：第 〇 裝置12之第一轉子盤28不包括貫穿孔42。代替者 一流體流34將在第一泵裝置之端部處被徑向向內（ 52)偏轉。爲達此目的，一密封盤54被連接至殼體 定子環件。此密封盤5 4係以一類似於第1圖中之殼 的方式作徑向向內之延伸，並以密封間隙5 6而被密 住轉子軸16。第2圖中所示之第二實施例的另一差 於：軸1 6被形成爲一中空軸，以便使第一流體流34 經多個橫向孔58而進入中空軸16之內部空間60中 〇 頭62)。較佳地，複數個橫向孔58被對稱地配置在 軸1 6之周邊上。 朝著流動方向36觀看時，在諸第一橫向孔58之 處，多個第二橫向孔64被形成於中空軸中。同樣地 此處較佳地’複數個第二橫向孔64亦被對稱地分布 邊上。第二橫向孔64之位置被選定，以便使流體沿 頭67方向經由諸橫向孔64而流入第二泵裝置12內 中流體之流入在本實施例中將發生在第二栗裝置12 接至 體流 並進 二泵 2內。 一實 :字。 — ，第 箭頭 或諸 體壁 封抵 異在 將流 V B'J 中空 下游 ，在 在周 著箭 ，其 之第 -14- 201040394 一與第二轉子盤28間。因而，在本實施例中，形成了一 流動通道58、60、64，其將第一泵裝置之一出口連接至 一位於第二泵裝置內之區域；在本實施例中，此區域係介 於第二泵裝置12之第一與第二轉子盤28間之區域。諸第 二橫向孔64亦可例如終止於第二泵裝置12之第二與第三 以及第三與第四轉子盤28間等等。另外，亦可設置複數 個橫向孔之平面，以便使諸橫向孔可終止例如於第一與第 二以及於第二與第三轉子盤2 8間。 〇 第二流體流40將經由中間入口 3 8流入，如同也在第 1圖所示實施例中所提供者，且將藉由第二泵裝置12而 朝向此多入口真空泵之出口（未示於圖）方向被輸送。如 同在第一實施例（第1圖）中者，兩股流體流34、40之 混合將例如發生在第二泵裝置12之第一與第二轉子盤28 間。 第3圖所示之第三實施例係類似於第2圖所示之第二 實施例，所以與第二實施例之組件相同或類似之組件將被 ^ 標示以相同之參考數字。 在第2及3圖中所示之實施例間之基本差異在於第三 實施例（第3圖）包括一密封盤54。代替者，於第3圖 之右手邊第一泵裝置10之最後轉子盤68被設計成使得此 轉子盤68,以與此多入口真空泵之主輸送方向36相反之 方向，朝向由箭頭70所標示之方向輸送流體。這將因爲 轉子盤68之諸輪葉均朝向相反方向而被實現。由於轉子 盤68之輸送方向，第一流體流無法通過轉子盤68。結果， -15- 201040394 第一流體流34將以一對應於第二實施例（第2圖） 式被徑向向內地輸送，並將流經諸第一橫向孔58而 中空轉子軸16之內部空間60內。一小部分之第二流 40藉此轉子盤68而被相反於主輸送方向36地輸送 此，轉子盤68將具有一良好之密封效果。依此方式 免兩股流體流34、30在中間入口 38之區域中發生混 在一對應於第二實施例（第2圖）之方式中，第一流 將被輸送通過位於第二泵裝置12內之流動通道58、 Ο 64。在此，諸第二橫向孔64被配置在中空軸16內， 使第一流體流將藉由通過第二泵裝置12之第一與第 子盤28間而進入此第二泵裝置內。 在第4及5圖所示之第四較佳實施例的內容中， 或類似之組件再度地被標示以相同之參考數字。 根據本發明第4圖中所示之另一較佳實施例，經 間入口 3 8所吸引之流體流40將在進入真空泵之後立 分成兩股流體流70、71。在一對應於第3圖所示之 ^ 例的方式中，流體分流7 0將朝向一與主輸送方向3 6 之方向被輸送。因此，一逆向流便產生於第一泵裝S 內。此逆向流係藉由轉子盤2 1之諸輪葉以及被固定 體14上之定子盤23而產生。在本實施例中，轉子: 及相關聯之定子盤23具有一比第一泵裝置之其他轉 21及定子盤23之直徑更大之直徑。較佳地，此轉子 及此定子盤23之外徑大致上分別相當於第二或另一 置12之諸轉子盤28與諸定子盤30之外徑。 之方 進入 體流 ，因 可避 合。 體流 60、 以致 二轉 相同 由中 即被 實施 相反 s 1 〇 於殼 盤21 子盤 盤21 泵裝 -16- 201040394 由於藉該流體分流70所產生之逆向流，第一流體流 34部不會從位於中間入口 38區域中之第一泵裝置處流 出。代替地’流體分流70與第一流體流34將在第一栗裝 置10之區域72中被混合。該區域72大致上成環狀。 接著’由第一流體流3 4與流體分流70所混合成之流 體流將流過多個流動通道，其在本實施例中被形成爲溝槽 74。諸溝槽74可被直接配置在軸16中。在本實施例中， 一中間元件7 6被配置在軸1 6上。此中間元件7 6例如藉 Ο 由一收縮安裝方法被固定附接至軸16。設置中間元件76 使諸流動通道74可相對於軸1 6以一朝外側成徑向偏位地 配置。諸流動通道或溝槽74之此一配置有利地使第一流 體流3 4可在毋須偏轉下流入此諸溝槽74內。爲了形成此 諸流動逋道74，一罩體78被配置在中間元件76周圍。 代替使用一中間元件76,亦可將轉子軸16形成爲一梯狀 軸。 被形成爲一圓柱形之罩體78不只用於形成諸流動通 0 道74，而且在本實施例中還被用以支撐該產生逆向流70 之轉子盤21。 在本實施例中，第二泵裝置12之第一轉子盤27並非 由第二轉子元件26所支撐，而是再度由該罩體78所支 撐。此具有之優點在於：可用一種簡單之方式確保流過諸 溝槽74之介質可在第二泵裝置內立即與該另一流體流及 該流體分流7 1混合。在本實施例中，諸流體流間之混合 將發生在轉子盤27與相鄰的轉子盤28之間，而兩轉子盤 -17- 201040394 27、28均係第二栗裝置12之轉子盤。 參照第四實施例（第4及5圖）所揭露形成爲溝槽 74之諸流動通道以可被設置在如第2及3圖中所示之諸 實施例中。在此情形中，替代諸橫向孔5 8、6 4或者除此 諸橫向孔之外，須設置一轉子軸16，且以對應於第四實 施例（第4及5圖）之方式配備多個溝槽。 雖然本發明已參照其多個特定之說明性實施例而被 敘述或圖示’但並非意欲將本發明限定於此諸說明性實施 Ο 例。凡熟習本藝之人士將承認，很多之變化與修改可再不 脫離由隨附之申請專利範圍所界定本發明範圍下被進行 並達成。因此，本發明意欲涵蓋此類落在所附申請專利範 圍及其均等物所界定範圍內之所有變化與修改。 【圖式簡單說明】 本發明已參照本案所附之諸圖式詳細地提出於上節 之說明中而可讓熟習本藝之人士得以根據作—完整的實 施。（包括其最佳模式），其中

U 第1圖係一多入口真空泵之一部分之第—實施例的 示意剖面圖； 第2圖係一多入口真空泵之—部分之第二實施例的 示意剖面圖； 第3圖係一多入口真空泵之一部分之第三實施例的 示意剖面圖； 第4圖係一多入口真空泵之一部分之第四實施例的 示意剖面圖；及 -18- 201040394 第5圖係沿第4 【主要元件符號說明】 10 12 14 16 18 20 Ο 22 24 26 28 30 32 34 36 Ο 3 8 40 42 44 46 50 52 54 3中之v-v線所取之示意剖面圖。 第一泵裝置 第二泵裝置 殻體 轉子軸 轉子元件 轉子盤 定子盤 軸承 轉子元件 轉子盤 定子盤 主入口 第一流體流 輸送方向 中間入口 第二流體流 貫穿孔 箭頭 殼體壁 圓形孔 箭頭 密封盤 -19- 201040394 56 密封間隙 5 8 橫向孔 60 內部空間 62 箭頭 64 橫向孔 67 箭頭 68 轉子盤 70 流體分流 7 1 流體流 72 區域 74 溝槽 76 中間元件 77 轉子盤 7 8 罩體 Ο -20-

Claims (1)

1. 201040394 七、申請專利範圍： 1. 一種多入口真空泵，其包括： 一第一泵裝置（10)，其包含一第一轉子元件（18) r -V笛一轉子 具有複數個串接地配置在輸送方向（36)上2·# 盤（20,21); 至少另一泵裝置（12),其包含另一轉子元件（26 ) ,、μ夕第二轉 具有複數個串接地配置在該輸送方向（36) 子盤（27，28 ); < @ Γ 1 〇 )經此 0 —主入口（32)，用以藉由該第一泵裝置C «λ、在/ 3 4 )則在 吸入一第一流體流（34 )，而該第一流體流（3 ^ 該另一泵裝置（12)之方向被輸送；及 至少一中間入口（38)，用以藉由該第二栗裝置（12) 經此吸引一第二流體流（40 )，而該第二流體流（4〇 ) 則係朝向一泵出口之方向被輸送， 其中 發生在該真空泵內之混合該兩股流體流（34，40) Ο 之過程係在一並非位於該中間入口（38)內之區域中進 行。 2. 如申請專利範圍第1項之多入口真空泵，其中該兩股流 體流（34，40 )之混合係至少主要在該至少另一泵裝置 (12)內進行，較佳地係在該另一泵裝置（12)之兩相 鄰的另外轉子盤（28; 27, 28)間進行。 3. 如申請專利範圍第1項之多入口真空泵，其中該等第二 轉子盤（27，28 )之直徑係至少部分地大於該等第一轉 -21 - .201040394 子盤（20, 21)之直徑。 4. 如申請專利範圍第1項之多入口真空泵，其中在該輸送 方向（36)上，該另一泵裝置（12)之至少第一轉子盤 (28 )包括一貫穿孔（42 )，可使該第一流體流（34 ) 經此流入該第二泵裝置（1 2 )內。 5. 如申請專利範圍第4項之多入口真空泵，其中在該貫穿 孔（42)被徑向地配置在承載多個轉子輪葉之該第二泵 裝置（12)的第一轉子盤（28)內。 Ο 6.如申請專利範圍第1項之多入口真空泵，其中一較佳地 成徑向配置之殼體壁（46)被設置在該第一泵裝置（10) 與該第二泵裝置（1 2 )間，而該殼體壁（46 )較佳被密 封地連接至一外部殼體壁。 7 .如申請專利範圍第6項之多入口真空泵，其中一狹窄密 封間隙（48)被設置在該殼體壁（46)與一轉子軸（16) 之間。 8 .如申請專利範圍第1項之多入口真空泵，其中設置至少 ^ —流動通道（58, 60, 64, 74)，其將該第一泵裝置（10) 連接至一位於該另一泵裝置（12)內之區域。 9 .如申請專利範圍第8項之多入口真空泵，其中該流動通 道（ 58, 60, 64, 74)至少部分地配置在一承載該第一轉 子元件（18)與該第二轉子元件（26)之轉子軸（16) 內，而該轉子軸（1 6 )較佳地形成一中空軸。 1 〇 .如申請專利範圍第8項之多入口真空泵，其中該至少一 流動通道（5 8, 60, 64, 74 )係由至少一沿縱向延伸於轉 -22- .201040394 子軸（16)中之溝槽（7〇所形成，而該至 較佳藉由一罩體（78)及/或一轉子元件（ 地封閉。 11. 如申請專利範圍第10項之多入口真空泵 軸（16)包括複數個溝槽（74)，其較佳 轉子軸（16)周圍上並延伸於該轉子軸（ 向上。 12. 如申請專利範圍第9項之多入口真空泵， 〇 一橫向孔（58)，其形成於位在該第一泵 出口區域中之該轉子軸（16)內，且較佳 第二橫向孔（64 )，其形成於該轉子軸（ 於該第二泵裝置（12)之兩相鄰轉子盤（ 13. 如申請專利範圍第8項之多入口真空泵， 封盤（54)，其被配置在該第一泵裝置（ 域中，並從該泵殼體（I4)延伸至該轉子 14. 如申請專利範圍第13項之多入口真空泵 Ο 橫向孔（58)沿該輸送方向（36)被配置 置（10)之最後一個轉子盤（20)與該密^ 15. 如申請專利範圍第8項之多入口真空泵， 一泵裝置（1〇)之最後一個轉子盤（68) 經由該中間入口（ 3 8 )被吸引之該第二流 一部分將與該輸送方向（36)相反地向該第 之方向被輸送。 少一溝槽（7 4 ) 1 8 )而被徑向 ，其中該轉子 對稱地分布於 16)之縱長方 其中設置至少 裝置（1 0 )之 地設置至少一 1 6 )內並終止 2 8 )間。 其中設置一密 1 〇 )之出口區 軸（16 ) » ，其中該第一 在該第一泵裝 时盤（54)間。 其中至少該第 被構形爲使得 體流（40 )的 一泵裝置（10 ) -23-