TW201032002A - Photosensitive black-colored resin composition, black matrix substrate, and manufacturing method of color filter - Google Patents
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201032002 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明有關感光性黑色樹脂組成物、黑色矩陣基板以 及彩色濾光片之製造方法。詳言之,係有關構成彩色濾光 片的隔離壁圖案形成用感光性黑色樹脂組成物,特別是有 關用於以噴墨印刷方式製造彩色濾光片的成爲遮光性隔離 壁的黑色矩陣形成用感光性黑色樹脂組成物,亦有關使用 Φ 該感光性黑色樹脂組成物製備之黑色矩陣基板、以及使用 該黑色矩陣基板之彩色濾光片之製造方法。 【先前技術】 彩色濾光片是組裝於液晶顯示裝置中使顯示圖像彩色 化而使用的光學元件,或者是組裝到固體攝像元件中爲了 得到彩色圖像而使用的光學元件。此等彩色濾光片已知有 在基板上的同一平面上具有包括相互鄰接而形成的多個彩 φ 色像素層的著色圖案的彩色濾光片。其中,著色圖案例如 由紅色像素層、綠色像素層以及藍色像素層的3原色的彩 色像素層構成,鄰接的彩色像素層間,形成成爲遮光層的 黑色矩陣。各種顏色的彩色像素層是著色爲各種顏色的透 明層,黑色矩陣爲黑色且實質上不透過可見光的層。 作爲彩色濾光片之一般製造方法,已知有在基板上形 成著色感光性樹脂組成物層,該著色感光性樹脂組成物層 由含有各種顏色著色劑的著色感光性樹脂組成物的固體成 分所構成,透過光罩照射光線,利用對顯影液的溶解性變 -5- 201032002 化的著色感光性樹脂組成物層之性質,在基板上形成著色 圖案的光微影蝕刻方式之製造方法(例如,特開平7_ 27 1 020號公報)。 然而,光微影蝕刻方式的彩色濾光片製造方法中,在 基板表面塗佈著色感光性樹脂組成物後,有必要重複進行 透過光罩曝光並顯影除去不需要部分的步驟,其製造步驟 複雜。進而’昂貴光罩的費用負擔、塗佈設備、曝光設備 以及顯影設備等設備的折舊成本爲必要。因此,以製造步 驟的簡單化以及降低製造成本爲目的,代替光微影蝕刻法 ,而提案有藉由噴墨印刷法形成彩色像素層的方法。 噴墨印刷法中,通常將具有遮光性的黑色矩陣作爲隔 離壁,藉由在該黑色矩陣的開口部印刷噴墨印刷用油墨而 形成彩色像素層,但在進行印刷時,由於對噴墨印刷用油 墨的固體成分濃度有其限制,故爲了得到所期望的層厚以 及著色濃度,相對於黑色矩陣的開口部容積(開口面積X 隔離壁高度),有必要印刷數倍以上體積之噴墨印刷用油 墨。由此,印刷的噴墨印刷用油墨從開口部溢出,超出成 爲隔離壁的黑色矩陣'噴墨印刷用油墨亦侵入在鄰接的開 口部,而發生“混色”。 針對該“混色”的問題,已提出有例如藉由在四氟甲 烷等氟化合物的氣氛中進行電漿處理,僅使黑色矩陣表面 氟化,使相對於噴墨印刷用油墨的疏液性增大之方法(例 如,日本專利第3328297號公報),且,提出有添加有機 矽化合物或有機氟化合物,形成賦予相對於噴墨印刷用油 -6- 201032002 墨的疏液性的黑色矩陣之方法(例如,特開平7 -3 59 1 5號 公報、特開2006-163233號公報)。 又,特開20〇7-25 63 5 7號公報中揭示一種使成爲隔離 壁之黑色矩陣表面的全部負離子的檢測強度總計爲1時, 以使氟離子的檢測強度成爲0.3〜0.6的方式構成之方法。 日本專利第3328297號公報揭示的方法中,藉由電漿 處理將黑色矩陣表面氟化,因此使黑色矩陣表面上相對於 φ 噴墨印刷用油墨的疏液性成爲均句,但是電漿處理步驟成 爲必要,不能謂爲簡單化的方法。 另外,特開平7-3 59 1 5號公報、特開2006- 1 63 23 3號公 報所揭示的方法中,使用含有有機矽化合物或有機氟化合 物的組成物形成黑色矩陣,因此可以形成賦予相對於噴墨 印刷用油墨的疏液性的黑色矩陣,可以防止由於鄰接的彩 色像素層間中的異色油墨混入而發生的混色,但是在確保 黑色矩陣表面整體的均勻疏液性方面不足。黑色矩陣表面 φ 的疏液性不均匀時,在以隔離壁所包圍的像素區域的黑色 矩陣的開口部印刷噴墨印刷用油墨時,局部發生油墨的塡 充不良’也就是發生“漏白”等像素缺陷問題。因此,在 局部發生漏白的狀態下製作的彩色濾光片,在漏白部分有 發生漏光的問題。 又,使用含有有機矽化合物或有機氟化合物的組成物 形成黑色矩陣時,首先,將上述組成物塗佈在基板表面整 體上。接著,透過具有所需圖案的光罩曝光,之後,進行 顯影處理而在基板表面上形成黑色矩陣。對於形成有如此 201032002 黑色矩陣的基板,特別是形成隔離壁高度較大的黑色矩陣 時,在隔離壁所包圍的黑色矩陣的開口部所對應的基板表 面上,有殘存有機矽化合物或有機氟化合物的情況。 在此,特開2007-2563 5 7號公報所揭示的方法,雖然 規定了在成爲隔離壁的黑色矩陣表面之氟離子檢測強度, 但是沒有規定黑色矩陣的開口部所對應的基板表面之氟離 子檢測強度。因此,特開2007-256357號公報中揭示的方 法不能說是解決了在黑色矩陣的開口部所對應的基板表面 上殘存有機氟化合物時所發生的問題的方法。 有機矽化合物或有機氟化合物在黑色矩陣的開口部所 對應的基板表面上殘存時,於形成有彩色像素層的該基板 表面亦賦予了對於噴墨印刷用油墨的疏液性,由於開口部 的基板表面的疏液性導致發生漏白。 【發明內容】 因此,本發明之目的係提供一種感光性黑色樹脂組成 物,該感光性黑色樹脂組成物可以形成成爲隔離壁的黑色 矩陣,其不實施如電漿處理之特殊表面處理,可以防止由 於鄰接的彩色像素層間的異色油墨的混入而發生的混色, 可以防止局部的漏白等像素缺陷的發生。又,提供一種使 用該感光性黑色樹脂組成物製作之黑色矩陣基板、以及使 用該黑色矩陣基板的彩色濾光片之製造方法。 本發明之感光性黑色樹脂組成物,係用於在基板上具 有多個彩色像素層及位於鄰接的彩色像素層間之黑色矩陣 -8 - 201032002 的彩色濾光片中形成前述黑色矩陣之感光性黑色樹脂組成 物,其特徵在於, 以相對於全部固體成分的氟含量計’含有在側鏈上具 有氟烷基之氟系界面活性劑0.0008〜0.005質量%。 依據本發明,係一種用於在基板上具有多個彩色像素 層及位於鄰接的彩色像素層間之黑色矩陣之彩色濾光片中 形成前述黑色矩陣之感光性黑色樹脂組成物。且’該感光 Φ 性黑色樹脂組成物中,以相對於全部固體成分的氟含量計 ,含有在側鏈上具有氟烷基之氟系界面活性劑0.0008〜 0.005質量%。以相對於全部固體成分的氟含量計,含有規 定量氟系界面活性劑之感光性黑色樹脂組成物,係可形成 成爲隔離壁的黑色矩陣之感光性黑色樹脂組成物,其被賦 予相對於噴墨印刷用油墨的疏液性,可以防止由於鄰接的 彩色像素層間的異色油墨混入而發生的混色,確保均勻的 疏液性,可以防止局部的漏白等像素缺陷的發生。 ❹ 在側鏈上具有氟烷基之氟系界面活性劑之含量,以相 對於全部固體成分的氟含量計,未達0.0 008質量%時,形 成的黑色矩陣的疏液性不充分,不僅不能充分發揮鄰接的 彩色像素層間的混色防止效果,而且在黑色矩陣表面發生 如貝納爾旋流窩的結構而不佳。另外,在側鏈上具有氟烷 基之氟系界面活性劑之含量以相對於全部固體成分的氟含 量計,超過0.005質量%時’雖然基板中央部沒有問題,但 是基板外周部(邊緣部)附近的彩色像素層中發生局部漏 白等像素缺陷。 -9 ** 201032002 本發明之感光性黑色樹脂組成物中,上述氟系界面活 性劑較好是以全部結構單位總計100質量%爲基準,具有下 述式(1 a )所示的結構單位1〜40質量%、下述式(1 b )所 示的結構單位20〜98質量%、以及下述式(1 c )所示的結 構單位1〜40質量%之比例的化合物。 【化1】 R1 I —ch2 — c —I x'-l'-r2 (la) R3I —Chfe —C ——I X〇-L2-(-R4-〇^· R5 (1b) R6 I —ch2 — c --I x2 - L3 - Rf
(1c)
[式中,R1、R3以及R6各自獨立地表示氫原子或碳原子數1 〜5之烷基,R2表示氫原子、碳原子數1〜5之烷基、羥基 、或-(8丨(0:1!3)2〇)„1-8丨((:113)3,尺4表示碳原子數2〜8之伸烷 基,R5表示氫原子 '碳原子數1〜12之烷基 '醯基、或碳 原子數6〜20之芳基;L1' L2、以及L3各自獨立地表示單 鍵、伸烷基或經取代伸烷基;X1表示-co2-、-CONY1·、或 伸芳基,X2表示-〇-、-C02-、-CONY2-、伸芳基、或2價雜 環殘基;Rf表示氟烷基;η表示2〜20之整數;又,m表示〇 〜3之整數,Y1以及Y2各自獨立地表示氫原子或碳原子數1 〜5之烷基]。 根據本發明,感光性黑色樹脂組成物中含有的氟系界 面活性劑爲具有特定結構的化合物。由此,感光性黑色樹 脂組成物爲可形成黑色矩陣的感光性黑色樹脂組成物,其 可更有效地防止鄰接的彩色像素間的混色,可更有效地防 止漏白等像素缺陷的發生。 -10 - 201032002 又本發明係一種黑色矩陣基板,其係用於製造在基板 上具有多個彩色像素層及位於鄰接彩色像素層間之黑色矩 陣的彩色濾光片的黑色矩陣基板, 其係形成有使用前述感光性黑色樹脂組成物製備之黒 色矩陣的黑色矩陣基板。 根據本發明,黑色矩陣基板係用於製造彩色濾光片之 形成有黑色矩陣之基板,前述彩色濾光片係在基板上具有 •多個彩色像素層及位於鄰接的彩色像素層間的成爲隔離壁 的黑色矩陣。並且,黑色矩陣基板係於基板上形成使用前 述感光性黑色樹脂組成物製備的黑色矩陣者。此等黑色矩 陣基板具有以均勻狀態被賦予相對於噴墨印刷用油墨的疏 液性所成之成爲隔離壁的黑色矩陣。因此,可以防止藉由 噴墨印刷法在黑色矩陣的開口部印刷的噴墨印刷用油墨超 出成爲隔離壁的黑色矩陣而使油墨侵入鄰接的開口部發生 混色,同時也可以防止發生局部地油墨塡充不良的問題、 φ 即防止發生漏白等像素缺陷。 又本發明之黑色矩陣基板中,在藉由飛行時間型二次 離子質量分析計(TOF-SIMS )檢測的負離子的檢測結果 中,全部負離子的檢測強度的總計爲1時的氟離子的檢測 強度比,於黑色矩陣表面爲0.15以上且未達0.3’並且於黑 色矩陣的開口部所對應的基板表面較佳〇·〇5以下。 依據本發明,黑色矩陣基板’在藉由飛行時間型二次 離子質量分析計(TOF-S IMS )檢測的負離子的檢測結果 中,全部負離子的檢測強度的總計爲1而公稱化時的氟離 -11 - 201032002 子的檢測強度比,於黑色矩陣表面爲0.15以上且未達0.3, 並且於黑色矩陣的開口部所對應的基板表面爲0.05以下。 此等黑色矩陣基板具有以均勻狀態被賦予相對於噴墨印刷 用油墨的疏液性所成之成爲隔離壁的黑色矩陣。因此,可 以防止藉由噴墨印刷法在黑色矩陣的開口部印刷的噴墨印 刷用油墨超出成爲隔離壁的黑色矩陣而使油墨侵入鄰接的 開口部發生混色,同時也可以防止發生局部地油墨塡充不 良的問題、即防止發生漏白等像素缺陷。 成爲隔離壁的黑色矩陣的表面氟離子的檢測強度比未 達〇· 1 5時,黑色矩陣相對於噴墨印刷用油墨的疏液性不充 分,無法充分發揮鄰接的彩色像素層間的混色防止效果。 另外’黑色矩陣表面之氟離子檢測強度比爲0.3以上時, 基板外周部(邊緣部)附近的彩色像素層發生局部的漏白 等像素缺陷。進而,黑色矩陣的開口部所對應的基板表面 氟離子的檢測強度比超過0.05時,亦成爲對形成有彩色像 素層的基板表面賦予相對於噴墨印刷用油墨的疏液性,而 使基板外周部(邊緣部)附近的彩色像素層發生局部的漏 白等像素缺陷,同時因黑色矩陣表面的疏液性引起的混色 防止效果降低。 另外,本發明之黑色矩陣基板中,黑色矩陣的膜厚較 佳爲1.2μιη以上、3·0μιη以下。 根據本發明,黑色矩陣基板所具有的黑色矩陣的膜厚 爲1.2〜3.0 μηι。膜厚未達1.2 μιη時,無法在黑色矩陣的開 口部塡充爲了達成顏色再現所必要的色濃度時的足夠量的 -12- 201032002 油墨,故而不佳。膜厚超過3 ·0μιη時,不僅難於製 形成高精度的隔離壁圖案的黑色矩陣基板,而且使 色矩陣基板製造彩色濾光片時,彩色像素層和隔離 低差變大,故使液晶胞的設計變得困難,而不佳。 另外,本發明係一種彩色濾光片之製造方法, 色濾光片係在基板上具有多個彩色像素層及位於鄰 色像素層間的黑色矩陣,該方法之特徵在於包括: φ 使用前述感光性黑色樹脂組成物,在基板上形 矩陣,製備黑色矩陣基板之黑色矩陣基板製備步驟 在黑色矩陣基板上形成之黑色矩陣的開口部所 隔離壁所包圍的像素區域中,藉由噴墨印刷方式印 印刷用油墨,形成彩色像素層之像素層形成步驟。 根據本發明,彩色濾光片之製造方法係在基板 多個彩色像素層及位於鄰接的彩色像素層間的黑色 彩色濾光片之製造方法,其包括黑色矩陣基板製備 參 像素層形成步驟。黑色矩陣基板製備步驟中,使用 光性黑色樹脂組成物,在基板上形成以均勻狀態被 對於噴墨印刷用油墨的疏液性所成之成爲隔離壁的 陣’而製備黑色矩陣基板。並且,像素層形成步驟 黑色矩陣基板上形成之黑色矩陣的開口部所對應之 所包圍的像素區域中,藉由噴墨印刷方式印刷噴墨 油墨,形成彩色像素層。像素層形成步驟中,由於 以均勻狀態被賦予相對於噴墨印刷用油墨的疏液性 壁的黑色矩陣基板中的隔離壁所包圍的像素區域中 備能夠 用該黑 壁的尚 前述彩 接的彩 成黑色 ,及 對應之 刷噴墨 上具有 矩陣之 步驟及 前述感 賦予相 黑色矩 中,在 隔離壁 印刷用 在具有 之隔離 印刷油 -13- 201032002 墨,故可製造可防止超過成爲隔離壁的黑色矩陣而在鄰接 的開口部侵入油墨發生混色、可防止發生局部地油墨塡充 不良的問題、即可防止發生漏白等像素缺陷之彩色濾光片 【實施方式】 本發明的目的、特色以及優點藉由下述的詳細說明和 附圖可更加明確。 以下參考附圖詳細說明本發明之較佳實施方式。 本發明之感光性黑色樹脂組成物係用於形成彩色濾光 片的黑色矩陣之組成物,所述彩色濾光片係在基板上具有 多個彩色像素層及位於鄰接的彩色像素層間之成爲隔離壁 的黑色矩陣。感光性黑色樹脂組成物可爲負型,亦可爲正 型’但更佳爲可設定高光學濃度之負型感光性樹脂組成物 (負型感光性黑色樹脂組成物) 負型感光性黑色樹脂組成物含有遮光劑、黏合劑樹脂 、具有烯屬不飽和鍵之可加成聚合之化合物、光聚合引發 劑、光聚合引發助劑 '後述之氟系界面活性劑及溶劑。 遮光劑可爲染料亦可爲有機或無機顏料。又,亦可將 染料與顏料以混合狀態使用。作爲無機顏料,可舉出如金 屬氧化物或金屬錯鹽之金屬化合物,具體而言,可舉例有 鐵、鈷、鋁、鎘、鉛、銅、鈦、鎂、鉻、鋅、銻等金屬的 -14- 201032002 氧化物或複合金屬氧化物、氮化物、氮氧化物。又,作爲 有機顏料,可舉出顏色索引(The Society of Dyers and Colourists公司發行)中分類爲顏料的化合物。 特別是,形成黑色矩陣時,使用黑色顏料作爲遮光劑 。作爲黑色顏料,例如,可舉出碳黑、特開平5_31 1 1〇9號 公報或特開平6-11613號公報等記載的石墨、特開平4_ 3 22 219號公報或特開平3-2745〇3號公報等記載的無機黑色 ❹ 顏料、特開平2-216102號公報等記載的偶氮系黑色素、 C.I.顔料黑1、C.I.顏料黑7等有機黑色顏料等。著色爲黑 色的感光性黑色樹脂組成物進而可含有紅色顏料、綠色顏 料、藍色顏料、黃色顏料、青色顏料、品紅色顏料等作爲 顏料。 至於遮光劑之粒徑,以平均粒徑計,較佳爲0.005〜 0.2μιη,更佳爲0.01〜Ο.ΐμπι。具有此等粒徑之遮光劑例如 可藉由捏合法等公知方法製造。 φ 另外,相對於感光性黑色樹脂組成物之全部固體成分 ,以質量百分率計,較佳含有遮光劑5〜30質量%。若遮光 劑含量小於5質量%,則不僅無法以規定的膜厚形成具有充 分光學濃度的遮光性隔離壁,而且發生隔離壁截面形狀的 “褶皺”或“場邊”之不良影響,故而不佳。又’若遮光 劑含量超過3 0質量%,則感光性黒色組成物的流動性降低 ,難以形成均勻膜厚的隔離壁。 黏合劑樹脂係在負型感光性黑色樹脂組成物中’對於 使用該感光性黑色樹脂組成物形成的樹脂組成物層賦予其 -15- 201032002 光線未照射區域溶解於顯影液之性質的成分。又,黏合劑 樹脂亦具有在使用感光性黑色樹脂組成物形成的樹脂組成 物層中,作爲使遮光劑分散的分散介質的功能。 作爲負型感光性黑色樹脂組成物中使用的黏合劑樹脂 ,例如,可舉例有丙烯酸系共聚物、使分子中具有2個以 上環氧基之環氧化合物與羧酸之反應産物進而與多元羧酸 的酸酐反應所得之聚羧酸樹脂等。 作爲丙烯酸系共聚物,例如,可舉例含有羧基的單體 及可與其共聚合的其他單體的共聚物。 作爲含有羧基之單體,例如,可舉例有不飽和單羧酸 、不飽和二羧酸、不飽和三羧酸等之不飽和多元羧酸等分 子中具有至少1個羧基之不飽和羧酸。其中,作爲不飽和 單羧酸,例如,可舉例有丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、 α -氯丙烯酸、桂皮酸等。作爲不飽和二羧酸,例如,可舉 例有馬來酸、富馬酸、衣康酸、檸康酸、中康酸等。不飽 和多元羧酸可爲其酸酐,具體可爲馬來酸酐、衣康酸酐、 檸康酸酐等。又,不飽和多元羧酸可爲其單(2-甲基丙烯 醯氧基烷基)酯,具體地,例如琥珀酸單(2-丙烯醯氧基 乙基)酯、琥珀酸單(2-甲基丙烯醯氧基乙基)酯、鄰苯 二甲酸單(2-丙烯醯氧基乙基)酯、鄰苯二甲酸單(2-甲 基丙烯醯氧基乙基)酯等。不飽和多元羧酸可爲其兩末端 二羧基聚合物之單(甲基)丙烯酸酯,具體爲ω-羧基聚己 內酯單丙烯酸酯、ω-羧基聚己內酯單甲基丙烯酸酯等。上 述含有羧基的單體可分別單獨使用或混合2種以上使用。 -16- 201032002 作爲可與上述含有羧基的單體共聚合的其他單 如,可舉例有苯乙烯、α-甲基苯乙烯、鄰-乙烯基 間-乙烯基甲苯、對-乙烯基甲苯、對-氯苯乙烯、多 基苯乙烯、間-甲氧基苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯、丨 基苄基甲基醚、間-乙烯基苄基甲基醚、對-乙烯基 基醚、鄰-乙烯基苄基縮水甘油基醚、間-乙烯基苄 甘油基醚、對-乙烯基苄基縮水甘油基醚、茚等芳 φ 烯基化合物;丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯 、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸正 丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯 丙烯酸正丁酯、丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸異丁酯 酸第二丁酯、甲基丙烯酸第二丁酯、丙烯酸第三丁 基丙烯酸第三丁酯、丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯 基乙酯、丙烯酸2-羥基丙酯、甲基丙烯酸2-羥基丙 烯酸3-羥基丙酯、甲基丙烯酸3-羥基丙酯、丙烯酸 φ 丁酯、甲基丙烯酸2-羥基丁酯、丙烯酸3-羥基丁酯 丙烯酸3-羥基丁酯、丙烯酸4-羥基丁酯、甲基丙烯 基丁酯、丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯 、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸環 丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸2-甲氧基乙 基丙烯酸2-甲氧基乙酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、甲 酸2-苯氧基乙酯、甲氧基二乙二醇丙烯酸酯、甲氧 二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇丙烯酸酯、甲 乙二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基丙二醇丙烯酸酯、甲 體,例 甲苯、 ® -甲氧 郎-乙烯 苄基甲 基縮水 香族乙 酸乙酯 丙酯、 、甲基 、丙烯 酯、甲 酸2-羥 酯、丙 2-羥基 、甲基 酸4-經 酸苄酯 己酯、 酯、甲 基丙烯 基二乙 氧基三 氧基丙 -17- 201032002 二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基二丙二醇丙烯酸酯、甲氧基二 丙二醇甲基丙烯酸酯、丙烯酸異冰片基酯、甲基丙烯酸異 冰片基酯、丙烯酸二環戊二烯基酯、甲基丙烯酸二環戊二 烯基酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、甲基丙烯酸2-羥 基-3-苯氧基丙酯、甘油單丙烯酸酯、甘油單甲基丙烯酸酯 等之不飽和羧酸酯類;丙烯酸2-胺基乙酯、甲基丙烯酸2-胺基乙酯' 丙烯酸2-二甲胺基乙酯、甲基丙烯酸2-二甲胺 基乙酯、丙烯酸2-胺基丙酯、甲基丙烯酸2-胺基丙酯、丙 烯酸2-二甲胺基丙酯、甲基丙烯酸2-二甲胺基丙酯、丙烯 酸3-胺基丙酯、甲基丙烯酸3-胺基丙酯、丙烯酸3-二甲胺 基丙酯、甲基丙烯酸3 -二甲胺基丙酯等之不飽和羧酸胺基 烷基酯類;丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯等 不飽和羧酸縮水甘油酯類;乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁 酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯類;乙烯基甲基醚 、乙烯基乙基醚、烯丙基縮水甘油基醚等不飽和醚類;丙 烯腈、甲基丙烯腈、(X-氯丙烯腈、氰化亞乙烯等氰化乙烯 基化合物;丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、α-氯丙烯醯胺、N-2-羥基乙基丙烯醯胺、Ν-2-羥基乙基甲基丙烯醯胺等不飽 和醯胺類;馬來醯亞胺、Ν-苯基馬來醯亞胺、Ν-環己基馬 來醯亞胺等不飽和醯亞胺類;1,3-丁二烯、異戊二烯、氯 丁二烯等脂肪族共軛二烯類;聚苯乙烯、聚丙烯酸甲酯、 聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸正丁酯、聚甲基丙烯酸正丁 酯、於聚矽氧烷之聚合物分子鏈的末端具有單丙烯醯基或 者單甲基丙烯醯基之大分子單體類等。該等單體可以分別 -18- 201032002 單獨使用或混合2種以上使用。 上述共聚物中含有羧基的單體單位之含量’以質量百 分率計’通常爲1〇〜50質量%左右,較佳15〜40質量%左 右。 作爲上述丙烯酸系聚合物’例如’可舉例有(甲基) 丙烯酸/ (甲基)丙烯酸甲酯共聚物、(甲基)丙烯酸/ ( 甲基)丙烯酸苄酯共聚物' (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙 φ 烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、(甲基)丙 烯酸/ (甲基)丙烯酸甲酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物' (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸甲酯/聚甲基丙烯酸甲醋 大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸节 酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物' (甲基)丙烯酸/ (甲基 )丙烯酸苄酯/聚甲基丙烯酸甲基酯大分子單體共聚物、 (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙 烯酸苄酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/ φ (甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/ (甲基)丙烯酸苄酯/聚甲基 丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、甲基丙烯酸/苯乙烯/ (甲 基)丙烯酸苄酯/N-苯基馬來醯亞胺共聚物、(甲基)丙 烯酸/琥珀酸單(2_丙烯醯氧基乙基)酯/苯乙烯/ (甲基) 丙烯酸苄酯/N-苯基馬來醯亞胺共聚物、(甲基)丙烯酸/ 琥珀酸單(2-丙烯醯氧基乙基)酯/苯乙烯/ (甲基)丙烯 酸烯丙酯/N-苯基馬來醯亞胺共聚物、(甲基)丙烯酸/ ( 甲基)丙烯酸苄酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/甘油單(甲 基)丙烯酸酯共聚物等。又,所謂(甲基)丙烯酸酯表示 -19 - 201032002 丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。 其中’較佳爲甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、 甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸 甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸/苯 乙烯共聚物等。 上述丙烯酸系聚合物之聚苯乙烯換算重量平均分子量 較佳爲3000〜400000之範圍,更佳爲5000〜1 00000之範圍 。又,酸値較佳爲30〜250,更佳爲60〜180之範圍。
可作爲黏合劑樹脂使用之聚羧酸樹脂,例如,可舉例 有下述式(2)所示之化合物與多元酸或其酸酐之縮聚合 物(參照特開平4-35 5450號公報、特開平9-40745號公報、 特開平9-325494號公報、特開2000-281738號公報),或爲 式(2)的前驅物之環氧化合物與多元羧酸及/或單羧酸之 反應生成物與多元酸或其酸酐的縮聚合物等。 【化2】
R,。 I ch2=c-c-o-ch2-ch-ch2- 〇 OH
❹ R10
I C 一 C=CHj
It Ο [式中,R7以及R8分別獨立地表示氫原子、碳原子數1〜5 之烷基或鹵原子,R1G表示氫原子或甲基,x表示下述式( 2-1)〜(2-7)任一者所示之2價殘基’ R9表示可具有取代 基之碳原子數1〜ίο之伸烷基’ p表0〜5之整數示’ q表示1 〜10之整數]。 -20- 201032002 【化3】
(2—7)
(2-3)
(2 — 6)
作爲多元酸’例如,可舉例有馬來酸、琥珀酸、衣康 酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫鄰苯二甲酸、甲 基内亞甲基四氫鄰苯二甲酸、六氯降冰片烯二酸、甲基四 氫鄰苯二甲酸、偏苯三酸、苯均四酸、二苯甲酮四羧酸、 4,4’-聯苯二甲酸爲代表之聯苯四羧酸、聯苯醚四羧酸等。 作爲多元酸之酸酐,可舉例有上述多元酸之酸酐等。 多元酸或其酸酐可分別單獨使用或混合2種以上使用 多元酸或多元酸酐之使用量,相對於式(2)所示之 化合物等之反應對象之化合物與多元酸或其多元酸酐的總 莫耳量’以莫耳比計,通常爲5〜9 5 %,較佳1 〇〜9 0 %左右 。又’前述黏合劑樹脂中,較佳爲含有聚羧酸之樹脂。 負型感光性黑色樹脂組成物中使用之黏合劑樹脂之酸 値’通常爲70〜170,較佳爲80〜MO。又,黏合劑樹脂之 聚苯乙烯換算重量平均分子量通常爲1000〜50000,較佳 爲 1 500 〜20000。 負型感光性樹脂組成物中使用之黏合劑樹脂,相對於 -21 - 201032002 感光性黑色樹脂組成物之全部固體成分,以質量百分率計 ,通常以5〜90質量%,較佳以10〜60質量%之範圍含有。 作爲負型感光性黑色樹脂組成物中所含之具有烯屬不 飽和鍵之可經加成聚合之化合物,爲例如,選自在末端至 少具有1個烯屬不飽和鍵之化合物,較佳具有2個以上烯屬 不飽和鍵之化合物,可爲單體,亦可爲二聚體、三聚體以 及寡聚物等預聚物,亦可爲其等之混合物或其等之共聚物 等。 作爲上述單體,例如,可舉例有丙烯酸、甲基丙烯酸 、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸以及馬來酸等不飽和羧酸與 脂肪族多元醇化合物之酯、不飽和羧酸與脂肪族多元胺化 合物之醯胺等。 作爲不飽和羧酸與脂肪族多元醇化合物之酯,例如, 可舉例有乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、四亞甲基二醇二丙烯酸酯、丙二醇二 丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸 酯、三羥甲基丙烷三(丙烯醯氧基丙基)醚、三羥甲基乙 烷三丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、1,4-環己烷二醇二丙 烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季 戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇二 丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯 、山梨糖醇四丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇 六丙烯酸酯、三(丙烯醯氧基乙基)異氰尿酸酯、聚酯丙 烯酸酯寡聚物等丙烯酸酯;四亞甲基二醇二甲基丙烯酸酯 -22- 201032002 、三乙二醇二甲基丙烯酸酯 '新戊二醇二甲基丙烯酸酯、 三經甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三甲基丙烯 酸醋、乙二醇二甲基丙烯酸酯、丨,3-丁二醇二甲基丙烯酸 醋、己烷二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇二甲基丙烯酸酯 、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、 二季戊四醇二甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯 、山梨糖醇三甲基丙烯酸酯、山梨糖醇四甲基丙烯酸酯、 φ 雙[對_(3 -甲基丙烯醯氧基-2-羥基丙氧基)苯基]二甲基 甲烷、雙-[對-(甲基丙烯醯氧基乙氧基)苯基]二甲基甲 院等甲基丙烯酸酯;乙二醇二衣康酸酯、丙二醇二衣康酸 酯、丨,3· 丁二醇二衣康酸酯、I,4-丁二醇二衣康酸酯、四 亞甲基二醇二衣康酸酯、季戊四醇二衣康酸酯、山梨糖醇 四衣康酸酯等衣康酸酯;乙二醇二巴豆酸酯、四亞甲基二 醇二巴豆酸酯、季戊四醇二巴豆酸酯、山梨糖醇四二巴豆 酸酯等巴豆酸酯;乙二醇二異巴豆酸酯、季戊四醇二異巴 Ο 豆酸酯、山梨糖醇四異巴豆酸酯等異巴豆酸酯;乙二醇二 馬來酸酯、三乙二醇二馬來酸酯、季戊四醇二馬來酸酯、 山梨糖醇四馬來酸酯等馬來酸酯等。 作爲不飽和羧酸與脂肪族多元胺化合物之醯胺,例如 ’可舉例有亞甲基雙-丙烯醯胺、亞甲基雙-甲基丙烯醯胺 、1,6 -六亞甲基雙-丙烯醯胺、1,6 -六亞甲基雙-甲基丙烯醯 胺、二伸乙基三胺三丙烯醯胺、苯二甲基雙丙烯醯胺、苯 二甲基雙甲基丙烯醯胺等。 作爲單體之其他實例,例如,可舉例有〗分子中具有2 -23- 201032002 個以上異氰酸酯基之聚異氰酸酯化合物與下述式(3)所 示之乙烯基單體進行加成而得到之乙烯基胺基甲酸酯化合 物等。 【化4】 R21 R22 …⑶ ch2=c-c-o-ch2-ch-oh Ο [式中,R21以及R22分別獨立地表示氫原子或甲基]。
作爲上述之乙烯基胺基甲酸酯化合物,可舉例有特公 昭48 -4 1 708號公報記載之1分子中含有2個以上聚合性乙烯 基之化合物、特開昭5 1 -3 7 1 93號公報記載之胺基甲酸酯丙 烯酸酯類、特開昭48 -64 1 8 3號公報、特公昭49-43 1 91號公 報以及特公昭52-30490號公報等記載之聚酯丙烯酸酯類等 之多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。又,亦可使用曰本接 著協會誌Vol.20,No.7,300〜308頁( 1984年)中作爲光 硬化性單體以及寡聚物所介紹之物質。
前述之具有烯屬不飽和鍵且可加成聚合之化合物之使 用量,相對於感光性黑色樹脂組成物的全部固體成分,以 質量百分率計,通常爲0.5〜50質量%,較佳爲1〜40質量% 作爲負型感光性黑色樹脂組成物中含有的光聚合引發 劑,只要是能夠引發具有烯屬不飽和鍵且可加成聚合之化 合物聚合的化合物,則無特別限定,可舉例有苯乙酮系光 聚合引發劑、苯偶因系光聚合引發劑、二苯甲酮系光聚合 引發劑、噻噸酮系光聚合引發劑、三嗪系光聚合引發劑、 -24- 201032002 噁二唑系光聚合引發劑等。 作爲本乙酮系光聚合引發劑,例如, 基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-b 醛、2-羥基-2-甲基-丨—H- ( 2-羥基乙氧基: 、1-羥基環己基苯基酮、2_甲基·2_嗎啉基 基)丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲胺基-1-( 丁烷-卜酮、2 -羥基-2-甲基- i- [4- ( 1-甲基 φ 烷-1-酮之寡聚物等。 作爲苯偶因系光聚合引發劑,例如, 、苯偶因甲基醚、苯偶因乙基醚、苯偶因 因異丁基醚等。 作爲二苯甲酮系光聚合引發劑,例如 甲酮、鄰-苯甲醯基苯甲酸甲酯、4_苯基二 醯基-4’-甲基二苯硫醚、3,3,,4,4’_四(第 )—苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。 φ 作爲噻噸酮系光聚合引發劑,例如, 基噻噸酮、4 -異丙基噻噸酮、2,4_二乙基 氯噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮等。 作爲三嗪系光聚合引發劑,例如,可 二氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s_三曉 甲基)-6-(1-對-二甲胺基苯基_丨,3_ 丁二; 2 -二氯甲基-4-胺基_6_對_甲氧基苯乙烯基· 1_基)-4,6_雙-三氯甲基-s-三嗪、2- ( 4-)-4,6-雙-二氯甲基-3_三嗪、2_(4_乙氧基 可舉例有二乙氧 •酮、苄基二甲縮 >苯基]丙烷-1-酮 -1- ( 4-甲硫基苯 4-嗎啉基苯基) 乙烯基)苯基]丙 可舉例有苯偶因 異丙基醚、苯偶 ,可舉例有二苯 苯甲酮、4-苯甲 三丁基過氧羰基 可舉例有2-異丙 噻噸酮、2,4-二 以舉出2,4-雙( 、2,4-雙(三氯 稀基)-s-三嗪' s-三嗪、2-(萘-甲氧基-萘-1-基 蔡-1-基)_4,6- -25- 201032002 雙-三氯甲基-S-三嗪、2- (4-丁氧基-萘-1-基)-4,6-雙-三 氯甲基-s-三嗪、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘-1-基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三嗪、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘-1-基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三嗪、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘-1-基]-4,6-雙-三氯甲基-3-三嗪、2-(2-甲氧基-萘-1-基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三嗪、2- (6 -甲氧基-5-甲基-萘-2-基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三嗪、2- (6-甲氧基-萘-2-基)-4,6-雙-三 氯甲基-s-三嗪、2- (5 -甲氧基-萘-1-基)-4,6-雙-三氯甲 基-s-三嗪、2- (4,7-二甲氧基-萘-1-基)-4,6-雙-三氯甲 基-s-三曉、2- (6 -乙氧基-萘-2-基)-4,6 -雙-三氯甲基- s-三嗪、2-(4,5-二甲氧基·萘-1-基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三 嗪、4-[對-Ν,Ν-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二( 三氯甲基)-s-三嗪、4-[鄰-甲基-對-Ν,Ν-二(乙氧基羰基 甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[對-Ν,Ν-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪 、4-[鄰-甲基-對-Ν,Ν-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三 氯甲基)-s-三嗪、4-(對-Ν-氯乙基胺基苯基)-2,6-二( 三氯甲基)-s_三嗪、4-(對-Ν-乙氧基羰基甲基胺基苯基 )-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[對-Ν,Ν-二(苯基)胺 基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-8-三嗪、4-(對-1氯乙基羰 基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[對-Ν-( 對-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]_2,6-二(三氯甲基)-s-三 嗪、4-[間- Ν,Ν-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二( 三氯甲基)-s-三嗪、4-[間-溴-對-Ν,Ν-二(乙氧基羰基甲 -26- 201032002 基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[間-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基 )-s-三嗪、4-[間-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基 苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[鄰-溴-對-Ν,Ν-二( 乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三曝 、4-[鄰-氯-對-Ν,Ν-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[鄰-氟-對-Ν,Ν-二(乙氧基羰 ❹ 基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-8-三嗪、4-[鄰- 溴-對- Ν,Ν-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[鄰-氯-對-Ν,Ν-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二 (三氯甲基)-s-三嗪、4-[鄰-氟·對-Ν,Ν-二(氯乙基)胺 基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[間-溴-對-Ν,Ν-二 (氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-[ 間-氯-對-Ν,Ν-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基 )-s-三嗪、4-[間-氟-對-Ν,Ν-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-φ 二(三氯甲基)-s-三嗪、4-(間-溴-對-Ν-乙氧基羰基甲基 胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-(間-氯-對-Ν-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三 嗪、4-(間-氟-對-Ν-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二( 三氯甲基)-s-三嗪、4-(鄰-溴-對-Ν-乙氧基羰基甲基胺基 苯基)-2,6-二(三氯甲基)-8-三嗪、4-(鄰-氯-對->1-乙 氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、4-(鄰-氟-對-Ν-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯 甲基)-s-三嗪、4-(間-溴-對-Ν-氯乙基胺基苯基)-2,6- -27 - 201032002 二(二氯甲基)-s-三嗪、4·(間·氯·對_N_氯乙基胺基苯基 )-2,6-二(三氯甲基)-s-三曉、4_ (間_氣對養氯乙基 胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)_s_三嗪、4_ (鄰-溴_對_ N-氯乙基胺基苯基)-2,6_二(三氯甲基)—三嗪、4_ ( 鄰-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)_2,6_二(三氯甲基)—s — 三 嗪、4-(鄰-氟-對_N_氯乙基胺基苯基)_2,6_二(三氯甲基 )-s-三嗪等。
作爲噁一唑系光聚合引發劑,例如,可舉例有2 -三氯 甲基-5-苯乙烯基二唑、2_三氯甲基_5·(對氰基 苯乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2_三氯甲基_5_(對-甲氧基苯 乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2_三氯甲基_5_ (對-丁氧基苯乙 烯基)_1,3,4·噁二唑、2·三氯甲基_5_ (對-羥基苯乙烯基 )-1,3,4-噁二唑、2_三氯甲基_5•(對-氯苯乙烯基)· 1,3,4-噁一唑、2-三氯甲基·5_ (對_甲氧基苯基)-^,“噁 —唑、2-二氯甲基_5•(對-丁氧基苯基)噁二唑、 2·二氯甲基·5·(2 •萘基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基_5-( 曰(2本并呋喃基)乙烯基)丨,3,4嚼二哩、I三氯甲 基-5-(点-(6·甲氧基_2_苯并呋喃基)乙烯基),心噁 —唑、2_二氯甲基- 5·(2 -苯并呋喃基)-i,3,4 -噁二唑等。 另外’作爲光聚合引發劑’例如,可使用2,4,6-三甲 基苯甲醯基二苯基氧化膦、2,2,-雙(鄰-氯苯基)-4,4,,5, 5 -四苯基-1,2’-聯二咪唑、1〇_ 丁基_2氯吖啶酮、2_乙基 意醒、一苯甲酿、9,1〇_菲醌' 樟腦醌、苯基乙醛酸甲基酯 、一茂鈦化合物等。前述光聚合引發劑中,較好使用導入 -28 - 201032002 有二氯甲基之三嗪系光聚合引發劑、導入有三氯甲基之嚼 二唑系光聚合引發劑。 作爲導入有三氯甲基之三嗪系光聚合引發劑,例如, 可舉例有2,4_雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)_6_(4_甲氧基萘基)-^,卜三 嗓、2,4 -雙(三氯甲基)_6·胡椒基-丨,3,5_三嗪' 2,4•雙( 二氯甲基)-6- (4-甲氧基苯乙烯基)-13,5-三嗪、2,4-雙 φ (三氯甲基)_6-[2- ( 5-甲基呋喃-2-基)次乙基]-1,3,5-三 嗪、2,4 -雙(三氯甲基)_6_[2_ (呋喃-2_基)次乙基]· 1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)_6_[2-(4-二乙胺基-2-甲 基苯基)次乙基]-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)次乙基]-^、三嗪等。 作爲導入有三氯甲基之噁二唑系光聚合引發劑,例如 ’可舉例有2 -三氯甲基-5-苯乙烯基-1,3,4 -噁二唑、2 -三氯 甲基- 5-(對-氰基苯乙烯基)-丨,3,4_噁二唑、2_三氯甲基-9 5-(對-甲氧基苯乙烯基)-丨,^^噁二唑、2_三氯甲基-5_ (對-丁氧基苯乙烯基)·1,3,4_噁二唑、2_三氯甲基_5_( 冷-(2-苯并呋喃基)乙烯基)-I 3,4_噁二唑等。 前述光聚合引發劑可以分別單獨使用或組合2種以上 使用。 負型感光性黑色樹脂組成物可含有光聚合引發助劑。 作爲光聚合引發助劑,可舉例有例如,三乙醇胺、甲基二 乙醇胺、三異丙醇胺、4_二甲胺基苯甲酸甲酯、4_二基胺 基苯甲酸乙酯、4-二甲胺基苯甲酸異戊酯、4_二甲胺基苯 -29- 201032002 甲酸2-乙基己酯' 苯甲酸2_二甲胺基乙酯、N,N-二甲基對 甲苯胺、4,4,-雙(二甲胺基)二苯甲酮(通稱米氏酮)、 4,4’-雙(二乙胺基)二苯甲酮、9,10·二甲氧基蒽、2 -乙 基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二 乙氧基蒽等。這些光聚合引發助劑可以分別單獨使用或組 合2種以上使用。 使用前述光聚合引發助劑時,其使用量相對於光聚合 引發劑1莫耳,通常爲〇.〇1〜10莫耳。 光聚合引發劑以及光聚合引發助劑之合計使用量,相 對於感光性黑色樹脂組成物的全部固體成分,以質量百分 率計’通常爲1〜50質量%,較佳爲3〜30質量%。 作爲感光性黑色樹脂組成物中含有的溶劑,例如,可 舉例有酯類、醚類、酮類、芳香族烴類等。 作爲酯類,例如,可舉例有乙酸乙酯、乙酸正丁酯、 乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、乙酸異丁酯、丙酸 丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳 酸乙酯等烷酯類;羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙 酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸 丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等烷氧基乙酸烷 酯類;3-羥基丙酸甲基酯、3-羥基丙酸乙基酯等羥基丙酸 烷酯類;3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3_乙氧 基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基丙酸甲酯、2-羥 基丙酸乙酯、2-羥基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲 氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、 -30- 201032002 2-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基_2_甲基丙酸甲酯、2·羥基_2_甲 基丙酸乙酯、2-甲氧基甲基丙酸甲酯、2_乙氧基甲 基丙酸乙醋、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙醋、丙嗣酸丙醋、乙 酿乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2_氧代丁酸甲酯、2_氧代丁 酸乙酯等。 作爲醚類,例如,可舉例有二乙二醇二甲基醚、四氫 呋喃、乙一醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、甲基溶纖劑乙 φ 酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇 單乙基醚、一乙一醇單丁基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙 一醇乙基酸乙酸酯、丙二醇两基醚乙酸酯等。 作爲酮類’例如,可舉例有甲基乙基酮、環己酮、2_ 庚酮、3-庚酮等。 作爲方香族烴類’例如,可舉例有甲苯、二甲苯、三 甲苯等。 前述溶劑中,較好使用3 -乙氧基丙酸甲酯、3_乙氧基 參 丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲 基醚、乙酸丁酯、3 -甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、 乙基卡必醇乙酸酯'丁基卡必醇乙酸酯以及丙二醇甲基醚 乙酸酯。 前述溶劑可以分別單獨使用或混合2種以上使用,其 使用量,以感光性黑色樹脂組成物中全部固體成分濃度的 質量百分率計,通常在2〜50質量%之範圍內選擇。 (正型感光性黑色樹脂組成物) -31 - 201032002 正型感光性黑色樹脂組成物含有遮光劑 、感光劑、後述的氟系界面活性劑及溶劑。 正型感光性黑色樹脂組成物中含有的遮 ,可以使用與前述負型感光性黑色樹脂組成 光劑以及溶劑同樣者。 黏合劑樹脂於該正型感光性黑色樹脂組 以對於使用該感光性黑色樹脂組成物所形成 層賦予其光線未照射區域溶解於顯影液的性 ,黏合劑樹脂亦具有在使用感光性黑色樹脂 之樹脂組成物層中,作爲使遮光劑分散之分 〇 作爲正型感光性黑色樹脂組成物中使用 ’例如,可舉例有酚醛樹脂、聚羥基苯乙烯 性羥基的高分子化合物、甲基丙烯酸共聚物 物等含有羧基的高分子化合物等含有酚性羥 溶性樹脂。又,作爲鹼溶性樹脂,較佳爲具 作爲具有硬化性的鹼溶性樹脂,例如,可舉 基、環氧基、氧雜環丁烷基、四氫呋喃基、 的具有硬化性的鹼溶性樹脂。 作爲在正型感光性黑色樹脂組成物中使 例如,可舉例有具有重氮醌基的化合物等。 合物,例如,可舉例有1,2-重氮苯醌磺酸醋 醌磺酸酯、1,2-重氮苯醌磺酸醯胺、1,2-重 胺類等。較好爲1,2-重氮萘醌磺酸酯。 、黏合劑樹脂 光劑以及溶劑 物中含有的遮 成物中,係用 之樹脂組成物 質的成分。又 組成物所形成 散介質的功能 的黏合劑樹脂 樹脂等含有酚 、丙烯酸共聚 基或羧基的鹼 有硬化性者。 例有具有乙烯 丁內酯骨架等 用的感光劑, 作爲重氮醌化 、1,2-重氮萘 氮萘醌磺酸醯 201032002 如上述之負型以及正型感光性黑色樹脂組成物亦可含 有熱聚合抑制劑、塡充劑、黏合劑樹脂以外的高分子化合 物、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、凝集防止劑 等添加劑。 熱聚合抑制劑係爲了防止在感光性黑色樹脂組成物保 存時,具有烯屬不飽和鍵且可加成聚合的化合物引發熱聚 合而含有者。作爲熱聚合抑制劑,例如,可舉例有氫醌、 Φ 對·甲氧基苯酚、二-第三丁基-對-甲酚、連苯三酚、第三 丁基兒茶酚、苯醌、4,4’-硫基雙(3-甲基-6-第三丁基苯酚 )、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、N-亞硝 基苯基羥基胺亞鈽鹽等。含有熱聚合抑制劑時,其含量相 對於感光性黑色樹脂組成物的總量,以質量百分率計,通 常爲0.0 1〜5質量%左右。又,作爲塡充劑,例如,可舉例 有玻璃、氧化鋁等。 作爲黏合劑樹脂以外的高分子化合物,例如,可舉例 φ 有聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚、聚丙烯酸氟 烷酯等。 作爲密著促進劑,例如,可舉例有乙烯基三甲氧基矽 烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基) 矽烷、N- ( 2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、 N- (2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基 三乙氧基矽院、3 -環氧丙氧基丙基三甲氧基砂院、3 -環氧 丙氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、2- (3,4-環氧基環己基) 乙基三甲氧基矽烷、3 -氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3 -氯丙 -33- 201032002 烷、 P基_ 爲紫 i -2- ,作 機羧 酸、 酸等 己二 、甲 、四 頭酸 丙基 香族 苯三 羧酸 基琥 亞肉 羧酸 基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽 3-巯基丙基三甲氧基矽烷等。 作爲抗氧化劑,例如,可舉例有2,2-硫基雙(4-E 6-第三丁基苯酚)、2,6-二-第三丁基苯酚等。又,作 外線吸收劑,例如,可舉例有2- ( 3-第三丁基-5-甲; 羥基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等。另外 爲凝集防止劑,例如,可舉例有聚丙烯酸鈉等。 又,本發明之感光性黑色樹脂組成物亦可含有有 酸、有機胺化合物等。 作爲有機羧酸,例如,可舉例有甲酸、乙酸、丙 丁酸、戊酸、新戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛 脂肪族單羧酸;乙二酸 '丙二酸、琥珀酸、戊二酸、 酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、十三烷二酸 基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸 甲基琥珀酸、檸康酸等脂肪族二羧酸;丙三羧酸、烏 、樟腦三酸等脂肪族三羧酸;苯甲酸、甲苯甲酸、異 苯甲酸、2,3-二甲基苯甲酸、3,5-二甲基苯甲酸等芳 單羧酸;鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對苯二甲酸、偏 酸、均苯三甲酸、苯偏四甲酸、苯均四酸等芳香族多 :苯基乙酸、氫化阿托酸、氫化肉桂酸、扁桃酸、苯 珀酸、阿托酸、桂皮酸、桂皮酸甲酯、桂皮酸苄酯、 桂基乙酸、香豆酸、傘形酸等分子量1000以下的有機 等。 作爲有機胺化合物,較佳使用分子量1 000以下的有機 201032002 胺化合物,例如,可舉例有正丙基胺、異丙基胺、正丁基 胺、異丁基胺、第三丁基胺、正-戊基胺、正-己基胺、正-庚基胺、正-辛基胺、正-壬基胺、正-癸基胺、正-十一烷 基胺、正-十二烷基胺、環己基胺、鄰-甲基環己基胺、間-甲基環己基胺、對-甲基環己基胺、鄰-乙基環己基胺、間-乙基環己基胺、對-乙基環己基胺等單(環)烷基胺類; 甲基·乙基胺、二乙基胺、甲基•正丙基胺、乙基•正丙 Φ 基胺、二-正丙基胺、二異丙基胺、二-正丁基胺、二異丁 基胺、二-第三丁基胺、二-正-戊基胺、二-正-己基胺、甲 基•環己基胺、乙基•環己基胺、二環己基胺等二(環) 烷基胺類;二甲基•乙基胺、甲基•二乙基胺、三乙基胺 、二甲基•正丙基胺、二乙基•正丙基胺、甲基•二-正 丙基胺、乙基•二-正丙基胺、三-正丙基胺、三異丙基胺 、三-正丁基胺、三異丁基胺、三-第三丁基胺、三-正-戊 基胺、三-正-己基胺、二甲基•環己基胺、二乙基•環己 φ 基胺、甲基•二環己基胺、乙基•二環己基胺、三環己基 胺等三(環)烷基胺類;2-胺基乙醇、3-胺基-1-丙醇、1-胺基-2-丙醇、4-胺基-1-丁醇、5-胺基-1-戊醇、6-胺基-1-己醇、4-胺基-1-環己醇等單(環)烷醇胺類;二乙醇胺、 二-正-丙醇胺、二異丙醇胺、二-正-丁醇胺、二異丁醇胺 、二-正-戊醇胺、二-正-己醇胺、二(4-環己醇)胺等二 (環)烷醇胺類;三乙醇胺、三-正-丙醇胺、三異丙醇胺 、三-正-丁醇胺、三異丁醇胺、三-正-戊醇胺、三-正-己 醇胺、三(4-環己醇)胺等三(環)烷醇胺;3-胺基-1,2- -35- 201032002 丙二醇、2-胺基-1,3-丙二醇、4-胺基-1,2-丁二醇、4-胺基-1,3-丁二醇、4-胺基-1,2-環己烷二醇、4-胺基-1,3-環己烷 二醇、3-二甲胺基-1,2-丙二醇、3-二乙胺基-1,2-丙二醇、 2-二甲胺基-1,3-丙二醇、2-二乙胺基-1,3-丙二醇等胺基( 環)烷二醇類;1-胺基環戊烷甲醇、4-胺基環戊烷甲醇、 1-胺基環己烷甲醇、4-胺基環己烷甲醇、4-二甲胺基環戊 烷甲醇、4-二乙胺基環戊烷甲醇、4-二甲胺基環己烷甲醇 、4-二乙胺基環己烷甲醇等含有胺基的環烷甲醇類;丙 胺酸、2-胺基丁酸、3-胺基丁酸、4-胺基丁酸、2-胺基異 丁酸、3-胺基異丁酸、2-胺基戊酸、5-胺基戊酸、6-胺基 己酸、1-胺基環丙烷羧酸、1-胺基環己烷羧酸、4-胺基環 己烷羧酸等胺基羧酸類等。 又,例如,胺基直接與苯基結合之化合物,可舉例有 胺基係透過碳鏈與苯基結合之化合物等。作爲前述之胺基 直接與苯基結合的化合物,例如,可舉例有苯胺、鄰-甲 基苯胺、間-甲基苯胺、對-甲基苯胺、對-乙基苯胺、對-正丙基苯胺、對-異丙基苯胺、對-正丁基苯胺、對-第三丁 基苯胺、1-萘基胺、2-萘基胺、N,N-二甲基苯胺、Ν,Ν-二 乙基苯胺、對-甲基-Ν,Ν-二甲基苯胺等芳香族胺類;鄰-胺 基苄基醇、間-胺基苄基醇、對-胺基苄基醇、對-二甲胺基 苄基醇、對-二乙胺基苄基醇等胺基苄基醇類;鄰-胺基苯 酚、間-胺基苯酚、對-胺基苯酚、對-二甲胺基苯酚、對-二乙胺基苯酚等胺基苯酚類;間-胺基苯甲酸、對-胺基苯 甲酸、對-二甲胺基苯甲酸、對-二乙胺基苯甲酸等胺基苯 -36- 201032002 甲酸(衍生物)類等° 前述有機羧酸、有機胺基化合物可以分別單獨使用或 混合2種以上使用。使用前述有機羧酸、有機胺基化合物 時,感光性黑色樹脂組成物中其含量’相對於感光性黑色 樹脂組成物的總量’以質量百分率計,通常爲0.001〜15 質量%,較佳爲〇. 〇 1〜1 〇質量%。 本發明之感光性黑色樹脂組成物中之特徵構成係含有 Φ 在側鏈上具有氟烷基之氟系界面活性劑。 在側鏈上具有氟烷基的氟系界面活性劑可爲非離子型 界面活性劑、陽離子型界面活性劑、陰離子型界面活性劑 的任意一種。在此,所謂氟烷基爲烷基中的全部氫原子經 氟原子取代之氟烷基(全氟烷基)以及烷基中的一部分氫 原子經氟原子取代之氟烷基的總稱,可爲直鏈狀、支鏈狀 之任意基。氟烷基中含有氧原子者(例如,cf3-(ocf2cf2)2-等)亦包含在本發明之氟烷基定義中。贏烷基 φ 的鏈長較佳爲碳原子數3〜I2,又,較佳爲直鏈狀全氟烷 基。 _系界面活性劑較好爲以全部結構單位的總計丨〇〇質 量%爲基準’具有下述式(i a )所示的結構單位1〜4〇質量 %、下述式(lb )所示的結構單位20〜98質量%、以及下 述式(1 c )所示的結構單位1〜4〇質量%之比例的化合物。 -37- 201032002 【化5】 R1 I —CH2 ~* C — I X’-L’~R2 (la) R3 R*
I I CH2 —C— — CHi —C —
I I 0,\〇-L*~fR4-〇3^R5 x -L -Rf (1b) (1c)
Φ ’ Rl ' R3以及R6各自獨立地表示氫原子或碳原子數1 〜5之垸基’ R2表示氫原子、碳原子數1〜5之烷基、羥基 、或-(31((^3)2〇)〇1_31((;^3)3,114表示碳原子數2〜8之伸烷 基’ R表示氮原子、碳原子數1〜12之烷基、醯基或碳原 子數6〜20之芳基;L1、L2以及L3各自獨立地表示單鍵、 伸院基或經取代伸烷基;X1表示-C02-、-CONY1-、或伸芳 基’ X表示·〇-' -C02-、-CONY2-、伸芳基、或2價的雜環 殘基;Rf表示氟烷基;η表示2〜20之整數,又,m表示0〜 3之整數’ Y1以及γ2各自獨立地表示氫原子或碳原子數1〜 5之院基]。 R1' R2、R3以及R6之至少1個爲碳原子數1〜5之烷基
時’該烷基可爲直鏈狀亦可爲支鏈狀,作爲其例,可舉例 有甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基 '第二 丁基。R4表示之碳原子數2〜8的伸烷基可爲直鏈狀亦可爲 支鏈狀,作爲其例,可舉例有伸乙基、伸丙基(甲基伸乙 基)、三亞甲基、四亞甲基、六亞甲基。R5爲碳原子數1 〜12之烷基時,該烷基可爲直鏈狀亦可爲支鏈狀,作爲其 例,可舉例有甲基、乙基 '正丙基、異丙基、正丁基、異 丁基、第二丁基、2-乙基己基、正十二烷基。R5爲醯基時 ,作爲其例,可舉例有乙醯基、丙醯基、苯甲醯基’其碳 -38- 201032002 原子數通常爲2〜10左右。R5爲碳原子數6〜20之芳基時, 作爲其例,可舉例有苯基、甲苯基、萘基。L1、L2以及L3 之至少1個爲伸烷基時,該伸烷基可爲直鏈狀亦可爲支鏈 狀,作爲其例,可舉例有伸乙基、伸丙基、三亞甲基、四 亞甲基、六亞甲基,其碳原子數通常爲2〜8左右。L1、L2 以及L3之至少1個爲經取代伸烷基時,作爲其例,可舉例 有如伸乙基、伸丙基、三亞甲基、四亞甲基、六亞甲基之 φ 直鏈狀或支鏈狀伸烷基之氫原子被如苯基之芳基或羥基取 代而得者,其碳原子數通常爲2〜20。X1以及X2之至少1個 爲伸芳基時,作爲其例,可舉例有伸苯基、伸萘基,其碳 原子數通常爲6〜20。X2爲2價雜環殘基時,作爲其例,可 舉例有自如吡啶環、嘧啶環、耻嗪環、噻唑環之雜環除去 2個氫原子而成的殘基,其碳原子數通常爲3〜10。Y1以及 Y2之至少1個爲碳原子數1〜5之烷基時,該烷基可爲直鏈 狀亦可爲支鏈狀,作爲其例,可舉例有甲基、乙基、正丙 φ 基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基。 又,氟系界面活性劑進而較佳係式(la)中的R2表 示-(Si(CH3)2〇)m-Si(CH3)3之化合物,即,至少使用含有氟 烷基以及烯屬雙鍵之單體與含有有機矽鏈以及烯屬雙鍵之 單體聚合得到的氟系共聚物。 並且,本發明之第1實施形態之感光性黑色樹脂組成 物,以相對於全部固體成分的氟含量計,含有0.0008〜 0.00 5質量% ( 8〜50ppm )之氟系界面活性劑。此種感光性 黑色樹脂組成物可較好地使用於用以形成黑色矩陣之組成 -39- 201032002 物,所述黑色矩陣係在基板上具有多個彩色像素層及位於 鄰接的彩色像素層間的成爲隔離壁的黑色矩陣之彩色濾光 片中的黑色矩陣。 亦即,藉由使用以相對於全部固體成分的氟含量計, 含有0.0008〜0.005質量% ( 8〜50ppm)之在側鏈上具有氟 烷基之氟系界面活性劑的感光性黑色樹脂組成物,可成爲 形成成爲隔離壁的黑色矩陣之組成物,其賦予該隔離壁相 對於噴墨印刷用油墨的疏液性,可以防止由鄰接的彩色像 素層間的異色油墨混入而發生的混色,確保均句的疏液性 ,可防止局部的漏白等像素缺陷發生。又,第1實施形態 之感光性黑色樹脂組成物中,在側鏈上具有氟烷基之氟系 界面活性劑本身的含量,可根據其分子量所占的氟的質量 比例而適當調整,但通常,相對於全部固體成分爲0.01〜 0.03質量 % ( 100 〜300ppm)左右。 在側鏈上具有氟烷基之氟系界面活性劑的含量,以相 對於全部固體成分的氟含量計,未達8ppm時,所形成的成 爲隔離壁的黑色矩陣的疏液性不充分,不僅無法充分發揮 鄰接的彩色像素層間的混色防止效果,而且黑色矩陣表面 産生貝納爾旋流窩般的結構,而較不佳。另外,在側鏈上 具有氟烷基之氟系界面活性劑的含量,以相對於全部固體 成分的氟含量計,超過50ppm時,基板的中央部雖沒有問 題’但是基板外周部(邊緣部)附近的彩色像素層發生局 部的漏白等像素缺陷。 在此,以相對於全部固體成分的氟計,在側鏈上具有 -40-
201032002 氟烷基之氟系界面活性劑含量可以如下求 鏈上具有氟烷基之氟系界面活性劑的分子 量比例與全部固體成分中在側鏈上具有氟 活性劑所占的質量比例相乘而求出。另外, 在的含氟成分僅爲在側鏈上具有氟烷基之 時,固體成分中氟含量可以藉由氧燃燒-離 求出。 又,在側鏈上具有氟烷基之氟系界面活 鏈的氟烷基以外還具有氟之情況,亦包含該 對於全部固體成分的氟含量在上述範圍內即 成分中存在在側鏈上具有氟烷基之氟系界面 含氟成分時,亦包含該含氟成分的氟,相s 分的氟含量期望在上述範圍內。 又,氟系界面活性劑之分子量,從混色 缺陷防止性以及界面活性劑自身對於溶劑的 慮,以聚苯乙烯換算之分子量較佳爲1 5000〜 另外,本發明之感光性黑色樹脂組成 爲隔離壁的黑色矩陣以外,亦可使用於形 間隙目的之光間隔物。使用本發明之感光 成的光間隔物,可以高精度間距以及形狀 ),可以防止干擾有效像素。 (黑色矩陣基板) 接著,對使用前述之感光性黑色樹脂 ’即,將在側 中氟所占的質 基的氟系界面 固體成分中存 系界面活性劑 子色譜法分析 性劑,除了側 氟,只要使相 可。又,固體 活性劑以外的 於全部固體成 防止性、像素 溶解性方面考 25000 〇 ,除了形成成 爲控制液晶胞 樹脂組成物形 置柱狀物(柱 成物形成的黑 -41 - 201032002 色矩陣基板進行說明。 黑色矩陣基板係用於製造彩色濾光片者’所述彩色濾 光片係在基板上具有多個彩色像素層及位於鄰接的彩色像 素層間的成爲隔離壁的黑色矩陣’將前述感光性黑色樹脂 組成物塗佈在基板上形成感光性黑色樹脂組成物層’透過 光罩對該感光性黑色樹脂組成物層照射光線’藉由使經照 射之感光性黑色樹脂組成物層顯影而製作黑色矩陣基板。 圖1A〜圖1C係顯示黑色矩陣基板7之製造方法順序之 圖。黑色矩陣基板7之製造係準備作爲形成黑色矩陣的基 材的基板2而開始。 作爲基板2,例如,除了玻璃基板、矽基板等以外, 可舉例有聚碳酸酯基板、聚酯基板、芳香族聚醯胺基板、 聚醯胺醯亞胺基板、聚醯亞胺基板等樹脂基板。另外,基 板2亦可施以藉由矽烷偶聯劑等試劑的試劑處理、電漿處 理、離子鍍敷處理、濺射處理、氣相反應處理、真空蒸鍍 處理等前處理。 接著,在基板2的厚度方向一表面上塗佈前述之本發 明感光性黑色樹脂組成物。作爲塗佈方法,例如,可以使 用旋轉塗佈法(旋塗法)、流延塗佈法、輥塗佈法、狹縫 塗佈法、狹縫及旋轉法、非旋轉塗佈法等公知之塗佈方法 。將感光性黑色樹脂組成物塗佈於基板2表面上後,乾燥 並使溶劑揮發,如圖1 A所示,在基板2上形成具有既定膜 厚的感光性黑色樹脂組成物層1。 接著’如圖1 B所示,透過光罩3對感光性黑色樹脂組 -42- 201032002 成物層1照射光線4。在此,圖1 B中,以感光性黑色樹脂組 成物層1係使用負型感光性黑色樹脂組成物所形成者進行 說明。 光罩3例如係在玻璃板31等表面上設置遮光層32而得 者。藉由遮光層32,光線4被遮蔽。玻璃板31中未設置遮 光層32的部分爲透光部33,光線4透過透光部33並照射於 感光性黑色樹脂組成物層1,感光性黑色樹脂組成物層1轉 φ 印透光部33的圖案並被曝光。另外,爲了提高曝光感度, 亦可在玻璃板31表面塗佈PV A等氧阻斷膜。 作爲光線4,通常使用g線(波長436nm ) 、i線(波 長3 65nm)等紫外線。較好光線4係以平行光照射感光性黑 色樹脂組成物層1,通常透過光罩陣列(未圖示)等進行 照射。對感光性黑色樹脂組成物層1之曝光可以使用公知 的投影式曝光裝置或連線(proxy )方式的曝光装置透過 光罩3而進行,亦可使用以雷射作爲光源的無光罩描繪裝 Φ 置進行。光線4之照射量,可根據感光性黑色組成物中遮 光劑的含量、黏合劑樹脂的種類或含量、具有烯屬不飽和 鍵且可加成聚合的化合物的種類或含量、光聚合引發劑的 種類或含量、以及曝光裝置中使用的光源波長、讀取波長 、功率而適當選擇。 對感光性黑色樹脂組成物層1的曝光結束後進行顯影 。顯影時,只要使曝光後之感光性黑色樹脂組成物層1與 顯影液接觸即可。 作爲顯影液,例如可以使用鹼性水溶液。作爲鹼性水 -43- 201032002 溶液,例如可以使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸 鈉、偏矽酸鈉、氨水、乙基胺、二乙基胺、二甲基乙醇胺 、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、膽鹼、吡咯、哌啶 、1,8-二氮雜雙環-[5,4,0]-7-十一碳烯等水溶性鹼性化合 物的水溶液,其濃度相對於鹼性水溶液,以質量百分率計 ,通常爲0.001〜1〇質量%,較佳爲0.01〜1質量%左右。前 述之鹼性水溶液可含有甲醇、乙醇等水溶性有機溶劑、界 面活性劑等。可使用有機溶劑作爲顯影液,例如,可以適 當組合感光性黑色樹脂組成物中含有的溶劑而使用。 顯影方法並無特別限定,例如,可以藉由沉浸顯影法 (浸漬顯影法)、淋洗顯影法 '噴霧顯影法、棒式顯影法 (溢液顯影法)等方法顯影。顯影溫度通常爲10〜40 °c之 範圍,顯影時間通常爲10〜300秒。 藉由顯影,感光性黑色樹脂組成物層1中之光線4未照 射的光線未照射區域溶解於顯影液而被除去。另一方面, 光線4照射的感光性黑色樹脂組成物層1之光線照射區域殘 留在基板2上,如圖1C所示,可製備於基板2表面上形成有 黑色矩陣(隔離壁圖案)5B Μ的黑色矩陣基板7。藉由顯 影處理,溶解除去感光性黑色樹脂組成物層1的部分成爲 黑色矩陣5ΒΜ的開口部7a。 本實施形態中,在黑色矩陣基板7中,黑色矩陣5BM 的隔離壁高度(黑色矩陣5BM的膜厚)A較佳爲1.2〜 3.0μηι。黑色矩陣5BM的隔離壁高度A未達1·2μιη時,在黑 色矩陣5ΒΜ的開口部7a無法塡充用以達成顏色再現所必要 201032002 的色濃度的足夠量之噴墨印刷用油墨,而不佳。隔離壁高 度A超過3.Ομιη時,不僅難以製備形成有高精度隔離壁圖案 的黑色矩陣基板7,而且使用該黑色矩陣基板7製造彩色濾 光片時’彩色像素層與隔離壁的高低差變大,液晶胞的設 計變得困難,而不佳。 另外,本實施形態中,黑色矩陣基板7的黑色矩陣 5ΒΜ中隔離壁的寬度Β通常設定在50μιη左右以下,較佳爲 φ 10〜20μπι左右。另外,由隔離壁所包圍之區域的黑色矩陣 5ΒΜ的開口部7a—般爲矩形狀,從油墨的塡充性考慮,其 角部可爲半徑爲數μιη左右的弧形狀。黑色矩陣5 Β Μ的開口 部7a爲正方形時,其開口部7a之邊長C通常設定在20〜 150μηι左右。又,黑色矩陣5BM的開口部7a爲長方形時,
其開口部7a的尺寸通常設定在20〜150pmx70〜50(^m&S 〇 顯影處理後製備的黑色矩陣基板7,於使用鹼性水溶 φ 液作爲顯影液時,於顯影處理後進行水洗、加熱處理。爲 了使黑色矩陣5BM相對於噴墨印刷用油墨表現足夠的穩定 性而不引起如溶解或膨潤之變形,加熱處理通常以1 5 0〜 250 °C進行5〜30分鐘。 如上述製造的黑色矩陣基板7中,黑色矩陣5BM由於 使用本發明之感光性黑色樹脂組成物製備’因此由以均勻 狀態被賦予相對於噴墨印刷用油墨之疏液性的隔離壁構成 。因此,藉由噴墨印刷法在黑色矩陣5BM的開口部7a印刷 的噴墨印刷用油墨’可以防止油墨超出成爲隔離壁的黑色 -45- 201032002 矩陣5BM而侵入鄰接的開口部7a發生混色,可以防止發生 局部油墨塡充不良問題、即可以防止發生漏白等像素缺陷 〇 又,在藉由飛行時間型二次離子質量分析計(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy,簡稱:T OF -SIMS )檢測的負離子的檢測結果中,黑色矩陣基板7之全 部負離子檢測強度的總計爲1而公稱化時的氟離子檢測強 度比,較好於成爲隔離壁的黑色矩陣5BM表面爲0.1 5以上 、未達0.3,且於黑色矩陣5BM的開口部7a所對應的基板2 表面爲0.0 5以下。 黑色矩陣5BM的表面、與黑色矩陣5BM的開口部7a所 對應的基板2表面中的氟離子檢測強度比,藉由調整形成 黑色矩陣5BM時使用的感光性黑色樹脂組成物中氟系界面 活性劑的含量,可以控制在特定範圍。 使用以相對於全部固體成分的氟含量計,含有0.0008 〜0.005質量%(8~5(^?111)氟系界面活性劑之前述感光性 黑色樹脂組成物,藉由在基板2上形成黑色矩陣5BM,可 成爲於黑色矩陣5BM表面之氟離子檢測強度比爲0.15以上 、未達〇 · 3 ’且於黑色矩陣5 B Μ之開口部7 a所對應的基板2 表面氟離子的檢測強度比爲〇·〇5以下之黑色矩陣基板7。
黑色矩陣5ΒΜ的表面與黑色矩陣5ΒΜ的開口部7a所對 應的基板2表面中氟離子檢測強度比經控制在前述特定範 圍之黑色矩陣基板7,其具有成爲被以均勻狀態賦予相對 於噴墨印刷用油墨的疏液性之隔離壁的黑色矩陣5BM。医I 201032002 此,可以防止藉由噴墨印刷法在黑色矩陣5BM的開口部7a 印刷的噴墨印刷用油墨超出成爲隔離壁的黑色矩陣5BM而 使油墨侵入鄰接的開口部7a發生混色,同時可以防止發生 局部油墨塡充不良問題、即可以防止發生漏白等像素缺陷 成爲隔離壁的黑色矩陣5BM表面之氟離子檢測強度比 未達0.1 5時,成爲隔離壁的黑色矩陣5BM相對於噴墨印刷 φ 用油墨的疏液性不充分,無法充分發揮鄰接的彩色像素層 間的混色防止效果。又,黑色矩陣5BM表面之氟離子檢測 強度比爲0.3以上時,在基板2外周部(邊緣部)附近的彩 色像素層發生局部的漏白等像素缺陷。進而,黑色矩陣 5BM的開口部7a所對應的基板2表面之氟離子檢測強度比 超過0.05時,對於形成有彩色像素層的基板2表面亦賦予 相對於噴墨印刷用油墨的疏液性,使基板2外周部(邊緣 部)附近的彩色像素層發生局部的漏白等像素缺陷,同時 φ 黑色矩陣5BM表面的疏液性帶來的混色防止效果降低。 (彩色濾光片之製造) 接著,說明本發明的彩色濾光片之製造方法。圖2A以 及圖2B係顯示彩色濾光片製造方法之順序圖。且圖3 A以及 圖3B係顯示彩色濾光片構成之槪略圖。彩色濾光片之製造 方法包括黑色矩陣基板製備步驟和像素層形成步驟。 <黑色矩陣基板製備步驟> -47 - 201032002 黑色矩陣基板製備步驟係製備黑色矩陣基板的步驟, 如上述,製備在基板2上形成黑色矩陣5BM的黑色矩陣基 板7。 <像素層形成步驟> 在像素層形成步驟中,在黑色矩陣基板7上形成的隔 離壁所包圍之像素區域的黑色矩陣5BM的開口部7a上,藉 由噴墨印刷方式印刷噴墨印刷用油墨,形成彩色像素層。 彩色像素層由紅色彩色像素層、綠色彩色像素層以及藍色 彩色像素層之3原色彩色像素層構成。 像素層形成步驟中,如圖2A所示,對應於所形成之彩 色像素層的各種顏色,使用噴墨印刷用噴頭1 OR、10G、 10B,在黑色矩陣5BM的特定開口部7a上印刷各種顏色的 噴墨印刷用油墨1 1 R、1 1 G、1 1 B。至於噴墨印刷用噴頭並 無特别限定,可以使用壓電方式、氣泡噴射(Bubble ject )(註冊商標)方式、靜電方式等公知的噴頭,特佳爲壓 電方式。又,作爲噴墨印刷用油墨,可使用含有以公知方 法調製之公知著色劑、分散劑、利用熱或光而高分子化之 交聯性分子的單體或寡聚物、黏合劑樹脂、聚合引發劑、 以及溶劑等之公知噴墨印刷用油墨。 將各種顏色的噴墨印刷用油墨1 1 R、1 1 G、1 1 B印刷在 黑色矩陣5BM之特定開口部7a上時,由於各種顏色油墨的 固體成分濃度受到制約,因此形成的彩色像素層中,爲了 得到所期望的層厚以及著色濃度,相對於黑色矩陣5BM的 201032002 開口部7a的容積(開口面積x隔離壁高度)’有必要印刷 數倍以上體積之噴墨印刷用油墨1 1 R、1 1 G、1 1 B。 本實施形態之像素層形成步驟中’由於以均勻狀態賦 予相對於噴墨印刷用油墨1 1 R、1 1 G、1 1 B的疏液性之黑色 矩陣5BM的開口部7a上印刷各種顏色油墨11R、11G、11B ,故可防止油墨超出成爲隔離壁的黑色矩陣5BM而侵入鄰 接的開口部7a發生混色’可防止發生局部油墨塡充不良問 A 題、即可以防止發生漏白等像素缺陷。 黑色矩陣5ΒΜ之特定開口部7a上印刷各種顏色的噴墨 印刷用油墨1 1 R、1 1 G、1 1 B,若暴露於熱或光,則如圖2 B 所示,對應於印刷有各種顏色油墨的黑色矩陣5 BM的開口 部7a,形成紅色彩色像素層5R、綠色彩色像素層5G以及藍 色彩色像素層5B。如此,如圖3A所示,可製造在基板2上 形成由3原色的彩色像素層5R、5G、5B構成之著色圖案5 及位於鄰接的彩色像素層間的成爲隔離壁的黑色矩陣5BM φ 的彩色濾光片6。又,如圖3A所示之彩色濾光片6,係對應 於形成爲正方形的黑色矩陣5B Μ的開口部7a,形成有各種 顏色的彩色像素層5R、5G、5B者,藉由對應於形成爲長 方形的黑色矩陣5BM的開口部7a,形成各種顏色的彩色像 素層5R、5G、5B,可製造圖3B所示之彩色濾光片60。 (實施例) 以下,利用實施例進而詳細說明本發明,但本發明不 限定於該等實施例。 -49- 201032002 (感光性黑色樹脂組成物中氟系界面活性劑含量之影響) <氟系界面活性劑之合成> [氟系界面活性劑1之合成]
在具備攪拌裝置、冷凝管、溫度計之玻璃燒瓶中,加 入下述式(4)所示的含有氟烷基之丙烯酸酯單體29重量 份、下述式(5)所示的含有有機矽之烯屬不飽和單體26 重量份、於側鏈具有聚氧乙烯(分子量400 )之單丙烯酸 酯化合物(單末端爲甲氧基醚)45重量份、丙二醇單甲基 醚乙酸酯200重量份,於氮氣氣流中、回流下,滴加作爲 聚合引發劑之偶氮雙異丁腈1重量份,在8 0 °C回流1 2小時 進行聚合反應,得到氟系界面活性劑1。 【化6】 0 f3c(cf2)5、 a 1 / , …⑷ 【化7】 (H3C)3.SiOSi(CH3)2
• . ·⑸
氟系界面活性劑1爲具有下列結構單位及比例之化合 物:在式(la)中,R1爲甲基、X1爲- C〇2-、L1爲伸乙基 、R2爲- (SUCHshOh-SUCHsh之結構單位爲26質量% :式 (lb)中’ R3爲氫原子、l2爲單鍵、R4爲伸乙基、η爲9、 R5爲甲基之結構單位爲45質量% ;以及式(lc)中,尺6爲 甲基、X2爲-C〇2-、L3爲伸乙基、Rf爲全氟己基之結構單 -50- 201032002 位爲29質量%。 [氟系界面活性劑2之合成] 除了式(4)所示之含有氟烷基之丙烯酸酯單體變更 爲21重量份、式(5)所示之含有有機矽之嫌屬不飽和單 體變更爲18重量份、於側鏈具有聚氧乙烯(分子量4〇〇 ) 之單丙烯酸酯化合物(單末端爲甲氧基醚)變更爲58重量 φ 份,且進而添加甲基丙烯酸2-羥基乙酯3重量份以外,與 氟系界面活性劑1同樣地操作進行聚合反應,得到氟系界 面活性劑2。 氟系界面活性劑2具有下列結構單位及比例之化合物 :式(la)中,R1爲甲基、X1爲-C02-、L1爲伸乙基、R2 爲- (SKCHhhOh-SKCHsh之結構單位爲18質量%;式(la )中,R1爲甲基、X1爲- C02-、L1爲伸乙基、R2爲羥基之 結構單位爲3質量% :式(lb)中,R3爲氫原子、L2爲單鍵 φ 、R4爲伸乙基、η爲9、R5爲甲基之結構單位爲58質量% ; 以及式(lc)中,R6爲甲基、X2爲-C02-、L3爲伸乙基、 Rf爲全氟己基之結構單位爲21質量%。 (實施例1 ) 將遮光劑[黑色顏料(C.I.顏料黑7) 40質量份與聚胺 基甲酸酯系分散劑12質量份之混合物]52質量份 '黏合劑 樹脂[下述式(6 )所示的化合物3 0 0質量份和聯苯四羧酸 二酐50質量份和四氫鄰苯二甲酸酐5〇質量份之反應生成物 -51 - 201032002 ]33質量份、具有烯屬不飽和鍵且可加成聚合之化合物二 季戊四醇六丙烯酸酯11質量份、光聚合引發劑的2,4-雙( 三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪5.0質量份、光聚合引發 助劑的雙甲酮3.0質量份、0.68質量份(相對於全部固體成 分含量:65ppm,相對於全部固體成分的氟含量:llppm )氟系界面活性劑1、及溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯3 58 質量份混合,得到實施例1之感光性黑色樹脂組成物。
【化8】
Η
I o-ch2-ch-ch2-o— c-c=ch2 OH Ο •··(6) (實施例2 ) 除變更氟系界面活性劑1的添加量’使相對於全部固 體成分的含量爲130pPm (相對於全部固體成分的氟含量: 22ppm )以外,與實施例1同樣,得到實施例2之感光性黑 色樹脂組成物。 (實施例3 ) 除變更氟系界面活性劑1的添加量’使相對於全部固 體成分的含量爲21 Oppm (相對於全部固體成分的氟含量: 3 5ppm )以外,與實施例1同樣,得到實施例3之感光性黑 色樹脂組成物。 •52- 201032002 (實施例4 ) 除變更氟系界面活性劑)的添加量,使相對於全部固 體成分的含量爲160Ppm (相對於全部固體成分的氟含量: 27ppm )以外,與實施例i同樣,得到實施例4之感光性黑 色樹脂組成物。 (實施例5 ) 除了由氟系界面活性劑1變更爲氟系界面活性劑2,且 相對於全部固體成分的氟系界面活性劑2的含量爲260Ppm (相對於全部固體成分的氟含量:4 5ppm )以外,與實施 例1同樣,得到實施例5之感光性黑色樹脂組成物。 (比較例1 ) 除了不添加氟系界面活性劑1以外,與實施例1同樣, φ 得到比較例1之感光性黑色樹脂組成物。 (比較例2 ) 除了由氟系界面活性劑1變更爲下述式(7)所示的有 機矽系界面活性劑,使相對於全部固體成分的界面活性劑 的含量爲lOOppm以外,與實施例1同樣’得到比較例2之感 光性黑色樹脂組成物。 【化9】
AcO-POA-(- SKCH3)2〇-l—POA-Ac ---(7) -53- 201032002 [式中,POA表示聚氧化烯結構,且’ ^表示乙醯基]。 (比較例3 ) 除變更以式(7)所示的有機矽系界面活性劑的添加 量,使相對於全部固體成分的界面活性劑的含量爲8〇 PPm 以外,與比較例2同樣,得到比較例3之感光性黑色樹脂組 成物。 (比較例4 ) 除變更以式(7)所示的有機矽系界面活性劑的添加 量,使相對於全部固體成分的界面活性劑的含量爲16〇Ppm 以外,與比較例2同樣,得到比較例4之感光性黑色樹脂組 成物。 (比較例5 ) 除變更氟系界面活性劑1的添加量,使相對於全部固 體成分的含量爲32PPm (相對於全部固體成分的氟含量: 6ppm )以外,與實施例1同樣,得到比較例5之感光性黑色 樹脂組成物。 (比較例6 ) 除變更氟系界面活性劑1的添加量,使相對於全部固 體成分的含量爲320ppm (相對於全部固體成分的氟含量: 5 4ppm )以外,與實施例1同樣,得到比較例6之感光性黑 201032002 色樹脂組成物。 <黑色矩陣基板的製造> 分别將實施例1〜5以及比較例1〜6之感光性黑色樹脂 組合物利用旋塗法塗佈於無鹼玻璃基板(型號:#1 737, 康寧股份有限公司製)上,真空乾燥後在l〇〇°C加熱90秒 ,在無鹼玻璃基板上形成由各感光性黑色樹脂組成物的固 φ 體成分所構成的感光性黑色樹脂組成物層。將形成之感光 性黑色樹脂組成物層進行230 °Cx20分鐘熱處理後的膜厚反 映爲旋塗機的塗佈條件,由此調整感光性黑色樹脂組成物 層的厚度爲規定厚度。該感光性黑色樹脂組成物層之膜厚 成爲後述的黑色矩陣中隔離壁的高度。膜厚使用膜厚計( 商品名:Dektak,ULVAC股份有限公司製)測定。 接著,在形成有感光性黑色樹脂組成物層之無鹼玻璃 基板上,透過具有特定隔離壁圖案的光罩,以貼近間隙 φ 15〇μιη照射紫外線(照射量爲lOOmJ/cm2 :以I線換算)進 行曝光。使用具備具有CD19pm、長方形的開口部66X 226μιη的重複圖案的光罩作爲隔離壁圖案。 接著,將曝光後之感光性黑色樹脂組成物層藉由顯影 液(CD液:富士膠捲電子材料股份有限公司製,稀釋5 0倍 )進行26 tx80秒淋洗顯影,接著用純水洗滌,在潔淨烘 箱中以230 °C X20分鐘燒成,得到形成有黑色矩陣(隔離壁 樹 色 黑 性 光 感 的 5 例 施 實 及 以 4 。 例 板施 基實 ΒΓ 陣月 矩使 色於 黑對 的’ Ν 又 案 -55- 201032002 組成物製造的黑色矩陣基板中的黑色矩陣,使用各種標準 溶劑測定接觸角,以Zismanri方法測定表面能,測定結果 分別爲 22.9nN/m及 23.0nN/m » <彩色濾光片之製造〉 [噴墨印刷用油墨之製備] 製備含有15質量份作爲著色劑的C.I.顏料藍15 : 6 、 2質量份C.I.顏料紫23、7質量份聚酯系分散劑、餘量爲作 爲溶劑的二丙二醇單甲基醚乙酸酯(DPMA )的藍色著色 劑分散液。同樣地按照表1所示組成,製備綠色著色劑分 散液以及紅色著色劑分散液。 [表1] 紅色著色劑分散 液(質量份) 綠色著色劑分散 液(質量份) 藍色著色劑分散 液(質量份) 著色劑 PR242 10 - - PR177 10 - PG36 • 12 - PY150 5 - PB15:6 - 15 PV23 • - 2 分散劑 分散劑1 1 7 - - 分散劑2 • 7 - 分散劑3 卸 - 7 溶劑 EDGAC 74 - - DPMA - 75 77
表1中,PR242表示C.I·顏料紅242’ PR177表不C·1·顏 -56- 201032002 料紅177,PG36表示C.I.顏料綠36,PY150表示C.I.顏料黃 150,PB15: 6表示C.I.顏料藍15: 6,PV2 3表示C.I.顏料紫 23。另外,EDGAC表示二乙二醇單乙基醚乙酸酯,DPMA 表示二丙二醇單甲基醚乙酸酯。 於製備的藍色顏料分散液61質量份中添加丙烯酸樹脂 4質量份、作爲溶劑的二乙二醇單丁基醚(BDG) 35質量 份,製備藍色噴墨印刷用油墨。同樣地按照表2所示組成 ,製備綠色噴墨印刷用油墨、紅色噴墨印刷用油墨。 [表2] 噴墨印刷用油墨 紅色(質量份) 綠色(質量份) 藍色(質量份) 著色劑分散液 90 86 61 丙烯酸樹脂 3 2 4 EDGAC 7 _ - 溶劑 DPMA _ 12 BDG - - 35 表2中,EDGAC表示二乙二醇單乙基醚乙酸酯,DPMA 表示二丙二醇單甲基醚乙酸酯,BDG表示二乙二醇單丁基 醚。 [彩色濾光片之製備] 在使用實施例1〜5以及比較例1〜6之感光性黑色樹脂 組成物製造的各黑色矩陣基板中的黑色矩陣的開口部中, 使用噴墨印刷用噴頭,同時塡充紅色油墨120pL、綠色油 -57- 201032002 墨120pL、藍色油墨130pL,在40°C x2分鐘預乾燥後,在 230°Cx20分鐘進行烘烤製備彩色濾光片。 [評價] 對於如上製備的各彩色濾光片,進行目視觀察及顯微 鏡觀察,評價對黑色矩陣開口部的油墨塡充狀況、鄰接像 素層間有無混色。至於油墨塡充狀況,特別注意彩色濾光 片畫面的周邊部(邊緣鄰接像素)上發生的油墨塡充不良 (漏白)’與畫面中央部的塡充狀態一倂評價。沒有漏白 發生的情況作爲“〇”,有漏白發生的情況作爲‘‘ χ,,。 至於鄰接像素層間的混色,沒有發生混色的情況作爲“〇 ” ’發生混色的情況作爲“ χ ” 。且,至於綜合評價,“ 漏白”以及“混色”均未發生的情況作爲“〇”,發生任 —種的情況作爲“ χ” 。評價結果如表3所示。 201032002 [表3]
感光性黑色樹脂組成物 隔離壁 高度 (μιη) 評價結果 編號 界面活性劑 漏白 混色 綜合 評價 種類 添加量 (ppm) 氟換算添加量 (PPm) 中央部 邊緣部 實施例1 氟系界面活性劑1 65 11 2.2 〇 〇 〇 〇 實施例2 氟系界面活性劑1 130 22 1.6 〇 〇 〇 〇 實施例3 氟系界面活性劑ίΐ 210 35 1.5 〇 〇 〇 〇 實施例4 氟系界面活性劑1 160 27 2.1 〇 〇 〇 〇 實施例5 氟系界面活性劑2 260 45 2.3 〇 〇 〇 〇 比較例1 未添加 0 0 1.6 〇 〇 X X 比較例2 矽系界面活性劑 100 0 2.3 〇 X 〇 X 比較例3 矽系界面活性劑 80 0 2.3 〇 X X X 比較例4 矽系界面活性劑 160 0 1.6 X X 〇 X 比較例5 氟系界面活性劑1 32 6 2.1 〇 〇 X X 比較例6 氟系界面活性劑1 320 54 2.2 X X 〇 X 由表3可以明確看出,使用以相對於全部固體成分的 氟含量計,含有8〜50ppm之氟系界面活性劑之實施例1〜5 之感光性黑色樹脂組成物製備的彩色濾光片,並未發生混 φ 色,亦未發生漏白等像素缺陷。~ 又,圖4表示使用實施例之感光性黑色樹脂組成物製 * 備之彩色濾光片的表面放大照片,圖5表示使用比較例之 感光性黑色樹脂組成物製備之彩色濾光片的表面放大照片 。由圖4、5的彩色濾光片的表面放大照片,亦可知使用比 較例的感光性黑色樹脂組成物製備的彩色濾光片發生混色 、漏白等像素缺陷,與此相反,使用實施例的感光性黑色 樹脂組成物製備的彩色濾光片並未發生混色、漏白等像素 缺陷。 -59- 201032002 (黑色矩陣基板中氟離子檢測強度比之影響) <感光性黑色樹脂組成物之調製〉 [感光性黑色樹脂組成物1之調製] 將遮光劑[黑色顏料(C.I.顏料黑7 ) 40質量份及聚胺 基甲酸酯系分散劑1 2質量份之混合物]5 2質量份、黏合劑 樹脂[上述式(6)所示的化合物3 00質量份及聯苯四羧酸 二酐50質量份和四氫鄰苯二甲酸酐50質量份的反應生成物 ]33質量份、具有烯屬不飽和鍵且可加成聚合的化合物二 季戊四醇六丙烯酸酯11質量份、光聚合引發劑的2,4-雙( 三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪5.0質量份、光聚合引發 助劑的雙甲酮3.0質量份、2.8質量份(相對於全部固體成 分的含量:260ppm,相對於全部固體成分的氟含量: 4 7ppm )氟系界面活性劑1、及溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸 酯3 58質量份混合,得到感光性黑色樹脂組成物1。 [感光性黑色樹脂組成物2之調製] 除變更氟系界面活性劑1的添加量,使相對於全部固 體成分的含量爲21 Oppm (相對於全部固體成分的氟含量: 4 0ppm )以外,與感光性黑色樹脂組成物1同樣,得到感光 性黑色樹脂組成物2。 [感光性黑色樹脂組成物3之調製] 除變更氟系界面活性劑1的添加量,使相對於全部固 -60- 201032002 體成分的含量爲105PPm (相對於全部固體成分的氟含量: 2 Op pm )以外,與感光性黑色樹脂組成物1同樣,得到感光 性黑色樹脂組成物3。 [感光性黑色樹脂組成物4之調製] 除了不添加氟系界面活性劑1以外,與感光性黑色樹 脂組成物1同樣,得到感光性黑色樹脂組成物4。 [感光性黑色樹脂組成物5之調製] 除變更氟系界面活性劑1的添加量,使相對於全部固 體成分的含量爲35ppm (相對於全部固體成分的氟含量: 6ppm )以外,與感光性黑色樹脂組成物1同樣,得到感光 性黑色樹脂組成物5。 [感光性黑色樹脂組成物6之調製] φ 除了變更氟系界面活性劑1的添加量,使相對於全部 固體成分的含量爲315ppm (相對於全部固體成分的氟含量 :5 7ppm )以外,與感光性黑色樹脂組成物1同樣,得到感 光性黑色樹脂組成物6。 <黑色矩陣基板之製造> (實施例6 ) 將感光性黑色樹脂組成物1利用旋塗法塗佈在無鹼玻 璃基板(型號:#1737,康寧股份有限公司製)上,真空 -61 - 201032002 乾燥後,在100 °C下加熱90秒,在無鹼玻璃基板上形成由 感光性黑色樹脂組成物1之固體成分所構成的感光性黑色 樹脂組成物層。將形成的感光性黑色樹脂組成物層在230 °C下進行熱處理20分鐘後的膜厚反映爲旋塗機的塗佈條件 ,由此調整感光性黑色樹脂組成物層的厚度爲規定厚度。 該感光性黑色樹脂組成物層的膜厚成爲後述的黑色矩陣中 隔離壁高度。膜厚使用膜厚計(商品名:Dektak,ULVAC 股份有限公司製)測定,其結果爲1 .6μιη。 接著,在形成有感光性黑色樹脂組成物層的無鹼玻璃 基板上,透過具有特定的隔離壁圖案的光罩,以貼近間隙 15 0μ«ι照射紫外線(照射量爲lOOmJ/cm2 :以I線換算)進 行曝光。使用具備具有CD19pm、長方形的開口部66x 226 μπι的重複圖案之光罩作爲隔離壁圖案。 接著,將曝光後的感光性黑色樹脂組成物層藉由顯影 液(CD液:富士膠捲電子材料股份有限公司,稀釋5 0倍) 於26°C進行80秒淋洗顯影,接著用純水洗滌,在潔淨烘箱 中在23 0 °C進行20分鐘燒成,得到形成有黑色矩陣(隔離 壁圖案)的實施例6之黑色矩陣基板。 對於所得到的實施例6之黑色矩陣基板,使用飛行時 間型二次離子質量分析計(TOF-SIMS )的Physical Electronics公司製的TRIFT2 (測定光束徑:5〜1 Ομιη )測 定黑色矩陣的表面及黑色矩陣的開口部所對應的基板表面 中的氟離子。氟離子的測定在容易發生油墨塡充不良的邊 緣附近部所對應的黑色矩陣的上側表面以及黑色矩陣的開 -62- 201032002 口部表面進行,用氟離子相對於各表面全部負離子的信號 強度的積分値的強度比進行比較。 實施例6的黑色矩陣基板中氟離子的測定結果爲’於 黑色矩陣的上側表面之氟離子檢測強度比爲0·28 ’於黑色 矩陣開口部所對應的基板表面之氟離子檢測強度比爲〇·03 φ (實施例7 ) 除了將感光性黑色樹脂組成物1變更爲感光性黑色樹 脂組成物2以外,與實施例6同樣,得到隔離壁高度爲 1.5μιη之實施例7的黑色矩陣基板。實施例7的黑色矩陣基 板中氟離子測定結果爲,於黑色矩陣的上側表面之氟離子 檢測強度比爲〇_22 ’於黑色矩陣開口部所對應的基板表面 之氟離子檢測強度比爲〇.〇2。 φ (實施例8 ) 除了將感光性黑色樹脂組成物1變更爲感光性黑色樹 脂組成物3以外,與實施例6同樣,得到隔離壁咼度爲 2.3μηι之實施例8的黑色矩陣基板。實施例8的黑色矩陣基 板中氟離子測定結果爲,於黑色矩陣的上側表面之氟離子 檢測強度比爲0.29,於黑色矩陣開口部所對應的基板表面 之氟離子檢測強度比爲〇.〇4。 (比較例7 ) -63- 201032002 除了將感光性黑色樹脂組成物1變更爲感光性黑色樹 脂組成物4以外,與實施例6同樣,得到隔離壁高度爲 1.6 μηι之比較例7的黑色矩陣基板。比較例7的黑色矩陣基 板中氟離子測定結果爲,於黑色矩陣的上側表面之氟離子 檢測強度比爲0.001以下,於黑色矩陣開口部所對應的基 板表面之氟離子檢測強度比爲0.001以下。 (比較例8 ) 除了將感光性黑色樹脂組成物1變更爲感光性黑色樹 脂組成物5以外,與實施例6同樣,得到隔離壁高度爲 1.6 μιη之比較例8的黑色矩陣基板。比較例8的黑色矩陣基 板之氟離子測定結果爲,於黑色矩陣的上側表面之氟離子 檢測強度比爲〇. 1 2,於黑色矩陣開口部所對應的基板表面 之氟離子檢測強度比爲0.02。
(比較例9 ) Q 除了將感光性黑色樹脂組成物1變更爲感光性黑色樹 脂組成物6以外,與實施例6同樣,得到隔離壁高度爲 1.6μπι的比較例9的黑色矩陣基板。比較例9的黑色矩陣基 板中氟離子的測定結果爲,於黑色矩陣的上側表面之氟離 子檢測強度比爲0.33,於黑色矩陣開口部所對應的基板表 面之氟離子檢測強度比爲〇. 1 8。 <彩色濾光片之製造> -64 - 201032002 [噴墨印刷用油墨之製備] 製備由15質量份著色劑的C.I.顔料藍15: 6、2質量份 C.I.顏料紫23、聚酯系分散劑7質量份、溶劑的二丙二醇單 甲基醚乙酸酯77質量份所構成的藍色著色劑分散液。同樣 地,按照上述表1所示之組成,製備綠色著色劑分散液以 及紅色著色劑分散液。 於所製備的藍色顏料分散液61質量份中添加丙烯酸樹 φ 脂4質量份、溶劑的二丙二醇丁基醚35質量份,製備藍色 噴墨印刷用油墨。同樣地,按照上述表2所示之組成,製 備綠色噴墨印刷用油墨、紅色噴墨印刷用油墨。 [彩色濾光片之製備] 實施例6〜8以及比較例7〜9之黑色矩陣基板中的黑色 矩陣開口部上,使用噴墨印刷用噴頭,同時塡充紅色油墨 120pL、綠色油墨120pL'藍色油墨130pL,在40°C下預乾 φ 燥2分鐘後,在230°C下烘烤20分鐘製備彩色濾光片。 [評價] 對於如上製備的各彩色濾光片,進行目視觀察及顯微 鏡觀察’評價在黑色矩陣開口部的油墨塡充狀況、鄰接像 素層間有無混色。至於油墨塡充狀況,特別注意彩色濾光 片畫面的周邊部(邊緣鄰接像素)上發生的油墨塡充不良 (漏白)’與畫面中央部的塡充狀態一併評價。無漏白發 生的情況作爲“〇” ’有漏白發生的情況作爲“ X,’ 。至 -65- 201032002 於鄰接像素層間的混色’未發生混色的情況作爲“〇”, 發生混色的情況作爲“ X ” 。且,至於綜合評價’ “漏白 ”以及“混色”任一者的評價結果均爲“〇”時’作爲“ 〇”,任意一者爲“ X”時’作爲“ X” 。評價結果如表4 所示。 [表4]
黑色矩阔 蓮板 感光性黑色樹脂組成物 m ϊ結果 編號 隔離壁高度 (μιη) 氟離子檢測強度比 氣系界 面活性劑 於邊 緣部 之漏白 混色 綜合 評價 隔離壁 表面 開口部基 板表面 添加量 (ppm) 氟換算添加 量(ppm) 實施例6 1.6 0.28 0.03 260 47 〇 〇 〇 實施例7 1.5 0.22 0.02 210 40 〇 〇 〇 實施例8 2.3 0.29 0.04 105 20 〇 〇 〇 比較例7 1.6 <0.001 <0.001 0 0 〇 X X 比較例8 1.6 0.12 0.02 35 6 〇 X X 比較例9 1.6 0.33 0.18 315 57 X 〇 X 由表4顯示,使用於黑色矩陣表面之氟離子檢測強度 比爲0.1 5以上、未達0.3,且於黑色矩陣開口部所對應的基 板表面之氟離子檢測強度比爲〇.〇5以下之實施例6〜8的黑 色矩陣基板製備的彩色濾光片,並未發生混色,亦未發生 漏白等像素缺陷。 本發明在不脫離其主旨或主要特徵之下,可以其他各 種形態實施。因此,前述實施形態在所有方面僅僅只是例 示,本發明的範圍係如申請專利範圍所示,絕不受說明書 所限制。進而,屬於申請專利範圍之變形或變更亦全部在 本發明範圍內。 -66- 201032002 【圖式簡單說明】 圖1A〜圖1C係顯示黑色矩陣基板之製造方法之順序圖 〇 圖2 A及圖2B係顯示彩色濾光片之製造方法之順序圖。 圖3 A及圖3 B係槪略顯示彩色濾光片結構之圖。 圖4係使用實施例之感光性黑色樹脂組成物所製備之 彩色濾光片的表面放大照片。 圖5係使用比較例之感光性黑色樹脂組成物所製備之 彩色濾光片的表面放大照片。 【主要元件符號說明】 1 :感光性黑色樹脂組成物層 2 :基板 3 :光罩 3 1 :玻璃板 32 :遮光層 3 3 :透光部 4 ;光線 5 :著色圖案 5 B :藍色像素層 5BM :黑色矩陣 5 G :綠色像素層 5R :紅色像素層 -67- 201032002 6,60 :彩色濾光片 7 :黑色矩陣基板 7 a :開口部 10B :噴墨印刷用噴頭 1 0 G :噴墨印刷用噴頭 1 OR :噴墨印刷用噴頭 1 1 B :噴墨印刷用油墨 1 1 G :噴墨印刷用油墨 1 1 R :噴墨印刷用油墨
-68-
Claims (1)
- 201032002 七、申請專利範圍: 1. 一種感光性黑色樹脂組成物’其係用於形成黑色矩 陣的感光性黑色樹脂組成物,前述黑色矩陣是在基板上具 有多個彩色像素層及位於鄰接的彩色像素層間的黑色矩陣 的彩色濾光片中的黑色矩陣,其特徵在於 以相對於全部固體成分的氟含量計,含有0.0008〜 0.005質量%之在側鏈上具有氟烷基之氟系界面活性劑。 2 ·如申請專利範圍第1項之感光性黑色樹脂組成物, 其中前述氟系界面活性劑爲以全部結構單位的總計1 00質 量%爲基準,具有以下述式(la)所示的結構單位1〜40質 量%、以下述式(1 b )所示的結構單位20〜98質量%、以 及以下述式(lc)所示的結構單位1〜40質量%之比例的化 合物, 【化1 0】 R* I R3 R6 | 1 —CHi —C — | 1 —CHe —C — I 1 —CH2 — c —— 1 X1 - L1 - R2 I \〇-L2 千R4-〇^*R5 X2 - L3 - Rf (la) (lb) (lc) [式中,R1、R3以及R6各自獨立地表示氫原子或碳原子數1 〜5之烷基,R2表示氫原子、碳原子數1〜5之烷基 '羥基 、或-(8丨((:113)20)„1-3丨(<:113)3,114表示碳原子數2〜8之伸烷 基,R5表示氫原子、碳原子數1〜12之烷基、醯基、或碳 原子數6〜20之芳基,L1、L2、以及L3各自獨立地表示單 鍵、伸烷基或經取代伸烷基,X1表示-C〇2_、-CONY1-、或 -69 - 201032002 伸芳基,X2表示-Ο-、-C02-、-CONY2-、伸芳基 '或2價的 雜環殘基,Rf表示氟烷基,η表示2〜20之整數’又’ m表 示0〜3之整數,Y1以及Y2各自獨立地表示氫原子或碳原子 數1〜5之院基]。 3. —種黑色矩陣基板,其係形成有使用申請專利範圍 第1或2項之感光性黑色樹脂組成物所製備之黑色矩陣之黑 色矩陣基板,其用於製造在基板上具有多個彩色像素層及 位於鄰接的彩色像素層間的黑色矩陣之彩色濾光片,其係 形成有具有開口部的黑色矩陣之黑色矩陣基板。 4. 如申請專利範圍第3項之黑色矩陣基板,其中,利 用飛行時間型二次離子質量分析計(TOF-S IMS )檢測的 負離子之檢測結果中,全部負離子的檢測強度的總計爲1 時的氟離子的檢測強度比,於黑色矩陣的表面係0.1 5以上 、未達0.3,且於對應於黑色矩陣的開口部之基板表面上 爲0.0 5以下。 5. 如申請專利範圍第3或4項之黑色矩陣基板,其中黑 色矩陣之膜厚爲1·2μιη以上、3.0μιη以下。 6. —種彩色濾光片之製造方法,該方法係在基板上具 有多個彩色像素層及位於鄰接的彩色像素層間的黑色矩陣 之彩色濾光片之製造方法,其特徵在於包括: 使用申請專利範圍第1或2項之感光性黑色樹脂組成物 ,在基板上形成黑色矩陣,製備黑色矩陣基板之黑色矩陣 基板製備步驟,及 在由黑色矩陣基板上形成之黑色矩陣的開口部所對應 -70 - 201032002 的隔離壁所包圍之像素區域中,藉由噴墨印刷方式印刷噴 墨印刷用油墨而形成彩色像素層之像素層形成步驟。-71 -
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